JP4608796B2 - 着色感光性樹脂組成物 - Google Patents
着色感光性樹脂組成物 Download PDFInfo
- Publication number
- JP4608796B2 JP4608796B2 JP2001092324A JP2001092324A JP4608796B2 JP 4608796 B2 JP4608796 B2 JP 4608796B2 JP 2001092324 A JP2001092324 A JP 2001092324A JP 2001092324 A JP2001092324 A JP 2001092324A JP 4608796 B2 JP4608796 B2 JP 4608796B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- photosensitive resin
- resin composition
- mass
- colored photosensitive
- acid
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
Images
Landscapes
- Optical Filters (AREA)
- Materials For Photolithography (AREA)
- Polymerisation Methods In General (AREA)
- Graft Or Block Polymers (AREA)
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、着色感光性樹脂組成物に関する。
【０００２】
【従来の技術】
着色感光性樹脂組成物（カラーレジスト）は、着色剤を含有していて着色されている感光性樹脂組成物（レジスト）であって、例えばカラーフィルターを製造するための原材料として有用である。ここで、カラーフィルター（１）とは、例えばカラー液晶表示装置の表示画像をカラー化したり、カラー固体雑造素子に組込まれてカラー画像を得るために用いられる光学素子であって、基板（２）の上の同一平面上に形成された着色パターン（３）からなるものが知られている（図１）。
【０００３】
従来から、かかる着色感光性樹脂組成物として、着色剤（Ａ）、バインダーポリマー（Ｂ）、重合性化合物（Ｃ）、光重合開始剤（Ｄ）および光重合開始助剤（Ｅ）を含有するものが知られており、光重合開始剤（Ｄ）として２−メチル−２−モルホリノ−１−（４−メチルチオフェニル）プロパン−１−オンを含有し、光重合開始助剤（Ｅ）として４，４’−ビス（ジエチルアミノ）ベンゾフェノンを含有するものも知られている。かかる従来の着色感光性樹脂組成物における４，４’−ビス（ジエチルアミノ）ベンゾフェノンの含有量は、２−メチル−２−モルホリノ−１−（４−メチルチオフェニル）プロパン−１−オン（１質量部）あたり０．８質量部未満である。
【０００４】
かかる着色感光性樹脂組成物を用いてカラーフィルター（１）を製造するには、例えば着色感光性樹脂組成物をパターンニングすればよく、具体的には基板（２）上に着色感光性樹脂組成物からなる層（４）を形成し（図２(a)）、該層（４）を露光した後（図２(b)）、現像すればよい（図２(c)）。着色感光性樹脂組成物層（４）には、露光において光線（５）が照射されない光線未照射領域（４１）と光線（５）が照射された光線照射領域（４２）とが生ずるが、光線未照射領域（４１）は次の現像において除去される。その一方で光線照射領域（４２）は除去されることなく残って、着色パターン（３）となる。かくして形成される着色パターン（３）は、その断面形状が順テーパー状（図３(a)）ないし矩形状（図３(b)）であることが好ましい。
【０００５】
しかし、従来の着色感光性樹脂組成物をパターンニングして形成される着色パターンはその断面形状が逆テーパー状（図３(c)）となる場合があった。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】
そこで本発明者は、断面形状が順テーパー状ないし矩形状の着色パターンを与え得る着色感光性樹脂組成物を開発するべく鋭意検討した結果、４，４’−ビス（ジエチルアミノ）ベンゾフェノンの含有量を２−メチル−２−モルホリノ−１−（４−メチルチオフェニル）プロパン−１−オン（１質量部）あたり０．８質量部以上とし、バインダーポリマー（Ｂ）および光重合性化合物（Ｃ）の合計量１００質量部あたり８質量部以上とすることにより、得られる着色パターンの断面形状を順テーパー状ないし矩形状とし得ることを見出し、本発明に至った。
【０００７】
【課題を解決するための手段】
すなわち本発明は、着色剤（Ａ）、バインダーポリマー（Ｂ）、光重合性化合物（Ｃ）、２−メチル−２−モルホリノ−１−（４−メチルチオフェニル）プロパン−１−オンおよび４，４’−ビス（ジエチルアミノ）ベンゾフェノンを含有し、
４，４’−ビス（ジエチルアミノ）ベンゾフェノンの含有量が、２−メチル−２−モルホリノ−１−（４−メチルチオフェニル）プロパン−１−オン（１質量部）あたり０．８質量部以上であり、バインダーポリマー（Ｂ）および光重合性化合物（Ｃ）の合計量１００質量部あたり８質量部以上であることを特徴とする着色感光性樹脂組成物を提供するものである。
【０００８】
【発明の実施の形態】
本発明の着色感光性樹脂組成物は、着色剤（Ａ）、バインダーポリマー（Ｂ）、光重合性化合物（Ｃ）、２−メチル−２−モルホリノ−１−（４−メチルチオフェニル）プロパン−１−オンおよび４，４’−ビス（ジエチルアミノ）ベンゾフェノンを含有する。
【０００９】
着色剤（Ａ）は、有機物である有機着色剤であってもよいし、無機物である無機着色剤であってもよい。有機着色剤は、顔料であってもよいし、染料であってもよい。また、合成色素であってもよいし、天然色素であってもよい。無機着色剤は、金属酸化物、金属錯塩、硫酸バリウムの無機塩（体質顔料）などの無機顔料であってもよい。かかる着色剤のなかでも、耐熱性、発色性に優れる点で、有機着色剤、さらには有機顔料が好ましく用いられる。
【００１０】
有機顔料として具体的には、カラーインデックス（The Society of Dyers and Colourists出版）でピグメント（Pigment）に分類されている化合物が挙げられる。具体的にはＣ．Ｉ．ピグメントイエロー１、Ｃ．Ｉ．ピグメントイエロー３、Ｃ．Ｉ．ピグメントイエロー１２、Ｃ．Ｉ．ピグメントイエロー１３、Ｃ．Ｉ．ピグメントイエロー１４、Ｃ．Ｉ．ピグメントイエロー１５、Ｃ．Ｉ．ピグメントイエロー１６、Ｃ．Ｉ．ピグメントイエロー１７、Ｃ．Ｉ．ピグメントイエロー２０、Ｃ．Ｉ．ピグメントイエロー２４、Ｃ．Ｉ．ピグメントイエロー３１、Ｃ．Ｉ．ピグメントイエロー５３、Ｃ．Ｉ．ピグメントイエロー８３、Ｃ．Ｉ．ピグメントイエロー８６、Ｃ．Ｉ．ピグメントイエロー９３、Ｃ．Ｉ．ピグメントイエロー９４、Ｃ．Ｉ．ピグメントイエロー１０９、Ｃ．Ｉ．ピグメントイエロー１１０、Ｃ．Ｉ．ピグメントイエロー１１７、Ｃ．Ｉ．ピグメントイエロー１２５、Ｃ．Ｉ．ピグメントイエロー１２８、Ｃ．Ｉ．ピグメントイエロー１３７、Ｃ．Ｉ．ピグメントイエロー１３８、Ｃ．Ｉ．ピグメントイエロー１３９、Ｃ．Ｉ．ピグメントイエロー１４７、Ｃ．Ｉ．ピグメントイエロー１４８、Ｃ．Ｉ．ピグメントイエロー１５０、Ｃ．Ｉ．ピグメントイエロー１５３、Ｃ．Ｉ．ピグメントイエロー１５４、Ｃ．Ｉ．ピグメントイエロー１６６、Ｃ．Ｉ．ピグメントイエロー１７３、
Ｃ．Ｉ．ピグメントオレンジ１３、Ｃ．Ｉ．ピグメントオレンジ３１、Ｃ．Ｉ．ピグメントオレンジ３６、Ｃ．Ｉ．ピグメントオレンジ３８、Ｃ．Ｉ．ピグメントオレンジ４０、Ｃ．Ｉ．ピグメントオレンジ４２、Ｃ．Ｉ．ピグメントオレンジ４３、Ｃ．Ｉ．ピグメントオレンジ５１、Ｃ．Ｉ．ピグメントオレンジ５５、Ｃ．Ｉ．ピグメントオレンジ５９、Ｃ．Ｉ．ピグメントオレンジ６１、Ｃ．Ｉ．ピグメントオレンジ６４、Ｃ．Ｉ．ピグメントオレンジ６５、Ｃ．Ｉ．ピグメントオレンジ７１、Ｃ．Ｉ．ピグメントオレンジ７３、
Ｃ．Ｉ．ピグメントレッド９、Ｃ．Ｉ．ピグメントレッド９７、Ｃ．Ｉ．ピグメントレッド１０５、Ｃ．Ｉ．ピグメントレッド１２２、Ｃ．Ｉ．ピグメントレッド１２３、Ｃ．Ｉ．ピグメントレッド１４４、Ｃ．Ｉ．ピグメントレッド１４９、Ｃ．Ｉ．ピグメントレッド１６６、Ｃ．Ｉ．ピグメントレッド１６８、Ｃ．Ｉ．ピグメントレッド１７６、Ｃ．Ｉ．ピグメントレッド１７７、Ｃ．Ｉ．ピグメントレッド１８０、Ｃ．Ｉ．ピグメントレッド１９２、Ｃ．Ｉ．ピグメントレッド２１５、Ｃ．Ｉ．ピグメントレッド２１６、Ｃ．Ｉ．ピグメントレッド２２４、Ｃ．Ｉ．ピグメントレッド２４２、Ｃ．Ｉ．ピグメントレッド２５４、Ｃ．Ｉ．ピグメンレッド２６４、Ｃ．Ｉ．ピグメントレッド２６５、
Ｃ．Ｉ．ピグメントブルー１５、Ｃ．Ｉ．ピグメントブルー１５：３、Ｃ．Ｉ．ピグメントブルー１５：４、Ｃ．Ｉ．ピグメントブルー１５：６、Ｃ．Ｉ．ピグメントブルー６０、
Ｃ．Ｉ．ピグメントバイオレット１、Ｃ．Ｉ．ピグメントバイオレット１９、Ｃ．Ｉ．ピグメントバイオレット２３、Ｃ．Ｉ．ピグメントバイオレット２９、Ｃ．Ｉ．ピグメントバイオレット３２、Ｃ．Ｉ．ピグメントバイオレット３６、Ｃ．Ｉ．ピグメントバイオレット３８、
Ｃ．Ｉ．ピグメントグリーン７、Ｃ．Ｉ．ピグメントグリーン３６、
Ｃ．Ｉ．ピグメントブラウン２３、Ｃ．Ｉ．ピグメントブラウン２５、
Ｃ．Ｉ．ピグメントブラック１、Ｃ．Ｉ．ピグメントブラック７などが挙げられる。これらの有機顔料は、それぞれ単独で用いてもよいし、２種以上を混合して用いてもよい。
【００１１】
有機顔料は必要に応じて、ロジン処理、酸性基または塩基性基が導入された顔料誘導体などを用いた表面処理、高分子化合物などによる顔料表面へのグラフト処理、硫酸微粒化法などによる微粒化処理、あるいは不純物を除去するための有機溶剤や水などによる洗浄処理が施されていてもよい。
【００１２】
着色剤（Ａ）の使用量は、本発明の着色感光性樹脂組成物の揮発成分が揮発した後の固形分に対して質量分率で通常５％以上、好ましくは１０％以上であり、通常６０％以下、好ましくは５０％以下の範囲であるが、着色剤（Ａ）の使用量が固形分に対して、例えば２０％以上、さらには３０％以上であっても、本発明の着色感光性樹脂組成物をパターンニングして形成される着色パターンの断面形状を順テーパー状ないし矩形状となし得る。また、着色剤（Ａ）として有機顔料を用いる場合、該有機顔料の使用量は着色剤（Ａ）の全量に対して質量分率で通常５０％以上、好ましくは５５％以上である。
【００１３】
バインダーポリマー（Ｂ）は、着色剤を分散し得、着色感光性樹脂組成物層（４）に、現像においてその光線未照射領域（４１）を除去し、光線照射領域（４２）を残す機能を付与し得るポリマーが使用される（図２）。かかるバインダーポリマーとしては、例えばカルボキシル基を含有する単量体単位からなるポリマーが好ましい。
【００１４】
カルボキシル基を含有する単量体としては、例えば不飽和カルボン酸、府飽和ジカルボン酸などのような、分子中に１個以上のカルボキシル基を含有する不飽和カルボン酸が挙げられ、具体的にはアクリル酸、メタクリル酸、クロトン酸、イタコン酸、マレイン酸、フマル酸などが挙げられる。かかる単量体は、炭素−炭素不飽和結合を有する化合物であり、それぞれ単独でまたは２種以上を組合わせて用いることができる。
【００１５】
バインダーポリマーは、かかるカルボキシル基を有する単量体の単独重合体であってもよいが、該単量体と他の単量体との共重合体であってもよい。他の単量体は、例えば炭素−炭素不飽和結合を有し、カルボキシル基を有する単量体と共重合し得る単量体であり、具体的には、例えばスチレン、α−メチルスチレン、ビニルトルエンなどの芳香族ビニル化合物、メチルアクリレート、メチルメタクリレート、エチルアクリレート、エチルメタクリレート、ブチルアクリレート、ブチルメタクリレート、２−ヒドロキシエチルアクリレート、２−ヒドロキシエチルメタクリレート、ベンジルアクリレート、ベンジルメタクリレートなどの不飽和カルボン酸エステル化合物、アミノエチルアクリレートなどの不飽和カルボン酸アミノアルキルエステル化合物、グリシジルアクリレート、グリシジルメタクリレートなどの不飽和カルボン酸グリシジルエステル化合物、酢酸ビニル、プロピオン酸ビニルなどのカルボン酸ビニルエステル化合物、アクリロニトリル、メタクリロニトリル、α−クロロアクリロニトリルなどのシアン化ビニル化合物、３−メチル−３−アクリロキシメチルオキセタン、３−メチル−３−メタクリロキシメチルオキセタン、３−エチル−３−アクリロキシメチルオキセタン、３−エチル−３−メタクリロキシメチルオキセタン、３−メチル−３−アクリロキシエチルオキセタン、３−メチル−３−メタクリロキシエチルオキセタン、３−メチル−３−アクリロキシエチルオキセタン、３−メチル−３−メタクリロキシエチルオキセタンのような不飽和カルボン酸オキセタンエステル化合物などが挙げられる。これらの単量体はそれぞれ単独でまたは２種以上を組み合わせて用いられる。
【００１６】
かかる共重合体としては、例えば３−エチル−３−メタクリロキシメチルオキセタン／ベンジルメタクリレート／メタクリル酸共重合体、３−エチル−３−メタクリロキシメチルオキセタン／ベンジルメタクリレート／メタクリル酸／スチレン共重合体、３−エチル−３−メタクリロキシメチルオキセタン／メチルメタクリレート／メタクリル酸共重合体、３−エチル−３−メタクリロキシメチルオキセタン／メチルメタクリレート／メタクリル酸／スチレン共重合体などが挙げられる。かかる共重合体におけるカルボキシル基を有する単量体単位の含有量は質量分率で５％以上５０％以下、好ましくは１０％以上４０％以下程度である。
【００１７】
かかるバインダーポリマーは、ポリスチレンを標準としてゲルパーミェーションクロマトグラフィー（ＧＰＣ）で求められる重量平均分子量（Ｍｗ）が５，０００〜４００，０００の範囲、さらには１０，０００〜３００，０００の範囲にあるのが好ましい。
【００１８】
バインダーポリマー（Ｂ）の含有量は、着色感光性組成物の固形分に対して質量分率で通常５％以上、好ましくは２０％以上、通常９０％以下、好ましくは７０％以下程度の範囲である。
【００１９】
光重合性化合物（Ｃ）は、光線を照射されることによって２−メチル−２−モルホリノ−１−（４−メチルチオフェニル）プロパン−１−オンから発生した活性ラジカルによって重合し得る化合物であって、例えば重合性炭素−炭素不飽和結合を有する化合物などが挙げられる。かかる化合物は、単官能の光重合性化合物であってもよいし、２官能または３官能以上の多官能の光重合性化合物であってもよい。
【００２０】
単官能光重合性化合物としては、例えばノニルフェニルカルビトールアクリレート、２−ヒドロキシ−３−フェノキシプロピルアクリレート、２−エチルヘキシルカルビトールアクリレート、２−ヒドロキシエチルアクリレート、Ｎ−ビニルピロリドンなどが挙げられる。
【００２１】
２官能光重合性化合物としては、例えば１，６−ヘキサンジオールジアクリレート、１，６−ヘキサンジオールジメタクリレート、エチレングリコールジアクリレート、エチレングリコールジメタクリレート、ネオペンチルグリコールジアクリレート、ネオペンチルグリコールジメタクリレート、トリエチレングリコールジアクリレート、トリエチレングリコールジメタクリレート、ビスフェノールＡのビス（アクリロイロキシエチル）エーテル、３−メチルペンタンジオールジアクリレート、３−メチルペンタンジオールジメタクリレートなどが挙げられる。
【００２２】
３官能以上の多官能光重合性化合物としては、例えばトリメチロールプロパントリアクリレート、トリメチロールプロパントリメタクリレート、ペンタエリスリトールトリアクリレート、ペンタエリスリトールトリメタクリレート、ペンタエリスリトールテトラアクリレート、ペンタエリスリトールテトラメタクリレート、ジペンタエリスリトールペンタアクリレート、ジペンタエリスリトールペンタメタクリレート、ジペンタエリスリトールヘキサアクリレート、ジペンタエリスリトールヘキサメタクリレートなどが挙げられる。
【００２３】
かかる光重合性化合物はそれぞれ単独でまたは２種以上を組み合わせて用いられるが、２官能以上の多官能光重合性化合物が好ましく用いられ、２種以上の光重合性化合物を用いる場合には１以上の多官能光重合性化合物を用いることが好ましい。
【００２４】
かかる光重合性化合物（Ｃ）の使用量は、バインダーポリマー（Ｂ）および光重合性化合物（Ｃ）の合計量１００質量部あたり通常は０．１質量部以上７０質量部以下、好ましくは１質量部以上６０質量部以下である。
【００２５】
２−メチル−２−モルホリノ−１−（４−メチルチオフェニル）プロパン−１−オンの含有量は、バインダーポリマー（Ｂ）および光重合性化合物（Ｃ）の合計量１００質量部あたり通常は２質量部以上であり、好ましくは４質量部以上であり、通常３６質量部以下、好ましくは２４質量部以下である。
【００２６】
４，４’−ビス（ジエチルアミノ）ベンゾフェノンの含有量は、２−メチル−２−モルホリノ−１−（４−メチルチオフェニル）プロパン−１−オンの含有量１質量部あたり０．８質量部以上であるが、好ましくは０．９質量部以上であり、通常は５質量部以下、好ましくは４量部以下である。また、４，４’−ビス（ジエチルアミノ）ベンゾフェノンは、その含有量がバインダーポリマー（Ｂ）および光重合性化合物（Ｃ）の合計量１００質量部あたり８質量部以上であり、通常は３６質量部以下、好ましくは２４質量部以下となるように使用される。
【００２７】
本発明の着色感光性樹脂組成物は通常、溶剤（Ｆ）で希釈された状態で保存され、パターンニングに使用される。溶剤としては、通常の着色感光性樹脂組成物に用いられると同様の溶剤を用いることができ、例えばエチレングリコールモノメチルエーテル、エチレングリコールモノエチルエーテル、エチレングリコールモノプロピルエーテル及びエチレングリコールモノブチルエーテルなどのエチレングリコールモノアルキルエーテル類、
ジエチレングリコールジメチルエーテル、ジエチレングリコールジエチルエーテル、ジエチレングリコールジプロピルエーテル及びジエチレングリコールジブチルエーテルなどのジエチレングリコールジアルキルエーテル類、
メチルセロソルブアセテート、エチルセロソルブアセテートなどのエチレングリコールアルキルエーテルアセテート類、
プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート、プロピレングリコールモノエチルエーテルアセテート、プロピレングリコールモノプロピルエーテルアセテート、メトキシブチルアセテート及びメトキシペンチルアセテートなどのアルキレングリコールアルキルエーテルアセテート類、
ベンゼン、トルエン、キシレンなどの芳香族炭化水素類、
メチルエチルケトン、アセトン、メチルアミルケトン、メチルイソブチルケトン、シクロヘキサノンなどのケトン類、
エタノール、プロパノール、ブタノール、ヘキサノール、シクロヘキサノール、エチレングリコール、グリセリンなどのアルコール類、
３−エトキシプロピオン酸エチル、３−メトキシプロピオン酸メチルなどのエステル類、
γ−ブチロラクトンなどの環状エステル類などが挙げられる。かかる溶剤は、それぞれ単独でまたは２種類以上を組み合わせて用いることができる。
【００２８】
かかる溶剤の使用量は、溶剤で希釈された状態の着色感光性組成物における溶剤の含有量が、質量分率で通常５０％以上９０％以下、好ましくは６０％以上８５％以下となる程度である。
【００２９】
着色剤として顔料を用いる場合、本発明の着色感光性樹脂組成物は、顔料分散剤を含有していてもよい。顔料分散剤を含有することによって、本発明の着色感光性樹脂組成物に着色剤を均一に分散させることができる。本発明の着色感光性樹脂組成物に使用し得る顔料分散剤としては、例えばノニオン系界面活性剤、カチオン系界面活性剤、ノニオン系界面活性剤等の界面活性剤、ポリエステル系高分子分散剤、アクリル系高分子分散剤、ポリウレタン系高分子分散剤等が挙げられ、これらはそれぞれ単独でまたは２種以上を組合わせて用いられる。顔料分散剤を含有する場合、その含有量は、着色剤１質量部あたり通常０．０１質量部以上、好ましくは０．０５質量部以上であり、通常１質量部以下、好ましくは０．５質量部以下である。
【００３０】
本発明の着色感光性樹脂組成物は、添加剤を含有していてもよい。添加剤としては、例えば充填剤、バインダーポリマー以外の高分子化合物、密着促進剤、酸化防止剤、紫外線吸収剤、凝集防止剤、有機酸、有機アミノ化合物、硬化剤などを挙げることができる。
【００３１】
充填剤としては、例えばガラス、アルミナなどが挙げられる。
高分子化合物としては、例えばポリビニルアルコール、ポリアクリル酸、ポリエチレングリコールモノアルキルエーテル、ポリフロロアルキルアクリレートなどが挙げられる。
【００３２】
界面活性剤としては、例えばノニオン系界面活性剤、カチオン系界面活性剤、アニオン系界面活性剤などが挙げられる。
密着促進剤としては、例えばビニルトリメトキシシラン、ビニルトリエトキシシラン、ビニルトリス（２−メトキシエトキシ）シラン、Ｎ−（２−アミノエチル）−３−アミノプロピルメチルジメトキシシラン、Ｎ−（２−アミノエチル）−３−アミノプロピルトリメトキシシラン、３−アミノプロピルトリエトキシシラン、３−グリシドキシプロピルトリメトキシシラン、３−グリシドキシプロピルメチルジメトキシシラン、２−（３，４−エポキシシクロヘキシル）エチルトリメトキシシラン、３−クロロプロピルメチルジメトキシシラン、３−クロロプロピルトリメトキシシラン、３−メタクリロキシプロピルトリメトキシシラン、３−メルカプトプロピルトリメトキシシランなどが挙げられる。
【００３３】
酸化防止剤としては、例えば２，２−チオビス（４−メチル−６−ｔ−ブチルフェノール）、２，６−ジ−ｔ−ブチルフェノールなどが挙げられる。
紫外線吸収剤としては、例えば２−（３−ｔ−ブチル−５−メチル−２−ヒドロキシフェニル）−５−クロロベンゾトリアゾール、アルコキシベンゾフェノンなどが挙げられる。
凝集防止剤としては、例えばポリアクリル酸ナトリウムなどが挙げられる。
【００３４】
有機酸としては、例えばぎ酸、酢酸、プロピオン酸、酪酸、吉草酸、ピバル酸、カプロン酸、ジエチル酢酸、エナント酸、カプリル酸などの脂肪族モノカルボン酸類、
しゅう酸、マロン酸、こはく酸、グルタル酸、アジピン酸、ピメリン酸、スベリン酸、アゼライン酸、セバシン酸、ブラシル酸、メチルマロン酸、エチルマロン酸、ジメチルマロン酸、メチルこはく酸、テトラメチルこはく酸、シクロヘキサンジカルボン酸、イタコン酸、シトラコン酸、マレイン酸、フマル酸、メサコン酸などの脂肪族ジカルボン酸類、
トリカルバリル酸、アコニット酸、カンホロン酸などの脂肪族トリカルボン酸類、
安息香酸、トルイル酸、クミン酸、ヘメリト酸、メシチレン酸などの芳香族モノカルボン酸類、
フタル酸、イソフタル酸、テレフタル酸などの芳香族ジカルボン酸類、
トリメリット酸、トリメシン酸、メロファン酸、ピロメリット酸などの芳香族ポリカルボン酸類などが挙げられる。
【００３５】
有機アミノ化合物としては、例えばｎ―プロピルアミン、ｉ−プロピルアミン、ｎ−ブチルアミン、ｉ−ブチルアミン、ｓｅｃ−ブチルアミン、ｔ−ブチルアミン、ｎ−ペンチルアミン、ｎ−ヘキシルアミン、ｎ−ヘプチルアミン、ｎ−オクチルアミン、ｎ−ノニルアミン、ｎ−デシルアミン、ｎ−ウンデシルアミン、ｎ−ドデシルアミン、シクロヘキシルアミン、２−メチルシクロヘキシルアミン、３−メチルシクロヘキシルアミン、４−メチルシクロヘキシルアミンなどのモノ（シクロ）アルキルアミン類、
メチルエチルアミン、ジエチルアミン、メチルｎ−プロピルアミン、エチルｎ−プロピルアミン、ジｎ−プロピルアミン、ジｉ−プロピルアミン、ジｎ−ブチルアミン、ジｉ−ブチルアミン、ジｓｅｃ−ブチルアミン、ジｔ−ブチルアミン、ジｎ−ペンチルアミン、ジｎ−ヘキシルアミン、メチルシクロヘキシルアミン、エチルシクロヘキシルアミン、ジシクロヘキシルアミンなどのジ（シクロ）アルキルアミン類、
ジメチルエチルアミン、メチルジエチルアミン、トリエチルアミン、ジメチルｎ−プロピルアミン、ジエチルｎ−プロピルアミン、メチルジｎ−プロピルアミン、エチルジｎ−プロピルアミン、トリｎ−プロピルアミン、トリｉ−プロピルアミン、トリｎ−ブチルアミン、トリｉ−ブチルアミン、トリｓｅｃ−ブチルアミン、トリｔ−ブチルアミン、トリｎ−ペンチルアミン、トリｎ−ヘキシルアミン、ジメチルシクロヘキシルアミン、ジエチルシクロヘキシルアミン、メチルジシクロヘキシルアミン、エチルジシクロヘキシルアミン、トリシクロヘキシルアミンなどのトリ（シクロ）アルキルアミン類、
２−アミノエタノール、３−アミノ−１−プロパノール、１−アミノ−２−プロパノール、４−アミノ−１−ブタノール、５−アミノ−１−ペンタノール、６−アミノ−１−ヘキサノール、４−アミノ−１−シクロヘキサノールなどのモノ（シクロ）アルカノールアミン類、
ジエタノールアミン、ジｎ−プロパノールアミン、ジｉ−プロパノールアミン、ジｎ−ブタノールアミン、ジｉ−ブタノールアミン、ジｎ−ペンタノールアミン、ジｎ−ヘキサノールアミン、ジ（４−シクロヘキサノール）アミンなどのジ（シクロ）アルカノールアミン類、
トリエタノールアミン、トリｎ−プロパノールアミン、トリｉ−プロパノールアミン、トリｎ−ブタノールアミン、トリｉ−ブタノールアミン、トリｎ−ペンタノールアミン、トリｎ−ヘキサノールアミン、トリ（４−シクロヘキサノール）アミンなどのトリ（シクロ）アルカノールアミン類、
３−アミノ−１，２−プロパンジオール、２−アミノ−１，３−プロパンジオール、４−アミノ−１，２−ブタンジオール、４−アミノ−１，３−ブタンジオール、４−アミノ−１，２−シクロヘキサンジオール、４−アミノ−１，３−シクロヘキサンジオール、３−ジメチルアミノ−１，２−プロパンジオール、３−ジエチルアミノ−１，２−プロパンジオール、２−ジメチルアミノ−１，３−プロパンジオール、２−ジエチルアミノ−１，３−プロパンジオールなどのアミノ（シクロ）アルカンジオール類、
１−アミノシクロペンタノンメタノール、４−アミノシクロペンタノンメタノール、１−アミノシクロヘキサノンメタノール、４−アミノシクロヘキサノンメタノール、４−ジメチルアミノシクロペンタンメタノール、４−ジエチルアミノシクロペンタンメタノール、４−ジメチルアミノシクロヘキサンメタノール、４−ジエチルアミノシクロヘキサンメタノールなどのアミノ基含有シクロアルカンメタノール類、
β−アラニン、２−アミノ酪酸、３−アミノ酪酸、４−アミノ酪酸、２−アミノイソ酢酸、３−アミノイソ酢酸、２−アミノ吉草酸、５−アミノ吉草酸、６−アミノカプロン酸、１−アミノシクロプロパンカルボン酸、１−アミノシクロヘキサンカルボン酸、４−アミノシクロヘキサンカルボン酸などのアミノカルボン酸類、
アニリン、ｏ−メチルアニリン、ｍ−メチルアニリン、ｐ−メチルアニリン、ｐ−エチルアニリン、ｐ−ｎ−プロピルアニリン、ｐ−ｉ−プロピルアニリン、ｐ−ｎ−ブチルアニリン、ｐ−ｔ−ブチルアニリン、１−ナフチルアミン、２−ナフチルアミン、Ｎ，Ｎ−ジメチルアニリン、Ｎ，Ｎ−ジエチルアニリン、ｐ−メチル−Ｎ，Ｎ−ジメチルアニリンなどの芳香族アミン類、
ｏ−アミノベンジルアルコール、ｍ−アミノベンジルアルコール、ｐ−アミノベンジルアルコール、ｐ−ジメチルアミノベンジルアルコール、ｐ−ジエチルアミノベンジルアルコールなどのアミノベンジルアルコール類、
ｏ−アミノフェノール、ｍ−アミノフェノール、ｐ−アミノフェノール、ｐ−ジメチルアミノフェノール、ｐ−ジエチルアミノフェノールなどのアミノフェノール類、
ｍ−アミノ安息香酸、ｐ−アミノ安息香酸、ｐ−ジメチルアミノ安息香酸、ｐ−ジエチルアミノ安息香酸などのアミノ安息香酸類などが挙げられる。
【００３６】
硬化剤は、パターンニングにおける現像後の加熱処理によって着色パターンを硬化させてその機械的強度を向上するために用いられる。かかる硬化剤としては、例えば加熱されることによってバインダーポリマーのカルボキシル基と反応してバインダーポリマーを架橋させ得る化合物が挙げられ、バインダーポリマーを架橋させることにより着色パターンを硬化させる。また、加熱されることによってそれ単独で重合し得る化合物であってもよく、単独で重合することにより色画素等が硬化する。かかる化合物としては、例えばエポキシ化合物、オキセタン化合物などが挙げられる。
【００３７】
エポキシ化合物としては、例えばビスフェノールＡ系エポキシ樹脂、水素化ビスフェノールＡ系エポキシ樹脂、ビスフェノールＦ系エポキシ樹脂、水素化ビスフェノールＦ系エポキシ樹脂、ノボラック型エポキシ樹脂、他の芳香族系エポキシ樹脂、脂環族系エポキシ樹脂、複素環式エポキシ樹脂、グリシジルエステル系樹脂、グリシジルアミン系樹脂、エポキシ化油等のエポキシ樹脂や、これらのエポキシ樹脂の臭素化誘導体、エポキシ樹脂およびその臭素化誘導体以外の脂肪族、脂環族または芳香族のエポキシ化合物、ブタジエンの（共）重合体のエポキシ化物、イソプレンの（共）重合体のエポキシ化物、グリシジル（メタ）アクリレートの（共）重合体、トリグリシジルイソシアヌレートなどが挙げられる。
【００３８】
オキセタン化合物としては、例えばカーボネートビスオキセタン、キシリレンビスオキセタン、アジペートビスオキセタン、テレフタレートビスオキセタン、シクロヘキサンジカルボン酸ビスオキセタンなどが挙げられる。
【００３９】
本発明の着色感光性組成物は、硬化剤と共にエポキシ化合物のエポキシ基、オキセタン化合物のオキセタン骨格を開環重合させ得る化合物を含んでいてもよい。かかる化合物としては、例えば多価カルボン酸類、多価カルボン酸無水物類、酸発生剤などが挙げられる。
【００４０】
多価カルボン酸類としては、例えばフタル酸、３，４−ジメチルフタル酸、イソフタル酸、テレフタル酸、ピロメリット酸、トリメリット酸、１，４，５，８−ナフタレンテトラカルボン酸、３，３’，４，４’−ベンゾフェノンテトラカルボン酸などの芳香族多価カルボン酸類、
こはく酸、グルタル酸、アジピン酸、１，２，３，４−ブタンテトラカルボン酸、マレイン酸、フマル酸、イタコン酸などの脂肪族多価カルボン酸類、
ヘキサヒドロフタル酸、３，４−ジメチルテトラヒドロフタル酸、ヘキサヒドロイソフタル酸、ヘキサヒドロテレフタル酸、１，２，４−シクロペンタントリカルボン酸、１，２，４−シクロヘキサントリカルボン酸、シクロペンタンテトラカルボン酸、１，２，４，５−シクロヘキサンテトラカルボン酸などの脂環族多価カルボン酸類などが挙げられる。
【００４１】
多価カルボン酸無水物類としては、例えば、無水フタル酸、無水ピロメリット酸、無水トリメリット酸、３，３’，４，４’−ベンゾフェノンテトラカルボン酸二無水物などの芳香族多価カルボン酸無水物類、
無水イタコン酸、無水こはく酸、無水シトラコン酸、無水ドデセニルコハク酸、無水トリカルバリル酸、無水マレイン酸、１，２，３，４−ブタンテトラカルボン酸二無水物などの脂肪族多価カルボン酸無水物類、
無水ヘキサヒドロフタル酸、３，４−ジメチルテトラヒドロフタル酸無水物、１，２，４−シクロペンタントリカルボン酸無水物、１，２，４−シクロヘキサントリカルボン酸無水物、シクロペンタンテトラカルボン酸二無水物、１，２，４，５−シクロヘキサンテトラカルボン酸二無水物、無水ハイミック酸、無水ナジン酸などの脂環族多価カルボン酸無水物類、
エチレングリコールビストリメリテイト酸、グリセリントリストリメリテイト無水物などのエステル基含有カルボン酸無水物類などが挙げられる。
【００４２】
カルボン酸無水物類として、エポキシ樹脂硬化剤として市販されているものを用いてもよい。かかるエポキシ樹脂硬化剤としては、例えば商品名「アデカハードナーＥＨ−７００」（旭電化工業(株)）、商品名「リカシッドＨＨ」（新日本理化(株)）、商品名「ＭＨ−７００」（新日本理化(株)）などが挙げられる。
【００４３】
かかる硬化剤は、それぞれ単独でまたは２種以上を組み合わせて用いることができる。
【００４４】
かかる本発明の着色感光性樹脂組成物は、例えば着色剤（Ａ）、バインダーポリマー（Ｂ）、２−メチル−２−モルホリノ−１−（４−メチルチオフェニル）プロパン−１−オンおよび４，４’−ビス（ジエチルアミノ）ベンゾフェノンを混合する方法により製造することができる。混合に際して、着色剤（Ａ）は通常、予め溶剤（Ｆ）と混合された混合物として用いられる。かかる混合物における着色剤（Ａ）の含有量は、着色剤（Ａ）および溶剤（Ｆ）の合計量１００質量部あたり通常５質量部以上、好ましくは１０質量部以上であり、通常６０質量部以下、好ましくは３０質量部以下である。着色剤（Ａ）として顔料を用いる場合には通常、顔料、顔料分散剤および溶剤との混合物が用いられる。混合物における顔料分散剤の含有量は着色剤１質量部あたり通常０．０１質量部以上、好ましくは０．０５質量部以上であり、通常１質量部以下、好ましくは０．０５質量部以下である。着色剤および溶剤の混合物は、バインダーポリマー（Ｂ）を含有していてもよい。
【００４５】
かかる混合物をバインダーポリマー（Ｂ）、２−メチル−２−モルホリノ−１−（４−メチルチオフェニル）プロパン−１−オンおよび４，４’−ビス（ジエチルアミノ）ベンゾフェノンと混合することにより、本発明の着色感光性樹脂組成物を得ることができる。
【００４６】
本発明の着色感光性樹脂組成物を用いて着色パターンを形成するには、例えば着色感光性樹脂組成物をパターンニングすればよく、具体的には基板（２）上に着色感光性樹脂組成物からなる層（４）を形成し（図２(a)）、該層（３）を露光した後（図２(b)）、現像すればよい（図２(c)）。
【００４７】
基板（２）としては、例えばガラス板、シリコンウェハー、プラスチック板などが挙げられる。基板としてシリコンウエハーなどを用いる場合、該シリコンウェハーの表面には電荷結合素子（ＣＣＤ）などが形成されていてもよい。
【００４８】
着色感光性樹脂組成物からなる層（４）を基板（２）の上に形成するには、例えば溶剤で希釈された状態の着色感光性樹脂組成物を回転塗布法（スピンコート法）などの方法で基板（２）上に塗布し、次いで溶剤などの揮発成分を揮発させればよい。揮発成分を揮発させるには、塗布後、加熱して乾燥させればよい。かくして形成される着色感光性樹脂組成物層（４）は、着色感光性樹脂組成物の固形分からなる層であり、揮発成分をほとんど含有しない。
【００４９】
次いで、着色感光性樹脂組成物層（４）を露光する。露光するには、例えばフォトマスク（６）を介して光線（５）を照射すればよい。光線（５）としては、通常、ｇ線（波長４３６ｎｍ）、ｉ線（波長３６５ｎｍ）などの紫外線が用いられる。フォトマスク（６）は、例えばガラス板（６１）などの表面に光線を遮蔽する遮光層（６２）が設けられたものであり、光線（５）は該遮光層（６２）によって、遮蔽される。ガラス板（６１）のうちの遮光層（６２）が設けられていない部分は、光線（５）が透過する透光部（６３）であって、この透光部（６３）のパターンに従って着色感光性樹脂組成物層（４）が露光される。光線（５）の照射量は、用いたバインダーポリマー（Ｂ）の種類、含有量、着色剤（Ａ）の種類、含有量、光重合性化合物（Ｃ）の種類、含有量、２−メチル−２−モルホリノ−１−（４−メチルチオフェニル）プロパン−１−オンおよび４，４’−ビス（ジエチルアミノ）ベンゾフェノンそれぞれの含有量は含有量比などに応じて適宜選択される。
【００５０】
露光後、現像する。現像するには、例えば露光後の着色感光性樹脂組成物層（４）を現像液に浸漬すればよい。現像液としては、例えば炭酸ナトリウム、炭酸カリウム、水酸化ナトリウム、水酸化カリウム、テトラメチルアンモニウムハイドロオキサイドなどのアルカリ性化合物の水溶液が用いられる。現像によって、着色感光性樹脂組成物層（４）のうちの光線未照射領域（４１）は除去される。その一方で、光線照射領域（４２）は残って、着色パターン（３）となる。
【００５１】
現像後、通常は水洗し乾燥する。乾燥後、加熱処理をしてもよい。加熱処理をすることによって、着色パターン（５）が硬化して、その機械的強度が向上する。着色感光性樹脂組成物が硬化剤を含有するものである場合には、加熱処理によって、着色パターン（５）の機械的強度をより向上することもできる。加熱処理における加熱温度は、通常１８０℃以上、好ましくは２００℃以上、２５０℃以下である。
【００５２】
かくして目的の着色パターン（３）を形成するが、着色感光性樹脂組成物に含有される着色剤（Ａ）の色を代えて、上記と同様にして基板（２）の上に着色感光性樹脂組成物層（４’）を再び形成し（図４(a)）、該層（４’）を露光した後（図４(b)）、現像することによって、さらに着色パターン（３’）を形成することができる。着色感光性樹脂組成物に含有される着色剤の色を代えながら上記操作を繰り返し行なうことによって（図５）、さらに着色パターン（３”）を形成することができ、目的とするカラーフィルター（１）を製造することができる。
【００５３】
かくして得られるカラーフィルター（１）は着色パターン（３）からなり、該着色パターン（３）は、本発明の着色感光性樹脂組成物が光線を照射されてなるものである。
【００５４】
【発明の効果】
本発明の着色感光性樹脂組成物によれば、断面形状が順テーパー状（図３(a)）ないし矩形状（図３(b)）の着色パターン（３）を容易に形成することができる。
【００５５】
【実施例】
以下実施例によって本発明をより詳細に説明するが、本発明はこれら実施例によって限定されるものではない。
【００５６】
実施例１
（着色感光性樹脂組成物の製造）
メタクリル酸とベンジルメタクリレートとの共重合体〔メタクリル酸単位と部ベンジルメタクリレート単位との組成比は物質量比（モル比）で３：６、重量平均分子量（Ｍｗ）は３５０００〕（０．６９８質量部）、
ジペンタエリスリトールヘキサアクリレート（０．６９８質量部）、
２−メチル−２−モルホリノ−１−（４−メチルチオフェニル）プロパン−１−オン（０．１６７質量部）、
４，４’−ビス（ジエチルアミノ）ベンゾフェノン（０．１６７質量部）およびプロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート（６．３１４質量部）の混合物に、
Ｃ．Ｉ．ピグメントグリーン３６（０．７１１質量部）、
ノニオン系界面活性剤（０．１４３質量部）および
プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート（３．７６４質量部）の混合物と、
Ｃ．Ｉ．ピグメントイエロー１５０（０．３７６質量部）、
ノニオン系界面活性剤（０．１８９質量部）、
メタクリル酸とベンジルメタクリレートとの共重合体〔メタクリル酸単位と部ベンジルメタクリレート単位との組成比は物質量比（モル比）で３：６、重量平均分子量（Ｍｗ）は３５０００〕（０．１４９質量部）および
プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート（１．７７４質量部）の混合物とを混合して、着色感光性樹脂組成物（緑色）を得た。この着色感光性樹脂組成物の組成を表１に示す。
【００５７】
（着色パターンの形成）
ガラス基板（コーニング社製、「＃７０５９」）（２）の表面上に、上記で得た着色感光性樹脂組成物をスピンコート法で塗布した後、１００℃３分間で揮発成分を揮発させて着色感光性樹脂組成物層（４）を形成した（図２(a)）。冷却後、この着色感光性樹脂組成物層（４）にフォトマスク（６）を介してｉ線〔波長３６５ｎｍ〕を照射した。ｉ線の光源には超高圧水銀ランプを用い、照射光量は１５０ｍＪ／ｃｍ2とした。フォトマスク（６）は、線幅３μｍ、４μｍ、５μｍ、６μｍ、７μｍ、８μｍ、９μｍ、１０μｍ、２０μｍ、３０μｍ、４０μｍ、５０μｍおよび１００μｍの線状の着色パターン（３）を形成するためのフォトマスクを用いた（図２(b)）。次いで、現像液（質量分率で水酸化カリウムを０．０５％、ブチルナフタレンスルホン酸ナトリウムを０．２％それぞれ含有する水溶液）に浸漬して現像し、純水で洗浄した後、２３０℃で２０分間加熱して、緑色の着色パターン（３）を形成した（図２(c)）。形成された着色パターン（３）の断面形状は、基板（２）の幅（Ｗ0）がその反対側の幅（Ｗ1）よりも広い順テーパー状であった（図３(a)）。
【００５８】
実施例２
（着色感光性樹脂組成物の製造）
メタクリル酸とベンジルメタクリレートとの共重合体、ジペンタエリスリトールヘキサアクリレート、２−メチル−２−モルホリノ−１−（４−メチルチオフェニル）プロパン−１−オン、４，４’−ビス（ジエチルアミノ）ベンゾフェノンおよびプロピレングリコールモノメチルエーテルアセテートの混合物の組成を、
メタクリル酸とベンジルメタクリレートとの共重合体（０．７２１質量部）、
ジペンタエリスリトールヘキサアクリレート（０．７２１質量部）、
２−メチル−２−モルホリノ−１−（４−メチルチオフェニル）プロパン−１−オン（０．１１５質量部）、
４，４’−ビス（ジエチルアミノ）ベンゾフェノン（０．１７３質量部）、
プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート（６．３１３質量部）とする以外は、実施例１と同様に操作して、着色感光性樹脂組成物（緑色）を得た。
この着色感光性樹脂組成物の組成を表１に示す。
【００５９】
（着色パターンの形成）
実施例１で得た着色感光性樹脂組成物に代えて、上記で得た着色感光性樹脂組成物を用いる以外は実施例１と同様に操作して、着色パターンを形成した。形成された着色パターンの断面形状は、順テーパー状であった。
【００６０】
実施例３
（着色感光性樹脂組成物の製造）
メタクリル酸とベンジルメタクリレートとの共重合体、ジペンタエリスリトールヘキサアクリレート、２−メチル−２−モルホリノ−１−（４−メチルチオフェニル）プロパン−１−オン、４，４’−ビス（ジエチルアミノ）ベンゾフェノンおよびプロピレングリコールモノメチルエーテルアセテートの混合物の組成を、
メタクリル酸とベンジルメタクリレートとの共重合体（０．６９８質量部）、
ジペンタエリスリトールヘキサアクリレート（０．６９８質量部）、
２−メチル−２−モルホリノ−１−（４−メチルチオフェニル）プロパン−１−オン（０．１１２質量部）、
４，４’−ビス（ジエチルアミノ）ベンゾフェノン（０．２２３質量部）、
プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート（６．３１４質量部）とする以外は、実施例１と同様に操作して、着色感光性樹脂組成物（緑色）を得た。
この着色感光性樹脂組成物の組成を表１に示す。
【００６１】
（着色パターンの形成）
実施例１で得た着色感光性樹脂組成物に代えて、上記で得た着色感光性樹脂組成物を用いる以外は実施例１と同様に操作して、着色パターンを形成した。形成された着色パターンの断面形状は、順テーパー状であった。
【００６２】
実施例４
（着色感光性樹脂組成物の製造）
メタクリル酸とベンジルメタクリレートとの共重合体、ジペンタエリスリトールヘキサアクリレート、２−メチル−２−モルホリノ−１−（４−メチルチオフェニル）プロパン−１−オン、４，４’−ビス（ジエチルアミノ）ベンゾフェノンおよびプロピレングリコールモノメチルエーテルアセテートの混合物の組成を、
メタクリル酸とベンジルメタクリレートとの共重合体（０．６７６質量部）、
ジペンタエリスリトールヘキサアクリレート（０．６７６質量部）、
２−メチル−２−モルホリノ−１−（４−メチルチオフェニル）プロパン−１−オン（０．１６２質量部）、
４，４’−ビス（ジエチルアミノ）ベンゾフェノン（０．２１６質量部）、
プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート（６．３１３質量部）とする以外は、実施例１と同様に操作して、着色感光性樹脂組成物（緑色）を得た。
この着色感光性樹脂組成物の組成を表１に示す。
【００６３】
（着色パターンの形成）
実施例１で得た着色感光性樹脂組成物に代えて、上記で得た着色感光性樹脂組成物を用いる以外は実施例１と同様に操作して、着色パターンを形成した。形成された着色パターンの断面形状は、順テーパー状であった。
【００６４】
実施例５
（着色感光性樹脂組成物の製造）
メタクリル酸とベンジルメタクリレートとの共重合体、ジペンタエリスリトールヘキサアクリレート、２−メチル−２−モルホリノ−１−（４−メチルチオフェニル）プロパン−１−オン、４，４’−ビス（ジエチルアミノ）ベンゾフェノンおよびプロピレングリコールモノメチルエーテルアセテートの混合物の組成を、
メタクリル酸とベンジルメタクリレートとの共重合体（０．６５５質量部）、
ジペンタエリスリトールヘキサアクリレート（０．６５５質量部）、
２−メチル−２−モルホリノ−１−（４−メチルチオフェニル）プロパン−１−オン（０．２１０質量部）、
４，４’−ビス（ジエチルアミノ）ベンゾフェノン（０．２１０質量部）、
プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート（６．３１４質量部）とする以外は、実施例１と同様に操作して、着色感光性樹脂組成物（緑色）を得た。
この着色感光性樹脂組成物の組成を表１に示す。
【００６５】
（着色パターンの形成）
実施例１で得た着色感光性樹脂組成物に代えて、上記で得た着色感光性樹脂組成物を用いる以外は実施例１と同様に操作して、着色パターンを形成した。形成された着色パターンの断面形状は、順テーパー状であった。
【００６６】
実施例６
（着色感光性樹脂組成物の製造）
メタクリル酸とベンジルメタクリレートとの共重合体、ジペンタエリスリトールヘキサアクリレート、２−メチル−２−モルホリノ−１−（４−メチルチオフェニル）プロパン−１−オン、４，４’−ビス（ジエチルアミノ）ベンゾフェノンおよびプロピレングリコールモノメチルエーテルアセテートの混合物の組成を、
メタクリル酸とベンジルメタクリレートとの共重合体（０．６５５質量部）、
ジペンタエリスリトールヘキサアクリレート（０．６５５質量部）、
２−メチル−２−モルホリノ−１−（４−メチルチオフェニル）プロパン−１−オン（０．１５７質量部）、
４，４’−ビス（ジエチルアミノ）ベンゾフェノン（０．２６２質量部）、
プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート（６．３１４量部）とする以外は、実施例１と同様に操作して、着色感光性樹脂組成物（緑色）を得た。この着色感光性樹脂組成物の組成を表１に示す。
【００６７】
（着色パターンの形成）
実施例１で得た着色感光性樹脂組成物に代えて、上記で得た着色感光性樹脂組成物を用いる以外は実施例１と同様に操作して、着色パターンを形成した。形成された着色パターンの断面形状は、順テーパー状であった。
【００６８】
実施例７
（着色感光性樹脂組成物の製造）
メタクリル酸とベンジルメタクリレートとの共重合体、ジペンタエリスリトールヘキサアクリレート、２−メチル−２−モルホリノ−１−（４−メチルチオフェニル）プロパン−１−オン、４，４’−ビス（ジエチルアミノ）ベンゾフェノンおよびプロピレングリコールモノメチルエーテルアセテートの混合物の組成を、
メタクリル酸とベンジルメタクリレートとの共重合体（０．６３６質量部）、
ジペンタエリスリトールヘキサアクリレート（０．６３６質量部）、
２−メチル−２−モルホリノ−１−（４−メチルチオフェニル）プロパン−１−オン（０．２０４質量部）、
４，４’−ビス（ジエチルアミノ）ベンゾフェノン（０．２５４質量部）、
プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート（６．３１３質量部）とする以外は、実施例１と同様に操作して、着色感光性樹脂組成物（緑色）を得た。
この着色感光性樹脂組成物の組成を表１に示す。
【００６９】
（着色パターンの形成）
実施例１で得た着色感光性樹脂組成物に代えて、上記で得た着色感光性樹脂組成物を用いる以外は実施例１と同様に操作して、着色パターンを形成した。形成された着色パターンの断面形状は、順テーパー状であった。
【００７０】
実施例８
（着色感光性樹脂組成物の製造）
メタクリル酸とベンジルメタクリレートとの共重合体、ジペンタエリスリトールヘキサアクリレート、２−メチル−２−モルホリノ−１−（４−メチルチオフェニル）プロパン−１−オン、４，４’−ビス（ジエチルアミノ）ベンゾフェノンおよびプロピレングリコールモノメチルエーテルアセテートの混合物の組成を、
メタクリル酸とベンジルメタクリレートとの共重合体（０．６１８質量部）、
ジペンタエリスリトールヘキサアクリレート（０．６１８質量部）、
２−メチル−２−モルホリノ−１−（４−メチルチオフェニル）プロパン−１−オン（０．２４７質量部）、
４，４’−ビス（ジエチルアミノ）ベンゾフェノン（０．２４７質量部）、
プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート（６．３１３質量部）とする以外は、実施例１と同様に操作して、着色感光性樹脂組成物（緑色）を得た。
この着色感光性樹脂組成物の組成を表１に示す。
【００７１】
（着色パターンの形成）
実施例１で得た着色感光性樹脂組成物に代えて、上記で得た着色感光性樹脂組成物を用いる以外は実施例１と同様に操作して、着色パターンを形成した。形成された着色パターンの断面形状は、順テーパー状であった。
【００７２】
実施例９
（着色感光性樹脂組成物の製造）
メタクリル酸とベンジルメタクリレートとの共重合体、ジペンタエリスリトールヘキサアクリレート、２−メチル−２−モルホリノ−１−（４−メチルチオフェニル）プロパン−１−オン、４，４’−ビス（ジエチルアミノ）ベンゾフェノンおよびプロピレングリコールモノメチルエーテルアセテートの混合物の組成を、
メタクリル酸とベンジルメタクリレートとの共重合体（０．７３３質量部）、
ジペンタエリスリトールヘキサアクリレート（０．７３３質量部）、
２−メチル−２−モルホリノ−１−（４−メチルチオフェニル）プロパン−１−オン（０．０５９質量部）、
４，４’−ビス（ジエチルアミノ）ベンゾフェノン（０．２０５質量部）、
プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート（６．３１４質量部）とする以外は、実施例１と同様に操作して、着色感光性樹脂組成物（緑色）を得た。
この着色感光性樹脂組成物の組成を表１に示す。
【００７３】
（着色パターンの形成）
実施例１で得た着色感光性樹脂組成物に代えて、上記で得た着色感光性樹脂組成物を用いる以外は実施例１と同様に操作して、着色パターンを形成した。形成された着色パターンの断面形状は、順テーパー状であった。
【００７４】
実施例１０
（着色感光性樹脂組成物の製造）
メタクリル酸とベンジルメタクリレートとの共重合体、ジペンタエリスリトールヘキサアクリレート、２−メチル−２−モルホリノ−１−（４−メチルチオフェニル）プロパン−１−オン、４，４’−ビス（ジエチルアミノ）ベンゾフェノンおよびプロピレングリコールモノメチルエーテルアセテートの混合物の組成を、
メタクリル酸とベンジルメタクリレートとの共重合体（０．７２１質量部）、
ジペンタエリスリトールヘキサアクリレート（０．７２１質量部）、
２−メチル−２−モルホリノ−１−（４−メチルチオフェニル）プロパン−１−オン（０．０８７質量部）、
４，４’−ビス（ジエチルアミノ）ベンゾフェノン（０．２０２質量部）、
プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート（６．３１３質量部）とする以外は、実施例１と同様に操作して、着色感光性樹脂組成物（緑色）を得た。
この着色感光性樹脂組成物の組成を表１に示す。
【００７５】
（着色パターンの形成）
実施例１で得た着色感光性樹脂組成物に代えて、上記で得た着色感光性樹脂組成物を用いる以外は実施例１と同様に操作して、着色パターンを形成した。形成された着色パターンの断面形状は、順テーパー状であった。
【００７６】
実施例１１
（着色感光性樹脂組成物の製造）
メタクリル酸とベンジルメタクリレートとの共重合体、ジペンタエリスリトールヘキサアクリレート、２−メチル−２−モルホリノ−１−（４−メチルチオフェニル）プロパン−１−オン、４，４’−ビス（ジエチルアミノ）ベンゾフェノンおよびプロピレングリコールモノメチルエーテルアセテートの混合物の組成を、
メタクリル酸とベンジルメタクリレートとの共重合体（０．７０９質量部）、
ジペンタエリスリトールヘキサアクリレート（０．７０９質量部）、
２−メチル−２−モルホリノ−１−（４−メチルチオフェニル）プロパン−１−オン（０．１１３質量部）、
４，４’−ビス（ジエチルアミノ）ベンゾフェノン（０．１９９質量部）、
プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート（６．３１４質量部）とする以外は、実施例１と同様に操作して、着色感光性樹脂組成物（緑色）を得た。
この着色感光性樹脂組成物の組成を表１に示す。
【００７７】
（着色パターンの形成）
実施例１で得た着色感光性樹脂組成物に代えて、上記で得た着色感光性樹脂組成物を用いる以外は実施例１と同様に操作して、着色パターンを形成した。形成された着色パターンの断面形状は、順テーパー状であった。
【００７８】
実施例１２
（着色感光性樹脂組成物の製造）
メタクリル酸とベンジルメタクリレートとの共重合体、ジペンタエリスリトールヘキサアクリレート、２−メチル−２−モルホリノ−１−（４−メチルチオフェニル）プロパン−１−オン、４，４’−ビス（ジエチルアミノ）ベンゾフェノンおよびプロピレングリコールモノメチルエーテルアセテートの混合物の組成を、
メタクリル酸とベンジルメタクリレートとの共重合体（０．７４６質量部）、
ジペンタエリスリトールヘキサアクリレート（０．７４６質量部）、
２−メチル−２−モルホリノ−１−（４−メチルチオフェニル）プロパン−１−オン（０．０６０質量部）、
４，４’−ビス（ジエチルアミノ）ベンゾフェノン（０．１７９質量部）、
プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート（６．３１３質量部）とする以外は、実施例１と同様に操作して、着色感光性樹脂組成物（緑色）を得た。
この着色感光性樹脂組成物の組成を表１に示す。
【００７９】
（着色パターンの形成）
実施例１で得た着色感光性樹脂組成物に代えて、上記で得た着色感光性樹脂組成物を用いる以外は実施例１と同様に操作して、着色パターンを形成した。形成された着色パターンの断面形状は、順テーパー状であった。
【００８０】
比較例１
（着色感光性樹脂組成物の製造）
メタクリル酸とベンジルメタクリレートとの共重合体、ジペンタエリスリトールヘキサアクリレート、２−メチル−２−モルホリノ−１−（４−メチルチオフェニル）プロパン−１−オン、４，４’−ビス（ジエチルアミノ）ベンゾフェノンおよびプロピレングリコールモノメチルエーテルアセテートの混合物の組成を、
メタクリル酸とベンジルメタクリレートとの共重合体（０．７４６質量部）、
ジペンタエリスリトールヘキサアクリレート（０．７４６質量部）、
２−メチル−２−モルホリノ−１−（４−メチルチオフェニル）プロパン−１−オン（０．１７９質量部）、
４，４’−ビス（ジエチルアミノ）ベンゾフェノン（０．０６０質量部）、
プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート（６．３１３質量部）とする以外は、実施例１と同様に操作して、着色感光性樹脂組成物（緑色）を得た。
この着色感光性樹脂組成物の組成を表１に示す。
【００８１】
（着色パターンの形成）
実施例１で得た着色感光性樹脂組成物に代えて、上記で得た着色感光性樹脂組成物を用いる以外は実施例１と同様に操作して、着色パターンを形成した。形成された着色パターン（３）の断面形状は、基板（２）の幅（Ｗ0）がその反対側の幅（Ｗ1）よりも狭い逆テーパー状であった（図３(c)）。
【００８２】
比較例２
（着色感光性樹脂組成物の製造）
メタクリル酸とベンジルメタクリレートとの共重合体、ジペンタエリスリトールヘキサアクリレート、２−メチル−２−モルホリノ−１−（４−メチルチオフェニル）プロパン−１−オン、４，４’−ビス（ジエチルアミノ）ベンゾフェノンおよびプロピレングリコールモノメチルエーテルアセテートの混合物の組成を、
メタクリル酸とベンジルメタクリレートとの共重合体（０．７４６質量部）、
ジペンタエリスリトールヘキサアクリレート（０．７４６質量部）、
２−メチル−２−モルホリノ−１−（４−メチルチオフェニル）プロパン−１−オン（０．１１９質量部）、
４，４’−ビス（ジエチルアミノ）ベンゾフェノン（０．１１９質量部）、
プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート（６．３１３質量部）とする以外は、実施例１と同様に操作して、着色感光性樹脂組成物（緑色）を得た。
この着色感光性樹脂組成物の組成を表１に示す。
【００８３】
（着色パターンの形成）
実施例１で得た着色感光性樹脂組成物に代えて、上記で得た着色感光性樹脂組成物を用いる以外は実施例１と同様に操作して、着色パターンを形成した。形成された着色パターン（３）の断面形状は、逆テーパー状であった。
【００８４】
比較例３
（着色感光性樹脂組成物の製造）
メタクリル酸とベンジルメタクリレートとの共重合体、ジペンタエリスリトールヘキサアクリレート、２−メチル−２−モルホリノ−１−（４−メチルチオフェニル）プロパン−１−オン、４，４’−ビス（ジエチルアミノ）ベンゾフェノンおよびプロピレングリコールモノメチルエーテルアセテートの混合物の組成を、
メタクリル酸とベンジルメタクリレートとの共重合体（０．７２２質量部）、
ジペンタエリスリトールヘキサアクリレート（０．７７２質量部）、
２−メチル−２−モルホリノ−１−（４−メチルチオフェニル）プロパン−１−オン（０．０６２質量部）、
４，４’−ビス（ジエチルアミノ）ベンゾフェノン（０．１２４質量部）、
プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート（６．３１４質量部）とする以外は、実施例１と同様に操作して、着色感光性樹脂組成物（緑色）を得た。
この着色感光性樹脂組成物の組成を表１に示す。
【００８５】
（着色パターンの形成）
実施例１で得た着色感光性樹脂組成物に代えて、上記で得た着色感光性樹脂組成物を用いる以外は実施例１と同様に操作して、着色パターンを形成した。形成された着色パターン（３）の断面形状は、逆テーパー状であった。
【図面の簡単な説明】
【図１】カラーフィルターの模式図である。
【図２】本発明の着色感光性樹脂組成物を用いて着色パターンを形成する工程を示す模式図である。
【図３】着色パターンの断面形状を示す模式図である。
【図４】着色感光性樹脂組成物を用いて着色パターンを形成する工程を示す模式図である。
【図５】着色感光性樹脂組成物を用いて着色パターンを形成する工程を示す模式図である。
【符号の説明】
１ ：カラーフィルター
２ ：基板
３、３’、３”：着色パターン ３Ｒ：赤色画素
３Ｇ：緑色画素
３Ｂ：青色画素
３BM：ブラックマトリックス
４、４’、４”：着色感光性樹脂組成物層
５ ：光線
６ ：フォトマスク ６１：ガラス基板
６２：遮光層
６３：透光部
【発明の属する技術分野】
本発明は、着色感光性樹脂組成物に関する。
【０００２】
【従来の技術】
着色感光性樹脂組成物（カラーレジスト）は、着色剤を含有していて着色されている感光性樹脂組成物（レジスト）であって、例えばカラーフィルターを製造するための原材料として有用である。ここで、カラーフィルター（１）とは、例えばカラー液晶表示装置の表示画像をカラー化したり、カラー固体雑造素子に組込まれてカラー画像を得るために用いられる光学素子であって、基板（２）の上の同一平面上に形成された着色パターン（３）からなるものが知られている（図１）。
【０００３】
従来から、かかる着色感光性樹脂組成物として、着色剤（Ａ）、バインダーポリマー（Ｂ）、重合性化合物（Ｃ）、光重合開始剤（Ｄ）および光重合開始助剤（Ｅ）を含有するものが知られており、光重合開始剤（Ｄ）として２−メチル−２−モルホリノ−１−（４−メチルチオフェニル）プロパン−１−オンを含有し、光重合開始助剤（Ｅ）として４，４’−ビス（ジエチルアミノ）ベンゾフェノンを含有するものも知られている。かかる従来の着色感光性樹脂組成物における４，４’−ビス（ジエチルアミノ）ベンゾフェノンの含有量は、２−メチル−２−モルホリノ−１−（４−メチルチオフェニル）プロパン−１−オン（１質量部）あたり０．８質量部未満である。
【０００４】
かかる着色感光性樹脂組成物を用いてカラーフィルター（１）を製造するには、例えば着色感光性樹脂組成物をパターンニングすればよく、具体的には基板（２）上に着色感光性樹脂組成物からなる層（４）を形成し（図２(a)）、該層（４）を露光した後（図２(b)）、現像すればよい（図２(c)）。着色感光性樹脂組成物層（４）には、露光において光線（５）が照射されない光線未照射領域（４１）と光線（５）が照射された光線照射領域（４２）とが生ずるが、光線未照射領域（４１）は次の現像において除去される。その一方で光線照射領域（４２）は除去されることなく残って、着色パターン（３）となる。かくして形成される着色パターン（３）は、その断面形状が順テーパー状（図３(a)）ないし矩形状（図３(b)）であることが好ましい。
【０００５】
しかし、従来の着色感光性樹脂組成物をパターンニングして形成される着色パターンはその断面形状が逆テーパー状（図３(c)）となる場合があった。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】
そこで本発明者は、断面形状が順テーパー状ないし矩形状の着色パターンを与え得る着色感光性樹脂組成物を開発するべく鋭意検討した結果、４，４’−ビス（ジエチルアミノ）ベンゾフェノンの含有量を２−メチル−２−モルホリノ−１−（４−メチルチオフェニル）プロパン−１−オン（１質量部）あたり０．８質量部以上とし、バインダーポリマー（Ｂ）および光重合性化合物（Ｃ）の合計量１００質量部あたり８質量部以上とすることにより、得られる着色パターンの断面形状を順テーパー状ないし矩形状とし得ることを見出し、本発明に至った。
【０００７】
【課題を解決するための手段】
すなわち本発明は、着色剤（Ａ）、バインダーポリマー（Ｂ）、光重合性化合物（Ｃ）、２−メチル−２−モルホリノ−１−（４−メチルチオフェニル）プロパン−１−オンおよび４，４’−ビス（ジエチルアミノ）ベンゾフェノンを含有し、
４，４’−ビス（ジエチルアミノ）ベンゾフェノンの含有量が、２−メチル−２−モルホリノ−１−（４−メチルチオフェニル）プロパン−１−オン（１質量部）あたり０．８質量部以上であり、バインダーポリマー（Ｂ）および光重合性化合物（Ｃ）の合計量１００質量部あたり８質量部以上であることを特徴とする着色感光性樹脂組成物を提供するものである。
【０００８】
【発明の実施の形態】
本発明の着色感光性樹脂組成物は、着色剤（Ａ）、バインダーポリマー（Ｂ）、光重合性化合物（Ｃ）、２−メチル−２−モルホリノ−１−（４−メチルチオフェニル）プロパン−１−オンおよび４，４’−ビス（ジエチルアミノ）ベンゾフェノンを含有する。
【０００９】
着色剤（Ａ）は、有機物である有機着色剤であってもよいし、無機物である無機着色剤であってもよい。有機着色剤は、顔料であってもよいし、染料であってもよい。また、合成色素であってもよいし、天然色素であってもよい。無機着色剤は、金属酸化物、金属錯塩、硫酸バリウムの無機塩（体質顔料）などの無機顔料であってもよい。かかる着色剤のなかでも、耐熱性、発色性に優れる点で、有機着色剤、さらには有機顔料が好ましく用いられる。
【００１０】
有機顔料として具体的には、カラーインデックス（The Society of Dyers and Colourists出版）でピグメント（Pigment）に分類されている化合物が挙げられる。具体的にはＣ．Ｉ．ピグメントイエロー１、Ｃ．Ｉ．ピグメントイエロー３、Ｃ．Ｉ．ピグメントイエロー１２、Ｃ．Ｉ．ピグメントイエロー１３、Ｃ．Ｉ．ピグメントイエロー１４、Ｃ．Ｉ．ピグメントイエロー１５、Ｃ．Ｉ．ピグメントイエロー１６、Ｃ．Ｉ．ピグメントイエロー１７、Ｃ．Ｉ．ピグメントイエロー２０、Ｃ．Ｉ．ピグメントイエロー２４、Ｃ．Ｉ．ピグメントイエロー３１、Ｃ．Ｉ．ピグメントイエロー５３、Ｃ．Ｉ．ピグメントイエロー８３、Ｃ．Ｉ．ピグメントイエロー８６、Ｃ．Ｉ．ピグメントイエロー９３、Ｃ．Ｉ．ピグメントイエロー９４、Ｃ．Ｉ．ピグメントイエロー１０９、Ｃ．Ｉ．ピグメントイエロー１１０、Ｃ．Ｉ．ピグメントイエロー１１７、Ｃ．Ｉ．ピグメントイエロー１２５、Ｃ．Ｉ．ピグメントイエロー１２８、Ｃ．Ｉ．ピグメントイエロー１３７、Ｃ．Ｉ．ピグメントイエロー１３８、Ｃ．Ｉ．ピグメントイエロー１３９、Ｃ．Ｉ．ピグメントイエロー１４７、Ｃ．Ｉ．ピグメントイエロー１４８、Ｃ．Ｉ．ピグメントイエロー１５０、Ｃ．Ｉ．ピグメントイエロー１５３、Ｃ．Ｉ．ピグメントイエロー１５４、Ｃ．Ｉ．ピグメントイエロー１６６、Ｃ．Ｉ．ピグメントイエロー１７３、
Ｃ．Ｉ．ピグメントオレンジ１３、Ｃ．Ｉ．ピグメントオレンジ３１、Ｃ．Ｉ．ピグメントオレンジ３６、Ｃ．Ｉ．ピグメントオレンジ３８、Ｃ．Ｉ．ピグメントオレンジ４０、Ｃ．Ｉ．ピグメントオレンジ４２、Ｃ．Ｉ．ピグメントオレンジ４３、Ｃ．Ｉ．ピグメントオレンジ５１、Ｃ．Ｉ．ピグメントオレンジ５５、Ｃ．Ｉ．ピグメントオレンジ５９、Ｃ．Ｉ．ピグメントオレンジ６１、Ｃ．Ｉ．ピグメントオレンジ６４、Ｃ．Ｉ．ピグメントオレンジ６５、Ｃ．Ｉ．ピグメントオレンジ７１、Ｃ．Ｉ．ピグメントオレンジ７３、
Ｃ．Ｉ．ピグメントレッド９、Ｃ．Ｉ．ピグメントレッド９７、Ｃ．Ｉ．ピグメントレッド１０５、Ｃ．Ｉ．ピグメントレッド１２２、Ｃ．Ｉ．ピグメントレッド１２３、Ｃ．Ｉ．ピグメントレッド１４４、Ｃ．Ｉ．ピグメントレッド１４９、Ｃ．Ｉ．ピグメントレッド１６６、Ｃ．Ｉ．ピグメントレッド１６８、Ｃ．Ｉ．ピグメントレッド１７６、Ｃ．Ｉ．ピグメントレッド１７７、Ｃ．Ｉ．ピグメントレッド１８０、Ｃ．Ｉ．ピグメントレッド１９２、Ｃ．Ｉ．ピグメントレッド２１５、Ｃ．Ｉ．ピグメントレッド２１６、Ｃ．Ｉ．ピグメントレッド２２４、Ｃ．Ｉ．ピグメントレッド２４２、Ｃ．Ｉ．ピグメントレッド２５４、Ｃ．Ｉ．ピグメンレッド２６４、Ｃ．Ｉ．ピグメントレッド２６５、
Ｃ．Ｉ．ピグメントブルー１５、Ｃ．Ｉ．ピグメントブルー１５：３、Ｃ．Ｉ．ピグメントブルー１５：４、Ｃ．Ｉ．ピグメントブルー１５：６、Ｃ．Ｉ．ピグメントブルー６０、
Ｃ．Ｉ．ピグメントバイオレット１、Ｃ．Ｉ．ピグメントバイオレット１９、Ｃ．Ｉ．ピグメントバイオレット２３、Ｃ．Ｉ．ピグメントバイオレット２９、Ｃ．Ｉ．ピグメントバイオレット３２、Ｃ．Ｉ．ピグメントバイオレット３６、Ｃ．Ｉ．ピグメントバイオレット３８、
Ｃ．Ｉ．ピグメントグリーン７、Ｃ．Ｉ．ピグメントグリーン３６、
Ｃ．Ｉ．ピグメントブラウン２３、Ｃ．Ｉ．ピグメントブラウン２５、
Ｃ．Ｉ．ピグメントブラック１、Ｃ．Ｉ．ピグメントブラック７などが挙げられる。これらの有機顔料は、それぞれ単独で用いてもよいし、２種以上を混合して用いてもよい。
【００１１】
有機顔料は必要に応じて、ロジン処理、酸性基または塩基性基が導入された顔料誘導体などを用いた表面処理、高分子化合物などによる顔料表面へのグラフト処理、硫酸微粒化法などによる微粒化処理、あるいは不純物を除去するための有機溶剤や水などによる洗浄処理が施されていてもよい。
【００１２】
着色剤（Ａ）の使用量は、本発明の着色感光性樹脂組成物の揮発成分が揮発した後の固形分に対して質量分率で通常５％以上、好ましくは１０％以上であり、通常６０％以下、好ましくは５０％以下の範囲であるが、着色剤（Ａ）の使用量が固形分に対して、例えば２０％以上、さらには３０％以上であっても、本発明の着色感光性樹脂組成物をパターンニングして形成される着色パターンの断面形状を順テーパー状ないし矩形状となし得る。また、着色剤（Ａ）として有機顔料を用いる場合、該有機顔料の使用量は着色剤（Ａ）の全量に対して質量分率で通常５０％以上、好ましくは５５％以上である。
【００１３】
バインダーポリマー（Ｂ）は、着色剤を分散し得、着色感光性樹脂組成物層（４）に、現像においてその光線未照射領域（４１）を除去し、光線照射領域（４２）を残す機能を付与し得るポリマーが使用される（図２）。かかるバインダーポリマーとしては、例えばカルボキシル基を含有する単量体単位からなるポリマーが好ましい。
【００１４】
カルボキシル基を含有する単量体としては、例えば不飽和カルボン酸、府飽和ジカルボン酸などのような、分子中に１個以上のカルボキシル基を含有する不飽和カルボン酸が挙げられ、具体的にはアクリル酸、メタクリル酸、クロトン酸、イタコン酸、マレイン酸、フマル酸などが挙げられる。かかる単量体は、炭素−炭素不飽和結合を有する化合物であり、それぞれ単独でまたは２種以上を組合わせて用いることができる。
【００１５】
バインダーポリマーは、かかるカルボキシル基を有する単量体の単独重合体であってもよいが、該単量体と他の単量体との共重合体であってもよい。他の単量体は、例えば炭素−炭素不飽和結合を有し、カルボキシル基を有する単量体と共重合し得る単量体であり、具体的には、例えばスチレン、α−メチルスチレン、ビニルトルエンなどの芳香族ビニル化合物、メチルアクリレート、メチルメタクリレート、エチルアクリレート、エチルメタクリレート、ブチルアクリレート、ブチルメタクリレート、２−ヒドロキシエチルアクリレート、２−ヒドロキシエチルメタクリレート、ベンジルアクリレート、ベンジルメタクリレートなどの不飽和カルボン酸エステル化合物、アミノエチルアクリレートなどの不飽和カルボン酸アミノアルキルエステル化合物、グリシジルアクリレート、グリシジルメタクリレートなどの不飽和カルボン酸グリシジルエステル化合物、酢酸ビニル、プロピオン酸ビニルなどのカルボン酸ビニルエステル化合物、アクリロニトリル、メタクリロニトリル、α−クロロアクリロニトリルなどのシアン化ビニル化合物、３−メチル−３−アクリロキシメチルオキセタン、３−メチル−３−メタクリロキシメチルオキセタン、３−エチル−３−アクリロキシメチルオキセタン、３−エチル−３−メタクリロキシメチルオキセタン、３−メチル−３−アクリロキシエチルオキセタン、３−メチル−３−メタクリロキシエチルオキセタン、３−メチル−３−アクリロキシエチルオキセタン、３−メチル−３−メタクリロキシエチルオキセタンのような不飽和カルボン酸オキセタンエステル化合物などが挙げられる。これらの単量体はそれぞれ単独でまたは２種以上を組み合わせて用いられる。
【００１６】
かかる共重合体としては、例えば３−エチル−３−メタクリロキシメチルオキセタン／ベンジルメタクリレート／メタクリル酸共重合体、３−エチル−３−メタクリロキシメチルオキセタン／ベンジルメタクリレート／メタクリル酸／スチレン共重合体、３−エチル−３−メタクリロキシメチルオキセタン／メチルメタクリレート／メタクリル酸共重合体、３−エチル−３−メタクリロキシメチルオキセタン／メチルメタクリレート／メタクリル酸／スチレン共重合体などが挙げられる。かかる共重合体におけるカルボキシル基を有する単量体単位の含有量は質量分率で５％以上５０％以下、好ましくは１０％以上４０％以下程度である。
【００１７】
かかるバインダーポリマーは、ポリスチレンを標準としてゲルパーミェーションクロマトグラフィー（ＧＰＣ）で求められる重量平均分子量（Ｍｗ）が５，０００〜４００，０００の範囲、さらには１０，０００〜３００，０００の範囲にあるのが好ましい。
【００１８】
バインダーポリマー（Ｂ）の含有量は、着色感光性組成物の固形分に対して質量分率で通常５％以上、好ましくは２０％以上、通常９０％以下、好ましくは７０％以下程度の範囲である。
【００１９】
光重合性化合物（Ｃ）は、光線を照射されることによって２−メチル−２−モルホリノ−１−（４−メチルチオフェニル）プロパン−１−オンから発生した活性ラジカルによって重合し得る化合物であって、例えば重合性炭素−炭素不飽和結合を有する化合物などが挙げられる。かかる化合物は、単官能の光重合性化合物であってもよいし、２官能または３官能以上の多官能の光重合性化合物であってもよい。
【００２０】
単官能光重合性化合物としては、例えばノニルフェニルカルビトールアクリレート、２−ヒドロキシ−３−フェノキシプロピルアクリレート、２−エチルヘキシルカルビトールアクリレート、２−ヒドロキシエチルアクリレート、Ｎ−ビニルピロリドンなどが挙げられる。
【００２１】
２官能光重合性化合物としては、例えば１，６−ヘキサンジオールジアクリレート、１，６−ヘキサンジオールジメタクリレート、エチレングリコールジアクリレート、エチレングリコールジメタクリレート、ネオペンチルグリコールジアクリレート、ネオペンチルグリコールジメタクリレート、トリエチレングリコールジアクリレート、トリエチレングリコールジメタクリレート、ビスフェノールＡのビス（アクリロイロキシエチル）エーテル、３−メチルペンタンジオールジアクリレート、３−メチルペンタンジオールジメタクリレートなどが挙げられる。
【００２２】
３官能以上の多官能光重合性化合物としては、例えばトリメチロールプロパントリアクリレート、トリメチロールプロパントリメタクリレート、ペンタエリスリトールトリアクリレート、ペンタエリスリトールトリメタクリレート、ペンタエリスリトールテトラアクリレート、ペンタエリスリトールテトラメタクリレート、ジペンタエリスリトールペンタアクリレート、ジペンタエリスリトールペンタメタクリレート、ジペンタエリスリトールヘキサアクリレート、ジペンタエリスリトールヘキサメタクリレートなどが挙げられる。
【００２３】
かかる光重合性化合物はそれぞれ単独でまたは２種以上を組み合わせて用いられるが、２官能以上の多官能光重合性化合物が好ましく用いられ、２種以上の光重合性化合物を用いる場合には１以上の多官能光重合性化合物を用いることが好ましい。
【００２４】
かかる光重合性化合物（Ｃ）の使用量は、バインダーポリマー（Ｂ）および光重合性化合物（Ｃ）の合計量１００質量部あたり通常は０．１質量部以上７０質量部以下、好ましくは１質量部以上６０質量部以下である。
【００２５】
２−メチル−２−モルホリノ−１−（４−メチルチオフェニル）プロパン−１−オンの含有量は、バインダーポリマー（Ｂ）および光重合性化合物（Ｃ）の合計量１００質量部あたり通常は２質量部以上であり、好ましくは４質量部以上であり、通常３６質量部以下、好ましくは２４質量部以下である。
【００２６】
４，４’−ビス（ジエチルアミノ）ベンゾフェノンの含有量は、２−メチル−２−モルホリノ−１−（４−メチルチオフェニル）プロパン−１−オンの含有量１質量部あたり０．８質量部以上であるが、好ましくは０．９質量部以上であり、通常は５質量部以下、好ましくは４量部以下である。また、４，４’−ビス（ジエチルアミノ）ベンゾフェノンは、その含有量がバインダーポリマー（Ｂ）および光重合性化合物（Ｃ）の合計量１００質量部あたり８質量部以上であり、通常は３６質量部以下、好ましくは２４質量部以下となるように使用される。
【００２７】
本発明の着色感光性樹脂組成物は通常、溶剤（Ｆ）で希釈された状態で保存され、パターンニングに使用される。溶剤としては、通常の着色感光性樹脂組成物に用いられると同様の溶剤を用いることができ、例えばエチレングリコールモノメチルエーテル、エチレングリコールモノエチルエーテル、エチレングリコールモノプロピルエーテル及びエチレングリコールモノブチルエーテルなどのエチレングリコールモノアルキルエーテル類、
ジエチレングリコールジメチルエーテル、ジエチレングリコールジエチルエーテル、ジエチレングリコールジプロピルエーテル及びジエチレングリコールジブチルエーテルなどのジエチレングリコールジアルキルエーテル類、
メチルセロソルブアセテート、エチルセロソルブアセテートなどのエチレングリコールアルキルエーテルアセテート類、
プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート、プロピレングリコールモノエチルエーテルアセテート、プロピレングリコールモノプロピルエーテルアセテート、メトキシブチルアセテート及びメトキシペンチルアセテートなどのアルキレングリコールアルキルエーテルアセテート類、
ベンゼン、トルエン、キシレンなどの芳香族炭化水素類、
メチルエチルケトン、アセトン、メチルアミルケトン、メチルイソブチルケトン、シクロヘキサノンなどのケトン類、
エタノール、プロパノール、ブタノール、ヘキサノール、シクロヘキサノール、エチレングリコール、グリセリンなどのアルコール類、
３−エトキシプロピオン酸エチル、３−メトキシプロピオン酸メチルなどのエステル類、
γ−ブチロラクトンなどの環状エステル類などが挙げられる。かかる溶剤は、それぞれ単独でまたは２種類以上を組み合わせて用いることができる。
【００２８】
かかる溶剤の使用量は、溶剤で希釈された状態の着色感光性組成物における溶剤の含有量が、質量分率で通常５０％以上９０％以下、好ましくは６０％以上８５％以下となる程度である。
【００２９】
着色剤として顔料を用いる場合、本発明の着色感光性樹脂組成物は、顔料分散剤を含有していてもよい。顔料分散剤を含有することによって、本発明の着色感光性樹脂組成物に着色剤を均一に分散させることができる。本発明の着色感光性樹脂組成物に使用し得る顔料分散剤としては、例えばノニオン系界面活性剤、カチオン系界面活性剤、ノニオン系界面活性剤等の界面活性剤、ポリエステル系高分子分散剤、アクリル系高分子分散剤、ポリウレタン系高分子分散剤等が挙げられ、これらはそれぞれ単独でまたは２種以上を組合わせて用いられる。顔料分散剤を含有する場合、その含有量は、着色剤１質量部あたり通常０．０１質量部以上、好ましくは０．０５質量部以上であり、通常１質量部以下、好ましくは０．５質量部以下である。
【００３０】
本発明の着色感光性樹脂組成物は、添加剤を含有していてもよい。添加剤としては、例えば充填剤、バインダーポリマー以外の高分子化合物、密着促進剤、酸化防止剤、紫外線吸収剤、凝集防止剤、有機酸、有機アミノ化合物、硬化剤などを挙げることができる。
【００３１】
充填剤としては、例えばガラス、アルミナなどが挙げられる。
高分子化合物としては、例えばポリビニルアルコール、ポリアクリル酸、ポリエチレングリコールモノアルキルエーテル、ポリフロロアルキルアクリレートなどが挙げられる。
【００３２】
界面活性剤としては、例えばノニオン系界面活性剤、カチオン系界面活性剤、アニオン系界面活性剤などが挙げられる。
密着促進剤としては、例えばビニルトリメトキシシラン、ビニルトリエトキシシラン、ビニルトリス（２−メトキシエトキシ）シラン、Ｎ−（２−アミノエチル）−３−アミノプロピルメチルジメトキシシラン、Ｎ−（２−アミノエチル）−３−アミノプロピルトリメトキシシラン、３−アミノプロピルトリエトキシシラン、３−グリシドキシプロピルトリメトキシシラン、３−グリシドキシプロピルメチルジメトキシシラン、２−（３，４−エポキシシクロヘキシル）エチルトリメトキシシラン、３−クロロプロピルメチルジメトキシシラン、３−クロロプロピルトリメトキシシラン、３−メタクリロキシプロピルトリメトキシシラン、３−メルカプトプロピルトリメトキシシランなどが挙げられる。
【００３３】
酸化防止剤としては、例えば２，２−チオビス（４−メチル−６−ｔ−ブチルフェノール）、２，６−ジ−ｔ−ブチルフェノールなどが挙げられる。
紫外線吸収剤としては、例えば２−（３−ｔ−ブチル−５−メチル−２−ヒドロキシフェニル）−５−クロロベンゾトリアゾール、アルコキシベンゾフェノンなどが挙げられる。
凝集防止剤としては、例えばポリアクリル酸ナトリウムなどが挙げられる。
【００３４】
有機酸としては、例えばぎ酸、酢酸、プロピオン酸、酪酸、吉草酸、ピバル酸、カプロン酸、ジエチル酢酸、エナント酸、カプリル酸などの脂肪族モノカルボン酸類、
しゅう酸、マロン酸、こはく酸、グルタル酸、アジピン酸、ピメリン酸、スベリン酸、アゼライン酸、セバシン酸、ブラシル酸、メチルマロン酸、エチルマロン酸、ジメチルマロン酸、メチルこはく酸、テトラメチルこはく酸、シクロヘキサンジカルボン酸、イタコン酸、シトラコン酸、マレイン酸、フマル酸、メサコン酸などの脂肪族ジカルボン酸類、
トリカルバリル酸、アコニット酸、カンホロン酸などの脂肪族トリカルボン酸類、
安息香酸、トルイル酸、クミン酸、ヘメリト酸、メシチレン酸などの芳香族モノカルボン酸類、
フタル酸、イソフタル酸、テレフタル酸などの芳香族ジカルボン酸類、
トリメリット酸、トリメシン酸、メロファン酸、ピロメリット酸などの芳香族ポリカルボン酸類などが挙げられる。
【００３５】
有機アミノ化合物としては、例えばｎ―プロピルアミン、ｉ−プロピルアミン、ｎ−ブチルアミン、ｉ−ブチルアミン、ｓｅｃ−ブチルアミン、ｔ−ブチルアミン、ｎ−ペンチルアミン、ｎ−ヘキシルアミン、ｎ−ヘプチルアミン、ｎ−オクチルアミン、ｎ−ノニルアミン、ｎ−デシルアミン、ｎ−ウンデシルアミン、ｎ−ドデシルアミン、シクロヘキシルアミン、２−メチルシクロヘキシルアミン、３−メチルシクロヘキシルアミン、４−メチルシクロヘキシルアミンなどのモノ（シクロ）アルキルアミン類、
メチルエチルアミン、ジエチルアミン、メチルｎ−プロピルアミン、エチルｎ−プロピルアミン、ジｎ−プロピルアミン、ジｉ−プロピルアミン、ジｎ−ブチルアミン、ジｉ−ブチルアミン、ジｓｅｃ−ブチルアミン、ジｔ−ブチルアミン、ジｎ−ペンチルアミン、ジｎ−ヘキシルアミン、メチルシクロヘキシルアミン、エチルシクロヘキシルアミン、ジシクロヘキシルアミンなどのジ（シクロ）アルキルアミン類、
ジメチルエチルアミン、メチルジエチルアミン、トリエチルアミン、ジメチルｎ−プロピルアミン、ジエチルｎ−プロピルアミン、メチルジｎ−プロピルアミン、エチルジｎ−プロピルアミン、トリｎ−プロピルアミン、トリｉ−プロピルアミン、トリｎ−ブチルアミン、トリｉ−ブチルアミン、トリｓｅｃ−ブチルアミン、トリｔ−ブチルアミン、トリｎ−ペンチルアミン、トリｎ−ヘキシルアミン、ジメチルシクロヘキシルアミン、ジエチルシクロヘキシルアミン、メチルジシクロヘキシルアミン、エチルジシクロヘキシルアミン、トリシクロヘキシルアミンなどのトリ（シクロ）アルキルアミン類、
２−アミノエタノール、３−アミノ−１−プロパノール、１−アミノ−２−プロパノール、４−アミノ−１−ブタノール、５−アミノ−１−ペンタノール、６−アミノ−１−ヘキサノール、４−アミノ−１−シクロヘキサノールなどのモノ（シクロ）アルカノールアミン類、
ジエタノールアミン、ジｎ−プロパノールアミン、ジｉ−プロパノールアミン、ジｎ−ブタノールアミン、ジｉ−ブタノールアミン、ジｎ−ペンタノールアミン、ジｎ−ヘキサノールアミン、ジ（４−シクロヘキサノール）アミンなどのジ（シクロ）アルカノールアミン類、
トリエタノールアミン、トリｎ−プロパノールアミン、トリｉ−プロパノールアミン、トリｎ−ブタノールアミン、トリｉ−ブタノールアミン、トリｎ−ペンタノールアミン、トリｎ−ヘキサノールアミン、トリ（４−シクロヘキサノール）アミンなどのトリ（シクロ）アルカノールアミン類、
３−アミノ−１，２−プロパンジオール、２−アミノ−１，３−プロパンジオール、４−アミノ−１，２−ブタンジオール、４−アミノ−１，３−ブタンジオール、４−アミノ−１，２−シクロヘキサンジオール、４−アミノ−１，３−シクロヘキサンジオール、３−ジメチルアミノ−１，２−プロパンジオール、３−ジエチルアミノ−１，２−プロパンジオール、２−ジメチルアミノ−１，３−プロパンジオール、２−ジエチルアミノ−１，３−プロパンジオールなどのアミノ（シクロ）アルカンジオール類、
１−アミノシクロペンタノンメタノール、４−アミノシクロペンタノンメタノール、１−アミノシクロヘキサノンメタノール、４−アミノシクロヘキサノンメタノール、４−ジメチルアミノシクロペンタンメタノール、４−ジエチルアミノシクロペンタンメタノール、４−ジメチルアミノシクロヘキサンメタノール、４−ジエチルアミノシクロヘキサンメタノールなどのアミノ基含有シクロアルカンメタノール類、
β−アラニン、２−アミノ酪酸、３−アミノ酪酸、４−アミノ酪酸、２−アミノイソ酢酸、３−アミノイソ酢酸、２−アミノ吉草酸、５−アミノ吉草酸、６−アミノカプロン酸、１−アミノシクロプロパンカルボン酸、１−アミノシクロヘキサンカルボン酸、４−アミノシクロヘキサンカルボン酸などのアミノカルボン酸類、
アニリン、ｏ−メチルアニリン、ｍ−メチルアニリン、ｐ−メチルアニリン、ｐ−エチルアニリン、ｐ−ｎ−プロピルアニリン、ｐ−ｉ−プロピルアニリン、ｐ−ｎ−ブチルアニリン、ｐ−ｔ−ブチルアニリン、１−ナフチルアミン、２−ナフチルアミン、Ｎ，Ｎ−ジメチルアニリン、Ｎ，Ｎ−ジエチルアニリン、ｐ−メチル−Ｎ，Ｎ−ジメチルアニリンなどの芳香族アミン類、
ｏ−アミノベンジルアルコール、ｍ−アミノベンジルアルコール、ｐ−アミノベンジルアルコール、ｐ−ジメチルアミノベンジルアルコール、ｐ−ジエチルアミノベンジルアルコールなどのアミノベンジルアルコール類、
ｏ−アミノフェノール、ｍ−アミノフェノール、ｐ−アミノフェノール、ｐ−ジメチルアミノフェノール、ｐ−ジエチルアミノフェノールなどのアミノフェノール類、
ｍ−アミノ安息香酸、ｐ−アミノ安息香酸、ｐ−ジメチルアミノ安息香酸、ｐ−ジエチルアミノ安息香酸などのアミノ安息香酸類などが挙げられる。
【００３６】
硬化剤は、パターンニングにおける現像後の加熱処理によって着色パターンを硬化させてその機械的強度を向上するために用いられる。かかる硬化剤としては、例えば加熱されることによってバインダーポリマーのカルボキシル基と反応してバインダーポリマーを架橋させ得る化合物が挙げられ、バインダーポリマーを架橋させることにより着色パターンを硬化させる。また、加熱されることによってそれ単独で重合し得る化合物であってもよく、単独で重合することにより色画素等が硬化する。かかる化合物としては、例えばエポキシ化合物、オキセタン化合物などが挙げられる。
【００３７】
エポキシ化合物としては、例えばビスフェノールＡ系エポキシ樹脂、水素化ビスフェノールＡ系エポキシ樹脂、ビスフェノールＦ系エポキシ樹脂、水素化ビスフェノールＦ系エポキシ樹脂、ノボラック型エポキシ樹脂、他の芳香族系エポキシ樹脂、脂環族系エポキシ樹脂、複素環式エポキシ樹脂、グリシジルエステル系樹脂、グリシジルアミン系樹脂、エポキシ化油等のエポキシ樹脂や、これらのエポキシ樹脂の臭素化誘導体、エポキシ樹脂およびその臭素化誘導体以外の脂肪族、脂環族または芳香族のエポキシ化合物、ブタジエンの（共）重合体のエポキシ化物、イソプレンの（共）重合体のエポキシ化物、グリシジル（メタ）アクリレートの（共）重合体、トリグリシジルイソシアヌレートなどが挙げられる。
【００３８】
オキセタン化合物としては、例えばカーボネートビスオキセタン、キシリレンビスオキセタン、アジペートビスオキセタン、テレフタレートビスオキセタン、シクロヘキサンジカルボン酸ビスオキセタンなどが挙げられる。
【００３９】
本発明の着色感光性組成物は、硬化剤と共にエポキシ化合物のエポキシ基、オキセタン化合物のオキセタン骨格を開環重合させ得る化合物を含んでいてもよい。かかる化合物としては、例えば多価カルボン酸類、多価カルボン酸無水物類、酸発生剤などが挙げられる。
【００４０】
多価カルボン酸類としては、例えばフタル酸、３，４−ジメチルフタル酸、イソフタル酸、テレフタル酸、ピロメリット酸、トリメリット酸、１，４，５，８−ナフタレンテトラカルボン酸、３，３’，４，４’−ベンゾフェノンテトラカルボン酸などの芳香族多価カルボン酸類、
こはく酸、グルタル酸、アジピン酸、１，２，３，４−ブタンテトラカルボン酸、マレイン酸、フマル酸、イタコン酸などの脂肪族多価カルボン酸類、
ヘキサヒドロフタル酸、３，４−ジメチルテトラヒドロフタル酸、ヘキサヒドロイソフタル酸、ヘキサヒドロテレフタル酸、１，２，４−シクロペンタントリカルボン酸、１，２，４−シクロヘキサントリカルボン酸、シクロペンタンテトラカルボン酸、１，２，４，５−シクロヘキサンテトラカルボン酸などの脂環族多価カルボン酸類などが挙げられる。
【００４１】
多価カルボン酸無水物類としては、例えば、無水フタル酸、無水ピロメリット酸、無水トリメリット酸、３，３’，４，４’−ベンゾフェノンテトラカルボン酸二無水物などの芳香族多価カルボン酸無水物類、
無水イタコン酸、無水こはく酸、無水シトラコン酸、無水ドデセニルコハク酸、無水トリカルバリル酸、無水マレイン酸、１，２，３，４−ブタンテトラカルボン酸二無水物などの脂肪族多価カルボン酸無水物類、
無水ヘキサヒドロフタル酸、３，４−ジメチルテトラヒドロフタル酸無水物、１，２，４−シクロペンタントリカルボン酸無水物、１，２，４−シクロヘキサントリカルボン酸無水物、シクロペンタンテトラカルボン酸二無水物、１，２，４，５−シクロヘキサンテトラカルボン酸二無水物、無水ハイミック酸、無水ナジン酸などの脂環族多価カルボン酸無水物類、
エチレングリコールビストリメリテイト酸、グリセリントリストリメリテイト無水物などのエステル基含有カルボン酸無水物類などが挙げられる。
【００４２】
カルボン酸無水物類として、エポキシ樹脂硬化剤として市販されているものを用いてもよい。かかるエポキシ樹脂硬化剤としては、例えば商品名「アデカハードナーＥＨ−７００」（旭電化工業(株)）、商品名「リカシッドＨＨ」（新日本理化(株)）、商品名「ＭＨ−７００」（新日本理化(株)）などが挙げられる。
【００４３】
かかる硬化剤は、それぞれ単独でまたは２種以上を組み合わせて用いることができる。
【００４４】
かかる本発明の着色感光性樹脂組成物は、例えば着色剤（Ａ）、バインダーポリマー（Ｂ）、２−メチル−２−モルホリノ−１−（４−メチルチオフェニル）プロパン−１−オンおよび４，４’−ビス（ジエチルアミノ）ベンゾフェノンを混合する方法により製造することができる。混合に際して、着色剤（Ａ）は通常、予め溶剤（Ｆ）と混合された混合物として用いられる。かかる混合物における着色剤（Ａ）の含有量は、着色剤（Ａ）および溶剤（Ｆ）の合計量１００質量部あたり通常５質量部以上、好ましくは１０質量部以上であり、通常６０質量部以下、好ましくは３０質量部以下である。着色剤（Ａ）として顔料を用いる場合には通常、顔料、顔料分散剤および溶剤との混合物が用いられる。混合物における顔料分散剤の含有量は着色剤１質量部あたり通常０．０１質量部以上、好ましくは０．０５質量部以上であり、通常１質量部以下、好ましくは０．０５質量部以下である。着色剤および溶剤の混合物は、バインダーポリマー（Ｂ）を含有していてもよい。
【００４５】
かかる混合物をバインダーポリマー（Ｂ）、２−メチル−２−モルホリノ−１−（４−メチルチオフェニル）プロパン−１−オンおよび４，４’−ビス（ジエチルアミノ）ベンゾフェノンと混合することにより、本発明の着色感光性樹脂組成物を得ることができる。
【００４６】
本発明の着色感光性樹脂組成物を用いて着色パターンを形成するには、例えば着色感光性樹脂組成物をパターンニングすればよく、具体的には基板（２）上に着色感光性樹脂組成物からなる層（４）を形成し（図２(a)）、該層（３）を露光した後（図２(b)）、現像すればよい（図２(c)）。
【００４７】
基板（２）としては、例えばガラス板、シリコンウェハー、プラスチック板などが挙げられる。基板としてシリコンウエハーなどを用いる場合、該シリコンウェハーの表面には電荷結合素子（ＣＣＤ）などが形成されていてもよい。
【００４８】
着色感光性樹脂組成物からなる層（４）を基板（２）の上に形成するには、例えば溶剤で希釈された状態の着色感光性樹脂組成物を回転塗布法（スピンコート法）などの方法で基板（２）上に塗布し、次いで溶剤などの揮発成分を揮発させればよい。揮発成分を揮発させるには、塗布後、加熱して乾燥させればよい。かくして形成される着色感光性樹脂組成物層（４）は、着色感光性樹脂組成物の固形分からなる層であり、揮発成分をほとんど含有しない。
【００４９】
次いで、着色感光性樹脂組成物層（４）を露光する。露光するには、例えばフォトマスク（６）を介して光線（５）を照射すればよい。光線（５）としては、通常、ｇ線（波長４３６ｎｍ）、ｉ線（波長３６５ｎｍ）などの紫外線が用いられる。フォトマスク（６）は、例えばガラス板（６１）などの表面に光線を遮蔽する遮光層（６２）が設けられたものであり、光線（５）は該遮光層（６２）によって、遮蔽される。ガラス板（６１）のうちの遮光層（６２）が設けられていない部分は、光線（５）が透過する透光部（６３）であって、この透光部（６３）のパターンに従って着色感光性樹脂組成物層（４）が露光される。光線（５）の照射量は、用いたバインダーポリマー（Ｂ）の種類、含有量、着色剤（Ａ）の種類、含有量、光重合性化合物（Ｃ）の種類、含有量、２−メチル−２−モルホリノ−１−（４−メチルチオフェニル）プロパン−１−オンおよび４，４’−ビス（ジエチルアミノ）ベンゾフェノンそれぞれの含有量は含有量比などに応じて適宜選択される。
【００５０】
露光後、現像する。現像するには、例えば露光後の着色感光性樹脂組成物層（４）を現像液に浸漬すればよい。現像液としては、例えば炭酸ナトリウム、炭酸カリウム、水酸化ナトリウム、水酸化カリウム、テトラメチルアンモニウムハイドロオキサイドなどのアルカリ性化合物の水溶液が用いられる。現像によって、着色感光性樹脂組成物層（４）のうちの光線未照射領域（４１）は除去される。その一方で、光線照射領域（４２）は残って、着色パターン（３）となる。
【００５１】
現像後、通常は水洗し乾燥する。乾燥後、加熱処理をしてもよい。加熱処理をすることによって、着色パターン（５）が硬化して、その機械的強度が向上する。着色感光性樹脂組成物が硬化剤を含有するものである場合には、加熱処理によって、着色パターン（５）の機械的強度をより向上することもできる。加熱処理における加熱温度は、通常１８０℃以上、好ましくは２００℃以上、２５０℃以下である。
【００５２】
かくして目的の着色パターン（３）を形成するが、着色感光性樹脂組成物に含有される着色剤（Ａ）の色を代えて、上記と同様にして基板（２）の上に着色感光性樹脂組成物層（４’）を再び形成し（図４(a)）、該層（４’）を露光した後（図４(b)）、現像することによって、さらに着色パターン（３’）を形成することができる。着色感光性樹脂組成物に含有される着色剤の色を代えながら上記操作を繰り返し行なうことによって（図５）、さらに着色パターン（３”）を形成することができ、目的とするカラーフィルター（１）を製造することができる。
【００５３】
かくして得られるカラーフィルター（１）は着色パターン（３）からなり、該着色パターン（３）は、本発明の着色感光性樹脂組成物が光線を照射されてなるものである。
【００５４】
【発明の効果】
本発明の着色感光性樹脂組成物によれば、断面形状が順テーパー状（図３(a)）ないし矩形状（図３(b)）の着色パターン（３）を容易に形成することができる。
【００５５】
【実施例】
以下実施例によって本発明をより詳細に説明するが、本発明はこれら実施例によって限定されるものではない。
【００５６】
実施例１
（着色感光性樹脂組成物の製造）
メタクリル酸とベンジルメタクリレートとの共重合体〔メタクリル酸単位と部ベンジルメタクリレート単位との組成比は物質量比（モル比）で３：６、重量平均分子量（Ｍｗ）は３５０００〕（０．６９８質量部）、
ジペンタエリスリトールヘキサアクリレート（０．６９８質量部）、
２−メチル−２−モルホリノ−１−（４−メチルチオフェニル）プロパン−１−オン（０．１６７質量部）、
４，４’−ビス（ジエチルアミノ）ベンゾフェノン（０．１６７質量部）およびプロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート（６．３１４質量部）の混合物に、
Ｃ．Ｉ．ピグメントグリーン３６（０．７１１質量部）、
ノニオン系界面活性剤（０．１４３質量部）および
プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート（３．７６４質量部）の混合物と、
Ｃ．Ｉ．ピグメントイエロー１５０（０．３７６質量部）、
ノニオン系界面活性剤（０．１８９質量部）、
メタクリル酸とベンジルメタクリレートとの共重合体〔メタクリル酸単位と部ベンジルメタクリレート単位との組成比は物質量比（モル比）で３：６、重量平均分子量（Ｍｗ）は３５０００〕（０．１４９質量部）および
プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート（１．７７４質量部）の混合物とを混合して、着色感光性樹脂組成物（緑色）を得た。この着色感光性樹脂組成物の組成を表１に示す。
【００５７】
（着色パターンの形成）
ガラス基板（コーニング社製、「＃７０５９」）（２）の表面上に、上記で得た着色感光性樹脂組成物をスピンコート法で塗布した後、１００℃３分間で揮発成分を揮発させて着色感光性樹脂組成物層（４）を形成した（図２(a)）。冷却後、この着色感光性樹脂組成物層（４）にフォトマスク（６）を介してｉ線〔波長３６５ｎｍ〕を照射した。ｉ線の光源には超高圧水銀ランプを用い、照射光量は１５０ｍＪ／ｃｍ2とした。フォトマスク（６）は、線幅３μｍ、４μｍ、５μｍ、６μｍ、７μｍ、８μｍ、９μｍ、１０μｍ、２０μｍ、３０μｍ、４０μｍ、５０μｍおよび１００μｍの線状の着色パターン（３）を形成するためのフォトマスクを用いた（図２(b)）。次いで、現像液（質量分率で水酸化カリウムを０．０５％、ブチルナフタレンスルホン酸ナトリウムを０．２％それぞれ含有する水溶液）に浸漬して現像し、純水で洗浄した後、２３０℃で２０分間加熱して、緑色の着色パターン（３）を形成した（図２(c)）。形成された着色パターン（３）の断面形状は、基板（２）の幅（Ｗ0）がその反対側の幅（Ｗ1）よりも広い順テーパー状であった（図３(a)）。
【００５８】
実施例２
（着色感光性樹脂組成物の製造）
メタクリル酸とベンジルメタクリレートとの共重合体、ジペンタエリスリトールヘキサアクリレート、２−メチル−２−モルホリノ−１−（４−メチルチオフェニル）プロパン−１−オン、４，４’−ビス（ジエチルアミノ）ベンゾフェノンおよびプロピレングリコールモノメチルエーテルアセテートの混合物の組成を、
メタクリル酸とベンジルメタクリレートとの共重合体（０．７２１質量部）、
ジペンタエリスリトールヘキサアクリレート（０．７２１質量部）、
２−メチル−２−モルホリノ−１−（４−メチルチオフェニル）プロパン−１−オン（０．１１５質量部）、
４，４’−ビス（ジエチルアミノ）ベンゾフェノン（０．１７３質量部）、
プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート（６．３１３質量部）とする以外は、実施例１と同様に操作して、着色感光性樹脂組成物（緑色）を得た。
この着色感光性樹脂組成物の組成を表１に示す。
【００５９】
（着色パターンの形成）
実施例１で得た着色感光性樹脂組成物に代えて、上記で得た着色感光性樹脂組成物を用いる以外は実施例１と同様に操作して、着色パターンを形成した。形成された着色パターンの断面形状は、順テーパー状であった。
【００６０】
実施例３
（着色感光性樹脂組成物の製造）
メタクリル酸とベンジルメタクリレートとの共重合体、ジペンタエリスリトールヘキサアクリレート、２−メチル−２−モルホリノ−１−（４−メチルチオフェニル）プロパン−１−オン、４，４’−ビス（ジエチルアミノ）ベンゾフェノンおよびプロピレングリコールモノメチルエーテルアセテートの混合物の組成を、
メタクリル酸とベンジルメタクリレートとの共重合体（０．６９８質量部）、
ジペンタエリスリトールヘキサアクリレート（０．６９８質量部）、
２−メチル−２−モルホリノ−１−（４−メチルチオフェニル）プロパン−１−オン（０．１１２質量部）、
４，４’−ビス（ジエチルアミノ）ベンゾフェノン（０．２２３質量部）、
プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート（６．３１４質量部）とする以外は、実施例１と同様に操作して、着色感光性樹脂組成物（緑色）を得た。
この着色感光性樹脂組成物の組成を表１に示す。
【００６１】
（着色パターンの形成）
実施例１で得た着色感光性樹脂組成物に代えて、上記で得た着色感光性樹脂組成物を用いる以外は実施例１と同様に操作して、着色パターンを形成した。形成された着色パターンの断面形状は、順テーパー状であった。
【００６２】
実施例４
（着色感光性樹脂組成物の製造）
メタクリル酸とベンジルメタクリレートとの共重合体、ジペンタエリスリトールヘキサアクリレート、２−メチル−２−モルホリノ−１−（４−メチルチオフェニル）プロパン−１−オン、４，４’−ビス（ジエチルアミノ）ベンゾフェノンおよびプロピレングリコールモノメチルエーテルアセテートの混合物の組成を、
メタクリル酸とベンジルメタクリレートとの共重合体（０．６７６質量部）、
ジペンタエリスリトールヘキサアクリレート（０．６７６質量部）、
２−メチル−２−モルホリノ−１−（４−メチルチオフェニル）プロパン−１−オン（０．１６２質量部）、
４，４’−ビス（ジエチルアミノ）ベンゾフェノン（０．２１６質量部）、
プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート（６．３１３質量部）とする以外は、実施例１と同様に操作して、着色感光性樹脂組成物（緑色）を得た。
この着色感光性樹脂組成物の組成を表１に示す。
【００６３】
（着色パターンの形成）
実施例１で得た着色感光性樹脂組成物に代えて、上記で得た着色感光性樹脂組成物を用いる以外は実施例１と同様に操作して、着色パターンを形成した。形成された着色パターンの断面形状は、順テーパー状であった。
【００６４】
実施例５
（着色感光性樹脂組成物の製造）
メタクリル酸とベンジルメタクリレートとの共重合体、ジペンタエリスリトールヘキサアクリレート、２−メチル−２−モルホリノ−１−（４−メチルチオフェニル）プロパン−１−オン、４，４’−ビス（ジエチルアミノ）ベンゾフェノンおよびプロピレングリコールモノメチルエーテルアセテートの混合物の組成を、
メタクリル酸とベンジルメタクリレートとの共重合体（０．６５５質量部）、
ジペンタエリスリトールヘキサアクリレート（０．６５５質量部）、
２−メチル−２−モルホリノ−１−（４−メチルチオフェニル）プロパン−１−オン（０．２１０質量部）、
４，４’−ビス（ジエチルアミノ）ベンゾフェノン（０．２１０質量部）、
プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート（６．３１４質量部）とする以外は、実施例１と同様に操作して、着色感光性樹脂組成物（緑色）を得た。
この着色感光性樹脂組成物の組成を表１に示す。
【００６５】
（着色パターンの形成）
実施例１で得た着色感光性樹脂組成物に代えて、上記で得た着色感光性樹脂組成物を用いる以外は実施例１と同様に操作して、着色パターンを形成した。形成された着色パターンの断面形状は、順テーパー状であった。
【００６６】
実施例６
（着色感光性樹脂組成物の製造）
メタクリル酸とベンジルメタクリレートとの共重合体、ジペンタエリスリトールヘキサアクリレート、２−メチル−２−モルホリノ−１−（４−メチルチオフェニル）プロパン−１−オン、４，４’−ビス（ジエチルアミノ）ベンゾフェノンおよびプロピレングリコールモノメチルエーテルアセテートの混合物の組成を、
メタクリル酸とベンジルメタクリレートとの共重合体（０．６５５質量部）、
ジペンタエリスリトールヘキサアクリレート（０．６５５質量部）、
２−メチル−２−モルホリノ−１−（４−メチルチオフェニル）プロパン−１−オン（０．１５７質量部）、
４，４’−ビス（ジエチルアミノ）ベンゾフェノン（０．２６２質量部）、
プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート（６．３１４量部）とする以外は、実施例１と同様に操作して、着色感光性樹脂組成物（緑色）を得た。この着色感光性樹脂組成物の組成を表１に示す。
【００６７】
（着色パターンの形成）
実施例１で得た着色感光性樹脂組成物に代えて、上記で得た着色感光性樹脂組成物を用いる以外は実施例１と同様に操作して、着色パターンを形成した。形成された着色パターンの断面形状は、順テーパー状であった。
【００６８】
実施例７
（着色感光性樹脂組成物の製造）
メタクリル酸とベンジルメタクリレートとの共重合体、ジペンタエリスリトールヘキサアクリレート、２−メチル−２−モルホリノ−１−（４−メチルチオフェニル）プロパン−１−オン、４，４’−ビス（ジエチルアミノ）ベンゾフェノンおよびプロピレングリコールモノメチルエーテルアセテートの混合物の組成を、
メタクリル酸とベンジルメタクリレートとの共重合体（０．６３６質量部）、
ジペンタエリスリトールヘキサアクリレート（０．６３６質量部）、
２−メチル−２−モルホリノ−１−（４−メチルチオフェニル）プロパン−１−オン（０．２０４質量部）、
４，４’−ビス（ジエチルアミノ）ベンゾフェノン（０．２５４質量部）、
プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート（６．３１３質量部）とする以外は、実施例１と同様に操作して、着色感光性樹脂組成物（緑色）を得た。
この着色感光性樹脂組成物の組成を表１に示す。
【００６９】
（着色パターンの形成）
実施例１で得た着色感光性樹脂組成物に代えて、上記で得た着色感光性樹脂組成物を用いる以外は実施例１と同様に操作して、着色パターンを形成した。形成された着色パターンの断面形状は、順テーパー状であった。
【００７０】
実施例８
（着色感光性樹脂組成物の製造）
メタクリル酸とベンジルメタクリレートとの共重合体、ジペンタエリスリトールヘキサアクリレート、２−メチル−２−モルホリノ−１−（４−メチルチオフェニル）プロパン−１−オン、４，４’−ビス（ジエチルアミノ）ベンゾフェノンおよびプロピレングリコールモノメチルエーテルアセテートの混合物の組成を、
メタクリル酸とベンジルメタクリレートとの共重合体（０．６１８質量部）、
ジペンタエリスリトールヘキサアクリレート（０．６１８質量部）、
２−メチル−２−モルホリノ−１−（４−メチルチオフェニル）プロパン−１−オン（０．２４７質量部）、
４，４’−ビス（ジエチルアミノ）ベンゾフェノン（０．２４７質量部）、
プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート（６．３１３質量部）とする以外は、実施例１と同様に操作して、着色感光性樹脂組成物（緑色）を得た。
この着色感光性樹脂組成物の組成を表１に示す。
【００７１】
（着色パターンの形成）
実施例１で得た着色感光性樹脂組成物に代えて、上記で得た着色感光性樹脂組成物を用いる以外は実施例１と同様に操作して、着色パターンを形成した。形成された着色パターンの断面形状は、順テーパー状であった。
【００７２】
実施例９
（着色感光性樹脂組成物の製造）
メタクリル酸とベンジルメタクリレートとの共重合体、ジペンタエリスリトールヘキサアクリレート、２−メチル−２−モルホリノ−１−（４−メチルチオフェニル）プロパン−１−オン、４，４’−ビス（ジエチルアミノ）ベンゾフェノンおよびプロピレングリコールモノメチルエーテルアセテートの混合物の組成を、
メタクリル酸とベンジルメタクリレートとの共重合体（０．７３３質量部）、
ジペンタエリスリトールヘキサアクリレート（０．７３３質量部）、
２−メチル−２−モルホリノ−１−（４−メチルチオフェニル）プロパン−１−オン（０．０５９質量部）、
４，４’−ビス（ジエチルアミノ）ベンゾフェノン（０．２０５質量部）、
プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート（６．３１４質量部）とする以外は、実施例１と同様に操作して、着色感光性樹脂組成物（緑色）を得た。
この着色感光性樹脂組成物の組成を表１に示す。
【００７３】
（着色パターンの形成）
実施例１で得た着色感光性樹脂組成物に代えて、上記で得た着色感光性樹脂組成物を用いる以外は実施例１と同様に操作して、着色パターンを形成した。形成された着色パターンの断面形状は、順テーパー状であった。
【００７４】
実施例１０
（着色感光性樹脂組成物の製造）
メタクリル酸とベンジルメタクリレートとの共重合体、ジペンタエリスリトールヘキサアクリレート、２−メチル−２−モルホリノ−１−（４−メチルチオフェニル）プロパン−１−オン、４，４’−ビス（ジエチルアミノ）ベンゾフェノンおよびプロピレングリコールモノメチルエーテルアセテートの混合物の組成を、
メタクリル酸とベンジルメタクリレートとの共重合体（０．７２１質量部）、
ジペンタエリスリトールヘキサアクリレート（０．７２１質量部）、
２−メチル−２−モルホリノ−１−（４−メチルチオフェニル）プロパン−１−オン（０．０８７質量部）、
４，４’−ビス（ジエチルアミノ）ベンゾフェノン（０．２０２質量部）、
プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート（６．３１３質量部）とする以外は、実施例１と同様に操作して、着色感光性樹脂組成物（緑色）を得た。
この着色感光性樹脂組成物の組成を表１に示す。
【００７５】
（着色パターンの形成）
実施例１で得た着色感光性樹脂組成物に代えて、上記で得た着色感光性樹脂組成物を用いる以外は実施例１と同様に操作して、着色パターンを形成した。形成された着色パターンの断面形状は、順テーパー状であった。
【００７６】
実施例１１
（着色感光性樹脂組成物の製造）
メタクリル酸とベンジルメタクリレートとの共重合体、ジペンタエリスリトールヘキサアクリレート、２−メチル−２−モルホリノ−１−（４−メチルチオフェニル）プロパン−１−オン、４，４’−ビス（ジエチルアミノ）ベンゾフェノンおよびプロピレングリコールモノメチルエーテルアセテートの混合物の組成を、
メタクリル酸とベンジルメタクリレートとの共重合体（０．７０９質量部）、
ジペンタエリスリトールヘキサアクリレート（０．７０９質量部）、
２−メチル−２−モルホリノ−１−（４−メチルチオフェニル）プロパン−１−オン（０．１１３質量部）、
４，４’−ビス（ジエチルアミノ）ベンゾフェノン（０．１９９質量部）、
プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート（６．３１４質量部）とする以外は、実施例１と同様に操作して、着色感光性樹脂組成物（緑色）を得た。
この着色感光性樹脂組成物の組成を表１に示す。
【００７７】
（着色パターンの形成）
実施例１で得た着色感光性樹脂組成物に代えて、上記で得た着色感光性樹脂組成物を用いる以外は実施例１と同様に操作して、着色パターンを形成した。形成された着色パターンの断面形状は、順テーパー状であった。
【００７８】
実施例１２
（着色感光性樹脂組成物の製造）
メタクリル酸とベンジルメタクリレートとの共重合体、ジペンタエリスリトールヘキサアクリレート、２−メチル−２−モルホリノ−１−（４−メチルチオフェニル）プロパン−１−オン、４，４’−ビス（ジエチルアミノ）ベンゾフェノンおよびプロピレングリコールモノメチルエーテルアセテートの混合物の組成を、
メタクリル酸とベンジルメタクリレートとの共重合体（０．７４６質量部）、
ジペンタエリスリトールヘキサアクリレート（０．７４６質量部）、
２−メチル−２−モルホリノ−１−（４−メチルチオフェニル）プロパン−１−オン（０．０６０質量部）、
４，４’−ビス（ジエチルアミノ）ベンゾフェノン（０．１７９質量部）、
プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート（６．３１３質量部）とする以外は、実施例１と同様に操作して、着色感光性樹脂組成物（緑色）を得た。
この着色感光性樹脂組成物の組成を表１に示す。
【００７９】
（着色パターンの形成）
実施例１で得た着色感光性樹脂組成物に代えて、上記で得た着色感光性樹脂組成物を用いる以外は実施例１と同様に操作して、着色パターンを形成した。形成された着色パターンの断面形状は、順テーパー状であった。
【００８０】
比較例１
（着色感光性樹脂組成物の製造）
メタクリル酸とベンジルメタクリレートとの共重合体、ジペンタエリスリトールヘキサアクリレート、２−メチル−２−モルホリノ−１−（４−メチルチオフェニル）プロパン−１−オン、４，４’−ビス（ジエチルアミノ）ベンゾフェノンおよびプロピレングリコールモノメチルエーテルアセテートの混合物の組成を、
メタクリル酸とベンジルメタクリレートとの共重合体（０．７４６質量部）、
ジペンタエリスリトールヘキサアクリレート（０．７４６質量部）、
２−メチル−２−モルホリノ−１−（４−メチルチオフェニル）プロパン−１−オン（０．１７９質量部）、
４，４’−ビス（ジエチルアミノ）ベンゾフェノン（０．０６０質量部）、
プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート（６．３１３質量部）とする以外は、実施例１と同様に操作して、着色感光性樹脂組成物（緑色）を得た。
この着色感光性樹脂組成物の組成を表１に示す。
【００８１】
（着色パターンの形成）
実施例１で得た着色感光性樹脂組成物に代えて、上記で得た着色感光性樹脂組成物を用いる以外は実施例１と同様に操作して、着色パターンを形成した。形成された着色パターン（３）の断面形状は、基板（２）の幅（Ｗ0）がその反対側の幅（Ｗ1）よりも狭い逆テーパー状であった（図３(c)）。
【００８２】
比較例２
（着色感光性樹脂組成物の製造）
メタクリル酸とベンジルメタクリレートとの共重合体、ジペンタエリスリトールヘキサアクリレート、２−メチル−２−モルホリノ−１−（４−メチルチオフェニル）プロパン−１−オン、４，４’−ビス（ジエチルアミノ）ベンゾフェノンおよびプロピレングリコールモノメチルエーテルアセテートの混合物の組成を、
メタクリル酸とベンジルメタクリレートとの共重合体（０．７４６質量部）、
ジペンタエリスリトールヘキサアクリレート（０．７４６質量部）、
２−メチル−２−モルホリノ−１−（４−メチルチオフェニル）プロパン−１−オン（０．１１９質量部）、
４，４’−ビス（ジエチルアミノ）ベンゾフェノン（０．１１９質量部）、
プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート（６．３１３質量部）とする以外は、実施例１と同様に操作して、着色感光性樹脂組成物（緑色）を得た。
この着色感光性樹脂組成物の組成を表１に示す。
【００８３】
（着色パターンの形成）
実施例１で得た着色感光性樹脂組成物に代えて、上記で得た着色感光性樹脂組成物を用いる以外は実施例１と同様に操作して、着色パターンを形成した。形成された着色パターン（３）の断面形状は、逆テーパー状であった。
【００８４】
比較例３
（着色感光性樹脂組成物の製造）
メタクリル酸とベンジルメタクリレートとの共重合体、ジペンタエリスリトールヘキサアクリレート、２−メチル−２−モルホリノ−１−（４−メチルチオフェニル）プロパン−１−オン、４，４’−ビス（ジエチルアミノ）ベンゾフェノンおよびプロピレングリコールモノメチルエーテルアセテートの混合物の組成を、
メタクリル酸とベンジルメタクリレートとの共重合体（０．７２２質量部）、
ジペンタエリスリトールヘキサアクリレート（０．７７２質量部）、
２−メチル−２−モルホリノ−１−（４−メチルチオフェニル）プロパン−１−オン（０．０６２質量部）、
４，４’−ビス（ジエチルアミノ）ベンゾフェノン（０．１２４質量部）、
プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート（６．３１４質量部）とする以外は、実施例１と同様に操作して、着色感光性樹脂組成物（緑色）を得た。
この着色感光性樹脂組成物の組成を表１に示す。
【００８５】
（着色パターンの形成）
実施例１で得た着色感光性樹脂組成物に代えて、上記で得た着色感光性樹脂組成物を用いる以外は実施例１と同様に操作して、着色パターンを形成した。形成された着色パターン（３）の断面形状は、逆テーパー状であった。
【図面の簡単な説明】
【図１】カラーフィルターの模式図である。
【図２】本発明の着色感光性樹脂組成物を用いて着色パターンを形成する工程を示す模式図である。
【図３】着色パターンの断面形状を示す模式図である。
【図４】着色感光性樹脂組成物を用いて着色パターンを形成する工程を示す模式図である。
【図５】着色感光性樹脂組成物を用いて着色パターンを形成する工程を示す模式図である。
【符号の説明】
１ ：カラーフィルター
２ ：基板
３、３’、３”：着色パターン ３Ｒ：赤色画素
３Ｇ：緑色画素
３Ｂ：青色画素
３BM：ブラックマトリックス
４、４’、４”：着色感光性樹脂組成物層
５ ：光線
６ ：フォトマスク ６１：ガラス基板
６２：遮光層
６３：透光部
Claims (5)
- 着色剤（Ａ）、バインダーポリマー（Ｂ）、光重合性化合物（Ｃ）、２−メチル−２−モルホリノ−１−（４−メチルチオフェニル）プロパン−１−オンおよび４，４’−ビス（ジエチルアミノ）ベンゾフェノンを含有し、４，４’−ビス（ジエチルアミノ）ベンゾフェノンの含有量が、２−メチル−２−モルホリノ−１−（４−メチルチオフェニル）プロパン−１−オン（１質量部）あたり０．８質量部以上であり、バインダーポリマー（Ｂ）および光重合性化合物（Ｃ）の合計量１００質量部あたり８質量部以上であることを特徴とする着色感光性樹脂組成物。
- 着色剤の含有量が、着色感光性樹脂組成物の固形分に対して質量分率で５％以上６０％以下である請求項１に記載の着色感光性樹脂組成物。
- 請求項１または請求項２に記載の着色感光性樹脂組成物をパターンニングすることを特徴とする着色パターンの形成方法。
- 請求項３に記載の方法で着色パターンを形成することを特徴とするカラーフィルターの製造方法。
- 請求項１または請求項２に記載の着色感光性樹脂組成物が光線を照射されてなる着色パターンからなることを特徴とするカラーフィルター。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2001092324A JP4608796B2 (ja) | 2001-03-28 | 2001-03-28 | 着色感光性樹脂組成物 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2001092324A JP4608796B2 (ja) | 2001-03-28 | 2001-03-28 | 着色感光性樹脂組成物 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2002287348A JP2002287348A (ja) | 2002-10-03 |
| JP4608796B2 true JP4608796B2 (ja) | 2011-01-12 |
Family
ID=18946804
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2001092324A Expired - Fee Related JP4608796B2 (ja) | 2001-03-28 | 2001-03-28 | 着色感光性樹脂組成物 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP4608796B2 (ja) |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| TWI326296B (en) * | 2002-12-02 | 2010-06-21 | Sumitomo Chemical Co | Colored photosensitive resin composition |
Family Cites Families (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH10168108A (ja) * | 1996-12-06 | 1998-06-23 | Jsr Corp | 螢光体分散感放射線性組成物 |
| JP3230800B2 (ja) * | 1997-03-06 | 2001-11-19 | 日本化薬株式会社 | 黒色感放射線性樹脂組成物、黒色硬化膜及びブラックマトリックス |
| JPH10274848A (ja) * | 1997-03-31 | 1998-10-13 | Jsr Corp | 感放射線性組成物およびカラーフィルター用感放射線性組成物 |
| JP3826561B2 (ja) * | 1998-04-10 | 2006-09-27 | Ｊｓｒ株式会社 | インクジェット方式カラーフィルタ用樹脂組成物およびカラーフィルタの製造方法 |
| JP4126793B2 (ja) * | 1998-10-09 | 2008-07-30 | チッソ株式会社 | カラーフィルター用樹脂組成物 |
-
2001
- 2001-03-28 JP JP2001092324A patent/JP4608796B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP2002287348A (ja) | 2002-10-03 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JP2012532334A (ja) | ３００ｎｍ以下の超短波長露光器を利用した固体撮像素子のカラーフィルター製造用着色感光性樹脂組成物、これを利用したカラーフィルターおよびこれを含む固体撮像素子 | |
| KR100863794B1 (ko) | 착색된 감광성 조성물 | |
| JP2003177525A (ja) | 着色感光性樹脂組成物 | |
| JP3956679B2 (ja) | 着色感光性組成物 | |
| JP2003149810A (ja) | 着色感光性樹脂組成物 | |
| KR20070114062A (ko) | 착색 네거티브 포토레지스트 조성물, 이를 포함하는착색패턴 및 이의 제조방법 | |
| KR20020062818A (ko) | 착색 감광성 조성물 | |
| JP2003255524A (ja) | 着色感光性組成物 | |
| KR20090083323A (ko) | 착색 감광성 수지 조성물 | |
| JP3832328B2 (ja) | 着色感光性樹脂組成物の製造方法 | |
| JP2006048012A (ja) | 着色感光性樹脂組成物 | |
| JP4608796B2 (ja) | 着色感光性樹脂組成物 | |
| JP2003255525A (ja) | 着色感光性組成物 | |
| KR20100054548A (ko) | 착색감광성수지 조성물 | |
| KR100868663B1 (ko) | 착색 감광성 수지 조성물 | |
| KR20070042719A (ko) | 착색 감광성 수지 조성물 및 칼라필터 | |
| KR20090052583A (ko) | 착색 감광성 수지 조성물 및 이를 이용한 패턴형성방법 | |
| KR20090020111A (ko) | 착색감광성수지 조성물 | |
| JP4815726B2 (ja) | 着色感光性樹脂組成物 | |
| KR20050105836A (ko) | 디스플레이용 착색 감광성 수지 조성물 | |
| KR20070041871A (ko) | 착색 감광성 수지 조성물 및 칼라필터 | |
| KR20050123349A (ko) | 컬러 필터용 착색 네가티브 포토레지스트 조성물 | |
| KR20110002606A (ko) | 300ｎｍ 이하의 초단파장 노광기를 이용한 고체 촬상 소자의 컬러 필터 제조용 착색 감광성 수지 조성물, 이를 이용한 컬러 필터 및 이를 포함하는 고체 촬상 소자 | |
| JP2003131374A (ja) | 着色感光性樹脂組成物 | |
| KR20100049848A (ko) | 착색감광성수지조성물 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| RD05 | Notification of revocation of power of attorney |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7425 Effective date: 20080128 |
|
| A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20080229 |
|
| A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20100428 |
|
| A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20100511 |
|
| A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20100709 |
|
| TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
| A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20100914 |
|
| A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 |
|
| A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20100927 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20131022 Year of fee payment: 3 |
|
| R151 | Written notification of patent or utility model registration |
Ref document number: 4608796 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R151 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20131022 Year of fee payment: 3 |
|
| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |