JP4631355B2 - 液滴吐出装置の描画制御方法および液滴吐出装置、並びに電気光学装置の製造方法 - Google Patents

Description

本発明は、ワークに対し、複数の機能液滴吐出ヘッドにより機能液を吐出して描画処理を行う液滴吐出装置の描画制御方法および液滴吐出装置、並びに電気光学装置の製造方法に関するものである。

従来、インクジェット方式で微小な液滴を吐出可能な機能液滴吐出ヘッドを用いて、液晶表示装置や有機ＥＬ装置等のカラーフィルタに代表される各種の電気光学装置（フラットパネルディスプレイ：ＦＰＤ）を製造する液滴吐出装置が知られている。そして、このような液滴吐出装置では、副走査に起因する吐出精度低下を回避すると共にタクトタイムを短縮すべく、いわゆるラインプリンタのように、キャリッジ（ユニット支持機構）に複数の機能液滴吐出ヘッドを搭載し、その複数の機能液滴吐出ヘッドの全吐出ノズルにより、ワークの吐出走査方向に直交する方向における描画対象幅をカバーする幅広の描画ラインを構成することが考えられている（例えば、特許文献１参照）。
特開２００２−８２２１６号公報

このような液滴吐出装置では、描画処理中においても、稼動しない機能液滴吐出ヘッドが生ずる場合がある。例えば、幅広の描画ラインよりも狭い描画幅を有するワーク（小ワーク）に対して描画処理を行う場合、その狭い描画幅に対応する部分描画ラインを構成する一部の機能液滴吐出ヘッドのみを稼動して、機能液を吐出することになる。このとき、稼動しない機能液滴吐出ヘッドにおいては、その描画処理中に、吐出ノズルの機能液が乾燥するため、ノズル詰まりが生じてしまう。そして、その小ワークに対する描画処理の後、全機能液滴吐出ヘッドの幅広の描画ラインに対応した描画幅を有するワーク（大ワーク）に対して描画処理を行おうとしても、稼動していなかった機能液滴吐出ヘッドのノズル詰まりを解消するために、かなりの時間をかけて機能回復処理を行う必要がある。したがって、従来の液滴吐出装置では、描画処理中に稼動しない機能液滴吐出ヘッドを、吐出機能を維持した状態で保管しておくことができなかった。

もっとも、稼動しない機能液滴吐出ヘッドをキャリッジから取り外し、ヘッド内流路を保管液（機能液の溶媒等）で満たして保管しておくことも考えられる。しかしながら、このようにしても、機能液滴吐出ヘッドの着脱操作の手間がかかる上、稼動前に機能液をヘッド内流路に充填しなければならず、保管状態から稼動状態に短時間で移行させることができなかった。

本発明は、複数の機能液滴吐出ヘッドを備えた液滴吐出装置において、描画処理中に稼動しない描画待機状態にある機能液滴吐出ヘッドを機能維持状態に保管して待機させておくことができると共に、描画待機状態から稼動状態に短時間で移行させることができる液滴吐出装置の描画制御方法および液滴吐出装置、並びに電気光学装置の製造方法を提供することを目的とする。

本発明の液滴吐出装置の描画制御方法は、機能液を導入した機能液滴吐出ヘッドと、機能液滴吐出ヘッドを搭載したキャリッジとを有し、描画エリアと描画待機エリアとの間で個々に移動自在に構成された複数のキャリッジユニットを備え、複数のキャリッジユニットのうち、少なくとも１つのキャリッジユニットから成る稼動ユニット群を描画エリアに移動させると共に、描画エリアに臨むワークに対し、稼動ユニット群をＸ軸方向に相対的に移動させながら、稼動ユニット群の機能液滴吐出ヘッドからワーク上に機能液を吐出して描画処理を行う描画工程と、複数のキャリッジユニットのうち、稼動ユニット群以外のキャリッジユニットから成る描画待機ユニット群を描画待機エリアに移動させると共に、描画待機ユニット群の機能液滴吐出ヘッドを機能維持状態に保管する保管工程と、を備え、稼動ユニット群は、その機能液滴吐出ヘッドの複数の吐出ノズルがＸ軸方向に直交するＹ軸方向に連続して構成される描画ラインによって、ワークのＹ軸方向における描画対象幅をカバーする最小個数のキャリッジユニットから成ることを特徴とする。

また、本発明の液滴吐出装置は、機能液を導入した機能液滴吐出ヘッドと、機能液滴吐出ヘッドを搭載したキャリッジとを有し、描画エリアと描画待機エリアとの間で個々に移動自在に構成された複数のキャリッジユニットを備え、ワークに対し、複数のキャリッジユニットのうち少なくとも１つのキャリッジユニットから成る稼動ユニット群をＸ軸方向に相対的に移動させながら、描画エリアにおいて稼動ユニット群の機能液滴吐出ヘッドからワーク上に機能液を吐出して描画処理を行うと共に、複数のキャリッジユニットのうち、稼動ユニット群以外のキャリッジユニットから成る描画待機ユニット群の機能液滴吐出ヘッドを、描画待機エリアにおいて機能維持状態に保管する液滴吐出装置であって、複数のキャリッジユニットを描画エリアと描画待機エリアとの間で個々に移動させるキャリッジ移動手段と、描画待機エリアに設けられ、描画待機エリアに移動してきた描画待機ユニット群の機能液滴吐出ヘッドに臨み、機能液滴吐出ヘッドを機能維持状態に保管するヘッド保管手段と、キャリッジ移動手段を制御し、稼動ユニット群を描画処理に供するように描画エリアに移動させると共に、描画待機ユニット群を保管手段に臨ませるように描画待機エリアに移動させる移動制御手段と、を備え、稼動ユニット群は、その機能液滴吐出ヘッドの複数の吐出ノズルがＸ軸方向に直交するＹ軸方向に連続して構成される描画ラインによって、ワークのＹ軸方向における描画対象幅をカバーする最小個数の前記キャリッジユニットから成ることを特徴とする。

これらの構成によれば、稼動ユニット群を描画エリアに移動させて、その機能液滴吐出ヘッドにより描画処理を行っている間、描画待機ユニット群を描画待機エリアに移動させて、その機能液滴吐出ヘッドを、吐出機能を維持した状態で保管することができる。さらに、描画待機エリアにおいて保管されている描画待機ユニット群を描画エリアに移動させ、稼動ユニット群として機能させることができる。すなわち、描画待機ユニット群を描画待機状態から稼動状態に短時間で移行させることができる。
また、１回の吐出走査（主走査）により、ワークのＹ軸方向における描画幅の全域に亘って、機能液を吐出することができるため、稼動ユニット群を描画ライン分Ｙ軸方向に移動させて（副走査）、再度吐出走査を行う必要がない。さらに、描画処理中に稼動する機能液滴吐出ヘッドを搭載していないキャリッジユニットを、描画待機ユニット群として描画待機エリアにおいて保管しておくことができる。

本発明の他の液滴吐出装置は、機能液を導入した機能液滴吐出ヘッドと、機能液滴吐出ヘッドを搭載したキャリッジとを有し、描画エリアと描画待機エリアとの間で個々に移動自在に構成された複数のキャリッジユニットを備え、ワークに対し、複数のキャリッジユニットのうち少なくとも１つのキャリッジユニットから成る稼動ユニット群をＸ軸方向に相対的に移動させながら、描画エリアにおいて稼動ユニット群の機能液滴吐出ヘッドからワーク上に機能液を吐出して描画処理を行うと共に、複数のキャリッジユニットのうち、稼動ユニット群以外のキャリッジユニットから成る描画待機ユニット群の機能液滴吐出ヘッドを、描画待機エリアにおいて機能維持状態に保管する液滴吐出装置であって、複数のキャリッジユニットを描画エリアと描画待機エリアとの間で個々に移動させるキャリッジ移動手段と、描画待機エリアに設けられ、描画待機エリアに移動してきた描画待機ユニット群の機能液滴吐出ヘッドに臨み、機能液滴吐出ヘッドを機能維持状態に保管するヘッド保管手段と、キャリッジ移動手段を制御し、稼動ユニット群を描画処理に供するように描画エリアに移動させると共に、描画待機ユニット群を保管手段に臨ませるように描画待機エリアに移動させる移動制御手段と、を備え、描画待機エリアは、描画エリアを挟んで複数のキャリッジユニットの移動軌跡上の両側に配設した一対のもので構成されており、それぞれヘッド保管手段が設けられていることを特徴とする。

この構成によれば、稼動ユニット群を描画エリアに移動させて、その機能液滴吐出ヘッドにより描画処理を行っている間、描画待機ユニット群を描画待機エリアに移動させて、その機能液滴吐出ヘッドを、吐出機能を維持した状態で保管することができる。さらに、描画待機エリアにおいて保管されている描画待機ユニット群を描画エリアに移動させ、稼動ユニット群として機能させることができる。すなわち、描画待機ユニット群を描画待機状態から稼動状態に短時間で移行させることができる。
また、複数のキャリッジユニットのうち、一方の描画待機エリア側の一部のキャリッジユニットを描画待機ユニット群としてその描画待機エリアに移動させてもよく、他方の描画待機エリア側の一部のキャリッジユニットを描画待機ユニット群としてその描画待機エリアに移動させてもよく、さらには、各描画待機エリア側の一部のキャリッジユニットを描画待機ユニット群としてそれぞれその描画待機エリアに移動させてもよい。すなわち、稼動ユニット群と描画待機ユニット群との使い回しの自由度を高めることができる。

これらの場合、ヘッド保管手段は、描画待機ユニット群の機能液滴吐出ヘッドを気密に封止する複数のキャップから成るキャッピングユニットを、有することが好ましい。

この構成によれば、複雑な機構を用いることなく、機能液滴吐出ヘッドの吐出ノズルの機能液が乾燥することを防止して、機能維持状態に保管しておくことができる。

これらの場合、描画待機エリアに、気密状態で機能液滴吐出ヘッドの吐出ノズルから機能液を吸引する吸引手段と、吸引後の機能液滴吐出ヘッドのノズル面をワイピングシートにより払拭するワイピング手段と、をさらに備えたことが好ましい。
なお、上記のヘッド保管手段がキャッピングユニットを有する構成の場合、キャッピングユニットと吸引手段とを兼用することが好ましい。

この構成によれば、描画待機ユニット群が描画待機エリアに移動する前に、その機能液滴吐出ヘッドの吐出ノズルが乾燥して機能液が増粘していたとしても、増粘した機能液を吸引除去すると共に、吸引処理によりノズル面に付着した機能液を拭き取ることができる。すなわち、ノズル詰まりの生じた機能液滴吐出ヘッドの吐出機能を回復させることができる。

これらの場合、ワークを搭載すると共に、ワークをＸ軸方向に移動させるＸ軸テーブルを、さらに備え、キャリッジ移動手段は、複数のキャリッジユニットをＸ軸方向に直交するＹ軸方向に並べて搭載すると共に、各キャリッジユニットをＹ軸方向に移動させるＹ軸テーブルであることが好ましい。

この構成によれば、Ｙ軸テーブルに複数のキャリッジユニットを並べて搭載することで、描画エリアにおいて、複数のキャリッジユニットをＹ軸方向に沿って並べることができる。そのため、吐出走査方向（Ｘ軸方向）に直交する方向であるＹ軸方向において、幅広の描画ラインを構成することが可能となる。すなわち、１回の吐出走査により、ワークの広範囲に対して吐出することが可能となる。
なお、この場合、Ｙ軸テーブルの駆動源をリニアモータで構成することが好ましい。

本発明の電気光学装置の製造方法は、上記した液滴吐出装置を用い、ワーク上に機能液滴による成膜部を形成することを特徴とする。

これらの構成によれば、描画処理中に稼動しない機能液滴吐出ヘッドを機能維持状態に保管して待機させておくことができると共に、描画待機状態から稼動状態に短時間で移行させることができる液滴吐出装置液滴吐出装置を用いて製造されるため、効率良く電気光学装置を製造することが可能となる。なお、電気光学装置（フラットパネルディスプレイ：ＦＰＤ）としては、カラーフィルタ、液晶表示装置、有機ＥＬ装置、ＰＤＰ装置、電子放出装置等が考えられる。なお、電子放出装置は、いわゆるＦＥＤ（Field Emission Display）やＳＥＤ（Surface-conduction Electron-Emitter Display）装置を含む概念である。さらに、電気光学装置としては、金属配線形成、レンズ形成、レジスト形成および光拡散体形成等を包含する装置が考えられる。

以下、添付の図面を参照して、本発明を適用した液滴吐出装置について説明する。本実施形態の液滴吐出装置は、液晶表示装置等のＦＰＤの製造ラインに組み込まれた描画システムに設置されており、特殊なインクや発光性の樹脂液等の機能液を機能液滴吐出ヘッドに導入して、液晶表示装置のカラーフィルタ等の基板上に機能液滴による成膜部を形成するものである。そこで、まず、本液滴吐出装置を備えた描画システムについて簡単に説明する。なお、以下に説明する基板のサイズ等の値は概数である。

図１は、描画システムの平面模式図である。同図に示すように、描画システムＳは、３台の描画ユニットＳｕで構成されており、導入されたワークＷ（カラーフィルタのフィルタ基体５００Ａ）上にＲ・Ｇ・Ｂ３色の着色層５０８Ｒ、５０８Ｇ、５０８Ｂ（図１９参照）を形成してカラーフィルタを製造するものである。各描画ユニットＳｕは、Ｒ・Ｇ・Ｂの各色にそれぞれ対応しており、順次導入されたワークＷ上に着色層を１色分ずつ形成するように設計されたものである。もっとも、設置される各液滴吐出装置１を、Ｒ・Ｇ・Ｂ３色の機能液（フィルタ材料）を吐出（描画）可能に構成し、各描画ユニットＳｕによりワークＷ上に３色の着色層を形成することも可能である。

各描画ユニットＳｕは、着色層５０８を形成するための液滴吐出装置１と、液滴吐出装置１に並設され、ワークＷを搬出入するワーク搬出入装置２と、各装置に接続され、描画ユニットＳｕ全体を制御する上位コンピュータ３とを備えている。また、液滴吐出装置１は、チャンバ装置４に収容されている。チャンバ装置４は、いわゆるサーマルチャンバであり、一定の温度条件でワークＷに対する液滴吐出が行われるように、液滴吐出装置１全体を温度管理下で収容している。チャンバ装置４は、液滴吐出装置１全体を直接収容するボックス状のチャンバ本体１１と、チャンバ本体１１内の温度が一定となるように温度管理を行う空気調和機器１２と、これを制御する制御盤（図示省略）とを備えている。さらに、図示しないが、チャンバ本体１１の右側面前方には、ワーク搬入・搬出開口となる開閉扉が形成されており、液滴吐出装置１にワークＷを導入する場合等には、開閉扉を介してチャンバ本体１１に収容された液滴吐出装置１にアクセスできるようになっている。

ワーク搬出入装置２は、ワークＷを移載するロボットアーム１３を備えており、このロボットアーム１３を介して、描画前のワークＷを描画ユニットＳｕ内に搬入してこれを液滴吐出装置１に導入すると共に、描画後のワークＷを液滴吐出装置１から回収してこれを描画ユニットＳｕ外に搬出する。
なお、同図に示す符号５は、乾燥装置を設置するための設置スペースであり、状況に応じて、ワークＷに吐出させた機能液の機能液溶媒を気化させるための乾燥装置を描画ユニットＳｕ内に設置可能となっている。

続いて、本発明に係る液滴吐出装置について説明する。図２ないし図４に示すように、液滴吐出装置１は、床上に設置した大型の共通架台２１と、共通架台２１上の全域に広く載置された描画装置２２と、描画装置２２に添設されたメンテナンス手段２３とを備え、メンテナンス手段２３により機能液滴吐出ヘッド７２の機能維持・回復を行うと共に、描画装置２２によりワークＷ上に機能液を吐出する描画処理を行うようにしている。さらに、この液滴吐出装置１には、上記の上位コンピュータ３に接続され液滴吐出装置１の各手段を制御するコントローラ２４（制御部１３２、図９参照）等が組み込まれている。

また、液滴吐出装置１に導入されるワークＷ（図２参照）は、石英ガラスやポリイミド樹脂等で構成された透明基板であり、詳細は後述するが、予め着色層５０８を形成させる画素領域５０７ａが作り込まれている。この液滴吐出装置１は、最大で１８００ｍｍ×１５００ｍｍのサイズのワークＷに対して描画処理を行うことができる。ワークＷには様々なサイズのものがあり、例えば、３００ｍｍ×２５０ｍｍ、５００ｍｍ×４１５ｍｍ、６８０ｍｍ×５６５ｍｍ、８８０ｍｍ×７３５ｍｍ、１１００ｍｍ×９１５ｍｍ、１５００ｍｍ×１２５０ｍｍ、１８００ｍｍ×１５００ｍｍの７種が用いられる。なお、７種のサイズのワークＷを、小さいサイズから順に、第１ワークＷａ、第２ワークＷｂ、・・・、第７ワークＷｇと呼ぶ（図７参照）。

まず、液滴吐出装置１における描画装置２２およびこれによる描画処理について説明する。描画装置２２は、複数（１２個）の機能液滴吐出ヘッド７２とこれを搭載したキャリッジ７３とから成る複数（７個）のキャリッジユニット３１と、共通架台２１上に設置され、ワークＷを載置するセットテーブル５１を有し、ワークＷをＸ軸方向に移動させるＸ軸テーブル３２と、Ｘ軸テーブル３２を跨ぐようにして配設され、７個のキャリッジユニット３１を個々にＹ軸方向に移動させるＹ軸テーブル３３と、７個のキャリッジユニット３１に搭載された機能液滴吐出ヘッド７２に機能液をそれぞれ供給する７個の機能液供給ユニット１０１から成る機能液供給手段３４と、ワークＷやキャリッジユニット３１等を画像認識する画像認識手段３５（図９参照）とを備えている。

そして、Ｘ軸テーブル３２によるワークＷの移動軌跡と、Ｙ軸テーブル３３によるキャリッジユニット３１の移動軌跡とが交わる領域が、描画処理を行う描画エリア４１となっており、また、Ｙ軸テーブル３３によるキャリッジユニット３１の移動軌跡上のＸ軸テーブル３２から外側に外れた領域が、描画待機エリア４２となっており、この描画待機エリア４２に上記のメンテナンス手段２３が設置されている。一方、Ｘ軸テーブル３２の手前側の領域は、液滴吐出装置１に対するワークＷの搬出入を行うワーク搬出入エリア４３となっている。

なお、詳細は後述するが、この液滴吐出装置１は、７個のキャリッジユニット３１のうち、少なくとも１個のキャリッジユニット３１から成る稼動ユニット群３６（図１０参照）を描画エリア４１に移動させると共に、描画エリア４１に臨むワークＷに対し、稼動ユニット群３６をＸ軸方向に相対的に移動させながら、その機能液滴吐出ヘッド７２からワークＷ上に機能液を吐出して描画処理を行い、且つ、稼動ユニット群３６以外のキャリッジユニット３１から成る描画待機ユニット群３７（図１０参照）を描画待機エリア４２に移動させると共に、その機能液滴吐出ヘッド７２を機能維持状態に保管するメンテナンス処理を行うようになっている。

Ｘ軸テーブル３２は、導入されたワークＷをセットするセットテーブル５１と、セットテーブル５１をＸ軸方向にスライド自在に支持するＸ軸エアースライダ５２と、Ｘ軸方向に延在し、セットテーブル５１を介してワークＷをＸ軸方向に移動させる左右一対のＸ軸リニアモータ５３，５３と、Ｘ軸リニアモータ５３に並設され、Ｘ軸エアースライダ５２の移動を案内する一対のＸ軸ガイドレール５４，５４と、セットテーブル５１の位置を把握するためのＸ軸リニアスケール（図示省略）とを備えている。そして、一対のＸ軸リニアモータ５３，５３を駆動すると、一対のＸ軸ガイドレール５４，５４をガイドにしながら、Ｘ軸エアースライダ５２をＸ軸方向に移動し、セットテーブル５１にセットされたワークＷがＸ軸方向に移動する。

セットテーブル５１は、ワークＷを直接吸着セットする吸着テーブル５６と、吸着テーブル５６の下部に接続された回転部５８、および回転部５８の下部に接続されＸ軸エアースライダ５２上に配設された固定部５９で構成され、吸着テーブル５６を介してワークＷのθ位置を微調整（θ補正）するワークθ軸テーブル５７とを有している。

吸着テーブル５６は、平面視略正方形に形成され、その一辺の長さは、最大サイズのワークＷの長辺の長さに合わせて略１８００ｍｍに設定されており、ワークＷを縦置き（ワークＷの長辺をＸ軸方向と平行にする）および横置き（ワークＷの長辺をＹ軸方向と平行にする）のいずれか任意の向きでセット可能になっている。もっとも、本実施形態では、ワークＷを横置きでセットするものとする。また、いずれのサイズのワークＷも、センター合わせでセットされる。
なお、ワークθ軸テーブル５７の固定部５９上には、吸着テーブル５６の描画エリア４１側（図４の右側）に隣接して、メンテナンス手段２３の定期フラッシングボックス１１６が設置されている。

一方、Ｙ軸テーブル３３は、Ｙ軸方向に延在する前後一対の支持スタンド６６，６６上に支持され、描画エリア４１および描画待機エリア４２間を架け渡すと共に、７個のキャリッジユニット３１を、描画エリア４１と描画待機エリア４２との間で個々に移動させるものである。Ｙ軸テーブル３３は、７個のキャリッジユニット３１をそれぞれ垂設する７個のブリッジプレート６１と、７個のブリッジプレート６１がＹ軸方向に整列するよう、これを両持ちで支持する７組のＹ軸スライドテーブル６２と、Ｙ軸方向に延在し、各組のＹ軸スライドテーブル６２を介して各ブリッジプレート６１をＹ軸方向に移動させる前後一対のＹ軸リニアモータ６３，６３と、Ｙ軸方向に延在し、７個のブリッジプレート６１の移動を案内する前後各２本（計４本）のＹ軸ガイドレール６４と、各キャリッジユニット３１の移動位置を検出するＹ軸リニアスケール（図示省略）とを備えている。

そして、一対のＹ軸リニアモータ６３，６３を駆動すると、７組のＹ軸スライドテーブル６２をそれぞれ独立して移動させ、７個のキャリッジユニット３１を個別にＹ軸方向へ移動させることができる。これによれば、７個のキャリッジユニット３１に対する個々の移動を、単純な構造で且つ精度良く行うことができる。もちろん、７組のＹ軸スライドテーブル６２を同時にＹ軸方向に移動させることにより、７個のキャリッジユニット３１を一体としてＹ軸方向に移動させることも可能である。
なお、本実施形態では、単一のＹ軸テーブル３３に７個のキャリッジユニット３１を並べて搭載したが、複数のＹ軸テーブル３３を設け、７個のキャリッジユニット３１をこれらに分割して搭載してもよい。

さらに、各組のＹ軸スライドテーブル６２に支持されたブリッジプレート６１上には、対応する各キャリッジユニット３１に搭載された１２個の機能液滴吐出ヘッド７２を駆動するヘッド用電装ユニット９７が設けられており、７個のヘッド用電装ユニット９７は、相互に干渉することがないよう（ノイズ防止）、千鳥状に配置されている。また、前後一対の支持スタンド６６，６６には、それぞれ前後側面にブラケット６７が外向きに固定されており、各ブラケット６７上にＹ軸収容ボックス６８が支持されている。２個のＹ軸収容ボックス６８には、７個のヘッド用電装ユニット９７の千鳥配置に対応して、７個のＹ軸ケーブル担持体６９（ケーブルベア：登録商標）が、４個と３個に二分されて収容されており、各Ｙ軸ケーブル担持体６９は、ヘッド用電装ユニット９７に接続するフレキシブルフラットケーブルを各キャリッジユニット３１の移動に追従可能に構成されている。
また、７個の機能液供給ユニット１０１のタンクユニット（図示省略）は、各ヘッド用電装ユニット６６に対峙するようにして、千鳥状に配置されている。

図２および図５に示すように、７個のキャリッジユニット３１は、Ｙ軸テーブル３３の７個のブリッジプレート６１によりそれぞれ垂設されてＹ軸方向に並んでおり、各キャリッジユニット３１は、１２個の機能液滴吐出ヘッド７２から成るヘッドユニット７１と、ヘッドユニット７１および機能液供給ユニット１０１のバルブユニット１０４（後述する）を搭載するキャリッジ７３とから構成されている。なお、７個のキャリッジユニット３１を、描画エリア４１側から描画待機エリア４２側に向けて（図５の左側から右側に向けて）順に第１キャリッジユニット３１ａ、第２キャリッジユニット３１ｂ、・・・、第７キャリッジユニット３１ｇとする。

図４および図５に示すように、各キャリッジ７３は、ヘッドユニット７１およびバルブユニット１０４を位置決め固定する平面視略平行四辺形の支持プレート７６と、支持プレート７６を保持するキャリッジ本体７７と、キャリッジ本体７７を吊設すると共に、キャリッジ本体７７の上部に連結され、キャリッジ本体７７を介してヘッドユニット７１のθ位置を微調整（θ軸補正）するヘッドθ軸テーブル７８と、ヘッドθ軸テーブル７８の上部に連結され、ヘッドθ軸テーブル７８およびキャリッジ本体７７を介してヘッドユニット７１のＺ位置を微調整（Ｚ軸補正）するヘッドＺ軸テーブル７９とを有している。なお、図示しないが、各支持プレート７６には、画像認識を前提として、各キャリッジユニット３１（ヘッドユニット７１）をＸ軸、Ｙ軸およびθ軸方向に位置決め（位置認識）するための基準となる一対の基準ピンが設けられている。

支持プレート７６は、ステンレス等から成る平面視略平行四辺形の厚板で構成されており、１２個の機能液滴吐出ヘッド７２を位置決めすると共に、ヘッド保持部材（図示省略）により各機能液滴吐出ヘッド７２を裏面側から固定するための１２個の装着開口（図示省略）が形成されている。そして、支持プレート７６は、キャリッジ本体７７に着脱自在に支持され、ヘッドユニット７１は、バルブユニット１０４と共に支持プレート７６を介してキャリッジ７３に搭載される。

図６に示すように、機能液滴吐出ヘッド７２は、いわゆる２連のものであり、２連の接続針８２を有する機能液導入部８１と、機能液導入部８１に連なる２連のヘッド基板８３と、機能液導入部８１の下方（同図では上方）に連なり、内部に機能液で満たされるヘッド内流路が形成されたヘッド本体８４とを備えている。接続針８２は、後述する圧力調整弁１０５（図５参照）を介して機能液タンク（図示省略）に接続され、機能液滴吐出ヘッド７２のヘッド内流路に機能液を供給する。また、ヘッド本体８４は、ピエゾ素子等で構成されたキャビティ９１と、２本のノズル列９４，９４を相互に平行に形成したノズル面９３を有するノズルプレート９２とを有している。

各ノズル列９４の長さは、例えば１インチ（略２５．４ｍｍ）であって、各ノズル列９４は１８０個のノズル９５が等ピッチ（略１４０μｍ）で並べられて構成されている。そして、一方のノズル列９４は、他方のノズル列９４に対して、ノズル列方向に半ピッチ（７０μｍ）分ずれており、ドット密度（解像度）は３６０ｄｐｉである。

また、ヘッド内流路の構造上、両端部に位置するノズル９５からの吐出量が中央部に位置するノズル９５からの吐出量に比べて多くなってしまうため、両端部の各１０個のノズル９５を不吐出ノズルとし、中央部の１６０個のノズル９５を吐出ノズルとして、吐出ノズルのみから機能液を吐出し、不吐出ノズルからは機能液を吐出しないようにしている。そのため、各ノズル列９４のうち中央部の１６０個の吐出ノズルにより部分描画ラインＬｐ（図７参照）が構成される。

また、ヘッド基板８３には、２連のコネクタ９６，９６が設けられており、各コネクタ９６は、フレキシブルフラットケーブルを介して上記のヘッド用電装ユニット９７（ヘッドドライバ１４１、図９参照）に接続されている。そして、コントローラ２４からヘッド用電装ユニット９７を介してキャビティ９１に駆動波形が印加すると、キャビティ９１のポンプ作用により、各ノズル９５から機能液滴が吐出される。したがって、キャビティ９１に印加する駆動波形の大きさ（印加電圧値の大きさ）や周期を制御することで、液滴吐出量や吐出タイミングが制御される。

図５および図７に示すように、各機能液滴吐出ヘッド７２は、キャリッジ７３に搭載された状態では、２本のノズル列９４，９４がＹ軸方向と平行になるように支持プレート７６に固定されている。そして、１２個の機能液滴吐出ヘッド７２は、その幅方向（Ｘ軸方向）に密に重ね合わせると共に、全吐出ノズル（１６０×１２個）がＹ軸方向に連続するように（階段状に）、配設されている。
なお、図７では、図を簡略化するため、各キャリッジユニット３１のうち、機能液滴吐出ヘッド７２および支持プレート７６のみを表し、また、各キャリッジユニット３１に搭載した機能液滴吐出ヘッド７２の個数を４個とし、各機能液滴吐出ヘッド７２のノズル９５（吐出ノズル）の個数を３個×２列とする。

各キャリッジユニット３１の全（１２個）機能液滴吐出ヘッド７２の全ノズル９５（吐出ノズル）により、部分描画ラインＬｐが構成され、７個のキャリッジユニット３１の全（１２×７個）機能液滴吐出ヘッド７２の全ノズル９５（吐出ノズル）により、すなわち７個の部分描画ラインＬｐが連続して、１の最大幅描画ラインＬｍが構成される。そのため、部分描画ラインＬｐの長さは、略２７１ｍｍ（２５．４ｍｍ／１８０×１６０×１２）であり、最大幅描画ラインＬｍの長さは、略１８９７ｍｍ（２７１ｍｍ×７）である。

本実施形態では、ワークＷに対し、７個のキャリッジユニット３１のうち少なくとも１つのキャリッジユニット３１から成る稼動ユニット群３６をＸ軸方向に相対的に移動させながら、描画エリア４１においてその機能液滴吐出ヘッド７２からワークＷ上に機能液を吐出して描画処理を行う。

そして、稼動ユニット群３６は、その機能液滴吐出ヘッド７２の全ノズル９５（吐出ノズル）がＹ軸方向に連続して構成される部分描画ライン群によって、ワークＷのＹ軸方向における描画対象幅（横置きされたワークＷの長辺の長さ）をカバーする最小個数の描画エリア４１側のキャリッジユニット３１から成っている。

具体的には、３００ｍｍ×２５０ｍｍのサイズの第１ワークＷａに対して描画処理を行う場合、２個のキャリッジユニット３１（第１・第２キャリッジユニット３１ａ・ｂ）により稼動ユニット群３６を構成し（この場合、部分描画ライン群の長さは略５４２ｍｍ）、５００ｍｍ×４１５ｍｍのサイズの第２ワークＷｂに対して描画処理を行う場合、同様に２個のキャリッジユニット３１（第１・第２キャリッジユニット３１ａ・ｂ）により稼動ユニット群３６を構成し、６８０ｍｍ×５６５ｍｍの第３ワークＷｃの場合、３個のキャリッジユニット３１（第１〜第３キャリッジユニット３１ａ〜ｃ）により稼動ユニット群３６を構成し（この場合、部分描画ライン群の長さは略８１３ｍｍ）、８８０ｍｍ×７３５ｍｍの第４ワークＷｄの場合、４個のキャリッジユニット３１（第１〜第４キャリッジユニット３１ａ〜ｄ）により稼動ユニット群３６を構成し（この場合、部分描画ライン群の長さは略１０８４ｍｍ）、１１００ｍｍ×９１５ｍｍの第５ワークＷｅの場合、５個のキャリッジユニット３１（第１〜第５キャリッジユニット３１ａ〜ｅ）により稼動ユニット群３６を構成し（この場合、部分描画ライン群の長さは略１３５５ｍｍ）、１５００ｍｍ×１２５０ｍｍの第６ワークＷｆの場合、６個のキャリッジユニット３１（第１〜第６キャリッジユニット３１ａ〜ｆ）により稼動ユニット群３６を構成し（この場合、部分描画ライン群の長さは略１６２６ｍｍ）、１８００ｍｍ×１５００ｍｍの第７ワークＷｇの場合、全（７個）キャリッジユニット３１（第１〜第７キャリッジユニット３１ａ〜ｇ）により稼動ユニット群３６を構成する（この場合、部分描画ライン群の長さは略１８９７ｍｍ）。

なお、上述したように、複数のＹ軸テーブル３３に７個のキャリッジユニット３１を分割して搭載した場合には、稼動ユニット群３６を構成するキャリッジユニット３１の組み合わせ数を多くすることができる。例えば、２個のＹ軸テーブル３３を設け、一方のＹ軸テーブル３３に４個のキャリッジユニット３１を並べて搭載し、他方のＹ軸テーブル３３に３個のキャリッジユニット３１を並べて搭載した場合、３個のキャリッジユニット３１により稼動ユニット群３６を構成するためには、一方のＹ軸テーブル３３の４個のキャリッジユニット３１のうち３個を用いて構成してもよく、他方のＹ軸テーブル３３の全（３個）キャリッジユニット３１を用いて構成してもよく、さらに、一方のＹ軸テーブルの４個のキャリッジユニット３１のうち１個または２個と、他方のＹ軸テーブル３３の３個のキャリッジユニット３１のうち２個または１個を用いて構成してもよい。

このように、稼動ユニット群３６の全機能液滴吐出ヘッド７２の全ノズル９５（吐出ノズル）により構成される部分描画ライン群の長さは、ワークＷの描画対象幅に対応しているため、１回の吐出走査により、ワークＷの描画対象幅に対して、機能液を吐出することができる。すなわち、吐出走査を行った後、稼動ユニット群３６を部分描画ライン群の長さ分Ｙ軸方向にずらして、再度吐出走査を行う必要がない。さらに、描画処理中に稼動する機能液滴吐出ヘッド７２を搭載していないキャリッジユニット３１を、描画待機ユニット群３７として描画待機エリア４２において保管しておくことができる（詳細は後述する）。

機能液供給手段３４の各機能液供給ユニット１０１は、機能液を貯留する１２個の機能液タンクから成るタンクユニットと、機能液タンクおよび機能液滴吐出ヘッド７２間の水頭圧を調整する１２個の圧力調整弁１０５から成るバルブユニット１０４と、１２個の機能液タンクと１２個の圧力調整弁１０５とをそれぞれ接続する１２本のタンク側給液チューブ（図示省略）と、１２個の圧力調整弁１０５および１２個の機能液滴吐出ヘッド７２（の各２連の接続針８２）をそれぞれ分岐継手（図示省略）を介して接続する２４本のヘッド側給液チューブ（図示省略）とを有している。そして、各機能液タンクの機能液が、タンク側給液チューブ、圧力調整弁１０５およびヘッド側給液チューブを介して、対応する機能液滴吐出ヘッド７２に導入される。
なお、上述したように、タンクユニットは、ヘッド用電装ユニット９７と対峙するようにブリッジプレート６１上に設置され、バルブユニット１０４は、キャリッジユニット３１の支持プレート７６上にヘッドユニット７１と並んで搭載されている。もっとも、タンクユニットを、支持プレート７６上にヘッドユニット７１およびバルブユニット１０４と並べて搭載してもよい。

画像認識手段３５は、ワーク搬出入エリア４３の前後両側に臨むように配設され、ワークＷの両長辺部分にそれぞれ形成された２つのワークアライメントマーク（図示省略）をそれぞれ画像認識する２台のワーク認識カメラ１０６（図９参照）と、Ｘ軸テーブル３２のＸ軸エアースライダ５２に連結され、各キャリッジ７３（支持プレート７６）の２つの基準ピンを画像認識するヘッド認識カメラ１０７（図９参照）と、上記のＹ軸テーブル３３に添設されたカメラ移動機構（図示省略）によりＹ軸方向に移動可能にそれぞれ搭載され、ワークＷ等に吐出された機能液滴（ドット）を上方から撮像して画像認識する２台のドット認識カメラ１０８（図９参照）とを有している。これらの各種カメラの画像認識結果に基づいて、上述したワークＷやヘッドユニット７１の位置補正が行われる。

ここで、図２ないし図４を参照して、描画装置２２によるワークＷへの吐出動作、すなわち描画動作について簡単に説明する。まず、機能液を吐出する前の準備として、上記のワーク搬出入装置２により吸着テーブル５６にワークＷがセットされ、そのワークＷの位置補正が、ワークθ軸テーブル５７によるθ軸方向の位置補正と、ワークＷのＸ軸方向およびＹ軸方向の位置データ補正とにより行われる。相前後して、描画エリア４１に移動する稼動ユニット群３６と、描画待機エリア４２に移動する描画待機ユニット群３７との仕分けが行われる（詳細は後述する）。また、描画エリア４１に移動した稼動ユニット群３６の各ヘッドユニット７１の位置補正が、ヘッドθ軸テーブル７８によるθ軸方向の位置補正およびＹ軸テーブル３３によるＹ軸方向の位置補正と、ヘッドユニット７１のＸ軸方向の位置データ補正とにより行われる。

ワークＷやヘッドユニット７１の位置補正が行われた後、描画装置２２は、コントローラ２４（制御部１３２）による制御を受けながら、ワークＷをＸ軸テーブル３２によりＸ軸方向に往動させると共に、これに同期して稼動ユニット群３６の機能液滴吐出ヘッド７２を選択的に駆動させて、ワークＷに対する機能液の吐出が行われる。続いて、ワークＷを復動させながら、再度ワークＷに対する機能液の吐出が行われる。このようにワークＷのＸ軸方向への往復移動と機能液滴吐出ヘッド７２の駆動とを複数回繰り返すことで、ワークＷに対する描画が行われる。すなわち、描画エリア４１に臨むワークＷに対し、稼動ユニット群３６をＸ軸方向に相対的に移動させながら、稼動ユニット群３６の機能液滴吐出ヘッド７２からワークＷ上に機能液を吐出して描画処理が行われる。

なお、この描画処理において、ワークＷの往動時のみ機能液の吐出が行われる構成としてもよい。また、ワークＷを固定とし、稼動ユニット群３６をＸ軸方向に移動させる構成であってもよい。さらに、本実施形態では、上述したように、ワークＷの描画対象幅と稼動ユニット群３６の部分描画ライン群の長さとが対応しているが、ワークＷの描画対象幅が稼動ユニット群３６の部分描画ライン群の長さよりも長い構成であってもよく、この場合には、ワークＷに対し稼動ユニット群３６を往復動させながら機能液滴吐出ヘッド７２を駆動させて吐出走査（主走査）を行った後、Ｙ軸テーブル３３により稼動ユニット群３６を部分描画ライン群の長さ分Ｙ軸方向に移動させ（副走査）、再度ワークＷに対する主走査が行われる。そして、この主走査および副走査を数回繰り返してワークＷの端から端まで液滴吐出が行われる。

次に、図３および図８を参照して、液滴吐出装置１におけるメンテナンス手段２３およびこれによる機能液滴吐出ヘッド７２の機能維持・回復処理について説明する。メンテナンス手段２３は、稼動ユニット群３６以外の描画待機エリア４２側のキャリッジユニット３１から成る描画待機ユニット群３７に搭載された機能液滴吐出ヘッド７２を、吐出機能を維持した状態で保管すると共に、吐出機能を回復するものである。メンテナンス手段２３は、機能液滴吐出ヘッド７２を吸引して、機能液滴吐出ヘッド７２から機能液を強制的に排出させる吸引ユニット１１１と、機能液が付着して汚れた機能液滴吐出ヘッド７２のノズル面９３を払拭するワイピングユニット１１３と、吸引ユニット１１１の７個の分割吸引ユニット１１２（後述する）およびワイピングユニット１１３をそれぞれ個別に昇降可能に支持する８個のユニット昇降機構１１５から構成されるユニット昇降手段１１４とを有しており、これらは、アングル架台１１８上に支持されて描画待機エリア４２に配設されている。さらに、メンテナンス手段２３は、上記のワークθ軸テーブル５７上に配設された定期フラッシングボックス１１６と、セットテーブル５１の前後両側に配設された一対の吐出前フラッシングボックス（図示省略）とを有している。

吸引ユニット１１１は、７個のキャリッジユニット３１に対応して、Ｙ軸方向に配列された７個の分割吸引ユニット１１２を有している。各分割吸引ユニット１１２は、キャリッジユニット３１に対して下側から臨み、１２個の機能液滴吐出ヘッド７２のノズル面９３にそれぞれ気密に封止させる１２個のキャップ１２１と、１２個のキャップ１２１を昇降自在に支持するキャップ支持部材１２２と、封止させたキャップ１２１を介して機能液滴吐出ヘッド７２に吸引力を作用させるエゼクタ（図示省略）とを備えている。なお、７個の分割吸引ユニット１１２を、描画エリア４１側から描画待機エリア４２側に向けて（図３の左側から右側に向けて）順に第１分割吸引ユニット１１２ａ、第２分割吸引ユニット１１２ｂ、・・・、第７分割吸引ユニット１１２ｇとする。

１２個のキャップ１２１は、各キャリッジ７３に搭載された１２個の機能液滴吐出ヘッド７２の並びに対応させて、キャップ支持部材１２２に配設したものである。そのため、吸引ユニット１１１全体では、７個のキャリッジユニット３１の全機能液滴吐出ヘッド７２の配置パターンに倣って、１２×７個のキャップ１２１が配置されており、全機能液滴吐出ヘッド７２にそれぞれ対応するキャップ１２１を一度に封止させることが可能である。さらに、キャップ１２１をノズル面９３に封止させた状態でエゼクタを駆動することにより、ノズル９５から機能液を吸引することで、機能液滴吐出ヘッド７２内で増粘した機能液を除去することができる。

したがって、吸引ユニット１１１は、各キャップ１２１により機能液滴吐出ヘッド７２を気密に封止することで、複雑な機構を用いることなく、機能液滴吐出ヘッド７２のノズル９５の機能液が乾燥することを防止して、機能液滴吐出ヘッド７２を機能維持状態に保管すると共に、各キャップ１２１により気密状態として機能液滴吐出ヘッド７２のノズル９５から吸引することで、増粘した機能液を排出することができる。

ワイピングユニット１１３は、描画待機エリア４２の描画エリア４１側、すなわち描画エリア４１と吸引ユニット１１１との間に配置されており、機能液滴吐出ヘッド７２の吸引等により、機能液が付着して汚れたノズル面９３を、洗浄液を含浸させたワイピングシート１２３を用いて拭き取るものである。このような配置により、ワイピングユニット１１３は、吸引ユニット１１１による吸引を終えて、描画エリア４１へ個々に移動するキャリッジユニット３１に順次臨むことができ、その機能液滴吐出ヘッド７２にワイピング処理を行うことができるようになっている。そして、上記の吸引処理と、吸引処理によりノズル面９３に付着した機能液を拭き取るワイピングとにより、ノズル詰まりの生じた機能液滴吐出ヘッド７２の吐出機能を回復させることができる。

図４に示すように、定期フラッシングボックス１１６は、ワークＷに対する描画を一時的に停止するときに行うフラッシングを受けるためのものであり、上記のワークθ軸テーブル５７上に設けられ、ワークＷの交換のためにセットテーブル５１がワーク搬出入エリア４３に臨むとき、定期フラッシングボックス１１６が描画エリア４１に臨み、機能液滴吐出ヘッド７２からのフラッシングを受けるようになっている。

図示しないが、一対の吐出前フラッシングボックスは、ワークＷに機能液を吐出させる直前に行う吐出前フラッシングを受けるためのものであり、セットテーブル５１をＸ軸方向に挟むように配設されている。これにより、ワークＷの往復動に伴う機能液滴吐出ヘッド７２の吐出駆動の直前に行われるフラッシングを受けることができる。

定期フラッシングボックス１１６および一対の吐出前フラッシングボックスは、それぞれ平面視長方形の箱状に形成されており、その底面には、機能液を吸収させる吸収材（図示省略）が敷設されている。また、各フラッシングボックスの長辺（Ｙ軸方向）は、上記の最大幅描画ラインＬｍの長さに対応して形成されているため、稼動ユニット群３６が全キャリッジユニット３１により構成されている場合にも、その機能液滴吐出ヘッド７２からのフラッシングを受け得るようになっている。

次に、図９を参照して、液滴吐出装置１全体の制御系について説明する。液滴吐出装置１の制御系は、基本的に、上位コンピュータ３と、機能液滴吐出ヘッド７２、Ｘ軸テーブル３２、Ｙ軸テーブル３３、メンテナンス手段２３等を駆動する各種ドライバを有する駆動部１３１と、駆動部１３１を含め液滴吐出装置１全体を統括制御する制御部１３２（コントローラ２４）とを備えている。

上位コンピュータ３は、コントローラ２４に接続されたコンピュータ本体１６に、キーボード１７や、キーボード１７による入力結果等を画像表示するディスプレイ１８等が接続されて構成されている。

駆動部１３１は、機能液滴吐出ヘッド７２を吐出駆動制御するヘッドドライバ１４１と、Ｘ軸テーブル３２およびＹ軸テーブル３３の各モータをそれぞれ駆動制御する移動用ドライバ１４２と、メンテナンス手段２３の吸引ユニット１１１、ワイピングユニット１１３およびユニット昇降機構１１５を駆動制御するメンテナンス用ドライバ１４３とを備えている。

制御部１３２は、ＣＰＵ１５１と、ＲＯＭ１５２と、ＲＡＭ１５３と、Ｐ−ＣＯＮ１５４とを備え、これらは互いにバス１５５を介して接続されている。ＲＯＭ１５２は、ＣＰＵ１５１で処理する制御プログラム等を記憶する制御プログラム領域と、描画動作や画像認識を行うための制御データ等を記憶する制御データ領域とを有している。

ＲＡＭ１５３は、各種レジスタ群のほか、ワークＷに機能液の吐出を行うための描画データを記憶する描画データ記憶部、ワークＷおよび機能液滴吐出ヘッド７２の位置データを記憶する位置データ記憶部、オペレータによってキーボード１７から入力された各種設定（後述する稼動ユニット群３６と描画待機ユニット群３７との設定等）を記憶する設定記憶部等の各種記憶部を有し、制御処理のための各種作業領域として使用される。

Ｐ−ＣＯＮ１５４には、駆動部１３１の各種ドライバのほか、画像認識手段３５の各種カメラが接続されており、ＣＰＵ１５１の機能を補うと共に、周辺回路とのインタフェース信号を取り扱うための論理回路が構成されて組み込まれている。このため、Ｐ−ＣＯＮ１５４は、上位コンピュータ３からの各種指令等をそのままあるいは加工してバス１５５に取り込むと共に、ＣＰＵ１５１と連動して、ＣＰＵ１５１等からバス１５５に出力されたデータや制御信号を、そのままあるいは加工して駆動部１３１に出力する。

そして、ＣＰＵ１５１は、ＲＯＭ１５２内の制御プログラムに従って、Ｐ−ＣＯＮ１５４を介して各種検出信号、各種指令、各種データ等を入力し、ＲＡＭ１５３内の各種データ等を処理した後、Ｐ−ＣＯＮ１５４を介して駆動部１３１等に各種の制御信号を出力することにより、液滴吐出装置１全体を制御している。例えば、ＣＰＵ１５１は、機能液滴吐出ヘッド７２、Ｘ軸テーブル３２およびＹ軸テーブル３３を制御して、所定の液滴吐出条件および所定の移動条件でワークＷに描画を行う。

ここで、図１０ないし図１３を参照して、本実施形態の液滴吐出装置１による描画制御について詳細に説明する。この液滴吐出装置１は、上述したように、稼動ユニット群３６を描画エリア４１に移動させると共に、描画エリア４１に臨むワークＷに対し、稼動ユニット群３６を相対的にＸ軸方向に移動させながら、その機能液滴吐出ヘッド７２からワークＷ上に機能液を吐出して描画処理を行い、且つ、描画待機ユニット群３７を描画待機エリア４２に移動させると共に、その機能液滴吐出ヘッド７２を機能維持状態に保管するメンテナンス処理を行う。この描画処理およびメンテナンス処理は、コントローラ２４により、描画装置２２の各装置およびメンテナンス手段２３の各ユニットを制御して行われる。

ここでは、２枚のワークＷに対してそれぞれ行われる描画処理について説明する。まず、液滴吐出装置１に導入される１枚目のワークＷのサイズに基づいて、稼動ユニット群３６と描画待機ユニット群３７とを仕分けする。例えば、１枚目のワークＷが８８０ｍｍ×７３５ｍｍのサイズの第４ワークＷｄである場合、オペレータは、上記のキーボード１７により、描画エリア４１側の４個のキャリッジユニット３１（第１〜第４キャリッジユニット３１ａ〜ｄ）を稼動ユニット群３６として設定し、描画待機エリア４２側の３個のキャリッジユニット３１（第５〜第７キャリッジユニット３１ｅ〜ｇ）を描画待機ユニット群３７として設定（ユニット群仕分け設定）する（図１０（ａ）参照）。

なお、このユニット群仕分け設定は、このようにオペレータが各キャリッジユニット３１を稼動ユニット群３６および描画待機ユニット群３７のいずれかに仕分けすることで行われるほか、オペレータがワークＷの描画対象幅を入力し、コントローラ２４がその入力値に基づいて仕分けをしてもよく、さらに、セットテーブル５１にセットされたワークＷのＹ軸方向における長さを検出するセンサを設け、コントローラ２４がその検出値に基づいて仕分けをしてもよい。

次に、Ｙ軸テーブル３３を駆動制御して、描画待機ユニット群３７として設定された第５〜第７キャリッジユニット３１ｅ〜ｇを描画待機エリア４２に移動すると共に、稼動ユニット群３６として設定された第１〜第４キャリッジユニット３１ａ〜ｄを描画エリア４１のＹ軸方向中央部に移動する（図１０（ｂ）参照）。

この稼動ユニット群３６と描画待機ユニット群３７との仕分けに続いて、Ｘ軸テーブル３２にワークＷをセットして、上述したように、ワークＷおよび稼動ユニット群３６の位置補正を行う（図１１（ａ）参照）。そして、描画手段２２は、コントローラ２４の制御を受けながら、ワークＷに対して機能液の吐出、すなわち描画処理を行う（図１１（ｂ）参照）。

一方、描画待機エリア４２に移動した描画待機ユニット群３７（第５〜第７キャリッジユニット３１ｅ〜ｇ）に対しては、対応する分割吸引ユニット１１２（第５〜第７分割吸引ユニット１１２ｅ〜ｇ）により、各機能液滴吐出ヘッド７２を封止して、機能維持状態に保管しておく（図１０（ｂ）、図１１参照）。これによれば、稼動ユニット群３６を描画エリア４１に移動させて、その機能液滴吐出ヘッド７２により描画処理を行っている間、描画待機ユニット群３７を描画待機エリア４２に移動させて、その機能液滴吐出ヘッド７２を、吐出機能を維持した状態で保管することができる。

このようにして、セットした第４ワークＷｄ（８８０ｍｍ×７３５ｍｍ）に対する描画処理が終了すると、描画処理済みの第４ワークＷｄを上記の描画ユニットＳｕ外に搬出する。

続いて行われる２枚目のワークＷに対する描画処理について、２枚目のワークＷのサイズに大小に場合分けして説明する。まず、２枚目のワークＷが１枚目のワークＷ（第４ワークＷｄ）よりも大きいサイズのワークＷ（例えば、１１００ｍｍ×９１５ｍｍの第５ワークＷｅ）である場合、オペレータは、上記のユニット群仕分け設定を変更、すなわち、第１〜第５キャリッジユニット３１ａ〜ｅを稼動ユニット群３６として設定し、第６・第７キャリッジユニット３１ｆ・ｇを描画待機ユニット群３７として設定する（図１２（ａ）参照）。

次に、Ｙ軸テーブル３３を駆動制御して、描画待機ユニット群３７として新たに設定された第５キャリッジユニット３１ｅを描画エリア４１に移動する（図１２（ｂ）参照）と共に、稼動ユニット群３６として設定された第１〜第５キャリッジユニット３１ａ〜ｅを描画エリア４１のＹ軸方向中央部に位置するようにする。ここで、第５キャリッジユニット３１ｅは、描画待機エリア４２（第５分割吸引ユニット１１２ｅ）において機能維持状態に保管されていたため、これを描画エリア４１に移動させるだけで、稼動ユニット群３６として機能させることができる。なお、必要に応じて、第５分割吸引ユニット１１２ｅにより吸引処理を行うと共に、ワイピングユニット１１３によりワイピングを行うことが好ましいが、この場合も、キャッピングによりノズル９５が過度に乾燥していることがないため、吸引処理に要する時間は短くて済む。

以下、上記と同様にして、第５ワークＷｅをＸ軸テーブル３２にセットし（図１３（ａ）参照）、描画待機ユニット群３７を機能維持状態に保管すると共に稼動ユニット群３６により描画処理を行う（図１３（ｂ）参照）。このように、描画待機状態にあった第５キャリッジユニット３１ｅを短時間で稼動状態にすることができるため、第５ワークＷｅの描画対象幅に対応した部分描画ライン群を短時間で構成することができる。

また、２枚目のワークＷが１枚目のワークＷ（第４ワークＷｄ）よりも小さいサイズのワークＷ（例えば、５００ｍｍ×４１５ｍｍの第２ワークＷｂ）である場合、オペレータは、上記のユニット群仕分け設定を変更、すなわち、第１〜第２キャリッジユニット３１ａ〜ｂを稼動ユニット群３６として設定し、第３〜第７キャリッジユニット３１ｃ〜ｇを描画待機ユニット群３７として設定する。

これにより、Ｙ軸テーブル３３を駆動制御して、描画待機ユニット群３７として新たに設定された第３・第４キャリッジユニット３１ｃ・ｄを描画待機エリア４２に移動する。以下、上記と同様にして、描画待機ユニット群３７を機能維持状態に保管すると共に稼動ユニット群３６により描画処理を行う。

また、２枚目のワークＷが１枚目のワークＷ（第４ワークＷｄ）と同じサイズのワークＷ（第４ワークＷｄ）である場合、上記と同じユニット群仕分け設定で、すなわち第１〜第４キャリッジユニット３１ａ〜ｄを稼動ユニット群３６として設定し、第５〜第７キャリッジユニット３１ｅ〜ｇを描画待機ユニット群３７として設定したまま、描画待機ユニット群３７を機能維持状態に保管すると共に稼動ユニット群３６により描画処理を行う。

以上のように、本実施形態の液滴吐出装置１によれば、描画処理中に稼動しない描画待機ユニット群３７の機能液滴吐出ヘッド７２を機能維持状態に保管して待機させておくことができると共に、描画待機状態から稼動状態に短時間で移行させることができる。

次に、図１４を参照して、液滴吐出装置１の第２実施形態について説明する。第２実施形態の液滴吐出装置１は、上記の第１実施形態の液滴吐出装置１と略同様の構成であって、上記の共通架台２１、描画装置２２（キャリッジユニット３１、Ｘ軸テーブル３２、Ｙ軸テーブル３３等）、メンテナンス手段２３（吸引ユニット１１１およびワイピングユニット１１３等）等を備えているが、第１実施形態では、単一の描画待機エリア４２にメンテナンス手段２３を設けているのに対し、第２実施形態では、描画エリア４１をＹ軸方向に挟んで７個のキャリッジユニット３１の移動軌跡上の両側に一対の描画待機エリア４２，４２が配設されており、各描画待機エリア４２がメンテナンス手段２３を設けている点で相違する。なお、一対の描画待機エリア４２のうち、図示左側を第１描画待機エリア４２ａ、図示右側を第２描画待機エリア４２ｂとする。

したがって、第２実施形態の液滴吐出装置１についても、第１実施形態の液滴吐出装置１と同様に、描画処理中に稼動しない描画待機ユニット群３７の機能液滴吐出ヘッド７２を機能維持状態に保管して待機させておくことができると共に、描画待機状態から稼動状態に短時間で移行させることができる。

しかも、第２実施形態の液滴吐出装置１では、７個のキャリッジユニット３１について、稼動ユニット群と描画待機ユニット群との使い回しの自由度を高めることができる。具体的に説明すると、第１実施形態では、上述したように、第４ワークＷｄに対して描画処理を行う場合、稼動ユニット群３６となるのは、第１〜第４キャリッジユニット３１ａ〜ｄであり、描画待機ユニット群３７となるのは、第５〜第７キャリッジユニット３１ｅ〜ｇである。すなわち、稼動ユニット群３６と描画待機ユニット群３７とのユニット群仕分け設定は１通りに決まる。

これに対し、図１５および図１６に示すように、第２実施形態では、第４ワークに対して描画処理を行う場合、稼動ユニット群３６が第１〜第４キャリッジユニット３１ａ〜ｄで、描画待機ユニット群３７が第５〜第７キャリッジユニット３１ｅ〜ｇ（第２描画待機エリア４２ｂで待機）の場合（図１５（ａ）参照）と、稼動ユニット群３６が第２〜第５キャリッジユニット３１ｂ〜ｅで、描画待機ユニット群３７が第１キャリッジユニット３１ａ（第１描画待機エリア４２ａで待機）および第６・第７キャリッジユニット３１ｆ・ｇ（第２描画待機エリア４２ｂで待機）の場合（図１５（ｂ）参照）と、稼動ユニット群３６が第３〜第６キャリッジユニット３１ｃ〜ｆで、描画待機ユニット群３７が第１・第２キャリッジユニット３１ａ・ｂ（第１描画待機エリア４２ａで待機）および第７キャリッジユニット３１ｇ（第２描画待機エリア４２ｂで待機）の場合（図１６（ａ）参照）と、稼動ユニット群３６が第４〜第７キャリッジユニット３１ｄ〜ｇで、描画待機ユニット群３７が第１〜第３キャリッジユニット３１ａ〜ｃ（第１描画待機エリア４２ａで待機）の場合（図１６（ｂ）参照）との４通りに設定することが可能である。

なお、第２実施形態では、各メンテナンス手段２３の吸引ユニット１１１は、７個のキャリッジユニット３１の使い回しの自由度を高めるべく、７個の分割吸引ユニット１１２を有し、いずれの吸引ユニット１１１とも、７個のキャリッジユニット３１の全機能液滴吐出ヘッド７２にそれぞれ対応するキャップ１２１を一度に封止させることが可能である。もっとも、液滴吐出装置全体の省スペース化を図るべく、両方の吸引ユニット１１１で７個の分割吸引ユニット１１２を有する（例えば、一方が４個、他方が３個）構成としてもよい。

さらに、本実施形態では、稼動ユニット群３６と描画待機ユニット群３７とを仕分けする場合として、上述したようにワークＷの描画幅に対応した部分描画ライン群を構成する場合のほか、７個のキャリッジユニット３１を複数組に分け、互いに異なる複数種の機能液を導入する場合も考えられる。

図１７に示すように、具体的には、例えば、第１・第２キャリッジユニット３１ａ・ｂにＲの機能液を導入し、第３・第４キャリッジユニット３１ｃ・ｄにＧの機能液を導入し、第５・第６キャリッジユニット３１ｅ・ｆにＢの機能液を導入して、１台の液滴吐出装置１によりワークＷにＲ・Ｇ・Ｂ３色の着色層５０８Ｒ、５０８Ｇ、５０８Ｂを形成してカラーフィルタを製造することが可能である。なお、第７キャリッジユニット３１ｇには機能液を導入せず、常に第２描画待機エリア４２ｂ（の第７分割吸引ユニット１１２ｇ）で待機させておく。

まず、第１・第２キャリッジユニット３１ａ・ｂを稼動ユニット群３６として描画エリア４１に移動させると共に、第３〜第６キャリッジユニット３１ｃ〜ｆを描画待機ユニット群３７として第２描画待機エリア４２ｂ（の第３〜第６分割吸引ユニット１１２ｃ〜ｆ）に移動させる。そして、稼動ユニット群３６の主走査および副走査を行って、ワークＷに対してＲの機能液を吐出して描画処理を行わせると共に、描画待機ユニット群３７を機能維持状態に保管しておく（同図（ａ）参照）。

続いて、第１・第２キャリッジユニット３１ａ・ｂを描画待機ユニット群３７として描画エリア４１から第１描画待機エリア４２ａ（の第１・第２分割吸引ユニット１１２ａ・ｂ）に移動させると共に、第３・第４キャリッジユニット３１ｃ・ｄを稼動ユニット群３６として第２描画待機エリア４２ｂから描画エリア４１に移動させる。そして、稼動ユニット群３６によりＧの機能液を吐出して描画処理を行わせると共に、描画待機ユニット群３７を機能維持状態に保管しておく（同図（ｂ）参照）。

さらに、第３・第４キャリッジユニット３１ｃ・ｄを描画待機ユニット群３７として描画エリア４１から第１描画待機エリア４２ａ（の第３・第４分割吸引ユニット１１２ｃ・ｄ）に移動させると共に、第５・第６キャリッジユニット３１ｅ・ｆを稼動ユニット群３６として第２描画待機エリア４２ｂから描画エリア４１に移動させる。そして、稼動ユニット群３６によりＢの機能液を吐出して描画処理を行わせると共に、描画待機ユニット群３７を機能維持状態に保管する（同図（ｃ）参照）。

このようにして、１台の液滴吐出装置１（描画ユニットＳｕ）によりＲ・Ｇ・Ｂ３色の機能液の吐出・描画を行うことができ、しかも、ある色の機能液の描画処理を行った後、短時間で、次の色の機能液の描画処理を行うことができる。

次に、本実施形態の液滴吐出装置１を用いて製造される電気光学装置（フラットパネルディスプレイ）として、カラーフィルタ、液晶表示装置、有機ＥＬ装置、プラズマディスプレイ（ＰＤＰ装置）、電子放出装置（ＦＥＤ装置、ＳＥＤ装置）、さらにこれら表示装置に形成されてなるアクティブマトリクス基板等を例に、これらの構造およびその製造方法について説明する。なお、アクティブマトリクス基板とは、薄膜トランジスタ、および薄膜トランジスタに電気的に接続するソース線、データ線が形成された基板をいう。

まず、液晶表示装置や有機ＥＬ装置等に組み込まれるカラーフィルタの製造方法について説明する。図１８は、カラーフィルタの製造工程を示すフローチャート、図１９は、製造工程順に示した本実施形態のカラーフィルタ５００（フィルタ基体５００Ａ）の模式断面図である。
まず、ブラックマトリクス形成工程（Ｓ１０１）では、図１９（ａ）に示すように、基板（Ｗ）５０１上にブラックマトリクス５０２を形成する。ブラックマトリクス５０２は、金属クロム、金属クロムと酸化クロムの積層体、または樹脂ブラック等により形成される。金属薄膜からなるブラックマトリクス５０２を形成するには、スパッタ法や蒸着法等を用いることができる。また、樹脂薄膜からなるブラックマトリクス５０２を形成する場合には、グラビア印刷法、フォトレジスト法、熱転写法等を用いることができる。

続いて、バンク形成工程（Ｓ１０２）において、ブラックマトリクス５０２上に重畳する状態でバンク５０３を形成する。即ち、まず図１９（ｂ）に示すように、基板５０１およびブラックマトリクス５０２を覆うようにネガ型の透明な感光性樹脂からなるレジスト層５０４を形成する。そして、その上面をマトリクスパターン形状に形成されたマスクフィルム５０５で被覆した状態で露光処理を行う。
さらに、図１９（ｃ）に示すように、レジスト層５０４の未露光部分をエッチング処理することによりレジスト層５０４をパターニングして、バンク５０３を形成する。なお、樹脂ブラックによりブラックマトリクスを形成する場合は、ブラックマトリクスとバンクとを兼用することが可能となる。
このバンク５０３とその下のブラックマトリクス５０２は、各画素領域５０７ａを区画する区画壁部５０７ｂとなり、後の着色層形成工程において機能液滴吐出ヘッド７２により着色層（成膜部）５０８Ｒ、５０８Ｇ、５０８Ｂを形成する際に機能液滴の着弾領域を規定する。

以上のブラックマトリクス形成工程およびバンク形成工程を経ることにより、上記フィルタ基体５００Ａが得られる。
なお、本実施形態においては、バンク５０３の材料として、塗膜表面が疎液（疎水）性となる樹脂材料を用いている。そして、基板（ガラス基板）５０１の表面が親液（親水）性であるので、後述する着色層形成工程においてバンク５０３（区画壁部５０７ｂ）に囲まれた各画素領域５０７ａ内への液滴の着弾位置のばらつきを自動補正できる。

次に、着色層形成工程（Ｓ１０３）では、図１９（ｄ）に示すように、機能液滴吐出ヘッド７２によって機能液滴を吐出して区画壁部５０７ｂで囲まれた各画素領域５０７ａ内に着弾させる。この場合、機能液滴吐出ヘッド７２を用いて、Ｒ・Ｇ・Ｂの３色の機能液（フィルタ材料）を導入して、機能液滴の吐出を行う。なお、Ｒ・Ｇ・Ｂの３色の配列パターンとしては、ストライプ配列、モザイク配列およびデルタ配列等がある。

その後、乾燥処理（加熱等の処理）を経て機能液を定着させ、３色の着色層５０８Ｒ、５０８Ｇ、５０８Ｂを形成する。着色層５０８Ｒ、５０８Ｇ、５０８Ｂを形成したならば、保護膜形成工程（Ｓ１０４）に移り、図１９（ｅ）に示すように、基板５０１、区画壁部５０７ｂ、および着色層５０８Ｒ、５０８Ｇ、５０８Ｂの上面を覆うように保護膜５０９を形成する。
即ち、基板５０１の着色層５０８Ｒ、５０８Ｇ、５０８Ｂが形成されている面全体に保護膜用塗布液が吐出された後、乾燥処理を経て保護膜５０９が形成される。
そして、保護膜５０９を形成した後、カラーフィルタ５００は、次工程の透明電極となるＩＴＯ（Indium Tin Oxide）などの膜付け工程に移行する。

図２０は、上記のカラーフィルタ５００を用いた液晶表示装置の一例としてのパッシブマトリックス型液晶装置（液晶装置）の概略構成を示す要部断面図である。この液晶装置５２０に、液晶駆動用ＩＣ、バックライト、支持体などの付帯要素を装着することによって、最終製品としての透過型液晶表示装置が得られる。なお、カラーフィルタ５００は図１９に示したものと同一であるので、対応する部位には同一の符号を付し、その説明は省略する。

この液晶装置５２０は、カラーフィルタ５００、ガラス基板等からなる対向基板５２１、および、これらの間に挟持されたＳＴＮ（Super Twisted Nematic）液晶組成物からなる液晶層５２２により概略構成されており、カラーフィルタ５００を図中上側（観測者側）に配置している。
なお、図示していないが、対向基板５２１およびカラーフィルタ５００の外面（液晶層５２２側とは反対側の面）には偏光板がそれぞれ配設され、また対向基板５２１側に位置する偏光板の外側には、バックライトが配設されている。

カラーフィルタ５００の保護膜５０９上（液晶層側）には、図２０において左右方向に長尺な短冊状の第１電極５２３が所定の間隔で複数形成されており、この第１電極５２３のカラーフィルタ５００側とは反対側の面を覆うように第１配向膜５２４が形成されている。
一方、対向基板５２１におけるカラーフィルタ５００と対向する面には、カラーフィルタ５００の第１電極５２３と直交する方向に長尺な短冊状の第２電極５２６が所定の間隔で複数形成され、この第２電極５２６の液晶層５２２側の面を覆うように第２配向膜５２７が形成されている。これらの第１電極５２３および第２電極５２６は、ＩＴＯなどの透明導電材料により形成されている。

液晶層５２２内に設けられたスペーサ５２８は、液晶層５２２の厚さ（セルギャップ）を一定に保持するための部材である。また、シール材５２９は液晶層５２２内の液晶組成物が外部へ漏出するのを防止するための部材である。なお、第１電極５２３の一端部は引き回し配線５２３ａとしてシール材５２９の外側まで延在している。
そして、第１電極５２３と第２電極５２６とが交差する部分が画素であり、この画素となる部分に、カラーフィルタ５００の着色層５０８Ｒ、５０８Ｇ、５０８Ｂが位置するように構成されている。

通常の製造工程では、カラーフィルタ５００に、第１電極５２３のパターニングおよび第１配向膜５２４の塗布を行ってカラーフィルタ５００側の部分を作成すると共に、これとは別に対向基板５２１に、第２電極５２６のパターニングおよび第２配向膜５２７の塗布を行って対向基板５２１側の部分を作成する。その後、対向基板５２１側の部分にスペーサ５２８およびシール材５２９を作り込み、この状態でカラーフィルタ５００側の部分を貼り合わせる。次いで、シール材５２９の注入口から液晶層５２２を構成する液晶を注入し、注入口を閉止する。その後、両偏光板およびバックライトを積層する。

実施形態の液滴吐出装置１は、例えば上記のセルギャップを構成するスペーサ材料（機能液）を塗布すると共に、対向基板５２１側の部分にカラーフィルタ５００側の部分を貼り合わせる前に、シール材５２９で囲んだ領域に液晶（機能液）を均一に塗布することが可能である。また、上記のシール材５２９の印刷を、機能液滴吐出ヘッド７２で行うことも可能である。さらに、第１・第２両配向膜５２４，５２７の塗布を機能液滴吐出ヘッド７２で行うことも可能である。

図２１は、本実施形態において製造したカラーフィルタ５００を用いた液晶装置の第２の例の概略構成を示す要部断面図である。
この液晶装置５３０が上記液晶装置５２０と大きく異なる点は、カラーフィルタ５００を図中下側（観測者側とは反対側）に配置した点である。
この液晶装置５３０は、カラーフィルタ５００とガラス基板等からなる対向基板５３１との間にＳＴＮ液晶からなる液晶層５３２が挟持されて概略構成されている。なお、図示していないが、対向基板５３１およびカラーフィルタ５００の外面には偏光板等がそれぞれ配設されている。

カラーフィルタ５００の保護膜５０９上（液晶層５３２側）には、図中奥行き方向に長尺な短冊状の第１電極５３３が所定の間隔で複数形成されており、この第１電極５３３の液晶層５３２側の面を覆うように第１配向膜５３４が形成されている。
対向基板５３１のカラーフィルタ５００と対向する面上には、カラーフィルタ５００側の第１電極５３３と直交する方向に延在する複数の短冊状の第２電極５３６が所定の間隔で形成され、この第２電極５３６の液晶層５３２側の面を覆うように第２配向膜５３７が形成されている。

液晶層５３２には、この液晶層５３２の厚さを一定に保持するためのスペーサ５３８と、液晶層５３２内の液晶組成物が外部へ漏出するのを防止するためのシール材５３９が設けられている。
そして、上記した液晶装置５２０と同様に、第１電極５３３と第２電極５３６との交差する部分が画素であり、この画素となる部位に、カラーフィルタ５００の着色層５０８Ｒ、５０８Ｇ、５０８Ｂが位置するように構成されている。

図２２は、本発明を適用したカラーフィルタ５００を用いて液晶装置を構成した第３の例を示したもので、透過型のＴＦＴ（Thin Film Transistor）型液晶装置の概略構成を示す分解斜視図である。
この液晶装置５５０は、カラーフィルタ５００を図中上側（観測者側）に配置したものである。

この液晶装置５５０は、カラーフィルタ５００と、これに対向するように配置された対向基板５５１と、これらの間に挟持された図示しない液晶層と、カラーフィルタ５００の上面側（観測者側）に配置された偏光板５５５と、対向基板５５１の下面側に配設された偏光板（図示せず）とにより概略構成されている。
カラーフィルタ５００の保護膜５０９の表面（対向基板５５１側の面）には液晶駆動用の電極５５６が形成されている。この電極５５６は、ＩＴＯ等の透明導電材料からなり、後述の画素電極５６０が形成される領域全体を覆う全面電極となっている。また、この電極５５６の画素電極５６０とは反対側の面を覆った状態で配向膜５５７が設けられている。

対向基板５５１のカラーフィルタ５００と対向する面には絶縁層５５８が形成されており、この絶縁層５５８上には、走査線５６１および信号線５６２が互いに直交する状態で形成されている。そして、これらの走査線５６１と信号線５６２とに囲まれた領域内には画素電極５６０が形成されている。なお、実際の液晶装置では、画素電極５６０上に配向膜が設けられるが、図示を省略している。

また、画素電極５６０の切欠部と走査線５６１と信号線５６２とに囲まれた部分には、ソース電極、ドレイン電極、半導体、およびゲート電極とを具備する薄膜トランジスタ５６３が組み込まれて構成されている。そして、走査線５６１と信号線５６２に対する信号の印加によって薄膜トランジスタ５６３をオン・オフして画素電極５６０への通電制御を行うことができるように構成されている。

なお、上記の各例の液晶装置５２０，５３０，５５０は、透過型の構成としたが、反射層あるいは半透過反射層を設けて、反射型の液晶装置あるいは半透過反射型の液晶装置とすることもできる。

次に、図２３は、有機ＥＬ装置の表示領域（以下、単に表示装置６００と称する）の要部断面図である。

この表示装置６００は、基板（Ｗ）６０１上に、回路素子部６０２、発光素子部６０３および陰極６０４が積層された状態で概略構成されている。
この表示装置６００においては、発光素子部６０３から基板６０１側に発した光が、回路素子部６０２および基板６０１を透過して観測者側に出射されると共に、発光素子部６０３から基板６０１の反対側に発した光が陰極６０４により反射された後、回路素子部６０２および基板６０１を透過して観測者側に出射されるようになっている。

回路素子部６０２と基板６０１との間にはシリコン酸化膜からなる下地保護膜６０６が形成され、この下地保護膜６０６上（発光素子部６０３側）に多結晶シリコンからなる島状の半導体膜６０７が形成されている。この半導体膜６０７の左右の領域には、ソース領域６０７ａおよびドレイン領域６０７ｂが高濃度陽イオン打ち込みによりそれぞれ形成されている。そして陽イオンが打ち込まれない中央部がチャネル領域６０７ｃとなっている。

また、回路素子部６０２には、下地保護膜６０６および半導体膜６０７を覆う透明なゲート絶縁膜６０８が形成され、このゲート絶縁膜６０８上の半導体膜６０７のチャネル領域６０７ｃに対応する位置には、例えばＡｌ、Ｍｏ、Ｔａ、Ｔｉ、Ｗ等から構成されるゲート電極６０９が形成されている。このゲート電極６０９およびゲート絶縁膜６０８上には、透明な第１層間絶縁膜６１１ａと第２層間絶縁膜６１１ｂが形成されている。また、第１、第２層間絶縁膜６１１ａ、６１１ｂを貫通して、半導体膜６０７のソース領域６０７ａ、ドレイン領域６０７ｂにそれぞれ連通するコンタクトホール６１２ａ，６１２ｂが形成されている。

そして、第２層間絶縁膜６１１ｂ上には、ＩＴＯ等からなる透明な画素電極６１３が所定の形状にパターニングされて形成され、この画素電極６１３は、コンタクトホール６１２ａを通じてソース領域６０７ａに接続されている。
また、第１層間絶縁膜６１１ａ上には電源線６１４が配設されており、この電源線６１４は、コンタクトホール６１２ｂを通じてドレイン領域６０７ｂに接続されている。

このように、回路素子部６０２には、各画素電極６１３に接続された駆動用の薄膜トランジスタ６１５がそれぞれ形成されている。

上記発光素子部６０３は、複数の画素電極６１３上の各々に積層された機能層６１７と、各画素電極６１３および機能層６１７の間に備えられて各機能層６１７を区画するバンク部６１８とにより概略構成されている。
これら画素電極６１３、機能層６１７、および、機能層６１７上に配設された陰極６０４によって発光素子が構成されている。なお、画素電極６１３は、平面視略矩形状にパターニングされて形成されており、各画素電極６１３の間にバンク部６１８が形成されている。

バンク部６１８は、例えばＳｉＯ、ＳｉＯ₂、ＴｉＯ₂等の無機材料により形成される無機物バンク層６１８ａ（第１バンク層）と、この無機物バンク層６１８ａ上に積層され、アクリル樹脂、ポリイミド樹脂等の耐熱性、耐溶媒性に優れたレジストにより形成される断面台形状の有機物バンク層６１８ｂ（第２バンク層）とにより構成されている。このバンク部６１８の一部は、画素電極６１３の周縁部上に乗上げた状態で形成されている。
そして、各バンク部６１８の間には、画素電極６１３に対して上方に向けて次第に拡開した開口部６１９が形成されている。

上記機能層６１７は、開口部６１９内において画素電極６１３上に積層状態で形成された正孔注入／輸送層６１７ａと、この正孔注入／輸送層６１７ａ上に形成された発光層６１７ｂとにより構成されている。なお、この発光層６１７ｂに隣接してその他の機能を有する他の機能層をさらに形成しても良い。例えば、電子輸送層を形成することも可能である。
正孔注入／輸送層６１７ａは、画素電極６１３側から正孔を輸送して発光層６１７ｂに注入する機能を有する。この正孔注入／輸送層６１７ａは、正孔注入／輸送層形成材料を含む第１組成物（機能液）を吐出することで形成される。正孔注入／輸送層形成材料としては、公知の材料を用いる。

発光層６１７ｂは、赤色（Ｒ）、緑色（Ｇ）、または青色（Ｂ）のいずれかに発光するもので、発光層形成材料（発光材料）を含む第２組成物（機能液）を吐出することで形成される。第２組成物の溶媒（非極性溶媒）としては、正孔注入／輸送層６１７ａに対して不溶な公知の材料を用いることが好ましく、このような非極性溶媒を発光層６１７ｂの第２組成物に用いることにより、正孔注入／輸送層６１７ａを再溶解させることなく発光層６１７ｂを形成することができる。

そして、発光層６１７ｂでは、正孔注入／輸送層６１７ａから注入された正孔と、陰極６０４から注入される電子が発光層で再結合して発光するように構成されている。

陰極６０４は、発光素子部６０３の全面を覆う状態で形成されており、画素電極６１３と対になって機能層６１７に電流を流す役割を果たす。なお、この陰極６０４の上部には図示しない封止部材が配置される。

次に、上記の表示装置６００の製造工程を図２４〜図３２を参照して説明する。
この表示装置６００は、図２４に示すように、バンク部形成工程（Ｓ１１１）、表面処理工程（Ｓ１１２）、正孔注入／輸送層形成工程（Ｓ１１３）、発光層形成工程（Ｓ１１４）、および対向電極形成工程（Ｓ１１５）を経て製造される。なお、製造工程は例示するものに限られるものではなく必要に応じてその他の工程が除かれる場合、また追加される場合もある。

まず、バンク部形成工程（Ｓ１１１）では、図２５に示すように、第２層間絶縁膜６１１ｂ上に無機物バンク層６１８ａを形成する。この無機物バンク層６１８ａは、形成位置に無機物膜を形成した後、この無機物膜をフォトリソグラフィ技術等によりパターニングすることにより形成される。このとき、無機物バンク層６１８ａの一部は画素電極６１３の周縁部と重なるように形成される。
無機物バンク層６１８ａを形成したならば、図２６に示すように、無機物バンク層６１８ａ上に有機物バンク層６１８ｂを形成する。この有機物バンク層６１８ｂも無機物バンク層６１８ａと同様にフォトリソグラフィ技術等によりパターニングして形成される。
このようにしてバンク部６１８が形成される。また、これに伴い、各バンク部６１８間には、画素電極６１３に対して上方に開口した開口部６１９が形成される。この開口部６１９は、画素領域を規定する。

表面処理工程（Ｓ１１２）では、親液化処理および撥液化処理が行われる。親液化処理を施す領域は、無機物バンク層６１８ａの第１積層部６１８ａａおよび画素電極６１３の電極面６１３ａであり、これらの領域は、例えば酸素を処理ガスとするプラズマ処理によって親液性に表面処理される。このプラズマ処理は、画素電極６１３であるＩＴＯの洗浄等も兼ねている。
また、撥液化処理は、有機物バンク層６１８ｂの壁面６１８ｓおよび有機物バンク層６１８ｂの上面６１８ｔに施され、例えば四フッ化メタンを処理ガスとするプラズマ処理によって表面がフッ化処理（撥液性に処理）される。
この表面処理工程を行うことにより、機能液滴吐出ヘッド７２を用いて機能層６１７を形成する際に、機能液滴を画素領域に、より確実に着弾させることができ、また、画素領域に着弾した機能液滴が開口部６１９から溢れ出るのを防止することが可能となる。

そして、以上の工程を経ることにより、表示装置基体６００Ａが得られる。この表示装置基体６００Ａは、図２に示した液滴吐出装置１のセットテーブル５１に載置され、以下の正孔注入／輸送層形成工程（Ｓ１１３）および発光層形成工程（Ｓ１１４）が行われる。

図２７に示すように、正孔注入／輸送層形成工程（Ｓ１１３）では、機能液滴吐出ヘッド７２から正孔注入／輸送層形成材料を含む第１組成物を画素領域である各開口部６１９内に吐出する。その後、図２８に示すように、乾燥処理および熱処理を行い、第１組成物に含まれる極性溶媒を蒸発させ、画素電極（電極面６１３ａ）６１３上に正孔注入／輸送層６１７ａを形成する。

次に発光層形成工程（Ｓ１１４）について説明する。この発光層形成工程では、上述したように、正孔注入／輸送層６１７ａの再溶解を防止するために、発光層形成の際に用いる第２組成物の溶媒として、正孔注入／輸送層６１７ａに対して不溶な非極性溶媒を用いる。
しかしその一方で、正孔注入／輸送層６１７ａは、非極性溶媒に対する親和性が低いため、非極性溶媒を含む第２組成物を正孔注入／輸送層６１７ａ上に吐出しても、正孔注入／輸送層６１７ａと発光層６１７ｂとを密着させることができなくなるか、あるいは発光層６１７ｂを均一に塗布できない虞がある。
そこで、非極性溶媒並びに発光層形成材料に対する正孔注入／輸送層６１７ａの表面の親和性を高めるために、発光層形成の前に表面処理（表面改質処理）を行うことが好ましい。この表面処理は、発光層形成の際に用いる第２組成物の非極性溶媒と同一溶媒またはこれに類する溶媒である表面改質材を、正孔注入／輸送層６１７ａ上に塗布し、これを乾燥させることにより行う。
このような処理を施すことで、正孔注入／輸送層６１７ａの表面が非極性溶媒になじみやすくなり、この後の工程で、発光層形成材料を含む第２組成物を正孔注入／輸送層６１７ａに均一に塗布することができる。

そして次に、図２９に示すように、各色のうちのいずれか（図２９の例では青色（Ｂ））に対応する発光層形成材料を含有する第２組成物を機能液滴として画素領域（開口部６１９）内に所定量打ち込む。画素領域内に打ち込まれた第２組成物は、正孔注入／輸送層６１７ａ上に広がって開口部６１９内に満たされる。なお、万一、第２組成物が画素領域から外れてバンク部６１８の上面６１８ｔ上に着弾した場合でも、この上面６１８ｔは、上述したように撥液処理が施されているので、第２組成物が開口部６１９内に転がり込み易くなっている。

その後、乾燥工程等を行うことにより、吐出後の第２組成物を乾燥処理し、第２組成物に含まれる非極性溶媒を蒸発させ、図３０に示すように、正孔注入／輸送層６１７ａ上に発光層６１７ｂが形成される。この図の場合、青色（Ｂ）に対応する発光層６１７ｂが形成されている。

同様に、機能液滴吐出ヘッド７２を用い、図３１に示すように、上記した青色（Ｂ）に対応する発光層６１７ｂの場合と同様の工程を順次行い、他の色（赤色（Ｒ）および緑色（Ｇ））に対応する発光層６１７ｂを形成する。なお、発光層６１７ｂの形成順序は、例示した順序に限られるものではなく、どのような順番で形成しても良い。例えば、発光層形成材料に応じて形成する順番を決めることも可能である。また、Ｒ・Ｇ・Ｂの３色の配列パターンとしては、ストライプ配列、モザイク配列およびデルタ配列等がある。

以上のようにして、画素電極６１３上に機能層６１７、即ち、正孔注入／輸送層６１７ａおよび発光層６１７ｂが形成される。そして、対向電極形成工程（Ｓ１１５）に移行する。

対向電極形成工程（Ｓ１１５）では、図３２に示すように、発光層６１７ｂおよび有機物バンク層６１８ｂの全面に陰極６０４（対向電極）を、例えば蒸着法、スパッタ法、ＣＶＤ法等によって形成する。この陰極６０４は、本実施形態においては、例えば、カルシウム層とアルミニウム層とが積層されて構成されている。
この陰極６０４の上部には、電極としてのＡｌ膜、Ａｇ膜や、その酸化防止のためのＳｉＯ₂、ＳｉＮ等の保護層が適宜設けられる。

このようにして陰極６０４を形成した後、この陰極６０４の上部を封止部材により封止する封止処理や配線処理等のその他処理等を施すことにより、表示装置６００が得られる。

次に、図３３は、プラズマ型表示装置（ＰＤＰ装置：以下、単に表示装置７００と称する）の要部分解斜視図である。なお、同図では表示装置７００を、その一部を切り欠いた状態で示してある。
この表示装置７００は、互いに対向して配置された第１基板７０１、第２基板７０２、およびこれらの間に形成される放電表示部７０３を含んで概略構成される。放電表示部７０３は、複数の放電室７０５により構成されている。これらの複数の放電室７０５のうち、赤色放電室７０５Ｒ、緑色放電室７０５Ｇ、青色放電室７０５Ｂの３つの放電室７０５が組になって１つの画素を構成するように配置されている。

第１基板７０１の上面には所定の間隔で縞状にアドレス電極７０６が形成され、このアドレス電極７０６と第１基板７０１の上面とを覆うように誘電体層７０７が形成されている。誘電体層７０７上には、各アドレス電極７０６の間に位置し、且つ各アドレス電極７０６に沿うように隔壁７０８が立設されている。この隔壁７０８は、図示するようにアドレス電極７０６の幅方向両側に延在するものと、アドレス電極７０６と直交する方向に延設された図示しないものを含む。
そして、この隔壁７０８によって仕切られた領域が放電室７０５となっている。

放電室７０５内には蛍光体７０９が配置されている。蛍光体７０９は、赤（Ｒ）、緑（Ｇ）、青（Ｂ）のいずれかの色の蛍光を発光するもので、赤色放電室７０５Ｒの底部には赤色蛍光体７０９Ｒが、緑色放電室７０５Ｇの底部には緑色蛍光体７０９Ｇが、青色放電室７０５Ｂの底部には青色蛍光体７０９Ｂが各々配置されている。

第２基板７０２の図中下側の面には、上記アドレス電極７０６と直交する方向に複数の表示電極７１１が所定の間隔で縞状に形成されている。そして、これらを覆うように誘電体層７１２、およびＭｇＯなどからなる保護膜７１３が形成されている。
第１基板７０１と第２基板７０２とは、アドレス電極７０６と表示電極７１１が互いに直交する状態で対向させて貼り合わされている。なお、上記アドレス電極７０６と表示電極７１１は図示しない交流電源に接続されている。
そして、各電極７０６，７１１に通電することにより、放電表示部７０３において蛍光体７０９が励起発光し、カラー表示が可能となる。

本実施形態においては、上記アドレス電極７０６、表示電極７１１、および蛍光体７０９を、図２に示した液滴吐出装置１を用いて形成することができる。以下、第１基板７０１におけるアドレス電極７０６の形成工程を例示する。
この場合、第１基板７０１を液滴吐出装置１のセットテーブル５１に載置された状態で以下の工程が行われる。
まず、機能液滴吐出ヘッド７２により、導電膜配線形成用材料を含有する液体材料（機能液）を機能液滴としてアドレス電極形成領域に着弾させる。この液体材料は、導電膜配線形成用材料として、金属等の導電性微粒子を分散媒に分散したものである。この導電性微粒子としては、金、銀、銅、パラジウム、またはニッケル等を含有する金属微粒子や、導電性ポリマー等が用いられる。

補充対象となるすべてのアドレス電極形成領域について液体材料の補充が終了したならば、吐出後の液体材料を乾燥処理し、液体材料に含まれる分散媒を蒸発させることによりアドレス電極７０６が形成される。

ところで、上記においてはアドレス電極７０６の形成を例示したが、上記表示電極７１１および蛍光体７０９についても上記各工程を経ることにより形成することができる。
表示電極７１１の形成の場合、アドレス電極７０６の場合と同様に、導電膜配線形成用材料を含有する液体材料（機能液）を機能液滴として表示電極形成領域に着弾させる。
また、蛍光体７０９の形成の場合には、各色（Ｒ，Ｇ，Ｂ）に対応する蛍光材料を含んだ液体材料（機能液）を機能液滴吐出ヘッド７２から液滴として吐出し、対応する色の放電室７０５内に着弾させる。

次に、図３４は、電子放出装置（ＦＥＤ装置あるいはＳＥＤ装置ともいう：以下、単に表示装置８００と称する）の要部断面図である。なお、同図では表示装置８００を、その一部を断面として示してある。
この表示装置８００は、互いに対向して配置された第１基板８０１、第２基板８０２、およびこれらの間に形成される電界放出表示部８０３を含んで概略構成される。電界放出表示部８０３は、マトリクス状に配置した複数の電子放出部８０５により構成されている。

第１基板８０１の上面には、カソード電極８０６を構成する第１素子電極８０６ａおよび第２素子電極８０６ｂが相互に直交するように形成されている。また、第１素子電極８０６ａおよび第２素子電極８０６ｂで仕切られた部分には、ギャップ８０８を形成した導電性膜８０７が形成されている。すなわち、第１素子電極８０６ａ、第２素子電極８０６ｂおよび導電性膜８０７により複数の電子放出部８０５が構成されている。導電性膜８０７は、例えば酸化パラジウム（ＰｄＯ）等で構成され、またギャップ８０８は、導電性膜８０７を成膜した後、フォーミング等で形成される。

第２基板８０２の下面には、カソード電極８０６に対峙するアノード電極８０９が形成されている。アノード電極８０９の下面には、格子状のバンク部８１１が形成され、このバンク部８１１で囲まれた下向きの各開口部８１２に、電子放出部８０５に対応するように蛍光体８１３が配置されている。蛍光体８１３は、赤（Ｒ）、緑（Ｇ）、青（Ｂ）のいずれかの色の蛍光を発光するもので、各開口部８１２には、赤色蛍光体８１３Ｒ、緑色蛍光体８１３Ｇおよび青色蛍光体８１３Ｂが、上記した所定のパターンで配置されている。

そして、このように構成した第１基板８０１と第２基板８０２とは、微小な間隙を存して貼り合わされている。この表示装置８００では、導電性膜（ギャップ８０８）８０７を介して、陰極である第１素子電極８０６ａまたは第２素子電極８０６ｂから飛び出す電子を、陽極であるアノード電極８０９に形成した蛍光体８１３に当てて励起発光し、カラー表示が可能となる。

この場合も、他の実施形態と同様に、第１素子電極８０６ａ、第２素子電極８０６ｂ、導電性膜８０７およびアノード電極８０９を、液滴吐出装置１を用いて形成することができると共に、各色の蛍光体８１３Ｒ，８１３Ｇ，８１３Ｂを、液滴吐出装置１を用いて形成することができる。

第１素子電極８０６ａ、第２素子電極８０６ｂおよび導電性膜８０７は、図３５（ａ）に示す平面形状を有しており、これらを成膜する場合には、図３５（ｂ）に示すように、予め第１素子電極８０６ａ、第２素子電極８０６ｂおよび導電性膜８０７を作り込む部分を残して、バンク部ＢＢを形成（フォトリソグラフィ法）する。次に、バンク部ＢＢにより構成された溝部分に、第１素子電極８０６ａおよび第２素子電極８０６ｂを形成（液滴吐出装置１によるインクジェット法）し、その溶剤を乾燥させて成膜を行った後、導電性膜８０７を形成（液滴吐出装置１によるインクジェット法）する。そして、導電性膜８０７を成膜後、バンク部ＢＢを取り除き（アッシング剥離処理）、上記のフォーミング処理に移行する。なお、上記の有機ＥＬ装置の場合と同様に、第１基板８０１および第２基板８０２に対する親液化処理や、バンク部８１１，ＢＢに対する撥液化処理を行うことが、好ましい。

また、他の電気光学装置としては、金属配線形成、レンズ形成、レジスト形成および光拡散体形成等の装置が考えられる。上記した液滴吐出装置１を各種の電気光学装置（デバイス）の製造に用いることにより、各種の電気光学装置を効率的に製造することが可能である。

描画システムの平面模式図である。 液滴吐出装置の外観斜視図である。 液滴吐出装置の平面図である。 液滴吐出装置の側面図である。 複数のキャリッジユニットの説明図である。 機能液滴吐出ヘッドの外観斜視図である。 複数のキャリッジユニットの全吐出ノズルにより構成される描画ラインおよびワークサイズを説明する図である。 メンテナンス手段の外観斜視図である。 液滴吐出装置の制御系について説明したブロック図である。 液滴吐出装置を用いた第４ワークに対する描画処理の説明図である。 図１０に続く、液滴吐出装置を用いた第４ワークに対する描画処理の説明図である。 図１１の液滴吐出装置を用いた第４ワークに対する描画処理に続く、第５ワークに対する描画処理の説明図である。 図１２に続く、液滴吐出装置を用いた第５ワークに対する描画処理の説明図である。 第２実施形態に係る液滴吐出装置の平面図である。 第２実施形態に係る液滴吐出装置を用いた第４ワークに対する描画処理の説明図である。 図１５と同様に、第２実施形態に係る液滴吐出装置を用いた第４ワークに対する描画処理の説明図である。 第２実施形態に係る液滴吐出装置を用い、Ｒ・Ｇ・Ｂ３色の機能液を吐出する描画処理の説明図である。 カラーフィルタ製造工程を説明するフローチャートである。 （ａ）〜（ｅ）は、製造工程順に示したカラーフィルタの模式断面図である。 本発明を適用したカラーフィルタを用いた液晶装置の概略構成を示す要部断面図である。 本発明を適用したカラーフィルタを用いた第２の例の液晶装置の概略構成を示す要部断面図である。 本発明を適用したカラーフィルタを用いた第３の例の液晶装置の概略構成を示す要部断面図である。 有機ＥＬ装置である表示装置の要部断面図である。 有機ＥＬ装置である表示装置の製造工程を説明するフローチャートである。 無機物バンク層の形成を説明する工程図である。 有機物バンク層の形成を説明する工程図である。 正孔注入／輸送層を形成する過程を説明する工程図である。 正孔注入／輸送層が形成された状態を説明する工程図である。 青色の発光層を形成する過程を説明する工程図である。 青色の発光層が形成された状態を説明する工程図である。 各色の発光層が形成された状態を説明する工程図である。 陰極の形成を説明する工程図である。 プラズマ型表示装置（ＰＤＰ装置）である表示装置の要部分解斜視図である。 電子放出装置（ＦＥＤ装置）である表示装置の要部断面図である。 表示装置の電子放出部廻りの平面図（ａ）およびその形成方法を示す平面図（ｂ）である。

符号の説明

１…液滴吐出装置 ２４…コントローラ ３１…キャリッジユニット ３２…Ｘ軸テーブル ３３…Ｙ軸テーブル ３６…稼動ユニット群 ３７…描画待機ユニット群 ４１…描画エリア ４２…描画待機エリア ７２…機能液滴吐出ヘッド ７３…キャリッジ ９５…ノズル １１１…吸引ユニット １１３…ワイピングユニット １２１…キャップ １２３…ワイピングシート Ｌｐ…部分描画ライン Ｗ…ワーク

Claims (7)

1. 機能液を導入した機能液滴吐出ヘッドと、前記機能液滴吐出ヘッドを搭載したキャリッジとを有し、描画エリアと描画待機エリアとの間で個々に移動自在に構成された複数のキャリッジユニットを備え、
   前記複数のキャリッジユニットのうち、少なくとも１つのキャリッジユニットから成る稼動ユニット群を前記描画エリアに移動させると共に、前記描画エリアに臨むワークに対し、前記稼動ユニット群をＸ軸方向に相対的に移動させながら、前記稼動ユニット群の前記機能液滴吐出ヘッドから前記ワーク上に前記機能液を吐出して描画処理を行う描画工程と、
   前記複数のキャリッジユニットのうち、前記稼動ユニット群以外のキャリッジユニットから成る描画待機ユニット群を前記描画待機エリアに移動させると共に、前記描画待機ユニット群の前記機能液滴吐出ヘッドを機能維持状態に保管する保管工程と、を備え、
   前記稼動ユニット群は、その前記機能液滴吐出ヘッドの複数の吐出ノズルが前記Ｘ軸方向に直交するＹ軸方向に連続して構成される描画ラインによって、前記ワークの前記Ｙ軸方向における描画対象幅をカバーする最小個数の前記キャリッジユニットから成ることを特徴とする液滴吐出装置の描画制御方法。
2. 機能液を導入した機能液滴吐出ヘッドと、前記機能液滴吐出ヘッドを搭載したキャリッジとを有し、描画エリアと描画待機エリアとの間で個々に移動自在に構成された複数のキャリッジユニットを備え、
   ワークに対し、前記複数のキャリッジユニットのうち少なくとも１つのキャリッジユニットから成る稼動ユニット群をＸ軸方向に相対的に移動させながら、前記描画エリアにおいて前記稼動ユニット群の前記機能液滴吐出ヘッドから前記ワーク上に前記機能液を吐出して描画処理を行うと共に、
   前記複数のキャリッジユニットのうち、前記稼動ユニット群以外のキャリッジユニットから成る描画待機ユニット群の前記機能液滴吐出ヘッドを、前記描画待機エリアにおいて機能維持状態に保管する液滴吐出装置であって、
   前記複数のキャリッジユニットを前記描画エリアと前記描画待機エリアとの間で個々に移動させるキャリッジ移動手段と、
   前記描画待機エリアに設けられ、前記描画待機エリアに移動してきた前記描画待機ユニット群の前記機能液滴吐出ヘッドに臨み、前記機能液滴吐出ヘッドを機能維持状態に保管するヘッド保管手段と、
   前記キャリッジ移動手段を制御し、前記稼動ユニット群を前記描画処理に供するように前記描画エリアに移動させると共に、前記描画待機ユニット群を前記保管手段に臨ませるように前記描画待機エリアに移動させる移動制御手段と、を備え、
   前記稼動ユニット群は、その前記機能液滴吐出ヘッドの複数の吐出ノズルが前記Ｘ軸方向に直交するＹ軸方向に連続して構成される描画ラインによって、前記ワークの前記Ｙ軸方向における描画対象幅をカバーする最小個数の前記キャリッジユニットから成ることを特徴とする液滴吐出装置。
3. 機能液を導入した機能液滴吐出ヘッドと、前記機能液滴吐出ヘッドを搭載したキャリッジとを有し、描画エリアと描画待機エリアとの間で個々に移動自在に構成された複数のキャリッジユニットを備え、
   ワークに対し、前記複数のキャリッジユニットのうち少なくとも１つのキャリッジユニットから成る稼動ユニット群をＸ軸方向に相対的に移動させながら、前記描画エリアにおいて前記稼動ユニット群の前記機能液滴吐出ヘッドから前記ワーク上に前記機能液を吐出して描画処理を行うと共に、
   前記複数のキャリッジユニットのうち、前記稼動ユニット群以外のキャリッジユニットから成る描画待機ユニット群の前記機能液滴吐出ヘッドを、前記描画待機エリアにおいて機能維持状態に保管する液滴吐出装置であって、
   前記複数のキャリッジユニットを前記描画エリアと前記描画待機エリアとの間で個々に移動させるキャリッジ移動手段と、
   前記描画待機エリアに設けられ、前記描画待機エリアに移動してきた前記描画待機ユニット群の前記機能液滴吐出ヘッドに臨み、前記機能液滴吐出ヘッドを機能維持状態に保管するヘッド保管手段と、
   前記キャリッジ移動手段を制御し、前記稼動ユニット群を前記描画処理に供するように前記描画エリアに移動させると共に、前記描画待機ユニット群を前記保管手段に臨ませるように前記描画待機エリアに移動させる移動制御手段と、を備え、
   前記描画待機エリアは、前記描画エリアを挟んで前記複数のキャリッジユニットの移動軌跡上の両側に配設した一対のもので構成されており、それぞれ前記ヘッド保管手段が設けられていることを特徴とする液滴吐出装置。
4. 前記ヘッド保管手段は、前記描画待機ユニット群の前記機能液滴吐出ヘッドを気密に封止する複数のキャップから成るキャッピングユニットを、有することを特徴とする請求項２または３に記載の液滴吐出装置。
5. 前記描画待機エリアに、気密状態で前記機能液滴吐出ヘッドの吐出ノズルから機能液を吸引する吸引手段と、
   吸引後の前記機能液滴吐出ヘッドのノズル面をワイピングシートにより払拭するワイピング手段と、
   をさらに備えたことを特徴とする請求項２ないし４のいずれかに記載の液滴吐出装置。
6. 前記ワークを搭載すると共に、前記ワークを前記Ｘ軸方向に移動させるＸ軸テーブルを、さらに備え、
   前記キャリッジ移動手段は、前記複数のキャリッジユニットを前記Ｘ軸方向に直交するＹ軸方向に並べて搭載すると共に、前記各キャリッジユニットを前記Ｙ軸方向に移動させるＹ軸テーブルであることを特徴とする請求項２ないし５のいずれかに記載の液滴吐出装置。
7. 請求項２ないし６のいずれかに記載の液滴吐出装置を用い、前記ワーク上に機能液滴による成膜部を形成することを特徴とする電気光学装置の製造方法。

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