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JP4895342B2 - Fluid pressure cylinder - Google Patents
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Description

本発明は、流体圧シリンダに関する。   The present invention relates to a fluid pressure cylinder.

流体を供給して推力を発生させるシリンダにおいて、その推力を高める方法として、ボア径を大きくする方法と、流体の供給圧力を高める方法とが知られている。
例えば、比較的小型のシリンダにおいて大きな推力を得る場合には、供給される流体として油を用いて流体の供給圧力を高める油圧シリンダを選択することが多い。しかしながら、油圧シリンダを用いる場合には、加圧された油を供給する油圧装置などの付帯装置を必要とし、コスト、スペースともに不利になるという問題があった。
In a cylinder that generates a thrust by supplying a fluid, a method of increasing the bore diameter and a method of increasing a fluid supply pressure are known as methods for increasing the thrust.
For example, when a large thrust is obtained in a relatively small cylinder, a hydraulic cylinder is often selected that uses oil as the supplied fluid to increase the supply pressure of the fluid. However, when a hydraulic cylinder is used, there is a problem that an auxiliary device such as a hydraulic device for supplying pressurized oil is required, which is disadvantageous in terms of cost and space.

供給される流体として空気(エア)を用いるエアシリンダの場合は、工場において供給できるエアの圧力に限界があるため、供給エアの圧力を高くしてシリンダの推力を高める方法によりシリンダの推力を高めることは困難であった。そのため、エアシリンダのボア径を大きくしてシリンダの推力を高める方法が一般的に用いられている。   In the case of an air cylinder that uses air as the fluid to be supplied, there is a limit to the air pressure that can be supplied at the factory. Therefore, the cylinder thrust is increased by increasing the supply air pressure to increase the cylinder thrust. It was difficult. Therefore, a method of increasing the cylinder thrust by increasing the bore diameter of the air cylinder is generally used.

しかしながら、エアシリンダを用いて、油圧シリンダと同等の推力を発生させようとすると、エアシリンダのボア径を相当大きくする必要があった。エアシリンダの配置スペースが限られている場合には、ボア径が大きくなるとエアシリンダを配置できなくなるという問題があった。   However, if an air cylinder is used to generate thrust equivalent to that of a hydraulic cylinder, the bore diameter of the air cylinder needs to be considerably increased. When the arrangement space of the air cylinder is limited, there is a problem that the air cylinder cannot be arranged when the bore diameter is increased.

さらに、供給エアの圧力を用いて油を加圧して、加圧された油をシリンダに供給するエアハイドロブースタを用いる方法も知られている。しかしながら、この方法においても、シリンダ以外にエアハイドロブースタを設ける必要があり、コスト、スペースともに不利になるという問題があった。   Furthermore, a method of using an air hydro booster that pressurizes oil using the pressure of supply air and supplies the pressurized oil to a cylinder is also known. However, even in this method, it is necessary to provide an air hydro booster in addition to the cylinder, and there is a problem that both cost and space are disadvantageous.

そのため、上述の問題を解決するとともに、供給エアのみを用いてより大きな推力を発生することができるさまざまなシリンダの技術が提案されている(例えば、特許文献1参照。)。
特開平11−93912号公報(第3頁、第1図等)
For this reason, various cylinder technologies that can solve the above-described problems and generate a larger thrust using only supply air have been proposed (see, for example, Patent Document 1).
Japanese Patent Laid-Open No. 11-93912 (page 3, FIG. 1, etc.)

上述の特許文献1においては、シリンダ本体のシリンダチューブ内を摺動するアウタピストンと、中空のアウタロッドと、一端がシリンダ本体に固定されアウタピストンを相対摺動可能に貫通するインナロッドと、インナロッドに取り付けられアウタロッドと相対摺動するインナピストンを備えたシリンダの構成が開示されている。
この構成のシリンダによれば、一般的なシリンダと比較して、供給エアの圧力をアウタピストンの受圧面とインナピストンの受圧面とで受けることができるため、発生する推力を略2倍に高めることができた。
In the above-mentioned Patent Document 1, an outer piston that slides in a cylinder tube of a cylinder body, a hollow outer rod, an inner rod that has one end fixed to the cylinder body and penetrates the outer piston so as to be relatively slidable, and an inner rod The structure of the cylinder provided with the inner piston attached to the outer rod and sliding relative to the outer rod is disclosed.
According to the cylinder having this configuration, the pressure of the supply air can be received by the pressure receiving surface of the outer piston and the pressure receiving surface of the inner piston as compared with a general cylinder, so that the generated thrust is substantially doubled. I was able to.

しかしながら、上述の技術を用いて、より大きな推力をシリンダに発揮させる場合には、さらに内部に何重ものシリンダを内蔵させることになる。この場合、シリンダの構造が複雑になるという問題があった。また、構造が複雑になることにより、その製作が困難になるという問題もあった。
さらに、内部に何重ものシリンダを内蔵させることにより、ピストンロッドが細くなり、剛性が低下するという問題があった。
However, when a larger thrust is exerted on the cylinder by using the above-described technique, a number of cylinders are further incorporated inside. In this case, there is a problem that the structure of the cylinder becomes complicated. In addition, since the structure is complicated, it is difficult to manufacture the structure.
Furthermore, there are problems that the piston rod becomes thin and the rigidity is lowered by incorporating many cylinders inside.

本発明は、上記の課題を解決するためになされたものであって、
エア供給のみで油圧供給の場合と同等の推力を発生させることができるとともに、小型化を図ることができる流体圧シリンダを提供することを目的とする。
The present invention has been made to solve the above problems,
An object of the present invention is to provide a fluid pressure cylinder that can generate thrust equivalent to that in the case of hydraulic pressure supply only by air supply and can be reduced in size.

上記目的を達成するために、本発明は、以下の手段を提供する。
本発明は、筺体と、該筺体内に設けられた第1流体室および第2流体室と、該第1流体室の一方の壁面を形成するとともに、所定方向に移動可能に設けられた第1ピストンと、前記第2流体室の一方の壁面を形成するとともに、前記所定方向に移動可能に設けられた第2ピストンと、前記第1流体室と、前記第2流体室とを繋ぐ連通流路と、前記第1ピストンの前記所定方向の全移動範囲において前記第1流体室、前記第2流体室および前記連通流路の全てに満たされた内部流体と、を有し、前記第2ピストンの前記内部流体と接する面における前記所定方向に対する垂直面への投影面積が、前記第1ピストンの前記内部流体と接する面における前記所定方向に対する垂直面への投影面積より大きくなるように形成され、前記第1ピストンに外部から供給された供給流体の圧力が加えられることにより第2ピストンが駆動される流体圧シリンダを提供する。
In order to achieve the above object, the present invention provides the following means.
The present invention provides a housing, a first fluid chamber and a second fluid chamber provided in the housing, and one wall surface of the first fluid chamber, and a first fluid chamber provided to be movable in a predetermined direction. A communication channel that forms a wall surface of the piston and one of the second fluid chambers, and connects the second piston, the first fluid chamber, and the second fluid chamber, which are movably provided in the predetermined direction. And an internal fluid filled in all of the first fluid chamber, the second fluid chamber, and the communication flow path in the entire movement range of the first piston in the predetermined direction , The projected area on the vertical surface with respect to the predetermined direction on the surface in contact with the internal fluid is formed to be larger than the projected area on the vertical surface with respect to the predetermined direction on the surface in contact with the internal fluid of the first piston, On the first piston The second piston provides a fluid pressure cylinder that is driven by the pressure of the feed fluid which is supplied from the parts is applied.

本発明によれば、第2ピストンの投影面積が、第1ピストンの投影面積より大きく形成されているとともに、第1流体室と第2流体室と連通流路に内部流体が満たされているため、第2ピストンに、第1ピストンに加えられた供給流体の圧力に係る力に両ピストンの投影面積比を掛けた、大きな推力を発生させることができる。   According to the present invention, the projected area of the second piston is formed larger than the projected area of the first piston, and the first fluid chamber, the second fluid chamber, and the communication flow path are filled with the internal fluid. A large thrust can be generated in the second piston by multiplying the force related to the pressure of the supply fluid applied to the first piston by the projected area ratio of both pistons.

つまり、第1ピストンを介して加えられた供給流体の圧力に係る力により、第1流体室内の内部流体には所定の圧力が発生する。第1流体室と第2流体室とは、連通流路を介して接続されているため、第2流体室内の内部流体にも所定の圧力がかかる。第2ピストンの投影面積は第1ピストンの投影面積より大きいため、第2ピストンに働く力は、第1ピストンに作用した力より大きくなる。   That is, a predetermined pressure is generated in the internal fluid in the first fluid chamber by a force related to the pressure of the supply fluid applied via the first piston. Since the first fluid chamber and the second fluid chamber are connected via a communication channel, a predetermined pressure is also applied to the internal fluid in the second fluid chamber. Since the projected area of the second piston is larger than the projected area of the first piston, the force acting on the second piston is larger than the force acting on the first piston.

以上のことから、第1ピストンの投影面積と第2ピストンの投影面積の比を所定の値に設定することにより、第1ピストンに作用する力の大きさに関わらず、第2ピストンに発生する推力の大きさを所定の値にすることができる。そのため、例えば、流体圧シリンダに、エア供給のみで油圧供給の場合と同等の推力を発生させることができる。
また、上述の特許文献1に開示されたシリンダと比較して、ピストンやロッドの内部にさらにピストンやロッドを配置する必要がないため、流体圧シリンダの小型化を図りやすくすることができる。
From the above, by setting the ratio of the projected area of the first piston and the projected area of the second piston to a predetermined value, it is generated in the second piston regardless of the magnitude of the force acting on the first piston. The magnitude of the thrust can be set to a predetermined value. Therefore, for example, a thrust equivalent to that in the case of hydraulic pressure supply can be generated in the fluid pressure cylinder only by air supply.
In addition, as compared with the cylinder disclosed in Patent Document 1 described above, it is not necessary to dispose a piston or rod inside the piston or rod, so that the fluid pressure cylinder can be easily downsized.

上記発明においては、前記内部流体が非圧縮性流体であることが望ましい。
本発明によれば、内部流体に非圧縮性流体を用いているため、圧縮性流体を用いている場合と比較して、第2ピストンにより大きな推力を発生させることができる。つまり、内部流体に非圧縮性流体を用いることで、推力の一部が第2流体室内における内部流体の圧縮に消費されることを防止できるため、効率よく第2ピストンに推力を発生させることができる。
例えば、内部流体に非圧縮性流体である油を用いるとともに、供給流体に空気(エア)を用いることにより、流体圧シリンダに、エア供給のみで油圧供給の場合と同等の推力を発生させることができる。
In the above invention, the internal fluid is preferably an incompressible fluid.
According to the present invention, since the incompressible fluid is used as the internal fluid, a larger thrust can be generated by the second piston as compared with the case where the compressive fluid is used. That is, by using an incompressible fluid as the internal fluid, it is possible to prevent a part of the thrust from being consumed for the compression of the internal fluid in the second fluid chamber, so that the thrust can be efficiently generated in the second piston. it can.
For example, by using oil, which is an incompressible fluid, as the internal fluid and using air (air) as the supply fluid, it is possible to generate a thrust equivalent to that in the case of hydraulic supply only by air supply in the fluid pressure cylinder. it can.

上記発明においては、前記筺体には第3流体室が設けられ、該第3流体室内には、該第3流体室を2つの小部屋に区切るとともに、前記所定方向に移動可能に設けられた第3ピストンが設けられ、前記第1ピストンと前記第3ピストンとの間には、前記第1ピストンと前記第3ピストンとを連動して移動させるピストンロッドが設けられ、前記2つの小部屋には、それぞれ外部から供給流体を流入、流出させる開口部が設けられていることが望ましい。   In the above invention, the housing is provided with a third fluid chamber, and the third fluid chamber is divided into two small chambers and is provided so as to be movable in the predetermined direction. 3 pistons are provided, and a piston rod is provided between the first piston and the third piston to move the first piston and the third piston in conjunction with each other. In addition, it is desirable to provide an opening through which the supply fluid flows in and out from the outside.

本発明によれば、第3流体室を第3ピストンにより2つの小部屋に分割し、それぞれの小部屋に供給流体を流入、流出させているとともに、第1ピストンと第3ピストンとをピストンロッドにより連動して移動させているため、供給流体により第3ピストンに発生した力を第1ピストンに伝達することができる。
つまり、開口部から供給流体を2つの小部屋に流入、流出させることにより、供給流体の圧力が第3ピストンにかかる。そのため、第3ピストンには供給流体に係る力が働き、供給流体に係る力はピストンロッドを介して第1ピストンに伝達される。
According to the present invention, the third fluid chamber is divided into two small chambers by the third piston, and the supply fluid flows into and out of each small chamber, and the first piston and the third piston are connected to the piston rod. Therefore, the force generated in the third piston by the supplied fluid can be transmitted to the first piston.
That is, the supply fluid pressure is applied to the third piston by flowing the supply fluid into and out of the two small chambers from the opening. Therefore, a force related to the supply fluid acts on the third piston, and the force related to the supply fluid is transmitted to the first piston via the piston rod.

上記発明においては、前記第3ピストンの前記供給流体と接する面における前記所定方向に対する垂直面への投影面積が、前記第1ピストンの前記内部流体と接する面における前記所定方向に対する垂直面への投影面積より大きくなるように形成されていることが望ましい。   In the above invention, the projection area of the surface of the third piston in contact with the supply fluid onto the vertical surface with respect to the predetermined direction is projected onto the surface of the first piston in contact with the internal fluid onto the vertical surface with respect to the predetermined direction. It is desirable that it be formed to be larger than the area.

本発明によれば、第3ピストンの投影面積が、第1ピストンの投影面積より大きいため、第3ピストンが受けた供給流体の圧力を、第1流体室内の内部流体に増幅して伝達することができる。
つまり、第3ピストンが受ける力は、供給流体の圧力と第3ピストンの投影面積の積であり、第1ピストンが受ける力は、内部流体の圧力と第1ピストンの投影面積の積である。両ピストンに働く力は釣合うため、第1ピストンに働く圧力は、第3ピストンに働く圧力に、第3ピストンの投影面積と第1ピストンの投影面積との比を掛けたものになる。そのため、第3ピストンで受けた供給流体の圧力は、第1流体室内の内部流体に増幅して伝達される。
According to the present invention, since the projected area of the third piston is larger than the projected area of the first piston, the pressure of the supply fluid received by the third piston is amplified and transmitted to the internal fluid in the first fluid chamber. Can do.
That is, the force received by the third piston is the product of the pressure of the supply fluid and the projected area of the third piston, and the force received by the first piston is the product of the pressure of the internal fluid and the projected area of the first piston. Since the forces acting on both pistons are balanced, the pressure acting on the first piston is the pressure acting on the third piston multiplied by the ratio of the projected area of the third piston to the projected area of the first piston. Therefore, the pressure of the supply fluid received by the third piston is amplified and transmitted to the internal fluid in the first fluid chamber.

上記発明においては、前記第2ピストンには、前記第2ピストンを前記第2流体室の容積を小さくする方向に向けて付勢する付勢部材が設けられていることが望ましい。
本発明によれば、第2ピストンは付勢部材により第2流体室の容積を小さくする方向に向けて付勢されているため、第2流体室内の内部流体の圧力が低下した場合に、第2ピストンを第2流体室の容積を小さくする方向へ確実に移動させることができる。
In the above invention, preferably, the second piston is provided with a biasing member that biases the second piston toward a direction in which the volume of the second fluid chamber is reduced .
According to the present invention, since the second piston is urged by the urging member toward the direction of decreasing the volume of the second fluid chamber, when the pressure of the internal fluid in the second fluid chamber decreases, The two pistons can be reliably moved in the direction of reducing the volume of the second fluid chamber.

上記発明においては、前記第2ピストンを前記第2流体室の容積を大きくする方向に向けて動作させるときには、前記第3流体室に外部から所定圧力の供給流体が供給され、前記第2ピストンを前記第2流体室の容積を小さくする方向に向けて移動させるときには、前記第3流体室内の供給流体の圧力が前記所定圧力より減圧されることが望ましい。 In the above invention, when operating the second piston in the direction of increasing the volume of the second fluid chamber , a supply fluid of a predetermined pressure is supplied from the outside to the third fluid chamber, and the second piston is When the second fluid chamber is moved in the direction of decreasing the volume, it is preferable that the pressure of the supply fluid in the third fluid chamber is reduced from the predetermined pressure.

本発明によれば、第3流体室に外部から所定圧力の供給流体が供給されることにより、第3ピストンが第1流体室方向に押圧されて移動する。第3ピストンが移動するとピストンロッドにより連結された第1ピストンが第1流体室方向の容積を小さくする方向に移動して、第1流体室の容積が小さくなる。第1流体室の容積が小さくなると、第1流体室内の内部流体は連通流路を介して第2流体室に流入する。第2流体室は内部流体の流入により第2ピストンは第2流体室の容積を大きくする方向に移動する。 According to the present invention, the supply fluid of a predetermined pressure is supplied from the outside to the third fluid chamber, whereby the third piston is pressed and moved in the direction of the first fluid chamber. When the third piston moves, the first piston connected by the piston rod moves in a direction to reduce the volume in the first fluid chamber direction , and the volume of the first fluid chamber decreases. When the volume of the first fluid chamber is reduced, the internal fluid in the first fluid chamber flows into the second fluid chamber via the communication channel. The second piston moves in the direction of increasing the volume of the second fluid chamber by the inflow of the internal fluid.

また、第3流体室内の供給流体の圧力が所定圧力より減圧されると、第2ピストンに作用する第2流体室の容積を大きくする方向に向かう力と、付勢部材により第2ピストンに作用する第2流体室の容積を小さくする方向に向かう力のバランスが崩れる。付勢部材は、第2ピストンを第2流体室の容積を小さくする方向に押圧して移動させ、第2流体室の容積を減少させる。第2流体室の容積が減少すると、内部流体は連通流路を介して第1流体室に流入する。第1流体室は内部流体の流入により容積が大きくなる。第1流体室の容積が大きくなると、第1ピストンは第3流体室方向に移動し、ピストンロッドにより連結された第3ピストンも移動する。 Further, when the pressure of the supply fluid of the third fluid chamber is reduced below a predetermined pressure, the force will suited in a direction to increase the second fluid chamber of volume which acts on the second piston, the second piston by a biasing member the balance of forces would unsuitable in a direction to reduce the volume of the second fluid chamber acting on collapses. The urging member presses and moves the second piston in a direction to reduce the volume of the second fluid chamber, and decreases the volume of the second fluid chamber. When the volume of the second fluid chamber decreases, the internal fluid flows into the first fluid chamber via the communication channel. The first fluid chamber increases in volume due to the inflow of internal fluid. When the volume of the first fluid chamber increases, the first piston moves toward the third fluid chamber, and the third piston connected by the piston rod also moves.

上記発明においては、前記第2ピストンを前記所定方向の一方に動作させるときには、前記2つの小部屋の一方に、外部から所定圧力の供給流体が供給されるとともに、前記2つの小部屋の他方は、内部の供給流体の圧力が前記所定圧力より減圧され、前記第2ピストンを前記所定方向の他方に動作させるときには、前記2つの小部屋の他方に、外部から所定圧力の供給流体が供給されるとともに、前記2つの小部屋の一方は、内部の供給流体の圧力が前記所定圧力より減圧されることが望ましい。   In the above invention, when operating the second piston in one of the predetermined directions, a supply fluid of a predetermined pressure is supplied from the outside to one of the two small chambers, and the other of the two small chambers is When the pressure of the internal supply fluid is reduced from the predetermined pressure and the second piston is operated in the other of the predetermined directions, the supply fluid of the predetermined pressure is supplied from the outside to the other of the two small chambers. At the same time, in one of the two small chambers, it is desirable that the pressure of the supply fluid inside is reduced from the predetermined pressure.

本発明によれば、2つの小部屋の一方に所定圧力の供給流体を供給するとともに、他方の小部屋の内部の供給流体の圧力を所定圧力より減圧させることにより、第3ピストンは一方の小部屋から他方の小部屋に向かって押圧され移動する。第3ピストンが移動するとピストンロッドにより連結された第1ピストンも移動して、例えば、第1流体室の容積が小さくなる。第1流体室の容積が小さくなると、第1流体室内の内部流体は連通流路を介して第2流体室に流入する。第2流体室は内部流体の流入により第2ピストンは第2流体室の容積を大きくする方向に移動する。 According to the present invention, the supply fluid of a predetermined pressure is supplied to one of the two small chambers, and the pressure of the supply fluid inside the other small chamber is reduced from the predetermined pressure, so that the third piston can It is pressed and moved from the room toward the other small room. When the third piston moves, the first piston connected by the piston rod also moves, and for example, the volume of the first fluid chamber decreases. When the volume of the first fluid chamber is reduced, the internal fluid in the first fluid chamber flows into the second fluid chamber via the communication channel. The second piston moves in the direction of increasing the volume of the second fluid chamber by the inflow of the internal fluid.

また、2つの小部屋の他方に所定圧力の供給流体を供給するとともに、一方の小部屋の内部の供給流体の圧力を所定圧力より減圧させることにより、第3ピストンは他方の小部屋から一方の小部屋に向かって押圧され移動する。第3ピストンが移動するとピストンロッドにより連結された第1ピストンも移動して、例えば、第1流体室の容積が大きくなる。第1流体室の容積が大きくなると、第2流体室内の内部流体は連通流路を介して第1流体室に流入する。第2流体室は内部流体の流出により第2ピストンは第2流体室の容積を小さくする方向に移動する。 In addition, while supplying a supply fluid of a predetermined pressure to the other of the two small chambers, and reducing the pressure of the supply fluid inside the one of the small chambers from the predetermined pressure, the third piston can be It is pressed and moved toward the small room. When the third piston moves, the first piston connected by the piston rod also moves, and for example, the volume of the first fluid chamber increases. When the volume of the first fluid chamber increases, the internal fluid in the second fluid chamber flows into the first fluid chamber via the communication channel. The second piston moves in the direction of reducing the volume of the second fluid chamber by the outflow of the internal fluid.

上記発明においては、前記第2ピストンを前記所定方向の一方に動作させるときには、前記2つの小部屋の一方に、外部から所定圧力の供給流体が供給されるとともに、前記2つの小部屋の他方は、内部の供給流体の圧力が前記所定圧力より減圧され、前記第2ピストンを前記所定方向の他方に動作させるときには、前記2つの小部屋の他方に、外部から所定圧力の供給流体が供給されるとともに、前記2つの小部屋の一方は、内部の供給流体の圧力が前記所定圧力より減圧され、前記付勢部材が、常に、前記第2ピストンを前記第2流体室方向の容積を小さくする方向に押圧することが望ましい。 In the above invention, when operating the second piston in one of the predetermined directions, a supply fluid of a predetermined pressure is supplied from the outside to one of the two small chambers, and the other of the two small chambers is When the pressure of the internal supply fluid is reduced from the predetermined pressure and the second piston is operated in the other of the predetermined directions, the supply fluid of the predetermined pressure is supplied from the outside to the other of the two small chambers. In one of the two small chambers, the pressure of the internal supply fluid is reduced from the predetermined pressure, and the biasing member always reduces the volume of the second piston in the direction of the second fluid chamber. It is desirable to press it.

本発明によれば、第3流体室に外部から所定圧力の供給流体が供給されることにより、第3ピストンが第1流体室方向に押圧されて移動する。第3ピストンが移動するとピストンロッドにより連結された第1ピストンが第1流体室方向の容積を小さくする方向に移動して、第1流体室の容積が小さくなる。第1流体室の容積が小さくなると、第1流体室内の内部流体は連通流路を介して第2流体室に流入する。第2流体室は内部流体の流入により第2ピストンは第2流体室の容積を大きくする方向に移動する。 According to the present invention, the supply fluid of a predetermined pressure is supplied from the outside to the third fluid chamber, whereby the third piston is pressed and moved in the direction of the first fluid chamber. When the third piston moves, the first piston connected by the piston rod moves in a direction to reduce the volume in the first fluid chamber direction , and the volume of the first fluid chamber decreases. When the volume of the first fluid chamber is reduced, the internal fluid in the first fluid chamber flows into the second fluid chamber via the communication channel. The second piston moves in the direction of increasing the volume of the second fluid chamber by the inflow of the internal fluid.

また、第3流体室内の供給流体の圧力が所定圧力より減圧されると、第2ピストンに作用する第2流体室の容積を大きくする方向に向かう力と、付勢部材により第2ピストンに作用する第2流体室の容積を小さくする方向に向かう力のバランスが崩れる。付勢部材は、第2ピストンを第2流体室方向の容積を小さくする方向に押圧して移動させ、第2流体室の容積を減少させる。第2流体室の容積が減少すると、内部流体は連通流路を介して第1流体室に流入する。第1流体室は内部流体の流入により容積が大きくなる。第1流体室の容積が大きくなると、第1ピストンは第3流体室方向に移動し、ピストンロッドにより連結された第3ピストンも移動する。 Further, when the pressure of the supply fluid of the third fluid chamber is reduced below a predetermined pressure, the force will suited in a direction to increase the second fluid chamber of volume which acts on the second piston, the second piston by a biasing member the balance of forces would unsuitable in a direction to reduce the volume of the second fluid chamber acting on collapses. The urging member presses and moves the second piston in the direction of decreasing the volume in the second fluid chamber direction , and decreases the volume of the second fluid chamber. When the volume of the second fluid chamber decreases, the internal fluid flows into the first fluid chamber via the communication channel. The first fluid chamber increases in volume due to the inflow of internal fluid. When the volume of the first fluid chamber increases, the first piston moves toward the third fluid chamber, and the third piston connected by the piston rod also moves.

さらに、付勢部材が常に第2ピストンを第2流体室方向の容積を小さくする方向に押圧するため、第1流体室および第2流体室内の内部流体には常に圧力が与えられる。内部流体に常に圧力が与えられているため、例えば、第2ピストンの移動方向を切り替える際にも圧力がなくなるタイミングがなくなり、常に第2ピストンを駆動することができる。 Furthermore, since the urging member always presses the second piston in the direction of reducing the volume in the direction of the second fluid chamber, pressure is always applied to the internal fluid in the first fluid chamber and the second fluid chamber. Since pressure is always applied to the internal fluid, for example, when the moving direction of the second piston is switched, there is no timing when the pressure disappears, and the second piston can always be driven.

上記発明においては、前記筐体には、それぞれ1つの前記第1流体室と、前記第2流体室と、前記第3流体室と、前記第1ピストンと、前記第2ピストンと、前記第3ピストンとが設けられ、前記第3ピストンの一方の面にのみ、前記ピストンロッドが設けられていることが望ましい。
本発明によれば、片ロッド型の流体圧シリンダを実現することができる。
In the above invention, each of the casings includes one of the first fluid chamber, the second fluid chamber, the third fluid chamber, the first piston, the second piston, and the third piston. It is desirable that a piston is provided, and the piston rod is provided only on one surface of the third piston.
According to the present invention, a single rod type fluid pressure cylinder can be realized.

上記発明においては、前記筐体には、それぞれ2つの前記第1流体室と、前記第2流体室と、前記第1ピストンと、前記第2ピストンと、それぞれ1つの前記第3流体室と、前記第3ピストンとが設けられ、前記第3ピストンの一方および他方の面に前記ピストンロッドが設けられ、前記第3流体室および第3ピストンとの両側に、それぞれ前記第1流体室と、前記第2流体室と、前記第1ピストンと、前記第2ピストンとが配置されていることが望ましい。
本発明によれば、両ロッド型の流体圧シリンダを実現することができる。
In the above invention, each of the casings includes two first fluid chambers, the second fluid chamber, the first piston, the second piston, and one third fluid chamber. The third piston, the piston rod is provided on one and other surfaces of the third piston, the first fluid chamber on both sides of the third fluid chamber and the third piston, It is desirable that the second fluid chamber, the first piston, and the second piston are disposed.
According to the present invention, a double rod type fluid pressure cylinder can be realized.

上記発明においては、前記第1ピストンの中心軸線と、前記第2ピストンの中心軸線とが一致するように配置され、前記第2ピストンには、前記第2ピストンと中心軸線を共有する貫通孔が形成され、前記第1ピストンには、前記第1ピストンと中心軸線を共有する円柱状のガイド部材が形成され、前記ガイド部材が、前記貫通孔に相対移動可能に挿入されている請求項1から10のいずれかに記載の流体圧シリンダ。   In the above invention, the central axis of the first piston and the central axis of the second piston are arranged to coincide with each other, and the second piston has a through hole sharing the central axis with the second piston. The cylindrical first guide member is formed on the first piston and shares a central axis with the first piston, and the guide member is inserted into the through hole so as to be relatively movable. The fluid pressure cylinder according to any one of 10.

本発明によれば、ガイド部材が貫通孔に相対移動可能に挿入されているため、ガイド部材と第2ピストンとは相対移動することができる。また、第2ピストンの姿勢は、ガイド部材と貫通孔との嵌め合いにより規制されるため、一定に保持されることができる。   According to the present invention, since the guide member is inserted into the through hole so as to be relatively movable, the guide member and the second piston can be relatively moved. Moreover, since the attitude | position of a 2nd piston is controlled by the fitting of a guide member and a through-hole, it can be hold | maintained uniformly.

本発明の流体圧シリンダによれば、移動方向である所定方向に投影された第2ピストンの投影面積が、第1ピストンの投影面積より大きく形成されているとともに、第1流体室と第2流体室と連通流路に内部流体が満たされているため、第2ピストンに、第1ピストンに加えられた供給流体の圧力に係る力に両ピストンの投影面積比を掛けた、大きな推力を発生させることができる。つまり、第1ピストンの投影面積と第2ピストンの投影面積の比を所定の値に設定することにより、エア供給のみで油圧供給の場合と同等の推力を発生させることができるという効果を奏する。   According to the fluid pressure cylinder of the present invention, the projected area of the second piston projected in the predetermined direction which is the moving direction is formed larger than the projected area of the first piston, and the first fluid chamber and the second fluid Since the internal fluid is filled in the chamber and the communication flow path, a large thrust is generated on the second piston by multiplying the force related to the pressure of the supply fluid applied to the first piston by the projected area ratio of both pistons. be able to. That is, by setting the ratio of the projected area of the first piston and the projected area of the second piston to a predetermined value, it is possible to generate a thrust equivalent to that in the case of hydraulic pressure supply only by air supply.

また、上述の特許文献1に開示されたシリンダと比較して、ピストンやロッドの内部にさらにピストンやロッドを配置する必要がないため、流体圧シリンダの小型化を図りやすいという効果を奏する。   Further, as compared with the cylinder disclosed in the above-mentioned Patent Document 1, it is not necessary to dispose the piston or rod further inside the piston or rod, so that the effect of easily miniaturizing the fluid pressure cylinder is achieved.

〔第1の実施形態〕
以下、本発明の第1の実施形態に係るエアハイドロ式シリンダついて図1から図3を参照して説明する。
図1は、本実施形態に係るエアハイドロ式シリンダの全体構成を説明する断面図である。
エアハイドロ式シリンダ(流体シリンダ)1は、図1に示すように、シリンダ本体(筺体)3と、シリンダ本体3の両端に配置された蓋5A,5Bとを備えている。
蓋5A,5Bは、ねじなどの固定部材を用いてシリンダ本体3に固定されている。
[First Embodiment]
Hereinafter, an air-hydro cylinder according to a first embodiment of the present invention will be described with reference to FIGS. 1 to 3.
FIG. 1 is a cross-sectional view illustrating the overall configuration of an air-hydro cylinder according to this embodiment.
As shown in FIG. 1, the air-hydro cylinder (fluid cylinder) 1 includes a cylinder body (housing) 3 and lids 5 </ b> A and 5 </ b> B disposed at both ends of the cylinder body 3.
The lids 5A and 5B are fixed to the cylinder body 3 using a fixing member such as a screw.

シリンダ本体3の内部には、シリンダ本体3の中心軸線(所定方向)Cと中心軸線を共通にする空気圧シリンダ7と、第1油圧シリンダ9と、第2油圧シリンダ11とが直列に形成されている。
空気圧シリンダ7は、シリンダ本体3の一方の端面に開放されて形成され、当該開放部は蓋5Aにより塞がれている。第1油圧シリンダ9は、空気圧シリンダ7に対して開放されて形成されるとともに、第2油圧シリンダ11に対しては隔壁13により離間するように形成されている。第2油圧シリンダ11は、シリンダ本体3の他方の端面に開放されて形成されている。
Inside the cylinder body 3, a pneumatic cylinder 7, a first hydraulic cylinder 9, and a second hydraulic cylinder 11 that share a central axis (predetermined direction) C and the central axis of the cylinder body 3 are formed in series. Yes.
The pneumatic cylinder 7 is formed open to one end face of the cylinder body 3, and the open portion is closed by a lid 5A. The first hydraulic cylinder 9 is formed open to the pneumatic cylinder 7 and is separated from the second hydraulic cylinder 11 by a partition wall 13. The second hydraulic cylinder 11 is formed open to the other end surface of the cylinder body 3.

空気圧シリンダ7内には、略板状の空気圧ピストン(第3ピストン)15が中心軸線C方向に移動可能に配置されている。空気圧シリンダ7と蓋5Aにより形成された空気圧室(第3流体室)17内は、空気圧ピストン15により2つの作動室(小部屋)19A,19Bに区切られている。シリンダ本体3には、作動室19A,19Bに対してそれぞれ外部と連通する流通孔(開口部)21A,21Bが形成されている。
作動室19A,19Bには、外部から流通孔21A,21Bを通じて所定圧力に加圧された供給エア(供給流体)ARが流入したり、作動室19A,19B内から供給エアが流出したりするように構成されている。
また、空気圧ピストン15の円周面には円環状のシール部材23が設けられ、作動室19A,19B間の空気の流通を防止している。空気圧ピストン15は、ピストンロッド25により後述する第1油圧ピストンと連結され、第1油圧ピストンとともに中心軸線C方向に移動するように構成されている。
なお、シール部材23としては、円環状に形成されたゴムリングなど、公知の部材を用いることができ、特に限定するものではない。
A substantially plate-like pneumatic piston (third piston) 15 is arranged in the pneumatic cylinder 7 so as to be movable in the direction of the central axis C. A pneumatic chamber (third fluid chamber) 17 formed by the pneumatic cylinder 7 and the lid 5A is divided into two working chambers (small chambers) 19A and 19B by a pneumatic piston 15. The cylinder body 3 has flow holes (openings) 21A and 21B communicating with the outside with respect to the working chambers 19A and 19B, respectively.
Supply air (supply fluid) AR pressurized to a predetermined pressure from the outside through the flow holes 21A and 21B flows into the working chambers 19A and 19B, and the supply air flows out from the working chambers 19A and 19B. It is configured.
An annular seal member 23 is provided on the circumferential surface of the pneumatic piston 15 to prevent air from flowing between the working chambers 19A and 19B. The pneumatic piston 15 is connected to a first hydraulic piston, which will be described later, by a piston rod 25, and is configured to move in the direction of the central axis C together with the first hydraulic piston.
As the seal member 23, a known member such as a rubber ring formed in an annular shape can be used and is not particularly limited.

第1油圧シリンダ9内には、略板状の第1油圧ピストン(第1ピストン)27が中心軸線C方向に移動可能に配置されている。第1油圧ピストン27は、第1油圧シリンダ9とともに、第1油圧室(第1流体室)29を形成する。この第1油圧室29の内部には、油(内部流体)OLが満たされている。
第1油圧ピストン27の円周面には円環状のシール部材23が設けられ、第1油圧室29内の油が空気圧室17側に流出することを防止している。
A substantially plate-like first hydraulic piston (first piston) 27 is arranged in the first hydraulic cylinder 9 so as to be movable in the direction of the central axis C. The first hydraulic piston 27 forms a first hydraulic chamber (first fluid chamber) 29 together with the first hydraulic cylinder 9. The first hydraulic chamber 29 is filled with oil (internal fluid) OL.
An annular seal member 23 is provided on the circumferential surface of the first hydraulic piston 27 to prevent the oil in the first hydraulic chamber 29 from flowing out to the pneumatic chamber 17 side.

第2油圧シリンダ11内には、第2油圧ピストン(第2ピストン)31が中心軸線C方向に移動可能に配置されている。第2油圧ピストン31は、第2油圧シリンダ11とともに、第2油圧室(第2流体室)33を形成する。第2油圧室33の内部には油OLが満たされている。シリンダ本体3には、第1油圧室29と第2油圧室33とを繋ぎ、油OLが第1,第2油圧室29,33間を流通可能とする連通流路35が形成されている。   A second hydraulic piston (second piston) 31 is arranged in the second hydraulic cylinder 11 so as to be movable in the central axis C direction. The second hydraulic piston 31 and the second hydraulic cylinder 11 form a second hydraulic chamber (second fluid chamber) 33. The second hydraulic chamber 33 is filled with oil OL. The cylinder body 3 is formed with a communication flow path 35 that connects the first hydraulic chamber 29 and the second hydraulic chamber 33 and allows oil OL to flow between the first and second hydraulic chambers 29 and 33.

第2油圧ピストン31は、第2油圧ピストン31とともに第2油圧室33を形成する板状部37と、板状部37から蓋5B側へ凸状に延びる突出部39とから概略構成されている。
板状部37には油供給孔41が形成され、油供給孔41から第1油圧室29,連通流路35および第2油圧室33に油が供給される。油供給孔41には、第2油圧室33からの油流出を防止するネジ43が配置されている。
板状部37の円周面には円環状のシール部材23が設けられ、第2油圧室33内の油が空気圧室17側に流出することを防止している。
板状部37と蓋5Bとの間には複数のコイルバネ(付勢部材)45が、中心軸線Cを中心とした円周上に等間隔に配置されている。
蓋5Bには孔47が形成され、突出部39は孔47を通って外側に突出している。
The second hydraulic piston 31 is generally configured by a plate-like portion 37 that forms the second hydraulic chamber 33 together with the second hydraulic piston 31, and a protruding portion 39 that protrudes from the plate-like portion 37 toward the lid 5B. .
An oil supply hole 41 is formed in the plate-like portion 37, and oil is supplied from the oil supply hole 41 to the first hydraulic chamber 29, the communication channel 35, and the second hydraulic chamber 33. In the oil supply hole 41, a screw 43 for preventing oil from flowing out from the second hydraulic chamber 33 is disposed.
An annular seal member 23 is provided on the circumferential surface of the plate-like portion 37 to prevent the oil in the second hydraulic chamber 33 from flowing out to the pneumatic chamber 17 side.
A plurality of coil springs (biasing members) 45 are arranged between the plate-like portion 37 and the lid 5B at equal intervals on a circumference centered on the central axis C.
A hole 47 is formed in the lid 5 </ b> B, and the protruding portion 39 protrudes outside through the hole 47.

空気圧ピストン15は、空気圧ピストン15の供給エアと接する面における中心軸線C方向に対する垂直面への投影面積が、第1油圧ピストン27の油と接する面における中心軸線C方向に対する垂直面への投影面積よりも大きくなるように形成されている。第2油圧ピストン31は、第2油圧ピストン31の油と接する面の中心軸線C方向に対する垂直面への投影面積が、第1油圧ピストン27の油と接する面における中心軸線C方向に対する垂直面への投影面積よりも大きくなるように形成されている。   In the pneumatic piston 15, the projection area onto the vertical plane with respect to the central axis C direction on the surface in contact with the supply air of the pneumatic piston 15 is the projection area onto the vertical plane with respect to the central axis C direction on the surface in contact with the oil of the first hydraulic piston 27. It is formed so as to be larger. In the second hydraulic piston 31, the projected area of the surface of the second hydraulic piston 31 in contact with the oil on the surface perpendicular to the direction of the central axis C is perpendicular to the surface of the first hydraulic piston 27 in contact with the oil along the direction of the central axis C. It is formed to be larger than the projected area.

なお、第1油圧室29,連通流路35および第2油圧室33に満たされる流体は、非圧縮性流体であればよく、上述のような油OLに限定するものではない。   Note that the fluid filled in the first hydraulic chamber 29, the communication channel 35, and the second hydraulic chamber 33 may be an incompressible fluid, and is not limited to the oil OL as described above.

第1油圧ピストン27には、蓋5B側に延びるガイドロッド(ガイド部材)49が設けられている。ガイドロッド49は、隔壁13に形成された隔壁孔51および第2油圧ピストン31に形成されたガイド孔(貫通孔)53内に挿通されている。
隔壁孔51およびガイド孔53には円環状のシール部材23が設けられ、それぞれ第1油圧室29と第2油圧室33との間の油の流通と、第2油圧室33から外部への油の流出を防止している。
The first hydraulic piston 27 is provided with a guide rod (guide member) 49 extending toward the lid 5B. The guide rod 49 is inserted into a partition hole 51 formed in the partition wall 13 and a guide hole (through hole) 53 formed in the second hydraulic piston 31.
An annular seal member 23 is provided in the partition hole 51 and the guide hole 53, and the oil flows between the first hydraulic chamber 29 and the second hydraulic chamber 33, and the oil from the second hydraulic chamber 33 to the outside, respectively. Prevents the outflow.

次に、上記の構成からなるエアハイドロ式シリンダ1における作用について説明する。
図2は、図1のエアハイドロ式シリンダ1において第2油圧ピストン31が前進した状態を説明する図である。
図1に示すのは、エアハイドロ式シリンダ1における第2油圧ピストン31が後退した状態であり、まず、この状態から第2油圧ピストン31が前進する際の動作を説明する。
Next, the operation of the air-hydro cylinder 1 having the above configuration will be described.
FIG. 2 is a diagram illustrating a state in which the second hydraulic piston 31 has advanced in the air-hydro cylinder 1 of FIG.
FIG. 1 shows a state in which the second hydraulic piston 31 in the air-hydro cylinder 1 is retracted. First, the operation when the second hydraulic piston 31 moves forward from this state will be described.

第2油圧ピストン31を前進させる場合には、まず、供給エアを流通孔21Aから作動室19Aに供給するとともに、流通孔21Bから作動室19B内の供給エアを外部に流出させる。
作動室19Aに供給エアが供給されると、図2に示すように、空気圧ピストン15が供給エア圧により第2油圧室33方向(図2における右方向)に押され、第2油圧室33方向へ移動する。
空気圧ピストン15が移動すると、ピストンロッド25により連結された第1油圧ピストン27も同様に第2油圧室33方向へ移動する。
When the second hydraulic piston 31 is moved forward, first, supply air is supplied from the circulation hole 21A to the working chamber 19A, and supply air in the working chamber 19B is discharged from the circulation hole 21B to the outside.
When the supply air is supplied to the working chamber 19A, as shown in FIG. 2, the pneumatic piston 15 is pushed in the second hydraulic chamber 33 direction (right direction in FIG. 2) by the supply air pressure, and the second hydraulic chamber 33 direction. Move to.
When the pneumatic piston 15 moves, the first hydraulic piston 27 connected by the piston rod 25 similarly moves in the direction of the second hydraulic chamber 33.

第1油圧ピストン27が第2油圧室33方向に移動すると、第1油圧室29内の油は、第1油圧ピストン27により押されて加圧される。
加圧された第1油圧室29の油の圧力は、連通流路35を介して第2油圧室33の油にも伝わる。第2油圧室33に伝わった油の圧力は、第2油圧ピストン31を押圧して蓋5B方向へ移動(前進)させる。
When the first hydraulic piston 27 moves in the direction of the second hydraulic chamber 33, the oil in the first hydraulic chamber 29 is pushed and pressurized by the first hydraulic piston 27.
The pressure of the pressurized oil in the first hydraulic chamber 29 is also transmitted to the oil in the second hydraulic chamber 33 through the communication channel 35. The oil pressure transmitted to the second hydraulic chamber 33 presses the second hydraulic piston 31 to move (advance) in the direction of the lid 5B.

次に、第2油圧ピストン31が後退する際の動作について説明する。
まず、エアハイドロ式シリンダ1が複動型シリンダの場合について説明する。
第2油圧ピストン31を、図2に示した状態から後退させる場合には、まず、供給エアを流通孔21Bから作動室19Bに供給するとともに、流通孔21Aから作動室19A内の供給エアを外部に流出させる。
作動室19Bに供給エアが供給されると、図1に示すように、空気圧ピストン15が作動室19A,19B内の供給エアの差圧により蓋5A方向(図1における左方向)に押され、蓋5A方向へ移動する。
空気圧ピストン15が移動すると、ピストンロッド25により連結された第1油圧ピストン27も同様に蓋5A方向へ移動する。
Next, the operation when the second hydraulic piston 31 moves backward will be described.
First, the case where the air hydro cylinder 1 is a double acting cylinder will be described.
When the second hydraulic piston 31 is retracted from the state shown in FIG. 2, first, supply air is supplied from the circulation hole 21B to the working chamber 19B, and supply air in the working chamber 19A is supplied from the circulation hole 21A to the outside. Spill into.
When supply air is supplied to the working chamber 19B, as shown in FIG. 1, the pneumatic piston 15 is pushed in the direction of the lid 5A (left direction in FIG. 1) by the differential pressure of the supply air in the working chambers 19A and 19B. Move in the direction of the lid 5A.
When the pneumatic piston 15 moves, the first hydraulic piston 27 connected by the piston rod 25 similarly moves in the direction of the lid 5A.

第1油圧ピストン27が蓋5A方向に移動すると、同時に第1油圧室29の容積が増加する。第1油圧室29には、連通流路35を介して第2油圧室33から油OLが流入する。第2油圧室33は、油OLが流出したことにより容積が減少して、第2油圧ピストン31は第1油圧室29方向(図1における左方向)へ強制的に後退させられる。
このとき、コイルバネ45は第2油圧ピストン31を第1油圧室29方向へ後退させる際の補助の役目を果たす。
When the first hydraulic piston 27 moves in the direction of the lid 5A, the volume of the first hydraulic chamber 29 increases at the same time. Oil OL flows from the second hydraulic chamber 33 into the first hydraulic chamber 29 via the communication channel 35. The volume of the second hydraulic chamber 33 decreases due to the outflow of the oil OL, and the second hydraulic piston 31 is forcibly retracted in the direction of the first hydraulic chamber 29 (the left direction in FIG. 1).
At this time, the coil spring 45 serves as an auxiliary when the second hydraulic piston 31 is retracted toward the first hydraulic chamber 29.

つぎに、エアハイドロ式シリンダ1が単動型シリンダの場合について説明する。
第2油圧ピストン31を、図2に示した状態から後退させる場合には、まず、流通孔21Aから作動室19A内への供給エアの供給を停止し、作動室19A内の供給エア圧力を外部に開放する。すると、第1油圧室29および第2油圧室33内の油OLの圧力は減圧され、油OLが第2油圧ピストン31を押す力が減少する。
上述の油OLが第2油圧ピストン31を押す力よりもコイルバネ45が第2油圧ピストンを押す力が大きくなると、第2油圧ピストン31は第1油圧室29方向(図1における左方向)へ押され、後退する。
Next, the case where the air-hydro cylinder 1 is a single-acting cylinder will be described.
When the second hydraulic piston 31 is retracted from the state shown in FIG. 2, first, supply of supply air from the flow hole 21A into the working chamber 19A is stopped, and the supply air pressure in the working chamber 19A is changed to the outside. To open. Then, the pressure of the oil OL in the first hydraulic chamber 29 and the second hydraulic chamber 33 is reduced, and the force with which the oil OL pushes the second hydraulic piston 31 decreases.
When the force by which the coil spring 45 pushes the second hydraulic piston becomes larger than the force by which the oil OL pushes the second hydraulic piston 31, the second hydraulic piston 31 pushes in the first hydraulic chamber 29 direction (left direction in FIG. 1). And retreat.

第2油圧ピストン31が後退すると、第2油圧室33の容積が小さくなる。第2油圧室33内の油OLは、連通流路35を介して第1油圧室29に流入し、第1油圧室29の容積が大きくなる。第1油圧ピストン27は油OLにより押されて後退し、ピストンロッド25により繋がれた空気圧ピストン15も後退する。   When the second hydraulic piston 31 moves backward, the volume of the second hydraulic chamber 33 decreases. The oil OL in the second hydraulic chamber 33 flows into the first hydraulic chamber 29 via the communication channel 35, and the volume of the first hydraulic chamber 29 increases. The first hydraulic piston 27 is pushed backward by the oil OL, and the pneumatic piston 15 connected by the piston rod 25 is also moved backward.

なお、第2油圧ピストン31は、ガイドロッド49とガイド孔53とが中心軸線C方向に対して相対移動可能に挿通されているため、中心軸線Cに対する姿勢が保持されたまま、中心軸線C方向に移動する。   In addition, since the guide rod 49 and the guide hole 53 are inserted in the second hydraulic piston 31 so as to be relatively movable with respect to the central axis C direction, the posture with respect to the central axis C is maintained and the second hydraulic piston 31 is maintained in the central axis C direction. Move to.

次に、エアハイドロ式シリンダ1における第2油圧ピストンの推力の発生について説明する。
まず、空気圧室17に供給される供給エアの圧力をPa、空気圧ピストン15の供給エアと接する面における中心軸線C方向に対する垂直面への投影面積をSaとすると、供給エアにより空気圧ピストン15に作用する中心軸線C方向への力Faは、
Fa=Pa×Sa ・・・(1)
と表される。
空気圧ピストン15と第1油圧ピストン27とは、ピストンロッド25により連結されているため、力Faは第1油圧ピストン27にも作用する。
Next, generation of thrust of the second hydraulic piston in the air-hydro cylinder 1 will be described.
First, assuming that the pressure of the supply air supplied to the pneumatic chamber 17 is Pa and the projected area on the surface perpendicular to the direction of the central axis C on the surface in contact with the supply air of the pneumatic piston 15 is Sa, the supply air acts on the pneumatic piston 15. The force Fa in the direction of the central axis C is
Fa = Pa × Sa (1)
It is expressed.
Since the pneumatic piston 15 and the first hydraulic piston 27 are connected by the piston rod 25, the force Fa also acts on the first hydraulic piston 27.

第1油圧ピストン27の油と接する面における中心軸線C方向に対する垂直面への投影面積をSy1とすると、第1油圧室29内の油圧Py1は、
Py1=Fa/Sy1 ・・・(2)
と表される。
ここで、(1)式と(2)式とから、油圧Py1は、
Py1=Fa/Sy1=Pa×Sa/Sy1 ・・・(3)
と表すことができる。空気圧ピストン15の投影面積Saは、第1油圧ピストン27の投影面積Sy1より大きいため、Sa/Sy1>1となる。したがって、(3)式から第1油圧室29内の油圧Py1は、供給エアの圧力Paより高くなることが示されている。
Assuming that the projected area of the surface of the first hydraulic piston 27 in contact with the oil onto the vertical plane with respect to the central axis C direction is Sy1, the hydraulic pressure Py1 in the first hydraulic chamber 29 is
Py1 = Fa / Sy1 (2)
It is expressed.
Here, from the formulas (1) and (2), the hydraulic pressure Py1 is
Py1 = Fa / Sy1 = Pa × Sa / Sy1 (3)
It can be expressed as. Since the projected area Sa of the pneumatic piston 15 is larger than the projected area Sy1 of the first hydraulic piston 27, Sa / Sy1> 1. Therefore, the equation (3) shows that the hydraulic pressure Py1 in the first hydraulic chamber 29 is higher than the pressure Pa of the supply air.

第2油圧室33内の油圧Py2は、パスカルの原理により、第1油圧室29内の油圧Py1と同じであるため、
Py2=Py1=Fa/Sy1 ・・・(4)
と表される。
The hydraulic pressure Py2 in the second hydraulic chamber 33 is the same as the hydraulic pressure Py1 in the first hydraulic chamber 29 due to Pascal's principle.
Py2 = Py1 = Fa / Sy1 (4)
It is expressed.

第2油圧ピストン31の油と接する面の中心軸線C方向に対する垂直面への投影面積をSy2とすると、第2油圧ピストン31に働く中心軸線C方向への力(推力)Fy2は、
Fy2=Py2×Sy2 ・・・(5)
と表される。
ここで、式(4)と式(5)とから、推力Fy2は、
Fy2=Fa×Sy2/Sy1 ・・・(6)
と表される。第2油圧ピストン31の投影面積Sy2は、第1油圧ピストン27の投影面積Sy1より大きいため、Sy2/Sy1>1となる。したがって、(6)式から第2油圧ピストン31に働く推力Fy2は、供給エアの圧力Paに基づく空気圧ピストン15に作用する力Faより大きくなっていることが示されている。
Assuming that the projected area on the surface perpendicular to the central axis C direction of the surface of the second hydraulic piston 31 in contact with oil is Sy2, the force (thrust) Fy2 acting on the second hydraulic piston 31 in the central axis C direction is
Fy2 = Py2 × Sy2 (5)
It is expressed.
Here, from Formula (4) and Formula (5), the thrust Fy2 is
Fy2 = Fa × Sy2 / Sy1 (6)
It is expressed. Since the projected area Sy2 of the second hydraulic piston 31 is larger than the projected area Sy1 of the first hydraulic piston 27, Sy2 / Sy1> 1. Therefore, it is shown from the equation (6) that the thrust Fy2 acting on the second hydraulic piston 31 is larger than the force Fa acting on the pneumatic piston 15 based on the pressure Pa of the supply air.

上記の構成によれば、第2油圧ピストン31の投影面積Sy2が、第1油圧ピストン27の投影面積Sy1より大きく形成されているとともに、第1油圧室29と第2油圧室33と連通流路35に油OLが満たされているため、第2油圧ピストン31に、第1油圧ピストン27に加えられた供給エアAR係る力Faに各ピストン27,29の投影面積比(Sy2/Sy1)を掛けた、大きな推力Fy2を発生させることができる。   According to the above configuration, the projected area Sy2 of the second hydraulic piston 31 is formed larger than the projected area Sy1 of the first hydraulic piston 27, and the communication path between the first hydraulic chamber 29 and the second hydraulic chamber 33 is communicated. Since 35 is filled with oil OL, the projected area ratio (Sy2 / Sy1) of each piston 27, 29 is multiplied by the force Fa related to the supply air AR applied to the first hydraulic piston 27 to the second hydraulic piston 31. In addition, a large thrust Fy2 can be generated.

そのため、第1油圧ピストン27の投影面積Sy1と第2油圧ピストン31の投影面積Sy2の比を所定の値に設定することにより、第1油圧ピストン27に作用する力Faの大きさに関わらず、第2油圧ピストン31に発生する推力Fy2の大きさを所定の値にすることができる。
具体的には、エアハイドロ式シリンダ1にエアのみを供給した場合であっても、油圧供給のシリンダと同等の推力を発生させることができる。
また、上述の特許文献1に開示されたシリンダと比較して、ピストンやロッドの内部にさらにピストンやロッドを配置する必要がないため、エアハイドロ式シリンダ1の小型化を図りやすくすることができる。
Therefore, by setting the ratio of the projected area Sy1 of the first hydraulic piston 27 and the projected area Sy2 of the second hydraulic piston 31 to a predetermined value, regardless of the magnitude of the force Fa acting on the first hydraulic piston 27, The magnitude of the thrust Fy2 generated in the second hydraulic piston 31 can be set to a predetermined value.
Specifically, even when only air is supplied to the air-hydro cylinder 1, it is possible to generate thrust equivalent to that of a hydraulic pressure supply cylinder.
Further, as compared with the cylinder disclosed in Patent Document 1 described above, it is not necessary to dispose a piston or rod inside the piston or rod, so that the size of the air-hydro cylinder 1 can be easily reduced. .

第1油圧室29,連通流路35および第2油圧室33内を満たす流体として、非圧縮性流体である油を用いているため、圧縮性流体を用いている場合と比較して、第2油圧ピストン31により大きな推力Fy2を発生させることができる。
つまり、非圧縮性流体の油を用いることで、推力の一部が第2油圧室33内における流体の圧縮に消費されることを防止できるため、効率よく第2油圧ピストン31に推力Fy2を発生させることができる。
Since oil that is an incompressible fluid is used as the fluid that fills the first hydraulic chamber 29, the communication flow path 35, and the second hydraulic chamber 33, the second fluid is compared with the case where a compressive fluid is used. The hydraulic piston 31 can generate a large thrust Fy2.
That is, by using the incompressible fluid oil, it is possible to prevent a part of the thrust from being consumed for the compression of the fluid in the second hydraulic chamber 33, and thus the thrust Fy2 is efficiently generated in the second hydraulic piston 31. Can be made.

空気圧室17を空気圧ピストン15により2つの作動室19A,19Bに分割し、それぞれの作動室19A,19Bに供給エアARを流入、流出させているとともに、第1油圧ピストン27と空気圧ピストン15とをピストンロッド25により連動して移動させているため、供給エアにより空気圧ピストン15に発生した力Faを第1油圧ピストン27に伝達することができる。
つまり、流通孔21A,21Bから供給エアを作動室19A,19Bに流入、流出させることにより、供給エアの圧力が空気圧ピストン15にかかる。そのため、空気圧ピストン15には供給エアによる力Faが働き、力Faはピストンロッド25を介して第1油圧ピストン27に伝達される。
The pneumatic chamber 17 is divided into two working chambers 19A and 19B by the pneumatic piston 15, and the supply air AR flows into and out of the respective working chambers 19A and 19B, and the first hydraulic piston 27 and the pneumatic piston 15 are connected to each other. Since the piston rod 25 moves in conjunction with each other, the force Fa generated in the pneumatic piston 15 by the supply air can be transmitted to the first hydraulic piston 27.
That is, the supply air pressure is applied to the pneumatic piston 15 by flowing the supply air into and out of the working chambers 19A and 19B from the flow holes 21A and 21B. Therefore, a force Fa by supply air acts on the pneumatic piston 15, and the force Fa is transmitted to the first hydraulic piston 27 through the piston rod 25.

空気圧ピストン15の投影面積Saが、第1油圧ピストン27の投影面積Sy1より大きいため、空気圧ピストン15が受けた供給エアの圧力Paを、第1油圧室29内の油OLに増幅して伝達することができる。
つまり、空気圧ピストン15が受ける力Faは、供給エアの圧力Paと空気圧ピストン15の投影面積Saの積であり、第1油圧ピストン27が受ける力は、油の圧力Py1と第1油圧ピストン27の投影面積Sy1の積である。両ピストン15,27に働く力は釣合うため、第1油圧ピストン27に働く圧力Py1は、空気圧ピストン15に働く圧力Paに、投影面積Saと投影面積Sy1の比(Sa/Sy1)を掛けたものになる。そのため、空気圧ピストン15で受けた供給エアの圧力Paは、第1油圧室29内の油OLに増幅して伝達される。
Since the projected area Sa of the pneumatic piston 15 is larger than the projected area Sy1 of the first hydraulic piston 27, the pressure Pa of the supply air received by the pneumatic piston 15 is amplified and transmitted to the oil OL in the first hydraulic chamber 29. be able to.
That is, the force Fa received by the pneumatic piston 15 is the product of the pressure Pa of the supply air and the projected area Sa of the pneumatic piston 15, and the force received by the first hydraulic piston 27 is the oil pressure Py 1 and the first hydraulic piston 27. This is the product of the projected area Sy1. Since the forces acting on the pistons 15 and 27 are balanced, the pressure Py1 acting on the first hydraulic piston 27 is obtained by multiplying the pressure Pa acting on the pneumatic piston 15 by the ratio (Sa / Sy1) of the projected area Sa to the projected area Sy1. Become a thing. Therefore, the pressure Pa of the supply air received by the pneumatic piston 15 is amplified and transmitted to the oil OL in the first hydraulic chamber 29.

エアハイドロ式シリンダ1は供給エアARのみで駆動されるため、油圧装置などの付帯装置を必要としないため、設置スペースの削減や、設置コストの削減を図ることができる。
また、油圧装置を必要としないため、油圧装置に起因する振動が発生しない。また、油圧装置から圧力変動のある油圧が供給されないため、油圧の変動に基づくシリンダの振動発生を防止できる。
さらに、油圧装置を用いないため、油圧装置とシリンダとの間で油の供給を行なう油圧ホース等の配管部品を必要としない。油圧用の配管部品は空気圧用の配管部品と比較して、高圧に耐える必要があるため、大きく、強固に作られている。そのため、油圧用の配管部品を必要としないことから、作業性の容易さと組み立てコストの低減、配管スペースの削減を行うことができる。
Since the air-hydro cylinder 1 is driven only by the supply air AR, an auxiliary device such as a hydraulic device is not required, so that the installation space can be reduced and the installation cost can be reduced.
Further, since a hydraulic device is not required, vibration caused by the hydraulic device does not occur. In addition, since the hydraulic pressure with pressure fluctuation is not supplied from the hydraulic device, it is possible to prevent the occurrence of cylinder vibration based on the fluctuation of hydraulic pressure.
Furthermore, since no hydraulic device is used, piping parts such as a hydraulic hose that supplies oil between the hydraulic device and the cylinder are not required. Since the hydraulic piping parts need to withstand high pressure compared to the pneumatic piping parts, they are large and solid. For this reason, since no hydraulic piping parts are required, workability, assembly cost, and piping space can be reduced.

図3は、図1のエアハイドロ式シリンダの他の実施例を説明する断面図である。
なお、上述のように、ガイドロッド49とガイド孔53とを相対移動可能に挿通させることにより、第2油圧ピストン31の姿勢を安定させてもよいし、第2油圧ピストン31の姿勢が安定するのであれば、図3に示すように、ガイドロッド49およびガイド孔53を設けなくても構わない。
FIG. 3 is a cross-sectional view illustrating another embodiment of the air-hydro cylinder of FIG.
As described above, the posture of the second hydraulic piston 31 may be stabilized by inserting the guide rod 49 and the guide hole 53 so as to be relatively movable, or the posture of the second hydraulic piston 31 is stabilized. In this case, the guide rod 49 and the guide hole 53 may not be provided as shown in FIG.

〔第2の実施の形態〕
次に、本発明の第2の実施形態について図4を参照して説明する。
本実施形態のエアハイドロ式シリンダの基本構成は、第1の実施形態と同様であるが、第1の実施形態では片ロッド式のエアハイドロ式シリンダに適用したのに対して、両ロッド式のエアハイドロ式シリンダに適用した点が異なっている。よって、本実施形態においては、図4を用いて第1の実施形態とは異なる構成要素のみを説明し、同一の構成要素等の説明を省略する。
図4は、本実施形態に係るエアハイドロ式シリンダの全体構成を説明する断面図である。
なお、第1の実施形態と同一の構成要素については、同一の符号を付してその説明を省略する。
[Second Embodiment]
Next, a second embodiment of the present invention will be described with reference to FIG.
The basic configuration of the air-hydro type cylinder of this embodiment is the same as that of the first embodiment, but in the first embodiment, it is applied to a single-rod type air-hydro type cylinder, whereas the double-rod type It is different in that it is applied to an air-hydro cylinder. Therefore, in the present embodiment, only components that are different from those in the first embodiment will be described using FIG. 4, and descriptions of the same components and the like will be omitted.
FIG. 4 is a cross-sectional view illustrating the overall configuration of the air-hydro cylinder according to the present embodiment.
In addition, about the component same as 1st Embodiment, the same code | symbol is attached | subjected and the description is abbreviate | omitted.

エアハイドロ式シリンダ(流体シリンダ)101は、図4に示すように、第1のシリンダ本体(筺体)103Aと、第2のシリンダ本体(筺体)103Bと、エアハイドロ式シリンダ101の両端に配置された蓋5Bとから概略構成されている。
第1のシリンダ本体103Aと第2のシリンダ本体103Bとはネジなどの固定部材を用いて互いに固定されている。
As shown in FIG. 4, the air-hydro cylinder (fluid cylinder) 101 is disposed at both ends of the first cylinder body (housing) 103 </ b> A, the second cylinder body (housing) 103 </ b> B, and the air-hydro cylinder 101. And a lid 5B.
The first cylinder body 103A and the second cylinder body 103B are fixed to each other using a fixing member such as a screw.

第1のシリンダ本体103Aの内部には、第1のシリンダ本体103Aの中心軸線Cと中心軸線を共通にする空気圧シリンダ7と、第1油圧シリンダ9と、第2油圧シリンダ11とが直列に形成されている。空気圧シリンダ7は、第1のシリンダ本体103Aの一方の端面に開放されて形成され、当該開放部は第2のシリンダ本体103Bにより塞がれている。   Inside the first cylinder body 103A, a pneumatic cylinder 7, a first hydraulic cylinder 9, and a second hydraulic cylinder 11 having a common central axis C and the central axis of the first cylinder body 103A are formed in series. Has been. The pneumatic cylinder 7 is formed to be opened at one end face of the first cylinder body 103A, and the open portion is closed by the second cylinder body 103B.

第2のシリンダ本体103Bの内部には、第2のシリンダ本体103Bの中心軸線Cと中心軸線を共通にする第1油圧シリンダ9と、第2油圧シリンダ11とが直列に形成されている。   Inside the second cylinder body 103B, a first hydraulic cylinder 9 and a second hydraulic cylinder 11 having a central axis C and a central axis common to the second cylinder body 103B are formed in series.

次に、上記の構成からなるエアハイドロ式シリンダ101における作用について説明する。
図4に示すのは、エアハイドロ式シリンダ101における第1のシリンダ本体103Aの第2油圧ピストン31が前進した状態であり、第2のシリンダ本体103Bの油圧ピストン31が後退した状態である。
第1のシリンダ本体103Aにおける第2油圧ピストン31が前進および後退する際の動作は第1の実施形態と同様であるのでその説明を省略する。
Next, the operation of the air-hydro cylinder 101 having the above configuration will be described.
FIG. 4 shows a state in which the second hydraulic piston 31 of the first cylinder body 103A in the air-hydro cylinder 101 has advanced, and a state in which the hydraulic piston 31 of the second cylinder body 103B has retracted.
Since the operation when the second hydraulic piston 31 moves forward and backward in the first cylinder body 103A is the same as that in the first embodiment, the description thereof is omitted.

第2のシリンダ本体103Bにおける第2油圧ピストン31が前進する際の動作を説明する。
第2のシリンダ本体103Bにおける第2油圧ピストン31を前進させる場合には、まず、供給エアを流通孔21Bから作動室19Bに供給するとともに、流通孔21Aから作動室19A内の供給エアを外部に流出させる。
作動室19Bに供給エアが供給されると、空気圧ピストン15が供給エア圧により図4における左方向に押され、第2のシリンダ本体103Bにおける第2油圧室33方向へ移動する。
以後の作用については、第1の実施形態と同様であるのでその説明を省略する。
An operation when the second hydraulic piston 31 moves forward in the second cylinder main body 103B will be described.
When the second hydraulic piston 31 in the second cylinder body 103B is moved forward, first, supply air is supplied from the circulation hole 21B to the working chamber 19B, and supply air in the working chamber 19A is supplied from the circulation hole 21A to the outside. Spill.
When the supply air is supplied to the working chamber 19B, the pneumatic piston 15 is pushed leftward in FIG. 4 by the supply air pressure, and moves toward the second hydraulic chamber 33 in the second cylinder body 103B.
Since the subsequent operation is the same as that of the first embodiment, the description thereof is omitted.

上記の構成によれば、作動室19A,19Bに供給エアを流入、流出させることにより、第1のシリンダ本体103Aの第2油圧ピストン31を前進(後退)させると同時に、第2のシリンダ本体103Bの第2油圧ピストン31を後退(前進)させることができる。   According to the above configuration, the supply air flows into and out of the working chambers 19A and 19B to advance (retreat) the second hydraulic piston 31 of the first cylinder body 103A, and at the same time, the second cylinder body 103B. The second hydraulic piston 31 can be moved backward (advanced).

なお、本発明の技術範囲は上記実施形態に限定されるものではなく、本発明の趣旨を逸脱しない範囲において種々の変更を加えることが可能である。
例えば、上記の実施の形態においては、空気を供給することにより駆動されるエアハイドロ式シリンダに適用して説明したが、圧縮性流体である空気により駆動されるエアハイドロ式シリンダに限られることなく、非圧縮性流体等、その他各種の流体により駆動されるシリンダに適用することができるものである。
非圧縮性流体により駆動されるシリンダ場合には、空気などの圧縮性流体により駆動される場合と比較すると、より大きな推力を第2油圧ピストンに発生させることができる。
The technical scope of the present invention is not limited to the above embodiment, and various modifications can be made without departing from the spirit of the present invention.
For example, in the above embodiment, the description has been made by applying to an air-hydro cylinder driven by supplying air, but the present invention is not limited to an air-hydro cylinder driven by air as a compressible fluid. The present invention can be applied to a cylinder driven by various other fluids such as an incompressible fluid.
In the case of a cylinder driven by an incompressible fluid, a larger thrust can be generated in the second hydraulic piston than when driven by a compressive fluid such as air.

また、上記の実施の形態おいては、空気圧ピストン15と第1油圧ピストン27とをピストンロッド25により接続する構成に適用して説明したが、この構成に限定されることなく、例えば、空気圧ピストン15と第1油圧ピストン27とを一体に形成したものなど、その他各種の構成に適用することができるものである。   Further, in the above-described embodiment, the description has been made by applying to the configuration in which the pneumatic piston 15 and the first hydraulic piston 27 are connected by the piston rod 25. However, the present invention is not limited to this configuration. 15 and the first hydraulic piston 27 can be applied to other various configurations.

本発明の第1の実施形態に係るエアハイドロ式シリンダの全体構成を説明する断面図である。It is sectional drawing explaining the whole structure of the air hydro type | mold cylinder which concerns on the 1st Embodiment of this invention. 図1のエアハイドロ式シリンダにおいて第2油圧ピストンが前進した状態を説明する図である。It is a figure explaining the state which the 2nd hydraulic piston advanced in the air-hydro type cylinder of FIG. 図1のエアハイドロ式シリンダの他の実施例を説明する断面図である。It is sectional drawing explaining the other Example of the air hydro type | mold cylinder of FIG. 本発明の第2の実施形態に係るエアハイドロ式シリンダの全体構成を説明する断面図である。It is sectional drawing explaining the whole structure of the air hydro type | mold cylinder which concerns on the 2nd Embodiment of this invention.

符号の説明Explanation of symbols

1,101 エアハイドロ式シリンダ(流体シリンダ)
3 シリンダ本体(筺体)
15 空気圧ピストン(第3ピストン)
17 空気圧室(第3流体室)
19A,19B 作動室(小部屋)
21A,21B 流通孔(開口部)
25 ピストンロッド
27 第1油圧ピストン(第1ピストン)
29 第1油圧室(第1流体室)
31 第2油圧ピストン(第2ピストン)
33 第2油圧室(第2流体室)
35 連通流路
45 コイルバネ(付勢部材)
49 ガイドロッド(ガイド部材)
53 ガイド孔(貫通孔)
103A 第1のシリンダ本体(筺体)
103B 第2のシリンダ本体(筺体)
C 中心軸線(所定方向)
AR 供給エア(供給流体)
OL 油(内部流体)
Sa,Sy1,Sy2 投影面積
1,101 Air-hydro cylinder (fluid cylinder)
3 Cylinder body (frame)
15 Pneumatic piston (3rd piston)
17 Pneumatic chamber (third fluid chamber)
19A, 19B Working room (small room)
21A, 21B Flow hole (opening)
25 piston rod 27 first hydraulic piston (first piston)
29 First hydraulic chamber (first fluid chamber)
31 Second hydraulic piston (second piston)
33 Second hydraulic chamber (second fluid chamber)
35 Communication channel 45 Coil spring (biasing member)
49 Guide rod (guide member)
53 Guide hole (through hole)
103A First cylinder body (housing)
103B Second cylinder body (housing)
C Center axis (predetermined direction)
AR supply air (supply fluid)
OL oil (internal fluid)
Sa, Sy1, Sy2 projected area

Claims (11)

筺体と、
該筺体内に設けられた第1流体室および第2流体室と、
該第1流体室の一方の壁面を形成するとともに、所定方向に移動可能に設けられた第1ピストンと、
前記第2流体室の一方の壁面を形成するとともに、前記所定方向に移動可能に設けられた第2ピストンと、
前記第1流体室と、前記第2流体室とを繋ぐ連通流路と、
前記第1ピストンの前記所定方向の全移動範囲において前記第1流体室、前記第2流体室および前記連通流路の全てに満たされた内部流体と、を有し、
前記第2ピストンの前記内部流体と接する面における前記所定方向に対する垂直面への投影面積が、前記第1ピストンの前記内部流体と接する面における前記所定方向に対する垂直面への投影面積より大きくなるように形成され、
前記第1ピストンに外部から供給された供給流体の圧力が加えられることにより、前記第2ピストンが駆動される流体圧シリンダ。
The body,
A first fluid chamber and a second fluid chamber provided in the housing;
A first piston that forms one wall surface of the first fluid chamber and is movable in a predetermined direction;
A second piston that forms one wall surface of the second fluid chamber and is movable in the predetermined direction;
A communication channel connecting the first fluid chamber and the second fluid chamber;
An internal fluid filled in all of the first fluid chamber, the second fluid chamber, and the communication flow path in the entire movement range of the first piston in the predetermined direction ,
The projected area of the surface of the second piston in contact with the internal fluid on the surface perpendicular to the predetermined direction is larger than the projected area of the surface of the first piston in contact with the internal fluid on the surface perpendicular to the predetermined direction. Formed into
A fluid pressure cylinder in which the second piston is driven when a pressure of a supply fluid supplied from the outside is applied to the first piston.
前記内部流体が非圧縮性流体である請求項1記載の流体圧シリンダ。   The fluid pressure cylinder according to claim 1, wherein the internal fluid is an incompressible fluid. 前記筺体には第3流体室が設けられ、
該第3流体室内には、該第3流体室を2つの小部屋に区切るとともに、前記所定方向に移動可能に設けられた第3ピストンが設けられ、
前記第1ピストンと前記第3ピストンとの間には、前記第1ピストンと前記第3ピストンとを連動して移動させるピストンロッドが設けられ、
前記2つの小部屋には、それぞれ外部から供給流体を流入、流出させる開口部が設けられている請求項1または2に記載の流体圧シリンダ。
The housing is provided with a third fluid chamber,
The third fluid chamber is provided with a third piston that divides the third fluid chamber into two small chambers and is movable in the predetermined direction.
Between the first piston and the third piston is provided a piston rod for moving the first piston and the third piston in conjunction with each other,
3. The fluid pressure cylinder according to claim 1, wherein the two small chambers are provided with openings through which a supply fluid flows in and out from the outside. 4.
前記第3ピストンの前記供給流体と接する面における前記所定方向に対する垂直面への投影面積が、前記第1ピストンの前記内部流体と接する面における前記所定方向に対する垂直面への投影面積より大きくなるように形成されている請求項3記載の流体圧シリンダ。   The projected area of the surface of the third piston in contact with the supply fluid on the vertical surface with respect to the predetermined direction is larger than the projected area of the surface of the first piston in contact with the internal fluid on the vertical surface with respect to the predetermined direction. 4. The fluid pressure cylinder according to claim 3, wherein the fluid pressure cylinder is formed. 前記第2ピストンには、前記第2ピストンを前記第2流体室の容積を小さくする方向に向けて付勢する付勢部材が設けられている請求項1から4のいずれかに記載の流体圧シリンダ。 5. The fluid pressure according to claim 1, wherein the second piston is provided with a biasing member that biases the second piston toward a direction in which the volume of the second fluid chamber is reduced. Cylinder. 前記第2ピストンを前記第2流体室の容積を大きくする方向に向けて動作させるときには、前記第3流体室に外部から所定圧力の供給流体が供給され、
前記第2ピストンを前記第2流体室の容積を小さくする方向に向けて移動させるときには、前記第3流体室内の供給流体の圧力が前記所定圧力より減圧される請求項5記載の流体圧シリンダ。
When operating the second piston toward the direction of increasing the volume of the second fluid chamber , a supply fluid of a predetermined pressure is supplied from the outside to the third fluid chamber,
The fluid pressure cylinder according to claim 5, wherein when the second piston is moved in a direction to reduce the volume of the second fluid chamber , the pressure of the supply fluid in the third fluid chamber is reduced from the predetermined pressure.
前記第2ピストンを前記所定方向の一方に動作させるときには、
前記2つの小部屋の一方に、外部から所定圧力の供給流体が供給されるとともに、前記2つの小部屋の他方は、内部の供給流体の圧力が前記所定圧力より減圧され、
前記第2ピストンを前記所定方向の他方に動作させるときには、
前記2つの小部屋の他方に、外部から所定圧力の供給流体が供給されるとともに、前記2つの小部屋の一方は、内部の供給流体の圧力が前記所定圧力より減圧される請求項3または4に記載の流体圧シリンダ。
When operating the second piston in one of the predetermined directions,
A supply fluid of a predetermined pressure is supplied from the outside to one of the two small chambers, and the pressure of the internal supply fluid is reduced from the predetermined pressure in the other of the two small chambers,
When operating the second piston in the other direction of the predetermined direction,
The supply fluid having a predetermined pressure is supplied from the outside to the other of the two small chambers, and the pressure of the internal supply fluid is reduced from the predetermined pressure in one of the two small chambers. The fluid pressure cylinder described in 1.
前記第2ピストンを前記所定方向の一方に動作させるときには、
前記2つの小部屋の一方に、外部から所定圧力の供給流体が供給されるとともに、前記2つの小部屋の他方は、内部の供給流体の圧力が前記所定圧力より減圧され、
前記第2ピストンを前記所定方向の他方に動作させるときには、
前記2つの小部屋の他方に、外部から所定圧力の供給流体が供給されるとともに、前記2つの小部屋の一方は、内部の供給流体の圧力が前記所定圧力より減圧され、
前記付勢部材が、常に、前記第2ピストンを前記第2流体室の容積を小さくする方向に押圧する請求項5記載の流体圧シリンダ。
When operating the second piston in one of the predetermined directions,
A supply fluid of a predetermined pressure is supplied from the outside to one of the two small chambers, and the pressure of the internal supply fluid is reduced from the predetermined pressure in the other of the two small chambers,
When operating the second piston in the other direction of the predetermined direction,
A supply fluid having a predetermined pressure is supplied to the other of the two small chambers from the outside, and the pressure of the internal supply fluid is reduced from the predetermined pressure in one of the two small chambers,
The fluid pressure cylinder according to claim 5, wherein the biasing member always presses the second piston in a direction to reduce the volume of the second fluid chamber.
前記筐体には、それぞれ1つの前記第1流体室と、前記第2流体室と、前記第3流体室と、前記第1ピストンと、前記第2ピストンと、前記第3ピストンとが設けられ、
前記第3ピストンの一方の面にのみ、前記ピストンロッドが設けられている請求項6から8のいずれかに記載の流体圧シリンダ。
The casing is provided with one each of the first fluid chamber, the second fluid chamber, the third fluid chamber, the first piston, the second piston, and the third piston. ,
The fluid pressure cylinder according to any one of claims 6 to 8, wherein the piston rod is provided only on one surface of the third piston.
前記筐体には、それぞれ2つの前記第1流体室と、前記第2流体室と、前記第1ピストンと、前記第2ピストンと、それぞれ1つの前記第3流体室と、前記第3ピストンとが設けられ、
前記第3ピストンの一方および他方の面に前記ピストンロッドが設けられ、前記第3流体室および第3ピストンとの両側に、それぞれ前記第1流体室と、前記第2流体室と、前記第1ピストンと、前記第2ピストンとが配置されている請求項6から8のいずれかに記載の流体圧シリンダ。
The casing includes two first fluid chambers, the second fluid chamber, the first piston, the second piston, one third fluid chamber, and the third piston, respectively. Is provided,
The piston rod is provided on one and other surfaces of the third piston, and the first fluid chamber, the second fluid chamber, and the first fluid are respectively provided on both sides of the third fluid chamber and the third piston. The fluid pressure cylinder according to any one of claims 6 to 8, wherein a piston and the second piston are arranged.
前記第1ピストンの中心軸線と、前記第2ピストンの中心軸線とが一致するように配置され、
前記第2ピストンには、前記第2ピストンと中心軸線を共有する貫通孔が形成され、
前記第1ピストンには、前記第1ピストンと中心軸線を共有する円柱状のガイド部材が形成され、
前記ガイド部材が、前記貫通孔に相対移動可能に挿入されている請求項1から10のいずれかに記載の流体圧シリンダ。
The central axis of the first piston and the central axis of the second piston are arranged to coincide with each other,
The second piston has a through hole that shares a central axis with the second piston,
The first piston is formed with a cylindrical guide member sharing a central axis with the first piston,
The fluid pressure cylinder according to any one of claims 1 to 10, wherein the guide member is inserted into the through hole so as to be relatively movable.
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