JP4772626B2 - 駆動装置 - Google Patents

Description

本発明は、駆動装置、特に駆動を発生させる駆動発生部を備える駆動装置に関するものである。

従来、振動を発生する振動アクチュエータとしては、例えば、特許文献１のように、圧電素子の４箇所に電極を設け、対角にある２対の電極にそれぞれ位相が異なる交流電圧を印加し、圧電素子に縦振動と屈曲振動とを調和的に発生させることにより、駆動力を得るものがある。また、このような振動アクチュエータを用いた駆動装置が知られている。

一般に、駆動力を得るためには振動子に適切な加圧を行う必要がある。図１２に示すように、特許文献１では、支持台１０１に２本のレール１０１ａを設け、第１の移動体１０２に設けてある溝部１０２ｂをそれらのレール１０１ａの上に配置している。更に、第１の移動体１０２に設けられた２本のレール１０２ａの上に溝部１０３ａが形成された第２の移動体１０３を配置している。突起１０４ａを有する振動アクチュエータ１０４が支持台１０１に固定され、支持台１０１に固定された付勢部材１０４ｂで第１の移動体１０２に対する加圧が行われる。振動アクチュエータ１０４に駆動電圧が印加されると、振動アクチュエータ１０４が屈曲振動して第１の移動体１０２がレール１０１ａに沿って移動する。また、突起１０５ａを有する振動アクチュエータ１０５が第１の移動体１０２に固定され、第１の移動体１０２に固定された付勢部材１０５ｂで第２の移動体１０３に対する加圧が行われる。振動アクチュエータ１０５に駆動電圧が印加されると、振動アクチュエータ１０５が屈曲振動して第２の移動体１０３がレール１０２ａに沿って移動する。

一方、近年のデジタルカメラの高画質化や小型薄型化に伴い、撮影された映像の像振れを解消する為に、補正レンズ駆動する駆動装置（像ぶれ補正装置）を備えるデジタルカメラが知られている（例えば、特許文献２参照。）。この像ぶれ補正装置について、図１３を用いて説明する。

撮影時に像ぶれを補正するための像ぶれ補正用レンズ群Ｌ３は、第１の方向（Ｙ方向）であるピッチング方向と、第２の方向（Ｘ方向）であるヨーイング方向とに移動可能であるピッチング移動枠２３２に固定されている。このピッチング移動枠２３２は、−Ｘ方向側に軸受２３２ａと＋Ｘ方向側に回り止め２３２ｂとを有している。この軸受２３２ａにＹ軸方向と平行なピッチングシャフト２３３ａを挿入し、回り止め２３２ｂに後述するＹ軸方向と平行なピッチングシャフト２３３ｂを係合することにより、ピッチング移動枠２３２は第１の方向（Ｙ）方向に摺動可能になっている。

ピッチング移動枠２３２に対して−Ｚ方向側には、像ぶれ補正用レンズ群Ｌ３を第２の方向（Ｘ方向）に移動させるヨーイング移動枠２３４が取り付けられている。ヨーイング移動枠２３４には、先ほど述べたピッチング移動枠２３２をピッチング方向（Ｙ方向）に摺動させるためのピッチングシャフト２３３ａの両端を固定する固定部２３４ａと、＋Ｘ方向側に回り止め２３２ｂと係合するピッチングシャフト２３３ｂとが設けられている。また、ヨーイング移動枠２３４は、＋Ｙ方向側に軸受２３４ｂと、−Ｙ方向側にヨーイングシャフト２３５ｂ及びその両端が圧入固定される固定部２３４ｃとを有している。この軸受２３４ｂにＸ方向と平行なヨーイングシャフト２３５ａを挿入し、Ｘ方向と平行なヨーイングシャフト２３５ｂを３群枠２０８の回り止め部２０８ｄに係合することにより、ヨーイング移動枠２３４は第２の方向（Ｘ方向）に摺動可能になっている。

ヨーイング移動枠２３４に対して−Ｚ方向側に設けられた３群枠２０８には、先述したヨーイング移動枠２３４をヨーイング方向（Ｘ方向）に摺動させるためのヨーイングシャフト２３５ａの両端を固定する固定部２０８ｃとヨーイングシャフト２３５ｂを係合する回り止め部２０８ｄとが設けられている。

矩形の電気基板２３６は、ピッチング移動枠２３２の−Ｚ方向側の面に取り付けられている。電気基板２３６には、像ぶれ補正用レンズ群Ｌ３をピッチング方向に駆動する第１のコイル２３７ｙ及びヨーイング方向に駆動する第２のコイル２３７ｘと、像ぶれ補正用レンズ群Ｌ３のピッチング方向の位置を検出するホール素子２３８ｙ及びヨーイング方向の位置を検出するホール素子２３８ｘとが設けられている。なお、このコイル２３７ｙ，２３７ｘは、積層コイルとして電気基板２３６に一体に構成されている。

マグネット２３９ｙ，２３９ｘは片側に２極着磁されている。このマグネット２３９ｙ，２３９ｘは、それぞれ断面コの字型のヨーク２４０ｙ，２４０ｘに固定されている。ヨーク２４０ｙは、Ｙ方向より、３群枠２０８の嵌合部２０８ｙに圧入固定される。同様に、ヨーク２４０ｘは、Ｘ方向より、３群枠２０８の嵌合部２０８ｘに圧入固定される。

第１の電磁アクチュエータ２４１ｙは、第１のコイル２３７ｙと、マグネット２３９ｙと、第１のヨーク２４０ｙとにより構成される。同様に、第２の電磁アクチュエータ２４１ｘは、第１のコイル２３７ｘと、マグネット２３９ｘと、第１のヨーク２４０ｘとにより構成される。第１の電磁アクチュエータ２４１ｙがピッチング移動枠２３２を第１の方向であるピッチング方向（Ｙ方向）に駆動し、第２の電磁アクチュエータ２４１ｘがピッチング移動枠２３２を第２の方向であるヨーイング方向（Ｘ方向）に駆動する。

以上の構成によって、電気基板２３６の第１のコイル２３７ｙに電流が流されると、第１のマグネット２３９ｙとヨーク２４０ｙとにより第１の方向であるピッチング方向（Ｙ方向）に沿った電磁力が発生する。これと同様に、電気基板２３６の第２のコイル２３７ｘに電流が流されると、第２のマグネット２３９ｘとヨーク２４０ｘとにより第２の方向であるヨーイング方向（Ｘ方向）に沿った電磁力が発生する。このように２つの電磁アクチュエータ２４１ｙ，２４１ｘにより、像ぶれ補正用レンズ群Ｌ３はＺ方向の光軸にほぼ垂直なＸ，Ｙの２方向に駆動される。

次に、像ぶれ補正用レンズ群Ｌ３の位置を検出する位置検出部２４２ｙ，２４２ｘについて説明する。磁束を電気信号に変換するホール素子２３８ｙ，２３８ｘは、電気基板２３６に位置決め固定されている。検出用マグネットとしては、先に説明した電磁アクチュエータ２４１ｙ，２４１ｘのマグネット２３９ｙ，２３９ｘが兼用される。したがって、ホール素子２３８ｙ、２３８ｘとマグネット２３９ｙ，２３９ｘとにより位置検出部２４２ｙ，２４２ｘが構成される。ここで、図１４を用いてマグネット２３９ｙ，２３９ｘの磁束の状態を説明する。図の横軸は光軸を中心としてピッチング方向（Ｙ方向）又はヨーイング方向（Ｘ方向）の位置を、縦軸は磁束密度をそれぞれ示している。また横軸の中央は、マグネット２３９ｙ，２３９ｘの２極着磁の境界部分であり、このとき磁束密度はゼロとなる。この位置は、像ぶれ補正用レンズ群Ｌ３の光軸中心と略一致する。マグネット２３９ｙ，２３９ｘに対して、ホール素子２３８ｙ，２３８ｘが移動することにより、変位量がゼロの位置を中心とする破線で示す範囲内では、変位量の変化に対して磁束密度が略直線的に変化する。したがって、ホール素子２３８ｙ，２３８ｘから出力される電気信号を検出することにより、像ぶれ補正用レンズ群Ｌ３のピッチング方向（Ｙ方向）およびヨーイング方向（Ｘ方向）の位置を検出することが可能となる。

フレキシブルプリントケーブル２４３は、電気基板２３６に取り付けられコイル２３７ｘ，２３７ｙ、ホール素子２３８ｘ，２３８ｙと図示せぬカメラ本体の回路との間の信号の伝達を行う。

以上の構成要素２３２〜２４３により、像ぶれ補正装置２３１が構成されている。

特開平１１−２７１４８０ 特開２００４−１２６０２８

以上に説明した駆動装置では、さらなる装置の小型化が求められている。

具体的には、図１２に示す駆動装置では、振動アクチュエータ１０４，１０５および付勢部材１０４ｂ、１０５ｂがそれぞれの支持台１０１および第１の移動体１０２上に固定されているため、大型化しやすい。また、第１の移動体１０２と第２の移動体１０３とに対して付勢部材１０４ｂ，１０５ｂを用いて加圧しているため、レール１０１ａ，１０２ａや溝部１０２ｂ，１０３ａに対して摩擦負荷が発生しやすく、剛性を高める必要から装置全体の厚み方向または厚み方向に直交する方向に大型化してしまうという問題がある。

また、図１３に示す駆動装置では、電磁力を高める為、コイル２３７ｘ，２３７ｙの巻数を増加させたり、マグネット２３９ｘ，２３９ｙを大きくする必要がある。また、位置検出センサーにホール素子２３８ｘ，２３８ｙを使用している。このため、位置に対する磁束密度変化の直線性を確保する必要から、磁石が大型化するといった問題がある。この結果、駆動装置全体が、厚み方向または厚み方向に直交する方向に大型化してしまうという問題がある。

そこで本発明では、厚み方向または厚み方向に直交する方向の小型化を実現する駆動装置を提供することを課題とする。

第１の発明としての駆動装置は、第１枠体と、第２枠体と、第３枠体と、第１駆動機構と、第２駆動機構とを備えている。第２枠体は、第１枠体に対して第１方向に移動可能に支持されている。第３枠体は、第２枠体に対して第１方向と交差する第２方向に移動可能に支持されている。第１駆動機構は、第１枠体と第２枠体とを第１方向に相対移動させる。第２駆動機構は、第２枠体と第３枠体とを第２方向に相対移動させる。第１駆動機構と第２駆動機構とのそれぞれは、圧電素子により駆動を発生させる駆動発生部と、駆動発生部に対して相対的に押圧され、駆動発生部により発生した駆動を受ける駆動受部とを有する。第１駆動機構において駆動発生部が駆動受部に作用する方向は、第２駆動機構において駆動発生部が駆動受部に作用する方向の平行かつ逆向きの方向である。第１駆動機構は、第２方向において第２枠体の側方に配置されている。第２駆動機構は、第１方向において第２枠体の側方に配置されている。第１および第２方向に直交する第３方向において、第１駆動機構の駆動発生部および駆動受部の位置関係は、第２駆動機構の駆動発生部および駆動受部の位置関係と逆になっている。

第２の発明としての駆動装置は、第１の発明であって、第１駆動機構の駆動発生部と駆動受部とは、第３方向に対向して配置されている。第２駆動機構の駆動発生部と駆動受部とは、第３方向に対向して配置されている。

第３の発明としての駆動装置は、第１または第２の発明であって、駆動発生部は、縦振動と屈曲振動の合成により圧電素子に定在波を発生させて駆動受部を相対的に駆動させる。

第４の発明としての駆動装置は、第１〜第３のいずれかの発明であって、第１枠体には、第１方向に延びる第１主軸が設けられている。第２枠体には、第１主軸が設けられている側とは第２方向反対側に配置され第１方向に延びる第１副軸と、第２方向に延びる第２主軸と、第２主軸が設けられている側とは第１方向反対側に配置され第２方向に延びる第２副軸とが設けられている。第１主軸は、第１駆動機構の駆動受部を構成する。第２主軸は、第２駆動機構の駆動受部を構成する。

第５の発明としての駆動装置は、第１〜第４のいずれかの発明であって、第３枠体には、光学部品が配置されている。

本発明により、厚み方向または厚み方向に直交する方向の小型化を実現する駆動装置を提供することが可能となる。

駆動装置の構成を示す分解斜視図（第１実施形態） 駆動装置の背面側の構成を示す分解斜視図（第１実施形態） 第２駆動機構の構成を示す分解斜視図（第１実施形態） 駆動発生部の構成を示す斜視図（第１実施形態） 軸受部の構成を示す分解斜視図（第１実施形態） 軸受部の構成を示す分解斜視図（第１実施形態） 変形例としての駆動装置の構成を示す分解斜視図（第１実施形態） 変形例としての駆動装置の構成を示す分解斜視図（第１実施形態） 変形例としての駆動装置の構成を示す分解斜視図（第１実施形態） 駆動装置の構成を示す斜視図（第２実施形態） 変形例としての駆動装置の構成を示す斜視図（第２実施形態） 従来技術としての駆動装置の構成を示す斜視図（背景技術） 従来技術をとしての駆動装置の構成を示す分解斜視図（背景技術） センサーの磁石の位置に対する磁束密度の状態を示す説明図（背景技術）

以下、図面を参照しながら、本発明の実施形態について説明する。
（第１実施形態）
本発明の第１実施形態である駆動装置について説明する。

図１は駆動装置５０の分解斜視図、図２は駆動装置５０の背面側の分解斜視図である。

〈駆動装置５０〉
駆動装置５０は、デジタルスチールカメラ、デジタルビデオカメラなどの光学機器に搭載される装置であり、ＣＣＤやＣＭＯＳなどの撮像素子やレンズといった光学部品を光軸に直交な２方向に駆動し、光学像の像ぶれ補正を行うために用いられる装置である。図１に示す駆動装置５０は、特に上面側に撮像素子などを搭載し駆動する装置である。

図１に示すように、駆動装置５０は、第１枠体５１と、第２枠体５２と、第３枠体５３と、第１駆動機構５４と、第２駆動機構５５とを備えている。第２枠体５２は、第１枠体５１に対して第１方向Ａに移動可能に支持されている。第３枠体５３は、第２枠体５２に対して第１方向Ａと直交する第２方向Ｂに移動可能に支持されている。

第１駆動機構５４は、第１枠体５１と第２枠体５２との間に設けられ、第１枠体５１と第２枠体５２とを相対移動させる。具体的には、第１駆動機構５４は、第２枠体５２を第１枠体５１および第１枠体５１が固定される光学機器（図示せず）に対して第１方向Ａに沿って駆動する。

第２駆動機構５５は、第２枠体５２と第３枠体５３との間に設けられ、第２枠体５２と第３枠体５３とを相対移動させる。具体的には、第２駆動機構５５は、第３枠体５３を第２枠体５２に対して第２方向Ｂに沿って駆動する。第２駆動機構５５は、第１駆動機構５４に対して、第１方向Ａおよび第２方向Ｂに直交する第３方向Ｃ回りに９０度回転した位置に配置されている。

第１駆動機構５４と第２駆動機構５５とのそれぞれは、駆動発生部２１と、駆動受部２２と、軸受部２３と、付勢部２４とを含んでいる。駆動発生部２１は、圧電素子１により駆動を発生させる。駆動受部２２は、駆動発生部２１に対して相対的に押圧され、駆動発生部２１により発生した駆動を受ける。軸受部２３は、駆動受部２２を挟んで駆動発生部２１と対向して配置され、駆動受部２２において駆動発生部２１が作用する箇所の駆動発生部２１側とは反対側への駆動受部２２の変位を規制する。付勢部２４は、駆動発生部２１と軸受部２３とをお互いに近づける方向に付勢する。

第１枠体５１には、第１駆動機構５４の駆動受部２２が固定されているとともに、駆動受部２２を支持する軸受部２３および付勢部２４が設けられている。第２枠体５２には、第１駆動機構５４の駆動発生部２１が弾性的に固定されているとともに、第２駆動機構５５の駆動受部２２および駆動受部２２を支持する軸受部２３および付勢部２４が設けられている。第３枠体５３には、第２駆動機構５５の駆動発生部２１が弾性的に固定されている。

第１駆動機構５４および第２駆動機構５５は、上述のごとく第１枠体５１〜第３枠体５３に配置されており、第１駆動機構５４において駆動発生部２１が駆動受部２２に作用する作用方向Ｃ１は、第２駆動機構５５において駆動発生部２１が駆動受部２２に作用する作用方向Ｃ２の平行かつ逆向きの方向である。詳しくは、第１駆動機構５４の駆動発生部２１と駆動受部２２との位置関係は、第２駆動機構５５の駆動発生部２１と駆動受部２２との位置関係と逆になっている。すなわち、第１駆動機構５４では、駆動発生部２１と駆動受部２２とは、第３方向Ｃに対向して配置されるとともに、駆動発生部２１は駆動受部２２の第３方向Ｃの上側に配置されている。一方、第２駆動機構５５では、駆動発生部２１と駆動受部２２とは、第３方向Ｃに対向して配置されるとともに、駆動発生部２１は駆動受部２２の第３方向Ｃの下側に配置されている。

このように、第１駆動機構５４および第２駆動機構５５において、駆動発生部２１が駆動受部２２に作用する方向を第３方向Ｃに沿った方向とすることで、第３方向Ｃから見た駆動装置５０の大きさ（投影面積）を小さくすることが可能となる。さらに、第１駆動機構５４における作用方向Ｃ１と第２駆動機構５５における作用方向Ｃ２とを第３方向Ｃに沿った方向かつ逆向きとすることで、駆動装置５０の第３方向Ｃへの厚みを小さくすることが可能となる。

〈回り止め機構〉
図２に示すように、第１枠体５１には、第１方向Ａに沿って第１駆動機構５４の駆動受部２２のシャフト５（後述）の両端が固定されている。さらに、第２枠体５２には、第２方向Ｂに沿って第２駆動機構５５の駆動受部２２のシャフト５（後述）の両端が固定されている。

第１枠体５１と第２枠体５２との間には、第１駆動機構５４が設けられる位置と第２方向Ｂ反対側に第１回り止め機構５７が設けられている。第１回り止め機構５７は、第１駆動機構５４のシャフト５回りに第１枠体５１と第２枠体５２とが相対回転することを防止するための機構である。第１回り止め機構５７は、第１枠体５１に形成されたコの字型の回り止め４ｆと、第２枠体５２のシャフト保持部２４ａに圧入または接着により固定され、回り止め４ｆに係合するシャフト１５とから構成されている。第１回り止め機構５７のシャフト１５は、第１方向Ａに沿って延びている。

第２枠体５２と第３枠体５３との間には、第２駆動機構５５が設けられる位置と第１方向Ａ反対側に第２回り止め機構５８が設けられている。第２回り止め機構５８は、第２駆動機構５５のシャフト５回りに第２枠体５２と第３枠体５３とが相対回転することを防止するための機構である。第２回り止め機構５８は、第３枠体５３に形成されたコの字型の回り止め４ｆと、第２枠体５２のシャフト保持部２４ｂに圧入または接着により固定され、回り止め４ｆに係合するシャフト１５とから構成されている。第２回り止め機構５８のシャフト１５は、第２方向Ｂに沿って延びている。

上述のように、第２枠体５２を第１方向Ａに沿って駆動する第１駆動機構５４の駆動発生部２１は、駆動装置５０において第１方向Ａに沿って設けられた２本のシャフト５，１５のうち、第１駆動機構５４のシャフト５に作用する。すなわち、駆動発生部２１からの駆動は、第１方向Ａへの第２枠体５２の運動をより正確に規制する主軸である、第１駆動機構５４の駆動受部２２に対して作用する。このため、モーメントの発生を抑え、第２枠体５２を第１方向Ａに沿ってより正確に（直線的に）駆動することが可能となる。

また、第３枠体５３を第２方向Ｂに沿って駆動する第２駆動機構５５の駆動発生部２１は、駆動装置５０において第２方向Ｂに沿って設けられた２本のシャフト５，１５のうち、第２駆動機構５５のシャフト５に作用する。すなわち、駆動発生部２１からの駆動は、第２方向Ｂへの第３枠体５３の運動をより正確に規制する主軸である、第２駆動機構５５の駆動受部２２に対して作用する。このため、モーメントの発生を抑え、第３枠体５３を第２方向Ｂに沿ってより正確に（直線的に）駆動することが可能となり、駆動性能が向上する。

〈駆動機構〉
ここで、図面を参照しながら、第１駆動機構５４および第２駆動機構５５について説明する。なお、それぞれの駆動機構を構成する駆動発生部２１、駆動受部２２、軸受部２３、付勢部２４の構成はほぼ同様であるため、以下では、第２駆動機構５５について詳しく説明し、第１駆動機構５４については、その説明を省略する。

図３は、本発明の第２駆動機構５５の分解斜視図である。

第２駆動機構５５は、上述のように、駆動発生部２１と、駆動受部２２と、軸受部２３と、付勢部２４とを含む。

駆動発生部２１は、例えば圧電素子などの電気機械変換素子により駆動を発生させる。駆動受部２２は、駆動発生部２１により発生した駆動を受け、駆動発生部２１に対して相対的に駆動される。軸受部２３は、駆動受部２２を挟んで駆動発生部２１と対向して配置され、駆動受部２２において駆動発生部２１が作用する箇所の駆動発生部２１側とは反対側への駆動受部２２の変位を規制する。付勢部２４は、駆動発生部２１と軸受部２３とをお互いに近づける方向に付勢する。

このような駆動発生部２１は、第３枠体５３により支持され、第３枠体５３は、駆動発生部２１が発生する駆動により、駆動受部２２に対して相対的に駆動される。

以下、上述の各構成について、より詳細に説明を加える。

〈駆動発生部２１〉
図４は、第２駆動機構５５が備える駆動発生部２１の斜視図である。

駆動発生部２１は、振動アクチュエータ１と、弾性体２ａ〜２ｃと、アクチュエータケース３とから主に構成されている。

振動アクチュエータ１は、直方体形状をした圧電素子１ａ、圧電素子１ａの最も広い面積を有する面（以下、主面という）の長辺側の側面に配置され、駆動受部２２に対して摩擦接触する２つの駆動子１ｂ，１ｃ、主面に形成された４つの電極１ｄ〜１ｇとから主に構成されている。

圧電素子１ａは、主にセラミックスなどの材料により構成される部材である。圧電素子１ａは、対角に位置する２対の電極１ｄ，１ｇおよび電極１ｅ，１ｆにそれぞれ位相が異なる交流電圧を印加することで、縦振動と屈曲振動とを調和的に発生させ、駆動力を発生させる。なお、電圧印加は、電極１ｄ〜１ｇに接続されたフレキシブルプリント基板（図示せず）を用いて行われている。駆動子１ｂ，１ｃは、駆動受部２２と接触する頭部が半球状に形成された、例えばセラミックス材料で構成された部材である。駆動子１ｂ，１ｃは、圧電素子１ａに固定され、圧電素子１ａに発生した駆動力を駆動受部２２に伝える。なお、駆動子１ｂ，１ｃの頭部の形状は、図示した半球状に限らず、他の曲面状に形成されていてもよく、駆動効率を高める形状であれば、どのような形状でも構わない。

弾性体２ａ，２ｂは、圧電素子１ａの主面の短辺側側面を両側から弾性支持する。弾性体２ｃは、圧電素子１ａの主面の長辺側側面を駆動受部２２側に弾性支持する。弾性体２ａ〜２ｃは、ゴムやフェルトなどで構成されており、弾性変形することにより、付勢力を発生する。弾性体２ａ〜２ｃは、駆動受部２２に対する振動アクチュエータ１の姿勢を維持し、振動アクチュエータ１が駆動受部２２を駆動する際の駆動効率を高める役割を果たす。なお、弾性体２ｃは、後述する加圧バネ１１とともに、駆動発生部２１と軸受部２３とをお互いに近づける方向に付勢する付勢部２４（図３参照）を構成する。

アクチュエータケース３は、振動アクチュエータ１および弾性体２ａ〜２ｃを一体的に保持する。具体的には、振動アクチュエータ１は、弾性体２ａ〜２ｃを介して、アクチュエータケース３の内部に固定されている。アクチュエータケース３には、圧電素子１ａの主面の反対側の面と対向する面において、厚さ方向に貫通する貫通孔３ａが形成されている（図３参照）。アクチュエータケース３は、貫通孔３ａに、後述する第３枠体５３の平面部４ｃに形成された突起４ｄを嵌め合わせることにより、平面部４ｃと対向して配置される。これにより、アクチュエータケース３の内部に固定された振動アクチュエータ１および弾性体２ａ〜２ｃは、第３枠体５３および第３枠体５３に配置される部材に対して位置決めされる。具体的には、後述する駆動受部２２のシャフト５、コの字型ベース６およびセラミックス板７に対して、振動アクチュエータ１の駆動子１ｂ、１ｃが接触するように配置される。この時、弾性体２ｃは、ある程度収縮するため、振動アクチュエータ１の駆動子１ｂ、１ｃは、セラミックス板７を押圧しつつ接触する。なお、アクチュエータケース３には貫通孔３ａを形成せず、突起４ｄを設けない平面部４ｃに対して接着固定してもよい。

〈駆動受部２２〉
駆動受部２２（図３参照）は、ステンレスからなるシャフト５と、シャフト５に固定されるコの字型ベース６と、コの字型ベース６の駆動発生部２１と対向する面に貼り付けられたセラミックス板７とから主に構成されている。シャフト５は、後述する第３枠体５３の挿通孔４ａ，４ｂに対して挿通され、第３枠体５３に対して、シャフト５の軸方向（符号Ａで示す方向）に相対的に駆動される。コの字型ベース６は、挿通孔４ａ，４ｂに挿通されたシャフト５の挿通孔４ａと挿通孔４ｂとの中間位置において接着剤によって接着固定、あるいは異種材料同士の化学的接合により固定されている。

駆動子１ｂ，１ｃの頭部は、それぞれ半球状に形成されている。このため、駆動受部２２を効率よく駆動させるためには、円柱状のシャフト５に駆動子１ｂ，１ｃが直接当接するよりも、シャフト５に固定された平面状のセラミックス板７に駆動子１ｂ，１ｃが直接当接する方が好ましい。また、平面状のセラミックス板７を介して、駆動子１ｂ，１ｃと駆動受部２２とを当接させる方が、組み立ても容易となる。

なお、駆動子１ｂ，１ｃが摺動方向（シャフト５の軸方向）に曲率を有する形状である場合には、駆動子１ｂ，１ｃを、円柱状のシャフト５の円弧部分に当接させても駆動効率はそれほど低下しない。しかし、駆動発生部２１は、高周波の駆動を発生させるとともに、駆動発生部２１から駆動受部２２への駆動の伝達は、摩擦による伝達であるため、セラミックス材料で形成された駆動子１ｂ，１ｃと、金属材料で形成されたシャフト５とを直接接触させると、接触部の摩耗が激しくなる。ここで、駆動装置５０が、シャフト５が磨耗されることによる粉塵や駆動効率の低下等を許容できる装置に搭載されるものである場合には、駆動子１ｂ，１ｃと円柱状のシャフト５とを直接当接させる、あるいはシャフト５にＤカットを施し、その平面部を駆動子１ｂ，１ｃと直接当接させるなどといった構成を採用することも可能である。

しかし、駆動装置５０が、シャフト５が磨耗されることによる粉塵や駆動効率の低下等を許容できない装置に搭載されるものである場合には、接触部を磨耗しにくい材料で構成することが求められる。一方、シャフト５をセラミックス材料で構成しようとしても、高硬度材料であるセラミックス材料を精度良く円柱形に研磨することは困難であり、高コストの要因となる。このため、第２駆動機構５５では、容易に精度良く研磨することが可能でコストなどの問題がない金属材料でシャフト５を構成しつつ、シャフト５に対してセラミックス板７を固定する構成を採用している。なお、コの字型ベース６をセラミックス材料で構成する場合には、セラミックス板７は設けなくてもよい。また、コの字型ベース６は、正確にコの字型で無くとも良く、シャフト５に合わせて円弧状（Ｃ字状）の断面を有していてもよい。

〈軸受部２３〉
軸受部２３（図３参照）は、シャフト５を挟んで駆動発生部２１と対向して配置され、駆動発生部２１の駆動によるシャフト５の撓みを規制する部材である。軸受部２３は、シャフト５に当接し、シャフト５に対する軸受部２３の摺動抵抗を低下させる役割を果たす球状の４個の転動体８と、それぞれの転動体８を保持する転動体保持器９と、転動体８および転動体保持器９を案内するガイドレール１０とを含む。

図５と図６とを用いて、軸受部２３の構成について詳細に説明する。図５は、軸受部２３の拡大図であり、軸受部２３からガイドレール１０を取り外した状態を示している。図６は、軸受部２３を下側（駆動発生部２１側）から見た斜視図である。

転動体８は、鋼球で構成されており、軸受部２３には、４個配置される。なお、軸受部２３の安定性から考えると転動体８は４個配置されていれば十分であるが、それよりも多くても構わない。尚、転動体８は、鋼球で構成されていなくてもよく、安定性、摺動負荷が低減できるのであれば、それ以外の材料で構成されていても構わない。

転動体保持器９は、略直方体状の部材であり、摺動性の高い樹脂、例えば、ポリアセタール（ＰＯＭ）やポリフェニレンスルフィド（ＰＰＳ）で構成されている。転動体保持器９は、その４隅において、転動体８を保持する円形の開口部を有している。開口部は、転動体保持器９の厚さ方向に貫通するとともに、長辺側の側面において開放する。転動体８は、各開口部の内側に配置され、転動体保持器９の厚さ方向に直交する方向への移動が規制されている。また、転動体８の一部は、転動体保持器９の長辺側の側面から突出する。

転動体保持器９は、転動体８を各貫通孔に保持した状態で、シャフト５に対向して配置される。この時、転動体保持器９は、短辺方向に並ぶ転動体８が、シャフト５の軸心に対して概略９０度の開き角度に配置されるように、転動体８を保持する。

ガイドレール１０は、転動体８を保持した状態の転動体保持器９をシャフト５とは反対側から覆うように配置されるコの字型の部材である。ガイドレール１０は、天面１０ａおよび天面１０ａの対向する２辺から天面１０ａに略直交して延びる２つの側面１０ｂ，１０ｃを有している。

転動体保持器９により保持された各転動体８は、ガイドレール１０の天面１０ａおよび側面１０ｂ、あるいは天面１０ａおよび側面１０ｃに接触し、転動する。このため、シャフト５からの反力は、転動体８を介して天面１０ａ、側面１０ｂ，１０ｃに均等に伝わり、摺動負荷が著しく低減する。

転動体保持器９のシャフト５側の面とガイドレール１０側の面には、シャフト５あるいはガイドレール１０との摺動抵抗を低減するために突起９ａ，９ｂが形成されている。突起９ａ（図５参照）は、転動体保持器９のガイドレール１０側の面において、シャフト５の軸方向に沿って延びる突起である。また、突起９ａは、シャフト５の軸方向に直交する方向に並んで複数、例えば２本形成されている。突起９ｂ（図６参照）は、転動体保持器９のシャフト５側の面において形成されている。具体的には、突起９ｂは、シャフト５の軸方向に沿って並ぶ開口部の中間位置において、シャフト５の軸方向に直交する方向に沿って延びる突起である。また、突起９ｂは、シャフト５の軸方向に並んで複数、例えば２本形成されている。

突起９ａは、転動体保持器９とガイドレール１０とが摺動する際の摺動方向と平行な方向に形成されているため、接触面積が少なくなり、摺動抵抗を低減させることが可能となる。また、突起９ｂは、転動体保持器９とシャフト５とが摺動する際の摺動方向と直交する方向に形成されているため、接触面積が少なくなり、摺動抵抗を低減させることが可能となる。以上により、軸受部２３の総合的な摺動特性が向上する。

図５に示すように、ガイドレール１０の天面１０ａの４隅には、側面１０ｂ，１０ｃ側に突出して延びる４つの係合片１０ｄが形成されている。図３に示すように、それぞれの係合片１０ｄは、後述する第３枠体５３の係合部４ｈに係合し、ガイドレール１０の姿勢を維持する。具体的には、ガイドレール１０では、４隅に形成された係合片１０ｄが係合部４ｈにより支持されることで、シャフト５回りの回転が規制される。これにより、ガイドレール１０に当接する転動体８および転動体保持器９のシャフト５回りの回転を規制することも可能となる。

〈付勢部２４〉
付勢部２４（図３参照）は、加圧バネ１１と、弾性体２ｃとを含んでいる。弾性体２ｃについては、既に説明したため、詳しい説明は省略する。

図３に示すように、加圧バネ１１は、ガイドレール１０の天面１０ａと対向し、ガイドレール１０をシャフト５側に押圧する矩形状の主面１１ｅと、主面１１ｅの２つの長辺の両端からシャフト５側に延びる４つの延伸部１１ａ，１１ｂ，１１ｃ，１１ｄとから主に構成されている。さらに、図３に示すように、加圧バネ１１は、延伸部１１ａ〜１１ｄの先端に形成された爪が後述する第３枠体５３の突起部４ｇに係合することにより、第３枠体５３に固定される。

なお、ここでは、加圧バネ１１は、ガイドレール１０をシャフト５側に押圧すると記載したが、加圧バネ１１は少なくともガイドレール１０のシャフト５側とは反対側への移動を規制するもので有ればよい。また、加圧バネ１１は、ガイドレール１０を直接押圧するように取り付けると説明したが、弾性部材（図示せず）を加圧バネ１１とガイドレール１０との間に挟み込んでもよい。

ここで、図３をさらに参照して、ガイドレール１０および加圧バネ１１の取り付けについて説明する。

上述のように、ガイドレール１０には、４つの係合片１０ｄが設けられている。ガイドレール１０を第３枠体５３へ取り付ける際には、各係合片１０ｄを、受け部となる各係合部４ｈに配置する。ガイドレール１０の各係合片１０ｄと第３枠体５３の係合部４ｈとの間に隙間がある場合、加圧バネ１１を取り付ける際にガイドレール１０が多少傾くことになるが、この場合でも各係合片１０ｄが各係合部４ｈと接触するため、ガイドレール１０が大きく回転することが防止できる。すなわち、シャフト５に対して転動体８を介して対向して配置されるために、シャフト５の軸回りに回転しやすいガイドレール１０に対して、各係合片１０ｄを設けることで、ガイドレール１０の取り付けが容易となる。さらには、加圧バネ１１をガイドレール１０を覆うように配置するとともに、延伸部１１ａ〜１１ｄの先端の爪を第３枠体５３の突起部４ｇに係合させるだけで加圧バネ１１を第３枠体５３に取り付けることができるため、組み立てが容易となる。

付勢部２４（図３参照）は、軸受部２３をシャフト５側に押圧する加圧バネ１１と、駆動発生部２１をシャフト５側に押圧する弾性体２ｃとを含んでおり、駆動発生部２１と軸受部２３とをお互いに近づける方向に付勢する。

弾性体２ｃは、例えば、シリコンゴムにより構成されており、収縮により弾性力を発生させ、駆動発生部２１をシャフト５側に付勢する。これにより、シャフト５は、振動アクチュエータ１から軸に直交する方向への付勢力を受ける。シャフト５は、挿通孔４ａ，４ｂに挿通されている。このため、シャフト５が駆動発生部２１とは反対側から支持されていなければ、挿通孔４ａ，４ｂにおいてシャフト５を支持する支持力が発生し、シャフト５が撓む。

しかし、シャフト５の駆動発生部２１とは反対側には、加圧バネ１１により付勢された軸受部２３が配置されている。このため、シャフト５は、駆動発生部２１と反対側から支持されており、挿通孔４ａ，４ｂにおいてシャフト５に対して加わる支持力は軽減または相殺される。これにより、シャフト５の変形が抑制され、挿通孔４ａ，４ｂとシャフト５との摺動抵抗が低減され、駆動効率が向上する。

〈第３枠体５３〉
第３枠体５３（図３参照）は、枠体４と、枠体４の側面に設けられ、シャフト５を支持するとともに軸受部２３が固定される支持部４ｉと、駆動発生部２１が固定される固定部４ｊとから主に構成されている。

枠体４は、中心部に撮像素子などの光学部品を固定する板状部材である。

支持部４ｉには、板状の枠体４の面に平行な一方向（一辺に沿った方向）にシャフト５を挿通して支持するように、挿通孔４ａおよび４ｂが形成されている。また、支持部４ｉには、ガイドレール１０の外周に形成された係合片１０ｄと係合する係合部４ｈが形成されているとともに、加圧バネ１１の延伸部１１ａ〜１１ｄの先端の爪が係止される突起部４ｇが形成されている。

固定部４ｊは、主にアクチュエータケース３と対向して配置される平面部４ｃと、平面部４ｃの一端に形成され、アクチュエータケース３をシャフト５側に支持する受け部４ｅとから構成されている。

さらに、第３枠体５３には、枠体４を挟んで支持部４ｉに対向する位置に、回り止め４ｆが形成されている。回り止め４ｆは、シャフト５が固定される部材などに実質的に固定されるシャフト１５と係合し、第３枠体５３のシャフト５回りの回転を規制する。

また、上述の例では、枠体４の面に平行な一方向に沿って第３枠体５３が駆動される場合について説明した。すなわち、枠体４の中心部に配置される撮像素子に入射する光の光軸方向に直交する方向に沿って第３枠体５３が駆動される場合について説明した。この場合、駆動装置５０は、撮像素子を駆動させて像ぶれの補正を行う装置として利用可能である。

〈その他〉
〈１〉
枠体４に配置される光学部品は、撮像素子に限らず、レンズなど他の光学部品であってもよい。これについて、図７を用いて説明する。

図７は、図１に示す駆動装置５０と同様の構成を採用しつつ、第３枠体５３に設けた開口に光学レンズ１６を配置した駆動装置５０である。駆動装置５０は、第３方向Ｃに沿って入射する光の光軸４０に対して、第１方向Ａおよび第２方向Ｂに光学レンズ１６を駆動し、後段において配置される撮像素子の受像のぶれを補正する。この駆動装置５０、その後段において配置される撮像素子、光学レンズ１６の位置を検知する位置センサおよび位置センサの出力により駆動装置５０を駆動する制御部などにより、像ぶれ補正装置が構成される。

駆動装置５０では、第１枠体５１、第２枠体５２および第３枠体５３には、光学レンズ１６から入射した光軸４０を通過させるために厚さ方向に貫通する開口が設けられている。

なお、光学レンズ１６は、１枚のレンズに限らず、複数のレンズからなるレンズ群であってもよい。

図１３を用いて説明した電磁式の像振れ補正装置の場合には、例えば重力の影響を受けるピッチ方向（図１３のＹ方向）に像振れ補正を行わない場合にも、アクチュエータに電流を流して正規の位置を保持する必要がある。しかし、本発明のように、アクチュエータを摩擦駆動し、かつ駆動発生部２１が駆動受部２２に対して付勢力を与える場合には、電流を流さなくとも光学レンズ１６の位置を保持することが可能である。すなわち、本発明の駆動装置５０を用いた像ぶれ補正装置では、電流を流さなくとも光軸４０の中央近傍に光学レンズ１６を位置決めして保持することが可能である。この結果、本発明では、消費電力を低減することが可能となる。

〈２〉
上述の構成には、振動アクチュエータ１の駆動効率をさらに向上させるために、振動アクチュエータ１を付勢する部材を配置することが可能である。これについて、図１、図７〜図９を用いて具体的に説明する。

図１や図７に示すように、第１駆動機構５４および第２駆動機構５５は、振動アクチュエータ１の主面に垂直な方向で、アクチュエータケース３側とは反対側への移動を規制する規制部材１４と、振動アクチュエータ１の主面と規制部材１４との間に配置され、振動アクチュエータ１をアクチュエータケース３側に付勢するとともに、規制部材１４の寸法のバラツキを吸収する弾性体１３とを有している。

第１駆動機構５４の規制部材１４は、第２方向Ｂへの振動アクチュエータ１の移動を規制する。第２駆動機構５５の規制部材１４は、第１方向Ａへの振動アクチュエータ１の移動を規制する。それぞれの振動アクチュエータ１は、弾性体２ｃ（図３参照）により駆動受部２２に対して押圧されつつ、電圧が印加される時には、微小な振動を繰り返している。もし振動アクチュエータ１のアクチュエータケース３側とは反対側への移動が規制されていなければ、この微小な振動により駆動受部２２に対する振動アクチュエータ１の姿勢が時間とともに変化する。この姿勢の変化は、駆動効率の低下につながる。

一方、第１駆動機構５４および第２駆動機構５５が規制部材１４および弾性体１３を有し、振動アクチュエータ１の移動を規制している場合には、駆動受部２２の駆動効率の低下が防止可能となる。

また、図８と図９とに示すように、図１と図７とに示す第１駆動機構５４および第２駆動機構５５は、加圧バネ１１に代えてガイドレール１０をシャフト５側に押圧する押圧部材１２を有していてもよい。押圧部材１２は、ガイドレール１０の天面１０ａ上に係止される爪を先端に有する略コの字状の部材であり、それぞれの駆動発生部２１全体を覆うように駆動発生部２１側から取り付けられ、ガイドレール１０をシャフト５側に引き寄せるように作用する。
（第２実施形態）
本発明の第２実施形態である駆動装置について説明する。なお、第１実施形態で説明したのと同様の構成に対しては同じ符号を付してそれらの説明を省略する。

〈駆動装置６０〉
図１０に示す駆動装置６０は、デジタルスチールカメラ、デジタルビデオカメラなどの光学機器に搭載される装置であり、ＣＣＤやＣＭＯＳなどの撮像素子やレンズといった光学部品を光軸に直交な２方向に駆動し、光学像の像ぶれ補正を行うために用いられる装置である。図１０に示す駆動装置６０は、特に上面側に撮像素子などを搭載し駆動する装置である。

図１０に示すように、駆動装置６０は、第１枠体６１と、第２枠体６２と、第３枠体６３と、第１駆動機構６４と、第２駆動機構６５とを備えている。第２枠体６２は、第１枠体６１に対して第１方向Ａに移動可能に支持されている。第３枠体６３は、第２枠体６２に対して第１方向Ａと直交する第２方向Ｂに移動可能に支持されている。

第１駆動機構６４は、第１枠体６１と第２枠体６２との間に設けられ、第１枠体６１と第２枠体６２とを相対移動させる。具体的には、第１駆動機構６４は、第２枠体６２を第１枠体６１および第１枠体６１が固定される光学機器（図示せず）に対して第１方向Ａに沿って駆動する。

第２駆動機構６５は、第２枠体６２と第３枠体６３との間に設けられ、第２枠体６２と第３枠体６３とを相対移動させる。具体的には、第２駆動機構６５は、第３枠体６３を第２枠体６２に対して第２方向Ｂに沿って駆動する。第２駆動機構６５は、第１駆動機構６４に対して、第１方向Ａおよび第２方向Ｂに直交する第３方向Ｃ回りに９０度回転した位置に配置されている。

第１駆動機構６４と第２駆動機構６５とのそれぞれは、第１実施形態で説明した第１駆動機構５４と第２駆動機構５５と同様に、駆動発生部２１と、駆動受部２２と、軸受部２３と、付勢部２４とを含んでいる。

第１駆動機構６４では、駆動発生部２１と駆動受部２２と軸受部２３とは、第２方向Ｂに沿って配置されており、それぞれの第３方向Ｃの位置は、ほぼ同じである。

第２駆動機構６５では、駆動発生部２１と駆動受部２２と軸受部２３とは、第１方向Ａに沿って配置されており、それぞれの第３方向Ｃの位置は、ほぼ同じである。

さらに、第１駆動機構６４と第２駆動機構６５とのそれぞれの第３方向Ｃの位置は、ほぼ同じであり、それぞれの駆動受部２２に平行な同一平面上に配置されている。

第１枠体６１には、第１駆動機構６４の駆動受部２２が固定されているとともに、駆動受部２２を支持する軸受部２３および付勢部２４が設けられている。第２枠体６２には、第１駆動機構６４の駆動発生部２１が弾性的に固定されているとともに、第２駆動機構６５の駆動受部２２および駆動受部２２を支持する軸受部２３および付勢部２４が設けられている。第３枠体６３には、第２駆動機構６５の駆動発生部２１が弾性的に固定されている。

第１駆動機構６４および第２駆動機構６５は、上述のごとく第１枠体６１〜第３枠体６３に配置されており、第１駆動機構６４において駆動発生部２１が駆動受部２２に作用する作用方向Ｂ１は、第２駆動機構６５において駆動発生部２１が駆動受部２２に作用する作用方向Ａ１と直交する方向である。

このように、第１駆動機構６４と第２駆動機構６５とをほぼ同じ高さに配置することで、駆動装置６０の第３方向Ｃへの厚みを小さくすることが可能となる。また、第１駆動機構６４および第２駆動機構６５を構成する部材を第３方向Ｃと直交する方向（第１方向Ａや第２方向Ｂ）に沿って配置することで、第３方向Ｃへの厚みを小さくすることが可能となる。

また、駆動装置６０には、第１実施形態で説明した第１回り止め機構５７と第２回り止め機構５８と同様の回り止め機構（第１回り止め機構６７と第２回り止め機構６８）が設けられている。

〈その他〉
第３枠体６３に配置される光学部品は、撮像素子に限らず、レンズなど他の光学部品であってもよい。これについて、図１１を用いて説明する。

図１１は、図１０に示す駆動装置６０と同様の構成を採用しつつ、第３枠体６３に設けた開口に光学レンズ１６を配置した駆動装置６０である。駆動装置６０は、第３方向Ｃに沿って入射する光の光軸４０に対して、第１方向Ａおよび第２方向Ｂに光学レンズ１６を駆動し、後段において配置される撮像素子の受像のぶれを補正する。この駆動装置６０、その後段において配置される撮像素子、光学レンズ１６の位置を検知する位置センサおよび位置センサの出力により駆動装置６０を駆動する制御部などにより、像ぶれ補正装置が構成される。

駆動装置６０では、第１枠体６１、第２枠体６２および第３枠体６３には、光学レンズ１６から入射した光軸４０を通過させるために厚さ方向に貫通する開口が設けられている。

なお、光学レンズ１６は、１枚のレンズに限らず、複数のレンズからなるレンズ群であってもよい。

図１３を用いて説明した電磁式の像振れ補正装置の場合には、例えば重力の影響を受けるピッチ方向（図１３のＹ方向）に像振れ補正を行わない場合にも、アクチュエータに電流を流して正規の位置を保持する必要がある。しかし、本発明のように、アクチュエータを摩擦駆動し、かつ駆動発生部２１が駆動受部２２に対して付勢力を与える場合には、電流を流さなくとも光学レンズ１６の位置を保持することが可能である。すなわち、本発明の駆動装置６０を用いた像ぶれ補正装置では、電流を流さなくとも光軸４０の中央近傍に光学レンズ１６を位置決めして保持することが可能である。この結果、本発明では、消費電力を低減することが可能となる。

本発明は、厚み方向または厚み方向に直交する方向の小型化の実現が求められる駆動装置として有用であり、光学部品の駆動装置およびそれを用いた像ぶれ補正装置などとして適用可能である。

１ 振動アクチュエータ
２１ 駆動発生部
２２ 駆動受部
５０ 駆動装置
５１ 第１枠体
５２ 第２枠体
５３ 第３枠体
５４ 第１駆動機構
５５ 第２駆動機構
Ａ 第１方向
Ｂ 第２方向
Ｃ 第３方向
Ｃ１ 作用方向
Ｃ２ 作用方向

Claims (5)

1. 第１枠体と、
   前記第１枠体に対して第１方向に移動可能に支持された第２枠体と、
   前記第２枠体に対して前記第１方向と交差する第２方向に移動可能に支持された第３枠体と、
   前記第１枠体と前記第２枠体とを前記第１方向に相対移動させる第１駆動機構と、
   前記第２枠体と前記第３枠体とを前記第２方向に相対移動させる第２駆動機構と、
   を備え、
   前記第１駆動機構と前記第２駆動機構とのそれぞれは、圧電素子により駆動を発生させる駆動発生部と、前記駆動発生部に対して相対的に押圧され、前記駆動発生部により発生した駆動を受ける駆動受部とを有し、
   前記第１駆動機構において前記駆動発生部が前記駆動受部に作用する方向は、前記第２駆動機構において前記駆動発生部が前記駆動受部に作用する方向と平行かつ逆向きの方向であり、
   前記第１駆動機構は、前記第２方向において前記第２枠体の側方に配置されており、
   前記第２駆動機構は、前記第１方向において前記第２枠体の側方に配置されており、
   前記第１および第２方向に直交する第３方向において、前記第１駆動機構の前記駆動発生部および前記駆動受部の位置関係は、前記第２駆動機構の前記駆動発生部および前記駆動受部の位置関係と逆になっている、
   駆動装置。
2. 前記第１駆動機構の前記駆動発生部と前記駆動受部とは、前記第３方向に対向して配置されており、
   前記第２駆動機構の前記駆動発生部と前記駆動受部とは、前記第３方向に対向して配置されている、
   請求項１に記載の駆動装置。
3. 前記駆動発生部は、縦振動と屈曲振動の合成により前記圧電素子に定在波を発生させて前記駆動受部を相対的に駆動させる、
   請求項１または２に記載の駆動装置。
4. 前記第１枠体には、前記第１方向に延びる第１主軸が設けられており、
   前記第２枠体には、前記第１主軸が設けられている側とは前記第２方向反対側に配置され前記第１方向に延びる第１副軸と、前記第２方向に延びる第２主軸と、前記第２主軸が設けられている側とは前記第１方向反対側に配置され前記第２方向に延びる第２副軸とが設けられており、
   前記第１主軸は、前記第１駆動機構の前記駆動受部を構成し、
   前記第２主軸は、前記第２駆動機構の前記駆動受部を構成する、
   請求項１〜３のいずれか１項に記載の駆動装置。
5. 前記第３枠体には、光学部品が配置されている、
   請求項１〜４のいずれか１項に記載の駆動装置。
   

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