JP4779413B2 - Color filter for liquid crystal display device and manufacturing method thereof - Google Patents
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Description
本発明は、液晶表示装置用カラーフィルタに関するものであり、特に、スペーサー機能を有するフォトスペーサーを設けた液晶表示装置用カラーフィルタに関する。 The present invention relates to a color filter for a liquid crystal display device, and more particularly to a color filter for a liquid crystal display device provided with a photospacer having a spacer function.
図４は、液晶表示装置に用いられるカラーフィルタの一例を模式的に示した平面図である。また、図５は、図４に示すカラーフィルタのＸ−Ｘ’線における断面図である。
図４、及び図５に示すように、液晶表示装置に用いられるカラーフィルタ（４）は、ガラス基板（４０）上にブラックマトリックス（４１）、着色画素（４２）、及び透明導電膜（４３）が順次に形成されたものである。
図４、及び図５はカラーフィルタを模式的に示したもので、着色画素（４２）は１２個表されているが、実際のカラーフィルタにおいては、例えば、対角１７インチの画面に数百μｍ程度の着色画素が多数個配列されている。
FIG. 4 is a plan view schematically showing an example of a color filter used in the liquid crystal display device. FIG. 5 is a cross-sectional view taken along the line XX ′ of the color filter shown in FIG.
As shown in FIGS. 4 and 5, the color filter (4) used in the liquid crystal display device has a black matrix (41), a colored pixel (42), and a transparent conductive film (43) on a glass substrate (40). Are formed sequentially.
4 and 5 schematically show a color filter, and 12 colored pixels (42) are represented. In an actual color filter, for example, several hundreds are displayed on a 17-inch diagonal screen. A large number of colored pixels of about μm are arranged.
液晶表示装置の多くに用いられている、上記構造のカラーフィルタの製造方法としては、先ず、ガラス基板上にブラックマトリックスを形成してブラックマトリックス基板とし、次に、このブラックマトリックス基板上のブラックマトリックスのパターンに位置合わせして着色画素を形成し、更に透明導電膜を位置合わせして形成するといった方法が広く用いられている。
ブラックマトリックス（４１）は、遮光性を有するマトリックス状或いはストライプ状のものであり、着色画素（４２）は、例えば、赤色、緑色、青色のフィルタ機能を有するものであり、透明導電膜（４３）は、透明な電極として設けられたものである。
As a method for manufacturing a color filter having the above structure used in many liquid crystal display devices, a black matrix is first formed on a glass substrate to form a black matrix substrate, and then the black matrix on the black matrix substrate is used. A method is widely used in which a colored pixel is formed by aligning with the pattern, and a transparent conductive film is aligned and formed.
The black matrix (41) has a light-blocking matrix or stripe shape, and the colored pixels (42) have, for example, red, green, and blue filter functions, and a transparent conductive film (43). Is provided as a transparent electrode.
ブラックマトリックス（４１）は、着色画素（４２）間のマトリックス部（４１Ａ）と、着色画素（４２）が形成された領域（表示部）の周辺部を囲む額縁部（４１Ｂ）とで構成されている。
ブラックマトリックスは、カラーフィルタの着色画素の位置を定め、大きさを均一なものとし、また、表示装置に用いられた際に、好ましくない光を遮蔽し、表示装置の画像をムラのない均一な、且つコントラストを向上させた画像にする機能を有している。
The black matrix (41) is composed of a matrix portion (41A) between the colored pixels (42) and a frame portion (41B) surrounding the peripheral portion of the region (display portion) where the colored pixels (42) are formed. Yes.
The black matrix determines the position of the colored pixels of the color filter, makes the size uniform, and shields unwanted light when used in a display device, making the image of the display device uniform and uniform. In addition, it has a function of making an image with improved contrast.
このブラックマトリックス基板の製造には、ガラス基板（４０）上にブラックマトリックスの材料としてのクロム（Ｃｒ）、酸化クロム（ＣｒＯX ）などの金属、もしくは金属化合物を薄膜状に成膜し、成膜された薄膜上に、例えば、ポジ型のフォトレジストを用いてエッチングレジストパターンを形成し、次に、成膜された金属薄膜の露出部分のエッチング及びエッチングレジストパターンの剥膜を行い、Ｃｒ、ＣｒＯX などの金属薄膜からなるブラックマトリックス（４１）を形成するといった方法がとられている。
或いは、ガラス基板（４０）上に、ブラックマトリックス形成用の黒色感光性樹脂を用いてフォトリソグラフィ法によってブラックマトリックス（４１）を形成するといった方法がとられている。
For the production of this black matrix substrate, a metal or a metal compound such as chromium (Cr) or chromium oxide (CrO x ) as a black matrix material is formed into a thin film on a glass substrate (40). An etching resist pattern is formed on the formed thin film using, for example, a positive photoresist, and then an exposed portion of the formed metal thin film is etched and an etching resist pattern is stripped, and Cr, CrO A method has been adopted in which a black matrix (41) made of a metal thin film such as X is formed.
Alternatively, the black matrix (41) is formed on the glass substrate (40) by photolithography using a black photosensitive resin for forming a black matrix.
また、着色画素（４２）の形成は、このブラックマトリックス基板上に、例えば、顔料などの色素を分散させたネガ型のフォトレジストを用いて塗布膜を設け、この塗布膜への露光、現像によって着色画素を形成するといった方法がとられている。
また、透明導電膜（４３）の形成は、着色画素が形成されたブラックマトリックス基板上に、例えば、ＩＴＯ（Ｉｎｄｉｕｍ Ｔｉｎ Ｏｘｉｄｅ）を用いスパッタ法によって透明導電膜を形成するといった方法がとられている。
In addition, the colored pixels (42) are formed by providing a coating film on the black matrix substrate using, for example, a negative photoresist in which a pigment or other pigment is dispersed, and exposing and developing the coating film. A method of forming colored pixels is used.
The transparent conductive film (43) is formed on the black matrix substrate on which the colored pixels are formed by, for example, forming a transparent conductive film by sputtering using ITO (Indium Tin Oxide). .
図４、及び図５に示すカラーフィルタ（４）は、液晶表示装置に用いられるカラーフィルタとして基本的な機能を備えたものである。液晶表示装置は、このようなカラーフィルタを内蔵することにより、フルカラー表示が実現し、その応用範囲が飛躍的に広がり、液晶カラーＴＶ、ノート型ＰＣなど液晶表示装置を用いた多くの商品が創出された。
液晶表示装置の改善や、多様な液晶表示装置の開発、実用に伴い、液晶表示装置に用いられるカラーフィルタには、上記基本的な機能に付随して、例えば、スペーサー機能が付加されるようになった。
The color filter (4) shown in FIGS. 4 and 5 has a basic function as a color filter used in a liquid crystal display device. The liquid crystal display device incorporates such a color filter to realize full color display, and its application range is dramatically expanded, and many products using liquid crystal display devices such as liquid crystal color TVs and notebook PCs are created. It was done.
With the improvement of liquid crystal display devices and the development and practical use of various liquid crystal display devices, color filters used in liquid crystal display devices are provided with a spacer function, for example, in addition to the above basic functions. became.
従来の液晶表示装置に於いては、基板間にギャップを形成するために、スペーサーと呼ばれるガラス又は合成樹脂の透明球状体粒子（ビーズ）を散布している。このスペーサーは透明な粒子であることから、画素内に液晶と一諸にスペーサーが入っていると、黒色表示時にスペーサーを介して光がもれてしまい、また、液晶材料が封入されている基板間にスペーサーが存在することによって、スペーサー近傍の液晶分子の配列が乱され、この部分で光もれを生じ、コントラストが低下し表示品質に悪影響を及ぼす、などの問題を有していた。 In a conventional liquid crystal display device, transparent spherical particles (beads) of glass or synthetic resin called spacers are dispersed to form a gap between substrates. Since these spacers are transparent particles, if a spacer is included with the liquid crystal in the pixel, light will leak through the spacer during black display, and the substrate in which the liquid crystal material is enclosed Due to the presence of the spacers between them, the alignment of the liquid crystal molecules in the vicinity of the spacers is disturbed, and light leakage occurs at this part, and the contrast is lowered and the display quality is adversely affected.
このような問題を解決する技術として、感光性樹脂を用い、フォトリソグラフィ法により画素間のブラックマトリックスの位置にスペーサー機能を有するフォトスペーサー（突起部）を形成する方法が開発された。
図６は、このような液晶表示装置用カラーフィルタの一例の断面図である。図６に示すように、液晶表示装置用カラーフィルタ（７）は、ガラス基板（４０）上にブラックマトリックス（４１）、着色画素（４２）、及び透明導電膜（４３）が順次に形成され、ブラックマトリックス（４１）上方の透明導電膜（４３）上にスペーサー機能を有する突起部としてのフォトスペーサー（４４）が形成されている。このような液晶表示装置用カラーフィルタ（７）を用いた液晶表示装置には、フォトスペーサー（４４）が画素内を避けた位置に形成されているので、上記コントラストの改善がみられる。
As a technique for solving such a problem, a method has been developed in which a photosensitive resin is used and a photo spacer (projection) having a spacer function is formed at a position of a black matrix between pixels by a photolithography method.
FIG. 6 is a cross-sectional view of an example of such a color filter for a liquid crystal display device. As shown in FIG. 6, in the color filter (7) for the liquid crystal display device, a black matrix (41), a colored pixel (42), and a transparent conductive film (43) are sequentially formed on a glass substrate (40). A photospacer (44) as a protrusion having a spacer function is formed on the transparent conductive film (43) above the black matrix (41). In the liquid crystal display device using such a color filter (7) for the liquid crystal display device, the photo spacer (44) is formed at a position avoiding the inside of the pixel, and thus the contrast is improved.
図７は、フォトスペーサーが設けられた液晶表示装置用カラーフィルタの他の例の断面図である。図７に示すように、この液晶表示装置用カラーフィルタは、ガラス基板（４０）上にブラックマトリックス（４１）、着色画素（４２）、及び透明導電膜（４３）が順次に形成され、ブラックマトリックス（４１）上方の透明導電膜（４３）上にスペーサー機能を有する突起部としてのフォトスペーサー（４４）が形成されているものであるが、着色画素（４２）が延長されてブラックマトリックス（４１）上の全域に形成されている。 FIG. 7 is a cross-sectional view of another example of a color filter for a liquid crystal display device provided with a photospacer. As shown in FIG. 7, in this color filter for a liquid crystal display device, a black matrix (41), a colored pixel (42), and a transparent conductive film (43) are sequentially formed on a glass substrate (40). (41) A photo spacer (44) as a protrusion having a spacer function is formed on the upper transparent conductive film (43), but the colored pixel (42) is extended to form a black matrix (41). It is formed all over the top.
一般に、透明導電膜（４３）に形成されたフォトスペーサー（４４）の密着性は、必ずしも充分なものではなく、例えば、フォトスペーサー（４４）の形成工程の現像処理にて、粗面状の透明導電膜（４３）表面とフォトスペーサー（４４）との界面（Ｓ）に現像液がしみ込みフォトスペーサー（４４）が脱落してしまうことがある。
この密着性が必ずしも充分なものではない一因として、フォトスペーサー（４４）を形成する際のフォトレジストの厚さが厚く、露光によるフォトレジストの硬化が底部まで均一にならず、底部においては硬化が不充分であることが挙げられている。
In general, the adhesion of the photo spacer (44) formed on the transparent conductive film (43) is not always sufficient. For example, in the development process of the photo spacer (44) formation process, The developer may soak into the interface (S) between the surface of the conductive film (43) and the photospacer (44), and the photospacer (44) may fall off.
One reason that this adhesion is not always sufficient is that the photoresist is thick when forming the photo spacer (44), and the hardening of the photoresist by exposure is not uniform to the bottom, and the bottom is cured. Is cited as insufficient.
また、液晶表示装置の使用時には、例えば、その表面に指などが接触し局部的に強い荷重がかかると、フォトスペーサーは押しつぶされたように変形し、その分だけ低い高さのものとなってしまう。この高さの変化が基板間ギャップを不均一なものとし、液晶表示装置に色ムラなどを発生させてしまうことがある。
このような、使用時の局部的に強い荷重による色ムラなどの発生を回避するために、フォトスペーサーに絡む耐圧荷重を強くすることが望まれている。
Also, when using a liquid crystal display device, for example, if a finger touches the surface and a strong load is applied locally, the photo spacer is deformed as if it is crushed, and the height is reduced accordingly. End up. This change in height may cause the gap between the substrates to be non-uniform, which may cause color unevenness in the liquid crystal display device.
In order to avoid the occurrence of color unevenness due to a locally strong load during use, it is desired to increase the pressure resistance load associated with the photo spacer.
この高さの変化は、図７におけるように、フォトスペーサー（４４）の下方に着色画素（４２）があると、着色画素も同様に押しつぶされたように変形するので、発生する色ムラは更に大きくなる。
また、荷重が幅広い加圧であると、変形と共にフォトスペーサー（４４）にはズレが生じてしまうことがある。また更に、加圧が過剰であると、フォトスペーサー（４４）は、破壊され復元しないこともある。
Further, when the load is a wide range of pressure, the photo spacer (44) may be displaced with deformation. Furthermore, if the pressure is excessive, the photospacer (44) may be destroyed and not restored.
本発明は、上記問題を解決するためになされたものであり、フォトスペーサーを設けた液晶表示装置用カラーフィルタにおいて、例えば、フォトスペーサーの形成工程の現像処理にて、フォトスペーサーが脱落してしまうことはなく、また、例えば、液晶表示装置の使用時に、局部的に強い荷重がかかって液晶表示装置に色ムラなどが発生したり、フォトスペーサーにズレが生じたり、更には、フォトスペーサーが破壊されてしまうことのない液晶表示装置用カラーフィルタを提供することを課題とするものである。
また、上記液晶表示装置用カラーフィルタの製造方法を提供することを課題とする。
The present invention has been made to solve the above problems, and in a color filter for a liquid crystal display device provided with a photospacer, for example, the photospacer is dropped in the development process of the photospacer formation process. Also, for example, when using a liquid crystal display device, a strong load is applied locally, causing color unevenness in the liquid crystal display device, displacement of the photo spacer, and destruction of the photo spacer. It is an object of the present invention to provide a color filter for a liquid crystal display device that does not occur.
Another object of the present invention is to provide a method for producing the color filter for a liquid crystal display device.
本発明は、透明基板上に、ブラックマトリックス、着色画素、透明導電膜、フォトスペーサーが順次に形成された液晶表示装置用カラーフィルタにおいて、該ブラックマトリックス上の着色画素が凹部を有し、該凹部にフォトスペーサーが設けられ、前記フォトスペーサーの一個毎に複数個の凹部を対応させ、一個のフォトスペーサーは、複数個の凹部にまたがって設けられていることを特徴とする液晶表示装置用カラーフィルタである。
The present invention provides a color filter for a liquid crystal display device in which a black matrix, a colored pixel, a transparent conductive film, and a photospacer are sequentially formed on a transparent substrate, wherein the colored pixel on the black matrix has a recess, and the recess A color filter for a liquid crystal display device, characterized in that a photo spacer is provided , a plurality of recesses correspond to each of the photo spacers, and one photo spacer is provided across the plurality of recesses. It is.
また、本発明は、上記発明による液晶表示装置用カラーフィルタにおいて、前記凹部の側壁は、底に向かって内側に傾斜していることを特徴とする液晶表示装置用カラーフィルタである。 Further, the present invention is the color filter for a liquid crystal display device according to the above invention, wherein the side wall of the recess is inclined inward toward the bottom.
本発明は、ブラックマトリックス上の着色画素がフォトスペーサー用の凹部を有し、この凹部にフォトスペーサーが設けられている液晶表示装置用カラーフィルタであるので、例えば、フォトスペーサーの形成工程の現像処理にて、フォトスペーサーが脱落してしま
うことはなく、また、例えば、液晶表示装置の使用時に、局部的に強い荷重がかかって液晶表示装置に色ムラなどが発生したり、フォトスペーサーにズレが生じたり、更には、フォトスペーサーが破壊されてしまうことのない液晶表示装置用カラーフィルタとなる。
The present invention is a color filter for a liquid crystal display device in which a colored pixel on a black matrix has a concave portion for a photo spacer, and the concave portion is provided with the photo spacer. For example, when using a liquid crystal display device, a strong load is applied locally, causing color unevenness in the liquid crystal display device, or misalignment of the photo spacer. It is a color filter for a liquid crystal display device that does not occur or further breaks the photo spacer.
また、本発明における凹部は、一個のフォトスペーサー毎に複数個の凹部を対応させた凹部であるので、上記効果はさらに促進される。
また、本発明における凹部の側壁は、底に向かって内側に傾斜しているので、フォトスペーサーに絡む耐圧荷重はさらに強いものとなる。
Moreover, since the recessed part in this invention is a recessed part with which several recessed parts were matched for every photo spacer, the said effect is further accelerated | stimulated.
In addition, since the side wall of the recess in the present invention is inclined inward toward the bottom, the pressure load entangled with the photospacer is further increased.
また、本発明は、１）ブラックマトリックスが形成された透明基板上に着色画素を形成する際に、ブラックマトリックス上のフォトスペーサーが設けられる位置の着色画素に凹部を形成し、２）この凹部が形成された透明基板上に透明導電膜を形成し、３）透明導電膜を介してこの凹部にフォトスペーサーを設けカラーフィルタを製造する方法であるので、上記機能を具備する液晶表示装置用カラーフィルタの製造方法となる。 In the present invention, 1) when forming a colored pixel on the transparent substrate on which the black matrix is formed, a concave portion is formed in the colored pixel at a position where the photo spacer is provided on the black matrix, and 2) the concave portion is formed. Since a transparent conductive film is formed on the formed transparent substrate, and 3) a color filter is manufactured by providing a photo spacer in the recess through the transparent conductive film, a color filter for a liquid crystal display device having the above functions The manufacturing method becomes.
以下に本発明の実施の形態を詳細に説明する。
図１（ａ）は、本発明による液晶表示装置用カラーフィルタの一実施例の断面図である。図１（ａ）に示すように、この液晶表示装置用カラーフィルタは、透明基板（４０）上に、ブラックマトリックス（４１）、着色画素（４２）、透明導電膜（４３）、及びフォトスペーサー（４４）が順次に形成されたものである。
ブラックマトリックス（４１）上の着色画素（４２）は、フォトスペーサー用の凹部（１）を有し、この凹部にフォトスペーサー（４４）が設けられている。
Hereinafter, embodiments of the present invention will be described in detail.
FIG. 1A is a cross-sectional view of an embodiment of a color filter for a liquid crystal display device according to the present invention. As shown in FIG. 1A, this color filter for a liquid crystal display device comprises a black matrix (41), a colored pixel (42), a transparent conductive film (43), and a photospacer (on a transparent substrate (40)). 44) are sequentially formed.
The colored pixel (42) on the black matrix (41) has a recess (1) for a photo spacer, and the photo spacer (44) is provided in the recess.
凹部（１）は、ブラックマトリックスが露出するよう、着色画素（４２）を貫通して形成されている。従って、透明導電膜（４３）とフォトスペーサー（４４）の接触面積は増加したものとなり、フォトスペーサーの密着力は高まる。また、フォトスペーサー（４４）は、着色画素（４２）を介さずにブラックマトリックス（４１）の上方に形成されているので、図７における着色画素のように、加圧による着色画素の変形要素が取り除かれたものとなる。
また、フォトスペーサー（４４）は、着色画素（４２）に形成された凹部（１）に設けられているので、荷重が幅広い加圧であってもフォトスペーサー（４４）の位置は固定される。
The recess (1) is formed through the colored pixel (42) so that the black matrix is exposed. Therefore, the contact area between the transparent conductive film (43) and the photo spacer (44) is increased, and the adhesion of the photo spacer is increased. Further, since the photospacer (44) is formed above the black matrix (41) without passing through the colored pixel (42), the deformation element of the colored pixel due to pressurization is different from the colored pixel in FIG. It will be removed.
Moreover, since the photo spacer (44) is provided in the recessed part (1) formed in the coloring pixel (42), the position of the photo spacer (44) is fixed even if the load is a wide pressure.
図１（ｂ）は、請求項２に係わる液晶表示装置用カラーフィルタの一例の断面図である。図１（ｂ）に示すように、２個の凹部を設け、２個の凹部にまたがるよう一個のフォトスペーサー（４４）を設けた例である。従って、図１（ａ）に示す一実施例と比較して、透明導電膜（４３）とフォトスペーサー（４４）の接触面積はより増加したものとなる。その密着力は一段と高まる。
また、荷重が幅広い加圧であってもフォトスペーサー（４４）の位置の固定は、より確かなものとなる。
FIG. 1B is a cross-sectional view of an example of a color filter for a liquid crystal display device according to claim 2. As shown in FIG. 1B, this is an example in which two concave portions are provided and one photo spacer (44) is provided so as to straddle the two concave portions. Accordingly, the contact area between the transparent conductive film (43) and the photospacer (44) is further increased as compared with the embodiment shown in FIG. 1 (a). The adhesion is further increased.
Further, the position of the photospacer (44) is more surely fixed even when the load is a wide range of pressure.
図２は、本発明におけるフォトスペーサー（４４）を形成する際の露光の状況を示す説明図である。図２は、透明基板（４０）上に、ブラックマトリックス（４１）、凹部（１）に設けられた着色画素（４２）、及び透明導電膜（４３）が順次に形成された段階のカラーフィルタを表している。
透明導電膜（４３）上には、フォトスペーサー（４４）を形成する材料であるフォトレジスト（５４）が塗布されている。符号（Ｌ１）はフォトマスク（図示せず）を介してフォトレジスト（５４）に露光される照射光を表している。
FIG. 2 is an explanatory view showing the state of exposure when forming the photospacer (44) in the present invention. FIG. 2 shows a color filter at a stage where a black matrix (41), a colored pixel (42) provided in a recess (1), and a transparent conductive film (43) are sequentially formed on a transparent substrate (40). Represents.
On the transparent conductive film (43), a photoresist (54) which is a material for forming a photospacer (44) is applied. Reference numeral (L1) denotes irradiation light that is exposed to the photoresist (54) through a photomask (not shown).
前記のように、フォトレジスト（５４）の厚さは厚いので、フォトレジストの底部に至る照射光は減衰する。ここで、ブラックマトリックス（４１）をクロム、酸化クロム等の金属膜で形成すると、ブラックマトリックス表面は光反射性を有することになる。図２に示すように、フォトレジストの底部には透明導電膜（４３）を介して、光反射性のブラックマトリックス（４１）が設けられているので、減衰した照射光はブラックマトリックス（４１）で反射し、反射光（Ｌ２）が再びフォトレジスト（５４）を底部より露光するようになる。
従って、図７に示すフォトスペーサーと比較して、本発明におけるフォトスペーサー（４４）の底部は硬化が促進されたものとなる。
As described above, since the photoresist (54) is thick, the irradiation light reaching the bottom of the photoresist is attenuated. Here, when the black matrix (41) is formed of a metal film such as chromium or chromium oxide, the surface of the black matrix has light reflectivity. As shown in FIG. 2, a light-reflective black matrix (41) is provided on the bottom of the photoresist via a transparent conductive film (43), so that the attenuated irradiation light is black matrix (41). Reflected, the reflected light (L2) again exposes the photoresist (54) from the bottom.
Therefore, compared with the photospacer shown in FIG. 7, the bottom of the photospacer (44) in the present invention is accelerated.
すなわち、透明導電膜（４３）とフォトスペーサー（４４）の密着力は一段と高まる。また、フォトスペーサーの硬度が増すので、荷重による変形が少なくなり色ムラなどの発生が減少する。 That is, the adhesion between the transparent conductive film (43) and the photo spacer (44) is further enhanced. Further, since the hardness of the photo spacer is increased, deformation due to load is reduced, and the occurrence of color unevenness is reduced.
また、図３は、請求項３に係わる液晶表示装置用カラーフィルタの一例の断面図である。図３に示すように、凹部（１）は、下部の寸法が上部の寸法より小さい。すなわち、凹部（１）の側壁（２０）は、底に向かって内側に傾斜している斜面となっている。
このような凹部（１）を着色画素（４２）に形成し、この凹部（１）にフォトスペーサー（４４）を設けることにより、白太矢印で示す、フォトスペーサー（４４）上方からの荷重によって発生する横方向の歪みに伴う応力を着色画素（４２）に分散させることができ、フォトスペーサーに絡む耐圧荷重は強いものとなる。
FIG. 3 is a cross-sectional view of an example of a color filter for a liquid crystal display device according to a third aspect. As shown in FIG. 3, the recess (1) has a lower dimension smaller than an upper dimension. That is, the side wall (20) of the recess (1) is an inclined surface inclined inward toward the bottom.
Such a concave portion (1) is formed in the colored pixel (42), and the photo spacer (44) is provided in the concave portion (1), thereby generating a load from above the photo spacer (44) indicated by a white thick arrow. Thus, the stress accompanying the lateral strain can be dispersed in the colored pixels (42), and the pressure resistance load associated with the photospacer becomes strong.
従って、フォトスペーサーにズレが生じたり、更には、フォトスペーサーが破壊されてしまうことは回避できるものとなる。 Accordingly, it is possible to avoid the occurrence of displacement in the photo spacer and the destruction of the photo spacer.
１・・・フォトスペーサー用の凹部
４、７・・・カラーフィルタ
２０・・・凹部の側壁
４０・・・ガラス基板
４１・・・ブラックマトリックス
４１Ａ・・・ブラックマトリックスのマトリックス部
４１Ｂ・・・ブラックマトリックスの額縁部
４２・・・着色画素
４３・・・透明導電膜
４４・・・フォトスペーサー
５４・・・フォトレジスト
Ｌ１・・・照射光
Ｌ２・・・反射光
Ｓ・・・透明導電膜とフォトスペーサーとの界面
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