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JP4643618B2 - Optical element driving device - Google Patents
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JP4643618B2 - Optical element driving device - Google Patents

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JP4643618B2 JP2007168032A JP2007168032A JP4643618B2 JP 4643618 B2 JP4643618 B2 JP 4643618B2 JP 2007168032 A JP2007168032 A JP 2007168032A JP 2007168032 A JP2007168032 A JP 2007168032A JP 4643618 B2 JP4643618 B2 JP 4643618B2
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Description

この発明は、例えば航空機等の飛翔体を含む移動体に搭載されて光を目標物体に照射して、外部からの光を受光して分析する赤外線撮像装置等の光学システムに係り、特にその光学素子を駆動制御する光学素子駆動装置に関する。   The present invention relates to an optical system such as an infrared imaging device that is mounted on a moving body including a flying object such as an aircraft, irradiates light onto a target object, and receives and analyzes light from the outside. The present invention relates to an optical element driving apparatus that controls driving of an element.

一般に、この種の光学素子駆動装置としては、例えば赤外線撮像器と赤外線レーザ照射器とを備えた赤外線撮像装置が知られている。このような赤外線撮像装置は、赤外線レーザ照射器で赤外線レーザを目標物体に照射して、レーザ反射光を、赤外線撮像器で受光撮像して目標物体の特徴情報が抽出される。   In general, as this type of optical element driving device, for example, an infrared imaging device including an infrared imaging device and an infrared laser irradiator is known. In such an infrared imaging device, the infrared laser irradiator irradiates the target object with an infrared laser, and the reflected laser light is received and imaged by the infrared imaging device to extract feature information of the target object.

このような赤外線撮像装置は、光学素子である赤外線レーザ照射器及び赤外線撮像器がシェルと称する可動体に収容され、この可動体がアームにEL軸回りに回転自在に搭載される。そして、このアームは、ベース本体にAZ軸回りに回転自在に搭載され、このベース本体は、その可動体が外界に向けられて移動体、例えば飛翔体に搭載される。赤外線レーザ照射器は、導光光学系を有し、その導光光学系の光軸が赤外線撮像器の視野中心に対して視差を有して配置されて所望の光学像を取得する。   In such an infrared imaging device, an infrared laser irradiator and an infrared imaging device which are optical elements are accommodated in a movable body called a shell, and this movable body is mounted on an arm so as to be rotatable around an EL axis. The arm is mounted on the base body so as to be rotatable about the AZ axis, and the base body is mounted on a moving body such as a flying body with the movable body directed to the outside. The infrared laser irradiator has a light guide optical system, and the optical axis of the light guide optical system is arranged with a parallax with respect to the center of the visual field of the infrared imager to obtain a desired optical image.

ところで、このような赤外線撮像装置にあっては、その可動体に収容した赤外線レーザ照射器が駆動されると、その光学素子である撮像素子が熱を発生する。そこで、可動体である旋回部内に冷却源であるクーラーを内蔵して、このクーラーを用いて旋回部に収容した電気部品等の構成部品を含む光学素子を、直接的に熱制御する方法等が知られている(例えば、特許文献1参照。)。
実開平5−56800号公報
By the way, in such an infrared imaging device, when the infrared laser irradiator accommodated in the movable body is driven, the imaging element as the optical element generates heat. Therefore, there is a method in which a cooler as a cooling source is built in a swivel portion that is a movable body, and an optical element including a component such as an electrical component housed in the swivel portion is directly heat controlled using the cooler. It is known (for example, see Patent Document 1).
Japanese Utility Model Publication No. 5-56800

しかしながら、上記赤外線撮像装置では、旋回部内に熱源となるクーラーを収容配置しする構成のために、熱制御効率が劣るうえ、大形となると共に、その設計を含む製作が面倒であるという問題を有する。   However, the above infrared imaging device has a problem in that the heat control efficiency is inferior due to the configuration in which the cooler serving as a heat source is accommodated in the revolving part, and the size is large, and the production including the design is troublesome. Have.

係る事情は、赤外線撮像装置に限るものでなく、その他、光学素子を備える光学システムにおける光学素子駆動装置においても同様である。   Such a situation is not limited to the infrared imaging device, and the same applies to an optical element driving device in an optical system including an optical element.

この発明は、上記の事情に鑑みてなされたもので、構成簡易にして、高効率な熱制御を実現し得、且つ、小形化の促進と共に、設計を含む製作の自由度の向上を図り得るようにした光学素子駆動装置を提供することを目的とする。   The present invention has been made in view of the above circumstances, and can simplify the configuration, realize high-efficiency thermal control, and promote the downsizing and improve the flexibility of manufacturing including design. An object of the present invention is to provide an optical element driving apparatus.

この発明は、移動体に配置され、流体供給口及び流体排出口が設けられたベース本体と、このベース本体に対して第1の軸回りに回転自在に配置され、前記流体供給口及び流体排出口に連通される流体供給路及び流体排出路が設けられた第1の可動体と、光学素子が収容される収容部を有し、前記第1の可動体に対して前記第1の軸と略直交する第2の軸回りに回転自在に配置されるものであって、前記第1の可動体の流体供給路及び流体排出路に連通される供給路連通口及び排出路連通口が前記収容部を挟んだ前記第2の軸上に設けられた第2の可動体と、前記第1及び第2の可動体を前記第1及び第2の軸回りに回転駆動して前記第2の可動体の光学素子を指向制御する制御手段と、前記ベース本体の流体供給口から流体を取り込んで前記第1の可動体の流体供給路を通して前記第2の可動体の供給連通口から前記収容部に導き、該収容部に導かれた流体を前記第2の可動体の排出連通路から前記第1の可動体の流体排出路を通して前記ベース本体の流体排出口から排出する流体供給手段とを備えて光学素子駆動装置を構成した。 The present invention provides a base body disposed on a moving body and provided with a fluid supply port and a fluid discharge port, and is disposed so as to be rotatable about a first axis with respect to the base body. A first movable body provided with a fluid supply path and a fluid discharge path communicated with the outlet; a housing portion for housing an optical element; and the first shaft with respect to the first movable body. be those that are rotatably disposed on a second axis substantially orthogonal, before Symbol supply passage communicating port and the discharge passage communication opening communicates with the fluid supply passage and a fluid discharge passage of the first movable member is the A second movable body provided on the second shaft with the accommodating portion interposed therebetween, and the first and second movable bodies are driven to rotate about the first and second axes, and the second Control means for directing and controlling the optical element of the movable body, and the fluid taken in from the fluid supply port of the base body The first movable body is guided through the fluid supply path of the first movable body from the supply communication port of the second movable body to the housing portion, and the fluid guided to the housing portion is discharged from the discharge communication passage of the second movable body to the first And a fluid supply means for discharging from the fluid discharge port of the base body through the fluid discharge path of the movable body.

上記構成によれば、ベース本体の流体供給口から取り込まれた流体は、第1の可動体の流体供給路から第2の可動体の供給路連通口に導かれ、該供給路連通口から収容部に導かれ、該収容部内の光学素子を熱制御する。そして、この第2の可動体の収容部に導かれて熱制御に供した流体は、その排出路連通口から第1の可動体の排出路に導かれ、該排出路からベース本体の流体排出口に導かれて排出される。これにより、第1及び第2の可動体内に冷却源を配することなく、高効率な熱制御が可能となり、小形化と共に、その設計を含む製作の自由度を高めることが可能となる。   According to the above configuration, the fluid taken in from the fluid supply port of the base body is guided from the fluid supply path of the first movable body to the supply path communication port of the second movable body, and is received from the supply path communication port. The optical element in the housing portion is thermally controlled. Then, the fluid led to the housing portion of the second movable body and subjected to heat control is led from the discharge passage communication port to the discharge passage of the first movable body, and the fluid discharge of the base body is discharged from the discharge passage. It is guided to the outlet and discharged. This makes it possible to perform highly efficient thermal control without arranging a cooling source in the first and second movable bodies, and it is possible to reduce the size and increase the degree of freedom of manufacturing including the design.

以上述べたように、この発明によれば、構成簡易にして、高効率な熱制御を実現し得、且つ、小形化の促進と共に、設計を含む製作の自由度の向上を図り得るようにした光学素子駆動装置を提供することができる。   As described above, according to the present invention, the configuration can be simplified, high-efficiency thermal control can be realized, and miniaturization can be promoted and the freedom of manufacturing including design can be improved. An optical element driving device can be provided.

以下、この発明の実施の形態について、図面を参照して詳細に説明する。   Hereinafter, embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the drawings.

図1は、この発明の一実施の形態に係る光学素子駆動装置を示すもので、ベース本体10には、第1の可動体を構成するアーム部11が、例えば流体ロータリージョイント構造により第1の軸であるAZ軸回りに回転自在に組付けられる。そして、このアーム部11には、第2の可動体を構成するシェル部12が上記AZ軸と略直交する第2の軸であるEL軸回りに回転自在に組付けられる。   FIG. 1 shows an optical element driving apparatus according to an embodiment of the present invention. An arm portion 11 constituting a first movable body is provided on a base body 10 by a fluid rotary joint structure, for example. It is assembled rotatably around the AZ axis. The arm portion 11 is assembled with a shell portion 12 constituting a second movable body so as to be rotatable around an EL axis which is a second axis substantially orthogonal to the AZ axis.

このシェル部12には、収容部121が設けられ(図2参照)、この収容部121内には、電気回路とを含む光学素子13が収容配置される。そして、このシェル部12には、光透過窓122が収容部121内の光学素子13に対向して収容配置される。   The shell portion 12 is provided with a housing portion 121 (see FIG. 2), and the optical element 13 including an electric circuit is housed in the housing portion 121. In the shell portion 12, a light transmission window 122 is accommodated and disposed so as to face the optical element 13 in the accommodation portion 121.

上記アーム部11は、図3に示すように上記ベース本体10にシール機構14及びAZ駆動部15を介してAZ軸回りに回転自在に設けられ、このアーム部11には、上記シェル部12がシール機構16及びEL駆動部17を介してEL軸回りに回転自在に設けられる。   As shown in FIG. 3, the arm portion 11 is provided on the base body 10 so as to be rotatable around the AZ axis via a seal mechanism 14 and an AZ driving portion 15. The arm portion 11 includes the shell portion 12. It is provided so as to be rotatable around the EL axis via the seal mechanism 16 and the EL drive unit 17.

このAZ及びEL駆動部15,17は、例えばモータ及び角度検出器でそれぞれ構成され、その各接続端が図4に示すように制御部18に接続される。制御部18は、AZ及びEL駆動部15,17の角度検出器で検出した各軸回りの回転角情報に基づいて制御部18が各モータを駆動制御して、アーム部11をベース本体10に対してAZ軸回りにシール機構14によりシールされた状態で回転駆動すると共に、該アーム部11に対してシェル部12をEL軸回りにシール機構16によりシールされた状態で回転駆動させてシェル部12内の光学素子13を所望の方向に指向させる。   The AZ and EL driving units 15 and 17 are each composed of, for example, a motor and an angle detector, and each connection end thereof is connected to the control unit 18 as shown in FIG. The control unit 18 controls the driving of each motor based on the rotation angle information about each axis detected by the angle detectors of the AZ and EL driving units 15 and 17 so that the arm unit 11 is moved to the base body 10. On the other hand, the shell portion 12 is driven to rotate while being sealed by the seal mechanism 14 around the AZ axis, and the shell portion 12 is driven to rotate relative to the arm portion 11 by the seal mechanism 16 around the EL axis. The optical element 13 in 12 is directed in a desired direction.

ベース本体10には、AZ軸に対して同軸的にスリップリング機構19が設けられる。そのスリップリング機構19には、流体供給部を構成する流体供給口20が、例えばAZ軸と同軸的に設けられる。また、ベース部10には、そのAZ軸と略直交する周壁に流体排出部を構成する流体排出口21が設けられる。   The base body 10 is provided with a slip ring mechanism 19 coaxially with the AZ axis. The slip ring mechanism 19 is provided with a fluid supply port 20 constituting a fluid supply unit, for example, coaxially with the AZ axis. In addition, the base portion 10 is provided with a fluid discharge port 21 constituting a fluid discharge portion on a peripheral wall substantially orthogonal to the AZ axis.

このスリップリング機構19は、上記制御部18に電気的に接続され、上記アーム部11側を経由して上記シェル部12の収容部121に収容配置される光学素子13と電気的に接続される。この光学素子13は、その電気回路(図示せず)等が、上記スリップリング機構19を介して上記制御部18に電気的に接続されている。   The slip ring mechanism 19 is electrically connected to the control unit 18 and is electrically connected to the optical element 13 accommodated in the accommodating part 121 of the shell part 12 via the arm part 11 side. . The optical element 13 has an electric circuit (not shown) and the like electrically connected to the control unit 18 via the slip ring mechanism 19.

上記アーム部11には、流体供給路111及び流体排出路112が設けられる。この流体供給路111及び流体排出路112は、その一端部が上記ベース本体10の流体供給口20及び流体排出口21に連通され、その他端が、上記シェル部12の収容部121に設けられた供給路連通口123及び排出路連通口124に連通される。   The arm part 11 is provided with a fluid supply path 111 and a fluid discharge path 112. One end of each of the fluid supply path 111 and the fluid discharge path 112 communicates with the fluid supply port 20 and the fluid discharge port 21 of the base body 10, and the other end is provided in the housing portion 121 of the shell portion 12. The supply channel communication port 123 and the discharge channel communication port 124 communicate with each other.

ここで、ベース部10の流体供給口20は、アーム部11の流体供給路111を介してシェル部12の供給路連通口123に連通される。そして、ベース部10の流体排出口21は、アーム部11の流体排出路112を介してシェル部12の排出路連通口124に連通される。   Here, the fluid supply port 20 of the base unit 10 communicates with the supply channel communication port 123 of the shell unit 12 via the fluid supply channel 111 of the arm unit 11. The fluid discharge port 21 of the base portion 10 is communicated with the discharge passage communication port 124 of the shell portion 12 via the fluid discharge passage 112 of the arm portion 11.

また、ベース部10の流体供給口20には、流体供給手段を構成する例えば送風ファン22(図4参照)が設けられる。この送風ファン22は、上記制御部18に接続され、この制御部18を介して駆動されると、空気を、図2に示すように流体供給口20に取り込んでアーム部11の流体供給路111を介してシェル部12の供給路連通口123から収容部121に供給する。   The fluid supply port 20 of the base 10 is provided with, for example, a blower fan 22 (see FIG. 4) that constitutes a fluid supply means. When the blower fan 22 is connected to the control unit 18 and driven through the control unit 18, the air is taken into the fluid supply port 20 as shown in FIG. 2 and the fluid supply path 111 of the arm unit 11. Through the supply path communication port 123 of the shell portion 12 to the accommodating portion 121.

この収容部121に供給された空気は、収容部122内の光学素子13を冷却して収容部121の排出路連通口124からアーム部11の流体排出路112に導かれてベース本体10の流体排出口21から排出される。   The air supplied to the housing portion 121 cools the optical element 13 in the housing portion 122 and is led from the discharge passage communication port 124 of the housing portion 121 to the fluid discharge passage 112 of the arm portion 11 to be fluid of the base body 10. It is discharged from the discharge port 21.

例えば、上記ベース本体10、アーム部11の流体供給路111及び流体排出路112、シェル部12の収容部121の内壁には、図示しない断熱材が被着される。これにより、取り込まれた空気は、環境温度に影響を受けること無く、シェル部12の収容部121に収容配置した光学素子13の熱制御に効率よく供することが可能となる。   For example, a heat insulating material (not shown) is attached to the inner wall of the base body 10, the fluid supply path 111 and the fluid discharge path 112 of the arm part 11, and the housing part 121 of the shell part 12. Thereby, the taken-in air can be efficiently used for thermal control of the optical element 13 accommodated in the accommodating portion 121 of the shell portion 12 without being affected by the environmental temperature.

上記構成において、ベース本体10は、その流体供給口20及び流体排出口21が飛翔体等の移動体23内に位置された状態で(図2参照)、そのアーム部11及びシェル部12が移動体23の外部側に露出されて配置される。この状態で、制御部18は、指令信号に基づいてAZ駆動部15を駆動制御してアーム部11をAZ軸回りに回転駆動すると共に、そのEL駆動部17を駆動制御してシェル部12をEL軸回りに回転駆動して収容部121内の光学素子13を所望の方向に指向制御する。   In the above-described configuration, the base body 10 has the arm portion 11 and the shell portion 12 moved in a state where the fluid supply port 20 and the fluid discharge port 21 are positioned in a moving body 23 such as a flying body (see FIG. 2). It is exposed and arranged outside the body 23. In this state, the control unit 18 drives and controls the AZ driving unit 15 based on the command signal to rotationally drive the arm unit 11 around the AZ axis, and drives and controls the EL driving unit 17 to control the shell unit 12. The optical element 13 in the accommodating portion 121 is controlled to be directed in a desired direction by being rotationally driven around the EL axis.

この際、制御部18は、送風ファン22を駆動して移動体23内の温度条件が略均一な、塵等を含まない品質の良い空気を、図5に示すようにベース本体10の流体供給口20から取り込んでアーム部11の流体供給路111を介してシェル部12の供給路連通口123から収容部121に供給する。すると、収容部122内の電気回路を含む光学素子13は、供給された空気により、冷却されて熱制御される。   At this time, the control unit 18 drives the blower fan 22 to supply high-quality air that is substantially uniform in temperature condition in the moving body 23 and does not include dust and the like, as shown in FIG. The gas is taken in from the port 20 and supplied from the supply passage communication port 123 of the shell portion 12 to the accommodating portion 121 through the fluid supply passage 111 of the arm portion 11. Then, the optical element 13 including the electric circuit in the accommodating portion 122 is cooled and thermally controlled by the supplied air.

そして、収容部121に供給されて光学素子の熱を奪った空気は、収容部121の排出路連通口124から図6に示すようにアーム部11の流体排出路112に導かれてベース本体10の流体排出口21から移動体23内に排出される。このようにシェル部12の収容部121には、送風ファン22を介して移動体23内の温度条件が略均一な品質のよい空気が循環供給されて、収容配置された光学素子13の熱制御が行われる。   Then, the air that has been supplied to the housing part 121 and deprived of the heat of the optical element is guided from the discharge passage communication port 124 of the housing part 121 to the fluid discharge path 112 of the arm part 11 as shown in FIG. Are discharged from the fluid discharge port 21 into the moving body 23. As described above, the housing portion 121 of the shell portion 12 is supplied with air of good quality having a substantially uniform temperature condition in the moving body 23 through the blower fan 22, so that the thermal control of the optical element 13 accommodated is arranged. Is done.

このように、上記光学素子駆動装置は、ベース本体10の流体供給口20から空気を取り込んで、この空気をベース本体10に対してAZ軸回りに回転駆動されるアーム部11の流体供給路111を通して、該アーム部11に対してEL軸回りに回転駆動されるシェル部12の光学素子13の収容された収容部121に導き、該収容部121に導いた空気を再び、アーム部11の流体排出路112を通してベース本体10の流体排出口21から外部に排出することにより、収容部121に収容した光学素子13を熱制御するように構成した。   As described above, the optical element driving device takes in air from the fluid supply port 20 of the base body 10 and rotates the air around the AZ axis with respect to the base body 10. The air is guided to the housing portion 121 in which the optical element 13 of the shell portion 12 is driven to rotate about the EL axis with respect to the arm portion 11, and the air guided to the housing portion 121 is returned to the fluid of the arm portion 11 again. The optical element 13 accommodated in the accommodating part 121 is configured to be thermally controlled by discharging to the outside from the fluid outlet 21 of the base body 10 through the discharge path 112.

これによれば、アーム部11及びシェル部12内に、冷却源を配することなく、光学素子13の高効率な熱制御を行うことが可能となり、小形化の促進と共に、その設計を含む製作の自由度を高めることが可能となる。   According to this, it becomes possible to perform high-efficiency thermal control of the optical element 13 without arranging a cooling source in the arm part 11 and the shell part 12. It is possible to increase the degree of freedom.

なお、この発明は、上記実施の形態に限ることなく、その他、例えば図7に示すように熱交換部33を備えて構成するようにしてもよく、さらに良好な効果が期待される。但し、図7においては、上記図1乃至図3と同一部分について同一符号を付して、その詳細な説明を省略する。   Note that the present invention is not limited to the above-described embodiment, and may be configured to include a heat exchanging portion 33 as shown in FIG. However, in FIG. 7, the same parts as those in FIGS. 1 to 3 are denoted by the same reference numerals, and detailed description thereof is omitted.

即ち、この熱交換部33は、その入力端に上記ベース本体10の流体排出口21が接続される。そして、熱交換部33の出力端には、例えば上記ベース本体10の流体供給口20が送風ファンを構成する循環ファン34を介在して接続される。これにより、熱交換部33は、流体排出口21から流体が供給されると、流体を所望の温度に冷却して循環ファン34を介して上記流体供給口20に強制的に出力する。これにより、さらに、冷却効率の向上を図ることが可能となる。   That is, the heat exchanging portion 33 is connected to the fluid discharge port 21 of the base body 10 at the input end thereof. And the fluid supply port 20 of the said base main body 10 is connected to the output end of the heat exchange part 33 through the circulation fan 34 which comprises a ventilation fan, for example. Thereby, when the fluid is supplied from the fluid discharge port 21, the heat exchanging unit 33 cools the fluid to a desired temperature and forcibly outputs the fluid to the fluid supply port 20 via the circulation fan 34. Thereby, it becomes possible to further improve the cooling efficiency.

上記循環ファン34の配置位置としては、熱交換部33の出力側でなく、入力側に配置するようにしてもよい。   The circulation fan 34 may be arranged not on the output side of the heat exchanging unit 33 but on the input side.

また、上記実施の形態では、流体供給口20を、ベース本体10のAZ軸と同軸に配置するように構成した場合で説明したが、これに限ることなく、その他、図8及び図9に示すようにAZ軸と略平行な位置に流体出入口を設けるように構成することも可能で、同様に有効な効果が期待される。   Moreover, in the said embodiment, although the fluid supply port 20 demonstrated in the case where it comprised so that it might arrange | position coaxially with the AZ axis | shaft of the base main body 10, it does not restrict to this but others are shown in FIG.8 and FIG.9. In this way, it is possible to provide a fluid inlet / outlet at a position substantially parallel to the AZ axis, and the same effective effect is expected.

即ち、この実施の形態では、例えばリング状の第1及び第2の流体ロータリージョイント部30,31を、シール機構32を介して回転自在に組付け配置する。この第1及び第2の流体ロータリージョイント部30,31は、連通される流体路301,311が設けられる。この第1及び第2の流体ロータリージョイント30,31は、その回転軸を、例えば上記AZ軸として、上記ベース本体10と上記アーム部11との間に取付けられて該アーム部11のAZ軸回りの回転を可能に設けられる。   That is, in this embodiment, for example, the ring-shaped first and second fluid rotary joint portions 30 and 31 are assembled and arranged via the seal mechanism 32 so as to be rotatable. The first and second fluid rotary joint portions 30 and 31 are provided with fluid passages 301 and 311 that communicate with each other. The first and second fluid rotary joints 30 and 31 are mounted between the base main body 10 and the arm part 11 with the rotation axis thereof as, for example, the AZ axis, and around the AZ axis of the arm part 11. Can be rotated.

このうち第1の流体ロータリージョイント部30には、例えば上記ベース本体10の流体供給口20あるいは流体排出口21に連通される接続部302がAZ軸と略平行に位置をずらせて設けられる。そして、他方の第2の流体ロータリージョイント部31には、例えば上記アーム部11の流体供給路111あるいは流体排出路112に連通される接続部312がAZ軸と略平行に位置をずらせて設けられる。   Among these, the first fluid rotary joint portion 30 is provided with, for example, a connection portion 302 that communicates with the fluid supply port 20 or the fluid discharge port 21 of the base body 10 so as to be substantially parallel to the AZ axis. In the other second fluid rotary joint 31, for example, a connection portion 312 communicating with the fluid supply path 111 or the fluid discharge path 112 of the arm portion 11 is provided with a position substantially parallel to the AZ axis. .

この接続部301,311は、相互の流体路301,311を通して空気を移送可能に連通される。これにより、例えば一方の接続部312から供給された空気は、第1及び第2の流体ロータリージョイント部31,30の流体路301,311を通って他方の接続部302に導かれて相互間に移送される。   The connection portions 301 and 311 are communicated with each other so that air can be transferred through the fluid paths 301 and 311. Thereby, for example, the air supplied from one connection portion 312 is guided to the other connection portion 302 through the fluid passages 301 and 311 of the first and second fluid rotary joint portions 31 and 30 and between them. Be transported.

さらに、上記実施の形態では、送風ファン22をベース本体10の流体供給口20に配するように構成した場合で説明したが、これに限ることなく、その他、送風ファン22に代えて流体排出口21に吸引ファンを配するように構成したり、あるいはベース本体10の流体供給口20及び流体排出口21に送風ファン22及び吸引ファンをそれぞれ設けるように構成してもよく、同様に有効な効果が期待される。   Furthermore, in the said embodiment, although demonstrated in the case where it comprised so that the ventilation fan 22 may be distribute | arranged to the fluid supply port 20 of the base main body 10, it replaces with the ventilation fan 22 and is replaced with the fluid discharge port. 21 may be configured such that a suction fan is provided, or a blower fan 22 and a suction fan may be provided in the fluid supply port 20 and the fluid discharge port 21 of the base body 10, respectively. There is expected.

また、上記実施の形態では、流体として空気を用いて構成した場合について説明したが、これに限ることなく、その他、窒素等を用いて構成することも可能である。   Moreover, although the case where it comprised using air as a fluid was demonstrated in the said embodiment, it can also comprise using nitrogen etc., without restricting to this.

さらに、上記実施の形態では、二軸構造の駆動構成に適用した場合について説明したが、これに限ることなく、二軸以上の駆動構成に適用することも可能で、同様の効果が期待される。   Furthermore, in the above-described embodiment, the case where the present invention is applied to a drive structure having a biaxial structure has been described. However, the present invention is not limited to this, and the present invention can be applied to a drive structure having two or more axes, and the same effect is expected. .

よって、この発明は、上記実施の形態に限ることなく、その他、実施段階ではその要旨を逸脱しない範囲で種々の変形を実施し得ることが可能である。さらに、上記実施の形態には、種々の段階の発明が含まれており、開示される複数の構成要件における適宜な組合せにより種々の発明が抽出され得る。   Therefore, the present invention is not limited to the above-described embodiment, and various modifications can be made without departing from the scope of the invention in the implementation stage. Further, the above embodiments include inventions at various stages, and various inventions can be extracted by appropriately combining a plurality of disclosed constituent elements.

例えば実施の形態に示される全構成要件から幾つかの構成要件が削除されても、発明が解決しようとする課題の欄で述べた課題が解決でき、発明の効果で述べられている効果が得られる場合には、この構成要件が削除された構成が発明として抽出され得る。   For example, even if some constituent requirements are deleted from all the constituent requirements shown in the embodiment, the problem described in the column of the problem to be solved by the invention can be solved, and the effect described in the effect of the invention can be obtained. In such a case, a configuration in which this configuration requirement is deleted can be extracted as an invention.

この発明の一実施の形態に係る光学素子駆動装置の外観を示した斜視図である。It is the perspective view which showed the external appearance of the optical element drive device which concerns on one embodiment of this invention. 図1の空気の移動経路を示した模式図である。It is the schematic diagram which showed the movement path | route of the air of FIG. 図1をAZ軸上で破断して示した破断図である。It is the fracture | rupture figure which fractured | ruptured and showed FIG. 1 on the AZ axis | shaft. 図1の制御系を取出して示したブロック図である。It is the block diagram which took out and showed the control system of FIG. 図1の空気供給系を示した破断図である。It is the fracture | rupture figure which showed the air supply system of FIG. 図1の空気排気系を示した破断図である。It is the fracture | rupture figure which showed the air exhaust system of FIG. この発明の他の実施の形態に係る光学素子駆動装置の要部構成を説明するために示した模式図である。It is the schematic diagram shown in order to demonstrate the principal part structure of the optical element drive device which concerns on other embodiment of this invention. この発明の他の実施の形態に係る光学素子駆動装置の要部を取出して示した斜視図である。It is the perspective view which took out and showed the principal part of the optical element drive device which concerns on other embodiment of this invention. 図7の組付け状態を示した模式図である。It is the schematic diagram which showed the assembly | attachment state of FIG.

符号の説明Explanation of symbols

10…ベース本体、11…アーム部、111…流体供給路、112…流体排出路、12…シェル部、121…収容部、122…透過窓、123…供給路連通口、124…排出路連通口、13…光学素子、14…シール機構、15…AZ駆動部、16…シール機構、17…EL駆動部、18…制御部、19…スリップリング機構、20…流体供給口、21…流体排出口、22…送風ファン、23…移動体、30…第1の流体ロータリージョイント部、31…第2の流体ロータリージョイント部、301,311…流体路、302,312…接続部、32…シール機構、33…熱交換部。   DESCRIPTION OF SYMBOLS 10 ... Base body, 11 ... Arm part, 111 ... Fluid supply path, 112 ... Fluid discharge path, 12 ... Shell part, 121 ... Storage part, 122 ... Permeation window, 123 ... Supply path communication port, 124 ... Discharge path communication port DESCRIPTION OF SYMBOLS 13 ... Optical element 14 ... Seal mechanism 15 ... AZ drive part 16 ... Seal mechanism 17 ... EL drive part 18 ... Control part 19 ... Slip ring mechanism 20 ... Fluid supply port 21 ... Fluid discharge port , 22 ... Blower fan, 23 ... Moving body, 30 ... First fluid rotary joint, 31 ... Second fluid rotary joint, 301, 311 ... Fluid path, 302, 312 ... Connection, 32 ... Sealing mechanism, 33 ... Heat exchange part.

Claims (9)

移動体に配置され、流体供給口及び流体排出口が設けられたベース本体と、
このベース本体に対して第1の軸回りに回転自在に配置され、前記流体供給口及び流体排出口に連通される流体供給路及び流体排出路が設けられた第1の可動体と、
光学素子が収容される収容部を有し、前記第1の可動体に対して前記第1の軸と略直交する第2の軸回りに回転自在に配置されるものであって、前記第1の可動体の流体供給路及び流体排出路に連通される供給路連通口及び排出路連通口が前記収容部を挟んだ前記第2の軸上に設けられた第2の可動体と、
前記第1及び第2の可動体を前記第1及び第2の軸回りに回転駆動して前記第2の可動体の光学素子を指向制御する制御手段と、
前記ベース本体の流体供給口から流体を取り込んで前記第1の可動体の流体供給路を通して前記第2の可動体の供給連通口から前記収容部に導き、該収容部に導かれた流体を前記第2の可動体の排出連通路から前記第1の可動体の流体排出路を通して前記ベース本体の流体排出口から排出する流体供給手段と、
を具備することを特徴とする光学素子駆動装置。
A base body disposed on the moving body and provided with a fluid supply port and a fluid discharge port;
A first movable body that is arranged to be rotatable about a first axis with respect to the base body, and is provided with a fluid supply path and a fluid discharge path communicating with the fluid supply port and the fluid discharge port;
Has a housing part which optical elements are accommodated, there is rotatably disposed a second axis substantially orthogonal to said first axis relative to said first movable member, before Symbol first A second movable body in which a supply path communication port and a discharge path communication port communicated with a fluid supply path and a fluid discharge path of one movable body are provided on the second shaft across the housing portion ;
Control means for rotationally driving the first and second movable bodies around the first and second axes to control the orientation of the optical elements of the second movable body;
The fluid is taken in from the fluid supply port of the base body, led from the supply communication port of the second movable body through the fluid supply path of the first movable body to the housing portion, and the fluid guided to the housing portion is Fluid supply means for discharging from the fluid discharge port of the base body through the fluid discharge path of the first movable body from the discharge communication path of the second movable body;
An optical element driving apparatus comprising:
前記ベース本体の流体供給口及び流体排出口は、いずれか一方が前記第1の軸上に配置され、他方が前記第1の軸と略直交して配置されることを特徴とする請求項1記載の光学素子駆動装置。   2. The fluid supply port and the fluid discharge port of the base body, wherein one of the fluid supply port and the fluid discharge port is disposed on the first axis, and the other is disposed substantially orthogonal to the first axis. The optical element driving device described. 前記ベース本体の流体供給口及び流体排出口は、いずれか一方が前記第1の軸と略平行な軸上に設けられ、他方が前記第1の軸と略直交して配置されることを特徴とする請求項1記載の光学素子駆動装置。   One of the fluid supply port and the fluid discharge port of the base body is provided on an axis substantially parallel to the first axis, and the other is arranged substantially orthogonal to the first axis. The optical element driving device according to claim 1. 前記ベース本体、前記第1及び第2の可動体の流体の通る部位の内壁には、断熱材が被着されることを特徴とする請求項1乃至3のいずれか記載の光学素子駆動装置。   The optical element driving device according to any one of claims 1 to 3, wherein a heat insulating material is attached to an inner wall of a portion through which the fluid of the base body and the first and second movable bodies pass. 前記流体供給手段は、熱交換部を備え、前記流体排出口から排出された流体を冷却して前記流体供給口に供給することを特徴とする請求項1乃至4のいずれか記載の光学素子駆動装置。   5. The optical element drive according to claim 1, wherein the fluid supply unit includes a heat exchanging unit, cools the fluid discharged from the fluid discharge port, and supplies the cooled fluid to the fluid supply port. apparatus. 前記ベース本体の流体供給口には、前記移動体内の空気が導入され、前記流体排出口から前記移動体内に排出されることを特徴とする請求項1乃至4のいずれか記載の光学素子駆動装置。   5. The optical element driving device according to claim 1, wherein air in the movable body is introduced into a fluid supply port of the base body, and is discharged into the movable body from the fluid discharge port. . 前記光学素子は、前記収容部内に前記第1または第2の軸に略直交する第3の軸回りに回転自在に収容配置されることを特徴とする請求項1乃至6のいずれか記載の光学素子駆動装置。   The optical element according to claim 1, wherein the optical element is housed and disposed in the housing portion so as to be rotatable about a third axis substantially orthogonal to the first or second axis. Element driving device. 前記移動体は、飛翔体で、少なくとも前記第1及び第2の可動体が外部側に位置されて配置されることを特徴とする請求項1乃至7のいずれか記載の光学素子駆動装置。   The optical element driving apparatus according to claim 1, wherein the moving body is a flying body, and at least the first and second movable bodies are disposed on the outside side. 前記流体供給手段は、前記ベース本体の流体供給口あるいは前記流体排出口の少なくともいずれか一方に設けられることを特徴とする請求項1乃至8のいずれか記載の光学素子駆動装置。   The optical element driving device according to claim 1, wherein the fluid supply unit is provided in at least one of a fluid supply port and a fluid discharge port of the base body.
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