Deprecated: The each() function is deprecated. This message will be suppressed on further calls in /home/zhenxiangba/zhenxiangba.com/public_html/phproxy-improved-master/index.php on line 456
JP4765052B2 - Integrated thin film solar cell evaluation apparatus and evaluation method - Google Patents
[go: Go Back, main page]

JP4765052B2 - Integrated thin film solar cell evaluation apparatus and evaluation method - Google Patents

Integrated thin film solar cell evaluation apparatus and evaluation method Download PDF

Info

Publication number
JP4765052B2
JP4765052B2 JP2003032002A JP2003032002A JP4765052B2 JP 4765052 B2 JP4765052 B2 JP 4765052B2 JP 2003032002 A JP2003032002 A JP 2003032002A JP 2003032002 A JP2003032002 A JP 2003032002A JP 4765052 B2 JP4765052 B2 JP 4765052B2
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
solar cell
film solar
integrated thin
cell module
light
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Expired - Lifetime
Application number
JP2003032002A
Other languages
Japanese (ja)
Other versions
JP2004247325A (en
Inventor
武 柳澤
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
National Institute of Advanced Industrial Science and Technology AIST
Original Assignee
National Institute of Advanced Industrial Science and Technology AIST
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by National Institute of Advanced Industrial Science and Technology AIST filed Critical National Institute of Advanced Industrial Science and Technology AIST
Priority to JP2003032002A priority Critical patent/JP4765052B2/en
Publication of JP2004247325A publication Critical patent/JP2004247325A/en
Application granted granted Critical
Publication of JP4765052B2 publication Critical patent/JP4765052B2/en
Anticipated expiration legal-status Critical
Expired - Lifetime legal-status Critical Current

Links

Images

Classifications

    • HELECTRICITY
    • H02GENERATION; CONVERSION OR DISTRIBUTION OF ELECTRIC POWER
    • H02SGENERATION OF ELECTRIC POWER BY CONVERSION OF INFRARED RADIATION, VISIBLE LIGHT OR ULTRAVIOLET LIGHT, e.g. USING PHOTOVOLTAIC [PV] MODULES
    • H02S50/00Monitoring or testing of PV systems, e.g. load balancing or fault identification
    • H02S50/10Testing of PV devices, e.g. of PV modules or single PV cells
    • YGENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
    • Y02TECHNOLOGIES OR APPLICATIONS FOR MITIGATION OR ADAPTATION AGAINST CLIMATE CHANGE
    • Y02EREDUCTION OF GREENHOUSE GAS [GHG] EMISSIONS, RELATED TO ENERGY GENERATION, TRANSMISSION OR DISTRIBUTION
    • Y02E10/00Energy generation through renewable energy sources
    • Y02E10/50Photovoltaic [PV] energy
    • Y02E10/541CuInSe2 material PV cells

Landscapes

  • Photovoltaic Devices (AREA)
  • Testing Of Individual Semiconductor Devices (AREA)

Description

【0001】
【発明の属する技術分野】
本発明は、集積型薄膜太陽電池の評価装置および評価方法に関し、特に太陽電池受光面の局所的な特性測定を行うことができ局所的な欠陥を検出することができる集積型薄膜太陽電池の評価装置および評価方法に関するものである。
【0002】
【従来の技術】
図8(a)は、集積型薄膜太陽電池の斜視図であり、図8(b)は、そのA-A線の断面図である。図8において、101は基板、102は第1電極、103はa-Siなどからなる半導体層、104は第2電極、105、106は一対の出力端子である。集積型薄膜太陽電池には、表面光照射型と裏面(基板側)光照射型とがあり、前者の場合には、第2電極には透明導電膜(TCO)が用いられ、また後者である場合には、第1電極に透明導電膜が用いられ、基板にガラスなどの透明基板が用いられる。
【0003】
図8に示されるように、集積型薄膜太陽電池の各セルは第1電極102と半導体層103と第2電極104を有し、短冊状に形成されている。各セルは、第1電極102と第2電極104とを介して直列に接続されており、全体の出力は直列接続体の両端に設けられた出力端子105、106を介して取り出される。
このように形成された太陽電池の試験・測定は、全面に光を照射し、その電圧−電流特性を出力端子105、106を用いて測定することによって行っていた。そして、その結果に基づいて、最大出力(Pmax)を求め、Pmax/Isc・Voc(Iscは短絡電流、Vocは開放電圧)から算出される曲線因子:FF値等を求める(例えば、特許文献1参照)。
【0004】
【特許文献1】
特開2002−270877号公報(第3−7頁、図6−8)
【0005】
【発明が解決しようとする課題】
現実に生産された集積型薄膜太陽電池では、プロセス上の様々な要因により特性がばらつく。近年、薄膜集積型太陽電池はm2サイズクラスの大面積化が図られているが、大面積化によって、均一な成膜およびその維持が難しく、膜厚および組成の不均一部分、ピンホール等が性能低下、経時的不安定要因になり易い。従来は、太陽電池受光面の全面に光を照射し全体の特性を測定していたため、特性ばらつきや不良の要因が基板のどの位置に存在しているのかの把握が困難であった。そして、面内に大きな特性ばらつきがあってもばらつきが平均化されてしまうためばらつきは顕在化せず、ばらつきが大きい場合であっても全体的な特性が仕様に合致していれば将来劣化の進行が早いものと推測されるにも拘わらず良品として扱われてきた。また、半導体層のどの層にばらつき要因や不良原因があるのかを追求することも困難であった。そのため、製品にばらつきが生じてもあるいは不良が発生しても、それが基板のどの位置の膜に起因しているのかの特定が難しく、不良対策に長時間を要しまたばらつきの低減に有効な手立てを見出すことが困難であった。
本発明の課題は、上述した従来技術の問題点を解決することであって、その目的は、内部ばらつきや局部欠陥を検出できるようにしばらつきの大きな位置や欠陥発生位置を特定できるようにすることであり、これにより内部ばらつきの大きい製品や局部的欠陥を含む製品は出荷されることのないようにすると共に、迅速で的確な不良対策を講じ得るようにしばらつきの少ない製品を製造し得るようにしようとするものである。
【0006】
【課題を解決するための手段】
上記の目的を達成するため、本発明によれば、短冊状のセルが直列に接続された集積型薄膜太陽電池モジュールを載置する載置台と、前記集積型薄膜太陽電池モジュール上を照射する、セルの直列接続方向に長いライン状の光源と、前記光源または前記載置台のいずれか一方または双方を、前記光源の長さ方向と直交する方向にステップ状に移動させる手段と前記集積型薄膜太陽電池モジュールの光照射時の電流−電圧特性の測定を前記ステップ状の移動と連動して自動的に行う測定器とを含む集積型薄膜太陽電池モジュールの評価装置、が提供される。
そして、好ましくは、前記光源または前記載置台のいずれか一方または双方を、前記光源の長さ方向と直交する方向にステップ状に移動させることができるようになされ、これにより太陽電池受光面の全領域を測定することができるように構成される。
【0007】
また、上記の目的を達成するため、本発明によれば、短冊状のセルが直列に接続された集積型薄膜太陽電池モジュールに、セルの直列接続方向に長いライン状の光を照射するとともに、前記ライン状受光部分をステップ状に移動させ、前記集積型薄膜太陽電池モジュールの光照射時の電流−電圧特性の測定前記ステップ状の移動と連動して自動的に行ことを特徴とする集積型薄膜太陽電池モジュールの評価方法、が提供される。
【0008】
【発明の実施の形態】
次に、図面を参照して本発明の実施の形態を詳細に説明する。
図1は、本発明の第1の実施の形態を示す斜視図であり、図2は、その制御部のブロック図である。図1に示すように、遮光された容器である暗ボックス1内には、集積型薄膜太陽電池5が載置されるステージ2が設置されており、ステージ2上には、集積型薄膜太陽電池5上をライン状に照射することのできるライン構造光源4が移動可能に設置されている。ライン構造光源4は、ステップ駆動部3によりステップ状に移動されるように構成されており、これにより集積型薄膜太陽電池5の全受光面を照射することができるようになされている。
【0009】
ライン構造光源4の長手方向は、集積型薄膜太陽電池のセルの直列接続方向(図8の左右方向)になっている。ライン構造光源4の発光源はランプまたはLEDである。ランプとしてはハロゲンランプまたはキセノンランプを用いることができる。ランプとしては棒状のものを用いることができ、またライン構造光源4内に複数のランプが搭載されていても良い。ランプとして特に好ましいのは、ハロゲンランプである。
LEDを発光源とするとき、0.3〜1.5μmの波長範囲内の単色または白色の複数のLEDが直線的に配列される。異なる発光色のLEDをそれぞれ複数個用意しておき、切り換えて異なる色のLEDを発光させるようにしてもよい。この場合に、LEDは異なる発光色毎に別々の列に配列し、切り換えて異なる色のLED列を発光させるようにしてもよい。集積型薄膜太陽電池ではバンド幅の異なる半導体層が積層される場合が多い。この場合に、異なる発光色の照明光を照射して特性測定を行うことにより、どの半導体層に不良原因が存在しているのかの特定が容易になる。
【0010】
ライン光の長さは、太陽電池の受光面の出力端子間に設定し、ライン光の幅は、3〜50mmの幅に設定する。ライン光の幅は、ライン構造光源4の送られるステップ幅に関連して決定される。
ライン構造光源4には、光強度を均一化するための光拡散板が搭載されている。また、必要に応じてフィルタが搭載される。例えば、白色LEDを光源として用いるとき、白色LEDの発光色は通常の白色光より青側の光強度が高いので、フィルタを用いることにより白色LEDの発光スペクトルを補正することが望ましい。
ライン構造光源4は、薄膜太陽電池の全表面を測定する間中連続して発光させておくこともできるが、特性測定時にのみ発光させるようにしてもよい。
【0011】
ライン構造光源4は、ステップ駆動部3により、太陽電池受光面の端から端までステップ状に送られる。その望ましいステップ幅は3〜50mmである。また、1枚の太陽電池に係る望ましいステップ数は、10ないし100である。ステップ数が多ければ精度は向上するが測定時間が長期化するので、ステップ数は精度と生産性のバランスを考慮して決定される。1枚の太陽電池について測定が完了すると、ライン構造光源4はステップ駆動部3により初期位置に復帰される。
集積型薄膜太陽電池の搬入・搬出、ライン構造光源のステップ送り、特性の測定などの一連の動作は、制御部6によってコントロールされる。暗ボックス1内の雰囲気、すなわち温度、および/または、湿度が空調部7によって制御される。空調部7を設けることにより、温度変化ないし湿度変化に応じた特性を測定することが可能になる。
【0012】
図2に示されるように、制御部6には、中央処理部61を中心として、基板搬入・搬出部62、光源制御部63、測定部64、演算部65、判定・選別部66、記録部67が設けられる。基板搬入・搬出部62は、中央処理部61の指示を受け、被測定太陽電池の搬入・搬出および位置決めを制御する。光源制御部63には、光源位置制御部631と照明制御部632が設けられている。光源位置制御部631は、中央処理部61よりトリガー信号が発せられると、ライン構造光源を1ステップだけ送る。照明制御部632は中央処理部61の指示により光源のオン・オフを制御する。光源位置制御部631はまた当該被測定太陽電池について測定が完了すると光源の初期位置復帰を制御する。測定部64は、中央処理部61より被測定太陽電池の搬入が完了したこと若しくはライン構造光源の1ステップ移動が完了したことの信号を受けると被測定太陽電池の1ライン分のI−V特性を測定する。中央処理部61は、測定部64より1ライン分のI−V特性の測定が完了したことを示す信号を受け取ると光源制御部63へ向けてトリガー信号を発信する。演算部65は、測定部64の測定データを受け取りこれに基づいて最大出力PmaxとFF値とを算出する。測定部64の測定データと演算部65の演算結果とは、判定・選別部66と記録部67とに伝達される。判定・選別部66は、被測定太陽電池の全面のデータを取得すると、その被測定太陽電池の良・不良の判別を行うと共に不良品が発生した場合には警告を発し、良品である場合にはその光−電気特性に応じてクラス分けを行う。警告が発せられると製造ラインへフィードバックがかけられる。
【0013】
図3は、図1、図2に示される本実施の形態に係る集積化薄膜太陽電池の測定装置を用いた処理の流れの一例を示すフローチャートである。この例では、ライン構造光源は常時点灯されているものとされ、またライン構造光源のステップ送り回数はN(測定されるライン状領域はN+1個)であるものとする。太陽電池処理部Aでは、ステップS11において、被測定太陽電池がステージ上に送られてきて位置決めされる。ステップS12において、n=0と設定される。そして、ステップS13において、光−電気特性の測定が行われる。すなわち、光の照射されたライン状部分の電流−電圧特性が測定される。ステップS14において、nがNであるか否かがチェックされる。Nである場合には、ステップS15に至り、被測定太陽電池はステージ上から外され、本装置外へ搬出される。そして、ステップS16において、ライン構造光源は初期位置へ復帰される。ステップS14において、n=Nではないと判定された場合には、ステップS17に至り、トリガー信号が発生され、ステップS18において、ライン構造光源を1ステップ移動させる。そして、ステップS19において、n=n+1とした後、ステップS13へ移る。
【0014】
データ処理部Bでは、太陽電池処理部AのステップS11において、被測定太陽電池の搬入が行われると、ステップS21において、m=0と設定し、ステップS22において、太陽電池処理部AのステップS13にて得られた測定データを取り込む。そして、ステップS23において、取得した測定データに基づいて最大出力Pmaxを求め、FF値を算出する。次いで、ステップS24において、mがNであるか否かがチェックされる。mがNである場合には、ステップS25へ移り、測定の終了した被測定太陽電池の測定結果、演算結果を取得して、当該太陽電池について判定・選別を行う。すなわち、不良品は除外され、良品は特性に応じてクラス分けされる。不良品が発生した場合には、製造ラインに対してフィードバックが行われる(ステップS26)。ステップS24において、mがNではないと判定された場合には、トリガー信号待機状態となる。ステップS27において、ステップS17で発信されたトリガー信号が受信されると、ステップS28に移り、m=m+1とした後、ステップS22へ進む。
【0015】
図4は、本発明の第2の実施の形態を示す概略断面図である。本実施の形態では、被測定太陽電池が載置されるステージが移動できるように構成される。すなわち、ステップ送りされる可動ステージ12上に集積型薄膜太陽電池15は載置され位置決めされる。可動ステージ12は、暗ボックス11の床面にステップ移動可能に設置され、暗ボックス11の天井にはライン構造光源14が固定されている。ライン構造光源14の長手方向は紙面垂直方向であって、集積型薄膜太陽電池15のセルの直列接続方向もこの方向となっている。
本実施の形態においても、可動ステージ12をステップ送りし、ステップ送り毎に電気的特性を測定することにより、先の実施の形態と同様の効果を奏することができる。
【0016】
図5(a)は、本発明の第3の実施の形態を示す概略斜視図であり、図5(b)は、その要部斜視図である。本実施の形態においては、ライン構造光源24が複数本装備されたライン光源アレイ24Aが用いられる。光源アレイ24Aの光照射範囲は、集積型薄膜太陽電池25の全受光領域をカバーできるようにライン構造光源24の長さとその本数が決定されている。すなわち、ライン構造光源24の長さは太陽電池の受光面の出力端子間に設定され、その幅は3〜50mm、その本数は10ないし100になされる。光源アレイ24Aは、駆動部23により上下動され、集積型薄膜太陽電池25の測定時にはその表面に接触せしめられる。光源アレイ24Aの各ライン構造光源24は、点灯用電源逐次供給回路26より電力が供給され、順次点灯される。
【0017】
次に、本実施の形態装置の動作について説明する。被測定ウエハである集積型薄膜太陽電池25は、搬送手段(図示なし)により暗ボックス21内に搬入され、ステージ22上の所定の位置に位置決めされる。次に、ライン光源アレイ24Aが、駆動部23により降下させられ、その表面が集積型薄膜太陽電池25の受光面と接触させられる。続いて、点灯用電源逐次供給回路26により、例えば、図5(b)の右端のライン構造光源24が点灯される。そして、光照射領域の、すなわち、図5(a)に示す集積型薄膜太陽電池25の左端のライン状領域についての測定が行われる。そのライン状領域についての測定が終了すると、点灯用電源逐次供給回路26は、図5(b)に示す右から2番目のライン構造光源24が点灯され、そして図5(a)に示す集積型薄膜太陽電池25の左から2番目のライン状領域についての測定が行われる。以下、同様にして、ライン光源アレイ24Aの各ライン構造光源は逐次点灯され、それに連動して集積型薄膜太陽電池25のライン状測定領域についての測定が逐次行われる。集積型薄膜太陽電池25の全受光領域についての測定が完了すると、ライン光源アレイ24Aは駆動部23により上昇させられ、集積型薄膜太陽電池25は搬送手段(図示なし)により暗ボックス21外へ搬出される。
【0018】
【実施例】
ガラス基板上にモリブデン(Mo)を下部電極とし、p型CIGS(CuInGaSe)膜、n型CdS膜、ZnO膜、AlドープZnO膜が順次積層された集積型薄膜太陽電池を作製した。このモジュールの受光面積は171mm(セルの長手方向)x308mm(セルの直列接続方向)、セル段数は42である。一つのモジュール(モジュールAとする)上を、開口部の大きさが308x3mmで棒状ハロゲンランプを発光源とするライン構造光源を用いて、3mmステップで57ライン照射して、ライン毎に特性を測定した。モジュールAについて得られた結果を図6に示す。他のモジュール(モジュールBとする)についても同様に測定した。そのライン毎の測定結果に基づいて、各ライン毎に最大出力Pmax、曲線因子FFを求めた。
図7は、モジュールAとモジュールBのライン毎の、短絡電流Isc、開放電圧Voc、最大出力Pmax、曲線因子FFを示したグラフである。図7において、縦軸は各特性値のばらつき幅である。各特性値のばらつきの許容値を10%と設定するとき、モジュールBは合格品となるが、モジュールAはPmaxにおいてばらつきが10%を越えるため不合格となる。
【0019】
モジュールAとモジュールBについて従来方法により測定・評価を行うとき、すなわち受光面全面に光照射を行い全体の特性測定を行うとき、面内ばらつきは平均化されるため、モジュールAとモジュールBについてほぼ同様の測定結果が得られ共に良品と判定される。しかし、面内に局部的に特性の悪い領域が存在している場合にはその部分から劣化が進行するため、経時安定性を向上させ長期信頼性を確保するためには、面内に局部的に劣悪部分が存在する製品は出荷段階でリジェクトしておくことが望ましい。また、局部的に劣悪部分が存在する製品が製造されているときには、製造工程での改善が望まれるが、従来方法では不良品発生を発見することができず、製造現場への工程改善方要請も不可能なことであった。本願発明は、不良品発見、製造ラインへのフィードバックに有効な手立てを提供するものである。
【0020】
以上好ましい実施の形態、実施例について説明したが、本願発明はこれらに限定されるものではなく、本願発明の要旨を逸脱しない範囲内において適宜の変更が可能なものである。例えば、上述した実施の形態では、ステップ移動は、ライン構造光源またはステージのいずれかであったが、双方がステップ移動できるように構成されていてもよい。
【0021】
【発明の効果】
以上説明したように、本発明は、ライン構造光源によって集積型薄膜太陽電池上を照射してそのライン状部分の光−電気特性を測定しその性能を評価するものであるので、集積型薄膜太陽電池の局部的な特性を評価することができる。従って、本発明によれば、集積型薄膜太陽電池内部の特性ばらつきや局部的欠陥を認識することが可能になり、内部均一性の高い、局部的欠陥要素を含まない、すなわち経時的劣化の起こり難い品質の保証された製品の供給が可能になる。これと共に、太陽電池内部の特性ばらつきや局部的欠陥の製造過程への情報フィードバックが可能になり、工程管理上に有益な情報を提供することが可能になる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の第1の実施の形態を示す概略斜視図。
【図2】図1に示す装置の制御部の構成を示すブロック図。
【図3】図1に示す装置の処理の流れを示すフローチャート。
【図4】本発明の第2の実施の形態を示す概略断面図。
【図5】本発明の第3の実施の形態を示す概略斜視図。
【図6】本発明の一実施例の測定結果を示すグラフ。
【図7】図6の測定結果から得られた特性曲線図。
【図8】集積型薄膜太陽電池の斜視図と断面図。
【符号の説明】
1、11、21 暗ボックス
2、22 ステージ
3 ステップ駆動部
4、14、24 ライン構造光源
5、15、25 集積型薄膜太陽電池
6 制御部
7 空調部
12 可動ステージ
23 駆動部
24A ライン光源アレイ
26 点灯用電源逐次供給回路
[0001]
BACKGROUND OF THE INVENTION
The present invention relates to an evaluation apparatus and an evaluation method for an integrated thin film solar cell, and in particular, an evaluation of an integrated thin film solar cell capable of measuring local characteristics of a light receiving surface of a solar cell and detecting a local defect. The present invention relates to an apparatus and an evaluation method.
[0002]
[Prior art]
FIG. 8A is a perspective view of an integrated thin film solar cell, and FIG. 8B is a cross-sectional view of the AA line. In FIG. 8, 101 is a substrate, 102 is a first electrode, 103 is a semiconductor layer made of a-Si, 104 is a second electrode, and 105 and 106 are a pair of output terminals. There are two types of integrated thin-film solar cells: front light irradiation type and back surface (substrate side) light irradiation type. In the former case, a transparent conductive film (TCO) is used for the second electrode, and in the latter case A transparent conductive film is used for the first electrode, and a transparent substrate such as glass is used for the substrate.
[0003]
As shown in FIG. 8, each cell of the integrated thin film solar cell has a first electrode 102, a semiconductor layer 103, and a second electrode 104, and is formed in a strip shape. Each cell is connected in series via the first electrode 102 and the second electrode 104, and the entire output is taken out via output terminals 105 and 106 provided at both ends of the series connection body.
The test and measurement of the solar cell thus formed has been performed by irradiating the entire surface with light and measuring the voltage-current characteristics using the output terminals 105 and 106. Based on the result, the maximum output (Pmax) is obtained, and the curve factor calculated from Pmax / Isc · Voc (Isc is the short-circuit current, Voc is the open-circuit voltage): FF value, etc. (for example, Patent Document 1) reference).
[0004]
[Patent Document 1]
JP 2002-270877 A (page 3-7, FIG. 6-8)
[0005]
[Problems to be solved by the invention]
Actually produced integrated thin-film solar cells vary in characteristics due to various factors in the process. In recent years, thin-film integrated solar cells have been increased in the area of the m 2 size class, but due to the increase in area, uniform film formation and maintenance thereof are difficult, non-uniform portions of film thickness and composition, pinholes, etc. Tends to cause performance degradation and instability over time. Conventionally, the entire surface of the solar cell light-receiving surface was irradiated with light and the overall characteristics were measured, so it was difficult to determine where the characteristic variation and defect factors existed on the substrate. And even if there is a large variation in characteristics in the plane, the variation will be averaged, so the variation will not be obvious. Despite being presumed to be fast, it has been treated as a good product. It has also been difficult to pursue which of the semiconductor layers has a cause of variation or a defect. For this reason, it is difficult to identify the location of the film on the substrate, regardless of whether the product has variations or defects, and it takes a long time to deal with defects and is effective in reducing variations. It was difficult to find a proper means.
An object of the present invention is to solve the above-mentioned problems of the prior art, and its purpose is to be able to detect internal variations and local defects and to identify positions with large variations and defect occurrence positions. As a result, products with large internal variations and products with local defects will not be shipped, and it will be possible to take quick and accurate countermeasures to manufacture products with little variation. It is something to try.
[0006]
[Means for Solving the Problems]
In order to achieve the above object, according to the present invention, a mounting table for mounting an integrated thin film solar cell module in which strip-shaped cells are connected in series, and irradiation on the integrated thin film solar cell module , and long line-shaped light sources in the direction of the series connection of cells, one or both of the light source or the mounting table, and means before moving stepwise in a direction perpendicular to the longitudinal direction of the light source, the integrated There is provided an integrated thin film solar cell module evaluation apparatus including a measuring device that automatically measures current-voltage characteristics during light irradiation of the thin film solar cell module in conjunction with the step-like movement.
Preferably, either one or both of the light source and the mounting table can be moved stepwise in a direction perpendicular to the length direction of the light source, whereby the entire solar cell light-receiving surface can be moved. It is configured so that the area can be measured.
[0007]
In order to achieve the above object, according to the present invention, the integrated thin-film solar cell module in which strip-shaped cells are connected in series is irradiated with long line-shaped light in the series connection direction of the cells, moving the line-shaped light receiving portion stepwise current during light irradiation of the integrated thin-film solar cell module - wherein the intends automatically line measurement of the voltage characteristics in conjunction with the movement of the step-like An evaluation method for an integrated thin film solar cell module is provided.
[0008]
DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION
Next, embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the drawings.
FIG. 1 is a perspective view showing a first embodiment of the present invention, and FIG. 2 is a block diagram of its control unit. As shown in FIG. 1, a stage 2 on which an integrated thin film solar cell 5 is placed is installed in a dark box 1 that is a light-shielded container, and the integrated thin film solar cell is placed on the stage 2. A line structure light source 4 capable of irradiating the surface 5 in a line is movably installed. The line structure light source 4 is configured to be moved in a step shape by the step driving unit 3, so that the entire light receiving surface of the integrated thin film solar cell 5 can be irradiated.
[0009]
The longitudinal direction of the line structure light source 4 is the series connection direction of the cells of the integrated thin film solar cell (the left-right direction in FIG. 8). The light source of the line structure light source 4 is a lamp or LED. A halogen lamp or a xenon lamp can be used as the lamp. A rod-shaped lamp can be used as the lamp, and a plurality of lamps may be mounted in the line structure light source 4. Particularly preferred as the lamp is a halogen lamp.
When an LED is used as a light source, a plurality of monochromatic or white LEDs within a wavelength range of 0.3 to 1.5 μm are linearly arranged. A plurality of LEDs having different emission colors may be prepared, and the LEDs having different colors may be switched to emit light. In this case, the LEDs may be arranged in different columns for different emission colors, and the LED columns of different colors may be made to emit light by switching. In integrated thin film solar cells, semiconductor layers having different bandwidths are often stacked. In this case, by irradiating illumination light of different emission colors and performing characteristic measurement, it becomes easy to specify which semiconductor layer has the cause of the defect.
[0010]
The length of the line light is set between the output terminals of the light receiving surface of the solar cell, and the width of the line light is set to a width of 3 to 50 mm. The width of the line light is determined in relation to the step width sent by the line structure light source 4.
The line structure light source 4 is equipped with a light diffusing plate for making the light intensity uniform. Moreover, a filter is mounted as needed. For example, when a white LED is used as a light source, the light emission color of the white LED is higher in light intensity on the blue side than normal white light, so it is desirable to correct the emission spectrum of the white LED by using a filter.
The line structure light source 4 can emit light continuously throughout the measurement of the entire surface of the thin-film solar cell, but may emit light only during characteristic measurement.
[0011]
The line structure light source 4 is sent in steps from the end of the light receiving surface of the solar cell by the step driving unit 3. The desired step width is 3 to 50 mm. A desirable number of steps for one solar cell is 10 to 100. If the number of steps is large, the accuracy is improved, but the measurement time is prolonged. Therefore, the number of steps is determined in consideration of the balance between accuracy and productivity. When the measurement is completed for one solar cell, the line structure light source 4 is returned to the initial position by the step driving unit 3.
A series of operations such as loading / unloading of the integrated thin-film solar cell, step feeding of the line structure light source, and measurement of characteristics are controlled by the control unit 6. The atmosphere in the dark box 1, that is, the temperature and / or humidity is controlled by the air conditioning unit 7. By providing the air conditioning unit 7, it becomes possible to measure characteristics according to temperature changes or humidity changes.
[0012]
As shown in FIG. 2, the control unit 6 includes a central processing unit 61 as a center, a substrate carry-in / out unit 62, a light source control unit 63, a measurement unit 64, a calculation unit 65, a determination / selection unit 66, and a recording unit. 67 is provided. The substrate carry-in / carry-out unit 62 receives instructions from the central processing unit 61 and controls the carry-in / carry-out and positioning of the solar cell to be measured. The light source control unit 63 includes a light source position control unit 631 and an illumination control unit 632. When a trigger signal is issued from the central processing unit 61, the light source position control unit 631 sends the line structure light source by one step. The illumination control unit 632 controls on / off of the light source according to an instruction from the central processing unit 61. The light source position control unit 631 also controls the return of the initial position of the light source when the measurement is completed for the solar cell to be measured. When the measurement unit 64 receives a signal from the central processing unit 61 that the introduction of the solar cell to be measured has been completed or the one-step movement of the line structure light source has been completed, the IV characteristic for one line of the solar cell to be measured. Measure. When the central processing unit 61 receives a signal indicating that the measurement of the IV characteristic for one line is completed from the measurement unit 64, the central processing unit 61 transmits a trigger signal to the light source control unit 63. The calculation unit 65 receives the measurement data of the measurement unit 64 and calculates the maximum output Pmax and the FF value based on the measurement data. The measurement data of the measurement unit 64 and the calculation result of the calculation unit 65 are transmitted to the determination / selection unit 66 and the recording unit 67. When the determination / selection unit 66 acquires data of the entire surface of the solar cell to be measured, the determination / selection unit 66 determines whether the solar cell to be measured is good or bad, and issues a warning when a defective product is generated. Classifies according to its opto-electrical characteristics. When a warning is issued, feedback is given to the production line.
[0013]
FIG. 3 is a flowchart showing an example of the flow of processing using the integrated thin-film solar cell measuring apparatus according to the present embodiment shown in FIGS. In this example, it is assumed that the line structure light source is always turned on, and the number of step feeds of the line structure light source is N (N + 1 line areas to be measured). In the solar cell processing unit A, in step S11, the solar cell to be measured is sent onto the stage and positioned. In step S12, n = 0 is set. In step S13, the opto-electric characteristic is measured. That is, the current-voltage characteristic of the line-shaped part irradiated with light is measured. In step S14, it is checked whether n is N or not. When it is N, it reaches step S15 and the solar cell to be measured is removed from the stage and carried out of the apparatus. In step S16, the line structure light source is returned to the initial position. If it is determined in step S14 that n = N is not satisfied, the process reaches step S17 to generate a trigger signal, and in step S18, the line structure light source is moved by one step. In step S19, after n = n + 1, the process proceeds to step S13.
[0014]
In the data processing unit B, when the solar cell to be measured is carried in at step S11 of the solar cell processing unit A, m = 0 is set at step S21, and step S13 of the solar cell processing unit A is set at step S22. The measurement data obtained in is taken in. In step S23, the maximum output Pmax is obtained based on the acquired measurement data, and the FF value is calculated. Next, in step S24, it is checked whether m is N. When m is N, the process proceeds to step S25, where the measurement result and calculation result of the solar cell to be measured that has been measured are acquired, and the solar cell is determined and selected. That is, defective products are excluded and non-defective products are classified according to characteristics. If a defective product is generated, feedback is provided to the production line (step S26). If it is determined in step S24 that m is not N, a trigger signal standby state is set. In step S27, when the trigger signal transmitted in step S17 is received, the process proceeds to step S28, and after m = m + 1, the process proceeds to step S22.
[0015]
FIG. 4 is a schematic sectional view showing a second embodiment of the present invention. In this Embodiment, it is comprised so that the stage in which the to-be-measured solar cell is mounted can move. That is, the integrated thin film solar cell 15 is placed and positioned on the movable stage 12 that is stepped. The movable stage 12 is installed on the floor surface of the dark box 11 so as to be movable in steps, and a line structure light source 14 is fixed to the ceiling of the dark box 11. The longitudinal direction of the line structure light source 14 is a direction perpendicular to the paper surface, and the series connection direction of the cells of the integrated thin film solar cell 15 is also this direction.
Also in this embodiment, the same effect as that of the previous embodiment can be obtained by step-moving the movable stage 12 and measuring the electrical characteristics for each step feed.
[0016]
FIG. 5 (a) is a schematic perspective view showing a third embodiment of the present invention, and FIG. 5 (b) is a perspective view of an essential part thereof. In the present embodiment, a line light source array 24A equipped with a plurality of line structure light sources 24 is used. The light irradiation range of the light source array 24A is determined by the length and the number of the line structure light sources 24 so that the entire light receiving area of the integrated thin film solar cell 25 can be covered. That is, the length of the line structure light source 24 is set between the output terminals of the light receiving surface of the solar cell, the width is 3 to 50 mm, and the number is 10 to 100. The light source array 24 </ b> A is moved up and down by the drive unit 23, and is brought into contact with the surface when the integrated thin film solar cell 25 is measured. Each line structure light source 24 of the light source array 24A is supplied with power from a lighting power supply sequential supply circuit 26 and is sequentially turned on.
[0017]
Next, the operation of the apparatus according to the present embodiment will be described. The integrated thin film solar cell 25 that is a wafer to be measured is carried into the dark box 21 by a transfer means (not shown) and positioned at a predetermined position on the stage 22. Next, the line light source array 24 </ b> A is lowered by the drive unit 23, and the surface thereof is brought into contact with the light receiving surface of the integrated thin film solar cell 25. Subsequently, for example, the line structure light source 24 at the right end in FIG. 5B is turned on by the lighting power supply sequential supply circuit 26. Then, measurement is performed on the light irradiation region, that is, the line-shaped region at the left end of the integrated thin-film solar cell 25 shown in FIG. When the measurement for the line-shaped region is completed, the lighting power supply sequential supply circuit 26 turns on the second line structure light source 24 from the right shown in FIG. 5B, and the integrated type shown in FIG. Measurement is performed on the second linear region from the left of the thin-film solar cell 25. Hereinafter, similarly, each line structure light source of the line light source array 24A is sequentially turned on, and the measurement of the line-shaped measurement region of the integrated thin-film solar cell 25 is sequentially performed in conjunction therewith. When the measurement for the entire light receiving region of the integrated thin film solar cell 25 is completed, the line light source array 24A is raised by the drive unit 23, and the integrated thin film solar cell 25 is carried out of the dark box 21 by the transport means (not shown). Is done.
[0018]
【Example】
An integrated thin film solar cell was fabricated in which molybdenum (Mo) was used as a lower electrode on a glass substrate, and a p-type CIGS (CuInGaSe) film, an n-type CdS film, a ZnO film, and an Al-doped ZnO film were sequentially laminated. The light receiving area of this module is 171 mm (cell longitudinal direction) x 308 mm (cell serial connection direction), and the number of cell stages is 42. On one of the modules (a module A), using a line structured light source the size of the opening is a light emitting source rod-shaped halogen lamp 308X3mm 2, and 57 lines irradiated with 3mm step, the characteristic line by line It was measured. The results obtained for module A are shown in FIG. The same measurement was performed for other modules (referred to as module B). Based on the measurement results for each line, the maximum output Pmax and the fill factor FF were obtained for each line.
FIG. 7 is a graph showing the short circuit current Isc, the open circuit voltage Voc, the maximum output Pmax, and the fill factor FF for each line of the module A and the module B. In FIG. 7, the vertical axis represents the variation width of each characteristic value. When the allowable value of the variation of each characteristic value is set to 10%, the module B becomes an acceptable product, but the module A fails because the variation exceeds 10% at Pmax.
[0019]
When the module A and the module B are measured and evaluated by the conventional method, that is, when the entire surface of the light receiving surface is irradiated with light and the entire characteristics are measured, the in-plane variation is averaged. Similar measurement results are obtained and both are determined to be non-defective. However, if a region with poor characteristics exists locally in the plane, the deterioration proceeds from that region. Therefore, in order to improve stability over time and ensure long-term reliability, local in-plane It is desirable to reject products that have poor parts at the shipping stage. In addition, when products with locally inferior parts are being manufactured, improvement in the manufacturing process is desired, but the conventional method cannot detect the occurrence of defective products, and requests a process improvement method from the manufacturing site. It was impossible. The present invention provides an effective means for finding defective products and providing feedback to production lines.
[0020]
Although preferred embodiments and examples have been described above, the present invention is not limited to these embodiments, and appropriate modifications can be made without departing from the gist of the present invention. For example, in the above-described embodiment, the step movement is either a line structure light source or a stage, but both may be configured to be step-movable.
[0021]
【The invention's effect】
As described above, according to the present invention, an integrated thin film solar cell is irradiated with a line structure light source to measure the opto-electrical characteristics of the line-shaped portion and evaluate its performance. The local characteristics of the battery can be evaluated. Therefore, according to the present invention, it becomes possible to recognize characteristic variations and local defects inside the integrated thin film solar cell, and it has high internal uniformity and does not include local defect elements, that is, deterioration over time occurs. It is possible to supply products with guaranteed quality. At the same time, it becomes possible to provide information feedback to the manufacturing process of variations in characteristics and local defects within the solar cell, and it is possible to provide useful information for process management.
[Brief description of the drawings]
FIG. 1 is a schematic perspective view showing a first embodiment of the present invention.
FIG. 2 is a block diagram showing a configuration of a control unit of the apparatus shown in FIG.
3 is a flowchart showing a processing flow of the apparatus shown in FIG. 1;
FIG. 4 is a schematic cross-sectional view showing a second embodiment of the present invention.
FIG. 5 is a schematic perspective view showing a third embodiment of the present invention.
FIG. 6 is a graph showing measurement results of an example of the present invention.
FIG. 7 is a characteristic curve diagram obtained from the measurement result of FIG.
FIG. 8 is a perspective view and a cross-sectional view of an integrated thin film solar cell.
[Explanation of symbols]
DESCRIPTION OF SYMBOLS 1, 11, 21 Dark box 2, 22 Stage 3 Step drive part 4, 14, 24 Line structure light source 5, 15, 25 Integrated thin film solar cell 6 Control part 7 Air conditioning part 12 Movable stage 23 Drive part 24A Line light source array 26 Power supply sequential supply circuit for lighting

Claims (13)

短冊状のセルが直列に接続された集積型薄膜太陽電池モジュールを載置する載置台と、前記集積型薄膜太陽電池モジュール上を照射する、セルの直列接続方向に長いライン状の光源と、前記光源または前記載置台のいずれか一方または双方を、前記光源の長さ方向と直交する方向にステップ状に移動させる手段と前記集積型薄膜太陽電池モジュールの光照射時の電流−電圧特性の測定を前記ステップ状の移動と連動して自動的に行う測定器とを含む集積型薄膜太陽電池モジュールの評価装置。A mounting table for mounting the integrated thin film solar cell module in which strip-shaped cells are connected in series, a line-shaped light source that illuminates the integrated thin film solar cell module , and is long in the serial connection direction of the cells, one or both of the light source or the mounting table, and means before moving stepwise in a direction perpendicular to the longitudinal direction of the light source, when the light irradiation of the integrated thin-film solar cell module current - voltage characteristics An integrated thin-film solar cell module evaluation apparatus including a measuring device that automatically performs measurement in conjunction with the step-like movement. 前記ステップ状の移動がトリガー信号によって開始されることを特徴とする請求項1に記載の集積型薄膜太陽電池モジュールの評価装置。2. The integrated thin film solar cell module evaluation apparatus according to claim 1, wherein the step-like movement is started by a trigger signal. ライン状の光源が、前記集積型薄膜太陽電池モジュールの全受光領域を覆うように複数本設けられ、各光源の点灯が逐次切り換えられることを特徴とする請求項1に記載の集積型薄膜太陽電池モジュールの評価装置。2. The integrated thin film solar cell according to claim 1, wherein a plurality of line-shaped light sources are provided so as to cover all light receiving regions of the integrated thin film solar cell module , and lighting of each light source is sequentially switched. Module evaluation device. 前記光源が、直線的に配列された単色LEDもしくは白色LED、または、ランプを備えるものであることを特徴とする請求項1から3のいずれかに記載の集積型薄膜太陽電池モジュールの評価装置。4. The integrated thin-film solar cell module evaluation apparatus according to claim 1, wherein the light source includes a linear LED or a white LED or a lamp arranged linearly. 前記光源が、発光色の異なるLEDをそれぞれ複数個ずつ備えるものであって、発光するLEDの色を切り替えることができるように構成されていることを特徴とする請求項1から4のいずれかに記載の集積型薄膜太陽電池モジュールの評価装置。5. The light source according to claim 1, wherein the light source includes a plurality of LEDs each having a different emission color, and is configured to be able to switch the color of the LED that emits light. The evaluation apparatus of the integrated thin film solar cell module described. 前記光源が、直線的に配列されたLEDの列を複数個備えるものであって、各列のLEDの発光色が互いに異なっており、かつ、発光するLEDの色を切り替えることができるように構成されていることを特徴とする請求項4または5に記載の集積型薄膜太陽電池モジュールの評価装置。The light source includes a plurality of linearly arranged LED rows, the light emission colors of the LEDs in each row are different from each other, and the color of the light emitting LEDs can be switched. 6. The integrated thin film solar cell module evaluation apparatus according to claim 4, wherein the evaluation apparatus is an integrated type thin film solar cell module . 前記光源には、光強度を均一化する光拡散板が備えられていることを特徴とする請求項1から6のいずれかに記載の集積型薄膜太陽電池モジュールの評価装置。7. The integrated thin-film solar cell module evaluation apparatus according to claim 1, wherein the light source is provided with a light diffusing plate that makes light intensity uniform. 前記光源には、照射光のスペクトルを調整するフィルタが備えられていることを特徴とする請求項1から7のいずれかに記載の集積型薄膜太陽電池モジュールの評価装置。8. The integrated thin-film solar cell module evaluation apparatus according to claim 1, wherein the light source includes a filter that adjusts a spectrum of irradiation light. 短冊状のセルが直列に接続された集積型薄膜太陽電池モジュールに、セルの直列接続方向に長いライン状の光を照射するとともに、ライン状受光部分をステップ状に移動させ、前記集積型薄膜太陽電池モジュールの光照射時の電流−電圧特性の測定前記ステップ状の移動と連動して自動的に行ことを特徴とする集積型薄膜太陽電池モジュールの評価方法。The integrated thin-film solar cell module strip cells are connected in series, and irradiates a long line-shaped light in the serial connecting direction of the cell, moving the line-shaped light receiving portion stepwise, the integrated thin-film solar current during light irradiation of the battery module - evaluation method of an integrated thin-film solar cell module, wherein the measurement of the voltage characteristics it intends automatically line in conjunction with the movement of the step-like. 前記集積型薄膜太陽電池モジュール受光面の全面的測定結果に基づいて、面内の特性ばらつきを評価することを特徴とする請求項9に記載の集積型薄膜太陽電池モジュールの評価方法。Based on the integrated thin-film solar cell module light receiving plane overall measurement result of the evaluation method of an integrated thin-film solar cell module according to claim 9, wherein evaluating the characteristic variation in the plane. 光照射時の電流−電圧特性の測定結果に応じてクラス分けないし選別が行われることを特徴とする請求項9または10に記載の集積型薄膜太陽電池モジュールの評価方法。11. The integrated thin film solar cell module evaluation method according to claim 9 or 10, wherein classification or selection is performed according to a measurement result of current-voltage characteristics during light irradiation . 照射光の色を変化させ、各色毎の光照射時の電流−電圧特性を測定することを特徴とする請求項9から11のいずれかに記載の集積型薄膜太陽電池モジュールの評価方法。The method for evaluating an integrated thin-film solar cell module according to any one of claims 9 to 11, wherein the color of the irradiation light is changed and the current-voltage characteristics at the time of light irradiation for each color are measured. 前記集積型薄膜太陽電池モジュールの配置される環境の温度を変化させ、異なる温度での光照射時の電流−電圧特性を測定することを特徴とする請求項9から12のいずれかに記載の集積型薄膜太陽電池モジュールの評価方法。 The integration according to any one of claims 9 to 12, wherein a temperature of an environment in which the integrated thin film solar cell module is arranged is changed, and current-voltage characteristics at the time of light irradiation at different temperatures are measured. Evaluation method of a type thin film solar cell module .
JP2003032002A 2002-12-19 2003-02-10 Integrated thin film solar cell evaluation apparatus and evaluation method Expired - Lifetime JP4765052B2 (en)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2003032002A JP4765052B2 (en) 2002-12-19 2003-02-10 Integrated thin film solar cell evaluation apparatus and evaluation method

Applications Claiming Priority (3)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2002368522 2002-12-19
JP2002368522 2002-12-19
JP2003032002A JP4765052B2 (en) 2002-12-19 2003-02-10 Integrated thin film solar cell evaluation apparatus and evaluation method

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JP2004247325A JP2004247325A (en) 2004-09-02
JP4765052B2 true JP4765052B2 (en) 2011-09-07

Family

ID=33031708

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2003032002A Expired - Lifetime JP4765052B2 (en) 2002-12-19 2003-02-10 Integrated thin film solar cell evaluation apparatus and evaluation method

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JP4765052B2 (en)

Families Citing this family (10)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP4153021B1 (en) 2007-10-22 2008-09-17 日清紡績株式会社 Solar cell inspection equipment
JP5134479B2 (en) * 2008-09-19 2013-01-30 三菱重工業株式会社 Inspection device for photoelectric conversion device module
JP2011009358A (en) * 2009-06-24 2011-01-13 Stanley Electric Co Ltd Solar cell evaluation device
JP2011049474A (en) * 2009-08-28 2011-03-10 Sharp Corp Solar battery evaluation apparatus
JP2011082202A (en) * 2009-10-02 2011-04-21 Mitsubishi Heavy Ind Ltd Inspection device
JP5509414B2 (en) * 2010-01-28 2014-06-04 大日本スクリーン製造株式会社 Solar cell evaluation apparatus and solar cell evaluation method
EP2727155B1 (en) * 2011-06-28 2019-08-07 (CNBM) Bengbu Design & Research Institute for Glass Industry Co., Ltd. Method for quickly stabilizing the nominal output of a thin-film solar module
EP2546667A1 (en) * 2011-07-13 2013-01-16 Jean Randhahn Method for characterizing large area thin film photovoltaic devices
JP2013222896A (en) * 2012-04-18 2013-10-28 Konica Minolta Inc Solar cell evaluation device and method
CN111030595B (en) * 2019-12-16 2022-08-30 凯盛光伏材料有限公司 Method for testing sub-cell of solar thin film assembly

Family Cites Families (13)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS5920870A (en) * 1982-07-27 1984-02-02 Sharp Corp Testing of solar battery array
DE3536743C2 (en) * 1985-10-15 1994-11-10 Siemens Ag Process for the production of large-area silicon crystal bodies for solar cells
JPH0739247Y2 (en) * 1986-02-18 1995-09-06 三洋電機株式会社 Photocurrent distribution analyzer for light receiving element
JPH0795091B2 (en) * 1992-12-24 1995-10-11 工業技術院長 Solar cell evaluation method
JPH08123561A (en) * 1994-10-20 1996-05-17 Meidensha Corp Method and device for maximum output following control for photovoltaic power generation system
JPH08223815A (en) * 1995-02-09 1996-08-30 Omron Corp Charger
JP3618865B2 (en) * 1996-01-05 2005-02-09 キヤノン株式会社 Photovoltaic element characteristic inspection apparatus and manufacturing method
JP3655025B2 (en) * 1996-09-04 2005-06-02 株式会社カネカ Thin film photoelectric conversion device and manufacturing method thereof
JPH11103538A (en) * 1997-09-27 1999-04-13 My Way Giken Kk Optical power generating system
JPH11163379A (en) * 1997-12-02 1999-06-18 Citizen Watch Co Ltd Amorphous silicon solar cell
JP4272320B2 (en) * 1999-12-06 2009-06-03 株式会社カネカ Defect repair method for thin film photoelectric conversion module and method for manufacturing thin film photoelectric conversion module
JP2002111030A (en) * 2000-07-05 2002-04-12 Canon Inc Method for measuring or predicting photoelectric conversion characteristics of a photoelectric conversion device, method for quantifying spectral dependence, and apparatuses thereof
JP4072374B2 (en) * 2002-04-18 2008-04-09 キヤノン株式会社 Photovoltaic module characteristic inspection method and apparatus

Also Published As

Publication number Publication date
JP2004247325A (en) 2004-09-02

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP4765052B2 (en) Integrated thin film solar cell evaluation apparatus and evaluation method
US9103871B2 (en) High throughput quantum efficiency combinatorial characterization tool and method for combinatorial solar test substrates
CN106641888B (en) Method and apparatus for testing optoelectronic devices
US20040020529A1 (en) Device for testing solar cells
JP2010525311A (en) Thin film solar module automatic quality control test equipment
JP4625941B2 (en) Solar cell performance evaluation system
JP3618865B2 (en) Photovoltaic element characteristic inspection apparatus and manufacturing method
JP2011138981A (en) Inspection device for current-voltage characteristic and defect of solar cell
CN102221669B (en) Solar cell measurement system and solar simulator
KR20120052812A (en) Manufacturing appratus and manufacturing method of led package
JP5134479B2 (en) Inspection device for photoelectric conversion device module
JPWO2011152081A1 (en) Solar simulator and solar cell inspection device
JP5509414B2 (en) Solar cell evaluation apparatus and solar cell evaluation method
JP6984228B2 (en) Exposure device, adjustment method of exposure device and storage medium
KR20130102268A (en) Apparatus and method for inspecting light emitting device
CN102569549A (en) Semiconductor light-emitting device measurement apparatus
JP2010238906A (en) Solar cell output characteristic measuring apparatus and output characteristic measuring method
CN112670201B (en) Detection device
JP2011049474A (en) Solar battery evaluation apparatus
US20250023516A1 (en) Contact device and arrangement and method for characterizing sub-cells
WO2010015858A2 (en) Testing photovoltaic transducers
JP2013120842A (en) Photoelectric conversion device inspection method and inspection device
JP7282961B1 (en) PHOTOELECTRIC CONVERSION DEVICE INSPECTION DEVICE, PHOTOELECTRIC CONVERSION DEVICE MANUFACTURING DEVICE, PHOTOELECTRIC CONVERSION DEVICE MANUFACTURING METHOD
JP3068793B2 (en) Photovoltaic cell characteristic evaluation device and photovoltaic cell characteristic evaluation method
KR20100063851A (en) Led inspection apparatus and inspection method using the same

Legal Events

Date Code Title Description
A621 Written request for application examination

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621

Effective date: 20041124

A977 Report on retrieval

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007

Effective date: 20080314

A131 Notification of reasons for refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131

Effective date: 20080422

A521 Request for written amendment filed

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20080620

A131 Notification of reasons for refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131

Effective date: 20080930

A521 Request for written amendment filed

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20081128

A131 Notification of reasons for refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131

Effective date: 20090602

A02 Decision of refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02

Effective date: 20100216

R150 Certificate of patent or registration of utility model

Ref document number: 4765052

Country of ref document: JP

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150

S533 Written request for registration of change of name

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313533

R350 Written notification of registration of transfer

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350

EXPY Cancellation because of completion of term