JP4760082B2 - 発光装置、発光素子用蛍光体及びその製造方法 - Google Patents

Description

本発明は、発光素子と該発光素子の発する光の波長を変換する蛍光体を備える発光装置並びに発光素子用蛍光体及び該蛍光体の製造方法に関し、例えばＬＥＤやＬＤ等の半導体発光素子と、この半導体発光素子で発光された光の少なくとも一部を吸収すると共に、吸収した光とは異なる波長の光を発光する窒化物系蛍光体やその製造方法、該蛍光体を用いた発光装置に関する。

発光素子に半導体素子を用いた発光装置は、小型で電力効率が良く鮮やかな色の発光をする。また、半導体素子である発光素子は球切れ等の心配がない。さらに初期駆動特性が優れ、振動やオン・オフ点灯の繰り返しに強いという特徴を有する。このような優れた特性を有するため、発光ダイオード（ＬＥＤ）、レーザーダイオード（ＬＤ）等の半導体発光素子を用いる発光装置は、各種の光源として利用されている。

特に、ＧａＮ系化合物半導体を利用した高輝度の青色発光のＬＥＤが開発され、その輝度性を活用して白色発光の発光装置が実現されている。この白色発光の発光装置は、青色に発光する発光素子の周りを黄緑色に発光する蛍光物質を含む樹脂で被覆して、白色光を得るというものである。

発光素子の光の一部を蛍光体により波長変換し、波長変換された光と、波長変換されない発光素子の光とを混合等して放出することにより、発光素子の光と異なる発光色を発光する発光装置が開発されている。例えば、発光素子としてＩｎＧａＮ系材料を使った青色発光ダイオード（Light Emitting Diode、以下「ＬＥＤ」ともいう）を用い、その表面に（Ｙ，Ｇｄ）₃（Ａｌ，Ｇａ）₅Ｏ₁₂：Ｃｅの組成式で表されるＹＡＧ：Ｃｅ系蛍光体を含む、エポキシ樹脂等の透明性材料からなる蛍光部材をコーティングした白色ＬＥＤ発光装置が実用化されている。白色ＬＥＤ発光装置の発光色は、光の混色の原理によって得られる。発光素子から放出された青色光は、蛍光部材の中に入射した後、層内で吸収と散乱を繰り返した後、外部へ放出される。一方、蛍光体に吸収された青色光は励起源として働き、黄色もしくは黄緑色の光を発光する。この黄色光と青色光が混ぜ合わされて人間の目には白色として見える。このようなＬＥＤを用いたＬＥＤ発光装置は、小型で電力効率が高く鮮やかな色の発光をする。また、ＬＥＤは半導体素子であるために球切れなどの心配がない。更に初期駆動特性が優れ、オン・オフ点灯の繰り返しに強いという特長を有する。このような優れた特性を有するためＬＥＤ発光装置は各種の光源として利用されている。
特開２００２−２２３００８号公報

しかしながら、上記の白色に発光する発光装置は、可視光領域の長波長側の発光が得られ難いため、赤み成分が不足したやや青白い白色の発光装置となっていた。特に、点灯のディスプレイ用の照明や、医療現場用の照明などにおいては、やや赤みを帯びた暖色系の白色の発光装置が求められている。また、発光素子は電球と比べて、一般的に寿命が長く、人の目にやさしいため、電球色に近い白色の発光装置が強く求められている。

通常、赤みが増すと、発光装置の発光特性が低下する。人間の目が感じる色味は、波長が３８０ｎｍ〜７８０ｎｍ領域の電磁波に明るさの感覚を生じる。これを表す指標の１つとしては、視感度特性が挙げられる。視感度特性は山型になっており、５５０ｎｍがピークとなっている。赤み成分の領域である５８０ｎｍ〜６８０ｎｍ付近と５５０ｎｍ付近に同じ電磁波が入射してきた場合、赤み成分の波長域の方が暗く感じる。そのため、緑色、青色領域と同じ程度の明るさを感じるためには、赤色領域は、高密度の電磁波の入射が必要となる。

また、従来の赤色発光の蛍光体は、近紫外からの青色光励起による効率および耐久性が十分ではなく、更に高温になると急激に発光効率が低下するという問題があった。

本発明は、このような問題点を解決するためになされたものである。本発明の主な目的は耐熱性に優れた信頼性の高い発光装置、発光素子用蛍光体及びその製造方法を提供することにある。

以上の目的を達成するために本発明に係る発光装置は、発光素子と、発光素子の発する光の少なくとも一部を吸収し異なる波長に変換するよう、発光素子の周囲に配置された蛍光体とを備える発光装置であって、蛍光体が窒素を含有する窒化物系蛍光材料または酸窒化物系蛍光材料よりなり、かつ蛍光体の表面をリン酸アルミニウム、リン酸イットリウム、リン酸ランタンから選択されるいずれかのリン酸塩で処理している。また蛍光体は、３００℃の空気中で６５時間加熱した際の輝度の低下が４０％以内とできる。この構成により、窒化物や酸窒化物の蛍光体の酸化を防止し、蛍光体の劣化を抑制して長期にわたって安定した使用を可能とする。

この構成により、窒化物や酸窒化物の蛍光体の酸化を防止し、蛍光体の劣化を抑制して長期にわたって安定した使用を可能とする。

さらに、前記発光装置は、蛍光体が透光性樹脂に含有されて発光素子の周囲に配置されていることが好ましい。この構成により、透光性樹脂との界面での水分や酸化による蛍光体の劣化の抑止し、信頼性高く使用できる。

さらにまた、本発明に係る発光素子用蛍光体は、発光素子の発する光の少なくとも一部を吸収し異なる波長に変換するための発光素子用蛍光体であって、蛍光体が窒素を含有する窒化物系蛍光材料または酸窒化物系蛍光材料よりなり、かつ蛍光体の表面をリン酸アルミニウム、リン酸イットリウム、リン酸ランタンから選択されるいずれかのリン酸塩で処理している。また蛍光体は、３００℃の空気中で６５時間加熱した際の輝度の低下が４０％以内とできる。この構成により、窒化物や酸窒化物の蛍光体の酸化を防止し、蛍光体の劣化を抑制して長期にわたって安定した使用を可能とする。

この構成により、窒化物や酸窒化物の蛍光体の酸化を防止し、蛍光体の劣化を抑制して長期にわたって安定した使用を可能とする。

さらにまた、前記発光素子用蛍光体は、蛍光体が、Ｌ−Ｍ−Ｎ：Ｒ、Ｌ−Ｊ−Ｍ−Ｎ：Ｒ、またはＬ−Ｍ−Ｏ−Ｎ：Ｒ（ＬはＢｅ、Ｍｇ、Ｃａ、Ｓｒ、Ｂａ、Ｚｎからなる群より選ばれる１種以上を含有し、ＭはＣ、Ｓｉ、Ｇｅ、Ｓｎ、Ｔｉ、Ｚｒ、Ｈｆからなる群より選ばれる１種以上を含有し、ＪはＢ、Ａｌ、Ｇａ、Ｉｎ、Ｓｃからなる群より選ばれる１種類以上を含有し、Ｎは窒素、Ｏは酸素、Ｒは希土類元素である。）で表される窒化物系または酸窒化物系蛍光体である。

さらにまた、前記発光素子用蛍光体は、蛍光体が、Ｌ_xＭ_yＮ_{{(2/3)x+(4/3)y}}：Ｒ、Ｌ_xＪ_wＭ_yＮ_{{(2/3)x+w+(4/3)y}}：Ｒ、またはＬ_xＭ_yＯ_zＮ_{{(2/3)x+(4/3)y-(2/3)z}}：Ｒ（０．５≦ｘ≦３、０．５≦ｙ≦９、０．５≦ｗ≦５、０＜ｚ≦３；ＬはＢｅ、Ｍｇ、Ｃａ、Ｓｒ、Ｂａ、Ｚｎからなる群より選ばれる１種以上を含有し、ＭはＣ、Ｓｉ、Ｇｅ、Ｓｎ、Ｔｉ、Ｚｒ、Ｈｆからなる群より選ばれる１種以上を含有し、ＪはＢ、Ａｌ、Ｇａ、Ｉｎ、Ｓｃからなる群より選ばれる１種類以上を含有し、Ｎは窒素、Ｏは酸素、Ｒは希土類元素である。）で表され、かつ結晶構造を有する。

例えば、発光素子用蛍光体は、Ｃａ₂Ｓｉ₅Ｎ₈：Ｅｕ、Ｓｒ₂Ｓｉ₅Ｎ₈：Ｅｕ、（Ｓｒ_0.5Ｃａ_0.5）₂Ｓｒ₅Ｎ₈：Ｅｕ、Ｃａ₂Ｓｉ₅Ｏ_0.1Ｎ_7.9：Ｅｕ、Ｓｒ₂Ｓｉ₅Ｏ_0.1Ｎ_7.9：Ｅｕ、（Ｓｒ_0.5Ｃａ_0.5）₂Ｓｒ₅Ｏ_0.1Ｎ_7.9：Ｅｕ、ＢａＳｉ₂Ｏ₂Ｎ₂：Ｅｕ、ＳｒＳｉ₂Ｏ₂Ｎ₂：Ｅｕ、ＣａＳｉ₂Ｏ₂Ｎ₂：Ｅｕ、ＣａＡｌＳｉＮ₃：Ｅｕ、ＳｒＡｌＳｉＮ₃：Ｅｕ、（Ｃａ_0.5Ｓｒ_0.5）ＡｌＳｉＮ₃：Ｅｕ、ＣａＡｌＳｉＢ_xＮ_3+x：Ｅｕ、ＳｒＡｌＳｉＢ_xＮ_3+x：Ｅｕ、（Ｃａ_0.5Ｓｒ_0.5）ＡｌＳｉＢ_xＮ_3+x：Ｅｕ等で表され、かつ結晶構造を有する。

さらにまた、前記発光素子用蛍光体は、蛍光体の結晶構造が単斜晶または斜方晶である。また発光素子用蛍光体はＢ元素を含有してもよい。

また、本発明に係る発光素子用蛍光体の製造方法は、発光素子の発する光の少なくとも一部を吸収し異なる波長に変換するための発光素子用蛍光体の製造方法であって、リン酸またはリン酸塩を含有する溶液を、を窒素を含有する窒化物系蛍光材料または酸窒化物系蛍光材料よりなる蛍光体の表面に接触させる工程と、処理された蛍光体を、酸素を含まない雰囲気中で１００℃以上５００℃以下にて熱処理する工程とを有する。またリン酸塩は、リン酸アルミニウム、リン酸イットリウム、リン酸ランタンから選択されるいずれかとできる。これにより、窒化物や酸窒化物の蛍光体の酸化を防止し、蛍光体の劣化を抑制して長期にわたって安定した使用を可能とする。

さらに、前記発光素子用蛍光体の製造方法は、熱処理が、酸素を含まない雰囲気中で１００℃以上にて行われることが好ましい。これにより、リン含有化合物で処理された蛍光体を改質し、蛍光体をより緻密にして耐久性をさらに向上させることができる。

以上に述べたように、本発明の発光装置、発光素子用蛍光体及びその製造方法は、蛍光体の表面をリン含有化合物で処理することにより、蛍光体粒子表面にリン系化合物が付着し、熱酸化雰囲気での特性が改善された蛍光体を提供する。また、窒化物や酸窒化物の蛍光体は熱に対する安定性が高いため、青色発光ダイオード又は紫外線発光ダイオードを光源とする発光特性に極めて優れた白色の発光装置用の波長変換蛍光体として有効である。

以下、本発明の実施の形態を図面に基づいて説明する。ただし、以下に示す実施の形態は、本発明の技術思想を具体化するための発光装置、発光素子用蛍光体及びその製造方法を例示するものであって、本発明は発光装置、発光素子用蛍光体及びその製造方法を以下のものに特定しない。また、本明細書は特許請求の範囲に示される部材を、実施の形態の部材に特定するものでは決してない。特に実施の形態に記載されている構成部品の寸法、材質、形状、その相対的配置等は特に特定的な記載がない限りは、本発明の範囲をそれのみに限定する趣旨ではなく、単なる説明例にすぎない。なお、各図面が示す部材の大きさや位置関係等は、説明を明確にするため誇張していることがある。さらに以下の説明において、同一の名称、符号については同一もしくは同質の部材を示しており、詳細説明を適宜省略する。さらに、本発明を構成する各要素は、複数の要素を同一の部材で構成して一の部材で複数の要素を兼用する態様としてもよいし、逆に一の部材の機能を複数の部材で分担して実現することもできる。
（発光装置）

本発明の実施の形態１に係る発光装置を図１に示す。図１（ａ）は発光装置の平面図を、図１（ｂ）は模式断面図を、それぞれ示している。半導体発光装置は、パッケージ１中央の凹部に半導体発光素子２を取り付け、半導体発光素子２の電極とパッケージ１の電極はワイヤ４で接続されている。パッケージ１中央の凹部には、蛍光体を分散させたバインダーを所定の量だけ封入し、蛍光体層３を形成している。半導体発光素子２の発光は一部は蛍光体層３を透過し、一部は蛍光体層３によってより長波長の光に変換され、透過光と変換光が合わされて半導体発光装置の発光となる。蛍光体層３の調整により、白色を初めとする種々の色度の半導体発光装置が形成される。

また、図２に本発明の実施の形態２に係る発光装置の模式断面図を示す。この図に示す発光装置は、蛍光体層３Ｂをパッケージ１Ｂの凹部全体に充填せず、半導体発光素子２Ｂの周囲のみを被覆するように配置している。これにより、半導体発光素子２Ｂの周囲で蛍光体をほぼ均一に配置して波長変換のむらを低減し、配光色度ムラを抑制できる。半導体発光素子２Ｂの電極とパッケージ１Ｂの電極は、図１（ｂ）と同様にワイヤ４Ｂで接続される。

さらにまた、図３に本発明の実施の形態３に係る発光装置の模式断面図を示す。この図に示す発光装置は、発光素子１０と、窒化物系蛍光体と、窒化物系蛍光体を含む透光性材料からなる蛍光部材１１とを備える。この図に示す発光素子１０はＬＥＤであり、マウントリード１３ａ上部に配置されたカップのほぼ中央部にダイボンドすることで載置される。発光素子１０に形成された電極は、導電性ワイヤ１４によってリードフレーム１３のマウントリード１３ａおよびインナーリード１３ｂに導電接続される。発光素子１０において発光された光の少なくとも一部を吸収するとともに、吸収した光とは異なる波長の光を発光する窒化物系蛍光材料およびＮ元素を含有するとともに、窒化物系蛍光材料を被覆する被覆材料とから構成される窒化物系蛍光体を、透光性材料に含む蛍光部材１１が、発光素子１０が載置されたカップに配置される。このように発光素子１０および蛍光部材１１を配置したリードフレーム１３が、ＬＥＤチップや蛍光物質を外部応力、水分および塵芥などから保護する目的でモールド部材１５によってモールドされ、発光装置が構成される。また発光素子１０は、上述した第１の実施の形態に用いた発光素子と同じタイプが使用できる。
（発光素子）
本明細書において発光素子とは、ＬＥＤ、ＬＤ等の半導体発光素子の他、真空放電による発光、熱発光からの発光を得るための素子も含む。例えば真空放電による紫外線等も発光素子として使用できる。本発明の第１の実施の形態においては、発光素子として波長が５５０ｎｍ以下、好ましくは４６０ｎｍ以下、更に好ましくは４１０ｎｍ以下の発光素子を利用する。例えば紫外光として２５０ｎｍ〜３６５ｎｍの波長の光を発する紫外光ＬＥＤや、波長２５３．７ｎｍの高圧水銀灯を利用できる。特に、後述するように本発明の第１の実施の形態では蛍光体の耐久性が向上されるため、出力の高いパワー系発光素子にも利用できるという利点がある。

ＬＥＤやＬＤを構成する各半導体層としては、種々の窒化物半導体を用いることができる。具体的には、有機金属気相成長法（ＭＯＣＶＤ）、ハイドライド気相成長法（ＨＶＰＥ）などにより基板上にＩｎ_XＡｌ_YＧａ_1-X-YＮ（０≦Ｘ、０≦Ｙ、Ｘ＋Ｙ≦１）等の半導体を複数形成させたものが好適に用いられる。また、その層構造としては、ＭＩＳ接合、ＰＩＮ接合やＰＮ接合を有したホモ構造、ヘテロ構造あるいはダブルへテロ構成のものが挙げられる。また、各層を超格子構造としたり、活性層を量子効果が生ずる薄膜に形成させた単一量子井戸構造や多重量子井戸構造とすることもできる。

ＬＥＤは、一般的には、特定の基板上に各半導体層を成長させて形成されるが、その際、基板としてサファイア等の絶縁性基板を用いその絶縁性基板を最終的に取り除かない場合、通常、ｐ側電極およびｎ側電極はいずれも半導体層上の同一面側に形成されることになる。この場合、フェイスアップ実装、すなわち半導体層側を視認側に配置し、発光された光を半導体層側から取り出すことも可能であるし、あるいは実施の形態４として図４に示すようにフェイスダウン実装、すなわち基板側を視認側に配置し、発光された光を基板側から取り出すことも可能である。もちろん、最終的に基板を除去した上で、フェイスアップ実装或いはフェイスダウン実装することもできる。なお、基板はサファイアに限定されず、スピネル、ＳｉＣ、ＧａＮ、ＧａＡｓ等、公知の部材を用いることができる。
（フェイスダウン実装）

フェイスダウン実装はフリップチップ実装とも呼ばれ、同一面側に正負両電極が設けられている半導体発光素子チップの電極形成面を支持基板等の導電パターンに対向させ、バンプなどの導電性部材を介して接合する実装方法である。したがってフリップチップ型の発光素子は、支持基板と接続する面に電極を形成している。図４に、半導体発光素子２Ｃをフリップチップ実装したパッケージ１Ｃの概略断面図を示す。この例において１Ｃはサブマウント部材を示しており、半導体発光素子２Ｃをサブマウント部材のリード電極上にフェイスダウン実装させた状態で、半導体発光素子２Ｃの上面及び側面は、蛍光物質を含む蛍光含有樹脂である蛍光体層３Ｃで被覆される。また半導体発光素子２Ｃは、サブマウント部材に設けられたリード電極をワイヤで、もしくはバンプを介して直接支持基板と電気的に接続される。なおサブマウント部材は、半導体発光素子を順方向・逆方向の過電圧から保護するための保護素子の機能を備えることもできる。またサブマウント部材を用いず、直接支持基板に半導体素子を実装することもできる。

次に発光素子として、ＩＩＩ属窒化物系半導体発光素子を使用する例を説明する。発光素子は、例えばサファイア基板上にＧａＮバッファ層を介して、Ｓｉがアンドープ又はＳｉ濃度が低い第１のｎ型ＧａＮ層、Ｓｉがドープされ又はＳｉ濃度が第１のｎ型ＧａＮ層よりも高いｎ型ＧａＮからなるｎ型コンタクト層、アンドープ又はＳｉ濃度がｎ型コンタクト層よりも低い第２のＧａＮ層、多重量子井戸構造の発光層（ＧａＮ障壁層／ＩｎＧａＮ井戸層の量子井戸構造）、Ｍｇがドープされたｐ型ＧａＮからなるｐ型ＧａＮからなるｐクラッド層、Ｍｇがドープされたｐ型ＧａＮからなるｐ型コンタクト層が順次積層された積層構造を有し、以下のように電極が形成されている。ただ、この構成と異なる発光素子も使用できることはいうまでもない。ｐオーミック電極は、ｐ型コンタクト層上のほぼ全面に形成され、そのｐオーミック電極上の一部にｐパッド電極が形成される。また、ｎ電極は、エッチングによりｐ型コンタクト層から第１のＧａＮ層を除去してｎ型コンタクト層の一部を露出させ、その露出された部分に形成される。なお、第１の実施の形態では多重量子井戸構造の発光層を用いたが、本発明はこれに限定されるものではなく、例えばＩｎＧａＮを利用した単一量子井戸構造や多重量子井戸構造としてもよいし、Ｓｉ、Ｚｎ等がドープされたＧａＮを利用してもよい。

また、発光素子の発光層は、Ｉｎの含有量を変化させることにより、４２０ｎｍから４９０ｎｍの範囲において主発光ピークを変更することができる。また、発光波長は、上記範囲に限定されるものではなく、３６０〜５５０ｎｍに発光波長を有しているものを使用することができる。特に、本発明の発光装置を紫外光ＬＥＤ発光装置に適用した場合、励起光の吸収変換効率を高めることができ、透過紫外光を低減することができる。
（蛍光体）
上記の実施の形態で使用される蛍光体は、発光素子から放出された可視光や紫外光を他の発光波長に変換する。吸収光の波長より長波長の光を放出する波長変換材料として蛍光体を使用し、発光素子の発光と蛍光体の変換光の混色により所望の光を外部に放出させることができる。蛍光体は透光性を備えており、例えばＬＥＤの半導体発光層から発光された光で励起されて発光する。好ましい蛍光体としては、ユーロピウムが附括されたＹＡＧ系、銀とアルミニウムによって共附括された硫化亜鉛、アルカリ土類窒化珪素蛍光体等のナイトライド系、アルカリ土類酸化窒化珪素蛍光体等のオキシナイトライド系の蛍光体が利用できる。また紫外光により励起されて所定の色の光を発生する蛍光体を用いてもよい。

窒化物系の蛍光体は選択的に酸素を含有し、例えばＬ−Ｍ−Ｎ：Ｒ、Ｌ−Ｊ−Ｍ−Ｎ：Ｒ、あるいはＬ−Ｍ−Ｏ−Ｎ：Ｒ（ＬはＢｅ、Ｍｇ、Ｃａ、Ｓｒ、Ｂａ、Ｚｎからなる群より選ばれる１種以上であり、ＭはＣ、Ｓｉ、Ｇｅ、Ｓｎ、Ｔｉ、Ｚｒ、Ｈｆからなる群より選ばれる１種以上であり、ＪはＢ、Ａｌ、Ｇａ、Ｉｎ、Ｓｃからなる群より選ばれる１種類以上を含有し、かつＮは窒素、Ｏは酸素であって、Ｒは希土類元素である）で簡易的に表される。

また蛍光体には、Ｎを含み、Ｏを選択的に含み、かつＢｅ、Ｍｇ、Ｃａ、Ｓｒ、ＢａおよびＺｎから選択された少なくとも１つの元素と、Ｃ、Ｓｉ、Ｇｅ、Ｓｎ、Ｔｉ、ＺｒおよびＨｆから選択された少なくとも１の元素とを含み、Ｅｕおよび／または希土類元素で付活された窒化物系蛍光体が好適に使用される。さらに蛍光体はＢ、Ａｌ、Ｇａ、Ｉｎ、Ｓｃを含んでいてもよい。すなわち、簡易的にＬ−Ｍ−Ｎ：Ｒ、Ｌ−Ｊ−Ｍ−Ｎ：Ｒ、またはＬ−Ｍ−Ｏ−Ｎ：Ｒで構成元素が表される結晶質の蛍光体である。結晶構造は、例えば、Ｃａ₂Ｓｉ₅Ｎ₈は単斜晶、Ｓｒ₂Ｓｉ₅Ｎ₈、（Ｓｒ_0.5Ｃａ_0.5）₂Ｓｒ₅Ｎ₈は斜方晶、Ｂａ₂Ｓｉ₅Ｎ₈は単斜晶をとる。またＣａＡｌＳｉＮ₃：Ｅｕは斜方晶、ＢａＳｉ₂Ｏ₂Ｎ₂：Ｅｕ、ＳｒＳｉ₂Ｏ₂Ｎ₂：Ｅｕ、ＣａＳｉ₂Ｏ₂Ｎ₂：Ｅｕ、は斜方晶をとる。

より詳しくは、一般的にＬ_xＭ_yＮ_{{(2/3)x+(4/3)y}}：Ｒ、Ｌ_xＪ_wＭ_yＮ_{{(2/3)x+w+(4/3)y}}：Ｒ、またはＬ_xＭ_yＯ_zＮ_{{(2/3)x+(4/3)y-(2/3)z}}：Ｒで表され、ＬはＢｅ、Ｍｇ、Ｃａ、Ｓｒ、Ｂａ、Ｚｎからなる群より選ばれる１種以上であり、ＭはＣ、Ｓｉ、Ｇｅ、Ｓｎ、Ｔｉ、Ｚｒ、Ｈｆからなる群より選ばれる１種以上であり、ＪはＢ、Ａｌ、Ｇａ、Ｉｎ、Ｓｃからなる群より選ばれる１種類以上であり、かつＮは窒素、Ｏは酸素であって、Ｒは希土類元素で表される蛍光体であって、さらにその組成中にはＥｕの他、Ｍｇ、Ｂ、Ｍｎ、Ｃｒ、Ｎｉ等を含んでもよい。

さらにこの蛍光体は、その組成中６０％以上、好ましくは８０％以上が結晶質となっている。一般的にはｘ＝２、ｙ＝５またはｘ＝１、ｙ＝７、あるいはｘ＝１、ｙ＝１、ｗ＝１またはｘ＝１、ｙ＝２、ｚ＝２であることが望ましいが、任意の値が使用できる。

微量の添加物中、Ｂなどは発光特性を減ずることなく結晶性を上げることが可能であり、またＭｎ、Ｃｕなども同様な効果を示す。またＬａ、Ｐｒなども発光特性を改良する効果がある。その他Ｍｇ、Ｃｒ、Ｎｉなどは残光を短くする効果があり、適宜使用される。その他、本明細書に示されていない元素であっても、１０〜１０００ｐｐｍ程度ならば、輝度を著しく減ずることなく添加できる。

Ｒに含まれる希土類元素は、Ｙ、Ｌａ、Ｃｅ、Ｐｒ、Ｎｄ、Ｇｄ、Ｔｂ、Ｄｙ、Ｈｏ、Ｅｒ、Ｌｕのうち１種以上が含有されていることが好ましいが、Ｓｃ、Ｓｍ、Ｔｍ、Ｙｂが含有されていてもよい。また上記元素以外にも、Ｂ、Ｍｎ等は輝度を改善する効果があり、含有されていてもよい。これらの希土類元素は、単体の他、酸化物、イミド、アミド等の状態で原料中に混合する。希土類元素は、主に安定な３価の電子配置を有するが、Ｙｂ、Ｓｍ等は２価、Ｃｅ、Ｐｒ、Ｔｂ等は４価の電子配置も有する。酸化物の希土類元素を用いた場合、酸素の関与が蛍光体の発光特性に影響を及ぼす。つまり酸素を含有することにより発光輝度の低下を生じる場合もある。ただしＭｎを用いた場合は、ＭｎとＯとのフラックス効果により粒径を大きくし、発光輝度の向上を図ることができる。

発光中心として希土類元素であるユウロピウムＥｕを好適に用いる。ユウロピウムは、主に２価と３価のエネルギー準位を持つ。本発明の蛍光体は、母体のアルカリ土類金属系窒化ケイ素に対して、Ｅｕ²⁺を付活剤として用いる。Ｅｕ²⁺は、酸化されやすく、３価のＥｕ₂Ｏ₃の組成で通常使用されている。しかし、このＥｕ₂Ｏ₃ではＯの関与が大きく、良好な蛍光体が得られにくい。そのため、Ｅｕ₂Ｏ₃からＯを、系外へ除去したものを使用することがより好ましい。例えば、ユウロピウム単体、窒化ユウロピウムを用いることが好ましい。但し、Ｍｎを添加した場合は、その限りではない。

具体的に基本構成元素の例を挙げると、Ｅｕ、Ｂが添加されたＣａ₂Ｓｉ₅Ｎ₈：Ｅｕ、Ｓｒ₂Ｓｉ₅Ｎ₈：Ｅｕ、（Ｓｒ_0.5Ｃａ_0.5）₂Ｓｒ₅Ｎ₈：Ｅｕ、Ｃａ₂Ｓｉ₅Ｏ_0.1Ｎ_7.9：Ｅｕ、Ｓｒ₂Ｓｉ₅Ｏ_0.1Ｎ_7.9：Ｅｕ、（Ｃａ_aＳｒ_1-a）₂Ｓｉ₅Ｏ_0.1Ｎ_7.9：Ｅｕ、ＢａＳｉ₂Ｏ₂Ｎ₂：Ｅｕ、ＣａＳｉ₂Ｏ₂Ｎ₂：Ｅｕ、さらには希土類が添加されたＣａ₂Ｓｉ₅Ｏ_0.3Ｎ_7.8：Ｅｕ、Ｓｒ₂Ｓｉ₅Ｏ_0.3Ｎ_7.8：Ｅｕ、（Ｃａ_aＳｒ_1-a）₂Ｓｉ₅Ｏ_0.1Ｎ_7.9：Ｅｕ、さらにＣａＡｌＳｉＮ₃：Ｅｕ、ＳｒＡｌＳｉＮ₃：Ｅｕ、（Ｃａ_0.5Ｓｒ_0.5）ＡｌＳｉＮ₃：Ｅｕ、ＣａＡｌＳｉＢ_xＮ_3+x：Ｅｕ、ＳｒＡｌＳｉＢ_xＮ_3+x：Ｅｕ、（Ｃａ_0.5Ｓｒ_0.5）ＡｌＳｉＢ_xＮ₃：Ｅｕ等がある。

さらにＳｒ₂Ｓｉ₅Ｎ₈：Ｅｕ，Ｐｒ、Ｂａ₂Ｓｉ₅Ｎ₈：Ｅｕ，Ｐｒ、Ｍｇ₂Ｓｉ₅Ｎ₈：Ｅｕ，Ｐｒ、Ｚｎ₂Ｓｉ₅Ｎ₈：Ｅｕ，Ｐｒ、ＳｒＳｉ₇Ｎ₁₀：Ｅｕ，Ｐｒ、ＢａＳｉ₇Ｎ₁₀：Ｅｕ，Ｃｅ、ＭｇＳｉ₇Ｎ₁₀：Ｅｕ，Ｃｅ、ＺｎＳｉ₇Ｎ₁₀：Ｅｕ，Ｃｅ、Ｓｒ₂Ｇｅ₅Ｎ₈：Ｅｕ，Ｃｅ、Ｂａ₂Ｇｅ₅Ｎ₈：Ｅｕ，Ｐｒ、Ｍｇ₂Ｇｅ₅Ｎ₈：Ｅｕ，Ｐｒ、Ｚｎ₂Ｇｅ₅Ｎ₈：Ｅｕ，Ｐｒ、ＳｒＧｅ₇Ｎ₁₀：Ｅｕ，Ｃｅ、ＢａＧｅ₇Ｎ₁₀：Ｅｕ，Ｐｒ、ＭｇＧｅ₇Ｎ₁₀：Ｅｕ，Ｐｒ、ＺｎＧｅ₇Ｎ₁₀：Ｅｕ，Ｃｅ、Ｓｒ_1.8Ｃａ_0.2Ｓｉ₅Ｎ₈：Ｅｕ，Ｐｒ、Ｂａ_1.8Ｃａ_0.2Ｓｉ₅Ｎ₈：Ｅｕ，Ｃｅ、Ｍｇ_1.8Ｃａ_0.2Ｓｉ₅Ｎ₈：Ｅｕ，Ｐｒ、Ｚｎ_1.8Ｃａ_0.2Ｓｉ₅Ｎ₈：Ｅｕ，Ｃｅ、Ｓｒ_0.8Ｃａ_0.2Ｓｉ₇Ｎ₁₀：Ｅｕ，Ｌａ、Ｂａ_0.8Ｃａ_0.2Ｓｉ₇Ｎ₁₀：Ｅｕ，Ｌａ、Ｍｇ_0.8Ｃａ_0.2Ｓｉ₇Ｎ₁₀：Ｅｕ，Ｎｄ、Ｚｎ_0.8Ｃａ_0.2Ｓｉ₇Ｎ₁₀：Ｅｕ，Ｎｄ、Ｓｒ_0.8Ｃａ_0.2Ｇｅ₇Ｎ₁₀：Ｅｕ，Ｔｂ、Ｂａ_0.8Ｃａ_0.2Ｇｅ₇Ｎ₁₀：Ｅｕ，Ｔｂ、Ｍｇ_0.8Ｃａ_0.2Ｇｅ₇Ｎ₁₀：Ｅｕ，Ｐｒ、Ｚｎ_0.8Ｃａ_0.2Ｇｅ₇Ｎ₁₀：Ｅｕ，Ｐｒ、Ｓｒ_0.8Ｃａ_0.2Ｓｉ₆ＧｅＮ₁₀：Ｅｕ，Ｐｒ、Ｂａ_0.8Ｃａ_0.2Ｓｉ₆ＧｅＮ₁₀：Ｅｕ，Ｐｒ、Ｍｇ_0.8Ｃａ_0.2Ｓｉ₆ＧｅＮ₁₀：Ｅｕ，Ｙ、Ｚｎ_0.8Ｃａ_0.2Ｓｉ₆ＧｅＮ₁₀：Ｅｕ，Ｙ、Ｓｒ₂Ｓｉ₅Ｎ₈：Ｐｒ、Ｂａ₂Ｓｉ₅Ｎ₈：Ｐｒ、Ｓｒ₂Ｓｉ₅Ｎ₈：Ｔｂ、ＢａＧｅ₇Ｎ₁₀：Ｃｅなどが製造できるが、これに限定されない。同様に、これらの一般式で記載された蛍光体に、所望に応じて第３成分、第４成分、第５成分等適宜、好適な元素を含有させることも当然考えられるものである。

以上説明した窒化物系蛍光体は、発光素子によって発光された青色光の一部を吸収して黄色から赤色領域の光を発光する。この蛍光体を上記の構成を有する発光装置に使用して、発光素子により発光された青色光と、蛍光体の赤色光とが混色により暖色系の白色に発光する発光装置を提供することができる。特に白色発光装置においては、窒化物系蛍光体と、希土類アルミン酸塩蛍光体であるセリウムで付活されたイットリウム・アルミニウム酸化物蛍光物質が含有されていることが好ましい。前記イットリウム・アルミニウム酸化物蛍光物質を含有することにより、所望の色度に調節することができるからである。セリウムで付活されたイットリウム・アルミニウム酸化物蛍光物質は、発光素子により発光された青色光の一部を吸収して黄色領域の光を発光することができる。ここで、発光素子により発光された青色系光と、イットリウム・アルミニウム酸化物蛍光物質の発色光とが混色により青白い白色に発光することができる。したがって、このイットリウム・アルミニウム酸化物蛍光物質と前記蛍光体とを透光性部材と一緒に混合した蛍光体と、発光素子により発光された青色光とを組み合わせることにより暖色系の白色の発光装置を提供することができる。この暖色系の白色の発光装置は、平均演色評価数Ｒａが７５乃至９５であり色温度が２０００乃至８０００Ｋとすることができる。特に好ましいのは、平均演色評価数Ｒａが高く、色温度が色度図における黒体放射の軌跡上に位置する白色の発光装置である。但し、所望の色温度および平均演色評価数の発光装置を提供するため、イットリウム・アルミニウム酸化物蛍光物質および蛍光体の配合量や各蛍光体の組成比を、適宜変更することもできる。この暖色系の白色の発光装置は、特に特殊演色評価数Ｒ９の改善を図っている。従来の青色発光素子とセリウムで付括されたイットリウム・アルミニウム酸化物蛍光物質との組合せの白色に発光する発光装置は、特殊演色評価数Ｒ９が低く、赤み成分が不足していた。そのため特殊演色評価数Ｒ９を高めることが解決課題となっていたが、本発明に係る蛍光体をセリウムで付活されたイットリウム・アルミニウム酸化物蛍光物質中に含有することにより、特殊演色評価数Ｒ９を４０乃至７０まで高めることができる。

蛍光体は、平均粒径が３μｍ以上、好ましくは５μｍ〜１５μｍとする。微細な蛍光体は分級などの手段で分別し排除し、粒径が２μｍ以下の粒径の粒子は体積分布で１０％以下となるようにする。これによって発光輝度の向上を図ることができるとともに、２μｍ以下の粒径の粒子数を低減することによって光の配向方向の色度ばらつきを低減することができる。
（蛍光含有樹脂）

蛍光体を波長変換部材として蛍光含有樹脂に混入し、波長変換層を構成する。蛍光含有樹脂には熱硬化性樹脂が利用できる。蛍光体は、蛍光含有樹脂中にほぼ均一の割合で混合されていることが好ましい。ただ、蛍光物質が部分的に偏在するように配合することもできる。例えば、蛍光含有樹脂の外面側に蛍光体が多く含まれるよう偏在させ、発光素子と蛍光含有樹脂との接触面から離間させることにより、発光素子で発生した熱が蛍光体に伝達し難くして蛍光体の劣化を抑制できる。蛍光含有樹脂は、シリコーン樹脂組成物、変性シリコーン樹脂組成物等を使用することが好ましいが、エポキシ樹脂組成物、変性エポキシ樹脂組成物、アクリル樹脂組成物等の透光性を有する絶縁樹脂組成物を用いることもできる。また蛍光含有樹脂中には、顔料、拡散剤等を混入することもできる。

蛍光含有樹脂は、硬化後でも軟質であることが好ましい。硬化前は、発光素子の周囲に蛍光含有樹脂を行き渡らせ、かつ、フェイスダウン実装させる発光素子とリード電極とを電気的に接続する部分以外の隙間部分へ蛍光含有樹脂を浸入させるため、粘度の低い液状のものが好ましい。また蛍光含有樹脂は、接着性を有していることが好ましい。蛍光含有樹脂に接着性を持たせることにより、発光素子と台座との固着性を高めることができる。接着性は、常温で接着性を示すものだけでなく、蛍光含有樹脂に所定の熱と圧力を加えることにより接着するものも含む。また蛍光含有樹脂は、固着強度を高めるために温度や圧力を加えたり乾燥させたりすることもできる。
（拡散剤）

さらに、蛍光含有樹脂中に蛍光体の他に拡散剤を含有させてもよい。具体的な拡散剤としては、チタン酸バリウム、酸化チタン、酸化アルミニウム、酸化珪素等が好適に用いられる。これによって良好な指向特性を有する発光装置が得られる。

ここで本明細書において拡散剤とは、中心粒径が１ｎｍ以上５μｍ未満のものをいう。１μｍ以上５μｍ未満の拡散剤は、発光素子及び蛍光体からの光を良好に乱反射させ、大きな粒径の蛍光物質を用いることによって生じやすい色ムラを抑制することができるので、好適に使用できる。また、発光スペクトルの半値幅を狭めることができ、色純度の高い発光装置が得られる。一方、１ｎｍ以上１μｍ未満の拡散剤は、発光素子からの光波長に対する干渉効果が低い反面、透明度が高く、光度を低下させることなく樹脂粘度を高めることができる。
（フィラー）

さらに、蛍光含有樹脂中に蛍光体の他にフィラーを含有させてもよい。具体的な材料としては、拡散剤と同様のものが使用できる。ただ、拡散剤とフィラーとは中心粒径が異なり、本明細書においてはフィラーの中心粒径は５μｍ以上１００μｍ以下とすることが好ましい。このような粒径のフィラーを透光性樹脂中に含有させると、光散乱作用により発光装置の色度バラツキが改善される他、透光性樹脂の耐熱衝撃性を高めることができる。これにより、高温下での使用においても、発光素子と外部電極とを電気的に接続しているワイヤの断線や発光素子底面とパッケージの凹部底面と剥離等を防止可能な信頼性の高い発光装置とできる。さらには樹脂の流動性を長時間一定に調整することが可能となり、所望とする場所内に封止部材を形成することができ歩留まり良く量産することが可能となる。
（リン酸処理）

窒化物蛍光体又は酸窒化物蛍光体にリンを含む化合物によって処理されることで熱酸化雰囲気（ベーク）による劣化が改善され、発光特性の低下が防ぐことができる。蛍光体を発光素子と組み合わせて使用する場合は、蛍光体が発光素子の強い光に晒されて劣化するという問題があった。特にＬＥＤなどの半導体発光素子の近傍に透光性樹脂などを介して配置された蛍光体は、その蛍光体粒子表面が強い光に晒されるため酸化が進行する。本発明者等はこの問題を解決するた様々な方法を検討した結果、窒化物蛍光体や酸窒化物蛍光体の粒子をリン含有化合物の溶液で処理し、蛍光体の粒子表面にリン系化合物が付着することで耐久性、特に熱酸化雰囲気での特性を改善できることを見出した。すなわち、窒化物又は酸窒化物蛍光体の粒子表面をリン含有化合物の溶液で処理することにより、蛍光体表面を保護し、蛍光体の耐久性を向上させることができる。これにより蛍光体を耐熱性を改善できる。

リン含有化合物の溶液で処理する工程においては、窒化物蛍光体のスラリーにリン酸と反応が可能であり、硝酸塩、塩化物、硫酸塩等の水溶性を有するマグネシウム化合物、カルシウム化合物、ストロンチウム化合物、バリウム化合物、亜鉛化合物、ホウ素化合物、アルミニウム化合物、ガリウム化合物、インジウム化合物、スカンジウム化合物、イットリウム化合物、ランタン化合物、希土類系化合物（Ｃｅ，Ｐｒ，Ｎｄ，Ｓｍ，Ｅｕ，Ｇｄ，Ｔｂ，Ｄｙ，Ｈｏ，Ｅｒ，Ｔｍ，Ｙｂ，Ｌｕ）、アンチモン化合物、ビスマス化合物等を１種、あるいは複数を同時に加えておき、窒化物蛍光体の粒子表面にリン酸塩を形成させる。さらにリン含有化合物の溶液で処理する工程においては、窒化物蛍光体あるいは酸窒化物蛍光体の粒子表面にリン酸塩を形成させるために、窒化物蛍光体のスラリーのｐＨを調整することも可能である。またリンの含有量は、好ましくは窒化物蛍光体１００重量部に対してＰ（リン）を０．０００１〜２０重量部含有させる。０．０００１重量部よりも少ないと効果が少なく、逆に２０重量部よりも多いと蛍光体の発光特性が低下する。

窒化物蛍光体又は酸窒化物蛍光体にリンを含む化合物が形成された後は、一般的な分離方法により、粉末を回収する。回収した蛍光体粉末は、水分を蒸発させるために乾燥させる。乾燥は室温で行うこともできるが、より確実な乾燥を行うために、窒化物蛍光体又は酸窒化物蛍光体が大気で酸化されない程度に熱を加えて乾燥させることが好ましい。なお従来は、乾燥工程は大気中で行われており、温度条件によっては蛍光体自身が酸化劣化してしまうことがあった。そこで本実施の形態においては酸化による劣化を防ぐために、窒素雰囲気などの酸素を含まない還元雰囲気中で熱処理を行う。これにより処理されたリン含有化合物の状態を改質することができる。熱処理の温度は、好ましくは１００℃〜５００℃、より好ましくは２００℃〜４００℃とする。これにより、蛍光体から水分を確実に除去できると共に、熱処理の際に酸化されて劣化されることを回避できる。

得られた蛍光体を水中に懸濁させた後、リン酸またはリン酸塩等の水溶液を加えて処理液とする。この処理液を攪拌するとリン酸カルシウム等の化合物が蛍光体粒子表面に形成される。リン含有化合物で処理された蛍光体は、その後の工程の乾燥工程で水分を除去する。蛍光体に含まれるアルカリ土類等の成分とリン酸イオンの反応により蛍光体粒子表面にリン含有化合物が形成される。

蛍光体に処理されるリン含有化合物の処理液を攪拌しながら、マグネシウム化合物、カルシウム化合物等の水溶液を加えて、蛍光体粒子表面に処理化合物を形成することもできる。各種金属塩の溶液を用いることにより、様々な種類のリン含有化合物を蛍光体粒子表面に形成させることも可能である。

蛍光体に処理されるリン含有化合物の処理液を攪拌しながら、ｐＨを調整して、蛍光体粒子表面に処理化合物を形成することもできる。ｐＨの調整にはＮＨ₃、ＮａＯＨ、ＫＯＨなどのアルカリ成分やＨＣｌ、ＨＮＯ₃、Ｈ₂ＳＯ₄、ＣＨ₃ＣＯＯＨなどの酸成分を用いることができる。
（窒化物系蛍光体の製造方法）

以下、窒化物系蛍光体として好適な（Ｓｒ_a，Ｃａ_1-a）_xＳｉ_yＯ_zＮ_{{(2/3)x+(4/3)y-(2/3)z}}：Ｅｕでｘ＝２、ｙ＝５の製造方法を説明する。ただ、本発明に用いられる窒化物系蛍光体はこの製造方法に限定されない。上記の蛍光体には、より好適にはＭｎが含まれる。

まず、原料のＣａ，Ｓｒを粉砕する。原料のＳｒ，Ｃａは単体を使用することが好ましいが、イミド化合物、アミド化合物などの化合物を使用することもできる。粉砕により得られたＳｒ，Ｃａは平均粒径が約０．１μｍから１５μｍであることが好ましいが、この範囲に限定されない。またＳｒ，Ｃａの純度は２Ｎであることが好ましいが、これに限定されない。

一方、原料のＳｉを粉砕する。原料のＳｉは、単体を使用することが好ましいが、窒化物化合物、イミド化合物、アミド化合物などを使用することもできる。酸化マンガン、Ｈ₃ＢＯ₃、Ｂ₂Ｏ₃、Ｃｕ₂Ｏ、ＣｕＯなどの化合物が含有されていても良い。Ｓｉも原料のＳｒ，Ｃａと同様にアルゴンの雰囲気中、もしくは窒素雰囲気中のグローブボックス内で粉砕を行なう。Ｓｉ化合物の平均粒径は約０．１μｍから１５μｍであることが好ましい。

次に原料のＳｒ，Ｃａを窒素雰囲気中で窒化する。Ｓｒ，Ｃａは、混合して窒化してもよいし、それぞれ個々に窒化してもよい。これによりＳｒ，Ｃａの窒化物を得ることができる。Ｓｒ，Ｃａの窒化物は高純度のものが好ましいが、市販のものも使用することができる。

原料のＳｉを窒素雰囲気中で窒化する。Ｓｉも窒素雰囲気中、８００〜１２００℃、約５時間、窒化する。これにより窒化珪素を得る。本発明で使用する窒化珪素は、高純度のものが好ましいが、市販のものも使用することができる。

Ｓｒ，ＣａもしくはＳｒ−Ｃａの窒化物を粉砕する。Ｓｒ，Ｃａ，Ｓｒ−Ｃａの窒化物をアルゴン雰囲気中、もしくは、窒素雰囲気中、グローブボックス内で粉砕を行なう。同様にＳｉの窒化物を粉砕する。

また、同様にＥｕの化合物Ｅｕ₂Ｏ₃を粉砕する。粉砕後のアルカリ土類金属の窒化物、窒化珪素および酸化ユウロピウムの平均粒径は、約０．１μｍから１５μｍであることが好ましい。

上記の原料中には、特性を損なわない程度の、および／もしくは結晶性を上げる効果のある少量の不純物元素が含まれていても良い。上記粉砕を行なった後、Ｓｒ，Ｃａ，Ｓｒ−Ｃａの窒化物、Ｓｉの窒化物、Ｅｕの化合物Ｅｕ₂Ｏ₃、Ｍｎ化合物を添加し、混合する。

最後にＳｒ，Ｃａ，Ｓｒ−Ｃａの窒化物、Ｓｉの窒化物、Ｅｕの化合物Ｅｕ₂Ｏ₃の混合物をアンモニア雰囲気中で焼成する。焼成により、Ｍｎが添加されたＳｒ−Ｃａ−Ｓｉ−Ｏ−Ｎ：Ｅｕで表される蛍光体を得ることができる。このときＭｎ含有量は１００ｐｐｍ以下である。

ただし、各原料の配合比率を変更することにより、目的とする蛍光体の組成を変更することができる。

焼成は１２００℃〜１７００℃の範囲で行なうことができるが、１４００℃〜１７００℃の焼成温度が好ましい。

以上のように蛍光体を形成することにより、凝集した蛍光耐組成物が得られ、これを粉砕することで窒化物系蛍光体が得られる。粉砕後の蛍光体をふるい、あるいは沈降特性の違い等により分級し、平均粒径３μｍ以上とし、かつ粒度分布測定で２μｍ以下の粒径の粒子が体積分布で１０％以下とすることが好ましい。

上記の窒化物蛍光体は耐水性、耐薬品性に優れているものの、酸化劣化する傾向にある。そのために本発明の実施形態に係る窒化物系蛍光体はリンを含む化合物で処理する。
（実施例）

次に参考例１〜１０、及び実施例１０、１２及び１３として、上記の方法で窒化物系蛍光体を作製し、Ｐ含有化合物で処理を行った後、耐久試験を行った。またＰ含有化合物で処理を行わない状態の窒化物系蛍光体を比較例として作製し、同様に耐久試験を行った。これらの結果を表１に示す。表１は、以下の各実施例及び比較例の窒化物蛍光体につき、ＰＯ₄換算のＰ重量部、色度座標上のｘ、ｙ、相対輝度を各々測定した値を示している。またベーク後輝度として、各蛍光体の耐久性を評価するために３００℃の空気中で加熱（ベーク）を行って意図的に蛍光体を劣化させた状態での輝度の低下を、加熱前における輝度と対比した相対輝度として測定した。耐久性の評価には本来は半導体素子を用いた発光装置化（例えばＬＥＤ）することが好ましいが、蛍光体自体の簡易的な耐久（耐熱、耐酸化）性の評価として、空気中で加熱処理、つまり蛍光体のみを強制的に酸化させ、評価することでも確認できる。加熱条件は３００℃、６５時間としている。なお蛍光体の輝度の測定は、４６０ｎｍの波長で励起させて測定を行ったものである。表中の各輝度は、全く処理していない状態（比較例１）の窒化物系蛍光体（Ｃａ，Ｓｒ）₂Ｓｉ₅Ｎ₈：Ｅｕを基準とした相対値を示す。

（比較例１）

まず比較例として、窒化物蛍光体である（Ｃａ，Ｓｒ）₂Ｓｉ₅Ｎ₈：ＥｕをＰ含有化合物で処理しないで作製し、酸化雰囲気で加熱して意図的に劣化させた。３００℃で６５時間加熱したところ、輝度は加熱前に比べて４８．７％低下した。
［参考例１］

次に参考例１として、上記の方法で合成された窒化物系蛍光体（Ｃａ，Ｓｒ）₂Ｓｉ₅Ｎ₈：Ｅｕを用い、蛍光体１００ｇに対して脱イオン水４００ｇを加えて、攪拌させた。その分散溶液に、リン酸ナトリウム溶液（リン酸含量２．２５％）を４４．４４ｇ滴下し、次いで硝酸マグネシウム溶液（Ｍｇ含量２．０６％）を３６．４１ｇ滴下した。更にＫＯＨ溶液を用いてｐＨを調整した。そして反応が終了した分散溶液のろ過を行い、分離乾燥し、Ｐ含有化合物で処理された（Ｃａ，Ｓｒ）₂Ｓｉ₅Ｎ₈蛍光体を得た。この蛍光体は、ＰＯ₄換算で０．５１％のＰ含有化合物が検出された。さらに３００℃空気中で加熱（ベーク）を行い、耐久性を評価したところ、Ｐ含有化合物で処理していない比較例１は、輝度がベークによって４８．７％に低下した。これ対して、参考例１のＰ含有化合物で処理した蛍光体は、ベーク後の輝度は６１．５％であり、熱酸化雰囲気による劣化が改善され、発光特性の低下を防ぐことが確認された。
［参考例２］

参考例２として、参考例１のリン酸ナトリウム溶液を１３３．３２ｇ、硝酸マグネシウム溶液を１０９．２３ｇに変更する以外は、参考例１と同じ条件で処理を行い、Ｐ含有化合物で処理された（Ｃａ，Ｓｒ）₂Ｓｉ₅Ｎ₈：Ｅｕ蛍光体を得た。この蛍光体は、ＰＯ₄換算で１．８％のＰ含有化合物が検出された。さらに３００℃空気中で加熱を行い、耐久性を評価した結果、参考例２のＰ含有化合物で処理した蛍光体は、ベーク後の輝度が８１．４％に維持されていた。
［参考例３］

参考例３として、参考例１のリン酸ナトリウム溶液を６．２ｇ、硝酸マグネシウムに換わって硝酸カルシウム溶液を５．１ｇに変更する以外は参考例１と同じ条件で処理を行い、Ｐ含有化合物で処理された（Ｃａ，Ｓｒ）₂Ｓｉ₅Ｎ₈蛍光体を得た。この蛍光体は、ＰＯ₄換算で３２ｐｐｍのＰ含有化合物が検出された。さらに３００℃空気中で加熱を行い、耐久性を評価したところ、参考例３のＰ含有化合物で処理した蛍光体は、ベーク後の輝度は５３．８％であった。
［参考例４］

参考例４として、参考例３のリン酸ナトリウム溶液を２４．８９ｇ、硝酸カルシウム溶液を２０．３９ｇに変更する以外は参考例３と同様の条件で処理を行い、Ｐ含有化合物で処理された（Ｃａ，Ｓｒ）₂Ｓｉ₅Ｎ₈蛍光体を得た。この蛍光体は、ＰＯ₄換算で０．４９％のＰ含有化合物が検出された。さらに３００℃空気中で加熱を行い、耐久性を評価したところ、参考例４のＰ含有化合物で処理した蛍光体は、ベーク後の輝度が８４．９％であった。
［参考例５］

参考例５として、参考例３のリン酸ナトリウム溶液を９９．５６ｇ、硝酸カルシウム溶液を８１．５５ｇに変更する以外は参考例３と同様の条件で処理を行い、Ｐ含有化合物で処理された（Ｃａ，Ｓｒ）₂Ｓｉ₅Ｎ₈：Ｅｕ蛍光体を得た。この蛍光体は、ＰＯ₄換算で２．１％のＰ含有化合物が検出された。さらに３００℃空気中で加熱を行い、耐久性を評価したところ、参考例５のＰ含有化合物で処理した蛍光体は、ベーク後の輝度が９０．７％であった。

以上の参考例１〜５及び比較例１について、加熱の前後で相対輝度がどの程度低下したかを図５のグラフに示す。このグラフに示すように、Ｐ含有化合物で処理された蛍光体はいずれもＰ含有化合物で処理しない比較例よりも輝度の低下が少なかった。中でも、参考例２〜５は、加熱後の相対輝度が８０％程度で劣化が抑制されており、これらの蛍光体に対してＰ含有化合物の処理が効果的であることが確認された。

また同様に参考例１〜５及び比較例１について、Ｐ含有化合物の検出量をＰＯ₄量に換算した結果に基づき、Ｐ含有化合物処理に用いたリン酸の種類及び量と、加熱後の相対強度の関係を図６のグラフに示す。なおＰ含有化合物処理をしていない蛍光体については、Ｐ量を０としている。このグラフに示すように、処理に用いたリン酸の量が多い程相対輝度は高くなる。また参考例３〜５に係るＰＯ₄及びＣａを用いたＰ含有化合物処理では、蛍光体１００重量部に対してＰ量が０．５重量部程度でも高い相対輝度を得られる。一方、参考例１〜２に係るＰＯ₄及びＭｇを用いたＰ含有化合物処理は、Ｐ量の増加と共に相対輝度も増加傾向を示しており、蛍光体１００重量部に対してＰ量が２重量部程度で８０％程度の高い相対輝度を示した。このように、Ｐ含有化合物処理によって蛍光体が耐熱性を向上させており、輝度の低下を抑制できることが確認された。
［参考例６］

参考例６として、参考例３のリン酸ナトリウム溶液を１９９．１２ｇ、硝酸カルシウム溶液を１６３．１ｇに変更する以外は参考例３と同様の条件で処理を行い、Ｐ含有化合物で処理された（Ｃａ，Ｓｒ）₂Ｓｉ₅Ｎ₈：Ｅｕ蛍光体を得た。この蛍光体は、ＰＯ₄換算で４．０％のＰ含有化合物が検出された。さらに３００℃空気中で加熱を行い、耐久性を評価したところ、参考例６のＰ含有化合物で処理した蛍光体は、ベーク後の輝度が８８．５％であった。
［参考例７］

参考例７として、参考例３のリン酸ナトリウム溶液を３７３．３ｇ、硝酸カルシウム溶液を３０５．８ｇに変更する以外は参考例３と同様の条件で処理を行い、Ｐ含有化合物で処理された（Ｃａ，Ｓｒ）₂Ｓｉ₅Ｎ₈：Ｅｕ蛍光体を得た。この蛍光体は、ＰＯ₄換算で４．９％のＰ含有化合物が検出された。さらに３００℃空気中で加熱を行い、耐久性を評価したところ、参考例７のＰ含有化合物で処理した蛍光体は、ベーク後の輝度が７６．６％であった。
［参考例８］

参考例８として、参考例３のリン酸ナトリウム溶液を６２２．２ｇ、硝酸カルシウム溶液を５０９．７ｇに変更する以外は参考例３と同様の条件で処理を行い、Ｐ含有化合物で処理された（Ｃａ，Ｓｒ）₂Ｓｉ₅Ｎ₈：Ｅｕ蛍光体を得た。この蛍光体は、ＰＯ₄換算で１０．０％のＰ含有化合物が検出された。さらに３００℃空気中で加熱を行い、耐久性を評価したところ、参考例８のＰ含有化合物で処理した蛍光体は、ベーク後の輝度が６７．９％であった。
［参考例９］

参考例９として、参考例３のリン酸ナトリウム溶液を１２４４．４ｇ、硝酸カルシウム溶液を１０１９．４ｇに変更する以外は参考例３と同様の条件で処理を行い、Ｐ含有化合物で処理された（Ｃａ，Ｓｒ）₂Ｓｉ₅Ｎ₈：Ｅｕ蛍光体を得た。この蛍光体は、ＰＯ₄換算で１８．０％のＰ含有化合物が検出された。さらに３００℃空気中で加熱を行い、耐久性を評価したところ、参考例９のＰ含有化合物で処理した蛍光体は、ベーク後の輝度が７６．０％であった。
［実施例１０］

実施例１０として、参考例１のリン酸ナトリウム溶液を６６．６５ｇ、硝酸マグネシウムに換わって硝酸アルミニウム溶液を３２．０ｇとし、それ以外は参考例１と同じ条件で処理を行い、Ｐ含有化合物で処理された（Ｃａ，Ｓｒ）₂Ｓｉ₅Ｎ₈蛍光体を得た。この蛍光体は、ＰＯ₄換算で１．４％のＰ含有化合物が検出された。さらに３００℃空気中で加熱を行い、耐久性を評価したところ、実施例１０のＰ含有化合物で処理したところ、この蛍光体のベーク後の輝度が６４．４％であった。
［参考例１０］

参考例１０として、参考例１のリン酸ナトリウム溶液を６６．６５ｇ、硝酸マグネシウムに換わって硝酸ガリウム溶液を７１．７５ｇとしそれ以外は参考例１と同じ条件で処理を行い、Ｐ含有化合物で処理された（Ｃａ，Ｓｒ）₂Ｓｉ₅Ｎ₈蛍光体を得た。この蛍光体は、ＰＯ₄換算で１．３％のＰ含有化合物が検出された。さらに３００℃空気中で加熱を行い、耐久性を評価したところ、参考例１０のＰ含有化合物で処理した蛍光体は、ベーク後の輝度が５８．０％であった。
［実施例１２］

実施例１２として、参考例１のリン酸ナトリウム溶液を６６．６５ｇ、硝酸マグネシウムに換わって硝酸イットリウム溶液を７５．６５ｇとし、それ以外の条件は参考例１と同じ条件で処理を行い、Ｐ含有化合物で処理された（Ｃａ，Ｓｒ）₂Ｓｉ₅Ｎ₈蛍光体を得た。この蛍光体は、ＰＯ₄換算で１．３％のＰ含有化合物が検出された。さらに３００℃空気中で加熱を行い、耐久性を評価したところ、実施例１２のＰ含有化合物で処理した蛍光体は、ベーク後の輝度が６９．９％であった。
［実施例１３］

実施例１３として、参考例１のリン酸ナトリウム溶液を６６．６５ｇ、硝酸マグネシウムに換わって硝酸ランタン溶液を５６．２５ｇとしそれ以外は参考例１と同じ条件で処理を行い、Ｐ含有化合物で処理された（Ｃａ，Ｓｒ）₂Ｓｉ₅Ｎ₈蛍光体を得た。この蛍光体は、ＰＯ₄換算で１．３％のＰ含有化合物が検出された。さらに３００℃空気中で加熱を行い、耐久性を評価したところ、実施例１３のＰ含有化合物で処理した蛍光体は、ベーク後の輝度が６８．３％であった。

次に、実施例１４〜１７として、蛍光体を３００℃の不活性ガス（Ｎ₂）中でアニール処理を行い、Ｐ含有化合物で処理した後、上記と同様のベーク試験を行い、相対輝度を測定した。この結果を表２に示す。

［実施例１４］

実施例１４として、参考例１で作製される蛍光体をアニール処理を行い、Ｐ含有化合物で処理された（Ｃａ，Ｓｒ）₂Ｓｉ₅Ｎ₈：Ｅｕ蛍光体を得た。さらに３００℃空気中で加熱を行い、耐久性を評価したところ、実施例１４のＰ含有化合物で処理した蛍光体は、ベーク後の輝度が６８．６％であった。
［実施例１５］

実施例１５として、参考例２で作製される蛍光体をアニール処理を行い、Ｐ含有化合物で処理された（Ｃａ，Ｓｒ）₂Ｓｉ₅Ｎ₈：Ｅｕ蛍光体を得た。さらに３００℃空気中で加熱を行い、耐久性を評価したところ、実施例１５のＰ含有化合物で処理した蛍光体は、ベーク後の輝度が８４．６％であった。
［実施例１６］

実施例１６として、参考例４で作製される蛍光体をアニール処理を行い、Ｐ含有化合物で処理された（Ｃａ，Ｓｒ）₂Ｓｉ₅Ｎ₈：Ｅｕ蛍光体を得た。さらに３００℃空気中で加熱を行い、耐久性を評価したところ、実施例１６のＰ含有化合物で処理した蛍光体は、ベーク後の輝度が８８．１％であった。
［実施例１７］

実施例１７として、参考例５で作製される蛍光体をアニール処理を行い、Ｐ含有化合物で処理された（Ｃａ，Ｓｒ）₂Ｓｉ₅Ｎ₈：Ｅｕ蛍光体を得た。さらに３００℃空気中で加熱を行い、耐久性を評価したところ。実施例１７のＰ含有化合物で処理した蛍光体は、ベーク後の輝度は９２．６％であった。
（実施例１８〜２１）

次に、実施例１８〜２１に係る蛍光体の耐久性を評価した結果を、表３に示す。耐久性の評価には本来は半導体素子を用いた発光装置として、例えばＬＥＤを作製して評価することが好ましいが、蛍光体自体の簡易的な耐久（耐熱、耐酸化）性の評価として、空気中で加熱処理、つまり蛍光体のみを強制的に酸化させ、評価することでも確認できる。加熱条件は４５０℃、２時間としている。なお蛍光体の輝度の測定は、４６０ｎｍの波長で励起させて測定を行ったものである。表中の各輝度は、比較例２として、全く処理していない状態の窒化物系蛍光体ＣａＡｌＳｉＮ₃：Ｅｕを作製し、これを基準とした相対値で示す。

（比較例２）

上記実施例１７までで使用した蛍光体と異なる蛍光体ＣａＡｌＳｉＮ₃：Ｅｕを用い、比較例として、窒化物蛍光体であるＣａＡｌＳｉＮ₃：ＥｕをＰ含有化合物で処理しないで作製し、酸化雰囲気で加熱して意図的に劣化させた。４５０℃で２時間加熱したところ、輝度は加熱前に比べて９１．１％低下した。
［実施例１８］

次に実施例１８として、この蛍光体ＣａＡｌＳｉＮ₃：Ｅｕを用い、参考例１と同じ処理を行い、Ｐ含有化合物で処理されたＣａＡｌＳｉＮ₃：Ｅｕ蛍光体を得た。この蛍光体は、ＰＯ₄換算で０．０２％のＰ含有化合物が検出された。さらに４５０℃空気中で加熱を行い、耐久性を評価したところ、実施例１８のＰ含有化合物で処理した蛍光体は、ベーク後の輝度が９３．５％であった。
［実施例１９］

さらに実施例１９として、蛍光体ＣａＡｌＳｉＮ₃：Ｅｕを用い、参考例２と同じ処理を行い、Ｐ含有化合物で処理されたＣａＡｌＳｉＮ₃：Ｅｕ蛍光体を得た。この蛍光体は、ＰＯ₄換算で０．１１％のＰ含有化合物が検出された。さらに４５０℃空気中で加熱を行い、耐久性を評価したところ、実施例１９のＰ含有化合物で処理した蛍光体は、ベーク後の輝度が９８．４％であった。
［実施例２０］

実施例２０として、蛍光体ＣａＡｌＳｉＮ₃：Ｅｕを用い、参考例４と同じ処理を行い、Ｐ含有化合物で処理されたＣａＡｌＳｉＮ₃：Ｅｕ蛍光体を得た。この蛍光体は、ＰＯ₄換算で０．０２６％のＰ含有化合物が検出された。さらに４５０℃空気中で加熱を行い、耐久性を評価したところ、実施例１８のＰ含有化合物で処理した蛍光体は、ベーク後の輝度が９７．２％であった。
［実施例２１］

実施例２１として、蛍光体ＣａＡｌＳｉＮ₃：Ｅｕを用い、参考例５と同じ処理を行い、Ｐ含有化合物で処理されたＣａＡｌＳｉＮ₃：Ｅｕ蛍光体を得た。この蛍光体は、ＰＯ₄換算で０．１１％のＰ含有化合物が検出された。さらに４５０℃空気中で加熱を行い、耐久性を評価したところ、実施例１９のＰ含有化合物で処理した蛍光体は、ベーク後の輝度が９８．８％であった。

本発明の発光装置、発光素子用蛍光体及びその製造方法は、蛍光表示管、ディスプレイ、ＰＤＰ、ＣＲＴ、ＦＬ、ＦＥＤおよび投射管等、特に青色発光ダイオード又は紫外線発光ダイオードを光源とする発光特性に極めて優れた白色の照明用光源、ＬＥＤデイスプレイ、バックライト光源、信号機、照明式スイッチ、各種センサ及び各種インジケータ等に好適に利用できる。

本発明の実施の形態１に係る発光装置を示す平面図及び模式断面図である。 本発明の実施の形態２に係る発光装置を示す模式断面図である。 本発明の実施の形態３に係る発光装置を示す模式断面図である。 本発明の実施の形態４に係る発光装置を示す模式断面図である。 本発明の参考例１〜５及び比較例１に係る窒化物系蛍光体の相対輝度と加熱処理の関係を示すグラフである。 本発明の参考例１〜５及び比較例１に係る窒化物蛍光体の加熱処理前後のＰ量と相対輝度の関係を示すグラフである。

１、１Ｂ、１Ｃ…パッケージ
２、２Ｂ、２Ｃ…半導体発光素子
３、３Ｂ、３Ｃ…蛍光体層
４、４Ｂ…ワイヤ
１０…発光素子
１１…蛍光部材
１３…リードフレーム
１３ａ…マウントリード
１３ｂ…インナーリード
１４…導電性ワイヤ
１５…モールド部材

Claims (8)

1. 発光素子と、
   前記発光素子の発する光の少なくとも一部を吸収し異なる波長に変換するよう、前記発光素子の周囲に配置された蛍光体とを備える発光装置であって、
   前記蛍光体が窒素を含有する窒化物系蛍光材料または酸窒化物系蛍光材料よりなり、かつ
   前記蛍光体の表面をリン酸アルミニウム、リン酸イットリウム、リン酸ランタンから選択されるいずれかのリン酸塩で処理してなり、
   前記蛍光体は、３００℃の空気中で６５時間加熱した際の輝度の低下が４０％以内であることを特徴とする発光装置。
2. 請求項１に記載の発光装置であって、
   前記蛍光体が透光性樹脂に含有されて前記発光素子の周囲に配置されてなることを特徴とする発光装置。
3. 発光素子の発する光の少なくとも一部を吸収し異なる波長に変換するための発光素子用蛍光体であって、
   前記蛍光体が窒素を含有する窒化物系蛍光材料または酸窒化物系蛍光材料よりなり、かつ
   前記蛍光体の表面をリン酸アルミニウム、リン酸イットリウム、リン酸ランタンから選択されるいずれかのリン酸塩で処理してなり、
   ３００℃の空気中で６５時間加熱した際の輝度の低下が４０％以内であることを特徴とする発光素子用蛍光体。
4. 請求項３に記載の発光素子用蛍光体であって、
   前記蛍光体が、Ｌ−Ｍ−Ｎ：Ｒ、Ｌ−Ｊ−Ｍ−Ｎ：Ｒ、またはＬ−Ｍ−Ｏ−Ｎ：Ｒ（ＬはＢｅ、Ｍｇ、Ｃａ、Ｓｒ、Ｂａ、Ｚｎからなる群より選ばれる１種以上を含有し、ＭはＣ、Ｓｉ、Ｇｅ、Ｓｎ、Ｔｉ、Ｚｒ、Ｈｆからなる群より選ばれる１種以上を含有し、ＪはＢ、Ａｌ、Ｇａ、Ｉｎ、Ｓｃからなる群より選ばれる１種類以上を含有し、Ｎは窒素、Ｏは酸素、Ｒは希土類元素である。）で表される窒化物系または酸窒化物系蛍光体であることを特徴とする発光素子用蛍光体。
5. 請求項３又は４に記載の発光素子用蛍光体であって、
   前記蛍光体が、Ｌ_xＭ_yＮ_{{(2/3)x+(4/3)y}}：Ｒ、Ｌ_xＪ_wＭ_yＮ_{{(2/3)x+w+(4/3)y}}：Ｒ、またはＬ_xＭ_yＯ_zＮ_{{(2/3)x+(4/3)y-(2/3)z}}：Ｒ（０．５≦ｘ≦３、０．５≦ｙ≦９、０．５≦ｗ≦５、０＜ｚ≦３；ＬはＢｅ、Ｍｇ、Ｃａ、Ｓｒ、Ｂａ、Ｚｎからなる群より選ばれる１種以上を含有し、ＭはＣ、Ｓｉ、Ｇｅ、Ｓｎ、Ｔｉ、Ｚｒ、Ｈｆからなる群より選ばれる１種以上を含有し、ＪはＢ、Ａｌ、Ｇａ、Ｉｎ、Ｓｃからなる群より選ばれる１種類以上を含有し、Ｎは窒素、Ｏは酸素、Ｒは希土類元素である。）で表され、かつ結晶構造を有することを特徴とする発光素子用蛍光体。
6. 請求項３から５のいずれかに記載の発光素子用蛍光体であって、
   前記蛍光体の結晶構造が単斜晶または斜方晶であることを特徴とする発光素子用蛍光体。
7. 発光素子の発する光の少なくとも一部を吸収し異なる波長に変換するための発光素子用蛍光体の製造方法であって、
   リン酸塩を含有する溶液を、窒素を含有する窒化物系蛍光材料または酸窒化物系蛍光材料よりなる蛍光体の表面に接触させる工程と、
   処理された蛍光体を、酸素を含まない雰囲気中で１００℃以上５００℃以下にて熱処理する工程と、
   を有しており、
   前記リン酸塩は、リン酸アルミニウム、リン酸イットリウム、リン酸ランタンから選択されるいずれかとすることを特徴とする発光素子用蛍光体の製造方法。
8. 請求項１に記載の発光装置であって、
   前記蛍光体が、請求項４から６のいずれか一に記載の発光素子用蛍光体であることを特徴とする発光装置。

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