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JP4835702B2 - Printed wiring board hole filling apparatus and printed wiring board manufacturing method using the same - Google Patents
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Description

本発明は、プリント配線板孔埋め装置及びそれを用いたプリント配線板の製造方法に係る。   The present invention relates to a printed wiring board hole filling apparatus and a method for manufacturing a printed wiring board using the same.

近年、電子機器には多層化された所謂ビルドアップ基板が搭載されるようになっている。そして、このビルドアップ基板の各層間の電気的接続を、所定の階層を貫通する貫通孔であるスルーホール(以下、THと称する)やインタースティシャルバイアホール(以下、IVH)という接続手段を用いて行うことは周知である。
THは、その貫通孔の端部がプリント配線板の最外層表面に形成されるものであり、IVHは、その貫通孔の端部がプリント配線板の内層部に形成され、外部からは視認できないものである。
In recent years, so-called build-up substrates with multiple layers are mounted on electronic devices. The electrical connection between the layers of the build-up board is performed using connection means such as a through hole (hereinafter referred to as TH) or an interstitial via hole (hereinafter referred to as IVH) which is a through hole penetrating a predetermined layer. Is well known to do.
The end of the through hole is formed on the outermost layer surface of the printed wiring board, and the end of the through hole is formed in the inner layer of the printed wiring board, and cannot be seen from the outside. Is.

ところで、ビルドアップ基板の実装高密度化に伴い、THやIVHの孔径はより小さく、また、基板単位面積あたりの孔数はより増える傾向にある。
そこで、IVHを樹脂で孔埋めし、その上にさらに別の層を積層形成して面積を有効利用することが行われており、この場合、積層する層を良好に形成するためには、孔埋めしたIVHの端部表面をできるだけ平坦にする必要がある。
By the way, as the mounting density of the build-up board increases, the hole diameters of TH and IVH are smaller, and the number of holes per board unit area tends to increase.
Therefore, it has been practiced to fill the hole with IV resin and form another layer thereon to effectively use the area. In this case, in order to satisfactorily form the layer to be laminated, It is necessary to make the buried IVH end surface as flat as possible.

また、IVHを、金属フィラーを含有した導電性を有する充填材で孔埋めし、その直上にビアを形成することも行われている。この形態は、所謂スタックビアと称され、高密度化に極めて有効であるが、このスタックビアを良好に形成するために、孔埋めしたIVH端部の表面を出来る限り平坦に形成する必要がある。
一方、THについても、金属フィラーを含有した充填材で孔埋めし、その直上に、電子部品をハンダ接合するためのパッドを形成することが行われている。この形態は、所謂パッドオンビア(ビアインパッドと称される場合もある。)と称され、高密度実装には欠くことのできない形態である。
このパッドオンビアにおけるパッドを良好に形成するために、孔埋めしたTH端部表面をできる限り平坦に形成する必要がある。
即ち、上述のスタックビアやパッドが良好に形成されなければ、プリント配線板の性能や品質を維持できないので、孔埋めしたIVHやTHの端部表面をできるだけ平坦に形成することが望まれている。
上述したTHやIVHの孔埋め方法の従来例が、特許文献1に記載されている。
この文献に記載された方法は、円筒ロールを用いて基板の孔(THやIVH)に樹脂を充填し、樹脂が未硬化の状態で、基板を挟むように対向して配置されたスキージにより基板の両面の余剰樹脂を掻き取るものである。
この方法によれば、樹脂は未硬化で掻き取られるので、この樹脂が硬化した後、基板表面に残留した余剰樹脂の研磨除去が容易になる。
In addition, IVH is filled with a conductive filler containing a metal filler, and a via is formed immediately above. This form is called a so-called stack via and is extremely effective for increasing the density. However, in order to form this stack via well, it is necessary to form the surface of the IVH end portion filled in as flat as possible. .
On the other hand, TH is also filled with a filler containing a metal filler, and a pad for soldering an electronic component is formed immediately above the hole. This form is called a so-called pad-on-via (sometimes referred to as a via-in pad) and is an indispensable form for high-density mounting.
In order to satisfactorily form a pad in this pad-on-via, it is necessary to form the hole-filled TH end surface as flat as possible.
That is, unless the above-described stack vias and pads are formed well, the performance and quality of the printed wiring board cannot be maintained. Therefore, it is desired to form the end surfaces of IVH and TH that are filled in as flat as possible. .
A conventional example of the above-described TH or IVH hole filling method is described in Patent Document 1.
The method described in this document uses a cylindrical roll to fill a hole (TH or IVH) of a substrate with a resin, and in a state where the resin is in an uncured state, the substrate is formed by a squeegee arranged so as to sandwich the substrate. The excess resin on both sides is scraped off.
According to this method, since the resin is scraped off without being cured, it is easy to polish and remove excess resin remaining on the substrate surface after the resin is cured.

特公平6−32373号公報Japanese Patent Publication No. 6-32373

しかしながら、この従来の方法は、スクリーン印刷と比較して供給するインクの量が多いので、余剰インクが多量に生じてしまうという問題があった。   However, this conventional method has a problem that a large amount of excess ink is generated because the amount of ink supplied is larger than that of screen printing.

また、スキージにより、孔に一旦充填したインクの一部が掻き取られて孔の表面が凹になり、その平坦性が損なわれるという問題があった。この凹んだ端面の直上にビアやパッドを形成すると、この端面とビアやパッドとの間の密着が不十分になり、プリント配線板に加わる温度負荷や熱衝撃負荷等によって剥離が発生してそのプリント配線板は不良になってしまうという問題があった。   In addition, the squeegee has a problem that a part of the ink once filled in the hole is scraped off, and the surface of the hole becomes concave, and the flatness is impaired. If a via or pad is formed directly above the recessed end surface, the adhesion between the end surface and the via or pad becomes insufficient, and peeling occurs due to temperature load or thermal shock load applied to the printed wiring board. There was a problem that the printed wiring board would be defective.

また、充填する孔の密集度が部分毎に異なる場合、各孔に対して均一な量で充填されず、孔によって過充填となったり、充填不足になったりするという問題があった。   Moreover, when the density of the holes to be filled differs from part to part, there is a problem that the holes are not filled in a uniform amount, and the holes are overfilled or insufficiently filled.

また、プリント配線板には、一般に、多層化する場合の基準原点とする基準孔が基板の周囲(縁)に近い部位に設けられている。
この基準孔に充填材等の樹脂が付着すると、その孔径が変わってしまったり、その真円度が崩れてしまう等により、位置検出での誤差が生じたり、位置決めピンを挿入できない等の不具合が生じる。
その結果、多層化する際に層間の整合ズレが発生し、プリント配線板としての特性が出なくなってしまうので、この基準孔を設けた所定範囲(以下、付着禁止エリアと称する)には樹脂を付着させてはならないのである。
しかしながら、スキージでの掻き出し動作により、余剰樹脂がこの付着禁止エリアにまで薄く広げられてしまい、この樹脂を除去しなければならないという問題があった。
Further, in the printed wiring board, generally, a reference hole as a reference origin in the case of multilayering is provided in a portion close to the periphery (edge) of the substrate.
If a resin such as a filler adheres to the reference hole, the hole diameter may change, the roundness may be lost, etc., causing errors in position detection and the inability to insert a positioning pin. Arise.
As a result, misalignment between layers occurs when multi-layered, and the characteristic as a printed wiring board does not appear. Therefore, a resin is applied to a predetermined range (hereinafter referred to as an adhesion prohibition area) provided with the reference hole. It must not be attached.
However, due to the scraping operation with the squeegee, the surplus resin is thinly spread to the adhesion-prohibited area, and there is a problem that this resin must be removed.

また、IVHやTH等の充填すべき孔の深さDPと、孔径Dとの比率(アスペクト比):DP/Dが大きい場合や、孔径Dが極めて小さい場合には、充填が難しく充填不足になり易い。
これを改善するために、基板の搬送速度を遅くしたり、転写ロールにより基板表面に転写する充填材の膜厚(量)を厚くする(多くする)ことを行っていた。
しかしながら、搬送速度を遅くすると生産性が低下し、膜厚を厚くすると、樹脂に含まれる気泡がIVH等の孔内部に混入し易くなって充填剤の硬化後にボイド(空隙)を生じ、その結果、配線板の接続不良の原因となる問題があった。
Further, the ratio (aspect ratio) between the depth DP of the hole to be filled such as IVH and TH and the hole diameter D (aspect ratio): When DP / D is large or the hole diameter D is very small, filling is difficult and insufficient filling. Easy to be.
In order to improve this, the substrate transport speed has been reduced, or the film thickness (amount) of the filler transferred onto the substrate surface by the transfer roll has been increased (increased).
However, if the conveying speed is slowed down, the productivity is lowered, and if the film thickness is increased, bubbles contained in the resin are easily mixed into the pores such as IVH, and voids are formed after the filler is cured. There was a problem that caused poor connection of the wiring board.

そこで、本発明は、プリント配線板樹脂のIVHやTH等の孔への樹脂充填工程において、その充填表面を極めて平坦化でき、孔の分布密度によらず安定した充填が可能で、余剰インクを効率良く回収可能で、多層化における層間ずれを防止でき、生産性及び信頼性の高いプリント配線板を製造することができるプリント配線板孔埋め装置及びそれを用いたプリント配線板の製造方法を提供することにある。   Therefore, the present invention can extremely flatten the filling surface in the resin filling process into the holes of IVH and TH of the printed wiring board resin, and can stably fill the ink regardless of the distribution density of the holes. Provided is a printed wiring board hole filling apparatus capable of producing a printed wiring board with high productivity and reliability, which can be efficiently collected, can prevent interlayer displacement in multi-layering, and a printed wiring board manufacturing method using the same. There is to do.

上記の課題を解決するために、本発明は次のプリント配線板孔埋め装置及びそれを用いたプリント配線板の製造方法を提供する。
1)貫通孔を有する基板の前記貫通孔に充填材を充填して孔埋め処理を行うプリント配線板孔埋め装置において、前記基板を所定の搬送方向に搬送速度Vで搬送する搬送手段と、周速度Vrで回動し、所定の軸方向長さLrの周面が前記基板の表面に当接するよう配置され、前記周面に付着させた充填材を前記基板の表面に転写塗布する転写ローラと、所定長さLで形成され、搬送される前記基板に対し前記転写ローラの当接範囲を含むよう前記搬送方向に直交して配置されたスキージ本体と、前記スキージ本体の両端において前記スキージ本体と直交する向きに連接配置された一対のガイド部と、を有し、前記転写ローラよりも前記搬送方向下流側で搬送される前記基板の表面に摺接すると共に前記転写ローラで塗布された前記充填材の一部を掻き取る第1のスキージと、前記第1のスキージよりも前記搬送方向下流側に配置されて前記基板の表面に摺接し、前記第1のスキージで掻き残された充填材をさらに掻き取る第2のスキージと、前記基板の裏面側に前記搬送方向に直交する方向に並べて配設され前記基板を押圧する複数の加圧手段と、前記複数の加圧手段の押圧力をそれぞれ独立して設定する押圧手段と、
を備え、前記搬送速度Vと前記周速度VrとがV<Vrとされ、前記軸方向長さLrと前記長さLとがLr<Lとされていることを特徴とするプリント配線板孔埋め装置。
2)貫通孔を有する基板の前記貫通孔に充填材を充填する孔埋め処理がされて成るプリント配線板を、1)記載のプリント配線板孔埋め装置を用いて製造するプリント配線板の製造方法であって、前記基板の表面に前記充填材を前記転写ローラで塗布して前記貫通孔に前記充填材を充填する工程と、前記第1及び第2のスキージで前記基板の表面の前記充填材を相前後して掻き取る工程と、前記貫通孔に充填された前記充填材を硬化させる工程と、を有することを特徴とするプリント配線板の製造方法。
In order to solve the above problems, the present invention provides the following printed wiring board hole filling apparatus and a printed wiring board manufacturing method using the same.
1) In a printed wiring board hole filling apparatus that performs a hole filling process by filling the through hole of a substrate having a through hole with a filling material, a conveying unit that conveys the substrate at a conveyance speed V in a predetermined conveyance direction; A transfer roller that rotates at a speed Vr, is arranged so that a peripheral surface having a predetermined axial length Lr contacts the surface of the substrate, and transfers and applies the filler adhered to the peripheral surface to the surface of the substrate; A squeegee body formed at a predetermined length L and disposed perpendicular to the transport direction so as to include a contact range of the transfer roller with respect to the substrate to be transported, and the squeegee body at both ends of the squeegee body A pair of guide portions arranged in an orthogonal direction, and is in sliding contact with the surface of the substrate conveyed downstream of the transfer roller in the conveyance direction and applied with the transfer roller. One A first squeegee that scrapes off the first squeegee, and a first squeegee that is disposed downstream of the first squeegee in the transport direction and is in sliding contact with the surface of the substrate, and further scrapes off the filler left scraped by the first squeegee. 2 squeegees, a plurality of pressurizing means arranged on the back side of the substrate in a direction orthogonal to the transport direction and pressing the substrate, and the pressing forces of the plurality of pressurizing means are set independently. Pressing means,
The printed wiring board hole filling, wherein the transport speed V and the peripheral speed Vr are set to V <Vr, and the axial length Lr and the length L are set to Lr <L equipment.
2) The printed wiring board formed by a hole filling process for filling the filling material into the through hole of the substrate having a through hole, 1) Symbol manufacture of printed wiring board produced using the printed circuit board hole filling device mounting A method of applying the filler to the surface of the substrate with the transfer roller and filling the through hole with the filler; and filling the surface of the substrate with the first and second squeegees. producing how the printed wiring board and a step of scraping the wood after the other, and curing the filling material filled in the through hole, the.

本発明によれば、パッドやスタックビアの剥離が発生せず信頼性が高いプリント配線板を製造できるという効果を奏する。
また、製造工程や工数を減らして安価にプリント配線板を製造できるという効果を奏する。
According to the present invention, there is an effect that a highly reliable printed wiring board can be manufactured without causing peeling of pads and stack vias.
In addition, the printed circuit board can be produced at low cost by reducing the number of manufacturing steps and man-hours.

本発明のプリント配線板孔埋め装置の実施例を説明する図である。It is a figure explaining the Example of the printed wiring board hole-filling apparatus of this invention. 本発明の実施例で製造するプリント配線板の一例を説明する図である。It is a figure explaining an example of the printed wiring board manufactured in the Example of this invention. 本発明のプリント配線板孔埋め装置の実施例の第1の要部を説明する図である。It is a figure explaining the 1st principal part of the Example of the printed wiring board hole-filling apparatus of this invention. 本発明のプリント配線板孔埋め装置の実施例の第2の要部を説明する図である。It is a figure explaining the 2nd principal part of the Example of the printed wiring board hole-filling apparatus of this invention. 本発明の実施例の第2の要部の作用を説明する図である。It is a figure explaining the effect | action of the 2nd principal part of the Example of this invention. 本発明の実施例の第3の要部とその作用を説明する斜視図である。It is a perspective view explaining the 3rd principal part of the Example of this invention, and its effect | action. 本発明のプリント配線板孔埋め装置の実施例における第4の要部を説明する図である。It is a figure explaining the 4th principal part in the Example of the printed wiring board hole-filling apparatus of this invention. 本発明の実施例により製造したプリント配線板の一例を示す部分断面図である。It is a fragmentary sectional view which shows an example of the printed wiring board manufactured by the Example of this invention.

本発明の実施の形態を、好ましい実施例により図1〜図8を用いて説明する。
図1は、本発明のプリント配線板孔埋め装置の実施例を説明する図であり、
図2は、本発明の実施例で製造するプリント配線板の一例を説明する図であり、
図3は、本発明のプリント配線板孔埋め装置の実施例の第1の要部を説明する図であり、
図4は、本発明のプリント配線板孔埋め装置の実施例の第2の要部を説明する図であり、
図5は、本発明の実施例の第2の要部の作用を説明する図であり、
図6は、本発明の実施例の第3の要部とその作用を説明する斜視図であり、
図7は、本発明のプリント配線板孔埋め装置の実施例における第4の要部を説明する図であり、
図8は、本発明の実施例により製造したプリント配線板の一例を示す部分断面図である。
The preferred embodiments of the present invention will be described with reference to FIGS.
FIG. 1 is a diagram for explaining an embodiment of the printed wiring board hole-filling device of the present invention,
FIG. 2 is a diagram illustrating an example of a printed wiring board manufactured in an embodiment of the present invention.
FIG. 3 is a diagram for explaining a first main part of an embodiment of the printed wiring board hole-filling device of the present invention,
FIG. 4 is a diagram for explaining a second main part of the embodiment of the printed wiring board hole-filling device of the present invention,
FIG. 5 is a diagram for explaining the operation of the second main part of the embodiment of the present invention.
FIG. 6 is a perspective view for explaining the third main part of the embodiment of the present invention and its operation,
FIG. 7 is a diagram for explaining a fourth main part in the embodiment of the printed wiring board hole-filling device of the present invention,
FIG. 8 is a partial cross-sectional view showing an example of a printed wiring board manufactured according to the embodiment of the present invention.

本発明のプリント配線板孔埋め装置とそれを用いてプリント配線板を製造する方法について説明する。
まず、当実施例で製造するプリント配線板の基体であるコア基板1(以下、基板1と称する)を図2を用いて説明する。
The printed wiring board hole filling apparatus of the present invention and a method for producing a printed wiring board using the same will be described.
First, a core substrate 1 (hereinafter referred to as a substrate 1) which is a base of a printed wiring board manufactured in this embodiment will be described with reference to FIG.

この基板1は、幅W,長さL,厚さtからなる矩形薄板で、ガラスエポキシ等のプリント配線板用として周知の材料で形成されている。
幅W方向の両端部側には、多層整合用の基準孔1Hが複数設けられており、その基準孔1Hを含む、両端から距離W1までの所定範囲が、充填材等を付着させてはいけない付着禁止エリアAとされている。
基板1の付着禁止エリアA以外の部分(塗布エリアB)は、IVH2が所定数設けられている。
この実施例において、各寸法は、W=406mm,L=340mm,t=1.0mm,W1=13mm である。
The substrate 1 is a rectangular thin plate having a width W, a length L, and a thickness t, and is formed of a known material for a printed wiring board such as glass epoxy.
A plurality of multi-layer matching reference holes 1H are provided on both end sides in the width W direction, and a predetermined range from the both ends to the distance W1 including the reference holes 1H should not be attached with a filler or the like. It is designated as an adhesion prohibition area A.
A portion (application area B) other than the adhesion prohibition area A of the substrate 1 is provided with a predetermined number of IVH2.
In this embodiment, the dimensions are W = 406 mm, L = 340 mm, t = 1.0 mm, W1 = 13 mm.

図1は、上述した基板1のIVH2に充填材3を充填するプリント配線板孔埋め装置と充填工程とを説明するための側面図である。
充填材3としては、市販のフィルドビア用の充填ペーストあるいはインクを用いることができるがこれらに限るものではない。導電性を得る場合には、金属フィラーを含有したペーストを使用することができる。
FIG. 1 is a side view for explaining a printed wiring board hole filling apparatus for filling IVH 2 of substrate 1 with filler 3 and a filling process.
As the filler 3, a commercially available filled paste or ink for filled vias can be used, but is not limited thereto. In order to obtain conductivity, a paste containing a metal filler can be used.

この孔埋め装置80は、充填材収容部6,転写ローラ5,スキージ装置7A,7B及び基板搬送手段8を備えており、充填材3が充填される基板1は、当図の搬送方向Dに向けて搬送手段8により搬送される。   The hole-filling device 80 includes a filler accommodating portion 6, a transfer roller 5, squeegee devices 7A and 7B, and a substrate conveying means 8. The substrate 1 filled with the filler 3 is arranged in the conveying direction D in FIG. Then, it is conveyed by the conveying means 8.

また、基板1に対して転写ローラ5の反対側に加圧ローラ10を設けても良い。
図1にはこの加圧ローラ10を記載してあり、その詳細については後述する。
Further, a pressure roller 10 may be provided on the opposite side of the transfer roller 5 with respect to the substrate 1.
FIG. 1 shows the pressure roller 10, and details thereof will be described later.

転写ローラ5は、軸5Aを中心に当図の矢印方向に回動する長さLr(図の奥行き方向)の円筒状に形成され、搬送される基板1の下面1bに当接するように配置されている。
この幅Lrは、基板1の塗布エリアBの幅と同じに設定されており、当実施例ではLr=W−W1×2=380mmと設定されている。
充填材供給部6は充填材3を収容する容器であり、転写ローラ5はその一部がこの容器に収容された充填材3に浸るように配置されている。
2つのスキージ装置7A,7Bは、搬送される基板1を挟むように概ね対向して配置された一対のスキージをそれぞれ備えている。
The transfer roller 5 is formed in a cylindrical shape having a length Lr (in the depth direction in the drawing) that rotates in the direction of the arrow in the drawing around the shaft 5A, and is disposed so as to contact the lower surface 1b of the substrate 1 being conveyed. ing.
This width Lr is set to be the same as the width of the application area B of the substrate 1, and in this embodiment, Lr = W−W1 × 2 = 380 mm.
The filler supply unit 6 is a container for storing the filler 3, and the transfer roller 5 is disposed so that a part of the transfer roller 5 is immersed in the filler 3 stored in the container.
The two squeegee devices 7A and 7B are each provided with a pair of squeegees arranged so as to face each other so as to sandwich the substrate 1 to be conveyed.

ここで、スキージ7A,7Bについて詳述する。以下の説明において、スキージ7Aを第1のスキージと称し、スキージ7Bを第2のスキージと称する。   Here, the squeegees 7A and 7B will be described in detail. In the following description, the squeegee 7A is referred to as a first squeegee, and the squeegee 7B is referred to as a second squeegee.

まず第1のスキージ7Aについて図3(A)及び図4を用いて説明する。
第1のスキージ7Aは、転写ロール5で転写された充填材の余剰分を最初に掻き取るスキージであり、基板1を挟んで対向する一対のスキージを備えている。
この一対のスキージは、弾性を有するスキージ本体7Aaとこれを保持するスキージホルダ7Abを備えて成る。
First, the first squeegee 7A will be described with reference to FIGS.
The first squeegee 7 </ b> A is a squeegee that first scrapes off an excess of the filler transferred by the transfer roll 5, and includes a pair of squeegees that face each other with the substrate 1 interposed therebetween.
The pair of squeegees includes an elastic squeegee main body 7Aa and a squeegee holder 7Ab for holding the squeegee main body 7Aa.

スキージ本体7Aaは、硬度90のウレタンゴムを用い、厚さt7=10mm,幅W7=50mm,長さ(当図の奥行き)L7=384mmとされた矩形板状部材である。また、先端部が基板1とほぼ直交するように(アタック角θ1が約90°)配置されている。
このスキージ本体7Aaの材料としては、NBR(ニトリルブタジエンゴム)も好適である。
スキージホルダ7Abはアルミニウムで形成され、スキージ本体7Aaを固定するものである。
The squeegee main body 7Aa is a rectangular plate-like member made of urethane rubber having a hardness of 90, with a thickness t7 = 10 mm, a width W7 = 50 mm, and a length (depth in the drawing) L7 = 384 mm. Further, the tip portion is arranged so as to be substantially orthogonal to the substrate 1 (attack angle θ1 is about 90 °).
NBR (nitrile butadiene rubber) is also suitable as a material for the squeegee body 7Aa.
The squeegee holder 7Ab is made of aluminum and fixes the squeegee main body 7Aa.

また、第1のスキージ7Aは、スキージ先端部の基板1に当接する形状が略コ字状になるように構成されている。図4はこれを示し、第1のスキージ7Aのスキージ本体7Aa側から見た図である。
即ち、スキージ本体7Aaと、このスキージ本体7Aaの両端部にこれと略直交する向きに連接配置された一対のガイド部7Acと、スキージホルダ7Abと連接してガイド部7Acを保持するスキージホルダ7Adとを備えているものである。
このガイド部7Acは、充填材3を掻き出す作用よりは、主として付着禁止エリア側への充填材3のはみ出しを規制するものであるので、スキージ本体7Aaよりも硬度が軟らかいことが望ましい。
The first squeegee 7A is configured so that the shape of the squeegee tip contacting the substrate 1 is substantially U-shaped. FIG. 4 shows this, and is a view of the first squeegee 7A as viewed from the squeegee body 7Aa side.
That is, the squeegee main body 7Aa, a pair of guide portions 7Ac connected to both ends of the squeegee main body 7Aa in a direction substantially orthogonal thereto, and a squeegee holder 7Ad connected to the squeegee holder 7Ab and holding the guide portion 7Ac. It is equipped with.
Since this guide portion 7Ac mainly regulates the protrusion of the filler 3 toward the adhesion-prohibited area rather than the action of scraping out the filler 3, it is desirable that the guide portion 7Ac is softer than the squeegee body 7Aa.

このスキージ本体7Aaの奥行き長さLは、基板1の下面1bの充填剤塗布範囲と同等かそれよりも若干大きく設定されている。
当実施例では、片側に2mmずつ大きく設定されている。
また、転写ローラ5の長さLrに対しては、Lr<Lとなるように設定されている。
The depth length L of the squeegee body 7Aa is set to be equal to or slightly larger than the filler application range of the lower surface 1b of the substrate 1.
In this embodiment, it is set to be larger by 2 mm on one side.
The length Lr of the transfer roller 5 is set so that Lr <L.

次に第2のスキージ7Bについて図3(B)を用いて説明する。第2のスキージ7Bは、第1のスキージ7Aに次いで残った余剰の充填材を掻き取るスキージである。
この第2のスキージ7Bは、弾性を有するスキージ本体7Baとこれを保持するスキージホルダ7Bbとを備えている。
Next, the second squeegee 7B will be described with reference to FIG. The second squeegee 7B is a squeegee that scrapes off the surplus filler remaining after the first squeegee 7A.
The second squeegee 7B includes an elastic squeegee body 7Ba and a squeegee holder 7Bb for holding the squeegee main body 7Ba.

スキージ本体7Baは、硬度90のウレタンゴムを用い、厚さt7=10mm,幅W7=50mm,長さ(当図の奥行き)L7=500mmとされた矩形板状部材である。また、先端部は、基板1と直交するように配置された時のアタック角θ2が概ね45°となるように傾斜して先細りに形成されている。
このアタック角θ2は、充填材3の残分を良好に取り除くと共に後述するように充填した孔の表面の良好な平坦性を得るために30°〜80°の範囲に設定されるのが好ましい。
このスキージ本体7Baの材料としては、NBRも好適である。スキージホルダ7Bbは、アルミニウムで形成され、スキージ本体7Baを固定している。
The squeegee main body 7Ba is a rectangular plate-like member made of urethane rubber having a hardness of 90, with a thickness t7 = 10 mm, a width W7 = 50 mm, and a length (depth in the drawing) L7 = 500 mm. Further, the tip end portion is inclined and tapered so that the attack angle θ2 when it is arranged so as to be orthogonal to the substrate 1 is approximately 45 °.
This attack angle θ2 is preferably set in the range of 30 ° to 80 ° in order to remove the remainder of the filler 3 well and to obtain good flatness of the surface of the filled holes as described later.
NBR is also suitable as a material for the squeegee body 7Ba. The squeegee holder 7Bb is made of aluminum and fixes the squeegee body 7Ba.

次に、基板1に設けられたIVH2に充填材3を充填する工程について図1を用いて説明する。当図では、IVH2は省略している。
まず、充填材収容部6に浸った転写ローラ5が回転することでその表面に充填材3が付着し、この転写ローラ5が基板1を押圧しつつ矢印方向に回動することで、充填材3が基板1の下面1bの塗布エリアBに転写塗布される。
この転写塗布により、IVH2の孔に充填材3が充填される。
そして、基板1は、第1のスキージ7Aの間を、次いで第2のスキージ7Bの間を通過しつつ矢印の方向Dに向けて搬送される。
Next, the process of filling the filler 3 into the IVH 2 provided on the substrate 1 will be described with reference to FIG. In this figure, IVH2 is omitted.
First, when the transfer roller 5 immersed in the filler accommodating portion 6 rotates, the filler 3 adheres to the surface thereof, and the transfer roller 5 rotates in the direction of the arrow while pressing the substrate 1. 3 is transferred and applied to the application area B of the lower surface 1 b of the substrate 1.
By this transfer coating, the filler 3 is filled in the holes of IVH2.
Then, the substrate 1 is conveyed in the direction D of the arrow while passing between the first squeegee 7A and then between the second squeegees 7B.

第1及び第2のスキージ7A,7Bを基板1に押し当てて摺接させるためにこれらに与える圧力は、シリンダ直径φ10mmのエアシリンダ(図示せず)をスキージホルダ7Ab,7Bbに当てることで行い、この付与圧力を0.2Mpaとしている。
これは、0.1Mpa程度の低い圧力にすると基板1の表面をしっかりと掻くことができず多くの充填材3が残ってしまい、逆に0.3Mpa程度の高い圧力にすると、スキージ本体7Aa,7Baが過剰に変形してIVH2に充填した充填材3の表面の適切な凸量(後述する10μm以下)が得られないためである。
In order to press the first and second squeegees 7A and 7B against the substrate 1 to be brought into sliding contact with each other, the pressure applied thereto is performed by applying an air cylinder (not shown) having a cylinder diameter of φ10 mm to the squeegee holders 7Ab and 7Bb. The application pressure is 0.2 Mpa.
This is because if the pressure is as low as about 0.1 Mpa, the surface of the substrate 1 cannot be firmly scratched and a large amount of filler 3 remains, and conversely, if the pressure is as high as about 0.3 Mpa, the squeegee body 7Aa, This is because 7Ba is excessively deformed and an appropriate convex amount (10 μm or less to be described later) on the surface of the filler 3 filled with IVH2 cannot be obtained.

基板1の表面に転写された充填材3は、第1のスキージ7Aによりその余剰の大部分が掻き取られ、次いで第2のスキージ7Bにより、第1のスキージ7Aで掻き残された余剰残分を確実に掻き取る。
この2段階の掻き取りにより、充填材3の余剰分は確実に掻き取られ、IVH2に充填された充填材3の表面は基板1の上下面1a,1bに対して少なくとも凹むことはない。
Most of the surplus of the filler 3 transferred to the surface of the substrate 1 is scraped off by the first squeegee 7A, and then surplus residue scraped off by the first squeegee 7A by the second squeegee 7B. Make sure to scrape.
By this two-step scraping, the surplus portion of the filler 3 is reliably scraped off, and the surface of the filler 3 filled in the IVH 2 is not at least recessed with respect to the upper and lower surfaces 1a and 1b of the substrate 1.

このようにしてIVH2に充填された充填材3の表面2a,2bが、凹まず、かつ、基板1の上下面1a,1bからの凸量dが10μm以下となっていれば、後工程でこの直上に形成されるパッドやビアが良好に形成できる。   If the surfaces 2a and 2b of the filler 3 filled in IVH2 in this way are not concave and the convex amount d from the upper and lower surfaces 1a and 1b of the substrate 1 is 10 μm or less, this will be performed in a later step. Pads and vias formed immediately above can be formed satisfactorily.

実施例においては、充填材3(孔埋めインキ)としてタツタシステム・エレクトロニクス株式会社製のビアフィル用ペーストAE1125V2を用いた。   In the examples, via fill paste AE1125V2 manufactured by Tatsuta System Electronics Co., Ltd. was used as filler 3 (hole filling ink).

ところで、上述したように、この第1のスキージ7Aを基板1の下面1bに押圧して接触させ、基板1を方向Dに搬送し転写ローラ5で塗布された充填材3の余剰分を掻き出して除去すると、スキージ本体7Aaにより掻き出された充填材3は、一対のガイド部7Acに遮られて付着禁止エリアA側にはみ出すことがない(図5参照)。
そのため、掻き取り後に基板1の表面に薄膜状に残存するわずかな充填材は、スキージ本体7Aaの奥行き長L内に収まり充填材付着禁止エリアAには残存しない。
従って、この付着禁止エリアAの充填材除去工程が不要になるので、安価にプリント配線板を製造することができる。
By the way, as described above, the first squeegee 7A is pressed and brought into contact with the lower surface 1b of the substrate 1, the substrate 1 is conveyed in the direction D, and the surplus portion of the filler 3 applied by the transfer roller 5 is scraped off. When removed, the filler 3 scraped out by the squeegee body 7Aa is blocked by the pair of guide portions 7Ac and does not protrude to the adhesion prohibition area A side (see FIG. 5).
Therefore, a small amount of filler remaining in the form of a thin film on the surface of the substrate 1 after scraping falls within the depth length L of the squeegee body 7Aa and does not remain in the filler adhesion prohibition area A.
Therefore, since the filling material removal step in the adhesion prohibition area A is not necessary, a printed wiring board can be manufactured at a low cost.

図5においては、第2のスキージ7Bを省略しているが、上述のように、第1のスキージ7Aで大部分の余剰充填材3が除去できるので、第2のスキージ7Bはコ字状でなくても充填材付着禁止エリアAに充填材が付着することはない。もちろん、コ字状であってもよいことは言うまでもない。   In FIG. 5, the second squeegee 7B is omitted. However, as described above, most of the excess filler 3 can be removed by the first squeegee 7A. Even if it does not exist, the filler does not adhere to the filler adhesion prohibition area A. Of course, it goes without saying that it may be U-shaped.

次に、スキージに付着したインクの回収について詳述する。
掻き取りによりスキージに付着した樹脂が基板へ再付着した場合、安定した充填が行えなくなったり、また、充填した樹脂硬化後の平坦性を確保するための研磨が困難になるという問題がある。また、充填を必要最小限のインクで無駄なく行うためにはインク余剰分を効率よく回収して再利用することが好ましい。
また、スキージ自体を常にきれいに保つことは装置の保守、ひいては品質向上の観点から重要である。
Next, collection of ink attached to the squeegee will be described in detail.
When the resin adhering to the squeegee is reattached to the substrate by scraping, there is a problem that stable filling cannot be performed, and polishing for ensuring flatness after curing of the filled resin becomes difficult. In addition, in order to perform filling with a minimum amount of ink without waste, it is preferable to efficiently recover and reuse excess ink.
Moreover, it is important to keep the squeegee itself clean at all times from the viewpoint of maintenance of the apparatus and, consequently, quality improvement.

ところで、スキージは、良好な掻き取り性を発揮するため適度なアタック角度を有することが必要であるが、このようなアタック角度を有してスキージ先端が形成されていると、この部分に付着した樹脂を除去してスキージを清掃することはかなり困難になる。
その点、実施例の充填装置は、複数のスキージすなわち第1及び第2のスキージ7A,7Bを備えており、それぞれのアタック角度を異なるものとし、多量の掻き取りをして充填材が付着し易い第1のスキージ7Aについては、そのアタック角度を約90°としているので、付着した充填材を取り除くことが極めて容易となっている。
即ち、充填材の多量の掻き取りが可能であると共にスキージに付着した樹脂の再回収や清掃が容易である、という効果が得られるものである。
この効果が最も顕著なアタック角度θ1は90°であるが、θ1=90°±10°であれば良好である。
By the way, the squeegee needs to have an appropriate attack angle in order to exhibit good scraping properties. However, when the tip of the squeegee is formed with such an attack angle, the squeegee adheres to this part. It becomes quite difficult to remove the resin and clean the squeegee.
In that respect, the filling device of the embodiment is provided with a plurality of squeegees, that is, the first and second squeegees 7A and 7B, each having a different attack angle, and a large amount of scraping is carried out to adhere the filler. The easy squeegee 7A has an attack angle of about 90 °, which makes it very easy to remove the adhering filler.
That is, it is possible to obtain an effect that a large amount of the filler can be scraped off and the resin attached to the squeegee can be easily recovered and cleaned.
The attack angle θ1 where this effect is most noticeable is 90 °, but it is good if θ1 = 90 ° ± 10 °.

一方、第2のスキージ7Bは、アタック角度θ2が30°〜80°に形成されているが、このスキージで除去する余剰充填材はわずかであってスキージに付着する充填材3も微量であるから、頻繁に再回収や掃除をする必要はない。
このように、充填材3の孔への充填と、不要な充填材3の掻き取りと、スキージ7Aaに付着した充填材3の回収とを、それぞれ極めて良好に行うことができるのである。
On the other hand, the second squeegee 7B is formed with an attack angle θ2 of 30 ° to 80 °, but the surplus filler removed by this squeegee is very small and the filler 3 adhering to the squeegee is very small. There is no need to re-collect or clean frequently.
As described above, the filling of the filler 3 into the holes, scraping of the unnecessary filler 3 and the recovery of the filler 3 attached to the squeegee 7Aa can be performed very well.

ここで、第1のスキージ7Aに付着した充填材3の除去(回収と清掃)について図6を用いて詳述する。   Here, the removal (recovery and cleaning) of the filler 3 attached to the first squeegee 7A will be described in detail with reference to FIG.

実施例の充填装置80は、第1のスキージ7Aの基板1の搬送上流側に、このスキージ7Aに付着した充填材を掻き取るワイパー9を備えている。
図6(A)は、第1のスキージ7Aにより、図の矢印D方向に搬送される基板1表面の充填材3が掻き取られる工程を示している。
スキージ本体7Aaは、上述した適切な圧力で基板1を挟むように(矢印Pの方向に)付勢している。
一方、ワイパー9は、図示しないワイパー保持装置によりスキージ7Aから離間した待機位置に配置されている。
The filling device 80 of the embodiment includes a wiper 9 that scrapes off the filler adhering to the squeegee 7A on the upstream side of the substrate 1 of the first squeegee 7A.
FIG. 6A shows a process in which the filler 3 on the surface of the substrate 1 conveyed in the direction of arrow D in the figure is scraped off by the first squeegee 7A.
The squeegee body 7Aa is urged so as to sandwich the substrate 1 with the appropriate pressure described above (in the direction of arrow P).
On the other hand, the wiper 9 is disposed at a standby position separated from the squeegee 7A by a wiper holding device (not shown).

図6(B)は、基板1がスキージ7Aを通過した状態を示している。
この状態においては、基板が通過したことで一対のスキージ本体7Aa,7Aaは互いに当接し、その表面には掻き出した充填材3の一部が付着している。
FIG. 6B shows a state where the substrate 1 has passed through the squeegee 7A.
In this state, the pair of squeegee main bodies 7Aa and 7Aa are in contact with each other due to the passage of the substrate, and a part of the scraped filler 3 is attached to the surface.

図6(C)は、ワイパー9がスキージ7Aに当接するように移動し、スキージ7Aa,7Aaの表面を上方から下方に摺動して充填材3を除去する工程を示している。
ワイパー9は、ワイパー保持装置の動作により符号9aで示す移動経路で移動し、充填材3をスキージ本体7Aaから掻き取ってその下方に配置してある充填材収容部6内に落下させる。これにより余剰充填材3が回収される。
ワイパー9がスキージ7Aa上を移動して樹脂を払拭する範囲は、上下のスキージ7Aaの一端から他端までの全面とすることが望ましいが、少なくとも対の上側のスキージ7Aaに付着しているインクのみを掻き取るようにしてもよい。
その後、ワイパー9は符号9bで示す移動経路で待機位置に戻る。
このワイパー9による充填材除去回収動作は、基板1の搬送動作と連動して基板1枚毎に行うように設定されている。
FIG. 6C shows a process in which the wiper 9 moves so as to contact the squeegee 7A, and the filler 3 is removed by sliding the surface of the squeegees 7Aa and 7Aa downward from above.
The wiper 9 moves along the movement path indicated by reference numeral 9a by the operation of the wiper holding device, scrapes the filler 3 from the squeegee main body 7Aa and drops it into the filler accommodating portion 6 disposed below the wiper 9. Thereby, the surplus filler 3 is recovered.
The range in which the wiper 9 moves on the squeegee 7Aa and wipes the resin is desirably the entire surface from one end to the other end of the upper and lower squeegees 7Aa, but only the ink adhered to at least the upper squeegee 7Aa. You may make it scrape.
Thereafter, the wiper 9 returns to the standby position along the movement route indicated by reference numeral 9b.
The filler removal and collection operation by the wiper 9 is set to be performed for each substrate in conjunction with the transport operation of the substrate 1.

この除去回収動作により、第1のスキージ7Aに付着した充填材3は確実に回収されると共にスキージ本体7Aaの表面は常にきれいに保たれ、この孔埋め装置で製造するプリント配線板の品質が向上する。
充填材3の回収は、図6のように充填材収容部6に直接回収しなくてもよく、別の回収容器に回収するようにしてもよい。
By this removal and recovery operation, the filler 3 attached to the first squeegee 7A is reliably recovered and the surface of the squeegee body 7Aa is always kept clean, and the quality of the printed wiring board manufactured by this hole filling device is improved. .
The collection of the filler 3 does not have to be directly collected in the filler container 6 as shown in FIG. 6, but may be collected in another collection container.

さて、発明者は、充填すべき孔の深さDPと径Dとの比率DP/D(アスペクト比)が大きい孔や極小径の孔に対しても、充填材を極めて良好に充填できるための工夫について鋭意研究した結果、基板1の搬送速度Vよりも転写ロール5の周速度Vrを速くすることでこれを実現できることを見いだした。
この関係により充填性能が飛躍的に向上することが判明し、さらに研究の結果、この速度比Vr/Vを、 2≦Vr/V≦5 と設定することで、孔のアスペクト比や孔径の大小によらず、常に良好な充填性を得ることができることを見いだした。
Now, the inventor is able to fill the filler very well even for a hole having a large ratio DP / D (aspect ratio) DP / D (aspect ratio) between the depth DP and the diameter D of the hole to be filled. As a result of earnest research on the device, it has been found that this can be realized by making the peripheral speed Vr of the transfer roll 5 faster than the transport speed V of the substrate 1.
From this relationship, it has been found that the filling performance is drastically improved. As a result of further research, by setting this speed ratio Vr / V as 2 ≦ Vr / V ≦ 5, the aspect ratio of the hole and the size of the hole diameter Regardless of this, it has been found that good filling properties can always be obtained.

速度比Vr/Vを0.6〜5.4の範囲としてアスペクト比が0.8〜5.0の孔に対する充填性を評価した結果を表1に示す。
この評価は、
◎:充填性,生産性,スキージング性の全てが良好
○:スキージング性は普通で他の2つは良好
△:充填性は良好であるが、他の2つは劣る
×:生産性,スキージング性は良いが充填性が劣る
××:充填性,生産性ともに劣る
の5段階評価で行った。評価項目の重み付けとしては、充填性(未充填やボイドの無い充填)を第一優先項目とし、生産性とスキージング性は付加的項目としている。
これは、充填性が劣るということが、基板としての基本性能を失ってしまう致命的な問題だからである。
5段階評価の◎,○,△が基板として使用できるものである。
Table 1 shows the results of evaluating the filling properties with respect to holes having an aspect ratio of 0.8 to 5.0 with the speed ratio Vr / V in the range of 0.6 to 5.4.
This evaluation is
◎: Filling property, productivity, and squeezing property are all good ○: The squeezing property is normal and the other two are good △: The filling property is good, but the other two are inferior ×: Productivity, The squeezing property is good, but the filling property is inferior. As the weighting of the evaluation items, filling property (unfilling or filling without voids) is the first priority item, and productivity and squeezing property are additional items.
This is because the poor fillability is a fatal problem that loses the basic performance as a substrate.
Five-level evaluations ◎, ○, △ can be used as substrates.

Figure 0004835702
この表から、アスペクト比によらず、速度比Vr/VがVr/Vで基板の性能が確保され使用可能であり、特に、2.0〜5.0の範囲において、極めて安定し優れた充填性が得られることがわかる。
Figure 0004835702
From this table, regardless of the aspect ratio, the speed ratio Vr / V is Vr / V and the performance of the substrate is ensured and can be used. Especially, in the range of 2.0 to 5.0, extremely stable and excellent filling It can be seen that sex is obtained.

次に、加圧ローラ10について詳述する。
図7は、図1における転写ロール5の位置を左方向から見た図である。
回転軸5Aを有する転写ロール5によりコア基板1は下方から押圧される一方、基板1のその反対側面は、複数の加圧ローラ10A〜10Cにより上方から押圧されている。この押圧は、加圧ローラ10A〜10Cにそれぞれ連結したシリンダ10A1〜10C1により行われ、各押圧力Pa,Pb,Pcは各シリンダ毎に独立して設定することができるように構成されている。
Next, the pressure roller 10 will be described in detail.
FIG. 7 is a view of the position of the transfer roll 5 in FIG. 1 as viewed from the left.
The core substrate 1 is pressed from below by the transfer roll 5 having the rotating shaft 5A, while the opposite side surface of the substrate 1 is pressed from above by the plurality of pressure rollers 10A to 10C. This pressing is performed by cylinders 10A1 to 10C1 respectively connected to the pressure rollers 10A to 10C, and the pressing forces Pa, Pb, and Pc can be set independently for each cylinder.

図1及び図7において、この加圧ローラ10は、転写ロール5に対向する位置に配置されているが、基板1の搬送方向D及び基板1の幅方向(図7の左右方向)において自由な位置に配置することができる。   1 and 7, the pressure roller 10 is disposed at a position facing the transfer roll 5, but is free in the transport direction D of the substrate 1 and the width direction of the substrate 1 (left and right direction in FIG. 7). Can be placed in position.

この構成によれば、基板1に対して、充填すべき孔の分布密度に対応した最適な充填を行うことができる。具体的には、孔の分布密度が高い範囲に対応する加圧ローラの加圧力を他の範囲の加圧力より大きくする。
これにより、孔の分布密度が高くても、その分加圧力を大きくされているので各孔への充填が十分に成され、基板面内での充填ばらつきが抑えられて高品質のプリント配線板を製造することができる。
According to this configuration, optimal filling corresponding to the distribution density of the holes to be filled can be performed on the substrate 1. Specifically, the pressing force of the pressure roller corresponding to the range where the distribution density of the holes is high is made larger than the pressing force of the other ranges.
As a result, even if the distribution density of the holes is high, the applied pressure is increased accordingly, so that each hole is sufficiently filled, and variation in filling in the substrate surface is suppressed, and a high-quality printed wiring board. Can be manufactured.

図8は、上述した実施例で製造したプリント配線板の一例を示す断面図である。
このプリント配線板90は、コア基板92にIVH2を有しており、実施例の装置及びそれを用いた方法によりIVH2に充填材3が適切に充填され、その後、充填材3を硬化し、IVH2の両端部2a,2bが極めて平坦に形成されたものである。
従って、IVH2の直上に形成されたスタックビア91とIVH2間の剥離が発生することがなく、信頼性の極めて高いプリント配線板である。
FIG. 8 is a cross-sectional view showing an example of a printed wiring board manufactured in the above-described embodiment.
This printed wiring board 90 has IVH2 on the core substrate 92. The filler 3 is appropriately filled in the IVH2 by the apparatus of the embodiment and the method using the same, and then the filler 3 is cured, and the IVH2 is cured. Both end portions 2a and 2b are formed extremely flat.
Therefore, peeling between the stack via 91 and the IVH 2 formed immediately above the IVH 2 does not occur, and the printed wiring board is extremely reliable.

本発明の実施例は、上述した構成及び手順に限定されるものではなく、本発明の要旨を逸脱しない範囲において変形例としてもよいのは言うまでもない。
上述の実施例では、貫通孔をIVH2として説明したがTHにおいてももちろん同様に実施することができる。
The embodiment of the present invention is not limited to the configuration and procedure described above, and it goes without saying that modifications may be made without departing from the scope of the present invention.
In the above-described embodiment, the through-hole is described as IVH2, but the same can be applied to TH as well.

1 (コア)基板
1a 上面
1b 下面
1H 基準孔
2 IVH
2a,2b 表面(端面)
3 充填材
3a,3b 余剰充填材
5 転写ローラ
5A 軸
6 充填材収容器
7A,7B 第1,第2のスキージ装置
7Aa,7Ba スキージ本体
7Ab,7Bb,7Ad,7Bd スキージホルダ
7Ac ガイド部
8 搬送手段
9 ワイパー
10 加圧ローラ
80 孔埋め装置
90 プリント配線板
92 コア基板
A 付着禁止エリア
B 塗布エリア
D 搬送方向
L,Lg,Lr 長さ
Pa〜Pc 加圧力
W,W1 幅(距離)
d 凸量
t 厚さ
θ1,θ2 アタック角度
1 (Core) substrate 1a Upper surface 1b Lower surface 1H Reference hole 2 IVH
2a, 2b Surface (end face)
3 Filler 3a, 3b Excess filler 5 Transfer roller 5A Shaft 6 Filler container 7A, 7B First and second squeegee devices 7Aa, 7Ba Squeegee body 7Ab, 7Bb, 7Ad, 7Bd Squeegee holder 7Ac Guide part 8 Conveying means 9 Wiper 10 Pressure roller 80 Hole filling device 90 Printed wiring board 92 Core substrate A Adhesion prohibition area B Application area D Transport direction L, Lg, Lr Length Pa to Pc Pressure W, W1 Width (distance)
d Convex amount t Thickness θ1, θ2 Attack angle

Claims (2)

貫通孔を有する基板の前記貫通孔に充填材を充填して孔埋め処理を行うプリント配線板孔埋め装置において、
前記基板を所定の搬送方向に搬送速度Vで搬送する搬送手段と、
周速度Vrで回動し、所定の軸方向長さLrの周面が前記基板の表面に当接するよう配置され、前記周面に付着させた充填材を前記基板の表面に転写塗布する転写ローラと、
所定長さLで形成され、搬送される前記基板に対し前記転写ローラの当接範囲を含むよう前記搬送方向に直交して配置されたスキージ本体と、前記スキージ本体の両端において前記スキージ本体と直交する向きに連接配置された一対のガイド部と、を有し、前記転写ローラよりも前記搬送方向下流側で搬送される前記基板の表面に摺接すると共に前記転写ローラで塗布された前記充填材の一部を掻き取る第1のスキージと、
前記第1のスキージよりも前記搬送方向下流側に配置されて前記基板の表面に摺接し、前記第1のスキージで掻き残された充填材をさらに掻き取る第2のスキージと、
前記基板の裏面側に前記搬送方向に直交する方向に並べて配設され前記基板を押圧する複数の加圧手段と、
前記複数の加圧手段の押圧力をそれぞれ独立して設定する押圧手段と、
を備え、
前記搬送速度Vと前記周速度VrとがV<Vrとされ、前記軸方向長さLrと前記長さLとがLr<Lとされていることを特徴とするプリント配線板孔埋め装置。
In a printed wiring board hole filling apparatus that performs a hole filling process by filling a filler in the through hole of a substrate having a through hole,
Transport means for transporting the substrate in a predetermined transport direction at a transport speed V;
A transfer roller that rotates at a peripheral speed Vr, is arranged so that a peripheral surface having a predetermined axial length Lr abuts on the surface of the substrate, and transfers and applies a filler adhered to the peripheral surface to the surface of the substrate. When,
A squeegee body formed with a predetermined length L and disposed perpendicular to the transport direction so as to include the contact range of the transfer roller with respect to the substrate to be transported, and perpendicular to the squeegee body at both ends of the squeegee body A pair of guide portions that are connected in a direction to be slidably contacted with the surface of the substrate that is transported downstream of the transfer roller in the transport direction and of the filler applied by the transfer roller. A first squeegee that scrapes off a portion;
A second squeegee that is disposed downstream of the first squeegee in the transport direction and is in sliding contact with the surface of the substrate, and further scrapes off the filler left scraped by the first squeegee;
A plurality of pressurizing means for pressing the substrate arranged in a direction orthogonal to the transport direction on the back side of the substrate;
Pressing means for independently setting the pressing forces of the plurality of pressing means;
With
The printed wiring board hole-filling device, wherein the transport speed V and the peripheral speed Vr are V <Vr, and the axial length Lr and the length L are Lr <L.
貫通孔を有する基板の前記貫通孔に充填材を充填する孔埋め処理がされて成るプリント配線板を、請求項1記載のプリント配線板孔埋め装置を用いて製造するプリント配線板の製造方法であって、
前記基板の表面に前記充填材を前記転写ローラで塗布して前記貫通孔に前記充填材を充填する工程と、
前記第1及び第2のスキージで前記基板の表面の前記充填材を相前後して掻き取る工程と、
前記貫通孔に充填された前記充填材を硬化させる工程と、を有することを特徴とするプリント配線板の製造方法。
The printed wiring board formed by a hole filling process for filling the filling material into the through hole of the substrate having a through-hole, a manufacturing method of a printed wiring board produced by using the filling printed circuit board holes according to claim 1 Symbol mounting device Because
Applying the filler to the surface of the substrate with the transfer roller and filling the through hole with the filler;
Scraping back and forth the filler on the surface of the substrate with the first and second squeegees;
Curing the filler filled in the through hole. A method for manufacturing a printed wiring board, comprising:
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