JP4742623B2 - Method for manufacturing light emitting device - Google Patents
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Description
本発明は、発光素子の製造方法に関するものである。 The present invention relates to the production how the light-emitting element.
少なくとも一層の発光性有機層(有機エレクトロルミネッセンス層)が、陰極と陽極とに挟まれた構造の有機エレクトロルミネッセンス素子(発光素子)は、無機EL素子に比べて印加電圧を大幅に低下させることができ、多彩な発光色の素子が作製可能である(例えば、非特許文献1〜3、特許文献1〜3参照)。
現在、より高性能な有機EL素子を得るため、材料の開発・改良をはじめ、様々なデバイス構造が提案されており、活発な研究が行われている。
An organic electroluminescent element (light emitting element) having a structure in which at least one light emitting organic layer (organic electroluminescent layer) is sandwiched between a cathode and an anode can significantly reduce the applied voltage compared to an inorganic EL element. In addition, various light emitting elements can be manufactured (see, for example, Non-Patent Documents 1 to 3 and Patent Documents 1 to 3).
At present, in order to obtain a higher performance organic EL element, various device structures including material development and improvement have been proposed, and active research is being conducted.
また、この有機EL素子については既に様々な発光色の素子、また高輝度、高効率の素子が開発されており、発光素子の画素としての利用や光源としての利用など多種多様な実用化用途が検討されている。
そして、実用化に向けて、さらなる発光効率および耐久性(寿命)の向上を目指し、種々の研究がなされている。
In addition, for this organic EL element, various light emitting color elements, high luminance and high efficiency elements have been developed, and there are various practical applications such as use of the light emitting element as a pixel and use as a light source. It is being considered.
Various researches have been conducted with the aim of further improving luminous efficiency and durability (lifetime) for practical application.
本発明の目的は、発光効率および耐久性(寿命)に優れる発光素子を容易に製造し得る発光素子の製造方法を提供することにある。 An object of the present invention is to provide a manufacturing how the light-emitting element which can be easily produced a light-emitting device having excellent luminous efficiency and durability (life).
このような目的は、下記の本発明により達成される。
本発明の発光素子の製造方法は、陰極の一方の面側に、電子輸送層を形成する工程と、
該電子輸送層に接触するように発光層を形成する工程と、
該発光層の前記電子輸送層と反対側に陽極を形成する工程とを有する発光素子の製造方法であって、
前記電子輸送層を形成する工程は、チューブ状または粒状の無機半導体材料を堆積させて、前記無機半導体材料の集合物を層状に形成する第1の工程と、
前記集合物に対し、前記無機半導体材料を溶解し得る溶剤を接触させる処理を施すことにより、前記無機半導体材料同士の接触界面を前記無機半導体材料の溶解物により接合する第2の工程と、を有し、
前記第2の工程において、前記溶解物の一部を前記集合物の陰極側に偏在させる処理を施すことを特徴とする。
これにより、発光効率および耐久性(寿命)に優れる発光素子を容易に得ることができる。
Such an object is achieved by the present invention described below.
The method for producing a light emitting device of the present invention includes a step of forming an electron transport layer on one surface side of the cathode,
Forming a light emitting layer in contact with the electron transport layer;
A step of forming an anode on the side opposite to the electron transport layer of the light emitting layer,
The step of forming the electron transport layer includes a first step of depositing a tubular or granular inorganic semiconductor material to form an aggregate of the inorganic semiconductor materials in a layered manner,
Against the aggregate, by performing a process of contacting the solvent capable of dissolving the inorganic semiconductor material, and a second step of bonding by the contact interface between the inorganic semiconductor material melt of the inorganic semiconductor material Have
In the second step, a treatment for unevenly distributing a part of the melt on the cathode side of the aggregate is performed .
Thereby, the light emitting element which is excellent in luminous efficiency and durability (lifetime) can be obtained easily.
本発明の発光素子の製造方法では、前記溶解物の一部を前記集合物の陰極側に偏在させる処理は、前記溶解物の自重による移動、遠心分離、および加圧のうちのいずれかによる処理であることが好ましい。
本発明の発光素子の製造方法では、前記溶剤は、酸またはアルカリ溶液であることが好ましい。
これにより、無機半導体材料を溶解し、溶解物を生成することにより、電子輸送層の機械的強度に優れた発光素子を容易に得ることができる。
In the method for manufacturing a light emitting device of the present invention, the treatment for unevenly distributing a part of the lysate to the cathode side of the aggregate is a treatment by any of movement, centrifugation, and pressurization due to the weight of the lysate. it is preferable that.
In the method for manufacturing a light emitting device of the present invention, the solvent is preferably an acid or an alkali solution.
Thereby, the light emitting element excellent in the mechanical strength of an electron carrying layer can be obtained easily by melt | dissolving an inorganic semiconductor material and producing | generating a melt.
本発明の発光素子の製造方法では、前記溶解物は、前記無機半導体材料の塩であることが好ましい。
本発明の発光素子の製造方法では、前記第2の工程の後、前記溶解物を酸化物に変化させる処理を施す第3の工程を有することが好ましい。
これにより、溶解物が化学的により安定なものとなるため、電子輸送層の機械的強度により優れた発光素子を容易に得ることができる。
In the method for manufacturing a light-emitting element according to the present invention, the melt is preferably a salt of the inorganic semiconductor material .
In the method for manufacturing a light-emitting element according to the present invention, it is preferable that after the second step, a third step of performing a process of changing the dissolved matter into an oxide is provided.
As a result, the dissolved matter becomes chemically more stable, so that a light-emitting element that is superior in mechanical strength of the electron transport layer can be easily obtained.
本発明の発光素子の製造方法では、前記処理は、酸化雰囲気下での加熱により行われることが好ましい。
これにより、溶解物を容易かつ安価に酸化物とすることができる。
In the method for manufacturing a light emitting element of the present invention, the treatment is preferably performed by heating in an oxidizing atmosphere .
Thereby, a melt can be made into an oxide easily and cheaply .
本発明の発光素子の製造方法では、前記電子輸送層は、その少なくとも陽極側の部分が多孔質であることが好ましい。
これにより、発光層の形成領域を増大させること、すなわち、電子輸送層への発光材料の付着量(吸着量)を増大させることができる。また、正孔輸送層も、電子輸送層の空孔内に入り込むように形成することができる。
このようなことから、発光層と、電子輸送層および正孔輸送層との接触面積を増大させることができる。その結果、正孔と電子との再結合サイトが広がり、発光効率の高い発光素子を得ることができる。
また、発光サイトが広がることから、発光に寄与する発光材料(分子数)が増大し、各発光材料が変質・劣化する速度(程度)を緩和することができる。すなわち、耐久性(寿命)に優れた発光素子を得ることができる。
In the method for manufacturing a light emitting device of the present invention, it is preferable that at least a portion on the anode side of the electron transport layer is porous.
Thereby, the formation area of the light emitting layer can be increased, that is, the adhesion amount (adsorption amount) of the light emitting material to the electron transport layer can be increased. Further, the hole transport layer can also be formed so as to enter the holes of the electron transport layer.
For this reason, the contact area between the light emitting layer and the electron transport layer and hole transport layer can be increased. As a result, a recombination site between holes and electrons spreads, and a light-emitting element with high emission efficiency can be obtained.
Further, since the light emitting sites are widened, the light emitting material (number of molecules) contributing to light emission is increased, and the rate (degree) at which each light emitting material is altered or deteriorated can be reduced. That is, a light-emitting element having excellent durability (lifetime) can be obtained.
本発明の発光素子では、正孔輸送層と、該正孔輸送層が前記電子輸送層を介して前記陰極と接触するのを防止または抑制する機能を有するバリヤ層とを備えることが好ましい。
これにより、発光素子において、経時的に短絡が生じ、発光効率が低下するのを防止すること、すなわち、耐久性(寿命)の向上を図ることができる。
本発明の発光素子では、前記バリヤ層は、その空孔率が前記電子輸送層の空孔率より小さくなるように形成されたものであることが好ましい。
これにより、正孔輸送層が陰極と接触するのをより確実に防止または抑制することができる。また、このような構成のバリヤ層は、比較的容易に形成することができるという利点もある。
The light emitting device of the present invention preferably includes a hole transport layer and a barrier layer having a function of preventing or suppressing the hole transport layer from contacting the cathode via the electron transport layer.
Thereby, in a light emitting element, it can prevent that a short circuit arises with time and a light emission efficiency falls, ie, the improvement of durability (life) can be aimed at.
In the light emitting device of the present invention, the barrier layer is preferably formed so that the porosity thereof is smaller than the porosity of the electron transport layer.
Thereby, it can prevent or suppress more reliably that a positive hole transport layer contacts a cathode. Further, the barrier layer having such a configuration has an advantage that it can be formed relatively easily.
本発明の発光素子では、前記バリヤ層の空孔率をA[%]とし、前記電子輸送層の空孔率をB[%]としたとき、B/Aが1.1以上であることが好ましい。
これにより、バリヤ層は、正孔輸送層と陰極との接触をより確実に防止または抑制することができる。
本発明の発光素子では、前記バリヤ層は、その空孔率が20%以下であることが好ましい。
これにより、正孔輸送層と陰極との接触を防止または抑制する効果を、さらに向上させることができる。
In the light emitting device of the present invention, when the porosity of the barrier layer is A [%] and the porosity of the electron transport layer is B [%], B / A is 1.1 or more. preferable.
Thereby, the barrier layer can more reliably prevent or suppress contact between the hole transport layer and the cathode.
In the light emitting device of the present invention, the barrier layer preferably has a porosity of 20% or less.
Thereby, the effect of preventing or suppressing contact between the hole transport layer and the cathode can be further improved.
本発明の発光素子では、前記バリヤ層と前記電子輸送層との厚さの比率は、1:99〜60:40であることが好ましい。
これにより、バリヤ層は、正孔輸送層と陰極との接触をより確実に防止または抑制することができる。
本発明の発光素子では、前記バリヤ層は、その平均厚さが1μm以下であることが好ましい。
これにより、正孔輸送層と陰極との接触を防止または抑制する効果を、さらに向上させることができる。
In the light emitting device of the present invention, the thickness ratio between the barrier layer and the electron transport layer is preferably 1:99 to 60:40.
Thereby, the barrier layer can more reliably prevent or suppress contact between the hole transport layer and the cathode.
In the light emitting device of the present invention, the barrier layer preferably has an average thickness of 1 μm or less.
Thereby, the effect of preventing or suppressing contact between the hole transport layer and the cathode can be further improved.
本発明の発光素子では、前記バリヤ層は、前記電子輸送層と同等の電気伝導性を有するものであることが好ましい。
これにより、バリヤ層と電子輸送層との間での電子の受け渡しが円滑に行われるようになる。
本発明の発光素子では、前記バリヤ層は、MOD法により形成されたものであることが好ましい。
MOD法によれば、バリヤ層形成用材料中において、バリヤ層の構成材料の前駆体の反応(例えば、加水分解、重縮合等)が防止されるため、バリヤ層をより容易かつ確実に(再現性よく)形成することができる。また、得られるバリヤ層を、緻密な(前記範囲内の空孔率の)ものとすることができる。
In the light emitting device of the present invention, the barrier layer preferably has an electrical conductivity equivalent to that of the electron transport layer.
As a result, electrons are smoothly transferred between the barrier layer and the electron transport layer.
In the light emitting device of the present invention, the barrier layer is preferably formed by a MOD method.
According to the MOD method, the reaction of the precursor of the constituent material of the barrier layer (for example, hydrolysis, polycondensation, etc.) is prevented in the barrier layer forming material, so that the barrier layer can be more easily and reliably (reproduced). Can be formed). Further, the obtained barrier layer can be dense (with a porosity within the above range).
本発明の発光素子では、前記バリヤ層と前記電子輸送層との全体における厚さ方向の抵抗値が100Ω/cm2以上であることが好ましい。
これにより、正孔輸送層と電極との間でのリーク(短絡)をより確実に防止または抑制することができ、発光素子の耐久性(寿命)のさらなる向上を図ることができる。
本発明の発光素子では、前記バリヤ層は、前記陰極と前記電子輸送層との間に位置することが好ましい。
これにより、バリヤ層は、正孔輸送層と陰極との接触をより確実に防止または抑制することができる。
In the light emitting device of the present invention, it is preferable that a resistance value in a thickness direction of the entire barrier layer and the electron transport layer is 100 Ω / cm 2 or more.
Thereby, the leak (short circuit) between a positive hole transport layer and an electrode can be prevented or suppressed more reliably, and the further improvement of durability (life) of a light emitting element can be aimed at.
In the light emitting device of the present invention, the barrier layer is preferably located between the cathode and the electron transport layer.
Thereby, the barrier layer can more reliably prevent or suppress contact between the hole transport layer and the cathode.
本発明の発光素子では、前記バリヤ層と前記電子輸送層との界面は、不明確であることが好ましい。
これにより、バリヤ層と電子輸送層との間での電子の受け渡しがより確実に(効率よく)行われるようになる。
本発明の発光素子では、前記バリヤ層と前記電子輸送層とは、一体的に形成されていることが好ましい。
これにより、バリヤ層と電子輸送層との間での電子の受け渡しがより確実に(効率よく)行われるようになる。
In the light emitting device of the present invention, the interface between the barrier layer and the electron transport layer is preferably unclear.
As a result, the transfer of electrons between the barrier layer and the electron transport layer is performed more reliably (efficiently).
In the light emitting device of the present invention, it is preferable that the barrier layer and the electron transport layer are integrally formed.
As a result, the transfer of electrons between the barrier layer and the electron transport layer is performed more reliably (efficiently).
本発明の発光素子では、前記電子輸送層の一部が、前記バリヤ層として機能することが好ましい。
これにより、バリヤ層と電子輸送層との間での電子の受け渡しがより確実に(効率よく)行われるようになる。
本発明の発光素子では、発光層と陰極との間に、正孔輸送層を有することが好ましい。
これにより、発光効率をより向上させることができる。
In the light emitting device of the present invention, it is preferable that a part of the electron transport layer functions as the barrier layer.
As a result, the transfer of electrons between the barrier layer and the electron transport layer is performed more reliably (efficiently).
In the light emitting device of the present invention, it is preferable to have a hole transport layer between the light emitting layer and the cathode.
Thereby, luminous efficiency can be improved more.
本発明の発光素子では、前記正孔輸送層の少なくとも前記発光層側の領域(以下、「第1の領域」と言う。)が、主として電解質組成物で構成されていることが好ましい。
これにより、発光効率をさらに向上させることができる。
本発明の発光素子では、前記電解質組成物は、液状またはゲル状をなしていることが好ましい。
これにより、正孔輸送層と発光層との接触面積をより増大させることができる。その結果、発光素子の発光効率をより向上させることができる。
In the light emitting device of the present invention, it is preferable that at least a region on the light emitting layer side (hereinafter referred to as “first region”) of the hole transport layer is mainly composed of an electrolyte composition.
Thereby, luminous efficiency can be further improved.
In the light emitting device of the present invention, the electrolyte composition is preferably in a liquid or gel form.
Thereby, the contact area of a positive hole transport layer and a light emitting layer can be increased more. As a result, the light emission efficiency of the light emitting element can be further improved.
本発明の発光素子では、前記電解質組成物は、電解質として、I/I3系が好ましい。
この電解質は、酸化還元反応が効率よく行われるものであり、かかる電解質を含有する第1の領域は、正孔の輸送能に特に優れたものとなる。
本発明の発光素子では、前記正孔輸送層は、その前記陽極側に、主として高分子材料で構成される第2の領域を有することが好ましい。
これにより、第1の領域が直接陽極に接触するのを防止することや、正孔を第1の領域へ効率よく注入することができる。かかる第2の領域を設けることにより、発光素子の発光効率をより向上させることができる。
In the light emitting device of the present invention, the electrolyte composition is preferably an I / I 3 system as an electrolyte.
In this electrolyte, an oxidation-reduction reaction is efficiently performed, and the first region containing such an electrolyte is particularly excellent in hole transport ability.
In the light emitting device of the present invention, the hole transport layer preferably has a second region mainly composed of a polymer material on the anode side.
Thereby, it can prevent that a 1st area | region contacts a positive electrode directly, and can inject | pour a hole into a 1st area | region efficiently. By providing the second region, the light emission efficiency of the light emitting element can be further improved.
本発明の発光素子では、前記第2の領域は、前記陽極に接触していることが好ましい。
これにより、発光素子の大型化(特に、厚膜化)や、正孔の第1の領域への注入効率が低下するのを確実に防止することができる。
本発明の発光素子では、前記第2の領域は、前記電解質組成物を主材料として構成される領域に接触していることが好ましい。
これにより、発光素子の大型化(特に、厚膜化)や、正孔の第1の領域への注入効率が低下するのを確実に防止することができる。
In the light emitting device of the present invention, it is preferable that the second region is in contact with the anode.
Thereby, it is possible to reliably prevent the light emitting element from being enlarged (in particular, thicker) and the efficiency of hole injection into the first region from being lowered.
In the light-emitting element of the present invention, it is preferable that the second region is in contact with a region configured using the electrolyte composition as a main material.
Thereby, it is possible to reliably prevent the light emitting element from being enlarged (in particular, thicker) and the efficiency of hole injection into the first region from being lowered.
本発明の発光素子では、前記高分子材料は、ポリチオフェン系化合物を含有することが好ましい。
これにより、第1の領域への正孔の注入効率をより向上させることができる。その結果、正孔輸送層全体における正孔の輸送効率がより向上する。
本発明の発光素子では、前記正孔輸送層は、その平均厚さが0.1〜100μmであることが好ましい。
これにより、発光素子が大型化(特に、厚膜化)するのを防止しつつ、十分な発光効率が得られる。
In the light emitting device of the present invention, the polymer material preferably contains a polythiophene compound.
Thereby, the injection efficiency of holes into the first region can be further improved. As a result, the hole transport efficiency in the whole hole transport layer is further improved.
In the light emitting device of the present invention, the hole transport layer preferably has an average thickness of 0.1 to 100 μm.
Thereby, sufficient light emission efficiency can be obtained while preventing the light emitting element from becoming large (in particular, thick).
本発明の発光素子では、前記陰極が正、前記陽極が負となるようにして、0.5Vの電圧を印加したとき、抵抗値が100Ω/cm2以上となる特性を有することが好ましい。
かかる特性は、発光素子において、陰極と陽極との間での短絡(リーク)が好適に防止または抑制されていることを示すものであり、このような特性を有する発光素子は、発光効率が特に高いものとなる。
The light emitting device of the present invention preferably has a characteristic that the resistance value becomes 100 Ω / cm 2 or more when a voltage of 0.5 V is applied so that the cathode is positive and the anode is negative.
Such characteristics indicate that a short circuit (leakage) between the cathode and the anode is suitably prevented or suppressed in the light-emitting element, and the light-emitting element having such characteristics has particularly high luminous efficiency. It will be expensive.
本発明の発光素子の製造方法では、前記無機半導体材料は、金属酸化物を主成分とするものであることが好ましい。
金属酸化物は、電子輸送能に特に優れることから好ましい。
本発明の発光素子の製造方法では、前記無機半導体材料は、酸化チタンを主成分とするものであることが好ましい。
酸化チタンは、化学的に特に安定で、チューブ状のものが容易に得られ、また、電子輸送能に特に優れるものである。
In the manufacturing method of the light emitting element of this invention, it is preferable that the said inorganic semiconductor material is a thing which has a metal oxide as a main component.
Metal oxides are preferred because they are particularly excellent in electron transport ability.
In the manufacturing method of the light emitting element of this invention, it is preferable that the said inorganic semiconductor material is a thing which has a titanium oxide as a main component.
Titanium oxide is particularly stable chemically, can be easily obtained in a tube shape, and has particularly excellent electron transport ability.
以下、本発明の発光素子の製造方法、発光素子、発光装置および電子機器を添付図面に示す好適な実施形態について説明する。
図1は、本発明の発光素子の実施形態の縦断面を模式的に示す図、図2は、図1に示す発光素子における各部(各層)の界面付近を拡大して示す図、図3は、図1に示す発光素子における電子輸送層、発光層および正孔輸送層の界面付近を、さらに拡大して示す図である。なお、以下では、説明の都合上、図1〜図3中の上側を「上」、下側を「下」として説明を行う。
Hereinafter, preferred embodiments of a method for manufacturing a light-emitting element, a light-emitting element, a light-emitting device, and an electronic apparatus according to the present invention will be described with reference to the accompanying drawings.
1 is a diagram schematically showing a longitudinal section of an embodiment of a light emitting device of the present invention, FIG. 2 is an enlarged view showing the vicinity of each interface (each layer) in the light emitting device shown in FIG. 1, and FIG. FIG. 2 is an enlarged view showing the vicinity of an interface of an electron transport layer, a light emitting layer, and a hole transport layer in the light emitting device shown in FIG. In the following description, for convenience of explanation, the upper side in FIGS.
図1に示す発光素子(エレクトロルミネッセンス素子)1は、陰極3と、陽極6と、陰極3と陽極6との間に、電子輸送層4と発光層(発光部位)Lと正孔輸送層5とが介挿され、さらに、電子輸送層4と陰極3との間にバリヤ層8が設けられてなるものである。そして、発光素子1は、その全体が基板2上に設けられるとともに、封止部材7で封止されている。
A light-emitting element (electroluminescence element) 1 shown in FIG. 1 includes an
基板2は、発光素子1の支持体となるものである。本実施形態の発光素子1は、基板2と反対側から光を取り出す構成(トップエミッション型)であるため、基板2および陰極3には、それぞれ、透明性は特に要求されない。
基板2としては、例えば、ポリエチレンテレフタレート、ポリエチレンナフタレート、ポリプロピレン、シクロオレフィンポリマー、ポリアミド、ポリエーテルサルフォン、ポリメチルメタクリレート、ポリカーボネート、ポリアリレートのような樹脂材料や、石英ガラス、ソーダガラスのようなガラス材料等で構成される透明基板や、アルミナのようなセラミックス材料で構成された基板、ステンレス鋼のような金属基板の表面に酸化膜(絶縁膜)を形成したもの、不透明な樹脂材料で構成された基板のような不透明基板を用いることができる。
The
Examples of the
このような基板2の平均厚さは、特に限定されないが、0.1〜30mm程度であるのが好ましく、0.1〜10mm程度であるのがより好ましい。
なお、発光素子1が基板2側から光を取り出す構成(ボトムエミッション型)の場合、基板2および陰極3は、それぞれ、実質的に透明(無色透明、着色透明、半透明)とされる。
Although the average thickness of such a board |
When the light emitting element 1 is configured to extract light from the
陰極3は、後述する電子輸送層4に電子を注入する電極である。この陰極3の構成材料としては、仕事関数の小さい材料を用いるのが好ましい。
陰極3の構成材料としては、例えば、Li、Mg、Ca、Sr、La、Ce、Er、Eu、Sc、Y、Yb、Ag、Cu、Al、Cs、Rbまたはこれらを含む合金等が挙げられ、これらのうちの1種または2種以上を組み合わせて(例えば、複数層の積層体等)用いることができる。
The
Examples of the constituent material of the
特に、陰極3の構成材料として合金を用いる場合には、Ag、Al、Cu等の安定な金属元素を含む合金、具体的には、MgAg、AlLi、CuLi等の合金を用いるのが好ましい。かかる合金を陰極3の構成材料として用いることにより、陰極3の電子注入効率および安定性の向上を図ることができる。
このような陰極3の平均厚さは、特に限定されないが、100〜10000nm程度であるのが好ましく、200〜500nm程度であるのがより好ましい。
In particular, when an alloy is used as the constituent material of the
Although the average thickness of such a
また、陰極3の表面抵抗は低い程好ましく、具体的には、50Ω/□以下であるのが好ましく、20Ω/□以下であるのがより好ましい。表面抵抗の下限値は、特に限定されないが、通常0.1Ω/□程度であるのが好ましい。
一方、陽極6は、後述する正孔輸送層5に正孔を注入する電極である。この陽極6の構成材料としては、仕事関数が大きく、導電性に優れる材料を用いるのが好ましい。
The surface resistance of the
On the other hand, the
陽極6の構成材料としては、例えば、ITO(Indium Tin Oxide)、IZO(Indium Zinc Oxide)、In3O3、SnO2、Sb含有SnO2、Al含有ZnO等の酸化物、Au、Pt、Ag、Cuまたはこれらを含む合金等が挙げられ、これらのうちの1種または2種以上を組み合わせて用いることができる。
このような陽極6の平均厚さは、特に限定されないが、10〜200nm程度であるのが好ましく、50〜150nm程度であるのがより好ましい。
Examples of the constituent material of the
The average thickness of the
また、陽極6の表面抵抗も低い程好ましく、具体的には、100Ω/□以下であるのが好ましく、50Ω/□以下であるのがより好ましい。表面抵抗の下限値は、特に限定されないが、通常0.1Ω/□程度であるのが好ましい。
電子輸送層4は、陰極3から注入された電子を、発光層Lまで輸送する機能を有するものである。また、陰極3に、後述する正孔輸送層5が接触するのを防止する機能、すなわち、後述するバリヤ層8と同様の機能も有する。
Further, the surface resistance of the
The
この電子輸送層4は、緻密質であってもよいが、図2および図3に示すように、多孔質であるのが好ましい。
これにより、後述する発光層Lの形成領域を増大させること、すなわち、電子輸送層4への発光材料の付着量(吸着量)を増大させることができる。また、後述する正孔輸送層5も、電子輸送層4の空孔内に入り込むように形成することができる。
このようなことから、発光層Lと、電子輸送層4および正孔輸送層5との接触面積を増大させることができる。その結果、正孔と電子との再結合サイトが広がり、発光素子1の発光効率が向上する。
The
Thereby, the formation area of the light emitting layer L mentioned later can be increased, ie, the adhesion amount (adsorption amount) of the light emitting material to the
For this reason, the contact area between the light emitting layer L, the
また、発光サイトが広がることから、発光に寄与する発光材料(分子数)が増大し、各発光材料が変質・劣化する速度(程度)を緩和することができる。すなわち、発光素子1の耐久性(寿命)の向上を図ることができる。
電子輸送層4は、その機械的強度(膜強度)が著しく低下しない範囲で、空孔率ができる限り大きいのが好ましく、具体的には、20〜75%程度であるのが好ましく、35〜60%程度であるのがより好ましい。これにより、電子輸送層4の機械的強度が低下するのを防止しつつ、電子輸送層4に、より多くの発光材料を付着させることができるとともに、正孔輸送層5を電子輸送層4のより内部深くまで入り込ませることができる。
Further, since the light emitting sites are widened, the light emitting material (number of molecules) contributing to light emission is increased, and the rate (degree) at which each light emitting material is altered or deteriorated can be reduced. That is, the durability (life) of the light emitting element 1 can be improved.
The
電子輸送層4は、無機半導体材料を主材料として構成されている。無機半導体材料は、化学的に安定であることから、電子輸送層4を無機半導体材料を主材料として構成することにより、発光素子1の耐久性をより向上させることができる。
このような電子輸送層4は、図3に示すように、チューブ状の無機半導体材料41(以下、単に「チューブ41」と言う。)および/または粒状の無機半導体材料42(以下、単に「粒子42」と言う。)を主材料として構成されている。そして、このチューブ41の外周面や内周面、および粒子42の表面には、後述するような発光材料が結合(吸着)している。
The
As shown in FIG. 3, such an
チューブ41は、その長手方向の電子移動度が高い。したがって、電子輸送層4がチューブ41を含有することにより、電子輸送層4全体の電子輸送能をより向上させることができる。
また、チューブ41は、その比表面積が大きいため、チューブ41の表面への発光材料の結合量を増大させることができ、また、発光材料と後述する正孔輸送層5との接触面積を十分に確保することができる。その結果、発光素子1の発光効率をより向上させることができる。
The
Further, since the
ここで、電子輸送層4が含有するチューブ41は、その外径が3〜70nm程度であるのが好ましく、5〜50nm程度であるのがより好ましい。チューブ41の外径が前記範囲内にあることにより、チューブ41の機械的強度が高くなり、安定した電子輸送を行うことができる。
また、チューブ41の長さは、5〜300nm程度であるのが好ましく、10〜200nm程度であるのがより好ましい。チューブ41の長さが前記下限値より短い場合、電子輸送能が低下するおそれがある。また、チューブ41の長さが前記上限値より長い場合、チューブ41同士の間隙が大きくなり易く、チューブ41と発光材料との結合量が低下するおそれがある。
Here, the
Moreover, it is preferable that the length of the
また、チューブ41の比表面積は、50〜2000m2/g程度であるのが好ましく、100〜1500m2/g程度であるのがより好ましい。チューブ41の比表面積が前記範囲内にあることにより、チューブ41と発光材料との結合量がより大きなものとなる。
なお、チューブ41は、その外径がほぼ一定な略円筒形の他、その外径が一方の端に向かって徐々に拡大または縮小する略円錐形(ホーン状)をなすもの、長手方向の途中で分岐するようなY字状をなすもの、または、これらが同心的に重なり合ったもの等であってもよい。
The specific surface area of the
The
また、電子輸送層4が粒子42を含有することにより、チューブ41同士の間隙を充填することができ、チューブ41同士の間における電荷(電子)のホッピング(飛び移り)を助長することができる。このため、電子輸送層4全体としての電子輸送能をさらに向上させることができる。
粒子42の平均粒径は、10〜150nm程度であるのが好ましく、20〜100nm程度であるのがより好ましい。粒子42の平均粒径が前記範囲内にあることにより、チューブ41同士の間隙をより効果的に充填し、電子輸送層4全体としての電子輸送能をより向上させることができる。
Further, since the
The average particle diameter of the
電子輸送層4において、チューブ41と、粒子42との比率は、重量比で95:5〜60:40程度であるのが好ましく、90:10〜70:30程度であるのがより好ましい。これにより、電子輸送層4における前記効果をより顕著なものとすることができる。
また、これらのチューブ41同士、粒子42同士およびチューブ41と粒子42の間の各接触界面(以下、単に「接触界面」と言う。)は、例えば、チューブ41および粒子42を構成する無機半導体材料の溶解物、該溶解物の酸化物、無機半導体材料が一旦溶融または軟化した後、固化した固化物等で接合されている。
この接合により、接触界面おける強度が向上し、電子輸送層4全体としての機械的強度を向上させることができる。また、接触界面における電子の移動が起こり易くなるという利点もある。
In the
The
By this bonding, the strength at the contact interface is improved, and the mechanical strength of the
このようなチューブ41および粒子42を構成する無機半導体材料としては、例えば、酸化チタン(TiO2)、酸化ジルコニウム(ZrO2)、酸化亜鉛(ZnO)、酸化アルミニウム(Al2O3)、酸化スズ(SnO2)、ScVO4、YVO4、LaVO4、NdVO4、EuVO4、GdVO4、ScNbO4、ScTaO4、YNbO4、YTaO4、ScPO4、ScAsO4、ScSbO4、ScBiO4、YPO4、YSbO4、BVO4、AlVO4、GaVO4、InVO4、TlVO4、InNbO4、InTaO4のような金属酸化物、ZnS、CdSのような金属硫化物、CdSeのような金属セレン化物、TiC、SiCのような金属または半導体炭化物、BN、B4Nのような半導体窒化物等が挙げられ、これらのうちの1種または2種以上を組み合わせて用いることができる。
Examples of the inorganic semiconductor material constituting the
これらの中でも、無機半導体材料としては、金属酸化物を主成分とするものが好ましい。金属酸化物は、電子輸送能に特に優れることから好ましい。
また、金属酸化物の中でも、無機半導体材料としては、酸化チタン(TiO2)を主成分とするものがより好ましい。酸化チタンは、化学的に特に安定で、チューブ状のものが容易に得られ、また、電子輸送能に特に優れるものである。
Among these, as the inorganic semiconductor material, a material containing a metal oxide as a main component is preferable. Metal oxides are preferred because they are particularly excellent in electron transport ability.
Further, among the metal oxides, as the inorganic semiconductor material, a material mainly composed of titanium oxide (TiO 2 ) is more preferable. Titanium oxide is particularly stable chemically, can be easily obtained in a tube shape, and has particularly excellent electron transport ability.
以下、酸化チタンを主材料とするチューブ41の製造方法を代表に説明する。
まず、酸化チタンを合成する。
この酸化チタンの合成には、例えば、ゾル・ゲル法、気相法、液相法等の方法を用いることができる。
例えば、ゾル・ゲル法では、まず、酸化チタンの前駆体であるチタンイソプロポキシド等のチタンアルコキシドと溶媒を混合した溶液を調製し、この溶液に酸を添加する。
Hereinafter, the manufacturing method of the
First, titanium oxide is synthesized.
For the synthesis of titanium oxide, for example, a sol-gel method, a gas phase method, a liquid phase method, or the like can be used.
For example, in the sol-gel method, first, a solution in which a titanium alkoxide such as titanium isopropoxide that is a precursor of titanium oxide is mixed with a solvent is prepared, and an acid is added to this solution.
溶媒は、少なくとも水を含有しないもの、例えば、アルコール(例えばメタノール、エタノール、プロパノール、ブタノール等)が好適に用いられる。
また、酸としては、例えば、硝酸、塩酸、酢酸等を用いることができる。
次いで、この溶液に水を添加することにより、前駆体を加水分解させるとともに、溶媒および水を除去して、ゲル化物を得る。そして、このゲル化物を高温で焼成することにより、酸化チタンを得る。
As the solvent, a solvent which does not contain at least water, for example, alcohol (for example, methanol, ethanol, propanol, butanol, etc.) is preferably used.
Moreover, as an acid, nitric acid, hydrochloric acid, an acetic acid etc. can be used, for example.
Subsequently, by adding water to this solution, while hydrolyzing a precursor, a solvent and water are removed and a gelled material is obtained. And the titanium oxide is obtained by baking this gelled material at high temperature.
ここで、前駆体を加水分解させる際は、溶液を加熱するのが好ましい。これにより、得られる酸化チタンの結晶性を高めたり、粒子の成長を促進させ、得られるチューブ41の電子移動度の向上を図ることができる。
気相法は、含水酸化チタンを高温で焼成することにより、酸化チタンを得る方法である。
Here, when the precursor is hydrolyzed, the solution is preferably heated. Thereby, the crystallinity of the obtained titanium oxide can be improved, the growth of particles can be promoted, and the electron mobility of the obtained
The vapor phase method is a method of obtaining titanium oxide by baking hydrous titanium oxide at a high temperature.
まず、イルメナイト鉱等のチタンを含有する鉱石を硝酸、硫酸等の強酸と反応させ、硝酸チタン、硫酸チタン等の塩を含有する溶液を得る。
次いで、この溶液中の塩を加水分解して、不溶性の含水酸化チタンを沈殿させ、溶液中の溶媒を除去することにより、含水酸化チタンを得る。そして、この含水酸化チタンを高温で焼成することにより、酸化チタンを得る。
この焼成における焼成温度は、通常800〜900℃程度とするのが好ましい。
液相法は、四塩化チタンを酸素および水素とともに加熱することにより、酸化チタンを得る方法である。これにより、四塩化チタンは、チタン単体に変化するとともに酸化され、酸化チタンとなる。
First, an ore containing titanium such as ilmenite ore is reacted with a strong acid such as nitric acid or sulfuric acid to obtain a solution containing a salt such as titanium nitrate or titanium sulfate.
Next, the salt in the solution is hydrolyzed to precipitate insoluble hydrous titanium oxide, and the solvent in the solution is removed to obtain hydrous titanium oxide. And titanium oxide is obtained by baking this hydrous titanium oxide at high temperature.
The firing temperature in this firing is usually preferably about 800 to 900 ° C.
The liquid phase method is a method of obtaining titanium oxide by heating titanium tetrachloride together with oxygen and hydrogen. As a result, titanium tetrachloride changes to titanium alone and is oxidized to titanium oxide.
次に、得られた酸化チタンからチューブ41を得る。
まず、酸化チタンを、アルカリ性溶液中に添加し、アルカリ処理を行う。
アルカリ性溶液としては、水酸化カリウム、水酸化ナトリウム等のアルカリ金属の水酸化物水溶液の他、水酸化マグネシウムや水酸化カルシウム等のアルカリ土類金属の水酸化物水溶液、アンモニア水溶液等が挙げられる。
また、アルカリ処理では、加熱を伴うのが好ましく、その加熱条件は、通常、加熱温度が60〜150℃程度、加熱時間が10〜20時間程度である。
Next, the
First, titanium oxide is added to an alkaline solution and an alkali treatment is performed.
Examples of the alkaline solution include aqueous solutions of hydroxides of alkali metals such as potassium hydroxide and sodium hydroxide, aqueous solutions of hydroxides of alkaline earth metals such as magnesium hydroxide and calcium hydroxide, and aqueous ammonia solutions.
In the alkali treatment, it is preferable to involve heating, and the heating conditions are usually a heating temperature of about 60 to 150 ° C. and a heating time of about 10 to 20 hours.
次に、酸化チタンを添加したアルカリ性溶液に、塩酸および純水を添加し、溶液の水素イオン濃度(pH)が、6.5〜7.5程度になるように中和処理を行う。
次に、溶液中の溶媒を除去し、沈殿物を1〜10時間程度、混練することにより、チューブ41を得ることができる。
混練方法としては、特に限定されないが、例えば乳鉢を用いた混練等が挙げられる。
Next, hydrochloric acid and pure water are added to the alkaline solution to which titanium oxide is added, and neutralization is performed so that the hydrogen ion concentration (pH) of the solution is about 6.5 to 7.5.
Next, the
The kneading method is not particularly limited, and examples thereof include kneading using a mortar.
なお、本実施形態では、酸化チタンを主材料とするチューブ41の製造方法を代表に説明したが、他の無機半導体材料を主材料とするチューブ41も酸化チタンと同様の製造方法を用いて製造することができる。
このような電子輸送層4の平均厚さは、特に限定されないが、1〜50μm程度であるのが好ましく、5〜30μm程度であるのがより好ましい。これにより、電子輸送層4の機械的強度(膜強度)が低下するのを防止しつつ、発光素子1の薄型化を図ることができる。
In this embodiment, the manufacturing method of the
Although the average thickness of such an
電子輸送層4には、図3に示すように、その外面および空孔の内面に沿って、発光層(発光部位)Lが形成されている。
この発光層Lでは、電子輸送層4を介して輸送された電子と、後述する正孔輸送層5を介して輸送された正孔とが再結合し、この再結合に際して放出されたエネルギーによりエキシトン(励起子)が生成し、エキシトンが基底状態に戻る際にエネルギー(蛍光やりん光)が放出される。すなわち、発光層Lが発光する。
このような発光層Lの構成材料(発光材料)としては、各種高分子の発光材料、各種低分子の発光材料を単独または任意の2種以上を組み合わせて用いることができる。
In the
In the light emitting layer L, electrons transported through the
As the constituent material (light emitting material) of such a light emitting layer L, various polymer light emitting materials and various low molecular light emitting materials can be used alone or in combination of two or more kinds.
高分子の発光材料としては、例えば、トランス型ポリアセチレン、シス型ポリアセチレン、ポリ(ジ−フェニルアセチレン)(PDPA)、ポリ(アルキル,フェニルアセチレン)(PAPA)のようなポリアセチレン系化合物、ポリ(パラ−フェンビニレン)(PPV)、ポリ(2,5−ジアルコキシ−パラ−フェニレンビニレン)(RO−PPV)、シアノ−置換−ポリ(パラ−フェンビニレン)(CN−PPV)、ポリ(2−ジメチルオクチルシリル−パラ−フェニレンビニレン)(DMOS−PPV)、ポリ(2−メトキシ,5−(2’−エチルヘキソキシ)−パラ−フェニレンビニレン)(MEH−PPV)のようなポリパラフェニレンビニレン系化合物、ポリ(3−アルキルチオフェン)(PAT)、ポリ(オキシプロピレン)トリオール(POPT)のようなポリチオフェン系化合物、ポリ(9,9−ジアルキルフルオレン)(PDAF)、ポリ(ジオクチルフルオレン−アルト−ベンゾチアジアゾール)(F8BT)、α,ω−ビス[N,N’−ジ(メチルフェニル)アミノフェニル]−ポリ[9,9−ビス(2−エチルヘキシル)フルオレン−2,7−ジル](PF2/6am4)、ポリ(9,9−ジオクチル−2,7−ジビニレンフルオレニル−オルト−コ(アントラセン−9,10−ジイル)のようなポリフルオレン系化合物、ポリ(パラ−フェニレン)(PPP)、ポリ(1,5−ジアルコキシ−パラ−フェニレン)(RO−PPP)のようなポリパラフェニレン系化合物、ポリ(N−ビニルカルバゾール)(PVK)のようなポリカルバゾール系化合物、ポリ(メチルフェニルシラン)(PMPS)、ポリ(ナフチルフェニルシラン)(PNPS)、ポリ(ビフェニリルフェニルシラン)(PBPS)のようなポリシラン系化合物等が挙げられる。 Examples of the polymer light-emitting material include polyacetylene compounds such as trans-type polyacetylene, cis-type polyacetylene, poly (di-phenylacetylene) (PDPA), poly (alkyl, phenylacetylene) (PAPA), and poly (para-para-). Fenvinylene) (PPV), poly (2,5-dialkoxy-para-phenylenevinylene) (RO-PPV), cyano-substituted-poly (para-phenvinylene) (CN-PPV), poly (2-dimethyloctyl) Polyparaphenylene vinylene compounds such as silyl-para-phenylene vinylene (DMOS-PPV), poly (2-methoxy, 5- (2′-ethylhexoxy) -para-phenylene vinylene) (MEH-PPV), poly ( 3-alkylthiophene) (PAT), poly (oxypropylene) Polythiophene compounds such as riol (POPT), poly (9,9-dialkylfluorene) (PDAF), poly (dioctylfluorene-alt-benzothiadiazole) (F8BT), α, ω-bis [N, N′-di (Methylphenyl) aminophenyl] -poly [9,9-bis (2-ethylhexyl) fluorene-2,7-zyl] (PF2 / 6am4), poly (9,9-dioctyl-2,7-divinylenefluore Polyfluorene compounds such as nyl-ortho-co (anthracene-9,10-diyl), poly (para-phenylene) (PPP), poly (1,5-dialkoxy-para-phenylene) (RO-PPP) A polyparaphenylene compound such as poly (N-vinylcarbazole) (PVK), Li (methylphenyl silane) (PMPS), poly (naphthyl phenylsilane) (PnPs), polysilane-based compounds such as poly (biphenylyl phenyl silane) (pBPS), and the like.
一方、低分子の発光材料としては、例えば、2,2’−ビピリジン−4,4’−ジカルボン酸が3配位したイリジウム錯体、ファクトリス(2−フェニルピリジン)イリジウム(Ir(ppy)3)、8−ヒドロキシキノリン アルミニウム(Alq3)、トリス(4−メチル−8キノリノレート) アルミニウム(III)(Almq3)、8−ヒドロキシキノリン 亜鉛(Znq2)、(1,10−フェナントロリン)−トリス−(4,4,4−トリフルオロ−1−(2−チエニル)−ブタン−1,3−ジオネート)ユーロピウム(III)(Eu(TTA)3(phen))、2,3,7,8,12,13,17,18−オクタエチル−21H,23H−ポルフィン プラチナム(II)のような各種金属錯体、ジスチリルベンゼン(DSB)、ジアミノジスチリルベンゼン(DADSB)のようなベンゼン系化合物、ナフタレン、ナイルレッドのようなナフタレン系化合物、フェナントレンのようなフェナントレン系化合物、クリセン、6−ニトロクリセンのようなクリセン系化合物、ペリレン、N,N’−ビス(2,5−ジ−t−ブチルフェニル)−3,4,9,10−ペリレン−ジ−カルボキシイミド(BPPC)のようなペリレン系化合物、コロネンのようなコロネン系化合物、アントラセン、ビススチリルアントラセンのようなアントラセン系化合物、ピレンのようなピレン系化合物、4−(ジ−シアノメチレン)−2−メチル−6−(パラ−ジメチルアミノスチリル)−4H−ピラン(DCM)のようなピラン系化合物、アクリジンのようなアクリジン系化合物、スチルベンのようなスチルベン系化合物、2,5−ジベンゾオキサゾールチオフェンのようなチオフェン系化合物、ベンゾオキサゾールのようなベンゾオキサゾール系化合物、ベンゾイミダゾールのようなベンゾイミダゾール系化合物、2,2’−(パラ−フェニレンジビニレン)−ビスベンゾチアゾールのようなベンゾチアゾール系化合物、ビスチリル(1,4−ジフェニル−1,3−ブタジエン)、テトラフェニルブタジエンのようなブタジエン系化合物、ナフタルイミドのようなナフタルイミド系化合物、クマリンのようなクマリン系化合物、ペリノンのようなペリノン系化合物、オキサジアゾールのようなオキサジアゾール系化合物、アルダジン系化合物、1,2,3,4,5−ペンタフェニル−1,3−シクロペンタジエン(PPCP)のようなシクロペンタジエン系化合物、キナクリドン、キナクリドンレッドのようなキナクリドン系化合物、ピロロピリジン、チアジアゾロピリジンのようなピリジン系化合物、2,2’,7,7’−テトラフェニル−9,9’−スピロビフルオレンのようなスピロ化合物、フタロシアニン(H2Pc)、銅フタロシアニンのような金属または無金属のフタロシアニン系化合物、フローレンのようなフローレン系化合物等が挙げられる。 On the other hand, as a low-molecular light-emitting material, for example, iridium complex in which 2,2′-bipyridine-4,4′-dicarboxylic acid is tricoordinated, factory (2-phenylpyridine) iridium (Ir (ppy) 3 ) , 8-hydroxyquinoline aluminum (Alq 3 ), tris (4-methyl-8 quinolinolate) aluminum (III) (Almq 3 ), 8-hydroxyquinoline zinc (Znq 2 ), (1,10-phenanthroline) -tris- ( 4,4,4-trifluoro-1- (2-thienyl) -butane-1,3-dionate) europium (III) (Eu (TTA) 3 (phen)), 2,3,7,8,12, Various metal complexes such as 13,17,18-octaethyl-21H, 23H-porphine platinum (II), distyrylbenzene (DSB), di Benzene compounds such as minodistyrylbenzene (DADSB), naphthalene compounds such as naphthalene and nile red, phenanthrene compounds such as phenanthrene, chrysene, chrysene compounds such as 6-nitrochrysene, perylene, N, Perylene compounds such as N'-bis (2,5-di-t-butylphenyl) -3,4,9,10-perylene-di-carboximide (BPPC), coronene compounds such as coronene, anthracene , Anthracene compounds such as bisstyrylanthracene, pyrene compounds such as pyrene, and 4- (di-cyanomethylene) -2-methyl-6- (para-dimethylaminostyryl) -4H-pyran (DCM) Pyran compounds, acridine compounds such as acridine, stilbene Such stilbene compounds, thiophene compounds such as 2,5-dibenzoxazole thiophene, benzoxazole compounds such as benzoxazole, benzimidazole compounds such as benzimidazole, 2,2 ′-(para-phenylenedivinylene ) -Benzothiazole compounds such as bisbenzothiazole, bistyryl (1,4-diphenyl-1,3-butadiene), butadiene compounds such as tetraphenylbutadiene, naphthalimide compounds such as naphthalimide, Coumarin compounds, perinone compounds such as perinone, oxadiazole compounds such as oxadiazole, aldazine compounds, 1,2,3,4,5-pentaphenyl-1,3-cyclopentadiene ( Like PPCP) Clopentadiene compounds, quinacridone compounds such as quinacridone and quinacridone red, pyridine compounds such as pyrrolopyridine and thiadiazolopyridine, 2,2 ′, 7,7′-tetraphenyl-9,9′-spirobi Examples include spiro compounds such as fluorene, metal or metal-free phthalocyanine compounds such as phthalocyanine (H 2 Pc) and copper phthalocyanine, and fluorene compounds such as fluorene.
これらの中でも、発光層Lの構成材料としては、金属錯体を主成分とするものが好ましい。金属錯体を主成分とする発光材料は、無機半導体材料へ比較的容易かつ多量に付着させ易く、また、発光特性に優れる点でも好ましい。
また、このような発光材料の電子輸送層4への付着量は、特に限定されないが、電子輸送層4の1cm2当り、1×10−9〜1×10−6mol程度であるのが好ましく、1×10−9〜1×10−7mol程度であるのがより好ましい。かかる量の発光材料を電子輸送層4に付着させることにより、発光素子1の発光効率をより向上させることができる。
Among these, as a constituent material of the light emitting layer L, a material having a metal complex as a main component is preferable. A light-emitting material containing a metal complex as a main component is preferable because it is relatively easy to attach to an inorganic semiconductor material in a large amount and has excellent light-emitting characteristics.
The amount of such a light emitting material attached to the
なお、発光材料は、層を構成せず、電子輸送層4の外面および空孔の内面に、散点状に付着(吸着)していてもよい。かかる構成の場合、電子輸送層4と発光材料とを合わせた全体を、発光層と呼ぶこともできる。
このような発光層Lに接触して、正孔輸送層5が設けられている。
正孔輸送層5は、陽極6から注入された正孔を、発光層Lまで輸送する機能を有するものである。
Note that the light emitting material may not form a layer and may adhere (adsorb) to the outer surface of the
The
The
本実施形態の正孔輸送層5は、発光層L(電子輸送層4)側の第1の領域51と、陽極6側の第2の領域52とで構成されている。
第1の領域51は、電解質組成物を主材料として構成されている。電解質組成物は、正孔の輸送能に優れるため、正孔輸送層5の一部を電解質組成物を主材料として構成することにより、発光素子1の発光効率を向上させることができる。
The
The
また、電解質組成物は、固体状のものであってもよいが、液状またはゲル状をなすものが好ましい。これにより、電子輸送層4のより内部深くにまで、電解質組成物を充填することができ、正孔輸送層5と発光層Lとの接触面積をより増大させることができる。その結果、発光素子1の発光効率をより向上させることができる。
この電解質組成物に用いる電解質としては、特に限定されないが、例えば、I/I3系、Br/Br3系、Cl/Cl3系、F/F3系のようなハロゲン系、キノン/ハイドロキノン系等が挙げられ、これらを単独または混合系として用いることができる。
これらの中でも、電解質としては、I/I3系が好ましい。この電解質は、酸化還元反応が効率よく行われるものであり、かかる電解質を含有する第1の領域51は、特に、正孔の輸送能に特に優れたものとなる。
The electrolyte composition may be in a solid state, but is preferably in a liquid or gel form. Thereby, the electrolyte composition can be filled deeper into the
The electrolyte used in this electrolyte composition is not particularly limited, but for example, halogen systems such as I / I 3 system, Br / Br 3 system, Cl / Cl 3 system, F / F 3 system, quinone / hydroquinone system Etc., and these can be used alone or as a mixed system.
Among these, I / I 3 system is preferable as the electrolyte. This electrolyte is one in which an oxidation-reduction reaction is efficiently performed, and the
I/I3系の電解質の具体例としては、例えば、I2と、LiI、NaI、KI、CsI、CaI2のような金属ヨウ化物や、テトラアルキルアンモニウムヨーダイド、ピリジニウムヨーダイド、イミダゾリウムヨーダイドのような4級アンモニウム化合物ヨウ素塩等との組み合わせ等が挙げられる。
また、電解質組成物に用いる溶媒としては、例えば、各種水、アセトニトリル、プロピオニトリル、ベンゾニトリルのようなニトリル類、エチレンカーボネート、プロピレンカーボネートのようなカーボネート類、ポリエチレングリコール、ポリプロピレングリコール、グリセリンのような多価アルコール類、炭酸プロピレン等が挙げられ、これらを単独または混合溶媒として用いることができる。これらの溶媒を用いることにより、イオン伝導性に優れた電解質組成物が得られる。
Specific examples of the I / I 3 system electrolyte include, for example, I 2 and metal iodides such as LiI, NaI, KI, CsI, and CaI 2 , tetraalkylammonium iodide, pyridinium iodide, and imidazolium iodide. A combination with a quaternary ammonium compound iodine salt such as id may be mentioned.
Examples of the solvent used in the electrolyte composition include various waters, nitriles such as acetonitrile, propionitrile, and benzonitrile, carbonates such as ethylene carbonate and propylene carbonate, polyethylene glycol, polypropylene glycol, and glycerin. Polyhydric alcohols, propylene carbonate and the like, and these can be used alone or as a mixed solvent. By using these solvents, an electrolyte composition having excellent ion conductivity can be obtained.
電解質組成物中の電解質全体の濃度は、特に限定されないが、0.1〜25wt%程度であるのが好ましく、0.5〜15wt%程度であるのがより好ましい。
また、電解質組成物には、t−ブチルピリジン、2−ピコリン、2,6−ルチジンのような塩基性化合物を添加するのが好ましい。
さらに、電解質組成物中に、I:ポリマーを添加する方法、II:オイルゲル化剤を添加する方法、III:ポリマー前駆体を添加しておき、これを重合する方法、IV:ポリマーを添加しておき、これに架橋反応を生じさせる方法等により、電解質組成物をゲル化することができる。
The concentration of the entire electrolyte in the electrolyte composition is not particularly limited, but is preferably about 0.1 to 25 wt%, and more preferably about 0.5 to 15 wt%.
Moreover, it is preferable to add a basic compound such as t-butylpyridine, 2-picoline, or 2,6-lutidine to the electrolyte composition.
Furthermore, in the electrolyte composition, I: a method of adding a polymer, II: a method of adding an oil gelling agent, III: a method of adding a polymer precursor and polymerizing it, and IV: adding a polymer In addition, the electrolyte composition can be gelled by a method for causing a crosslinking reaction or the like.
Iの場合、ポリマーとしては、例えば、ポリエチレンオキシド(PEO)、ポリアクリロニトリル(PAN)、ポリフッ化ビニリデン(PVDF)、ポリメチルメタクリレート(PMMA)のような熱可塑性樹脂が挙げられ、これらのうちの1種または2種以上を組み合わせて用いることができる。
これらの中でも、ポリマーとしては、特に、ポリアクリロニトリルおよびポリフッ化ビニリデンのうちの少なくとも一方を主成分とするものが好ましい。
In the case of I, examples of the polymer include thermoplastic resins such as polyethylene oxide (PEO), polyacrylonitrile (PAN), polyvinylidene fluoride (PVDF), and polymethyl methacrylate (PMMA). Species or a combination of two or more can be used.
Among these, a polymer having at least one of polyacrylonitrile and polyvinylidene fluoride as a main component is particularly preferable.
IIの場合、オイルゲル化剤としては、アミド構造を有する化合物が好適に用いられる。
IIIの場合、ポリマー前駆体としては、例えば、熱硬化性樹脂、光硬化性樹脂、嫌気硬化性樹脂のような各種硬化性樹脂の前駆体等が挙げられる。
IVの場合、反応性基を含有するポリマーと、この反応性基と架橋反応する架橋剤とを併用するのが好ましい。
In the case of II, a compound having an amide structure is preferably used as the oil gelling agent.
In the case of III, examples of the polymer precursor include precursors of various curable resins such as a thermosetting resin, a photocurable resin, and an anaerobic curable resin.
In the case of IV, it is preferable to use a polymer containing a reactive group and a crosslinking agent that undergoes a crosslinking reaction with the reactive group.
反応性基としては、例えば、アミノ基、ピリジン環、イミダゾール環、チアゾール環、オキサゾール環、トリアゾール環、モルホリン環、ピペリジン環、ピペラジン環等が挙げられる。
架橋剤としては、例えば、ハロゲン化アルキル類、ハロゲン化アラルキル類、スルホン酸エステル類、酸無水物、酸クロライド類、イソシアネート化合物、α,β−不飽和スルホニル化合物、α,β−不飽和カルボニル化合物、α,β−不飽和ニトリル化合物等が挙げられる。
Examples of the reactive group include an amino group, a pyridine ring, an imidazole ring, a thiazole ring, an oxazole ring, a triazole ring, a morpholine ring, a piperidine ring, and a piperazine ring.
Examples of the crosslinking agent include halogenated alkyls, halogenated aralkyls, sulfonic acid esters, acid anhydrides, acid chlorides, isocyanate compounds, α, β-unsaturated sulfonyl compounds, α, β-unsaturated carbonyl compounds. , Α, β-unsaturated nitrile compounds and the like.
第2の領域52は、固体状の層(または膜)であり、第1の領域51が直接陽極6に接触するのを防止する機能を有している。かかる第2の領域52を設けることにより、正孔輸送層5と陽極6との界面抵抗を低減させることができ、正孔を第1の領域51へ効率よく注入することができる。その結果、発光素子1の発光効率をより向上させることができる。
この第2の領域52の構成材料には、各種p型の高分子材料や、各種p型の低分子材料を単独または組み合わせて用いることができる。
The
As the constituent material of the
p型の高分子材料(有機ポリマー)としては、例えば、ポリアリールアミン、フルオレン−アリールアミン共重合体、フルオレン−ビチオフェン共重合体、ポリ(N−ビニルカルバゾール)、ポリビニルピレン、ポリビニルアントラセン、ポリチオフェン、ポリアルキルチオフェン、ポリヘキシルチオフェン、ポリ(p−フェニレンビニレン)、ポリチニレンビニレン、ピレンホルムアルデヒド樹脂、エチルカルバゾールホルムアルデヒド樹脂またはその誘導体等が挙げられる。
また、前記化合物は、他の化合物との混合物として用いることもできる。一例として、ポリチオフェンを含有する混合物としては、ポリ(3,4−エチレンジオキシチオフェン/スチレンスルホン酸)(PEDOT/PSS)等が挙げられる。
Examples of the p-type polymer material (organic polymer) include polyarylamines, fluorene-arylamine copolymers, fluorene-bithiophene copolymers, poly (N-vinylcarbazole), polyvinylpyrene, polyvinylanthracene, polythiophene, Examples thereof include polyalkylthiophene, polyhexylthiophene, poly (p-phenylene vinylene), polytinylene vinylene, pyrene formaldehyde resin, ethylcarbazole formaldehyde resin, and derivatives thereof.
Moreover, the said compound can also be used as a mixture with another compound. As an example, the polythiophene-containing mixture includes poly (3,4-ethylenedioxythiophene / styrene sulfonic acid) (PEDOT / PSS).
一方、p型の低分子材料としては、例えば、1,1−ビス(4−ジ−パラ−トリアミノフェニル)シクロへキサン、1,1’−ビス(4−ジ−パラ−トリルアミノフェニル)−4−フェニル−シクロヘキサンのようなアリールシクロアルカン系化合物、4,4’,4’’−トリメチルトリフェニルアミン、N,N,N’,N’−テトラフェニル−1,1’−ビフェニル−4,4’−ジアミン、N,N’−ジフェニル−N,N’−ビス(3−メチルフェニル)−1,1’−ビフェニル−4,4’−ジアミン(TPD1)、N,N’−ジフェニル−N,N’−ビス(4−メトキシフェニル)−1,1’−ビフェニル−4,4’−ジアミン(TPD2)、N,N,N’,N’−テトラキス(4−メトキシフェニル)−1,1’−ビフェニル−4,4’−ジアミン(TPD3)、N,N’−ジ(1−ナフチル)−N,N’−ジフェニル−1,1’−ビフェニル−4,4’−ジアミン(α−NPD)、TPTEのようなアリールアミン系化合物、N,N,N’,N’−テトラフェニル−パラ−フェニレンジアミン、N,N,N’,N’−テトラ(パラ−トリル)−パラ−フェニレンジアミン、N,N,N’,N’−テトラ(メタ−トリル)−メタ−フェニレンジアミン(PDA)のようなフェニレンジアミン系化合物、カルバゾール、N−イソプロピルカルバゾール、N−フェニルカルバゾールのようなカルバゾール系化合物、スチルベン、4−ジ−パラ−トリルアミノスチルベンのようなスチルベン系化合物、OxZのようなオキサゾール系化合物、トリフェニルメタン、m−MTDATAのようなトリフェニルメタン系化合物、1−フェニル−3−(パラ−ジメチルアミノフェニル)ピラゾリンのようなピラゾリン系化合物、ベンジン(シクロヘキサジエン)系化合物、トリアゾールのようなトリアゾール系化合物、イミダゾールのようなイミダゾール系化合物、1,3,4−オキサジアゾール、2,5−ジ(4−ジメチルアミノフェニル)−1,3,4,−オキサジアゾールのようなオキサジアゾール系化合物、アントラセン、9−(4−ジエチルアミノスチリル)アントラセンのようなアントラセン系化合物、フルオレノン、2,4,7,−トリニトロ−9−フルオレノン、2,7−ビス(2−ヒドロキシ−3−(2−クロロフェニルカルバモイル)−1−ナフチルアゾ)フルオレノンのようなフルオレノン系化合物、ポリアニリンのようなアニリン系化合物、シラン系化合物、1,4−ジチオケト−3,6−ジフェニル−ピロロ−(3,4−c)ピロロピロールのようなピロール系化合物、フローレンのようなフローレン系化合物、ポルフィリン、金属テトラフェニルポルフィリンのようなポルフィリン系化合物、キナクリドンのようなキナクリドン系化合物、フタロシアニン、銅フタロシアニン、テトラ(t−ブチル)銅フタロシアニン、鉄フタロシアニンのような金属または無金属のフタロシアニン系化合物、銅ナフタロシアニン、バナジルナフタロシアニン、モノクロロガリウムナフタロシアニンのような金属または無金属のナフタロシアニン系化合物、N,N’−ジ(ナフタレン−1−イル)−N,N’−ジフェニル−ベンジジン、N,N,N’,N’−テトラフェニルベンジジンのようなベンジジン系化合物等が挙げられる。 On the other hand, examples of p-type low molecular weight materials include 1,1-bis (4-di-para-triaminophenyl) cyclohexane and 1,1′-bis (4-di-para-tolylaminophenyl). Arylcycloalkane compounds such as -4-phenyl-cyclohexane, 4,4 ′, 4 ″ -trimethyltriphenylamine, N, N, N ′, N′-tetraphenyl-1,1′-biphenyl-4 , 4′-diamine, N, N′-diphenyl-N, N′-bis (3-methylphenyl) -1,1′-biphenyl-4,4′-diamine (TPD1), N, N′-diphenyl- N, N′-bis (4-methoxyphenyl) -1,1′-biphenyl-4,4′-diamine (TPD2), N, N, N ′, N′-tetrakis (4-methoxyphenyl) -1, 1′-biphenyl-4,4′-diamine (TPD3), , N′-di (1-naphthyl) -N, N′-diphenyl-1,1′-biphenyl-4,4′-diamine (α-NPD), arylamine compounds such as TPTE, N, N, N ′, N′-tetraphenyl-para-phenylenediamine, N, N, N ′, N′-tetra (para-tolyl) -para-phenylenediamine, N, N, N ′, N′-tetra (meta-) Phenylenediamine compounds such as (tolyl) -meta-phenylenediamine (PDA), carbazole compounds such as carbazole, N-isopropylcarbazole, N-phenylcarbazole, stilbene, and 4-di-para-tolylaminostilbene stilbene compounds, oxazole-based compounds such as O x Z, triphenylmethane, triphenylmethane compounds such as m-MTDATA, 1- Pyrazoline compounds such as enyl-3- (para-dimethylaminophenyl) pyrazoline, benzine (cyclohexadiene) compounds, triazole compounds such as triazole, imidazole compounds such as imidazole, 1,3,4-oxa Diazole, oxadiazole compounds such as 2,5-di (4-dimethylaminophenyl) -1,3,4, -oxadiazole, anthracene, anthracene such as 9- (4-diethylaminostyryl) anthracene Compound, fluorenone, 2,4,7, -trinitro-9-fluorenone, 2,7-bis (2-hydroxy-3- (2-chlorophenylcarbamoyl) -1-naphthylazo) fluorenone such as fluorenone, polyaniline Aniline compounds like silane Compounds, pyrrole compounds such as 1,4-dithioketo-3,6-diphenyl-pyrrolo- (3,4-c) pyrrolopyrrole, fluorene compounds such as fluorene, porphyrins, porphyrins such as metal tetraphenylporphyrin Compounds, quinacridone compounds such as quinacridone, phthalocyanine, copper phthalocyanine, tetra (t-butyl) copper phthalocyanine, metal or metal-free phthalocyanine compounds such as iron phthalocyanine, copper naphthalocyanine, vanadyl naphthalocyanine, monochlorogallium Metallic or metal-free naphthalocyanine compounds such as phthalocyanine, N, N′-di (naphthalen-1-yl) -N, N′-diphenyl-benzidine, N, N, N ′, N′-tetraphenylbenzidine Benzidine like Compounds, and the like.
これらの中でも、第2の領域52の構成材料としては、高分子材料を主とするものが好ましい。第2の領域52を、高分子材料を主材料として構成することにより、第1の領域51の陽極6への接触を防止する機能や、正孔の第1の領域51への注入効率を向上する機能により優れたものとすることができる。
特に、第2の領域52の構成材料としては、ポリチオフェン化合物を含有するもの、特に、前述のPEDOT/PSSが好適である。これにより、第1の領域51への正孔の注入効率をより向上させることができる。
Among these, as a constituent material of the
In particular, as a constituent material of the
第2の領域52は、第1の領域51と陽極6との間に設けるようにすれば、前記効果が十分に発揮されるが、第1の領域51と陽極6との少なくとも一方と接触しているのが好ましく、双方と接触しているのがより好ましい。これにより、発光素子1の大型化(特に、厚膜化)や、正孔の第1の領域51への注入効率が低下するのを確実に防止することができる。
If the
このような正孔輸送層5の平均厚さは、特に限定されないが、0.1〜100μm程度であるのが好ましく、1〜30μm程度であるのがより好ましい。これにより、発光素子1が大型化(特に、厚膜化)するのを防止しつつ、十分な発光効率が得られる。
なお、第1の領域51および第2の領域52のいずれか一方は、必要に応じて、省略することができる。
The average thickness of the
In addition, any one of the 1st area |
第1の領域51を省略する場合、すなわち、正孔輸送層5全体を固形状とする場合、前述したようなp型の有機半導体材料の他、例えば、CuI、AgIのようなヨウ化金属化合物、AgBrのような臭化金属化合物等のハロゲン化金属化合物、CuSCNのようなチオシアン酸金属塩(ロダン化金属化合物)等のp型の無機半導体材料を用いることができる。
また、正孔輸送層5自体を、必要に応じて、省略することができる。この場合、後述するバリヤ層8も省略することができる。
When the
Further, the
封止部材7は、陰極3、発光層Lが形成された電子輸送層4、正孔輸送層5および陽極6を覆うように設けられ、これらを気密的に封止し、酸素や水分を遮断する機能を有する。封止部材7を設けることにより、発光素子1の信頼性の向上や、変質・劣化の防止(耐久性向上)等の効果が得られる。
封止部材7の構成材料としては、例えば、Al、Au、Cr、Nb、Ta、Tiまたはこれらを含む合金、酸化シリコン、各種樹脂材料等を挙げることができる。なお、封止部材7の構成材料として導電性を有する材料を用いる場合には、短絡を防止するために、封止部材7と陰極3、発光層Lが形成された電子輸送層4、正孔輸送層5および陽極6との間には、必要に応じて、絶縁膜を設けるのが好ましい。
The sealing
Examples of the constituent material of the sealing
また、封止部材7は、平板状として、基板2と対向させ、これらの間を、例えば熱硬化性樹脂等のシール材で封止するようにしてもよい。
このような発光素子1において、電子輸送層4と陰極3との間には、正孔輸送層5(第1の領域51)が電子輸送層4を介して陰極3と接触するのを防止または抑制する機能を有するバリヤ層(下地層)8が設けられている。
Further, the sealing
In such a light emitting device 1, the hole transport layer 5 (first region 51) is prevented from contacting the
バリヤ層8を設けることにより、発光素子1において、経時的に短絡が生じ、発光効率が低下するのを防止すること、すなわち、耐久性(寿命)の向上を図ることができる。
このバリヤ層(短絡防止手段)8は、正孔輸送層5が陰極3と接触するのを防止することができれば、その構成は任意であるが、図2に示すように、その空孔率が電子輸送層4の空孔率より小さくなるように形成されたものであるのが好ましい。このような構成とすることにより、正孔輸送層5が陰極3と接触するのをより確実に防止または抑制することができる。また、このような構成のバリヤ層8は、比較的容易に形成することができる。
By providing the
The barrier layer (short-circuit prevention means) 8 can be configured arbitrarily if it can prevent the
バリヤ層8の空孔率をA[%]とし、電子輸送層4の空孔率をB[%]としたとき、B/Aは、1.1以上であるのが好ましく、5以上であるのがより好ましく、10以上であるのがさらに好ましい。これにより、バリヤ層8は、正孔輸送層5と陰極3との接触をより確実に防止または抑制することができる。
具体的には、バリヤ層8の空孔率Aは、20%以下であるのが好ましく、5%以下であるのがより好ましく、2%以下であるのがさらに好ましい。すなわち、バリヤ層8は、緻密層であるのが好ましい。これにより、前記効果をさらに向上させることができる。
When the porosity of the
Specifically, the porosity A of the
また、バリヤ層8と電子輸送層4との厚さの比率は、特に限定されないが、1:99〜60:40程度であるのが好ましく、10:90〜40:60程度であるのがより好ましい。換言すれば、バリヤ層8と電子輸送層4との全体におけるバリヤ層8の占める厚さの割合は、1〜60%程度であるのが好ましく、10〜40%程度であるのがより好ましい。これにより、バリヤ層8は、正孔輸送層5と陰極3との接触をより確実に防止または抑制することができる。
The thickness ratio between the
具体的には、バリヤ層8の平均厚さは、3μm以下であるのが好ましく、0.1〜1μm程度であるのがより好ましい。これにより、前記効果をさらに向上させることができる。
バリヤ層8の構成材料としては、特に限定されず、例えば、前記電子輸送層4で挙げた各種無機半導体材料の他、各種有機半導体材料、SiO2のような各種無機絶縁体材料、各種有機絶縁体材料等を用いることができるが、これらの中でも、電子輸送層4と同等の電気伝導性を有するものであるのが好ましく、特に、電子輸送層4を構成する無機半導体材料と同一組成の材料を用いるのがより好ましい。これにより、バリヤ層8と電子輸送層4との間での電子の受け渡しが円滑に行われるようになる。
Specifically, the average thickness of the
As the constituent material of the
また、バリヤ層8および電子輸送層4の厚さ方向の抵抗値は、それぞれ、特に限定されないが、バリヤ層8と電子輸送層4との全体における厚さ方向の抵抗値、すなわち、バリヤ層8と電子輸送層4との積層体の厚さ方向の抵抗値は、100Ω/cm2以上であるのが好ましく、1kΩ/cm2以上であるのがより好ましい。これにより、正孔輸送層5と陰極3との間でのリーク(短絡)をより確実に防止または抑制することができ、発光素子1の耐久性(寿命)のさらなる向上を図ることができる。
The resistance values in the thickness direction of the
また、バリヤ層8と電子輸送層4との界面は、明確でなくても、明確であってもよいが、明確でない(不明確である)こと、すなわち、バリヤ層8と電子輸送層4とが互いに部分的に重なっていること好ましい。
さらに、バリヤ層8と電子輸送層4とは、図2に示すように一体化していること、すなわち、バリヤ層8と電子輸送層4とが一体的に形成されていることが好ましい。これにより、バリヤ層8と電子輸送層4との間での電子の受け渡しがより確実に(効率よく)行われるようになる。
In addition, the interface between the
Furthermore, it is preferable that the
また、バリヤ層8は、陰極3と電子輸送層4との間に設けるようにすれば、前記効果が十分に発揮されるが、陰極3と電子輸送層4との少なくとも一方と接触しているのが好ましく、双方と接触しているのがより好ましい。これにより、発光素子1の大型化(特に、厚膜化)や、電子の発光層Lへの注入効率が低下するのを防止することができる。
なお、バリヤ層8の設置位置は、図示のものに限定されず、例えば、電子輸送層4と発光層Lとの間等に設けるようにしてもよい。
Further, if the
The installation position of the
また、電子輸送層4の厚さ方向に、密な部分と粗な部分とを設け、密な部分をバリヤ層8として機能させることもできる。
この場合、密な部分は、電子輸送層4の厚さ方向の任意の位置に、任意の数設けることができる。具体的には、電子輸送層4は、陰極3側に密な部分を一箇所設ける構成、発光層L側に密な部分を一箇所設ける構成、密な部分で粗な部分を挟んだ部分を有する構成や、粗な部分で密な部分を挟んだ部分を有する構成等とすることもできる。
It is also possible to provide a dense portion and a rough portion in the thickness direction of the
In this case, an arbitrary number of dense portions can be provided at arbitrary positions in the thickness direction of the
このような発光素子1は、陰極3が正、陽極6が負となるようにして、0.5Vの電圧を印加したとき、その抵抗値が、100Ω/cm2以上となる特性を有するのが好ましく、1kΩ/cm2以上となる特性を有するのがより好ましい。かかる特性は、発光素子1において、陰極3と陽極6との間での短絡(リーク)が好適に防止または抑制されていることを示すものであり、このような特性を有する発光素子1は、発光効率が特に高いものとなる。
このような発光素子1は、例えば、次のようにして製造することができる。
Such a light-emitting element 1 has such a characteristic that when a voltage of 0.5 V is applied so that the
Such a light emitting element 1 can be manufactured as follows, for example.
[1] まず、基板2を用意し、基板2上に陰極3を形成する。
この陰極3は、例えば、プラズマCVD、熱CVD、レーザCVD等の化学蒸着法(CVD)、真空蒸着、スパッタリング、イオンプレーティング等の乾式メッキ法、溶射法のような気相成膜法、電解メッキ、浸漬メッキ、無電解メッキ等の湿式メッキ法、ゾル・ゲル法、MOD法のような液相成膜法、金属箔の接合等を用いて形成することができる。
[1] First, the
The
[2] 次に、陰極3上にバリヤ層8を形成する。
このバリヤ層8は、例えば、ゾル・ゲル法、蒸着(真空蒸着)法、スパッタリング法(高周波スパッタリング、DCスパッタリング)、スプレー熱分解法、ジェットモールド(プラズマ溶射)法、CVD法等により形成することができるが、これらの中でも、ゾル・ゲル法により形成するのが好ましい。
[2] Next, the
The
このゾル・ゲル法は、その操作が極めて簡単である。また、ゾル・ゲル法を用いることにより、バリヤ層8を形成するためのバリヤ層形成用材料を、例えば、ディッピング法、滴下、ドクターブレード法、スピンコート法、刷毛塗り、スプレーコート法、ロールコート法等の各種塗布法により供給することが可能であり、大掛かりな装置も必要とせず、所望の膜厚のバリヤ層8を比較的容易に形成することができる。
This sol-gel method is very easy to operate. In addition, by using a sol-gel method, a barrier layer forming material for forming the
特に、バリヤ層8の形成には、ゾル・ゲル法の一種であるMetal Organic Deposition(またはDecomposition)法(以下、「MOD法」と略す。)を用いるのが好ましい。
このMOD法によれば、バリヤ層形成用材料中において、バリヤ層8の構成材料の前駆体の反応(例えば、加水分解、重縮合等)が防止されるため、バリヤ層8をより容易かつ確実に(再現性よく)形成することができる。また、得られるバリヤ層8を、緻密な(前記範囲内の空孔率の)ものとすることができる。
バリヤ層8を酸化チタンを主材料として構成する場合、その前駆体としては、例えば、チタンテトライソプロポキシド(TPT)、チタンテトラメトキシド、チタンテトラエトキシド、チタンテトラブトキシド等の有機チタン化合物を用いることができる。
In particular, it is preferable to use a metal organic deposition (or decomposition) method (hereinafter abbreviated as “MOD method”), which is a kind of sol-gel method, for forming the
According to this MOD method, the reaction of the precursor of the constituent material of the barrier layer 8 (for example, hydrolysis, polycondensation, etc.) is prevented in the barrier layer forming material. (With good reproducibility). Further, the obtained
When the
[3] 次に、バリヤ層8上に、電子輸送層4を形成する。
以下、各工程について順次説明する。
[3−1] まず、チューブ41および粒子42を含有する分散液を調製する。
分散液の調製に用いる分散媒としては、例えば、水、メタノール、エタノール、n−またはi−プロパノール、n−、s−またはt−ブタノールのような単価アルコール類、エチレングリコール、トリメチレングリコールのようなグリコール類(多価アルコール類)、アセトン、メチルエチルケトン、ジエチルケトン、アセチルアセトン、イソホロンのようなケトン類、酢酸メチル、酢酸エチル、酢酸ブチルのようなエステル類、メトキシエタノール、エトキシエタノールのようなエーテルアルコール類、ジオキサン、テトラヒドロフランのようなエーテル類、酸アミド類、芳香族炭化水素類等が挙げられ、これらのうちの1種または2種以上を組み合わせて用いることができる。
[3] Next, the
Hereinafter, each process will be described sequentially.
[3-1] First, a dispersion containing the
Examples of the dispersion medium used for preparing the dispersion include water, methanol, ethanol, n- or i-propanol, monohydric alcohols such as n-, s- or t-butanol, ethylene glycol, and trimethylene glycol. Glycols (polyhydric alcohols), ketones such as acetone, methyl ethyl ketone, diethyl ketone, acetylacetone and isophorone, esters such as methyl acetate, ethyl acetate and butyl acetate, ether alcohols such as methoxyethanol and ethoxyethanol , Ethers such as dioxane and tetrahydrofuran, acid amides, aromatic hydrocarbons and the like, and one or more of them can be used in combination.
これらの中でも、分散媒としては、水、アルコール類、グリコール類等を用いるのが好ましい。これらの液体を用いることにより、分散液中にチューブ41および粒子42を良好に分散させることができ、バリヤ層8上への分散液の供給を容易かつ確実に行うことができる。
分散液中におけるチューブ41および粒子42の含有量は、5〜90wt%程度であるのが好ましく、10〜30wt%程度であるのがより好ましい。チューブ41および粒子42の含有量が少な過ぎると、目的とする厚さの電子輸送層4を形成するのに必要以上に時間と手間を要するおそれがある。一方、チューブ41および粒子42の含有量が多過ぎると、チューブ41および粒子42の分散液中での分散性が低下し、分散液の調製やバリヤ層8上への供給が困難になるおそれがある。
また、分散液中には、必要に応じて、分散媒へのチューブ41および粒子42の分散性を向上させる分散剤を添加する。
Among these, it is preferable to use water, alcohols, glycols or the like as the dispersion medium. By using these liquids, the
The content of the
In addition, a dispersant that improves the dispersibility of the
分散剤としては、特に限定されないが、例えば、ポリビニルアルコール、カルボキシメチルセルロース、ポリエチレングリコールのようなノニオン性の有機系分散剤等の揮発性の分散剤、トリステアリン酸金属塩(例えば、アルミニウム塩等)、ジステアリン酸金属塩(例えば、アルミニウム塩、バリウム塩等)、ステアリン酸金属塩(例えば、カルシウム塩、鉛塩、亜鉛塩等)、リノレン酸金属塩(例えば、コバルト塩、マンガン塩、鉛塩、亜鉛塩等)、オクタン酸金属塩(例えば、アルミニウム塩、カルシウム塩、コバルト塩等)、オレイン酸金属塩(例えば、カルシウム塩、コバルト塩等)、パルミチン酸金属塩(例えば、亜鉛塩等)、ナフテン酸金属塩(例えば、カルシウム塩、コバルト塩、マンガン塩、鉛塩、亜鉛塩等)、レジン酸金属塩(例えば、カルシウム塩、コバルト塩、マンガン鉛塩、亜鉛塩等)、ポリアクリル酸金属塩(例えば、ナトリウム塩等)、ポリメタクリル酸金属塩(例えば、ナトリウム塩等)、ポリマレイン酸金属塩(例えば、ナトリウム塩等)、アクリル酸−マレイン酸共重合体金属塩(例えば、ナトリウム塩等)、ポリスチレンスルホン酸金属塩(例えば、ナトリウム塩等)のようなアニオン性の有機系分散剤、4級アンモニウム塩のようなカチオン性の有機系分散剤、燐酸三カルシウムのような無機系分散剤等の不揮発性の分散剤等が挙げられる。また、これらの分散剤は、1種または2種以上を組み合わせて用いることもできる。 Although it does not specifically limit as a dispersing agent, For example, volatile dispersing agents, such as nonionic organic type dispersing agents, such as polyvinyl alcohol, carboxymethylcellulose, and polyethylene glycol, Tristearic acid metal salt (for example, aluminum salt etc.) , Metal distearate (eg, aluminum salt, barium salt, etc.), stearic acid metal salt (eg, calcium salt, lead salt, zinc salt, etc.), linolenic acid metal salt (eg, cobalt salt, manganese salt, lead salt, Zinc salts, etc.), octanoic acid metal salts (eg, aluminum salts, calcium salts, cobalt salts, etc.), oleic acid metal salts (eg, calcium salts, cobalt salts, etc.), palmitic acid metal salts (eg, zinc salts, etc.), Naphthenic acid metal salts (for example, calcium salts, cobalt salts, manganese salts, lead salts, zinc salts, etc.), resins Metal salts (for example, calcium salts, cobalt salts, manganese lead salts, zinc salts), polyacrylic acid metal salts (for example, sodium salts), polymethacrylic acid metal salts (for example, sodium salts), polymaleic acid metal salts Anionic organic dispersants such as (for example, sodium salts), acrylic acid-maleic acid copolymer metal salts (for example, sodium salts), polystyrenesulfonic acid metal salts (for example, sodium salts), 4 Nonionic dispersants such as cationic organic dispersants such as quaternary ammonium salts and inorganic dispersants such as tricalcium phosphate can be used. Moreover, these dispersing agents can also be used 1 type or in combination of 2 or more types.
これらの中でも、分散剤としては、特に、揮発性の分散剤が好ましい。揮発性の分散剤は、電子輸送層4の形成後(完成後)には、残留することがないので、電子輸送層4の特性に悪影響を与えるおそれが少ないためである。
分散液が分散剤を含有する場合、分散液中における分散剤の含有量は、特に限定されないが、1.0wt%以下であるのが好ましく、0.01〜0.5wt%程度であるのがより好ましい。
Among these, a volatile dispersant is particularly preferable as the dispersant. This is because the volatile dispersant does not remain after the formation of the electron transport layer 4 (after completion), and therefore, there is little possibility of adversely affecting the characteristics of the
When the dispersion contains a dispersant, the content of the dispersant in the dispersion is not particularly limited, but is preferably 1.0 wt% or less, and about 0.01 to 0.5 wt%. More preferred.
また、分散液の調製に際しては、分散液中において、チューブ41と粒子42とを均一に分散させるようにするのが好ましい。これにより、得られる電子輸送層4中において、チューブ41と粒子42とをより均一に分布(存在)させることができる。その結果、電子輸送層4の各部における電子移動度等の特性のバラツキをより確実に抑制することができる。
このチューブ41と粒子42とを均一に分散させる方法としては、例えば、分散液を十分に攪拌する方法、分散液に超音波を与える方法等が挙げられる。
In preparing the dispersion, it is preferable to uniformly disperse the
Examples of a method for uniformly dispersing the
[3−2] 次に、図4(a)に示すように、調製した分散液をバリヤ層8上に供給して、液状被膜43を形成し、その後、液状被膜43中の分散媒の少なくとも一部を除去することにより、図4(b)に示すように、チューブ41と粒子42の集合物44を層状に形成する(第1の工程)。
分散液の供給方法としては、特に限定されないが、例えば、ディップコート法、スピンコート法、スリットコート法、キャップコート法、ディスペンサー法、スプレーコート法、ロールコート法、スクリーン印刷法、インクジェット印刷法等の各種塗布法を用いるのが好適である。塗布法によれば、容易かつ確実に液状被膜43をバリヤ層8上に形成することができる。
また、分散媒を除去する方法としては、例えば、加熱、大気圧または減圧雰囲気下での放置、不活性ガス(例えば、窒素ガス等)の噴射等の方法が挙げられ、これらのうちの1種または2種以上を組み合わせて用いることができる。この中でも、加熱による方法が特に好ましい。これにより、容易かつ均一に分散媒の除去を行うことができる。
[3-2] Next, as shown in FIG. 4 (a), the prepared dispersion is supplied onto the
The method for supplying the dispersion is not particularly limited. For example, dip coating, spin coating, slit coating, cap coating, dispenser, spray coating, roll coating, screen printing, ink jet printing, etc. It is preferable to use these various coating methods. According to the coating method, the
Examples of the method for removing the dispersion medium include methods such as heating, leaving in an atmospheric pressure or reduced pressure atmosphere, and injecting an inert gas (for example, nitrogen gas), and one of these methods. Alternatively, two or more kinds can be used in combination. Among these, the method by heating is particularly preferable. Thereby, a dispersion medium can be removed easily and uniformly.
[3−3] 次に、図4(c)に示すように、集合物44に所定の処理を施すことにより、接触界面を接合する(第2の工程)。
ここで、前記所定の処理には、チューブ41および粒子42の一部を溶解する方法と、チューブ41および粒子42の接触界面付近を溶融または軟化させる方法とが挙げられる。
以下、これらの場合についてそれぞれ説明する。
[3-3] Next, as shown in FIG. 4C, the contact interface is joined by applying a predetermined treatment to the aggregate 44 (second step).
Here, the predetermined treatment includes a method of dissolving a part of the
Each of these cases will be described below.
[3−3A] チューブ41および粒子42を溶解する場合
まず、集合物44に、チューブ41および粒子42(無機半導体材料)を溶解し得る溶剤を接触させる。これにより、チューブ41および粒子42の表面を溶解するとともに、溶解物が生成する。
溶剤としては、特に限定されないが、酸またはアルカリ溶液を用いることが好ましい。かかる溶液を用いることにより、チューブ41および粒子42を構成する無機半導体材料を容易にイオン等に変化させて、溶剤中に溶解(溶出)させることができる。
[3-3A] When Dissolving
Although it does not specifically limit as a solvent, It is preferable to use an acid or an alkali solution. By using such a solution, the inorganic semiconductor material constituting the
具体的には、酸溶液としては、塩酸、硝酸、硫酸、フッ化水素酸、臭化水素酸、ヨウ化水素酸、リン酸、ホウ酸、ホウフッ化水素酸のような無機酸や、酢酸、クエン酸、シュウ酸、トリフルオロ酢酸、p−トルエンスルホン酸のような有機酸のうちの1種または2種以上を組み合わせたものを含有する溶液が挙げられる。
また、アルカリ溶液としては、水酸化ナトリウム、水酸化カリウム、水酸化カルシウム、アンモニアのような無機アルカリや、ピリジン、トリエチルアミン、トリブチルアミンのような有機アルカリのうちの1種または2種以上を組み合わせたものを含有する溶液が挙げられる。
Specifically, as the acid solution, hydrochloric acid, nitric acid, sulfuric acid, hydrofluoric acid, hydrobromic acid, hydroiodic acid, phosphoric acid, boric acid, borohydrofluoric acid, acetic acid, Examples include a solution containing one or a combination of two or more organic acids such as citric acid, oxalic acid, trifluoroacetic acid, and p-toluenesulfonic acid.
As the alkaline solution, one or more of inorganic alkalis such as sodium hydroxide, potassium hydroxide, calcium hydroxide and ammonia and organic alkalis such as pyridine, triethylamine and tributylamine are combined. A solution containing a thing is mentioned.
溶剤中における酸またはアルカリの含有量は、用いる酸またはアルカリの種類によっても若干異なるが、1〜8mol/L程度であるのが好ましく、3〜6mol/L程度であるのがより好ましい。酸またはアルカリの含有量を前記範囲内とすることにより、チューブ41および粒子42の表面を確実に溶解させることができる。
また、溶剤を調製する際に用いる溶媒としては、前記工程[3−1]で説明した分散液を調製する際に用いる分散媒と同様のものを用いることができる。
The acid or alkali content in the solvent is slightly different depending on the type of acid or alkali used, but is preferably about 1 to 8 mol / L, more preferably about 3 to 6 mol / L. By setting the acid or alkali content in the above range, the surfaces of the
Moreover, as a solvent used when preparing a solvent, the thing similar to the dispersion medium used when preparing the dispersion liquid demonstrated by the said process [3-1] can be used.
これらの中でも、溶媒としても、水、アルコール類、グリコール類等を用いるのが好ましい。これらの液体を用いることにより、溶媒中に酸またはアルカリを良好に溶解させることができ、集合物44への供給を容易かつ確実に行うことができる。
溶剤を集合物44に接触させる方法としては、特に限定されず、例えば、前記工程[3−2]で説明した各種塗布法を用いて溶剤を供給し、毛細管現象によって集合物44中に浸透させる方法を用いることができる。
Among these, it is preferable to use water, alcohols, glycols or the like as the solvent. By using these liquids, the acid or alkali can be dissolved well in the solvent, and the supply to the aggregate 44 can be performed easily and reliably.
The method for bringing the solvent into contact with the aggregate 44 is not particularly limited. For example, the solvent is supplied using the various coating methods described in the above-mentioned step [3-2], and is allowed to penetrate into the aggregate 44 by capillary action. The method can be used.
また、所定の処理として、チューブ41および粒子42を溶解する場合、溶解物の一部を集合物44の陰極側に偏在させるようにするのが好ましい。
これにより、溶解物が集合物44中の間隙を閉塞して、新たな層が形成される。この新たな層は、その空孔率が電子輸送層4より低くなるため、正孔輸送層5が陰極3と接触するのを防止するバリヤ層として機能させることができる。
In addition, when the
Thereby, a melt | dissolution obstruct | occludes the gap | interval in the aggregate |
したがって、前述したバリヤ層8を省略することができる。
ここで、溶解物を陰極3側に偏在させる方法としては、例えば、自重による移動、遠心分離、加圧等の方法が挙げられる。
また、接触界面を溶解物で接合した後、溶解物を酸化物に変化させる処理を施すようにしてもよい(第3の工程)。溶解物としては、例えば、無機半導体材料が溶解して生成した塩等が挙げられる。
Therefore, the
Here, examples of the method for causing the lysate to be unevenly distributed on the
Further, after the contact interface is joined with the melt, a treatment for changing the melt into an oxide may be performed (third step). Examples of the dissolved material include salts generated by dissolving an inorganic semiconductor material.
このような溶解物は、酸化物に変化することにより、化学的により安定なものなり、電子輸送層4の特性の向上を図ることができる。
溶解物を酸化物に変化させる方法としては、特に限定されないが、例えば、加熱処理、光照射、レーザ照射または電磁波照射等の方法を用いることができるが、これらの中でも加熱処理を用いるのが好ましい。加熱によれば、溶解物を容易かつ安価に酸化物とすることができる。
例えば、溶解物が無機物塩である場合には、加熱により無機物塩が分解した後、雰囲気中の酸素原子が無機物と結合することにより、無機酸化物が生成する。
また、溶解物を酸化物に変化させる上記の方法は、酸化雰囲気下で行うのが好ましい。これにより、溶解物をより確実に酸化物に変化させることができる。
Such a dissolved substance becomes chemically more stable by changing to an oxide, and the characteristics of the
The method for changing the melt into an oxide is not particularly limited. For example, a method such as heat treatment, light irradiation, laser irradiation, or electromagnetic wave irradiation can be used. Among these, it is preferable to use heat treatment. . By heating, the dissolved product can be converted into an oxide easily and inexpensively.
For example, when the dissolved material is an inorganic salt, after the inorganic salt is decomposed by heating, oxygen atoms in the atmosphere are combined with the inorganic material to generate an inorganic oxide.
Moreover, it is preferable to perform said method to change a melted substance into an oxide under an oxidizing atmosphere. Thereby, a melt can be changed to an oxide more certainly.
加熱温度は、50〜500℃程度であるのが好ましく、150〜350℃程度であるのがより好ましい。加熱温度が低過ぎると、溶解物の酸化物への変化が十分に進行しないおそれがある。一方、熱処理の温度を前記上限値を超えて高くしても、それ以上の効果が見込めない。
加熱時間は、1〜50分程度であるのが好ましく、5〜30分程度であるのがより好ましい。前記範囲の加熱時間で、溶解物の酸化物への変化を十分に進行させることができる。
The heating temperature is preferably about 50 to 500 ° C, and more preferably about 150 to 350 ° C. If the heating temperature is too low, there is a possibility that the change of the dissolved material to the oxide does not proceed sufficiently. On the other hand, even if the temperature of the heat treatment exceeds the upper limit, no further effect can be expected.
The heating time is preferably about 1 to 50 minutes, and more preferably about 5 to 30 minutes. With the heating time within the above range, the change of the dissolved material to the oxide can be sufficiently advanced.
また、前記工程[3−2]と本工程とをともに加熱処理を選択して行うこと、すなわち、液状被膜43からの分散媒の除去と、溶解物の酸化とをともに加熱により行うことにより、これらの工程を連続的に行うことができる。その結果、手間とコストの低減を図ることができるという利点もある。
なお、この第3の工程の前において得られた、接触界面を接合した集合物において、目的とする特性が得られている場合には、第3の工程を省略するようにしてもよい。
Moreover, by performing both the said process [3-2] and this process by selecting heat processing, ie, performing both removal of the dispersion medium from the
In addition, in the aggregate | assembly which joined the contact interface obtained before this 3rd process, when the target characteristic is acquired, you may make it abbreviate | omit the 3rd process.
[3−3B] チューブ41および粒子42を溶融または軟化させる場合
チューブ41および粒子42の表面を構成する無機半導体材料を溶融または軟化させ、無機半導体材料が一旦溶融または軟化した後、固化した固化物等により接触界面を接合する。
この溶融物または軟化物は、集合物44中の接触界面の接合を補強するため、電子輸送層4全体としての機械的強度を向上させることができる。
[3-3B] When melting or softening the
Since the melt or softened material reinforces the bonding at the contact interface in the aggregate 44, the mechanical strength of the entire
この無機半導体材料を溶融または軟化させる方法としては、例えば、加熱処理、水熱処理、レーザ照射、電磁波照射、電子ビーム照射、イオンビーム照射、アーク、プラズマ等を用いることができるが、これらの中でも、加熱処理、水熱処理、レーザ照射および電磁波照射のうちの少なくとも1つにより行われるのが好ましい。これらの処理によれば、無機半導体材料を容易かつ安価に溶融または軟化させることができる。 As a method for melting or softening this inorganic semiconductor material, for example, heat treatment, hydrothermal treatment, laser irradiation, electromagnetic wave irradiation, electron beam irradiation, ion beam irradiation, arc, plasma, etc. can be used, among these, It is preferably performed by at least one of heat treatment, hydrothermal treatment, laser irradiation, and electromagnetic wave irradiation. According to these treatments, the inorganic semiconductor material can be melted or softened easily and inexpensively.
加熱処理を行う場合、その加熱温度は、無機半導体材料の融点に応じて適宜設定され、特に限定されないが、500〜1000℃程度であるのが好ましく、600〜900℃程度であるのがより好ましい。
加熱時間は、加熱温度に応じて適宜設定され、特に限定されないが、30秒〜30分程度であるのが好ましく、1分〜20分程度であるのがより好ましい。
加熱雰囲気は、無機半導体材料の組成に応じて適宜設定されるが、アルゴン等の不活性雰囲気であるのが好ましい。
When performing the heat treatment, the heating temperature is appropriately set according to the melting point of the inorganic semiconductor material and is not particularly limited, but is preferably about 500 to 1000 ° C, more preferably about 600 to 900 ° C. .
The heating time is appropriately set according to the heating temperature, and is not particularly limited, but is preferably about 30 seconds to 30 minutes, and more preferably about 1 minute to 20 minutes.
The heating atmosphere is appropriately set according to the composition of the inorganic semiconductor material, but is preferably an inert atmosphere such as argon.
水熱処理は、集合物44を高圧水蒸気(飽和水蒸気)で処理する方法である。水熱処理を用いることにより、水が蒸発する程度の比較的低い温度(例えば、100〜200℃程度)で、集合物44に処理を施すことができる。
水熱処理における圧力は、0.1〜10MPa程度であるのが好ましく、0.2〜5MPa程度であるのがより好ましい。
加熱時間は、特に限定されないが、5〜60分程度であるのが好ましく、10〜50分程度であるのがより好ましい。
Hydrothermal treatment is a method of treating the aggregate 44 with high-pressure steam (saturated steam). By using the hydrothermal treatment, the aggregate 44 can be processed at a relatively low temperature (for example, about 100 to 200 ° C.) at which water is evaporated.
The pressure in the hydrothermal treatment is preferably about 0.1 to 10 MPa, and more preferably about 0.2 to 5 MPa.
The heating time is not particularly limited, but is preferably about 5 to 60 minutes, and more preferably about 10 to 50 minutes.
レーザ照射は、集合物44にレーザ光を照射し、処理する方法である。
レーザの種類としては、例えば、ルビーレーザ、半導体レーザ、YAGレーザ、フェムト秒レーザ、ガラスレーザ、YVO4レーザ、Ne−Heレーザ、Arレーザ、CO2レーザ等が挙げられる。この中でも、室温で連続発振を容易に行うことができ、低い照射エネルギー領域における制御性の良さ等から、YAGレーザまたはフェムト秒レーザが好ましく用いられる。
Laser irradiation is a method of irradiating the
Examples of the laser include a ruby laser, a semiconductor laser, a YAG laser, a femtosecond laser, a glass laser, a YVO4 laser, a Ne—He laser, an Ar laser, and a CO 2 laser. Among these, a YAG laser or a femtosecond laser is preferably used because continuous oscillation can be easily performed at room temperature and controllability in a low irradiation energy region is good.
このようなレーザ の照射条件については、無機半導体材料の組成等により若干異なるが、例えば、YAGレーザの場合、エネルギー強度は0.5〜5W程度、フェムト秒レーザの場合、0.05〜1W程度であるのが好ましい。
また、レーザのビーム径は、1〜100μm程度であるのが好ましく、2〜20μm程度であるのがより好ましい。
The laser irradiation conditions vary slightly depending on the composition of the inorganic semiconductor material. For example, in the case of a YAG laser, the energy intensity is about 0.5 to 5 W, and in the case of a femtosecond laser, about 0.05 to 1 W. Is preferred.
The laser beam diameter is preferably about 1 to 100 μm, and more preferably about 2 to 20 μm.
電磁波照射は、集合物44に電磁波を照射し、処理する方法である。
このような電磁波の照射条件については、無機半導体材料の組成等により若干異なるが、例えば、電磁波の周波数は、1〜100GHz程度が好ましく、2〜30GHz程度がより好ましい。また、電磁波の出力は、5〜50kW程度が好ましく、照射時間は、3〜60分程度が好ましい。
以上のようにして、少なくとも陽極側の部分が多孔質な電子輸送層4が得られる。
なお、前述したような接合時の各接合方法の選択や、接合方法における各種条件を設定することにより、電子輸送層4の空孔率(多孔質の程度)を調整することができる。
The electromagnetic wave irradiation is a method of irradiating the aggregate 44 with an electromagnetic wave and processing it.
About such irradiation conditions of electromagnetic waves, although slightly different depending on the composition of the inorganic semiconductor material, for example, the frequency of the electromagnetic waves is preferably about 1 to 100 GHz, and more preferably about 2 to 30 GHz. Moreover, the output of electromagnetic waves is preferably about 5 to 50 kW, and the irradiation time is preferably about 3 to 60 minutes.
As described above, the
In addition, the porosity (degree of porosity) of the
[4] 次に、電子輸送層4に接触するように、発光層Lを形成する。
この発光層Lは、例えば、電子輸送層4に発光材料を含む液を接触させた後、脱溶媒(または脱分散媒)すること等により形成することができる。
これにより、発光材料が電子輸送層4の外面および空孔の内面に、例えば吸着、結合等して、これらの面に沿って発光層Lが形成される。
[4] Next, the light emitting layer L is formed so as to be in contact with the
The light emitting layer L can be formed, for example, by bringing a liquid containing a light emitting material into contact with the
As a result, the light emitting material is adsorbed, bonded or the like on the outer surface of the
電子輸送層4に発光材料を含む液を接触させる方法としては、例えば、発光材料を含む液中に、基板2、陰極3、バリヤ層8および電子輸送層4の積層体を浸漬する方法(浸漬法)、電子輸送層4に発光材料を含む液を塗布する方法(塗布法)、電子輸送層4に発光材料を含む液をシャワー状に供給する方法等が挙げられる。
発光材料を含む液を調製する溶媒(または分散媒)としては、例えば、各種水、メタノール、エタノール、イソプロピルアルコール、アセトニトリル、酢酸エチル、エーテル、塩化メチレン、NMP(N−メチル−2−ピロリドン)等が挙げられ、これらのうちの1種または2種以上を組み合わせて用いることができる。
As a method of bringing the liquid containing the luminescent material into contact with the
Examples of the solvent (or dispersion medium) for preparing the liquid containing the light emitting material include various water, methanol, ethanol, isopropyl alcohol, acetonitrile, ethyl acetate, ether, methylene chloride, NMP (N-methyl-2-pyrrolidone), and the like. These can be used, and one or more of these can be used in combination.
また、脱溶媒の方法としては、例えば、大気圧または減圧下に放置する方法や、空気、窒素ガス等の気体を吹き付ける方法等が挙げられる。
なお、必要に応じて、前記積層体に対して、例えば60〜100℃程度の温度で、0.5〜2時間程度、熱処理を施してもよい。これにより、発光材料をより強固に電子輸送層4に吸着(結合)させることができる。
Examples of the solvent removal method include a method in which the solvent is left under atmospheric pressure or reduced pressure, and a method in which a gas such as air or nitrogen gas is blown.
In addition, you may heat-process with respect to the said laminated body at the temperature of about 60-100 degreeC for about 0.5 to 2 hours as needed. Thereby, the luminescent material can be more firmly adsorbed (bonded) to the
[5] 一方、封止部材7の内側上面に陽極6を形成する。
この陽極6は、例えば、真空蒸着法、スパッタリング法、金属箔の接合等を用いて形成することができる。
[6] 次に、陽極6の下面に、第2の領域52を形成する。
この第2の領域52は、発光層Lと同様にして形成することができる。
[5] On the other hand, the
The
[6] Next, the
The
[7] 次に、この封止部材7を、陰極3および発光層Lが形成された電子輸送層4に覆うように被せ、基板2に接合する。
[8] 次に、封止部材7に設けられた注入口(図示せず)から、電解質組成物を、発光層Lが形成された電子輸送層4と、第2の領域52との間の空間に注入する。
次いで、注入口を、例えば接着剤等の封止材により封止する。
以上のような工程を経て、本発明の発光素子1が製造される。
[7] Next, the sealing
[8] Next, from the injection port (not shown) provided in the sealing
Next, the inlet is sealed with a sealing material such as an adhesive.
The light emitting element 1 of the present invention is manufactured through the above steps.
このような発光素子1は、例えば光源等として使用することができる。また、複数の発光素子1をマトリックス状に配置することにより、ディスプレイ装置(本発明の発光装置)を構成することができる。
なお、ディスプレイ装置の駆動方式としては、特に限定されず、アクティブマトリックス方式、パッシブマトリックス方式のいずれであってもよい。
Such a light emitting element 1 can be used as, for example, a light source. Further, a display device (the light emitting device of the present invention) can be configured by arranging a plurality of light emitting elements 1 in a matrix.
The driving method of the display device is not particularly limited, and may be either an active matrix method or a passive matrix method.
次に、本発明の発光装置を適用したディスプレイ装置の一例について説明する。
図5は、本発明の発光装置を適用したディスプレイ装置の実施形態を示す縦断面図である。
図5に示すディスプレイ装置10は、基体20と、この基体20上に設けられた複数の発光素子1とで構成されている。
Next, an example of a display device to which the light emitting device of the present invention is applied will be described.
FIG. 5 is a longitudinal sectional view showing an embodiment of a display device to which the light emitting device of the present invention is applied.
The
基体20は、基板21と、この基板21上に形成された回路部22とを有している。
回路部22は、基板21上に形成された、例えば酸化シリコン層からなる保護層23と、保護層23上に形成された駆動用TFT(スイッチング素子)24と、第1層間絶縁層25と、第2層間絶縁層26とを有している。
駆動用TFT24は、シリコンからなる半導体層241と、半導体層241上に形成されたゲート絶縁層242と、ゲート絶縁層242上に形成されたゲート電極243と、ソース電極244と、ドレイン電極245とを有している。
The
The circuit unit 22 includes a
The driving
このような回路部22上に、各駆動用TFT24に対応して、それぞれ、発光素子1が設けられている。また、隣接する発光素子1同士は、第1隔壁部31および第2隔壁部32により区画されている。
本実施形態では、各発光素子1の陰極3は、画素電極を構成し、各駆動用TFT24のドレイン電極245に配線27により電気的に接続されている。また、各発光素子1の陽極6は、共通電極とされている。
On such a circuit portion 22, the light emitting element 1 is provided corresponding to each driving
In the present embodiment, the
そして、各発光素子1を覆うように封止部材(図示せず)が基体20に接合され、各発光素子1が封止されている。
ディスプレイ装置10は、単色表示であってもよく、各発光素子1に用いる発光材料を選択することにより、カラー表示も可能である。
このようなディスプレイ装置10(本発明の発光装置)は、各種の電子機器に組み込むことができる。
Then, a sealing member (not shown) is bonded to the base 20 so as to cover each light emitting element 1, and each light emitting element 1 is sealed.
The
Such a display device 10 (the light emitting device of the present invention) can be incorporated into various electronic devices.
図6は、本発明の電子機器を適用したモバイル型(またはノート型)のパーソナルコンピュータの構成を示す斜視図である。
この図において、パーソナルコンピュータ1100は、キーボード1102を備えた本体部1104と、表示部を備える表示ユニット1106とにより構成され、表示ユニット1106は、本体部1104に対しヒンジ構造部を介して回動可能に支持されている。
このパーソナルコンピュータ1100において、表示ユニット1106が備える表示部が前述のディスプレイ装置10で構成されている。
FIG. 6 is a perspective view showing the configuration of a mobile (or notebook) personal computer to which the electronic apparatus of the present invention is applied.
In this figure, a
In the
図7は、本発明の電子機器を適用した携帯電話機(PHSも含む)の構成を示す斜視図である。
この図において、携帯電話機1200は、複数の操作ボタン1202、受話口1204および送話口1206とともに、表示部を備えている。
携帯電話機1200において、この表示部が前述のディスプレイ装置10で構成されている。
FIG. 7 is a perspective view showing a configuration of a mobile phone (including PHS) to which the electronic apparatus of the present invention is applied.
In this figure, a
In the
図8は、本発明の電子機器を適用したディジタルスチルカメラの構成を示す斜視図である。なお、この図には、外部機器との接続についても簡易的に示されている。
ここで、通常のカメラは、被写体の光像により銀塩写真フィルムを感光するのに対し、ディジタルスチルカメラ1300は、被写体の光像をCCD(Charge Coupled Device)などの撮像素子により光電変換して撮像信号(画像信号)を生成する。
FIG. 8 is a perspective view showing the configuration of a digital still camera to which the electronic apparatus of the present invention is applied. In this figure, connection with an external device is also simply shown.
Here, an ordinary camera sensitizes a silver halide photographic film with a light image of a subject, whereas a
ディジタルスチルカメラ1300におけるケース(ボディー)1302の背面には、表示部が設けられ、CCDによる撮像信号に基づいて表示を行う構成になっており、被写体を電子画像として表示するファインダとして機能する。
ディジタルスチルカメラ1300において、この表示部が前述のディスプレイ装置10で構成されている。
A display unit is provided on the back of a case (body) 1302 in the
In the
ケースの内部には、回路基板1308が設置されている。この回路基板1308は、撮像信号を格納(記憶)し得るメモリが設置されている。
また、ケース1302の正面側(図示の構成では裏面側)には、光学レンズ(撮像光学系)やCCDなどを含む受光ユニット1304が設けられている。
撮影者が表示部に表示された被写体像を確認し、シャッタボタン1306を押下すると、その時点におけるCCDの撮像信号が、回路基板1308のメモリに転送・格納される。
A
A
When the photographer confirms the subject image displayed on the display unit and presses the
また、このディジタルスチルカメラ1300においては、ケース1302の側面に、ビデオ信号出力端子1312と、データ通信用の入出力端子1314とが設けられている。そして、図示のように、ビデオ信号出力端子1312にはテレビモニタ1430が、デ−タ通信用の入出力端子1314にはパーソナルコンピュータ1440が、それぞれ必要に応じて接続される。さらに、所定の操作により、回路基板1308のメモリに格納された撮像信号が、テレビモニタ1430や、パーソナルコンピュータ1440に出力される構成になっている。
In the
なお、本発明の電子機器は、図6のパーソナルコンピュータ(モバイル型パーソナルコンピュータ)、図7の携帯電話機、図8のディジタルスチルカメラの他にも、例えば、テレビや、ビデオカメラ、ビューファインダ型、モニタ直視型のビデオテープレコーダ、ラップトップ型パーソナルコンピュータ、カーナビゲーション装置、ページャ、電子手帳(通信機能付も含む)、電子辞書、電卓、電子ゲーム機器、ワードプロセッサ、ワークステーション、テレビ電話、防犯用テレビモニタ、電子双眼鏡、POS端末、タッチパネルを備えた機器(例えば金融機関のキャッシュディスペンサー、自動券売機)、医療機器(例えば電子体温計、血圧計、血糖計、心電表示装置、超音波診断装置、内視鏡用表示装置)、魚群探知機、各種測定機器、計器類(例えば、車両、航空機、船舶の計器類)、フライトシュミレータ、その他各種モニタ類、プロジェクター等の投射型表示装置等に適用することができる。
以上、本発明の発光素子、発光装置および電子機器を、図示の実施形態に基づいて説明したが、本発明はこれらに限定されるものでない。
The electronic apparatus of the present invention includes, for example, a television, a video camera, a viewfinder type, in addition to the personal computer (mobile personal computer) in FIG. 6, the mobile phone in FIG. 7, and the digital still camera in FIG. Monitor direct-view video tape recorder, laptop personal computer, car navigation system, pager, electronic notebook (including communication function), electronic dictionary, calculator, electronic game device, word processor, workstation, video phone, security TV Monitors, electronic binoculars, POS terminals, devices equipped with touch panels (for example, cash dispensers and automatic ticket vending machines for financial institutions), medical devices (for example, electronic thermometers, blood pressure monitors, blood glucose meters, electrocardiographs, ultrasound diagnostic devices, internal Endoscope display device), fish finder, various measuring instruments, Vessels such (e.g., gages for vehicles, aircraft, and ships), a flight simulator, various monitors, and a projection display such as a projector.
As mentioned above, although the light emitting element of this invention, the light-emitting device, and the electronic device were demonstrated based on embodiment of illustration, this invention is not limited to these.
次に、本発明の具体的実施例について説明する。
1.発光素子の製造
(実施例1)
[1] まず、平均厚さ0.5mmの透明なガラス基板を2枚用意した。
[2] 次に、一方のガラス基板上に、真空蒸着法によりAlLiを被着させ、平均厚さ300nmの陰極を形成した。
なお、陰極の表面抵抗は、約5Ω/□であった。
Next, specific examples of the present invention will be described.
1. Production of light emitting device (Example 1)
[1] First, two transparent glass substrates having an average thickness of 0.5 mm were prepared.
[2] Next, AlLi was deposited on one glass substrate by a vacuum vapor deposition method to form a cathode having an average thickness of 300 nm.
The surface resistance of the cathode was about 5Ω / □.
[3] 次に、この陰極上に、真空蒸着法により酸化チタン(TiO2)を被着させ、平均厚さ0.5μmのバリヤ層を形成した。
なお、このバリヤ層の空孔率は、2%であった。
[4] 次に、このバリヤ層上に、平均厚さ10μmの電子輸送層を形成した。
[4−1] まず、ゾル・ゲル法により合成した酸化チタンを乳鉢で混練し、チューブ状の酸化チタン(外径:5nm、長さ:30nm、比表面積:500m2/g)を得た。
次に、酸化チタン粒子(平均粒径:10nm)を用意した。
次いで、これらのチューブ状および粒状の酸化チタンとポリエチレングリコールとを含有するエタノール水溶液を調製した。
[3] Next, titanium oxide (TiO 2 ) was deposited on the cathode by a vacuum vapor deposition method to form a barrier layer having an average thickness of 0.5 μm.
The barrier layer had a porosity of 2%.
[4] Next, an electron transport layer having an average thickness of 10 μm was formed on the barrier layer.
[4-1] First, titanium oxide synthesized by a sol-gel method was kneaded in a mortar to obtain tubular titanium oxide (outer diameter: 5 nm, length: 30 nm, specific surface area: 500 m 2 / g).
Next, titanium oxide particles (average particle size: 10 nm) were prepared.
Next, an aqueous ethanol solution containing these tubular and granular titanium oxide and polyethylene glycol was prepared.
[4−2] 次に、このエタノール水溶液を、バリヤ層上にスピンコート法(2000rpm)により塗布し、液状被膜を形成した。
次いで、この液状被膜に対して、150℃×30分で加熱処理を行い、液状被膜中の溶媒および分散媒を除去した。これによりチューブ状および粒状の酸化チタンの集合物を得た。なお、チューブ状の酸化チタンと粒状の酸化チタンとの比率は、重量比で80:20となるようにした。
[4-2] Next, this aqueous ethanol solution was applied onto the barrier layer by a spin coat method (2000 rpm) to form a liquid film.
Next, this liquid coating was heat-treated at 150 ° C. for 30 minutes to remove the solvent and dispersion medium in the liquid coating. Thereby, aggregates of tubular and granular titanium oxide were obtained. The ratio of tube-shaped titanium oxide to granular titanium oxide was 80:20 by weight.
[4−3] 次に、3mol/Lの塩化水素水溶液を、集合物上にスピンコート法(2000rpm)により塗布した。
次いで、塩化水素水溶液を塗布した集合物に対して、250℃×20分で加熱処理を行い、電子輸送層を得た。
なお、この電子輸送層の空孔率は、50%であった。
[4-3] Next, a 3 mol / L hydrogen chloride aqueous solution was applied onto the aggregate by a spin coating method (2000 rpm).
Next, the aggregate coated with the aqueous hydrogen chloride solution was subjected to heat treatment at 250 ° C. for 20 minutes to obtain an electron transport layer.
The electron transport layer had a porosity of 50%.
[5] 次に、焼成後の基板を、2,2’−ビピリジン−4,4’−ジカルボン酸が3配位したイリジウム錯体(発光材料)と、コール酸とを含有する発光材料含有液(40℃)に8時間浸漬した後、エタノール、アセトニトリルで順次洗浄した。
なお、イリジウム錯体の電子輸送層の1cm2当りでの付着量が、1×10−8molとなるようにした。
[5] Next, a luminescent material-containing liquid containing iridium complex (luminescent material) in which 2,2′-bipyridine-4,4′-dicarboxylic acid is tricoordinated and cholic acid is used for the substrate after firing ( (40 ° C.) for 8 hours, and then sequentially washed with ethanol and acetonitrile.
In addition, it was made for the adhesion amount per 1 cm < 2 > of the electron carrying layer of an iridium complex to be 1 * 10 <-8> mol.
[6] また、他方のガラス基板上に、スパッタ法によりITOを被着させ、平均厚さ100nmの陽極を形成した。
なお、ITO電極の表面抵抗は、約40Ω/□であった。
[7] 次に、この陽極上に、PEDOT/PSS(正孔輸送材料)を含有する水分散液をスピンコート法(2000rpm)により塗布した後、乾燥した。
これにより、平均厚さ20μmの正孔輸送層の第2の領域を形成した。
[6] Moreover, ITO was deposited on the other glass substrate by a sputtering method to form an anode having an average thickness of 100 nm.
The surface resistance of the ITO electrode was about 40Ω / □.
[7] Next, an aqueous dispersion containing PEDOT / PSS (hole transport material) was applied onto the anode by a spin coating method (2000 rpm) and then dried.
As a result, a second region of the hole transport layer having an average thickness of 20 μm was formed.
[8] 次に、2枚のガラス基板を対向させ、その周囲をエポキシ樹脂により封止した。なお、このとき、電解質組成物を注入する注入口が残るように封止した。
また、形成される空間の平均厚さが、40μmとなるようにした。
[9] まず、電解質としてI2とLiIとを、エチレングリコールに溶解して、液状の電解質組成物を調製した。なお、電解質の濃度は、10wt%とした。
次いで、この電解質組成物を、注入口から注入した後、この注入口をエポキシ樹脂接着剤で封止した。
これにより、正孔輸送層の第1の領域を形成して、発光素子を完成させた。
[8] Next, two glass substrates were opposed to each other, and the periphery thereof was sealed with an epoxy resin. In addition, it sealed so that the injection hole which inject | pours electrolyte composition may remain at this time.
In addition, the average thickness of the space to be formed was set to 40 μm.
[9] First, I 2 and LiI as an electrolyte were dissolved in ethylene glycol to prepare a liquid electrolyte composition. The electrolyte concentration was 10 wt%.
Next, after the electrolyte composition was injected from the injection port, the injection port was sealed with an epoxy resin adhesive.
Thus, the first region of the hole transport layer was formed to complete the light emitting element.
(実施例2)
前記工程[4−3]において、塩化水素水溶液に代えて、6mol/Lのフッ化水素水溶液を用いた以外は、前記実施例1と同様にして、発光素子を製造した。
なお、この電子輸送層の空孔率は、40%であった。
(実施例3)
前記工程[4−3]において、塩化水素水溶液に代えて、3mol/Lの水酸化ナトリウム水溶液を用いた以外は、前記実施例1と同様にして、発光素子を製造した。
なお、この電子輸送層の空孔率は、35%であった。
(Example 2)
A light emitting device was manufactured in the same manner as in Example 1 except that, in the step [4-3], a 6 mol / L hydrogen fluoride aqueous solution was used instead of the hydrogen chloride aqueous solution.
The electron transport layer had a porosity of 40%.
(Example 3)
A light emitting device was manufactured in the same manner as in Example 1 except that, in the step [4-3], a 3 mol / L sodium hydroxide aqueous solution was used instead of the hydrogen chloride aqueous solution.
The electron transport layer had a porosity of 35%.
(実施例4)
前記工程[4−3]において、水熱処理により接触界面の接合を行った以外は、前記実施例1と同様にして、発光素子を製造した。
水熱処理は、集合物を150℃の高圧水蒸気に40分曝すことにより行った。
なお、この電子輸送層の空孔率は、55%であった。
Example 4
A light emitting device was manufactured in the same manner as in Example 1 except that the contact interface was joined by hydrothermal treatment in the step [4-3].
Hydrothermal treatment was performed by exposing the aggregate to high-pressure steam at 150 ° C. for 40 minutes.
The electron transport layer had a porosity of 55%.
(実施例5)
前記工程[4−3]において、マイクロ波照射により接触界面の接合を行った以外は、前記実施例1と同様にして、発光素子を製造した。
マイクロ波照射は、周波数28GHz、出力20kWのマイクロ波を集合物に30分照射することにより行った。
なお、この電子輸送層の空孔率は、60%であった。
(Example 5)
A light emitting device was manufactured in the same manner as in Example 1 except that the contact interface was bonded by microwave irradiation in the step [4-3].
Microwave irradiation was performed by irradiating the aggregate with microwaves having a frequency of 28 GHz and an output of 20 kW for 30 minutes.
The electron transport layer had a porosity of 60%.
2.評価
各実施例で製造した発光素子について、それぞれ、発光効率および耐久性(寿命)の評価を行った。
この発光効率の評価は、直流電源により、0Vから6Vに電圧を印加し、電流値を測定し、輝度を輝度計により測定することで行った。また、耐久性(寿命)の評価は、初期輝度400cd/m2の定電流駆動を行うことで行った。
その結果、各実施例の発光素子では、いずれも、高い発光効率および優れた耐久性が確認された。
2. Evaluation Each light emitting device manufactured in each example was evaluated for light emission efficiency and durability (life).
The luminous efficiency was evaluated by applying a voltage from 0 V to 6 V with a DC power source, measuring the current value, and measuring the luminance with a luminance meter. Further, durability (life) was evaluated by performing constant current driving with an initial luminance of 400 cd / m 2 .
As a result, in each of the light emitting devices of each example, high luminous efficiency and excellent durability were confirmed.
1……発光素子 2……基板 3……陰極 4……電子輸送層 41……チューブ 42……粒子 43……液状被膜 44……集合物 L……発光層 5……正孔輸送層 51……第1の領域 52……第2の領域 6……陽極 7……封止部材 8……バリヤ層 10……ディスプレイ装置 20……基体 21……基板 22……回路部 23……保護層 24……駆動用TFT 241……半導体層 242……ゲート絶縁層 243……ゲート電極 244……ソース電極 245……ドレイン電極 25……第1層間絶縁層 26……第2層間絶縁層 27……配線 31……第1隔壁部 32……第2隔壁部 1100……パーソナルコンピュータ 1102……キーボード 1104……本体部 1106……表示ユニット 1200……携帯電話機 1202……操作ボタン 1204……受話口 1206……送話口 1300‥‥ディジタルスチルカメラ 1302‥‥ケース(ボディー) 1304‥‥受光ユニット 1306‥‥シャッタボタン 1308‥‥回路基板 1312‥‥ビデオ信号出力端子 1314‥‥データ通信用の入出力端子 1430‥‥テレビモニタ 1440‥‥パーソナルコンピュータ
DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 ...
Claims (9)
該電子輸送層に接触するように発光層を形成する工程と、
該発光層の前記電子輸送層と反対側に陽極を形成する工程とを有する発光素子の製造方法であって、
前記電子輸送層を形成する工程は、チューブ状または粒状の無機半導体材料を堆積させて、前記無機半導体材料の集合物を層状に形成する第1の工程と、
前記集合物に対し、前記無機半導体材料を溶解し得る溶剤を接触させる処理を施すことにより、前記無機半導体材料同士の接触界面を前記無機半導体材料の溶解物により接合する第2の工程と、を有し、
前記第2の工程において、前記溶解物の一部を前記集合物の陰極側に偏在させる処理を施すことを特徴とする発光素子の製造方法。 Forming an electron transport layer on one side of the cathode; and
Forming a light emitting layer in contact with the electron transport layer;
A step of forming an anode on the side opposite to the electron transport layer of the light emitting layer,
The step of forming the electron transport layer includes a first step of depositing a tubular or granular inorganic semiconductor material to form an aggregate of the inorganic semiconductor materials in a layered manner,
Against the aggregate, by performing a process of contacting the solvent capable of dissolving the inorganic semiconductor material, and a second step of bonding by the contact interface between the inorganic semiconductor material melt of the inorganic semiconductor material Have
In the second step, a method of manufacturing a light emitting element, wherein a treatment for unevenly distributing a part of the melt on the cathode side of the aggregate is performed .
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