JP4828137B2 - 移載機におけるテレスコピックアームの支持構造 - Google Patents
移載機におけるテレスコピックアームの支持構造 Download PDFInfo
- Publication number
- JP4828137B2 JP4828137B2 JP2005067033A JP2005067033A JP4828137B2 JP 4828137 B2 JP4828137 B2 JP 4828137B2 JP 2005067033 A JP2005067033 A JP 2005067033A JP 2005067033 A JP2005067033 A JP 2005067033A JP 4828137 B2 JP4828137 B2 JP 4828137B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- arm
- telescopic arm
- cassette
- transfer machine
- guide roller
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
Images
Landscapes
- Warehouses Or Storage Devices (AREA)
- Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
Description
このストッカーに備えた複数の保管棚は、搬送ラインに沿って走行するスタッカークレーンの走行方向の片側或いは両側に沿って平行するよう配設している。
また、スタッカークレーンに搭載されている移載機は、スタッカークレーンのメインマストに対して昇降可能に配設し、かつ伸縮性のテレスコピックアームを備え、このテレスコピックアーム先端に、例えば、最上段のアームにカセットを搭載するように構成し、これによりテレスコピックアームの伸縮にてスタッカークレーン側からストッカーの所定保管棚へ円滑に移載できるようにしている。
また、移載するカセット重量は、内部に収納する基板枚数などにて大きく変化するが、テレスコピックアームは移載機本体に対して伸縮するだけでカセット重量に対する対応がなされていなかったし、さらにはカセットの移載動作は、メインマストに対して移載機を微動により昇降操作するようにして行っているため、カセット移載時に時間がかかるという問題があった。
また、このテレスコピックアームAの基端側には、詳しくは移載機3のフレーム31とテレスコピックアームAを構成する下段アーム片42との間に、該テレスコピックアームにかかる搭載するカセット重量に応じて撓むようにした撓み機構5を配設する。
この撓み機構5は、固定側となる移載機3のフレーム31と、該フレーム31に対して揺動可能に支持した下段アーム片42との間に配設するもので、これは特に限定されるものではないが、例えば、図示のように、皿ばねの複数枚を重ねるようにして構成する。これにより、テレスコピックアームAに荷重がかかると自然と撓むようにする。
このようにテレスコピックアームの基端側に撓み機構5を配設することで、カセット内に収納する基板枚数などの異なりにより、テレスコピックアームにかかるカセット荷重が異なっても、この偏荷重を撓み機構5にて吸収するようになって軽量のカセットから重量のあるカセットまで、テレスコピックアームや保管棚に過負荷をかかることなく円滑に移載できるようにする。
これは、モータの駆動にて正逆回転切り替え可能としたスクリューロッド61にてリンク機構62を屈伸するようにして揺動させ、このリンク機構62の先端側に備えたテーブル63を昇降するように構成し、該テーブル63上にカセットKを搭載するようにする。
なお、このカセット昇降機構6のカセットの昇降ストロークは、カセット移載時にカセットKをテレスコピックアームA側から保管棚側に、或いはこの逆方向に移載できる程度、特に限定されるものではないが、例えば、30mm〜100mm程度でよい。これにより、所定位置までスタッカークレーンCの移載機を昇降させることで定位置まで昇降したカセットを、移載機本体を微動昇降動作させることなく簡単な構成で該カセットのみを、簡易に微動昇降させて調整することができ、テレスコピックアーム、保管棚間の移載を確実に、正確に行うことができるようにする。
このアーム先端支持機構7は、上段アーム片41の側部で、かつその突出方向前後位置2カ所に、ガイドローラ71、72を配設して構成し、かつ前方側のガイドローラ71を上段アーム片41に対して定位置で回転可能に支持し、後方側のガイドローラ72を搭載するカセット重量に応じて撓み機構73が撓み、上下方向に揺動するようにして構成する。
後方側のガイドローラ72が搭載するカセット重量に応じて撓むようにした撓み機構73は、図2(C)に示すように、上段アーム片41に対して揺動可能に支持した揺動フレーム74の一端側に前記ガイドローラ72を転動可能に支持し、他方端側にばね機構75を配設して構成し、これによりガイドローラ72に搭載するカセット重量がかかるようになるとばね機構75を撓ませてその荷重を吸収するように揺動フレーム74を揺動させる。この撓ませるガイドローラ72と、固定式のガイドローラ71とにより上段アーム片41にかかるカセット荷重を均一化して支持できるようになり、重量大なるカセット移載時でもすべてのガイドローラ71、72に均一な支持荷重がかかるようになってガイドローラの偏摩耗が防止でき、テレスコピックアームに過負荷をかかることなく円滑なカセット移載が行うことができるようになる。
また、搭載するカセット重量が大なる場合でも、カセット重量の一部を保管棚Sa側にて支持できるので、カセット重量に関係なく移載動作に無理がなく円滑に行うことができるとともに、テレスコピックアームや移載機を昇降可能に支持するメインマストを必要以上に頑丈に製作する必要がなく、移載機全体の軽量化、小型化を図ることができる。
この保管棚列は、スタッカークレーンの走行方向の左右両側に沿って平行するようにして配設し、この左右に対向する保管棚列S1、S2間に、搬送ライン、詳しくは敷設したレールRに沿ってスタッカークレーンCを走行可能に配設して構成する。
そして、この棚板Saの下部位置に前記ガイドレール8を少し突出するようにして取り付けるようにする。
カセットを搭載して搬送してきたスタッカークレーンCが、ストッカーSの所定位置で停止すると、次に所定高さの保管棚まで移載機を昇降させ、定位置で停止させる。その後、縮小状態にあったテレスコピックアームを所定の保管棚列側に向かって突出伸張させる。これは、テレスコピックアームの駆動装置を駆動することで行われる。
テレスコピックアームを伸張させると、その伸張度に応じて該アーム片上に搭載されたカセット荷重が移動し、その荷重移動に応じて撓み機構5も撓み、これによりカセット荷重がテレスコピックアームにて支持される。
C スタッカークレーン
K カセット
R 搬送ライン
S ストッカー
Sa 棚板
1 搬送台車
2 メインマスト
3 移載機
41 上段アーム片
42 下段アーム片
5 撓み機構
6 カセット昇降機構
61 スクリューロッド
62 リンク機構
63 テーブル
7 アーム先端支持機構
71 ガイドローラ
72 ガイドローラ
73 撓み機構
74 揺動フレーム
75 ばね機構
8 ガイドレール
Claims (4)
- 所要長のアーム片の複数本を、直動ベアリングを介して上下に重ねて配設し、互いにスライドして伸縮するように移載機のテレスコピックアームを構成し、かつ該テレスコピックアームの固定側となる移載機のフレームと、該フレームに対して基端側を揺動可能に支持したテレスコピックアームの下段アーム片との間に、搭載するカセット重量に応じて撓むようにしたばねにて構成した撓み機構を配設し、テレスコピックアームの先端側に該アームの突出時にストッカーの保管棚側に支持するようにしたアーム先端支持機構を備えて構成したことを特徴とする移載機におけるテレスコピックアームの支持構造。
- アーム先端支持機構を、上段のアーム片に、その突出方向前後位置2カ所にガイドローラを配設して構成し、かつ前方側ガイドローラを上段のアーム片に対して定位置で回転可能に支持し、後方側ガイドローラを搭載するカセット重量に応じて上下方向に揺動するようにしたばねにて構成した撓み機構を配設したことを特徴とする請求項1記載の移載機におけるテレスコピックアームの支持構造。
- アーム先端支持機構を、ガイドローラとし、ストッカーの保管棚に形成したガイドレールにて転動可能に支持したことを特徴とする請求項1又は2記載の移載機におけるテレスコピックアームの支持構造。
- 搭載カセットを昇降させるようにしたカセット昇降機構を上段のアーム片に配設したことを特徴とする請求項1、2又は3記載の移載機におけるテレスコピックアームの支持構造。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2005067033A JP4828137B2 (ja) | 2005-03-10 | 2005-03-10 | 移載機におけるテレスコピックアームの支持構造 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2005067033A JP4828137B2 (ja) | 2005-03-10 | 2005-03-10 | 移載機におけるテレスコピックアームの支持構造 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2006248680A JP2006248680A (ja) | 2006-09-21 |
| JP4828137B2 true JP4828137B2 (ja) | 2011-11-30 |
Family
ID=37089578
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2005067033A Expired - Fee Related JP4828137B2 (ja) | 2005-03-10 | 2005-03-10 | 移載機におけるテレスコピックアームの支持構造 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP4828137B2 (ja) |
Families Citing this family (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100921636B1 (ko) * | 2007-11-28 | 2009-10-14 | 주식회사 케이씨텍 | 기판 캐리어 이송장치 |
| CN102050330B (zh) * | 2010-11-05 | 2013-02-06 | 深圳市华星光电技术有限公司 | 机械手臂及具有该机械手臂的搬运装置 |
| CN103700613B (zh) * | 2013-12-18 | 2016-02-03 | 京东方科技集团股份有限公司 | 一种真空机械传送系统 |
| CN106956897B (zh) * | 2017-04-28 | 2023-07-21 | 四川德鑫航空设备股份有限公司 | 一种多节悬臂式伸缩机 |
| CN108408318A (zh) * | 2018-05-07 | 2018-08-17 | 中国建材国际工程集团有限公司 | 一种用于玻璃仓储堆垛的双向差动输送装置 |
| CN109516211A (zh) * | 2019-01-28 | 2019-03-26 | 蓝思智能机器人(长沙)有限公司 | 升降传送装置 |
| CN113955364A (zh) * | 2021-09-26 | 2022-01-21 | 安徽保力货架制造有限公司 | 一种带有导向机构的四项穿梭车 |
Family Cites Families (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0512404U (ja) * | 1991-07-24 | 1993-02-19 | 石川島播磨重工業株式会社 | フオーク装置 |
| JP2592760Y2 (ja) * | 1992-08-28 | 1999-03-24 | 川崎重工業株式会社 | 伸縮フォーク |
| JPH09156714A (ja) * | 1995-12-07 | 1997-06-17 | Kawasaki Steel Corp | 自動倉庫 |
| JP2000351410A (ja) * | 1999-06-11 | 2000-12-19 | Shin Meiwa Ind Co Ltd | 物品格納装置 |
-
2005
- 2005-03-10 JP JP2005067033A patent/JP4828137B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP2006248680A (ja) | 2006-09-21 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US9725288B2 (en) | Stacker crane | |
| JP5983752B2 (ja) | スタッカクレーン | |
| CN100584738C (zh) | 塔式起重机 | |
| US9834422B2 (en) | Stacker crane | |
| TWI410365B (zh) | 物品搬運裝置(二) | |
| JP5287227B2 (ja) | 搬送台車 | |
| US9802801B2 (en) | Stacker crane | |
| JP4828137B2 (ja) | 移載機におけるテレスコピックアームの支持構造 | |
| JP4687659B2 (ja) | スタッカークレーン | |
| JP4013991B1 (ja) | スタッカクレーン | |
| JP2008081297A (ja) | スタッカクレーン | |
| KR20180077734A (ko) | 기판이송장치 | |
| JP2010070284A (ja) | 移載装置 | |
| JP2008100774A (ja) | 搬送台車及び搬送台車による被搬送物移送方法 | |
| KR20050006445A (ko) | 평판디스플레이 제조라인의 카세트 이송장치 | |
| JP2019120093A (ja) | 昇降搬送装置 | |
| KR102687829B1 (ko) | 이재장치 | |
| JP6671981B2 (ja) | 自動倉庫システム | |
| JP4631433B2 (ja) | 基板搬送装置及び基板搬送方法 | |
| JP2014086653A (ja) | 基板搬送装置 | |
| CN116946602B (zh) | 一种仓储物流用堆垛设备及其方法 | |
| CN115799147B (zh) | 一种晶圆传输装置 | |
| JP5348478B2 (ja) | 保管設備 | |
| JP3879633B2 (ja) | 搬送装置 | |
| TW202517568A (zh) | 堆高式起重機 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A711 | Notification of change in applicant |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A712 Effective date: 20060620 |
|
| A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20070914 |
|
| A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20100526 |
|
| A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20100527 |
|
| A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20100720 |
|
| A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20110106 |
|
| TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
| A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20110907 |
|
| A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 |
|
| A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20110914 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20140922 Year of fee payment: 3 |
|
| R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20140922 Year of fee payment: 3 |
|
| S111 | Request for change of ownership or part of ownership |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313113 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20140922 Year of fee payment: 3 |
|
| R350 | Written notification of registration of transfer |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350 |
|
| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |