JP4672173B2 - Laser marking device - Google Patents
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Description
【0001】
【発明の属する技術分野】
本発明は、レーザ光をガルバノスキャナを用いてマーキング対象物上で走査して文字・記号・図形等を印字するガルバノスキャニング式のレーザマーキング装置に関する。
【0002】
【従来の技術】
この種のレーザマーキング装置は、図4に示すように、ケース1内に設けられたレーザ光源から出射されたレーザ光を、ガルバノスキャナ2の備える一対のガルバノミラー3X,3Yによって反射させ、収束レンズ5を通してマーキング対象物W上に照射することで所定の文字・記号・図形等を印字する構成となっている。各ガルバノミラー3X,3Yは、それぞれ駆動モータ4X,4Yによって互いに直交する軸周りに回転駆動され、一方のガルバノミラー3Xが駆動されるとマーキング対象物W上の照射点MPがX軸方向に移動し、もう一方のガルバノミラー3Yが駆動されると照射点MPがY軸方向に移動するようになっている。また、各駆動モータ4X,4Yは、それぞれガルバノマウント6X,6Yによって支持固定されている。垂直方向の回転軸を持つ駆動モータ4Xは水平な平板状をなすガルバノマウント6Xによって保持されており、ガルバノマウント6Xは一端がケース1の壁面にねじ止めされることで片持ち状に固定されている。もう一方の水平方向の回転軸を持つ駆動モータ4Yは垂直な平板状をなすガルバノマウント6Yによって保持されており、このガルバノマウント6Yは、下端部がケース1の底部から延出されたベース部7にねじ止めされることでやはり片持ち状に固定されている。
【0003】
【発明が解決しようとする課題】
上記のようなレーザマーキング装置においては、マーキングの際にガルバノミラーを大きな角度で動作させた場合に、ガルバノミラーに振動が生じることがある。詳しく説明すると、マーキングの過程では、一つの線を印字し終えた後、次に印字する線の開始点までの非印字区間を、レーザ光をオフにした状態で前記の照射点を移動させる。この非印字区間が比較的長い場合には、ガルバノミラーの移動速度が大きくなるため、照射点が非印字区間の終端点に近づいたときに駆動モータに逆方向へ大きな電流を流すことでブレーキを掛けてガルバノミラーを停止させ、その後に次の印字を開始するようにしている。しかし、このようにガルバノミラーを急停止させようとした際に、ガルバノミラーに振動が生じる場合があり、そのままの状態で次の印字を開始すると印字する線が揺れ、印字品質を損なってしまうことがあった。
【0004】
これに対し、従来では、非印字区間の終端点でウェイト時間を設けて、ガルバノミラーの振動が減衰するのを待ってから、次の印字を行う方法が採られていた。しかし、特に、マーキング対象物が極めて小さく、印字する線が細くなるような場合には、振動が十分に減衰するまでのウェイト時間を長く取らねばならず、マーキング作業の高速化の妨げとなっていた。また、大型のガルバノミラーを使用する場合には、ガルバノミラーに生ずる振動がより大きくなるため、やはりウェイト時間を長く取る必要があり、これもマーキング作業の高速化の妨げとなっていた。
【0005】
ところで、前記したレーザマーキング装置において、上記のようにガルバノミラー3X,3Yを急停止させる際に生ずる振動は、従来では、ガルバノミラー3X,3Yが駆動モータ4X,4Yに対して軸周り方向、あるいは軸と直交する方向に振動していることによるものと考えられていた。これらの方向への振動は駆動モータ4X,4Yからガルバノマウント6X,6Yに伝わるが、ガルバノマウント6X,6Yはケース1又はベース部7に片持ち状に固定されているためこれらの方向に対しては振動は生じないはずである。
しかしながら、本願出願人は、ガルバノミラー3X,3Yを急停止した際には、軸方向への振動も生じており、駆動モータ4X,4Yを保持するガルバノマウント6X,6Y自体が軸方向に沿って振動して、この振動が印字品質に悪影響を及ぼす可能性があることを実験によって突き止めた。
【0006】
本発明は、上記事情に鑑みてなされたもので、その目的は、ガルバノミラーに生じる振動を低減することの可能なレーザマーキング装置を提供するところにある。
【0007】
【課題を解決するための手段】
上記の課題を解決するための請求項1の発明に係るレーザマーキング装置は、ガルバノミラーとこのガルバノミラーを軸支して回転駆動可能な駆動モータとを2組備えたガルバノスキャナを用いて、レーザ光源から出射されたレーザ光をマーキング対象物上に走査し、文字・記号・図形等を印字するガルバノスキャニング式のレーザマーキング装置において、
当該レーザマーキング装置は、長方形状のベース部と、当該ベース部上に配置されると共に前記レーザ光源、及び、当該レーザ光源からのレーザ光を前記ベース部の表面に平行な方向で、且つ、前記ベース部の長手方向に対して所定角度だけ傾いた方向に出射する開口部を有するケースと、前記ガルバノスキャナを支持固定するための一対の平板状のガルバノマウントとが設けられ、
前記各ガルバノマウントは、前記駆動モータを保持する保持部を備えると共に、この保持部を挟んで両側位置に設けられた一対の固定部位を備え、
前記各駆動モータはそれぞれ前記ガルバノマウントによって回動軸を互いに直交させる向きに支持固定されると共に、
前記一対のガルバノマウントは、前記ベース部に直交する方向からみて、互いに鋭角をなして配置され、前記一対の固定部位のうちの一方の固定部位同士が互いに組み付けられてこれらのガルバノマウント同士が互いに支持し合い、
前記一対のガルバノマウントのうち一方のガルバノマウントは、前記レーザ光の出射方向に沿って前記ケースと並ぶように配置され、その他方の固定部位が前記ケースに固定され、前記保持部で保持する前記駆動モータの回動軸が前記ベース部に直交し、当該駆動モータに軸支された前記一方のガルバノミラーが、前記開口部からのレーザ光を受ける構成とされ、且つ、当該一方のガルバノマウントの前記一方の固定部位は、前記鋭角をなす先端部分が切り欠かかれており、
他方のガルバノマウントは、前記長手方向に沿って前記ケースと並ぶように配置され、その他方の固定部位が前記ベース部に固定され、前記保持部で保持する前記駆動モータに軸支された前記他方のガルバノミラーが、前記一方のガルバノミラーにて反射したレーザ光を受ける構成とされる、ことを特徴とするレーザマーキング装置。
【0009】
【発明の作用および効果】
請求項1の発明によれば、ガルバノマウントが保持部を挟んで両側位置が固定される、両持ち状に固定されることで、ガルバノマウントを片持ち状に固定した場合に比べ、ガルバノマウントをより強固に固定することができ、ガルバノマウントの振動に起因するガルバノミラーの振動そのものの大きさを低減すると共に、その振動の減衰時間を短縮することができる。これにより、印字品質を低下させることなくウェイト時間を短くすることができるため、マーキング作業の高速化を図ることが可能である。
【0010】
また、一対のガルバノマウント同士が互いに支持し合う構成となっているため、両ガルバノマウントを別々に固定する場合に比べ、簡易な構成にできる。
【0011】
【発明の実施の形態】
次に本発明の一実施形態について図1及び図2を参照して説明する。
図1は、本実施形態のガルバノスキャニング式のレーザマーキング装置を示している。符号10は、ケースであり、4枚の金属板を張り合わせることで上下方向に延びる角筒状に形成されている。このケース10の底面部分からは、金属板からなるベース部11が水平に延出している(ケース10及びベース部11は、本発明の「静止部位」に相当)。ケース10の上部には、半導体レーザ12(本発明の「レーザ光源」に相当)が設けられており、ここからレーザ光が下方へ向けて出射されるようになっている。
【0012】
半導体レーザ12より出射されたレーザ光は、ケース10内に配されたコリメータレンズ13、平凹シリンドリカルレンズ14、及び平凸シリンドリカルレンズ15を通過して、ケース10下部に設けられた反射ミラー17によって水平方向に反射される。その反射光は、ケース10下部に設けられた収束レンズ18によって徐々に収束されながら、ケース10の壁面に設けられた開口部19よりケース10の外部へ出射する。
【0013】
ベース部11の上面には、以下に述べるガルバノスキャナ23が設けられており、開口部19より出射したレーザ光はガルバノスキャナ23の備える一対のガルバノミラー24X,24Yによって順に反射される。ベース部11には、保護ガラス22の装着された円形の窓部21が設けられており、ガルバノミラー24Yからの反射光は保護ガラス22を通過して、ベース部11の下方に配されるマーキング対象物W上で焦点を結ぶようになっている。
【0014】
ガルバノスキャナ23は、一対のガルバノミラー24X,24Yと、それぞれのガルバノミラー24X,24Yを軸支して回転駆動な一対の駆動モータ25X,25Yとを備えて構成されている。両駆動モータ25X,25Yは、同一形状をなしており、図2に一方の駆動モータ25Xを示したように、円筒形の本体部分からその中心軸に沿って一方へ同じく円筒形の細径部26が突出されている。細径部26からは、さらにその中心軸に沿って回転軸が突設され、その先端部にガルバノミラー24X,24Yが取りつけられている。
【0015】
ガルバノミラー24X及び駆動モータ25Xは、後述するガルバノマウント28Xによって、ガルバノミラー24X側を下に向けて回転軸を垂直方向にした姿勢で支持固定される。もう一方のガルバノミラー24Y及び駆動モータ25Yは、ガルバノマウント28Yによって回転軸を水平にした姿勢で支持固定される。一方のガルバノミラー24Xが駆動されると、マーキング対象物W上の照射点MPが一方向(X軸方向)に移動し、もう一方のガルバノミラー24Yが駆動されると照射点MPが先とは直交方向(Y軸方向)に移動される。
【0016】
ガルバノマウント28X,28Yは、共に金属部材から形成され、図1及び図3に示すように、所定の厚さ寸法を有する平板状をなしている。一方のガルバノマウント28Xは、水平姿勢をなしており、一端部28A(本発明の「固定部位」に相当)が、その端面をケース10の壁面に突き合わせた状態で、その壁面の裏側から一対のねじ31を締め付けることでケース10に固定されている。また、この一端部28Aとは反対側の端部には突出部28B(本発明の「固定部位」に相当)が設けられており、この突出部28Bは、次に述べるもう一方のガルバノマウント28Yの上面にねじ33によって固定されている。また、ガルバノマウント28Xには、一端部28Aと突出部28Bとの間に挟まれた位置に、厚み方向に開口する保持孔34(本発明の「保持部」に相当)が設けられており、ここにはガルバノマウント28Xの細径部26を差し込み可能となっている。保持孔34の孔縁部には径方向に切り込み35が設けられ、突出部28B側の端面より切り込み35の一方の縁部を貫通して他方の縁部のねじ孔(図示せず)に螺合するねじ37が取りつけられている。このねじ37を締め付けることで切り込み35付近の部位が保持孔34を狭めるように僅かに弾性変形されて、保持孔34に差し込まれた駆動モータ25Xの細径部26を保持することができるようになっている。
【0017】
一方のガルバノマウント28Yは、垂直姿勢をなしており、その下部28C(本発明の「固定部位」に相当)が、その底面をベース部11の上面に突き合わせた状態で、ベース部11の下側から一対のねじ38を締め付けることによってベース部11に固定されている。また、ガルバノマウント28Yの上部28D(本発明の「固定部位」に相当)は、前記のようにガルバノマウント28Xの突出部28Bにねじ止め固定されている。また、ガルバノマウント28Yには、上部28Dと下部28Cとの間に挟まれた位置に、厚み方向に貫通する保持孔39(本発明の「保持部」に相当)が設けられており、前記の保持孔34と同様に、径方向に切り込み41が設けられ、さらに上面より切り込み41の一方の縁部を貫通して他方の縁部のねじ孔(図示せず)に螺合するねじ42が取りつけられている。このねじ42を締め付けることで切り込み41付近の部位が保持孔39を狭めるように僅かに弾性変形して、保持孔39に差し込まれた駆動モータ25Yの細径部(図示せず)を保持することができるようになっている。
【0018】
上記の構成によれば、ガルバノマウント28Xは、駆動モータ25Xを保持する保持孔34を挟んで両側に位置にする一端部28A及び突出部28Bがケース10又はもう一方のガルバノマウント28Yに固定されている。また、もう一方のガルバノマウント28Yについても、駆動モータ25Yを保持する保持孔39を挟んで両側に位置する上部28D及び下部28Cがガルバノマウント28X又はベース部11に固定されている。このように、ガルバノマウント28X,28Yが両持ち状に固定されることで、従来のように、ガルバノマウントを片持ち状に固定した場合に比べ、ガルバノマウント28X,28Yをより強固に固定することができ、ガルバノマウント28X,28Yの振動に起因するガルバノミラー24X,24Yの振動の大きさを低減すると共に、その振動の減衰時間を短縮することができる。これにより、印字品質を低下させることなくウェイト時間を短くすることができるため、マーキング作業の高速化を図ることが可能である。
【0019】
また、一対のガルバノマウント28X,28Yは、それぞれ一方の固定部位(突出部28B,上部28D)が互いに組み付けられて、両ガルバノマウント28X,28Yが互いに支持し合う構成となっているため、両ガルバノマウント28X,28Yをケース10やベース部11に別々に固定する場合に比べて、簡単な構成にできる。
【0020】
本発明の技術的範囲は、上記した実施形態によって限定されるものではない。
【図面の簡単な説明】
【0001】
【図1】本実施形態のレーザマーキング装置の一部切欠正面図
【図2】ガルバノミラー及び駆動モータの正面図
【図3】ガルバノマウントの取付構造を示す斜視図
【図4】従来のレーザマーキング装置を示す斜視図
【符号の説明】
10…ケース(静止部位)
11…ベース部(静止部位)
12…半導体レーザ(レーザ光源)
23…ガルバノスキャナ
24X,24Y…ガルバノミラー
25X,25Y…駆動モータ
28A…一端部(固定部位)
28B…突出部(固定部位)
28C…下部(固定部位)
28D…上部(固定部位)
28X,28Y…ガルバノマウント
W…マーキング対象物[0001]
BACKGROUND OF THE INVENTION
The present invention relates to a galvano scanning type laser marking apparatus that scans a marking object using a galvano scanner and prints characters, symbols, figures, and the like.
[0002]
[Prior art]
As shown in FIG. 4, this type of laser marking apparatus reflects a laser beam emitted from a laser light source provided in a case 1 by a pair of
[0003]
[Problems to be solved by the invention]
In the laser marking apparatus as described above, when the galvanometer mirror is operated at a large angle during marking, the galvanometer mirror may vibrate. More specifically, in the marking process, after the printing of one line, the irradiation point is moved in the non-printing section to the start point of the next printing line with the laser light turned off. When this non-printing section is relatively long, the moving speed of the galvano mirror increases, so that when the irradiation point approaches the end point of the non-printing section, a large electric current is applied to the drive motor in the reverse direction to apply the brake. To stop the galvano mirror and then start the next printing. However, when the galvanometer mirror is suddenly stopped in this way, the galvanometer mirror may vibrate, and if the next printing is started as it is, the printed line will be shaken and the print quality will be impaired. was there.
[0004]
On the other hand, conventionally, a wait time is provided at the end point of the non-printing section, and the next printing is performed after waiting for the vibration of the galvano mirror to attenuate. However, especially when the object to be marked is extremely small and the line to be printed becomes thin, it is necessary to take a long wait time until the vibration is sufficiently attenuated, which hinders the speeding up of the marking operation. It was. In addition, when a large galvanometer mirror is used, since the vibration generated in the galvanometer mirror becomes larger, it is necessary to take a longer wait time, which also hinders the speeding up of the marking operation.
[0005]
By the way, in the laser marking device described above, the vibration that occurs when the
However, when the applicant of the present invention suddenly stops the
[0006]
This invention is made | formed in view of the said situation, The objective is to provide the laser marking apparatus which can reduce the vibration which arises in a galvanometer mirror.
[0007]
[Means for Solving the Problems]
A laser marking device according to the invention of claim 1 for solving the above-described problem is achieved by using a galvano scanner including a galvano mirror and two sets of drive motors that can rotate and support the galvano mirror. In the galvano-scanning laser marking device that scans the laser beam emitted from the light source onto the marking object and prints characters, symbols, figures, etc.
The laser marking device is disposed on the base portion having a rectangular shape, the laser light source, and the laser light from the laser light source in a direction parallel to the surface of the base portion, and a case having an opening for emitting the direction inclined by a predetermined angle to the longitudinal direction of the base portion, and a pair of plate-like galvanometer mount is provided for supporting and fixing the optical scanner,
Each of the galvano mounts includes a holding portion that holds the drive motor, and includes a pair of fixing portions provided on both sides of the holding portion,
Each of the drive motors is supported and fixed by the galvano mount so that the rotation axes are orthogonal to each other,
The pair of galvano mounts are arranged at an acute angle when viewed from a direction perpendicular to the base portion, and one of the pair of fixing parts is assembled to each other so that the galvano mounts are mutually attached. Support each other,
One galvano mount of the pair of galvano mounts is arranged so as to be aligned with the case along the emission direction of the laser beam, and the other fixing portion is fixed to the case and is held by the holding portion. The rotational axis of the drive motor is orthogonal to the base portion, the one galvano mirror supported by the drive motor is configured to receive the laser light from the opening, and the galvano mount of the one galvo mount The one fixed part is cut off at the tip part forming the acute angle,
The other galvano mount is arranged so as to be aligned with the case along the longitudinal direction, and the other fixing portion is fixed to the base portion and is pivotally supported by the drive motor held by the holding portion. galvanometer mirror is configured to receive the laser light reflected by the one of the galvanometer mirror, a laser marking device, characterized in that.
[0009]
Operation and effect of the invention
According to the first aspect of the present invention, the galvano mount is fixed in a double-sided manner in which the positions of both sides of the galvano mount are fixed across the holding portion. It can be fixed more firmly, and the magnitude of the vibration of the galvano mirror itself caused by the vibration of the galvano mount can be reduced and the attenuation time of the vibration can be shortened. As a result, the wait time can be shortened without degrading the print quality, so that the marking operation can be speeded up.
[0010]
Moreover, since it becomes the structure which a pair of galvano mounts mutually support, it can be set as a simple structure compared with the case where both galvano mounts are fixed separately.
[0011]
DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION
Next, an embodiment of the present invention will be described with reference to FIGS.
FIG. 1 shows a galvano scanning type laser marking apparatus of the present embodiment.
[0012]
Laser light emitted from the
[0013]
A
[0014]
The
[0015]
The
[0016]
The galvano mounts 28X and 28Y are both made of a metal member and have a flat plate shape having a predetermined thickness as shown in FIGS. One
[0017]
One galvano mount 28 </ b> Y has a vertical posture, and a lower portion 28 </ b> C (corresponding to a “fixed portion” of the present invention) has its bottom face abutted against the upper surface of the
[0018]
According to the above configuration, the
[0019]
The pair of galvano mounts 28X and 28Y has a structure in which one fixed portion (projecting
[0020]
The technical scope of the present invention, have name intended to be limited to the embodiments described above.
[Brief description of the drawings]
[0001]
FIG. 1 is a partially cutaway front view of a laser marking device of the present embodiment. FIG. 2 is a front view of a galvano mirror and a drive motor. FIG. 3 is a perspective view showing a mounting structure of a galvano mount. Perspective view showing the device 【Explanation of symbols】
10 ... Case (stationary part)
11 ... Base part (stationary part)
12. Semiconductor laser (laser light source)
23 ...
28B ... Projection (fixed part)
28C ... Lower part (fixed part)
28D ... Upper part (fixed part)
28X, 28Y ... Galvano mount W ... Marking object
Claims (1)
当該レーザマーキング装置は、長方形状のベース部と、当該ベース部上に配置されると共に前記レーザ光源、及び、当該レーザ光源からのレーザ光を前記ベース部の表面に平行な方向で、且つ、前記ベース部の長手方向に対して所定角度だけ傾いた方向に出射する開口部を有するケースと、前記ガルバノスキャナを支持固定するための一対の平板状のガルバノマウントとが設けられ、
前記各ガルバノマウントは、前記駆動モータを保持する保持部を備えると共に、この保持部を挟んで両側位置に設けられた一対の固定部位を備え、
前記各駆動モータはそれぞれ前記ガルバノマウントによって回動軸を互いに直交させる向きに支持固定されると共に、
前記一対のガルバノマウントは、前記ベース部に直交する方向からみて、互いに鋭角をなして配置され、前記一対の固定部位のうちの一方の固定部位同士が互いに組み付けられてこれらのガルバノマウント同士が互いに支持し合い、
前記一対のガルバノマウントのうち一方のガルバノマウントは、前記レーザ光の出射方向に沿って前記ケースと並ぶように配置され、その他方の固定部位が前記ケースに固定され、前記保持部で保持する前記駆動モータの回動軸が前記ベース部に直交し、当該駆動モータに軸支された前記一方のガルバノミラーが、前記開口部からのレーザ光を受ける構成とされ、且つ、当該一方のガルバノマウントの前記一方の固定部位は、前記鋭角をなす先端部分が切り欠かかれており、
他方のガルバノマウントは、前記長手方向に沿って前記ケースと並ぶように配置され、その他方の固定部位が前記ベース部に固定され、前記保持部で保持する前記駆動モータに軸支された前記他方のガルバノミラーが、前記一方のガルバノミラーにて反射したレーザ光を受ける構成とされる、ことを特徴とするレーザマーキング装置。Using a galvano scanner equipped with two sets of galvano mirrors and a drive motor that can be driven to rotate by supporting the galvano mirrors, the laser light emitted from the laser light source is scanned onto the marking object, and characters, symbols, In the galvano scanning laser marking device that prints figures, etc.
The laser marking device is disposed on the base portion having a rectangular shape, the laser light source, and the laser light from the laser light source in a direction parallel to the surface of the base portion, and a case having an opening for emitting the direction inclined by a predetermined angle to the longitudinal direction of the base portion, and a pair of plate-like galvanometer mount is provided for supporting and fixing the optical scanner,
Each of the galvano mounts includes a holding portion that holds the drive motor, and includes a pair of fixing portions provided on both sides of the holding portion,
Each of the drive motors is supported and fixed by the galvano mount so that the rotation axes are orthogonal to each other,
The pair of galvano mounts are arranged at an acute angle when viewed from a direction perpendicular to the base portion, and one of the pair of fixing parts is assembled to each other so that the galvano mounts are mutually attached. Support each other,
One galvano mount of the pair of galvano mounts is arranged so as to be aligned with the case along the emission direction of the laser beam, and the other fixing portion is fixed to the case and is held by the holding portion. The rotational axis of the drive motor is orthogonal to the base portion, the one galvano mirror supported by the drive motor is configured to receive the laser light from the opening, and the galvano mount of the one galvo mount The one fixed part is cut off at the tip part forming the acute angle,
The other galvano mount is arranged so as to be aligned with the case along the longitudinal direction, and the other fixing portion is fixed to the base portion and is pivotally supported by the drive motor held by the holding portion. The galvanometer mirror is configured to receive the laser beam reflected by the one galvanometer mirror .
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Families Citing this family (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2008298857A (en) * | 2007-05-29 | 2008-12-11 | Hitachi Via Mechanics Ltd | Scanner device and laser machining device |
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Family Cites Families (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6098119U (en) * | 1983-12-05 | 1985-07-04 | シャープ株式会社 | Galvanometer mirror fixed position adjustment device |
| JPH0278917U (en) * | 1988-12-02 | 1990-06-18 | ||
| JPH02138087U (en) * | 1989-04-20 | 1990-11-19 | ||
| JP2511375B2 (en) * | 1993-06-30 | 1996-06-26 | ミヤチテクノス株式会社 | Laser marking device and optical scanner mounting method |
| JPH1068901A (en) * | 1996-08-29 | 1998-03-10 | Olympus Optical Co Ltd | Two-dimensional scanner device |
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