JP4615415B2 - 表示素子部品修正装置および表示素子部品修正方法 - Google Patents

Description

本発明は、例えば、液晶パネル、プラズマパネル、マイクロミラーパネル、ブラウン管ディスプレー、プロジェクションテレビなどのカラー表示パネルに用いられるカラーフィルター形成後の表示素子部品修正装置および表示素子部品修正方法に関するものであり、また、ＥＬ材料を用いたディスプレーの発光層の表示素子部品修正装置および表示素子部品修正方法にも関する。

例えば、上述した液晶パネルまたはプラズマパネル等のカラー表示パネルに使用される表示素子部品としてのカラーフィルターは、Ｒ（赤）Ｇ（緑）Ｂ（青）およびＢＭ（黒）パターンで形成されており、印刷法、電着法、フォトリソグラフィーによる顔料分散法、インクジェット法によりＲ（赤）Ｇ（緑）Ｂ（青）およびＢＭ（黒）パターンを形成することができる。

印刷法は、パターン精度の面で他の方法に劣り、現在の表示素子形成プロセスで用いられることは少ない。

電着法は、着色インクに導電性が不可欠であり、導電性を持つインクの色純度が低いことから、鮮やかな色表示がしにくいため、商品価値が低くなる。

フォトリソグラフィーによる顔料分散法は、現在最も広く用いられている。しかしながら、Ｒ（赤）Ｇ（緑）Ｂ（青）およびＢＭ（黒）パターンを形成するために少なくとも３回のフォトリソグラフィーを必要とするため、製造コストが高くなってしまうという課題がある。

そこで、近年、パターン精度向上、色純度向上、製造コスト削減が可能な方法としてインクジェット法が、注目されている。ただし、このインクジェット法は、着色インクを高精度で打ち込む際に隣接する画素と混色し、表示品位を低下させる課題もある。

また、上述のいずれの手法を用いたとしても、１００％の良品製造することは困難であり、異物による不良やＲ（赤）Ｇ（緑）Ｂ（青）およびＢＭ（黒）パターンの欠損などが発生する。

そこで、特許文献１においては、Ｒ（赤）Ｇ（緑）Ｂ（青）３色を塗布するに際し、各色の塗布パターンを均一化でき、塗液のかすれなどを防止し、所定の凹部に対してのみ確実にペーストを塗布できるプラズマディスプレイ用発光基板の製造装置および製造方法が開示されている。

すなわち、特許文献１に開示されたプラズマディスプレイ用発光基板の製造装置１００では、図５に示すように、Ｚ方向スライドテーブル１０１に取り付けられているカメラ１０２にて、図示しないスライドテーブルに載せられてＸ軸方向に移動する被塗布基材１０３の選択した凹部１０３ａを撮像し、画像位置処理部１０４を介してＹ軸位置制御部１０５にてＹ軸方向移動機構を駆動し、凹部１０３ａの中央と塗布ヘッド１０６のノズル孔の中央とがほぼ一致するように制御される。このように、凹部１０３ａの中央とノズル孔の中央とを確実に位置決めした状態で塗液の塗布が開始されるので、所定の凹部１０３ａに対してのみ、塗液を確実に塗布することができる。

また、特許文献２においては、ノズル詰まりにより、基盤に描画したパターンに白抜けの欠陥が発生した場合であっても、ラインを停止させることなく、略同時に欠陥部分を補修することができる描画装置が開示されている。

すなわち、特許文献２に開示された描画装置２００は、図６に示すように、基板Ｐ上の所定位置に液状体を配置してパターンＰＡを描くときに、複数のノズル２１１から基板Ｐに向けて液状体を吐出する第１吐出部２１０と、第１吐出部２１０と基板Ｐとを相対移動させる図示しない第１移動部と、第１吐出部２１０が描画したパターンＰＡの白抜け欠陥部分Ｄを検出する描画検査部２２０と、少なくとも１以上のノズル２３１を有し、ノズル２３１から白抜け欠陥部分Ｄに向けて液状体を吐出する第２吐出部２３０と、描画検査部２２０からの情報に基づいて、第２吐出部２３０を白抜け欠陥部分Ｄに相対移動させる第２移動部２３２とを備えている。

特許文献２では、上記構成により、
（１）第１吐出部２１０および第２吐出部２３０からの吐出作業を流れ作業で行うことができ、第１吐出部２１０が描画したパターンに白抜け欠陥部分Ｄが発生しても、後に続く第２吐出部２３０により補修される。
（２）さらに、第２移動部２３２を複数備えることにより、基板Ｐに複数の白抜け欠陥部分Ｄが発生した場合でも、流れ作業で補修を行うことができる。
としている。
特開２００２-１４０９８２号公報（２００２年５月１７日公開） 特開２００４-３３７７０７号公報（２００４年１２月２日公開）

ところで、図７に示すように、インクジェット方式により作製された表示素子基板の表示部品としてのカラーフィルター３２０の欠陥としては、特許文献２に開示されているような、インクジェットの吐出不良で色の入らない白抜け画素３２７に限らない。

例えば、５０万以上の画素を有し、カラーフィルター３２０を大量に生産していると、隣接する画素同士の色が混ざる混色現象画素３２５が少なからず発生する場合がある。また、異物３２６が付着する場合もある。

このような混色現象画素３２５や異物３２６や白抜け画素３２７は、肉眼で容易に判別可能で、製品として出荷できない不良品となる。

また、一般に、インクジェットによる修正は、多点を修正する必要性から基板または
カラーフィルター３２０を移動させ、移動中のカラーフィルター３２０に図示しない液滴塗布機構ユニットから液滴を照射して、修正したい位置にインクを入れることにより行う。

しかしながら、移動中に液滴を塗布すると、停止中に液滴を塗布する場合に比べ、修正の失敗を招き易い。

さらに、移動中に顕微鏡やラインセンサーで欠陥位置を特定するには非常に高額な機構を必要とする。

また、修正までに経由してくる装置の数が多いと、装置間での欠陥位置情報のばらつきが大きくなり、装置の精度管理が煩雑で、不良やコストを増加させる原因となる場合が多い。

これに対して、上記従来の特許文献１および特許文献２のいずれの構成においても、上記の問題が解決できていない。すなわち、以下の課題が残っている。
（１）装置の移動精度を高くするために高価な部品が必要となりコストが高くなる。
（２）多点を短時間で修正できない。
（３）多点を短時間で修正するためにはインクジェットヘッドが多数必要となりコストが高くなる。

なお、カラー部品ではなく、モノカラー部品の場合であっても同様の技術課題がある。

本発明は、上記の問題点に鑑みてなされたものであり、その目的は、修正の失敗をなくし、高い修正成功率を実現させる安価な表示素子部品修正装置および表示素子部品修正方法を実現することにある。

本発明の表示素子部品修正装置は、上記課題を解決するために、移動および停止を繰り返しながら表示素子部品を搬送する搬送手段と、上記搬送手段によって搬送される表示素子部品に対して欠陥部への液滴の塗布を行う塗布手段とを備えていると共に、上記塗布手段は、搬送手段による表示素子部品の搬送停止中に該表示素子部品に対して液滴の塗布を行うことを特徴としている。

また、本発明の表示素子部品修正方法は、上記課題を解決するために、移動および停止を繰り返しながら搬送される表示素子部品に対して塗布手段にて欠陥部への液滴の塗布を行うときに、表示素子部品の搬送停止中に該表示素子部品に対して液滴の塗布を行うことを特徴としている。なお、欠陥部とは、例えば、混色、異物の存在または白抜けなどである。

上記の発明によれば、塗布手段は、搬送手段による表示素子部品の搬送停止中に該表示素子部品に対して液滴の塗布を行うので、正確な欠陥位置に液滴を塗布できる。

したがって、修正の失敗をなくし、高い修正成功率を実現させる表示素子部品修正装置および表示素子部品修正方法を実現することができる。

また、本発明の表示素子部品修正装置では、前記表示素子部品の欠陥部を検出する欠陥検出手段を備えていることが好ましい。

これにより、表示素子部品修正装置に備えられた欠陥検出手段が表示素子部品の欠陥部を検出するので、欠陥検出手段が検出する欠陥検出位置をこの部品修正装置の塗布手段における塗布位置に反映することができる。この結果、表示素子部品が経由してくる装置間のばらつきに左右されず、塗布を行なうための正確な位置を認識することができる。

また、移動中に顕微鏡やラインセンサーで欠陥位置を特定するには非常に高額な欠陥検出手段を必要とするが、本発明においては、停止中に表示素子部品の欠陥を欠陥検出手段で確認するので、追跡装置等が不要であり、欠陥検出手段を安価に製造できる。

この結果、同一の表示素子部品修正装置内に備えられた欠陥検出手段により、正確な欠陥位置の検出を行った後に液滴を塗布するので、修正の失敗をなくし、高い修正成功率を実現させる安価な表示素子部品修正装置を実現することができる。

また、本発明の表示素子部品修正装置では、前記欠陥検出手段は、欠陥を観察できる欠陥観察手段を備えていることが好ましい。

これにより、表示素子部品の欠陥部を目視できるので、より確かな欠陥情報を得ることができる。

また、本発明の表示素子部品修正装置では、前記表示素子部品の欠陥部をレーザーにより除去するレーザー除去手段を備えていると共に、上記レーザー除去手段は、搬送手段による表示素子部品の搬送停止中に該表示素子部品に対して欠陥部を除去することが好ましい。

これにより、レーザー除去手段にて表示素子部品の欠陥部をレーザーにより除去することができる。

また、レーザー除去手段は、搬送手段による表示素子部品の搬送停止中に該表示素子部品に対して欠陥部を除去するので、正確な欠陥位置における欠陥部を除去することができる。さらに、欠陥部の除去に際して、欠陥位置の精度管理が容易になるため、コストを抑えることができる。

したがって、修正の失敗をなくし、高い修正成功率を実現させる表示素子部品修正装置を実現することができる。

また、本発明の表示素子部品修正装置では、前記搬送手段は、搬送速度および搬送距離を欠陥分布状況に応じて変化させる機能を備えていることが好ましい。

これにより、無駄な移動時間および停止時間を省くことができるため、表示素子部品の欠陥修正完了までのタクトタイムを短縮することができる。

また、複数の欠陥修正箇所がある場合は、停止時間を長くすることによって、欠陥修正の完成度を向上させることができる。したがって、結果的に、多点を短時間で修正できると共に、塗布手段の数を抑えることができるので、コストを低減することができる。

また、本発明の表示素子部品修正装置では、前記塗布手段は、塗布動作の休止中に、該塗布手段自体をメンテナンスするメンテナンス手段を備えていることが好ましい。

これにより、塗布動作を必要としない休止中には、メンテナンス手段にて塗布手段自体をメンテナンスすることができる。

この結果、塗布手段のメンテナンスのために表示素子部品修正装置の稼動を止めたりする必要がなくなり、欠陥修正のタクトタイムを長くすることなく、正常な塗布動作を長期間継続することができる。

また、本発明の表示素子部品修正装置では、前記塗布手段は、インクジェット方式により液滴の塗布を行うことが好ましい。

これにより、例えば、表示素子部品のサイズ変更に対し、塗布するインク量を容易に変更することができるため、多品種の表示素子部品を製造する場合に有利となる。

また、本発明の表示素子部品修正装置では、前記塗布手段は、ニードル方式により液滴の塗布を行うことが好ましい。

これにより、ニードル方式による液滴の塗布では、高粘度のインクを塗布することが可能であるので、短時間にて、多量のインクを塗布することができる。さらに、インクの物性変更が容易であり、例えば、ＵＶ（ultraviolet radiation）硬化剤などを混ぜ込み、修正完了後、すぐに固化することもできる。

また、本発明の表示素子部品修正装置では、前記塗布手段は、ディスペンサー方式により液滴の塗布を行うことが好ましい。

これにより、ディスペンサー方式による液滴の塗布では、インクの物性による影響を最も受け難いため、修正箇所の仕上がりをよくすることができる。

また、本発明の部品修正装置では、前記表示素子部品は、表示素子のカラーフィルターであることが好ましい。

これにより、表示装置において鮮やかなカラー画像を得ることができる。

また、本発明の表示素子部品修正方法では、前記表示素子部品に対して欠陥部への液滴の塗布を行う移動自在の塗布手段の可動範囲を、表示素子部品の１回の搬送方向長以内にすることが好ましい。

これにより、隣り合う移動自在の塗布手段が互いに衝突する危険を回避することができる。そのため、塗布手段は煩雑な制御手段を備えずともよく、塗布手段を安価に製造することができる。

本発明の表示素子部品修正装置は、以上のように、複数回の移動および停止を繰り返しながら表示素子部品を搬送する搬送手段と、上記搬送手段によって搬送される表示素子部品に対して欠陥部への液滴の塗布を行う塗布手段とを備えていると共に、上記塗布手段は、搬送手段による表示素子部品の搬送停止中に該表示素子部品に対して液滴の塗布を行うものである。

また、本発明の表示素子部品修正方法は、以上のように、複数回の移動および停止を繰り返しながら搬送される表示素子部品に対して塗布手段にて欠陥部への液滴の塗布を行うときに、表示素子部品の搬送停止中に該表示素子部品に対して液滴の塗布を行う方法である。

それゆえ、表示素子部品の搬送停止中に該表示素子部品に対して液滴の塗布を行うので、正確な欠陥位置に液滴を塗布できる。

したがって、修正の失敗をなくし、高い修正成功率を実現させる安価な表示素子部品修正装置および表示素子部品修正方法を実現することができるという効果を奏する。

〔実施の形態１〕
本発明の一実施形態について図１および図２に基づいて説明すれば、以下の通りである。

本実施の形態の表示素子部品修正装置は、パネルの表示素子部品としてのカラーフィルターをインクジェットにより形成したときの欠陥を修正するためのものである。ただし、本発明において、表示素子部品はカラーフィルターに限らず、ＥＬ材料を用いたディスプレーの発光層などにも適用可能である。

最初に、パネルのカラーフィルター２０について説明する。

上記表示素子部品としてのカラーフィルター２０は、図２に示すように、赤（Ｒ）画素２１、緑（Ｇ）画素２２、および青（Ｂ）画素２３の繰り返しパターンにより形成されている。赤（Ｒ）画素２１、緑（Ｇ）画素２２、および青（Ｂ）画素２３の周辺には、ブラックマトリックス２４が形成され、このブラックマトリックス２４は不要な光をカットする役割を果たしている。

一般に、画素１つのサイズは縦１００μｍおよび横３００μｍ程度であり、画素と画素との間に配置されているブラックマトリックス２４の幅は、１０μｍ程度である。画素形成前には、４フッ化炭素ガス下でのプラズマやフッ素樹脂コーティングによる撥液化処理が施され、ブラックマトリックス２４の表面は、インクを弾きやすい性質を有している。

本実施の形態では、上記カラーフィルター２０は、上記赤（Ｒ）画素２１、緑（Ｇ）画素２２、青（Ｂ）画素２３およびブラックマトリックス２４がインクジェット法により形成されている。

そして、上記カラーフィルター２０が製造されたときには、全面に赤（Ｒ）画素２１、緑（Ｇ）画素２２、および青（Ｂ）画素２３があるかどうかが検査される。すなわち、図２に示すように、製造されたカラーフィルター２０には、混色現象画素２５や異物２６や白抜け画素２７などの欠陥部が発生していることがある。

このような欠陥部の修正が必要な画素が存在する場合には、混色現象画素２５や異物２６や白抜け画素２７などの欠陥部の欠陥種類情報と発生位置情報とが特定され、欠陥部を取り除くための図示しない装置に搬入される。欠陥部を取り除くための方法としては、例えば、ＵＶ（Ultraviolet Radiation)レーザーもしくはＩＲ(Infrared Radiation)レーザーにより昇華する方法、または刃物により削る方法が用いられる。

次いで、欠陥部が取り除かれたカラーフィルター２０は、本実施の形態の表示素子部品修正装置としての部品修正装置１０に搬入され、該欠陥部に、インクジェットにより塗布する修正が行なわれる。

ここで、本実施の形態の部品修正装置１０について、図１（ａ）〜図１（ｃ）に基づいて説明する。図１（ａ）は、部品修正装置１０の平面図である。図１（ｂ）は部品修正装置１０の側面図である。図１（ｃ）は部品修正装置１０の正面図である。

上記部品修正装置１０は、図１（ａ）に示すように、搬送手段としてのステージ１と、複数の液滴塗布機構固定装置２と、液滴の塗布手段としての液滴塗布機構ユニット３および液滴塗布電装ユニット４とを有している。

上記ステージ１は、カラーフィルター２０に対して充分に長く、同時に複数枚のカラーフィルター２０を搬送することが可能である。

また、上記液滴塗布機構固定装置２は、棒状の装置であり、ステージ１に対して垂直かつ等間隔に複数本備えられており、ステージ１に対して水平方向に動くことができる。

さらに、上記液滴塗布機構固定装置２には、液滴塗布機構ユニット３および液滴塗布電装ユニット４が接続されており、当該液滴塗布機構固定装置２に沿って自由に動くことができる。

なお、本実施の形態においては、上記構成に加え、水平面内で移動可能な欠陥の検出手段としての欠陥観察ユニット５が、上記液滴塗布機構固定装置２に接続されていてもよい。上記欠陥観察ユニット５は、顕微鏡などの観察手段を含んでいてもよく、当該観察手段にはモニタが接続され肉眼で観察できるようにしておくことも可能である。

上記構成を備えた部品修正装置１０におけるカラーフィルター２０の欠陥部の修正方法について説明する。

まず、カラーフィルター２０を載置したステージ１が、一定の距離だけ移動し、停止するという動きを繰り返す。当該ステージ１の最初の移動で、カラーフィルター２０は、ある一定量だけ搬送される。そのとき、カラーフィルター２０の上部には、１本の液滴塗布機構固定装置２と１つのと１つの液滴塗布機構ユニット３とが存在しているので、欠陥観察ユニット５にて欠陥位置の観察を行い、液滴塗布機構ユニット３にて液滴塗布を実施する。

複数個所の欠陥部の修正が完了した後、再び、カラーフィルター２０を一定量だけ移動させ、停止する。このとき、カラーフィルター２０の上部には、２本の液滴塗布機構固定装置２と２つの欠陥観察ユニット５と２つの液滴塗布機構ユニット３とが存在する。

その結果、同一時間で２倍の欠陥修正が可能となる。これを繰り返すことにより、同一時間で修正できる範囲が広がっていく。そして、カラーフィルター２０が、部品修正装置１０に備えられたすべての液滴塗布機構固定装置２の下を通過すると、カラーフィルター２０の全面の欠陥が修正された状態となる。

ここで、部品修正装置１０の具体的動作について詳述する。

カラーフィルター２０は、部品修正装置１０の初期ポジションに、図示しないロボットアームにより搬入される。その後、本実施の形態では、カラーフィルター２０の搬送方向長の例えば１／５の距離だけ移動させ、停止する。

カラーフィルター２０の移動が完了し、停止してから、液滴塗布機構固定装置２に接続された欠陥観察ユニット５が移動して欠陥部を検出する。

欠陥観察ユニット５により正確な欠陥位置が認識できた後、液滴塗布機構固定装置２に配置された液滴塗布機構ユニット３が欠陥位置に移動し、修正を行う。

欠陥位置の観察と液滴塗布とを複数回実施し、カラーフィルター２０の１／５のエリアにある複数個所の欠陥修正が完了した後、再び、カラーフィルター２０の搬送方向長の１／５の距離だけ移動させ、停止する。このとき、カラーフィルター２０の上部には、２本の液滴塗布機構固定装置２と欠陥観察ユニット５と液滴塗布機構ユニット３とが存在するため、同一時間で、２倍の欠陥修正が可能となる。

カラーフィルター２０の２／５のエリアにある複数個所の欠陥修正が完了した後、再び、カラーフィルター２０の搬送方向長の１／５の距離だけ移動させ、停止する。カラーフィルター２０の搬送方向長の１／５の距離だけの移動を５回繰り返すと、カラーフィルター２０全面の欠陥修正が可能となる。しかし、５回の移動・停止時に５本の液滴塗布機構固定装置２でカラーフィルター２０の全面を修正しようとすると、隣接する液滴塗布機構固定装置２に設置された欠陥観察ユニット５、液滴塗布機構ユニット３および液滴塗布電装ユニット４同士が衝突する可能性がある。また、衝突を避けるためには煩雑な制御が必要となる。そこで、本実施の形態では、液滴塗布機構固定装置２に設置された欠陥観察ユニット５、液滴塗布機構ユニット３および液滴塗布電装ユニット４の修正範囲を、カラーフィルター２０の搬送方向長の１／５の距離よりも短くすることによって、衝突の発生を容易に回避している。例えば、図１（ａ）に示すように、１０本の液滴塗布機構固定装置２がカラーフィルター２０に上部に存在するときには、衝突を回避して、カラーフィルター２０の全面をくまなく修正することができる。

さらに具体的には、以下のとおりである。

例えば、カラーフィルター２０の搬送方向長さ１０００ｍｍ、１回の移動量２００ｍｍ、１回の移動に掛かる時間を５秒、１回停止時間１５秒、液滴塗布電装ユニット４の修正範囲１１０ｍｍ、欠陥観察から液滴塗布完了までの時間を３秒／１画素、液滴塗布機構固定装置２の本数１０本、隣接する液滴塗布機構固定装置間２の距離を２００ｍｍ、ステージ１のサイズを４０００ｍｍ、液滴塗布機構固定装置２の配置エリア２０００ｍｍと仮定すると、カラーフィルター２０上の欠陥を最大で２５０画素の修正が可能となる。

実際には、カラーフィルター２０上の欠陥の分布には偏りがあるため、特定エリアにのみ欠陥が発生した場合には、最低２５画素の修正となる。多数のカラーフィルター２０の欠陥発生状況から、通常、１８０画素の修正が可能となる。

また、５回の搬送が完了した際に、基板搬入できるエリアが確保されているため、連続して複数枚の修正ができる。そのため、タクトタイムは、１００秒で１８０画素の修正が可能となる。搬送速度を向上させたり、搬送距離を欠陥分布状況に応じて変化させたりするような機能を盛り込めば、さらに、タクトタイムの短縮、および修正画素数向上が可能となる。

その後、一方向に搬送されたカラーフィルター２０は、カラーフィルター２０の上側の設けられた空中搬送部９により取り上げられ、この空中搬送部９を搬送するレール８を動かすことによって、基板搬入部である初期ポジションに移動され、図示しないロボットアームにより部品修正装置１０から取り出される。

なお、本実施の形態においては、移動量をカラーフィルター２０の搬送方向長の例えば１／５の距離としているが、これは図１（ａ）での説明を容易にするためであり、必ずしもこれに限定されず、移動距離は液滴塗布機構固定装置２の本数および配置、並びにカラーフィルター２０のサイズにより変更することも可能である。

また、上述の部品修正装置１０の使用時において、以下のような条件であってもかまわない。

（１）カラーフィルター２０の移動、停止機構は、コンベア搬送、ローラー搬送、エアや静電気による基板浮上搬送、基板固定枠を用いた枠搬送など、どのような機構を用いても良い。

（２）欠陥観察ユニット５は、顕微鏡、ラインセンサー、導電率計、静電容量計、段差計、高さ測定器など欠陥部を特定できる機能を有していれば、手法に限定はない。通常はコスト的に有利で非接触式である顕微鏡を用いることが多い。ここで、欠陥発生位置情報は、他の装置が測定したばらつきを有するデータであるため、顕微鏡の視野は大きいほど、情報のばらつきに対する許容量が大きくできるという利点がある。

（３）欠陥観察ユニット５に色の種類情報と色の配列パターン情報を識別する色情報識別機構を保有させ、大まかな欠陥位置情報だけ入手してもよい。例えば、視野サイズが２ｍｍ四方であれば、１ｍｍの欠陥位置情報のばらつきが許容できる。

（４）液滴塗布電装ユニット４は液滴塗布機構ユニット３と一緒に移動すると良い。液滴塗布機構ユニット３のみがカラーフィルター２０上を移動する場合、液滴塗布電装ユニット４との接続配線を束ねるケーブルベアが必要となるが、このケーブルベアは、移動する液滴塗布機構ユニット３の移動の妨げとなるため、移動精度が低下する場合があるからである。

さらに、修正する画素のサイズが大きく、高い精度が要求されない場合や、装置価格を上げて、高精度な機器を導入してもメリットが見出せる場合には、欠陥観察ユニット５を取りはずすことができる。この場合は、欠陥観察から液滴塗布完了までの時間が３秒／１画素よりも短くすることが可能であり、同一時間で修正可能な画素数が増加する。

また、修正する欠陥の発生状況によっては、液滴塗布機構ユニット３の動作を必要としない場合もある。その場合には、液滴塗布機構ユニット３をメンテナンス手段としてのメンテナンスユニット６の上に移動してメンテナンスを実施する。これにより、タクトタイムを長くすることなく、正常な動作を長期間継続することができる。

なお、上述の説明では、欠陥部を除去するレーザー除去装置は、部品修正装置１０には設けられていないとして説明したが、必ずしもこれに限らず、部品修正装置１０は、欠陥部を除去するレーザー除去手段としての除去ユニット７を備えているとすることができる。

この除去ユニット７は、カラーフィルター２０の停止中に欠陥部のレーザー除去を行い、その後、液滴の塗布が行なわれる。

具体的には、まず、カラーフィルター２０を製造するときは、全面にインクジェットにより画素が赤（Ｒ）・緑（Ｇ）・青（Ｂ）に描画されたカラーフィルター２０は、除去ユニット７を備えた部品修正装置１０に搬入される。そして、カラーフィルター２０は移動および停止を繰り返しながら搬送される。このとき、カラーフィルターが停止した状態において、欠陥観察ユニット５により欠陥部が検出され、除去ユニット７がＵＶおよびＩＲレーザーによる昇華方法などにより、欠陥部を除去する。欠陥が取り除かれた箇所に液滴塗布機構ユニット３が液滴を塗布し修正する。

このように、部品修正装置１０に除去ユニット７を備えることにより、欠陥検出および欠陥除去並びに欠陥修正を、１台でまかなうことができる。

なお、上述の説明では、欠陥除去方法をＵＶおよびＩＲレーザーによる昇華方法としているが、必ずしもこれに限定されず、例えば、刃物による切削方法などを用いることも可能である。

〔実施の形態２〕
本発明の他の実施形態について、図３および図４に基づいて説明すれば、以下の通りである。なお、本実施の形態において説明すること以外の構成は、前記実施の形態１と同じである。また、説明の便宜上、前記の実施の形態１の図面に示した部材と同一の機能を有する部材については、同一の符号を付し、その説明を省略する。

前記実施の形態１の部品修正装置１０では、液滴の塗布手段としての液滴塗布機構ユニット３は、インクジェット方式を採用していた。

しかしながら、液滴の塗布手段としての液滴塗布機構ユニット３は、欠陥位置にインクを打ち込む機構を有していれば、その方式はどのようなものでもよい。

例えば、インクジェット方式を用いる場合には、画素のサイズ変更に対し、塗布するインク量を変更することが容易なため、多品種を製造する場合に有利になる。しかし、インクジェット方式においては、塗布できるインクの物性に制約が多く、修正後の仕上り具合が悪くなったり、悪い場合には、製品化された後で、修正箇所が肉眼で認識できたりする場合もある。

そこで、修正する対象部品に応じて、液滴の塗布方式として、ニードル方式を採用することが可能である。

すなわち、ニードル方式の場合は、図３（ａ）（ｂ）に示すように、先端の尖ったニードル３１にインクを付着させ、ニードル先端に付着したインクをガラス基板の修正したい箇所に転写させることにより、修正を行う。ニードル３１の先端角度を変えることによって、ニードル３１に付着するインク量を変えることができる。また、ニードル３１の先端をインク壷３２に入れる寸法を変えることによって、インクの付着量を変えることができる。

このように、ニードル方式の場合は、高粘度のインクを塗布することが可能であり、短時間で多量のインクを塗布することができる。また、インクの物性変更が容易で、ＵＶ硬化剤などを混ぜ込み、修正完了後、すぐに固化することも可能である。

一方、ニードル方式の場合は、ニードルの先端でインクが固まると、修正箇所の仕上がりが悪くなり、悪い場合には、電気的なリークを発生させるツノ上の突起を形成してしまうという問題がある。

そこで、修正する対象部品に応じて、前記液滴の塗布方式として、ディスペンサー方式を採用することも可能である。

図４はディスペンサー方式の一例をあらわしており、カートリッジヒーター４４にて塗液を充填したニードルの先端４２を加熱し、ニードルの吐出口４３から塗液を表示素子部品としてのカラーフィルター４５に滴下させるようになっている。

図４に示すように、液滴を分注するディスペンサー４０は、塗液を所定の位置に塗布するために先端を細くしたニードル４１と、塗液を入れたニードルの先端４２と、ニードルの先端に開けられた吐出口４３と、ニードルの先端を加熱するカートリッジヒーター４４とからなる。

塗液を吐出口４３から出す方法としては、弁を用いた方法およびガス圧を利用した方法および真空滴下法などでもよく、図４を用いて説明した上述の方法にとらわれない。

このようなディスペンサー方式の利点は、インクの物性による影響を最も受け難い点である。しかしながら、ニードルの先端は非常に細くかつ穴が開いている為、折れやすく、安定生産に問題を抱える。

以上から、修正する対象部品からの制約により、インクジェット、ディスペンサー、ニードル方式を組み合わせて使用する場合もある。

〔実施の形態３〕
本発明のさらに他の実施形態について説明すれば、以下の通りである。なお、本実施の形態において説明すること以外の構成は、前記実施の形態１および２のいずれか一つと同じである。また、説明の便宜上、前記の実施の形態１および２の図面に示した部材と同一の機能を有する部材については、同一の符号を付し、その説明を省略する。

本実施の形態の部品修正装置１０は、前記実施の形態１および２のいずれか一つの構成に加えて、前記液滴塗布機構ユニット３から吐出される液滴が、カラーインクとは限らず、配線修正用の導電性材料、絶縁材料、半導体材料とすることができる。また、単一カラー表示パネルを修正する場合には、３色カラーに比べ、１／３の数量の吐出部があればよい。４色カラー、５色カラーなど多色の場合には、液滴塗布機構ユニット３の内部に必要な色を吐出できる経路を持たせればよい。

なお、本発明は、上述した各実施形態に限定されるものではなく、請求項に示した範囲での種々の変更が可能であり、異なる実施形態にそれぞれ開示された技術的手段を適宜組み合わせて得られる実施形態についても本発明の技術的範囲に含まれる。

本発明は、カラーフィルター形成後の部品修正方法及び部品の修正装置に適用することができる。具体的には、液晶パネル、プラズマパネル、マイクロミラーパネル、ブラウン管ディスプレー、プロジェクションテレビなどのカラー表示パネルの部品修正方法及び部品の修正装置に利用することができる。また、ＥＬ材料を用いたディスプレーの発光層の部品修正方法及び部品の修正装置にも利用可能である。

（ａ）は、本発明における表示素子部品修正装置の実施の一形態を簡略化して示す平面図であり、（ｂ）は、上記表示素子部品修正装置を簡略化して示す側面図であり、（ｃ）は、上記表示素子部品修正装置を簡略化して示す正面図である。 上記表示素子部品修正装置の修正対象であるカラーフィルターを示す平面図である。 本発明における表示素子部品修正装置の他の実施の形態を示すものであり、ニードル方式の液滴塗布機構ユニットを示す斜視図である。 （ａ）（ｂ）は、本発明における表示素子部品修正装置の他の実施の形態を示すものであり、ディスペンサー方式の液滴塗布機構ユニットを示す斜視図である。 従来のプラズマディスプレイ用発光基板の製造装置を示す構成図である。 従来の他の描画装置を示す平面図である。 従来における修正対象であるカラーフィルターを示す平面図である。

符号の説明

１ ステージ（搬送手段）
２ 液滴塗布機構固定装置
３ 液滴塗布機構ユニット（塗布手段）
４ 液滴塗布電装ユニット（塗布手段）
５ 欠陥観察ユニット（欠陥検出手段、欠陥観察手段）
６ メンテナンスユニット（メンテナンス手段）
７ 除去ユニット（レーザー除去手段）
９ 空中搬送部
８ レール
１０ 部品修正装置（表示素子部品修正装置）
２０ カラーフィルター（表示素子部品）
２１ 赤画素
２２ 緑画素
２３ 青画素
２４ ブラックマトリックス
２５ 混色現象画素（欠陥部）
２６ 異物（欠陥部）
２７ 白抜け画素（欠陥部）
３１ ニードル
４０ ディスペンサー
４１ ニードル
４２ ニードルの先端
４３ 吐出口
４４ カートリッジヒーター
４５ カラーフィルター（表示素子部品）

Claims (9)

1. 移動および停止を繰り返しながら表示素子部品を搬送する搬送手段と、
   上記搬送手段によって搬送される表示素子部品に対して欠陥部への液滴の塗布を行う塗布手段と、
   上記表示素子部品の欠陥部を検出する欠陥検出手段とを備えている共に、
   上記塗布手段は、搬送手段による表示素子部品の搬送停止中に該表示素子部品に対して液滴の塗布を行い、
   上記欠陥検出手段は、搬送手段による表示素子部品の搬送停止中に該表示素子部品に対して欠陥部を検出し、
   上記搬送手段は、表示素子部品の搬送方向への移動および停止を、該表示素子部品における搬送方向のサイズ内の一定の搬送距離毎に複数回行うと共に、
   上記塗布手段および欠陥検出手段は、表示素子部品の搬送方向に沿って上記一定の搬送距離毎に並べて複数組設けられ、
   各組の塗布手段および欠陥検出手段は、上記各一定の搬送距離内で移動自在となっていることを特徴とする表示素子部品修正装置。
2. 前記欠陥検出手段は、欠陥を観察できる欠陥観察手段を備えていることを特徴とする請求項１記載の表示素子部品修正装置。
3. 前記表示素子部品の欠陥部をレーザーにより除去するレーザー除去手段を備えていると共に、
   上記レーザー除去手段は、搬送手段による表示素子部品の搬送停止中に該表示素子部品に対して欠陥部を除去することを特徴とする請求項１または２記載の表示素子部品修正装置。
4. 前記塗布手段は、塗布動作の休止中に、該塗布手段自体をメンテナンスするメンテナンス手段を備えていることを特徴とする請求項１〜３のいずれか１項に記載の表示素子部品修正装置。
5. 前記塗布手段は、インクジェット方式により液滴の塗布を行うことを特徴とする請求項１〜４のいずれか１項に記載の表示素子部品修正装置。
6. 前記塗布手段は、ニードル方式により液滴の塗布を行うことを特徴とする請求項１〜４のいずれか１項に記載の表示素子部品修正装置。
7. 前記塗布手段は、ディスペンサー方式により液滴の塗布を行うことを特徴とする請求項１〜４のいずれか１項に記載の表示素子部品修正装置。
8. 前記表示素子部品は、表示素子のカラーフィルターであることを特徴とする請求項１〜７のいずれか１項に記載の表示素子部品修正装置。
9. 移動および停止を繰り返しながら搬送される表示素子部品に対して塗布手段にて欠陥部への液滴の塗布を行うときに、表示素子部品の搬送停止中に該表示素子部品に対して液滴の塗布を行うと共に、
   上記表示素子部品の搬送方向への移動および停止は、該表示素子部品における搬送方向のサイズ内の一定の搬送距離毎に複数回行われ、
   上記表示素子部品の搬送停止中における欠陥部への液滴の塗布は、表示素子部品の搬送方向に沿って上記一定の搬送距離毎に並べて複数組設けられた上記塗布手段および欠陥検出手段にて、上記各一定の搬送距離内で移動自在に各組毎に行われることを特徴とする表示素子部品修正方法。

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