JP4835180B2

JP4835180B2 - Pressure sensor

Info

Publication number: JP4835180B2
Application number: JP2006024928A
Authority: JP
Inventors: 出庄司
Original assignee: Denso Corp
Current assignee: Denso Corp
Priority date: 2006-02-01
Filing date: 2006-02-01
Publication date: 2011-12-14
Anticipated expiration: 2026-02-01
Also published as: JP2007205870A

Description

本発明は、圧力導入路を介して導入された被測定圧力を感圧素子により検出する圧力センサに関する。 The present invention relates to a pressure sensor for detecting a pressure to be measured introduced via a pressure introduction path by a pressure sensitive element.

従来、気体や液体の圧力を検出するための圧力センサとして、特開平７−２０９１１５号公報（特許文献１）に記載されたものが知られている。 Conventionally, what was described in Unexamined-Japanese-Patent No. 7-209115 (patent document 1) is known as a pressure sensor for detecting the pressure of gas or a liquid.

図４（ａ）に示すように、特許文献１に記載された圧力センサ６０は、一端が外部に開口され、他端が受圧室３１に開口された１つの圧力導入路３０が形成されており、この受圧室３１を覆うようにダイヤフラム２２が設けられたハウジング２１と、一端に凹部が形成され、この凹部に感圧素子２４が配置されたケースプラグ２９と、を備えるものである。そして、圧力センサ６０は、ダイヤフラム２２と感圧素子２４とが対向するようにハウジング２１とケースプラグ２９とを接合して形成されたものである。 As shown in FIG. 4A, the pressure sensor 60 described in Patent Document 1 is formed with one pressure introduction path 30 having one end opened to the outside and the other end opened to the pressure receiving chamber 31. A housing 21 provided with a diaphragm 22 so as to cover the pressure receiving chamber 31 and a case plug 29 in which a concave portion is formed at one end and a pressure sensitive element 24 is disposed in the concave portion are provided. The pressure sensor 60 is formed by joining the housing 21 and the case plug 29 so that the diaphragm 22 and the pressure sensitive element 24 face each other.

ハウジング２１とケースプラグ２９とをこのように接合することで、ダイヤフラム２２とケースプラグ２９との間には閉塞された圧力検出室が形成されており、この圧力検出室内には圧力伝達用媒体２３が封入されている。 By joining the housing 21 and the case plug 29 in this way, a closed pressure detection chamber is formed between the diaphragm 22 and the case plug 29, and the pressure transmission medium 23 is formed in the pressure detection chamber. Is enclosed.

このような構成を有する圧力センサ６０は以下のようにして被測定圧力の圧力値を検出する。図４（ｂ）に示すように、一端が外部に開口された圧力導入路３０を介して被測定圧力Ｐ２が受圧室３１に導入されると、ダイヤフラム２２がこの被測定圧力Ｐ２を受けてせん動し、圧力伝達用媒体２３が封入された圧力検出室内の内圧が変化する。このとき、感圧素子２４は、圧力伝達用媒体２３を介してこの内圧の変化を検知するとともに、内圧の変化量に応じた電気信号をボンディングワイヤ２５を介してターミナル２６ａから出力するものである。
特開平７−２０９１１５号公報 The pressure sensor 60 having such a configuration detects the pressure value of the pressure to be measured as follows. As shown in FIG. 4B, when the measured pressure P2 is introduced into the pressure receiving chamber 31 via the pressure introduction path 30 having one end opened to the outside, the diaphragm 22 does not receive the measured pressure P2. The internal pressure in the pressure detection chamber in which the pressure transmission medium 23 is sealed changes. At this time, the pressure sensitive element 24 detects a change in the internal pressure via the pressure transmission medium 23 and outputs an electric signal corresponding to the amount of change in the internal pressure from the terminal 26a via the bonding wire 25. .
Japanese Patent Laid-Open No. 7-209115

しかしながら、発明者の知見によると、ハウジング２１に形成された圧力導入路３０が１つであると、何らかの要因によって被測定圧力が急激に変化した場合、すなわち、サージ性の被測定圧力Ｐ３が発生した場合、図４（ｃ）に模式的に示したように、被測定圧力Ｐ３は、ダイヤフラム２２の中心部から周辺部へと伝達され、ダイヤフラム２２が受ける圧力の分布が不均一となることがある。 However, according to the inventor's knowledge, when the pressure to be measured 30 is suddenly changed for some reason, that is, when the pressure to be measured P3 is formed in the housing 21, that is, the surge pressure to be measured P3 is generated. In this case, as schematically shown in FIG. 4C, the pressure P3 to be measured is transmitted from the central portion of the diaphragm 22 to the peripheral portion, and the distribution of the pressure received by the diaphragm 22 may be non-uniform. is there.

これは、被測定圧力が急激に変化した場合、圧力導入路３０の延長線上にあるダイヤフラム２２の中心部には被測定圧力が早く伝達され、ダイヤフラム２２の中心部から離れた周辺部には、ダイヤフラム２２の中心部から遅れて被測定圧力が伝達されるためであると考えられる。さらに、ダイヤフラム２２の周辺部には、中心部に早く伝達された圧力が反射して、時間差を持って伝達されるためであると考えられる。 This is because when the measured pressure changes suddenly, the measured pressure is quickly transmitted to the central portion of the diaphragm 22 on the extension line of the pressure introduction path 30, and the peripheral portion away from the central portion of the diaphragm 22 This is probably because the pressure to be measured is transmitted with a delay from the center of the diaphragm 22. Further, it is considered that the pressure transmitted to the central portion is reflected on the peripheral portion of the diaphragm 22 and transmitted with a time difference.

このように、ダイヤフラム２２が受ける圧力の分布が不均一な状態が繰り返されたり、あるいは、不均一な状態が継続すると、ダイヤフラム２２に歪み（疲労）が生じることがある。ダイヤフラム２２に歪み（疲労）が発生すると、ダイヤフラム２２の信頼性が低下することがある。 As described above, when the distribution of the pressure received by the diaphragm 22 is uneven, or when the uneven distribution continues, the diaphragm 22 may be distorted (fatigue). When distortion (fatigue) occurs in the diaphragm 22, the reliability of the diaphragm 22 may be lowered.

また、ダイヤフラム２２が受ける圧力の分布が不均一であると、ダイヤフラム２２は被測定圧力に応じたせん動を行うことができないことがある（以下、不整せん動と言う）。ダイヤフラム２２に不整せん動が継続的に発生すると、不整せん動によって発生する非定常的な振動が感圧素子２４と図示しない処理回路とを電気的に接続するボンディングワイヤ２５に伝わり、ボンディング部分の接続の不具合を発生させることがある。 In addition, if the distribution of pressure received by the diaphragm 22 is not uniform, the diaphragm 22 may not be able to perform peristalsis according to the pressure to be measured (hereinafter referred to as irregular perturbation). When the irregular motion continuously occurs in the diaphragm 22, the unsteady vibration generated by the irregular motion is transmitted to the bonding wire 25 that electrically connects the pressure-sensitive element 24 and a processing circuit (not shown), and the bonding portion 25 May cause connection failure.

さらには、圧力センサ６０はダイヤフラム２２のせん動に基づいて、被測定圧力の圧力値を測定するものであるため、ダイヤフラム２２に不整せん動が発生すると、圧力センサ６０が測定した被測定圧力の圧力値に誤差が含まれることがある。 Furthermore, since the pressure sensor 60 measures the pressure value of the measured pressure based on the peristaltic movement of the diaphragm 22, if an irregular perturbation occurs in the diaphragm 22, the measured pressure of the measured pressure is measured by the pressure sensor 60. The pressure value may contain errors.

そこで、本発明は以上のような課題に鑑みてなされたものであり、その目的とするところは、被測定圧力が急激に変化して、いわゆるサージ性の圧力が発生した場合でも、ダイヤフラムが受ける圧力の分布が不均一となることを防止することで、ダイヤフラムに不整せん動が発生することを防止する圧力センサを提供することにある。 Therefore, the present invention has been made in view of the above problems, and the object of the present invention is to receive the diaphragm even when the pressure to be measured changes suddenly and a so-called surge pressure is generated. An object of the present invention is to provide a pressure sensor that prevents the diaphragm from generating irregular motion by preventing the pressure distribution from becoming uneven.

上記課題を解決するために、請求項１に係る圧力センサは、一端が外部に開口され、他端が受圧室に開口された圧力導入路を介して、被測定圧力を前記受圧室に導くとともに、当該受圧室に導入された圧力をダイヤフラムにて受圧し、この受圧圧力を圧力伝達媒体を介して感圧素子に伝達することにより、被測定圧力を検出する圧力センサにおいて、圧力導入路の断面積は、受圧室の断面積よりも小さく、且つ圧力導入路として、一端から他端に渡って相互に独立した複数の圧力導入路を有し、複数の圧力導入路は、一端から他端に向かって、相互の間隔が徐々に広がるように形成されることを特徴とする。 In order to solve the above-described problem, a pressure sensor according to a first aspect of the present invention guides a pressure to be measured to the pressure receiving chamber through a pressure introduction path having one end opened to the outside and the other end opened to the pressure receiving chamber. The pressure introduced into the pressure receiving chamber is received by a diaphragm, and this pressure receiving pressure is transmitted to the pressure sensitive element via the pressure transmission medium, so that the pressure sensor that detects the pressure to be measured is disconnected. The area is smaller than the cross-sectional area of the pressure receiving chamber and has a plurality of pressure introduction paths that are mutually independent from one end to the other end as a pressure introduction path, and the plurality of pressure introduction paths extend from one end to the other end. On the other hand, it is characterized by being formed so that the mutual interval gradually widens.

請求項１に記載された圧力センサによると、ハウジングに複数の圧力導入路を形成することで、被測定圧力が急激に変化した場合でも、圧力を均一に分散してダイヤフラムに向けて導入することができる。これにより、ダイヤフラムに不整せん動が発生することを防止することができる。これに伴って、圧力値の測定誤差が低減する。また、ダイヤフラムの信頼性が向上し、感圧素子と処理回路とを電気的に接続するボンディングワイヤのボンディング部の接続の不具合を防止することができる。 According to the pressure sensor of the first aspect, by forming a plurality of pressure introduction paths in the housing, even when the pressure to be measured changes suddenly, the pressure is uniformly distributed and introduced toward the diaphragm. Can do. Thereby, it is possible to prevent the diaphragm from generating irregular motion. Along with this, the measurement error of the pressure value is reduced. Further, the reliability of the diaphragm is improved, and it is possible to prevent a connection failure of the bonding portion of the bonding wire that electrically connects the pressure sensitive element and the processing circuit.

また、請求項１に係る圧力センサは、複数の圧力導入路が一端から他端に向かって、相互の間隔が徐々に広がるように形成されることを特徴とする。請求項１に記載された発明は、圧力導入路の配列を具体化したものである。これにより、被測定圧力は圧力導入路を介してダイヤフラム全体に向けて導入されるため、ダイヤフラムが受ける圧力の分布が不均一となることを防止できる。そして、ダイヤフラムに不整せん動が発生することを防止することができる。 Also, the pressure sensor according to claim 1, a plurality of pressure introducing passage from one end to the other end, characterized in that the mutual spacing is formed so as to extend gradually. The invention described in claim 1 embodies the arrangement of the pressure introduction paths. Thereby, since the pressure to be measured is introduced toward the entire diaphragm through the pressure introduction path, it is possible to prevent the pressure distribution received by the diaphragm from becoming uneven. And it can prevent that an irregular motion occurs in a diaphragm.

請求項２に係る圧力センサは、ダイヤフラムは円形状に形成され、複数の圧力導入路の他端は、円形状ダイヤフラムの外周部に対応する位置に開口することを特徴とする。これにより、円形状のダイヤフラムが受ける圧力の分布が不均一となることを防止することができる。 The pressure sensor according to claim 2 is characterized in that the diaphragm is formed in a circular shape, and the other ends of the plurality of pressure introduction paths open at positions corresponding to the outer peripheral portion of the circular diaphragm. Thereby, it is possible to prevent the pressure distribution received by the circular diaphragm from becoming uneven.

請求項３に係る圧力センサは、複数の圧力導入路の他端が、受圧室においてそれぞれ開口する開口位置が格子状配列となることを特徴とする。これによりダイヤフラムが受ける圧力の分布が不均一となることを防止できる。そして、ダイヤフラムに不整せん動が発生することを防止することができる。 The pressure sensor according to a third aspect is characterized in that the opening positions at which the other ends of the plurality of pressure introduction paths open in the pressure receiving chamber are arranged in a lattice pattern. This can prevent the distribution of pressure received by the diaphragm from becoming non-uniform. And it can prevent that an irregular motion occurs in a diaphragm.

請求項４、及び５に係る圧力センサは、上述した効果を得るために、圧力導入路の形状等を具体化したものである。また、請求項６、及び７に係る圧力センサは、圧力導入路の大きさを規定したものである。これにより、圧力に対する応答性を低下させることなく圧力の急激な伝達を防ぐことができるため、ダイヤフラムに不整せん動が発生することを防止することができ、これに伴い、ダイヤフラム等の信頼性の低下を防ぐことができる。 The pressure sensor according to claims 4 and 5 embodies the shape or the like of the pressure introduction path in order to obtain the above-described effect. The pressure sensors according to claims 6 and 7 define the size of the pressure introduction path. As a result, rapid transmission of pressure can be prevented without degrading responsiveness to pressure, so that it is possible to prevent irregular vibrations from occurring in the diaphragm. Decline can be prevented.

（第１の実施形態）
本発明の第１の実施形態における圧力センサ５０について、図１、図２を用いて説明する。 (First embodiment)
A pressure sensor 50 according to the first embodiment of the present invention will be described with reference to FIGS.

図１（ａ）は、圧力センサ５０の全体概略を示す断面図、図１（ｂ）は、ハウジング１の断面図であり、圧力導入路１０を介して被測定圧力Ｐ１が導入される様子を模式的に示した図である。図２（ａ）〜（ｃ）は、図１に示す圧力センサ５０をＡ方向（ハウジング１方向）から見た断面図である。 1A is a cross-sectional view showing an overall outline of the pressure sensor 50, and FIG. 1B is a cross-sectional view of the housing 1, and shows how the pressure P 1 to be measured is introduced through the pressure introduction path 10. It is the figure shown typically. 2A to 2C are cross-sectional views of the pressure sensor 50 shown in FIG. 1 as viewed from the A direction (housing 1 direction).

図１（ａ）に示すように、本実施形態における圧力センサ５０は、金属製のハウジング１と樹脂製のケースプラグ９とで構成されている。 As shown in FIG. 1A, the pressure sensor 50 in the present embodiment includes a metal housing 1 and a resin case plug 9.

まず、圧力センサ５０を構成するハウジング１について説明する。ハウジング１には、その一方にすそ広がりの受圧室１１が形成されている。さらに、ハウジング１には、一端が外部に開口され、他端が受圧室１１に開口された複数の圧力導入路１０が形成されている。圧力導入路１０の断面積は受圧室１１の断面積よりも小さく、また、各圧力導入路１０は相互に独立して配列されている。各圧力導入路１０は、それぞれがダイヤフラム２に向けて被測定圧力Ｐ１の圧力媒体（気体又は液体）を導入する。 First, the housing 1 constituting the pressure sensor 50 will be described. The housing 1 is formed with a pressure receiving chamber 11 that spreads on one side. Further, the housing 1 is formed with a plurality of pressure introduction passages 10 having one end opened to the outside and the other end opened to the pressure receiving chamber 11. The cross-sectional area of the pressure introduction path 10 is smaller than the cross-sectional area of the pressure receiving chamber 11, and the pressure introduction paths 10 are arranged independently of each other. Each pressure introduction path 10 introduces a pressure medium (gas or liquid) having a pressure P1 to be measured toward the diaphragm 2.

ハウジング１の一方に形成された受圧室１１は、せん動自在な薄い金属製のダイヤフラム２にて隙間なく覆われており、受圧室１１を覆っているダイヤフラム２は、周囲をリングギア７、及びＯリング８の押さえ部材によってハウジング１に向けて押圧されて、ハウジング１と接合している。 A pressure receiving chamber 11 formed on one side of the housing 1 is covered with a thin metal diaphragm 2 that can be freely moved, and the diaphragm 2 covering the pressure receiving chamber 11 is surrounded by a ring gear 7 and The O-ring 8 is pressed by the pressing member toward the housing 1 and joined to the housing 1.

なお、ダイヤフラム２のハウジング１への接合は、レーザ溶接等の手法を用いることもできる。 The diaphragm 2 can be joined to the housing 1 by using a technique such as laser welding.

次に、圧力センサ５０の外観部分を構成するケースプラグ９について説明する。ケースプラグ９の一端側には第１の凹部が形成されている。また、ケースプラグ９の他端側には、第１の凹部よりも浅い凹みを有する第２の凹部が形成されている。第２の凹部には、感圧素子４や、ボンディングワイヤ５を介して感圧素子４と電気的に接続された処理回路が搭載された回路基板（図示せず）が配置されている。 Next, the case plug 9 constituting the external part of the pressure sensor 50 will be described. A first recess is formed on one end side of the case plug 9. A second recess having a recess shallower than the first recess is formed on the other end side of the case plug 9. A circuit board (not shown) on which a processing circuit electrically connected to the pressure-sensitive element 4 and the pressure-sensitive element 4 via the bonding wire 5 is mounted is disposed in the second recess.

感圧素子４は、台座１２に陽極接合等で気密接合されている。台座１２は絶縁性材質、例えば、ガラス等からなり、シリコーン等の接着剤（シーラント）などの接合部材１３によりケースプラグ９の第２の凹部に固定されている。 The pressure sensitive element 4 is airtightly joined to the base 12 by anodic bonding or the like. The pedestal 12 is made of an insulating material, such as glass, and is fixed to the second recess of the case plug 9 by a joining member 13 such as an adhesive (sealant) such as silicone.

ケースプラグ９には、内部で保持するようにインサートモールドされて一体成形されたターミナル６ａ、６ｂが設けられている。 The case plug 9 is provided with terminals 6a and 6b that are integrally molded by insert molding so as to be held inside.

ターミナル６ａ、６ｂの一端側は、上述の図示しない回路基板と接続されている。また、ターミナル６ａ、６ｂの他端側は、図示しない外部装置との電気信号の遣り取りのために、第１の凹部内に突出しているか、あるいは図示しない外部装置のターミナルと接続可能な状態となっている。 One ends of the terminals 6a and 6b are connected to the above-described circuit board (not shown). Further, the other end side of the terminals 6a and 6b protrudes into the first recess for connection of an electric signal with an external device (not shown), or can be connected to a terminal of the external device (not shown). ing.

ところで、図１（ａ）では、ターミナル６ａを１ピンのみ示しているが、ターミナル６ａは複数本あり、本実施形態における圧力センサ５０では、圧力センサ５０の駆動用電圧を供給する電圧供給ターミナル、圧力センサ５０による圧力測定結果を出力する出力ターミナル、及び接地ターミナルである。一方、ターミナル６ｂは、圧力センサ５０が電気書き込み等により所望の出力特性となるように、調整端子専用として用いられる調整信号伝達ターミナルである。 By the way, in FIG. 1A, although only one pin is shown for the terminal 6a, there are a plurality of terminals 6a, and the pressure sensor 50 in this embodiment has a voltage supply terminal for supplying a driving voltage for the pressure sensor 50, An output terminal for outputting a pressure measurement result by the pressure sensor 50 and a ground terminal. On the other hand, the terminal 6b is an adjustment signal transmission terminal used exclusively for the adjustment terminal so that the pressure sensor 50 has a desired output characteristic by electric writing or the like.

本実施形態における圧力センサ５０は、図１（ａ）に示す通り、ハウジング１とケースプラグ９とが向き合うようして接合しており、上述のリングギア７、及びＯリング８はハウジング１とケースプラグ９とによって、図示左右方向から挟み込まれている。さらに、ハウジング１の上端部１ａでケースプラグ９を全周かしめ固定している。これにより、ハウジング１とケースプラグ９とは強固に接合されるとともに、ハウジング１に形成された受圧部１１の気密性、及び後述する圧力検出室の気密性が向上する。 As shown in FIG. 1A, the pressure sensor 50 in the present embodiment is joined so that the housing 1 and the case plug 9 face each other, and the ring gear 7 and the O-ring 8 described above are connected to the housing 1 and the case. The plug 9 is sandwiched between the left and right directions in the figure. Furthermore, the case plug 9 is fixed by caulking at the upper end 1a of the housing 1 all around. As a result, the housing 1 and the case plug 9 are firmly joined, and the air tightness of the pressure receiving portion 11 formed in the housing 1 and the air tightness of the pressure detection chamber described later are improved.

ハウジング１とケースプラグ９とが上述したように接合（全周かしめ固定）されると、ダイヤフラム２とケースプラグ９との間には、ケースプラグ９の第２の凹部に基づく閉塞された空間が形成される。この第２の凹部に基づく閉塞された空間は、図示しない封入孔より真空封入等でフロロシリコーンオイル等の圧力検出媒体として作用するオイル３が充填されることで、圧力検出室として機能する。 When the housing 1 and the case plug 9 are joined (caulking and fixed all around) as described above, a closed space based on the second recess of the case plug 9 is formed between the diaphragm 2 and the case plug 9. It is formed. The closed space based on the second recess functions as a pressure detection chamber by being filled with oil 3 that acts as a pressure detection medium such as fluorosilicone oil by vacuum sealing or the like from a sealing hole (not shown).

本実施形態における圧力センサ５０は、何らかの要因によって被測定圧力が急激に変化した場合、すなわち、サージ性の被測定圧力Ｐ１が発生した場合でも、被測定圧力Ｐ１の圧力媒体（気体又は液体）は複数の圧力導入路１０によって、ダイヤフラム２の中心部や周辺部に向けて導入されることとなる。したがって、ダイヤフラム２は、ほぼ均等に被測定圧力Ｐ１を受けることができる。これにより、ダイヤフラム２に不整せん動が発生することを防ぐことができる。 In the pressure sensor 50 according to the present embodiment, the pressure medium (gas or liquid) of the measured pressure P1 is the same even when the measured pressure suddenly changes due to some factor, that is, when the surge type measured pressure P1 is generated. The plurality of pressure introducing passages 10 are introduced toward the center portion and the peripheral portion of the diaphragm 2. Therefore, the diaphragm 2 can receive the pressure P1 to be measured almost evenly. Thereby, it is possible to prevent the diaphragm 2 from generating irregular motion.

なお、ほぼ均等に被測定圧力Ｐ１を受けたダイヤフラム２のせん動によって、オイル３が封入された圧力検出室の内圧が変化する。そして、感圧素子１４は、この内圧変化を検知し、検知の結果（被測定圧力Ｐ１の圧力値）を電気信号としてターミナル６ａから出力することとなる。 Note that the internal pressure of the pressure detection chamber in which the oil 3 is sealed is changed by the peristaltic movement of the diaphragm 2 that receives the pressure P1 to be measured almost uniformly. The pressure sensitive element 14 detects this change in internal pressure, and outputs the detection result (pressure value of the pressure P1 to be measured) as an electrical signal from the terminal 6a.

図２は（ａ）〜（ｃ）は、複数本の圧力媒体導入路１０の形成パターンの一例を示した図である。図２（ａ）は、断面が円状の圧力媒体導入路１０ａを格子状に配列した例である。図２（ｂ）は、断面が円形の圧力媒体導入路１０ｂをダイヤフラムの外周に対応するように、ハウジング１の外周に沿って配列した例である。図２（ｃ）は、断面が矩形の圧力媒体導入路１０ｃを格子状に配列した例である。 2A to 2C are diagrams showing an example of a formation pattern of a plurality of pressure medium introduction paths 10. FIG. 2A shows an example in which the pressure medium introduction paths 10a having a circular cross section are arranged in a lattice shape. FIG. 2B is an example in which the pressure medium introduction passages 10b having a circular cross section are arranged along the outer periphery of the housing 1 so as to correspond to the outer periphery of the diaphragm. FIG. 2C shows an example in which the pressure medium introduction paths 10c having a rectangular cross section are arranged in a lattice shape.

本実施形態における圧力センサ５０は、圧力媒体導入路１０ａ、１０ｂの直径ｄを約０．７〜１．１ｍｍとすることが望ましい。直径ｄをこの範囲に設定することで、圧力に対する応答性を低下させることなく圧力媒体の急激な伝達を防止できる。なお、本実施形態における圧力センサ５０は、直径ｄを約１ｍｍとした。また、圧力媒体導入路１０ｃの一辺の長さＬを約０．７〜１．１ｍｍとすることが望ましい。一辺の長さＬをこの長さに設定することで、圧力に対する応答性を低下させることなく圧力媒体の圧力媒体の急激な伝達を防ぐことができる。なお、本実施形態における圧力センサ５０は、一辺の長さＬを約１ｍｍとした。 In the pressure sensor 50 according to the present embodiment, it is desirable that the diameter d of the pressure medium introduction paths 10a and 10b is about 0.7 to 1.1 mm. By setting the diameter d in this range, it is possible to prevent abrupt transmission of the pressure medium without reducing the response to pressure. The pressure sensor 50 in this embodiment has a diameter d of about 1 mm. Further, it is desirable that the length L of one side of the pressure medium introduction path 10c is about 0.7 to 1.1 mm. By setting the length L of one side to this length, it is possible to prevent abrupt transmission of the pressure medium of the pressure medium without reducing the responsiveness to the pressure. In the pressure sensor 50 in the present embodiment, the length L of one side is about 1 mm.

以上、説明したように、本実施形態における圧力センサ５０は、被測定圧力が急激に変化して、いわゆるサージ性の圧力が発生した場合でも、ダイヤフラム２が受ける圧力の分布が不均一となることを防止することで、上述した圧力の反射波の発生を防ぐことができる。さらに、ダイヤフラム２に不整せん動が発生することを防止できる。したがって、ダイヤフラム２の信頼性低下やボンディングワイヤ５のボンディング部分の接続不具合の発生を防止することができる。 As described above, the pressure sensor 50 according to the present embodiment has a non-uniform distribution of pressure received by the diaphragm 2 even when the pressure to be measured changes suddenly and a so-called surge pressure is generated. By preventing this, it is possible to prevent the generation of the reflected wave of the pressure described above. Furthermore, it is possible to prevent the diaphragm 2 from generating irregular motion. Accordingly, it is possible to prevent the deterioration of the reliability of the diaphragm 2 and the occurrence of connection failure of the bonding portion of the bonding wire 5.

（その他の実施形態）
本発明のその他の実施形態について、図３（ａ）、（ｂ）を用いて説明する。図３（ａ）は、ハウジング１に形成された圧力導入路１５に関して、圧力導入路１５が外部に開口された一端から、受圧室に開口された他端に向けて、相互の間隔が徐々に広がるように形成した例である。圧力導入路１５をこのように形成することでより、被測定圧力Ｐ１が急激に変化した場合、ダイヤフラム２に向けて圧力を均一に分散させることができる。 (Other embodiments)
Another embodiment of the present invention will be described with reference to FIGS. FIG. 3A shows that the pressure introduction path 15 formed in the housing 1 is gradually spaced from one end where the pressure introduction path 15 is opened to the other end toward the other end where the pressure receiving chamber is opened. It is an example formed so as to spread. By forming the pressure introduction path 15 in this way, the pressure can be uniformly dispersed toward the diaphragm 2 when the pressure P1 to be measured changes suddenly.

図３（ｂ）は、ハウジング１に形成された圧力導入路１６に関して、圧力導入路１６が外部に開口された一端から、受圧室に開口された他端までの間に、その向きが変更される折曲部が複数設けられた例である。圧力媒体導入路１６をこのように形成することにより、被測定圧力Ｐ１が急激に変化した場合において、複数の折曲部でサージ性の圧力を緩和することができる。これにより、ダイヤフラム２が受ける圧力の分布を均一なものとすることができる。 In FIG. 3B, the direction of the pressure introduction path 16 formed in the housing 1 is changed between one end where the pressure introduction path 16 is opened to the outside and the other end where the pressure receiving chamber is opened. This is an example in which a plurality of bent portions are provided. By forming the pressure medium introduction path 16 in this way, when the measured pressure P1 changes abruptly, the surge pressure can be reduced at the plurality of bent portions. Thereby, the distribution of the pressure received by the diaphragm 2 can be made uniform.

以上、本発明を実施するための最良の形態について説明したが、本発明は上述した実施形態のみに限定されるものではなく、本発明の趣旨を逸脱しない範囲において、数々の変形実施が可能である。 Although the best mode for carrying out the present invention has been described above, the present invention is not limited to the above-described embodiment, and various modifications can be made without departing from the spirit of the present invention. is there.

また、本発明のうち従属請求項に係る発明においては、従属先の請求項の構成要件の一部を省略する構成とすることもできる。 In the invention according to the dependent claims of the present invention, a part of the constituent features of the dependent claims can be omitted.

本発明の第１の実施形態における圧力センサを示す図であり、（ａ）は、圧力センサの全体概略を示す断面図、（ｂ）は、被測定圧力が導入される様子を模式的に示した、ハウジングの断面図である。It is a figure which shows the pressure sensor in the 1st Embodiment of this invention, (a) is sectional drawing which shows the whole pressure sensor outline, (b) shows a mode that the to-be-measured pressure is introduced typically. It is sectional drawing of a housing. ハウジングの断面図であり、圧力媒体導入経路の配置を示す図である。It is sectional drawing of a housing and is a figure which shows arrangement | positioning of a pressure medium introduction path | route. 圧力導入経路の配向を示す図であり、（ａ）は間隔が徐々に広がるように圧力媒体導入路を配向した状態を示す図、（ｂ）は圧力媒体導入路が配向方向に折り返された状態を示す図である。It is a figure which shows the orientation of a pressure introduction path | route, (a) is a figure which shows the state which orientated the pressure medium introduction path so that a space | interval may spread gradually, (b) is the state by which the pressure medium introduction path was folded in the orientation direction FIG. 従来の圧力センサを示す図であり、（ａ）は被測定圧力が変化しない、又は緩やかに変化した場合を示す図、（ｂ）は被測定圧力が急激に変化した場合を示す図である。It is a figure which shows the conventional pressure sensor, (a) is a figure which shows the case where a to-be-measured pressure does not change or changes gently, (b) is a figure which shows the case where a to-be-measured pressure changes rapidly.

Explanation of symbols

１，２１・・・ハウジング、
２，２２・・・ダイヤフラム、
３，２３・・・圧力検出媒体、
４，２４・・・感圧素子、
５，２５・・・ボンディングワイヤ、
６ａ，６ｂ，２６ａ・・・端子（ターミナル）、
７・・・リングギア、
８・・・Ｏリング、
９，２９・・・ケースプラグ、
１０，１５，１６，３０・・・圧力導入路、
１１，３１・・・受圧室、
１２・・・台座、
１３・・・接合部材、 1, 21 ... housing,
2,22 ... diaphragm,
3, 23 ... Pressure detection medium,
4, 24 ... pressure sensitive element,
5, 25 ... Bonding wire,
6a, 6b, 26a ... terminals (terminals),
7: Ring gear,
8 ... O-ring,
9, 29 ... Case plug,
10, 15, 16, 30 ... pressure introduction path,
11, 31 ... pressure receiving chamber,
12 ... pedestal,
13: Joining member,

Claims

The pressure to be measured is guided to the pressure receiving chamber through a pressure introduction path having one end opened to the outside and the other end opened to the pressure receiving chamber, and the pressure introduced into the pressure receiving chamber is received by the diaphragm. In the pressure sensor for detecting the pressure to be measured by transmitting the pressure receiving pressure to the pressure sensitive element via the pressure transmission medium,
The cross-sectional area of the pressure introduction path is smaller than the cross-sectional area of the pressure receiving chamber, and the pressure introduction path has a plurality of pressure introduction paths independent from each other from the one end to the other end ,
The pressure sensor, wherein the plurality of pressure introduction paths are formed so that a mutual interval gradually increases from the one end toward the other end.

The diaphragm is formed in a circular shape,
The other ends of the pressure introduction path, a pressure sensor of claim 1, wherein the opening to Rukoto at a position corresponding to an outer portion of the circular diaphragm.

The pressure sensor of claim 1 or claim 2 wherein the other ends of the pressure introducing path, opening position respectively opening in said pressure receiving chamber and said Rukoto such a lattice array.

The pressure sensor according to claim 1 the cross-section of the pressure introduction path is characterized by circular der Rukoto.

Pressure sensor according to any one of claims 1 to 3, wherein the cross-section of the pressure introduction path is a rectangle.

The pressure sensor according to claim 4 , wherein a diameter of the pressure introduction path having a circular cross section is 0.7 to 1.1 mm .

Length of one side of the pressure introduction passage cross section is rectangle, the pressure sensor according to claim 5, characterized in that the 0.7～1.1Mm.