JP4670487B2

JP4670487B2 - スクリーン印刷版

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Publication number: JP4670487B2
Application number: JP2005163353A
Authority: JP
Inventors: 優万寿
Original assignee: Murata Manufacturing Co Ltd
Current assignee: Murata Manufacturing Co Ltd
Priority date: 2005-06-02
Filing date: 2005-06-02
Publication date: 2011-04-13
Anticipated expiration: 2025-06-02
Also published as: JP2006334957A

Description

本発明はスクリーン印刷版に関し、詳しくは、電子部品の製造において基板に所定の図形の印刷物を形成するために用いるスクリーン印刷版に関する。

電子部品の分野において、例えばチップ部品の内部電極として所定形状の微細で薄膜な電極図形を得るために、スクリーン印刷が用いられる。スクリーン印刷で用いられるスクリーン印刷版には、所定形状の図形パターンに対応する図形形成領域に、ペーストが透過する微細な貫通孔が形成されている。スクリーン印刷版は、印刷面積制御のため高い寸法精度が要求され、印刷塗布厚制御のため高い厚み精度が要求されている。

電子部品の分野において、例えば図１に示したスクリーン印刷版１が使用される。このスクリーン印刷版１は、一方の主面１ａ側に平面形状が円形の開口部２を有する微細な貫通孔が形成された第１のメッシュ状の金属膜と、印刷パターン図形より若干大きい形状の印刷孔３が形成された第２の金属膜とが、金属メッキで一体に形成されている。例えば積層セラミック部品の内部積層部分は、スクリーン印刷版１を用いてセラミックグリーンシート上に内部電極となる導電性ペーストを印刷し、このセラミックグリーンシートを複数枚積層して焼成した後に、この積層体を個々に切断することによって製造される。このとき、セラミックグリーンシート上には複数個分の内部電極が一度に印刷され、スクリーン印刷版１には同一形状の印刷孔３が多数形成されている（例えば、特許文献１参照）。

このように金属メッキで一体に形成されたスクリーン印刷版は、エレクトロフォーミング（電鋳）技法を用いて作製することができ、耐刷性に優れ、また、メッキ量制御により版厚みを自由に設定することができる。
特開２００１−３９０４８号公報

従来のスクリーン印刷版は、印刷する図形形状に合わせた図形形成領域に、同一形状、または同一面積の貫通孔が配置されている。そのため、従来のスクリーン印刷版では、近年の小型化が進展している積層セラミック部品の内部電極の薄い膜を印刷する場合、図形形成領域の辺に沿って配置されている貫通孔からのペースト吐出量が多くなり、印刷ニジミや印刷図形の直線性の悪化等を招く。これを改善するため、貫通孔をより小さくすると、貫通孔が微細になり、かつ個数が増えるので、スクリーン印刷版は、貫通孔形成時の歩留まりが悪化したり、印刷時のペースト目詰まりが起こりやすくなる。つまり、印刷図形の直線性の向上と、目詰まり、印刷カスレの防止とは両立しない。

そこで、スクリーン印刷版の図形形成領域の中央には、相対的に大きな面積の貫通孔を配置して、貫通孔の目詰まり、印刷カスレを抑制する一方、図形部の周辺には、相対的に小さな面積の貫通孔を配置して、ペースト吐出量を抑制し、印刷ニジミを防ぎ、印刷の直線性を確保することが考えられる。

しかし、このように複雑な貫通孔の配置方法では、スクリーン印刷版を形成するために必要となる原版を作製する際に、データ処理や原版描画の負担が大きく、生産性がよくないため、現実的ではない。

本発明は、かかる実情に鑑み、原版の作製が容易で、良好な印刷を行うことができる、スクリーン印刷版を提供しようとするものである。

本発明は、上記課題を解決するために、以下のように構成したスクリーン印刷版を提供する。

スクリーン印刷版は、互いに平行な主面を有する平板状の本体部を含み、前記主面の垂直方向から透視したとき、略矩形の図形形成領域内に前記主面間を貫通する複数の貫通孔が形成され、被印刷物に対向する一方の前記主面には、前記図形形成領域及びその周囲に凹部が形成され、前記凹部の側壁と前記図形形成領域の周囲との間には所定の間隔が設けられる。前記貫通孔は、第１の貫通孔と第２の貫通孔とを含む。前記第１の貫通孔は、前記主面の垂直方向から透視したとき、全ての辺が前記図形形成領域の各辺に対して斜めに延在しかつ対向する頂点間を結ぶ方向が前記図形形成領域の前記辺と略平行又は略直角である略菱形の断面形状を有し、その全体が前記図形形成領域内に配置される。前記第２の貫通孔は、前記主面に垂直方向から透視したとき、全ての辺が前記図形形成領域の各辺に対して斜めに延在しかつ対向する頂点間を結ぶ方向が前記図形形成領域の前記辺と略平行又は略直角である略菱形が前記図形形成領域の１又は２の前記辺で分割された２つの部分のうち、前記図形形成領域内の前記部分の断面形状を有し、前記図形形成領域の前記各辺近傍に配置される。前記第１の貫通孔及び前記第２の貫通孔は、大略、それぞれの辺が一直線上に揃うように等間隔に配置される。前記主面の垂直方向から透視したとき、前記図形形成領域内には、前記貫通孔の間に、前記図形形成領域の辺に対して斜めに略等間隔で延在しかつ交差する略一定幅のメッシュ線部が形成される。

上記構成において、略矩形の図形形成領域の中央には、斜交したメッシュ線部で囲まれる略菱形の相対的に大きい第１の貫通孔が形成され、略矩形の図形形成領域の周囲には、略菱形が図形形成領域の辺で分割された相対的に小さい第２の貫通孔が形成されている。

上記構成によれば、図形領域の中央に配置される第１の貫通孔を略菱形にすることより、目詰まり、印刷かすれを低減することができる。図形領域の周囲に配置され、略菱形が分割された断面形状を有する第２の貫通孔によって、図形形成領域の辺に沿って、印刷エッジを鮮明にすることができる。

上記構成によれば、スクリーン印刷版の貫通孔を形成するために用いる原版を作成するとき、スクリーン印刷版の貫通孔の形状や配置は直線で定義されるので、データ処理が簡単になり、データ処理量を低減し、描画時間を短縮することができる。また、図形形成領域の辺に斜交するメッシュ線部によって貫通孔を定義することにより、スクリーン印刷版の設計を簡略化することができる。

好ましくは、前記主面に垂直方向から透視したとき、スキージ方向の直角方向と前記メッシュ線部とがなす角度が３０度以上かつ５５度以下である。前記主面に垂直方向から透視したとき、前記第２の貫通孔の面積が前記第１の貫通孔の面積の３０％以上かつ６０％以下である。

上記構成において、スキージ方向の直角方向とメッシュ線部とがなす角度を３０度以上かつ５５度以下とすることにより、貫通孔での目詰まりや印刷かすれをなくすることができ、第２の貫通孔の断面積を第１の貫通孔の断面積の３０％以上かつ６０％以下とすることにより、印刷パターンの直線性を確保することができる。上記構成は、全ての印刷図形サイズに、また粘度の異なる各ペースト種に、好適に適用可能である。

本発明のスクリーン印刷版によれば、原版の作製が容易で、良好な印刷を行うことができる。

以下、本発明の実施の形態として実施例について、図２〜図６を参照しながら説明する。

図２（ａ）は、スクリーン印刷版１０の一部を示す要部平面図である。図２（ｂ）は、図２（ａ）の線Ｂ−Ｂに沿って切断した要部断面図である。

図２に示すように、スクリーン印刷版１０は、互いに平行な主面１１ａ，１１ｂを有する平板状の本体部１１に、凹部１２と、メッシュ孔１４，１５，１６が形成されている。スクリーン印刷版１０の本体部１１は、不図示の枠に保持され、例えば積層チップコンデンサ等のセラミックグリーンシートに内部電極を印刷するために用いられる。

凹部１２は、スクリーン印刷版１０の本体部１１の一方の主面１１ａに形成され、主面１１ａ，１１ｂに垂直な方向（法線方向）から見たとき、寸法Ｘ，Ｙの略矩形の図形形成領域及びその周囲に形成されている。すなわち、凹部１２の側壁１２ｘ，１２ｙが、図形形成領域の周囲を取り囲むように形成されている。

メッシュ孔１４，１５，１６は、凹部１２の底面１２ｓと本体部１１の他方の主面１１ｂとの間を貫通する。図２（ａ）に示すように、主面１１ａ，１１ｂに垂直な方向から見たとき、寸法がＸ，Ｙである略矩形の図形形成領域の中央に同一形状の複数のメッシュ孔１４が配置されて、略矩形の図形形成領域の角にはメッシュ孔１５が配置され、略矩形の図形形成領域の辺に沿って、角を除く部分にメッシュ孔１６が配置されている。

略矩形の図形形成領域の中央に配置されるメッシュ孔１４は、主面１１ａ，１１ｂに垂直な方向から見たとき、略菱形の断面形状を有し、全ての辺が図形形成領域の各辺に対して斜めに延在しかつ対向する頂点間を結ぶ方向が図形形成領域の辺と略平行又は略直角である。

略矩形の図形形成領域の周囲に配置されるメッシュ孔１５，１６は、主面１１ａ，１１ｂに垂直な方向から見たとき、メッシュ孔１４に略一致する略菱形（すなわち、全ての辺が図形形成領域の各辺に対して斜めに延在しかつ対向する頂点間を結ぶ方向が図形形成領域の辺と略平行又は略直角である略菱形）が、図形形成領域の１又は２の辺で分割された２つの部分のうち、図形形成領域に含まる部分であり、略三角形又は略五角形の断面形状を有する。すなわち、主面１１ａ，１１ｂに垂直な方向から見たとき、メッシュ孔１５，１６は、略菱形の分割線が図形形成領域の辺と重なるように配置されている。

各メッシュ孔１４，１５，１６は、大略、それぞれの略菱形の辺が一直線上に揃うように等間隔に配置されている。これによって、主面１１ａ，１１ｂに垂直な方向から見たとき、図形形成領域内には、メッシュ孔１４，１５，１６の間に、図形形成領域の辺に対して斜めに略等間隔で延在しかつ交差する略一定幅の帯状のメッシュ線部１７，１８が形成される。

図３は、スクリーン印刷版１０を使用し、スキージ４０によって印刷を行っているときの状態を説明するための要部拡大斜視図である。

スクリーン印刷版１０は、本体部11の凹部１２が形成された一方の主面１１ａが被印刷物４６の表面４６ａ上に載置される。この状態で、スキージ４０は、スクリーン印刷版１０の本体部11の他方の主面１１ｂに接しながら、矢印４２の方向に移動する。このとき、スキージ４０は、スクリーン印刷版１０の本体部11の他方の主面１１ｂ上に配置された不図示のペーストを押しながら移動させる。スキージ４０で押されたペーストは、矢印４３で示すように、メッシュ孔１４，１６から被印刷物４６の表面４６ａ上に押し出され、被印刷物４６の表面４６ａ上には、メッシュ孔１４，１６が形成された図形形成領域に対応する印刷パターン図形４４が形成される。印刷パターン図形４４は、ペーストの広がりにより、図形形成領域よりもわずかに大きくなる。

このとき、スクリーン印刷版１０の本体部11の一方の主面１１ａに形成された凹部１２は、印刷パターン図形４４よりも大きく、印刷パターン図形４４と凹部１２の側壁１２ｘ（図３では図示せず），１２ｙとの間には、間隔が設けられるようになっている。

図形形成領域の中央に配置された略菱形のメッシュ孔１４は、印刷パターン図形４４の内側部分を形成するペーストを供給する。メッシュ孔１４は、ペースト吐出に充分な開口面積が確保されていることから、印刷パターン図形４４の内側部分へのペースト充填に必要な適正量のペーストの供給が可能な状態となっている。そのため、印刷ニジミ、カスレのない所定の印刷パターン形状４４を得ることができる。

一方、図形形成領域の周囲に配置された略菱形を分割した断面形状のメッシュ孔１６は、印刷パターン図形４４の縁近傍部分を形成するためのペーストを供給する。メッシュ孔１６は、中央のメッシュ孔１４に比べて小さく、印刷パターン図形４４の縁近傍部分を形成するペーストの吐出量が制限された状態となる。そのため、印刷ニジミになるような必要以上のペーストが吐出しないことから、印刷パターン図形４４は、極めて直線性に優れた印刷形状にすることができる。

次に、スクリーン印刷版１０の本体部１１の製造方法の一例について、図４を参照しながら説明する。

図４（Ａ）に示すように、基板２０上にフォトレジストを塗布し、スクリーン印刷版作製用の原版を用いて露光し、フォトレジストの現像を行い、メッシュ孔１４，１５，１６（図２及び図３参照）の内部に相当するパターンのレジスト像２２を形成する。

次いで、図４（Ｂ）に示すように、基板２０上に、レジスト像２２を介して、エレクトロフォーミング（電鋳法）により、金属膜３０をメッキ形成する。メッキ材料には、例えばニッケルを用いる。金属膜３０の膜厚は、例えば１０〜１００μｍである。このときのメッキ浴は、例えば、メッキ膜寸法に影響を及ぼすメッキ膜内部応力制御が容易なスルファミン酸ニッケル浴を用いる。

次いで、図４（Ｃ）に示すように、レジスト像２２及び金属膜３０の上に、フォトレジストを塗布し、露光、現像を行い、印刷パターン図形４４（図３参照）よりやや大きい凹部１２（図２及び図３参照）の内部に相当するレジスト像２４を形成する。

次いで、図４（Ｄ）に示すように、レジスト像２４を介して、エレクトロフォーミング（電鋳法）により、金属膜３０の上に金属膜３２をメッキ形成する。メッキ材料には、例えばニッケルを用いる。金属膜３２の膜厚は、例えば１〜１００μｍである。このときのメッキ浴には、例えば、スルファミン酸ニッケル浴を用いる。

次いで、図４（Ｄ）に示すように、レジスト像２２，２４を、例えば溶媒を用いて除去して凹部１２及びメッシュ孔１４，１５（図３では図示せず），１６を形成し、一体となって残った金属膜３０，３２を基板から取り外し、本体部１１が完成する。

ところで、図２に示すように、図形形成領域の中央に配置される略菱形のメッシュ孔１４のスキージ方向のピッチＰＹ及びスキージ方向と直角方向のピッチＰＸは、図形形成領域のスキージ方向の寸法Ｙ及びスキージ方向と直角方向の寸法Ｘと、図形形成領域の中央に配置される略菱形のメッシュ孔１４のスキージ方向の寸法Ｙ及びスキージ方向と直角方向の寸法Ｘと、メッシュ線部１７，１８の配置角度α及び幅Ｗとを用いて、次の式（１）、（２）で表すことができる。
ＰＸ＝ＡＸ＋Ｗ／ｃｏｓα （１）
ＰＹ＝ＡＹ＋Ｗ／ｓｉｎα （２）

また、図形形成領域の中央に配置される略菱形のメッシュ孔１４のスキージ方向の寸法ＡＹ、スキージ方向と直角方向の寸法ＡＸと角度αとの間には、次の式（３）の関係がある。
ＡＹ＝ＡＸｔａｎα （３）

スクリーン印刷版１０は、上記（１）〜（３）式を用いて設計することができる。次に、設計手順の一例を説明する。

まず、寸法Ｘ，Ｙの略矩形の図形形成領域の中心から略菱形のメッシュ孔１４を配置する。このとき、図形形成領域の中央に配置される略菱形のメッシュ孔１４の寸法ＡＹ，ＡＹ、ピッチＰＸ，ＰＹ、メッシュ線部１７，１８の配置角度α及び幅Ｗは、予め定めた初期値とする。

Ｘ／ＰＸおよびＹ／ＰＹがいずれも奇数のとき、またはＸ／ＰＸおよびＹ／ＰＹがいずれも偶数のとき、例えば図５に示すように、略矩形の図形形成領域の中心には、略菱形のメッシュ孔１４が配置し、略矩形の図形形成領域の中心とメッシュ孔１４の中心とが一致するように配置する。

Ｘ／ＰＸが奇数かつＹ／ＰＹが偶数のとき、またはＸ／ＰＸが偶数かつＹ／ＰＹが奇数のとき、略矩形の図形形成領域の中心には、例えば図２に示すように、メッシュ線部１７，１８の交点を配置する。

次に、略矩形の図形形成領域の中心から、図形形成領域の辺と平行に、略菱形のメッシュ孔１４を、メッシュピッチＰＸおよびＰＹで配置する。Ｘ／ＰＸおよびＹ／ＰＹが整数の場合、図形形成領域の角を除き、図形形成領域の辺に沿って配置される略菱形が分割されたメッシュ孔１６の面積は、中央に配置される菱形のメッシュ孔１４の面積の半分（５０％）になる。

Ｘ／ＰＸおよびＹ／ＰＹが整数で割り切れない場合、角度αを３０〜５５度の範囲内で適宜に設定することにより、図形形成領域の角を除き、図形形成領域の辺に沿って配置される菱形が分割されたメッシュ孔１６の面積が、中央に配置される菱形のメッシュ孔１４の面積の半分（５０％）になるようにする。すなわち、角度αをパラメータとして変更すると、式（１）〜（３）からＰＸ，ＰＹを変更することができるので、Ｘ／ＰＸおよびＹ／ＰＹが整数で割り切れるようにすることができる。

次に、必要に応じて、メッシュピッチＰＹおよびＰＸを変えることにより、Ｘ／ＰＸおよびＹ／ＰＹを整数で割り切れなくして、図形形成領域の角を除き、図形形成領域の辺に沿って配置される略菱形が分割されたメッシュ孔１６の面積が、中央に配置される菱形のメッシュ孔１４の面積の３０〜６０％の範囲となるように調整する。たとえば、ペースト粘度が低い場合には、印刷がにじまないように、面積比が３０％程度の小さめのメッシュ孔１６を、図形形成領域の角を除き、図形形成領域の辺に沿って配置する。一方、ペースト粘度が高い場合、かすれや目詰まりを生じないように、例えば図６に示すように、面積比が６０％程度の大きめのメッシュ孔１６、図形形成領域の角を除き、図形形成領域の辺に沿って配置する。

このとき、例えば、メッシュ線部１７，１８の幅Ｗはそのままで、メッシュ線部１７，１８の配置角度αを変えることによって、式（１）〜（３）を用いて、メッシュピッチＰＹおよびＰＸを変える。

以上のように、スクリーン印刷版１０は、バイアスの網目状のメッシュ配置を基本とし、図形形成領域のエッジ周辺に面積が制御されたメッシュ孔１６が配置されるように、バイアス状のメッシュ配置角度αを３５〜５５度の範囲で任意に設定する。印刷図形寸法に対するメッシュ配置角度αを選定することで、中央部のメッシュ孔１４に対して約３０〜６０％のある一定面積となるようなメッシュ孔１６を、エッジ周辺部に配置することが可能となる。このメッシュ配置角度αの選定によるメッシュ配置方法では、各印刷図形サイズに適応できるような汎用性も兼ね備えており、全ての図形寸法にまた各ペースト種に適用可能である。

この方法に従えば、スクリーン印刷版１０のメッシュ孔１４，１５，１６を形成するために不可欠であるスクリーン印刷版作製用の原版の作製において、原版作製用のデータ作成がシンプルであり、複雑なプログラムも必要とせず、原版作製におけるソフト、ハード面での生産性の負担もほとんどない。

なお、上記のように菱形を基本とするメッシュ孔の代わりに、図形形成領域の中央に円形のメッシュ孔を配置し、図形形成領域の角を除く辺近傍に円弧と弦とで形成される小面積のメッシュ孔を配置することも可能であるが、この場合には、図形領域の角を除く各辺の近傍に配置されるメッシュ孔の面積について、中央の円形のメッシュ孔の面積との比を３０〜６０％の範囲で調整することは、菱形を基本とするメッシュ孔の場合のようには容易でない。

従来のスクリーン印刷版では、印刷パターン形状に合わせて、メッシュ部分のメッシュ孔形状が選ばれており、形状に合わせた同一面積のメッシュ孔が配置されている。これに対し、本発明のスクリーン印刷版では、１個の印刷図形に対してエッジ周辺部と図形中央部で面積の異なるメッシュ孔を設計配置している。メッシュ孔面積の大きさ、比率は、メッシュの配置角度αによって変えることができる。これにより、スクリーン印刷版１０の原版作製の際に不可欠なデータ作成も容易化され、各図形寸法への対応も可能であるなど汎用性の点でも優れている。

従来のスクリーン印刷版では、３０度、４５度等の一定のメッシュ角度を配置したスクリーン紗による印刷版は製造されているが、印刷する図形の配置位置によって印刷する図形のエッジ周辺部に対して配置されるメッシュ孔の面積は様々である。これに対し、本発明のスクリーン印刷版では、全ての印刷図形の周辺部に対するメッシュ孔の面積が、一定の面積比率となるように制御、配置されている。

以上に説明したように、スクリーン印刷版１０は、略矩形の印刷図形の寸法に応じて例えばメッシュ孔の配置角度α等を適宜に選定することにより、（１）印刷ニジミ量の制御、（２）印刷塗布膜の直線性改善、（３）目詰まり防止、（４）原版作製に必要なデータ処理量の簡略化、（４）メッシュ設計の簡略化など、諸問題の解決が可能となった。

すなわち、印刷図形のエッジ周辺部には、通過するペースト量の抑制が可能な孔面積のメッシュ孔を配置しており、また、中央にはペースト供給が十分可能となるような異なる孔面積のメッシュ孔を配置していることから、１個の印刷図形を対象として、印刷エリア毎に適切なペースト抑制とペースト供給制御が可能となる。その結果、印刷ニジミの少ない直線性に優れた印刷図形を得るとともに、ペースト目詰まりや印刷カスレなどを生じない、従来は両立し得なかった２つの印刷特性を兼ね備えたスクリーン印刷版の作製供給が可能となる。また、メッシュ配置は、配置角度を選択するバイアス網状配置であることから、メッシュ設計、原版データ作製は簡易的であり、原版の生産性に優れ、また、どのペースト種、図形サイズにも適用可能であり、汎用性の点でも優れている。

更に、ペーストの印刷特性にあわせて、メッシュ配置角度αを適正化することで、エッジ部に配置されるメッシュ孔の面積を、図形形成領域の中央に配置される菱形のメッシュ孔に対する任意の面積比で約３０〜６０％に設定することが可能となり、あらゆるペーストに対して印刷ニジミ制御が可能となるスクリーン印刷版を提供できる。

なお、本発明は上記した実施の形態に限定されるものではなく、種々変更を加えて実施することが可能である。例えば、スクリーン印刷版１０の設計において、メッシュの配置角度αに加え、略菱形のメッシュ孔１４の寸法ＡＸ又はＡＹや、メッシュ線部１７，１８の幅Ｗを変更してもよい。

スクリーン印刷版の（ａ）要部斜視図、（ｂ）要部平面図である。（従来例）スクリーン印刷版の（ａ）要部平面図、（ｂ）要部断面図である。（実施例）スクリーン印刷版の製造工程の説明図である。（実施例）スクリーン印刷版の使用状態を示す要部斜視図である。（実施例）スクリーン印刷版の要部平面図である。（変形例１）スクリーン印刷版の要部平面図である。（変形例２）

符号の説明

１０，１０ａ，１０ｂスクリーン印刷版
１１本体部
１１ａ，１１ｂ主面
１２凹部
１４メッシュ孔（第１の貫通孔）
１５，１６メッシュ孔（第２の貫通孔）
１７，１８メッシュ線部

Claims

互いに平行な主面を有する平板状の本体部を含み、前記主面の垂直方向から透視したとき、略矩形の図形形成領域内に前記主面間を貫通する複数の貫通孔が形成され、被印刷物に対向する一方の前記主面には、前記図形形成領域及びその周囲に凹部が形成され、前記凹部の側壁と前記図形形成領域の周囲との間には所定の間隔が設けられ、
前記貫通孔は、
前記主面の垂直方向から透視したとき、全ての辺が前記図形形成領域の各辺に対して斜めに延在しかつ対向する頂点間を結ぶ方向が前記図形形成領域の前記辺と略平行又は略直角である略菱形の断面形状を有し、その全体が前記図形形成領域内に配置された第１の貫通孔と、
前記主面に垂直方向から透視したとき、全ての辺が前記図形形成領域の各辺に対して斜めに延在しかつ対向する頂点間を結ぶ方向が前記図形形成領域の前記辺と略平行又は略直角である略菱形が前記図形形成領域の１又は２の前記辺で分割された２つの部分のうち、前記図形形成領域内の前記部分の断面形状を有し、前記図形形成領域の前記各辺近傍に配置された第２の貫通孔と、を含み、
前記第１の貫通孔及び前記第２の貫通孔は、大略、それぞれの辺が一直線上に揃うように等間隔に配置され、
前記主面の垂直方向から透視したとき、前記図形形成領域内には、前記貫通孔の間に、前記図形形成領域の辺に対して斜めに略等間隔で延在しかつ交差する略一定幅のメッシュ線部が形成されることを特徴とする、スクリーン印刷版。
前記主面に垂直方向から透視したとき、スキージ方向の直角方向と前記メッシュ線部とがなす角度が３０度以上かつ５５度以下であり、
前記主面に垂直方向から透視したとき、前記第２の貫通孔の面積が前記第１の貫通孔の面積の３０％以上かつ６０％以下であることを特徴とする、請求項１に記載のスクリーン印刷版。