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JP4665014B2 - Multi-face appearance inspection equipment - Google Patents
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JP4665014B2 - Multi-face appearance inspection equipment - Google Patents

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Description

この発明は、例えば小物成形部品の形状や表面状態の検査を行うのに適した多面外観検査装置に関し、特に部品製造工程のオンラインまたはオフラインにおいて手軽に増設することができるように改良された、小型安価な多面外観検査装置に関するものである。   The present invention relates to a multi-face appearance inspection apparatus suitable for, for example, inspecting the shape and surface state of a small molded part, and in particular, an improved small size that can be easily added on-line or off-line in a part manufacturing process. The present invention relates to an inexpensive multi-surface appearance inspection apparatus.

電子カメラで撮像された被検査物体の撮影画像と、比較参照データとを対比して、当該被検査物体に外観上の特異性があるかどうかを判定する画像処理装置を備え、立体部品の多面の外観を同時観察するようにした多面外観検査装置は公知である。
例えば従来の外観検査装置によれば、被検査物の外観を検査する装置であって、前記被検査物を定位置に保持する保持手段と、前記保持された被検査物の各面の画像を所定方向に集約する集約手段と、前記集約された画像が投影される受像手段とを備え、作業者あるいは自動検査装置において得られた複数の画像を一つのパターンとして認識することで、外観検査を容易で効率良く行うことができる外観検査装置が開示されている(例えば特許文献1参照)。
An image processing apparatus that compares a captured image of an object to be inspected captured by an electronic camera with comparison reference data to determine whether or not the object to be inspected has specificity in appearance, and includes various aspects of a three-dimensional component. A multi-surface appearance inspection apparatus that simultaneously observes the external appearances of these is known.
For example, according to a conventional appearance inspection apparatus, an apparatus for inspecting the appearance of an inspection object, the holding means for holding the inspection object in a fixed position, and images of each surface of the held inspection object It comprises an aggregating means for aggregating in a predetermined direction and an image receiving means for projecting the aggregated images, and recognizes a plurality of images obtained by an operator or an automatic inspection apparatus as one pattern, thereby performing an appearance inspection. An appearance inspection apparatus that can be easily and efficiently performed is disclosed (for example, see Patent Document 1).

また、多方向同時観察光学系画像読取装置によれば、被検物体の一または二以上の側面について各側面画像を得るための一または二以上の側面画像取得用プリズム系、または底面画像を得るための底面画像取得用プリズム系の少なくともいずれかを有してなる多方向同時観察光学系であって、該側面画像取得用プリズム系は、光路方向転換用プリズムまたは光路方向転換用プリズム機能を有しており、該プリズム系は、被検物体の真上方向にはその上面画像を取得するための開放空間が確保されるとともに被検物体載置空間部が確保されるように該空間の側方に設けられ、該プリズム系は、それぞれにより出される光の光路が被検物体の上方へ向うようにまたは相互に平行かつ同一方向となるように、かつ光路を遮られないように配置されていて、これにより被検物体を各面から高精度に同時観察することができるようになっている(例えば、特許文献2参照)。   In addition, according to the multidirectional simultaneous observation optical system image reading device, one or more side image acquisition prism systems or bottom image for obtaining each side image for one or two or more side surfaces of the test object is obtained. A multi-directional simultaneous observation optical system having at least one of a bottom-surface image acquisition prism system, and the side-surface image acquisition prism system has an optical path direction conversion prism function or an optical path direction conversion prism function. The prism system is provided on the side of the space so that an open space for acquiring the upper surface image is secured in the direction directly above the test object and a test object placement space is secured. The prism systems are arranged in such a way that the optical paths of the light emitted by each of them are directed upward of the object to be inspected or are parallel to each other and in the same direction, and are not obstructed by the optical paths. Te, thereby become possible to simultaneously observe the object to be inspected from surfaces with high precision (e.g., see Patent Document 2).

特開平06−273339号公報Japanese Patent Laid-Open No. 06-273339 再表2005−083399号公報Table 2005-083399

しかし、特許文献1による外観検査装置は、被検査物体の周辺に反射鏡を配置して、被検査物体の上面像と底面像と第一・第二の側面像の4面像を一方向から同時に観察できるようにしたものであり、6面像を得ようとすれば全体構成が大型・複雑となり、被検査物体の投入・排出処理が困難となる問題点がある。
また、特許文献2による多方向同時観察光学系画像読取装置は、被検査物体の周辺にプリズムを配置して、被検査物体の6面像を一方向から同時に観察できるようにしたものであるが、6面像が被検査物体の周辺に分散していて全体として大きなスペースを必要とし、特に被検査物体の投入・排出処理が困難となる問題点がある。
また、被検査物体の背面画像を得る光路が特に長くなり、均質な画像が得にくい問題点も含んでいる。
However, in the appearance inspection apparatus according to Patent Document 1, a reflecting mirror is arranged around the object to be inspected, and the top image, the bottom image, and the first and second side images of the object to be inspected from one direction. If a six-plane image is to be obtained, the entire configuration becomes large and complicated, and there is a problem that it is difficult to perform the process of loading / unloading the object to be inspected.
In addition, the multi-directional simultaneous observation optical system image reading device disclosed in Patent Document 2 has a prism arranged around the object to be inspected so that a 6-plane image of the object to be inspected can be observed simultaneously from one direction. The six-plane images are dispersed around the object to be inspected, requiring a large space as a whole.
Further, the optical path for obtaining the back image of the object to be inspected is particularly long, and there is a problem that it is difficult to obtain a uniform image.

この発明の目的は、被検査物体の6面が隙問なく整列配置され、電子カメラによる撮影面の広がりを最低限度に抑制した、小型コンパクトな多面外観検査装置を提供することである。また、被検査物体の投入・搬出が容易に行えて、量産部品の製造工程で手軽に増設使用することができる多面外観検査装置を提供することである。   An object of the present invention is to provide a compact and compact multi-surface appearance inspection apparatus in which six surfaces of an object to be inspected are arranged and arranged without any problem, and the spread of a photographing surface by an electronic camera is suppressed to a minimum. It is another object of the present invention to provide a multi-face appearance inspection apparatus that can easily input and carry out an object to be inspected and can be easily added and used in the production process of mass-produced parts.

この発明に係る多面外観検査装置は、電子カメラで撮影された被検査物体の画像データと比較参照データとを対比して、当該被検査物体に外観上の特異性があるかどうかを判定するための画像処理装置を備えた多面外観検査装置であって、前記被検査物体は透明体による5個の壁面で構成された収納凹部に投入されて、当該収納凹部の開口面を含む観察平面部は光源によって照明され、前記透明体は前記観察平面部から入光した前記光源からの照明光を直交反射して、不透明体である前記被検査物体の上下左右の周面を照明する4個の斜面と、前記照明光を2度にわたって直交反射して前記被検査物体の背面を照明する対向斜面を備え、前記光源による照明光は、不透明体である前記被検査物体の表面で反射逆行して、当該反射光が前記電子カメラによって撮像され、前記収納凹部の底面寸法と深さ寸法は前記被検査物体の外のり寸法が最大である場合の背面寸法と高さ寸法に相当し、少なくとも前記被検査物体の複数面は前記収納凹部の内壁に接触するようにして投入され、前記電子カメラは前記観察平面部に整列投影された前記被検査物体の複数面の外観を撮影し、前記画像処理装置によって被検査物体に外観上の特異性があるかどうかが判定される。   The multi-surface appearance inspection apparatus according to the present invention compares the image data of the object to be inspected photographed by the electronic camera with the comparison reference data to determine whether or not the object to be inspected has specificity in appearance. A multi-face visual inspection apparatus provided with the image processing apparatus, wherein the object to be inspected is put into a storage recess formed of five wall surfaces made of a transparent body, and an observation plane portion including an opening surface of the storage recess is Four inclined surfaces that are illuminated by a light source, and the transparent body illuminates the upper, lower, left, and right peripheral surfaces of the object to be inspected by orthogonally reflecting the illumination light from the light source incident from the observation plane portion. And an opposing slope that illuminates the back surface of the object to be inspected by orthogonally reflecting the illumination light twice, and the illumination light from the light source is reflected back on the surface of the object to be inspected as an opaque body, The reflected light is the electron The bottom surface dimension and depth dimension of the storage recess correspond to the back surface dimension and the height dimension when the outer dimension of the object to be inspected is maximum, and at least a plurality of surfaces of the object to be inspected are The electronic camera is inserted so as to come into contact with the inner wall of the storage recess, and the electronic camera images the appearance of the plurality of surfaces of the inspection object aligned and projected on the observation plane portion, and the image processing apparatus visually applies the inspection object to the inspection object. It is determined whether there is any specificity.

この発明による多面外観検査装置は、透明体の収納凹部に投入された被検査物体の複数面が同一の観察平面部に集中して整列されるよう構成すると共に、被検査物体の複数面が収納凹部の内壁に接触して投入されるようになっている。
従って、光源による照明面積と撮像面積を最小限度に抑制して、照明のための電気エネルギーを節減することができると共に、電子カメラの口径を小さくして小型安価な電子カメラを使用することができる効果がある。
また、被検査物体の多面の外観を撮像することによって、平面画像であっても凸凹の有無や凸凹の位置を特定することができるので、複数カメラによる立体画像を得る必要がなく全体を小型安価に構成することができる効果がある。
The multi-surface visual inspection apparatus according to the present invention is configured such that a plurality of surfaces of an object to be inspected put into a storage concave portion of a transparent body are concentrated and aligned on the same observation plane portion, and a plurality of surfaces of the object to be inspected are stored. It comes into contact with the inner wall of the recess.
Accordingly, the illumination area and the imaging area by the light source can be suppressed to the minimum, the electrical energy for illumination can be reduced, and the electronic camera can be used in a small and inexpensive manner by reducing the aperture of the electronic camera. effective.
In addition, by capturing the appearance of multiple faces of the object to be inspected, it is possible to specify the presence / absence of unevenness and the position of unevenness even in a planar image, so there is no need to obtain a stereoscopic image by a plurality of cameras, and the whole is small and inexpensive. There is an effect that can be configured.

実施の形態1.
図1は、この発明の実施の形態1に係る多面外観検査装置を説明するための被検査物体の斜視図である。図2は、この発明の実施の形態1に係る多面外観検査装置の正面図である。図3は、この発明の実施の形態1に係る多面外観検査装置の平面図である。図4は、観察平面部79の構成図である。なお、図2においては第二のプリズム、図3においては第三のプリズムを省略し内部が分かるようにしている。
Embodiment 1 FIG.
FIG. 1 is a perspective view of an object to be inspected for explaining a multi-surface appearance inspection apparatus according to Embodiment 1 of the present invention. FIG. 2 is a front view of the multi-surface appearance inspection apparatus according to Embodiment 1 of the present invention. FIG. 3 is a plan view of the multi-surface appearance inspection apparatus according to Embodiment 1 of the present invention. FIG. 4 is a configuration diagram of the observation plane portion 79. In FIG. 2, the second prism is omitted, and in FIG. 3, the third prism is omitted so that the inside can be understood.

被検査物体60は、図1に示すように、前面であるA面、上面であるB面、背面であるC面、下面であるD面、左面であるE面、右面であるF面によって囲まれた立方体である。外のり寸法として高さ寸法a、前後寸法b、左右寸法cとしており、前後方向はX軸、左右方向はY軸、上下方向はZ軸として示されている。   As shown in FIG. 1, the object 60 to be inspected is surrounded by an A surface that is a front surface, a B surface that is an upper surface, a C surface that is a back surface, a D surface that is a lower surface, an E surface that is a left surface, and an F surface that is a right surface. Cube. The height dimension a, the front-rear dimension b, and the left-right dimension c are shown as outer dimensions, the front-rear direction is shown as the X axis, the left-right direction is shown as the Y-axis, and the up-down direction is shown as the Z-axis.

被検査物体60は、図2と図3に示すように、2等辺直角三角柱である第一〜第五のプリズム10、20、30、40、50を組み立てることにより形成された収納凹部82に投入されるようになっていて、収納凹部82のY軸方向の端面は、図3に示すように、第二のプリズム20と第四のプリズム40とによって封鎖されている。
また、収納凹部82の底面を構成する第五のプリズム50の一方の直交面は第三のプリズム30の一方の直交面と当接し、第三のプリズム30は他のプリズムに比べて断面寸法が大きくなっている。
収納凹部82の開口面を含む観察平面部79は、図5〜図7を参照して説明する光源93、光源94または光源95によって照明され、収納凹部82に投入された被検査物体60からの反射光が電子カメラ70によって撮影される。
第一〜第五のプリズム10、20、30、40、50は四方を巡らせた外枠板87の内面に接着固定されて透明体81を構成し、透明体81は治具83の上に着脱可能に半固定設置されるようになっている。
As shown in FIGS. 2 and 3, the inspected object 60 is put into a storage recess 82 formed by assembling the first to fifth prisms 10, 20, 30, 40, 50, which are isosceles right triangular prisms. As shown in FIG. 3, the end surface of the storage recess 82 in the Y-axis direction is sealed by the second prism 20 and the fourth prism 40.
In addition, one orthogonal surface of the fifth prism 50 constituting the bottom surface of the storage recess 82 abuts on one orthogonal surface of the third prism 30, and the third prism 30 has a cross-sectional dimension compared to the other prisms. It is getting bigger.
The observation flat surface 79 including the opening surface of the storage recess 82 is illuminated by the light source 93, the light source 94 or the light source 95 described with reference to FIGS. The reflected light is photographed by the electronic camera 70.
The first to fifth prisms 10, 20, 30, 40, and 50 are bonded and fixed to the inner surface of the outer frame plate 87 that goes around the four sides to form a transparent body 81, and the transparent body 81 is attached to and detached from the jig 83. Semi-fixed installation is possible.

第一のプリズム10の一方の直交面は、光源93、光源94または光源95から直接照明される観察平面部79を構成し、第一のプリズム10の斜面で直交反射した照明光は他方の直交面を透過して被検査物体60の上面であるB面を照光反射し、再び斜面で直交反射して観察平面部79の上面用観察面Bに上面Bの外観が投影されるようになっている。
同様に第二のプリズム20、第三のプリズム30、第四のプリズム40の一方の直交面は、光源93、光源94または光源95から直接照明される観察平面部79を構成し、各プリズムの斜面で直交反射した照明光は他方の直交面を透過して被検査物体60の左面E、下面D、右面Fを照光反射し、再び斜面で直交反射して観察平面部79の左面用観察面E、下面用観察面D、右面用観察面Fに左面E、下面D、右面Fの外観が投影されるようになっている。
また、一方の直交面が光源93、光源94または光源95から直接照明される第三のプリズム30の斜面で直交反射した照明光は第五のプリズム50の斜面で直交反射して被検査物体60の背面Cを照光反射し、再び第五のプリズム50と第三のプリズム30の斜面で直交反射して観察平面部79の背面用観察面Cに背面Cの外観が投影されるようになっている。
One orthogonal plane of the first prism 10 constitutes an observation plane portion 79 that is directly illuminated from the light source 93, the light source 94, or the light source 95, and the illumination light orthogonally reflected by the inclined surface of the first prism 10 is orthogonal to the other. The surface B is transmitted through the surface and illuminated and reflected by the surface B, which is the upper surface of the object 60 to be inspected. Yes.
Similarly, one orthogonal plane of the second prism 20, the third prism 30, and the fourth prism 40 constitutes an observation plane portion 79 that is directly illuminated from the light source 93, the light source 94, or the light source 95. The illumination light orthogonally reflected by the inclined surface is transmitted through the other orthogonal surface, and is illuminated and reflected by the left surface E, the lower surface D, and the right surface F of the object to be inspected 60, and is again orthogonally reflected by the inclined surface and is reflected by the observation surface portion 79 E, the appearances of the left surface E, the lower surface D, and the right surface F are projected onto the observation surface D for the lower surface and the observation surface F for the right surface.
Also, the illumination light that is orthogonally reflected by the inclined surface of the third prism 30 whose one orthogonal surface is directly illuminated by the light source 93, the light source 94, or the light source 95 is orthogonally reflected by the inclined surface of the fifth prism 50. The back surface C of the back surface C is illuminated and reflected, and again is orthogonally reflected by the slopes of the fifth prism 50 and the third prism 30, and the appearance of the back surface C is projected onto the back surface C of the observation plane 79. Yes.

観察平面部79に投影された被検査物体60の各検査面を撮影する電子カメラ70は、サーボモータ又はステッピングモータによる遠近移動用モータ71と平行移動用モータ72、73によって3軸方向に移動できるように構成されている。
遠近移動用モータ71は電子カメラ70と観察平面部79との間の相対距離を調整し、撮影される被検査物体60から電子カメラ70に至る光路長がほぼ一定となるように、電子カメラ70(又は各プリズムの透明体81)を移動させるようになっている。
The electronic camera 70 that captures each inspection surface of the inspection object 60 projected onto the observation plane 79 can be moved in three axial directions by a distance movement motor 71 and parallel movement motors 72 and 73 by a servo motor or a stepping motor. It is configured as follows.
The distance moving motor 71 adjusts the relative distance between the electronic camera 70 and the observation plane 79, and the optical path length from the object 60 to be photographed to the electronic camera 70 is substantially constant. (Or the transparent body 81 of each prism) is moved.

基準相対距離Lは観察平面部79上の目標撮影領域の全体が電子カメラ70の撮像画面の最大領域に含まれるような関係でなるべく接近させた距離である。
これに対し、LA〜LFはA面〜F面の撮影を行うのに適した電子カメラ70と観察平面部79間の相対距離であり、各面が同一倍率で撮影されるときの相対距離は式(1)〜視(6)で示される。但し、Xは収納凹部82の深さ寸法、Yは収納凹部82の長さ寸法となっている。
The reference relative distance L is a distance as close as possible so that the entire target imaging area on the observation plane unit 79 is included in the maximum area of the imaging screen of the electronic camera 70.
On the other hand, LA to LF are relative distances between the electronic camera 70 and the observation plane unit 79 suitable for photographing the A plane to the F plane, and the relative distances when each plane is photographed at the same magnification are as follows. It is shown by the equations (1) to (6). However, X is the depth dimension of the storage recess 82, and Y is the length dimension of the storage recess 82.

LA=L−(X−b) (1)
LB=L−(2X−a) (2)
LC=L−3X (3)
LD=L−2X (4)
LE=L−X (5)
LF=L−X−(Y−c) (6)
LA = L− (X−b) (1)
LB = L− (2X−a) (2)
LC = L-3X (3)
LD = L-2X (4)
LE = L−X (5)
LF = L−X− (Y−c) (6)

以上の式(1)〜式(6)で明らかな通り、被検査物体60の背面Cから観察平面部79の背面用観察面Cに至る光路長は最短距離となるように前面用開口面Aと隣接配置されているが、それでもなお被検査物体60の下面Dから観察平面部79の下面用観察面Dに至る光路長の方が短い状態となっている。
もしも、下面用観察面Dと前面用開口面Aとの間に背面用観察面Cが介在しなければ、被検査物体60の下面Dから観察平面部79の下面用観察面Dに至る光路長はもっと短くなるのであるが、背面用観察面Cが介在することで光路長が長くなっている。
しかし、背面Cに関する光路長よりは短いので全体として、平均化されて極端に長い光路長となる面がなくなっていることが重要な特徴である。
なお、入射する光が光軸外においても光軸と平行となるテレセントリック光学系のレンズを用いた電子カメラ70である場合には、電子カメラ70と観察平面部79間の相対距離を調節しなくても、被検査物体60の各検査面は同じ倍率で撮像されるので遠近移動用モータ71は不要である。
また、観察平面部79の全体が電子カメラ70の口径よりも小さい場合には平行移動用モータ72、73は不要であるが、観察平面部79が横方向または縦方向に細長い面である場合には、平行移動用モータ72、73のどちらか方を使用して長手方向に相対移動させるようにすれば口径の小さい電子カメラ70を使用することができる。
As is clear from the above formulas (1) to (6), the front opening surface A is set so that the optical path length from the back surface C of the object 60 to be inspected to the back observation surface C of the observation plane 79 becomes the shortest distance. However, the optical path length from the lower surface D of the inspected object 60 to the lower surface observation surface D of the observation plane portion 79 is still shorter.
If the rear observation surface C is not interposed between the lower surface observation surface D and the front opening surface A, the optical path length from the lower surface D of the object to be inspected 60 to the lower surface observation surface D of the observation plane portion 79. Is shorter, but the optical path length is longer due to the presence of the rear observation surface C.
However, since it is shorter than the optical path length related to the back surface C, it is an important feature that there is no surface that is averaged and has an extremely long optical path length as a whole.
In the case of the electronic camera 70 using a telecentric optical system lens in which incident light is parallel to the optical axis even outside the optical axis, the relative distance between the electronic camera 70 and the observation plane portion 79 is not adjusted. However, since each inspection surface of the inspected object 60 is imaged at the same magnification, the distance moving motor 71 is unnecessary.
Further, when the entire observation plane portion 79 is smaller than the aperture of the electronic camera 70, the parallel movement motors 72 and 73 are not necessary, but when the observation plane portion 79 is a surface elongated in the horizontal direction or the vertical direction. If one of the parallel movement motors 72 and 73 is used for relative movement in the longitudinal direction, the electronic camera 70 having a small aperture can be used.

次に、図2に適用される光源の配置例を図5〜図7を参照して説明する。
第1配置例を示す図5において、プリズムの透明体81と電子カメラ70との間にはハーフミラー91が設けられ、光源93による照明光はハーフミラー91で直交反射して透明体81の観察平面部79に直交入射し、被検査物体60の各検査面で反射逆行した光線はハーフミラー91を透過して電子カメラ70に入光するようになっている。
この第1配置例では、光源93とハーフミラー91が観察平面部79の全域に広がって広域照明を行う形態となっていて、電子カメラ70は遠近移動用モータ71と平行移動用モータ72、73によって3軸方向に移動するようになっている。
Next, an arrangement example of light sources applied to FIG. 2 will be described with reference to FIGS.
In FIG. 5 showing the first arrangement example, a half mirror 91 is provided between the prism transparent body 81 and the electronic camera 70, and the illumination light from the light source 93 is orthogonally reflected by the half mirror 91 to observe the transparent body 81. Light rays that are orthogonally incident on the flat surface 79 and reflected back from each inspection surface of the inspection object 60 pass through the half mirror 91 and enter the electronic camera 70.
In this first arrangement example, the light source 93 and the half mirror 91 are spread over the entire area of the observation plane 79 to perform wide-area illumination, and the electronic camera 70 has a distance movement motor 71 and parallel movement motors 72 and 73. Is moved in the direction of three axes.

第2配置例を示す図6において、プリズムの透明体81と電子カメラ70との間にはハーフミラー92が設けられ、光源94による照明光はハーフミラー92で直交反射して透明体81の観察平面部79に直交入射し、被検査物体60の各検査面で反射逆行した光線はハーフミラー92を透過して電子カメラ70に入光するようになっている。
この第2配置例では、光源94とハーフミラー92が観察平面部79の一部領域を照明する形態となっていて、ハーフミラー92と光源94とは電子カメラ70と一体になって、遠近移動用モータ71と平行移動用モータ72、73によって3軸方向に移動するようになっている。
但し、光源94とハーフミラー92を観察平面部79に接近配置しておくことによって、遠近移動用モータ71は電子カメラ70のみを遠近移動させるようにしてもよい。
また、光源94は図6の右側位置に後退静止させておいて、ハーフミラー92と電子カメラ70とを左右に移動させるようにすることも可能である。
In FIG. 6 showing the second arrangement example, a half mirror 92 is provided between the prism transparent body 81 and the electronic camera 70, and illumination light from the light source 94 is orthogonally reflected by the half mirror 92 to observe the transparent body 81. Light rays that are orthogonally incident on the flat surface 79 and reflected back from each inspection surface of the inspection object 60 pass through the half mirror 92 and enter the electronic camera 70.
In this second arrangement example, the light source 94 and the half mirror 92 are configured to illuminate a partial region of the observation plane portion 79, and the half mirror 92 and the light source 94 are integrated with the electronic camera 70 and moved in the near and far directions. The motor 71 and the parallel movement motors 72 and 73 are moved in three axial directions.
However, by moving the light source 94 and the half mirror 92 close to the observation plane portion 79, the distance moving motor 71 may move only the electronic camera 70.
Further, the light source 94 can be moved backward and stationary to the right position in FIG. 6 to move the half mirror 92 and the electronic camera 70 to the left and right.

第3配置例を示す図7において、プリズムの透明体81と電子カメラ70との間には環状の光源95が設けられ、この環状光源95による照明光は観察平面部79に対して略直交照射され、被検査物体60からの反射光は環状の光源95の中央部を通過して電子カメラ70に入光するようになっている。
この第3配置例では、プリズムの透明体81が3軸方向に駆動され、遠近移動用モータ71によって光路長が調整されるとともに、1または2軸の平行移動用モータ72、73によって観察平面部79と平行する移動面上で電子カメラ70に対して相対的に平行移動し、被検査物体60の各面に対応した複数の位置において撮像が行えるようになっている。
また、後述する通り、透明体81は回動駆動用モータ80によって回動駆動されるようになっている。
なお、透明体81を3軸方向に駆動する代わりに、電子カメラ70と光源95とは一体として、1軸〜3軸方向に移動させるようにしてもよく、要は相対的に3軸方向の動きができればよい。
In FIG. 7 showing the third arrangement example, an annular light source 95 is provided between the prism transparent body 81 and the electronic camera 70, and illumination light from the annular light source 95 is irradiated substantially orthogonally to the observation plane portion 79. The reflected light from the inspected object 60 passes through the central portion of the annular light source 95 and enters the electronic camera 70.
In this third arrangement example, the prism transparent body 81 is driven in the triaxial direction, the optical path length is adjusted by the distance moving motor 71, and the observation plane portion by the one or two axis parallel moving motors 72, 73. On the moving surface parallel to 79, the image is translated relative to the electronic camera 70, and imaging can be performed at a plurality of positions corresponding to each surface of the inspected object 60.
Further, as described later, the transparent body 81 is rotationally driven by a rotational drive motor 80.
Instead of driving the transparent body 81 in the three-axis direction, the electronic camera 70 and the light source 95 may be integrally moved in the one-axis to three-axis directions. It only needs to be able to move.

図8(A)は、図2の多面外観検査装置の回転駆動機構の鳥轍図である。図8(B)は、その端面図である。
図8(A)、図8(B)において、第一から第五のプリズムが組み合わされた透明体81は治具83に搭載され、回動駆動用モータ80によって第一のステーションS1から第五のステーションS5の位置に回動駆動されるようになっている。
第一のステーションS1は被検査物体60が収納凹部82に投入される位置であって、収納凹部82の開口面を含む観察平面部79は天井面と平行になっている。
なお、第一のステーションS1の上部には図示しないパーツフィーダのホッパ84が設けられている。第二のステーションS2は電子カメラ70による撮像が行われる位置であり、第一のステーションS1から約45度だけ時計方向に回動した位置となっている。
このように、第二のステーションS2が傾斜位置にあることによって、背面Cと下面Dとが収納凹部82の壁面に接触し、収納凹部82内の被検査物体60の位置が確定する。
なお、治具83の回動軸は少し傾斜していて、被検査物体60の左面Eが右面Fよりも床面に接近するようになっている。または、図示しないエアシリンダ機構によって一旦透明体81を傾斜させることによって、被検査物体60の左面Eを収納凹部82の内壁に当接し、被検査物体60の前後左右の位置が確定するようになっている。
FIG. 8A is a bird's-eye view of the rotational drive mechanism of the multi-surface appearance inspection apparatus of FIG. FIG. 8B is an end view thereof.
8A and 8B, the transparent body 81 in which the first to fifth prisms are combined is mounted on a jig 83, and is rotated from the first station S1 to the fifth by a rotation driving motor 80. It is driven to rotate to the position of the station S5.
The first station S1 is a position where the inspected object 60 is thrown into the storage recess 82, and the observation plane 79 including the opening surface of the storage recess 82 is parallel to the ceiling surface.
In addition, a hopper 84 of a parts feeder (not shown) is provided above the first station S1. The second station S2 is a position where imaging by the electronic camera 70 is performed, and is a position rotated clockwise by about 45 degrees from the first station S1.
Thus, when the second station S2 is in the inclined position, the back surface C and the lower surface D come into contact with the wall surface of the storage recess 82, and the position of the object 60 to be inspected in the storage recess 82 is determined.
The rotation axis of the jig 83 is slightly inclined so that the left surface E of the inspection object 60 is closer to the floor surface than the right surface F. Alternatively, by inclining the transparent body 81 once by an air cylinder mechanism (not shown), the left surface E of the inspection object 60 is brought into contact with the inner wall of the housing recess 82, and the front, rear, left and right positions of the inspection object 60 are determined. ing.

第三のステーションS3は被検査物体60が良品であった場合の良品取出位置であり、第一のステーションS1から約135度だけ時計方向に回動した位置となっている。
なお、第三のステーションS3の下部には良品収納箱85が設置されるか、または良品取出用コンベアの先頭部が配置されるようになっている。
第四のステーションS4は第一のステーションS1を挟んで第三のステーションS3の反対位置にあって、被検査物体60が不良品であった場合の不良品排出位置となっており、第四のステーションS4の下部には不良品収納箱86が設置されている。
第五のステーションS5は第一のステーションS1を挟んで第二のステーションS2の反対位置にあって、第一のプリズム10から第五のプリズム50の表面を清掃手入れするための位置となっている。
The third station S3 is a non-defective product take-out position when the inspected object 60 is a non-defective product, and is a position rotated clockwise by about 135 degrees from the first station S1.
A non-defective product storage box 85 is installed below the third station S3, or the leading portion of the non-defective product takeout conveyor is arranged.
The fourth station S4 is at a position opposite to the third station S3 across the first station S1, and is a defective product discharge position when the inspected object 60 is a defective product. A defective product storage box 86 is installed below the station S4.
The fifth station S5 is at a position opposite to the second station S2 across the first station S1, and is a position for cleaning the surface of the fifth prism 50 from the first prism 10. .

図9は、この発明の実施の形態1に係る多面外観検査装置のシステム構成図である。
多面外観検査装置100は、図9に示すように、例えば市販のプログラマブルコントローラである全体制御装置101と、市販の工業用パーソナルコンピュータである画像処理装置102と、市販の位置決め制御装置103を介して駆動制御される多軸駆動機構104と回動駆動機構105と、市販のマンマシンインタフェース機器である設定表示装置106と、を備える。
多軸駆動機構104には遠近移動用モータ71、平行移動用モータ72、73が包含されている。
回動駆動機構105には回動駆動用モータ80が包含されている。
照明機器90には光源93、光源94または光源95とハーフミラー91またはハーフミラー92が包含され、その一部または全体が電子カメラ70と共に多軸駆動機構104によって駆動されるようになっている。
FIG. 9 is a system configuration diagram of the multifaceted appearance inspection apparatus according to Embodiment 1 of the present invention.
As shown in FIG. 9, the multi-face appearance inspection apparatus 100 is configured, for example, via an overall control device 101 that is a commercially available programmable controller, an image processing device 102 that is a commercially available industrial personal computer, and a commercially available positioning control device 103. A multi-axis drive mechanism 104 and a rotation drive mechanism 105 that are driven and controlled, and a setting display device 106 that is a commercially available man-machine interface device are provided.
The multi-axis drive mechanism 104 includes a far-near movement motor 71 and parallel movement motors 72 and 73.
The rotation drive mechanism 105 includes a rotation drive motor 80.
The lighting device 90 includes a light source 93, a light source 94 or a light source 95, and a half mirror 91 or a half mirror 92, and a part or all of them are driven by the multi-axis drive mechanism 104 together with the electronic camera 70.

画像処理装置102は被検査物体60に関する比較参照データ107が格納されると共に、良否判定手段108となる制御プログラムとモニタ画面109を備えている。
比較参照データ107は標準となる被検査物体60を撮影して得られる基準画像データ、または標準となる被検査物体60の基準寸法データのいずれかからなっている。
良否判定手段108は、被検査物体60を撮影して得られる画像データと基準画像データとを対比して画像の相違の有無を判別する画像比較手段、または被検査物体60を撮影して得られる画像データから被検査物体60の寸法を演算算出して、基準寸法データと対比して寸法の相違の有無を判別する寸法比較手段のいずれかである。
また、良否判定手段108は、モニタ画面109に対して被検査物体60の撮影画像を表示し、基準画像データによる画像を並べて表示するか選択切換表示するモニタ表示手段であり、モニタ表示手段による被検査物体の良否の判定はオペレータの目視観察によって行われるようになっている。
The image processing apparatus 102 stores comparison reference data 107 related to the object 60 to be inspected, and includes a control program and a monitor screen 109 serving as pass / fail judgment means 108.
The comparison reference data 107 includes either standard image data obtained by photographing the standard inspection object 60 or standard dimension data of the standard inspection object 60.
The pass / fail judgment means 108 is obtained by photographing the inspected object 60, or an image comparing means for discriminating whether or not there is an image difference by comparing the image data obtained by photographing the inspected object 60 and the reference image data. It is one of the dimension comparison means for calculating and calculating the dimension of the object 60 to be inspected from the image data, and determining the presence or absence of the dimension difference compared with the reference dimension data.
The pass / fail judgment means 108 is a monitor display means for displaying a photographed image of the object 60 to be inspected on the monitor screen 109 and displaying whether the images based on the reference image data are displayed side by side or switched. Whether the inspection object is good or bad is determined by visual observation of the operator.

比較参照データ107は更に、被検査物体60を投入していない状態の限界基準画像データまたはサンプル画像データを包含している。
良否判定手段108は更に、被検査物体60を除外して得られる画像データと限界基準画像データとを対比して第一のプリズム10から第五のプリズム50の汚損・損傷の有無を判別する画像比較手段、またはモニタ画面109に対して被検査物体60を除外した撮影画像を表示し、限界基準画像データまたはサンプル画像データによる画像を並べて表示するか選択切換表示するモニタ表示手段を備え、モニタ表示手段による第一のプリズム10から第五のプリズム50の汚損・損傷の有無の判定はオペレータの目視観察によって行われるものである。
The comparison reference data 107 further includes limit reference image data or sample image data in a state where the inspection object 60 is not inserted.
The quality determination unit 108 further compares the image data obtained by excluding the inspected object 60 with the limit reference image data, and determines whether the first prism 10 to the fifth prism 50 are soiled or damaged. Monitor display means for displaying a captured image excluding the object to be inspected 60 on the comparison means or the monitor screen 109, and for displaying the selection based on the limit reference image data or the sample image data side by side. Whether the first prism 10 to the fifth prism 50 are stained or damaged by the means is determined by visual observation of the operator.

次に、この発明の多面外観検査装置の動作を詳細に説明する。
図10は、この発明の実施の形態1に係る多面外観検査装置の動作の行程を示すフローチャートである。
なお、多面外観検査装置100の運転操作としては、収納凹部82に対して被検査物体60を投入しない状態で、収納凹部82の汚損・損傷の有無を判定する保守点検操作の場合と、収納凹部82に対して標準サンプルとなる被検査物体60を投入して、比較参照データ107となる基準画像データを取得する段取替操作の場合と、既に比較参照データ107となる基準画像データまたは基準寸法データが格納されていて、与えられた被検査物体60の良否判定を行うための実働操作の場合とがあるが、以下の説明では実働操作に関連して説明する。
Next, the operation of the multi-surface visual inspection apparatus of the present invention will be described in detail.
FIG. 10 is a flowchart showing a process of operation of the multi-surface appearance inspection apparatus according to Embodiment 1 of the present invention.
The operation of the multifaceted appearance inspection apparatus 100 includes a maintenance / inspection operation for determining whether the storage recess 82 is soiled or damaged in a state where the object 60 is not inserted into the storage recess 82, and a storage recess. In the case of the stage change operation in which the object 60 to be inspected as a standard sample is input to 82 and the standard image data to be the comparison reference data 107 is acquired, the standard image data or the standard dimension that has already become the comparison reference data 107 There are cases where the data is stored and the actual operation for determining the quality of the given object 60 to be inspected. The following description will be made in relation to the actual operation.

図10において、多面外観検査装置100に電源が供給され、設定表示装置106を介して全体制御装置101に対して運転開始指令を与えると動作開始行程800、810、820が活性化され、全体制御装置101、位置決め制御装置103、画像処理装置102が動作開始できる状態になる。なお、以下の説明では光源93を用いた例で説明する。   In FIG. 10, when power is supplied to the multi-surface appearance inspection apparatus 100 and an operation start command is given to the overall control apparatus 101 via the setting display apparatus 106, the operation start processes 800, 810, and 820 are activated, and the overall control is performed. The apparatus 101, the positioning control apparatus 103, and the image processing apparatus 102 are ready to start operation. In the following description, an example using the light source 93 will be described.

行程800に続く行程801aは設定表示装置106を介して全体制御装置101に対して運転準備指令を与えるステップであり、このステップでは遠近移動用モータ71、平行移動用モータ72、73を駆動して電子カメラ70を所定の原点位置に復帰させると共に、光源93を点灯し、回動駆動用モータ80によって第一のステーションS1へ回動して被検査物体60の初品を収納凹部82に投入する操作が行なわれる。
行程810に続く行程811aは位置決め制御装置103によって電子カメラ70を初期位置に移動させると共に、透明体81の収納凹部82を第一のステーションS1の位置に移動させるステップである。
続く行程811bは行程811aによる移動動作と回動動作が完了して、被検査物体60が投入されたときに、移動・投入完了報告を発生するステップである。
行程801aに続く行程801bは行程811bによる完了報告を受信したかどうかを判定し、未完了であればNOの判定を行って行程801aへ復帰して準備指令を続行し、完了報告を受信すればYESの判定を行って行程802aへ移行する判定ステップとなっている。
A process 801a following the process 800 is a step of giving an operation preparation command to the overall control apparatus 101 via the setting display device 106. In this step, the distance moving motor 71 and the parallel moving motors 72 and 73 are driven. The electronic camera 70 is returned to a predetermined origin position, the light source 93 is turned on, and the rotation drive motor 80 is rotated to the first station S1 to put the first product of the inspected object 60 into the storage recess 82. The operation is performed.
Step 811a following step 810 is a step in which the positioning controller 103 moves the electronic camera 70 to the initial position and moves the housing recess 82 of the transparent body 81 to the position of the first station S1.
The subsequent stroke 811b is a step for generating a movement / loading completion report when the movement operation and the rotation operation in the stroke 811a are completed and the inspection object 60 is loaded.
The process 801b following the process 801a determines whether or not the completion report by the process 811b has been received. If it is not completed, the determination of NO is made, the process returns to the process 801a, the preparation command is continued, and the completion report is received. This is a determination step in which a determination of YES is made and the process proceeds to step 802a.

行程802aは全体制御装置101から位置決め制御装置103に対して目標位置情報と移動開始指令を送信するステップである。
行程811bに続く行程812aは、行程802aによる指令に基づいて電子カメラ70を指令された位置へ移動すると共に、透明体81を第二のステーションS2の位置へ回動させるステップであり、続く行程812bによって移動・回動完了が報告されるようになっている。
行程802aに続く行程802bは行程812bによる完了報告を受信したかどうかを判定し、未完了であればNOの判定を行って行程802aへ復帰して移動指令を続行し、完了報告を受信すればYESの判定を行って行程803へ移行する判定ステップとなっている。
なお、行程802aによる移動指令は後述の行程806aを介して繰り返して実行されことになるが、移動指令の順番は例えばC面、D面、E面の撮影を先行し、続いてF面、B面、A面の撮影を行うようになっている。
Step 802 a is a step of transmitting target position information and a movement start command from the overall control device 101 to the positioning control device 103.
A process 812a following the process 811b is a step of moving the electronic camera 70 to the commanded position based on the command from the process 802a and rotating the transparent body 81 to the position of the second station S2. The movement / rotation completion is reported by.
The process 802b following the process 802a determines whether or not the completion report by the process 812b has been received. If it is not completed, the determination of NO is made and the process returns to the process 802a to continue the movement command, and if the completion report is received. This is a determination step in which a determination of YES is made and the process proceeds to step 803.
In addition, although the movement command by the process 802a is repeatedly executed via the process 806a described later, the order of the movement command precedes, for example, photographing of the C plane, the D plane, and the E plane, and then the F plane, B Surface A and A side are photographed.

その理由は、式(3)、(4)、(5)で示すとおり、相対距離LC、LD、LEの算式には既知の定数である基準相対距離Lと収納凹部82の深さ寸法Xしか含まれていないので、被検査物体60の高さ寸法a、前後寸法b、左右寸法cが不明であっても相対距離LC、LD、LEの算出が可能となるためである。
行程803は行程802aによって移動した電子カメラ70の位置情報(観察平面部79からの相対距離)と撮像指令とが画像処理装置102へ送信されるステップである。
行程820に続く行程823は、行程803による位置情報と撮像指令に基づいて検査対象面の撮影を行い、既に格納されている基準画像データとの比較判定を行ったり、撮像画面に現れた被検査物体60の高さ寸法又は前後寸法又は左右寸法に関する画像寸法を測定し、この画像寸法に対して(対物距離/焦点距離)の比率を掛けて高さ寸法a、前後寸法b、左右寸法cを算出するようになっている。
なお、ここで使用される対物距離は常に基準相対距離Lに合致するように電子カメラ70の位置が調整されていると共に、焦点距離は適用された電子カメラ70のレンズによって定まる定数である。
The reason for this is that, as shown in equations (3), (4), and (5), the relative distances LC, LD, and LE are calculated using only the known relative constant reference distance L and the depth dimension X of the storage recess 82. This is because the relative distances LC, LD, and LE can be calculated even if the height dimension a, the front-rear dimension b, and the left-right dimension c of the object 60 are not included.
Step 803 is a step in which position information (relative distance from the observation plane unit 79) of the electronic camera 70 moved in step 802a and an imaging command are transmitted to the image processing apparatus 102.
In a process 823 following the process 820, the inspection target surface is imaged based on the position information in the process 803 and the imaging command, and compared with the reference image data already stored, or inspected on the imaging screen. The height dimension or the front-rear dimension or the left-right dimension of the object 60 is measured, and the height dimension a, the front-rear dimension b, and the left-right dimension c are multiplied by the ratio of (object distance / focal length) to this image dimension. It comes to calculate.
Note that the position of the electronic camera 70 is adjusted so that the objective distance used here always matches the reference relative distance L, and the focal length is a constant determined by the lens of the applied electronic camera 70.

このようにして、被検査物体60の高さ寸法a、前後寸法b、左右寸法cが算出されると、これらの寸法が既に登録されている許容寸法以内であるかどうかの判定が可能となる。
また、式(1)、(2)、(6)で示された、相対距離LA、LB、LFの算出に必要となるa、b、c寸法が確定するので、A面、B面、F面の撮影が可能となるものである。
行程823に続く行程824は画像比較または寸法比較による良否判定の結果と、算出された被検査物体60の高さ寸法a、前後寸法b、左右寸法cの値が全体制御装置101に対して送信される。
行程803に続く行程804は行程824による判定結果を受信して正常判定であったかどうかを識別し、正常判定であればYESの判定を行って行程805へ移行し、異常判定であればNOの判定を行って行程807へ移行する判定ステップとなっている。
When the height dimension “a”, the front-rear dimension “b”, and the left-right dimension “c” of the inspected object 60 are calculated in this way, it is possible to determine whether or not these dimensions are within the already registered allowable dimensions. .
In addition, since the dimensions a, b, and c necessary for calculating the relative distances LA, LB, and LF shown by the equations (1), (2), and (6) are determined, the A surface, B surface, F It is possible to photograph the surface.
In step 824 following step 823, the result of the quality determination by image comparison or size comparison and the calculated values of the height dimension “a”, the front-rear dimension “b”, and the left-right dimension “c” of the inspected object 60 are transmitted to the overall control apparatus 101. Is done.
In step 804 following step 803, the determination result in step 824 is received to identify whether the determination is normal, and if it is normal, a determination of YES is made and the process proceeds to step 805. If it is abnormal, a determination of NO is made. And a determination step for moving to step 807 is performed.

行程805は図示しないフラグをチェックして被検査物体60のA〜F面の中で検査が必要とされる全ての面の検査が行われたかどうかを判定し、未完了であればNOの判定を行って行程806aへ移行し、検査完了であればYESの判定を行って行程806bへ移行する判定ステップである。
行程806aは位置決め制御装置103と画像処理装置102に対して次回指令の発生予告信号を送信してから行程802aへ復帰するステップである。
行程806bは位置決め制御装置103と画像処理装置102に対して検査完了情報を送信してから行程808へ移行するステップである。
行程812bに続く行程816aは行程806aによる予告信号を受信したかどうかを判定し、予告信号があればYESの判定を行って行程812aへ復帰し、予告信号がなければNOの判定を行って行程817aへ移行する判定ステップである。
行程824に続く行程826aは行程806aによる予告信号を受信したかどうかを判定し、予告信号があればYESの判定を行って行程823へ復帰し、予告信号がなければNOの判定を行って行程826bへ移行する判定ステップである。
In step 805, a flag (not shown) is checked to determine whether all of the surfaces A to F of the inspected object 60 that need to be inspected have been inspected. This is a determination step in which the process proceeds to step 806a, and if the inspection is completed, a determination of YES is made and the process proceeds to step 806b.
Step 806a is a step of returning to step 802a after transmitting the next command generation notice signal to the positioning control device 103 and the image processing device 102.
Step 806 b is a step in which inspection completion information is transmitted to the positioning control apparatus 103 and the image processing apparatus 102 and then the process proceeds to Step 808.
In the process 816a following the process 812b, it is determined whether or not the warning signal from the process 806a has been received. If there is a warning signal, a determination of YES is made and the process returns to the process 812a. This is a determination step for shifting to 817a.
In the process 826a following the process 824, it is determined whether or not the warning signal from the process 806a has been received. If there is a warning signal, the determination is YES and the process returns to the process 823. This is a determination step for shifting to 826b.

行程826bは行程806bによる完了情報を受信したかどうかによって、完了情報を受信すればYESの判定を行って動作終了行程829へ移行し、完了情報を未受信であればNOの判定を行って行程826aへ復帰する判定ステップである。
行程804が不良品判定であった場合に実行される行程807では被検査物体60を不良品収納箱86へ排出する指令を発生して動作終了行程809へ移行する。
行程804が良品判定であって、行程805が全面検査完了であった場合に実行される行程808では被検査物体60を良品収納箱85へ排出する指令を発生して動作終了行程809へ移行する。
行程817aは行程807による不良品排出指令を受信したかどうかによって動作し、未受信であればNOの判定を行って行程818aへ移行し、受信すればYESの判定を行って行程817bへ移行する判定ステップである。
行程817bは透明体81を第四のステーションS4へ回動させ、被検査物体60が不良品収納箱86に落下するのを待ってから行程818aへ移行するステップである。
行程818aは行程808による良品取出指令を受信したかどうかによって動作し、未受信であればNOの判定を行って行程816bへ移行し、受信すればYESの判定を行って行程818bへ移行する判定ステップである。
In step 826b, if completion information is received in step 806b, if completion information is received, a determination of YES is made and the process proceeds to operation end step 829. If completion information is not received, a determination of NO is made and determination is made. This is a determination step for returning to 826a.
In step 807, which is executed when the step 804 is defective product determination, a command for discharging the inspected object 60 to the defective product storage box 86 is generated, and the operation end step 809 is performed.
In step 808, which is executed when the process 804 is a non-defective product determination and the process 805 is complete inspection, a command for discharging the inspected object 60 to the non-defective product storage box 85 is generated and the process proceeds to the operation end process 809. .
The process 817a operates depending on whether or not a defective product discharge command is received in the process 807. If it is not received, the determination is NO and the process proceeds to the process 818a, and if it is received, the determination is YES and the process proceeds to the process 817b. This is a determination step.
In step 817b, the transparent body 81 is rotated to the fourth station S4, and after waiting for the inspected object 60 to fall into the defective product storage box 86, the process proceeds to step 818a.
The process 818a operates depending on whether or not a non-defective product takeout command is received in the process 808. If it is not received, the determination is NO and the process proceeds to the process 816b. If it is received, the determination is YES and the process proceeds to the process 818b. It is a step.

行程818bは透明体81を第三のステーションS3へ回動させ、被検査物体60が良品収納箱85に落下するのを待ってから行程816bへ移行するステップである。
行程816bは行程806bによる完了情報を受信したかどうかによって、完了情報を受信すればYESの判定を行って行程819aへ移行し、完了情報を未受信であればNOの判定を行って行程816aへ復帰する判定ステップである。
行程819aは透明体81を第一のステーションS1へ回動させ、電子カメラ70を初期位置へ移動復帰させてから動作終了行程819bへ移行するステップである。
全体制御装置101と位置決め制御装置103と画像処理装置102は、それぞれ動作終了行程809、819b、829において他の制御動作を行い、所定時間内には互いに同期をとって動作開始行程800、810、820へ復帰し、以降の制御動作を繰返して実行するようになっている。
なお、2度目以降の動作においては行程819aによって既に原点位置に復帰しているので、行程811aは動作せず、行程801aにおいて直ちに被検査物体60の投入を行えば良い。
In step 818b, the transparent body 81 is rotated to the third station S3, and after waiting for the inspected object 60 to fall into the non-defective product storage box 85, the process proceeds to step 816b.
In step 816b, depending on whether or not the completion information in step 806b has been received, if completion information is received, a determination of YES is made and the process proceeds to step 819a. If completion information has not been received, a determination of NO is made and determination is made to step 816a. This is a determination step for returning.
Step 819a is a step in which the transparent body 81 is rotated to the first station S1, the electronic camera 70 is moved back to the initial position, and then the operation end step 819b is started.
The overall control device 101, the positioning control device 103, and the image processing device 102 perform other control operations in the operation end steps 809, 819b, and 829, respectively, and synchronize with each other within a predetermined time, and the operation start steps 800, 810, Returning to 820, the subsequent control operation is repeated.
In the second and subsequent operations, since the origin position has already been returned by the stroke 819a, the stroke 811a does not operate, and the inspected object 60 may be immediately put in the stroke 801a.

以上の説明で明らかなとおり、この発明の実施の形態1に係る多面外観検査装置100は、電子カメラ70で撮影された被検査物体60の画像データと、比較参照データとを対比して、被検査物体60に外観上の特異性があるかどうかを判定するための画像処理装置102を備えた多面外観検査装置100であって、被検査物体60は透明体81による5個の壁面で構成された収納凹部82に投入されて、収納凹部82の開口面Aを含む観察平面部79は光源93、94または95によって照明され、透明体81は観察平面部79から入光した光源からの照明光を直交反射して、不透明体である被検査物体60の上下左右の周面を照明する4個の斜面と、照明光を2度にわたって直交反射して被検査物体60の背面を照明する対向斜面を備え、光源93、94または95による照明光は、不透明体である被検査物体60の表面で反射逆行して、反射光が電子カメラ70によって撮像され、収納凹部82の底面寸法と深さ寸法は被検査物体60の外のり寸法が最大である場合の背面寸法と高さ寸法に相当し、少なくとも被検査物体60の複数面は収納凹部82の内壁に接触するようにして投入され、電子カメラ70は観察平面部に整列投影された被検査物体の複数面の外観を撮影し、画像処理装置102によって被検査物体60に外観上の特異性があるかどうかが判定されるようになっている。   As is clear from the above description, the multi-surface appearance inspection apparatus 100 according to the first embodiment of the present invention compares the image data of the object to be inspected 60 photographed by the electronic camera 70 with the comparison reference data. A multi-surface appearance inspection apparatus 100 including an image processing apparatus 102 for determining whether or not an inspection object 60 has a peculiarity in appearance, and the inspection object 60 is composed of five wall surfaces made of a transparent body 81. The observation plane portion 79 including the opening surface A of the storage recess 82 is illuminated by the light source 93, 94 or 95, and the transparent body 81 is illuminated by the light source incident from the observation plane portion 79. And four inclined surfaces that illuminate the upper, lower, left and right peripheral surfaces of the inspected object 60 that is an opaque body, and opposite inclined surfaces that illuminate the back surface of the inspected object 60 by orthogonally reflecting the illumination light twice. With Illumination light from the light source 93, 94 or 95 is reflected back on the surface of the inspected object 60, which is an opaque body, and the reflected light is imaged by the electronic camera 70. The bottom and depth dimensions of the storage recess 82 are inspected. This corresponds to the rear dimension and height dimension when the outer dimension of the object 60 is maximum, and at least a plurality of surfaces of the object 60 to be inspected are put in contact with the inner wall of the housing recess 82, and the electronic camera 70 is observed. The appearance of a plurality of surfaces of the inspection object aligned and projected on the flat surface is photographed, and the image processing apparatus 102 determines whether or not the inspection object 60 has peculiarities in appearance.

観察平面部79は収納凹部82の開口面Aと隣接して背面画像を観察する背面用観察面Cが配置され、開口面Aと背面用観察面Cを挟んで上面画像を観察する上面用観察面Bと下面画像を観察する下面用観察面Dが配置され、開口面Aの左右には左面画像を観察する左面用観察面Eと右面画像を観察する右面用観察面Fとが配置されている。すなわち、被検査物体60の背面用観察面Cは前面観察用の開口面Aと隣接して配置されている。
従って、光路に複数の反射面が介在する背面画像の光路長を抑制し、正確な画像が得られるという効果を奏す。
The observation plane portion 79 is provided with a rear observation surface C for observing a rear image adjacent to the opening surface A of the storage recess 82, and an upper surface observation for observing the upper surface image with the opening surface A and the rear observation surface C interposed therebetween. Surface B and a lower surface observation surface D for observing the lower surface image are disposed, and a left surface observation surface E for observing the left surface image and a right surface observation surface F for observing the right surface image are disposed on the left and right sides of the opening surface A. Yes. That is, the rear observation surface C of the inspection object 60 is disposed adjacent to the front observation opening surface A.
Therefore, the optical path length of the back image in which a plurality of reflecting surfaces are interposed in the optical path is suppressed, and an accurate image can be obtained.

透明体81は一対の直交面と斜面を有する多角柱である複数本のプリズムを用い、プリズムを外枠板87の内面に接着固定して一体化したものである。すなわち、被検査物体60を投入するための収納凹部82を構成する透明体81は、複数本の多角柱であるプリズムを組み合わせて構成されている。
従って、単純な成形型を用いて複雑な形状の透明体81を構成することができ、安価な透明体81が得られる。
The transparent body 81 uses a plurality of prisms, which are polygonal columns having a pair of orthogonal surfaces and inclined surfaces, and the prisms are bonded and fixed to the inner surface of the outer frame plate 87 and integrated. That is, the transparent body 81 that constitutes the housing recess 82 for inserting the object 60 to be inspected is configured by combining a plurality of prisms that are polygonal columns.
Therefore, the transparent body 81 having a complicated shape can be formed using a simple mold, and an inexpensive transparent body 81 can be obtained.

透明体81は5個のプリズムを組み合わせて構成されていて、5個のプリズムのそれぞれは一対の直交面と斜面とを備え、斜面または直交面において光路方向を変換する多角柱である第一のプリズム10から第五のプリズム50となっており、第一のプリズム10から第四のプリズム40の直交面または斜面は、光源93、光源94または光源95から直接照明され、他方の直交面又は斜面は収納凹部82の上下左右の周壁面を構成する直接受光プリズムとなっていて、光源93、光源94または光源95からの照明光は直接受光プリズムの斜面で反射して被検査物体60の上下左右の周壁面を照光し、第五のプリズム50の一方の直交面は、直接受光プリズムの一つに当接または一体化され、他方の直交面は収納凹部82の底面の壁面を構成する間接受光プリズムとなっていて、光源93、光源94または光源95からの照明光は直接受光プリズムと間接受光プリズムを介して被検査物体60の背面を照光するようになっている。すなわち、複数のプリズムによって被検査物体60の複数面が同一の観察平面部に集中して整列されるよう構成すると共に、被検査物体の周面の照明には複数のプリズムの接合面が発生しないように構成されている。
従って、単純な成形型によるプリズムを用いて光源による照明面積と撮像面積を最小限度に抑制すると共に、複数のプリズムの接合面で発生する光の乱反射によるノイズの発生を抑制することができる。
The transparent body 81 is configured by combining five prisms, and each of the five prisms includes a pair of orthogonal surfaces and inclined surfaces, and is a first prism that is a polygonal column that changes the optical path direction on the inclined surfaces or orthogonal surfaces. The prism 10 is changed to the fifth prism 50, and the orthogonal surfaces or inclined surfaces of the first prism 10 to the fourth prism 40 are directly illuminated from the light source 93, the light source 94, or the light source 95, and the other orthogonal surfaces or inclined surfaces. Is a direct light receiving prism that constitutes the upper, lower, left, and right peripheral walls of the housing recess 82, and the illumination light from the light source 93, the light source 94, or the light source 95 is directly reflected by the inclined surface of the light receiving prism to One orthogonal surface of the fifth prism 50 is in direct contact with or integrated with one of the light receiving prisms, and the other orthogonal surface forms the wall surface of the bottom surface of the housing recess 82. To have a indirect light receiving prism, light source 93, illumination light from the light source 94 or the light source 95 directly through the light receiving prisms and indirect light receiving prism is adapted to illuminate the back surface of the inspected object 60. That is, the plurality of prisms are configured so that a plurality of surfaces of the inspected object 60 are concentrated and aligned on the same observation plane portion, and a joint surface of the plurality of prisms is not generated in the illumination of the peripheral surface of the inspected object. It is configured as follows.
Accordingly, it is possible to suppress the illumination area and the imaging area by the light source to the minimum by using a prism with a simple mold, and to suppress the generation of noise due to the irregular reflection of light generated on the joint surfaces of the plurality of prisms.

観察平面部79において整列投影される被検査物体60の複数面の外観は、遠近移動用モータ71によって相対的に対物距離が調整される電子カメラ70によって順次撮影され、対物距離は被検査物体60自体の被検査面から電子カメラ70に至る光路長が、複数の被検査面に対して略等しくなる関係に少なくとも調整制御されている。すなわち、被検査物体60の被検査面から電子カメラ70に至る光路長を一定に制御する遠近移動用モータ71を備えている。
従って、光路が延長されるに伴って画像寸法が小さくなるような小型安価な非テレセントリック光学系の電子カメラを用いて、高精度に被検査物体の多面の外観検査を行うことができる。
また、被検査物体60の複数面が収納凹部82の内壁に接触していることによって複数面の撮影画像の対物距離が確定し、対物距離とレンズの焦点距離との比率と画像寸法を乗算することによって被検査物体60の3方の寸法を等出することができる。
その結果、予め提供されている標準寸法と対比して外形寸法の異常判定を行うことができると共に、被検査物体の寸法が収納凹部82の寸法よりも小さい場合に、収納凹部82の壁面に接触していない検査面の撮像を行うときの対物距離の演算を行うことができる。
The appearances of the plurality of surfaces of the inspection object 60 aligned and projected on the observation plane 79 are sequentially photographed by the electronic camera 70 whose object distance is relatively adjusted by the distance movement motor 71. The optical path length from the surface to be inspected to the electronic camera 70 is at least adjusted and controlled so as to be substantially equal to the plurality of surfaces to be inspected. That is, a near-far movement motor 71 that controls the optical path length from the surface to be inspected of the object 60 to be inspected to the electronic camera 70 is provided.
Therefore, it is possible to perform a multi-surface appearance inspection of an object to be inspected with high accuracy by using a small and inexpensive non-telecentric optical electronic camera whose image size is reduced as the optical path is extended.
Further, since the plurality of surfaces of the inspected object 60 are in contact with the inner wall of the housing recess 82, the objective distance of the captured images of the plurality of surfaces is determined, and the ratio between the objective distance and the focal length of the lens is multiplied by the image size. Thus, the three dimensions of the inspected object 60 can be equalized.
As a result, it is possible to determine the abnormality of the outer dimension in comparison with the standard dimension provided in advance, and when the dimension of the object to be inspected is smaller than the dimension of the storage recess 82, it contacts the wall surface of the storage recess 82. It is possible to calculate the objective distance when imaging the inspection surface that has not been performed.

光源93または光源94による照明光は観察平面部79に対して平行方向に照射され、光路に設けられたハーフミラー91またはハーフミラー92で直交反射して観察平面部79に直交入射するようになっていて、被検査物体60からの反射光はハーフミラー91またはハーフミラー92を透過して電子カメラ70に入光するものであり、電子カメラ70は1軸または2軸の平行移動用モータ72、73によって観察平面部79と平行する移動面上で相対的に平行移動し、被検査物体60の各面に対応した複数の位置において撮像を行うようになっている。すなわち、電子カメラ70は観察平面部79と平行した平面上の1方向または2方向に相対的に平行移動できるように構成されている。
従って、被検査物体60が比較的大きくても、電子カメラ70を移動して分割撮像することによって小型で安価な小口径の電子カメラ70を使用することができる。
Illumination light from the light source 93 or the light source 94 is irradiated in a parallel direction with respect to the observation plane portion 79, and is orthogonally reflected by the half mirror 91 or the half mirror 92 provided in the optical path and orthogonally incident on the observation plane portion 79. The reflected light from the inspected object 60 passes through the half mirror 91 or the half mirror 92 and enters the electronic camera 70. The electronic camera 70 is a one-axis or two-axis parallel movement motor 72, 73 is relatively translated on a moving plane parallel to the observation plane portion 79, and images are taken at a plurality of positions corresponding to the respective surfaces of the inspected object 60. In other words, the electronic camera 70 is configured to be relatively movable in one or two directions on a plane parallel to the observation plane portion 79.
Therefore, even if the object 60 to be inspected is relatively large, the electronic camera 70 can be used by moving the electronic camera 70 and performing divided imaging to use a small-sized and inexpensive small-diameter electronic camera 70.

ハーフミラー92と光源94の内、少なくともハーフミラー92は平行移動用モータ72、73によって、電子カメラ70と連動して観察平面部79に対して相対的に平行移動し、光源94は観察平面部79の一部領域を集中して照明する。すなわち、ハーフミラー92は電子カメラ70と連動して観察平面部79と平行した平面上で相対的に平行移動できるようになっている。
従って、光源94の照明範囲を縮減して、小型・省エネルギーの光源を使用することができる。また、光源94をハーフミラー92と連動して平面移動させると、光源94から観察平面部79までの光路長を均一にして、分割画面ごとの検出誤差を低減することができる。
Among the half mirror 92 and the light source 94, at least the half mirror 92 is translated relative to the observation plane portion 79 in conjunction with the electronic camera 70 by the parallel movement motors 72 and 73, and the light source 94 is the observation plane portion. Illuminate 79 partial areas in a concentrated manner. In other words, the half mirror 92 can be relatively translated on a plane parallel to the observation plane portion 79 in conjunction with the electronic camera 70.
Therefore, the illumination range of the light source 94 can be reduced, and a small and energy-saving light source can be used. Further, when the light source 94 is moved in a plane in conjunction with the half mirror 92, the optical path length from the light source 94 to the observation plane portion 79 can be made uniform, and the detection error for each divided screen can be reduced.

光源95は電子カメラ70の周囲を包囲する環状光源であって、環状光源による照明光は観察平面部79に対して略直交照射され、被検査物体60からの反射光は環状の光源95の中央部を通過して電子カメラ70に入光するものであり、電子カメラ70と光源95とは一体を成して、1軸または2軸の平行移動用モータ72、73によって観察平面部79と平行する移動面上で相対的に平行移動し、被検査物体60の各面に対応した複数の位置において撮像を行うようになっている。すなわち、電子カメラ70と環状の光源95は観察平面部79と平行した平面上の1方向または2方向に相対的に平行移動できるように構成されている。
従って、被検査物体60が比較的大きくても、電子カメラ70を移動して分割撮像することによって小型で安価な小口径の電子カメラ70を使用することができる。
また、環状の光源95は観察平面部79の一部領域を集中して照明するので、光源の照明範囲を縮減して、小型で省エネルギーの光源を使用することができる特徴がある。
The light source 95 is an annular light source that surrounds the periphery of the electronic camera 70, and illumination light from the annular light source is irradiated substantially orthogonally to the observation plane portion 79, and reflected light from the object 60 to be inspected is the center of the annular light source 95. The electronic camera 70 and the light source 95 are integrated with each other, and are parallel to the observation plane portion 79 by one or two-axis parallel movement motors 72 and 73. The image is picked up at a plurality of positions corresponding to each surface of the inspected object 60 by relatively translating on the moving surface. In other words, the electronic camera 70 and the annular light source 95 are configured so as to be relatively movable in one or two directions on a plane parallel to the observation plane portion 79.
Therefore, even if the object 60 to be inspected is relatively large, the electronic camera 70 can be used by moving the electronic camera 70 and performing divided imaging to use a small-sized and inexpensive small-diameter electronic camera 70.
Further, since the annular light source 95 concentrates and illuminates a partial area of the observation plane part 79, the illumination range of the light source can be reduced and a small and energy-saving light source can be used.

電子カメラ70は光路が延長されるに伴って入光画像寸法が変化しないテレセントリック光学系の電子カメラ70が使用されている。すなわち、テレセントリック系電子カメラを用いて観察平面部を分割撮像することができるように構成されている。
従って、口径の小さな電子カメラ70を使用することができると共に、遠近移動用モータ71が不要となり、全体構造が小型化、簡略化される。
As the electronic camera 70, an electronic camera 70 of a telecentric optical system in which the incident image size does not change as the optical path is extended is used. That is, the observation plane portion can be divided and imaged using a telecentric electronic camera.
Therefore, the electronic camera 70 having a small aperture can be used, and the distance moving motor 71 is not required, and the overall structure is reduced in size and simplified.

透明体81は回動駆動用モータ80によって第一のステーションS1から第四のステーションS4の位置に回動駆動される。第一のステーションS1は被検査物体60が収納凹部82に投入される上方位置である。第二のステーションS2は電子カメラ70による撮像が行われる傾斜位置である。第三のステーションS3は被検査物体60が良品であった場合の良品落下取出位置である。第四のステーションS4は第一のステーションS1を挟んで第三のステーションS3の反対位置にあって、被検査物体60が不良品であった場合の不良品落下排出位置である。すなわち、透明体81は回動駆動用モータ80によって第一のステーションS1から第四のステーションS4に回動移動されるようになっている。
従って、簡易な構成によって被検査物体60の投入から良否の弁別排出までを自動化することができる。特に、被検査物体60が良品である通常状態においては透明体81は第一のステーションS1、第二のステーションS2、第三のステーションS3、第一のステーションS1の移動を循環し、まれに不良品が発生すると第二のステーションS2から第四のステーションS4に逆行してから第一のステーションS1に復帰する動作を行い、通常運転において余分なステーションを通過しないので移動効率を高めることができる。
The transparent body 81 is rotationally driven by the rotational driving motor 80 from the first station S1 to the fourth station S4. The first station S1 is an upper position where the object 60 to be inspected is put into the storage recess 82. The second station S2 is an inclined position where imaging by the electronic camera 70 is performed. The third station S3 is a non-defective product drop-out position when the inspected object 60 is non-defective. The fourth station S4 is located at a position opposite to the third station S3 across the first station S1, and is a defective product drop discharge position when the object 60 to be inspected is defective. That is, the transparent body 81 is rotated by the rotation driving motor 80 from the first station S1 to the fourth station S4.
Therefore, it is possible to automate from the introduction of the inspection object 60 to the pass / fail discrimination discharge with a simple configuration. In particular, in a normal state in which the object 60 to be inspected is a non-defective product, the transparent body 81 circulates through the movement of the first station S1, the second station S2, the third station S3, and the first station S1, and in rare cases it is not possible. When a non-defective product is generated, an operation of returning from the second station S2 to the fourth station S4 and then returning to the first station S1 is performed, and an extra station is not passed in the normal operation, so that the movement efficiency can be improved.

透明体81は更に、回動駆動用モータ80によって第五のステーションS5の位置に回動駆動される。第五のステーションS5は第一のステーションS1を挟んで第二のステーションS2の反対位置にあって、透明体81の表面を清掃手入れするための位置である。すなわち、透明体81は回動駆動用モータ80によって第五のステーションS5に停止することができるようになっている。
従って、通常運転では第五のステーションS5を通過しないので、透明体81の回動移動の効率を低下させないで清掃・保守を容易に行うことができる。
The transparent body 81 is further rotationally driven by the rotational driving motor 80 to the position of the fifth station S5. The fifth station S5 is at a position opposite to the second station S2 across the first station S1, and is a position for cleaning and cleaning the surface of the transparent body 81. That is, the transparent body 81 can be stopped at the fifth station S5 by the rotation driving motor 80.
Therefore, since it does not pass through the fifth station S5 in normal operation, cleaning and maintenance can be easily performed without reducing the efficiency of the rotational movement of the transparent body 81.

画像処理装置102は更に、被検査物体60に関する比較参照データ107が格納されると共に、良否判定手段108となる制御プログラムとモニタ画面109を備えている。比較参照データ107は標準となる被検査物体60を撮影して得られる基準画像データであるか、または標準となる被検査物体60の基準寸法データである。良否判定手段108は被検査物体60を撮影して得られる画像データと基準画像データとを対比して画像の相違の有無を判別する画像比較手段であるか、または被検査物体60を撮影して得られる画像データから被検査物体60の寸法を演算算出して、基準寸法データと対比して寸法の相違の有無を判別する寸法比較手段であるか、またはモニタ画面109に対して被検査物体60の撮影画像を表示し、基準画像データによる画像を並べて表示するか選択切換表示するモニタ表示手段であり、モニタ表示手段による被検査物体60の良否の判定はオペレータの目視観察によって行われる。すなわち、画像処理装置102は画像比較手段、寸法比較手段、または目視判定のためのモニタ表示手段である良否判定手段を備えている。
従って、顧客二一ズに見合った制御プログラムを使用することによって、適切な良否判定手段を手軽に選択採用することができる。
The image processing apparatus 102 further stores comparison reference data 107 relating to the object 60 to be inspected, and includes a control program and a monitor screen 109 serving as pass / fail judgment means 108. The comparison reference data 107 is standard image data obtained by photographing the standard inspection object 60 or standard dimension data of the standard inspection object 60. The pass / fail judgment means 108 is an image comparison means for comparing the image data obtained by photographing the inspected object 60 and the reference image data to determine the presence / absence of an image difference, or by photographing the inspected object 60. It is a dimension comparison means that calculates and calculates the size of the inspected object 60 from the obtained image data, and determines whether there is a difference in size in comparison with the reference dimension data, or the inspected object 60 with respect to the monitor screen 109. This is a monitor display means for displaying the photographed images and displaying the images based on the reference image data side by side or selecting and switching them. The monitor display means determines whether the inspected object 60 is good or not by visual observation of the operator. That is, the image processing apparatus 102 includes an image comparison unit, a size comparison unit, or a quality determination unit that is a monitor display unit for visual determination.
Therefore, by using a control program suitable for each customer, it is possible to easily select and adopt an appropriate quality determination means.

比較参照データ107は更に、被検査物体60を投入していない状態の限界基準画像データまたはサンプル画像データを包含している。良否判定手段108は更に、被検査物体60を除外して得られる画像データと限界基準画像データとを対比して透明体81の汚損・損傷の有無を判別する画像比較手段であるか、またはモニタ画面109に対して被検査物体60を除外した撮影画像を表示し、限界基準画像データまたはサンプル画像データによる画像を並べて表示するか選択切換表示するモニタ表示手段を備え、モニタ表示手段による透明体81の汚損・損傷の有無の判定はオペレータの目視観察によって行われるようになっている。すなわち、良否判定手段は被検査物体60を投入しない状態において透明体の汚損・損傷の有無を点検する手段を備えている。
従って、運転開始時の定期点検により適時に清掃手入れを行って、装置の異常発生が生
じないように予防管理することができる特徴がある。
The comparison reference data 107 further includes limit reference image data or sample image data in a state where the inspection object 60 is not inserted. The pass / fail judgment means 108 is further an image comparison means for comparing the image data obtained by excluding the inspected object 60 and the limit reference image data to determine whether the transparent body 81 is stained or damaged, or a monitor. The screen 109 is provided with monitor display means for displaying a photographed image excluding the inspected object 60 and displaying whether the images based on the limit reference image data or the sample image data are displayed side by side. The transparent body 81 by the monitor display means is provided. The determination of the presence / absence of contamination / damage is made by visual observation of the operator. In other words, the pass / fail judgment means includes means for inspecting the transparent body for contamination / damage in a state where the inspected object 60 is not inserted.
Accordingly, there is a feature that preventive management can be performed so as to prevent occurrence of abnormality of the apparatus by performing cleaning care in a timely manner by periodic inspection at the start of operation.

実施の形態2.
図11は、この発明の実施の形態2に係る多面外観検査装置の正面図である。図12は、この発明の実施の形態2に係る多面外観検査装置の平面図である。
この発明の実施の形態2に係る多面外観検査装置100Bは、この発明の実施の形態1に係る多面外観検査装置100と透明体81Bが異なり、それ以外は同様であるので、同様な部分に同じ符号を付記し説明は省略する。
この発明の実施の形態2に係る透明体81Bは、この発明の実施の形態1に係る透明体81と収納凹部82Bが異なる。実施の形態1に係る収納凹部82は、Z軸方向の壁面が第一のプリズム10の一方の直交面と第三のプリズム30の一方の直交面とで、Y軸方向の壁面が第二のプリズム20の一方の直交面と第四のプリズム40の一方の直交面とで形成されているのに対して、実施の形態2に係る収納凹部82Bは、Z軸方向の壁面が第一のプリズム10Bの斜面と第三のプリズム30Bの一方の直交面とで、Y軸方向の壁面が第二のプリズム20Bの一方の直交面と第四のプリズム40Bの斜面とで形成されている。
Embodiment 2. FIG.
FIG. 11 is a front view of a multi-surface visual inspection apparatus according to Embodiment 2 of the present invention. FIG. 12 is a plan view of a multi-surface appearance inspection apparatus according to Embodiment 2 of the present invention.
The multi-face appearance inspection apparatus 100B according to Embodiment 2 of the present invention differs from the multi-face appearance inspection apparatus 100 according to Embodiment 1 of the present invention in that the transparent body 81B is the same, and the other parts are the same. Reference numerals are added and description is omitted.
The transparent body 81B according to Embodiment 2 of the present invention is different from the transparent body 81 according to Embodiment 1 of the present invention in the storage recess 82B. In the storage recess 82 according to the first embodiment, the wall surface in the Z-axis direction is one orthogonal surface of the first prism 10 and one orthogonal surface of the third prism 30, and the wall surface in the Y-axis direction is the second wall surface. Whereas the storage recess 82B according to the second embodiment is formed by one orthogonal surface of the prism 20 and one orthogonal surface of the fourth prism 40, the wall surface in the Z-axis direction is the first prism. The wall surface in the Y-axis direction is formed by one orthogonal surface of the second prism 20B and the inclined surface of the fourth prism 40B, with the 10B inclined surface and one orthogonal surface of the third prism 30B.

なお、被検査物体60は、実施の形態1を説明するための用いたものと同様である。
被検査物体60は2等辺直角三角柱である第一のプリズム10B、第二のプリズム20B、第四のプリズム40B、第五のプリズム50Bと、台形四角柱である第三のプリズム30Bを組み合わせて構成された収納凹部82Bに投入されるようになっている。
また、収納凹部82Bの底面を構成する第五のプリズム50Bの斜面の下半分は第三のプリズム30Bの台形平面部と当接すると共に、上半分は収納凹部82Bの底面を構成している。
収納凹部82Bの開口面を含む観察平面部79は、図13、図14を参照して説明する光源93Bまたは光源94Bによって照明され、収納凹部82Bに投入された被検査物体60からの反射光が電子カメラ70によって撮影されるようになっている。
第一のプリズム10Bから第五のプリズム50Bは四方を巡らせた外枠板87Bの内面に接着固定されて透明体81Bを構成し、透明体81Bは治具83の上に着脱可能に半固定設置されるようになっている。
なお、実施の形態2に係るプリズムの透明体81Bの回動駆動機構は図8と、多面外観検査装置100Bのシステム構成は図9と、多面外観検査装置100Bの動作説明用フローチャートは図10と同様である。
The inspected object 60 is the same as that used for explaining the first embodiment.
The inspected object 60 is configured by combining the first prism 10B, the second prism 20B, the fourth prism 40B, the fifth prism 50B, which are isosceles right triangular prisms, and the third prism 30B, which is a trapezoidal quadrangular prism. The storage recess 82B is inserted.
Further, the lower half of the slope of the fifth prism 50B constituting the bottom surface of the storage recess 82B is in contact with the trapezoidal flat surface portion of the third prism 30B, and the upper half forms the bottom surface of the storage recess 82B.
The observation flat surface 79 including the opening surface of the storage recess 82B is illuminated by the light source 93B or the light source 94B described with reference to FIGS. 13 and 14, and the reflected light from the object 60 to be inspected put into the storage recess 82B is received. Images are taken by the electronic camera 70.
The first prism 10B to the fifth prism 50B are bonded and fixed to the inner surface of the outer frame plate 87B that goes around the four sides to form a transparent body 81B. The transparent body 81B is detachably installed on the jig 83 in a semi-fixed manner. It has come to be.
FIG. 8 shows the rotation drive mechanism of the prism transparent body 81B according to the second embodiment, FIG. 9 shows the system configuration of the multi-face appearance inspection apparatus 100B, and FIG. 10 shows the flowchart for explaining the operation of the multi-face appearance inspection apparatus 100B. It is the same.

第一のプリズム10Bの斜面は、光源93Bまたは光源94Bから直接照明され、第一のプリズム10Bの斜面の外部で直交反射した照明光は被検査物体60の上面Bを照光反射し、再び斜面で直交反射して観察平面部79の上面用観察面Bに上面Bの外観が投影されるようになっている。
第二のプリズム20Bの一方の直交面は、光源93Bまたは光源94Bから直接照明される観察平面部79を構成し、第二のプリズム20Bの斜面で直交反射した照明光は他方の直交面を透過して被検査物体60の左面Eを照光反射し、再び斜面で直交反射して観察平面部79の左面用観察面Eに左面Eの外観が投影されるようになっている。
第三のプリズム30Bの一方の直交面は、光源93Bまたは光源94Bから直接照明される観察平面部79を構成し、第三のプリズム30Bの斜面で直交反射した照明光は他方の直交面を透過して被検査物体60の下面Dを照光反射し、再び斜面で直交反射して観察平面部79の下面用観察面Dに下面Dの外観が投影されるようになっている。
The inclined surface of the first prism 10B is directly illuminated from the light source 93B or the light source 94B, and the illumination light orthogonally reflected outside the inclined surface of the first prism 10B illuminates and reflects the upper surface B of the object 60 to be inspected, and again on the inclined surface. The external appearance of the upper surface B is projected onto the observation surface B for the upper surface of the observation plane 79 by orthogonal reflection.
One orthogonal surface of the second prism 20B constitutes an observation plane portion 79 that is directly illuminated from the light source 93B or the light source 94B, and the illumination light orthogonally reflected by the inclined surface of the second prism 20B is transmitted through the other orthogonal surface. Then, the left surface E of the inspection object 60 is illuminated and reflected, and again is orthogonally reflected by the inclined surface, and the appearance of the left surface E is projected on the left observation surface E of the observation plane portion 79.
One orthogonal surface of the third prism 30B constitutes an observation plane portion 79 that is directly illuminated from the light source 93B or the light source 94B, and the illumination light orthogonally reflected by the inclined surface of the third prism 30B is transmitted through the other orthogonal surface. Then, the lower surface D of the object to be inspected 60 is illuminated and reflected, and again is orthogonally reflected by the inclined surface, and the appearance of the lower surface D is projected onto the lower surface observation surface D of the observation plane part 79.

第四のプリズム40Bの斜面は、光源93Bまたは光源94Bから直接照明され、第四のプリズム40Bの斜面の外部で直交反射した照明光は被検査物体60の右面Fを照光反射し、再び斜面で直交反射して観察平面部79の右面用観察面Fに右面Fの外観が投影されるようになっている。
第五のプリズム50Bの斜面は、光源93Bまたは光源94Bから直接照明されている第三のプリズム30Bの台形平面部から間接照明され、第五のプリズム50Bの一対の直交面で直交反射した照明光は被検査物体60の背面Cを照光反射し、再び第五のプリズム50Bと第三のプリズム30Bを経由して観察平面部79の背面用観察面Cに背面Cの外観が投影されるようになっている。
The slope of the fourth prism 40B is directly illuminated from the light source 93B or the light source 94B, and the illumination light orthogonally reflected outside the slope of the fourth prism 40B illuminates and reflects the right surface F of the object 60 to be inspected, and again on the slope. The external appearance of the right surface F is projected on the observation surface F for the right surface of the observation plane 79 by orthogonal reflection.
The inclined surface of the fifth prism 50B is indirectly illuminated from the trapezoidal plane portion of the third prism 30B that is directly illuminated from the light source 93B or the light source 94B, and the illumination light is orthogonally reflected by the pair of orthogonal surfaces of the fifth prism 50B. So that the back surface C of the inspection object 60 is illuminated and reflected, and the appearance of the back surface C is projected onto the back observation surface C of the observation plane part 79 again via the fifth prism 50B and the third prism 30B. It has become.

このような配置にすると、収納凹部82Bの開口面が広くなるので、収納凹部82Bの清掃手入れがし易くなる。
なお、第一のプリズム10Bだけ斜面を用いて、第四のプリズム40Bは実施の形態1と同様に一方の直交面から直接照明しても良い。
このような構成配置であっても被検査物体60の背面を照光し、前面用開口面Aと隣接した位置に背面用観察面Cを確保することができることを示している。
With such an arrangement, the opening surface of the storage recess 82B becomes wider, so that the storage recess 82B can be easily cleaned and cleaned.
Note that the fourth prism 40B may be directly illuminated from one orthogonal plane in the same manner as in the first embodiment, using only the slope of the first prism 10B.
Even with such a configuration, it is shown that the back surface of the inspection object 60 can be illuminated and the back observation surface C can be secured at a position adjacent to the front opening surface A.

次に、図11に示す多面外観検査装置に適用する光源の配置例を図13、図14を参照して説明する。
第4配置例を示す図13において、プリズムの透明体81Bと電子カメラ70との間にはハーフミラー91Bが設けられ、光源93Bによる照明光はハーフミラー91Bを透過して透明体81Bの観察平面部79に直交入射し、被検査物体60の各検査面で反射逆行した光線はハーフミラー91Bで直交反射して電子カメラ70に入光するようになっている。
この第4配置例では、光源93Bが観察平面部79の全域に広がって広域照明を行う形態となっていて、電子カメラ70とハーフミラー91Bとは一体となって遠近移動用モータ71と平行移動用モータ72、73によって3軸方向に移動するようになっている。
Next, an arrangement example of light sources applied to the multi-surface appearance inspection apparatus shown in FIG. 11 will be described with reference to FIGS.
In FIG. 13 showing the fourth arrangement example, a half mirror 91B is provided between the prism transparent body 81B and the electronic camera 70, and the illumination light from the light source 93B is transmitted through the half mirror 91B and the observation plane of the transparent body 81B. Light rays that are orthogonally incident on the portion 79 and reflected back on each inspection surface of the inspection object 60 are orthogonally reflected by the half mirror 91 </ b> B and enter the electronic camera 70.
In the fourth arrangement example, the light source 93B spreads over the entire area of the observation plane portion 79 and performs wide-area illumination, and the electronic camera 70 and the half mirror 91B are integrated with the distance movement motor 71 in parallel. The motors 72 and 73 are used to move in three axial directions.

第5配置例を示す図14において、プリズムの透明体81Bと電子カメラ70との間にはハーフミラー92Bが設けられ、光源94Bによる照明光はハーフミラー92Bを透過して透明体81Bの観察平面部79に直交入射し、被検査物体60の各検査面で反射逆行した光線はハーフミラー92Bで直交反射して電子カメラ70に入光するようになっている。
この第5配置例では、光源94Bが観察平面部79の一部領域を照明する形態となっていて、電子カメラ70、ハーフミラー92Bおよび光源94Bとは一体となって、遠近移動用モータ71と平行移動用モータ72、73によって3軸方向に移動するようになっている。
In FIG. 14 showing the fifth arrangement example, a half mirror 92B is provided between the prism transparent body 81B and the electronic camera 70, and the illumination light from the light source 94B passes through the half mirror 92B and is an observation plane of the transparent body 81B. Light rays that are orthogonally incident on the portion 79 and reflected back on each inspection surface of the inspection object 60 are orthogonally reflected by the half mirror 92B and enter the electronic camera 70.
In the fifth arrangement example, the light source 94B illuminates a partial area of the observation plane portion 79, and the electronic camera 70, the half mirror 92B, and the light source 94B are integrated with the distance moving motor 71. The motors 72 and 73 for translation are moved in the three-axis direction.

なお、図9のシステム構成図において、電子カメラ70に対する撮像指令は全体制御装置101から電子カメラ70に対して直接送信し、電子カメラ70による撮像データは全体制御装置101を媒介して画像処理装置102に送信するように変更することができる。この場合には、全体制御装置101から設定表示装置106に画像データを送信することによって、モニタ画面109は設定表示装置106の画面を利用することができる。   In the system configuration diagram of FIG. 9, an imaging command for the electronic camera 70 is directly transmitted from the overall control apparatus 101 to the electronic camera 70, and imaging data from the electronic camera 70 is transmitted through the overall control apparatus 101 to the image processing apparatus. Can be changed to be sent to 102. In this case, the monitor screen 109 can use the screen of the setting display device 106 by transmitting image data from the overall control device 101 to the setting display device 106.

また、図10の動作説明フローチャートでは、電子カメラ70は被検査物体60の特定検査面の検査が終わってから、次の検査面を撮像する位置へ移動するようになっているが、ある検査面の撮像が終われば、電子カメラ70は直ちに次回の撮像位置へ移動して撮像待機し、画像処理装置102が前回撮像データの判定動作を終えると直ちに次回の撮像が行えるように先行移動するように制御してもよい。
また、電子カメラ70がテレセントリック光学系のものであれば対物距離の調整は不要であり、観察平面部79の全体領域が電子カメラ70の口径に比べて小さいものである場合には、電子カメラ70を平行移動する必要もない。
In the operation explanation flowchart of FIG. 10, the electronic camera 70 is moved to the position where the next inspection surface is imaged after the inspection of the specific inspection surface of the object 60 to be inspected. When the image pickup is completed, the electronic camera 70 immediately moves to the next image pickup position and waits for the image pickup, and when the image processing apparatus 102 finishes the previous image pickup data determination operation, the electronic camera 70 moves forward so that the next image pickup can be performed immediately. You may control.
Further, if the electronic camera 70 is of a telecentric optical system, adjustment of the objective distance is unnecessary, and when the entire area of the observation plane portion 79 is smaller than the aperture of the electronic camera 70, the electronic camera 70 is used. There is no need to translate the.

口径の小さな電子カメラ70を使用して、観察平面部79を分割撮像する場合であっても、電子カメラ70がテレセントリック光学系のものであれば撮影の順序は自由であって、移動経路が最短距離となるような順番で各検査面の撮影を行えばよい。
また、電子カメラ70を3軸方向に移動する場合であっても、電子カメラ70と観察平面部79との相対位置関係を調整すればよいのであって、3軸方向の一部又は全部を観察平面部79の移動によって代替することが可能である。
また、被検査物体60は撮像時点において収納凹部82、82Bの3面に接触していることが望ましく、プリズムの透明体81、81Bを搭載する治具83の回動軸も傾斜しているとしたが、実態としてはこの回動軸が水平であっても特に問題はない。
これを図12を参照して説明すると、被検査物体60が第二のプリズム20Bによる壁面に接触していない状態であっても、開口面からの前面画像Aまたは背面画像Cによって被検査物体60と第二のプリズム20Bの接触壁面までの隙間が測定できるので、この隙間寸法を演算算出することによってE面に対する電子カメラ70の撮像位置を確定することができる。
Even when the observation plane portion 79 is divided and imaged using the electronic camera 70 having a small aperture, the order of shooting is free and the movement path is the shortest if the electronic camera 70 is a telecentric optical system. It suffices to shoot each inspection surface in the order of distance.
Further, even when the electronic camera 70 is moved in the three-axis direction, the relative positional relationship between the electronic camera 70 and the observation plane portion 79 may be adjusted, and a part or all of the three-axis direction is observed. It can be replaced by the movement of the plane part 79.
Further, it is desirable that the inspected object 60 is in contact with the three surfaces of the housing recesses 82 and 82B at the time of imaging, and the rotation axis of the jig 83 on which the prism transparent bodies 81 and 81B are mounted is also inclined. However, as a matter of fact, there is no particular problem even if the rotation axis is horizontal.
This will be described with reference to FIG. 12. Even when the object 60 is not in contact with the wall surface of the second prism 20B, the object 60 is inspected by the front image A or the back image C from the opening surface. Since the gap to the contact wall surface of the second prism 20B can be measured, the imaging position of the electronic camera 70 with respect to the E plane can be determined by calculating the gap size.

以上の説明では、透明体81、81Bは多角柱である複数のプリズムの集合体であるとして説明したが、例えば図2の第三のプリズム30と第五のプリズム50の接合面は一体化することができる。
同様に図11の第三のプリズム30Bと第五のプリズム50Bの接合面も一体化することができ、プリズムの接合面を一体化すれば、接合面における光の乱反射が発生しなくなり、概観検査のためのノイズ発生を防止することができる。
In the above description, the transparent bodies 81 and 81B have been described as an assembly of a plurality of prisms that are polygonal columns. For example, the joint surfaces of the third prism 30 and the fifth prism 50 in FIG. 2 are integrated. be able to.
Similarly, the joint surfaces of the third prism 30B and the fifth prism 50B in FIG. 11 can also be integrated. If the joint surfaces of the prisms are integrated, irregular reflection of light on the joint surface does not occur, and an overview inspection is performed. Noise generation can be prevented.

収納凹部82Bの周壁の一部を構成する第一のプリズム10Bと第四のプリズム40Bの少なくとも一方は、当該プリズムの斜面によって収納凹部82Bの壁面を構成し、光源93Bまたは光源94Bからの照明光は当該プリズムの斜面で外部反射して被検査物体60の周面を照光するようになっている。すなわち、被検査物体60の周面を照光する直接受光プリズムの一部は外部反射型のプリズムとなっていて、被検査物体60が投入される収納凹部82Bの壁面の一部が斜面となっている。
従って、プリズムの外面の清掃作業を行うときに、収納凹部82Bの底面の清掃が行い易くなる。
At least one of the first prism 10B and the fourth prism 40B constituting part of the peripheral wall of the housing recess 82B constitutes the wall surface of the housing recess 82B by the slope of the prism, and illumination light from the light source 93B or the light source 94B. Is externally reflected by the slope of the prism to illuminate the peripheral surface of the object 60 to be inspected. That is, a part of the direct light receiving prism that illuminates the peripheral surface of the object 60 to be inspected is an external reflection type prism, and a part of the wall surface of the housing recess 82B into which the object 60 to be inspected is thrown is an inclined surface. Yes.
Accordingly, when the outer surface of the prism is cleaned, the bottom surface of the storage recess 82B can be easily cleaned.

また、光源93Bまたは光源94Bによる照明光は光路に設けられたハーフミラー91Bまたはハーフミラー92Bを透過して観察平面部79に対して直交照射され、被検査物体60からの反射光はハーフミラー91Bまたはハーフミラー92Bで直交反射して電子カメラ70に入光するものである。ハーフミラー91Bまたはハーフミラー92Bと電子カメラ70の内、少なくともハーフミラー91Bまたはハーフミラー92Bは1軸または2軸の平行移動用モータ72、73によって観察平面部79と平行する移動面上で相対的に平行移動し、電子カメラ70は被検査物体60の各面に対応した複数の位置において撮像を行うようになっている。すなわち、ハーフミラー91Bまたはハーフミラー92Bは観察平面部79と平行した平面上で1方向または2方向に相対的に平行移動して、異なる観察面からの反射光を電子カメラ70に供給するようになっている。
従って、被検査物体60が比較的大きくても、観察面を移動して分割撮像することによって小型で安価な小口径の電子カメラ70を使用することができる。
なお、電子カメラ70とハーフミラー91Bまたはハーフミラー92Bとを連動動作させると、電子カメラ70に対する入光の光路長が観察面の変更に伴って変化しない。
Further, the illumination light from the light source 93B or the light source 94B is transmitted through the half mirror 91B or the half mirror 92B provided in the optical path and orthogonally irradiated to the observation plane 79, and the reflected light from the inspection object 60 is reflected from the half mirror 91B. Alternatively, the light is incident on the electronic camera 70 by being orthogonally reflected by the half mirror 92B. Of the half mirror 91B or the half mirror 92B and the electronic camera 70, at least the half mirror 91B or the half mirror 92B is relatively moved on the moving plane parallel to the observation plane portion 79 by the uniaxial or biaxial translation motors 72 and 73. The electronic camera 70 takes an image at a plurality of positions corresponding to each surface of the object 60 to be inspected. That is, the half mirror 91 </ b> B or the half mirror 92 </ b> B is relatively translated in one or two directions on a plane parallel to the observation plane portion 79 so as to supply reflected light from different observation planes to the electronic camera 70. It has become.
Therefore, even if the object 60 to be inspected is relatively large, it is possible to use a small-sized and inexpensive small-diameter electronic camera 70 by moving the observation surface and performing divided imaging.
When the electronic camera 70 and the half mirror 91B or the half mirror 92B are operated in conjunction with each other, the optical path length of incident light to the electronic camera 70 does not change with the change of the observation surface.

また、光源94Bとハーフミラー92Bは一体化され、平行移動用モータ72、73によって観察平面部79に対して相対的に平行移動し、光源94Bは観察平面部79の一部領域を集中して照明するようになっている。すなわち、ハーフミラー92Bは光源94Bと連動して観察平面部79と平行した平面上で相対的に平行移動できるようになっている。
従って、光源94Bの照明範囲を縮減して、小型・省エネルギーの光源を使用することができる。
In addition, the light source 94B and the half mirror 92B are integrated and translated relative to the observation plane portion 79 by the parallel movement motors 72 and 73, and the light source 94B concentrates a partial area of the observation plane portion 79. It comes to illuminate. That is, the half mirror 92B can be relatively translated on a plane parallel to the observation plane portion 79 in conjunction with the light source 94B.
Therefore, it is possible to reduce the illumination range of the light source 94B and use a small and energy-saving light source.

この発明の実施の形態1に係る多面外観検査装置を説明するための被検査物体の斜視図である。It is a perspective view of the to-be-inspected object for demonstrating the multi-surface visual inspection apparatus which concerns on Embodiment 1 of this invention. この発明の実施の形態1に係る多面外観検査装置の正面図である。It is a front view of the multi-surface visual inspection apparatus according to Embodiment 1 of the present invention. この発明の実施の形態1に係る多面外観検査装置の平面図である。It is a top view of the multi-surface visual inspection apparatus according to Embodiment 1 of the present invention. 観察平面部の構成図である。It is a block diagram of an observation plane part. 光源の第1配置例に従って配置した多面外観検査装置の構成図である。It is a block diagram of the multi-surface visual inspection apparatus arrange | positioned according to the 1st example of arrangement | positioning of a light source. 光源の第2配置例に従って配置した多面外観検査装置の構成図である。It is a block diagram of the multi-surface visual inspection apparatus arrange | positioned according to the 2nd example of arrangement | positioning of a light source. 光源の第3配置例に従って配置した多面外観検査装置の構成図である。It is a block diagram of the multi-surface visual inspection apparatus arrange | positioned according to the 3rd example of arrangement | positioning of a light source. 収容凹部に被検査物体が投入された透明体を回動する様子を説明するための図である。It is a figure for demonstrating a mode that the transparent body by which the to-be-inspected object was thrown into the accommodation recessed part is rotated. この発明の実施の形態1に係る多面外観検査装置のシステム構成図である。1 is a system configuration diagram of a multi-face visual inspection apparatus according to Embodiment 1 of the present invention. この発明の実施の形態1に係る多面外観検査装置の動作の行程を示すフローチャートである。It is a flowchart which shows the process of the operation | movement of the multi-surface visual inspection apparatus which concerns on Embodiment 1 of this invention. この発明の実施の形態2に係る多面外観検査装置の正面図である。It is a front view of the multi-surface appearance inspection apparatus which concerns on Embodiment 2 of this invention. この発明の実施の形態2に係る多面外観検査装置の平面図である。It is a top view of the multi-surface appearance inspection apparatus which concerns on Embodiment 2 of this invention. 光源の第4配置例に従って配置した多面外観検査装置の構成図である。It is a block diagram of the multi-surface visual inspection apparatus arrange | positioned according to the 4th example of arrangement | positioning of a light source. 光源の第5配置例に従って配置した多面外観検査装置の構成図である。It is a block diagram of the multi-surface visual inspection apparatus arrange | positioned according to the 5th example of arrangement | positioning of a light source.

符号の説明Explanation of symbols

10、10B 第一のプリズム、20、20B 第二のプリズム、30、30B 第三のプリズム、40、40B 第四のプリズム、50、50B 第五のプリズム、60 被検査物体、70 電子カメラ、71 遠近移動用モータ、72、73 平行移動用モータ、79 観察平面部、80 回動駆動用モータ、81、81B 透明体、82、82B 収納凹部、83 治具、84 ホッパ、85 良品収納箱、86 不良品収納箱、87、87B 外枠板、90 照明機器、91、91B、92、92B ハーフミラー、93、93B、94、94B、95 光源、100、100B 多面外観検査装置、101 全体制御装置、102 画像処理装置、103 位置決め制御装置、104 多軸駆動機構、105 回動駆動機構、106 設定表示装置、107 比較参照データ、108 良否判定手段、109 モニタ画面、S1 第一のステーション、S2 第二のステーション、S3 第三のステーション、S4 第四のステーション、S5 第五のステーション。   10, 10B First prism, 20, 20B Second prism, 30, 30B Third prism, 40, 40B Fourth prism, 50, 50B Fifth prism, 60 Object to be inspected, 70 Electronic camera, 71 Perspective movement motor, 72, 73 Parallel movement motor, 79 Observation plane section, 80 Rotation drive motor, 81, 81B Transparent body, 82, 82B Storage recess, 83 Jig, 84 Hopper, 85 Non-defective storage box, 86 Defective product storage box, 87, 87B outer frame plate, 90 lighting equipment, 91, 91B, 92, 92B half mirror, 93, 93B, 94, 94B, 95 light source, 100, 100B multi-face appearance inspection device, 101 overall control device, 102 image processing device, 103 positioning control device, 104 multi-axis drive mechanism, 105 rotation drive mechanism, 106 setting display device, 07 comparison reference data, 108 quality determination unit, 109 monitor screen, S1 first station, S2 second station, S3 third station, S4 fourth station, S5 fifth station.

Claims (16)

電子カメラで撮影された被検査物体の画像データと比較参照データとを対比して、当該被検査物体に外観上の特異性があるかどうかを判定するための画像処理装置を備えた多面外観検査装置であって、
前記被検査物体は透明体による5個の壁面で構成された収納凹部に投入されて、当該収納凹部の開口面を含む観察平面部は光源によって照明され、
前記透明体は前記観察平面部から入光した前記光源からの照明光を直交反射して、不透明体である前記被検査物体の上下左右の周面を照明する4個の斜面と、前記照明光を2度にわたって直交反射して前記被検査物体の背面を照明する対向斜面を備え、
前記光源による照明光は、不透明体である前記被検査物体の表面で反射逆行して、当該反射光が前記電子カメラによって撮像され、
前記収納凹部の底面寸法と深さ寸法は前記被検査物体の外のり寸法が最大である場合の背面寸法と高さ寸法に相当し、少なくとも前記被検査物体の複数面は前記収納凹部の内壁に接触するようにして投入され、
前記電子カメラは前記観察平面部に整列投影された前記被検査物体の複数面の外観を撮影し、前記画像処理装置によって被検査物体に外観上の特異性があるかどうかが判定されることを特徴とする多面外観検査装置。
Multi-surface visual inspection equipped with an image processing device for comparing image data of an object to be inspected taken with an electronic camera and comparison reference data to determine whether the object to be inspected has specificity in appearance A device,
The object to be inspected is put into a storage recess composed of five wall surfaces made of a transparent body, and the observation plane including the opening surface of the storage recess is illuminated by a light source,
The transparent body orthogonally reflects the illumination light from the light source that has entered from the observation plane, and illuminates the upper, lower, left and right peripheral surfaces of the object to be inspected, and the illumination light. An opposing slope that illuminates the back of the object to be inspected by orthogonal reflection twice
Illumination light from the light source is reflected back on the surface of the object to be inspected which is an opaque body, and the reflected light is imaged by the electronic camera,
The bottom dimension and depth dimension of the storage recess correspond to the back dimension and height when the outer dimension of the object to be inspected is maximum, and at least a plurality of surfaces of the object to be inspected are on the inner wall of the storage recess. Thrown in contact,
The electronic camera captures the appearance of a plurality of surfaces of the inspection object aligned and projected on the observation plane, and the image processing apparatus determines whether the inspection object has specificity in appearance. A multi-face appearance inspection device.
前記観察平面部は前記収納凹部の開口面と隣接して背面画像を観察する背面用観察面が配置され、前記開口面と背面用観察面を挟んで上面画像を観察する上面用観察面と下面画像を観察する下面用観察面が配置され、
上記開口面の左右には左面画像を観察する左面用観察面と右面画像を観察する右面用観察面とが配置されている
ことを特徴とする請求項1に記載の多面外観検査装置。
The observation plane portion is provided with a rear observation surface for observing a rear image adjacent to the opening surface of the storage recess, and an upper observation surface and a lower surface for observing a top image across the opening surface and the rear observation surface. An observation surface for the lower surface for observing the image is arranged,
The multi-surface appearance inspection apparatus according to claim 1, wherein a left observation surface for observing a left image and a right observation surface for observing a right image are arranged on the left and right sides of the opening surface.
前記透明体は一対の直交面と斜面を有する多角柱である複数本のプリズムを用い、当該プリズムを外枠板の内面に接着固定して一体化したものである
ことを特徴とする請求項1に記載の多面外観検査装置。
The transparent body uses a plurality of prisms that are polygonal columns having a pair of orthogonal surfaces and inclined surfaces, and the prisms are integrally bonded and fixed to the inner surface of the outer frame plate. The multi-surface appearance inspection apparatus described in 1.
前記透明体は5個のプリズムを組み合わせて構成されていて、
前記5個のプリズムのそれぞれは一対の直交面と斜面とを備え、当該斜面又は直交面において光路方向を変換する多角柱である第一乃至第五のプリズムとなっており、
前記第一乃至第四のプリズムの一方の直交面又は斜面は、前記光源から直接照明され、他方の直交面又は前記斜面は前記収納凹部の上下左右の周壁面を構成する直接受光プリズムとなっていて、前記光源からの照明光は当該直接受光プリズムの斜面で反射して前記被検査物体の上下左右の周壁面を照光し、
前記第五のプリズムの一方の直交面又は斜面は、前記直接受光プリズムの一つに当接又は一体化され、他方の直交面又は前記斜面は前記収納凹部の底面の壁面を構成する間接受光プリズムとなっていて、前記光源からの照明光は前記直接受光プリズムと間接受光プリズムを介して前記被検査物体の背面を照光する
ことを特徴とする請求項3に記載の多面外観検査装置。
The transparent body is configured by combining five prisms,
Each of the five prisms includes a pair of orthogonal surfaces and inclined surfaces, and is a first to fifth prisms that are polygonal columns that change the optical path direction on the inclined surfaces or orthogonal surfaces,
One orthogonal surface or inclined surface of the first to fourth prisms is directly illuminated from the light source, and the other orthogonal surface or inclined surface is a direct light receiving prism constituting the upper, lower, left and right peripheral wall surfaces of the storage recess. The illumination light from the light source is reflected by the slope of the direct light receiving prism to illuminate the upper, lower, left and right peripheral walls of the object to be inspected,
One orthogonal surface or inclined surface of the fifth prism is in contact with or integrated with one of the direct light receiving prisms, and the other orthogonal surface or inclined surface constitutes an indirect light reception that constitutes a wall surface of the bottom surface of the storage recess. The multi-surface visual inspection apparatus according to claim 3, wherein the multi-face visual inspection apparatus is a prism, and illumination light from the light source illuminates a back surface of the object to be inspected via the direct light receiving prism and the indirect light receiving prism.
前記収納凹部の周壁の一部を構成する第一または第四のプリズムの少なくとも一方は、当該プリズムの斜面によって収納凹部の壁面を構成し、前記光源からの照明光は前記プリズムの斜面で外部反射して前記被検査物体の周面を照光する
ことを特徴とする請求項4に記載の多面外観検査装置。
At least one of the first and fourth prisms constituting a part of the peripheral wall of the housing recess constitutes the wall surface of the housing recess by the slope of the prism, and the illumination light from the light source is externally reflected by the slope of the prism The multi-surface appearance inspection apparatus according to claim 4, wherein the peripheral surface of the object to be inspected is illuminated.
前記観察平面部において整列投影される前記被検査物体の複数面の外観は、遠近移動用モータによって相対的に対物距離が調整される電子カメラによって順次撮影され、
前記対物距離は前記被検査物体自体の被検査面から前記電子カメラに至る光路長が、複数の被検査面に対して略等しくなる関係に少なくとも調整制御されている
ことを特徴とする請求項1に記載の多面外観検査装置。
The appearances of the plurality of surfaces of the object to be inspected and aligned and projected in the observation plane part are sequentially photographed by an electronic camera in which the object distance is relatively adjusted by a distance moving motor,
The objective distance is adjusted and controlled at least so that the optical path length from the surface to be inspected of the object to be inspected to the electronic camera is substantially equal to a plurality of surfaces to be inspected. The multi-surface appearance inspection apparatus described in 1.
前記光源による照明光は前記観察平面部に対して平行方向に照射され、光路に設けられたハーフミラーで直交反射して前記観察平面部に直交入射するようになっていて、前記被検査物体からの反射光は前記ハーフミラーを透過して前記電子カメラに入光するものであり、
前記電子カメラは1軸又は2軸の平行移動用モータによって前記観察平面部と平行する移動面上で相対的に平行移動し、被検査物体の各面に対応した複数の位置において撮像を行うことを特徴とする請求項1に記載の多面外観検査装置。
Illumination light from the light source is irradiated in a direction parallel to the observation plane part, is orthogonally reflected by a half mirror provided in the optical path, and is orthogonally incident on the observation plane part. The reflected light passes through the half mirror and enters the electronic camera.
The electronic camera is relatively translated on a moving plane parallel to the observation plane by a single or biaxial translation motor, and images are taken at a plurality of positions corresponding to each surface of the object to be inspected. The multi-surface appearance inspection apparatus according to claim 1.
前記ハーフミラーと光源の内、少なくともハーフミラーは前記平行移動用モータによって前記電子カメラと連動して前記観察平面部に対して相対的に平行移動し、前記光源は前記観察平面部の一部領域を集中して照明することを特徴とする請求項7に記載の多面外観検査装置。   Of the half mirror and the light source, at least the half mirror is translated relative to the observation plane portion in conjunction with the electronic camera by the parallel movement motor, and the light source is a partial region of the observation plane portion. The multi-surface appearance inspection apparatus according to claim 7, wherein the illumination is concentrated and illuminated. 前記光源は前記電子カメラの周囲を包囲する環状光源であって、当該環状光源による照明光は前記観察平面部に対して略直交照射され、前記被検査物体からの反射光は前記環状の光源の中央部を通過して前記電子カメラに入光するものであり、
前記電子カメラと光源とは一体を成して、1軸又は2軸の平行移動用モータによって前記観察平面部と平行する移動面上で相対的に平行移動し、被検査物体の各面に対応した複数の位置において撮像を行うことを特徴とする請求項1に記載の多面外観検査装置。
The light source is an annular light source that surrounds the periphery of the electronic camera, and illumination light from the annular light source is irradiated substantially orthogonally to the observation plane portion, and reflected light from the object to be inspected is reflected by the annular light source. The light passes through the center and enters the electronic camera.
The electronic camera and the light source are integrated, and are translated relative to each other on the moving plane parallel to the observation plane portion by a one-axis or two-axis translation motor to correspond to each surface of the object to be inspected. The multi-surface appearance inspection apparatus according to claim 1, wherein imaging is performed at a plurality of positions.
前記光源による照明光は光路に設けられたハーフミラーを透過して前記観察平面部に対して直交照射され、前記被検査物体からの反射光は前記ハーフミラーで直交反射して前記電子カメラに入光するものであり、
前記ハーフミラーと前記電子カメラの内、少なくともハーフミラーは1軸または2軸の平行移動用モータによって前記観察平面部と平行する移動面上で相対的に平行移動し、前記電子カメラは被検査物体の各面に対応した複数の位置において撮像を行うことを特徴とする請求項1に記載の多面外観検査装置。
Illumination light from the light source passes through a half mirror provided in the optical path and is orthogonally irradiated to the observation plane, and reflected light from the object to be inspected is orthogonally reflected by the half mirror and enters the electronic camera. It ’s something that shines,
Of the half mirror and the electronic camera, at least the half mirror is relatively translated on a moving plane parallel to the observation plane portion by a one-axis or two-axis translation motor, and the electronic camera is an object to be inspected. The multi-surface visual inspection apparatus according to claim 1, wherein imaging is performed at a plurality of positions corresponding to each of the surfaces.
前記光源とハーフミラーは一体を成して、前記平行移動用モータによって前記観察平面部に対して相対的に平行移動し、前記光源は前記観察平面部の一部領域を集中して照明することを特徴とする請求項10に記載の多面外観検査装置。   The light source and the half mirror are integrated with each other and translated relative to the observation plane portion by the parallel movement motor, and the light source illuminates a partial area of the observation plane portion. The multi-surface appearance inspection apparatus according to claim 10. 前記電子カメラは光路が延長されるに伴って入光画像寸法が変化しないテレセントリック光学系の電子カメラが使用されていることを特徴とする請求項7、9または10に記載の多面外観検査装置。   11. The multi-surface visual inspection apparatus according to claim 7, 9 or 10, wherein the electronic camera uses a telecentric optical system camera whose incident image size does not change as the optical path is extended. 前記透明体は回動駆動用モータによって第一から第四のステーションの位置に回動駆動され、
前記第一のステーションは被検査物体が収納凹部に投入される上方位置であり、
前記第二のステーションは電子カメラによる撮像が行われる傾斜位置であり、
前記第三のステーションは被検査物体が良品であった場合の良品落下取出位置であり、 前記第四のステーションは前記第一のステーションを挟んで前記第三のステーションの反対位置にあって、被検査物体が不良品であった場合の不良品落下排出位置である
ことを特徴とする請求項1に記載の多面外観検査装置。
The transparent body is rotationally driven from the first to the fourth station by a rotational driving motor,
The first station is an upper position where an object to be inspected is put into the storage recess,
The second station is an inclined position where imaging by an electronic camera is performed,
The third station is a non-defective item drop-out position when the object to be inspected is non-defective, and the fourth station is at a position opposite to the third station across the first station. The multi-surface appearance inspection apparatus according to claim 1, wherein the inspection object is a defective product drop discharge position when the inspection object is a defective product.
前記透明体は更に、前記回動駆動用モータによって第五のステーションの位置に回動駆
動され、
前記第五のステーションは前記第一のステーションを挟んで前記第二のステーションの反対位置にあって、前記透明体の表面を清掃手入れするための位置である
ことを特徴とする請求項13に記載の多面外観検査装置。
The transparent body is further rotated to the position of the fifth station by the rotation driving motor,
The fifth station is located at a position opposite to the second station across the first station, and is a position for cleaning and cleaning the surface of the transparent body. Multi-face appearance inspection device.
前記画像処理装置は更に、被検査物体に関する比較参照データが格納されると共に、良否判定手段となる制御プログラムとモニタ画面を備えており、
前記比較参照データは標準となる被検査物体を撮影して得られる基準画像データであるか、又は標準となる被検査物体の基準寸法データであり、
前記良否判定手段は被検査物体を撮影して得られる画像データと前記基準画像データとを対比して画像の相違の有無を判別する画像比較手段であるか、又は被検査物体を撮影して得られる画像データから当該被検査物体の寸法を演算算出して、前記基準寸法データと対比して寸法の相違の有無を判別する寸法比較手段であるか、又は前記モニタ画面に対して前記被検査物体の撮影画像を表示し、前記基準画像データによる画像を並べて表示するか選択切換表示するモニタ表示手段であり、当該モニタ表示手段による被検査物体の良否の判定はオペレータの目視観察によって行われる
ことを特徴とする請求項1に記載の多面外観検査装置。
The image processing apparatus further stores comparison reference data related to the object to be inspected, and includes a control program and a monitor screen serving as pass / fail judgment means,
The comparison reference data is standard image data obtained by photographing a standard inspection object or standard dimension data of a standard inspection object,
The pass / fail judgment means is an image comparison means for comparing the image data obtained by photographing the object to be inspected and the reference image data to determine whether there is a difference between the images, or obtained by photographing the object to be examined. Dimensional comparison means for calculating and calculating the size of the object to be inspected from the obtained image data and determining whether there is a difference in size in comparison with the reference dimension data, or the object to be inspected with respect to the monitor screen A monitor display means for displaying the photographed images and displaying the selected image according to the reference image data side by side or selecting and displaying the images, and determining whether the object to be inspected is good or bad by the monitor display means. The multi-surface appearance inspection apparatus according to claim 1, wherein
前記比較参照データは更に、前記被検査物体を投入していない状態の限界基準画像データ又はサンプル画像データを包含し、
前記良否判定手段は更に、被検査物体を除外して得られる画像データと前記限界基準画像データとを対比して前記透明体の汚損・損傷の有無を判別する画像比較手段であるか、又は前記モニタ画面に対して前記被検査物体を除外した撮影画像を表示し、前記限界基準画像データ又はサンプル画像データによる画像を並べて表示するか選択切換表示するモニタ表示手段を備え、当該モニタ表示手段による前記透明体の汚損・損傷の有無の判定はオペレータの目視観察によって行われる
ことを特徴とする請求項15に記載の多面外観検査装置。
The comparison reference data further includes limit standard image data or sample image data in a state where the object to be inspected is not put in,
The pass / fail determination means is further an image comparison means for comparing the image data obtained by excluding the object to be inspected and the limit reference image data to determine whether the transparent body is soiled or damaged, or A monitor display means for displaying a captured image excluding the object to be inspected on a monitor screen, and displaying or selecting and switching whether the images based on the limit reference image data or the sample image data are displayed side by side. The multi-surface appearance inspection apparatus according to claim 15, wherein the determination as to whether the transparent body is stained or damaged is made by visual observation by an operator.
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Families Citing this family (17)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2009134295A (en) * 2007-11-08 2009-06-18 Yamada Kogaku Kogyo Kk Method for simultaneously viewing two or more sides of figure
EP3255603B1 (en) * 2015-02-05 2022-09-07 Ricoh Company, Limited Image processing device, image processing system, and image processing method
CN106647147B (en) * 2017-02-15 2022-05-17 苏州德创测控科技有限公司 Non-coplanar image acquisition device
CN107343124B (en) * 2017-08-08 2020-07-03 信利光电股份有限公司 Camera head
CN108955547B (en) * 2018-06-29 2024-07-19 苏州富强科技有限公司 Workpiece structure size detection device
CN109514218B (en) * 2018-12-07 2024-03-15 湖南中伟智能制造有限公司 Worm assembly detection device
CN109444157A (en) * 2018-12-25 2019-03-08 苏州凡目视觉科技有限公司 A kind of scratch detection apparatus and method
CN111435115A (en) * 2019-01-11 2020-07-21 贵州中烟工业有限责任公司 Cigarette bead blasting appearance detection system
CN111435113A (en) * 2019-01-11 2020-07-21 贵州中烟工业有限责任公司 Appearance detection device for cigarette burst beads
CN110441307A (en) * 2019-09-11 2019-11-12 无锡市泰坦工业自动化设备有限公司 An image detection device
CN110806410A (en) * 2019-12-09 2020-02-18 泉州师范学院 Optical device and method for simultaneously detecting top surface and side surface of semiconductor crystal grain
CN111366541B (en) * 2020-04-15 2025-06-06 泉州师范学院 Device and method for realizing simultaneous equal-optical-path confocal detection of both sides of a grain using polarization image splitting method
CN111595860B (en) * 2020-06-17 2025-06-06 泉州师范学院 New device and method for simultaneous complete equal-optical-path confocal imaging detection of adjacent double-sided crystal grains of semiconductor cooling devices
CN114199895B (en) * 2021-12-15 2023-11-21 珠海高纳智能科技有限公司 Visual detection method for inductance defect
JP7841415B2 (en) * 2022-12-16 2026-04-07 株式会社デンソー Apparatus for visual inspection and method for visual inspection
CN116532388B (en) * 2023-06-02 2023-11-14 芯朋半导体科技(如东)有限公司 Five-sided imaging detector
CN117907230B (en) * 2024-01-16 2025-04-29 复旦大学 Object surface visual inspection system based on multi-eye stereo and photometric stereo

Family Cites Families (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2946570B2 (en) * 1989-11-24 1999-09-06 日本電気株式会社 Coplanarity measuring device
JP3103150B2 (en) * 1991-06-24 2000-10-23 富士写真光機株式会社 Optical measuring machine
JPH06273339A (en) * 1993-03-19 1994-09-30 N T T Data Tsushin Kk Appearance inspection device
US7724456B2 (en) * 2004-02-27 2010-05-25 Technical Co., Ltd. Multidirectional simultaneous observation optical system, image reading device, image reading method, and multidirectional simultaneous observation combined optical system
JP4885489B2 (en) * 2005-06-30 2012-02-29 株式会社テクニカル Dimension measuring device
JP3954083B2 (en) * 2006-05-29 2007-08-08 ライオンエンジニアリング株式会社 Appearance inspection method and apparatus
JP4855193B2 (en) * 2006-09-14 2012-01-18 ミツテック株式会社 Thin plate inspection equipment

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