JP4884707B2

JP4884707B2 - 流体搬送システムの制御装置

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Publication number: JP4884707B2
Application number: JP2005174949A
Authority: JP
Inventors: 徹合田; 久士斎藤; 康明八須
Original assignee: Fuji Electric Co Ltd; Dai Dan Co Ltd
Current assignee: Fuji Electric Co Ltd; Dai Dan Co Ltd
Priority date: 2005-06-15
Filing date: 2005-06-15
Publication date: 2012-02-29
Anticipated expiration: 2025-06-15
Also published as: JP2006352988A

Description

この発明は、流体搬送システムに備えるポンプやファンなどの流体搬送装置を駆動する交流電動機を所望の交流電圧を供給するインバータ装置により制御するようにした流体搬送システムの制御装置に関し、特に、建物等の空調システムに備えるポンプを駆動する交流電動機を所望の交流電圧を供給するインバータ装置により制御するようにした流体搬送システムの制御装置に関する。

以下では、流体搬送システムとして建物等の一次ポンプ方式の空調システムを具体例に挙げて説明する。

図４は、この種の空調システムの代表的な構成例を示し、１は空調負荷を処理する空調機、２は冷温水を空調機１に供給するポンプ、３は前記冷温水を発生させる冷凍機、４は冷凍機３への冷却水を供給するポンプ、５は前記冷却水を発生させる冷却塔、１０，２０は空調機１，ポンプ２，冷凍機３，ポンプ４，冷却塔５などを所望の状態に制御するシステムコントローラである。また、６は負荷流量を測定する流量計、７は送水圧力を測定する圧力計、８は冷凍機３の冷却水の出口側温度を測定する出口側温度検出器、９は冷凍機３の冷却水の入口側温度を測定する入口側温度検出器、１２はポンプ２を駆動する交流電動機に所望の交流電圧を供給するインバータ装置、１４はポンプ４を駆動する交流電動機に所望の交流電圧を供給するインバータ装置である。

図５は、図４に示した空調システムにおけるシステムコントローラ１０がポンプ２およびポンプ４を所望の状態に制御するのに関係する部分の回路構成図を示し、１１は前記空調システム全体の動作状態の制御を行う上位コントローラである。インバータ装置１２は流量計６および圧力計７から上位コントローラ１１に入力される空調機１の冷温水の出口側水量すなわち負荷水量の検出値および前記冷温水の入口側圧力すなわち送水圧力の検出値に基づいてコントローラ１１から発せられる周波数指令または切替指令と、コントローラ１１からの運転指令とに基づいてポンプ２を駆動する交流電動機（以下、単にモータとも称する）１３に所望の交流電圧を供給し、また、インバータ装置１４は出口側温度検出器８から上位コントローラ１１に入力される冷凍機３への冷却水の出口側温度すなわち出口温度の検出値に基づいて上位コントローラ１１から発せられる周波数指令または切替指令と、コントローラ１１からの運転指令とに基づいてポンプ４を駆動するモータ１５に所望の交流電圧を供給する。

このシステムコントローラ１０では、通常時は、上位コントローラ１１からインバータ装置１２およびインバータ装置１４それぞれへ発せられた前記周波数指令と運転指令とに基づいてモータ１３およびモータ１５それぞれへ所望の交流電圧を供給しているが、この通常運転中に、フィードバック制御回路に故障が発生すると、上位コントローラ１１を中心としたフィードバック制御を停止してポンプの運転を停止させた後、上位コントローラ１１からの最高周波数固定で運転する周波数指令をインバータ装置１２またはインバータ装置１４に出力し、インバータ装置１２またはインバータ装置１４では前記最高周波数でこの周波数に対応した振幅を有する交流電圧をモータ１３またはモータ１５に供給するようにしている（例えば下記特許文献１）。
特開平１１−１１７８７４号公報、段落００２１。

図５に示した従来のシステムコントローラ１０において、上位コントローラ１１からインバータ装置１２やインバータ装置１４への信号線には図４に示した空調システムの構成機器それぞれから発するノイズ成分が重畳し易く、特に、前記ノイズ成分としてはインバータ装置１２，インバータ装置１４を構成する電力用半導体素子のスイッチングに伴うノイズが大きなウェイトを占めている。

しかしながら、前記信号線を介して送出される前記周波数指令や切替指令に重畳した前記ノイズ成分によるインバータ装置１２，インバータ装置１４の誤動作を防止するためには、前記ノイズ成分を十分に除去できる大きな減衰特性を有するフィルタを前記インバータ装置側それぞれに備えると、このフィルタによりインバータ装置１２，インバータ装置１４それぞれの入力−出力間の応答特性を損なう恐れがあった。

この発明の目的は、上記問題点を解決したインバータ装置を用いた流体搬送システムの制御装置を提供することにある。

この発明は、システム内の流体を搬送する流体搬送装置と、流体搬送装置を駆動する交流電動機に所望の交流電圧を供給するインバータ装置と、前記インバータ装置へ制御指令を与え、システム内の流体を制御する上位コントローラとを備えた流体搬送システムにおいて、
前記流体搬送システムの各部の動作状態を検出する検出器それぞれからの検出値に含まれるノイズ成分を除去するそれぞれのフィルタと、前記それぞれのフィルタの出力値に基づく調節演算を行い、インバータ装置への周波数指令値を出力する調節演算部と、予め所望の周波数指令値を設定する周波数設定器と、通常時は前記調節演算部からインバータ部へ与えられている周波数指令値を、前記それぞれのフィルタの出力値から前記検出器のそれぞれの内のいずれかに異常が検出されたときに前記周波数設定器に設定されている周波数指令値に切り替えてインバータ部へ与える切替指令を発生する異常検出部とを前記インバータ装置に設け、前記上位コントローラからは前記インバータ装置へ運転指令を与え、前記インバータ装置内で前記流体搬送装置の制御のための調節演算を行うことを特徴とする。

この発明のインバータ装置によれば、インバータ装置の入力−出力間の応答特性を損なうこと無く、ノイズ成分を除去できるフィルタを該インバータ装置に備えることができると共に、前記インバータ装置の上位コントローラにおける高速処理を要する演算量も軽減することができ、その結果、流体搬送システムに備えるシステムコントローラを安価に具現することができる。

図１はこの発明の実施の形態を示す回路構成図であり、この図において、図５に示した従来例回路と同一機能を有するものには同一符号を付している。

すなわち図１は、図４に示した空調システムにおけるシステムコントローラ２０がポンプ２およびポンプ４を所望の状態に制御するのに関係する部分の回路構成図を示し、２１は前記空調システム全体の動作状態の制御を行う上位コントローラ、２２は図４示した流量計６および圧力計７それぞれの検出器から入力される空調機１の冷温水の出口側水量すなわち負荷水量の検出値および前記冷温水の入口側圧力すなわち送水圧力の検出値と、コントローラ２１から発せられる運転指令とに基づいてポンプ２を駆動するモータ１３に所望の交流電圧を供給するインバータ装置、２３は図４で示した出口側温度検出器８から入力される冷凍機３への冷却水の出口側温度すなわち出口温度の検出値と、上位コントローラ２１から発せられる運転指令とに基づいてポンプ４を駆動するモータ１５に所望の交流電圧を供給するインバータ装置である。

なお、上記実施の形態では、流体搬送システムとして、図４で示した一次ポンプ方式の空調システムを具体例として説明したが、他の方式の空調システム，プラント等の熱源機器の冷却システム、給水設備等の可変給水システム、あるいは建物の換気を行う換気システム等であっても適用可能である。

例えば、図６は、生産設備の冷却システムを示すものであり、生産設備（例えば発電機等の熱負荷）を熱交換器に冷水を通流して冷却するシステムである。

図において、８１は熱負荷を処理する熱交換器、８２は冷水を熱交換器８１に供給するポンプ、８３はポンプ８２を駆動する交流電動機に所望の交流電圧を供給するインバータ装置、８６は負荷流量を測定する流量計、８７は送水圧力を測定する圧力計である。

また、図７は、給水設備を示すものであり、配管末端において所要の圧力，流量を得るために、ポンプの吐出圧力が一定圧力になるように制御するシステムである。

図において、９１は水源となる液体槽、９２は液体槽９１から水を各水栓に供給するポンプ、９３はポンプ９２の吐出圧力が一定になるようにポンプ９２を駆動する交流電動機に所望の交流電圧を供給するインバータ装置、９６は負荷流量を測定する流量計、９７は送水圧力を測定する圧力計である。

また、図８は、室内温度に応じて風量の調整を行なう可変風量空調システムを示し、１０１は給気口１０１ａおよび還気口１０１ｂを有する空調対象である室、１０２は冷却コイル１０２ａ,給気用ファン１０２ｂ等から構成される空調機、１０３は給気用ファン１０２ｂを駆動する交流電動機に所望の交流電圧を供給するインバータ装置、１０４は室内温度検出器１０８の計測値により室１０１が要求する風量と一致するように図示しないモータダンパを開閉駆動する可変風量装置（ＶＡＶ）、１０５は還気用ファン、１０６は還気用ファン１０５を駆動する交流電動機に所望の交流電圧を供給するインバータ装置、１０７は空調機出口温度検出器、１０８は室内温度検出器、１０９ａは外気を取り入れるための外気モータダンパ、１０９ｂは排気モータダンパ、１０９ｃは還気モータダンパである。

以下に、上記システムの空気の流れを説明する。

空調機１０２内の冷却コイル１０２ａで温度および湿度が調整され、冷却された空気は、給気ファン１０２ｂを介して可変風量装置１０４に搬送され、可変風量装置１０４により風量が調節された空気を給気口１０１ａを介して室内に供給する。室１０１に供給された空気は、室内で熱負荷を処理し、熱負荷の処理を終えた空気は還気口１０１ｂから吸い込まれ、還気ファン１０５を介して搬送され、モータダンパ１０９ｂ，１０９ｃが開閉制御されて排気空気と戻り空気とに振り分けられる。戻り空気は外気と混合され再び空調機１０２内の冷却コイル１０２ａに導かれる。以上の循環を繰り返し室内温度を所定値に制御している。

このような空調システムでは、空調機出口温度検出器１０７および室内温度検出器１０８の検出値に基づき、室内温度が所定の値となるようにＰＩＤ演算により当該室１０１の要求風量を決定する。ここで、インバータ装置１０３は、可変風量装置１０４の図示しないダンパが全開となるまで給気ファン１０２ｂの回転数を減少させる。

また、図９は、ＣＯ₂濃度またはＣＯ濃度に応じてファンの制御を行う室内換気システムを示すものであり、室内のＣＯ₂濃度またはＣＯ濃度を予め定めた一定値以下となるように制御する換気システムである。

図において、１１１は給気口１１１ａおよび還気口１１１ｂを有する換気対象である室、１１２は給気用ファン、１１３は給気用ファン１１２を駆動する交流電動機に所望の交流電圧を供給するインバータ装置、１１４は排気用ファン、１１５は排気用ファン１１４を駆動する交流電動機に所望の交流電圧を供給するインバータ装置、１１６は空気搬送路内のＣＯ₂の濃度を検出するＣＯ₂濃度検出器である。

また、図１０は、室内圧力に応じてファンの制御を行う室圧制御システムを示すものであり、互いに隣接する室の室圧を同一にし、隣接する室同士で圧力差がなくなるように制御するシステムである。

図において、１２１は給気口１２１ａおよび還気口１２１ｂを有する圧力制御対象である室、１２２は室１２１に隣接し、室１２１に連通するドア１２２ａを有する室、１２３は給気用ファン、１２４は給気用ファン１２３を駆動する交流電動機に所望の交流電圧を供給するインバータ装置、１２５は図示しない風速検出器とモータダンパとを有し、風速検出器により検出された風速が予め定められた風速になるようにモータダンパの開度を調整する定風量装置、１２６は室圧制御用のモータダンパ、１２７は排気用ファン、１２８は排気用ファン１２７を駆動する交流電動機に所望の交流電圧を供給するインバータ装置、１２９ａは室１２１内の圧力を検出する圧力検出器、１２９ｂは室１２２内の圧力を検出する圧力検出器である。

図２はこの発明の第１の実施例の回路構成を示し、図１に示したインバータ装置２２の詳細回路構成図である。

すなわち図２において、２２ａは前記負荷水量の検出値に重畳したノイズ成分を除去するフィルタ、２２ｂはノイズ成分が除去された前記負荷水量の検出値から目標圧力の設定値を導出するために前記水量に基づく周知の二次関数式を演算して前記設定値を求めるための変換演算部、２２ｃは前記送水圧力の検出値に重畳したノイズ成分を除去するフィルタ、２２ｄは前記設定値とノイズ成分が除去された前記送水圧力の検出値との偏差を求める加減算演算部、２２ｅは前記偏差が零になるような調節演算値を出力する調節部、２２ｆは後述の異常検出部２２ｈから切替指令が発せられていないとき、すなわち、通常時には前記調節演算値をインバータ部２２ｇに伝達する切替器、このときのインバータ部２２ｇは前記調節演算値を周波数指令とし、この周波数指令に基づいた周波数と該周波数に対応した振幅の交流電圧を発生してモータ１３に供給する。

また、異常検出部２２ｈはフィルタ２２ａを介した前記負荷水量の検出値とフィルタ２２ｃを介した前記送水圧力の検出値とが入力され、何れかの検出値がそれぞれの定格検出値の例えば５％以下になったときには、対応する検出器が故障などの異常状態になったと判断して切替信号を発し、この切替指令により切替器２２ｆでは周波数設定器２２ｊが出力する所望の周波数設定値がインバータ部２２ｇに入力され、インバータ部２２ｇでは前記周波数設定値に基づいた周波数でこの周波数に対応した振幅を有する交流電圧をモータ１３に供給するようにしている。

ここで、空調システムによっては、検出器の異常時にこのモータ１３を停止するほうが安全なものもあれば、所定の回転数でモータ１３を運転するほうが安全なものもある。この発明では、周波数設定器２２ｊにより検出器異常時の周波数を設定することができるので、モータ１３を停止する場合と、任意の回転数でモータ１３を運転する場合とのどちらにも対応可能である。

このインバータ装置２２によれば、従来のインバータ装置にいわゆる送水圧制御の機能を付加することにより、比較的高速な動作を行う周波数指令はインバータ装置２２の内部演算値となるので、この周波数指令が図６に示した空調システムの構成機器それぞれから発する前記ノイズ成分の影響を受けることが防止できると共に、比較的低速な動作を行うそれぞれの検出値に対しては前記ノイズ成分を除去するのに十分なフィルタ２２ａ，フィルタ２２ｃを設置することができ、従って、前記検出器に故障などの異常が発生したことを確実に検知でき、この検知に伴って、インバータ部２２ｇの動作状態を速やかに切り替えることができる。また、上位コントローラ２１では従来の上位コントローラ１１に比して、高速処理を要する調節部２２ｅなどの機能を削除することができ、その結果、該コントローラの演算量も軽減することができる。

なお、図６で示した生産設備の冷却システムおいては、流量計８６からの負荷水量の検出値が図２のフィルタ２２ａに入力されて負荷水量の検出値に重畳したノイズ成分が除去され、変換演算部２２ｂにより目標圧力の設定値が演算される。一方、圧力計８７からの送水圧力の検出値がフィルタ２２ｃに入力され、送水圧力の検出値に重畳したノイズ成分が除去される。

そして、上述と同様に、前記設定値と送水圧力の検出値との偏差を求め、この偏差が零になるように調節演算を行ない、周波数指令に基づいた周波数と該周波数に対応した振幅の交流電圧を発生してモータ１３に供給する。

ここで、異常検出部２２ｈはフィルタ２２ａを介した負荷水量の検出値とフィルタ２２ｃを介した目標圧力の検出値とが入力され、何れかの検出値がそれぞれの定格検出値の例えば５％以下になったときには、対応する検出器が故障などの異常状態になったと判断して切替信号を発し、この切替指令により切替器２２ｆでは周波数設定器２２ｊが出力する所望の周波数設定値がインバータ部２２ｇに入力され、インバータ部２２ｇでは前記周波数設定値に基づいた周波数でこの周波数に対応した振幅を有する交流電圧をモータ１３に供給するようにしている。

また、図７で示した給水設備においては、流量計９６からの負荷水量の検出値が図２のフィルタ２２ａに入力されて負荷水量の検出値に重畳したノイズ成分が除去され、変換演算部２２ｂにより目標圧力の設定値が演算される。一方、圧力計９７からの送水圧力の検出値がフィルタ２２ｃに入力され、送水圧力の検出値に重畳したノイズ成分が除去される。

また、図１０の室圧制御システムにおいては、フィルタ２２ａには、図２に示した負荷水量に代えて圧力検出器１２９ｂで検出した圧力の検出値が入力され、フィルタ２２ｃには、図２に示した送水圧力に代えて圧力検出器１２９ａで検出した圧力の検出値が入力されて、室１２１と室１２２との圧力が同じになるように制御される。なお、この室圧制御システムの場合は、図２の変換演算部２２ｂは不要である。

すなわち、室１２１の圧力センサ１２９ａからの圧力の検出値が図２のフィルタ２２ｃに入力されて圧力の検出値に重畳したノイズ成分が除去される。一方、室１２２の圧力センサ１２９ｂからの圧力の検出値が図２のフィルタ２２ａに入力されて圧力の検出値に重畳したノイズ成分が除去される。そして、加減算演算部２２ｄではフィルタ２２ａの出力とフィルタ２２ｃの出力との偏差を求め、調節部２２ｅではこの偏差が零になるように調節演算を行ない、周波数指令に基づいた周波数と該周波数に対応した振幅の交流電圧を発生してモータ１３に供給する。

ここで、異常検出部２２ｈはフィルタ２２ａを介した圧力の検出値とフィルタ２２ｃを介した圧力の検出値とが入力され、何れかの検出値がそれぞれの定格検出値の例えば５％以下になったときには、対応する検出器が故障などの異常状態になったと判断して切替信号を発し、この切替指令により切替器２２ｆでは周波数設定器２２ｊが出力する所望の周波数設定値がインバータ部２２ｇに入力され、インバータ部２２ｇでは前記周波数設定値に基づいた周波数でこの周波数に対応した振幅を有する交流電圧をモータ１３に供給するようにしている。

図３はこの発明の第２の実施例の回路構成を示し、図１に示したインバータ装置２３の詳細回路構成図である。

すなわち図３において、２３ａは前記出口温度の検出値に重畳したノイズ成分を除去するフィルタ、２３ｂは前記出口温度の設定値を送出する設定器、２３ｃは前記設定値とノイズ成分が除去された出口温度の検出値との偏差を求める加減算演算部、２３ｄは前記偏差が零になるような調節演算値を出力する調節部、２３ｅは後述の異常検出部２３ｇから切替指令が発せられていないとき、すなわち、通常時には前記調節演算値をインバータ部２３ｆに伝達する切替器、このときのインバータ部２３ｆは前記調節演算値を周波数指令とし、この周波数指令に基づいた周波数と該周波数に対応した振幅の交流電圧を発生してモータ１５に供給する。

また、異常検出部２３ｇはフィルタ２３ａを介した前記出口温度の検出値が入力され、この検出値が定格検出値の例えば５％以下になったときには、対応する検出器が故障などの異常状態になったと判断して切替信号を発し、この切替指令により切替器２３ｅでは周波数設定器２３ｈが出力する所望の周波数設定値がインバータ部２３ｆに入力され、インバータ部２３ｆでは前記周波数設定値に基づいた周波数でこの周波数に対応した振幅を有する交流電圧をモータ１５に供給するようにしている。

ここで、空調システムによっては、検出器の異常時にこのモータ１５を停止するほうが安全なものもあれば、所定の回転数でモータ１５を運転するほうが安全なものもある。この発明では、周波数設定器２３ｈにより検出器異常時の周波数を設定することができるので、モータ１５を停止する場合と、任意の回転数でモータ１５を運転する場合とのどちらにも対応可能である。

このインバータ装置２３によれば、従来のインバータ装置にいわゆる出口温度一定制御の機能を付加することにより、比較的高速な動作を行う周波数指令はインバータ装置２３の内部演算値となるので、この周波数指令が図４に示した空調システムの構成機器それぞれから発する前記ノイズ成分の影響を受けることが防止されると共に、比較的低速な動作を行う検出値に対しては前記ノイズ成分を除去するのに十分なフィルタ２３ａを設置することができ、従って、前記検出器に故障などの異常が発生したことを確実に検知でき、この検知に伴って、インバータ部２３ｆの動作状態を速やかに切り替えることができる。また、上位コントローラ２１では従来の上位コントローラ１１に比して、高速処理を要する調節部２３ｄなどの機能を削除することができ、その結果、該コントローラの演算量も軽減することができる。

さらに上位コントローラ２１とインバータ装置２２，２３との間の配線を少なくすることができ、設置工事の簡素化が図れる。

なお、図６で示した生産設備の冷却システムおいては、流量計８６あるいは圧力計８７の検出値が図３のフィルタ２３ａに入力されて流量あるいは圧力の検出値に重畳したノイズ成分が除去され、調節部２３ｄは前記設定値と流量あるいは圧力の検出値との偏差が零になるように調節演算を行ない、周波数指令に基づいた周波数と該周波数に対応した振幅の交流電圧を発生してモータ１３に供給する。

ここで、異常検出部２３ｇはフィルタ２３ａを介した流量あるいは圧力の検出値が入力され、この検出値がそれぞれの定格検出値の例えば５％以下になったときには、対応する検出器が故障などの異常状態になったと判断して切替信号を発し、この切替指令により切替器２３ｅでは周波数設定器２３ｈが出力する所望の周波数設定値がインバータ部２３ｆに入力され、インバータ部２３ｆでは前記周波数設定値に基づいた周波数でこの周波数に対応した振幅を有する交流電圧をモータ１３に供給するようにしている。

また、図８の可変風量空調システムにおいては、室内温度検出器１０８からの温度の検出値が図３のフィルタ２３ａに入力されて室内温度の検出値に重畳したノイズ成分が除去され、調節部２３ｄは前記設定値と室内温度の検出値との偏差が零になるように調節演算を行ない、周波数指令に基づいた周波数と該周波数に対応した振幅の交流電圧を発生してモータ１３に供給する。

ここで、異常検出部２３ｇはフィルタ２３ａを介した室内温度の検出値が入力され、この検出値がそれぞれの定格検出値の例えば５％以下になったときには、対応する検出器が故障などの異常状態になったと判断して切替信号を発し、この切替指令により切替器２３ｅでは周波数設定器２３ｈが出力する所望の周波数設定値がインバータ部２３ｆに入力され、インバータ部２３ｆでは前記周波数設定値に基づいた周波数でこの周波数に対応した振幅を有する交流電圧をモータ１３に供給するようにしている。

また、図９の室内換気システムにおいては、フィルタ２３ａには、図３に示した出口温度に代えてＣＯ₂濃度の検出値が入力され、設定器２３ｂで設定したＣＯ₂濃度の設定値との比較が行なわれる。

すなわち、ＣＯ₂濃度検出器１１６からのＣＯ₂濃度の検出値が図３のフィルタ２３ａに入力されてＣＯ₂濃度の検出値に重畳したノイズ成分が除去され、調節部２３ｄは前記設定値とＣＯ₂濃度の検出値との偏差が零になるように調節演算を行ない、周波数指令に基づいた周波数と該周波数に対応した振幅の交流電圧を発生してモータ１３に供給する。

ここで、異常検出部２３ｇはフィルタ２３ａを介したＣＯ₂濃度の検出値が入力され、この検出値がそれぞれの定格検出値の例えば５％以下になったときには、対応する検出器が故障などの異常状態になったと判断して切替信号を発し、この切替指令により切替器２３ｅでは周波数設定器２３ｈが出力する所望の周波数設定値がインバータ部２３ｆに入力され、インバータ部２３ｆでは前記周波数設定値に基づいた周波数でこの周波数に対応した振幅を有する交流電圧をモータ１３に供給するようにしている。

この発明の実施の形態を示す回路構成図この発明の第１の実施例を示す回路構成図この発明の第２の実施例を示す回路構成図空調システムの構成図従来例を示す回路構成図生産設備の冷却システムの構成図給水設備の構成図可変風量空調システムの構成図室内換気システムの構成図室圧制御システムの構成図

１…空調機、２…ポンプ、３…冷凍機、４…ポンプ、５…冷却塔、１０，２０…システムコントローラ、１１…上位コントローラ、１２，１４…インバータ装置、１３，１５…モータ、２１…上位コントローラ、２２，２３…インバータ装置。

Claims

システム内の流体を搬送する流体搬送装置と、流体搬送装置を駆動する交流電動機に所望の交流電圧を供給するインバータ装置と、前記インバータ装置へ制御指令を与え、システム内の流体を制御する上位コントローラとを備えた流体搬送システムにおいて、
前記流体搬送システムの各部の動作状態を検出する検出器それぞれからの検出値に含まれるノイズ成分を除去するそれぞれのフィルタと、前記それぞれのフィルタの出力値に基づく調節演算を行い、インバータ装置への周波数指令値を出力する調節演算部と、予め所望の周波数指令値を設定する周波数設定器と、通常時は前記調節演算部からインバータ部へ与えられている周波数指令値を、前記それぞれのフィルタの出力値から前記検出器のそれぞれの内のいずれかに異常が検出されたときに前記周波数設定器に設定されている周波数指令値に切り替えてインバータ部へ与える切替指令を発生する異常検出部とを前記インバータ装置に設け、前記上位コントローラからは前記インバータ装置へ運転指令を与え、前記インバータ装置内で前記流体搬送装置の制御のための調節演算を行うことを特徴とする流体搬送システムの制御装置。