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JP4712490B2 - Ion gas generator - Google Patents
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  • Elimination Of Static Electricity (AREA)

Description

本発明は、ガスに放射線を照射してイオンガスを生成するイオンガス発生装置に関するものである。   The present invention relates to an ion gas generator that generates ion gas by irradiating a gas with radiation.

帯電した被除電体に、イオン化したガスであるイオンガスを吹き付けて除電するイオンガス発生装置が従来から用いられている。このようなイオンガス発生装置において、ガスに軟X線等の放射線を照射することによりイオンガスを生成し、吹出口から吹き出す場合には、人体に与える影響から放射線が外に漏れないように配慮する必要がある。   2. Description of the Related Art Conventionally, an ion gas generator that discharges electricity by blowing an ion gas, which is an ionized gas, onto a charged object to be discharged has been used. In such an ion gas generator, when ion gas is generated by irradiating the gas with radiation such as soft X-rays and blown out from the air outlet, the radiation is not leaked due to the effect on the human body. There is a need to.

放射線を遮蔽する方法としては、特許文献1~4に記載のものがある。特許文献1には、複数の微細貫通孔が形成されたキャピラリープレートが吹出口に設けられたものが開示され、特許文献2及び特許文献3には、吹出口を屈曲させたものが開示されている。また、特許文献4には、空気通過孔が放射線の放射方向に対し傾斜するよう構成された車両用空気清浄装置が開示されている。
特開平7−6860号公報 特開2000−167388号公報 特開2005−19044号公報 特開平10−244829号公報
As methods for shielding radiation, there are methods described in Patent Documents 1 to 4. Patent Document 1 discloses a capillary plate in which a plurality of fine through-holes are provided at an outlet, and Patent Documents 2 and 3 disclose a bent outlet. Yes. Patent Document 4 discloses a vehicle air cleaning device configured such that an air passage hole is inclined with respect to the radiation direction of radiation.
Japanese Patent Laid-Open No. 7-6860 JP 2000-167388 A JP 2005-19044 A Japanese Patent Laid-Open No. 10-244829

しかしながら、上記のイオンガス発生装置では、放射線は遮蔽できるが、それと同時にガスの乱れができやすいため、イオンの再結合が促進され、除電にかかる時間が延びてしまう問題があった。また、複雑な遮蔽構造や別途の放射線遮蔽部が必要であるので構成が複雑になるといった問題もあった。   However, in the above ion gas generator, radiation can be shielded, but at the same time, it is easy to disturb the gas, so that recombination of ions is promoted and the time required for static elimination is increased. In addition, since a complicated shielding structure and a separate radiation shielding part are required, there is a problem that the configuration becomes complicated.

そこで、本発明は、簡易な構成で放射線を確実に遮蔽することができると共に、ガスの乱れを低減することができるイオンガス発生装置を提供することを目的とする。   Then, an object of this invention is to provide the ion gas generator which can shield radiation reliably with a simple structure and can reduce disorder of gas.

本発明に係るイオンガス発生装置は、イオン化源から放射される放射線によって、イオン化室内に流入したガスをイオン化してイオンガスを生成し、イオン化室が有する吹出口からイオンガスを吹き出すイオンガス発生装置であって、吹出口に配置される放射線遮蔽部を備え、放射線遮蔽部は、凹曲面と凸曲面とが連続してなる波状部材を複数有し、複数の波状部材は、イオンガスの吹き出し方向と交差する方向に配列されると共に、隣接する波状部材間にガス流路としての隙間が形成されており、複数の波状部材の配列方向において、隣接する波状部材のうちの一方の波状部材が有する凹曲面の頂部と凸曲面の頂部との間に、他方の波状部材が有する凸曲面の頂部が位置することを特徴とする。   An ion gas generator according to the present invention ionizes a gas flowing into an ionization chamber by radiation radiated from an ionization source to generate an ion gas, and blows out the ion gas from an outlet of the ionization chamber The radiation shielding unit includes a radiation shielding unit disposed at the outlet, and the radiation shielding unit includes a plurality of corrugated members each having a concave curved surface and a convex curved surface. And a gap as a gas flow path is formed between the adjacent wave members, and one of the adjacent wave members has the wave direction in the arrangement direction of the plurality of wave members. The top of the convex curved surface of the other corrugated member is located between the top of the concave curved surface and the top of the convex curved surface.

このように、本発明に係るイオンガス発生装置では、隣接する波状部材のうちの一方の波状部材が有する凹曲面の頂部と凸曲面の頂部との間に、他方の波状部材が有する凸曲面の頂部が位置するので、放射線遮蔽部では放射線が必ず波状部材に当たることになる。従って、放射線遮蔽部を放射線が通過するのを阻止できるので、放射線がイオン化室内から漏れない。さらに、波状部材が凹曲面と凸曲面とが連続してなるので、隣接する波状部材間に設けられたガス流路が滑らかな波状となる。よって、ガスの乱れを低減させることができる。従って、人体への安全性を確保しつつ、イオンの再結合を抑制して大量のイオンを効率よく発生させることができる。   Thus, in the ion gas generator according to the present invention, the convex surface of the other corrugated member is between the top of the concave surface and the top of the convex surface of one of the adjacent corrugated members. Since the top portion is located, the radiation always strikes the corrugated member in the radiation shielding portion. Therefore, since radiation can be prevented from passing through the radiation shielding portion, radiation does not leak from the ionization chamber. Furthermore, since the corrugated member has a concave curved surface and a convex curved surface, the gas flow path provided between adjacent corrugated members becomes a smooth corrugated shape. Therefore, gas disturbance can be reduced. Therefore, it is possible to efficiently generate a large amount of ions while suppressing recombination of ions while ensuring safety to the human body.

また、従来技術のように複雑な遮蔽構造や別途の放射線遮蔽部を設ける必要がないので、イオンガス発生装置を簡易に構成することが可能である。よって、イオンガス発生装置の製造現場への応用のみならず、汎用品への応用が可能である。   Moreover, since it is not necessary to provide a complicated shielding structure or a separate radiation shielding part as in the prior art, the ion gas generator can be configured simply. Therefore, it is possible to apply not only to the production site of the ion gas generator but also to general-purpose products.

好ましくは、複数の波状部材は、スペーサを介して配列される。この場合、波状部材間のスペーサの厚さを調節することで、隣接する波状部材の間隔を容易に調整できる。   Preferably, the plurality of corrugated members are arranged via spacers. In this case, by adjusting the thickness of the spacer between the wave members, the interval between the adjacent wave members can be easily adjusted.

また、好ましくは、複数の波状部材の両端部は、凹曲面又は凸曲面の頂部である。このように、波状部材におけるイオンガス入口側及び出口側の端部を凹曲面又は凸曲面の頂部とすることで、ガスの乱れをより低減することができる。   Preferably, both end portions of the plurality of corrugated members are concave curved surfaces or tops of convex curved surfaces. As described above, the turbulence of the gas can be further reduced by setting the end portions of the corrugated member on the ion gas inlet side and the outlet side to the top portions of the concave curved surface or the convex curved surface.

また、イオン化源としてはX線管が挙げられる。   Moreover, an X-ray tube is mentioned as an ionization source.

本発明のイオンガス発生装置によれば、簡易な構成で放射線を確実に遮蔽すると共に、ガスの乱れを低減することができる。これにより、例えば人体への安全性を確保しつつ除電能力を向上させることができる。   According to the ion gas generator of the present invention, radiation can be reliably shielded with a simple configuration, and gas disturbance can be reduced. Thereby, for example, the ability to remove static electricity can be improved while ensuring safety to the human body.

以下、本発明によるイオンガス発生装置の好適な実施形態について図面を参照しながら説明する。なお、図面の説明において、同一要素には同一の符号を付し、重複する説明は省略する。   DESCRIPTION OF EMBODIMENTS Hereinafter, preferred embodiments of an ion gas generator according to the present invention will be described with reference to the drawings. In the description of the drawings, the same elements are denoted by the same reference numerals, and redundant descriptions are omitted.

図1は、本発明に係るイオンガス発生装置の一実施形態を示す斜視図であり、図2は、そのイオンガス発生装置の側断面図である。ここで、イオンガス発生装置1は、例えば高圧空気等のガスに軟X線を照射してイオン化させてイオンガスを発生せしめ、吹き出すものであり、このイオン化したイオンガスで除電を行う光放射式静電除去装置として採用されるものである。イオンガス発生装置1は、ガスをイオン化させる空間を有するイオン化室2を備えている。   FIG. 1 is a perspective view showing an embodiment of an ion gas generator according to the present invention, and FIG. 2 is a side sectional view of the ion gas generator. Here, the ion gas generator 1 irradiates a gas such as high-pressure air with soft X-rays, ionizes it to generate an ion gas, and blows it out. A light emission type that discharges electricity with the ionized ion gas. It is adopted as an electrostatic removal device. The ion gas generator 1 includes an ionization chamber 2 having a space for ionizing a gas.

イオン化室2は、例えば電気絶縁性材料である塩化ビニル樹脂からなり、その外形は直方体形状を呈している。イオン化室2の端部21(図1の上側の端部)には、高圧空気等のガスを流入するための流入口4が形成されており、端部21には、例えばガス供給源に接続された配管からなるガス供給手段(図示せず)が接続されている。また、端部21と対向する端部22(図1の下側の端部)には、イオン化したガスであるイオンガスを吹き出すための吹出口5が形成されている。この構成では、ガスは、図1及び図2の矢印Aで示すように端部21側から端部22側に向かって流れることになる。   The ionization chamber 2 is made of, for example, a vinyl chloride resin, which is an electrically insulating material, and the outer shape thereof is a rectangular parallelepiped shape. An inlet 4 for inflowing a gas such as high-pressure air is formed at an end 21 (upper end in FIG. 1) of the ionization chamber 2, and the end 21 is connected to, for example, a gas supply source. A gas supply means (not shown) composed of the connected pipes is connected. Moreover, the blower outlet 5 for blowing off the ion gas which is ionized gas is formed in the edge part 22 (lower edge part of FIG. 1) facing the edge part 21. As shown in FIG. In this configuration, the gas flows from the end 21 side toward the end 22 side as indicated by an arrow A in FIGS.

また、イオン化室2の長手方向と直交する側壁23には、軟X線を放射するX線管3が取り付けられる放射開口部25が形成されている。X線管3は、軟X線の放射方向がイオン化室2の長手方向となるような向きで、放射開口部25に気密に固定されている。ここで、軟X線とは、放射線であるX線の中でもエネルギーが低くて透過性の弱い微弱X線のことをいう。   A radiation opening 25 to which the X-ray tube 3 that emits soft X-rays is attached is formed in the side wall 23 that is orthogonal to the longitudinal direction of the ionization chamber 2. The X-ray tube 3 is airtightly fixed to the radiation opening 25 in such a direction that the radiation direction of the soft X-ray is the longitudinal direction of the ionization chamber 2. Here, soft X-rays refer to weak X-rays having low energy and low permeability among X-rays that are radiation.

流入口4及び吹出口5には、イオン化室2内から軟X線が漏れないように軟X線を遮蔽する放射線遮蔽部6A,6Bがそれぞれ設けられている。放射線遮蔽部6A,6Bは、複数の波状部材61を有する。複数の波状部材61は、ガスの流入方向やイオンガスの吹き出し方向(矢印Aで示す方向)と略直交する方向(矢印Bで示す方向)にスペーサ62を介して配列されており、隣接する波状部材61,61間に設けられたスペーサ62によって形成される隙間がガス流路7となっている。このように波状部材61がスペーサ62を介して配列されることで、ガス流路7の幅(隣接する波状部材61間の距離)の調整を容易に行うことができる。   The inlet 4 and the outlet 5 are respectively provided with radiation shielding portions 6A and 6B that shield the soft X-rays so that the soft X-rays do not leak from the ionization chamber 2. The radiation shielding parts 6 </ b> A and 6 </ b> B have a plurality of corrugated members 61. The plurality of corrugated members 61 are arranged via spacers 62 in the direction (indicated by arrow B) substantially orthogonal to the gas inflow direction and ion gas blowing direction (indicated by arrow A). A gap formed by the spacer 62 provided between the members 61 and 61 is the gas flow path 7. Thus, by arranging the corrugated members 61 via the spacers 62, the width of the gas flow path 7 (the distance between the adjacent corrugated members 61) can be easily adjusted.

また、放射線遮蔽部6A,6Bでは、複数の波状部材61及び複数のスペーサ62に支柱63が貫入され、支柱63の両端にナット64が螺合されることで、波状部材61と支柱63とが固定されている。そして、放射線遮蔽部6A,6Bは、支柱62を側壁23,24に固定することでイオン化室2に取り付けられている。   Further, in the radiation shielding portions 6A and 6B, the support 63 is inserted into the plurality of wavy members 61 and the plurality of spacers 62, and the nuts 64 are screwed to both ends of the support 63 so that the wavy member 61 and the support 63 are connected. It is fixed. The radiation shielding portions 6A and 6B are attached to the ionization chamber 2 by fixing the support columns 62 to the side walls 23 and 24.

図2及び図3を利用して、放射性遮蔽部6A,6Bについて、より詳細に説明する。   The radioactive shielding parts 6A and 6B will be described in more detail with reference to FIGS.

放射線遮蔽部6A,6Bが有する各波状部材61は、複数の凹曲面と凸曲面とが滑らかに連続してなる板材から形成されている。よって、隣接する波状部材61,61間に形成されたガス流路7は、滑らかに連続する波状形状となりガスの乱れが低減されている。さらに、ガスの乱れをより低減するため、図2に示すように、各波状部材61において、側壁23から見たときにイオン化室2の内側の端部61aが凹曲面の頂部61cとなり、イオン化室2の外側の端部61bが凸曲面の頂部61dとなるように形成されていることが好ましい。なお、複数の波状部材61のうち側壁23,24に隣接する波状部材61,61では、端部61aは、側壁23,24と連結可能に形成されている。これによって、波状部材61と側壁23,24との間から軟X線が外部に漏れることが防止されている。さらに、各波状部材61の厚さtは、軟X線を遮蔽できる厚さであれば特に限定されないが、例えば波状部材61が塩化ビニル樹脂から形成されている場合には、2mm以上が好ましい。   Each of the wave-like members 61 included in the radiation shielding portions 6A and 6B is formed of a plate material in which a plurality of concave curved surfaces and convex curved surfaces are continuously continuous. Therefore, the gas flow path 7 formed between the adjacent wave-like members 61 and 61 becomes a smoothly continuous wave-like shape, and gas disturbance is reduced. Further, in order to further reduce gas turbulence, as shown in FIG. 2, in each wave member 61, when viewed from the side wall 23, the inner end 61a of the ionization chamber 2 becomes a concave curved top 61c, and the ionization chamber It is preferable that the outer end portion 61b of No. 2 is formed to be the top portion 61d of the convex curved surface. In addition, in the wave-like members 61 and 61 adjacent to the side walls 23 and 24 among the plurality of wave-like members 61, the end portion 61 a is formed to be connectable to the side walls 23 and 24. As a result, the soft X-rays are prevented from leaking from between the wave-like member 61 and the side walls 23 and 24. Further, the thickness t of each corrugated member 61 is not particularly limited as long as it is a thickness capable of shielding soft X-rays. However, for example, when the corrugated member 61 is made of a vinyl chloride resin, it is preferably 2 mm or more.

また、スペーサ62は、ガスの乱れや剥離を抑制するため、外形形状が例えば円柱形状とされている。さらに、スペーサ62の厚さは、上述のように波状部材61がスペーサ62を介して配列されたときに、その配列方向Bにおいて、隣接する波状部材61,61のうちのいずれか一方の波状部材61の凹曲面の頂部61cと凸曲面の頂部61dとの間に、他方の波状部材61の凸曲面の頂部61dが位置されるような厚さである。   In addition, the outer shape of the spacer 62 is, for example, a cylindrical shape in order to suppress gas disturbance and separation. Furthermore, the thickness of the spacer 62 is such that, when the corrugated members 61 are arranged via the spacers 62 as described above, any one of the adjacent corrugated members 61 and 61 in the arrangement direction B is provided. The thickness is such that the top 61d of the convex surface of the other corrugated member 61 is located between the top 61c of the concave curved surface 61 and the top 61d of the convex curved surface.

この場合、図3に示すように、隣接する波状部材61,61のうちの一方の波状部材61が有する凹曲面の頂部61c,61c同士を結ぶ直線Lと他方の波状部材61の凸曲面とが交差することになり、結果として、イオン化室2の内側から外側(又は外側から内側)は見通せない。そのため、イオン化室2内の放射線は、その進行方向によらず、波状部材61に確実に当たり、イオン化室2から外部に漏れないようになっている。   In this case, as shown in FIG. 3, a straight line L connecting the tops 61 c and 61 c of the concave curved surface of one of the adjacent corrugated members 61 and 61 and the convex curved surface of the other corrugated member 61 are formed. As a result, the ionization chamber 2 cannot be seen from the inside to the outside (or from the outside to the inside). Therefore, the radiation in the ionization chamber 2 reliably hits the corrugated member 61 and does not leak out from the ionization chamber 2 regardless of the traveling direction.

次に、上述したイオンガス発生装置1の動作について説明する。   Next, operation | movement of the ion gas generator 1 mentioned above is demonstrated.

まず、ガス供給手段(図示せず)を通して流入口4に高圧空気等のガスを供給する。このガスは、流入口4に配置された放射線遮蔽部6Aのガス流路7を通ってイオン化室2内部に流入する。このようにイオン化室2にガスを供給するとき、X線管3に電圧を印加し、X線管3から軟X線をイオン化室2内へ放射する。これにより、イオン化室2内のガスは、放射された軟X線によってイオン化されてイオンガスとなる。そして、流入口4からガスが連続して供給されているので、イオン化室2内で生成されたイオンガスは吹出口5に設けられた放射線遮蔽部6Bのガス流路7を通じてイオン化室2外に吹き出される。   First, a gas such as high-pressure air is supplied to the inlet 4 through a gas supply means (not shown). This gas flows into the ionization chamber 2 through the gas flow path 7 of the radiation shielding part 6 </ b> A arranged at the inlet 4. Thus, when supplying gas to the ionization chamber 2, a voltage is applied to the X-ray tube 3, and soft X-rays are emitted from the X-ray tube 3 into the ionization chamber 2. Thereby, the gas in the ionization chamber 2 is ionized by the emitted soft X-rays to become an ion gas. And since gas is supplied continuously from the inflow port 4, the ion gas produced | generated in the ionization chamber 2 goes out of the ionization chamber 2 through the gas flow path 7 of the radiation shielding part 6B provided in the blower outlet 5. Blown out.

イオンガス発生装置1では、放射線遮蔽部6Bのガス流路7が滑らかな波状であるので、ガス流路7を流れるイオンガスの乱れが小さい。よって、イオンの再結合が抑制され、吹き出されるイオンガス中には多くのイオンが含まれている。従って、イオンガス発生装置1で生成されたイオンガスを帯電物に吹き付けたとき、帯電物の除電を効率的に行うことができる。   In the ion gas generator 1, since the gas flow path 7 of the radiation shielding part 6B has a smooth wave shape, the disturbance of the ion gas flowing through the gas flow path 7 is small. Therefore, recombination of ions is suppressed, and many ions are contained in the blown out ion gas. Therefore, when the ion gas produced | generated with the ion gas generator 1 is sprayed on a charged material, neutralization of a charged material can be performed efficiently.

また、イオンガス発生装置1の放射線遮蔽部6A,6Bでは、複数の波状部材61がその配列方向Bにおいて、隣接する波状部材61,61のうちのいずれか一方の波状部材61の凹曲面の頂部61cと凸曲面の頂部61dとの間に、他方の波状部材61の凸曲面の頂部61dが位置されている。よって、イオン化室2内に放射された軟X線は、その放射方向にかかわらず、放射線遮蔽部6A,6Bが有する波状部材61に当たり遮蔽されるので、イオン化室2内の軟X線はイオン化室2内に確実に閉じ込められ、軟X線がイオン化室2外に漏れない。従って、イオンガス発生装置1を例えばクリーンルーム用ベンチやエレベータ前の人体の除電等に利用するときに、軟X線の人体への影響を心配する必要がない。   Moreover, in the radiation shielding parts 6A and 6B of the ion gas generator 1, in the arrangement direction B, the plurality of corrugated members 61 are the tops of the concave curved surfaces of one of the adjacent corrugated members 61 and 61. The top 61d of the convex surface of the other corrugated member 61 is positioned between 61c and the top 61d of the convex surface. Therefore, the soft X-rays radiated into the ionization chamber 2 are shielded against the wave-like member 61 included in the radiation shielding portions 6A and 6B regardless of the radiation direction, so that the soft X-rays in the ionization chamber 2 are ionized. 2 is surely confined in 2 and soft X-rays do not leak out of the ionization chamber 2. Therefore, when the ion gas generator 1 is used for, for example, a clean room bench or a human body before an elevator, it is not necessary to worry about the influence of soft X-rays on the human body.

さらに、軟X線を遮蔽するために、複雑な遮蔽構造や別途の放射線遮蔽部を設ける必要がないので、イオンガス発生装置1を簡易に構成できる。また、金属の他、塩化ビニル樹脂などの安価で軽量な材料で波状部材61を構成することによって、イオンガス発生装置1の製造コストの低減を図れる。   Furthermore, since it is not necessary to provide a complicated shielding structure or a separate radiation shielding part in order to shield soft X-rays, the ion gas generator 1 can be simply configured. Moreover, the manufacturing cost of the ion gas generator 1 can be reduced by configuring the corrugated member 61 with an inexpensive and lightweight material such as vinyl chloride resin in addition to metal.

以上のように、イオンガス発生装置1は、簡易な構成であって低コスト化を図りながら軟X線を遮蔽でき、且つ、ガス流の乱れを低減できている。したがって、イオンガス発生装置1を製造現場へ適用できるのみならず、様々な設置場所や用途へ適用することができる。   As described above, the ion gas generator 1 has a simple configuration, can shield soft X-rays while reducing costs, and can reduce turbulence in gas flow. Therefore, the ion gas generator 1 can be applied not only to the manufacturing site but also to various installation locations and uses.

以上、本発明をその実施形態に基づき具体的に説明したが、本発明は、上記実施形態に限定されるものではなく、本発明の要旨を逸脱しない範囲で種々変形可能である。例えば、図4に示すイオンガス発生装置8のように、ガスの流入口4をイオン化室2の長手方向と垂直な一側壁に設け、軟X線がガスの流入方向と同方向に放射されるようにX線管3を設置する構成にしてもよい。この図4に示したイオンガス発生装置8では、その高さ方向の省スペース化を図ることができる。   The present invention has been specifically described above based on the embodiment. However, the present invention is not limited to the above embodiment, and various modifications can be made without departing from the gist of the present invention. For example, like the ion gas generator 8 shown in FIG. 4, the gas inlet 4 is provided on one side wall perpendicular to the longitudinal direction of the ionization chamber 2, and soft X-rays are emitted in the same direction as the gas inflow direction. In this way, the X-ray tube 3 may be installed. In the ion gas generator 8 shown in FIG. 4, space saving in the height direction can be achieved.

また、X線管3の設置方向は特に限定されない。例えば、イオンガス発生装置8において、軟X線の放射方向がイオンガスの吹き出し方向と平行になるようにX線管3を設置しても良い。   Moreover, the installation direction of the X-ray tube 3 is not specifically limited. For example, in the ion gas generator 8, the X-ray tube 3 may be installed so that the soft X-ray emission direction is parallel to the ion gas blowing direction.

さらに、また、上記実施形態では放射線を軟X線としたが、これに限定されずα線やβ線としてもよい。このように、α線、β線とするときにはイオン化源として例えば密封放射性同位元素が挙げられる。なお、密封放射性同位元素とは、放射性物質を放射線が漏れない容器で密封して放射線源として使用されるものである。   Furthermore, although the radiation is soft X-rays in the above embodiment, the present invention is not limited to this and may be alpha rays or beta rays. As described above, when α rays and β rays are used, examples of the ionization source include sealed radioactive isotopes. The sealed radioisotope is used as a radiation source by sealing a radioactive substance in a container that does not leak radiation.

また、波状部材61は、少なくとも一つ以上の凹曲面及び凸曲面が滑らかに連続したものであれば良い。さらに、波状部材61は、スペーサ62を介さずに所定の間隔で直接イオン化室2に固定されていても良く、配列方向がイオンガスの吹き出し方向と略直交するとしたが交差していれば良い。   Moreover, the wave-like member 61 should just be what the at least 1 or more concave curved surface and convex curved surface continued smoothly. Further, the corrugated member 61 may be directly fixed to the ionization chamber 2 at a predetermined interval without using the spacer 62, and the arrangement direction is substantially orthogonal to the blowing direction of the ion gas, but it is only necessary to intersect.

本発明に係るイオンガス発生装置の一実施形態を示す斜視図である。It is a perspective view showing one embodiment of an ion gas generating device concerning the present invention. 図1に示したイオンガス発生装置のII−II線断面図である。It is the II-II sectional view taken on the line of the ion gas generator shown in FIG. 図2に示した放射線遮蔽部の拡大断面図である。It is an expanded sectional view of the radiation shielding part shown in FIG. 図1に示したイオンガス発生装置の他の実施形態の側断面図である。It is a sectional side view of other embodiment of the ion gas generator shown in FIG.

符号の説明Explanation of symbols

1,8…イオンガス発生装置、2…イオン化室、3…X線管(イオン化源)、5…吹出口、6A,6B…放射線遮蔽部、7…ガス流路、61…波状部材、61a,61b…波状部材の端部、61c…凹曲面の頂部、61d…凸曲面の頂部、62…スペーサ。 DESCRIPTION OF SYMBOLS 1,8 ... Ion gas generator, 2 ... Ionization chamber, 3 ... X-ray tube (ionization source), 5 ... Air outlet, 6A, 6B ... Radiation shielding part, 7 ... Gas flow path, 61 ... Wave-like member, 61a, 61b: end of corrugated member, 61c: top of concave curved surface, 61d: top of convex curved surface, 62 ... spacer.

Claims (5)

イオン化源から放射される放射線によって、イオン化室内に流入したガスをイオン化してイオンガスを生成し、前記イオン化室が有する吹出口から前記イオンガスを吹き出すイオンガス発生装置であって、
前記吹出口に配置されており、前記放射線を遮蔽する放射線遮蔽部を備え、
前記放射線遮蔽部は、凹曲面と凸曲面とが連続してなる波状部材を複数有し、
複数の前記波状部材は、前記イオンガスの吹き出し方向と交差する方向に配列されると共に、隣接する前記波状部材間にガス流路としての隙間が形成されるように配列されており、
複数の前記波状部材の配列方向において、隣接する前記波状部材のうちの一方の前記波状部材が有する前記凹曲面の頂部と前記凸曲面の頂部との間に、他方の前記波状部材が有する前記凸曲面の頂部が位置しており
前記イオン化源からの前記放射線の放射方向は、複数の前記波状部材の配列方向に略平行である、ことを特徴とするイオンガス発生装置。
An ion gas generator that generates ion gas by ionizing a gas flowing into an ionization chamber by radiation emitted from an ionization source, and blows out the ion gas from a blowout port of the ionization chamber,
It is arranged at the air outlet and includes a radiation shielding part that shields the radiation,
The radiation shielding portion has a plurality of wavy members in which a concave curved surface and a convex curved surface are continuous,
The plurality of wavy members are arranged in a direction intersecting with the blowing direction of the ion gas, and are arranged so that a gap as a gas flow path is formed between the adjacent wavy members,
In the arrangement direction of the plurality of wavy members, the convex of the other wavy member is between the top of the concave curved surface and the top of the convex curved surface of one of the adjacent wavy members. top of the curved surface is positioned,
The ion gas generator according to claim 1, wherein a radiation direction of the radiation from the ionization source is substantially parallel to an arrangement direction of the plurality of the wave members .
複数の前記波状部材は、スペーサを介して配列されることを特徴とする請求項1記載のイオンガス発生装置。   The ion gas generator according to claim 1, wherein the plurality of wavy members are arranged via spacers. 前記スペーサは、前記イオンガスの吹き出し方向における複数の前記波状部材の両端部の間であって、前記波状部材の凹曲面の頂部又は凸曲面の頂部の位置に設けられている、請求項2記載のイオンガス発生装置。The said spacer is provided in the position of the top part of the concave curved surface of the said corrugated member, or the convex curved surface between the both ends of the said several corrugated member in the blowing direction of the said ion gas. Ion gas generator. 複数の前記波状部材の両端部は、凹曲面又は凸曲面の頂部であることを特徴とする請求項1〜3の何れか一項記載のイオンガス発生装置。 A plurality of end portions of the corrugated member, the ion gas generator of any one of claims 1-3, characterized in that the top of the concave surface or convex surface. 前記イオン化源は、X線管であることを特徴とする請求項1〜のいずれか一項記載のイオンガス発生装置。 The ionization source, an ion gas generator of any one of claims 1-4, characterized in that the X-ray tube.
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