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JP4720128B2 - Fan filter unit - Google Patents
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JP4720128B2 - Fan filter unit - Google Patents

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JP4720128B2 JP2004255239A JP2004255239A JP4720128B2 JP 4720128 B2 JP4720128 B2 JP 4720128B2 JP 2004255239 A JP2004255239 A JP 2004255239A JP 2004255239 A JP2004255239 A JP 2004255239A JP 4720128 B2 JP4720128 B2 JP 4720128B2
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Description

本発明は、半導体工場、食品工場などの清浄空間を必要とするクリーンルームで使用されるファンフィルタユニットのフィルタ取付け構造体に関する。   The present invention relates to a filter mounting structure for a fan filter unit used in a clean room requiring a clean space such as a semiconductor factory or a food factory.

従来、この種のフィルタ取付構造体は、形状の異なる接合部材やフックを組み合わせてフィルタを着脱可能に構成している(例えば特許文献1参照)。   Conventionally, this type of filter mounting structure is configured such that a filter can be attached and detached by combining joining members and hooks having different shapes (see, for example, Patent Document 1).

特開2001−336815号公報([0001]〜[0029]、図1〜図8)JP 2001-336815 A ([0001] to [0029], FIGS. 1 to 8)

このような従来のフィルタ着脱方法では、ファンボックスに固定金具を先に取り付けておく必要があり、設置後はシール性を向上するための微調整が難しいという課題があり、固定金具を現場で簡単に取り付けできるとともに、設置後もシール性を向上できることが要求されている。   In such a conventional filter attaching / detaching method, it is necessary to attach the fixing bracket to the fan box first, and there is a problem that fine adjustment to improve the sealing performance is difficult after installation, and the fixing bracket is easy on site. It is required that the sealing performance can be improved even after installation.

また、フィルタ下面に接合部材を引っ掛ける構造とした場合は、ファンフィルタユニットを筐体に設置する際、フィルタ下面を直接筐体に固定することができなくなり、筐体設置において別部材が新たに必要となるという課題があり、直接筐体に固定できることが要求されている。   In addition, when a structure is used in which the joining member is hooked on the lower surface of the filter, when the fan filter unit is installed in the housing, the lower surface of the filter cannot be directly fixed to the housing, and another member is required for housing installation. There is a problem that it can be fixed directly to the housing.

また、複数のフィルタを重ねて設置する場合に、全てのフィルタとファンボックスを省スペースで、横ずれしないように固定する間敏な方法がないという課題があり、複数のフィルタとファンボックスを省スペースで確実に固定できる構造が要求されている。   In addition, when installing multiple filters in a stack, there is a problem that there is no quick method to fix all the filters and fan boxes so that they are not laterally displaced. A structure that can be securely fixed is required.

本発明は、このような従来のフィルタ着脱の課題を解決するものであり、フィルタ取付
の準備作業を省いてフィルタ着脱を短時間におこなうことができ、また複数枚のフィルタを積層した場合のチャンバへのフィルタ固定が省スペースで確実に行え、またチャンバとフィルタの結合体を、筐体へ直接かつ簡単に固定できるフィルタ取付構造体を提供することを目的としている。
The present invention solves such a conventional problem of filter attachment / detachment, and can be performed in a short time without removing the filter installation preparation work, and a chamber in which a plurality of filters are stacked. It is an object of the present invention to provide a filter mounting structure that can securely fix a filter to a housing in a space-saving manner and that can easily and directly fix a combined body of a chamber and a filter to a housing.

本発明のファンフィルタユニットは、上記目的を達成するために、ファンとモーターからなるファンユニットを内蔵したチャンバと、前記ファンユニットの下流側に配設される少なくとも1枚以上からなるフィルタと、このフィルタと前記チャンバの間に挿入される弾性を備えたパッキンと、断面コ字形状の固定金具を有し、この固定金具は、一端にチャンバの表面に係合するチャンバ押え部と、他端にフィルタ枠に係合するフィルタ押え部と、前記チャンバの側面と前記フィルタの側面に当接または近接する中央板部とからなり、前記フィルタは、外周側を開いたC型形状のフィルタ枠と一体に構成され、
前記固定金具は、前記フィルタ押え部を下流側の前記フィルタに設けた前記フィルタ枠の上部端部に掛けた後、前記チャンバ押え部を前記チャンバの天面に掛けて、前記フィルタと前記チャンバを挟んで結合するものである。
In order to achieve the above object, a fan filter unit of the present invention includes a chamber containing a fan unit including a fan and a motor, a filter including at least one sheet disposed on the downstream side of the fan unit, There is an elastic packing inserted between the filter and the chamber, and a fixing bracket having a U-shaped cross section. This fixing bracket has a chamber pressing portion that engages the surface of the chamber at one end, and a holding member at the other end. The filter holding portion that engages with the filter frame, and a side surface of the chamber and a central plate portion that is in contact with or close to the side surface of the filter, the filter is integrated with a C-shaped filter frame that is open on the outer peripheral side. Composed of
The fixing metal fitting hangs the filter holding portion on the upper end portion of the filter frame provided on the downstream filter, and then hangs the chamber holding portion on the top surface of the chamber to connect the filter and the chamber. It is something that is sandwiched and joined .

また、他の手段は、固定金具は中央板部の両端より一対の側面押え部を立設し、この側面押え部はチャンバとフィルタのそれぞれ対向する側面に近接して設けたものである。   As another means, the fixing bracket is provided with a pair of side surface pressing portions standing from both ends of the central plate portion, and the side surface pressing portions are provided close to the opposing side surfaces of the chamber and the filter.

また、他の手段は、チャンバ押え部先端部分に、開き形状のくの字部を備えたものである。   Another means is that the front end of the chamber pressing part is provided with an open-shaped square-shaped part.

また、他の手段は、固定金具のチャンバ押え部に取付穴を設け、この取付穴に螺合してチャンバ表面と圧接するチャンバ調整ボルトを有したものである。   Another means is that a mounting hole is provided in the chamber pressing portion of the fixture, and a chamber adjusting bolt that is screwed into the mounting hole and press-contacted with the chamber surface is provided.

また、他の手段は、固定金具のフィルタ押え部に取付穴を設け、この取付穴に螺合してフィルタ枠の裏面と圧接するフィルタ調整ボルトを有したものである。   The other means is provided with a filter adjusting bolt which is provided with a mounting hole in the filter holding portion of the fixing metal fitting and is screwed into the mounting hole and press-contacted with the back surface of the filter frame.

また、他の手段は、チャンバ側面にチャンバ固定ボルトの取付穴を設け、固定金具の中央板部に前記チャンバ固定ボルトを通す開口穴を有したものである。   In another means, a mounting hole for a chamber fixing bolt is provided on the side surface of the chamber, and an opening hole for allowing the chamber fixing bolt to pass through a central plate portion of the fixing bracket.

また、他の手段は、固定金具はチャンバ側固定金具とフィルタ側固定金具からなり、このチャンバ側固定金具はチャンバ押え部と第1の中央板部と、この第1の中央板部に設けた第1の開口穴からなり、前記フィルタ側固定金具はフィルタ押え部と第2の中央板部と、この第2の中央板部に設けた第2の開口穴からなり、前記第1の開口穴と前記第2の開口穴を通してチャンバ側面に設けた取付穴に螺合するチャンバ固定ボルトを有し、前記第1の開口穴と前記第2の開口穴の少なくとも一方を長穴としたものである。   As another means, the fixing bracket is composed of a chamber-side fixing bracket and a filter-side fixing bracket. The chamber-side fixing bracket is provided on the chamber pressing portion, the first center plate portion, and the first center plate portion. It consists of a first opening hole, and the filter side fixing bracket is made up of a filter holding part, a second center plate part, and a second opening hole provided in the second center plate part, and the first opening hole And a chamber fixing bolt that is screwed into a mounting hole provided on a side surface of the chamber through the second opening hole, and at least one of the first opening hole and the second opening hole is a long hole. .

また、他の手段は、フィルタ側固定金具の下端に設けた筐体固定フランジと、この筐体固定フランジに設けた開口部と、この開口部を通して筐体に固定する筐体固定ボルトを有したものである。   Further, the other means has a housing fixing flange provided at the lower end of the filter side fixing bracket, an opening provided in the housing fixing flange, and a housing fixing bolt for fixing to the housing through the opening. Is.

これらにより、フィルタ取付の準備作業を省いてフィルタ着脱を短時間におこなうことができ、また複数枚のフィルタを積層した場合のチャンバへのフィルタ固定が省スペースで確実に行え、またチャンバとフィルタの結合体を、筐体へ直接かつ簡単に固定できるファンフィルタユニットが得られる。 As a result, it is possible to remove and install the filter in a short time by omitting the preparatory work for installing the filter. In addition, when multiple filters are stacked, the filter can be securely fixed to the chamber in a space-saving manner. A fan filter unit capable of directly and simply fixing the combined body to the housing is obtained.

本発明によれば、チャンバと1枚もしくは複数枚のフィルタを同時かつ容易に接合でき
る効果のあるフィルタ取付構造体を提供できる。
ADVANTAGE OF THE INVENTION According to this invention, the filter attachment structure which has the effect of being able to join a chamber and one sheet or a plurality of filters simultaneously and easily can be provided.

また、チャンバとフィルタを結合したファンフィルタユニットを筐体に取りつける場合、チャンバとフィルタの脱離や横ズレを防止できる。 Also, when mounting the fan filter unit combines the chamber and filter housing, Ru prevents detachment and lateral displacement of the chamber and the filter.

また、小型、省スペースで脱離や横ズレを防止できる。 In addition, small, Ru can be prevented from leaving or lateral deviation in a space-saving.

また、チャンバにチャンバ押え部を着脱する際、力をかけることなく容易に着脱ができる効果が得られる。   Moreover, when attaching and detaching the chamber pressing portion to and from the chamber, an effect that can be easily attached and detached without applying force is obtained.

また、チャンバ調整ボルトの締め具合の調整により固定時の固定圧力を調整ができることから、チャンバとフィルタとの固定時のシール性を向上できる効果が得られる。   Further, since the fixing pressure at the time of fixing can be adjusted by adjusting the tightening degree of the chamber adjusting bolt, an effect of improving the sealing performance at the time of fixing the chamber and the filter can be obtained.

また、チャンバ天面に余分な突起を設けることなく、チャンバとフィルタとの固定時のシール性を省スペースでできる効果が得られる。   Further, an effect of saving the sealing performance when the chamber and the filter are fixed can be obtained without providing an extra protrusion on the top surface of the chamber.

また、チャンバとフィルタとの固定の際、不安全に外れることがなく、確実に固定できる効果が得られる。   Further, when the chamber and the filter are fixed, there is an effect that the chamber and the filter are securely fixed without being unsafely detached.

また、フィルタの厚みが変更しても、フィルタを複数枚使用した場合でも、チャンバ側固定金具とフィルタ側固定金具をフィルタの厚みに合わせてスライドすることで、容易に固定できる効果が得られる。   Even when the thickness of the filter is changed or when a plurality of filters are used, the effect of being able to be easily fixed is obtained by sliding the chamber side fixture and the filter side fixture according to the thickness of the filter.

また、一つの固定金具で、チャンバとフィルタを固定することともに、チャンバとフィルタを固定したファンフィルタユニット本体を容易に手間をかけずに筐体に固定できる効果が得られる。   In addition, it is possible to obtain an effect that the chamber and the filter can be fixed with a single fixing bracket, and the fan filter unit main body to which the chamber and the filter are fixed can be easily fixed to the housing without trouble.

本発明の実施の形態1の正面図Front view of Embodiment 1 of the present invention 同固定金具の外観斜視図External perspective view of the fixing bracket 同正面図Front view 本発明の実施の形態2の固定金具の外観斜視図External perspective view of fixing bracket of Embodiment 2 of the present invention 同正面図Front view 参考例1の側面図Side view of Reference Example 1 本発明の実施の形態の正面図Front view of Embodiment 3 of the present invention 本発明の実施の形態の正面図Front view of Embodiment 4 of the present invention 本発明の実施の形態の正面図Front view of Embodiment 5 of the present invention 本発明の実施の形態の正面図Front view of Embodiment 6 of the present invention 本発明の実施の形態の固定金具の外観斜視図External appearance perspective view of the fixing metal fitting of Embodiment 7 of the present invention 本発明の実施の形態およびの正面図Front view of Embodiments 7 and 8 of the present invention 本発明の実施の形態の固定金具の外観斜視図External appearance perspective view of the fixing metal fitting of Embodiment 8 of the present invention

本発明の請求項1記載の発明は、一端にチャンバの表面に係合するチャンバ押え部と、他端にフィルタ枠に係合するフィルタ押え部と、前記チャンバの側面と前記フィルタの側面に当接または近接する中央板部とからなり、前記フィルタは、外周側を開いたC型形状のフィルタ枠と一体に構成され、前記固定金具は、前記フィルタ押え部を下流側の前記フィルタに設けた前記フィルタ枠の上部端部に掛けた後、前記チャンバ押え部を前記チャンバの天面に掛けて、前記フィルタと前記チャンバを挟んで結合するものであり、固定金具を事前にチャンバに取り付ける必要がなく、チャンバと1枚以上のフィルタを設置現場で
容易に接合することができるという作用を有する。
According to the first aspect of the present invention, the chamber pressing portion that engages with the surface of the chamber at one end, the filter pressing portion that engages with the filter frame at the other end, the side surface of the chamber and the side surface of the filter. The filter is formed integrally with a C-shaped filter frame whose outer peripheral side is open, and the fixing bracket is provided with the filter holding portion on the downstream filter. After hanging on the upper end of the filter frame, the chamber holding part is hung on the top surface of the chamber, and the filter and the chamber are sandwiched , and it is necessary to attach a fixing bracket to the chamber in advance. In addition, the chamber and one or more filters can be easily joined at the installation site.

また、固定金具は中央板部の両端より一対の側面押え部を立設し、この側面押え部はチャンバとフィルタのそれぞれ対向する側面に近接して設けたものであり、チャンバとフィルタの水平方向の位置を保ち、脱離や横ズレを防止することができるという作用を有する。 In addition, the fixing bracket has a pair of side surface holding portions erected from both ends of the central plate portion, and the side surface holding portions are provided close to the opposing side surfaces of the chamber and the filter, and the horizontal direction of the chamber and the filter It has the effect | action that it can maintain position of this and can prevent detachment | leave and a horizontal shift.

また、チャンバ押え部先端部分に、開き形状のくの字部を備えたことで、チャンバにチャンバ押え部を係脱する際、パッキンの弾性力に抗して力を少しかけるだけで容易に着脱ができるという作用を有する。 In addition, since the opening of the chamber holder is provided with an open-back shape, it can be easily attached or detached by applying a little force against the elastic force of the packing when the chamber holder is engaged with or disengaged from the chamber. Has the effect of being able to

また、固定金具のチャンバ押え部に取付穴を設け、この取付穴に螺合してチャンバ表面と圧接するチャンバ調整ボルトを有したものであり、チャンバとフィルタの固定時において、チャンバ調整ボルトの締め具合により固定時の固定圧力を調整して、シール性と結合力を向上できるという作用を有する。 In addition, a mounting hole is provided in the chamber pressing portion of the fixing bracket, and a chamber adjusting bolt that is screwed into the mounting hole and press-contacted with the chamber surface is provided. When the chamber and the filter are fixed, the chamber adjusting bolt is tightened. The fixing pressure at the time of fixing is adjusted according to the condition, and the sealing property and the coupling force can be improved.

また、固定金具のフィルタ押え部に取付穴を設け、この取付穴に螺合してフィルタ枠の裏面と圧接するフィルタ調整ボルトを有したものであり、チャンバ天面に余分な突起を設けることなく、フィルタ調整ボルトの締め具合により固定圧力を調整して、チャンバとフィルタとの結合力とシール性の向上を省スペースで実現できるという作用を有する。 In addition, a mounting hole is provided in the filter retainer of the fixing bracket, and it has a filter adjustment bolt that is screwed into this mounting hole and press-contacts with the back surface of the filter frame. The fixing pressure is adjusted by the degree of tightening of the filter adjusting bolt, and the effect of improving the coupling force between the chamber and the filter and the sealing performance can be realized in a small space.

また、チャンバ側面にチャンバ固定ボルトの取付穴を設け、固定金具の中央板部に前記チャンバ固定ボルトを通す開口穴を有したものであり、固定金具が不注意な操作で簡単に外れることがなく、フィルタとチャンバの確実な固定ができるという作用を有する。 In addition, a mounting hole for the chamber fixing bolt is provided on the side of the chamber, and an opening hole is provided in the central plate portion of the fixing bracket for passing the chamber fixing bolt, so that the fixing bracket is not easily removed by careless operation. The filter and the chamber can be securely fixed.

また、固定金具はチャンバ側固定金具とフィルタ側固定金具からなり、このチャンバ側固定金具はチャンバ押え部と第1の中央板部と、この第1の中央板部に設けた第1の開口穴からなり、前記フィルタ側固定金具はフィルタ押え部と第2の中央板部と、この第2の中央板部に設けた第2の開口穴からなり、前記第1の開口穴と前記第2の開口穴を通してチャンバ側面に設けた取付穴に螺合するチャンバ固定ボルトを有し、前記第1の開口穴と前記第2の開口穴の少なくとも一方を長穴としたものであり、フィルタやパッキンの厚みが変更した場合や、フィルタの枚数が増減した場合でも、長穴の寸法範囲内でチャンバ側固定金具とフィルタ側固定金具をスライドすることで、調整して固定することができるという作用を有する。 The fixing bracket includes a chamber-side fixing bracket and a filter-side fixing bracket. The chamber-side fixing bracket includes a chamber pressing portion, a first center plate portion, and a first opening hole provided in the first center plate portion. The filter side fixing bracket is composed of a filter pressing portion, a second center plate portion, and a second opening hole provided in the second center plate portion, and the first opening hole and the second center plate portion. It has a chamber fixing bolt that is screwed into a mounting hole provided on the side surface of the chamber through the opening hole, and at least one of the first opening hole and the second opening hole is an elongated hole, Even when the thickness is changed or the number of filters is increased or decreased, the chamber side fixing bracket and the filter side fixing bracket can be adjusted and fixed by sliding them within the dimension range of the long hole. .

また、フィルタ側固定金具の下端に設けた筐体固定フランジと、この筐体固定フランジに設けた開口部と、この開口部を通して筐体に固定する筐体固定ボルトを有したものであり、一つの固定金具で、チャンバとフィルタを結合することともに、チャンバとフィルタを固定したファンフィルタユニット本体を、容易に手間をかけずに筐体に固定することが実現できるという作用を有する。
以下、本発明の実施の形態について図面を参照しながら説明する。
In addition, it has a housing fixing flange provided at the lower end of the filter side fixing bracket, an opening provided in the housing fixing flange, and a housing fixing bolt for fixing to the housing through the opening. With the two fixing brackets, the chamber and the filter can be coupled, and the fan filter unit main body to which the chamber and the filter are fixed can be easily fixed to the housing without taking time and effort.
Hereinafter, embodiments of the present invention will be described with reference to the drawings.

(実施の形態1)
図1〜図3に示すように、ファン1とモーター2からなるファンユニット3をチャンバ4に内蔵し、ファンユニット3の下流側にゴムなどの弾性体よりなるパッキン5と1枚以上のフィルタ6を配設し、断面コ字状の固定金具11で連結することによりファンフィルタユニット7を形成する。
(Embodiment 1)
As shown in FIGS. 1 to 3, a fan unit 3 composed of a fan 1 and a motor 2 is built in a chamber 4, and a packing 5 made of an elastic material such as rubber is disposed downstream of the fan unit 3 and one or more filters 6. And the fan filter unit 7 is formed by connecting with a fixing bracket 11 having a U-shaped cross section.

固定金具11は、一端にチャンバ4の表面に係合するチャンバ押え部8と、他端にフィルタ枠12に係合するフィルタ押え部10と、チャンバ4の側面とフィルタ6の側面に当
接または近接する中央板部9とからなり、チャンバ4表面とフィルタ6の側面に設けられたC型形状のフィルタ枠12との間を挟持するように連結している。
The fixing fitting 11 is in contact with the side surface of the chamber 4 and the side surface of the filter 6, the chamber pressing part 10 that engages the surface of the chamber 4 at one end, the filter pressing part 10 that engages with the filter frame 12 at the other end, or It consists of the adjacent central plate part 9 and is connected so as to sandwich the surface of the chamber 4 and the C-shaped filter frame 12 provided on the side surface of the filter 6.

上記構成において、図3に示すように、まず固定金具11を斜めにしてフィルタ押え部10をフィルタ枠12に係合させ、フィルタ押え部10側を支点としてチャンバ押え部8を回動し、さらにチャンバ4表面に圧接状態で係合させることにより、チャンバ4とフィルタ6を挟み込んで結合させることができる。このとき、チャンバ4とフィルタ6の間にパッキン5が介在しているので、パッキン5の弾性力によりチャンバとフィルタ6間のシール性が確実に確保されることとなる。   In the above configuration, as shown in FIG. 3, first, the fixing bracket 11 is inclined and the filter holder 10 is engaged with the filter frame 12, and the chamber holder 8 is rotated with the filter holder 10 side as a fulcrum. By engaging the surface of the chamber 4 in a pressure contact state, the chamber 4 and the filter 6 can be sandwiched and coupled. At this time, since the packing 5 is interposed between the chamber 4 and the filter 6, the sealing property between the chamber and the filter 6 is reliably ensured by the elastic force of the packing 5.

また、チャンバ4の表面でチャンバ押え部8との接合部にテフロン(登録商標)製などのテープを貼ることで、固定金具11の着脱時において、テープ表面の円滑性により、チャンバ押え部8が容易にスライドするため、着脱時に必要な力を軽減することができ、作業性が向上する。   Further, by sticking a tape made of Teflon (registered trademark) or the like on the surface of the chamber 4 to the joint with the chamber pressing portion 8, the chamber pressing portion 8 is made to be smooth due to the smoothness of the tape surface when the fixture 11 is attached or detached. Since it slides easily, it is possible to reduce the force required for attaching and detaching, and workability is improved.

(実施の形態2)
図4および図5に示すように、固定金具11aの中央板部9の左右両端より平行な一対の側面押え部13を突設し、中央板部9の横幅内寸法はチャンバ4およびフィルタ6の横幅寸法よりやや大としている。
(Embodiment 2)
As shown in FIGS. 4 and 5, a pair of side surface holding portions 13 parallel to the left and right ends of the central plate portion 9 of the fixing bracket 11 a are projected. Slightly larger than the width dimension.

上記構成において、固定金具11aのフィルタ押え部10をフィルタ枠12に係合させ、チャンバ4とフィルタ6を挟み込んで結合させるときに、一対の側面押え部13はチャンバ4およびフィルタ6の側面に近接して配置されるので、チャンバ4およびフィルタ6の水平方向への移動が阻止され、チャンバ4およびフィルタ6の脱離や横ズレを防止することができる。   In the above configuration, when the filter retainer 10 of the fixing bracket 11 a is engaged with the filter frame 12 and the chamber 4 and the filter 6 are sandwiched and coupled, the pair of side retainers 13 are close to the side surfaces of the chamber 4 and the filter 6. Therefore, the chamber 4 and the filter 6 are prevented from moving in the horizontal direction, and the chamber 4 and the filter 6 can be prevented from being detached or displaced.

参考例1
図6に示すように、フィルタ押え部10aの幅寸法aは、フィルタ枠12の開口幅寸法bよりやや小なる寸法とし、クリアランスを2mm以下とすることにより、フィルタ押え部10aがフィルタ枠12の内側にわずかな隙間を介して入り込む寸法関係としている。
( Reference Example 1 )
As shown in FIG. 6, the width a of the filter holder 10 a is slightly smaller than the opening width b of the filter frame 12, and the clearance is 2 mm or less, so that the filter holder 10 a The dimensions are such that they enter the inside through a slight gap.

上記構成において、フィルタ押え部10aがフィルタ枠12の開口部分で寸法規制されることから、フィルタ6に対して固定金具11が左右にズレることを防止することができる。   In the above configuration, the size of the filter holding portion 10 a is restricted by the opening portion of the filter frame 12, so that the fixing bracket 11 can be prevented from being displaced from side to side with respect to the filter 6.

また、固定金具11に側面押え部13を有している場合は、固定金具11でチャンバ4の左右の移動を阻止することができ、チャンバ4とフィルタ6の位置ずれを確実に防止することができる。   Further, when the fixing bracket 11 has the side pressing portion 13, the fixing bracket 11 can prevent the left and right movements of the chamber 4, and can surely prevent the positional deviation between the chamber 4 and the filter 6. it can.

(実施の形態
図7に示すように、チャンバ押え部8の先端部分に開き形状をした、くの字部8aを形成している。
(Embodiment 3 )
As shown in FIG. 7, an opening-shaped portion 8 a having an open shape is formed at the distal end portion of the chamber pressing portion 8.

上記構成において、チャンバ押え部8の先端部分に、くの字部8aを形成することにより、固定金具11をチャンバ4に取り付けるときは、チャンバ押え部8の先端部分がチャンバ4の表面に当接しないので、入り難くなったりチャンバ4を傷付けることがなく、容易にチャンバ押え部8を係合させることができる。また、固定金具11を外すときは、チャンバ押え部8のくの字部8aに指先を当てて、引き上げるように回動することにより、容易に外すことができる。   In the above-described configuration, when the fixing bracket 11 is attached to the chamber 4 by forming the dog-leg portion 8 a at the tip portion of the chamber pressing portion 8, the tip portion of the chamber pressing portion 8 contacts the surface of the chamber 4. Therefore, the chamber pressing portion 8 can be easily engaged without becoming difficult to enter or damaging the chamber 4. Further, when removing the fixing bracket 11, it can be easily removed by applying a fingertip to the dog-leg portion 8 a of the chamber pressing portion 8 and rotating it so as to pull it up.

(実施の形態
図8に示すように、固定金具11のチャンバ押え部8に取付穴14を設け、取付穴14に螺合してチャンバ4表面と圧接するチャンバ調整ボルト15を設けている。
(Embodiment 4 )
As shown in FIG. 8, a mounting hole 14 is provided in the chamber pressing portion 8 of the fixture 11, and a chamber adjusting bolt 15 that is screwed into the mounting hole 14 and press-contacted with the surface of the chamber 4 is provided.

上記構成において、チャンバ調整ボルト15を締めることで、チャンバ4とフィルタ6間のパッキンが縮んで圧接するとともに、チャンバ4とフィルタ6間のパッキンを押しつけて、シール性を向上することができる。   In the above configuration, by tightening the chamber adjustment bolt 15, the packing between the chamber 4 and the filter 6 is contracted and pressed, and the packing between the chamber 4 and the filter 6 can be pressed to improve the sealing performance.

(実施の形態
図9に示すように、固定金具11のフィルタ押え部10に取付穴16を設け、取付穴16に螺合してフィルタ枠の裏面12aと圧接するフィルタ調整ボルト17を設けている。
(Embodiment 5 )
As shown in FIG. 9, a mounting hole 16 is provided in the filter holding portion 10 of the fixing bracket 11, and a filter adjusting bolt 17 that is screwed into the mounting hole 16 and press-contacted with the back surface 12 a of the filter frame is provided.

上記構成において、フィルタ調整ボルト17の締めこんでいくことで、チャンバ4表面とフィルタ枠12との距離が縮むことから、チャンバ4とフィルタ6間のシール性を向上することができるとともに、フィルタ調整ボルト17は、C型形状のフィルタ枠12内に設けられていることから、ファンフィルタユニット7の外周部分に余分な突起を生じることが無く、省スペース化が図れる。   In the above configuration, by tightening the filter adjustment bolt 17, the distance between the surface of the chamber 4 and the filter frame 12 is shortened, so that the sealing performance between the chamber 4 and the filter 6 can be improved and the filter adjustment is performed. Since the bolts 17 are provided in the C-shaped filter frame 12, no extra protrusion is generated on the outer peripheral portion of the fan filter unit 7, and space saving can be achieved.

(実施の形態
図10に示すように、チャンバ4側面にチャンバ固定ボルト18の取付穴19を設け、固定金具11の中央板部9に前記チャンバ固定ボルト18を通す開口穴20が配置される。
(Embodiment 6 )
As shown in FIG. 10, a mounting hole 19 for the chamber fixing bolt 18 is provided on the side surface of the chamber 4, and an opening hole 20 through which the chamber fixing bolt 18 is passed is disposed in the central plate portion 9 of the fixing bracket 11.

上記構成において、チャンバ4とフィルタ6との固定の際、固定金具11は、チャンバ固定ボルト18で締め付けることで、ファンフィルタユニット7に確実に固定する。   In the above configuration, when the chamber 4 and the filter 6 are fixed, the fixing metal 11 is securely fixed to the fan filter unit 7 by tightening with the chamber fixing bolt 18.

なお、チャンバ押え部8の先端部分を開き形状の、くの字部8aとするとともに、フィルタ押え部10の先端部分を湾曲構造とした湾曲部10bとすることで、ファンフィルタユニット7と固定金具11の不用意な脱離防止ができるとともに、チャンバ4にチャンバ押え部8を着脱する際、大きな力をかけることなく容易に着脱ができることができ、かつチャンバ固定ボルト18にて固定金具11との確実に固定ができる。   Note that the fan filter unit 7 and the fixing bracket are formed by making the tip portion of the chamber pressing portion 8 into an open-shaped, U-shaped portion 8a and the tip portion of the filter holding portion 10 as a curved portion 10b having a curved structure. 11 can be prevented from being inadvertently detached, and can be easily attached / detached without applying a large force when attaching / detaching the chamber retainer 8 to / from the chamber 4. Can be fixed securely.

(実施の形態
図11および図12に示すように、固定金具11はチャンバ側固定金具21とフィルタ側固定金具22からなり、このチャンバ側固定金具21はチャンバ押え部8と第1の中央板部23と、この第1の中央板部23に設けた第1の開口穴24からなり、フィルタ側固定金具22は、フィルタ押え部10と第2の中央板部25と、この第2の中央板部25に設けた第2の開口穴26からなり、第1の開口穴24と第2の開口穴26を通してチャンバ4側面に設けた取付穴19に螺合するチャンバ固定ボルト18を有し、第1の開口穴24と第2の開口穴26は長穴となっている。
(Embodiment 7 )
As shown in FIGS. 11 and 12, the fixture 11 includes a chamber-side fixture 21 and a filter-side fixture 22, and the chamber-side fixture 21 includes the chamber holding portion 8, the first central plate portion 23, It consists of a first opening hole 24 provided in the first central plate portion 23, and the filter side fixing bracket 22 is provided in the filter holding portion 10, the second central plate portion 25, and the second central plate portion 25. And a chamber fixing bolt 18 that is screwed into a mounting hole 19 provided on the side surface of the chamber 4 through the first opening hole 24 and the second opening hole 26. 24 and the second opening hole 26 are elongated holes.

上記構成において、チャンバ側固定金具21とフィルタ側固定金具22は、スライドできる構成であり、フィルタの厚みに合わせて、チャンバ固定ボルト18を第1の開口穴24内と第2の開口穴26内をスライドして調節し締付けることで、1枚のフィルタ6の厚みが変わっても、またフィルタ6が複数枚積層する場合でも、フィルタ6の厚みに関わらず容易にかつ確実に固定することができる。   In the above configuration, the chamber-side fixture 21 and the filter-side fixture 22 are slidable, and the chamber fixing bolts 18 are placed in the first opening hole 24 and the second opening hole 26 in accordance with the thickness of the filter. By sliding and adjusting and tightening, even if the thickness of one filter 6 changes or when a plurality of filters 6 are stacked, it can be easily and reliably fixed regardless of the thickness of the filter 6. .

(実施の形態
図12および図13に示すように、フィルタ側固定金具22の下端に設けた筐体固定フランジ27と、この筐体固定フランジ27に設けた開口部28と、この開口部28を通し
て筐体29に固定する筐体固定ボルト30を設けている。
(Embodiment 8 )
As shown in FIGS. 12 and 13, a housing fixing flange 27 provided at the lower end of the filter-side fixing bracket 22, an opening 28 provided in the housing fixing flange 27, and a housing 29 through the opening 28. A case fixing bolt 30 for fixing is provided.

上記構成において、チャンバ側固定金具21とフィルタ側固定金具22で、挟み込むようにチャンバ4とフィルタ6を固定したファンフィルタユニット7を、筐体29に固定する際、筐体29面と筐体固定フランジ27を当接させ、筐体固定ボルト30にて筐体29と筐体固定フランジ31を固定することにより、ファンフィルタユニット7本体を容易に手間をかけずに筐体に確実に固定することができる。   In the above configuration, when the fan filter unit 7 having the chamber 4 and the filter 6 fixed so as to be sandwiched between the chamber-side fixing bracket 21 and the filter-side fixing bracket 22 is fixed to the casing 29, the casing 29 surface and the casing are fixed. By abutting the flange 27 and fixing the casing 29 and the casing fixing flange 31 with the casing fixing bolt 30, the fan filter unit 7 main body can be easily fixed to the casing easily without trouble. Can do.

固定金具を用いてパッキンを介在させた状態で、複数のフィルタのみを連結する用途にも適用できる。   The present invention can also be applied to applications in which only a plurality of filters are connected in a state where packing is interposed using a fixing bracket.

1 ファン
2 モーター
3 ファンユニット
4 チャンバ
5 パッキン
6 フィルタ
8 チャンバ押え部
8a くの字部
9 中央板部
10 フィルタ押え部
11 固定金具
11a 固定金具
12 フィルタ枠
13 側面押え部
14 取付穴
15 チャンバ調整ボルト
16 取付穴
17 フィルタ調整ボルト
18 チャンバ固定ボルト
19 取付穴
20 開口穴
21 チャンバ側固定金具
22 フィルタ側固定金具
23 第1の中央板部
24 第1の開口穴
25 第2の中央板部
26 第2の開口穴
27 筐体固定フランジ
28 開口部
29 筐体
30 筐体固定ボルト
DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Fan 2 Motor 3 Fan unit 4 Chamber 5 Packing 6 Filter 8 Chamber pressing part 8a U-shaped part 9 Center plate part 10 Filter holding part 11 Fixing bracket 11a Fixing bracket 12 Filter frame 13 Side pressing part 14 Mounting hole 15 Chamber adjustment bolt 16 mounting hole 17 filter adjusting bolt 18 chamber fixing bolt 19 mounting hole 20 opening hole 21 chamber side fixing bracket 22 filter side fixing bracket 23 first central plate portion 24 first opening hole 25 second central plate portion 26 second Opening hole 27 Housing fixing flange 28 Opening 29 Housing 30 Housing fixing bolt

Claims (8)

ファンとモーターからなるファンユニットを内蔵したチャンバと、
前記ファンユニットの下流側に配設される少なくとも1枚以上からなるフィルタと、
このフィルタと前記チャンバの間に挿入される弾性を備えたパッキンと、
断面コ字形状の固定金具を有し、
この固定金具は、一端にチャンバの表面に係合するチャンバ押え部と、他端にフィルタ枠に係合するフィルタ押え部と、前記チャンバの側面と前記フィルタの側面に当接または近接する中央板部とからなり、
前記フィルタは、外周側を開いたC型形状のフィルタ枠と一体に構成され、
前記固定金具は、前記フィルタ押え部を下流側の前記フィルタに設けた前記フィルタ枠の上部端部に掛けた後、前記チャンバ押え部を前記チャンバの天面に掛けて、前記フィルタと前記チャンバを挟んで結合するファンフィルタユニット。
A chamber containing a fan unit consisting of a fan and a motor;
A filter comprising at least one sheet disposed on the downstream side of the fan unit;
An elastic packing inserted between the filter and the chamber;
It has a bracket with a U-shaped cross section,
The fixing bracket includes a chamber pressing portion that engages the surface of the chamber at one end, a filter pressing portion that engages the filter frame at the other end, and a central plate that is in contact with or close to the side surface of the chamber and the side surface of the filter. And consists of
The filter is configured integrally with a C-shaped filter frame whose outer peripheral side is open,
The fixing bracket is configured to hang the filter holding portion on the upper end portion of the filter frame provided on the downstream filter, and then hang the chamber holding portion on the top surface of the chamber to connect the filter and the chamber. A fan filter unit that is sandwiched and joined.
固定金具は中央板部の両端より一対の側面押え部を立設し、この側面押え部はチャンバとフィルタのそれぞれ対向する側面に近接して設けた請求項1記載のファンフィルタユニットThe fan filter unit according to claim 1, wherein the fixing bracket has a pair of side surface holding portions provided upright from both ends of the central plate portion, and the side surface holding portions are provided in close proximity to the opposing side surfaces of the chamber and the filter. チャンバ押え部先端部分に、開き形状のくの字部を備えた請求項1または請求項2記載のファンフィルタユニットThe fan filter unit according to claim 1 or 2, wherein an opening-shaped dogleg portion is provided at a front end portion of the chamber pressing portion. 固定金具のチャンバ押え部に取付穴を設け、この取付穴に螺合してチャンバ表面と圧接するチャンバ調整ボルトを有してなる請求項1または請求項2記載のファンフィルタユニットThe fan filter unit according to claim 1 or 2, wherein a mounting hole is provided in the chamber pressing portion of the fixing bracket, and a chamber adjusting bolt is provided which is screwed into the mounting hole and press-contacted with the chamber surface. 固定金具のフィルタ押え部に取付穴を設け、この取付穴に螺合してフィルタ枠の裏面と圧接するフィルタ調整ボルトを有してなる請求項1または請求項2記載のファンフィルタユニットThe fan filter unit according to claim 1 or 2, further comprising: a filter adjusting bolt which is provided with a mounting hole in the filter holding portion of the fixing metal and is screwed into the mounting hole and press-contacted with the back surface of the filter frame. チャンバ側面にチャンバ固定ボルトの取付穴を設け、固定金具の中央板部に前記チャンバ固定ボルトを通す開口穴を有してなる請求項1または請求項2記載のファンフィルタユニ
ット
The fan filter unit according to claim 1 or 2, wherein a mounting hole for a chamber fixing bolt is provided on a side surface of the chamber, and an opening hole for allowing the chamber fixing bolt to pass through a central plate portion of the fixing bracket.
That .
固定金具はチャンバ側固定金具とフィルタ側固定金具からなり、このチャンバ側固定金具はチャンバ押え部と第1の中央板部と、この第1の中央板部に設けた第1の開口穴からなり、前記フィルタ側固定金具はフィルタ押え部と第2の中央板部と、この第2の中央板部に設けた第2の開口穴からなり、前記第1の開口穴と前記第2の開口穴を通してチャンバ側面に設けた取付穴に螺合するチャンバ固定ボルトを有し、前記第1の開口穴と前記第2の開口穴の少なくとも一方を長穴とした請求項記載のファンフィルタユニットThe fixture includes a chamber-side fixture and a filter-side fixture. The chamber-side fixture includes a chamber retainer, a first center plate, and a first opening hole provided in the first center plate. The filter-side fixture includes a filter holding portion, a second center plate portion, and a second opening hole provided in the second center plate portion, and the first opening hole and the second opening hole. The fan filter unit according to claim 6 , further comprising a chamber fixing bolt that is screwed into a mounting hole provided on a side surface of the chamber through which at least one of the first opening hole and the second opening hole is an elongated hole. フィルタ側固定金具の下端に設けた筐体固定フランジと、この筐体固定フランジに設けた開口部と、この開口部を通して筐体に固定する筐体固定ボルトを有してなる請求項記載のファンフィルタユニットA housing securing flange provided at the lower end of the filter side fixing bracket, the a housing fixed flange provided openings, of the through openings made with a casing fixing bolt for fixing to the housing claim 7, wherein Fan filter unit .
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