JP4743480B2

JP4743480B2 - Linear moving device and machine tool

Info

Publication number: JP4743480B2
Application number: JP2005021615A
Authority: JP
Inventors: 幸光鬼島; 幸正中村
Original assignee: Seiko Instruments Inc
Current assignee: Seiko Instruments Inc
Priority date: 2005-01-28
Filing date: 2005-01-28
Publication date: 2011-08-10
Anticipated expiration: 2025-01-28
Also published as: JP2006205308A

Description

本発明は、流体供給機構、直線移動装置および工作機械に関するものである。 The present invention relates to a fluid supply mechanism, a linear movement device, and a machine tool.

従来、工作機械等の直線移動させられるテーブル上に固定された流体圧作動機器への流体圧供給は、流体圧発生ユニットに接続されたチューブにより行われている（例えば、特許文献１参照。）。
特許文献１の工作機械においては、油圧ユニットと油圧作動部とが弾性チューブにより接続されることで、油圧の脈動による工具やワークの振動を抑制することとしている。
特開２００２−２３９８５８号公報 Conventionally, fluid pressure is supplied to a fluid pressure operating device fixed on a table that is linearly moved, such as a machine tool, by a tube connected to a fluid pressure generating unit (see, for example, Patent Document 1). .
In the machine tool of Patent Document 1, the hydraulic unit and the hydraulic operation unit are connected by an elastic tube to suppress vibrations of a tool or a workpiece due to hydraulic pulsation.
JP 2002-239858 A

しかしながら、油圧供給用のチューブには、耐圧性が必要とされるために、通常、硬質のチューブが用いられている。この場合、テーブルを動作させるには、硬質のチューブを変形させながら動作させる必要があるため、チューブの剛性がテーブルの動作の抵抗となり、円滑な動作が妨げられ、また、運動の真直度および位置決め精度が低下するという不都合がある。 However, since a pressure resistant pressure is required for the hydraulic pressure supply tube, a hard tube is usually used. In this case, since the rigid tube must be deformed to operate the table, the rigidity of the tube becomes resistance to the operation of the table, hindering smooth operation, and the straightness and positioning of the movement. There is an inconvenience that accuracy decreases.

一方、特許文献１のように弾性チューブを用いた場合、油圧の脈動はチューブの弾性変形によって吸収されるが、硬質のチューブと同等の耐圧性を確保するためにはチューブの肉厚が増大し、チューブ全体の剛性はさほど低減されないため、相変わらずテーブルの円滑な動作が阻害されるという不都合がある。テーブルの動作範囲が広い場合には、チューブの長さが長くなって自重が増大するため、テーブルの円滑な動作がさらに妨げられるとともに、チューブ全体を含めた装置の占有スペースが増大してしまう不都合もある。 On the other hand, when an elastic tube is used as in Patent Document 1, hydraulic pulsation is absorbed by elastic deformation of the tube, but in order to ensure pressure resistance equivalent to that of a hard tube, the thickness of the tube increases. Since the rigidity of the entire tube is not reduced so much, there is a disadvantage that the smooth operation of the table is still hindered. When the operating range of the table is wide, the length of the tube becomes longer and its own weight increases, so that the smooth operation of the table is further hindered and the occupied space of the device including the entire tube increases. There is also.

本発明は上述した事情に鑑みてなされたものであって、移動体の円滑な動作および運動の真直度、位置決め精度を低下させることなく、ベース側から移動体側に流体を供給することができる流体供給機構およびこれを備える直線移動装置を提供することを目的としている。 The present invention has been made in view of the circumstances described above, and is a fluid that can supply fluid from the base side to the moving body side without reducing the smooth operation, straightness of movement, and positioning accuracy of the moving body. It is an object of the present invention to provide a supply mechanism and a linear moving device including the same.

上記目的を達成するために、本発明は以下の手段を提供する。
本発明は、ベースと、該ベースに対して直線移動させられる移動体と、前記ベースから前記移動体に対してオイルを供給する流体供給機構と、前記ベースに対して前記移動体を前記オイルにより浮上させて、移動体をベースに対して直線移動可能に支持する静圧軸受と、前記ベースに対して前記移動体を直線移動させるアクチュエータと、前記流体供給機構および前記静圧軸受に接続される共通の流体源とを備え、前記流体供給機構が、前記ベースまたは前記移動体のいずれか一方に固定され前記移動体の移動方向に沿って配置された中空ロッドと、前記ベースまたは前記移動体のいずれか他方に固定された流体室とを備え、該流体室の対向する一対の壁面に、径方向に隙間をあけて前記中空ロッドを貫通させるロッド挿通孔が設けられ、前記中空ロッドに、該中空ロッド内部とその周囲の流体室内部とを連絡する貫通孔が設けられ、前記ベースに固定された、前記中空ロッドの内部空間または前記流体室のいずれかに、流体供給配管が接続されている直線移動装置を提供する。 In order to achieve the above object, the present invention provides the following means.
The present invention includes a base, a movable body that is linearly moved with respect to the base, a fluid supply mechanism that supplies oil from the base to the movable body, and the movable body with respect to the base by the oil. A hydrostatic bearing that floats and supports the movable body so as to be linearly movable with respect to the base, an actuator that linearly moves the movable body with respect to the base, and the fluid supply mechanism and the hydrostatic bearing. A common fluid source, and the fluid supply mechanism is fixed to either the base or the moving body and is arranged along the moving direction of the moving body, and the base or the moving body A fluid chamber fixed to either one of the fluid chambers, and a pair of opposing wall surfaces of the fluid chamber is provided with a rod insertion hole through which the hollow rod penetrates with a gap in the radial direction. The hollow rod is provided with a through-hole that communicates the inside of the hollow rod and the surrounding fluid chamber, and is fixed to the base. The fluid supply pipe is provided in either the internal space of the hollow rod or the fluid chamber. A linear movement device is provided.

本発明によれば、ベースに中空ロッドが固定されている場合には、流体供給配管から中空ロッドの内部空間にオイルが供給される。中空ロッドの内部空間に供給されたオイルは、中空ロッドに設けられた貫通孔を介して、中空ロッドの周囲に配置されている流体室内に供給される。流体室は移動体に設けられているので、これによりオイルがベース側から移動体側に供給されることになる。 According to the present invention, when the hollow rod is fixed to the base, oil is supplied from the fluid supply pipe to the internal space of the hollow rod. The oil supplied to the internal space of the hollow rod is supplied to a fluid chamber arranged around the hollow rod through a through hole provided in the hollow rod. Since the fluid chamber is provided in the moving body, oil is supplied from the base side to the moving body side.

このようにすることで、ベースと移動体との間に流体供給用の可動チューブを設けることなく、固定配管のみでベース側から移動体側にオイルを供給することができる。したがって、移動体の動作の妨げとなる可動チューブをなくすことができ、移動体を精度よく移動させることができる。 By doing in this way, oil can be supplied from the base side to the moving body side only by fixed piping, without providing the movable tube for fluid supply between a base and a moving body. Therefore, the movable tube that hinders the operation of the moving body can be eliminated, and the moving body can be moved with high accuracy.

この場合において、中空ロッドが移動体の移動方向に沿って配置されており、また、流体室の壁面に設けたロッド挿通孔を貫通し、ロッド挿通孔と中空ロッドとの間には径方向に隙間が形成されているため、ベースに対して移動体が移動させられる際に、移動体は抵抗なく移動させられることになる。また、この隙間を十分に小さく設定しておくことにより、中空ロッド内および流体室内の圧力が大気解放されることなく保持され、流体室から移動体上の流体駆動機器等にオイルを供給することが可能となる。
なお、ベースに流体室が固定され、移動体に中空ロッドが固定されている場合についても上記と同様に作用する。 In this case, the hollow rod is disposed along the moving direction of the moving body, and penetrates through the rod insertion hole provided in the wall surface of the fluid chamber, and the radial direction is provided between the rod insertion hole and the hollow rod. Since the gap is formed, when the moving body is moved with respect to the base, the moving body is moved without resistance. Also, by setting this gap sufficiently small, the pressure in the hollow rod and the fluid chamber is maintained without being released to the atmosphere, and oil is supplied from the fluid chamber to the fluid drive device on the moving body. Is possible.
Note that the same operation is performed when the fluid chamber is fixed to the base and the hollow rod is fixed to the moving body.

また、中空ロッドを長手方向に一定の横断面を有するものとし、中空ロッドが挿入された状態の流体室内形状を半径方向全方向とも中空ロッドの軸線に対して概略対称な形状とすることにより、オイルの圧力によって流体室内面が受ける力が半径方向および軸線方向について一方向に偏ることがない。したがって、移動体がベースに対していずれの位置に配置されても、中空ロッドとロッド挿通孔との隙間を一定に維持し、移動体のスムーズな動きを達成でき、また、オイルの供給状態によって移動体の動きが影響されることがない。 Further, the hollow rod has a constant cross section in the longitudinal direction, and the shape of the fluid chamber in a state in which the hollow rod is inserted is substantially symmetrical with respect to the axis of the hollow rod in all radial directions. The force applied to the fluid chamber surface by the oil pressure is not biased in one direction in the radial direction and the axial direction. Therefore, even the mobile is located at any position relative to the base, to maintain the gap between the hollow rod and the rod insertion hole constant, it can be achieved a smooth movement of the moving body, also by the supply condition of the oil The movement of the moving object is not affected.

また、本発明は、流体源を共通化して部品点数を低減できる。流体源としては、オイルポンプの他、オイルクーラー、オイルフィルタ等が必要となるため、これらを共通化することにより製品コストを削減でき、また、設置スペースを低減して装置の小型化を図ることができる。
また、静圧軸受から漏れるオイルはオイル回収部により回収されるが、油圧供給機構から漏れたオイルも同じオイル回収部により回収可能であり、オイル回収部を共通化できる。 Further, the present invention can reduce the number of parts by using a common fluid source. As a fluid source, an oil cooler, an oil filter, etc. are required in addition to an oil pump. By sharing these, the product cost can be reduced, and the installation space can be reduced to reduce the size of the device. Can do.
Further, the oil leaking from the hydrostatic bearing is recovered by the oil recovery unit, but the oil leaking from the hydraulic pressure supply mechanism can also be recovered by the same oil recovery unit, and the oil recovery unit can be shared.

本発明によれば、移動体がベースに対して静圧軸受により支持されているので、軸受部における機械的な摩擦が低減され、アクチュエータの作動により、精度よく移動させることが可能となる。この場合に、上記流体供給機構を備えているので、移動体の動作に影響を与えることなくベース側から移動体側に流体を供給することができる。 According to the present invention, since the movable body is supported by the hydrostatic bearing with respect to the base, the mechanical friction in the bearing portion is reduced, and the actuator can be moved with high accuracy by the operation of the actuator. In this case, since the fluid supply mechanism is provided, the fluid can be supplied from the base side to the moving body side without affecting the operation of the moving body.

ボールネジ、エアシリンダ等の適用も可能であるが、上記発明においては、前記アクチュエータが、リニアモータからなることが好ましい。
アクチュエータをリニアモータにより構成することで、アクチュエータにおける機械的摩擦をもなくすことができる。したがって、さらに精度よく移動体を移動させることができる。機械的摩擦を低減することで、外力に対する剛性が低下するが、本発明によれば、流体供給機構が、移動体の動作に影響を与えることなくベース側から移動体側にオイルを供給でき、移動体の位置精度を高く維持することができる。 Although application of a ball screw, an air cylinder, etc. is also possible, in the said invention, it is preferable that the said actuator consists of a linear motor.
By configuring the actuator with a linear motor, mechanical friction in the actuator can be eliminated. Therefore, the moving body can be moved with higher accuracy. By reducing the mechanical friction, the rigidity against external force decreases, but according to the present invention, the fluid supply mechanism can supply oil from the base side to the moving body side without affecting the operation of the moving body. High body position accuracy can be maintained.

また、上記発明においては、前記静圧軸受が、前記移動体の前記ベースとの対向面に設けられた複数の凹部と、各凹部内に供給されベースと各凹部との間に貯留されるオイルとからなる静圧パッドにより構成され、各凹部に、前記移動体側に固定された、前記中空ロッドの内部空間または前記流体室のいずれかが接続されていることが好ましい。 In the above invention, the hydrostatic bearing includes a plurality of recesses provided on a surface of the movable body facing the base, and oil that is supplied into each recess and stored between the base and each recess. It is preferable that either the internal space of the hollow rod or the fluid chamber fixed to the movable body side is connected to each concave portion.

このように構成することで、移動体側に流体室が設けられている場合には、流体供給機構を介してベース側から流体室に供給されたオイルが、流体室に接続された凹部に供給され、凹部内に所定の圧力を維持したまま貯留される。これにより、ベースに対して移動体をオイルにより浮上させ移動可能に支持することができる。 With this configuration, when the fluid chamber is provided on the movable body side, the oil supplied from the base side to the fluid chamber via the fluid supply mechanism is supplied to the recess connected to the fluid chamber. Then, it is stored in the recess while maintaining a predetermined pressure. As a result, the movable body can be lifted by the oil with respect to the base and supported movably.

この場合において、静圧パッドの各凹部が移動体側に設けられているので、対向するベース側の面を単に平坦に構成しておけば、移動体がベースに対していかなる位置に配置されてもその場で静圧パッドに静圧を発生させ、移動体をベースに対して移動可能に支持することができる。したがって、移動体の動作範囲を拡大することができる。 In this case, since each concave portion of the static pressure pad is provided on the moving body side, if the opposing base side surface is simply made flat, the moving body can be arranged at any position with respect to the base. It is possible to generate a static pressure on the static pressure pad on the spot and support the movable body so as to be movable with respect to the base. Therefore, the operating range of the moving body can be expanded.

また、移動体側に設けられた静圧パッドの各凹部へのオイル供給も、流体供給機構により可動チューブを介することなく行うことができる。したがって、静圧パッドへのオイルは、移動体上の他の流体駆動機器への流体供給用の固定配管を分岐することで簡易に供給することができ、移動体を精度よく円滑に移動させることができる。
また、上記発明においては、前記流体供給配管から供給される前記オイルを複数の前記静圧軸受に分配するマニホールドを備えることとしてもよい。 In addition, oil can be supplied to each concave portion of the static pressure pad provided on the moving body side without using a movable tube by the fluid supply mechanism. Therefore, the oil to the static pressure pad can be easily supplied by branching the fixed pipe for supplying fluid to other fluid drive devices on the moving body, and the moving body can be moved accurately and smoothly. Can do.
Moreover, in the said invention, it is good also as providing the manifold which distributes the said oil supplied from the said fluid supply piping to the said several static pressure bearing.

また、本発明は、上記いずれかの直線移動装置と、該直線移動装置に搭載された加工機とを備える工作機械を提供する。
本発明によれば、移動体を精度よく円滑に移動させる直線移動機構の作動により、移動体に搭載した加工機を精度よく円滑に移動させて、高い加工精度を達成することができる。 In addition, the present invention provides a machine tool including any one of the linear movement devices described above and a processing machine mounted on the linear movement device.
According to the present invention, by the operation of the linear movement mechanism that moves the moving body accurately and smoothly, the processing machine mounted on the moving body can be moved smoothly and accurately, and high machining accuracy can be achieved.

本発明によれば、ベース側から移動体側に可動チューブを用いることなく流体を供給することができる。したがって、移動体の円滑な動作および運動の真直度、位置決め精度を低下させることなく、ベース側から移動体側に流体を供給することができるという効果を奏する。 According to the present invention, fluid can be supplied from the base side to the moving body side without using a movable tube. Therefore, there is an effect that the fluid can be supplied from the base side to the moving body side without reducing the smooth operation, straightness of the movement, and positioning accuracy of the moving body.

本発明の一実施形態に係る流体供給機構１について、図１および図２を参照して、以下に説明する。
本実施形態に係る流体供給機構１は、図１に示されるように、直線移動装置２に備えられ、ベース３側から移動体４側に油圧を供給する油圧供給機構１である。なお、本発明は液体（油、水）や気体等の流体に適用可能であるが、ここでは流体として油を用いた場合について説明する。直線移動装置２は、例えば、床面等の構造物Ｘに固定されるベース３と、該ベース３に対して水平方向に直線移動可能に支持される移動体４とを備えている。 A fluid supply mechanism 1 according to an embodiment of the present invention will be described below with reference to FIGS. 1 and 2.
As shown in FIG. 1, the fluid supply mechanism 1 according to the present embodiment is a hydraulic pressure supply mechanism 1 that is provided in the linear movement device 2 and supplies hydraulic pressure from the base 3 side to the moving body 4 side. The present invention can be applied to fluids such as liquid (oil, water) and gas. Here, a case where oil is used as the fluid will be described. The linear moving device 2 includes, for example, a base 3 fixed to a structure X such as a floor surface, and a moving body 4 supported so as to be linearly movable in the horizontal direction with respect to the base 3.

本実施形態に係る油圧供給機構１は、図１に示されるように、ベース３に設けられた側壁５に片持ち梁状に固定される中空ロッド６と、移動体４に固定された油圧室７とを備えている。
中空ロッド６は、一端に前記側壁５に固定されるフランジ部６ａを備え、ほぼ全長にわたって円形の横断面輪郭形状を有する直棒状に形成されている。中空ロッド６のフランジ部６ａ側から長手方向のほぼ中央部近傍までの範囲には、その中心軸に沿って中空ロッド６の長手方向に沿って延びる内部空間６ｂが設けられている。中空ロッド６の先端側の残りの半分は中実の丸棒である。 As shown in FIG. 1, the hydraulic pressure supply mechanism 1 according to the present embodiment includes a hollow rod 6 that is fixed in a cantilever manner to a side wall 5 provided in a base 3, and a hydraulic chamber that is fixed to a moving body 4. 7.
The hollow rod 6 includes a flange portion 6a fixed to the side wall 5 at one end, and is formed in a straight rod shape having a circular cross-sectional contour shape over almost the entire length. An internal space 6b extending along the longitudinal direction of the hollow rod 6 along the central axis is provided in a range from the flange portion 6a side of the hollow rod 6 to the vicinity of the substantially central portion in the longitudinal direction. The remaining half of the hollow rod 6 on the tip side is a solid round bar.

中空ロッド６の長手方向のほぼ中央近傍には、中空ロッド６の外面から内部空間６ｂまで半径方向に貫通する貫通孔８が設けられている。
また、中空ロッド６のフランジ部６ａ側の一端には加圧されたオイルＬを供給する油圧供給配管９が接続されるようになっている。 A through hole 8 that penetrates from the outer surface of the hollow rod 6 to the inner space 6b in the radial direction is provided in the vicinity of the center of the hollow rod 6 in the longitudinal direction.
Further, a hydraulic pressure supply pipe 9 for supplying pressurized oil L is connected to one end of the hollow rod 6 on the flange portion 6a side.

油圧室７は、例えば、図１に示す例では、移動体４自体の内部に形成された、中空ロッド６の外径寸法よりも大きな内径寸法を有する横断面円形の孔状の空間である。油圧室７の長手方向の両端にはブッシュ１０が固定されることにより、油圧室７の両端に側壁が形成されている。側壁を構成するブッシュ１０にはそれぞれ貫通孔１０ａが設けられている。ブッシュ１０の貫通孔１０ａは、前記中空ロッド６の外径寸法よりも若干大きな内径寸法を有している。 For example, in the example illustrated in FIG. 1, the hydraulic chamber 7 is a hole-shaped space having a circular cross section having an inner diameter larger than the outer diameter of the hollow rod 6 formed inside the moving body 4 itself. Side walls are formed at both ends of the hydraulic chamber 7 by fixing bushes 10 at both ends in the longitudinal direction of the hydraulic chamber 7. Each bush 10 constituting the side wall is provided with a through hole 10a. The through hole 10 a of the bush 10 has an inner diameter that is slightly larger than the outer diameter of the hollow rod 6.

ベース３の側壁５に固定された中空ロッド６は、ベース３に対する移動体４の移動方向に沿って延びるように配置されている。また、中空ロッド６は油圧室７の側壁を構成するブッシュ１０の貫通孔１０ａの中央に挿入されている。これにより、ブッシュ１０の貫通孔１０ａ内面と中空ロッド６外面とは同心に配置され、両者間には、全周にわたって、半径方向に微小隙間Ｓが形成されている。
移動体４がベース３に対して移動させられると、移動体４は、中空ロッド６の長手方向に沿って移動させられる結果、ブッシュ１０の貫通孔１０ａ内面と中空ロッド６外面との隙間Ｓおよび、油圧室７内面と中空ロッド６外面との間の空間の形状は変化することなく一定に保持されるようになっている。 The hollow rod 6 fixed to the side wall 5 of the base 3 is arranged so as to extend along the moving direction of the moving body 4 with respect to the base 3. The hollow rod 6 is inserted in the center of the through hole 10 a of the bush 10 that constitutes the side wall of the hydraulic chamber 7. Thereby, the inner surface of the through-hole 10a of the bush 10 and the outer surface of the hollow rod 6 are disposed concentrically, and a minute gap S is formed in the radial direction between the two over the entire circumference.
When the moving body 4 is moved with respect to the base 3, the moving body 4 is moved along the longitudinal direction of the hollow rod 6. As a result, the clearance S between the inner surface of the through hole 10a of the bush 10 and the outer surface of the hollow rod 6 and The shape of the space between the inner surface of the hydraulic chamber 7 and the outer surface of the hollow rod 6 is held constant without changing.

移動体４には、油圧室７に連通する油圧取出孔１１が設けられている。油圧取出孔１１には図示しないチューブが接続され、移動体４上に搭載される種々の油圧機器（図示略）に対して油圧を供給することができるようになっている。 The moving body 4 is provided with a hydraulic pressure extraction hole 11 that communicates with the hydraulic chamber 7. A tube (not shown) is connected to the hydraulic outlet hole 11 so that hydraulic pressure can be supplied to various hydraulic devices (not shown) mounted on the movable body 4.

このように構成された本実施形態に係る油圧供給機構１の作用について、以下に説明する。
本実施形態に係る油圧供給機構１によれば、図１に示される状態で、油圧供給配管９に加圧されたオイルＬを供給すると、油圧供給配管９が接続された中空ロッド６の内部空間６ｂにオイルＬが供給される。 The operation of the hydraulic pressure supply mechanism 1 according to this embodiment configured as described above will be described below.
According to the hydraulic pressure supply mechanism 1 according to this embodiment, when pressurized oil L is supplied to the hydraulic pressure supply pipe 9 in the state shown in FIG. 1, the internal space of the hollow rod 6 to which the hydraulic pressure supply pipe 9 is connected. Oil L is supplied to 6b.

オイルＬは、中空ロッド６の内部空間６ｂに充満すると、内部空間６ｂに連通して設けられた貫通孔８を介して油圧室７内に流入する。油圧室７は、ブッシュ１０の貫通孔１０ａに中空ロッド６を隙間Ｓをあけて挿入しているので、油圧室７に流入したオイルＬの一部は隙間Ｓから油圧室７外に漏れるが、隙間Ｓが十分に微小に構成されているので、オイルＬの粘性によって油圧室７内の油圧は大気開放されることなく保持され、油圧取出孔１１から移動体４上の図示しない油圧機器に供給されることになる。 When the internal space 6b of the hollow rod 6 is filled, the oil L flows into the hydraulic chamber 7 through the through hole 8 provided in communication with the internal space 6b. In the hydraulic chamber 7, since the hollow rod 6 is inserted in the through hole 10 a of the bush 10 with a gap S therebetween, a part of the oil L flowing into the hydraulic chamber 7 leaks out of the hydraulic chamber 7 from the gap S. Since the gap S is sufficiently small, the hydraulic pressure in the hydraulic chamber 7 is maintained without being released to the atmosphere due to the viscosity of the oil L, and is supplied from the hydraulic outlet hole 11 to a hydraulic device (not shown) on the moving body 4. Will be.

また、図２に示されるように、ベース３に対して移動体４を移動させると、移動体４が中空ロッド６の長手方向に沿う方向に直線移動させられる。このとき、移動体４に固定したブッシュ１０の貫通孔１０ａ内面と中空ロッド６の外面との隙間Ｓは一定に維持されるので、移動体４は、中空ロッド６とブッシュ１０とを接触させることなく、ベース３に対して移動させられる。また、油圧室７も一定の横断面形状を有する孔状に形成され、その中心軸に沿って中空ロッド６が挿入されているため、移動体４がベース３に対して移動することにより、油圧室７内において中空ロッド６が相対的に変位しても、油圧室７の内容積は変動することなく一定の内容積に維持される。したがって、移動体４が移動しても油圧室７内の圧力は一定に維持される。 As shown in FIG. 2, when the moving body 4 is moved with respect to the base 3, the moving body 4 is linearly moved in the direction along the longitudinal direction of the hollow rod 6. At this time, since the clearance S between the inner surface of the through hole 10a of the bush 10 fixed to the moving body 4 and the outer surface of the hollow rod 6 is maintained constant, the moving body 4 makes the hollow rod 6 and the bush 10 contact each other. Without being moved relative to the base 3. Further, the hydraulic chamber 7 is also formed in a hole shape having a certain cross-sectional shape, and the hollow rod 6 is inserted along the central axis thereof. Even if the hollow rod 6 is relatively displaced in the chamber 7, the internal volume of the hydraulic chamber 7 is maintained at a constant internal volume without fluctuation. Therefore, even if the moving body 4 moves, the pressure in the hydraulic chamber 7 is kept constant.

その結果、本実施形態に係る油圧供給機構１によれば、移動体４がベース３に対して移動しても、油圧供給機構１を構成する中空ロッド６と油圧室７とが機械的に接触することがなく、また、油圧室７内圧の変動もないので、移動体４の移動を妨げるような外力はほとんど発生しない。したがって、移動体４を円滑に移動させることができる。その結果、油圧供給機構１が移動体４の移動を阻害せず、移動体４の位置決め精度を向上させることができる。また、移動体４の移動によって油圧室７内圧が変動しないので、移動体４に搭載された油圧機器に対して、移動体４の移動あるいは停止状態にかかわらず、一定の油圧を供給することができるという利点がある。 As a result, according to the hydraulic pressure supply mechanism 1 according to the present embodiment, the hollow rod 6 and the hydraulic chamber 7 constituting the hydraulic pressure supply mechanism 1 are in mechanical contact even when the moving body 4 moves relative to the base 3. In addition, since the internal pressure of the hydraulic chamber 7 does not fluctuate, an external force that hinders the movement of the moving body 4 hardly occurs. Therefore, the moving body 4 can be moved smoothly. As a result, the hydraulic pressure supply mechanism 1 does not hinder the movement of the moving body 4 and the positioning accuracy of the moving body 4 can be improved. Further, since the internal pressure of the hydraulic chamber 7 does not fluctuate due to the movement of the moving body 4, a constant hydraulic pressure can be supplied to the hydraulic equipment mounted on the moving body 4 regardless of whether the moving body 4 is moved or stopped. There is an advantage that you can.

なお、本実施形態においては、中空ロッド６をベース３の側壁５に片持ち梁状に固定したが、これに代えて、両持ち梁状に固定してもよい。
また、中空ロッド６をベース３に固定し、油圧室７を移動体４に設けたが、これに代えて、ベース３に油圧室７を設け、移動体４に中空ロッド６を固定することにしてもよい。この場合、油圧供給配管９はベース３の油圧室７に接続され、油圧は、油圧室７から中空ロッド６の貫通孔８を介して中空ロッド６の内部空間６ｂに入り、内部空間６ｂに接続される油圧取出孔１１を介して移動体４上の各種油圧機器に供給されることになる。 In this embodiment, the hollow rod 6 is fixed to the side wall 5 of the base 3 in a cantilever shape, but instead, it may be fixed to a double-supported beam shape.
Further, the hollow rod 6 is fixed to the base 3 and the hydraulic chamber 7 is provided in the movable body 4. Instead, the hydraulic chamber 7 is provided in the base 3 and the hollow rod 6 is fixed to the movable body 4. May be. In this case, the hydraulic pressure supply pipe 9 is connected to the hydraulic chamber 7 of the base 3, and the hydraulic pressure enters the internal space 6 b of the hollow rod 6 from the hydraulic chamber 7 through the through hole 8 of the hollow rod 6 and is connected to the internal space 6 b. Then, it is supplied to various hydraulic devices on the moving body 4 through the hydraulic outlet hole 11.

次に、本発明の一実施形態に係る直線移動装置２０について、図３〜図７を参照して以下に説明する。
本実施形態に係る直線移動装置２０は、図３および図４に示されるように、ベース２１と、該ベース２１に対して水平方向に直線移動させられる移動体２２と、該移動体２２をベース２１に対して直線移動可能に支持する静圧軸受２３と、ベース２１に対して移動体２２を直線移動させるアクチュエータ２４と、油圧供給機構２５と、油圧供給機構２５に接続された油圧源２６とを備えている。 Next, the linear movement apparatus 20 which concerns on one Embodiment of this invention is demonstrated below with reference to FIGS.
As shown in FIGS. 3 and 4, the linear moving device 20 according to the present embodiment includes a base 21, a moving body 22 that is linearly moved in the horizontal direction with respect to the base 21, and the moving body 22 as a base. A hydrostatic bearing 23 that is supported so as to be linearly movable with respect to 21, an actuator 24 that linearly moves the moving body 22 with respect to the base 21, a hydraulic pressure supply mechanism 25, and a hydraulic pressure source 26 that is connected to the hydraulic pressure supply mechanism 25. It has.

移動体２２は、例えば、主軸スピンドル等（図示略）を固定するテーブルである。
静圧軸受２３は、図３、図６および図７に示されるように、ベース２１に設けられた張出部２１ａの上下に、移動体２２の移動方向に沿って水平に延びる複数の平坦面２７と、各平坦面２７に微小隙間をあけて対向する複数の静圧パッド２８とから構成されている。静圧パッド２８は、前記平坦面２７に対向する移動体２２の対向面に設けられた凹部２９と、該凹部２９に充填されるオイルＬとにより構成されている。 The moving body 22 is, for example, a table that fixes a spindle spindle or the like (not shown).
As shown in FIGS. 3, 6, and 7, the hydrostatic bearing 23 has a plurality of flat surfaces that extend horizontally along the moving direction of the moving body 22 above and below the overhanging portion 21 a provided on the base 21. 27 and a plurality of static pressure pads 28 facing each flat surface 27 with a small gap. The static pressure pad 28 includes a concave portion 29 provided on the facing surface of the moving body 22 facing the flat surface 27, and an oil L filled in the concave portion 29.

各凹部２９は、各張出部２１ａを挟んで上下に対向する位置に配置されているとともに、移動体２２の移動方向に間隔をあけて複数配置されている。
そして、各凹部２９に加圧したオイルＬを供給することにより、張出部２１ａに設けられた上下一対の平坦面２７に対して、上下一対の凹部２９内に供給されたオイルＬが相互に逆方向に押圧力を加えることで、ベース２１の張出部２１ａの平坦面２７に対して、移動体２２を油圧で浮上させた状態で力を釣り合わせ、この状態に維持することができるようになっている。 Each concave portion 29 is arranged at a position facing each other in the vertical direction across each overhang portion 21a, and a plurality of the concave portions 29 are arranged at intervals in the moving direction of the moving body 22.
And by supplying the oil L pressurized to each recessed part 29, the oil L supplied in a pair of upper and lower recessed parts 29 mutually with respect to a pair of upper and lower flat surfaces 27 provided in the overhang | projection part 21a. By applying a pressing force in the reverse direction, the force can be balanced against the flat surface 27 of the overhanging portion 21a of the base 21 in a state where the movable body 22 is lifted by hydraulic pressure, and this state can be maintained. It has become.

また、このような上下一対の凹部２９が、移動体２２の移動方向に間隔をあけて複数配置されているので、移動方向に交差する水平軸線回りのモーメントも釣り合った状態に維持される。したがって、移動体２２がベース２１から浮上して水平状態に維持されるようになっている。
なお、説明の簡単のために図示を省略しているが、通常は、水平方向に対向する位置にも静圧パッド２８が設けられ、移動方向に交差する水平方向の力の釣り合いと、移動方向に交差する鉛直軸線回りのモーメントの釣り合いとが図られるようになっている。 In addition, since a plurality of such a pair of upper and lower concave portions 29 are arranged at intervals in the moving direction of the moving body 22, moments around the horizontal axis intersecting the moving direction are also maintained in a balanced state. Therefore, the moving body 22 is floated from the base 21 and maintained in a horizontal state.
Although illustration is omitted for the sake of simplicity of explanation, normally, a static pressure pad 28 is also provided at a position opposite to the horizontal direction, and the balance of the horizontal force intersecting the movement direction and the movement direction The balance of moments around the vertical axis that intersects with can be balanced.

前記アクチュエータ２４は、例えば、リニアモータである。該アクチュエータ２４は、ベース２１に固定された略円柱状のシャフト３０と、該シャフト３０の周囲に配置されシャフト３０を貫通させる筒状の可動部材３１とを備えている。 The actuator 24 is, for example, a linear motor. The actuator 24 includes a substantially cylindrical shaft 30 fixed to the base 21, and a cylindrical movable member 31 that is disposed around the shaft 30 and penetrates the shaft 30.

シャフト３０は、ベース２１に取り付けられたブラケット３２に固定され、両持ち梁状に支持されている。
シャフト３０の内部には、長手方向に沿って複数のコイル（図示略）が配列されており、外部から電流を供給されることにより、シャフト３０の周囲に磁場を形成するようになっている。
また、可動部材３１の内部には、図示しないリング状の永久磁石が長手方向に沿って複数配列されている。 The shaft 30 is fixed to a bracket 32 attached to the base 21 and is supported in the form of a doubly supported beam.
A plurality of coils (not shown) are arranged inside the shaft 30 along the longitudinal direction, and a magnetic field is formed around the shaft 30 by supplying a current from the outside.
A plurality of ring-shaped permanent magnets (not shown) are arranged in the movable member 31 along the longitudinal direction.

これにより、シャフト３０内のコイルに供給する電流を制御して、発生する磁場の方向、強度等を調整することによって、可動部材３１内の永久磁石の磁場との間で牽引あるいは反発を生じさせ、これによって移動体２２にシャフト３０の長手方向に沿う駆動力を加えることができるようになっている。
すなわち、アクチュエータ２４は、シャフト３０と可動部材３１とを非接触の状態に保持し、両者間に機械的な摩擦等を発生させることなく、可動部材３１をシャフト３０の長手方向に沿って推進することができるようになっている。 As a result, the current supplied to the coil in the shaft 30 is controlled to adjust the direction and strength of the generated magnetic field, thereby causing traction or repulsion with the magnetic field of the permanent magnet in the movable member 31. As a result, a driving force along the longitudinal direction of the shaft 30 can be applied to the moving body 22.
That is, the actuator 24 holds the shaft 30 and the movable member 31 in a non-contact state, and propels the movable member 31 along the longitudinal direction of the shaft 30 without generating mechanical friction or the like between them. Be able to.

また、油圧供給機構２５は、図３および図４に示されるように、移動体２２の移動方向の両端においてベース２１に取り付けられた前記ブラケット３２に両持ち梁状に固定される中空ロッド３３と、移動体２２に設けられた油圧室３４とを備えている。中空ロッド３３は、一端に設けたフランジ部３３ａ側から長手方向の中央位置近傍まで中心軸線に沿って形成された内部空間３３ｂを備えている。また、中空ロッド３３の長手方向の中央位置近傍には、外面から内部空間まで連通する貫通孔３５が設けられている。 Further, as shown in FIGS. 3 and 4, the hydraulic pressure supply mechanism 25 includes a hollow rod 33 fixed to the bracket 32 attached to the base 21 at both ends in the moving direction of the moving body 22 in a doubly supported beam shape. And a hydraulic chamber 34 provided in the moving body 22. The hollow rod 33 includes an internal space 33b formed along the central axis from the flange 33a side provided at one end to the vicinity of the central position in the longitudinal direction. Further, a through hole 35 communicating from the outer surface to the inner space is provided in the vicinity of the center position in the longitudinal direction of the hollow rod 33.

油圧室３４は、移動体２２に形成された横断面円形の孔の両端をブッシュ３６により閉塞し、ブッシュ３６に設けた貫通孔３６ａに中空ロッド３３を貫通させることで、長手方向に沿って一定のリング状の横断面形状を有する円筒状の空間に形成されている。中空ロッド３３に設けた貫通孔３５により、中空ロッド３３の内部空間３３ｂと油圧室３４とが連絡している。 The hydraulic chamber 34 is fixed along the longitudinal direction by closing both ends of a hole having a circular cross section formed in the moving body 22 with a bush 36 and passing the hollow rod 33 through a through hole 36a provided in the bush 36. It is formed in a cylindrical space having a ring-shaped cross-sectional shape. The internal space 33 b of the hollow rod 33 and the hydraulic chamber 34 communicate with each other through a through hole 35 provided in the hollow rod 33.

移動体２２には、油圧室３４に接続する油圧取出孔３７が形成されている。移動体２２の上面にはマニホールド３８が固定され、該マニホールド３８に油圧取出孔３７が接続されている。
また、マニホールド３８は、前記静圧軸受２３を構成する各静圧パッド２８の凹部２９にも管路３９によって接続されている。さらに、マニホールド３８には、図示しない油圧機器への油圧供給管路４０も接続されている。 The movable body 22 is formed with a hydraulic outlet hole 37 connected to the hydraulic chamber 34. A manifold 38 is fixed to the upper surface of the moving body 22, and a hydraulic pressure take-out hole 37 is connected to the manifold 38.
The manifold 38 is also connected to a recess 29 of each hydrostatic pad 28 constituting the hydrostatic bearing 23 by a pipe 39. Further, the manifold 38 is also connected with a hydraulic pressure supply line 40 to a hydraulic device (not shown).

中空ロッド３３のフランジ部３３ａ側の一端に開口する内部空間３３ｂには、油圧源２６が接続されている。油圧源２６は、図示しない油圧ポンプ、オイルクーラー、オイルフィルタ等を備え、所定温度に温度調節された清浄なオイルＬを中空ロッド３３のフランジ部３３ａ側の一端から中空ロッド３３の内部空間３３ｂに供給することができるようになっている。これにより、油圧源２６から供給された油圧は、油圧供給機構４１を介してベース２１側から移動体２２側に供給され、マニホールド３８によって各静圧パッド２８の凹部２９および油圧機器に分配されるようになっている。 A hydraulic source 26 is connected to an internal space 33b that opens to one end of the hollow rod 33 on the flange portion 33a side. The hydraulic source 26 includes a hydraulic pump (not shown), an oil cooler, an oil filter, and the like, and clean oil L, the temperature of which is adjusted to a predetermined temperature, is passed from one end of the hollow rod 33 on the flange portion 33a side to the internal space 33b of the hollow rod 33. It can be supplied. As a result, the hydraulic pressure supplied from the hydraulic source 26 is supplied from the base 21 side to the moving body 22 side via the hydraulic pressure supply mechanism 41, and is distributed to the recesses 29 of the static pressure pads 28 and the hydraulic equipment by the manifold 38. It is like that.

このように構成された本実施形態に係る直線移動装置２０の作用について以下に説明する。
本実施形態に係る直線移動装置２０によれば、油圧源２６を作動させて、所定の油圧を中空ロッド３３の内部空間３３ｂに供給することにより、油圧が貫通孔３５を介して油圧室３４内に供給され、油圧取出孔３７およびマニホールド３８を介して、移動体２２に設けた静圧パッド２８および移動体２２上の各種油圧機器に供給されることになる。 The operation of the linear moving device 20 according to this embodiment configured as described above will be described below.
According to the linear movement device 20 according to the present embodiment, the hydraulic pressure source 26 is operated to supply a predetermined hydraulic pressure to the internal space 33 b of the hollow rod 33, so that the hydraulic pressure is within the hydraulic chamber 34 via the through hole 35. And is supplied to the hydrostatic pad 28 provided on the moving body 22 and various hydraulic devices on the moving body 22 through the hydraulic outlet hole 37 and the manifold 38.

この場合において、油圧室３４の側壁を構成するブッシュ３６には中空ロッド３３との間に微小隙間Ｓが形成されているために、供給されたオイルＬの一部が隙間Ｓから外部に漏洩することとなるが、隙間Ｓは十分に微小に構成されているので、油圧室３４内の油圧は大気解放されることなく一定の値に維持される。これにより、ベース２１と移動体２２との間に可動チューブや機械的な接触を設けることなく、ベース２１側から移動体２２側に油圧を供給することができる。 In this case, since a minute gap S is formed between the bush 36 constituting the side wall of the hydraulic chamber 34 and the hollow rod 33, a part of the supplied oil L leaks from the gap S to the outside. However, since the gap S is sufficiently small, the hydraulic pressure in the hydraulic chamber 34 is maintained at a constant value without being released to the atmosphere. Thereby, oil pressure can be supplied from the base 21 side to the moving body 22 side without providing a movable tube or mechanical contact between the base 21 and the moving body 22.

また、中空ロッド３３と油圧室３４とが接触しないので、図５に示されるように、ベース２１に対して移動体２２を水平方向に移動させても、油圧室３４内の容積は変動せず、したがって、油圧室３４内の圧力変動も生じないので、移動中も、移動後も、安定した油圧を供給し続けることができる。さらに、油圧室３４内の圧力変動が生じないので、移動体の移動を妨げる抵抗力は発生しないことになる。 Further, since the hollow rod 33 and the hydraulic chamber 34 do not come into contact with each other, as shown in FIG. 5, even if the moving body 22 is moved in the horizontal direction with respect to the base 21, the volume in the hydraulic chamber 34 does not change. Therefore, since the pressure fluctuation in the hydraulic chamber 34 does not occur, a stable hydraulic pressure can be continuously supplied during and after the movement. Furthermore, since the pressure fluctuation in the hydraulic chamber 34 does not occur, no resistance force that prevents the moving body from moving is generated.

また、油圧が静圧軸受２３の静圧パッド２８に供給されることにより、ベース２１に対して移動体２２が浮上した状態に保持される。
さらに、アクチュエータ２４としてリニアモータを採用しているので、シャフト３０と可動部材３１とを機械的に接触させることなく、シャフト３０から可動部材３１に対して推進力を与えることができる。 Further, when the hydraulic pressure is supplied to the hydrostatic pad 28 of the hydrostatic bearing 23, the moving body 22 is held in a state of floating with respect to the base 21.
Furthermore, since a linear motor is employed as the actuator 24, a propulsive force can be applied from the shaft 30 to the movable member 31 without mechanically contacting the shaft 30 and the movable member 31.

したがって、アクチュエータ２４を作動させることにより、静圧軸受２３によって浮上した状態に維持されている移動体２２が直線移動させられる。この場合に、移動体２２とベース２１との間には、可動チューブや他の機械的な接触が存在せず、油膜が介在させられているのみであるため、移動体２２は、その動きを何ら妨げられることなく円滑に直線移動させられ、アクチュエータ２４の制御により、極めて高い精度で位置決めされることになる。 Therefore, by actuating the actuator 24, the moving body 22 maintained in a floating state by the hydrostatic bearing 23 is linearly moved. In this case, there is no movable tube or other mechanical contact between the moving body 22 and the base 21, and only an oil film is interposed. The linear movement is smoothly performed without any interruption, and the actuator 24 is positioned with extremely high accuracy by the control of the actuator 24.

また、本実施形態に係る直線移動装置２０においては、図６および図７に示されるように、静圧軸受２３を構成する静圧パッド２８の凹部２９が、移動体２２側に設けられており、ベース２１側にはこれに対向する平坦面２７が設けられているのみである。このため、各凹部２９の大きさを小さくしても、ベース２１側の平坦面２７が存在している限り、移動体２２の位置にかかわらず静圧を発生させて、ベース２１に対し移動体２２を浮上した状態に支持することができる。したがって、移動体２２の動作範囲を長くすることができる。 Further, in the linear moving device 20 according to the present embodiment, as shown in FIGS. 6 and 7, the concave portion 29 of the static pressure pad 28 constituting the static pressure bearing 23 is provided on the moving body 22 side. The base 21 is only provided with a flat surface 27 facing the base 21. For this reason, even if the size of each concave portion 29 is reduced, as long as the flat surface 27 on the base 21 side exists, a static pressure is generated regardless of the position of the movable body 22, and 22 can be supported in a floating state. Therefore, the operation range of the moving body 22 can be extended.

また、本実施形態に係る直線移動装置２０によれば、単一の油圧源２６から供給した油圧をマニホールド３８において分配するので、静圧軸受２３用の油圧および油圧機器用の油圧を共通の油圧源２６から供給でき、部品点数の削減、コスト低減、装置の小型化等を図ることができる。
また、静圧軸受２３は、元々、移動体２２とベース２１との間に隙間をあけて、その隙間から漏れるオイルＬを許容しつつ凹部２９内における静圧を利用するものであるため、漏れたオイルＬを回収する回収手段（図示略）を設ける必要がある。本実施形態によれば、そのような静圧軸受２３を備える直線移動装置２０において、オイルＬの漏れを許容する油圧供給機構２５を採用しているので、オイルＬの回収手段を共用することができるという利点もある。 Further, according to the linear moving device 20 according to the present embodiment, the hydraulic pressure supplied from the single hydraulic source 26 is distributed in the manifold 38, so that the hydraulic pressure for the hydrostatic bearing 23 and the hydraulic pressure for the hydraulic equipment are the common hydraulic pressure. The power can be supplied from the source 26, and the number of parts, the cost, and the size of the apparatus can be reduced.
In addition, the static pressure bearing 23 originally uses a static pressure in the recess 29 while allowing a gap between the moving body 22 and the base 21 and allowing oil L to leak from the gap. It is necessary to provide recovery means (not shown) for recovering the oil L. According to the present embodiment, since the hydraulic pressure supply mechanism 25 that allows leakage of the oil L is employed in the linear moving device 20 including such a hydrostatic bearing 23, the oil L recovery means can be shared. There is also an advantage of being able to do it.

なお、本実施形態に係る直線移動装置２０においても、ベース２１側に中空ロッド３３を固定し、移動体２２側に油圧室３４を固定した油圧供給機構２５を備えることとしたが、これに代えて、ベース２１側に油圧室３４、移動体２２側に中空ロッド３３を固定して、油圧源２６から油圧室３４に油圧を供給することにしてもよい。 The linear movement device 20 according to the present embodiment also includes the hydraulic pressure supply mechanism 25 in which the hollow rod 33 is fixed on the base 21 side and the hydraulic chamber 34 is fixed on the movable body 22 side. Then, the hydraulic chamber 34 may be fixed to the base 21 side and the hollow rod 33 may be fixed to the moving body 22 side, and the hydraulic pressure may be supplied from the hydraulic source 26 to the hydraulic chamber 34.

また、静圧軸受２３を構成する静圧パッド２８を移動体２２の移動方向に間隔をあけて２カ所に設けることとしたが、これに代えて、３カ所以上設けることにしてもよい。
また、静圧パッド２８を移動体２２側に設けることにより上記効果を達成できるので好ましいが、これに限定されるものではなく、静圧パッド２８をベース２１側に設けることにしてもよいことは言うまでもない。 Moreover, although the hydrostatic pad 28 which comprises the hydrostatic bearing 23 was provided in two places at intervals in the moving direction of the moving body 22, it may replace with this and may provide three or more places.
Further, the above effect can be achieved by providing the static pressure pad 28 on the moving body 22 side. However, the present invention is not limited to this, and the static pressure pad 28 may be provided on the base 21 side. Needless to say.

本発明の一実施形態に係る油圧供給機構を示す縦断面図である。It is a longitudinal section showing a hydraulic pressure supply mechanism concerning one embodiment of the present invention. 図１の油圧供給機構において、移動体がベースに対して移動した状態を説明する縦断面図である。FIG. 2 is a longitudinal sectional view illustrating a state in which a moving body has moved relative to a base in the hydraulic pressure supply mechanism of FIG. 1. 本発明の一実施形態に係る直線移動装置を示す正面図である。It is a front view which shows the linear movement apparatus which concerns on one Embodiment of this invention. 図３の直線移動装置のＡ−Ａ断面を示す縦断面図である。It is a longitudinal cross-sectional view which shows the AA cross section of the linear movement apparatus of FIG. 図３の直線移動装置において、ベースに対して移動体が、図４の状態から水平方向に移動した状態を示す縦断面図である。5 is a longitudinal sectional view showing a state in which the moving body moves in the horizontal direction from the state of FIG. 4 with respect to the base in the linear moving device of FIG. 図３の直線移動装置のＢ−Ｂ断面を示す縦断面図である。It is a longitudinal cross-sectional view which shows the BB cross section of the linear moving apparatus of FIG. 図３の直線移動装置において、ベースに対して移動体が、図６の状態から水平方向に移動した状態を示す縦断面図である。7 is a longitudinal sectional view showing a state in which the moving body moves in the horizontal direction from the state of FIG. 6 with respect to the base in the linear moving device of FIG. 3.

Explanation of symbols

１，２５油圧供給機構（流体供給機構）
２，２０直線移動装置
３，２１ベース
４，２２移動体
６．３３中空ロッド
６ｂ，３３ｂ内部空間
７，３４油圧室（流体室）
８，３５貫通孔
９，４１油圧供給配管（流体供給配管）
１０，３６ブッシュ（側壁、壁面）
１０ａ，３６ａ貫通孔（ロッド挿通孔）
２３静圧軸受
２４リニアモータ（アクチュエータ）
２６油圧源（流体源）
２８静圧パッド
２９凹部
Ｌオイル
Ｓ隙間 1,25 Hydraulic supply mechanism (fluid supply mechanism)
2,20 Linear moving device 3,21 Base 4,22 Moving body 6.33 Hollow rod 6b, 33b Internal space 7, 34 Hydraulic chamber (fluid chamber)
8,35 Through hole 9,41 Hydraulic supply piping (fluid supply piping)
10,36 Bush (side wall, wall surface)
10a, 36a Through hole (rod insertion hole)
23 Hydrostatic bearing 24 Linear motor (actuator)
26 Hydraulic source (fluid source)
28 Static pressure pad 29 Recessed part L Oil S Gap

Claims

Base and
A moving body that is linearly moved with respect to the base;
A fluid supply mechanism for supplying oil from the base to the moving body;
A hydrostatic bearing that floats the moving body with respect to the base with the oil and supports the moving body so as to be linearly movable with respect to the base;
An actuator for linearly moving the movable body with respect to the base;
A common fluid source connected to the fluid supply mechanism and the hydrostatic bearing ;
An oil recovery part for recovering the oil leaking from the fluid supply mechanism and the oil leaking from the hydrostatic bearing ;
The fluid supply mechanism is a hollow rod fixed to either the base or the moving body and arranged along the moving direction of the moving body, and a fluid fixed to the other of the base or the moving body A room,
A pair of wall surfaces facing each other in the fluid chamber are provided with rod insertion holes that allow the hollow rod to pass therethrough in a radial direction,
The hollow rod is provided with a through hole that communicates the inside of the hollow rod and the surrounding fluid chamber,
A linear movement device in which a fluid supply pipe is connected to either the internal space of the hollow rod or the fluid chamber fixed to the base.

The linear movement device according to claim 1, wherein the actuator is a linear motor.

The hydrostatic bearing comprises a hydrostatic pad comprising a plurality of recesses provided on the surface of the movable body facing the base, and oil supplied into each recess and stored between the base and each recess. Configured,
The linear moving device according to claim 1 or 2, wherein either the internal space of the hollow rod or the fluid chamber fixed to the moving body side is connected to each recess.

The linear movement apparatus in any one of Claims 1-3 provided with the manifold which distributes the said oil supplied from the said fluid supply piping to the said several static pressure bearing.

A machine tool comprising the linear movement device according to any one of claims 1 to 4 .