JP4704181B2 - 浸漬処理装置 - Google Patents

Description

本発明は、電気めっき装置等のように、めっき液などの処理液を貯留可能な処理槽を備えた浸漬処理装置に関し、特に、ワークを垂直状態で保持して、ワークを昇降させることなく浸漬槽に導入又は搬出する浸漬処理装置において、処理槽のワーク搬送方向の前部及び／又は後部に、ワークが通過可能な開口部を有するゲート装置を開閉可能に設けている浸漬処理装置に関する。

従来、前記のようなゲート装置を有する浸漬処理槽を備えた浸漬処理装置としては、特許文献１及び２に記載されているような電気めっき装置が知られている。特許文献１及び２の浸漬処理装置は、隣り合う処理槽間に形成された槽壁に、板状ワークが縦向きに通過可能な開口部を有するゲート機構を備えており、該ゲート機構は、板状のゲート板をスライド可能に備え、モータ及び減速ギヤ機構を有する駆動機構等により前記ゲート板を機械的にスライドし、開口部を開閉するように構成されている。また、特許文献１には、板状のゲート板を、スライド方式に他に、回動方式で開閉する構造も記載されている。
特開２００４−９９９５７号公報 特開２００２−３２７２９６号公報

特許文献１及び２のゲート機構のように、板状のゲート板を機械的にスライドし、あるいは回動して開閉する構造では、ゲート機構の部品点数が多くなると共に、シール構造も複雑化し、また、ゲート板の可動部分（スライド部分等）が処理液に常時接触することから、耐久性にも問題が生じる。さらに、ゲート板の着脱が困難であることにより、メンテナンスにも手間がかかる。また、スライド方式や回動方式で開閉する場合、ゲートの開閉時間がかかる上、処理液の注入に時間を要するため、１つの板状ワークを搬送した後に、次の板状ワークを搬送するために開くまでに、約３０秒程の時間が必要であった。

本発明の目的は、電気めっき装置等の浸漬処理装置において、構造が簡単、かつ、メンテナンスも容易で、耐久性の高いゲート装置を有する浸漬処理装置を提供することである。

前記課題を解決するため、請求項１記載の発明は、処理液が貯留可能な処理槽を備えた浸漬処理装置において、前記処理槽のワーク搬送方向の前部及び／又は後部に、ワークが通過可能な開口部を有するゲート装置を開閉可能に設け、該ゲート装置は、気体又は液体を圧入又は排出することにより、膨張又は収縮して前記開口部を開閉する袋状ゲート部材を備えている。

上記構成によると、従来のように、ワークを垂直状態で保持して、ワークを昇降させることなく浸漬槽に導入又は搬出できることはもとより、板状のゲート部材をスライドあるいは回動により、機械的に開閉させるゲート装置に比べ、部品点数を削減して構造を簡素化できると共に、シール構造も簡素化でき、また、メンテナンスも容易に行える。さらに、一連のゲートの開閉を、たとえば１５秒程度の短時間で行えるようになり、所定時間に搬送できるワーク数を増やすことができ、装置の生産性を高めることができる。

請求項２記載の発明は、請求項１記載の浸漬処理装置において、前記ゲート装置は、気体又は液体を圧入することにより膨張して前記開口部を閉じ、気体又は液体を排出することにより収縮して前記開口部を開く袋状ゲート部材を備えている。

上記構成のように、袋状ゲート部材を膨張させることにより開口部を閉じる構造であると、袋状ゲート部材の柔軟性を利用して開口部を簡単な構造で確実にシールすることができる。

請求項３記載の発明は、請求項１又は２記載の浸漬処理装置において、前記開口部の周囲に、袋状ゲート部材を収納するゲート部材収納部を形成し、該ゲート部材収納部と前記開口部との間に、膨張時に前記袋状ゲート部材が開口部内に突出可能なスリットを形成している。

上記構成によると、膨張時、袋状ゲート部材を、スリットを通して確実に開口部内に突出させ、開口部を閉じることができる。

請求項４記載の発明は、請求項１乃至３のいずれかに記載の浸漬処理装置において、前記ゲート装置は、前記処理槽の槽壁に設けられている。

上記構成により、部品点数を削減して構造を簡素化できると共に、シール構造も簡素化でき、メンテナンスも容易に行える。

請求項５記載の発明は、請求項１乃至４のいずれかに記載の浸漬処理装置において、前記ゲート装置は、前記処理槽のワーク搬送方向の前及び／又は後に設けられたボックス槽の槽壁に設けられている。

上記構成によると、ゲート装置を開閉した際に処理液が周囲に飛び散ったりすることを防止できると共に、たとえば、厚さ０．１mm以下という薄いワークを処理する場合にも、安全に処理槽内に浸漬することができる。

請求項６記載の発明は、請求項５記載の浸漬処理装置において、前記ボックス槽の底部に、排出口栓を開閉可能に設けている。

上記構成によると、処理槽内の処理液を、ポンプを用いることなく、所望の時期に、速やかに排出することができ、処理作業の能率が向上する。

要するに発明によると、浸漬処理装置において、構造が簡単で、かつ、シールもし易く、かつ、耐久性のあるゲート装置を提供することができる。

［第１の実施の形態］
図１〜図１３は、本発明にかかるゲート装置を備えた浸漬処理装置の一例を示し、電気めっき装置に適用した例である。

（めっき装置全体の概略）
図１は電気めっき装置全体の平面図であり、概ね長円形状に構成されためっき処理ライン上には、処理ラインの長手方向の一端部（図１の右端部）のロード部１０から、矢印Ｆ方向（時計回り方向）に、前処理工程の前処理槽（シャワー槽）１１、空ステージ１２、ボックス槽１３、電気めっき工程のめっき槽１４、後処理工程のボックス槽１５、空ステージ１６、第１の後処理槽（シャワー槽）１７、長手方向の他端部の第２の後処理槽（回収槽）１８、アンロード部１９、剥離工程（ハンガー戻し工程）の空ステージ２０、ボックス槽２１、剥離槽２２、ボックス槽２３、空ステージ２４及び剥離後処理槽（シャワー室）２５を順次備えている。浸漬処理槽であるめっき槽１４及び剥離槽２２のワーク搬送方向の前後には、それぞれボックス槽１３、１５、２１、２３が隣接しており、ボックス槽１３、２１の出口は、めっき槽１４及び剥離槽２２の入口を兼ねており、ボックス槽１５、２３の入口はめっき槽１４及び剥離槽２２の出口を兼ねている。

前記めっき処理ラインの内周側に長円形状にガイドレール２７が敷設され、該ガイドレール２７には、多数の搬送ハンガー２８がレール長方向移動可能に支持されている。

ガイドレール２７の内周側には、搬送ハンガー２８を水平方向に移動させるために、複数の独立した搬送装置３１、３２、…、４０が配置されている。該搬送装置３１、３２、…、４０のうち、各ボックス槽１３、１５、２１、２３に対応する位置には、リニアアクチュエータ型往復動式の取込搬送装置３１、３２、３３、３４がそれぞれ配設されている。前処理工程の前処理槽１１及び空ステージ１２に対応する位置と、めっき槽１４に対応する位置と、後処理工程の空ステージ１６及び第１の後処理槽１７に対応する位置と、剥離工程の空ステージ２０に対応する位置と、剥離槽２２に対応する位置と、空ステージ２４及び剥離後処理槽２５に対応する位置には、それぞれチェーンコンベア型の連続搬送装置３５、３６、３７、３８、３９、４０が配設されている。また、後処理工程の第１の後処理槽１７から第２の後処理槽１８を経てアンロード部１９に至る間と、剥離後処理槽２５からロード部１０を経て前処理槽１１に至る間には、図示しないが搬送ハンガーを押し動かすプッシャー装置が配置されている。図１において、二重線の矢印で示す各区間Ａ１〜Ａ６は、チェーンコンベア型の連続搬送装置３５、３６、３７、３８、３９、４０による搬送区間を示し、破線の矢印で示す各区間Ｂ１〜Ｂはリニアアクチュエータ型の取込搬送装置３１、３２、３３、３４による搬送区間を示し、実線で示す区間Ｃ１、Ｃ２、Ｃ３、Ｃ４は、プッシャー装置による搬送区間を示している。

図２は、図１のめっき槽１４、後処理工程のボックス槽１５、空ステージ１６及び第１の後処理槽１７の縦断面拡大略図であり、これらめっき槽１４、ボックス槽１５、空ステージ及び第１の後処理槽１７は、一定高さの架台４２上に載置されており、架台４２内には予備槽４３が配置されている。ボックス槽１５の上方には図示しない架台を介して所定容積のカラム槽４７が配設されている。

ボックス槽１５の底壁には、開閉可能な排出口栓４６が設けられており、該排出口栓４６には、該排出口栓４６を開閉駆動するための操作部４６ａが設けられている。予備槽４３とカラム槽４７との間には配管４８が配設され、該配管４８には、予備槽４３からカラム槽４７へめっき液（処理液）を導入するためのポンプ４９及びフィルター５０が設けられている。カラム槽４７の底部には、ボックス槽１５に上方から処理液を供給可能な排出口栓５１が開閉可能に設けられている。

予備槽４３とめっき槽１４の間には２つの配管５５、５６が並設されており、いずれの配管５５、５６にも予備槽４３からめっき槽１４へめっき液を供給するためのポンプ５７、５９及びフィルター５８、６０が設けられている。一方の配管５５はボックス槽１５のゲートが開閉した際に、めっき槽１４の液面を所定高さに維持するためのものであり、他方の配管５６はめっき液循環用である。また、空ステージ１６の底部には予備槽４３へめっき液を排出するための排出管４４が設けられ、さらにめっき槽１４には、オーバーフローするめっき液を予備槽４３に排出するためのオーバーフロー管６１も設けられている。

（搬送ハンガー）
図３は搬送ハンガー２８の図２のIII-III断面拡大図であり、搬送ハンガー２８は、前記ガイドレール２７にガイドレール長さ方向移動自在に支持された移動基台６３と、該移動基台６３からガイドレール２７と略直角方向に水平に延びるアーム部６４と、該アーム部６４の先端部から下方に延びるワーク吊持部６５から構成されており、ワーク吊持部６５の下端部には、吊持ピン６６及びクランプ６７が設けられている。前記吊持ピン６６にワーク（たとえば回路用基板）Ｗの上端部の係合孔を係合し、クランプ６７により脱落不能に保持するようになっている。吊持されたワークＷは、吊持部６５及び図示しないが適宜の電導機構を介してガイドレール２７に電気的に接続されており、ガイドレール２７から電気が供給されるようになっている。移動基台６３の上面には、アーム部６４と反対方向に水平に延びる支軸７０が固着され、該支軸７０には、スプロケット７１がワンウエイクラッチ７２を介して一方向へのみ回転するように支持されている。具体的には、図２において、前記スプロケット７１は、矢印Ｒ方向には回転するが、反矢印Ｒ方向には回転しないように構成されている。

（搬送装置）
図２において、チェーンコンベア型の連続搬送装置３６、３７は、駆動スプロケット７３と、従動スプロケット７４と、両スプロケット７３、７４間に巻き掛けられた搬送チェーン７５（図３）とから構成されており、搬送チェーン７５の上側走行部分に、前記搬送ハンガー２８のスプロケット７１が係合するようになっている。搬送ハンガー２８は、前述のように、ワンウエイクラッチ７２（図３）を備えていることにより、搬送チェーン７５に係合した状態で、図２の矢印Ｆ方向へ搬送チェーン７５の上側部分と共に移動するようになっている。

図２において、リニアアクチュエータ型の取込搬送装置３２は、ガイドレール２７と並行に配置されたガイド部７６に、スライダー７７が、ガイドレール２７と平行に移動可能に支持されており、該スライダー７７は、図示しないがガイド部７６に備えられたねじ送り機構及びサーボモータ等により、ガイド部７６を往復移動するようになっている。

図４は図２のIV-IV断面拡大図であり、前記スライダー７７には、搬送ハンガー２８側へ略水平に延びる支軸７８が固着されており、該支軸７８には下方に延びる取込爪７９が支軸７８回り回動可能に支持されている。前記取込爪７９は、図示しないストッパーにより、図２に示す状態に、反矢印Ｓ方向側から係止されており、搬送ハンガー２８の支軸７０に反矢印Ｆ方向側から係合し、スライダー７７の矢印Ｆ方向への移動により、取込爪７９を介して搬送ハンガー２８を矢印Ｆ方向に移動するようになっている。なお、スライダー７７が搬送ハンガー２８に対して反矢印Ｆ方向側に移動する時には、取込爪７９は、矢印Ｓ方向に回動して搬送ハンガー２８の支軸７８を乗り越えるようになっている。

（ゲート装置）
図５は、後処理工程のボックス槽１５並びにその前後のめっき槽１４及び空ステージ１６の平面拡大図であり、前記ボックス槽１５には、矢印Ｆ方向（ワーク搬送方向）と直交する方向に所定間隔を置いて、左右一対のボックス部１５ａが配置され、左右のボックス部１５ａ間を、ワークＷが通過するようになっている。めっき槽１４とボックス槽１５との間のめっき槽壁（ボックス槽１５の入口の槽壁を兼ねる槽壁）８２、並びにボックス槽１５と空ステージ１６との間のボックス槽出口のボックス槽壁８３にゲート装置８４、８５がそれぞれ設けられている。ボックス部１５ａを備えることで、ボックス槽１５へ供給される液量が少なくなり、ゲート装置８４を開閉した際のめっき液の変動を少なくできると共に、ボックス槽１５へ供給されためっき液の排出時間を短縮することができる。

図６は図５のVI-VI断面図、図７はゲート装置８４単体の図５のVI-VI断面図、図８は図７のVIII-VIII断面図であり、図７のように、前記ゲート装置８４は、略長方形状のゲート本体９０と、該ゲート本体９０内に収納された膨張収縮自在な袋状ゲート部材９１とを備えており、ゲート本体９０の左右幅の中央部には、上下方向に延びる略垂直なスリット状の開口部８８が形成されている。記ゲート本体９０は、図６のように、複数のボルト９２及びナットにより、めっき槽壁８２に液密状態に固着されている。開口部８８は、ワークＷが縦向き姿勢で通過できるように、ワークＷの厚みよりも大きい左右幅を有し、開口部８８の上端部には、搬送ハンガー２８の吊持部６５及びクランプ６７が通過しうるように、上向きに広がる逆三角形状の拡大部８９が形成されている。上向きに広がる拡大部８９の逆三角形状としては、開口部８８の上端位置の頂点の角度を、できるだけ鋭角にすることが好ましい。たとえば、２０〜６０度とすることができる。前記角度が鋭角になり過ぎると、クランプ６７と接触するおそれがあり、角度が広くなり過ぎると、後述するように袋状ゲート部材９１に空気を圧入して膨張させる際に、開口部８８の上端部での液シール性が低下するおそれがある。

ゲート本体９０の右側端及び左側端の上端部には、それぞれ空気入口管９４及び空気出口管９５が設けられ、空気入口管９４は空気ポンプ９６に接続されると共に、袋状ゲート部材９１の一方の端部に接続し、空気出口管９５は袋状ゲート部材９１の他端部に接続されると共に、開閉バルブ９７を介してたとえば大気に連通している。空気入口管９４及び空気出口管９５に対して、袋状ゲート部材９１は、少し引っ張ってテンションをかけた状態で取り付けられている。

図９はゲート装置８４の分解斜視図であり、ゲート本体９０は、前後一対の板状部材９０ａ、９０ｂを複数のボルト１００（一部のみ図示）及びナット１０１（一部のみ図示）で張り合わせることにより構成されており、両板状部材９０ａ、９０ｂの合わせ面には、開口部８８及び拡大部８９の左右両側に沿ってゲート部材収納溝９８ａ、９８ｂが形成されており、前後のゲート部材収納溝９８ａ、９８ｂを合わせることより、ゲート部材収納部９８を構成している（図８）。ゲート部材収納部９８は、開口部８８の下側で左右が略円弧状につながり、また、各拡大部８９の上端部で左右に水平に延び、左右端が開口し、左右の開口部分に前記空気出口管９５及び空気入口管９４が固定されている。

袋状ゲート部材９１を取り換える際には、ゲート部材収納部９８から古くなった袋状ゲート部材９１を引き抜いて、新しい袋状ゲート部材と取り換えても良く、ゲート本体９０を取り外して分解し、袋状ゲート部材９１を取り換えた後、再度ゲート本体９０を組み立ててめっき槽壁８２に取り付けてもよい。

前記開口部８８の下側で略円弧状につながっている部分は、開口部８８付近では、開口部８８の両側に設けられたゲート部材収納部９８とできる限り平行に近い状態とすることが好ましく、たとえば、角度θ１は最大でも４５度とすることが好ましい、これは、袋状ゲート部材９１が膨張した際の開口部８８の下端部での液シール性を高めるためである。

ゲート部材収納部９８内に収納される袋状ゲート部材９１として、たとえば耐蝕性を有するゴム状弾性体のチューブを利用しており、袋状ゲート部材９１は、概ね前記ゲート部材収納部９８に対応する形状に形が整えられ、ゲート部材収納部９８に収納されている。袋状ゲート部材９１は、開閉バルブ９７を閉じた状態で前記空気ポンプ９６から空気入口管９４を介して空気が圧入されることにより膨張し、一方、開閉バルブ９７を開いて、空気出口管９５から空気が排出されることにより収縮する。

袋状ゲート部材９１の材質としては、樹脂であれば特に制限はないが、耐薬品性、繰り返し伸縮することに耐える耐久性、伸縮性、膨張時にゲート本体９０や後述するスリット１０２（図１０）との摩擦による摩耗に耐える耐摩耗性及び表面の滑らかさ等を考慮して決定することが好ましい。例えば、酸性、アルカリ性の処理液を貯める浸漬槽に用いる場合は、ＥＰＤＭ、４フッ化エチレン樹脂、ポリエチレン、ポリプロピレン、軟質塩化ビニル、天然ゴムなどが採用できる。水洗槽などの水を貯める浸漬槽には更にアメゴムを採用することもできる。

図１０は図７のX-X断面拡大図であり、この図１０において、袋状ゲート部材９１の外径は、後述するスリット１０２の幅や閉口部８８の幅に応じて適宜選択可能であるが、袋状ゲート部材９１の外径を小さくし過ぎると、閉口部８８の幅を小さくしなければ液シール性を高めることができず、閉口部８８を通過するプリント基板等のワークがゲート装置８４に接触して傷が付くおそれがある。一方、袋状ゲート部材９１の外径を大きくし過ぎると、大容量の空気ポンプを用いなければならない他、ゲート装置８４の前後幅が大きくなるなど、装置として過大化する。例えば、ワークＷがプリント基板である場合、１０〜３０mmとすることができる。なお、上記袋状ゲート部材９１の外径は、閉口部８８の幅が大きくなればそれに伴って大きくし、閉口部の８８が小さくなければそれに伴って小さくすることができる。

ゲート部材収納部９８は、断面形状が左右に長い長円形状に形成されており、ゲート部材収納部９８の開口部側の端部には、ゲート部材収納部９８の長さ方向に沿って、ゲート部材収納部９８の前後幅よりも狭いスリット１０２が形成され、該スリット１０２を介してゲート部材収納部９８内と開口部８８とが連通している。

図１０に示す横断面でのゲート部材収納部９８の形状は、角部を有さない形状にすることが好ましい。これにより、袋状ゲート部材９１の耐久性を高めることができる。具体的には、円弧、楕円弧、放物線などを組み合わせてできる形状とすることができ、円形、楕円形、円弧や楕円弧と放物線とを組み合わせてできる卵形などが挙げられる。特には、楕円形、卵形（但し、尖った方にスリットを設ける）が好ましく、これによって袋状ゲート部材９１が確実にスリット１０２から突出できるようになるとともに、排気した際にゲート部材収納部９８内へ確実に収容されるようになる。

また、ゲート部材収納部９８は、袋状ゲート部材９１を収納した際に、袋状ゲート部材９１との間に隙間ができないようにすることが好ましい。これにより、空気ポンプを小型化できるとともにゲート開閉時間を短くすることができる。

スリット１０２の幅としては、袋状ゲート部材９１の外径や閉口部８８の幅に応じて適宜決定され得るが、スリット１０２の幅が狭過ぎると袋状ゲート部材９１の耐久性を損なうおそれがあり、広過ぎるとゲートの液シール性が悪くなるおそれがあるため、これらを考慮して決定することが好ましい。ワークＷがプリント基板である場合には、１０〜１５mmとすることが好ましい。

閉口部８８の幅は、通過させるワークＷの幅（搬送方向Ｆと直交する方向の幅）に応じて適宜決定できるが、閉口部８８の幅が狭過ぎると、ワークＷとゲート装置が接触してワークＷに傷が付くおそれがあり、広過ぎると液シール性を得るには袋状ゲート部材９１の外径が大きくなり、大容量の空気ポンプを使用しなければならない等装置が過大化する恐れがあるため、これらを考慮して決定することが好ましい。ワークＷがプリント基板である場合、閉口部８８の幅は１０〜１５mmとすることが好ましい。

袋状ゲート部材９１に空気が圧入されていない時には、図１０のように、袋状ゲート部材９１は全体がゲート部材収納部９８内に納まっており、これにより開口部８８は開状態となっている。一方、図１１のように、袋状ゲート部材９１に空気が圧入された時には、袋状ゲート部材９１は膨張し、一部がスリット１０２を通って開口部８８に突出し、袋状ゲート部材９１の開口部８８内への突出部分が互いに圧接することにより、開口部８８は閉じ状態となる。

上述したように、袋状ゲート部材９１は、少しテンションがかかるように取り付けられているため、空気を排出した際に、スリット１０２から膨張突出した袋状ゲート部材９１が確実に収まるようになっている。

圧入される空気は、上記開口部８８の幅、スリット１０２の幅、袋状ゲート部材９１の材質・外径によって適宜選択されるが、袋状ゲート部材９１が閉口部８８の左右幅中央から１〜２mm多く突出する状態となるように供給することが好ましい。なお、ここでいう閉口部８８の左右幅中央とは袋状ゲート部材９１が圧接し合って液シールを行う境界を意味しており、例えば、左右異なる材質の袋状ゲート部材を用いるなどして片方の袋状ゲート部材を多く突出させる場合には、空気を圧入した際に互いの袋状ゲート部材を圧接し合う境界を基準とすることができる。

なお、図５に示すボックス槽１５と空ステージ１６との間のゲート装置８５も、ボックス槽１５とめっき槽１４との間の前記ゲート装置８４と同様の構造をしている。また、ゲート装置８４と同様なゲート装置は、図１のめっき装置において、たとえば、符号Ｇで示すように、他のボックス槽１３、２１、２２にも設けられている。さらに各空ステージ１１、１７、２０、２４に設けることも可能である。

（作動の説明）
めっき処理工程並びにその後のハンガーの剥離工程等は、従来公知であるので、ごく簡単に説明する。図１において、ロード部１０でめっき処理前のワークＷを搬送ハンガー２８に吊持し、プッシャー装置により搬送ハンガー２８及びワークＷを前処理槽１１内まで搬送し、搬送ハンガー２８のスプロケット７１を前処理槽１１の連続搬送装置３５の搬送チェーン７５の始端部に係合させる。

前記連続搬送装置３５から、矢印Ｆ方向へと順次、取込搬送装置３１、連続搬送装置３６、取込搬送装置３２及び連続搬送装置３７によって搬送ハンガー２７を移動することにより、ワークＷは、前処理槽１１、空ステージ１２、ボックス槽１３、めっき槽１４、ボックス槽１５、空ステージ１６及び第１の後処理槽１７を通過し、又は所定の処理位置で所定時間停止し、前処理、めっき処理及び洗浄等の後処理が行われる。めっき処理完了後のワークは、図示しないプッシャー装置により、第２の後処理槽１８を介してアンロード部１９まで搬送され、搬送ハンガー２８からめっき処理後のワークＷが取り外される。

ワークＷを外した後の搬送ハンガー２８は、次に、剥離工程の空ステージ２０の連続搬送装置３８のチェーンコンベア７５にスプロケット７１が係合させられ、該連続搬送装置３８から、矢印Ｆ方向へと順に、取込搬送装置３３、連続搬送装置３９、取込搬送装置３４及び連続搬送装置４０によって移動させられ、付着物が剥離され、洗浄され、再びロード部１０に戻される。

前記めっき処理において、ワークＷを、たとえばめっき処理工程のめっき槽１４からボックス槽１５に水平移動する時、また、ボックス槽１５から空ステージ１６に水平移動する時等には、図１０のように、ゲート装置８４の袋状ゲート部材９１の空気を抜くことにより開口部８８を開き、開状態の開口部８８にワークＷを通過させ、ワークＷが通過し終えると、図１１のように袋状ゲート部材９１に空気を圧入することにより、袋状ゲート部材９１を膨張させ、スリット１０２から突出させることにより、開口部８８を閉状態とし、液の漏出を防止する。

［ゲート装置の開閉を利用したワーク搬送の一例］
図１２〜図１４は、めっき槽１４と、ボックス槽１５と、空ステージ１６との間のワークＷの搬送（移送）と、ゲート装置８４、８５の開閉動作との関連を示している。なお、ゲート装置８４、８５が開状態の場合はクロスハッチングを施し、閉状態の場合は白抜きで示している。

（１）図１２において、予めボックス槽１５内には図示しないカラム槽からのめっき液が供給されている。めっき槽１４とボックス槽１５との間のゲート装置８４を開き、ボックス槽１５と空ステージ１６との間のゲート装置８５は閉じておき、めっき槽１４内の搬送ハンガー２８のうち、最もボックス槽１５側（矢印Ｆ方向側）に位置する搬送ハンガー（仮想線で示す）２８の支軸７０に、取込搬送装置３２のスライダー７７の取込爪７９を反矢印Ｆ方向側から係合する。そして、スライダー７７を矢印Ｆ方向に移動することにより、搬送ハンガー２８と共にワークＷを矢印Ｆ方向に移動し、ゲート装置８４の開口部８８（図６）を通過させてボックス槽１５内まで搬送し、ボックス槽１５で停止する。

（２）図１３において、めっき槽１４とボックス槽１５との間のゲート装置８４を閉じ、ボックス槽１５内のめっき液を排出する。

（３）図１４において、ボックス槽１５と空ステージ１６との間のゲート装置８５を開き、スライダー７７を矢印Ｆ方向に移動することにより、搬送ハンガー２８と共にワークＷを矢印Ｆ方向に移動し、ゲート装置８５の開口部８８を通過させて空ステージ１６内まで搬送する。その後、前記ゲート装置８５は閉じられる。なお、空ステージ１６内へ搬送された搬送ハンガー２８は連続搬送装置３７で搬送される。

（４）空ステージ１６内へ搬送ハンガー２８を搬送した後、スライダー７７は反矢印Ｆ方向に移動し、めっき槽１４の上方まで戻る。この時、スライダー７７の取込爪７９は、めっき槽１４内の次の搬送ハンガー２８の支軸７０を乗り越え、反矢印Ｆ方向側から前記支軸７０に係合する。

（ボックス槽内のめっき液量制御の一例）
図１５〜図１８は、ワークＷを、めっき槽１４、ボックス槽１５及び空ステージ１６に順次移動する際のめっき液の液量制御を示している。なお、図１５〜図１８において、各ポンプ４９、５７、５９は、作動状態の時はクロスハッチングを施し、停止状態の時は白抜きで示し、また、排出口栓４６、５１は、開状態の時は白抜きで示し、閉じ状態の時は、クロスハッチングで示している。

（１）図１５は、ボックス槽１５内で処理したワークＷを空ステージ１６へ移送した直後の状態であり、ボックス槽１５と空ステージ１６の間のゲート装置８５は開き、めっき槽１４とボックス槽１５との間のゲート装置８４は閉じている。

めっき槽１４の液循環ポンプ５７は作動しているが、レベル維持用のポンプ５９及びカラム槽用のポンプ４９は停止している。また、カラム槽４７の排出口栓５１及びボックス槽１５の排出口栓４６は、いずれも閉じている。この図１５の状態において、めっき槽１４内でのめっき処理は継続されている。カラム槽４７には、所定量のめっき液が貯留された状態となっている。

（２）図１６は、前記図１５のようにワークＷを空ステージ１６に移送した後、めっき槽１４の次のワークＷをボックス槽１５に移送する前の状態を示しており、ボックス槽１５の前後のゲート装置８４、８５はいずれも閉じており、めっき槽用の循環ポンプ５７は作動しているが、レベル維持用のポンプ５９及びカラム槽用のポンプ４９は停止している。

この図１６の状態において、カラム槽４７の排出口栓５１を開くことにより、カラム槽４７内に貯留されていた所定量のめっき液を、一気にボックス槽１５に供給し、ボックス槽１５内に所定量のめっき液を貯留する。

（３）図１７は、前記図１６のようにカラム槽４７からボックス槽１５へめっき液を排出後、ボックス槽１５とめっき槽１４との間のゲート装置８４を開き、めっき槽１４からボックス槽１５へワークＷを移送した直後の状態を示している。各ポンプ４９、５７、５９はすべて作動しており、カラム槽用のポンプ４９により、予備槽４３からカラム槽４７へめっき液を所定量まで補充し、レベル維持用ポンプ５９により、予備槽４３からめっき槽１４へめっき液を補充し、循環ポンプ５７によりめっき液を循環している。カラム槽４７及びボックス槽１５の排出口栓５１、４６はいずれも閉じている。

この図１７の状態では、めっき槽１４からボックス槽１５に、ゲート装置８４の開口部８８を介してめっき液が供給され、めっき槽１４と同じレベルまでボックス槽１５内にめっき液が貯留される。

（４）図１８は、ワークＷをボックス槽１５で処理した後、ボックス槽１５の底部の排出口栓４６を開くことにより、ボックス槽１５内のめっき液を、一気に下方の予備槽４３に排出している状態を示している。

めっき槽１４のレベル維持用のポンプ５９は停止しているが、めっき槽用の循環ポンプ５７は作動している。また、カラム槽用のポンプ４９による予備槽４３からカラム槽４７へのめっき液の補充は続行されている。

図１８のようにボックス槽１５からめっき液を排出した後は、前記図１５の状態に戻ることになる。

（実施の形態の効果）
（１）図５のように、めっき液が貯留されるめっき槽１４とボックス槽１５との間、又はボックス槽１５と空ステージ１６との間に配設されるワーク通過用のゲート装置８４、８５は、ゲート部材として、空気を圧入することより膨張してゲート装置８４、８５の開口部８８を閉じ、空気を排出することにより収縮して前記開口部８８を開く袋状ゲート部材９１を備えているので、従来のように、板状のゲート部材をスライド方式あるいは回動方式で機械的に開閉するゲート装置に比べ、スライド部分あるいは回動部分等の腐食等のおそれがなく、耐久性が向上すると共に、構造が複雑化することなく、シール性も向上する。

また、一連のゲートの開閉作動を１５秒以内といった短時間で行えるようになり、所定時間に搬送できるワーク数を増やすことができ、装置の生産性を高めることができる。

（２）前記開口部８８の周囲に、袋状ゲート部材９１を収納するゲート部材収納部９８を形成し、該ゲート部材収納部９８と前記開口部８８との間に、膨張時に袋状ゲート部材９１が開口部８８内に突出可能なスリット１０２を形成しているので、膨張時、袋状ゲート部材９１を、スリット１０２を通して確実に開口部８８内に突出させ、開口部８８を閉じることができる。

（３）図２のようにボックス槽１５の底部に、ボックス槽１５内のめっき液を排出するための排出口栓４６が設けられているので、ボックス槽１５内のめっき液を、ポンプを用いることなく速やかに排出することができ、処理作業の能率が向上する。

［第２の実施の形態］
図１９〜図２３はゲート装置の別の例を示している。正面略図を示す図１９において、ゲート装置２００は、一枚のゲート本体２０１と、該ゲート本体２０１の左右幅の中央部の凹部の左右両側に固着された左右一対のゲート部材収納箱２０３と、該ゲート部材収納箱２０３にそれぞれ収納された袋状ゲート部材２０４から構成されている。

前記ゲート部材収納箱２０３は、左右方向に所定隙間をおいて配置されており、両ゲート部材収納箱２０３間でワーク通過用の開口部２０５を形成している。該開口部２０５はゲート本体２０１の上端から所定の深さまで、左右幅は一様に形成されており、前記実施の形態のように上端部に拡大部は形成されていない。各ゲート部材収納箱２０３の上端にはそれぞれ蓋２０６が取り付けられ、各蓋２０６にはそれぞれ配管２１０が接続され、各配管はそれぞれ独立して空気ポンプ２１１に接続されている。各ゲート部材収納箱２０３の下端部も底蓋２０７により閉塞されている。

図２０はゲート装置２００の部分斜視図であり、各ゲート部材収納箱２０３の開口部２０５側の側壁には、開口部２０５とゲート部材収納箱２０３内を連通する縦向きのスリット２１４が直線状に形成されている。

図２１はゲート部材収納箱２０３の水平断面拡大図であり、ゲート部材収納箱２０３の内面の断面形状は概ね円形状に形成され、該円形の内部空間に、ゴムチューブ製の袋状ゲート部材２０４が収納されている。

図２２は、ゲート部材収納箱２０３の上端部の縦断面拡大図であり、ゲート部材収納箱２０３内に収納された袋状ゲート部材２０４の上端部は開放状態となっており、径方向の外方へと裏向きに折り返され、折り返し部分２０４ａが上側の蓋２０６の内周面とゲート部材収納箱２０３の上端嵌合部２０３ａの外周面の間に挟持され、これにより、袋状ゲート部材２０４の上端部を気密状態にシールしている。

図１９〜図２３に示すゲート装置２００は、一対の袋状ゲート部材２０４を独立に備えているので、袋状ゲート部材２０４毎に空気ポンプ２１１（図１９）から空気を圧入し、図２３のように、スリット２１４から開口部２０５内に袋状ゲート部材２０４の一部を突出させ、突出部分を互いに圧接させることにより、開口部２０を閉じるようになっている。

図１９〜図２３の実施の形態のように、ゲート本体２０１とは別体のゲート部材収納箱２０３を、ゲート本体２０１に取り付けていると、袋状ゲート部材２０４のメンテナンス時は、ゲート部材収納箱２０３をゲート本体２０１から取り外すだけでメンテナンスを行うことができる。

［第３の実施の形態］
図２４〜図４２は、ゲート装置のさらに別の実施の形態であり、該ゲート装置が収納されるボックス槽についても、前記第１の実施の形態とは異なった構造を有している。ボックス槽１５、左右のボックス部１５ａ、めっき槽壁８２、ボックス槽壁８３、前記ボックス槽１５の前後のめっき槽１４及び空ステージ１６には、前記第１の実施の形態と同じ符号を付している。

（ボックス槽の構成）
図２４はボックス槽１５の平面図を示しており、この図２４において、左右のボックス部１５ａ間で形成されるワーク通過空間Ｐには、左右一対の多数のローラ対３０１が、矢印Ｆ方向に所定間隔を置いて配置されており、左右のローラ３０１間をワークＷが通過することにより、搬送中及びボックス槽１５にめっき液を充填する際のワークＷの揺動を規制している。各ボックス部１５ａには、前記ワーク通過空間Ｐに面する壁に、それぞれ開閉可能な蓋３０２が設けられており、該蓋３０２を開けることにより、ボックス部１５ａ内のめっき液をワーク通過空間Ｐに供給できるようになっており、これにより、ボックス部１５ａによって、前記第１の実施の形態のカラム槽４７（図２）の代わりを果たしている。各蓋３０２は、垂直なヒンジ部３０２ａを中心に回動するように構成されており、各蓋３０２を開閉する駆動装置として、シリンダ３０３及び駆動アーム３０４等が設けられている。

図２７は、図２４のXXVII-XXVII断面図であり、前記駆動アーム３０４はＬ字形に形成されると共に、中央折れ曲がり部分に固着された回動３０６が支持台３０７に回動自在に支持されており、駆動アーム３０４の下方突出部分に下端部が蓋３０２に設けられた駆動片３０５に対し係合孔３０５ａを通して突出することで係合し、水平突出部分の先端部が前記シリンダ３０３のロッド部３０３ａに枢着連結している。各シリンダ３０３のロッド部３０３ａを伸長することにより、各駆動アーム３０４及び各駆動片３０５を介して各蓋３０２が開き、一方、各シリンダ３０３のロッド部３０３ａを収縮することにより、各蓋３０２を閉じるようになっている。このとき、駆動アーム３０４の下端は回動によって上下移動し、蓋３０２の回動によって駆動片３０５は横移動して係合位置にずれが生じるが、駆動アーム３０４は前記係合孔３０５ａを通してその下方突出部分の下端部を突出させるだけで係合しており、駆動アーム３０４の下端部が当該係合孔３０５ａ内を移動可能となっているため、上記係合装置のずれを吸収している。

（ゲート装置の構成）
図２６はゲート装置３１０をボックス槽壁８３に取り付けている途中の状態を示す正面図である。ボックス槽壁８３の左右幅の中央部には、一様の左右幅を有すると共に上下方向に延びるゲート装置取付孔３１１が形成されており、該ゲート装置取付孔３１１の下端部は概ね半円形状に形成されている。ゲート装置３１０を取り付けた状態のボックス槽壁８３を示す図２５に示すように、ゲート装置３１０は上下方向に長い長方形のゲート本体３１２を備えており、該ゲート本体３１２の左右両側部及び下端部には、図２６のXXXII-XXXII断面拡大図である図３２に示すように、ボックス槽壁８３のゲート装置取付孔３１１の内周端縁に係合する溝３１５が形成されている。図２６から分かるように、ゲート本体３１２は差込方式でボックス槽壁８３に取り付けるようになっている。

図２５に戻り、ゲート本体３１２の溝３１５をゲート装置取付孔３１１の内周端縁に係合させた状態で、ゲート本体３１２をゲート装置取付孔３１１に上方から差し込み、ゲート本体３１２の上端の左右に固着された固定具３２０をボックス槽壁８３の上端にボルト３２１で固定することにより、ゲート本体３１２をボックス槽壁８３に取り付けている。

ゲート本体３１２は、前記第１の実施の形態と同様に、左右幅の中央部に、上下方向に延びる略垂直なスリット状の開口部３３０が形成され、開口部３３０の上端部には、上向きに広がる逆三角形状の拡大部３３１が形成されている。開口部３３０及び拡大部３３１の左右両側に沿ってゲート部材収納部３３３が形成されており、ゲート部材収納部３３３は、開口部３３０の下側で左右が円弧状につながり、ゲート部材収納部３３３内に前記第１の実施の形態と同様なゴムチューブからなる袋状ゲート部材３２２が収納されている。

ゲート部材収納部３３３の左右の上端部は、ゲート本体３１２の上端縁より一定距離下方位置において途切れており、ゲート部材収納部３３３に収納された袋状ゲート部材３２２は、左側の上端部３２２ｂが固定具４２１により常時閉塞され、右側の上端部３２２ａが、固定具４１２により閉塞されると共に、ゲート本体３１２に形成された空気通路４０１を介して空気ポンプ３３７に接続されている。

すなわち、袋状ゲート部材３２２は、空気ポンプ３３７で空気を圧入することより袋状ゲート部材３２２を膨張させ、それにより開口部３３０を閉じ、反対に、空気ポンプ３３７により袋状ゲート部材３２２の空気を抜くことにより、開口部３３０を開く。なお、ゲート本体３１２は、図３２に示すように、前後２枚の本体部材３１２ａ、３１２ｂを貼り合わせることにより構成されており、また、ゲート部材収納部３３３の開口部３３０側にはスリット３３４が形成されている。

ゲート装置３１０は、前述のように、開口部３３０を開閉するための袋状ゲート部材３２２に加え、ゲート本体３１２とボックス槽壁８３のゲート装置取付孔３１１との嵌合部分をシールするために、該嵌合部分に沿って膨張収縮自在な袋状シール部材３２３を備えている。

（袋状シール部材の取付構造）
図３２において、ゲート本体３１２の前記溝３１５の底部に、該溝３１５よりも前後幅及び左右幅が狭い小さな溝状のシール部材収納部３３５が形成されており、該シール部材収納部３３５内に前記袋状シール部材３２３が収納されている。該袋状シール部材３２３は、前記袋状ゲート部材と同様に、ゴムチューブからなっている。

図２９は袋状シール部材３２３の上端部の構造を示しており、ゲート本体３１２の上端の左右両端部に、前述の固定具３２０がボルト３５１により固定されており、袋状シール部材３２３の一方の上端部、たとえば左側の上端部は、左側の固定具３２０に形成された突起３２０ａをゲート本体３１２の前記シール部材収納部３３５内に噛み合わせることにより閉塞されている。他方、右側の上端部も、右側の固定具３２０に形成された突起３２０ａをゲート本体３１２の前記シール部材収納部３３５内の上部に噛み合わせることにより閉塞されているが、袋状シール部材３２３の右側の上端部分は、右側の固定具３２０内に形成された空気通路３４０を介して固定空気ポンプ３４１に連通している。

図２５に示すように、袋状シール部材３２３は、ゲート取付孔３１１の内周端縁に沿って配され、上端を固定具３２０によって固定されている。ここで、袋状シール部材３２３を固定する際には、袋状シール部材３２３にはテンションがかかった状態（両上端を引っ張られて荷重がかかる状態）で固定されいる。

袋状シール部材３２３の右側の上端部と固定具３２０の空気通路３４０との連通構造を詳細に説明すると、図３０において、袋状シール部材３２３の右側の上端部には、上端縁から一定距離下方の位置に、スリット状の空気入口３４２が形成されており、該空気入口３４２から袋状シール部材３２３内への空気が供給される。なお、図３１において、空気通路３４０の上端部には、継ぎ手（図示せず）が連結固定されており、当該継ぎ手に対して空気ポンプ３４１に接続されたエアチューブが連設されている。

図４０は図２９のXXXX-XXXX断面図であり、この図４０において、前記空気入口３４２が空気通路３４０に対向するように袋状シール部材３２３を配し、固定具３２０をボルト３５１で締め付けることにより、拡張部３３５ａを有するシール部材収納部３３５の底部に対して突起３２０ａが袋状シール部材３２３の先端部を押し付けて閉塞した状態で固定している。

図４１はゲート本体３１２から袋状シール部材３２３と固定具３２０とを取り外し、三者３１２、３２０、３２３の上下方向の位置関係及び大小関係を明らかにするために、三者を並べた配置した図であり、ゲート本体３１２及び袋状シート部材３２３は図４０の矢印Ｄ１方向から見た図、固定具３２０は図４０の矢印Ｄ２方向から見た図を示している。図４１から分かるように、左側に図示しているゲート本体３１２の拡張部３３５ａは、鍵穴状の形をしており、その下端部は、中央に図示している取付状態の固定具３２０の下端（高さＨ１）よりも下方に延びている。また、ゲート本体３１２の拡張部３３５ａの上側の円形部は空気通路３４０と略同じ大きさになっている。

また、図４１の右側に図示している袋状シール部材３２３の空気入口３４２は、空気通路３４０の閉口部内に収まる大きさとなっている。そのため袋状シール部材３２３は図中斜線を付した領域で、固定具３２０の突起３２０ａとシール部材収納部３３５の底部との間で圧着され、閉塞される。

空気が空気入口３４２から袋状シール部材３２３内に確実に供給されるように圧着閉塞し、かつ、供給された空気が容易に袋状シール部材３２３の上端部内に入るように空気入口３４２の周囲に膨張しやすい領域となる非圧着部分（斜線がない部分）を設け、更には、袋状シール部材３２３の上端内部に供給された空気が確実に下端部へ導入されるように拡張部３３５ａの下端を、取り付けられた状態の固定具３２０下端よりも下方に延長したことで、図３１に示すように、圧入される空気によって袋状シール部材３２３に空気流路が形成されて、袋状シール部材３２３内へ空気が供給される。

前記袋状シール部材３２３内には、前記空気ポンプ３４１によって常に空気が圧入されており、これにより、ゲート本体３１２とボックス槽壁８３との間を、常時、液密状態にシールしている。

なお、上述したように、袋状シール部材３２３はテンションがかかる状態で固定されているため、確実にシール部材収納部３３５から突出するように膨張し、ゲート装置取付孔３１１の内周端縁の全体で均一に液密状態にシールすることができるようになっている。

（袋状ゲート部材の取付構造）
図３３は図２５のXXXIII-XXXIII断面拡大図であって、ゲート本体３１２を分解した状態を示しており、両本体部材３１２ａ、３１２ｂの合わせ面にはゲート部材収納溝３３３ａ、３３３ｂがそれぞれ形成され、前後のゲート部材収納溝３３３ａ、３３３ｂを合わせることより、ゲート部材収納部３３３を構成し、該ゲート部材収納部３３３にゴムチューブよりなる前記袋状ゲート部材３２２を収納している。

前記空気通路４０１は、一方の本体部材３１２ｂのゲート部材収納溝３３３ｂの上端より一定距離上方位置に、貫通状態で形成されており、該空気通路４０１に対応する部分に、袋状ゲート部材３２２の右側上端部３２２ａを挟持するように、前記固定具４１２がボルト４１５により締着されている。他方の本体部材３１２ａの前記空気通路４０１に対応する位置には、固定具４１２を収納するための凹部４１１が形成されている。前記固定具４１２には、一方の本体部材３１２ｂに対向する面に凹部４１２ａが形成されており、該凹部４１２ａは、図３５及び図３６に示すように鍵穴形に形成される共に下端が開放しており、また、凹部４１２ａの左右両側にはボルト挿通４１４が形成されている。なお、図示はしていないが、空気通路４０１には、前述の空気通路３４０と同様に、継ぎ手が連結固定されており、当該継ぎ手に対して空気ポンプ３３７に接続されたエアチューブが連設されている。

図３４は袋状ゲート部材３２２の右側の上端部３２２ａの拡大斜視図であり、該上端部３２２ａには上端縁から一定距離下方位置に空気流通用のスリット４１３が形成されている。

図４２に示すように、前記固定具４１２を一方の本体部材３１２ｂに締着することにより、上述した袋状シール部材３２３のときと同様に、袋状ゲート部材３２２のスリット４１３の周囲を、本体部材３１２ｂと固定具４１２との間で挟持するが、スリット４１３は固定具４１２の凹部４１２ａに対応する位置に位置しているので、閉塞されず、本体部材３１２ｂの空気通路４０１に連通する。すなわち、袋状ゲート部材３２２内と空気通路４０１とが連通する。その後、他方の本体部材３１２ａの凹部４１１に前記固定具４１２を収納するように、両板本体部材３１２ａ、３１２ｂを締結する。

図３７は、袋状ゲート部材３２２の左側の上端部３２２ｂの縦断面拡大図であり、この図３７において、上記左側の上端部３２２ｂは、固定具４２１を一方の本体部材３１２ｂにボルト４２３で締結することにより、固定具４２１と本体部材３１２ｂとの間で挟持され、それにより常時閉塞されている。両本体部材３１２ａ、３１２ｂを重ね合わせる場合には、前記固定具４２１は、他方の本体部材３１２ａに形成された凹部４２２に収納される。図３８は、図３７の固定具４２１をワーク搬送方向と直交する方向から見た図、図３９は図３８の固定具４２１を矢印β方向に見た図であり、固定具４２１は、切欠き等のへこみを有しない直方体に形成され、一対のボルト挿通孔４２４が形成されている。

（作動の説明）
袋状ゲート部材３２２の膨張収縮により開口部の開閉作動は、前記第１の実施の形態の場合と同様であるので、省略する。

尚、該実施の形態においては、図２４に示すように、ボックス槽１５のボックス部１５ａに、ワーク通過空間Ｐに対して開閉する蓋３０２を備えると共に、各ボックス部１５ａにめっき液供給用ポンプ４００を接続しているので、前記第１の実施の形態の図２に示されたカラム槽４７からボックス槽１５にめっっき液を供給する代わりに、図２４の蓋３０２を開けることにより、ボックス部１５ａからワーク通過空間Ｐにめっき液を供給することができる。

ここで、図２７に示すように、ボックス部１５ａ内にはめっき槽１４での液面Ｌよりも液面が高くなるようにめっき液が充填されている。蓋３０２が開くと、ボックス部１５ａ内のめっき液は自重によって蓋３０２からワーク通過空間Ｐへ排出され、ワーク通過空間Ｐでは液面Ｌになる。この時、ボックス部１５ａ内のめっき液の液面は、液面Ｌとなる。つまり、ボックス部１５ａ内の液面Ｌよりも高い位置に充填されているめっき液の体積Ｖ１は、ワーク通過空間の体積Ｖ２と略同じになっており、ボックス部１５ａ内へのめっき液の補充は体積Ｖ１分だけで済むようになっており、ワーク通過空間Ｐ内のめっき液の排出、ゲート装置３１０の開閉、ワークＷの搬出を行う間に確実にボックス部１５ａ内へのめっき液の補充が完了できる。そのため、ゲート装置３１０のゲート開閉周期を飛躍的に短くすることができる。

（実施の形態による効果）
前記第１の実施の形態と同様な効果を奏することは勿論のこと、ゲート本体３１２を差し込み式でボックス槽壁８３に取り付けるので、取付作業は、簡単かつ正確に行える。また、袋状ゲート部材３２２の全体を、ゲート部材収納部３３３に収納しているので、空気ポンプと袋状ゲート部材３２２との繋ぎ目において、局所的な膨張が発生して破裂するのを防止し、袋状ゲート部材３２２の耐久性を高め、更に取付作業を軽減できる。更には、袋状シール部材３２３を利用してゲート本体３１２とボックス槽壁８３との間をシールするので、簡単、かつ、確実に、シールすることができる。

［その他の実施の形態］
（１）図１及び図２のめっき装置は、搬送ハンガーを連続して水平移動することにより、各槽を通過させるいわゆる連続搬送方式のめっき装置であるが、本発明にかかるゲート装置は、たとえば、途中で、ハンガーを上昇させて次の槽まで移送し、次の槽で下降させる搬送区間を有する間欠搬送方式のめっき装置、あるいはその他の浸漬処理装置にも適用することができる。

（２）本発明かかるゲート装置は、めっき装置には限定されず、たとえば、処理槽内に貯留した処理液によりワークを洗浄する剥離槽等の浸漬処理装置にも適用することは可能である。

（３）図１及び図２のめっき装置は、ワークを搬送するレーンが一列であるが、本発明のゲート装置を複数列並設して、複数の搬送レーンを有するめっき装置にも適用することができる。

（４）前記実施の形態では、ワークＷとしてプリント基板のような板状ワークを処理する浸漬槽に用いる例としているが、長尺ワーク等、浸漬槽の槽壁を乗り越えて搬送することに手間と時間を要するワークにも適用可能である。

（５）前記実施の形態では、袋状ゲート部材や袋状シール部材を膨張させるために空気（気体）を圧入しているが、液体によって行ってもよい。

（６）前記実施の形態では、めっき槽１４の後部に一個のゲート装置８４を設けているが、このゲート装置８４を第１、第２…と複数のゲート装置で構成してもよい。ゲート装置８５も同様である。このとき、第１のゲート装置を通常時にゲート開閉操作に使用して、第２以降のゲート装置は開放したままとする。そして、第１のゲート装置を取り換えなければならない場合に、第２以降のゲート装置をゲート開閉操作に使用する。これにより、第１のゲート装置を取り換える際にも、めっき槽等の各浸漬処理槽中の処理液を貯め置くままとすることができ、安定して処理を継続することができる。

（７）前記実施の形態では、ボックス槽のワーク搬送方向の前後に袋状ゲート部材を有するゲート装置を設けているが、めっき槽に接していないゲート機構（図５でいえばゲート装置８５）は、シールローラや扉式のゲートを用いたゲート機構としてもよい。

（８）前記実施の形態では、浸漬処理槽であるめっき槽１４、剥離槽２２のワーク搬送方向の前後にボックス槽１５、２３等を設けているが、これらのボックス槽１５、２３を無くしても良い。

（９）前記実施の形態では、袋状ゲート部材同士が圧接することで液シールを行っているが、この構造には限定されない。たとえば、断面視上Ｌ字状のスライド式ゲートを用い、ゲート部材収納部に上記スライド式ゲートのＬ字底辺部を内包すると共に、該Ｌ字底辺部に対して開口部側に袋状ゲート部材を、その反対側にばねを設けるようにすることができる。この場合、袋状ゲート部材を膨張させてスライド式ゲートのＬ字底辺部を押圧してばねに抗してスライド式ゲートを開き、袋状ゲート部材を収縮させるとばねの力によってスライド式ゲートが閉じるようにする。

（１０）前記実施の形態では、ボックス槽１５に排出口栓４６を設けた例で説明したが、ポンプにより液の排出・充填を行うようにしてもよい。更に、排出又は充填する処理液量も完全に充填・排出しなくてもよい。

（１１）前記図２４に示す実施の形態では、ボックス部１５ａの蓋は前後方向に開閉可能となっているが、スライド式や上下方向に開閉する方式としても良く、また、開閉手段もシリンダを用いる他に、ばねによって蓋が常に閉じる状態にしておき、ワイヤ等で引っ張って蓋を開ける構造としてもよい。

（１２）前記実施の形態において、短時間に液を充填するための機構として、所定量の処理液を貯留し、ボックス槽内へ液を導入するカラム槽４７や図２４のボックス部１５ａを設けた例で説明したが、該機構を従来装置に用いてもよい。これにより、ゲート開閉時間を飛躍的に短縮することができる。

本発明は、めっき装置の他に、クロメート処理装置、アルミニウムの陽極酸化処理装置、電解研磨装置又は電解酸洗装置等の浸漬処理装置にも適用可能である。

本発明の第１の実施の形態のゲート装置を備えためっき装置の全体平面図である。 図１のめっき槽及びボックス槽近辺の縦断面拡大図である。 図２のIII-III断面拡大図である。 図２のIV-IV断面拡大図である。 図２のボックス槽の平面拡大図である。 図５のVI-VI断面図である。 図５のゲート装置のゲート本体のVII矢視図である。 図７のVIII-VIII断面図である。 図５のゲート装置の分解斜視図である。 開口部が開いた状態の図６のX-X断面拡大図である。 開口部が閉じた状態の図６のX-X断面拡大図である。 図１のめっき槽と、ボックス槽と、空ステージとの間のワークの搬送と、ゲート装置の開閉動作との関連を示す作動説明図である。 図１２の次の工程を示す図１２と同様の作動説明図である。 図１３の次の工程を示す図１２と同様の作動説明図である。 図１のめっき槽、ボックス槽及び空ステージに、ワークを順次移し替える際におけるボックス槽の液量制御を示す作動説明図である。 図１５の次の工程を示す図１５と同様の作動説明図である。 図１６の次の工程を示す図１５と同様の作動説明図である。 図１７の次の工程を示す図１５と同様の作動説明図である。 第２の実施の形態のゲート装置をワーク搬送方向に見た図である。 図１９のゲート装置の部分拡大斜視図である。 図１９のゲート部材収納箱の水平断面拡大図である。 図１９のゲート部材収納箱の上端部の縦断面拡大図である。 図１９の閉じた状態のゲート部材収納箱及びゲート部材の水平断面拡大図である。 第３の実施の形態のゲート装置を備えたボックス槽の平面図である。 図２４のゲート装置の正面図である。 ゲート装置の取付け途中の状態を示すボックス槽壁の正面図である。 図２４のXXVII-XXVII断面略図である。 図２５のゲート装置の平面分解拡大図である。 図２８の組立状態のXXIX-XXIX断面図である。 袋状シール部材の一方の上端部の斜視図である。 図２９のXXXI部分の拡大図である。 図２６のXXXII-XXXII断面拡大図である。 図２５のXXXIII-XXXIII断面分解拡大図である。 図２５の袋状ゲート部材の右側上端部の拡大斜視図である。 図３３の固定具をワーク搬送方向と直交する方向から見たの正面図である。 図３５の固定具のα矢視図である。 図２５のXXXVII-XXXVII断面分解拡大図である。 図３７の固定具をワーク搬送方向と直交する方向から見た正面図である。 図３８の固定具のβ矢視図である。 図２９及び図３１のXXXX-XXXX断面図である。 ゲート本体と、該ゲート本体から取り外した固定具及び袋状シール部材を、並べて示す図である。 組立状態の図３３のXXXXII-XXXXII断面図である。

符号の説明

１４ めっき槽（処理槽の一例）
１５ ボックス槽
２８ 搬送ハンガー
４６ 排出口栓
５１ 排出口栓
８２、８３ 槽壁
８４、８５ ゲート装置
８８ 開口部
９１ 袋状ゲート部材
９８ ゲート部材収納部
１０２ スリット
２００ ゲート装置
２０３ ゲート部材収納箱（ゲート部材収納部の一例）
２０４ 袋状ゲート部材
２０５ 開口部
２１４ スリット
３１０ ゲート装置
３２２ 袋状ゲート部材
３３０ 開口部
３３３ ゲート部材収納部

Claims (6)

1. 処理液が貯留可能な処理槽を備えた浸漬処理装置において、
   前記処理槽のワーク搬送方向の前部及び／又は後部に、ワークが通過可能な開口部を有するゲート装置を開閉可能に設け、
   該ゲート装置は、気体又は液体を圧入又は排出することにより、膨張又は収縮して前記開口部を開閉する袋状ゲート部材を備えていることを特徴とする浸漬処理装置。
2. 前記ゲート装置は、気体又は液体を圧入することにより膨張して前記開口部を閉じ、気体又は液体を排出することにより収縮して前記開口部を開く袋状ゲート部材を備えていることを特徴とする請求項１記載の浸漬処理装置。
3. 前記開口部の周囲に、前記袋状ゲート部材を収納するゲート部材収納部を形成し、
   該ゲート部材収納部と前記開口部との間に、膨張時に前記袋状ゲート部材が開口部内に突出可能なスリットを形成していることを特徴とする請求項１又は２記載の浸漬処理装置。
4. 前記ゲート装置は、前記処理槽の槽壁に設けられていることを特徴とする請求項１乃至３のいずれかに記載の浸漬処理装置。
5. 前記ゲート装置は、前記処理槽のワーク搬送方向の前及び／又は後に設けられたボックス槽の槽壁に設けられていることを特徴とする請求項１乃至４のいずれかに記載の浸漬処理装置。
6. 前記ボックス槽の底部に、排出口栓を開閉可能に設けていることを特徴とする請求項５記載の浸漬処理装置。
   

Images