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JP4799990B2 - Flux application device - Google Patents
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Description

本発明は、比較的単純な工程の処理で、電子部品にフラックスを、定められた厚さでムラなく塗布することができるフラックス塗布装置に関する。   The present invention relates to a flux application apparatus that can apply a flux to an electronic component uniformly with a predetermined thickness by processing in a relatively simple process.

電子部品や導電性ボールなどの被転写物の被転写面にフラックスなどのペースト(以下単にフラックスと呼ぶ)を転写する工程では、従来、フラックスが適量溜められた平坦面上で浮かせて隙間を設けつつ、スキージをスライドさせて一定膜厚のフラックス膜を形成し、該フラックス膜に被転写面を接触させることで転写している。   In the process of transferring paste such as flux (hereinafter simply referred to as “flux”) onto the transfer surface of the transfer object such as an electronic component or a conductive ball, conventionally, a gap is provided by floating on a flat surface where an appropriate amount of flux is accumulated. On the other hand, the squeegee is slid to form a flux film having a constant thickness, and the transfer surface is brought into contact with the flux film for transfer.

被転写面には、凹凸があって、フラックスが転写される凸部分及びされない凹部分がある。一般に、電子部品では被転写面のバンプにはフラックスを転写するものの、その他には転写せず、又このバンプの部分は他より凸になっている。従って、該転写後のフラックス膜は、転写された部分は表面が凹み、平坦ではなくなるので、次の転写に当たってはスキージをスライドさせて、再び表面が平坦な一定膜厚のフラックス膜を形成しておく必要がある。   The surface to be transferred has irregularities, and there are convex portions where the flux is transferred and concave portions where the flux is not transferred. In general, in an electronic component, a flux is transferred to a bump on a surface to be transferred, but not transferred to the other, and the bump portion is more convex than others. Therefore, the transferred flux film is not flat because the transferred portion has a concave surface. For the next transfer, the squeegee is slid to form a constant-thickness flux film with a flat surface again. It is necessary to keep.

更に、特許文献1では、一定膜厚のフラックス膜が形成されたベルト状の転写体を移動しながら、ヘッドに吸着させた電子部品を該移動の速度と等速度にて移動させつつ、その被転写面を接触させて、フラックスを転写するという技術が開示されている。又、該技術では、該転写に際して、脱落した導電性ボールは、転写体の進行の先方に設ける突片にて引っかけて捕獲するようにしている。   Further, in Patent Document 1, while moving a belt-shaped transfer body on which a constant-thickness flux film is formed, an electronic component adsorbed on the head is moved at the same speed as that of the movement, and the object is covered. A technique of transferring a flux by bringing a transfer surface into contact therewith is disclosed. In this technique, the dropped conductive ball is caught by a projecting piece provided at the front of the transfer body during the transfer.

スキージをスライドさせる前述の従来例では、フラックス膜が形成されてから転写するのに対して、特許文献1の技術では、該形成の完了を待たずに、該形成を逐次行いつつ、一定膜厚となっているフラックス膜により、ベルトを移動させつつ逐次転写していく。このため、該形成を連続的に行いつつ転写することができ、タイムロスが少なくすることができる。   In the above-described conventional example in which the squeegee is slid, the transfer is performed after the flux film is formed. On the other hand, in the technique of Patent Document 1, the formation is performed sequentially without waiting for the formation to be completed, and the film thickness is constant. By the flux film, the belt is moved and transferred sequentially. For this reason, transfer can be performed while the formation is continuously performed, and time loss can be reduced.

特許3341586号公報Japanese Patent No. 3341586

しかしながら、特許文献1の場合、転写過程では、このようにベルト及び被転写物を移動動作させているものである。又、この接触部は、ベルトが円筒状になっている部分的な接触を、接触面に対して逐次移動させていくものである。従って、これらベルト及び被転写物の接触は不安定である。被転写物の電子部品などは極小化されているので、転写時の電子部品などの脱落や、フラックス膜で浸漬し過ぎてしまうなどの可能性が高くなる。   However, in the case of Patent Document 1, in the transfer process, the belt and the transfer object are moved in this way. Further, the contact portion sequentially moves the partial contact where the belt is cylindrical with respect to the contact surface. Accordingly, the contact between the belt and the transfer object is unstable. Since the electronic parts and the like of the object to be transferred are minimized, there is a high possibility that the electronic parts and the like will be dropped at the time of transfer or that they will be excessively immersed in the flux film.

本発明は、前記従来の問題点を解決するべくなされたもので、比較的単純な工程の処理で、電子部品にフラックスを、定められた厚さでムラなく塗布することができるフラックス塗布装置を提供することを課題とする。   The present invention has been made to solve the above-mentioned conventional problems, and a flux coating apparatus capable of coating flux on an electronic component uniformly with a predetermined thickness by processing in a relatively simple process. The issue is to provide.

本発明は、上面が平坦な平面に形成されたバックアップ板と、フラックス膜が形成されて電子部品の被転写面が押し付けられる面が、該バックアップ板の上面に位置し、該上面を移動可能とすると共に、該バックアップ板の下方を通って周回し回転するベルトと、内部にフラックスを蓄え、所定の力で該ベルトの上面に押し付けられるフラックスチャンバーと、を有し、該フラックスチャンバーには、フラックス膜形成時における前記ベルトの進行方向の壁は、該ベルトとの間に隙間を作るための所定高さで、押し付けられる前記被転写面より広い幅の、フラックス膜の形成時に前記内部フラックスを送り出すフラックス膜形成用のスリットが設けられ、該フラックスチャンバーの、前記進行方向とは反対側で前記ベルトの上方に位置する壁には、該フラックス膜形成用スリットより高さ及び幅が大の、フラックス回収用開口部が設けられ、前記ベルトに押し付けられる前記被転写面より、バックアップ板の前記上面が大きく、前記ベルトの幅が、該上面の幅、及び前記フラックス膜の幅より広いことより、前記課題を解決したものである。 In the present invention, the back-up plate formed on a flat top surface and the surface on which the transfer surface of the electronic component is pressed by forming the flux film are located on the top surface of the back-up plate, and the top surface can be moved. And a belt that circulates and rotates under the backup plate, and a flux chamber that stores flux therein and is pressed against the upper surface of the belt with a predetermined force. The wall in the traveling direction of the belt at the time of film formation is a predetermined height for creating a gap with the belt, and the internal flux is sent out when forming a flux film having a width wider than the surface to be pressed to be pressed. slit for the flux film formation is provided, the wall of said flux chamber, and the traveling direction is located above the belt on the opposite side Is provided with a flux recovery opening having a height and width larger than the flux film forming slit, and the upper surface of the backup plate is larger than the transferred surface pressed against the belt, and the width of the belt is The above problems are solved by the fact that the width of the upper surface is wider than the width of the flux film.

又、前記フラックス塗布装置において、前記フラックス膜形成用スリットに、制御部からの信号に基づき開口量が設定され、これにより前記所定高さを任意に設定できるゲートが設けられていることにより、被転写物などに応じてフラックス膜の膜厚を速やかに変更することができる。電子部品の被転写面のバンプには大きさが異なるものがあり、該大きさに応じた膜厚で転写する場合は、上記のようにフラックス膜の膜厚を変更することで、速やかにこれに対応することができる。   Further, in the flux application apparatus, an opening amount is set in the slit for forming the flux film based on a signal from the control unit, whereby a gate capable of arbitrarily setting the predetermined height is provided. The film thickness of the flux film can be quickly changed according to the transferred material. Some bumps on the transfer surface of electronic parts have different sizes. When transferring with a film thickness according to the size, change the film thickness of the flux film as described above. It can correspond to.

更に、前記フラックス塗布装置において、前記ベルトの回転と共に、前記フラックス膜形成用スリットから送り出されるフラックス膜の厚さを検出するために用いる検出センサを、前記フラックスチャンバーより前記進行方向側に設け、前記制御部が、該検出の厚さがその目標値に一致するように、前記信号を出力するものであることにより、要求される膜厚のフラックス膜の形成を確実に行うことができる。   Further, in the flux application apparatus, a detection sensor used for detecting the thickness of the flux film fed from the flux film forming slit along with the rotation of the belt is provided on the traveling direction side from the flux chamber, Since the control unit outputs the signal so that the detected thickness matches the target value, the flux film having the required film thickness can be reliably formed.

以下、本発明の作用について、簡単に説明する。   The operation of the present invention will be briefly described below.

本願発明では、内部にフラックスを蓄え、所定の力で、周回し回転するベルトの上面に押し付けられるフラックスチャンバーから、フラックスを送り出しながら、該ベルトの上面に、被転写面へと転写するためのフラックス膜を形成する。   In the present invention, the flux is stored inside, and the flux is transferred to the transfer surface on the upper surface of the belt while feeding the flux from the flux chamber pressed against the upper surface of the rotating and rotating belt with a predetermined force. A film is formed.

該フラックスチャンバーにおいて、フラックス膜形成時における該ベルトの進行方向の壁には、フラックス膜形成時には前記内部フラックスを送り出すフラックス膜形成用のスリットが設けられている。該フラックス膜形成用スリットは、該ベルトとの間に隙間を作るための所定高さで、前記転写時の前記被転写面の外形より広い幅となっている。   In the flux chamber, a slit for forming a flux film is provided on the wall in the direction of travel of the belt when the flux film is formed. The slit for forming the flux film has a predetermined height for forming a gap with the belt, and has a width wider than the outer shape of the transferred surface at the time of transfer.

従って、ベルトが回転移動すると、該フラックス膜形成用スリットにおける該ベルトとの間に隙間では、ベルトに粘着しているフラックスが該ベルトにより引き出され、又このように引き出されるフラックスの膜の断面は、該フラックス膜形成用スリットの高さ及び幅によって形作られたものとなる。従って、該フラックス膜形成用スリットの高さに応じて適切な膜厚で、必要な幅のフラックス膜を形成することができる。   Therefore, when the belt rotates, the flux adhering to the belt is drawn by the belt in the gap between the flux film forming slit and the belt, and the cross section of the flux film thus drawn is , And formed by the height and width of the slit for forming the flux film. Therefore, a flux film having a required width can be formed with an appropriate film thickness according to the height of the slit for forming the flux film.

形成されたフラックス膜による転写の際には、電子部品の被転写面の外形より大のバックアップ板上で、フラックス膜が形成されている上述のベルトに対して、該被転写面を押し付ける。該押し付けは、適度なフラックスの浸漬となるような、フラックス膜への被転写面の接触である。該押し付けの際には、ベルトの移動は停止しており、又、本願発明のバックアップ板の上面は、平坦な平面に形成されているので、極めて安定したフラックスの転写が可能となる。   When transferring with the formed flux film, the transfer surface is pressed against the belt on which the flux film is formed on a backup plate larger than the outer shape of the transfer surface of the electronic component. The pressing is a contact of the surface to be transferred with the flux film so that an appropriate flux is immersed. At the time of the pressing, the movement of the belt is stopped, and the upper surface of the backup plate of the present invention is formed in a flat plane, so that extremely stable transfer of the flux becomes possible.

更に、本願発明では、以上のような転写の後、再びベルトを移動させると、該ベルトは、バックアップ板の下方を通って周回して、フラックスチャンバーの、該ベルトの移動進行方向とは反対側の壁に至る。該壁には、上述したフラックス膜形成用スリットより、高さ及び幅が大の、フラックス回収用開口部設けられている。従って、転写の際に残って、ベルトに付着しているフラックスは、該フラックス回収用開口部を通過してフラックスチャンバー内部に至り、該フラックスチャンバー内部に回収されることになる。 Furthermore, in the present invention, when the belt is moved again after the transfer as described above, the belt circulates under the back-up plate, and the flux chamber is opposite to the moving direction of the belt. To the wall. The wall is provided with a flux collection opening having a height and width larger than those of the flux film forming slit described above. Therefore, the flux remaining on the belt and adhering to the belt passes through the flux collection opening, reaches the inside of the flux chamber, and is collected inside the flux chamber.

従って、本願発明によれば、比較的単純な工程の処理で、電子部品にフラックスを、定められた厚さでムラなく塗布することができるフラックス塗布装置を提供することができる。   Therefore, according to the invention of the present application, it is possible to provide a flux application device that can apply a flux to an electronic component with a predetermined thickness without any unevenness by a relatively simple process.

以下、図を用いて本発明の実施の形態を詳細に説明する。   Hereinafter, embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the drawings.

図1は、本願発明が適用された第1実施形態のフラックス塗布装置の構成を示す上方から見た平面図である。図2は、該図1において下側から上側へと見た、該フラックス塗布装置の側面図である。図3は、同じく該図1において下側から上側へと見た、該フラックス塗布装置の作用を示す断面図である。次に、図4は、上記図2において矢印Z方向へと見た場合の、該フラックス塗布装置の正面図である。図5は、図3の一部拡大図である。   FIG. 1 is a plan view seen from above showing a configuration of a flux applying apparatus according to a first embodiment to which the present invention is applied. FIG. 2 is a side view of the flux applying device as viewed from the lower side to the upper side in FIG. FIG. 3 is a cross-sectional view showing the operation of the flux applying apparatus, similarly viewed from the lower side to the upper side in FIG. Next, FIG. 4 is a front view of the flux coating apparatus when viewed in the direction of arrow Z in FIG. FIG. 5 is a partially enlarged view of FIG.

符号1はフレームA、符号2はフレームB、符号3はバックアップ板、符号4はフラックスベルトである。符号5は駆動ローラ、符号6は従動ローラ、符号10はモータ、符号11は駆動ベルト、符号12は駆動プーリ、符号13はモータプーリ、符号14は駆動ローラ軸受、符号15は従動ローラ軸、符号16は従動ローラ軸受である。   Reference numeral 1 denotes a frame A, reference numeral 2 denotes a frame B, reference numeral 3 denotes a backup plate, and reference numeral 4 denotes a flux belt. Reference numeral 5 denotes a driving roller, reference numeral 6 denotes a driven roller, reference numeral 10 denotes a motor, reference numeral 11 denotes a driving belt, reference numeral 12 denotes a driving pulley, reference numeral 13 denotes a motor pulley, reference numeral 14 denotes a driving roller bearing, reference numeral 15 denotes a driven roller shaft, reference numeral 16 Is a driven roller bearing.

符号17はテンショナーねじ、符号20はフラックスチャンバー、符号21はアーム、符号22はアームスプリング、符号23はアームヒンジ、符号24はフラックス膜形成用スリット、符号25はフラックスチャンバーのヒンジ、符号26はバンプに付着したフラックス、符号27はフラックス転写後の凹み、符号28はフラックス回収用開口部である。符号31は吸着ヘッド、符号32はノズル、符号33は電子部品、符号34はバンプ、符号35はフラックスチャンバー内のフラックス、符号36はフラックスベルト上に形成されたフラックス膜、符号38はスリットへの蓋である。   Reference numeral 17 denotes a tensioner screw, reference numeral 20 denotes a flux chamber, reference numeral 21 denotes an arm, reference numeral 22 denotes an arm spring, reference numeral 23 denotes an arm hinge, reference numeral 24 denotes a flux film forming slit, reference numeral 25 denotes a flux chamber hinge, and reference numeral 26 denotes a bump. The reference numeral 27 denotes a dent after flux transfer, and the reference numeral 28 denotes a flux recovery opening. Reference numeral 31 denotes a suction head, reference numeral 32 denotes a nozzle, reference numeral 33 denotes an electronic component, reference numeral 34 denotes a bump, reference numeral 35 denotes a flux in the flux chamber, reference numeral 36 denotes a flux film formed on the flux belt, and reference numeral 38 denotes a slit. It is a lid.

フレームA1及びフレームB2の前に、フラックスベルト4を回転させる駆動ローラ5及び従動ローラ6を設ける。フラックスベルト4は、従動ローラ軸15に付いているテンショナーねじ17により、一定張力で張られている。モータ10にて発生された駆動力は、モータプーリ13、駆動ベルト11、駆動プーリ12により、駆動ローラ5に伝達される。該駆動ローラ5は、該伝達の駆動力のトルクにより回転駆動され、フラックスベルト4を回転させる。   A driving roller 5 and a driven roller 6 for rotating the flux belt 4 are provided in front of the frame A1 and the frame B2. The flux belt 4 is stretched at a constant tension by a tensioner screw 17 attached to the driven roller shaft 15. The driving force generated by the motor 10 is transmitted to the driving roller 5 by the motor pulley 13, the driving belt 11 and the driving pulley 12. The driving roller 5 is rotationally driven by the torque of the transmission driving force to rotate the flux belt 4.

該フラックスベルト4の回転における正転時、吸着ヘッド31の電子部品33が押し付けられる側、即ち図2の側面図において上側では、該フラックスベルト4は図示される矢印A1の方向に移動する。又、該正転時、バックアップ板3の下側、即ち該図2において下側では、該フラックスベルト4は矢印A2の方向に移動する。   At the time of forward rotation in rotation of the flux belt 4, the flux belt 4 moves in the direction of the arrow A1 shown on the side where the electronic component 33 of the suction head 31 is pressed, that is, on the upper side in the side view of FIG. Further, at the time of the forward rotation, the flux belt 4 moves in the direction of the arrow A2 on the lower side of the backup plate 3, that is, on the lower side in FIG.

上記の移動の方向を、フラックスベルト4の進行方向とし、該進行方向に直交する方向を、幅方向とする。又、フラックスベルト4の幅はW2とし、該フラックスベルト4に押し付けられるフラックスチャンバー20の幅はW1とする。該フラックスベルト4の回転の内側から該フラックスベルト4を案内するバックアップ板3の上面は、平坦になっており、その幅はW4とする。該フラックスベルト4に粘着して該フラックスチャンバー20から送り出される、フラックス膜36の幅はW3とする。図1において、実線33や一点鎖線33aで示される、電子部品33における、フラックスを転写し塗布する面(被転写面)において、幅方向の寸法は幅W0とし、進行方向の寸法は長さL0とする。又、フラックス膜36の、上記進行方向の寸法をL3とし、フラックスの転写時にフラックスベルト4を裏面から平坦に保つバックアップ板3の面の、上記進行方向の寸法をL4とする。   The direction of movement is the traveling direction of the flux belt 4, and the direction perpendicular to the traveling direction is the width direction. The width of the flux belt 4 is W2, and the width of the flux chamber 20 pressed against the flux belt 4 is W1. The upper surface of the backup plate 3 that guides the flux belt 4 from the inside of the rotation of the flux belt 4 is flat, and its width is W4. The width of the flux film 36 adhered to the flux belt 4 and fed out from the flux chamber 20 is W3. In FIG. 1, in the surface (transfer target surface) on which the flux is transferred and applied in the electronic component 33 indicated by the solid line 33 and the alternate long and short dash line 33a, the dimension in the width direction is the width W0, and the dimension in the traveling direction is the length L0. And Further, the dimension in the traveling direction of the flux film 36 is L3, and the dimension in the traveling direction of the surface of the backup plate 3 that keeps the flux belt 4 flat from the back surface during the transfer of the flux is L4.

フラックスベルト4の幅W2は、フラックスチャンバー20の幅W1以上になっている。バックアップ板3の上面は、フラックスベルト4の裏側、即ち、回転するフラックスベルト4の内側から、該バックアップ板3の上方を移動するフラックスベルト4に接触し、該フラックスベルト4の回転を案内すると共に、フラックス転写に際した電子部品33の接触時に、該フラックスベルト4の該接触の面を平坦に維持しており、該幅W2は、バックアップ板3の幅W4より広くなっており、同時に、該幅W4や幅W3は、幅W0より広くなっている。   The width W2 of the flux belt 4 is equal to or greater than the width W1 of the flux chamber 20. The upper surface of the backup plate 3 is in contact with the flux belt 4 moving above the backup plate 3 from the back side of the flux belt 4, that is, from the inside of the rotating flux belt 4, and guides the rotation of the flux belt 4. The contact surface of the flux belt 4 is kept flat when the electronic component 33 is contacted during the flux transfer, and the width W2 is wider than the width W4 of the backup plate 3, and at the same time, the width W4 and width W3 are wider than width W0.

なお、電子部品33において、フラックスを転写し塗布する被転写面の形状は、図1のような矩形や正方形に限定されるものではなく、多角形や円形又楕円形などであってもよいことは言うまでもない。ここで、いかなる形状であっても、該形状の輪郭を外形とすれば、前述の幅W0は、前述の幅方向の該外形の最大幅とすればよく、又、前述の長さL0は、前述の進行方向の該外形の最大長とすればよい。   In the electronic component 33, the shape of the transfer surface onto which the flux is transferred and applied is not limited to the rectangle or square as shown in FIG. 1, but may be a polygon, a circle or an ellipse. Needless to say. Here, in any shape, if the contour of the shape is an outer shape, the width W0 may be the maximum width of the outer shape in the width direction, and the length L0 is What is necessary is just to set it as the maximum length of the said external shape of the above-mentioned advancing direction.

ここで、一般的な表現とすれば、電子部品33の被転写面を、フラックスベルト4上のフラックス膜36に浸漬してフラックスを転写する際、該フラックスベルト4に裏側から接触するバックアップ板3の上面は、フラックスベルト4に接触している該被転写面の外形全体に対して、大きくなっていると共に、少なくともその一部の平面上の位置が一致する必要があり、これにより、浸漬しているフラックスベルト4の領域が平坦のまま維持されることになる。又、フラックスベルト4上にフラックス膜36が形成されている領域についても、該被転写面の外形全体に対して、大きくなっていると共に、少なくともその一部の平面上の位置が一致する必要があり、これにより被転写面をすべてフラックス膜36に浸漬することができる。ここで、上記の大きいとは、被転写面に対して、幅方向や進行方向、又他のいかなる方向の寸法も、大きくなっているものである。   Here, in a general expression, when the transfer surface of the electronic component 33 is immersed in the flux film 36 on the flux belt 4 to transfer the flux, the backup plate 3 that contacts the flux belt 4 from the back side. The upper surface of the transfer belt is large with respect to the entire outer shape of the transfer surface that is in contact with the flux belt 4, and at least a part of the surface of the transfer surface needs to coincide with each other. The area of the flux belt 4 is maintained flat. Further, the area where the flux film 36 is formed on the flux belt 4 is also larger than the entire outer shape of the transfer surface, and at least a part of the position on the plane needs to coincide. In this way, the entire surface to be transferred can be immersed in the flux film 36. Here, the term “large” means that the dimension in the width direction, the traveling direction, or any other direction is large with respect to the transfer surface.

図1〜図3、図5〜図8において、フラックス膜形成時やフラックス回収時には、フラックスベルト4は、正転し、矢印A1やA2の方向に移動し、フラックスチャンバー20の下部において、図中右側から左側に進行する。フラックスチャンバー20において、該進行方向の壁20aの下部に、フラックスベルト4との隙間Sで、幅W3のフラックス膜形成用スリット24が設けられている。又、フラックスチャンバー20は、上、右、左、フラックスベルト4進行方向の4面に壁があり、下は開口していると共に、フラックスベルト4の進行方向とは反対面は幅W3より広く開口しており、フラックス回収用開口部28となっている。   1 to 3 and 5 to 8, the flux belt 4 rotates forward and moves in the direction of arrows A1 and A2 when forming the flux film or collecting the flux. Proceed from right to left. In the flux chamber 20, a flux film forming slit 24 having a width W <b> 3 is provided in a gap S with the flux belt 4 at a lower portion of the wall 20 a in the traveling direction. The flux chamber 20 has walls on the four sides of the upper, right, left, and flux belt 4 travel directions, and the bottom is open, and the surface opposite to the travel direction of the flux belt 4 is wider than the width W3. Thus, the opening 28 for flux recovery is formed.

フラックスチャンバー20は、フラックスチャンバー・ヒンジ25がアームのフック部21aに引っ掛けられて、フラックス塗布装置において位置決めされている。アーム21は、アームスプリング22により引っ張られて、アームヒンジ23を支点としてフラックスチャンバー20をフラックスベルト4へ押し付ける作用をしている。   The flux chamber 20 is positioned in the flux application device by the flux chamber hinge 25 being hooked on the hook portion 21a of the arm. The arm 21 is pulled by an arm spring 22 and acts to press the flux chamber 20 against the flux belt 4 with the arm hinge 23 as a fulcrum.

以下、本実施形態の作用を説明する。   Hereinafter, the operation of the present embodiment will be described.

フラックスベルト4が回転すると、フラックスチャンバー20内のフラックス35は、フラックスベルト4に粘着しながら壁20aのスリット24を通過する。フラックス35は、該スリット24の隙間S及び幅W3により規制されて通過するので、フラックスベルト4上において、均一な厚さTで幅約W3のフラックス膜36に形成されて、フラックスチャンバー20から出て、フラックスベルト4の進行と共に送り出されることになる。   When the flux belt 4 rotates, the flux 35 in the flux chamber 20 passes through the slit 24 of the wall 20a while adhering to the flux belt 4. Since the flux 35 is regulated by the gap S and the width W3 of the slit 24, the flux 35 is formed on the flux belt 4 into a flux film 36 having a uniform thickness T and a width of about W3, and is discharged from the flux chamber 20. Thus, it is sent out as the flux belt 4 advances.

該送り出しの長さが、電子部品33の大きさに見合ったものになり、該電子部品33に塗布するのに十分の面積のフラックス膜36が形成されたら(図1の斜線部)、モータ10を停止し、フラックスベルト4を停止する。   When the length of the feed is commensurate with the size of the electronic component 33 and the flux film 36 having a sufficient area to be applied to the electronic component 33 is formed (shaded portion in FIG. 1), the motor 10 And the flux belt 4 is stopped.

電子部品33は、バンプ面を下向きにして吸着ヘッド31に吸着された状態で、本実施形態のフラックス塗布装置まで搬送される。更に、図1の矢印のように、上記形成のフラックス膜36の上方の、フラックス転写位置まで移動する。該フラックス転写位置において、該吸着ヘッド31は停止し(図4の符号F)、電子部品33のバンプがフラックス膜36に接触するまで該吸着ヘッド31は下降し、電子部品33のバンプをフラックス膜36に浸漬する(図3)。本実施形態では、電子部品33において、他より凸になっているバンプの部分にのみ、フラックスを転写するようにしている。   The electronic component 33 is conveyed to the flux application device of the present embodiment in a state where the electronic component 33 is attracted to the suction head 31 with the bump surface facing downward. Further, as shown by the arrow in FIG. 1, the flux moves to the flux transfer position above the flux film 36 formed as described above. At the flux transfer position, the suction head 31 is stopped (reference F in FIG. 4), and the suction head 31 is lowered until the bump of the electronic component 33 comes into contact with the flux film 36, and the bump of the electronic component 33 is moved to the flux film. Immerse in 36 (FIG. 3). In the present embodiment, in the electronic component 33, the flux is transferred only to the bumps that are more convex than the others.

フラックスベルト4上には、均一な厚さTでフラックス膜36が形成されている。従って、該接触によって速やかに、電子部品33の下面にある全てのバンプには、該厚さTのフラックスが均一に付着することになる。   On the flux belt 4, a flux film 36 is formed with a uniform thickness T. Accordingly, the flux having the thickness T uniformly adheres to all the bumps on the lower surface of the electronic component 33 promptly by the contact.

この後、吸着ヘッド31は上昇して(図5)、フラックスを付着させた電子部品33を、基板搭載工程へと移動する。フラックス膜36において、フラックスが電子部品33にら付着した箇所は、図5に示すように凹み27となる。従って、次の電子部品33は、同じ位置で、厚さTで均一なフラックス浸漬ができない。   Thereafter, the suction head 31 is raised (FIG. 5), and the electronic component 33 with the flux attached is moved to the substrate mounting process. In the flux film 36, the portion where the flux adheres from the electronic component 33 becomes a dent 27 as shown in FIG. Therefore, the next electronic component 33 cannot perform uniform flux immersion with the thickness T at the same position.

本実施形態では、フラックスベルト4を回転させて送り出しつつ、電子部品33への転写に好適な面積で均一な厚さTのフラックス膜36の形成を、上記のフラックス転写位置へと次々に行うことができる。従って、図4において、符号E、F、G、Hというように、連続して電子部品33が送られてきても、待ち時間のない、乃至は少ないフラックス塗布を行うことができる。   In the present embodiment, while the flux belt 4 is rotated and sent out, the flux film 36 having a uniform thickness T and an area suitable for transfer to the electronic component 33 is formed one after another to the above-described flux transfer position. Can do. Therefore, in FIG. 4, even if the electronic component 33 is continuously sent as indicated by reference numerals E, F, G, and H, it is possible to perform flux application without waiting time or with little waiting time.

なお、本実施形態において、吸着ヘッド31の移動動作、該吸着ヘッド31の昇降動作、フラックスベルト4を駆動するモータ10の回転動作、又該移動動作の停止や該回転動作の停止は、図6のタイムチャートに示すように相互に連携したものになっている。   In this embodiment, the movement operation of the suction head 31, the raising / lowering operation of the suction head 31, the rotation operation of the motor 10 that drives the flux belt 4, the stop of the movement operation, and the stop of the rotation operation are shown in FIG. 6. As shown in the time chart, they are linked to each other.

次に、図7は、本第1実施形態に用いることができるフラックスチャンバー20の第1変形例の概要を示す断面図である。又、図8は、該フラックスチャンバー20の第2変形例の概要を示す断面図である。これら断面図は、図1において下側から上側を見たときのものである。   Next, FIG. 7 is a cross-sectional view showing an outline of a first modification of the flux chamber 20 that can be used in the first embodiment. FIG. 8 is a cross-sectional view showing an outline of a second modification of the flux chamber 20. These sectional views are when the upper side is viewed from the lower side in FIG.

上記の第1変形例は、図1〜図6に示したフラックスチャンバー20にたいして、スリット24の蓋38を設けたものである。この蓋を下降させてフラックスベルト4に密着させると、スリット24の開口が密閉される。該密閉の状態で、フラックスベルト4を回転させると、フラックスベルト4に付着しているフラックスは、該回転と共にフラックスチャンバー20内に収容されるので、残ったフラックスの回収が簡単にできる。   In the first modified example, the lid 38 of the slit 24 is provided on the flux chamber 20 shown in FIGS. When the lid is lowered and brought into close contact with the flux belt 4, the opening of the slit 24 is sealed. When the flux belt 4 is rotated in the sealed state, the flux adhering to the flux belt 4 is accommodated in the flux chamber 20 together with the rotation, so that the remaining flux can be easily recovered.

次に、第2変形例では、図8のフラックスチャンバー50は、図1〜図6に示したフラックスチャンバー20に相当するものであり、これに置き換えて用いる。該フラックスチャンバー50において、符号51はゲート、52はゲート調整ねじ、53はゲートスプリング、54はゲートヒンジである。   Next, in the second modification, the flux chamber 50 of FIG. 8 corresponds to the flux chamber 20 shown in FIGS. 1 to 6 and is used instead. In the flux chamber 50, reference numeral 51 is a gate, 52 is a gate adjusting screw, 53 is a gate spring, and 54 is a gate hinge.

図8のようにゲート調整ねじ52が上昇した位置にあると、ゲート51は、該図8における実線のように閉じられ、スリット24の開口が密閉される。又、ゲート調整ねじ52を回転させて下降していくと、該図8の二点差線のように、ゲート51が、ゲートヒンジ54を回転軸として回動して、スリット24の開口が開かれる。図8の該二点鎖線の状態では、該開口は隙間Sになっている。   When the gate adjustment screw 52 is in the raised position as shown in FIG. 8, the gate 51 is closed as shown by the solid line in FIG. 8, and the opening of the slit 24 is sealed. When the gate adjusting screw 52 is rotated and lowered, the gate 51 rotates about the gate hinge 54 as the rotation axis, and the opening of the slit 24 is opened, as shown by the two-dot chain line in FIG. . In the state of the two-dot chain line in FIG. 8, the opening is a gap S.

フラックスベルト4が矢印A1の方向に移動する際、スリット24の開口が密閉されていれば(実線のゲート51)、フラックス膜36は形成されない。これに対して、スリット24が上述のように隙間Sで開口していれば(二点鎖線のゲート51)、該移動に伴ってフラックス35が送り出され、フラックス膜36が形成されることになる。   When the flux belt 4 moves in the direction of the arrow A1, if the opening of the slit 24 is sealed (solid gate 51), the flux film 36 is not formed. On the other hand, if the slit 24 is opened in the gap S as described above (two-dot chain line gate 51), the flux 35 is sent out along with the movement, and the flux film 36 is formed. .

図1〜図6に示したフラックスチャンバー20では、スリットの高さSが固定された壁の構造であるのに対して、該第2変形例では、ゲートヒンジ54を中心としてゲート51が回転して、スリットの高さSが調整できる構造になっている。ゲートスプリング53はゲート51に半時計方向の力を加えており、ゲート51先端をフラックスベルト4表面に押し付ける方向で、ゲート51が閉じる方向に作用している。但し、該力は、アームスプリング22の力より弱くされているので、フラックスチャンバー50がフラックスベルト4表面から離れることはない。   The flux chamber 20 shown in FIGS. 1 to 6 has a wall structure in which the slit height S is fixed, whereas in the second modification, the gate 51 rotates around the gate hinge 54. Thus, the height S of the slit can be adjusted. The gate spring 53 applies a counterclockwise force to the gate 51 and acts in a direction in which the tip of the gate 51 is pressed against the surface of the flux belt 4 and the gate 51 is closed. However, since the force is weaker than the force of the arm spring 22, the flux chamber 50 does not leave the surface of the flux belt 4.

該フラックスチャンバー50において、ゲート調整ねじ52を回動させて下げると、ゲート51は時計方向に回転し、ゲート51先端はフラックスベルト4表面から離れて、隙間Sができて広くなっていく。このように該第2変形例では、該ゲート調整ねじ52の下降量に応じて隙間Sを調整できるので、フラックス膜36の厚さTは簡単に変更できる。   In the flux chamber 50, when the gate adjusting screw 52 is rotated and lowered, the gate 51 rotates in the clockwise direction, the tip of the gate 51 is separated from the surface of the flux belt 4, and a gap S is formed and becomes wider. As described above, in the second modification, the gap S can be adjusted in accordance with the descending amount of the gate adjusting screw 52, so that the thickness T of the flux film 36 can be easily changed.

以上に説明したように、本実施形態によれば、本願発明を効果的に適用することができる。   As described above, according to this embodiment, the present invention can be applied effectively.

前述の従来例のようにスキージを用いる場合、通常スキージは往復動作させる。本実施形態では、フラックスベルト4を、一方向にのみ移動させればフラックス膜36を形成できるので、処理時間が短くできる。   When using a squeegee as in the above-described conventional example, the squeegee is normally reciprocated. In this embodiment, since the flux film 36 can be formed by moving the flux belt 4 only in one direction, the processing time can be shortened.

又、スキージ動作中はフラックス転写位置において、スキージその他との物理的干渉が生じ、電子部品33が接近できない。これに対して、本実施形態においてフラックス膜36の形成の動作は、フラックスベルト4の移動であるため、電子部品33は、フラックス膜36の形成中もフラックス転写位置に接近可能である。従って、電子部品33の搬送処理、及びフラックス膜36の形成処理のほとんどを並行して行うことができ、処理時間を短縮でき生産性がよい。   Further, during the squeegee operation, physical interference with the squeegee and others occurs at the flux transfer position, and the electronic component 33 cannot approach. On the other hand, in the present embodiment, the operation of forming the flux film 36 is the movement of the flux belt 4, so that the electronic component 33 can approach the flux transfer position even during the formation of the flux film 36. Therefore, most of the conveyance process of the electronic component 33 and the formation process of the flux film 36 can be performed in parallel, so that the processing time can be shortened and the productivity is good.

更に、本実施形態では、スリット24をふさぐことで、フラックス膜36のフラックスをフラックスチャンバー20へと容易に回収することができる。従って、フラックスが汚れたり、劣化したりすることを抑制することができる。   Furthermore, in the present embodiment, the flux of the flux film 36 can be easily collected into the flux chamber 20 by closing the slit 24. Therefore, it can suppress that a flux gets dirty or deteriorates.

次に、図9は、本願発明が適用された第2実施形態のフラックス塗布装置の構成を示す上方から見た平面図である。図10は、該図9において下側から上側へと見た、該フラックス塗布装置の側面図である。次に、図11は、上記図10において右側から見た場合の、該フラックス塗布装置の背面図である。図12は、図10の一部拡大図である。図13は、上記図10において左側から矢印Z方向へと見た場合の、該フラックス塗布装置の正面図である。図14は、本実施形態のフラックスチャンバー20の側面図である。   Next, FIG. 9 is a plan view seen from above showing the configuration of the flux applying apparatus of the second embodiment to which the present invention is applied. FIG. 10 is a side view of the flux applying apparatus as viewed from the lower side to the upper side in FIG. Next, FIG. 11 is a rear view of the flux applying device as viewed from the right side in FIG. FIG. 12 is a partially enlarged view of FIG. FIG. 13 is a front view of the flux applying device when viewed from the left side in the arrow Z direction in FIG. FIG. 14 is a side view of the flux chamber 20 of the present embodiment.

本第2実施形態は、前述の第1実施形態とはフラックスチャンバー20の一部において、構成が異なる。   The second embodiment is different from the first embodiment in the configuration of a part of the flux chamber 20.

即ち、本実施形態では、フラックスチャンバー20において、フラックスベルト4の進行方向で、スリット24の直後に、ゲート51が設けられ、該ゲート51の開度を制御することで、フラックスベルト4の回転によってスリット24から送り出され形成されるフラックス膜の膜厚Tを制御できるようになっている。更に、該ゲート51より、更にフラックスベルト4の進行方向側に、フラックス膜厚検出センサ40が設けられ、上記形成の膜厚を随時検出できるようになっている。   That is, in this embodiment, in the flux chamber 20, the gate 51 is provided immediately after the slit 24 in the traveling direction of the flux belt 4, and by controlling the opening degree of the gate 51, the flux belt 4 is rotated. The film thickness T of the flux film that is fed from the slit 24 and formed can be controlled. Further, a flux film thickness detection sensor 40 is provided further on the side of the flux belt 4 in the traveling direction than the gate 51 so that the formed film thickness can be detected at any time.

本実施形態において、符号41はゲートレバー、符号42はゲートモータ、符号43はゲート調整ねじ、符号45はゲート調整ブロック、符号46はゲート調整ピン、符号47はゲート調整ピン長穴、符号53はゲートスプリング、符号54はゲートヒンジである。   In this embodiment, reference numeral 41 is a gate lever, reference numeral 42 is a gate motor, reference numeral 43 is a gate adjustment screw, reference numeral 45 is a gate adjustment block, reference numeral 46 is a gate adjustment pin, reference numeral 47 is a gate adjustment pin oblong hole, reference numeral 53 is A gate spring 54 is a gate hinge.

ゲートモータ42で駆動されるゲート調整ねじ43により、ゲート調整ブロック45が移動すると、ゲートレバー41は、該ゲート調整ブロック45に設けられたゲート調整ピン46に押されて、ゲートヒンジ54を中心に、図10において時計回り方向に回転する。ゲート51は、ゲートレバー41と連動して回転するので、スリット24の隙間Sの高さは、ゲート51が動作した開度となり、ゲートモータ42によって制御されることになる。   When the gate adjustment block 45 is moved by the gate adjustment screw 43 driven by the gate motor 42, the gate lever 41 is pushed by the gate adjustment pin 46 provided in the gate adjustment block 45, and the gate hinge 54 is centered. , It rotates in the clockwise direction in FIG. Since the gate 51 rotates in conjunction with the gate lever 41, the height of the gap S of the slit 24 becomes an opening degree at which the gate 51 is operated, and is controlled by the gate motor 42.

図14では、ゲート51は、閉じた状態が二点鎖線で、開いた状態が実線で図示されている。又、符号41Aはゲート51が閉じた状態での、符号41Bはゲート51が開いた状態での、それぞれゲートレバー41を図示するものである。   In FIG. 14, the closed state of the gate 51 is indicated by a two-dot chain line, and the open state is indicated by a solid line. Reference numeral 41A shows the gate lever 41 when the gate 51 is closed, and reference numeral 41B shows the gate lever 41 when the gate 51 is open.

ここで、ゲートモータ42を、ゲート51が閉じる方向へ駆動すると、ゲート51は、ゲートスプリング53により反時計回り方向に戻されて、フラックスベルト4に接触し、該ゲート51は閉じられる。   Here, when the gate motor 42 is driven in the direction in which the gate 51 is closed, the gate 51 is returned in the counterclockwise direction by the gate spring 53 to contact the flux belt 4 and the gate 51 is closed.

本実施形態では、ゲート51の外にあるフラックス膜厚検出センサ40により、フラックスチャンバー20から送り出されて形成されるフラックス膜36の膜厚を随時検出する。又、該膜厚が、目標の厚さとなるよう、検出された膜厚及び目標膜厚の差に応じ、ゲート51の開度を制御することで、該膜厚のフィードバック制御を行うようにして、該目標膜厚の均一なフラックス膜36を形成するようにしている。   In the present embodiment, the film thickness of the flux film 36 sent out from the flux chamber 20 and formed by the flux film thickness detection sensor 40 outside the gate 51 is detected as needed. In addition, feedback control of the film thickness is performed by controlling the opening of the gate 51 according to the difference between the detected film thickness and the target film thickness so that the film thickness becomes the target thickness. The flux film 36 having a uniform target film thickness is formed.

図15〜図17は、本実施形態の動作を示す、それぞれ各動作段階の側面図である。又、図18は、本実施形態の動作を示すフローチャートである。   15 to 17 are side views of the respective operation stages, showing the operation of the present embodiment. FIG. 18 is a flowchart showing the operation of this embodiment.

本実施形態では、ステップ112〜120は、吸着ヘッド31による電子部品33の搬送処理である。又、ステップ212〜230は、フラックス膜36の形成処理である。フラックス転写をする電子部品が選択されると、本実施形態の制御部において、該電子部品のバンプの大きさに応じた、転写するフラックス膜のデータが獲得されるようになっている。なお、これら搬送処理及び形成処理は、一部並行して行うようになっている。   In the present embodiment, steps 112 to 120 are transport processing of the electronic component 33 by the suction head 31. Steps 212 to 230 are processes for forming the flux film 36. When an electronic component to be flux-transferred is selected, data of a flux film to be transferred corresponding to the size of the bump of the electronic component is acquired in the control unit of the present embodiment. Note that these transfer processing and formation processing are partially performed in parallel.

ステップ112では、所定の吸着位置に移動し、吸着ヘッド31が下降して電子部品33をノズル32に吸着する。ステップ114では、移動動作にあって接触や干渉が生じ得ないように、再び上昇する。この後に、フラックス塗布装置におけるフラックス転写位置まで移動する。   In step 112, the suction head 31 moves to a predetermined suction position, and the electronic component 33 is sucked by the nozzle 32. In step 114, it moves up again so that no contact or interference can occur in the moving operation. After this, it moves to the flux transfer position in the flux application device.

これらステップ112及びステップ114の搬送処理と並行して、ステップ212〜2224のフラックス膜形成処理を行う。なお、図15は、吸着ヘッド31が電子部品33を吸着し、かつフラックス膜36は未だ形成されていない状態である。   In parallel with the transport process of step 112 and step 114, the flux film forming process of steps 212 to 2224 is performed. FIG. 15 shows a state in which the suction head 31 sucks the electronic component 33 and the flux film 36 is not yet formed.

ステップ212では、本実施形態においてモータ10やゲートモータ42の回転を制御する制御部は、モータ10が所定送り速度で正転する指示の信号を該モータ10に出力し、モータ10による回転駆動を開始して、フラックスベルト4の回転移動を開始する。該フラックスベルト4はフラックスチャンバー20の下部において、図9、図10、図12、図14〜図17では図中右側から左側になる方向(進行方向)に移動する。   In step 212, the control unit that controls the rotation of the motor 10 and the gate motor 42 in the present embodiment outputs an instruction signal for the motor 10 to rotate forward at a predetermined feed speed to the motor 10, and the motor 10 performs rotational driving. The rotational movement of the flux belt 4 is started. The flux belt 4 moves in the lower part of the flux chamber 20 in the direction from the right side to the left side in FIG. 9, FIG. 12, FIG. 12, and FIG.

ステップ214では、フラックス膜厚検出センサ40によるフラックス膜36の膜厚検出を開始する。該検出の膜厚は、前述した制御部において、該フラックス膜厚検出センサ40から入力される信号に基づいて把握される。又、ステップ216及び218において、該制御部により、前述した該膜厚に係るフィードバック制御を行う。   In step 214, detection of the film thickness of the flux film 36 by the flux film thickness detection sensor 40 is started. The detected film thickness is grasped on the basis of a signal input from the flux film thickness detection sensor 40 in the control unit described above. In steps 216 and 218, the control unit performs feedback control related to the film thickness described above.

該ステップ216では、該フィードバック制御に伴って、該制御部は、ゲートモータ42に対して正転を指示する信号を出力する。すると、該ゲートモータ42は、閉じていたゲート51を開く。   In step 216, the control unit outputs a signal for instructing the gate motor 42 to perform normal rotation in accordance with the feedback control. Then, the gate motor 42 opens the closed gate 51.

又、ステップ218では、該制御部は、フラックス膜厚検出センサ40からの信号により把握されるフラックス膜36の膜厚該膜厚、及び予め設定される目標膜厚の差を求め、該差が閾値以上であるか否か判定する。閾値以上と判定されれば、ステップ216に戻って、該制御部は、該差が負(検出膜厚が小)であれば正転の、正(検出膜厚が大)であれば逆転の回転指示の信号を、ゲートモータ42に対して出力することで、ゲート51の開度を調整する。あるいは、該閾値より小と判定されれば、続くステップ220へ進む。   In step 218, the control unit obtains a difference between the film thickness of the flux film 36 grasped by a signal from the flux film thickness detection sensor 40 and a preset target film thickness. It is determined whether or not the threshold value is exceeded. If it is determined that the threshold is greater than or equal to the threshold value, the process returns to step 216, and the control unit performs forward rotation if the difference is negative (the detected film thickness is small), and reverse rotation if the difference is positive (the detected film thickness is large). By outputting a rotation instruction signal to the gate motor 42, the opening degree of the gate 51 is adjusted. Alternatively, if it is determined that the value is smaller than the threshold value, the process proceeds to the next step 220.

ここで、上述の目標膜厚は、電子部品33に転写するフラックス膜36の厚さであり、電子部品33に転写するフラックスを厚くする場合には厚くなる。電子部品33に転写するフラックスの厚さは、例えば、電子部品33の被転写面にあるバンプの大きさなどに応じて定められる。又、ゲートモータ42は、正転するとゲート51が開かれていき、逆転すると該ゲート51は閉じられていく。   Here, the above-mentioned target film thickness is the thickness of the flux film 36 transferred to the electronic component 33, and becomes thicker when the flux transferred to the electronic component 33 is thickened. The thickness of the flux transferred to the electronic component 33 is determined according to, for example, the size of bumps on the transfer surface of the electronic component 33. When the gate motor 42 rotates in the forward direction, the gate 51 is opened, and when it rotates in the reverse direction, the gate 51 is closed.

ステップ220では、制御部は、上記で目標膜厚との差が閾値以下と判定されてからの、フラックスベルト4が回転移動する長さを測定していくことで、フラックスベルト4の回転移動に伴って形成される、規定の膜厚Tに形成されているフラックス膜36の長さの測定を開始する。この回転移動の長さ測定は、モータ10、モータプーリ13、あるいは駆動プーリ12などに取り付けられたロータリー・エンコーダから出力されるパルス信号をカウントし、該カウント数から算出するようにしてもよい。   In step 220, the control unit measures the length that the flux belt 4 rotates and moves after the difference from the target film thickness is determined to be equal to or less than the threshold value. The measurement of the length of the flux film 36 formed with the specified film thickness T is started. This rotational movement length measurement may be performed by counting pulse signals output from a rotary encoder attached to the motor 10, the motor pulley 13, or the drive pulley 12 and calculating from the counted number.

ステップ222では、制御部は、上述のように測定するフラックス膜36の長さが、電子部品33へ転写するために十分になったか判定する。未だ十分ではないと判定された場合は、ステップ220の前方に戻り、十分であると判定された場合は、ステップ224において、制御部は、モータ10の駆動を停止することで、フラックス膜36の回転移動を停止する。続いてステップ226において、制御部は、ゲートモータ42へ逆転の信号を出力し、ゲート51を閉鎖する。該ゲートモータ42が逆転していくと、ゲートスプリング53の張力によってゲート51は閉鎖されていく。   In step 222, the control unit determines whether the length of the flux film 36 to be measured as described above is sufficient to transfer to the electronic component 33. If it is determined that it is not sufficient yet, the process returns to the front of step 220. If it is determined that it is sufficient, in step 224, the control unit stops the driving of the motor 10, thereby Stop rotational movement. Subsequently, in step 226, the control unit outputs a reverse rotation signal to the gate motor 42 and closes the gate 51. As the gate motor 42 rotates in the reverse direction, the gate 51 is closed by the tension of the gate spring 53.

ステップ114により、吸着ヘッド31がフラックス転写位置に到達し、かつ、ステップ224においてフラックスベルト4の回転移動が停止されると、図16に図示されるような状態になる。この状態になると、ステップ116において、吸着ヘッド31は、吸着している電子部品33の下面にあるバンプを、フラックス膜36に浸漬するまで下降する。該下降後は、図17に図示されるような状態になる。該浸漬の後、吸着ヘッド31は、電子部品33をノズル32に吸着したまま、ステップ118において次の移動動作に備えて上昇し、ステップ120において浸漬された電子部品33を、基板搭載位置まで搬送する。   When the suction head 31 reaches the flux transfer position in step 114 and the rotational movement of the flux belt 4 is stopped in step 224, the state shown in FIG. In this state, in step 116, the suction head 31 moves down until the bump on the lower surface of the electronic component 33 that is being sucked is immersed in the flux film 36. After the lowering, the state shown in FIG. After the immersion, the suction head 31 rises in preparation for the next moving operation in Step 118 while the electronic component 33 is sucked by the nozzle 32, and transports the electronic component 33 immersed in Step 120 to the substrate mounting position. To do.

前述のステップ226の後には、ステップ228及びステップ230によるフラックス回収処理を行う。上述のステップ116〜120の浸漬処理が行われている場合は、該フラックス回収処理は、該浸漬処理と並行して行うことができる。   After the above-described step 226, the flux recovery processing at step 228 and step 230 is performed. In the case where the immersion process in steps 116 to 120 described above is performed, the flux recovery process can be performed in parallel with the immersion process.

ステップ228では、制御部の制御により、ゲート51を閉鎖したまま、モータ10を動作させてフラックスベルト4の回転駆動を開始させる。ステップ230では、該回転駆動によって、フラックスベルト4においてフラックス膜36が形成されている箇所は、図9や図10において右側からフラックスチャンバー20に到達し、該フラックス膜36のフラックスがフラックスチャンバー20内に回収される。   In step 228, under the control of the control unit, the motor 10 is operated while the gate 51 is closed, and the rotational driving of the flux belt 4 is started. In step 230, the portion where the flux film 36 is formed on the flux belt 4 by the rotational drive reaches the flux chamber 20 from the right side in FIGS. 9 and 10, and the flux of the flux film 36 flows into the flux chamber 20. To be recovered.

以上のように、本実施形態によれば、本願発明を効果的に適用することができる。   As described above, according to the present embodiment, the present invention can be applied effectively.

本実施形態では、電子部品33の搬送処理やフラックス膜36の形成処理の少なくとも一部を並行して行うことができる。従って、図13において、符号E、F、G、Hというように、連続して電子部品33が送られてきても、待ち時間のない、乃至は少ないフラックス塗布を行うことができる。   In the present embodiment, at least a part of the conveying process of the electronic component 33 and the forming process of the flux film 36 can be performed in parallel. Therefore, in FIG. 13, even if the electronic component 33 is continuously sent as indicated by reference numerals E, F, G, and H, it is possible to perform flux application with no waiting time or less.

又、多種多様な電子部品を混在して取り扱っていく場合にも、フラックス転写をする電子部品が選択されると、電子データとして保存されている該選択の電子部品のバンプの大きさを読み出して把握して、このバンプの大きさに応じた転写するフラックス膜の膜厚を求めたり、あるいは、電子データとして保存されている該選択の電子部品の該膜厚のデータを読み出して獲得したりすることができる。そして、膜厚の変更を即座にして、フラックス膜36を形成することができる。更には、該形成に際しては、前述のようにフィードバック制御を適用することが可能であるため、形成される膜厚の制御精度を高めることができる。   Also, when handling various electronic components together, if an electronic component to be flux-transferred is selected, the size of the bump of the selected electronic component stored as electronic data is read out. Grasping and obtaining the thickness of the flux film to be transferred according to the bump size, or reading out and obtaining the thickness data of the selected electronic component stored as electronic data be able to. Then, the flux film 36 can be formed by changing the film thickness immediately. Furthermore, in the formation, since feedback control can be applied as described above, the control accuracy of the formed film thickness can be increased.

以上説明したとおり、本発明によれば、比較的単純な工程の処理で、電子部品にフラックスを、定められた厚さでムラなく塗布することができるフラックス塗布装置を提供することができる。   As described above, according to the present invention, it is possible to provide a flux application device that can apply a flux to an electronic component with a predetermined thickness without any unevenness by processing in a relatively simple process.

本願発明が適用された第1実施形態のフラックス塗布装置の構成を示す上方から見た平面図。The top view seen from the upper part which shows the structure of the flux application | coating apparatus of 1st Embodiment to which this invention was applied. 図1において下側から上側へと見た、該フラックス塗布装置の側面図。The side view of this flux application | coating apparatus seen from the lower side to the upper side in FIG. 同じく該図1において下側から上側へと見た、該フラックス塗布装置の作用を示す断面図。Sectional drawing which similarly shows the effect | action of this flux application | coating apparatus seen from the lower side to the upper side in this FIG. 上記図2において矢印Z方向へと見た場合の、該フラックス塗布装置の正面図。The front view of this flux application | coating apparatus at the time of seeing to the arrow Z direction in the said FIG. 図3の一部拡大図。FIG. 4 is a partially enlarged view of FIG. 3. 前記第1実施形態の動作を示すタイムチャート。The time chart which shows the operation | movement of the said 1st Embodiment. 前記第1実施形態に用いることができるフラックスチャンバーの第1変形例の概要を示す断面図。Sectional drawing which shows the outline | summary of the 1st modification of the flux chamber which can be used for the said 1st Embodiment. 該フラックスチャンバーの第2変形例の概要を示す断面図。Sectional drawing which shows the outline | summary of the 2nd modification of this flux chamber. 本願発明が適用された第2実施形態のフラックス塗布装置の構成を示す上方から見た平面図。The top view seen from the top which shows the structure of the flux application | coating apparatus of 2nd Embodiment to which this invention was applied. 該図9において下側から上側へと見た、該フラックス塗布装置の側面図。The side view of this flux application | coating apparatus seen from the lower side to the upper side in this FIG. 上記図10において右側から見た場合の、該フラックス塗布装置の背面図。The rear view of this flux application | coating apparatus at the time of seeing from the right side in the said FIG. 図10の一部拡大図。FIG. 11 is a partially enlarged view of FIG. 10. 上記図10において左側から矢印Z方向へと見た場合の、該フラックス塗布装置の正面図。The front view of this flux application | coating apparatus at the time of seeing to the arrow Z direction from the left side in the said FIG. 前記第2実施形態のフラックスチャンバーの側面図。The side view of the flux chamber of the said 2nd Embodiment. 前記第2実施形態の動作を示す、第1段階の側面図。The side view of the 1st step which shows operation | movement of the said 2nd Embodiment. 前記第2実施形態の動作を示す、第2段階の側面図。The side view of the 2nd step which shows operation | movement of the said 2nd Embodiment. 前記第2実施形態の動作を示す、第3段階の側面図。The side view of the 3rd step which shows operation | movement of the said 2nd Embodiment. 前記第2実施形態の動作を示すタイムチャート。The time chart which shows operation | movement of the said 2nd Embodiment.

符号の説明Explanation of symbols

1…フレームA
2…フレームB
3…バックアップ板
4…フラックスベルト
5…駆動ローラ
6…従動ローラ
10…モータ
11…駆動ベルト
12…駆動プーリ
13…モータプーリ
14…駆動ローラ軸受
15…従動ローラ軸
16…従動ローラ軸受
17…テンショナーねじ
20、50…フラックスチャンバー
21…アーム
22…アームスプリング
23…アームヒンジ
24…フラックス膜形成用スリット
25…フラックスチャンバー・ヒンジ
26…フラックス
28…フラックス回収用開口部28
31…吸着ヘッド
32…ノズル
33…電子部品
34…バンプ
35…フラックス
36…フラックス膜
38…スリット蓋
40…フラックス膜厚検出センサ
41…ゲートレバー
42…ゲートモータ
43…ゲート調整ねじ
45…ゲート調整ブロック
46…ゲート調整ピン
47…ゲート調整ピン長穴
51…ゲート
52…ゲート調整ねじ
53…ゲートスプリング
54…ゲートヒンジ
1 ... Frame A
2 ... Frame B
DESCRIPTION OF SYMBOLS 3 ... Backup plate 4 ... Flux belt 5 ... Drive roller 6 ... Drive roller 10 ... Motor 11 ... Drive belt 12 ... Drive pulley 13 ... Motor pulley 14 ... Drive roller bearing 15 ... Drive roller shaft 16 ... Drive roller roller 17 ... Tensioner screw 20 50 ... Flux chamber 21 ... Arm 22 ... Arm spring 23 ... Arm hinge 24 ... Slit for forming flux film 25 ... Flux chamber hinge 26 ... Flux 28 ... Flux recovery opening 28
DESCRIPTION OF SYMBOLS 31 ... Adsorption head 32 ... Nozzle 33 ... Electronic component 34 ... Bump 35 ... Flux 36 ... Flux film 38 ... Slit cover 40 ... Flux film thickness detection sensor 41 ... Gate lever 42 ... Gate motor 43 ... Gate adjustment screw 45 ... Gate adjustment block 46 ... Gate adjustment pin 47 ... Gate adjustment pin oblong hole 51 ... Gate 52 ... Gate adjustment screw 53 ... Gate spring 54 ... Gate hinge

Claims (3)

上面が平坦な平面に形成されたバックアップ板と、
フラックス膜が形成されて電子部品の被転写面が押し付けられる面が、該バックアップ板の上面に位置し、該上面を移動可能とすると共に、該バックアップ板の下方を通って周回し回転するベルトと、
内部にフラックスを蓄え、所定の力で該ベルトの上面に押し付けられるフラックスチャンバーと、を有し、
該フラックスチャンバーには、フラックス膜形成時における前記ベルトの進行方向の壁は、該ベルトとの間に隙間を作るための所定高さで、押し付けられる前記被転写面より広い幅の、フラックス膜の形成時に前記内部フラックスを送り出すフラックス膜形成用のスリットが設けられ、
該フラックスチャンバーの、前記進行方向とは反対側で前記ベルトの上方に位置する壁には、該フラックス膜形成用スリットより高さ及び幅が大の、フラックス回収用開口部が設けられ、
前記ベルトに押し付けられる前記被転写面より、バックアップ板の前記上面が大きく、前記ベルトの幅が、該上面の幅、及び前記フラックス膜の幅より広いことを特徴とするフラックス塗布装置。
A backup plate formed on a flat top surface;
A belt on which the transfer surface of the electronic component is pressed and the flux film is formed is positioned on the upper surface of the backup plate, the upper surface is movable, and the belt rotates around and rotates under the backup plate; ,
A flux chamber that stores flux therein and is pressed against the upper surface of the belt with a predetermined force;
In the flux chamber, the wall in the direction of travel of the belt at the time of forming the flux film is a predetermined height for creating a gap between the belt and a width of the flux film wider than the pressed surface to be pressed. A slit for forming a flux film for feeding out the internal flux at the time of formation is provided,
A flux recovery opening having a height and width larger than the flux film forming slit is provided on a wall of the flux chamber opposite to the traveling direction and above the belt .
The flux coating apparatus, wherein the upper surface of the backup plate is larger than the surface to be transferred pressed against the belt, and the width of the belt is wider than the width of the upper surface and the width of the flux film.
請求項1に記載のフラックス塗布装置において、
前記フラックス膜形成用スリットに、制御部からの信号に基づき開口量が設定され、これにより前記所定高さを任意に設定できるゲートが設けられていることを特徴とするフラックス塗布装置。
In the flux application apparatus according to claim 1,
The flux coating apparatus is characterized in that the flux film forming slit is provided with a gate in which an opening amount is set based on a signal from a control unit, whereby the predetermined height can be arbitrarily set.
請求項2に記載のフラックス塗布装置において、
前記ベルトの回転と共に、前記フラックス膜形成用スリットから送り出されるフラックス膜の厚さを検出するために用いる検出センサを、前記フラックスチャンバーより前記進行方向側に設け、
前記制御部が、該検出の厚さがその目標値に一致するように、前記信号を出力するものであることを特徴とするフラックス塗布装置。
In the flux application apparatus according to claim 2,
A detection sensor used for detecting the thickness of the flux film sent out from the flux film forming slit along with the rotation of the belt is provided on the traveling direction side from the flux chamber,
The flux coating apparatus, wherein the control unit outputs the signal so that the thickness of the detection matches the target value.
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