JP4841135B2 - Conductive pad, sensor having conductive pad, and method of manufacturing conductive pad - Google Patents
Conductive pad, sensor having conductive pad, and method of manufacturing conductive pad Download PDFInfo
- Publication number
- JP4841135B2 JP4841135B2 JP2004351424A JP2004351424A JP4841135B2 JP 4841135 B2 JP4841135 B2 JP 4841135B2 JP 2004351424 A JP2004351424 A JP 2004351424A JP 2004351424 A JP2004351424 A JP 2004351424A JP 4841135 B2 JP4841135 B2 JP 4841135B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- conductive pad
- lead wire
- adhesive paste
- terrace
- paste
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
Images
Landscapes
- Connections Effected By Soldering, Adhesion, Or Permanent Deformation (AREA)
- Electric Connection Of Electric Components To Printed Circuits (AREA)
Description
本発明は、導電性パッドおよび導電性パッドを有するセンサー並びに導電性パッドの製造方法に関し、詳しくは導電性が良く、リード線との接着強度の高い導電性パッドおよび導電性パッドを有するセンサー並びに導電性パッドの製造方法に関する。 The present invention relates to a conductive pad, a sensor having a conductive pad, and a method for manufacturing the conductive pad. More specifically, the present invention relates to a conductive pad having good conductivity and high adhesion strength to a lead wire, and a sensor having a conductive pad and a conductive layer. The present invention relates to a method for manufacturing a conductive pad.
導電性パッドとリード線との接合構造は各種の電子機器には欠かせない部分である。導電性パッドを配置した基板上のパッドにリード線を接続した接続構造は製作が簡単な故に多用されている。一方、小型で精密な電子機器の場合、接続構造の性能は重要であり、特に、導電性パッドとリード線との接続構造の強度は断線や接触不良の原因になることがあり製造上や取扱上の注意点となっていた。この接合部における導電性パッドとリード線の接続法は溶着、接着、圧着、嵌着、はんだ付けなどがあり、溶着には超音波、レーザなどを使用する場合もある。その中でも、簡単で確実に接続する方法として導電性の接着ペーストにより導電性パッドとリード線を接着し、これを高温で焼結して完全に接続する方法が優れた方法として知られている。この方法は工程が自動化しやすく、小型で高価な白金導電性パッドと白金リード線の白金ペーストによる接続などに用いられている。しかし、白金ペーストが高価なため、少量の白金ペーストで十分な接着強度を得るための入念な事前検討が必要だという難点があった。そこで、特許文献1には接着ペーストとはんだ付けの共用による導電性パッドとリード線接続方法が提案されている。しかし、二つの方法を共用すれば工程は複雑にならざるを得ない。
The joint structure between the conductive pad and the lead wire is an indispensable part for various electronic devices. A connection structure in which a lead wire is connected to a pad on a substrate on which a conductive pad is arranged is frequently used because it is easy to manufacture. On the other hand, in the case of small and precise electronic equipment, the performance of the connection structure is important. In particular, the strength of the connection structure between the conductive pad and the lead wire may cause disconnection or contact failure. It was a note on the above. There are welding, bonding, crimping, fitting, soldering, and the like as a method for connecting the conductive pad and the lead wire at the joint, and ultrasonic waves, lasers, or the like may be used for welding. Among them, as an easy and reliable method of connecting, a method of bonding a conductive pad and a lead wire with a conductive adhesive paste and sintering it at a high temperature to make a complete connection is known as an excellent method. This method is easy to automate the process, and is used for connecting a small and expensive platinum conductive pad and a platinum lead wire with a platinum paste. However, since the platinum paste is expensive, there has been a problem that a careful prior study for obtaining sufficient adhesive strength with a small amount of platinum paste is necessary. Therefore,
本発明は、導電性パッド上に接着ペーストを用いてリード線端部を結線する際、リード線と導電性パッドとの接着不良によるリード線の剥離や、結線不良による導電性不良のない接続構造を持った導電性パッドの提供を目的としている。また、本発明では、上記導電性パッドを有するセンサーの提供を目的としている。さらに、本発明では、上記接続構造を有する導電性パッドの好適な製造方法の提供を目的としている。 The present invention provides a connection structure in which, when an end portion of a lead wire is connected to a conductive pad using an adhesive paste, the lead wire is peeled off due to poor adhesion between the lead wire and the conductive pad, or no conductive failure is caused due to poor connection. The purpose is to provide a conductive pad having a surface. Another object of the present invention is to provide a sensor having the conductive pad. Furthermore, an object of the present invention is to provide a suitable method for producing a conductive pad having the above connection structure.
課題を解決するための本発明の手段は、
(1) リード線を接続した結線部を有する導電性パッドであって、前記結線部は、複数段の段丘状構造を成し、前記段丘状構造を形成する各段丘それぞれは接着ペーストで形成されており、かつ、上段の段丘は下段の段丘上のみに直接に形成されている導電性パッドである。
(2) 前記段丘状構造は、前記上段の段丘と前記下段の段丘の境界部において前記下段の段丘に窪みのない構造である(1)に記載の導電性パッドである。
(3) 前記段丘状構造が2段構造である(1)または(2)に記載の導電性パッドである。
(4) (1)〜(3)のいずれかに記載の導電性パッドを有するセンサーである。
(5) リード線結線部に少なくとも1回以上第1の接着ペーストを塗布した後に加熱乾燥処理して下段の段丘を形成し、形成した前記下段の段丘の面上にのみに直接に第2の接着ペーストを塗布し、塗布した前記第2の接着ペーストにリード線端部を接続し、塗布した前記第2の接着ペーストを加熱乾燥後に焼成して上段の段丘を形成する導電性パッドの製造方法である。
(6) 前記第1の接着ペーストの塗布、加熱乾燥処理それぞれを1回とする(5)に記載の導電性パッドの製造方法である。
(7) (5)または(6)に記載の導電性パッドの製造方法により製造した導電性パッドを有するセンサーの製造方法である。
The means of the present invention for solving the problems are as follows:
(1) A conductive pad having a connection portion to which a lead wire is connected , wherein the connection portion forms a multi-tiered terrace structure, and each terrace forming the terrace-like structure is formed of an adhesive paste. The upper terrace is a conductive pad formed directly only on the lower terrace .
(2) the terraces like structure is a conductive pad according to a structure without recesses on the lower part of the terraces at the boundary of the terrace of the lower and the upper terrace (1).
(3) The conductive pad according to (1) or (2), wherein the terrace structure is a two-stage structure.
(4) A sensor having the conductive pad according to any one of (1) to (3).
(5) The first adhesive paste is applied to the lead wire connection portion at least once and then heat-dried to form a lower terrace, and the second terrace is directly applied only on the surface of the lower terrace . preparation of an adhesive paste is applied to connect the lead wire end portions coated with the second adhesive paste, the conductive pad by firing the coated second adhesive paste after heating and drying to form a upper terrace Is the method.
(6) The method for producing a conductive pad according to (5), wherein the application of the first adhesive paste and the heat drying treatment are performed once.
(7) A method for manufacturing a sensor having a conductive pad manufactured by the method for manufacturing a conductive pad according to (5) or (6).
本発明の導電性パッドは、リード線との接着強度が高くリード線に応力がかかってもリード線が導電性パッドから剥がれることがない。特に、硬度のあるリード線の場合でも導電性パッド面に垂直な方向にリード線に応力がかかっても簡単に導電性パッドから剥がれることがない。接着ペーストを塗布して焼成して接着する方法であるので、接着性がよく接着部での導電性不良が起き難い特長も備えている。このような導電性パッドはセンサーのような小型で精密な電子機器の部品として優れたものである。さらに、本発明のリード線接続構造を持つ導電性パッドの製造方法は、従来の接着ペーストによるリード線の接着方法と同じ装置が使用でき、従来のような接着ペースト選択、加熱乾燥条件、焼成条件の検討など、事前の詳細な接着条件の試行錯誤もほとんど必要なく強度の高い導電性パッドを提供できる。 The conductive pad of the present invention has high adhesive strength with the lead wire, and the lead wire is not peeled off from the conductive pad even if stress is applied to the lead wire. In particular, even in the case of a lead wire having hardness, even if a stress is applied to the lead wire in a direction perpendicular to the surface of the conductive pad, it does not easily peel off from the conductive pad. Since the adhesive paste is applied and baked and bonded, it has a good adhesiveness and is difficult to cause poor conductivity at the bonded portion. Such a conductive pad is excellent as a component of a small and precise electronic device such as a sensor. Furthermore, the manufacturing method of the conductive pad having the lead wire connection structure of the present invention can use the same apparatus as the lead wire bonding method using the conventional adhesive paste, and the conventional adhesive paste selection, heat drying conditions, and firing conditions. Thus, it is possible to provide a conductive pad with high strength with little need for trial and error of detailed bonding conditions in advance.
本発明の導電性パッドは、接着ペーストを導電性パッド上に複数段の段丘状構造に形成してリード線を接着している導電性パッドである。さらに、導電性パッド上に形成されている接着ペーストの段丘状構造が、上段が下段の接着ペースト面上にのみ形成されており、上段と下段の境界部において下段側に窪みのない構造の導電性パッドであることが好ましい。複数段の段丘状構造とは、例えば二段重ねの鏡餅のような形状である。上からの投影面積は、上段の鏡餅は下段の鏡餅より小さく下段の餅の上部に重なるように乗っている。ただし、鏡餅と異なるのは上段と下段は完全に密着しており、上段と下段の境界部において落ち込んだり切れ込んだりしている窪みのない構造が好ましい。窪みがないとは、この段丘構造の境界部分を縦に切断したとき、段丘構造の表面の表す線を水平方向をX軸方向、垂直方向をY軸方向として表すと、この線のXでの微分曲線が零または正の範囲にある構造である。特に、上段と下段の境界部の下段側に窪みがあるとこの部分でリード線が剥離しやすくなるので好ましくない。この窪みには亀裂状の窪みを含み、通常亀裂が最も剥離を起こし易い。図1には2本のリード線が結線されている本発明の導電性パッドを有するセンサーの例を示している。図2にはそのリード線の接続部分のひとつをリード線側から見た状態が示してある。下段の段丘状の接着ペースト4は薄く広がりを持って導電性パッドに接着して導電性パッドと接着ペーストとを完全に接続している。さらに上段の段丘状の接着ペースト5は下段の接着ペースト4上に盛り上がるように接着している。この接着ペースト5はリード線3の結線部分である端部を包み込むようにしてリード線3を接着している。なお、リード線の端部とはリード線の最先端の断面部のみでなく、先端部の側面を含めた結線すべき部分全体をいっている。これにより、第1の接着ペーストと第2の接着ペーストが完全に接着されており、さらに第2の接着ペーストとリード線も強固に接着されている。言い換えれば、下段の低く広がった接着ペーストの丘の上に盛り上がった上段の接着ペーストの丘があり、上段の丘からリード線が突き出している外観となっている。このようなリード線の接着構造がリード線と導電性パッドとの剥離が最も起こり難い構造であると言える。
The conductive pad of the present invention is a conductive pad in which a lead wire is bonded by forming an adhesive paste on the conductive pad in a stepped structure. Further, the terrace structure of the adhesive paste formed on the conductive pad is formed only on the adhesive paste surface in which the upper stage is the lower stage, and the conductive structure has a structure with no depression on the lower stage side at the boundary between the upper stage and the lower stage. It is preferable that it is a property pad. The multi-tiered terrace structure is, for example, a shape like a two-tiered mirror. The projected area from above is such that the upper mirror is smaller than the lower mirror and is placed on top of the lower one. However, the difference from the mirror is that the upper and lower stages are completely in close contact with each other, and a structure having no depression that falls or cuts at the boundary between the upper and lower stages is preferable. When there is no depression, when the boundary portion of this terrace structure is cut vertically, the line representing the surface of the terrace structure is expressed as the X direction in the horizontal direction and the Y axis direction in the vertical direction. The differential curve is in the zero or positive range. In particular, if there is a dent on the lower side of the boundary between the upper stage and the lower stage, it is not preferable because the lead wire easily peels off at this part. This depression includes a crack-like depression, and the crack is usually most likely to be peeled off. FIG. 1 shows an example of a sensor having a conductive pad of the present invention in which two lead wires are connected. FIG. 2 shows a state where one of the lead wire connecting portions is viewed from the lead wire side. The lower terrace adhesive paste 4 spreads thinly and adheres to the conductive pad to completely connect the conductive pad and the adhesive paste. Furthermore, the upper terrace
図2に示す接着構造に変わって、図3に示すようなリード線の接着構造もリード線と導電性パッドとの剥離を防ぐという面からは良好な構造である。しかし、接着ペーストが多量に必要であり実用的ではない、とくに、白金ペーストのような高価な接着ペーストを使用する場合は避けるべきである。また、接着構造としては図4、図5のようなものもあるが、いずれも導電性パッドとリード線の剥離が起こり易く使用状の問題がある。図6や図7のような複数段の段丘構造になっていれば使用は可能であるが、これらは下段の段丘上の上段との境界付近に窪みがあり、図2の構造と比べれば剥離強度が落ちる。このように本発明の接着構造の導電性パッドはリード線が比較的硬い白金線などで接着ペーストが高価な白金ペーストの場合などは特に有効である。少量の接着ペーストで最大の接着効果を上げることができるからである。 Instead of the bonding structure shown in FIG. 2, the bonding structure of the lead wire as shown in FIG. 3 is also a good structure from the viewpoint of preventing the separation of the lead wire and the conductive pad. However, a large amount of adhesive paste is necessary and impractical, and should be avoided especially when using an expensive adhesive paste such as platinum paste. Also, there are adhesive structures as shown in FIGS. 4 and 5, both of which have a problem of usage because the conductive pads and lead wires are easily peeled off. It can be used if it has a multi-tiered terrace structure as shown in FIG. 6 or FIG. 7, but these have a dent near the upper stage on the lower terrace, and are peeled off compared to the structure of FIG. The strength drops. As described above, the conductive pad having the adhesive structure of the present invention is particularly effective when the lead wire is a relatively hard platinum wire or the like and the adhesive paste is expensive. This is because the maximum adhesive effect can be increased with a small amount of adhesive paste.
高価な白金を用いた導電性パッドの使用例として図1に示すようなセンサーがある。センサーは電極との一体化、感度が高く安定性があり、使用環境の影響を受け難い等の理由で白金製のパッドやリード線が使用される場合が多い。このような場合でも少量の接着用白金ペーストで確実にリード線が接着結線されている接着端子をもつ本発明の導電性パッドは有効に使用できる。 As an example of use of a conductive pad using expensive platinum, there is a sensor as shown in FIG. Sensors are often used with platinum pads and lead wires because they are integrated with electrodes, have high sensitivity and stability, and are not easily affected by the usage environment. Even in such a case, the conductive pad of the present invention having an adhesive terminal in which the lead wire is securely bonded with a small amount of bonding platinum paste can be used effectively.
通常、本発明の導電性パッドの接続構造部は基板上に、導電性パッド、リード線、接着ペーストを有しているが、それぞれの材料はどのようなものでも良く用途に合わせて選べばよい。導電性パッド基板は焼成温度や絶縁性を考慮してセラミックス製の材料が用いられる。導電性パッド、リード線、接着ペーストは銅、金、銀、白金製などを使用することが多い。特に、白金のような高価な材料を用いるときに本発明の効果は大きい。 Usually, the conductive pad connection structure of the present invention has a conductive pad, lead wire, and adhesive paste on the substrate, but any material may be selected according to the application. . The conductive pad substrate is made of a ceramic material in consideration of firing temperature and insulation. The conductive pads, lead wires, and adhesive pastes are often made of copper, gold, silver, platinum or the like. In particular, the effect of the present invention is great when an expensive material such as platinum is used.
本発明の導電性パッドはリード線の接続部分が重要であるので、好適な本発明の導電性パッド製造方法をリード線接続構造の製造方法を中心に説明する。まず、基板上に配置された導電性パッド上のリード線結線部およびその付近に、通常は1回、場合によっては2回以上第1の接着ペーストを塗布し加熱乾燥処理する。第1の接着ペーストは工業的にはディスペンサーを用いて加熱乾燥処理後に薄く広がった状態になるよう広めに塗布するとよい。また、第1の接着ペーストの粘度はあまり高くないほうがよい。粘度が高すぎるとディスペンサーの出口から良好に塗布できなくなることがある。また、加熱乾燥処理後に薄く広がった状態になり難いという欠点がある。粘度範囲としては、120〜300Pa秒、好ましくは150〜250Pa秒とすることが望ましい。 Since the connecting portion of the lead wire is important for the conductive pad of the present invention, a preferred method for manufacturing the conductive pad of the present invention will be described focusing on the manufacturing method of the lead wire connecting structure. First, the first adhesive paste is applied to the lead wire connection portion on the conductive pad disposed on the substrate and the vicinity thereof, usually once, or more than once in some cases, and heat-dried. Industrially, the first adhesive paste may be applied widely using a dispenser so that the first adhesive paste spreads thinly after heat drying. Also, the viscosity of the first adhesive paste should not be so high. If the viscosity is too high, coating may not be performed satisfactorily from the outlet of the dispenser. In addition, there is a drawback that it is difficult to be thinly spread after the heat drying treatment. The viscosity range is 120 to 300 Pa seconds, preferably 150 to 250 Pa seconds.
このようにして導電性パッド上の加熱乾燥処理した接着ペースト上に、図8に示すように第2の接着ペーストを、ディスペンサー等で盛り上がりを持たせて団子状に塗布する。第2の接着ペーストは第1の接着ペーストと同じ物でもよいし、変更してもよい。ディスペンサー等での作業性を阻害しない範囲で、比較的粘度の高い接着ペーストが使い易い。粘度が低すぎると後述のリード線を接着し加熱乾燥する際に、接着ペーストが下へ流れてしまいリード線を纏着した状態でなくなって図5に近い状態になってしまう。粘度範囲としては、150〜500Pa秒、好ましくは200〜300Pa秒とすることが望ましい。 As shown in FIG. 8, the second adhesive paste is applied in a dumpling form with a dispenser or the like on the adhesive paste heat-dried on the conductive pad in this manner. The second adhesive paste may be the same as the first adhesive paste or may be changed. An adhesive paste having a relatively high viscosity is easy to use within a range that does not impede workability with a dispenser or the like. If the viscosity is too low, when a lead wire described later is bonded and heat-dried, the adhesive paste flows downward, so that the lead wire is not put together and is in a state close to FIG. The viscosity range is 150 to 500 Pa seconds, preferably 200 to 300 Pa seconds.
この団子状の接着ペーストにリード線端部を前記第2の接着ペーストに纏着されるように差し込んで接続することが好ましい。なお、先にリード線端部を加熱乾燥処理した第1の接着ペースト上に配置し、後からこの上から第2の接着ペーストを纏着するように塗布してもよい。このリード線を取り付けた導電性パッドを加熱乾燥した後焼成することにより、リード線が導電性パッドに完全に接続結線され、リード線接続構造が完成し、本発明の導電性パッドの製造される。 It is preferable that the end portion of the lead wire is inserted and connected to the dumpling adhesive paste so as to be attached to the second adhesive paste. Alternatively, the end portion of the lead wire may be placed on the first adhesive paste that has been heat-dried first, and then the second adhesive paste may be applied from above. The conductive pad to which the lead wire is attached is heated and dried and then fired, whereby the lead wire is completely connected to the conductive pad, the lead wire connection structure is completed, and the conductive pad of the present invention is manufactured. .
第1および第2の接着ペーストは通常の結線用の接着ペーストならどのようなものでもよい。銅ペースト、銀ペースト、白金ペーストなど被接着物の材質や用途によって選べばよい。接着ペーストの種類によって加熱乾燥処理、焼成処理等の条件は異なるが、市販品であれば製品仕様に従って処理すればよい。通常は、加熱乾燥処理は100℃前後で5〜30分程度でよい。また、焼成条件は800〜1500℃で10〜30分程度でよい。また、第1の接着ペーストと第2の接着ペーストとの使用量比は特に制限はないが、通常は1対0.1〜10、好ましくは1対0.2〜5程度でよい。 The first and second adhesive pastes may be any conventional adhesive paste for connection. What is necessary is just to choose according to the material and use of an adherend, such as copper paste, silver paste, and platinum paste. Depending on the type of adhesive paste, conditions such as heat drying treatment and baking treatment are different, but if it is a commercial product, it may be treated according to product specifications. Usually, the heat drying treatment may be about 5 to 30 minutes at around 100 ° C. The firing conditions may be 800-1500 ° C. for about 10-30 minutes. The amount ratio of the first adhesive paste and the second adhesive paste is not particularly limited, but is usually 1 to 0.1 to 10, preferably about 1 to 0.2 to 5.
この導電性パッドの製造方法において注意をするのは、図2に示したように第2の接着ペーストがリード線の端部を十分に纏着、すなわち包み込むように接着することが好ましい。この状態は加熱乾燥処理、焼成処理が終了した後の製品の状態で特に重要である。また、図6や図7に示すように製品になったときに上段と下段の接着ペーストの境界付近に亀裂などの窪みが生じないようにすることが好ましい。このような不具合を避けるためには、上述のように接着ペーストの粘度を調整することで簡単に改善できる。接着ペーストの粘度は接着ペースト用の添加剤の加減により調整すればよい。このような製造方法により製造された導電性パッドを用いることは、接着性の優れた結線部を持つ本発明のセンサーの製造方法として有効である。 In the manufacturing method of the conductive pad, it is preferable to attach the second adhesive paste so that the end portions of the lead wires are sufficiently attached, that is, wrapped, as shown in FIG. This state is particularly important in the state of the product after the heat drying treatment and baking treatment are completed. Moreover, it is preferable to prevent a dent such as a crack from occurring near the boundary between the upper and lower adhesive pastes when the product becomes a product as shown in FIGS. In order to avoid such problems, it can be easily improved by adjusting the viscosity of the adhesive paste as described above. The viscosity of the adhesive paste may be adjusted by adjusting the additive for the adhesive paste. Using a conductive pad manufactured by such a manufacturing method is effective as a method for manufacturing the sensor of the present invention having a connection portion with excellent adhesiveness.
(実施例1〜9)
図1に示すように、セラミックス製の基板1上に白金パッド2を備えたセンサー10のリード線3の接続部に第1の接着用白金ペースト(田中貴金属株式会社製白金ペーストTR7905)をディスペンサーにより0.25mg塗布し、ホットプレート上で100℃で15分間加熱乾燥処理した。これを室温に冷却し、第2の接着用白金ペースト(田中貴金属株式会社製白金ペーストTR7905)を図8に示すように加熱乾燥処理した第1の接着用白金ペースト上にディスペンサーにより0.2mg塗布する。この際、第2の接着用白金ペーストはおよそ半球状または鏡餅状に盛り上がった形状にする。図8では加熱乾燥処理した第1の接着用白金ペーストを符号4で表し、第2の接着用白金ペーストを符号5で表している。図8を参照して説明すると、鏡餅状の接着ペースト5の中央部付近に向けて白金製リード線3の端部を差し込み、白金製リード線3の結線部となるべき端部を鏡餅状の接着ペースト5が包み込むような状態にする。これをホットプレート上で100℃で15分間加熱乾燥処理し、さらに焼成炉で1300℃で15分間焼成し白金パッド2にリード線3を完全に接着した。実施例においてはすべて2段の段丘状構造の接着ペーストが形成されていた。
(Examples 1-9)
As shown in FIG. 1, a first bonding platinum paste (platinum paste TR7905 manufactured by Tanaka Kikinzoku Co., Ltd.) is applied to a connecting portion of a
ここで、実施例1〜9の違いは接着ペースト1および2の粘度を変化させている点である。表1に各実施例で使用したの接着ペーストを示している。表中、Aは低粘度接着ペーストで粘度は175Pa秒、Bは中粘度接着ペーストで粘度は235Pa秒、Cは高粘度接着ペーストで粘度は400Pa秒である。なお、白金ペーストの粘度調整は市販の粘度調節用希釈剤(TMS−1:田中貴金属株式会社製)を用いた。
Here, the difference between Examples 1-9 is that the viscosity of the
このようにして作成した段丘状構造を持つ白金パッドの作成時の作業性、および白金パッドへのリード線の接続状態を評価した。白金パッド作成時の作業性の評価結果は表2に、リード線の接続状態の評価を表3に示した。各実施例および下記の比較例のサンプルは10個作って評価した。また、引張り強度はリード線を白金パッド平面に対し垂直な方向へ引っ張ったときの剥離強度である。 The workability at the time of creating the platinum pad having the terrace structure thus created and the connection state of the lead wire to the platinum pad were evaluated. Table 2 shows the evaluation results of workability at the time of preparing the platinum pad, and Table 3 shows the evaluation of the connection state of the lead wires. Ten samples of each example and the following comparative examples were made and evaluated. The tensile strength is the peel strength when the lead wire is pulled in a direction perpendicular to the plane of the platinum pad.
(比較例1〜3)
上記実施例における第1の接着用白金ペースト塗布および加熱乾燥処理を行わず、直接白金パッド上に上記第2の接着用白金ペースト0.45mgをディスペンサーによりおよそ半球状または鏡餅状に盛り上がった形状に塗布し、これに白金製リード線3を差し込む。白金製リード線を差し込んだ工程以降は上記実施例と同様にして白金パッド2にリード線3を接着した。比較例においてはすべて段丘状構造は形成されていなかった。実施例と同様に表1に使用した接着ペーストの粘度を、表2に作業性の評価結果を、表3にリード線の接続状態の評価結果を示した。
(Comparative Examples 1-3)
Without applying the first adhesive platinum paste and heating and drying in the above example, 0.45 mg of the second adhesive platinum paste was directly formed on the platinum pad into a shape that was hemispherically or mirror-shaped by a dispenser. The
ディスペンサーによる作業性の相対評価
○ 作業性良
△ 作業性普通
× 作業性難あり
第1の接着ペーストは低粘度のものが加熱乾燥処理後平らに拡がり第2の接着ペーストを最も塗布しやすい状態であった。
第2の接着ペーストは中粘度のものが白金リード線接着後、加熱乾燥処理したのちも白金リード線を包み込むように接着ペーストが第1の接着ペーストおよび白金リード線に付着し、相対的に最も良好な状態であった。
高粘度ペーストは塗布用のディスペンサーからの口離れが悪く作業性はよくなかった。
Relative evaluation of workability with a dispenser ○ Good workability △ Normal workability × Difficult workability The first adhesive paste is a low-viscosity one that spreads flatly after heat drying and is most easily applied with the second adhesive paste. there were.
The second adhesive paste having medium viscosity adheres to the first adhesive paste and the platinum lead wire so as to wrap the platinum lead wire after heat drying after the platinum lead wire is bonded. It was in good condition.
The high-viscosity paste had poor mouth-opening from the dispenser for application, and the workability was not good.
外観評価
× すべてにひび割れまたは剥がれが見られる。
△ 使用上問題ない程度の小さなのひび割れまたは剥がれが見られるものがある。
○ 明確なひび割れまたは剥がれが見られるものはないが、接着ペースト形状がいびつなものがある。
◎ ひび割れまたは剥がれが見られるものはない。接着ペースト形状も良好である。
Appearance evaluation x Cracking or peeling is observed in all.
△ Some cracks or flaking can be seen to the extent that there is no problem in use.
○ There are no clear cracks or peeling, but there are some adhesive paste shapes that are distorted.
◎ Nothing is cracked or peeled off. The adhesive paste shape is also good.
上記表1〜3から判るように、強度、外観とも接着ペースト1度塗りで2段の段丘状になっていない比較例に比べて、接着ペースト2度塗りにより2段の段丘状にした接着部は引張り強度、外観とも明らかに良好である。中でも、第1の接着ペーストを低粘度ペースト、第2の接着ペーストを中粘度ペーストとすることが作業性も含めて最もよい。また、中粘度または低粘度のペーストを用いておれば作業性、製品とも良好な結果が得られる。高粘度ペーストを用いても作業性を問題にしなければ剥離強度には問題のない製品ができる。 As can be seen from Tables 1 to 3 above, compared to the comparative example in which the strength and the appearance are both applied with the adhesive paste and not in the two-step terrace shape, the adhesive portion formed in the two-step terrace shape by applying the adhesive paste twice. Is clearly good both in tensile strength and appearance. Among these, it is best to use the first adhesive paste as a low-viscosity paste and the second adhesive paste as a medium-viscosity paste, including workability. In addition, if a paste having a medium viscosity or a low viscosity is used, good workability and product results can be obtained. Even if a high-viscosity paste is used, if the workability is not a problem, a product with no problem in peel strength can be obtained.
本発明の導電性パッドは、耐久性があり信頼性の高い接続部品として各種の電子機器、特にセンサーなどの精密機器に有効に使用できる。また、本発明の導電性パッドの製造方法は工程が簡単で自動化しやすく、小型で高価な白金製導電性パッドと白金リード線の導電性パッドの製造などに用いることができる。 The conductive pad of the present invention can be effectively used in various electronic devices, particularly precision devices such as sensors, as a durable and highly reliable connecting component. Further, the method for producing a conductive pad according to the present invention is simple and easy to automate, and can be used for producing a small and expensive platinum conductive pad and a conductive pad of a platinum lead wire.
1 導電性パッドの基板
2 導電性パッド
3 リード線
4 下段の接着ペースト
5 上段の接着ペースト
6 センサーの電極部分
10 本発明のリード線付き導電性パッドを有するセンサー
11 接着ペーストの上段と下段の境界部における下段の窪み
DESCRIPTION OF
Claims (7)
前記結線部は、複数段の段丘状構造を成し、
前記段丘状構造を形成する各段丘それぞれは接着ペーストで形成されており、かつ、上段の段丘は下段の段丘上のみに直接に形成されている導電性パッド。 A conductive pad having a connection portion to which a lead wire is connected ,
The connecting portion has a terraced structure with a plurality of steps ,
Each terrace forming the terrace-like structure is formed by bonding paste, and, the upper part of the terraces conductive pad is directly formed only on terraces lower.
形成した前記下段の段丘の面上にのみに直接に第2の接着ペーストを塗布し、
塗布した前記第2の接着ペーストにリード線端部を接続し、
塗布した前記第2の接着ペーストを加熱乾燥後に焼成して上段の段丘を形成する導電性パッドの製造方法。 After applying the first adhesive paste at least once to the lead wire connection part, heat drying treatment to form the lower terrace,
Apply the second adhesive paste directly only on the surface of the lower terrace formed ,
Connect the lead wire end portions coated with the second adhesive paste,
A method for producing a conductive pad, wherein the applied second adhesive paste is baked after being heated and dried to form an upper terrace .
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2004351424A JP4841135B2 (en) | 2004-12-03 | 2004-12-03 | Conductive pad, sensor having conductive pad, and method of manufacturing conductive pad |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2004351424A JP4841135B2 (en) | 2004-12-03 | 2004-12-03 | Conductive pad, sensor having conductive pad, and method of manufacturing conductive pad |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2006164616A JP2006164616A (en) | 2006-06-22 |
| JP4841135B2 true JP4841135B2 (en) | 2011-12-21 |
Family
ID=36666395
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2004351424A Expired - Fee Related JP4841135B2 (en) | 2004-12-03 | 2004-12-03 | Conductive pad, sensor having conductive pad, and method of manufacturing conductive pad |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP4841135B2 (en) |
Family Cites Families (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS57103421A (en) * | 1981-11-02 | 1982-06-28 | Kenji Machida | Band pass filter circuit |
| JPH01160423A (en) * | 1987-12-17 | 1989-06-23 | Iseki & Co Ltd | Grain culm binder |
| JP2000311732A (en) * | 1999-04-26 | 2000-11-07 | Ishikawajima Harima Heavy Ind Co Ltd | Lead wire connection structure of thin metal body |
-
2004
- 2004-12-03 JP JP2004351424A patent/JP4841135B2/en not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP2006164616A (en) | 2006-06-22 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| CN110226363B (en) | Ceramic copper circuit board and semiconductor device using the same | |
| JP3921459B2 (en) | Mounting method and mounting apparatus for electrical parts | |
| JP5363839B2 (en) | Bump, method for forming bump, and method for mounting substrate on which bump is formed | |
| KR101861469B1 (en) | Assembly of ceramic member and metallic member, and method for producing same | |
| TW200807464A (en) | Ceramic electronic component and method of producing the same | |
| JPH02123685A (en) | Method of bonding wire containing gold with solder | |
| CN105099370B (en) | The processing method of preposition frequency mixer | |
| JP2008283184A (en) | Sintered power semiconductor substrate and manufacturing method therefor | |
| WO2019089728A1 (en) | Conductive paste for bonding and method for its use in manufacturing an electronic device | |
| WO2017073299A1 (en) | Ultrasonic soldering method and ultrasonic soldering device | |
| CN106463845A (en) | Wafer having an electric connection element and connecting element fitted thereto | |
| JP3928376B2 (en) | Chip coil | |
| JP4841135B2 (en) | Conductive pad, sensor having conductive pad, and method of manufacturing conductive pad | |
| TW201126842A (en) | Socket connector having contact terminal tail with split solder ball retained thereon and method fabricating the same | |
| JP6263146B2 (en) | Substrate with conductive film, method for producing the same, and conductive paste for polyimide substrate | |
| JP6084915B2 (en) | Bonded body of ceramic member and metal member and manufacturing method thereof | |
| JP5642312B1 (en) | Semiconductor device and manufacturing method thereof | |
| JP4759689B2 (en) | Method for manufacturing flexible conductor and method for manufacturing compression-type copper tube terminal | |
| CN111095680B (en) | Press-in pin and method for producing a press-in pin | |
| JP4978307B2 (en) | Electronic component with lead wire, and method for manufacturing electronic component with lead wire | |
| WO1998058409A1 (en) | Process for mounting semiconductor chip, process for manufacturing chip-on-chip structure, and process for manufacturing chip-on-board structure | |
| JP6519440B2 (en) | Method of manufacturing terminal-equipped electric wire, and crimping jig | |
| EP3588035A1 (en) | A wire bonding arrangement and method of manufacturing a wire bonding arrangement | |
| CN114291783A (en) | Pressure sensor with fine multi-lead and preparation method thereof | |
| JP2000100601A (en) | Chip resistor |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20071120 |
|
| A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20091222 |
|
| A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20100129 |
|
| A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20100324 |
|
| A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20100910 |
|
| A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20101207 |
|
| A911 | Transfer to examiner for re-examination before appeal (zenchi) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A911 Effective date: 20101214 |
|
| A912 | Re-examination (zenchi) completed and case transferred to appeal board |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A912 Effective date: 20110318 |
|
| A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 |
|
| A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20111004 |
|
| R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 Ref document number: 4841135 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20141014 Year of fee payment: 3 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20141014 Year of fee payment: 3 |
|
| R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
| R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
| R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
| R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
| R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
| R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
| R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
| R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |