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JP4844403B2 - 半導体集積回路 - Google Patents
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JP4844403B2 - 半導体集積回路 - Google Patents

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Description

本発明は、可変可能な容量素子を組み込んだ半導体集積回路に関する発明である。
半導体集積回路にフィルタや増幅器などのアナログ回路を構成する場合に、抵抗素子および容量素子を用いる必要がある。例えば、フィルタは抵抗、容量値を可変可能な容量、および演算増幅器(OPアンプ)で構成することができる。例えば1次のハイパスフィルタはOPアンプの入力端子に第1の抵抗を設け、OPアンプの入力端子と出力端子間に第2の抵抗を設け、第1の抵抗に直列に容量を設けることで構成できる。また、1次のローパスフィルタは第2の抵抗と並列に容量を設けることで構成できる。2次のバンドパスフィルタは第1の抵抗に直列に容量を設け、第2の抵抗に並列に容量を設けることで構成できる。このようなフィルタについては、そのカットオフ周波数は抵抗と容量の積による時定数で決定される。
近年、上記のようなフィルタ等の回路は無線送受信機用の半導体集積回路に組み込まれている。無線送受信機のフィルタは所望の信号を精度よく切り出す必要があり、カットオフ周波数のばらつきは誤動作の原因となる。一方、半導体集積回路で抵抗素子および容量素子を同時に作り込む場合は製造誤差により素子値がばらつき、また温度特性により動作温度に依存して素子値が変動する。例えば容量素子の容量値で±20%、抵抗素子の抵抗値で±20%の誤差があるとした場合にこれらの誤差を時定数に換算すると、目標の時定数が100%のとき誤差の範囲は±40%以上の値となる。
したがって、所望のカットオフ周波数を得るために抵抗値と容量値の積による時定数を制御する必要があり、このような方法の1つとしてフィルタに用いる容量の容量値を可変にして時定数を制御する方法がある。フィルタ内に設けた容量の容量値を制御する技術は特許文献1乃至特許文献3に記載されている。
特開平05―180881号公報 特開2003―258604号公報 特開2000―41434号公報
上記のような、容量を可変して、製造誤差による時定数を制御する際は、時定数を構成する回路の測定を行う必要が、測定回路を構成する基準電源や基準電流源の精度により正しく測定できない問題がある。
本発明の目的は、半導体集積回路における抵抗素子および容量素子の製造誤差および温度特性による素子値の変動を許容するために設けた可変容量を用いた回路により発生する時定数を半導体集積回路に設けた簡易な回路により精度よく測定することである。
本発明は、上述した目的を達成するために以下の手段を採用する。
第1の手段として、半導体集積回路において、第1電流源と第2電流源から構成する電流源回路と、第1電流源と基準電位を生じる点の間に設けた参照抵抗と、容量値を可変可能な可変容量との接続を切り替えて参照抵抗に発生する電圧による充電と放電とを交互に繰り返すことが可能なスイッチトキャパシタ回路と、第2電流源およびスイッチトキャパシタ回路と接続されそれぞれが出力する電流を積分して電圧に変換する積分回路と、積分回路の出力電圧と参照抵抗に発生する電圧とを比較する比較回路を設ける。
第2の手段として、第1手段の半導体集積回路の積分回路は、第2電流源およびスイッチトキャパシタ回路と接続される反転入力端子と、第1電流源と参照抵抗との間に発生する電圧を入力する非反転入力端子と、出力端子と反転入力端子間を接続する容量とを有するOPアンプからなる。
第3の手段として、第1手段の半導体集積回路のスイッチトキャパシタ回路は第1可変容量の両端にそれぞれ接続され所定周期信号によりスイッチングを行う第1スイッチと第2スイッチを備え、第1スイッチは基準電位を生じる点と接続した第1スイッチの第1端子と、参照抵抗と第1電流源の間に接続した第1スイッチの第2端子、第1可変容量と接続した第1スイッチの第3端子を有し、第2スイッチは積分回路と接続した第2スイッチ第1端子と、参照抵抗と第1電流源の間に接続した第2スイッチ第2端子と、第1可変容量と接続した第2スイッチ第3端子を有すること特徴とする半導体集積回路。
第4の手段として、半導体集積回路は容量を第2可変容量と接続されたフィルタ回路からなるフィルタ部と、第1可変容量と接続され可変容量と参照抵抗の積による時定数と基準時定数との大小を検出する検出回路からなる検出部と、検出部での検出結果に基づきフィルタ部の第2可変容量を制御する制御回路を備え、検出部は第1電流源と第2電流源から構成する電流源回路と、第1電流源と基準電位を生じる点の間に設けた参照抵抗と、容量を可変可能な第1可変容量の端子の接続を制御回路からの所定周期信号により切り替えて参照抵抗に発生する電圧による充電と放電とを交互に繰り返すことが可能なスイッチトキャパシタ回路と、第2電流源およびスイッチトキャパシタ回路と接続されそれぞれが出力する電流を積分して電圧に変換する積分回路と、積分回路の出力電圧と参照抵抗に発生する電圧とを比較する比較回路とを有する。
第5の手段として、半導体集積回路は可変容量と接続されたフィルタ回路からなるフィルタ部と、可変容量と接続された容量を検出する検出回路からなる検出部と、検出部での検出結果に基づきフィルタ部の可変容量を制御する制御回路を備え、検出部は第1電流源と第2電流源から構成する電流源回路と、第1電流源と基準電位を生じる点の間に設けた参照抵抗と、容量を可変可能な可変容量の端子の接続を制御回路からの所定周期信号により切り替えて参照抵抗に発生する電圧による充電と放電とを交互に繰り返すことが可能なスイッチトキャパシタ回路と、第2電流源およびスイッチトキャパシタ回路と接続されそれぞれが出力する電流を積分して電圧に変換する積分回路と、積分回路の出力電圧と参照抵抗に発生する電圧とを比較する比較回路とを有する。
本発明によれば、半導体集積回路における抵抗素子および容量素子の製造誤差および温度特性による素子値の変動を許容するために設けた可変容量の容量値を簡易な回路で正確に設定し制御できる。
以下、図面を参照して本発明の実施形態について説明する。実施形態の構成は例示であり、本発明は実施形態の構成に限定されない。
本発明を適用した半導体集積回路を図1に示す。図中に付した参照番号の1は半導体集積回路、2は制御回路、3はフィルタ部、4は検出部、5と7は可変容量、6はフィルタ構成回路、8は検出回路である。
半導体集積回路1の上に、制御回路2、フィルタ部3と検出部4を構成する。フィルタ部3はフィルタ装置として機能するため、可変容量5とフィルタ構成回路6から構成する。フィルタ構成回路6は、フィルタを構成する上で、可変容量以外の回路部を示す。検出部4は検出回路8と検出対象となる可変容量7から構成する。可変容量7は可変容量5と同一の半導体基板上に構成したものである。従って、可変容量7を測定することにより、等価的に可変容量5を測定したものと同じことになる。制御回路2は検出部4で検出した時定数をもとに、フィルタ部3の可変容量5を適切な容量値に制御する。以下、各部について詳細に述べる。
[半導体集積回路1]
例えば、半導体集積回路1は無線送受信機用の半導体集積回路である。1例として、無線送受信機用の半導体集積回路はOPアンプ、抵抗素子および容量素子とを接続したフィルタ回路を含んでいる。無線送受信機用のフィルタ回路は、取り扱う信号を精度よく切り出す必要があるため、カットオフ周波数を正確に設定し制御したい要求がある。
[制御回路2]
制御回路2は、フィルタのカットオフ周波数が目的の周波数を得るように、フィルタの時定数を最適な値に変更する制御を行う。具体的には、検出部4は可変容量7と検出回路8の内部の参照抵抗が作る時定数を基準の時定数と比較する機能を持ち、制御回路2は検出部4の可変容量7の容量値を設定し検出部4が時定数を比較した結果を基に、所望の時定数を得るための可変容量7の適切な容量値を探索する。制御回路2は可変容量7の容量値の探索結果を基に可変容量5の容量値を制御する。
このような制御回路を設けることで、複製品(レプリカ)の参照抵抗および可変容量7で検出する時定数が所望の値になるような可変容量の容量値を基に、実際の装置の可変容量5の容量値を制御できる。すなわち、制御回路2は実際に動作するフィルタ部3の抵抗素子および容量素子の製造ばらつきおよび温度特性による素子値の変動を間接的に知り、その値を制御することができる。本実施例における制御回路2は、実際にフィルタを構成する可変容量5とは別の可変容量7を用いて容量値を知るための制御をしている。この構成により、実際にフィルタを構成する可変容量5が動作中でも容量値の補正制御を行うことができる。
[フィルタ部3]
フィルタ部3内の可変容量5はフィルタ構成回路6と接続されている。フィルタ部3は可変容量5とフィルタ構成回路6により、フィルタを構成している。具体的には、可変容量5は負帰還系を構成するようにOPアンプの反転入力端子と出力端子の間に設けている。
フィルタ部3でローパスフィルタを構成する場合、可変容量5はフィルタ構成回路6を構成するOPアンプの反転入力端子と出力端子の間に設ける。ハイパスフィルタを構成する場合、可変容量5はフィルタ構成回路6を構成するOPアンプの入力端子に設ける。バンドパスフィルタを構成する場合、フィルタ構成回路6を構成するOPアンプの反転入力端子と出力端子の間と、OPアンプの入力端子に設ける。2次以上のフィルタあるいはバンドパスフィルタを構成する場合は可変容量5を複数必要とする。
[検出部4]
検出部4は検出回路8と可変容量7から構成している。検出回路8は、可変容量7を用いたスイッチトキャパシタに周期的に充電される電荷により発生する電流の積分値と、電流源22の電流の積分値とを比較している。比較結果は制御回路2に出力する。
[可変容量5と7]
図2は可変容量5および7の構成例を示している。可変容量5及び7は複数の容量素子を並列接続した容量アレイで構成することができ、ここでは4つの容量素子51乃至54を用いた例を示している。可変容量5及び7は、各容量素子を選択するためのスイッチ55乃至58を各容量素子に直列に接続する。可変容量5及び7は、スイッチ55乃至58を制御回路2からの制御信号で任意にオン/オフすることにより、容量値を変えることができる。実際の装置の信号処理を行う可変容量5及びその複製である可変容量7は寄生容量その他の副次的な効果を共有することにより容量値の制御の精度が向上するため、同一の容量アレイを基に構成することが望ましい。
[フィルタ部3の具体的構成]
図3はフィルタ部3の構成例と特性を示している。図3の構成は一実施例として1次のローパスフィルタを示している。しかし、本発明は1次のフィルタあるいはローパスフィルタの構成に限定されるものではなく、抵抗と可変容量を有する回路構成であれば良い。図3(a)のフィルタ部3はOPアンプ9と、抵抗10と、抵抗11からなるフィルタ構成回路6と可変容量5を有している。抵抗11はRの抵抗値を有し、OPアンプ9の反転入力端子に接続している。抵抗10はRの抵抗値を有している。可変容量5は、図2の構成を持ち、OPアンプ9の反転入力端子と出力端子間を接続し、Cの静電容量値を有している。Cの静電容量値は図2のスイッチ55乃至58の開閉により、Cの静電容量値を可変することができる。
図3(b)はフィルタ部3の特性を示している。点線で示した1/Rは図3(a)のフィルタ部3のカットオフ周波数を示している。R/Rは直流利得を示している。
(1/SC)/Rは減衰域における利得を示している。上記3つの式を見ると可変容量5の容量値Cを可変することで、任意のカットオフ周波数を得ることができる。
[検出部4の具体的構成]
図4は検出部4の具体的構成例を示す。検出部4は可変容量7と検出回路8とで構成する。
検出回路8は以下の電流源回路20、スイッチトキャパシタ回路(24,25,7)、積分回路30、参照抵抗23、基準電位31と比較回路29により構成する。
1. 電流源回路:
電流源回路20は電流源21と22から構成している。電流源21はI2の電流値を有している。電流源22はI1の電流値を有している。参照抵抗23はRrefの抵抗値を有し、電流源21と基準電位(一例としてアース)31間に接続されている。従って、参照抵抗23の両端には電圧値Vref=I2×Rrefが発生する。
2.スイッチトキャパシタ回路:
可変容量5の両端にはスイッチ24と25を設けている。可変容量5とスイッチ24と25によりスイッチトキャパシタ回路を構成している。スイッチ24と25は制御回路2からのFclkの周波数の所定周期信号により、端子a側あるいは端子b側に切り替えられる。この制御信号は、端子aと端子bの両方のスイッチが同時にオン状態にならないようなノンオーバーラップ信号で制御されるのが最良の状態である。また、スイッチ24と25がオフ状態に移行するタイミングは、常にほぼ一定の電位にあるスイッチ25が先に一瞬早くオフ状態に移行することで、スイッチトキャパシタの電荷注入の誤差を小さくすることができる。スイッチ24の端子aは基準電位(一例としてアース)31と接続している。スイッチ24の端子bは参照抵抗23と電流源21の間に接続されている。スイッチ25の端子aは積分回路30と接続している。スイッチ25の端子bは参照抵抗23と電流源21の間に接続されている。スイッチ24と25の端子bのスイッチが接続される状態では、1/(2Fclk)の時間、可変容量5の両端の端子はショートし、放電される。スイッチ24と25の端子aのスイッチが接続される状態では、1/(2Fclk)の時間、可変容量5はスイッチ24側がアースに接地され、スイッチ25側の電位はOPアンプの仮想接地の効果によりVref(=I2×Rref)に保たれるため、スイッチ24側を+として−Vrefの電圧で充電される。このように、制御回路2からの所定周期信号により、スイッチトキャパシタ回路は放電と充電とを交互に繰り返す。
3.積分回路:
積分回路30はOPアンプ26と容量素子27とスイッチ28で構成している。OPアンプ26の反転入力端子は電流源22とスイッチ25に接続している。OPアンプ26の非反転入力端子は積分回路の電流入力端子である。容量素子27はOPアンプ26の反転入力端子と出力端子間を接続している。スイッチ28は容量素子27に並列に接続している。スイッチ28は制御回路2からの制御信号により、スイッチをオン状態にすることで、容量素子27の電荷を放電し、積分値をリセットする。
4.比較回路:
比較回路29はOPアンプ26の出力端子電圧と、参照抵抗23に発生する電圧を比較している。比較回路29はOPアンプあるいはラッチ回路あるいはアナログデジタル変換器で構成されて、第1の入力端子にOPアンプ26の出力端子が接続され、第2の入力端子に参照抵抗23に発生する電圧が入力するよう構成されている。比較回路29は2つの入力端子の電圧の大小を比較し、例えば第1の入力端子電圧が第2の入力端子電圧よりも高い場合にはハイレベル、第1の入力端子電圧が第2の入力端子電圧よりも低い場合にはローレベルの信号を制御回路2に出力する。
[図4の動作説明]
図5は、時定数の判定手順における検出部の各部の信号の状態を示している。図5はOPアンプ26の電流供給能力が有限であるとした場合の波形の図である。
(A)の波形はスイッチ28に与える信号Φresetのタイミングを示している。時定数の判定手順の最初にΦresetの信号が立ち上がることで、スイッチ28がオンになり、容量素子27にチャージされていた電荷を放電し、積分値をリセットする。
(B)の波形はスイッチ24と25に与える信号のタイミングを示している。信号がハイレベルの状態ではa側の端子に切り替えられる。信号がローレベルの状態ではb側の端子に切り替えられる。信号は周期1/Fclkでハイレベルとローレベルを繰り返している。
(C)の波形はCvarの容量を有する可変容量7の両端の電圧(スイッチ24側が+)とした場合の電圧を示している。スイッチ24.25がb側の端子に接続された状態では可変容量7の電荷がリセットされる。リセットのときの電圧はゼロである。スイッチ24,25がa側の端子に切り替わると、可変容量7には−Vref(=I2×Rref)の電圧がかかる。スイッチ25は可変容量7とOPアンプ26の反転入力端子cを接続するため、可変容量7はOPアンプ26により−Vrefまで充電される。
(D)の波形はOPアンプ26の反転入力端子cの電圧波形である。スイッチ24,25がa端子側に切り替わった段階で、可変容量7のスイッチ24側がVrefからアースに接地される。ことにより、OPアンプ26の反転入力端子cには一瞬マイナスの電圧があらわれる。その後OPアンプ26が容量素子27を充電することで、波形はすぐにVrefに戻される。同時に、容量Cvarの可変容量7の両端電圧も−Vref(=I2×Rref)まで充電される。
(E)の波形は積分回路の出力D点の電圧Vintの波形である。容量素子27がスイッチ28によりリセットされた直後のd点の電圧はVintの値はVrefとなる。Vrefは電流源21の電流値I2に参照抵抗23の抵抗値Rrefを掛けた値(I2×Rref)であらわすことが出来る。スイッチ28をオフ状態にしてリセットを解除すると、電流源22による電流I1は常に積分回路の容量素子27に積分され、積分回路の出力電圧は容量素子27の容量値Cintを用いてI1/Cintの一定スロープで変化する。またスイッチトキャパシタについて端子b側が接続された放電状態から端子a側が接続される状態切り替わると、容量値Cvarを持つ可変容量7が充電されるべき電荷と同じ電荷QがOPアンプ26により積分回路の容量素子27に充電される。電荷QはVref×Cvarであるから、スイッチトキャパシタの動作の1周期1/Fclkごとに積分回路の容量素子27に積分される電圧は(Vref×Cvar)/Cintである。このように、スイッチ28をオフ状態にしてリセットを解除した直後のVintの値は最初の電圧(I2×Rref)に(Vref×Cvar)/Cintの電圧を足した電圧値Vint’となる。電圧値Vint’は電流源22による電流I1と容量素子27の容量値Cintに基づくスロープI1/ Cintで減少しVint’’の電圧値となる。1/Fclkの時間経過すると、再びスイッチ24と25はA側の端子に切り替わりVref×Cvarの電荷が積分される。従って、減少中の電圧値に再び(Vref×Cvar)/Cintの電圧が加えられVint’’’の電圧値となる。再び、1/Fclkの時間の間、電圧が減少する。これを次のリセット信号Φresetが来るまで繰り返す。従って、CvarにFclkの周期で蓄積される電荷Vref×Cvarが電流I1よりも大きければVintは増加し、(E)は点線で示すように、VintはVrefから電圧が上昇する方に離れていく。一方、CvarにFclkの周期で蓄積される電荷Vref×Cvarが電流I1よりも小さければVintは減少し、(E)は実線で示すように、VintはVrefから電圧が下降する方に離れていく。充分時間がたった状態ではVintとVrefは(Vref×Cvar×Fclk)とI1の大小に応じて差ができており、比較回路29によりその大小を容易に比較することができる。ここでVref=I2×Rrefであるから、この比較回路により(I2×Rref×Cvar×Fclk)とI1の大小関係を判定することができる。すなわち、Rref×Cvarと(I1/I2)/Fclkの大小関係を判定することができ、参照抵抗の抵抗値Rrefと可変容量7の容量値Cvarの積による時定数を、周期信号の周波数Fclkの逆数に2つの電流源の電流値I1とI2の比をかけた基準の時定数と比較することができる。
制御回路2はこの比較結果をもとに可変容量5の値を変動させ、検出部の積分回路をリセットして次の比較を行う。この比較作業を繰り返し、徐々に参照抵抗と可変容量7の積による時定数が基準の時定数とほぼつりあうような可変容量の容量値をしぼりこむ。また、このように基準の時定数は周期信号の周波数Fclkと2つの電流源の電流の比(I1/I2)で決定され、2つの電流源の電流値には絶対精度は要求されず、I1とI2の相対精度を確保することで基準の時定数の精度を確保することができる。相対精度の高い2つの電流源は例えば任意の参照電流源とカレントミラー回路により半導体集積回路上で容易に構成可能である。
図5において、OPアンプ26の利得が無限の理想状態の場合はC点の電圧は常にVrefを示し、VintのVint’やVint’’’は丸みを帯びず鋭角な波形を示す。また図5の波形は、電流源の電流の符号に依存して参照抵抗に発生する電圧に対する上下の向きが反転する。
上述した実施形態は、以下の発明を開示する。以下の発明は、必要に応じて適宜組み合わせることができる。
図6はフィルタに用いる可変容量5の容量を直接用いる例を示した図である。図6において、フィルタ構成回路6と検出回路8の構成は[実施例1]の構成と同じである。
可変容量5の端子にはそれぞれスイッチ40と41を設ける。スイッチ40と41をa側の端子に接続すると可変容量5は検出回路8に接続し、b側の端子に接続すると、可変容量5はフィルタ構成回路6に接続する。制御回路2はスイッチ40と41の端子をa側かb側に切り替えることにより可変容量5が接続する回路を切替える。
具体的な動作手順としては、まず始めに、可変容量5を検出回路8側に接続する。次に、制御回路は検出回路8を用いて可変容量5と検出回路8内部の参照抵抗の積による時定数が基準の時定数とほぼつりあうような、可変容量5の容量値の設定を検出する。
制御回路でフィルタ構成回路6に必要な容量設定が完了すると、可変容量5をフィルタ構成回路6側に接続し、可変容量5とフィルタ構成回路6でフィルタ動作を行う。
本発明を適用した半導体集積回路を示す図 可変容量5および7の構成を示す図 フィルタ部3の構成と特性を示す図 検出部4の具体的構成を示す図 検出部の各部の信号の状態を示す図 可変容量5の容量を直接検出する例を示す図
符号の説明
1 半導体集積回路、
2 制御回路、
3 フィルタ部、
4 検出部、
5、7 可変容量、
6 フィルタ構成回路、
8 検出回路
9 OPアンプ
10 抵抗
20 電流源回路
21、22 電流源

Claims (6)

  1. 第1電流源と第2電流源から構成する電流源回路と、
    第1電流源と基準電位を生じる点との間に設けた参照抵抗と、
    可変容量と、該可変容量の一方の端と該第1電流源とに接続された第1のスイッチと、該可変容量の他方の端と該第2電流源とに接続された第2のスイッチと、を有するスイッチトキャパシタ回路と、
    該第2電流源と該第2のスイッチとの接続点に入力が接続され、該接続点から流れてくる電流を積分して電圧に変換する積分回路と、
    該積分回路の出力電圧と該参照抵抗に発生する電圧とを比較する比較回路
    を有する検出回路と、
    該第1のスイッチと該第2のスイッチとを制御し、該可変容量に電荷をチャージするか、放電するかを交互に切替える制御回路と
    を備える
    ことを特徴とする半導体集積回路。
  2. 請求項1の半導体集積回路において、
    該積分回路は、
    該第2電流源と該第2のスイッチとの接続点に接続される反転入力端子と、該第1電流源と該参照抵抗との間に発生する電圧を入力する非反転入力端子と、を有する演算増幅器と、
    該演算増幅回路の出力端子と、該反転入力端子間を接続する第1容量
    らなる事を特徴とする半導体集積回路。
  3. 請求項1の半導体集積回路において
    第1スイッチは
    該基準電位を生じる点と接続した第1スイッチの第1端子と、
    該参照抵抗と第1電流源の間に接続した第1スイッチの第2端子と、
    該第1可変容量の該一方の端と接続した第1スイッチの第3端子を有し、
    該第2スイッチは
    該積分回路と接続した第2スイッチの第1端子と、
    該参照抵抗と該第1電流源の間に接続した第2スイッチ第2端子と、
    該第1可変容量の該他方の端と接続した第2スイッチ第3端子を有する
    こと特徴とする半導体集積回路。
  4. 1可変容量と接続されたフィルタ回路からなるフィルタ部と
    第2可変容量と接続される検出回路からなる検出部と
    該検出部での検出結果に基づき該フィルタ部の該第1可変容量を制御する制御部
    を備え、
    該検出部は
    第1電流源と第2電流源から構成する電流源回路と、第1電流源と基準電位を生じる点との間に設けた参照抵抗と、可変容量と、該可変容量の一方の端と該第1電流源とに接続された第1のスイッチと、該可変容量の他方の端と該第2電流源とに接続された第2のスイッチと、を有するスイッチトキャパシタ回路と、
    該第2電流源と該第2のスイッチとの接続点に入力が接続され、該接続点から流れてくる電流を積分して電圧に変換する積分回路と、
    該積分回路の出力電圧と、該参照抵抗に発生する電圧とを比較する比較回路とを備え、
    該制御部は、該第1のスイッチと該第2のスイッチとを制御し、該可変容量に電荷をチャージするか、放電するかを交互に切替える
    ことを特徴とする半導体集積回路。
  5. 変容量と接続されたフィルタ回路からなるフィルタ部と、
    該可変容量と接続される検出回路からなる検出部と、
    該検出部での検出結果に基づき該フィルタ部の該可変容量を制御する制御部を備え、
    該検出部は
    第1電流源と第2電流源から構成する電流源回路と、
    第1電流源と基準電位を生じる点との間に設けた参照抵抗と、
    可変容量と、該可変容量の一方の端と該第1電流源とに接続された第1のスイッチと、該可変容量の他方の端と該第2電流源とに接続された第2のスイッチと、を有するスイッチトキャパシタ回路と、
    該第2電流源と該第2のスイッチとの接続点に入力が接続され、該接続点から流れてくる電流を積分して電圧に変換する積分回路と、
    該積分回路の出力電圧と、該参照抵抗に発生する電圧とを比較する比較回路とを備え、
    該制御部は、該第1のスイッチと該第2のスイッチとを制御し、該可変容量に電荷をチャージするか、放電するかを交互に切替える
    ことを特徴とする半導体集積回路。
  6. 請求項1乃至5の半導体集積回路において、
    該第1電流源および該第2電流源は任意の参照電流源を基にカレントミラー回路で構成されていることを特徴とする半導体集積回路。
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