JP4617699B2 - Fan filter unit - Google Patents
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Description
本発明は、半導体工場、食品工場などの清浄空間を必要とするクリーンルームで使用されるケミカルフィルタ内包形ファンフィルタユニットの構造に関する。 TECHNICAL FIELD The present invention relates to a structure of a chemical filter inclusion type fan filter unit used in a clean room requiring a clean space such as a semiconductor factory or a food factory.
従来、ケミカルフィルタの取付構造は、ファンフィルタユニットのチャンバー下流側に設けられて塵埃除去フィルタと共に積層構造を成して、クリーンルーム内の構造物天面に取り付けられている（例えば特許文献１参照）。
このような従来のケミカルフィルタと塵埃除去フィルタの積層構造では、ケミカルフィルタを着脱させるため、ファンフィルタユニットをすべて分離することが不可欠であって、分離した際多くの構成部品を移動して配置する必要があり、着脱に有する時間がかかることとなり、クリーンな環境を保つべきクリーン空間内外に人が入ってケミカルフィルタの交換作業をおこなうことによる内部のクリーンな環境に障害を及ぼすという課題がある。 In such a conventional chemical filter and dust removal filter laminated structure, it is indispensable to separate all the fan filter units in order to attach and detach the chemical filter, and many components are moved and arranged when separated. There is a problem that it takes time to attach and detach, and there is a problem that an internal clean environment is disturbed by a person entering and leaving the clean space where a clean environment should be maintained and exchanging the chemical filter.
また、最近の局所クリーン化の動きに伴い、クリーンな環境を維持すべき空間が小型化しており、内部に設けられた各種製造装置によってクリーン空間内外のメンテナンススペースの確保が困難なため、フィルタ着脱構造に関し省スペース化が望まれている。 In addition, with the recent movement of local cleanliness, the space for maintaining a clean environment has been reduced in size, and it is difficult to secure maintenance space inside and outside the clean space with various internal manufacturing equipment. Space saving is desired for the structure.
また、ケミカルフィルタは寿命が塵埃除去フィルタより短かく、塵埃除去フィルタよりも単位面積あたりの質量が大きく交換時間の省力化が望まれている。 In addition, the chemical filter has a shorter lifetime than the dust removal filter, and has a larger mass per unit area than the dust removal filter, and it is desired to save labor in replacement time.
また、フィルタ着脱作業についても、製造装置等の稼動時間に制約を与えるために、可能な限り短時間で行なうことが要求されている。 Also, the filter attaching / detaching work is required to be performed in as short a time as possible in order to limit the operating time of the manufacturing apparatus or the like.
本発明は、このような従来のケミカルフィルタ着脱の課題を解決するものであり、クリーン空間でのケミカルフィルタ着脱を容易にし、かつ短時間におこなうことができ、また着脱構造に関して省スペース化、およびメンテナンス省力化ができるケミカルフィルタ内包形のファンフィルタユニットを提供する事を目的としている。 The present invention solves such problems of conventional chemical filter attachment / detachment, facilitates chemical filter attachment / detachment in a clean space, can be performed in a short time, and saves space with respect to the attachment / detachment structure, and The purpose is to provide a fan filter unit with a chemical filter that can save maintenance.
本発明のファンフィルタユニットは、上記目的を達成するために、ファンとモーターと天板とを一体に構成したファンユニット天板部と、前記ファンユニット天板部の下流側に設けたケミカルフィルタと、前記ファンユニット天板部と前記ケミカルフィルタを内蔵したチャンバーと、前記チャンバーの下流側に塵埃除去フィルタを配設し、前記ファンユニット天板部は、前記チャンバーから分離可能な構成とし、前記ファンユニット天板部を分離したときにできる前記チャンバー上部の開口部は、前記ケミカルフィルタの通風方向の面積よりも大きいことを特徴とするものである。 Fan filter unit of the present invention, in order to achieve the above object, a fan and motor and and the fan unit top plate portion which is integrally formed with the top plate, and a chemical filter provided downstream of the fan unit top plate the a fan unit top plate portion and the chamber which incorporates the chemical filter, a dust removal filter disposed on the downstream side of the chamber, the fan unit top plate portion, a separable structure from said chamber, said fan The opening in the upper part of the chamber formed when the unit top plate is separated is larger than the area of the chemical filter in the ventilation direction .
この手段により、チャンバーに内包したケミカルフィルタは、チャンバーを設置したまま、ファンユニット天板部を取り外し、取り外した部分にできたチャンバー上面部分の開口部からケミカルフィルタを着脱することが可能なファンフィルタユニットが得られる。 By this means, chemical filters contained in the chamber, while installing the chamber, the fan unit and remove the top plate portion, removed fan filter capable of detaching a chemical filter from the opening of the can chambers top portion to the portion Unit is obtained.
また、天板の周辺に立上がり部分を設けたものである。 In addition, a rising portion is provided around the top plate.
この手段により天板の周辺の立上がり部分は、天板の強度があがると共に天板の変形を抑制してケミカルフィルタのような重量物をあげられるファンフィルタユニットが得られる。 By this means, a fan filter unit can be obtained that raises the strength of the top plate at the rising portion around the top plate and suppresses the deformation of the top plate to increase the weight such as a chemical filter.
また、天板に取っ手を設けたものである。 In addition, a handle is provided on the top plate.
この手段により取っ手にかかる力は取っ手の数で分散されると共に、重量物を持ち運ぶファンフィルタユニットが得られる。 By this means, the force applied to the handle is distributed by the number of handles, and a fan filter unit for carrying a heavy object is obtained.
また、前記ケミカルフィルタを少なくとも２枚以上に分割したものである。 The chemical filter is divided into at least two sheets.
この手段により分割されたケミカルフィルタは、１枚あたりの重量が軽くなり扱い易いファンフィルタユニットが得られる。 The chemical filter divided by this means is light in weight per sheet, and a fan filter unit that is easy to handle can be obtained.
また、ケミカルフィルタの保持手段を設けたものである。 Also, a chemical filter holding means is provided.
この手段により分割されたケミカルフィルタは、保持手段であるケースに収納されるため扱い易いファンフィルタユニットが得られる。 Since the chemical filter divided by this means is housed in a case which is a holding means, an easy-to-handle fan filter unit can be obtained.
また、ケミカルフィルタの下流側に緩衝材を設けたものである。 Further , a buffer material is provided on the downstream side of the chemical filter.
この手段によりケミカルフィルタと塵埃除去フィルタの密閉度が緩衝材により保たれるファンフィルタユニットが得られる。 By this means, a fan filter unit is obtained in which the sealing degree of the chemical filter and the dust removing filter is maintained by the buffer material.
本発明によれば、ファンとモーターのファンユニットを天板と一体化したファンユニット天板部の着脱による軽量化が図れるので、メンテナンスの省力化の効果が得られ、ファンユニット天板部分のみ着脱するので、チャンバー及び塵埃除去フィルタは、クリーンな環境部分から外す必要がないのでクリーンルーム内のクリーンな環境を維持できる効果が得られる。 According to the present invention, it is possible to reduce the weight by attaching and detaching the fan unit top plate unit in which the fan unit of the fan and the motor is integrated with the top plate. Therefore, since the chamber and the dust removal filter do not need to be removed from the clean environment portion, an effect of maintaining a clean environment in the clean room can be obtained.
さらに、チャンバー内部に設けたケミカルフィルタは、ファンとモーターと天板から構成したファンユニット天板部を外した後のチャンバー上面部分からのファンフィルタユニットのメンテナンスが容易にできる効果が得られる。 Furthermore, the chemical filter provided in the chamber can provide an effect that the fan filter unit can be easily maintained from the upper surface portion of the chamber after the fan unit top plate portion composed of the fan, the motor and the top plate is removed.
また、天板の周辺に立上がり部分を設けたことにより、天板の強度が増し、変形も少なくなる。 Further, by providing the rising portion around the top plate, the strength of the top plate is increased and deformation is reduced.
また、天板に取っ手をつけることにより、持ちやすさと力の分散がはかられるという効果が得られる。 In addition, by attaching a handle to the top plate, it is possible to obtain the effect of ease of holding and dispersion of force.
また、ケミカルフィルタを分割してチャンバー内部で使用することで、ケミカルフィルタの軽量化が図れ、ファンフィルタユニットのメンテナンス省力化、省施工化の効果が得られる。 Further, by dividing the chemical filter and using it inside the chamber, the weight of the chemical filter can be reduced, and the effects of labor saving and construction saving of the fan filter unit can be obtained.
また、分割したケミカルフィルタをケースに保持することにより、確実に収納できるという効果が得られる。 Moreover, the effect that it can accommodate reliably is acquired by hold | maintaining the divided | segmented chemical filter in a case.
また、ケミカルフィルタの下流側に緩衝材を設けることにより、円形ケミカルフィルタと塵埃除去フィルタの密閉度が緩衝材により保たれるという効果が得られる。 Further, by providing the buffer material on the downstream side of the chemical filter, an effect that the sealing degree of the circular chemical filter and the dust removing filter is maintained by the buffer material can be obtained.
本発明は、ファンとモーターと天板とを一体に構成したファンユニット天板部と、前記ファンユニット天板部の下流側に設けたケミカルフィルタと、前記ファンユニット天板部と前記ケミカルフィルタを内蔵したチャンバーと、前記チャンバーの下流側に塵埃除去フィルタを配設し、前記ファンユニット天板部は、前記チャンバーから分離可能な構成とし、前記ファンユニット天板部を分離したときにできる前記チャンバー上部の開口部は、前記ケミカルフィルタの通風方向の面積よりも大きいことを特徴とするを有する。 The present invention relates to a fan unit top plate part integrally configured with a fan, a motor, and a top plate , a chemical filter provided on the downstream side of the fan unit top plate part, the fan unit top plate part, and the chemical filter. a built-in chamber, a dust removal filter disposed on the downstream side of the chamber, the fan unit top plate portion, a separable structure from said chamber, said chamber capable upon separating the fan unit top plate The upper opening is characterized by being larger than the area of the chemical filter in the ventilation direction .
また、天板の周辺に立上がり部分を設けたものであって、立上がり部分により強度を増し、変形を抑制するという作用を有する。 Further, there is provided a partial rise in the periphery of the top plate, increasing the strength by rising portion has the effect of suppressing deformation.
また、天板に取っ手を設けたものであって、取っ手により力の分散ができ、持ちやすいという作用を有する。 Further, there is provided a handle on the top plate, it can be distributed force by the handle, an effect that is easy to hold.
また、前記ケミカルフィルタを少なくとも２枚以上に分割したものであり、分割したケミカルフィルタを天板側より取り出すことができる作用を有する。 Further, the chemical filter is divided into at least two sheets , and has an effect that the divided chemical filter can be taken out from the top plate side.
また、ケミカルフィルタの保持手段を設けたものであって、ケース内に保持しておくという作用を有する。 Further, there is provided a holding means of the chemical filter, with the effect that holds in the case.
また、ケミカルフィルタの下流側に緩衝材を設けたものであって、ケミカルフィルタと塵埃除去フィルタの密閉度が緩衝材により保つという作用を有する。 Further, there is provided a cushioning material on the downstream side of the chemical filter, has the effect of sealing of the chemical filter and the dust removal filter keeps the cushioning material.
以下、本発明の実施の形態について図面を参照しながら説明する。 Hereinafter, embodiments of the present invention will be described with reference to the drawings.
（実施の形態１）
図１に示すように、ファン１とモーター２と天板３の一体化したファンユニット天板部４と、ファンユニット天板部４の下流側に設けたケミカルフィルタ５と、ファンユニット天板部４とケミカルフィルタ５を内蔵するチャンバー６と、チャンバー６の下流側に塵埃除去フィルタ７を配設したファンフィルタ空気清浄ユニット８とからなり、ファンユニット天板部４は、ケミカルフィルタ５を内蔵するチャンバー６から分離することができ、着脱可能になっている。またケミカルフィルタ５には保持手段９と固定手段が設けられ、固定手段の固定金具１０は、チャンバー６の内部に配置した固定金具１０を受ける固定金具受け１１により前記チャンバー６の内部に固定される構成となっている。
(Embodiment 1)
As shown in FIG. 1, a fan unit top plate portion 4 in which a fan 1, a
上記構成において、チャンバー６の上面からファンユニット天板部４を外してケミカルフィルタ５をチャンバー６の上面より取り出すことができる。
In the above configuration, the
（実施の形態２）
図１に示すように、ファンユニット天板部４の構成部材である天板３の周辺には、立上がり部分１３を設けてあり、天板３の強度を増すとともに天板３の変形を抑制することができる。
(Embodiment 2)
As shown in FIG. 1, a rising
（実施の形態３）
図１に示すように、ファンユニット天板部４の構成部材である天板３に取っ手１４を設け、チャンバー６の上面からファンユニット天板部４を外してケミカルフィルタ５をチャンバー６の上面より取り出す時に持ちやすくするとともに、取っ手１４の数に応じて取っ手１４にかかる力を分散できる。
(Embodiment 3)
As shown in FIG. 1, a
（実施の形態４）
図２に示すように、ファン１とモーター２と円形天板１５から構成したファンユニット円形天板部１６と、ファンユニット円形天板部１６の下流側に設けた円形ケミカルフィルタ１７と、ファンユニット円形天板部１６と円形ケミカルフィルタ１７を内蔵した円形チ
ャンバー１８と、円形チャンバー１８の下流側に塵埃除去フィルタ１９を配設したファンフィルタユニットであって、ファンユニット円形天板部１６を円形チャンバー１８から外して円形ケミカルフィルタ１７を円形チャンバー１８の上面より取り出すことができる。
(Embodiment 4)
As shown in FIG. 2, a fan unit circular
（実施の形態５）
図３に示すように、ファンユニット円形天板部１６の構成部材である円形天板１５の周辺には、立上がり部分２０を設けてあり、円形天板１５の強度を増すとともに円形天板１５の変形を抑制することができる。
(Embodiment 5)
As shown in FIG. 3, a rising portion 20 is provided around the
（実施の形態６）
図３に示すように、ファンユニット円形天板部１６の構成部材である円形天板１５に取っ手２１を設け、円形チャンバー１８の上面からファンユニット円形天板部１６を外して円形ケミカルフィルタ１７を円形チャンバー１８の上面より取り出す時に持ちやすくするとともに取っ手２１の数に応じて取っ手２１にかかる力を分散できる。
(Embodiment 6)
As shown in FIG. 3, a
（実施の形態７）
図４に示すように、ファン１とモーター２と天板３から構成したファンユニット天板部４と、ファンユニット天板部４の下流側に設けたケミカルフィルタ２２と、ファンユニット天板部４とケミカルフィルタ２２を内蔵したチャンバー６と、チャンバー６の下流側に塵埃除去フィルタ７を配設して、ケミカルフィルタ２２を少なくとも２枚以上に分割したファンフィルタユニットである。
(Embodiment 7)
As shown in FIG. 4, a fan unit top plate portion 4 composed of a fan 1, a
（実施の形態８）
図４に示すように、ケミカルフィルタ２２は、２枚以上に分割され、チャンバー６の内部に保持する保持手段２３と固定手段が設けられ、固定手段の固定金具２４は、チャンバー６の内部に配置した固定金具を受ける固定金具受け２５により前記チャンバー６の内部に固定される構成となっている。
また、チャンバー６には、ファンフィルタユニットを取り付けるためのボルトとナットの連結部１２がある。
(Embodiment 8)
As shown in FIG. 4, the
The
（実施の形態９）
図４に示すように、ケミカルフィルタ２２の下流側には緩衝材２６を設け、ケミカルフィルタ２２と塵埃除去フィルタ７の密閉度が緩衝材２６により保っている。
(Embodiment 9)
As shown in FIG. 4, a
（実施の形態１０）
図５に示すように、ファン１とモーター２と円形天板２７から構成したファンユニット円形天板部２８と、ファンユニット天板部４の下流側に設けた円形ケミカルフィルタ２９と、ファンユニット円形天板部２８と円形ケミカルフィルタ２９を内蔵した円形チャンバー３０と、円形チャンバー３０の下流側に塵埃除去フィルタ７を配設して、円形ケミカルフィルタ２９を少なくとも２枚以上に分割したファンフィルタユニットである。
(Embodiment 10)
As shown in FIG. 5, a fan unit circular
（実施の形態１１）
図５に示すように、円形ケミカルフィルタ２９は、２枚以上に分割され、円形チャンバー３０の内部に保持する保持手段３１と固定手段が設けられ、固定手段の固定金具３２は、円形チャンバー３０の内部に配置した固定金具３２を受ける固定金具受け３３により円形チャンバー３０の内部に固定される構成となっている。
(Embodiment 11)
As shown in FIG. 5, the
（実施の形態１２）
図５に示すように、円形ケミカルフィルタ２９の下流側には緩衝材３４を設け、円形ケミカルフィルタ２９と塵埃除去フィルタ７の密閉度が緩衝材３４により保つという作用を有する.。
(Embodiment 12)
As shown in FIG. 5, a
以上のように本発明によれば、ケミカルフィルタを内部に納める手段を持つチャンバーと、前記チャンバーの下流側に塵埃除去フィルタを配設し、前記ファンユニット天板部をファンフィルタユニットから分離可能な構成としたファンフィルタユニットとし、
チャンバー内部に分割可能なケミカルフィルタの固定手段を有したチャンバーすることにより、メンテナンス省力化、ファンフィルタユニット省施工性の向上が実現でき、クリーンルーム内で用いられるケミカルフィルタ内包のファンフィルタユニットの取付けの用途に適用できる。
As described above, according to the present invention, a chamber having a means for accommodating a chemical filter and a dust removing filter are disposed on the downstream side of the chamber, and the fan unit top plate can be separated from the fan filter unit. With the fan filter unit configured,
The chamber with a chemical filter fixing means that can be divided inside the chamber can save maintenance and improve the fan filter unit workability, and can be used to install the fan filter unit that contains the chemical filter used in the clean room. Applicable to usage.
１ ファン
２ モーター
３ 天板
４ ファンユニット天板部
５ ケミカルフィルタ
６ チャンバー
７ 塵埃除去フィルタ
８ ファンフィルタ空気清浄ユニット
９ 保持手段
１０ 固定金具
１１ 固定金具受け
１２ 連結部
１３ 立上がり部分
１４ 取っ手
１５ 円形天板
１６ ファンユニット円形天板部
１７ 円形ケミカルフィルタ
１８ 円形チャンバー
１９ 塵埃除去フィルタ
２０ 立上がり部分
２１ 取っ手
２２ ケミカルフィルタ
２３ 保持手段
２４ 固定金具
２５ 固定金具受け
２６ 緩衝材
２７ 円形天板
２８ ファンユニット円形天板部
２９ 円形ケミカルフィルタ
３０ 円形チャンバー
３１ 保持手段
３２ 固定金具
３３ 固定金具受け
３４ 緩衝材
DESCRIPTION OF SYMBOLS 1
Claims (6)
前記ファンユニット天板部の下流側に設けたケミカルフィルタと、
前記ファンユニット天板部と前記ケミカルフィルタを内蔵したチャンバーと、
前記チャンバーの下流側に塵埃除去フィルタを配設し、
前記ファンユニット天板部は、前記チャンバーから分離可能な構成とし、
前記ファンユニット天板部を分離したときにできる前記チャンバー上部の開口部は、前記ケミカルフィルタの通風方向の面積よりも大きいことを特徴とするファンフィルタユニット。 A fan unit top plate part integrally composed of a fan, a motor and a top plate;
A chemical filter provided on the downstream side of the fan unit top plate,
A chamber containing the fan unit top plate and the chemical filter;
A dust removing filter is disposed on the downstream side of the chamber ,
The fan unit top plate is configured to be separable from the chamber ,
The fan filter unit is characterized in that an opening in the upper part of the chamber formed when the fan unit top plate is separated is larger than an area in the ventilation direction of the chemical filter .
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2004109796A JP4617699B2 (en) | 2004-04-02 | 2004-04-02 | Fan filter unit |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2004109796A JP4617699B2 (en) | 2004-04-02 | 2004-04-02 | Fan filter unit |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2005291655A JP2005291655A (en) | 2005-10-20 |
| JP4617699B2 true JP4617699B2 (en) | 2011-01-26 |
Family
ID=35324774
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2004109796A Expired - Fee Related JP4617699B2 (en) | 2004-04-02 | 2004-04-02 | Fan filter unit |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP4617699B2 (en) |
Families Citing this family (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP4946176B2 (en) * | 2006-05-23 | 2012-06-06 | パナソニック株式会社 | Filter changer |
| JP4569551B2 (en) * | 2006-10-02 | 2010-10-27 | パナソニック株式会社 | Filter changer |
| KR101312021B1 (en) * | 2011-07-04 | 2013-09-26 | (주)에이치엔씨 | Ventilating unit for clean room |
| CN104971555A (en) * | 2014-04-11 | 2015-10-14 | 中科安捷驰环保科技股份有限公司 | Graded-pressure-reducing deoiling and desulfuration dust removal device |
| CN111678216A (en) * | 2020-06-20 | 2020-09-18 | 冠恒建设工程有限公司 | Airflow balance type clean room |
Family Cites Families (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP3090088B2 (en) * | 1997-02-07 | 2000-09-18 | 富士電機株式会社 | Clean room fan filter unit |
| JP2000193299A (en) * | 1998-12-28 | 2000-07-14 | Sankyo Kucho Kk | Fan filter unit |
| JP2003053124A (en) * | 2001-08-13 | 2003-02-25 | Tokyo Electron Ltd | Chemical filter unit, air cleaning system and method |
| JP4080239B2 (en) * | 2002-05-20 | 2008-04-23 | 株式会社キーエンス | Fan filter device |
| JP3897647B2 (en) * | 2002-06-12 | 2007-03-28 | 株式会社荏原製作所 | Fan filter unit |
-
2004
- 2004-04-02 JP JP2004109796A patent/JP4617699B2/en not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP2005291655A (en) | 2005-10-20 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20070320 |
|
| RD01 | Notification of change of attorney |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7421 Effective date: 20070412 |
|
| RD01 | Notification of change of attorney |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7421 Effective date: 20091120 |
|
| A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20091130 |
|
| A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20091222 |
|
| A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20100222 |
|
| TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
| A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20100928 |
|
| A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
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