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JP4715097B2 - Piezoelectric actuator, method for manufacturing the same, and injector - Google Patents
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JP4715097B2 - Piezoelectric actuator, method for manufacturing the same, and injector - Google Patents

Piezoelectric actuator, method for manufacturing the same, and injector Download PDF

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Description

本発明は、積層型圧電素子を利用してなる圧電アクチュエータ及び、圧電アクチュエータを内蔵した燃料噴射用のインジェクタに関する。   The present invention relates to a piezoelectric actuator using a laminated piezoelectric element and a fuel injection injector incorporating the piezoelectric actuator.

一般的に、無負荷状態で積層型圧電素子を動作させると、該積層型圧電素子の圧電効果による駆動力により、積層したセラミック層あるいは電極層の層間剥離を生じるおそれがある。
そのため、積層型圧電素子を使用するに当たっては、積層型圧電素子を軸方向に圧縮する所定の大きさ以上の予荷重(セット荷重)を作用させておく必要がある。
In general, when a laminated piezoelectric element is operated in a no-load state, there is a possibility that delamination of laminated ceramic layers or electrode layers may occur due to the driving force due to the piezoelectric effect of the laminated piezoelectric element.
Therefore, when using the multilayer piezoelectric element, it is necessary to apply a preload (set load) of a predetermined magnitude or more that compresses the multilayer piezoelectric element in the axial direction.

そこで、金属ベローズ等よりなる伸縮部を有するケース内に積層型圧電素子を収容してなる圧電アクチュエータでは、該圧電アクチュエータ単体時において伸縮部の伸長変形が生じるように、上記ケース内に積層型圧電素子を収容する場合がある。すなわち、上記ケースの伸縮部の伸長変形に伴う弾性力によって上記予荷重を発生させている(例えば、特許文献1参照。)。   Therefore, in a piezoelectric actuator in which a multilayer piezoelectric element is housed in a case having an expansion / contraction portion made of a metal bellows or the like, the multilayer piezoelectric element is formed in the case so that the expansion / contraction portion is deformed when the piezoelectric actuator is used alone. An element may be accommodated. That is, the preload is generated by the elastic force accompanying the expansion and deformation of the expansion / contraction part of the case (see, for example, Patent Document 1).

特開2002−26410(明細書の段落番号「0008」、第1図)JP 2002-26410 (paragraph number “0008” in the specification, FIG. 1)

しかしながら、上記の従来の圧電アクチュエータでは、次のような問題がある。すなわち、弾性力を生じさせるべく伸長変形させた上記伸縮部には、定常的に引っ張り応力が作用し、疲労破壊が生じ易いという問題がある。
上記伸縮部に、定常的に引っ張り応力を作用させると疲労寿命が短くなる傾向にあり、上記圧電アクチュエータ全体として製品寿命を十分に確保することが難しい。
However, the above-described conventional piezoelectric actuator has the following problems. That is, there is a problem that a tensile stress is steadily applied to the expansion / contraction portion that is stretched and deformed to generate an elastic force, and fatigue failure is likely to occur.
If a tensile stress is constantly applied to the stretchable part, the fatigue life tends to be shortened, and it is difficult to ensure a sufficient product life as the whole piezoelectric actuator.

本発明は、かかる従来の問題点に鑑みてなされたもので、耐久性に優れた圧電アクチュエータ、その製造方法及び、その圧電アクチュエータを内蔵した燃料噴射用のインジェクタを提供しようとするものである。   The present invention has been made in view of such conventional problems, and an object of the present invention is to provide a piezoelectric actuator having excellent durability, a method for manufacturing the piezoelectric actuator, and an injector for fuel injection incorporating the piezoelectric actuator.

第1の発明は、燃料噴射用のインジェクタに内蔵されるインジェクタ用の圧電アクチュエータであって、
軸方向に弾性的に伸縮可能な伸縮部を有する収納ケースに、積層型圧電素子を収容してなり、
当該圧電アクチュエータ単体時において、上記収納ケースの上記伸縮部に作用する引っ張り荷重が、ゼロ又は上記積層型圧電素子の発生する駆動力の1/10未満荷重であり、
上記インジェクタに内蔵され予荷重を付与された状態においては、上記伸縮部に作用する引っ張り荷重がゼロとなるよう構成されていることを特徴とする圧電アクチュエータにある(請求項1)。
A first invention is a piezoelectric actuator for an injector built in an injector for fuel injection,
A storage case in the axial direction with an elastically stretchable stretch unit, Ri Na houses a laminated type piezoelectric elements,
During the piezoelectric actuator itself, tensile load acting on the expansion portion of the storage case, Ri load der less than 1/10 of the driving force generated by the zero or the stacked piezoelectric device,
The piezoelectric actuator is configured such that in a state where a preload is provided in the injector, a tensile load acting on the expansion / contraction portion is zero .

上記第1の発明の上記圧電アクチュエータでは、上記伸縮部の上記弾性力に基づいて、上記収納ケースから上記積層型圧電素子に対して、その軸方向に圧縮する方向に作用するケース荷重を、上記積層型圧電素子の発生する駆動力の1/10未満或いは100N未満の荷重となるように設定してある。   In the piezoelectric actuator according to the first aspect of the invention, the case load acting in the axial compression direction from the storage case to the stacked piezoelectric element is based on the elastic force of the extendable portion. The load is set to be less than 1/10 of the driving force generated by the multilayer piezoelectric element or less than 100N.

すなわち、上記伸縮部の伸長変形を一定の範囲に制限して、上記ケース荷重の値が上記荷重範囲に収まるようにしてある。   That is, the extension deformation of the expansion / contraction part is limited to a certain range so that the case load value falls within the load range.

そのため、上記圧電アクチュエータでは、過大な引っ張り応力が上記伸縮部に定常的に作用するおそれが少ない。
つまり、一般的な積層型圧電素子の伸縮変位である0.1%歪みを収納ケースの伸縮部に作用させた場合において、積層型圧電素子のセット時における上記伸縮部の引っ張り荷重が、上記積層型圧電素子の発生する駆動力の1/10未満或いは100N未満の荷重であれば、伸縮部の積層型圧電素子の繰り返し作動による疲労に対し、破損するおそれが極めて少なくなる。
したがって、上記伸縮部は疲労破壊するおそれが少なく、上記圧電アクチュエータにあっては、長年に渡って優れた性能を発揮し得る。
なお、上記積層型圧電素子としては、圧電効果を発揮するセラミック積層体単体としての素子であっても良く、或いは、セラミック積層体に、さらに端面を保護する保持部材や、圧電効果による駆動力を外部に伝達するための駆動力伝達部材等を含む素子であっても良い。
For this reason, in the piezoelectric actuator, there is little possibility that an excessive tensile stress constantly acts on the stretchable portion.
That is, when 0.1% strain, which is the expansion / contraction displacement of a general multilayer piezoelectric element, is applied to the expansion / contraction part of the storage case, the tensile load of the expansion / contraction part when the multilayer piezoelectric element is set is If the load is less than 1/10 of the driving force generated by the piezoelectric element or less than 100 N, the possibility of breakage due to repeated fatigue of the laminated piezoelectric element of the stretchable part is extremely reduced.
Therefore, the expansion / contraction part is less likely to be damaged by fatigue, and the piezoelectric actuator can exhibit excellent performance for many years.
The multilayer piezoelectric element may be a single element of a ceramic laminate that exhibits a piezoelectric effect, or may be provided with a holding member for protecting the end surface of the ceramic laminate, or a driving force due to the piezoelectric effect. An element including a driving force transmission member for transmitting to the outside may be used.

第2の発明は、軸方向に伸縮する伸縮部を有する収納ケースに、積層型圧電素子を収容してなる圧電アクチュエータを内蔵した燃料噴射用のインジェクタにおいて、
上記インジェクタは、上記圧電アクチュエータの駆動力が作用する動作面に対して、軸方向の荷重を作用する弾性部材を設けてなり、
上記圧電アクチュエータは、該圧電アクチュエータ単体時において、上記収納ケースの上記伸縮部作用する引っ張り荷重が、ゼロ又は上記積層型圧電素子の発生する駆動力の1/10未満の引張荷重であり、
当該インジェクタに内蔵して予荷重を付与した状態においては、上記伸縮部に作用する引っ張り荷重がゼロとなっていることを特徴とする燃料噴射用のインジェクタにある(請求項4)。
According to a second aspect of the present invention, there is provided a fuel injection injector including a piezoelectric case in which a multilayer piezoelectric element is accommodated in a storage case having an expansion / contraction portion extending and contracting in an axial direction.
The injector includes an elastic member that applies an axial load to an operation surface on which the driving force of the piezoelectric actuator acts.
The piezoelectric actuator, at the time of the piezoelectric actuator itself, tensile load acting on the expansion portion of the storage case, Ri tensile load der less than 1/10 of the driving force generated by the zero or the stacked piezoelectric device,
In a state where a preload is provided in the injector, the fuel injection injector is characterized in that the tensile load acting on the expansion / contraction section is zero (claim 4).

上記第2の発明の燃料噴射用のインジェクタは、インジェクタ駆動用の上記圧電アクチュエータの上記動作面に軸方向の荷重を作用する上記弾性部材を備えている。
そのため、上記インジェクタでは、上記伸縮部の弾性力に基づいて上記収納ケースから上記積層型圧電素子の軸方向に作用するケース荷重と、上記弾性部材による荷重とを合わせた予荷重を上記積層型圧電素子に作用させることができる。
それ故、上記インジェクタにおいては、上記伸縮部で発生させるべき弾性力及び、その伸長変形量を抑制し、上記伸縮部に定常的に作用する引っ張り応力を低減することができる。
なお、上記圧電アクチュエータ単体時とは、上記インジェクタに未だ内蔵していない部品としての圧電アクチュエータの状態をいうものである。
The fuel injection injector according to the second aspect of the invention includes the elastic member that applies an axial load to the operation surface of the piezoelectric actuator for driving the injector.
Therefore, in the injector, a preload, which is a combination of a case load acting in the axial direction of the multilayer piezoelectric element from the storage case based on the elastic force of the expansion and contraction, and a load by the elastic member, is combined with the multilayer piezoelectric element. It can act on the element.
Therefore, in the injector, it is possible to suppress the elastic force to be generated at the expansion / contraction part and the amount of expansion / deformation thereof, and to reduce the tensile stress that constantly acts on the expansion / contraction part.
The term “only when the piezoelectric actuator is used” refers to the state of the piezoelectric actuator as a component that is not yet built in the injector.

したがって、上記第2の発明のインジェクタは、上記積層型圧電素子に十分な予荷重を作用させてあるため層間剥離等のトラブルが少なく、かつ、上記伸縮部に疲労破壊が発生するおそれが少ない耐久性、信頼性に優れたものである。
なお、上記のごとく圧電アクチュエータの外部に配置した上記弾性部材は、交換等のメンテナンス作業を容易に実施でき、上記インジェクタの優れた性能をさらに長期間に渡って発揮させることができる。
Therefore, the injector according to the second aspect of the invention has a sufficient preload applied to the multilayer piezoelectric element, so that there are few troubles such as delamination, and there is little risk of fatigue failure occurring in the stretchable part. It is excellent in reliability and reliability.
The elastic member arranged outside the piezoelectric actuator as described above can easily perform maintenance work such as replacement, and can exhibit the excellent performance of the injector for a longer period of time.

第3の発明は、軸方向に弾性的に伸縮する上記伸縮部を少なくとも一部に形成した筒状の胴部と、該胴部の一方の端部に配設されて上記積層型圧電素子の駆動力が作用する駆動板とを有してなる上記収納ケースに上記積層型圧電素子を収容した上、上記胴部の他方の端部に基台を接合してなる圧電アクチュエータを製造する製造方法において、
上記積層型圧電素子を作製する素子形成工程と、
上記収納ケースの上記開口端部から上記積層型圧電素子を挿入し、該積層型圧電素子を上記収納ケースの軸方向の所定の位置に配置する収容工程と、
上記収納ケースに収容した上記積層型圧電素子の後端面に上記基台の軸方向の端面を当接させた状態で、上記収納ケースの開口端部に上記基台を接合する接合工程とを含み、
上記収容工程では、上記圧電アクチュエータの上記収納ケースにおいて、上記伸縮部に作用する引っ張り荷重が、ゼロ又は上記積層型圧電素子の発生する駆動力の1/10未満荷重となるように、上記積層型圧電素子を収容することを特徴とする圧電アクチュエータの製造方法にある(請求項8)。
A third invention is disposed with the expansion unit which expands and contracts elastically in the axial direction a cylindrical body portion formed at least in part, to one end of the body portion of the stacked piezoelectric device on the driving force is accommodating the stacked piezoelectric device in the storage case comprising a drive plate which acts, a method of manufacturing a piezoelectric actuator formed by joining the base to the other end of the body portion In
An element forming step for producing the laminated piezoelectric element;
An accommodating step of inserting the multilayer piezoelectric element from the opening end of the storage case and disposing the multilayer piezoelectric element at a predetermined position in the axial direction of the storage case;
A joining step of joining the base to the opening end of the storage case in a state where the axial end surface of the base is in contact with the rear end surface of the multilayer piezoelectric element housed in the storage case. ,
In the accommodating step, in the storage case of the piezoelectric actuator, as tensile load acting on the elastic portion becomes zero or 1/10 less than the load of the driving force generated in the stacked piezoelectric device, the laminate According to another aspect of the present invention, there is provided a method of manufacturing a piezoelectric actuator characterized by containing a piezoelectric element.

上記第3の発明の製造方法における上記収容工程は、上記圧電アクチュエータにおける上記積層型圧電素子に作用する上記ケース荷重が、上記積層型圧電素子の発生する駆動力の1/10未満或いは100N未満の荷重となるように実施する。
そのため、上記製造方法により得られる上記圧電アクチュエータは、上記収納ケースの上記伸縮部に生じる伸長変形を所定の範囲に抑えたものとなる。
In the housing step in the manufacturing method of the third invention, the case load acting on the multilayer piezoelectric element in the piezoelectric actuator is less than 1/10 or less than 100 N of the driving force generated by the multilayer piezoelectric element. Carry out load.
For this reason, the piezoelectric actuator obtained by the manufacturing method suppresses expansion deformation generated in the expansion / contraction portion of the storage case within a predetermined range.

そして、上記伸縮部に定常的に作用する引っ張り応力を抑制することにより、該伸縮部に疲労破壊を生じるおそれを抑制することができる。
したがって、上記圧電アクチュエータの製造方法によれば、耐久性に優れ、信頼性の高い圧電アクチュエータを製造することができる。
Then, by suppressing the tensile stress that constantly acts on the stretchable part, it is possible to suppress the possibility of causing fatigue failure in the stretchable part.
Therefore, according to the method for manufacturing a piezoelectric actuator, a piezoelectric actuator having excellent durability and high reliability can be manufactured.

上記第1の発明においては、上記伸縮部に作用する引っ張り荷重は、上記積層型圧電素子の発生する駆動力の1/100未満荷重であることが好ましい(請求項2)
積層型圧電素子のセット時における組付け精度として、一般的に調整可能な程度の荷重、即ち、積層型圧電素子のセット時における上記伸縮部の引っ張り荷重が、上記積層型圧電素子の発生する駆動力の1/100未満荷重である場合には、上記伸縮部の積層型圧電素子の繰り返し作動による疲労に対し、十分余裕のあるものとなる。
また、上記伸縮部は伸長変形を生じておらず、上記伸縮部に作用する引っ張り荷重は、ゼロであることが好ましい(請求項3)。
この場合には、上記収納ケースの上記伸縮部に定常的に作用する引っ張り応力をゼロとして、該伸縮部に疲労破壊が生じるおそれを抑制でき、上記圧電アクチュエータの製品寿命をさらに向上することができる。
ここで、上記ケース荷重をゼロとする方法としては、例えば、上記伸縮部の伸長変形が生じないように上記収納ケースに上記積層型圧電素子を収容する等の方法がある。
In the first aspect of the invention, the tensile load acting on the expansion / contraction part is preferably a load less than 1/100 of the driving force generated by the multilayer piezoelectric element.
As the assembly accuracy at the time of setting the multilayer piezoelectric element, a load that can be adjusted in general, that is, the tensile load of the expansion / contraction part at the time of setting the multilayer piezoelectric element is the driving generated by the multilayer piezoelectric element. When the load is less than 1/100 of the force, there is a sufficient margin against fatigue due to repeated operation of the laminated piezoelectric element of the stretchable part.
Moreover, it is preferable that the said expansion-contraction part does not produce the expansion | extension deformation | transformation, and the tensile load which acts on the said expansion-contraction part is zero (Claim 3).
In this case, the tensile stress that constantly acts on the expansion / contraction part of the storage case is set to zero, the possibility of fatigue failure occurring in the expansion / contraction part can be suppressed, and the product life of the piezoelectric actuator can be further improved. .
Here, as a method of setting the case load to zero, for example, there is a method of accommodating the laminated piezoelectric element in the storage case so that the expansion / contraction part does not undergo expansion deformation.

上記第2の発明においては、上記伸縮部に作用する引っ張り荷重は、上記積層型圧電素子の発生する駆動力の1/100未満荷重であることが好ましい(請求項5)。
積層型圧電素子のセット時における組付け精度として、一般的に調整可能な程度の荷重、即ち、積層型圧電素子のセット時における上記伸縮部の引っ張り荷重が、上記積層型圧電素子の発生する駆動力の1/100未満荷重である場合には、上記伸縮部の積層型圧電素子の繰り返し作動による疲労に対し、十分余裕のあるものとなる。
また、上記圧電アクチュエータ単体時において上記伸縮部は伸長変形を生じておらず、上記伸縮部に作用する引っ張り荷重は、ゼロであることが好ましい(請求項6)。
この場合には、上記インジェクタに内蔵した上記圧電アクチュエータについて、該圧電アクチュエータ単体時における上記伸縮部の変形長さをゼロとして、該伸縮部に疲労破壊を生じるおそれを抑制できる。
そのため、上記インジェクタは、上記圧電アクチュエータの上記伸縮部に疲労破壊が発生するおそれが少なく、さらに長期間に渡って優れた性能を維持することができる。
In the above-described second invention, the tensile load acting on the stretching unit is preferably a load of less than 1/100 of the generated driving force of the stacked piezoelectric device (claim 5).
As the assembly accuracy at the time of setting the multilayer piezoelectric element, a load that can be adjusted in general, that is, the tensile load of the expansion / contraction part at the time of setting the multilayer piezoelectric element is the driving generated by the multilayer piezoelectric element. When the load is less than 1/100 of the force, there is a sufficient margin against fatigue due to repeated operation of the laminated piezoelectric element of the stretchable part.
In addition, when the piezoelectric actuator is used alone, the expansion / contraction part does not cause expansion deformation, and the tensile load acting on the expansion / contraction part is preferably zero (Claim 6).
In this case, with respect to the piezoelectric actuator built in the injector, the deformation length of the expansion / contraction portion when the piezoelectric actuator is a single unit can be set to zero, and the possibility of causing fatigue failure in the expansion / contraction portion can be suppressed.
Therefore, the injector is less likely to cause fatigue failure in the stretchable portion of the piezoelectric actuator, and can maintain excellent performance for a long period of time.

また、上記インジェクタに内蔵され、上記弾性部材による付勢力を受けた状態において、上記積層型圧電素子を軸方向に圧縮する方向に作用する予荷重は、積層型圧電素子の発生する駆動力の1/4以上であることが好ましい(請求項7)。
この場合には、上記インジェクタの作動するための駆動力を発生する上記積層型圧電素子の軸方向に十分な予荷重を作用させることができる。
そのため、上記伸縮部に定常的に作用する引っ張り応力を抑制して疲労寿命を延ばしつつ、該積層型圧電素子の層間剥離等のトラブルを生じるおそれを抑制することができる。
Further, the preload acting in the direction of compressing the laminated piezoelectric element in the axial direction in a state of being built in the injector and receiving the urging force of the elastic member is 1 of the driving force generated by the laminated piezoelectric element. / 4 or more is preferable (claim 7).
In this case, a sufficient preload can be applied in the axial direction of the multilayer piezoelectric element that generates a driving force for operating the injector.
Therefore, it is possible to suppress the possibility of causing troubles such as delamination of the multilayer piezoelectric element while suppressing the tensile stress that constantly acts on the expansion and contraction part and extending the fatigue life.

上記第3の発明においては、上記収容工程における上記伸縮部に作用する引っ張り荷重は、上記積層型圧電素子の発生する駆動力の1/100未満荷重であることが好ましい(請求項9)。
積層型圧電素子のセット時における組付け精度として、一般的に調整可能な程度の荷重、即ち、積層型圧電素子のセット時における上記伸縮部の引っ張り荷重が、上記積層型圧電素子の発生する駆動力の1/100未満荷重である場合には、上記伸縮部の積層型圧電素子の繰り返し作動による疲労に対し、十分余裕のあるものとなる。
また、上記収容工程においては、上記伸縮部に作用する引っ張り荷重に略一致する弾性力を生じる際の上記伸縮部の伸長変形長さを実現するための上記積層型圧電素子の上記収納ケース内での基準挿入位置を基にして、上記接合工程で発生する上記収納ケースの軸方向の収縮長さ分だけ上記積層型圧電素子を挿入逆方向に後退させた位置である組み付け位置に、上記積層型圧電素子を配置することが好ましい(請求項10)。
In the third aspect of the invention, it is preferable that the tensile load acting on the expansion / contraction portion in the housing step is a load less than 1/100 of the driving force generated by the multilayer piezoelectric element.
As the assembly accuracy at the time of setting the multilayer piezoelectric element, a load that can be adjusted in general, that is, the tensile load of the expansion / contraction part at the time of setting the multilayer piezoelectric element is the driving generated by the multilayer piezoelectric element. When the load is less than 1/100 of the force, there is a sufficient margin against fatigue due to repeated operation of the laminated piezoelectric element of the stretchable part.
Further, in the housing step, in the housing case of the stacked piezoelectric element for realizing the extension deformation length of the stretchable portion when generating an elastic force substantially coinciding with the tensile load acting on the stretchable portion. Based on the reference insertion position of the laminated type, the laminated type is located at the assembly position where the laminated piezoelectric element is retracted in the insertion reverse direction by the contraction length in the axial direction of the storage case generated in the joining step. It is preferable to arrange a piezoelectric element (claim 10).

この場合には、上記収容工程において、上記収納ケースに生じ得る収縮を考慮して定めた上記組み付け位置に上記積層型圧電素子を配置する。
そのため、上記圧電アクチュエータでは、上記伸縮部の伸長変形量を設計値に略一致させて設定することができる。
したがって、上記製造方法により製造した上記圧電アクチュエータでは、上記伸縮部に定常的に作用する引っ張り応力が過大となるおそれが少なく、疲労破壊を生じるおそれが少ない。
In this case, in the housing step, the laminated piezoelectric element is disposed at the assembly position determined in consideration of shrinkage that may occur in the housing case.
Therefore, in the piezoelectric actuator, it is possible to set the expansion deformation amount of the expansion / contraction part to substantially match the design value.
Therefore, in the piezoelectric actuator manufactured by the manufacturing method described above, there is little possibility that the tensile stress that constantly acts on the stretchable part will be excessive, and there is little possibility of causing fatigue failure.

なお、上記積層型圧電素子の発生する駆動力の1/10未満又は100N未満の所定のケース荷重はゼロを含むものである。
そして、該所定のケース荷重がゼロである場合には、上記基準挿入位置は、上記収納ケースの上記作用端面と上記積層型圧電素子の先端面とが無荷重の状態で当接している状態から隙間を空けた状態までの範囲のうちの任意の位置にある。
The predetermined case load of less than 1/10 or less than 100 N of the driving force generated by the multilayer piezoelectric element includes zero.
When the predetermined case load is zero, the reference insertion position is determined from a state in which the working end surface of the storage case and the tip surface of the multilayer piezoelectric element are in contact with each other without load. It is at an arbitrary position in the range up to the state where a gap is left.

また、上記組み付け位置は、上記伸縮部に作用する引っ張り荷重に略一致する弾性力を生じる際の上記伸縮部の伸長変形長さを、上記収縮長さから差し引いた長さ分だけ、上記伸縮部を圧縮させた上記収納ケースにおける上記駆動板に上記積層型圧電素子の端部が当接する位置であることが好ましい(請求項11)。 Further, the assembling position is equivalent to the length obtained by subtracting the extension deformation length of the expansion / contraction part when generating an elastic force substantially matching the tensile load acting on the expansion / contraction part from the contraction length. Preferably, the end of the multilayer piezoelectric element is in contact with the drive plate in the storage case compressed.

この場合には、予め、上記伸縮部を圧縮した上記収納ケースの奥まで、上記積層型圧電素子を挿入することにより、上記収容工程を容易かつ確実に実施することができる。
そして、上記圧電アクチュエータにおいては、接合工程で生じるおそれがある収縮長さの少なくとも一部を、上記伸縮部の自由伸長により相殺して、上記積層型圧電素子の端部と上記作用端面との間に上記所定のケース荷重を作用させることができる。
In this case, the housing step can be easily and reliably carried out by inserting the laminated piezoelectric element into the back of the housing case in which the stretchable portion is compressed in advance.
In the piezoelectric actuator, at least a part of the contraction length that may occur in the joining process is canceled by the free extension of the expansion / contraction part, and the gap between the end of the multilayer piezoelectric element and the working end surface The predetermined case load can be applied to the above.

また、上記伸縮部に作用する引っ張り荷重はゼロであり、上記基準挿入位置は、上記積層型圧電素子の軸方向の端部と、上記収納ケースの上記作用端面との間に、上記収縮長さ以上の隙間が形成される位置であることが好ましい(請求項12)。
この場合には、上記圧電アクチュエータにおいて、上記積層型圧電素子と上記作用端面との間に隙間を形成することができる。そのため、上記収納ケースの上記伸縮部で生じる伸長変形を確実にゼロにできる。
したがって、上記伸縮部に定常的に作用する引っ張り応力をゼロとして、疲労破壊が生じるおそれをさらに抑制することができる。
The tensile load acting on the expansion / contraction part is zero, and the reference insertion position is the contraction length between the axial end of the multilayer piezoelectric element and the action end surface of the storage case. A position where the above gap is formed is preferred (claim 12).
In this case, in the piezoelectric actuator, a gap can be formed between the multilayer piezoelectric element and the working end surface. Therefore, it is possible to reliably eliminate the extension deformation generated in the expansion / contraction portion of the storage case.
Accordingly, it is possible to further suppress the possibility of fatigue failure by setting the tensile stress that constantly acts on the stretchable portion to zero.

また、上記接合工程は、上記開口端部に上記基台を溶接する工程であることが好ましい(請求項13)。
この場合には、上記接合工程において、上記収納ケースの軸方向の収縮を生じるおそれが高く、上記第3の発明による製造方法が特に有効になる。
なお、溶接方法としては、レーザ溶接、電子ビーム溶接、Tig溶接等の方法がある。
Moreover, it is preferable that the said joining process is a process of welding the said base to the said opening edge part.
In this case, there is a high possibility that the storage case is contracted in the axial direction in the joining step, and the manufacturing method according to the third invention is particularly effective.
Examples of the welding method include laser welding, electron beam welding, and Tig welding.

(実施例1)
本例の圧電アクチュエータ1及びその製造方法について、図1〜図8を用いて説明する。
本例の圧電アクチュエータ1は、図1に示すごとく、軸方向に弾性的に伸縮可能な伸縮部21を有する収納ケース20に、積層型圧電素子10を収容してなる圧電アクチュエータである。
該圧電アクチュエータ1においては、収納ケース20の伸縮部21の弾性力に基いて積層型圧電素子10に対して、その軸方向に圧縮する方向に作用するケース荷重がゼロである。
以下に、この内容について詳しく説明する。
Example 1
The piezoelectric actuator 1 of this example and its manufacturing method will be described with reference to FIGS.
As shown in FIG. 1, the piezoelectric actuator 1 of the present example is a piezoelectric actuator in which a laminated piezoelectric element 10 is accommodated in a storage case 20 having a stretchable portion 21 that can elastically expand and contract in the axial direction.
In the piezoelectric actuator 1, the case load acting in the axial compression direction on the stacked piezoelectric element 10 based on the elastic force of the expansion / contraction part 21 of the storage case 20 is zero.
This content will be described in detail below.

上記積層型圧電素子10は、図1に示すごとく、セラミック層111と電極層112とを交互に積層してなるセラミック積層体11の積層方向の両端面に、保持部材12と、伝達部材13とを接合してなる素子である。
上記セラミック積層体11は、50〜200μm厚のセラミック層111と0.5〜5μm厚の電極層112とを、50〜700層交互に積層してなるものである。
As shown in FIG. 1, the multilayer piezoelectric element 10 includes a holding member 12, a transmission member 13, and two end surfaces in the stacking direction of a ceramic laminate 11 in which ceramic layers 111 and electrode layers 112 are alternately stacked. It is an element formed by bonding.
The ceramic laminate 11 is formed by alternately stacking 50 to 700 layers of ceramic layers 111 having a thickness of 50 to 200 μm and electrode layers 112 having a thickness of 0.5 to 5 μm.

本例のセラミック積層体11は、図3に示すごとく、電極部503と控え部504とを形成したセラミックよりなるシート片521を積層した部分電極構造を呈する積層体である。
そして、セラミック積層体11の外周面には、図4に示すごとく、軸方向に平行であって、相互に対向する一対の側面115を配置してあり、セラミック積層体11の積層方向に略直交する断面は、略樽形状を呈している。
As shown in FIG. 3, the ceramic laminate 11 of this example is a laminate that exhibits a partial electrode structure in which sheet pieces 521 made of ceramic in which an electrode portion 503 and a holding portion 504 are formed are laminated.
As shown in FIG. 4, a pair of side surfaces 115 that are parallel to the axial direction and face each other are disposed on the outer peripheral surface of the ceramic laminate 11, and are substantially orthogonal to the lamination direction of the ceramic laminate 11. The cross section to be exhibited has a substantially barrel shape.

そして、各側面115には、図1に示すごとく、それぞれ側面電極116を接合してある。各側面電極116は、各側面115に一層おきに露出する電極部503を含む電極層112と電気的に接続されており、かつ、一方の側面電極116と電気的に接続した電極層112は、他方の側面電極116と電気的に絶縁した状態にしてある。   Each side surface 115 is joined with a side electrode 116 as shown in FIG. Each side electrode 116 is electrically connected to the electrode layer 112 including the electrode portion 503 exposed on every other side 115, and the electrode layer 112 electrically connected to one side electrode 116 is: The other side electrode 116 is electrically insulated.

側面電極116の端部は、図1に示すごとく、セラミック積層体11の端面に接合した上記保持部材12に配設した電極端子117と電気的に接続してある。
そして、積層形圧電素子1に後述する基台30を組み付けたとき、該基台30に貫通配置した一対の外部電極31と上記側面電極116とが、電極端子117を介して電気的に接続するように構成してある。
なお、本例の積層型圧電素子10は、外部電極31から電力を供給して駆動力を発生するように構成してある。
As shown in FIG. 1, the end portion of the side electrode 116 is electrically connected to the electrode terminal 117 disposed on the holding member 12 bonded to the end surface of the ceramic laminate 11.
When a base 30 to be described later is assembled to the multilayer piezoelectric element 1, the pair of external electrodes 31 penetrating through the base 30 and the side electrodes 116 are electrically connected via the electrode terminals 117. It is constituted as follows.
The laminated piezoelectric element 10 of this example is configured to generate a driving force by supplying electric power from the external electrode 31.

また、セラミック積層体11の他方の端面の上記伝達部材13は、図1に示すごとく、セラミック積層体11と略同一径の接合部131と、該接合部131よりも小径のロッド部132とよりなる略2重円柱形状を呈する部材である。
そして、圧電アクチュエータ1の使用時においては、該ロッド部132の先端面が、上記収納ケース20の後述する作用端面221と当接するように構成してある。
Further, as shown in FIG. 1, the transmission member 13 on the other end face of the ceramic laminate 11 includes a joint portion 131 having substantially the same diameter as the ceramic laminate 11 and a rod portion 132 having a smaller diameter than the joint portion 131. This is a member having a substantially double cylindrical shape.
When the piezoelectric actuator 1 is used, the distal end surface of the rod portion 132 is configured to abut an action end surface 221 (to be described later) of the storage case 20.

上記収納ケース20は、図1に示すごとく、筒状を呈する胴部24と、上記圧電アクチュエータ1の駆動力を伝達する動作面100をなす駆動板22とを有する略コップ状を呈する部材である。
そして、駆動板22の裏面には、上記伝達部材13の先端面と当接する作用端面221を形成してある。
As shown in FIG. 1, the storage case 20 is a substantially cup-shaped member having a cylindrical body portion 24 and a driving plate 22 that forms an operation surface 100 that transmits the driving force of the piezoelectric actuator 1. .
On the back surface of the drive plate 22, an action end surface 221 that abuts on the front end surface of the transmission member 13 is formed.

上記胴部24は、図1に示すごとく、上記作用端面22に近い端部付近に金属ベローズよりなる伸縮部21を形成してなる。そして、この伸縮部21は、上記積層形圧電素子10の伝達部材13のロッド部132の外周側に、該ロッド部132の外周面と所定の隙間を設けた状態で配置されるように構成してある。   As shown in FIG. 1, the trunk portion 24 is formed by forming a stretchable portion 21 made of a metal bellows in the vicinity of an end portion close to the working end surface 22. And this expansion-contraction part 21 is comprised so that it may be arrange | positioned in the state which provided the predetermined clearance gap with the outer peripheral surface of this rod part 132 in the outer peripheral side of the rod part 132 of the transmission member 13 of the said laminated piezoelectric element 10. FIG. It is.

そして、本例では、上記駆動板22は、収納ケース20における伸縮部21側の端部にレーザ溶接してある。
なお、収納ケース20における駆動板22に当たる部分は、油圧プレスによる絞り加工等により、胴部24と一体的に形成することもできる。
In this example, the drive plate 22 is laser welded to the end of the storage case 20 on the side of the stretchable part 21.
Note that the portion of the storage case 20 that contacts the drive plate 22 can be formed integrally with the body portion 24 by drawing or the like using a hydraulic press.

上記基台30は、図1に示すごとく、SUS304よりなる略円柱状の部材に、一対の外部電極31を貫通配置したものである。そして、貫通した上記外部電極31と基台30との隙間は、ガラスよりなるハーメチックシール33によりシールしてある。
さらに、基台30の上記収納ケース20側の端部には、該収納ケース20の胴部24に挿入する挿入部32を形成してある。
As shown in FIG. 1, the base 30 is formed by penetrating a pair of external electrodes 31 in a substantially cylindrical member made of SUS304. The gap between the external electrode 31 and the base 30 that penetrates is sealed with a hermetic seal 33 made of glass.
Further, an insertion portion 32 to be inserted into the trunk portion 24 of the storage case 20 is formed at the end of the base 30 on the storage case 20 side.

そして、本例の圧電アクチュエータ1は、図1に示すごとく、胴部24に挿入した挿入部32をレーザ溶接することにより、収納ケース20と基台30とを接合してなるものである。
圧電アクチュエータ1では、基台30の挿入部32側の端部と、積層型圧電素子10の保持部材12の端部とを当接させることにより、収納ケース20内における積層型圧電素子10の収容位置を規制してある。
And the piezoelectric actuator 1 of this example joins the storage case 20 and the base 30 by laser-welding the insertion part 32 inserted in the trunk | drum 24, as shown in FIG.
In the piezoelectric actuator 1, the end of the base 30 on the insertion portion 32 side and the end of the holding member 12 of the multilayer piezoelectric element 10 are brought into contact with each other, thereby accommodating the multilayer piezoelectric element 10 in the storage case 20. The position is regulated.

次に、本例の圧電アクチュエータ1を製造する方法について説明する。
該圧電アクチュエータ1を製造する工程は、積層型圧電素子10を作製する素子形成工程と、収納ケース20の開口端部から積層型圧電素子10を挿入し、該積層型圧電素子10を収納ケース20の軸方向の所定の位置に配置する収容工程と、所定の位置に配置した積層型圧電素子10の後端面に基台30の軸方向の端面を当接させた状態で、収納ケース20の開口端部に基台30を接合する接合工程とを含む工程である。
Next, a method for manufacturing the piezoelectric actuator 1 of this example will be described.
The process of manufacturing the piezoelectric actuator 1 includes an element forming process for producing the multilayer piezoelectric element 10, a multilayer piezoelectric element 10 is inserted from the opening end of the storage case 20, and the multilayer piezoelectric element 10 is stored in the storage case 20. The housing case 20 is opened in a state in which the axial end surface of the base 30 is brought into contact with the rear end surface of the laminated piezoelectric element 10 disposed at the predetermined position. And a joining step of joining the base 30 to the end portion.

まず、積層型圧電素子10を作製する上記素子形成工程について説明する。
積層型圧電素子10を構成する上記セラミック積層体11を作製するに当たっては、予め、圧電素子材料であるグリーンシート用のスラリーからグリーンシート500(図2参照)を作製する。
このスラリーは、チタン酸ジルコン酸鉛(PZT)などの圧電セラミックスになるセラミック原料にバインダーと微量の可塑剤及び消泡剤を添加した後、有機溶媒中に分散させたものである。
First, the element formation process for producing the multilayer piezoelectric element 10 will be described.
In producing the ceramic laminate 11 constituting the laminated piezoelectric element 10, a green sheet 500 (see FIG. 2) is produced in advance from a slurry for a green sheet, which is a piezoelectric element material.
This slurry is obtained by adding a binder, a small amount of a plasticizer and an antifoaming agent to a ceramic raw material to be a piezoelectric ceramic such as lead zirconate titanate (PZT), and then dispersing it in an organic solvent.

本例では、ドクターブレード法によって図示しないキャリアフィルム上に、上記スラリーを塗布し、厚さ40〜250μmのグリーンシート500を生成した。なお、スラリーからグリーンシート500を生成する方法としてはドクターブレード法の他、押出成形法その他種々の方法を採ることができる。   In this example, the slurry was applied on a carrier film (not shown) by a doctor blade method to produce a green sheet 500 having a thickness of 40 to 250 μm. In addition, as a method of producing | generating the green sheet 500 from a slurry, the extrusion method other various methods other than a doctor blade method can be taken.

次に、図2に示すごとく、グリーンシート500における積層面501となる領域に、導電材料であるAg−Pdペーストをスクリーン印刷により塗布する。ここで、積層面501の外周部に当たる1箇所を残してAg−Pdペーストを塗布することにより、積層面501上に電極部503と控え部504とからなる電極印刷パターン502を形成する。
そしてその後、導電材料を塗布した積層面501全面に、接着材としての上記スラリーを塗布する。
Next, as shown in FIG. 2, Ag—Pd paste, which is a conductive material, is applied by screen printing to a region that becomes the laminated surface 501 in the green sheet 500. Here, the electrode printing pattern 502 including the electrode portion 503 and the holding portion 504 is formed on the laminated surface 501 by applying the Ag-Pd paste while leaving one place corresponding to the outer peripheral portion of the laminated surface 501.
Thereafter, the slurry as an adhesive is applied to the entire laminated surface 501 to which the conductive material is applied.

また、本例では、図2及び図3に示すごとく、グリーンシート500を打ち抜くごとに、シート片521における控え部504の配置が交互に入れ替わるように、図2に示すごとく、グリーンシート500表面に鏡像関係にある2種類の電極用印刷パターン502を形成した。   In this example, as shown in FIG. 2 and FIG. 3, as shown in FIG. Two types of electrode print patterns 502 having a mirror image relationship were formed.

その後、図3に示すごとく、グリーンシート500から電極用シートパターン502を有するシート片521を打ち抜き、打ち抜いたシート片521を順次、積層する。
ここでは、同図に示すごとく、鏡像関係にある2種類の電極用印刷パターン502を有するシート片521を交互に積層して中間積層体(図示略)を作製すると共に、これを焼成してセラミック積層体11を作製する。
なお、本例では、1200℃雰囲気中に2時間保持して中間積層体を焼成した後、炉冷を実施した。
Thereafter, as shown in FIG. 3, the sheet pieces 521 having the electrode sheet pattern 502 are punched from the green sheet 500, and the punched sheet pieces 521 are sequentially stacked.
Here, as shown in the figure, an intermediate laminate (not shown) is produced by alternately laminating sheet pieces 521 having two kinds of electrode print patterns 502 having a mirror image relationship, and this is fired to produce a ceramic. The laminated body 11 is produced.
In this example, the intermediate laminate was baked by holding in an atmosphere of 1200 ° C. for 2 hours, and then furnace cooling was performed.

そうすると、上記積層面501(図1)に塗布した電極部503は、図4に示すごとく、上記セラミック積層体11において層状をなす各電極層112を形成することになる。
そして、上記セラミック積層体11は、対向する側面において1層おきの電極層112の電極部503を露出しており、かつ、一方の側面で電極部503を露出する電極層112は、他方の側面では控え部504を露出するように構成される。
Then, the electrode portion 503 applied to the laminated surface 501 (FIG. 1) forms each electrode layer 112 that forms a layer in the ceramic laminate 11, as shown in FIG.
The ceramic laminate 11 exposes the electrode portions 503 of every other electrode layer 112 on the opposite side surface, and the electrode layer 112 that exposes the electrode portion 503 on one side surface has the other side surface. Then, it is comprised so that the holding | maintenance part 504 may be exposed.

なお、本例のセラミック積層体11は、図4に示すごとく、積層方向の一層おきに電極部503及び控え部504が現れる側面を平面加工してなり、一対の略平面状の側面115を形成したものである。
そして、本例の積層型圧電素子10は、図1に示すごとく、上記セラミック積層体11の各側面115に、導電性接着剤により側面電極116を接合すると共に、セラミック積層体11の積層方向の両端面に上記保持部材12と上記伝達部材13とを接合したものである。
なお、上記導電性接着剤としては、Ag−Pdペースト、Agペースト、Auペースト、Cuペースト等を利用することができる。
In addition, as shown in FIG. 4, the ceramic laminated body 11 of this example planarizes the side surface where the electrode part 503 and the holding | maintenance part 504 appear every other layer of the lamination direction, and forms a pair of substantially planar side surfaces 115. It is a thing.
As shown in FIG. 1, the multilayer piezoelectric element 10 of this example joins side electrodes 116 to the respective side surfaces 115 of the ceramic multilayer body 11 with a conductive adhesive, and in the stacking direction of the ceramic multilayer body 11. The holding member 12 and the transmission member 13 are joined to both end faces.
As the conductive adhesive, an Ag—Pd paste, an Ag paste, an Au paste, a Cu paste, or the like can be used.

次に、上記収納ケース20に積層型圧電素子10を収容する上記収容工程について説明する。
この工程では、図5に示すごとく、予め、積層型圧電素子10の保持部材12側の端部に、基台30を組み付ける。
本例では、保持部材12に配設した電極端子117と、基台30の外部電極31とを、レーザ照射によるスポット溶接により接合することにより、保持部材12と基台30とを当接させた状態で両者を組み付けた。
Next, the housing process for housing the multilayer piezoelectric element 10 in the housing case 20 will be described.
In this step, as shown in FIG. 5, the base 30 is assembled in advance to the end of the laminated piezoelectric element 10 on the holding member 12 side.
In this example, the holding member 12 and the base 30 are brought into contact with each other by joining the electrode terminal 117 disposed on the holding member 12 and the external electrode 31 of the base 30 by spot welding by laser irradiation. Both were assembled in a state.

図5に示すごとく、収納ケース20に積層型圧電素子10を収容するに当たっては、予め、該積層型圧電素子10の伝達部材13の先端面が、収納ケース20の作用端面221と接触する一方、伸縮部21に伸長変形を生じない積層型圧電素子10の基準挿入位置を計算的に算出すると共に、接合工程で発生し得る収納ケース20の軸方向の収縮長さを実験的に算出してある。
そして、上記基準挿入位置から、上記収縮長さ分だけ積層型圧電素子10を挿入逆方向に後退させた位置を組み付け位置とし、該組み付け位置に積層型圧電素子10を挿入、配置した。
As shown in FIG. 5, when accommodating the multilayer piezoelectric element 10 in the storage case 20, the tip surface of the transmission member 13 of the multilayer piezoelectric element 10 comes into contact with the working end surface 221 of the storage case 20 in advance. The reference insertion position of the multilayer piezoelectric element 10 that does not cause expansion / deformation in the expansion / contraction part 21 is calculated, and the contraction length in the axial direction of the storage case 20 that can occur in the joining process is calculated experimentally. .
The position where the multilayer piezoelectric element 10 was retracted in the insertion reverse direction by the contraction length from the reference insertion position was defined as the assembly position, and the multilayer piezoelectric element 10 was inserted and disposed at the assembly position.

なお、後述する本例のレーザ溶接による接合工程では、収納ケース20について、およそ70μmの軸方向の収縮が生じることを実験的に求めている。
したがって、本例では、図6に示すごとく、収納ケース20の作用端面221と、積層型圧電素子10の伝達部材13の端部との間に、70μmの隙間Gが形成される位置が上記組み付け位置となる。
そこで、本例の収容工程では、図6に示すごとく、積層型圧電素子10を上記組み付け位置に収容、配置した。
In addition, it is experimentally calculated | required that the shrinkage | contraction of the axial direction of about 70 micrometers arises about the storage case 20 in the joining process by the laser welding of this example mentioned later.
Therefore, in this example, as shown in FIG. 6, the position where the gap G of 70 μm is formed between the working end surface 221 of the storage case 20 and the end of the transmission member 13 of the multilayer piezoelectric element 10 is the above assembly. Position.
Therefore, in the housing process of this example, as shown in FIG. 6, the multilayer piezoelectric element 10 is housed and arranged at the assembly position.

次に、上記接合工程は、収納ケース20に対する積層型圧電素子10の上記組み付け位置を保持した状態で、該積層型圧電素子10の軸方向位置を規制する基台30を収納ケース20に接合する工程である。本例では、レーザ溶接により基台30を収納ケース20に接合した。   Next, in the joining step, the base 30 that regulates the axial position of the multilayer piezoelectric element 10 is joined to the storage case 20 while the assembly position of the multilayer piezoelectric element 10 with respect to the storage case 20 is maintained. It is a process. In this example, the base 30 is joined to the storage case 20 by laser welding.

上記接合工程では、上記のごとく、溶接の熱により上記収納ケース20には70μm程度の軸方向の収縮を生じる。
このとき、収納ケース20の内部では、図7に示すごとく、上記収容工程において上記作用端面22と伝達部材13の端部との間に設けた隙間G(図6参照。)が狭められ、その隙間がなくなる。
ここで、上記接合工程において設計通りの収縮が生じた場合には、作用端面22と伝達部材13の端部とはゼロ荷重で接触するようになり、収納ケース20の伸縮部21に伸長変形を生じることはない。
In the joining step, as described above, axial shrinkage of about 70 μm occurs in the storage case 20 due to the heat of welding.
At this time, inside the storage case 20, as shown in FIG. 7, the gap G (see FIG. 6) provided between the working end surface 22 and the end of the transmission member 13 in the storage step is narrowed. The gap disappears.
Here, when shrinkage as designed occurs in the joining process, the working end face 22 and the end of the transmission member 13 come into contact with zero load, and the expansion / contraction part 21 of the storage case 20 is stretched and deformed. It does not occur.

このように、本例では、上記接合工程で生じる上記収納ケースの収縮を考慮して定めた上記組み付け位置に上記積層型圧電素子を配置する。
そのため、圧電アクチュエータ1における伸縮部21の伸長変形長さを適正に設定することができ、該伸縮部21に定常的に作用する引っ張り応力を抑制することができる。
したがって、本例の圧電アクチュエータ1は、伸縮部21が疲労破壊するおそれが少なく、長期間の仕様に渡って優れた性能を発揮することができる。
Thus, in this example, the laminated piezoelectric element is disposed at the assembly position determined in consideration of the shrinkage of the storage case that occurs in the joining step.
Therefore, the extension deformation length of the expansion / contraction part 21 in the piezoelectric actuator 1 can be set appropriately, and the tensile stress that constantly acts on the expansion / contraction part 21 can be suppressed.
Therefore, the piezoelectric actuator 1 of the present example is less likely to cause fatigue failure of the stretchable part 21, and can exhibit excellent performance over a long term specification.

なお、上記基準挿入位置としては、上記作用端面22と伝達部材13との間に隙間が形成される位置とすることもできる。この場合には、図7に示すごとく、製造された圧電アクチュエータ1において、上記作用端面22と上記積層型圧電素子10との間に隙間を形成することができる。
そのため、上記接合工程における収納ケース20の軸方向の収縮量に多少の誤差を生じた場合であっても、伸縮部21に伸長変形を確実に防止することができる。
The reference insertion position may be a position where a gap is formed between the working end surface 22 and the transmission member 13. In this case, as shown in FIG. 7, in the manufactured piezoelectric actuator 1, a gap can be formed between the working end surface 22 and the laminated piezoelectric element 10.
Therefore, even if a slight error occurs in the amount of contraction in the axial direction of the storage case 20 in the joining step, the expansion / contraction part 21 can be reliably prevented from being stretched and deformed.

さらに、圧電アクチュエータ1に内蔵した積層型圧電素子10を軸方向に圧縮する所定のケース荷重を、積層型圧電素子10の発生する駆動力の1/10未満或いは100N未満の範囲でゼロより大きく設定することもできる。
この場合には、上記基準挿入位置は、上記伸縮部21の伸長変形による弾性力が、上記所定のケース荷重と略一致する際の積層型圧電素子10の挿入位置となる。そして、この基準挿入位置から上記接合工程での収縮長さ分、挿入逆方向に後退させた位置が上記組み付け位置になる。
Further, a predetermined case load for axially compressing the laminated piezoelectric element 10 built in the piezoelectric actuator 1 is set to be larger than zero within a range of less than 1/10 of the driving force generated by the laminated piezoelectric element 10 or less than 100N. You can also
In this case, the reference insertion position is the insertion position of the multilayer piezoelectric element 10 when the elastic force due to the expansion and deformation of the expansion / contraction part 21 substantially coincides with the predetermined case load. Then, a position retracted from the reference insertion position by the contraction length in the joining step in the insertion reverse direction is the assembly position.

なお、図8に示すごとく、上記収納ケース20の胴部24の軸方向の全域に渡って伸縮部21を形成して、該伸縮部21の内周側に積層型圧電素子1を配設することもできる。
この場合には、伸縮部21の単位長さ当たりに作用する応力を分散して、疲労寿命を延ばすことができる。
As shown in FIG. 8, the expansion / contraction part 21 is formed over the entire axial direction of the body part 24 of the storage case 20, and the multilayer piezoelectric element 1 is disposed on the inner peripheral side of the expansion / contraction part 21. You can also.
In this case, the stress acting on the unit length of the stretchable part 21 can be dispersed to extend the fatigue life.

(実施例2)
本例は、実施例1を基にして、上記収容工程の実施の方法を変更した例である。
また、本例の圧電アクチュエータ1では、積層型圧電素子10の軸方向に圧縮する方向に作用する上記ケース荷重として、ゼロよりも大きく積層型圧電素子10の発生する駆動力の1/10未満或いは100N未満の範囲にある所定のケース荷重を設定した。
(Example 2)
This example is an example in which the method for carrying out the housing step is changed based on the first embodiment.
In the piezoelectric actuator 1 of this example, the case load acting in the axial compression direction of the multilayer piezoelectric element 10 is less than 1/10 of the driving force generated by the multilayer piezoelectric element 10 greater than zero or A predetermined case load in the range of less than 100N was set.

そして、本例の収容工程は、図9に示すごとく、予め、軸方向に圧縮した収納ケース20の作用端面221に、積層型圧電素子10の挿入方向の端部を当接させることにより組み付ける工程である。
本例の収容工程を実施するに当たっては、予め、上記接合工程において生じ得る収納ケース20の軸方向の収縮長さL1と、所定のケース荷重により積層型圧電素子10を軸方向に圧縮するために必要な伸縮部21の伸長変形長さL2とを求めておく。
なお、本例では、上記所定のケース荷重を、積層型圧電素子10の発生する駆動力の1/10未満或いは100N未満の範囲でゼロより大きく設定した。
And the accommodation process of this example is a process of assembling | attaching by making the edge part of the insertion direction of the laminated piezoelectric element 10 contact | abut to the action | operation end surface 221 of the storage case 20 compressed in the axial direction previously, as shown in FIG. It is.
In carrying out the housing step of this example, in order to compress the laminated piezoelectric element 10 in the axial direction in advance by the axial contraction length L1 of the housing case 20 that may occur in the joining step and a predetermined case load. The required extension deformation length L2 of the stretchable part 21 is obtained in advance.
In this example, the predetermined case load is set to be larger than zero in a range of less than 1/10 of the driving force generated by the multilayer piezoelectric element 10 or less than 100N.

そして、上記収縮長さから上記伸長変形長さを差し引いた長さ分を、伸縮部21を圧縮すべき上記所定の長さPとする。すなわち、P=L1−L2とする。
そこで、本例の収容工程を実施するに当たって、まず、収納ケース20を軸方向に上記所定の長さPだけ縮めておく。
The length obtained by subtracting the extension deformation length from the contraction length is defined as the predetermined length P to which the expansion / contraction part 21 is to be compressed. That is, P = L1-L2.
Therefore, in carrying out the housing step of this example, first, the housing case 20 is shrunk in the axial direction by the predetermined length P.

そして、上記収容工程では、圧縮した収納ケース20の作用端面221に積層型圧電素子10の伝達部材13が接触する位置に、積層型圧電素子を挿入配置する。その後、上記接合工程を実施すると、上記収縮長さに略一致して上記収納ケース20が軸方向に長さL1分だけ収縮する。
その後、収納ケース20を圧縮していた力を解放すると、該収納ケース20は、上記所定の長さPだけ伸長復帰することになる。
In the housing step, the laminated piezoelectric element is inserted and disposed at a position where the transmission member 13 of the laminated piezoelectric element 10 contacts the action end surface 221 of the compressed storage case 20. Thereafter, when the joining step is performed, the storage case 20 contracts in the axial direction by a length L1 substantially in agreement with the contraction length.
Thereafter, when the force that has compressed the storage case 20 is released, the storage case 20 expands and returns by the predetermined length P.

ここで、収納ケース20のもとの全長(内側)をLとすると、接合工程実施後の全長(内側)は、L−L1である。
接合工程前の、圧縮した状態の収納ケース20の全長(内側)は、L−P=L−(L1−L2)である。そして、接合工程前では、収納ケース20の作用端面221と積層型圧電素子10の端部とを接触させてあるので、収納ケース20の内容物すなわち積層型圧電素子10の全長は、L−P=L−(L1−L2)となっているはずである。
Here, when the original full length (inner side) of the storage case 20 is L, the full length (inner side) after execution of the joining step is L-L1.
The total length (inner side) of the compressed storage case 20 before the joining step is L−P = L− (L1−L2). Before the joining process, the working end surface 221 of the storage case 20 and the end of the multilayer piezoelectric element 10 are brought into contact with each other. Therefore, the contents of the storage case 20, that is, the total length of the multilayer piezoelectric element 10 is LP. = L- (L1-L2).

収納ケース20の接合工程後の全長L−L1と、積層型圧電素子10の全長L−L1+L2とを比較すると、収納ケース20の全長がL2だけ短い。
それ故、接合工程後では、収納ケース20の伸縮部21は、L2分だけ伸長変形することになる。
そして、L2分だけ伸長変形を生じた伸縮部21は、上記当初の設計の通りの所定のケース荷重を、積層型圧電素子10を圧縮する方向に作用することになる。
When the total length L-L1 after the joining process of the storage case 20 is compared with the total length L-L1 + L2 of the multilayer piezoelectric element 10, the total length of the storage case 20 is shorter by L2.
Therefore, after the joining step, the expansion / contraction part 21 of the storage case 20 is extended and deformed by L2.
The expansion / contraction part 21 that has undergone expansion deformation by L2 acts on the predetermined case load as in the original design in the direction in which the multilayer piezoelectric element 10 is compressed.

ここで、本例で、収納ケース20における積層型圧電素子10の組み付け位置は、実施例1に示した方法で算出する上記組み付け位置と全く等しい位置である。
つまり、本例は、予め所定の長さに圧縮した収納ケース20の作用端面221に、積層型圧電素子10の端部を当接させるという上記収容工程により、上記組み付け位置への積層型圧電素子10の挿入配置を容易にした例である。
なお、その他の構成及び作用効果については実施例1と同様である。
Here, in this example, the assembly position of the multilayer piezoelectric element 10 in the storage case 20 is exactly the same as the assembly position calculated by the method shown in the first embodiment.
That is, in this example, the stacked piezoelectric element at the assembly position is brought into contact with the working end surface 221 of the storage case 20 compressed in advance to a predetermined length by the storing step of bringing the end of the stacked piezoelectric element 10 into contact. This is an example in which the insertion arrangement of 10 is facilitated.
Other configurations and operational effects are the same as those in the first embodiment.

(実施例3)
本例は、実施例1の積層型圧電素子を内蔵したインジェクタについての例である。
本例のインジェクタ6は、図10に示すごとく、図示しないコモンレール内に蓄えたおよそ180MPaの高圧の燃料を、エンジンシリンダ内に噴射する装置である。
(Example 3)
This example is an example of an injector incorporating the multilayer piezoelectric element of the first embodiment.
As shown in FIG. 10, the injector 6 of this example is a device that injects approximately 180 MPa of high-pressure fuel stored in a common rail (not shown) into the engine cylinder.

このインジェクタ6は、図10に示すごとく、実施例1の圧電アクチュエータ1が収容されるハウジング50と、インジェクションノズル65を含む噴射ノズル部61を形成したノズルハウジング60とを組み付けてなるものである。   As shown in FIG. 10, the injector 6 is formed by assembling a housing 50 in which the piezoelectric actuator 1 according to the first embodiment is accommodated and a nozzle housing 60 in which an injection nozzle portion 61 including an injection nozzle 65 is formed.

略円柱状の外形を呈するハウジング50は、図10に示すごとく、中心軸から偏芯してコネクタ70側の端面から穿孔された断面略円形状を呈する凹部51と、該凹部51と略同軸上に、ノズルハウジング60側の端面から穿孔された断面略円形状を呈する第1シリンダ53と、該第1シリンダ53及び凹部51に隣接して同端面から穿孔された燃料供給通路52とを有している。   As shown in FIG. 10, the housing 50 having a substantially cylindrical outer shape has a recess 51 that is eccentric from the center axis and has a substantially circular cross section that is perforated from an end surface on the connector 70 side, and is substantially coaxial with the recess 51. A first cylinder 53 having a substantially circular cross section drilled from an end surface on the nozzle housing 60 side, and a fuel supply passage 52 drilled from the same end surface adjacent to the first cylinder 53 and the recess 51. ing.

凹部51と第1シリンダ53とは、図10に示すごとく、凹部51の底部から略同軸上に穿孔された連通穴54により連通している。本例では、この連通穴54は、凹部51及び第1シリンダ53よりも小径に形成してある。また、燃料供給通路52は、ハウジング50におけるコネクタ70側の端部に配設されたジョイント部520に開口し、該ジョイント部520に収容した燃料導入管525を介して、図示しないコモンレールと接続してある。
さらに、ハウジング50の後端側に形成されたジョイント部580は、後述する三方弁62に連通するドレイン通路58を穿設してあり、該ドレイン通路58には燃料を排出する燃料導出管585を連接してある。
As shown in FIG. 10, the recess 51 and the first cylinder 53 communicate with each other through a communication hole 54 that is drilled substantially coaxially from the bottom of the recess 51. In this example, the communication hole 54 is formed with a smaller diameter than the recess 51 and the first cylinder 53. The fuel supply passage 52 opens to a joint portion 520 provided at the end of the housing 50 on the connector 70 side, and is connected to a common rail (not shown) via a fuel introduction pipe 525 accommodated in the joint portion 520. It is.
Further, the joint portion 580 formed on the rear end side of the housing 50 has a drain passage 58 communicating with a three-way valve 62 described later, and a fuel outlet pipe 585 for discharging fuel is provided in the drain passage 58. It is connected.

ハウジング50は、図10に示すごとく、凹部51内に圧電アクチュエータ1を有している。また、第1シリンダ53内には、第1プランジャ530を収容してある。この第1プランジャ530は、第1シリンダ53内を摺動する胴部531と、上記連通穴54に貫通する軸部532とを有している。
そして、軸部532の端面において、駆動伝達ユニット55を介して、圧電アクチュエータ1の動作面としての駆動板22に当接している。
The housing 50 has the piezoelectric actuator 1 in the recess 51 as shown in FIG. A first plunger 530 is accommodated in the first cylinder 53. The first plunger 530 has a body portion 531 that slides in the first cylinder 53 and a shaft portion 532 that passes through the communication hole 54.
The end surface of the shaft portion 532 is in contact with the drive plate 22 as the operation surface of the piezoelectric actuator 1 via the drive transmission unit 55.

駆動伝達ユニット55は、軸方向の両端部で第1プランジャ530と圧電アクチュエータ1に当接する付勢ロッド553と、該付勢ロッド553を圧電アクチュエータ1に向けて付勢するコイルスプリング552と、スプリングシート551とを有してなる。   The drive transmission unit 55 includes an urging rod 553 that contacts the first plunger 530 and the piezoelectric actuator 1 at both ends in the axial direction, a coil spring 552 that urges the urging rod 553 toward the piezoelectric actuator 1, and a spring. And a sheet 551.

付勢ロッド553は、圧電アクチュエータ1側の端部付近にコイルスプリング552よりも大径のシート部554を形成してある。そして、付勢ロッド553は、コイルスプリング552がシート部554に作用する付勢力により、圧電アクチュエータ1に向けて押圧されている。   The urging rod 553 has a sheet portion 554 having a diameter larger than that of the coil spring 552 in the vicinity of the end portion on the piezoelectric actuator 1 side. The urging rod 553 is pressed toward the piezoelectric actuator 1 by the urging force that the coil spring 552 acts on the seat portion 554.

スプリングシート551は、凹部51から連通穴54に至る棚部に係合してコイルスプリング552の一方の端部の軸方向の位置を規制するように構成してある。そして、該スプリングシート551の中央部には、上記付勢ロッド553を挿通させる貫通穴を穿孔してある。   The spring seat 551 is configured to be engaged with a shelf portion extending from the recess 51 to the communication hole 54 to restrict the position of one end portion of the coil spring 552 in the axial direction. A through hole through which the urging rod 553 is inserted is formed in the central portion of the spring seat 551.

なお、本例の駆動伝達ユニット55では、付勢ロッド553から圧電アクチュエータ1の動作面100に作用する静的な圧縮荷重を、積層型圧電素子10の発生する駆動力の1/4以上に設定してある。
一方、圧電アクチュエータ1単体時において、積層型圧電素子1に作用する上記ケース荷重はゼロにしてある。
そのため、インジェクタ6に内蔵した圧電アクチュエータ1の積層型圧電素子10に対しては、その軸方向に積層型圧電素子10の発生する駆動力の1/4以上の予荷重が作用することになる。
In the drive transmission unit 55 of this example, the static compressive load acting on the operating surface 100 of the piezoelectric actuator 1 from the biasing rod 553 is set to 1/4 or more of the driving force generated by the multilayer piezoelectric element 10. It is.
On the other hand, when the piezoelectric actuator 1 is used alone, the case load acting on the multilayer piezoelectric element 1 is zero.
Therefore, a preload more than ¼ of the driving force generated by the multilayer piezoelectric element 10 acts in the axial direction on the multilayer piezoelectric element 10 of the piezoelectric actuator 1 incorporated in the injector 6.

また、インジェクタ6は、該コネクタ70に収容した一対の電極(図示略)に所定の電圧を印加することにより、上記基台30に貫通配置した外部電極31(図1参照。)を介して積層型圧電素子1の各セラミック層111に電圧を印加できるように構成してある。   Further, the injector 6 is laminated via an external electrode 31 (see FIG. 1) penetrating the base 30 by applying a predetermined voltage to a pair of electrodes (not shown) accommodated in the connector 70. A voltage can be applied to each ceramic layer 111 of the piezoelectric element 1.

ノズルハウジング60は、図10に示すごとく、ハウジング50側の端面から同軸上に穿孔された第2シリンダ63と、燃料供給通路52又はドレイン通路58に連通する三方弁62と、噴射ノズル部61とを有している。
ノズルハウジング60をハウジング50に組み付けたとき、上記第1シリンダ53と連通するように第2シリンダ63を形成してある。そして、上記第2シリンダ63には、第2プランジャ630を摺動自在に収容してある。
したがって、第1プランジャ530と第2プランジャ630との間には、第1シリンダ53から第2シリンダ63にかけて1つの圧力室506が形成されている。
As shown in FIG. 10, the nozzle housing 60 includes a second cylinder 63 that is coaxially drilled from the end surface on the housing 50 side, a three-way valve 62 that communicates with the fuel supply passage 52 or the drain passage 58, and an injection nozzle portion 61. have.
A second cylinder 63 is formed so as to communicate with the first cylinder 53 when the nozzle housing 60 is assembled to the housing 50. In the second cylinder 63, a second plunger 630 is slidably accommodated.
Accordingly, one pressure chamber 506 is formed between the first plunger 530 and the second plunger 630 from the first cylinder 53 to the second cylinder 63.

本例では、図10に示すごとく、この圧力室506内に作動流体を充填し、第1プランジャ530に従動して第2プランジャ630をストロークさせることができるように構成してある。
ここで、第2シリンダ63は、第1シリンダ53よりも小径に形成してある。そのため、このインジェクタ6では、第1プランジャ530のストロークを増幅して、第2プランジャ630をストロークさせることができるように構成してある。
In this example, as shown in FIG. 10, the pressure chamber 506 is filled with a working fluid, and the second plunger 630 can be stroked by following the first plunger 530.
Here, the second cylinder 63 is formed with a smaller diameter than the first cylinder 53. Therefore, the injector 6 is configured such that the stroke of the first plunger 530 can be amplified and the second plunger 630 can be stroked.

上記三方弁62は、図10に示すごとく、燃料供給通路52又はドレイン通路58と、後述する背圧室610とを選択的に連通させる弁体(図示略)を有している。この弁体は、第2プランジャ630のノズルハウジング60側方向のストロークによって作用して、ドレイン通路58と背圧室610とを連通させるように構成されている。   As shown in FIG. 10, the three-way valve 62 has a valve body (not shown) for selectively communicating the fuel supply passage 52 or the drain passage 58 with a back pressure chamber 610 described later. This valve element is configured to act by the stroke of the second plunger 630 in the direction of the nozzle housing 60 to communicate the drain passage 58 and the back pressure chamber 610.

また、第2プランジャ630がハウジング50側に位置するときには、弁体は、燃料供給通路52と背圧室610とを連通させるよう構成されている。
すなわち、本例のインジェクタ6の背圧室610は、通常、高圧の燃料が導入されて高圧に保持されており、第2プランジャ630のノズルハウジング60側に向かうストロークにより、背圧室610とドレイン通路58との連通により、背圧室610内が減圧されるように構成してある。
Further, when the second plunger 630 is positioned on the housing 50 side, the valve body is configured to allow the fuel supply passage 52 and the back pressure chamber 610 to communicate with each other.
That is, the back pressure chamber 610 of the injector 6 of this example is normally maintained at a high pressure by introducing high-pressure fuel, and the back pressure chamber 610 and the drain are discharged by the stroke of the second plunger 630 toward the nozzle housing 60 side. The back pressure chamber 610 is configured to be depressurized by communication with the passage 58.

上記噴射ノズル部61は、図10に示すごとく、ノズルハウジング60の先端側に配設されたインジェクションノズル65と、該インジェクションノズル65を開閉するノズルニードル615と、噴射する燃料を蓄える燃料溜まり612とを有している。   As shown in FIG. 10, the injection nozzle section 61 includes an injection nozzle 65 disposed on the tip end side of the nozzle housing 60, a nozzle needle 615 that opens and closes the injection nozzle 65, and a fuel reservoir 612 that stores fuel to be injected. have.

インジェクションノズル65は、図10に示すごとく、軸芯と同軸上に穿孔されたニードル穴650を有している。そして、このニードル穴650は、燃料を噴出する噴孔として、インジェクションノズル65の先端に開口している。
上記ノズルニードル615は、先端方向が小径である2段の略円柱形状を呈しており、直径が変化する段部616が上記燃料溜まり612に位置するよう上記ニードル穴650内に収容されている。また、ノズルニードル615は、その球状を呈する先端部613により、インジェクションノズル65先端の噴孔を開閉できるように構成してある。
As shown in FIG. 10, the injection nozzle 65 has a needle hole 650 that is drilled coaxially with the axis. The needle hole 650 is opened at the tip of the injection nozzle 65 as an injection hole for injecting fuel.
The nozzle needle 615 has a two-stage substantially cylindrical shape with a small diameter in the tip direction, and is accommodated in the needle hole 650 so that a step portion 616 whose diameter changes is located in the fuel reservoir 612. Further, the nozzle needle 615 is configured such that the nozzle hole at the tip of the injection nozzle 65 can be opened and closed by a spherical tip 613.

また、ノズルニードル615の他方の端部側には、図10に示すごとく、三方弁62と連通する背圧室610を形成してある。この背圧室610に配置されたスプリング618は、インジェクションノズル65先端の噴孔を閉じる方向にノズルニードル615を付勢するように構成してある。   Further, as shown in FIG. 10, a back pressure chamber 610 communicating with the three-way valve 62 is formed on the other end side of the nozzle needle 615. A spring 618 disposed in the back pressure chamber 610 is configured to urge the nozzle needle 615 in a direction to close the injection hole at the tip of the injection nozzle 65.

さらに、ノズルニードル615の段部616の外周に形成された、略断面円形状を呈する燃料溜まり612には、図10に示すごとく、高圧の燃料を供給する燃料供給通路52を連通させてある。燃料溜まり612の高圧の燃料は、該ノズルニードル615をハウジング50側に後退させる方向の圧力を、ノズルニードル615の段部616に作用するように構成してある。   Further, as shown in FIG. 10, a fuel supply passage 52 for supplying high-pressure fuel is communicated with a fuel reservoir 612 having a substantially circular cross section formed on the outer periphery of the step portion 616 of the nozzle needle 615. The high-pressure fuel in the fuel reservoir 612 is configured to act on the step portion 616 of the nozzle needle 615 with a pressure in a direction in which the nozzle needle 615 is retracted toward the housing 50 side.

以下に、図示しないディーゼルエンジンのコモンレール噴射システムに適用した本例のインジェクタ6の動作について説明する。
上記のインジェクタ6を動作させて、インジェクションノズル65からエンジンシリンダ内へ、180MPaという高圧の燃料を噴射するには、図10に示すごとく、圧電アクチュエータ1に所定の電圧を印加する。
電圧の印加による圧電アクチュエータ1の伸長により、該圧電アクチュエータ1の動作面100に当接した駆動伝達ユニット55の付勢ロッド553は、上記第1プランジャ530に向けてストロークさせる。
Below, operation | movement of the injector 6 of this example applied to the common rail injection system of the diesel engine which is not shown in figure is demonstrated.
In order to operate the injector 6 and inject fuel at a high pressure of 180 MPa from the injection nozzle 65 into the engine cylinder, a predetermined voltage is applied to the piezoelectric actuator 1 as shown in FIG.
The urging rod 553 of the drive transmission unit 55 in contact with the operating surface 100 of the piezoelectric actuator 1 is caused to stroke toward the first plunger 530 by the extension of the piezoelectric actuator 1 due to the application of voltage.

そして、付勢ロッド553に当接してストロークした第1プランジャ530は、第1シリンダ53内をノズルハウジング60側に移動する。第1プランジャ530の移動により第1シリンダ53内の容積が減少されることにより、圧力室506の作動流体は、第2シリンダ63内に流入し、第2シリンダ63内の容積を増大させるよう第2プランジャ630をインジェクションノズル65側に向けて移動させる。   And the 1st plunger 530 which contact | abutted to the urging | biasing rod 553 and stroked moves the inside of the 1st cylinder 53 to the nozzle housing 60 side. As the volume in the first cylinder 53 is reduced by the movement of the first plunger 530, the working fluid in the pressure chamber 506 flows into the second cylinder 63 and increases the volume in the second cylinder 63. 2 The plunger 630 is moved toward the injection nozzle 65 side.

第2プランジャ630のストロークにより、三方弁62の弁体は、図10に示すごとく、インジェクションノズル65側に向けて押し下げられる。この弁体の押し下げにより、燃料供給通路52から背圧室610に至る通路が遮断されて、代わりに、ドレイン通路58から背圧室610に至る通路が連通される。そして、背圧室610内に充填されていた燃料は、ドレイン通路58を介して燃料導出管585より外部へ排出され、背圧室610内が減圧される。   Due to the stroke of the second plunger 630, the valve body of the three-way valve 62 is pushed down toward the injection nozzle 65 as shown in FIG. By pushing down the valve body, the passage from the fuel supply passage 52 to the back pressure chamber 610 is blocked, and instead, the passage from the drain passage 58 to the back pressure chamber 610 is communicated. Then, the fuel filled in the back pressure chamber 610 is discharged to the outside from the fuel outlet pipe 585 through the drain passage 58, and the inside of the back pressure chamber 610 is decompressed.

背圧室610の圧力低下に伴って該背圧室610と燃料溜まり612との間に生じた圧力差は、図10に示すごとく、ノズルニードル615をハウジング50側に押し上げる力を発生する。そして、ノズルニードル615のハウジング50側への移動により、ノズルニードル615の先端部613により閉じられていたインジェクションノズル615先端の噴孔が開口する。そして、噴孔が開口すると、燃料溜まり612内の高圧の燃料がエンジンシリンダ内へ噴射される。
なお、本例では、エンジンを制御するエンジンECU(図示略)により、各エンジンシリンダに取り付けたインジェクタ6を制御して、的確なタイミングにより、上記のごとく燃料の噴射を繰り返し実施した。
The pressure difference generated between the back pressure chamber 610 and the fuel reservoir 612 as the pressure in the back pressure chamber 610 decreases generates a force that pushes up the nozzle needle 615 toward the housing 50 as shown in FIG. As the nozzle needle 615 moves toward the housing 50, the nozzle hole at the tip of the injection nozzle 615 that has been closed by the tip 613 of the nozzle needle 615 opens. When the injection hole is opened, the high-pressure fuel in the fuel reservoir 612 is injected into the engine cylinder.
In this example, an engine ECU (not shown) that controls the engine controls the injector 6 attached to each engine cylinder, and the fuel is repeatedly injected as described above at an appropriate timing.

以上のごとく、内蔵した圧電アクチュエータ1を軸方向に圧縮するコイルスプリング552を備えたインジェクタ6は、圧電アクチュエータ1内部の積層型圧電素子10に適切な予荷重を作用させることができる。
そのため、本例のインジェクタ6では、圧電アクチュエータ1の内部で積層型圧電素子10の層間剥離等のトラブルを生じるおそれが少ない。
As described above, the injector 6 including the coil spring 552 that compresses the built-in piezoelectric actuator 1 in the axial direction can apply an appropriate preload to the laminated piezoelectric element 10 inside the piezoelectric actuator 1.
Therefore, in the injector 6 of this example, there is little possibility of causing troubles such as delamination of the multilayer piezoelectric element 10 inside the piezoelectric actuator 1.

そして相対的には、本例のインジェクタ6では、収納ケース20の伸縮部21で発生させる必要がある上記ケース荷重を抑制することができる。本例ではケース荷重をゼロとしてある。
したがって、本例の圧電アクチュエータ1では、上記伸縮部21に定常的に作用する引っ張り応力をゼロとすることができ、伸縮部21に疲労破壊が発生するおそれが少ない。
なお、その他の構成及び作用効果については実施例1と同様である。
And relatively, in the injector 6 of this example, the said case load which needs to be generated in the expansion-contraction part 21 of the storage case 20 can be suppressed. In this example, the case load is zero.
Therefore, in the piezoelectric actuator 1 of the present example, the tensile stress that constantly acts on the stretchable part 21 can be made zero, and there is little risk of fatigue failure occurring in the stretchable part 21.
Other configurations and operational effects are the same as those in the first embodiment.

(実施例4)
本例は、実施例3のインジェクタの圧電アクチュエータについて、収納ケースの伸縮部の疲労寿命を調べた例である。
本例では、圧電アクチュエータ単体時における伸縮部の伸長変形による弾性力の大きさと、疲労寿命との関係を調べた。ここで、伸縮部の伸長変形による弾性力は、圧電アクチュエータに内蔵した積層型圧電素子を軸方向に圧縮する方向に作用するケース荷重と略一致している。
Example 4
This example is an example in which the fatigue life of the expansion / contraction part of the storage case was examined for the piezoelectric actuator of the injector of Example 3.
In this example, the relationship between the magnitude of the elastic force due to the expansion and contraction of the expansion / contraction portion and the fatigue life when the piezoelectric actuator was used alone was examined. Here, the elastic force due to the expansion and contraction of the expansion / contraction part substantially coincides with the case load acting in the direction of compressing the laminated piezoelectric element built in the piezoelectric actuator in the axial direction.

そこで、図11に示すごとく、圧電アクチュエータの積層型圧電素子に作用するケース荷重(圧電アクチュエータ単体時においての予荷重(セット荷重))と、2×109回作動させた際に故障確率50%以下を維持するための圧電アクチュエータの動作振幅(μm)との関係を求めた。
なお、同図には、横軸に積層型圧電素子に作用するケース荷重比(積層型圧電素子の発生する駆動力1000Nに対するケース荷重の比率。)を、縦軸に圧電アクチュエータの動作振幅を規定している。
そして、設計目標である2×109回作動時の故障確率50%以下を実現し得る領域をハッチング領域として図示してある。
ここで、2×109回作動時の故障確率とは、十分な母集合の圧電アクチュエータについて、それぞれ2×109回作動させたとき、母集合に対して故障を生じた個体の割合である。
Therefore, as shown in FIG. 11, the case load (preload when the piezoelectric actuator is a single unit (set load)) acting on the multilayer piezoelectric element of the piezoelectric actuator and the failure probability of 50% or less when operated 2 × 109 times are shown. The relationship with the operation amplitude (μm) of the piezoelectric actuator for maintaining the above was obtained.
In the figure, the horizontal axis indicates the case load ratio (the ratio of the case load to the driving force 1000 N generated by the multilayer piezoelectric element) acting on the multilayer piezoelectric element, and the vertical axis defines the operation amplitude of the piezoelectric actuator. is doing.
An area in which the failure probability of 50% or less at the time of 2 × 109 operations, which is a design target, can be realized is shown as a hatched area.
Here, the failure probability at the time of operating 2 × 109 times is the proportion of individuals that have failed in the mother set when the piezoelectric actuator of a sufficient population is operated 2 × 109 times respectively.

ここで、横軸の左端部のマイナス部分の領域は、圧電アクチュエータ単体時において、積層型圧電素子の端部と収納ケースの作用端面との間に隙間が形成された状態を示している。すなわち、本来的には、積層型圧電素子のケース荷重が、ゼロとなる領域を示している。
そこで、本例では、便宜的に上記隙間の大きさを定量化して表現するべく、作用端面と積層型圧電素子の端部とを当接させるまで圧縮するのに必要な荷重を、マイナス荷重として表現している。
Here, the area of the negative portion at the left end of the horizontal axis shows a state where a gap is formed between the end of the laminated piezoelectric element and the working end surface of the storage case when the piezoelectric actuator is a single unit. In other words, it originally indicates a region where the case load of the multilayer piezoelectric element is zero.
Therefore, in this example, for the sake of convenience, in order to quantify and express the size of the gap, the load required for compression until the working end surface and the end of the multilayer piezoelectric element come into contact with each other is expressed as a negative load. expressing.

同図によれば、積層型圧電素子の一般的な動作振幅である全長比0.1%と、2×109回作動時の故障確率50%とを両立するためには、積層型圧電素子のケース荷重比を、1/10以下にすれば良いことが判る。この理由については以下のように考えることができる。
すなわち、上記ケース荷重を小さくすれば、伸縮部の伸長変形長さを短く設定することができ、該伸縮部に作用する引っ張り力を抑制することができる。そして、引っ張り力を抑制した伸縮部では、疲労破壊が生じるおそれを抑制することが可能である。
なお、その他の構成及び作用効果については実施例3と同様である。
According to the figure, in order to achieve both a total length ratio of 0.1%, which is a general operation amplitude of a multilayer piezoelectric element, and a failure probability of 50% when operated 2 × 109 times, It can be seen that the case load ratio should be 1/10 or less. The reason for this can be considered as follows.
That is, if the case load is reduced, the stretchable deformation length of the stretchable part can be set short, and the tensile force acting on the stretchable part can be suppressed. And in the expansion-contraction part which suppressed the tensile force, it is possible to suppress a possibility that fatigue failure will occur.
Other configurations and operational effects are the same as in the third embodiment.

実施例1における、圧電アクチュエータの構造を示す断面図。FIG. 3 is a cross-sectional view illustrating the structure of the piezoelectric actuator in the first embodiment. 実施例1における、電極用印刷パターンの印刷手順を示す説明図。FIG. 3 is an explanatory diagram illustrating a printing procedure for an electrode print pattern in the first embodiment. 実施例1における、セラミック積層体の積層手順を示す説明図。FIG. 3 is an explanatory diagram showing a procedure for laminating ceramic laminates in Example 1. 実施例1における、セラミック積層体の積層構造を示す断面図。Sectional drawing which shows the laminated structure of the ceramic laminated body in Example 1. FIG. 実施例1における、収容工程を示す説明図。Explanatory drawing which shows the accommodation process in Example 1. FIG. 実施例1における、収容工程による組み付け構造を示す説明図。Explanatory drawing which shows the assembly | attachment structure by the accommodation process in Example 1. FIG. 実施例1における、その他の圧電アクチュエータの構造を示す断面図。Sectional drawing which shows the structure of the other piezoelectric actuator in Example 1. FIG. 実施例1における、その他の圧電アクチュエータの構造を示す断面図。Sectional drawing which shows the structure of the other piezoelectric actuator in Example 1. FIG. 実施例2における、収容工程における組み付け手順を示す説明図。Explanatory drawing which shows the assembly | attachment procedure in the accommodation process in Example 2. FIG. 実施例3における、圧電アクチュエータを内蔵したインジェクタの構造を示す断面図。Sectional drawing which shows the structure of the injector which incorporated the piezoelectric actuator in Example 3. FIG. 実施例4における、積層型圧電素子のケース荷重と振幅との関係を示すグラフ。10 is a graph showing the relationship between case load and amplitude of a multilayer piezoelectric element in Example 4.

符号の説明Explanation of symbols

1 圧電アクチュエータ
10 積層型圧電素子
11 セラミック積層体
12 保持部材
13 伝達部材
20 収納ケース
21 伸縮部
24 胴部
30 基台
31 外部電極
6 インジェクタ
DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Piezoelectric actuator 10 Multilayer piezoelectric element 11 Ceramic laminated body 12 Holding member 13 Transmission member 20 Storage case 21 Extending / contracting part 24 Trunk part 30 Base 31 External electrode 6 Injector

Claims (13)

燃料噴射用のインジェクタに内蔵されるインジェクタ用の圧電アクチュエータであって、
軸方向に弾性的に伸縮可能な伸縮部を有する収納ケースに、積層型圧電素子を収容してなり、
当該圧電アクチュエータ単体時において、上記収納ケースの上記伸縮部に作用する引っ張り荷重が、ゼロ又は上記積層型圧電素子の発生する駆動力の1/10未満荷重であり、
上記インジェクタに内蔵され予荷重を付与された状態においては、上記伸縮部に作用する引っ張り荷重がゼロとなるよう構成されていることを特徴とする圧電アクチュエータ。
A piezoelectric actuator for an injector built in an injector for fuel injection,
A storage case in the axial direction with an elastically stretchable stretch unit, Ri Na houses a laminated type piezoelectric elements,
During the piezoelectric actuator itself, tensile load acting on the expansion portion of the storage case, Ri load der less than 1/10 of the driving force generated by the zero or the stacked piezoelectric device,
A piezoelectric actuator characterized in that in a state of being built in the injector and given a preload, a tensile load acting on the expansion / contraction section is zero .
請求項1において、上記伸縮部に作用する引っ張り荷重は、上記積層型圧電素子の発生する駆動力の1/100未満荷重であることを特徴とする圧電アクチュエータ。 In claim 1, the tensile load acting on the stretching unit, a piezoelectric actuator, which is a load of less than 1/100 of the driving force generated in the stacked piezoelectric device. 請求項1又は2において、上記伸縮部は伸長変形を生じておらず、上記伸縮部に作用する引っ張り荷重は、ゼロであることを特徴とする圧電アクチュエータ。 3. The piezoelectric actuator according to claim 1, wherein the expansion / contraction portion is not stretch-deformed and a tensile load acting on the expansion / contraction portion is zero. 軸方向に伸縮する伸縮部を有する収納ケースに、積層型圧電素子を収容してなる圧電アクチュエータを内蔵した燃料噴射用のインジェクタにおいて、
上記インジェクタは、上記圧電アクチュエータの駆動力が作用する動作面に対して、軸方向の荷重を作用する弾性部材を設けてなり、
上記圧電アクチュエータは、該圧電アクチュエータ単体時において、上記収納ケースの上記伸縮部作用する引っ張り荷重が、ゼロ又は上記積層型圧電素子の発生する駆動力の1/10未満の引張荷重であり、
当該インジェクタに内蔵して予荷重を付与した状態においては、上記伸縮部に作用する引っ張り荷重がゼロとなっていることを特徴とする燃料噴射用のインジェクタ。
In a fuel injection injector having a built-in piezoelectric actuator that houses a laminated piezoelectric element in a storage case having an expansion / contraction part that expands and contracts in the axial direction,
The injector includes an elastic member that applies an axial load to an operation surface on which the driving force of the piezoelectric actuator acts.
The piezoelectric actuator, at the time of the piezoelectric actuator itself, tensile load acting on the expansion portion of the storage case, Ri tensile load der less than 1/10 of the driving force generated by the zero or the stacked piezoelectric device,
An injector for fuel injection, wherein a tensile load acting on the expansion / contraction part is zero in a state of being built in the injector and applied with a preload .
請求項4において、上記伸縮部に作用する引っ張り荷重は、上記積層型圧電素子の発生する駆動力の1/100未満荷重であることを特徴とする燃料噴射用のインジェクタ。 In claim 4, the tensile load acting on the elastic part, an injector for fuel injection, which is a load of less than 1/100 of the driving force generated in the stacked piezoelectric device. 請求項4又は5において、上記圧電アクチュエータ単体時において上記伸縮部は伸長変形を生じておらず、上記伸縮部に作用する引っ張り荷重は、ゼロであることを特徴とする燃料噴射用のインジェクタ。 6. The injector for fuel injection according to claim 4, wherein when the piezoelectric actuator is a single unit, the expansion / contraction part is not deformed and the tensile load acting on the expansion / contraction part is zero. 請求項4〜6のいずれか1項において、上記インジェクタに内蔵され、上記弾性部材による付勢力を受けた状態において、上記積層型圧電素子を軸方向に圧縮する方向に作用する予荷重は、積層型圧電素子の発生する駆動力の1/4以上であることを特徴とする燃料噴射用のインジェクタ。   The preload acting in any one of claims 4 to 6, wherein the preload, which is built in the injector and receives the urging force of the elastic member, acts in the axial compression direction of the multilayer piezoelectric element. An injector for fuel injection, wherein the injector is 1/4 or more of the driving force generated by the piezoelectric element. 請求項1〜3のいずれか1項に記載のインジェクタ用の圧電アクチュエータであって、軸方向に弾性的に伸縮する上記伸縮部を少なくとも一部に形成した筒状の胴部と、該胴部の一方の端部に配設されて上記積層型圧電素子の駆動力が作用する駆動板とを有してなる上記収納ケースに上記積層型圧電素子を収容した上、上記胴部の他方の端部に基台を接合してなる圧電アクチュエータを製造する製造方法において、
上記積層型圧電素子を作製する素子形成工程と、
上記収納ケースの上記開口端部から上記積層型圧電素子を挿入し、該積層型圧電素子を上記収納ケースの軸方向の所定の位置に配置する収容工程と、
上記収納ケースに収容した上記積層型圧電素子の後端面に上記基台の軸方向の端面を当接させた状態で、上記収納ケースの開口端部に上記基台を接合する接合工程とを含み、
上記収容工程では、上記圧電アクチュエータの上記収納ケースにおいて、上記伸縮部に作用する引っ張り荷重が、ゼロ又は上記積層型圧電素子の発生する駆動力の1/10未満荷重となるように、上記積層型圧電素子を収容することを特徴とする圧電アクチュエータの製造方法。
A piezoelectric actuator for an injector according to any one of claims 1 to 3, a tubular body portion formed at least in part the expansion unit which expands and contracts elastically in the axial direction, the barrel portion one is disposed on an end portion on which accommodates the laminated piezoelectric device in the housing case to which the driving force of the stacked piezoelectric device is a drive plate which acts, the other end of the barrel of the In a manufacturing method for manufacturing a piezoelectric actuator formed by joining a base to a part,
An element forming step for producing the laminated piezoelectric element;
An accommodating step of inserting the multilayer piezoelectric element from the opening end of the storage case and disposing the multilayer piezoelectric element at a predetermined position in the axial direction of the storage case;
A joining step of joining the base to the opening end of the storage case in a state where the axial end surface of the base is in contact with the rear end surface of the multilayer piezoelectric element housed in the storage case. ,
In the accommodating step, in the storage case of the piezoelectric actuator, as tensile load acting on the elastic portion becomes zero or 1/10 less than the load of the driving force generated in the stacked piezoelectric device, the laminate A piezoelectric actuator manufacturing method characterized by containing a piezoelectric element.
請求項8において、上記収容工程における上記伸縮部に作用する引っ張り荷重は、上記積層型圧電素子の発生する駆動力の1/100未満荷重であることを特徴とする圧電アクチュエータの製造方法。 9. The method of manufacturing a piezoelectric actuator according to claim 8, wherein the tensile load acting on the expansion / contraction portion in the housing step is a load less than 1/100 of the driving force generated by the multilayer piezoelectric element. 請求項8又は9において、上記収容工程においては、上記伸縮部に作用する引っ張り荷重に略一致する弾性力を生じる際の上記伸縮部の伸長変形長さを実現するための上記積層型圧電素子の上記収納ケース内での基準挿入位置を基にして、上記接合工程で発生する上記収納ケースの軸方向の収縮長さ分だけ上記積層型圧電素子を挿入逆方向に後退させた位置である組み付け位置に、上記積層型圧電素子を配置することを特徴とする圧電アクチュエータの製造方法。 The multilayer piezoelectric element according to claim 8 or 9, wherein, in the housing step, the stretchable piezoelectric element for realizing an extension deformation length of the expansion / contraction portion when an elastic force substantially corresponding to a tensile load acting on the expansion / contraction portion is generated. Based on the reference insertion position in the storage case, the assembly position is a position where the stacked piezoelectric element is retracted in the insertion reverse direction by the contraction length in the axial direction of the storage case generated in the joining step. A method of manufacturing a piezoelectric actuator, comprising: arranging the laminated piezoelectric element. 請求項10において、上記組み付け位置は、上記伸縮部に作用する引っ張り荷重に略一致する弾性力を生じる際の上記伸縮部の伸長変形長さを、上記収縮長さから差し引いた長さ分だけ、上記伸縮部を圧縮させた上記収納ケースにおける上記駆動板に上記積層型圧電素子の端部が当接する位置であることを特徴とする圧電アクチュエータの製造方法。 In claim 10, the assembly position is the length obtained by subtracting the extension deformation length of the extension / contraction part when generating an elastic force substantially corresponding to the tensile load acting on the extension / contraction part from the contraction length, A method of manufacturing a piezoelectric actuator, characterized in that the end of the laminated piezoelectric element is in contact with the drive plate in the storage case in which the expansion / contraction part is compressed. 請求項10において、上記伸縮部に作用する引っ張り荷重はゼロであり、上記基準挿入位置は、上記積層型圧電素子の軸方向の端部と、上記収納ケースの上記作用端面との間に、上記収縮長さ以上の隙間が形成される位置であることを特徴とする圧電アクチュエータの製造方法。 In Claim 10, the tensile load which acts on the expansion-contraction part is zero, and the reference insertion position is between the end part in the axial direction of the multilayer piezoelectric element and the action end surface of the storage case. A method for manufacturing a piezoelectric actuator, wherein the gap is a position where a gap longer than the contraction length is formed. 請求項8〜12のいずれか1項において、上記接合工程は、上記開口端部に上記基台を溶接する工程であることを特徴とする圧電アクチュエータの製造方法。   13. The method of manufacturing a piezoelectric actuator according to claim 8, wherein the joining step is a step of welding the base to the opening end.
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