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JP4807337B2 - Discharge lamp holding mechanism - Google Patents
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Description

本発明は、放電ランプ保持機構に関し、特に、ホルダへの取り付け作業が困難な大型の放電ランプに対する放電ランプ保持機構に関する。   The present invention relates to a discharge lamp holding mechanism, and more particularly to a discharge lamp holding mechanism for a large discharge lamp that is difficult to attach to a holder.

近年、半導体や液晶の露光、その他の微細加工の分野でフォトリソグラフィ用光源としてショートアーク型水銀ランプを用いた露光技術が利用される。
フォトリソグラフィ用の露光では、フォトレジストが感度を有する波長365nm(i線)の光を効率良く放射する水銀ランプが使われ、また、液晶やプリント基板の露光では、波長350nm〜450nmの光を放射する水銀ランプが使われる。水銀ランプは発光物質として水銀が封入されるとともに、始動用ガスとしてアルゴン、クリプトン、キセノンなどの希ガスが封入される。このような水銀ランプは、例えば、特開平9−213129号に示されるように凹面反射鏡と組み合わせて光学系を構成する。
In recent years, an exposure technique using a short arc type mercury lamp as a light source for photolithography is used in the fields of semiconductor and liquid crystal exposure and other fine processing.
Mercury lamps that efficiently emit light with a wavelength of 365 nm (i-line), which is sensitive to photoresist, are used for photolithography exposure, and light with a wavelength of 350 nm to 450 nm is emitted for exposure of liquid crystals and printed circuit boards. A mercury lamp is used. In the mercury lamp, mercury is enclosed as a luminescent substance, and a rare gas such as argon, krypton, or xenon is enclosed as a starting gas. Such a mercury lamp constitutes an optical system in combination with a concave reflecting mirror as disclosed in, for example, JP-A-9-213129.

露光装置は、露光すべき面積が大きくなる一方で、処理時間(スループット)は短くなる傾向にある。光源である水銀ランプも、入力を増加させることで露光量を増加させる傾向にある。しかし、ランプ入力の増大は、ランプを物理的に大型化させることとなり、反射ミラーへ組み付ける作業が一段と煩雑化してしまう。特に、ランプが大型化すると、寸法的にも重量的にも作業者がランプを保持することが困難になる。   The exposure apparatus tends to have a shorter processing time (throughput) while an area to be exposed becomes larger. The mercury lamp, which is a light source, also tends to increase the amount of exposure by increasing the input. However, an increase in lamp input results in a physical enlargement of the lamp, which complicates the work of assembling the reflecting mirror. In particular, when the lamp becomes large, it becomes difficult for the operator to hold the lamp in terms of dimensions and weight.

例えば、前記特開平9−213129号に示すように吊り下げてランプを保持する構造の場合、ランプを吊り下げた状態で保持しつつ、同時に、ネジ止めなどの固定作業をする必要がある。さらに、ランプが大型化すると反射ミラーも大型化する。上記作業は、ランプの口金を、反射ミラーの内側空間から入れて頂部開口を通して、頂部開口の外部にある保持機構で固定させる。この固定作業では、反射ミラーの内側空間でランプの一端を保持しつつ、同時に、反射ミラーの頂部開口の外側でネジ止めなどの固定作業をする必要があるが、この場合、反射ミラーの内側空間において片手でランプを保持するとともに、もう一方の片手でネジ止め作業をしなければならない。この作業は、ランプが大型化すると、片手で保持することとなり、時として、ランプを落下させたり、反射ミラーを傷つけるという問題を生じる。   For example, in the case of a structure in which a lamp is held by being suspended as shown in the above-mentioned JP-A-9-213129, it is necessary to perform fixing work such as screwing while holding the lamp in a suspended state. Furthermore, when the lamp is enlarged, the reflecting mirror is also enlarged. In the above operation, the base of the lamp is inserted from the inner space of the reflecting mirror, passed through the top opening, and fixed by a holding mechanism outside the top opening. In this fixing work, it is necessary to hold one end of the lamp in the inner space of the reflecting mirror and at the same time to perform fixing work such as screwing outside the top opening of the reflecting mirror. In this case, the lamp must be held with one hand and screwed with the other hand. When the lamp becomes large, this work is held with one hand, and sometimes the lamp is dropped or the reflection mirror is damaged.

さらに、放電ランプと保持機構の固定作業では、確実な給電構成を形成しなければならない。給電リードや給電線の電気的接続が不十分であると電流供給が不十分になるからである。
特開平9−213129号
Furthermore, a reliable power supply configuration must be formed in the work of fixing the discharge lamp and the holding mechanism. This is because current supply becomes insufficient if the electrical connection of the power supply leads and power supply lines is insufficient.
JP-A-9-213129

本発明は、大型化した放電ランプであっても、容易に放電ランプを固定することができる放電ランプ用保持機構を提供することを目的とする。   An object of the present invention is to provide a discharge lamp holding mechanism capable of easily fixing a discharge lamp even if the discharge lamp is enlarged.

上記課題を解決するために、この発明に係る放電ランプ用保持機構は、少なくとも一方の端部に口金が装着された放電ランプと、この放電ランプを吊り下げるとともに着脱することのできるよう保持するランプホルダとからなり、
前記放電ランプの口金は、放電ランプの管軸に沿って伸びて放電ランプの端部に被さるよう装着される口金側基体部と、当該口金側基体部よりも管軸に対し直交する方向の幅の小さい柱状に形成され、当該口金側基体部の先端面から突出するとともに前記ランプホルダに向けて管軸に沿って伸びる口金側仮固定機構と、当該口金側基体部の先端側 の外周面に形成された口金側本固定機構とを備え、
前記ランプホルダは、前記口金側仮固定機構と係合するための、管軸に沿って伸びる凹所よりなるホルダ側仮固定機構を備えるホルダ側基体部と、前記口金側本固定機構と係合するための、当該ホルダ側基体部の外周面に設けられ、当該ホルダ側基体部を中心として周方向に回転する筒状のホルダ側本固定機構とを備え、
前記口金と前記ランプホルダとが、前記口金側仮固定機構と前記ホルダ側仮固定機構とを係合することにより仮固定されるとともに、前記口金側本固定機構と前記ホルダ側本固定機構とを係合することにより本固定される放電ランプ保持機構であって、
前記口金側仮固定機構には、管軸方向に離間した2箇所に、基端側嵌合部と先端側嵌合部とが形成されると共に、当該基端側嵌合部と当該先端側嵌合部との間に口金側挿入部が形成され、
前記ホルダ側仮固定機構には、ランプホルダの中心軸方向に離間した2箇所に、前記基端側嵌合部と前記先端側嵌合部のそれぞれに嵌合するための基端側嵌合用凹部と先端側嵌合用凹部とが形成されると共に、当該基端側嵌合用凹部と当該先端側嵌合用凹部との間に、前記口金側挿入部を挿入するためのホルダ側被挿入部が形成され、
前記口金と前記ランプホルダとは、以下の関係1に示す関係を満たすことを特徴とする放電ランプ保持機構。
(関係1)
前記基端側嵌合用凹部におけるランプホルダの中心軸に直交する方向の幅と、前記先端側嵌合部の管軸に直交する方向の幅との差をAとし、
前記基端側嵌合用凹部におけるランプホルダの中心軸に直交する方向の幅と、前記口金側挿入部の管軸に直交する方向の幅との差をBとし、
前記ホルダ側被挿入部におけるランプホルダの中心軸に直交する方向の幅と、前記先端側嵌合部の管軸に直交する方向の幅との差をCとし、
前記ホルダ側被挿入部におけるランプホルダの中心軸に直交する方向の幅と、前記口金側挿入部における管軸に直交する方向の幅との差をDとし、
前記基端側嵌合用凹部におけるランプホルダの中心軸に直交する方向の幅と、前記基端側嵌合部における管軸に直交する方向の幅との差をEとし、
前記先端側嵌合用凹部におけるランプホルダの中心軸に直交する方向の幅と、前記先端側嵌合部における管軸に直交する方向の幅との差をFとしたとき、
AないしDの何れもが、EおよびFの何れもより大である。
In order to solve the above-described problems, a discharge lamp holding mechanism according to the present invention includes a discharge lamp having a base attached to at least one end thereof, and a lamp that suspends the discharge lamp and holds it so that it can be attached or detached. Consisting of a holder,
A base of the discharge lamp extends along the tube axis of the discharge lamp and is mounted so as to cover an end of the discharge lamp, and a width in a direction perpendicular to the tube axis from the base side of the base A base-side temporary fixing mechanism that protrudes from the front end surface of the base side of the base and extends along the tube axis toward the lamp holder, and an outer peripheral surface on the front side of the base side of the base. With the formed base side fixed mechanism,
The lamp holder is engaged with the base-side main fixing mechanism, and a holder-side base portion having a holder-side temporary fixing mechanism including a recess extending along the tube axis for engaging with the base-side temporary fixing mechanism. A cylindrical holder-side main fixing mechanism that is provided on the outer peripheral surface of the holder-side base portion and rotates in the circumferential direction around the holder-side base portion,
The base and the lamp holder are temporarily fixed by engaging the base side temporary fixing mechanism and the holder side temporary fixing mechanism, and the base side main fixing mechanism and the holder side main fixing mechanism are A discharge lamp holding mechanism that is fixed by being engaged,
The base-side temporary fixing mechanism is formed with a proximal-side fitting portion and a distal-side fitting portion at two locations separated in the tube axis direction, and the proximal-side fitting portion and the distal-side fitting portion. A base side insertion part is formed between the joint part,
The holder-side temporary fixing mechanism includes a proximal-side fitting recess for fitting into the proximal-side fitting portion and the distal-side fitting portion at two locations spaced in the central axis direction of the lamp holder. And a distal-side fitting recess, and a holder-side inserted portion for inserting the base-side insertion portion is formed between the proximal-side fitting recess and the distal-side fitting recess. ,
The discharge lamp holding mechanism, wherein the base and the lamp holder satisfy the relationship shown in the following relationship 1.
(Relationship 1)
The difference between the width in the direction perpendicular to the center axis of the lamp holder in the proximal end fitting recess and the width in the direction perpendicular to the tube axis of the distal fitting part is A,
The difference between the width in the direction perpendicular to the central axis of the lamp holder in the concave portion for fitting on the base end side and the width in the direction perpendicular to the tube axis of the base side insertion portion is B,
The difference between the width in the direction perpendicular to the center axis of the lamp holder in the holder side inserted portion and the width in the direction perpendicular to the tube axis of the tip side fitting portion is C,
The difference between the width in the direction perpendicular to the central axis of the lamp holder in the holder side insertion portion and the width in the direction perpendicular to the tube axis in the base side insertion portion is D,
The difference between the width in the direction perpendicular to the center axis of the lamp holder in the concave portion for fitting on the base end side and the width in the direction orthogonal to the tube axis in the base end side fitting portion is E,
When the difference between the width in the direction perpendicular to the central axis of the lamp holder in the concave portion for fitting on the tip side and the width in the direction perpendicular to the tube axis in the fitting portion on the tip side is F,
Any of A through D is greater than both E and F.

前記ホルダ側仮固定機構には、前記放電ランプの管軸に対し直交する方向において前記ホルダ側基体部の中心軸に向けて凸状に伸びる係合部が形成され、
前記口金側仮固定機構には、前記係合部に係合するための、前記口金側基体部の中心軸に向けて陥没する鉤状の凹所よりなる被係合部が形成されていることを特徴とする。
The holder-side temporary fixing mechanism is formed with an engaging portion extending in a convex shape toward the central axis of the holder-side base portion in a direction perpendicular to the tube axis of the discharge lamp,
The base-side temporary fixing mechanism has an engaged portion formed of a bowl-shaped recess that is recessed toward the central axis of the base-side base portion for engaging with the engaging portion. It is characterized by.

前記口金側本固定機構は、前記口金側基体部の先端側の外周面に口金側螺子部が形成され、
前記ホルダ側本固定機構は、その内周面にホルダ側螺子部が形成されていることを特徴とする。
The base side main fixing mechanism has a base side screw portion formed on the outer peripheral surface on the tip side of the base side base portion.
The holder side main fixing mechanism is characterized in that a holder side screw portion is formed on an inner peripheral surface thereof.

前記口金および前記ランプホルダは、導電性部材よりなり、前記口金側基体部の先端面と前記ホルダ側基体部の基端面とが当接した状態で前記口金と前記ランプホルダとが本固定されることにより、電気的給電機構が形成されることを特徴とする。   The base and the lamp holder are made of a conductive member, and the base and the lamp holder are permanently fixed in a state where the distal end surface of the base side of the base and the base end surface of the holder side base are in contact with each other. Thus, an electric power feeding mechanism is formed.

前記ランプホルダには、前記ホルダ側基体部の基端面から前記口金側基体部に向けて突出する回転抑制体が形成され、
前記口金には、前記口金側基体部の先端面に前記回転抑制体に係合するための凹所が形成されていることを特徴とする。
The lamp holder is formed with a rotation suppressing body that protrudes from the base end surface of the holder-side base portion toward the base-side base portion,
The base is characterized in that a recess for engaging with the rotation suppressing body is formed on the front end surface of the base part on the base side.

前記放電ランプは、定格電流が50A以上であることを特徴とする。   The discharge lamp has a rated current of 50 A or more.

本発明に係る放電ランプ用保持機構は、口金側仮固定機構とホルダ側仮固定機構を動作させることで、放電ランプを手放しても保持できる(仮固定)ので、従来のように、片手でランプを保持しつつ、他方の片手でランプを固定させる困難を必要としない。
しかも、口金側仮固定機構には、管軸方向に離間した2箇所に口金側嵌合部が形成され、ホルダ側仮固定機構には、各口金側嵌合部に対応する管軸方向に離間した2箇所にホルダ側嵌合部が形成されているので、ランプホルダに対して放電ランプを仮固定する作業において、仮固定が終了したことを確実に認識することができるため、仮固定する作業の効率が向上する。
また、口金とランプホルダとは、上記の関係1を満たす構成であるので、ホルダ側仮固定機構の内部において口金側仮固定機構が管軸に対し直交する方向に自在に動くことができるので、仮固定の作業を行う際に口金側仮固定機構の中心軸がホルダ中心軸から偏芯した状態となったとしても、放電ランプを損傷することなく口金側仮固定機構をホルダ側仮固定機構に確実に係合することができる。
The discharge lamp holding mechanism according to the present invention can be held even if the discharge lamp is released by operating the base-side temporary fixing mechanism and the holder-side temporary fixing mechanism (temporary fixing). It is not necessary to hold the lamp with the other hand while holding the lamp.
Moreover, the base-side temporary fixing mechanism is formed with two base-side fitting portions spaced apart in the tube axis direction, and the holder-side temporary fixing mechanism is separated in the tube axis direction corresponding to each base-side fitting portion. Since the holder-side fitting portion is formed at the two locations, it is possible to reliably recognize that the temporary fixing has been completed in the operation of temporarily fixing the discharge lamp to the lamp holder. Increases efficiency.
In addition, since the base and the lamp holder are configured to satisfy the above relationship 1, the base-side temporary fixing mechanism can freely move in a direction perpendicular to the tube axis inside the holder-side temporary fixing mechanism. Even when the center axis of the base side temporary fixing mechanism is eccentric from the holder central axis during temporary fixing work, the base side temporary fixing mechanism can be changed to the holder side temporary fixing mechanism without damaging the discharge lamp. Engagement can be ensured.

さらに、本発明に係る放電ランプ用保持機構は、前記の関係1に加え、前記の関係2を満たす構成であるので、ホルダ側仮固定機構の内部において口金側仮固定機構が管軸に対し直交する方向に自在に動くことがさらに容易となるので、仮固定の作業を行う際に放電ランプが損傷することをより確実に防止することができる。   Furthermore, since the discharge lamp holding mechanism according to the present invention is configured to satisfy the relationship 2 in addition to the relationship 1, the base-side temporary fixing mechanism is orthogonal to the tube axis inside the holder-side temporary fixing mechanism. Therefore, it is possible to more reliably prevent the discharge lamp from being damaged when the temporary fixing operation is performed.

さらに、前記ホルダ側仮固定機構には、前記放電ランプの管軸に対し直交する方向において前記ホルダ側基体部の中心軸に向けて凸状に伸びる係合部が形成され、前記口金側仮固定機構には、前記突状部に係合するための、前記口金側基体部の中心軸に向けて陥没する鉤状の凹所よりなる被係合部が形成されているので、
口金に設けられた被係合部に対してランプホルダに設けられた係合部を係合させることにより、放電ランプを宙吊りの状態で確実に支持することができ、片手で放電ランプを支持する必要がないので、放電ランプとランプホルダとを本固定する作業の効率が向上する。
Further, the holder-side temporary fixing mechanism is formed with an engaging portion extending in a convex shape toward the central axis of the holder-side base portion in a direction orthogonal to the tube axis of the discharge lamp, and the base-side temporary fixing Since the mechanism is formed with an engaged portion made of a bowl-shaped recess that is depressed toward the central axis of the base-side base portion for engaging with the protruding portion.
By engaging the engaging portion provided in the lamp holder with the engaged portion provided in the base, the discharge lamp can be reliably supported in a suspended state, and the discharge lamp is supported with one hand. Since it is not necessary, the efficiency of the work of permanently fixing the discharge lamp and the lamp holder is improved.

さらに、口金側本固定機構の先端側の外周面に口金側螺子部が形成され、ホルダ側本固定機構の内周面にホルダ側螺子部が形成されているので、それぞれの螺子部を螺合することにより放電ランプの口金とランプホルダとを確実に本固定することができる。   Furthermore, since the base-side screw portion is formed on the outer peripheral surface of the tip side of the base-side main fixing mechanism and the holder-side screw portion is formed on the inner peripheral surface of the holder-side main fixing mechanism, the respective screw portions are screwed together. By doing so, the base of the discharge lamp and the lamp holder can be securely fixed.

さらには、口金およびランプホルダが導電性部材よりなり、口金側基体部の先端面とホルダ側基体部の基端面とが当接した状態で口金とランプホルダとが本固定されることによって、口金とランプホルダとの電気的給電機構が形成されており、従来のようにリード線を用いる必要がないので、反射ミラーに対して放電ランプを取付ける際に反射ミラーを傷つける虞がない。   Further, the base and the lamp holder are made of a conductive member, and the base and the lamp holder are permanently fixed in a state where the distal end surface of the base side base portion and the base end surface of the holder side base portion are in contact with each other. Since there is no need to use a lead wire as in the prior art, there is no possibility of damaging the reflection mirror when the discharge lamp is attached to the reflection mirror.

さらにまた、ランプホルダには、ホルダ側基体部の基端面から口金側基体部に向けて突出する突起部が形成され、口金には、口金側基体部の先端面に前記突起部に係合するための凹所が形成されているので、ホルダ側本固定機構を回転させてホルダ側本固定機構を口金側本固定機構に対して固定する本固定作業の際に、口金が周方向に回転することがないために本固定の作業効率が向上する。   Furthermore, the lamp holder is formed with a protrusion that protrudes from the base end surface of the holder-side base portion toward the base-side base portion, and the base engages with the protrusion on the tip surface of the base-side base portion. Therefore, the base rotates in the circumferential direction during the main fixing operation in which the holder side main fixing mechanism is rotated to fix the holder side main fixing mechanism to the base side main fixing mechanism. This will improve the work efficiency of permanent fixing.

上記のような本発明の放電ランプ保持機構によれば、定格電流が50A以上の大型の放電ランプをランプホルダに対して固定する場合において、放電ランプを損傷させたり反射ミラーを傷付ける虞がない。   According to the discharge lamp holding mechanism of the present invention as described above, there is no possibility of damaging the discharge lamp or damaging the reflection mirror when a large discharge lamp having a rated current of 50 A or more is fixed to the lamp holder.

以下に、図1〜図3を用いて本発明の放電ランプ保持機構の全体の構成の概略を説明する。図1は、露光装置の保持台30に取り付けられたランプホルダ5に放電ランプ10が装着され、両者が固定された状態の放電ランプ保持機構を示す。
放電ランプ10(以下、単に「ランプ」ともいう)は、反射ミラー20の頂部開口を通過して、ランプホルダ5(以下、単に「ホルダ」ともいう)に取り付けられる。ここで、ランプ10とホルダ5を放電ランプ保持機構とし、ランプ10、反射ミラー20、ホルダ5を光源装置と称する。ホルダ5は、例えばネジ止めにより露光装置の保持台30に固定される。また、保持台30には、ホルダ5の軸中心から外れたところに、補助的な固定点31が設けられている。ホルダ5は、固定点31にも補助的に固定される。なお、反射ミラー20および保持台30は、図示略の機構により露光装置に固定されている。
Below, the outline of the whole structure of the discharge lamp holding | maintenance mechanism of this invention is demonstrated using FIGS. 1-3. FIG. 1 shows a discharge lamp holding mechanism in a state in which a discharge lamp 10 is mounted on a lamp holder 5 attached to a holding table 30 of an exposure apparatus and both are fixed.
The discharge lamp 10 (hereinafter also simply referred to as “lamp”) passes through the top opening of the reflecting mirror 20 and is attached to the lamp holder 5 (hereinafter also simply referred to as “holder”). Here, the lamp 10 and the holder 5 are referred to as a discharge lamp holding mechanism, and the lamp 10, the reflection mirror 20, and the holder 5 are referred to as a light source device. The holder 5 is fixed to the holding table 30 of the exposure apparatus, for example, by screwing. The holding base 30 is provided with an auxiliary fixing point 31 at a position deviated from the axis center of the holder 5. The holder 5 is also supplementarily fixed to the fixing point 31. The reflection mirror 20 and the holding table 30 are fixed to the exposure apparatus by a mechanism not shown.

図2は、ランプホルダ5に放電ランプ10が固定される前の状態のランプ10のみを示す。放電ランプ10は、放電ランプ10の管軸(以下、単に「管軸」ともいう)方向(図面の上下方向)の略中央に、例えば石英ガラスからなる発光管部11を有し、発光管部11の両端にロッド状の封止部12が管軸に沿って伸びるように一体的に形成される。発光管部11は、球形あるいは管軸方向に細長く伸びる紡錘形になっており、その内部に形成された気密空間に、発光物質である水銀や始動用ガスであるキセノンやアルゴンが封入されている。また、発光管部11の内部には陽極13と陰極14が対向配置しており、その先端同士の間隔が放電ギャップとして形成される。放電ギャップは電極間距離でもあり、例えば5mm程度である。封止部12の先端に筒状の口金4が装着されている。なお、図2における下方の封止部の先端にも筒状の口金が装着されるが、本発明ではこの口金は必須ではない。このランプ10は、何れかの電極を上方に、他方の電極を下方に位置させる垂直配置をしており、この実施例では陰極を下方に、陽極を上方に配置している。   FIG. 2 shows only the lamp 10 in a state before the discharge lamp 10 is fixed to the lamp holder 5. The discharge lamp 10 has an arc tube portion 11 made of, for example, quartz glass at the approximate center in the tube axis (hereinafter also simply referred to as “tube axis”) direction (vertical direction in the drawing) of the discharge lamp 10. A rod-shaped sealing portion 12 is integrally formed at both ends of 11 so as to extend along the tube axis. The arc tube portion 11 has a spherical shape or a spindle shape elongated in the tube axis direction, and mercury, which is a luminescent material, xenon, or argon, which is a starting gas, is enclosed in an airtight space formed therein. In addition, the anode 13 and the cathode 14 are disposed opposite to each other inside the arc tube portion 11, and the interval between the tips is formed as a discharge gap. The discharge gap is also the distance between the electrodes, for example, about 5 mm. A cylindrical base 4 is attached to the tip of the sealing portion 12. A cylindrical base is also attached to the tip of the lower sealing portion in FIG. 2, but this base is not essential in the present invention. The lamp 10 has a vertical arrangement in which one of the electrodes is located above and the other electrode is located below. In this embodiment, the cathode is arranged below and the anode is arranged above.

図1に戻り、反射ミラー20は、例えばガラス基材の反射面に多層膜をコーティングしたもので、全体が凹面形状でランプ10からの放射光を良好に反射する。反射ミラー20は楕円集光鏡が用いられることが多く、その場合は、放電ランプ10のアークと、反射ミラー20の第一焦点を一致させる必要がある。このアークは、一般に放電ギャップ間に形成されるので、反射ミラー20の第一焦点に放電ギャップ間の適当な箇所が来るようにランプを設置する。ミラーの向きは下に開のものを示したが、上(ホルダ側)に開のものもある。   Returning to FIG. 1, the reflecting mirror 20 is formed by coating a reflecting surface of a glass base material with a multilayer film, for example, and has a concave shape as a whole and reflects the radiated light from the lamp 10 well. In many cases, an elliptical condensing mirror is used as the reflecting mirror 20. In this case, it is necessary to make the arc of the discharge lamp 10 coincide with the first focal point of the reflecting mirror 20. Since this arc is generally formed between the discharge gaps, the lamp is installed so that an appropriate point between the discharge gaps is at the first focal point of the reflection mirror 20. The direction of the mirror is shown as open at the bottom, but there are also those that are open at the top (holder side).

ランプ10や反射ミラー20は、近年、大型化している。前述のとおり、この発明の放電ランプ保持機構は、特にランプや反射ミラーが大型化した場合に有用となる。
ランプ10について数値例を示すと、ランプ電力は定格値3KW〜40KW、ランプ電流は定格値50A〜200A、発光管部11の最大外径(電極の伸びる方向に垂直な方向の径)は50mm〜250mmである。また、ランプの重量は0.5kg〜10kgである。反射ミラー20について数値例を示すと、前面開口はφ300mm〜1000mmであり、ランプが伸びる方向の奥行きは200mm〜800mmである。
In recent years, the lamp 10 and the reflection mirror 20 have become larger. As described above, the discharge lamp holding mechanism of the present invention is particularly useful when the size of the lamp or the reflecting mirror is increased.
As an example of the numerical value of the lamp 10, the lamp power is rated value 3KW to 40KW, the lamp current is rated value 50A to 200A, the maximum outer diameter of the arc tube portion 11 (diameter perpendicular to the direction in which the electrode extends) is 50mm to 250 mm. The weight of the lamp is 0.5 kg to 10 kg. As a numerical example of the reflection mirror 20, the front opening is φ300 mm to 1000 mm, and the depth in the direction in which the lamp extends is 200 mm to 800 mm.

図3は、図1に示す光源装置を、図1とは異なる方向から眺めた状態を示し、反射ミラー20の一部を切り欠いて反射ミラー20の内部構造を表現している。反射ミラー20の頂部開口21は、ランプ10の封止部12あるいは口金4が通過できるだけの大きさを少なくとも必要とする。頂部開口21があまりに大きいと、ランプ10の放射光が、頂部開口21から漏れてしまい光の利用効率が低下する。   3 shows a state where the light source device shown in FIG. 1 is viewed from a direction different from that in FIG. 1, and a part of the reflection mirror 20 is cut away to express the internal structure of the reflection mirror 20. The top opening 21 of the reflecting mirror 20 needs at least a size that allows the sealing portion 12 or the base 4 of the lamp 10 to pass through. If the top opening 21 is too large, the emitted light of the lamp 10 leaks from the top opening 21 and the light utilization efficiency decreases.

以下に、図4および図5を用いて本発明の放電ランプ保持機構に係る口金4とランプホルダ5の構成について説明する。図4は、本発明の放電ランプの封止部に装着される口金の構成の概略を示す斜視図である。図5は、本発明に係るランプホルダの構成の概略を示す、ランプホルダを中心軸方向に切断した断面の斜視図である。   Below, the structure of the nozzle | cap | die 4 and the lamp holder 5 which concern on the discharge lamp holding mechanism of this invention using FIG. 4 and FIG. 5 is demonstrated. FIG. 4 is a perspective view showing an outline of the configuration of a base attached to the sealing portion of the discharge lamp of the present invention. FIG. 5 is a perspective view of a cross section obtained by cutting the lamp holder in the central axis direction, showing an outline of the configuration of the lamp holder according to the present invention.

図4を用いて、本発明に係る口金4の構成について説明する。口金4は、全体として円筒状に形成され放電ランプ10の管軸(以下、単に「管軸」ともいう)に沿って伸びて封止部12に装着される口金側基体部41と、口金側基体部41に連続して形成され、管軸に沿って伸びる柱状の口金側仮固定機構42とを備えている。口金側基体部41は、ランプ10の封止部12に装着される口金側胴部411と、この口金側胴部411の先端側に連続して、口金側胴部411よりも管軸に対し直交する方向の幅(以下、単に「幅」ともいう)が大きくなるよう鍔状に形成された口金側フランジ部412とを備えている。口金側基体部41と口金側仮固定機構42とは、物理的に一つの部材によって構成されており、例えば真鍮などの導電性部材により構成されている。   The configuration of the base 4 according to the present invention will be described with reference to FIG. The base 4 is formed in a cylindrical shape as a whole, extends along the tube axis of the discharge lamp 10 (hereinafter simply referred to as “tube axis”), and is attached to the sealing portion 12. A column-shaped base-side temporary fixing mechanism 42 that is formed continuously with the base portion 41 and extends along the tube axis is provided. The base-side base portion 41 is continuous with the base-side body portion 411 attached to the sealing portion 12 of the lamp 10 and the distal end side of the base-side body portion 411, with respect to the tube axis rather than the base-side body portion 411. And a base-side flange portion 412 formed in a bowl shape so as to increase the width in the orthogonal direction (hereinafter also simply referred to as “width”). The base-side base portion 41 and the base-side temporary fixing mechanism 42 are physically configured by a single member, for example, a conductive member such as brass.

口金側フランジ部412は、先端側に平坦な口金側給電面413を備えると共に、その外周面に口金側螺子部414が形成されている。図4に示す例では、この口金側螺子部414が口金側本固定機構である。口金側給電面413は、放電ランプ10の管軸に対し直交する方向に広がっており、後述するランプホルダ5のホルダ側給電面516と面接触することにより、ランプ10と口金4との電気的給電機構を形成する。   The base-side flange portion 412 includes a flat base-side power feeding surface 413 on the distal end side, and a base-side screw portion 414 is formed on the outer peripheral surface thereof. In the example shown in FIG. 4, the base-side screw portion 414 is a base-side main fixing mechanism. The base-side power supply surface 413 extends in a direction orthogonal to the tube axis of the discharge lamp 10, and comes into surface contact with a holder-side power supply surface 516 of the lamp holder 5, which will be described later, thereby electrically connecting the lamp 10 and the base 4. A power feeding mechanism is formed.

口金側仮固定機構42は、口金側胴部411および口金側フランジ部412よりも幅の小さい柱状に形成され、口金側給電面413の概ね中心位置において、ランプホルダ5側に向けて管軸に沿って凸状に伸びるよう設けられている。口金側仮固定機構42は、ランプホルダ5の基端側嵌合用凹部531に嵌合するための、口金側給電面413に連続して形成された円柱状の基端側嵌合部421と、ランプホルダ5のホルダ側被挿入部532に挿通するための、先端側に向かうにつれて次第に幅が小さくなるテーパー部421aを挟んで基端側嵌合部421に連続する、基端側嵌合部421よりも幅の小さい円柱状に形成された口金側挿入部422と、ランプホルダ5の先端側凹部533に嵌合するための、口金側挿入部422と同一の幅を有する先端側嵌合部423とを備えると共に、先端側嵌合部423に連続して先端側に向かうにつれて次第に幅が小さくなるテーパー部423aと、テーパー部423aに連続して先端側嵌合部423よりも小さい幅を有する円柱状の先端部424とを備えている。すなわち、口金側仮固定機構42は、口金側挿入部422を挟んで管軸方向に離間した2箇所に口金側嵌合部(421、423)が形成されている。   The base-side temporary fixing mechanism 42 is formed in a column shape having a width smaller than that of the base-side body portion 411 and the base-side flange portion 412, and is formed on the tube axis toward the lamp holder 5 side at a substantially central position of the base-side power feeding surface 413. It is provided so as to extend along the convex shape. The base-side temporary fixing mechanism 42 has a columnar base-side fitting portion 421 formed continuously with the base-side power feeding surface 413 for fitting into the base-side fitting concave portion 531 of the lamp holder 5; A proximal end side fitting portion 421 that is continuous with the proximal end side fitting portion 421 across a taper portion 421a that gradually decreases in width toward the distal end side so as to pass through the holder side inserted portion 532 of the lamp holder 5. A base-side insertion part 422 formed in a columnar shape having a smaller width than the base-side insertion part 423 having the same width as the base-side insertion part 422 for fitting into the front-end side recess 533 of the lamp holder 5. And a tapered portion 423a that gradually decreases in width toward the distal end side continuously to the distal end side fitting portion 423, and a circle that has a smaller width than the distal end side fitting portion 423 continuously from the tapered portion 423a. Columnar And a end 424. That is, the base-side temporary fixing mechanism 42 has base-side fitting portions (421, 423) formed at two locations separated in the tube axis direction with the base-side insertion portion 422 interposed therebetween.

口金側仮固定機構42の先端部424は、ホルダ側仮固定機構53における基端側嵌合用凹部531、ホルダ側被挿入部532並びに先端側嵌合用凹部533の何れもより幅が小さいことで、口金側仮固定機構42をホルダ側仮固定機構53に向けて進入させるときのガイドとして機能するものであって、口金側仮固定機構42の進入を容易にするために設けられている。   The distal end portion 424 of the base-side temporary fixing mechanism 42 has a smaller width than any of the proximal-side fitting concave portion 531, the holder-side inserted portion 532, and the distal-side fitting concave portion 533 in the holder-side temporary fixing mechanism 53. It functions as a guide when the base-side temporary fixing mechanism 42 enters toward the holder-side temporary fixing mechanism 53, and is provided to facilitate the entry of the base-side temporary fixing mechanism 42.

口金側仮固定機構42には、ランプホルダ5に設けられた係合部54に係合するための、口金側基体部41の中心軸に向けて陥没する鉤状の凹所よりなる被係合部425が、口金側挿入部422、先端側嵌合部423およびテーパー部423aに跨るよう形成されている。
鉤状の被係合部425は、図7に示すように、口金側挿入部422、先端側嵌合部423およびテーパー部423aに跨る領域に形成された、管軸方向における先端側がテーパー部423aにおいて開口すると共に管軸方向における他端側に内壁面426aを有する軸方向溝425aと、口金側挿入部422に形成された、軸方向溝425aに連続して軸方向溝425aに対して直交する方向に伸びる幅方向溝425bと、口金側挿入部422に形成された、幅方向溝425bに連続して幅方向溝425bに対して直交する方向に伸びる軸方向溝425cとにより構成されている。
The base-side temporary fixing mechanism 42 is engaged by a hook-shaped recess that is recessed toward the central axis of the base-side base portion 41 for engaging with an engaging portion 54 provided in the lamp holder 5. The part 425 is formed so as to straddle the base side insertion part 422, the distal end side fitting part 423, and the taper part 423a.
As shown in FIG. 7, the hook-shaped engaged portion 425 is formed in a region extending over the base side insertion portion 422, the distal end side fitting portion 423, and the tapered portion 423a, and the distal end side in the tube axis direction is a tapered portion 423a. And an axial groove 425a having an inner wall surface 426a on the other end side in the tube axial direction, and an axial groove 425a formed in the base side insertion portion 422 and orthogonal to the axial groove 425a. The width direction groove | channel 425b extended in the direction and the axial direction groove | channel 425c formed in the nozzle | cap | die side insertion part 422 continuously in the direction orthogonal to the width direction groove | channel 425b following the width direction groove | channel 425b are comprised.

口金側フランジ部412に形成された口金側給電面413上の2箇所には、ランプホルダ5に設けられた回転抑制体517の各々を係合するための凹所415の各々が形成されている。さらに、口金側給電面413上の2箇所には、ランプホルダ5に設けられた突起部520を係合するための凹所416がそれぞれ形成されている。このような凹所416を設けることで、ランプホルダ5との関係で適合しない口金4を備える放電ランプ10がランプホルダ5に本固定されることを排除することができる。   Recesses 415 for engaging the rotation suppressing bodies 517 provided on the lamp holder 5 are formed at two locations on the base-side power feeding surface 413 formed on the base-side flange portion 412. . Further, at two locations on the base-side power supply surface 413, recesses 416 for engaging the protrusions 520 provided on the lamp holder 5 are formed. By providing such a recess 416, it is possible to eliminate the fact that the discharge lamp 10 including the base 4 that is not compatible with the lamp holder 5 is fixed to the lamp holder 5.

続いて、図5を用いて本発明に係るランプホルダ5の構成について説明する。ランプホルダ5は、口金側基体部41と係合するためのホルダ側基体部51と、ホルダ側基体部51の基端側に取付けられ、ホルダ側基体部51を中心として回転する回転体52とを備えている。ホルダ側基体部51は、露光装置の保持台30に電気的に接続される円柱状のホルダ側胴部511と、ホルダ側胴部511の基端側に連続して形成された、ホルダ側胴部511の基端部518よりも大きい幅を有する鍔状のホルダ側フランジ部512とを備えている。   Then, the structure of the lamp holder 5 which concerns on this invention is demonstrated using FIG. The lamp holder 5 includes a holder-side base portion 51 for engaging with the base-side base portion 41, a rotating body 52 that is attached to the base end side of the holder-side base portion 51 and rotates around the holder-side base portion 51. It has. The holder-side base 51 is a cylindrical holder-side body 511 that is electrically connected to the holder 30 of the exposure apparatus, and a holder-side body formed continuously on the base end side of the holder-side body 511. And a flange-like holder-side flange portion 512 having a width larger than that of the base end portion 518 of the portion 511.

ホルダ側胴部511は、ホルダ側フランジ部512の先端面519からホルダ側胴部511の先端側に向けて所定の距離だけ離間した位置に、口金側フランジ部412と回転体52とが完全に本固定されたときの回転体52の位置を示す目印514が形成されている。目印514は、ホルダ側胴部511の周方向に環状の切欠きを設けたもの、ホルダ側胴部511の外周面に環状に染料を塗布したものなど、目視により視認できるものであれば良い。ホルダ側胴部511の先端部515は、露光装置の保持台30に取付けられて保持台30に電気的に接続されている。ホルダ側フランジ部512の基端側には、平坦なホルダ側給電面516が形成されている。   The holder-side body 511 is such that the base-side flange 412 and the rotating body 52 are completely separated from the front end surface 519 of the holder-side flange 512 by a predetermined distance toward the front end of the holder-side body 511. A mark 514 indicating the position of the rotating body 52 when the main body is fixed is formed. The mark 514 may be anything that can be visually recognized, such as one provided with an annular notch in the circumferential direction of the holder-side body 511 and one obtained by applying a dye on the outer peripheral surface of the holder-side body 511. The front end 515 of the holder side body 511 is attached to the holding table 30 of the exposure apparatus and is electrically connected to the holding table 30. A flat holder-side power feeding surface 516 is formed on the base end side of the holder-side flange portion 512.

ホルダ側フランジ部512は、概ね中心の位置に、ランプホルダ5の中心軸に沿ってホルダ側胴部511の先端部515側に向けて伸びる凹部よりなるホルダ側仮固定機構53を備えている。ホルダ側仮固定機構53は、口金4の基端側嵌合部421に嵌合するための基端側嵌合用凹部531と、口金側挿入部422を挿入するための、ホルダ側基体部51の中心軸に直交する方向の幅(以下、単に「幅」ともいう)が基端側嵌合用凹部531と同一であるホルダ側被挿入部532と、先端側嵌合部423に嵌合するための、ホルダ側被挿入部532よりも小さい幅を有する先端側嵌合用凹部533とを備えている。すなわち、ホルダ側仮固定機構53は、ホルダ側被挿入部532を挟んでホルダ側基体部51の中心軸方向に離間した2箇所に、口金側仮固定機構42を嵌合するためのホルダ側嵌合用凹部が形成されている。   The holder-side flange portion 512 includes a holder-side temporary fixing mechanism 53 formed of a concave portion extending toward the distal end portion 515 side of the holder-side trunk portion 511 along the central axis of the lamp holder 5 at a substantially central position. The holder-side temporary fixing mechanism 53 includes a proximal-side fitting recess 531 for fitting into the proximal-side fitting portion 421 of the base 4 and a holder-side base portion 51 for inserting the base-side inserting portion 422. A width in a direction perpendicular to the central axis (hereinafter, also simply referred to as “width”) is the same as that of the proximal-side fitting concave portion 531, and is fitted to the distal-side fitting portion 423. And a recessed portion 533 for front end side fitting having a width smaller than that of the holder side inserted portion 532. That is, the holder-side temporary fixing mechanism 53 is fitted to the holder-side temporary fixing mechanism 42 for fitting the base-side temporary fixing mechanism 42 at two positions spaced in the central axis direction of the holder-side base portion 51 with the holder-side inserted portion 532 interposed therebetween. A combined recess is formed.

ホルダ側仮固定機構53は、ホルダ側被挿入部532に、管軸に対し直交する方向においてランプホルダの中心軸に向けて凸状に伸びる柱状の係合部54が形成されている(図6を参照)。
前記した口金側仮固定機構42に設けられた被係合部425に対し、ホルダ側仮固定機構53に設けられた係合部54を係合することで、後述するように、係合部54によって口金4が装着された放電ランプ10を宙吊り状態で仮固定することができるので、放電ランプ10を作業者が片手で保持する必要がなくなる。
The holder-side temporary fixing mechanism 53 is formed with a columnar engaging portion 54 that extends in a convex shape toward the central axis of the lamp holder in the direction orthogonal to the tube axis in the holder-side inserted portion 532 (FIG. 6). See).
By engaging the engaging portion 54 provided in the holder-side temporary fixing mechanism 53 with the engaged portion 425 provided in the base-side temporary fixing mechanism 42 as described later, as will be described later, the engaging portion 54. Thus, the discharge lamp 10 with the base 4 attached can be temporarily fixed in a suspended state, so that the operator does not need to hold the discharge lamp 10 with one hand.

ここで、口金側仮固定機構42とホルダ側仮固定機構53の仕様について以下に説明する。基端側嵌合部421は、基端側嵌合用凹部531に対して嵌め合いの関係になるよう、幅が基端側嵌合用凹部531よりも0〜1%(通常は0.05〜0.3%)小さく形成されている。口金側挿入部422は、ホルダ側被挿入部532に対して嵌め合いの関係にならないよう、幅がホルダ側被挿入部532よりも0.5〜100%(通常は5〜20%)小さく形成されている。先端側嵌合部423は、先端側嵌合用凹部533に対して嵌め合いの関係になるよう、幅が先端側嵌合用凹部533よりも0〜1%(通常は0.05〜0.3%)小さく形成されている。   Here, the specifications of the base-side temporary fixing mechanism 42 and the holder-side temporary fixing mechanism 53 will be described below. The base-side fitting portion 421 has a width of 0 to 1% (usually 0.05 to 0) than the base-side fitting recess 531 so that the base-side fitting recess 531 has a fitting relationship with the base-side fitting recess 531. .3%) formed small. The base side insertion portion 422 is formed to be 0.5 to 100% (usually 5 to 20%) smaller in width than the holder side insertion portion 532 so that the holder side insertion portion 532 is not fitted. Has been. The distal end fitting portion 423 has a width of 0 to 1% (usually 0.05 to 0.3%) than the distal end fitting recess 533 so that the distal end fitting recess 533 is in a fitting relationship. ) It is formed small.

口金側仮固定機構42とホルダ側仮固定機構53とがこのような仕様を有することにより、口金4とランプホルダ5とを仮固定した際に、口金4が径方向に動いて偏芯しないようにすることができるとともに、口金4を管軸方向において適切な位置に固定することができるので、放電ランプ10を管軸方向において確実に位置決めすることができる。   Since the base side temporary fixing mechanism 42 and the holder side temporary fixing mechanism 53 have such specifications, when the base 4 and the lamp holder 5 are temporarily fixed, the base 4 does not move in the radial direction and decenter. Since the base 4 can be fixed at an appropriate position in the tube axis direction, the discharge lamp 10 can be reliably positioned in the tube axis direction.

さらに、前記の放電ランプ保持機構の例によれば、口金側仮固定機構42とホルダ側仮固定機構53とは、以下の関係を満たすよう構成されている。
基端側嵌合用凹部531の幅D1と先端側嵌合部423の幅d3との差をAとし、
基端側嵌合用凹部531の幅D1と口金側挿入部422の幅d2との差をBとし、
ホルダ側被挿入部532の幅D2と先端側嵌合部423の幅d3との差をCとし、
ホルダ側被挿入部532の幅D2と口金側挿入部422の幅d2との差をDとし、
基端側嵌合用凹部531の幅D1と基端側嵌合部421の幅d1との差をEとし、
先端側嵌合用凹部533の幅D3と先端側嵌合部423の幅d3との差をFとしたとき、
A、B、C及びDの何れもがE及びFの何れもより大である。
Furthermore, according to the example of the discharge lamp holding mechanism, the base side temporary fixing mechanism 42 and the holder side temporary fixing mechanism 53 are configured to satisfy the following relationship.
The difference between the width D1 of the proximal-side fitting concave portion 531 and the width d3 of the distal-side fitting portion 423 is A,
The difference between the width D1 of the proximal-side fitting concave portion 531 and the width d2 of the base-side insertion portion 422 is B,
The difference between the width D2 of the holder side inserted portion 532 and the width d3 of the distal end side fitting portion 423 is C,
The difference between the width D2 of the holder-side inserted portion 532 and the width d2 of the base-side inserted portion 422 is D,
The difference between the width D1 of the proximal-side fitting recessed portion 531 and the width d1 of the proximal-side fitting portion 421 is E,
When the difference between the width D3 of the leading-end fitting recess 533 and the width d3 of the leading-end fitting portion 423 is F,
All of A, B, C and D are larger than both E and F.

このような構成を備えることにより、後述するように、放電ランプ10に装着された口金4をランプホルダ5に進入させて仮固定する作業を行う際に、口金4の中心軸がランプホルダ5の中心軸に対して傾斜した状態で口金が挿入されたとしても、傾斜が極端に大きくない限りは放電ランプ10の封止部12が破損する虞がない。   By providing such a configuration, as will be described later, when the base 4 attached to the discharge lamp 10 is inserted into the lamp holder 5 and temporarily fixed, the central axis of the base 4 is the center of the lamp holder 5. Even if the base is inserted while being inclined with respect to the central axis, the sealing portion 12 of the discharge lamp 10 may not be damaged unless the inclination is extremely large.

さらに、ランプホルダ5の他の構成について説明する。ランプホルダ5の中心軸に沿って伸びる回転体52は、筒状の回転本体部521がホルダ側フランジ部512の外周面に取付けられており、口金4とランプホルダ5とを本固定する前において、回転本体部521の基端側の一部分がホルダ側給電面516を超えて中心軸方向に伸び出しているものであって、ホルダ側基体部51を中心として周方向に手動により回転するものである。   Furthermore, the other structure of the lamp holder 5 is demonstrated. The rotating body 52 extending along the central axis of the lamp holder 5 has a cylindrical rotating main body 521 attached to the outer peripheral surface of the holder-side flange 512, and before the base 4 and the lamp holder 5 are permanently fixed. A part of the base end side of the rotating main body 521 extends in the central axis direction beyond the holder-side power feeding surface 516, and is manually rotated in the circumferential direction around the holder-side base body 51. is there.

回転本体部521の先端側には、回転本体部521よりも小さい外径を有する筒状の回転縮径部522が連続して形成されており、回転縮径部522がホルダ側胴部511の基端部518の外周面に取付けられている。ホルダ側胴部511に設けられた目印514は、口金4とランプホルダ5とを本固定する前において、回転体52の内側に隠れて視認することのできない状態とされている。回転体52は、手動により周方向に回転することによって、回転縮径部522の基端面523がホルダ側フランジ部512の先端面519に当接する位置、即ち、目印514を視認することのできる位置と、ホルダ側フランジ部512の先端面519よりもホルダ側胴部511の先端寄りに形成された不図示の回転体留との間にわたって、上下方向に可動することができる。
回転本体部521の内周面には、口金4に形成された口金側螺子部414に螺合するためのホルダ側螺子部525が形成されている。回転本体部521の外周面には、手動による回転作業がやりやすいように、例えばローレット加工が施されている。ホルダ側本固定機構は、ホルダ側螺子部525を備える回転体52により構成されている。
A cylindrical rotary reduced diameter portion 522 having an outer diameter smaller than that of the rotary main body portion 521 is continuously formed on the distal end side of the rotary main body portion 521, and the rotary reduced diameter portion 522 is formed on the holder side body portion 511. It is attached to the outer peripheral surface of the base end portion 518. The mark 514 provided on the holder-side body 511 is in a state in which it cannot be seen by being hidden inside the rotating body 52 before the base 4 and the lamp holder 5 are permanently fixed. When the rotating body 52 is manually rotated in the circumferential direction, the position where the base end surface 523 of the rotation reduced diameter portion 522 abuts on the front end surface 519 of the holder side flange portion 512, that is, the position where the mark 514 can be visually recognized. And a rotating body retainer (not shown) formed closer to the tip end of the holder side body 511 than the tip end surface 519 of the holder side flange portion 512 can move in the vertical direction.
A holder-side screw portion 525 for screwing into a base-side screw portion 414 formed on the base 4 is formed on the inner peripheral surface of the rotary main body portion 521. For example, a knurling process is performed on the outer peripheral surface of the rotating main body 521 so that a manual rotating operation can be easily performed. The holder side main fixing mechanism is constituted by a rotating body 52 including a holder side screw portion 525.

ホルダ側基体部51、回転体52並びに口金4は、例えば、銅、真鍮などや、これらの基材にニッケル、銀、金などの低酸化性、耐薬品性のものをコーティングした導電性材料から構成されている。導電性を有するホルダ側給電面516と、導電性を有する口金側給電面413とを面接触させることにより、口金4とランプホルダ5とを電気的に接続することができる。従って、従来のようにリード線を使用することなく、口金側給電面413とホルダ側給電面516とを面接触させるのみで、ランプホルダ5を介して放電ランプ10に対して給電することができる。   The holder-side base portion 51, the rotating body 52, and the base 4 are made of, for example, copper, brass, or a conductive material in which these base materials are coated with a low-oxidation and chemical-resistant material such as nickel, silver, or gold. It is configured. The base 4 and the lamp holder 5 can be electrically connected by bringing the holder side power supply surface 516 having conductivity into contact with the base side power supply surface 413 having conductivity. Therefore, power can be supplied to the discharge lamp 10 via the lamp holder 5 by merely bringing the base-side power supply surface 413 and the holder-side power supply surface 516 into surface contact without using a lead wire as in the prior art. .

ホルダ側フランジ部512には、ホルダ側胴部511を挟んだ2箇所に、口金側給電面413に設けられた凹所415の各々に挿入するための管軸に沿って伸びる回転抑制体517の各々が以下のようにして設けられている。
回転抑制体517は、口金側給電面413の凹所415に係合するための管軸に沿って伸びる棒状の基端部517aと、基端部517aに連続して基端部517aよりも大きい幅を有する鍔状のフランジ部517bと、フランジ部517bに連続してフランジ部517bよりも幅の小さい棒状の先端部517cとを有すると共に、基端部517aの外周面に当接することなく基端部517aの周囲を螺旋状に取り巻くようフランジ部517bに取付けられた弾性体517dを備えている。
ホルダ側フランジ部512には、回転抑制体517を収容することのできる空洞が管軸に沿って形成されており、詳細には、基端部517aがホルダ側給電面516から口金4側に向けて伸び出ることのできる大きさを有する基端側開口512aと、基端側開口512aに連続してフランジ部517bおよび基端部517aを収容することのできる大きさを有する収容部512bと、収容部512bに連続して先端部517cがホルダ側フランジ部512の先端面519から伸び出ることのできる大きさを有する先端側開口512cとが形成されている。
The holder-side flange portion 512 has a rotation suppressing body 517 extending along the tube axis for insertion into each of the recesses 415 provided in the base-side power feeding surface 413 at two locations across the holder-side body portion 511. Each is provided as follows.
The rotation suppressing body 517 is larger than the base end portion 517a continuously to the base end portion 517a and a rod-like base end portion 517a extending along the tube axis for engaging with the recess 415 of the base-side power feeding surface 413. A flange-shaped flange portion 517b having a width and a rod-shaped distal end portion 517c that is continuous with the flange portion 517b and has a width smaller than that of the flange portion 517b, and a proximal end without contacting the outer peripheral surface of the proximal end portion 517a An elastic body 517d attached to the flange portion 517b is provided so as to surround the portion 517a spirally.
The holder-side flange portion 512 is formed with a cavity capable of accommodating the rotation suppressing body 517 along the tube axis. Specifically, the base end portion 517a is directed from the holder-side power feeding surface 516 toward the base 4 side. A proximal end opening 512a having a size that can be extended, a housing portion 512b having a size capable of housing the flange portion 517b and the proximal end portion 517a continuously to the proximal end opening 512a, and housing Continuing from the portion 512b, a distal end side opening 512c having a size that allows the distal end portion 517c to extend from the distal end surface 519 of the holder side flange portion 512 is formed.

このような回転抑制体517を設けることにより、回転体52を回して口金4とランプホルダ5とを本固定する作業の際に、回転体52が回転抑制体517の先端部517cの先端面に当接することで、回転抑制体517の基端部517aがホルダ側給電面516から口金4側に向けて伸び出ると共に口金側給電面413に設けられた凹所415の各々に係合された状態となって、各回転抑制体517により口金4が周方向に回転することが規制されるので、本固定の作業性が格段に向上する。   By providing such a rotation suppressing body 517, the rotating body 52 is placed on the distal end surface of the distal end portion 517c of the rotation suppressing body 517 when the rotating body 52 is rotated and the base 4 and the lamp holder 5 are permanently fixed. By contacting, the base end portion 517a of the rotation suppressing body 517 extends from the holder-side power supply surface 516 toward the base 4 side and is engaged with each of the recesses 415 provided on the base-side power supply surface 413. Thus, the rotation restraining body 517 restricts the base 4 from rotating in the circumferential direction, so that the workability of the main fixing is greatly improved.

さらに、ホルダ側フランジ部512には、口金側給電面413に設けられた各凹所416に挿入するための2つの突起部520が、ホルダ側給電面516上の2箇所から口金側基体部41に向けて凸状に伸びるよう形成されている(図5は、断面であるので1箇所のみに突起部520が形成されている)。突起部520の各々を凹所416の各々に対して係合することで、互いに適合することが可能な関係にある口金4とランプホルダ5とのみを固定することができ、ランプホルダ5との関係で適合しない口金4を備える放電ランプ10がランプホルダ5に対して本固定される虞がない。   Further, the holder-side flange portion 512 has two protrusions 520 for insertion into the respective recesses 416 provided on the base-side power supply surface 413 from two locations on the holder-side power supply surface 516. (FIG. 5 is a cross-sectional view, so that a protrusion 520 is formed only at one location). By engaging each of the protrusions 520 with respect to each of the recesses 416, only the base 4 and the lamp holder 5 that are compatible with each other can be fixed. There is no possibility that the discharge lamp 10 having the base 4 that does not fit in relation will be permanently fixed to the lamp holder 5.

以下に、ランプホルダ5に対して放電ランプ10に装着された口金4を仮固定および本固定する作業について説明する。図6〜図10は、ランプホルダ5に対して放電ランプ10に装着された口金4を固定するための手順を説明するための図である。口金4をランプホルダ5に固定するときの手順は図6〜10の順であり、図6から図10に進むに従い、口金4がランプホルダ5に装着される。口金4をランプホルダ5から取り外すときの手順は図10〜図6の順となる。なお、本来であれば、省略されている側の断面に係合部54が設けられているのであるが、説明の便宜のために図6〜図10においては係合部を示してある。   Hereinafter, an operation of temporarily fixing and permanently fixing the base 4 attached to the discharge lamp 10 to the lamp holder 5 will be described. 6 to 10 are views for explaining a procedure for fixing the base 4 attached to the discharge lamp 10 to the lamp holder 5. The procedure for fixing the base 4 to the lamp holder 5 is in the order of FIGS. 6 to 10, and the base 4 is attached to the lamp holder 5 as it proceeds from FIG. 6 to FIG. 10. The procedure for removing the base 4 from the lamp holder 5 is in the order of FIGS. In addition, although the engagement part 54 is originally provided in the cross section of the abbreviate | omitted side, the engagement part is shown in FIGS. 6-10 for convenience of explanation.

ランプホルダ5に対して放電ランプ4を仮固定する仮固定作業の第1工程について、図6、図7を用いて説明する。図6は、口金4の口金側仮固定機構42がランプホルダ5のホルダ側仮固定機構53に挿入される直前の状態を示す。作業者は、放電ランプ10を片手で保持して、口金側仮固定機構42を口金4の上方側に位置するランプホルダ5のホルダ側仮固定機構53に向けて、鉛直方向においてランプホルダ5の下側からランプホルダ5に向けて進出させる。   A first step of the temporary fixing operation for temporarily fixing the discharge lamp 4 to the lamp holder 5 will be described with reference to FIGS. FIG. 6 shows a state immediately before the base-side temporary fixing mechanism 42 of the base 4 is inserted into the holder-side temporary fixing mechanism 53 of the lamp holder 5. The operator holds the discharge lamp 10 with one hand, and directs the base-side temporary fixing mechanism 42 toward the holder-side temporary fixing mechanism 53 of the lamp holder 5 located above the base 4 in the vertical direction. Advancing toward the lamp holder 5 from below.

図7は、口金4の口金側仮固定機構42にランプホルダ5のホルダ側仮固定機構53が挿入された状態を示す。口金4は、口金側仮固定機構42の鉤状の被係合部425における軸方向溝425aの内壁面426aに対して、ホルダ側仮固定機構53に設けられた係合部54が当接すると共に、口金側給電面413がランプホルダ5のホルダ側給電面516に当接するまでランプホルダ5側に進入することにより、先端側嵌合部423が先端側嵌合用凹部533に嵌合され、口金側挿入部422がホルダ側被挿入部532に挿入され、基端側嵌合部421が基端側嵌合用凹部531に嵌合された状態にする。   FIG. 7 shows a state where the holder-side temporary fixing mechanism 53 of the lamp holder 5 is inserted into the base-side temporary fixing mechanism 42 of the base 4. In the base 4, the engaging portion 54 provided in the holder-side temporary fixing mechanism 53 abuts against the inner wall surface 426 a of the axial groove 425 a in the bowl-shaped engaged portion 425 of the base-side temporary fixing mechanism 42. The tip side fitting portion 423 is fitted into the tip side fitting recess 533 by entering the lamp holder 5 side until the base side feeding surface 413 contacts the holder side feeding surface 516 of the lamp holder 5, and the tip side fitting portion 423 is fitted. The insertion portion 422 is inserted into the holder-side inserted portion 532 so that the proximal-side fitting portion 421 is fitted into the proximal-side fitting recess 531.

なお、口金側仮固定機構42をホルダ側仮固定機構53に仮固定する際には、ホルダ側仮固定機構53に係合部54が存在するので、口金側仮固定機構42が係合部54に衝突することによって、口金4の進入が阻害されることがある。この場合には、口金4を回転させることで、係合部54を被係合部425における軸方向溝425aに一致させて、口金4の進入が阻害されないようにする。   When the base-side temporary fixing mechanism 42 is temporarily fixed to the holder-side temporary fixing mechanism 53, since the holder-side temporary fixing mechanism 53 has an engaging portion 54, the base-side temporary fixing mechanism 42 is engaged with the engaging portion 54. The entry of the base 4 may be hindered by colliding with. In this case, by rotating the base 4, the engaging portion 54 is made to coincide with the axial groove 425 a in the engaged portion 425 so that the entry of the base 4 is not hindered.

次に、仮固定作業の第2工程について図8、図9を用いて説明する。図7に示すように、係合部54が軸方向溝425aの内壁面426aに当接した状態とした後に、図8に示すように、係合部54が幅方向溝425bに沿って進むとともに軸方向溝425cの内壁面426bに当接するよう口金4を回転させる。図8に示す状態とした後に、放電ランプ10から手を放すことにより、放電ランプ10の自重によって放電ランプ10が鉛直方向下方に落下して、図9に示すように、係合部54が軸方向溝425cの内壁面426cに当接することで放電ランプ10が係止された状態になり、仮固定作業が完了する。仮固定作業が完了した図9に示す状態においては、軸方向溝425cの全長に相当する距離だけ放電ランプ10が鉛直方向下方側に落下することにより、口金側給電面413とホルダ側給電面516との間には空隙が介在している。
このように、「仮固定」とは、口金4に設けられた被係合部425に対してランプホルダ5に設けられた係合部54が係合することで、係合部54によって放電ランプ10が吊り下げられた状態をいう。
Next, the second step of the temporary fixing operation will be described with reference to FIGS. As shown in FIG. 7, after the engaging portion 54 is in contact with the inner wall surface 426a of the axial groove 425a, the engaging portion 54 advances along the widthwise groove 425b as shown in FIG. The base 4 is rotated so as to contact the inner wall surface 426b of the axial groove 425c. After releasing the state from the discharge lamp 10 after the state shown in FIG. 8, the discharge lamp 10 falls downward in the vertical direction due to the weight of the discharge lamp 10, and as shown in FIG. The discharge lamp 10 is locked by contacting the inner wall surface 426c of the direction groove 425c, and the temporary fixing operation is completed. In the state shown in FIG. 9 in which the temporary fixing operation is completed, the discharge lamp 10 falls downward in the vertical direction by a distance corresponding to the entire length of the axial groove 425c, whereby the base side power supply surface 413 and the holder side power supply surface 516 are obtained. There is a gap between the two.
Thus, “temporarily fixed” means that the engaging portion 54 provided in the lamp holder 5 is engaged with the engaged portion 425 provided in the base 4 so that the engaging portion 54 causes the discharge lamp. 10 means a suspended state.

最後に、本固定作業について説明する。図10は、口金4とランプホルダ5とが本固定された状態を示す。ホルダ側胴部511に形成された目印514を視認できる状態まで、回転体52を手動により周方向に回転させて回転本体部521の内周面に形成されたホルダ側螺子部525と口金側螺子部414とを螺合させることによって口金4とランプホルダ5との本固定の作業が完了する。このように、「本固定」とは、回転体52のホルダ側螺子部525と口金4の口金側螺子部414とが螺合した状態をいう。
この本固定の作業の際には、回転縮径部522の基端面523が回転抑制体517の先端部517cの先端面に当接することで回転抑制体517の全体が鉛直方向下方側に押し下げられ、ホルダ側給電面516から各々の回転抑制体517の基端部517aが伸び出るとともに、各々の回転抑制体517の基端部517aが口金側給電面413に設けられた各々の凹所415に係合される。こうすることにより、回転体52を回転させると同時に口金4までもが回転する虞がないので、本固定作業の作業性が向上するものと期待される。
Finally, the main fixing operation will be described. FIG. 10 shows a state in which the base 4 and the lamp holder 5 are permanently fixed. The rotating body 52 is manually rotated in the circumferential direction until the mark 514 formed on the holder-side body 511 can be visually recognized, and the holder-side screw part 525 and the base-side screw formed on the inner peripheral surface of the rotating main body 521. The main fixing operation of the base 4 and the lamp holder 5 is completed by screwing the part 414 together. Thus, “main fixing” means a state in which the holder side screw portion 525 of the rotating body 52 and the base side screw portion 414 of the base 4 are screwed together.
During the main fixing operation, the base end surface 523 of the rotation diameter reducing portion 522 is brought into contact with the distal end surface of the distal end portion 517c of the rotation suppressing body 517, whereby the entire rotation suppressing body 517 is pushed downward in the vertical direction. The base end portion 517a of each rotation suppressing body 517 extends from the holder side power supply surface 516, and the base end portion 517a of each rotation suppression body 517 is formed in each recess 415 provided in the base side power supply surface 413. Engaged. By doing so, there is no possibility that the rotating body 52 is rotated and at the same time the base 4 is rotated, so that the workability of the main fixing work is expected to be improved.

本固定作業の完了後には、口金側給電面413とホルダ側給電面516とが当接することで、口金側給電面413がホルダ側給電面516を下方側に押圧し、回転縮径部522の基端面523がホルダ側フランジ部512の先端面519に当接することで、回転縮径部522がホルダ側フランジ部512を下方側に押圧することになるので、口金側給電面413とホルダ側給電面516とが当接した状態で、口金4とランプホルダ5とを強固に固定することができる。従って、本固定後には、口金4とランプホルダ5とが導通した状態になって電気的給電機構が形成される。   After the fixing operation is completed, the base-side power supply surface 413 and the holder-side power supply surface 516 come into contact with each other, so that the base-side power supply surface 413 presses the holder-side power supply surface 516 downward, and the rotation reduced diameter portion 522 Since the base end surface 523 abuts on the distal end surface 519 of the holder side flange portion 512, the rotation diameter reducing portion 522 presses the holder side flange portion 512 downward, so that the base side power supply surface 413 and the holder side power supply are supplied. The base 4 and the lamp holder 5 can be firmly fixed in a state where the surface 516 is in contact. Therefore, after the main fixing, the base 4 and the lamp holder 5 are in a conductive state, and an electric power feeding mechanism is formed.

寿命末期を迎えた放電ランプを取り外す際には、図10〜図6の手順を行うことになる。すなわち、回転体52を本固定時と反対方向に回転させて、口金側螺子部414をホルダ側螺子部525から解除するとともに、回転体52を鉛直方向上方側に移動させ、図9に示す状態とする。この状態で、口金4を周方向に回転させて、係合部54を図8、図7の順に移動させた後、口金4が装着された放電ランプ10を鉛直方向下方側に引き抜くことによって、寿命末期を迎えた放電ランプ10をランプホルダ5から取り外す。   When removing the discharge lamp that has reached the end of its life, the procedures shown in FIGS. 10 to 6 are performed. That is, the rotating body 52 is rotated in the opposite direction to that at the time of permanent fixing to release the base-side screw portion 414 from the holder-side screw portion 525, and the rotating body 52 is moved upward in the vertical direction, as shown in FIG. And In this state, by rotating the base 4 in the circumferential direction and moving the engaging portion 54 in the order of FIGS. 8 and 7, the discharge lamp 10 to which the base 4 is mounted is pulled out downward in the vertical direction. The discharge lamp 10 that has reached the end of its life is removed from the lamp holder 5.

以上のような本発明の放電ランプ保持機構によれば、基本的には、ホルダ側仮固定機構53に対して口金側仮固定機構42を係合して、鉤状の被係合部425の軸方向溝425cに係合部54が係止された状態とすることで、放電ランプ10が落下することのない程度に宙吊り状態で仮固定される。従って、重量の大きい放電ランプ10をランプホルダ5に固定する場合に、放電ランプを一方の手で支えつつ他方の手のみで本固定作業を行うというような煩雑な作業を行う必要がないので、ランプホルダに対して放電ランプを取付ける作業の効率が向上する。   According to the discharge lamp holding mechanism of the present invention as described above, basically, the base-side temporary fixing mechanism 42 is engaged with the holder-side temporary fixing mechanism 53 so that the hook-shaped engaged portion 425 is engaged. By setting the engagement portion 54 in the axial groove 425c, the discharge lamp 10 is temporarily fixed in a suspended state to the extent that it does not fall. Therefore, when fixing the heavy discharge lamp 10 to the lamp holder 5, it is not necessary to perform a complicated operation such as performing the main fixing operation only with the other hand while supporting the discharge lamp with one hand. The efficiency of the work of attaching the discharge lamp to the lamp holder is improved.

しかも、本発明の放電ランプ保持機構によれば、口金側給電面413とホルダ側給電面516とを強固に面接触させることにより、口金4とランプホルダ5とを導通することができるので、ランプホルダ5を介して放電ランプ10に対して給電することができる。そのため、例えば50〜250A(アンペア)もの大電流を流す必要のある大型の放電ランプに対し大電流を確実に供給することができるものでありながら、従来の放電ランプ10のように給電用のリード線を必要としないので、放電ランプ10をランプホルダ5に固定する際に反射ミラー20の反射面に傷を付けることがなく、反射面の光反射特性を損なう虞がない。   In addition, according to the discharge lamp holding mechanism of the present invention, the base 4 and the lamp holder 5 can be electrically connected to each other by firmly bringing the base side power supply surface 413 and the holder side power supply surface 516 into surface contact. Power can be supplied to the discharge lamp 10 via the holder 5. Therefore, for example, a large-scale discharge lamp that needs to flow a large current of 50 to 250 A (ampere) can be reliably supplied with a large current, but a power supply lead as in the conventional discharge lamp 10 is used. Since no line is required, the reflecting surface of the reflecting mirror 20 is not damaged when the discharge lamp 10 is fixed to the lamp holder 5, and there is no possibility of impairing the light reflecting characteristics of the reflecting surface.

さらに、本発明に係る放電ランプ保持機構によれば、図6〜図10に基づいて説明した仮固定作業における作業性が格段に向上するものであり、これについて以下に説明する。   Furthermore, according to the discharge lamp holding mechanism according to the present invention, the workability in the temporary fixing work described based on FIGS. 6 to 10 is remarkably improved, which will be described below.

本発明の放電ランプ保持機構によれば、前記したように、口金側仮固定機構42の管軸方向に離間した2箇所に形成された基端側嵌合部421と先端側嵌合部423とは、それぞれ、ホルダ側仮固定機構53のホルダ中心軸方向に離間した2箇所に形成された基端側嵌合用凹部531と先端側嵌合用凹部533とに嵌合されている。これにより、口金側仮固定機構42が、ホルダ側仮固定機構53における奥側の位置と入り口側の位置の2箇所において、放電ランプが管軸に対して直交する方向に動くことが規制されて、放電ランプ10がランプホルダ5に対して可動する範囲が狭くなるので、図7に示す仮固定作業の第1工程が完了したことを作業者が認識することができる。   According to the discharge lamp holding mechanism of the present invention, as described above, the base end side fitting portion 421 and the tip end side fitting portion 423 formed at two locations spaced apart in the tube axis direction of the base side temporary fixing mechanism 42. Are respectively fitted in a proximal-side fitting recess 531 and a distal-side fitting recess 533 formed at two positions spaced apart in the holder central axis direction of the holder-side temporary fixing mechanism 53. As a result, the base-side temporary fixing mechanism 42 is restricted from moving in the direction perpendicular to the tube axis at two positions, the back-side position and the inlet-side position in the holder-side temporary fixing mechanism 53. Since the range in which the discharge lamp 10 can move with respect to the lamp holder 5 becomes narrow, the operator can recognize that the first step of the temporary fixing operation shown in FIG. 7 has been completed.

さらに、本発明の放電ランプ保持機構によれば、前記したように(段落0038)、A,B,C,Dの何れもがE,Fの何れもより大であるという関係を満たすよう構成されているので、口金4の中心軸がランプホルダ5の中心軸に対して傾斜した状態で口金が挿入されたとしても、傾斜が極端に大きくない限りは放電ランプ10の封止部12が破損する虞がない。これについて以下に図11〜図14を用いて説明する。   Furthermore, according to the discharge lamp holding mechanism of the present invention, as described above (paragraph 0038), all of A, B, C, and D are configured to satisfy the relationship that all of E and F are larger. Therefore, even if the base is inserted in a state where the central axis of the base 4 is inclined with respect to the central axis of the lamp holder 5, the sealing portion 12 of the discharge lamp 10 is damaged unless the inclination is extremely large. There is no fear. This will be described below with reference to FIGS.

図11は、口金4の口金側仮固定機構42がランプホルダ5のホルダ側仮固定機構53に係合される前の状態を示す。図12は、口金側仮固定機構42が、その中心軸がランプホルダ5の中心軸に対して傾斜してランプホルダ5のホルダ側仮固定機構53に係合される状態を示す。図13は、口金側仮固定機構42の先端側嵌合部423が、ホルダ側仮固定機構53の先端側嵌合用凹部533に完全に嵌合されるとともに、基端側嵌合部421が、基端側嵌合用凹部531に完全に嵌合される状態を示す。図14は、本発明の放電ランプ保持機構の構成を有しない比較例を示すものである。   FIG. 11 shows a state before the base-side temporary fixing mechanism 42 of the base 4 is engaged with the holder-side temporary fixing mechanism 53 of the lamp holder 5. FIG. 12 shows a state in which the base-side temporary fixing mechanism 42 is engaged with the holder-side temporary fixing mechanism 53 of the lamp holder 5 with its central axis inclined with respect to the central axis of the lamp holder 5. FIG. 13 shows that the distal end side fitting portion 423 of the base side temporary fixing mechanism 42 is completely fitted into the distal end side fitting concave portion 533 of the holder side temporary fixing mechanism 53, and the proximal end side fitting portion 421 is A state in which the base end side fitting recess 531 is completely fitted is shown. FIG. 14 shows a comparative example having no configuration of the discharge lamp holding mechanism of the present invention.

すなわち、図12に示すように、口金側仮固定機構42の中心軸がランプホルダ5の中心軸に対して傾斜した状態で、ホルダ側仮固定機構53に対して口金側仮固定機構42が進入したとしても、ランプホルダ5における基端側嵌合用凹部531とホルダ側被挿入部532とにおいて、口金4における先端側嵌合部423と口金側挿入部422とが幅方向に自在に動くことのできるスペースがあるため、口金側仮固定機構42の傾斜が極端に大きくない限りは放電ランプ10の封止部12に応力が加わることがない。従って、放電ランプ10の封止部12が破損するという不具合を生じる虞がない。
しかも、口金側仮固定機構42に設けられた鉤状の被係合部425における軸方向溝425aの幅が係合部54の幅よりも若干大きめであるため、係合部54が被係合部425における開口を通過しさえすれば、軸方向溝425aの内壁面がガイドになって、口金側仮固定機構42の中心軸がランプホルダ5の中心軸に一致した状態で口金4を進入させることができる。そのため、図13に示すように、口金4とランプホルダ5とを、係合部54が軸方向溝425aの内壁面426aに当接すると共に、先端側嵌合用凹部533に先端側嵌合部423が嵌合され、基端側嵌合用凹部531に基端側嵌合部421が嵌合した状態とすることが容易になる。
That is, as shown in FIG. 12, the base-side temporary fixing mechanism 42 enters the holder-side temporary fixing mechanism 53 in a state where the central axis of the base-side temporary fixing mechanism 42 is inclined with respect to the central axis of the lamp holder 5. Even in this case, the distal end side fitting portion 423 and the base side insertion portion 422 of the base 4 can freely move in the width direction at the proximal end side fitting recess 531 and the holder side inserted portion 532 of the lamp holder 5. Since there is a space that can be formed, no stress is applied to the sealing portion 12 of the discharge lamp 10 unless the inclination of the base-side temporary fixing mechanism 42 is extremely large. Therefore, there is no possibility that the sealing portion 12 of the discharge lamp 10 is broken.
Moreover, since the width of the axial groove 425a in the hook-shaped engaged portion 425 provided in the base side temporary fixing mechanism 42 is slightly larger than the width of the engaging portion 54, the engaging portion 54 is engaged. As long as it passes through the opening in the portion 425, the inner wall surface of the axial groove 425 a serves as a guide, and the base 4 is advanced with the central axis of the base-side temporary fixing mechanism 42 aligned with the central axis of the lamp holder 5. be able to. Therefore, as shown in FIG. 13, the cap 4 and the lamp holder 5 are connected to the inner wall surface 426 a of the axial groove 425 a and the front end side fitting portion 423 is fitted to the front end side fitting recess 533. The base end side fitting portion 421 is easily fitted into the base end side fitting concave portion 531.

これに対し、図14に示すように、口金側仮固定機構42´とホルダ側仮固定機構53´とが、口金側仮固定機構42´の全長にわたってホルダ側仮固定機構53に嵌合される場合によれば、口金側仮固定機構42´がホルダ側仮固定機構53´において幅方向に自在に動くスペースがないため、仮固定の作業の際に僅かでも口金側仮固定機構42´の中心軸がランプホルダ5´の中心軸に対して傾斜するようなことがあれば、放電ランプ10の封止部12に応力が加わることになって、封止部12が破損する危険性が高い。   On the other hand, as shown in FIG. 14, the base side temporary fixing mechanism 42 'and the holder side temporary fixing mechanism 53' are fitted to the holder side temporary fixing mechanism 53 over the entire length of the base side temporary fixing mechanism 42 '. In some cases, there is no space for the base-side temporary fixing mechanism 42 ′ to move freely in the width direction in the holder-side temporary fixing mechanism 53 ′. If the shaft is inclined with respect to the central axis of the lamp holder 5 ′, stress is applied to the sealing portion 12 of the discharge lamp 10, and there is a high risk that the sealing portion 12 is damaged.

以下に、本発明の他の実施形態について図15〜図17を用いて説明する。図15〜図17に示す実施形態においては、図4、5と共通している構成と、仮固定作業および本固定作業とについては説明を省略する。   Hereinafter, another embodiment of the present invention will be described with reference to FIGS. In the embodiment shown in FIGS. 15 to 17, the description of the configuration common to FIGS. 4 and 5, the temporary fixing work, and the main fixing work is omitted.

図15〜図17に示す実施形態は、図4、5に示す実施形態と同様に、前記した(段落0032)A,B,C及びDの何れもがE,Fの何れもより大であるという関係と、先端側嵌合部の幅d3が基端側嵌合部の幅d1よりも小である、という関係を共に満たしている。   In the embodiment shown in FIGS. 15 to 17, as in the embodiment shown in FIGS. 4 and 5, all of the above-mentioned (paragraph 0032) A, B, C, and D are larger than both E and F. And the relationship that the width d3 of the distal end side fitting portion is smaller than the width d1 of the proximal end side fitting portion.

図15に示す実施形態について以下に説明する。口金側仮固定機構42vは、口金側給電面413vの中央から突出する円柱状の基端側嵌合部421vと、基端側嵌合部421vよりも幅の小さい円柱状となるよう基端側嵌合部421vに連続して形成された口金側挿入部422vとを備え、口金側挿入部422vの先端側に先端側嵌合部423vを備えている。この実施形態においては、鉤状の被係合部425vが口金側挿入部422vと先端側嵌合部423vとに跨るよう形成されている。   The embodiment shown in FIG. 15 will be described below. The base-side temporary fixing mechanism 42v has a cylindrical base end-side fitting portion 421v protruding from the center of the base-side power feeding surface 413v, and a base end side so as to have a columnar shape having a width smaller than that of the base end-side fitting portion 421v. A base-side insertion part 422v formed continuously with the fitting part 421v is provided, and a tip-side fitting part 423v is provided on the tip side of the base-side insertion part 422v. In this embodiment, the hook-shaped engaged portion 425v is formed so as to straddle the base side insertion portion 422v and the distal end side fitting portion 423v.

ホルダ側仮固定機構53vは、基端側嵌合部421vに嵌合するための、ホルダ側給電面516vの中央に形成された基端側嵌合用凹部531vと、口金側挿入部422vを挿入するための、基端側嵌合用凹部531vと同一の幅を有するホルダ側被挿入部532vと、先端側嵌合部423vを嵌合するための、ホルダ側被挿入部532vよりも幅の小さい先端側嵌合用凹部533vとが形成されている。   The holder-side temporary fixing mechanism 53v inserts a base-side fitting recess 531v formed at the center of the holder-side power feeding surface 516v and a base-side insertion portion 422v for fitting with the base-side fitting portion 421v. For this reason, the holder side inserted portion 532v having the same width as the base end side fitting concave portion 531v and the distal end side having a width smaller than the holder side inserted portion 532v for fitting the distal end side fitting portion 423v are fitted. A fitting recess 533v is formed.

図16に示す実施形態について以下に説明する。口金側仮固定機構42wは、口金側給電面413wの中央から突出する基端側嵌合部421wと、先端側に向かうにつれて次第に幅が小さくなるテーパー部421mを介して基端側嵌合部421wに連続する、基端側嵌合部421wよりも幅の小さい円柱状に形成された口金側挿入部422wと、口金側挿入部422wと同一の幅を有する先端側嵌合部423wとを備えると共に、先端側嵌合部423wに連続して先端側に向かうにつれて次第に幅が小さくなるテーパー部423mと、テーパー部423mに連続して先端側嵌合部423wよりも幅の小さい円柱状に形成された先端部424wとを備えている。この実施形態においては、鉤状の被係合部425wが、口金側挿入部422w、先端側嵌合部423wおよびテーパー部423mに跨るよう形成されている。   The embodiment shown in FIG. 16 will be described below. The base side temporary fixing mechanism 42w includes a base end side fitting portion 421w that protrudes from the center of the base side feeding surface 413w and a base end side fitting portion 421w through a taper portion 421m that gradually decreases in width toward the distal end side. And a base side insertion portion 422w formed in a columnar shape having a width smaller than that of the base end side fitting portion 421w, and a distal end side fitting portion 423w having the same width as the base side insertion portion 422w. The taper portion 423m has a width that gradually decreases toward the distal end side continuously from the distal end side fitting portion 423w, and is formed in a columnar shape having a smaller width than the distal end side fitting portion 423w continuously from the tapered portion 423m. And a front end portion 424w. In this embodiment, the hook-shaped engaged portion 425w is formed so as to straddle the base side insertion portion 422w, the distal end side fitting portion 423w, and the taper portion 423m.

ホルダ側仮固定機構53wは、基端側嵌合部421wを嵌合するための、ホルダ側給電面516wの中央に形成された基端側嵌合用凹部531wと、口金側挿入部422wを挿入するための、基端側嵌合用凹部531wよりも大きい幅を有するホルダ側被挿入部532wと、先端側嵌合部423wを嵌合するための、ホルダ側被挿入部532wよりも幅の小さい先端側嵌合用凹部533wとを備えている。   The holder-side temporary fixing mechanism 53w inserts a base-side fitting recess 531w formed in the center of the holder-side power feeding surface 516w and a base-side insertion portion 422w for fitting the base-side fitting portion 421w. For this reason, the holder side inserted portion 532w having a larger width than the proximal end side fitting recessed portion 531w and the distal end side having a smaller width than the holder side inserted portion 532w for fitting the distal end side fitting portion 423w And a fitting recess 533w.

図17に示す形態について以下に説明する。口金側仮固定機構42xは、口金側給電面413xの中央から突出する円柱状の基端部420xと、基端部420xに連続して幅方向に鍔状に広がる基端側嵌合部421xと、基端側嵌合部421xよりも幅の小さい円柱状となるよう基端側嵌合部421xに連続して形成された口金側挿入部422xと、口金側挿入部422xに連続して幅方向に鍔状に広がる先端側嵌合部423xとを備えている。この実施形態においては、鉤状の被係合部425xが口金側挿入部422xと先端側嵌合部423xとに跨るよう形成されている。   The form shown in FIG. 17 will be described below. The base-side temporary fixing mechanism 42x includes a columnar base end portion 420x protruding from the center of the base-side power feeding surface 413x, and a base end-side fitting portion 421x that extends continuously in the width direction from the base end portion 420x. The base side insertion portion 422x formed continuously to the base end side fitting portion 421x so as to have a columnar shape smaller than the base end side fitting portion 421x, and the width direction continuous to the base side insertion portion 422x The front end side fitting part 423x which spreads in a bowl shape is provided. In this embodiment, the hook-shaped engaged portion 425x is formed so as to straddle the base side insertion portion 422x and the distal end side fitting portion 423x.

ホルダ側仮固定機構53xは、基端側嵌合部421xを嵌合するための基端側嵌合用凹部531xと、口金側挿入部422xを挿入するための、基端側嵌合用凹部531xと同一の幅を有するホルダ側被挿入部532xと、先端側嵌合部423xを嵌合するための、ホルダ側被挿入部532xよりも幅の小さい先端側嵌合用凹部533xとを備えている。   The holder-side temporary fixing mechanism 53x is the same as the proximal-side fitting concave portion 531x for fitting the proximal-side fitting portion 421x and the proximal-side fitting concave portion 531x for inserting the base side insertion portion 422x. A holder-side inserted portion 532x having a width of 5 mm and a tip-side fitting recessed portion 533x having a width smaller than that of the holder-side inserted portion 532x for fitting the tip-side fitting portion 423x.

このような図15〜17に示す実施形態によれば、図4、5に示す実施形態と実質的に同様の効果を期待することができる。   According to the embodiment shown in FIGS. 15 to 17, substantially the same effect as that of the embodiment shown in FIGS. 4 and 5 can be expected.

本発明に係る放電ランプ保持機構を有する光源装置を示す。1 shows a light source device having a discharge lamp holding mechanism according to the present invention. 本発明に係る放電ランプを示す。1 shows a discharge lamp according to the present invention. 本発明に係る放電ランプ保持機構を有する光源装置を示す。1 shows a light source device having a discharge lamp holding mechanism according to the present invention. 本発明に係る口金を示す。1 shows a base according to the present invention. 本発明に係るランプホルダを示す。1 shows a lamp holder according to the present invention. 本発明に係る口金とランプホルダとを固定する手順を示す。The procedure for fixing the base and the lamp holder according to the present invention will be described. 本発明に係る口金とランプホルダとを固定する手順を示す。The procedure for fixing the base and the lamp holder according to the present invention will be described. 本発明に係る口金とランプホルダとを固定する手順を示す。The procedure for fixing the base and the lamp holder according to the present invention will be described. 本発明に係る口金とランプホルダとを固定する手順を示す。The procedure for fixing the base and the lamp holder according to the present invention will be described. 本発明に係る口金とランプホルダとを固定する手順を示す。The procedure for fixing the base and the lamp holder according to the present invention will be described. 本発明に係る放電ランプ保持機構の作用の説明を示す。An explanation will be given of the operation of the discharge lamp holding mechanism according to the present invention. 本発明に係る放電ランプ保持機構の作用の説明を示す。An explanation will be given of the operation of the discharge lamp holding mechanism according to the present invention. 本発明に係る放電ランプ保持機構の作用の説明を示す。An explanation will be given of the operation of the discharge lamp holding mechanism according to the present invention. 比較例に係る放電ランプ保持機構を示す。6 shows a discharge lamp holding mechanism according to a comparative example. 本発明に係る放電ランプ保持機構の他の実施形態を示す。6 shows another embodiment of a discharge lamp holding mechanism according to the present invention. 本発明に係る放電ランプ保持機構の他の実施形態を示す。6 shows another embodiment of a discharge lamp holding mechanism according to the present invention. 本発明に係る放電ランプ保持機構の他の実施形態を示す。6 shows another embodiment of a discharge lamp holding mechanism according to the present invention.

符号の説明Explanation of symbols

10 放電ランプ
11 発光管部
12 封止部
13 陽極
14 陰極
20 反射ミラー
4 口金
41 口金側基体部
411 口金側胴部
412 口金側フランジ部
413 口金側給電面
414 口金側螺子部
415 凹所
416 凹所
42 口金側仮固定機構
421 基端側嵌合部
422 口金側挿入部
423 先端側嵌合部
425 被係合部
5 ランプホルダ
51 ホルダ側基体部
511 ホルダ側胴部
512 ホルダ側フランジ部
514 目印
516 ホルダ側給電面
517 回転抑制体
52 回転体
521 回転本体部
522 回転縮径部
525 ホルダ側螺子部
53 ホルダ側仮固定機構
531 基端側嵌合用凹部
532 ホルダ側被挿入部
533 先端側嵌合用凹部
DESCRIPTION OF SYMBOLS 10 Discharge lamp 11 Arc tube part 12 Sealing part 13 Anode 14 Cathode 20 Reflection mirror 4 Base 41 Base side base part 411 Base side body part 412 Base side flange part 413 Base side feeding surface 414 Base side screw part 415 Recess 416 Concave Location 42 Base side temporary fixing mechanism 421 Base end side fitting part 422 Base side insertion part 423 Tip side fitting part 425 Engagement part 5 Lamp holder 51 Holder side base part 511 Holder side trunk part 512 Holder side flange part 514 Mark 516 Holder-side feeding surface 517 Rotation suppressing body 52 Rotating body 521 Rotating main body portion 522 Rotating diameter-reducing portion 525 Holder-side screw portion 53 Holder-side temporary fixing mechanism 531 Proximal-side fitting recess 532 Holder-side inserted portion 533 For distal-side fitting Recess

Claims (6)

少なくとも一方の端部に口金が装着された放電ランプと、この放電ランプを吊り下げるとともに着脱することのできるよう保持するランプホルダとからなり、
前記放電ランプの口金は、放電ランプの管軸に沿って伸びて放電ランプの端部に被さるよう装着される口金側基体部と、当該口金側基体部よりも管軸に対し直交する方向の幅の小さい柱状に形成され、当該口金側基体部の先端面から突出するとともに前記ランプホルダに向けて管軸に沿って伸びる口金側仮固定機構と、当該口金側基体部の先端側の外周面に形成された口金側本固定機構とを備え、
前記ランプホルダは、前記口金側仮固定機構と係合するための、管軸に沿って伸びる凹所よりなるホルダ側仮固定機構を備えるホルダ側基体部と、前記口金側本固定機構と係合するための、当該ホルダ側基体部の外周面に設けられ、当該ホルダ側基体部を中心として周方向に回転する筒状のホルダ側本固定機構とを備え、
前記口金と前記ランプホルダとが、前記口金側仮固定機構と前記ホルダ側仮固定機構とを係合することにより仮固定されるとともに、前記口金側本固定機構と前記ホルダ側本固定機構とを係合することにより本固定される放電ランプ保持機構であって、
前記口金側仮固定機構には、管軸方向に離間した2箇所に、基端側嵌合部と先端側嵌合部とが形成されると共に、当該基端側嵌合部と当該先端側嵌合部との間に口金側挿入部が形成され、
前記ホルダ側仮固定機構には、ランプホルダの中心軸方向に離間した2箇所に、前記基端側嵌合部と前記先端側嵌合部のそれぞれに嵌合するための基端側嵌合用凹部と先端側嵌合用凹部とが形成されると共に、当該基端側嵌合用凹部と当該先端側嵌合用凹部との間に、前記口金側挿入部を挿入するためのホルダ側被挿入部が形成され、
前記口金と前記ランプホルダとは、以下の関係1に示す関係を満たすことを特徴とする放電ランプ保持機構。
(関係1)
前記基端側嵌合用凹部におけるランプホルダの中心軸に直交する方向の幅と、前記先端側嵌合部の管軸に直交する方向の幅との差をAとし、
前記基端側嵌合用凹部におけるランプホルダの中心軸に直交する方向の幅と、前記口金側挿入部の管軸に直交する方向の幅との差をBとし、
前記ホルダ側被挿入部におけるランプホルダの中心軸に直交する方向の幅と、前記先端側嵌合部の管軸に直交する方向の幅との差をCとし、
前記ホルダ側被挿入部におけるランプホルダの中心軸に直交する方向の幅と、前記口金側挿入部における管軸に直交する方向の幅との差をDとし、
前記基端側嵌合用凹部におけるランプホルダの中心軸に直交する方向の幅と、前記基端側嵌合部における管軸に直交する方向の幅との差をEとし、
前記先端側嵌合用凹部におけるランプホルダの中心軸に直交する方向の幅と、前記先端側嵌合部における管軸に直交する方向の幅との差をFとしたとき、
AないしDの何れもが、EおよびFの何れもより大である。
It comprises a discharge lamp having a base attached to at least one end, and a lamp holder that suspends the discharge lamp and holds it so that it can be detached.
A base of the discharge lamp extends along the tube axis of the discharge lamp and is mounted so as to cover an end of the discharge lamp, and a width in a direction perpendicular to the tube axis from the base side of the base And a base-side temporary fixing mechanism that protrudes from the front end surface of the base-side base portion and extends along the tube axis toward the lamp holder, and an outer peripheral surface on the front-end side of the base-side base portion. With the formed base side fixed mechanism,
The lamp holder is engaged with the base-side main fixing mechanism, and a holder-side base portion having a holder-side temporary fixing mechanism including a recess extending along the tube axis for engaging with the base-side temporary fixing mechanism. A cylindrical holder-side main fixing mechanism that is provided on the outer peripheral surface of the holder-side base portion and rotates in the circumferential direction around the holder-side base portion,
The base and the lamp holder are temporarily fixed by engaging the base side temporary fixing mechanism and the holder side temporary fixing mechanism, and the base side main fixing mechanism and the holder side main fixing mechanism are A discharge lamp holding mechanism that is fixed by being engaged,
The base-side temporary fixing mechanism is formed with a proximal-side fitting portion and a distal-side fitting portion at two locations separated in the tube axis direction, and the proximal-side fitting portion and the distal-side fitting portion. A base side insertion part is formed between the joint part,
The holder-side temporary fixing mechanism includes a proximal-side fitting recess for fitting into the proximal-side fitting portion and the distal-side fitting portion at two locations spaced in the central axis direction of the lamp holder. And a distal-side fitting recess, and a holder-side inserted portion for inserting the base-side insertion portion is formed between the proximal-side fitting recess and the distal-side fitting recess. ,
The discharge lamp holding mechanism, wherein the base and the lamp holder satisfy the relationship shown in the following relationship 1.
(Relationship 1)
The difference between the width in the direction perpendicular to the center axis of the lamp holder in the proximal end fitting recess and the width in the direction perpendicular to the tube axis of the distal fitting part is A,
The difference between the width in the direction perpendicular to the central axis of the lamp holder in the concave portion for fitting on the base end side and the width in the direction perpendicular to the tube axis of the base side insertion portion is B,
The difference between the width in the direction perpendicular to the center axis of the lamp holder in the holder side inserted portion and the width in the direction perpendicular to the tube axis of the tip side fitting portion is C,
The difference between the width in the direction perpendicular to the central axis of the lamp holder in the holder side insertion portion and the width in the direction perpendicular to the tube axis in the base side insertion portion is D,
The difference between the width in the direction perpendicular to the center axis of the lamp holder in the concave portion for fitting on the base end side and the width in the direction orthogonal to the tube axis in the base end side fitting portion is E,
When the difference between the width in the direction perpendicular to the central axis of the lamp holder in the concave portion for fitting on the tip side and the width in the direction perpendicular to the tube axis in the fitting portion on the tip side is F,
Any of A through D is greater than both E and F.
前記ホルダ側仮固定機構には、前記放電ランプの管軸に対し直交する方向において前記ホルダ側基体部の中心軸に向けて凸状に伸びる係合部が形成され、
前記口金側仮固定機構には、前記係合部に係合するための、前記口金側基体部の中心軸に向けて陥没する鉤状の凹所よりなる被係合部が形成されていることを特徴とする請求項1に記載の放電ランプ保持用機構
The holder-side temporary fixing mechanism is formed with an engaging portion extending in a convex shape toward the central axis of the holder-side base portion in a direction perpendicular to the tube axis of the discharge lamp,
The base-side temporary fixing mechanism has an engaged portion formed of a bowl-shaped recess that is recessed toward the central axis of the base-side base portion for engaging with the engaging portion. The discharge lamp holding mechanism according to claim 1.
前記口金側本固定機構は、前記口金側基体部の先端側の外周面に口金側螺子部が形成され、
前記ホルダ側本固定機構は、その内周面にホルダ側螺子部が形成されていることを特徴とする請求項1に記載の放電ランプ保持機構。
The base side main fixing mechanism has a base side screw portion formed on the outer peripheral surface on the tip side of the base side base portion.
The discharge lamp holding mechanism according to claim 1, wherein the holder side main fixing mechanism has a holder side screw portion formed on an inner peripheral surface thereof.
前記口金および前記ランプホルダは、導電性部材よりなり、前記口金側基体部の先端面と前記ホルダ側基体部の基端面とが当接した状態で前記口金と前記ランプホルダとが本固定されることにより、電気的給電機構が形成されることを特徴とする請求項1に記載の放電ランプ保持機構。   The base and the lamp holder are made of a conductive member, and the base and the lamp holder are permanently fixed in a state where the distal end surface of the base side of the base and the base end surface of the holder side base are in contact with each other. The discharge lamp holding mechanism according to claim 1, wherein an electric power feeding mechanism is formed. 前記ランプホルダには、前記ホルダ側基体部の基端面から前記口金側基体部に向けて突出する回転抑制体が形成され、
前記口金には、前記口金側基体部の先端面に前記回転抑制体に係合するための凹所が形成されていることを特徴とする請求項1に記載の放電ランプ保持機構。
The lamp holder is formed with a rotation suppressing body that protrudes from the base end surface of the holder-side base portion toward the base-side base portion,
2. The discharge lamp holding mechanism according to claim 1, wherein a recess for engaging with the rotation suppressing body is formed in a distal end surface of the base-side base portion in the base.
前記放電ランプは、定格電流が50A以上であることを特徴とする請求項1に記載の放電ランプ保持機構。   The discharge lamp holding mechanism according to claim 1, wherein the discharge lamp has a rated current of 50 A or more.
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