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JP4906322B2 - Oxide phosphor, radiation detector and X-ray CT apparatus - Google Patents
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JP4906322B2 - Oxide phosphor, radiation detector and X-ray CT apparatus - Google Patents

Oxide phosphor, radiation detector and X-ray CT apparatus Download PDF

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本発明はX線、γ線などを検出する放射線検出器、特にX線CT装置等の撮像装置に好適な放射線検出器に関する。また本発明は前記放射線検出器を用いたX線CT装置に関する。   The present invention relates to a radiation detector that detects X-rays, γ-rays, and the like, and more particularly to a radiation detector suitable for an imaging apparatus such as an X-ray CT apparatus. The present invention also relates to an X-ray CT apparatus using the radiation detector.

近年、X線CT装置等の撮像装置に用いられる固体検出器は、セラミックシンチレータとフォトダイオードを組み合わせたものが主流となっており、複数個のシンチレータ素子とフォトダイオードが並んだ検出器素子アレイ基板を、X線管焦点を中心とした円弧上に複数個並べた構造が、多く採用されている。撮像装置の検出器に求められる特性としては、高出力であること、残光が短いことなどがあり、優れた特性が得られるシンチレータ材が開発されている。例えば本出願人は、Ceを発光元素とし、Gd、Al、Ga、Oを含んだガーネット構造の母体結晶からなる酸化物蛍光体を提案している(特許文献1、特許文献2など)。この酸化物蛍光体では、従来のCdWO4などの単結晶シンチレータの1.5倍以上の発光出力が得られる。 In recent years, solid-state detectors used in imaging devices such as X-ray CT apparatuses are mainly a combination of a ceramic scintillator and a photodiode, and a detector element array substrate in which a plurality of scintillator elements and photodiodes are arranged. A structure in which a plurality of the tubes are arranged on an arc centered on the X-ray tube focal point is often used. The characteristics required of the detector of the imaging device include high output, short afterglow, and the like. A scintillator material capable of obtaining excellent characteristics has been developed. For example, the present applicant has proposed an oxide phosphor made of a base crystal having a garnet structure containing Ce as a light emitting element and containing Gd, Al, Ga, and O (Patent Document 1, Patent Document 2, etc.). With this oxide phosphor, a light emission output 1.5 times or more that of a conventional single crystal scintillator such as CdWO 4 can be obtained.

一方、シンチレータの加工精度や検出器素子アレイの組み立て精度が検出器の特性に与える影響も大きい。検出器素子アレイの組み立て方法としては、フォトダイオードアレイ基板にシンチレータ板を接着した後、フォトダイオードアレイに対応してシンチレータ板に溝加工を施し、溝に金属製のセパレータ板や樹脂状のチャンネル分離材を挿入する方法や、あるいはシンチレータ材、チャンネル分離材を交互に貼り合わせ、シンチレータアレイとしたものを、フォトダイオードアレイ基板に接着する方法などが用いられている。いずれの組み立て方法においても、シンチレータ材に対する高精度な加工が要求される。例えば溝加工方式においては、溝が曲がって加工された場合には、チャンネル形状が理想的な幾何学位置からずれることになる。このような場合、検出器素子アレイと散乱線除去コリメータとの幾何学的位置関係にずれが生じ、アーチファクトの原因となる。また、シンチレータアレイをフォトダイオードアレイ基板に接着する方式においても、各々のシンチレータ材には高精度な加工精度が要求される。   On the other hand, the processing accuracy of the scintillator and the assembly accuracy of the detector element array have a great influence on the detector characteristics. The detector element array can be assembled by attaching a scintillator plate to the photodiode array substrate, then grooving the scintillator plate in correspondence with the photodiode array, and separating the metal separator plate or resinous channel into the groove. A method of inserting a material, or a method of bonding a scintillator material and a channel separation material alternately to form a scintillator array and adhering it to a photodiode array substrate is used. In any of the assembling methods, high-precision processing for the scintillator material is required. For example, in the groove processing method, when the groove is bent and processed, the channel shape deviates from an ideal geometric position. In such a case, the geometric positional relationship between the detector element array and the scattered radiation elimination collimator is shifted, which causes artifacts. Also in the system in which the scintillator array is bonded to the photodiode array substrate, each scintillator material is required to have high processing accuracy.

ところで一般に、セラミックス材料の製造工程においては、種々の焼結助剤が用いられる。焼結助剤を用いる目的は、焼結中の結晶粒成長を抑制し、気孔生成を抑止する、結晶粒を成長させる、焼結対象材料の光学特性を向上するなど様々である。例えば特許文献3には、YAGセラミックスの焼成助剤としてアルカリ金属の酸化物を用いることにより光学特性を向上させることが記載され、また特許文献4には、YAGセラミックスの焼成温度を低温化させる焼結助剤として窒化アルミニウムを使用することが提案されている。   In general, various sintering aids are used in the manufacturing process of the ceramic material. The purpose of using the sintering aid is various, such as suppressing crystal grain growth during sintering, inhibiting pore formation, growing crystal grains, and improving the optical characteristics of the material to be sintered. For example, Patent Document 3 describes that optical properties are improved by using an alkali metal oxide as a firing aid for YAG ceramics, and Patent Document 4 discloses a firing process for lowering the firing temperature of YAG ceramics. It has been proposed to use aluminum nitride as a binder.

前記酸化物蛍光体の加工性や特性についても、焼結助剤によって改良する可能性があるが、上述したように焼結助剤の機能は様々であり、また焼結対象となる材料によってその機能も変化しうるので、夫々の目的に適した焼結助剤を探索することは困難である。さらに焼結助剤は、目的とするセラミックス材料の特性を阻害しないものでなければならない。
特開2001−4753号公報 特開2002−189080号公報 特開平5−286761号公報 特開2005−154155号公報
The processability and properties of the oxide phosphor may also be improved by the sintering aid, but as described above, the function of the sintering aid is various, and the function depends on the material to be sintered. Since the function can also change, it is difficult to search for a sintering aid suitable for each purpose. Furthermore, the sintering aid must be one that does not interfere with the properties of the intended ceramic material.
JP 2001-4753 A JP 2002-189080 A Japanese Patent Laid-Open No. 5-286761 JP 2005-154155 A

本発明の目的は、シンチレータとしての機能に優れ、且つ加工性がよく、精密加工が容易な酸化物蛍光体を提供することである。また、この酸化物蛍光体を備え、高精度に加工された、安価な放射線検出器を提供することである。また、前記放射線検出器を備え、高性能かつ安価なX線CT装置などの撮像装置を提供することである。   An object of the present invention is to provide an oxide phosphor that has an excellent function as a scintillator, has good processability, and is easy to process precisely. Another object of the present invention is to provide an inexpensive radiation detector provided with the oxide phosphor and processed with high accuracy. Another object of the present invention is to provide an imaging apparatus such as a high-performance and inexpensive X-ray CT apparatus that includes the radiation detector.

本発明者らは、前述の、Ceを発光元素とし、Gd、Al、Ga、Oを含んだガーネット構造の母体結晶からなる酸化物蛍光体の合成過程で加えられる添加物について、研究を積み重ねた結果、この蛍光体粉末を焼結する際に、焼結助剤としてNa化合物を添加して焼結することにより、結晶粒径を大きく成長させることができ、しかも蛍光体自体の特性、特に残光を向上させることができることを見出し、本発明に至ったものである。   The inventors of the present invention have made studies on the additive added in the process of synthesizing an oxide phosphor composed of a base crystal having a garnet structure containing Ce as a light emitting element and containing Gd, Al, Ga, and O. As a result, when sintering this phosphor powder, by adding a Na compound as a sintering aid and sintering, the crystal grain size can be increased, and the characteristics of the phosphor itself, particularly the residual The present inventors have found that light can be improved and have arrived at the present invention.

すなわち本発明の酸化物蛍光体は、Ceを発光元素とし、少なくともGd、Al、Ga、Oを含んだ、主にガーネット構造の母体結晶からなる酸化物蛍光体であって、Naを含有することを特徴とする。   That is, the oxide phosphor of the present invention is an oxide phosphor mainly composed of a base crystal having a garnet structure containing Ce as a light emitting element and containing at least Gd, Al, Ga, and O, and contains Na. It is characterized by.

本発明の酸化物蛍光体において、Naの含有量は、好適には酸化物蛍光体重量に対して500wtppm以下である。また本発明の酸化物蛍光体において、母体結晶は第二相として、ペロブスカイト構造を有するものでもよい。   In the oxide phosphor of the present invention, the content of Na is preferably 500 wtppm or less with respect to the weight of the oxide phosphor. In the oxide phosphor of the present invention, the base crystal may have a perovskite structure as the second phase.

また本発明の酸化物蛍光体を製造する方法は、上記Ceを発光元素とし、少なくともGd、Al、Ga、Oを含んだ、主にガーネット構造の母体結晶からなる酸化物蛍光体を製造する方法であって、原料粉末を混合し、仮焼きする工程と、仮焼き粉末を焼結する工程とを含み、原料粉末または仮焼き粉末にNa化合物を添加することを特徴とする。
Na化合物は、例えばNa2B4O7、NaCl、NaBrおよびNa2CO3からなる群から選ばれる1種又は2種以上の化合物である。
Further, the method for producing the oxide phosphor of the present invention is a method for producing an oxide phosphor mainly composed of a garnet-structured base crystal containing Ce as a light-emitting element and containing at least Gd, Al, Ga, and O. The method includes a step of mixing and calcining the raw material powder and a step of sintering the calcined powder, and adding a Na compound to the raw material powder or the calcined powder.
The Na compound is, for example, one or more compounds selected from the group consisting of Na 2 B 4 O 7 , NaCl, NaBr, and Na 2 CO 3 .

本発明の放射線検出器は、放射線により発光する蛍光体素子と、前記蛍光体素子による発光を検出する光電変換素子とを備え、蛍光体素子として、本発明の酸化物蛍光体を用いたことを特徴とする。   The radiation detector of the present invention comprises a phosphor element that emits light by radiation and a photoelectric conversion element that detects light emitted by the phosphor element, and the oxide phosphor of the present invention is used as the phosphor element. Features.

本発明のX線CT装置は、放射線源と、この放射線源に対向して配置された放射線検出器と、これら放射線源及び放射線検出器を保持し、被検体の周りで回転駆動される回転円板と、前記放射線検出器で検出された放射線の強度に基づき前記被検体の断層像を画像再構成する画像再構成手段とを備え、放射線検出器として本発明の放射線検出器を用いたことを特徴とする。   An X-ray CT apparatus according to the present invention includes a radiation source, a radiation detector disposed opposite to the radiation source, a rotation circle that holds the radiation source and the radiation detector, and is driven to rotate around a subject. A plate and image reconstruction means for reconstructing a tomographic image of the subject based on the intensity of radiation detected by the radiation detector, and using the radiation detector of the present invention as a radiation detector. Features.

本発明の撮像装置は、放射線源と、被検体を挟んで前記放射線源と対向配置された放射線検出器と、前記放射線検出器で検出された放射線の強度に基づき前記被検体の画像を作成する画像作成手段とを備え、放射線検出器として本発明の放射線検出器を用いたことを特徴とする。   The imaging apparatus of the present invention creates an image of the subject based on a radiation source, a radiation detector disposed opposite to the radiation source with the subject interposed therebetween, and the intensity of the radiation detected by the radiation detector. And a radiation detector according to the present invention as a radiation detector.

なお本発明の酸化物蛍光体は、放射線検出器のシンチレータ材料であり、本明細書において酸化物蛍光体を放射線検出器のシンチレータ材料として説明する場合には、セラミックシンチレータともいう。   The oxide phosphor of the present invention is a scintillator material for a radiation detector, and when the oxide phosphor is described as a scintillator material for a radiation detector in this specification, it is also called a ceramic scintillator.

本発明によれば、加工性がよく、精密加工が容易なセラミックシンチレータを提供することができる。また、前記セラミックシンチレータを用いることにより、高精度に加工された放射線検出器を、加工歩留まりよく、安価に、生産性よく提供することができる。また、前記放射線検出器を備え、高性能かつ安価なX線CT装置などの医用撮像装置を提供することができる。   According to the present invention, it is possible to provide a ceramic scintillator having good processability and easy precision processing. In addition, by using the ceramic scintillator, a radiation detector processed with high accuracy can be provided with high processing yield, low cost, and high productivity. In addition, it is possible to provide a medical imaging apparatus such as a high-performance and inexpensive X-ray CT apparatus that includes the radiation detector.

以下、本発明の実施の形態を説明する。
まず本発明の酸化物蛍光体について説明する。本発明の対象となる酸化物蛍光体は、Ceを発光元素とし、少なくともGd、Al、Ga、Oを含んだ、主にガーネット構造の母体結晶からなる酸化物蛍光体であり、例えば、国際公開WO99/33934号記載の、一般式(Gd1-z-xLzCex)3Al5-yGayO12(式中、LはLa又はY、0≦z<0.2、xは0.0005≦x≦0.02、yは0<y<5の範囲の値である)で表される蛍光体、特開2001-4753号公報に記載の、ガーネット構造の結晶構造を有し、Gd/(Al+Ga+Gd)の原子比が0.33以上、0.42以下で、(Gd+Ce)/(Al+Ga+Gd+Ce)=0.375を除く蛍光体などを主成分とする蛍光体、特開2002-189080公報に記載の、Ceを発光元素とし、少なくともGd、Al、Ga、Oを含んだガーネット構造を第一相とし、第二相としてペロブスカイト構造を有する母体結晶を有する蛍光体などである。
Embodiments of the present invention will be described below.
First, the oxide phosphor of the present invention will be described. An oxide phosphor that is an object of the present invention is an oxide phosphor mainly composed of a base crystal having a garnet structure containing Ce as a light-emitting element and containing at least Gd, Al, Ga, and O. WO99 / according No. 33934, the general formula (Gd 1-zx L z Ce x) 3 Al 5-y Ga y O 12 ( wherein, L is La or Y, 0 ≦ z <0.2, x is 0.0005 ≦ x ≦ 0.02, y is a value in the range of 0 <y <5), described in JP-A-2001-4753, having a garnet crystal structure, Gd / (Al + Ga + A phosphor mainly composed of phosphors other than (Gd + Ce) / (Al + Ga + Gd + Ce) = 0.375 with an atomic ratio of (Gd) of 0.33 or more and 0.42 or less, in JP-A-2002-189080 And a phosphor having a host crystal having a perovskite structure as a second phase and a garnet structure including Ce as a light-emitting element, at least Gd, Al, Ga, and O as a first phase.

Naは、上記蛍光体を製造する際に、Na化合物として上記蛍光体に添加される。Na化合物は、原料粉末にフラックスとして添加してもよいし、焼結助剤として添加してもよい。Na化合物としては、Na2B4O7、NaCl、NaBr、Na2CO3、(Na3PO4、Na2SO4)などが挙げられるが、特にNa2B4O7、NaCl、NaBr、Na2CO3が好ましい。Naを添加することにより、上記蛍光体の発光出力を低下させることなく、結晶粒径を大きく成長させ、しかも残光を低減できる。 Na is added to the phosphor as a Na compound when the phosphor is manufactured. The Na compound may be added as a flux to the raw material powder, or may be added as a sintering aid. Examples of the Na compound include Na 2 B 4 O 7 , NaCl, NaBr, Na 2 CO 3 , (Na 3 PO 4 , Na 2 SO 4 ), etc., but particularly Na 2 B 4 O 7 , NaCl, NaBr, Na 2 CO 3 is preferred. By adding Na, the crystal grain size can be increased and the afterglow can be reduced without lowering the light emission output of the phosphor.

Na化合物の機能については、次のように考えられる。Na化合物は、焼結助剤として結晶粒成長を促進させる働きをし、結晶粒界に主に残留するとともに、結晶内にも入り込む。Na化合物によって粒成長した本発明の蛍光体においては、結晶粒界での格子欠陥が減少し、これに起因した残光を低減できる。また、結晶内に入り込んだNaにより、これまで残光の原因となっていた電子のトラップ準位から、無輻射のエネルギー失括過程ができたものと推察される。逆に、助剤の添加によって残光が増大する場合もある。これは、添加物が結晶内に入り込み、残光の原因となる電子のトラップ準位を新たに生成してしまったためと思われる。すなわちNa化合物は、焼結助剤であると共に、残光を低減させる添加物としても働いているものと考えられる。   The function of the Na compound is considered as follows. Na compound acts as a sintering aid to promote crystal grain growth, and remains mainly at the crystal grain boundary and also enters the crystal. In the phosphor of the present invention in which grains are grown by Na compound, lattice defects at the grain boundaries are reduced, and afterglow caused by this can be reduced. Moreover, it is surmised that the non-radiative energy loss process has been achieved by the trapped state of electrons, which has been the cause of afterglow, due to Na entering the crystal. Conversely, afterglow may increase due to the addition of an auxiliary agent. This is presumably because the additive enters the crystal and newly generates an electron trap level that causes afterglow. That is, it is considered that the Na compound is a sintering aid and also works as an additive for reducing afterglow.

上記蛍光体におけるNaの含有量は、40wtppm以上50wtppm以下とする。蛍光体に不可避的に含まれる不純物元素の含有量は数wtppmであるので、少なすぎると添加の効果が不明確である。一方、Naの含有量が多いほど、残光は低減するが発光強度は低下する傾向があり、500wtppmを超えると残光は殆ど低下しないが発光強度はさらに低下する。 The content of Na in the phosphor is 40 wtppm or more and 50 wtppm or less . Since the content of impurity elements inevitably contained in the phosphor is several wtppm, if it is too small, the effect of addition is unclear. On the other hand, the more the content of Na, afterglow tends but to reduce the emission intensity decreases, exceeds 500wtppm afterglow almost not decrease the emission intensity you decrease further.

本発明の酸化物蛍光体は、Na化合物を添加すること以外は、上述したCeを発光元素とし、少なくともGd、Al、Ga、Oを含む酸化物蛍光体の製造方法と同じ製造方法により製造することができる。例えば、一般的なセラミックス材料と同様に、(1)原料粉末の混合、仮焼き工程と、(2)仮焼き粉末の焼結工程とからなる製造方法を採用することができる。本発明のセラミックシンチレータを得るための製造方法の一例を、以下に説明する。   The oxide phosphor of the present invention is produced by the same production method as that of the oxide phosphor containing at least Gd, Al, Ga, and O using Ce as a light emitting element except that a Na compound is added. be able to. For example, as with a general ceramic material, a manufacturing method including (1) mixing raw material powder and calcining step and (2) sintering step of calcining powder can be employed. An example of a manufacturing method for obtaining the ceramic scintillator of the present invention will be described below.

まず、高純度のGd2O3、Al2O3、Ga2O3、CeO2などの原料粉末を所定量秤量後、例えばボールミル混合により、10時間程度湿式混合する。この混合粉末を乾燥した後、アルミナるつぼに入れ、1400〜1800℃の酸素を含む雰囲気中で数時間仮焼きし、仮焼き粉末を得る。原料粉末としては、ミクロンオーダーの微細な粉末がよく、好ましくはサブミクロンの粉末がよい。また原料粉末は、酸化物や水酸化物、しゅう酸塩などのほか、共沈法、ゾルゲル法などによって合成した微細粉末を使用してもよい。粉末純度は99.99%以上が望ましい。粉末純度が低いと、発光強度、残光などの発光特性が劣化するためである。 First, a predetermined amount of raw powders such as high-purity Gd 2 O 3 , Al 2 O 3 , Ga 2 O 3 , and CeO 2 are weighed and then wet-mixed for about 10 hours, for example, by ball mill mixing. After drying this mixed powder, it is put into an alumina crucible and calcined for several hours in an atmosphere containing oxygen at 1400 to 1800 ° C. to obtain a calcined powder. The raw material powder is preferably a micron-order fine powder, preferably a submicron powder. In addition to the oxide, hydroxide, oxalate, etc., the raw material powder may be a fine powder synthesized by a coprecipitation method or a sol-gel method. The powder purity is desirably 99.99% or more. This is because if the powder purity is low, the light emission characteristics such as light emission intensity and afterglow deteriorate.

このようにして作製したシンチレータ仮焼き粉末に、所定量秤量したNa化合物を添加し、例えばボールミルで10時間程度湿式混合した後に、乾燥させる。このように作製した添加剤混合粉末を、焼結する。焼結方法としては、特に限定する必要はなく、ホットプレス法、熱間静水圧プレス(HIP)法、常圧焼結法、常圧焼結法とHIP法との併用法などで焼結が可能である。   A Na compound weighed in a predetermined amount is added to the scintillator calcined powder thus produced, and is wet-mixed for about 10 hours by, for example, a ball mill and then dried. The additive mixed powder thus produced is sintered. The sintering method is not particularly limited, and sintering can be performed by a hot pressing method, a hot isostatic pressing (HIP) method, a normal pressure sintering method, a combination method of a normal pressure sintering method and a HIP method, or the like. Is possible.

ホットプレス法では、前述の添加剤混合粉末を300〜600kgf/cm2程度の圧力で金型成型して成型体とした後、ホットプレス型にセットし、真空中、大気中、あるいは酸素中の雰囲気下で、1400〜1800℃の温度で数時間、300〜600kgf/cm2程度の圧力にて焼結する。これによって、相対密度99%以上の焼結体を、容易に得ることができる。 In the hot press method, the above-mentioned additive mixed powder is molded by molding at a pressure of about 300 to 600 kgf / cm 2 to form a molded body, and then set in a hot press mold, and in vacuum, air, or oxygen Sintering is performed at a temperature of 1400-1800 ° C. for several hours under a pressure of about 300-600 kgf / cm 2 . Thereby, a sintered body having a relative density of 99% or more can be easily obtained.

HIP法では、FeあるいはW、Moなどの金属製カプセル中に添加剤混合粉末を入れ、真空封止して、1200〜1800℃の温度で数時間、1000〜2000
kgf/cm2程度の圧力にて焼結する。
常圧焼結では、添加剤混合粉末を3000kgf/cm2程度の圧力で冷間静水圧プレス(CIP)を行った後、1400〜1800℃の酸素を含む雰囲気中で数〜数十時間の焼結を行う。
In the HIP method, an additive mixed powder is placed in a metal capsule such as Fe, W, or Mo, vacuum sealed, and a temperature of 1200 to 1800 ° C. for several hours, 1000 to 2000
sintered at kgf / cm 2 about pressure.
In normal pressure sintering, the additive powder mixture is subjected to cold isostatic pressing (CIP) at a pressure of about 3000 kgf / cm 2 and then sintered in an atmosphere containing oxygen at 1400 to 1800 ° C. for several to several tens of hours. Do the tie.

このようにして得られたセラミックシンチレータは、Naを含有し、結晶粒径が1〜500μmと大きく粒成長したものとなる。結晶粒径が大きく成長したことにより、加工性が向上し、精密加工が容易になる。また、Na化合物を用いない従来のセラミックシンチレータと比較して、残光は小さくなっており、発光強度の悪化は少ない。   The ceramic scintillator thus obtained contains Na and has a crystal grain size as large as 1 to 500 μm. The large growth of the crystal grain size improves the workability and facilitates precision processing. Further, the afterglow is smaller than that of a conventional ceramic scintillator that does not use a Na compound, and the deterioration of the emission intensity is small.

なおこの製造方法は、本発明のセラミックシンチレータを得るための製造方法を限定するものではなく、その他の製造方法によっても本発明のセラミックシンチレータを製造することは可能である。例えば、原料粉末を混合する際にNa化合物を併せて混合し、仮焼きを行い、これを焼結することによっても本発明のセラミックシンチレータを製造することができ、同様の効果が得られる。また、仮焼き工程を省略し、原料粉末とNa化合物を混合したものを直接焼結させることによっても、本発明のセラミックシンチレータを得ることが可能である。   This manufacturing method does not limit the manufacturing method for obtaining the ceramic scintillator of the present invention, and the ceramic scintillator of the present invention can be manufactured by other manufacturing methods. For example, the ceramic scintillator of the present invention can also be produced by mixing and mixing Na compounds when calcining the raw material powder, calcining, and sintering this, and the same effect can be obtained. The ceramic scintillator of the present invention can also be obtained by omitting the calcining step and directly sintering the mixture of the raw material powder and the Na compound.

本発明の酸化物蛍光体は、発光波長が可視光から近赤外領域にあり、光出力がCdWO4の1.5倍以上の高出力が得られる。また残光が極めて短く、X線を断ってから約300msで残光が1×10-3%未満となる。従って放射線検出器のシンチレータとして極めて有用である。また本発明の酸化物蛍光体は、Naを含有しないものに比べ粒径が大きい。具体的にはNaを含有しない同組成の酸化物蛍光体の10倍以上(20μm以上)である。従って加工性に優れ、高精度の加工を効率よく行うことが可能である。 The oxide phosphor of the present invention has a light emission wavelength in the visible to near-infrared region, and a light output of 1.5 times or more that of CdWO 4 can be obtained. Further, the afterglow is extremely short, and the afterglow becomes less than 1 × 10 −3 % in about 300 ms after the X-ray is turned off. Therefore, it is extremely useful as a scintillator for a radiation detector. Further, the oxide phosphor of the present invention has a larger particle size than that containing no Na. Specifically, it is 10 times or more (20 μm or more) of the oxide phosphor having the same composition and not containing Na. Therefore, it is excellent in workability, and high-precision machining can be performed efficiently.

次に本発明の放射線検出器の実施の形態について説明する。図2に、本発明の放射線検出器の一実施の形態を示す。図2は、本発明の放射線検出器の断面図を示しており、複数のフォトダイオード23を有するフォトダイオードアレイ基板24の上に、各々のフォトダイオード位置に対応して、シンチレータ素子21が配置されている。各シンチレータ素子のフォトダイオードに面していない面は、光反射層22に覆われている。   Next, an embodiment of the radiation detector of the present invention will be described. FIG. 2 shows an embodiment of the radiation detector of the present invention. FIG. 2 shows a cross-sectional view of the radiation detector of the present invention. On the photodiode array substrate 24 having a plurality of photodiodes 23, scintillator elements 21 are arranged corresponding to the respective photodiode positions. ing. The surface of each scintillator element that does not face the photodiode is covered with the light reflecting layer 22.

シンチレータ素子21には、上述した本発明のセラミックシンチレータを用いる。フォトダイオード23には、PINフォトダイオードを用いるのが望ましい。PINフォトダイオードは感度が高く、応答速度が速く、かつ波長感度が可視光から近赤外領域にあるので、本発明のシンチレータの発光波長とのマッチングがよい。光反射層22は、X線の吸収が少なく、光反射率の高い材料からなる。例えば、TiO2粉末を混合した有機樹脂などが用いられる。 As the scintillator element 21, the above-described ceramic scintillator of the present invention is used. As the photodiode 23, it is desirable to use a PIN photodiode. Since the PIN photodiode has high sensitivity, high response speed, and wavelength sensitivity in the visible to near infrared region, it matches well with the emission wavelength of the scintillator of the present invention. The light reflecting layer 22 is made of a material that absorbs less X-rays and has a high light reflectance. For example, an organic resin mixed with TiO 2 powder is used.

図中の矢印で示した方向から入射したX線は、光反射層22を透過して、シンチレータ素子21で吸収される。X線を吸収したシンチレータ素子21は、可視光を発光する。シンチレータ素子21が発光した可視光は、光反射層22で反射され、フォトダイオード23で電気信号に変換される。   X-rays incident from the direction indicated by the arrow in the figure are transmitted through the light reflecting layer 22 and absorbed by the scintillator element 21. The scintillator element 21 that has absorbed X-rays emits visible light. Visible light emitted from the scintillator element 21 is reflected by the light reflecting layer 22 and converted into an electric signal by the photodiode 23.

本発明の放射線検出器の製造方法は、特に限定されないが、例えば、シンチレータ材料(バルク)を加工し、所定の厚さのシンチレータ板を作成する。このシンチレータ板を複数のフォトダイオード23が形成されたフォトダイオードアレイ基板24に接着した後、フォトダイオードアレイに対応してシンチレータ板に溝加工を施す。作成された溝に必要に応じて金属製のセパレータ板や樹脂状のチャンネル分離材を挿入する。最後に溝加工されたシンチレータ21全体を光反射層22を構成する材料で覆い放射線検出器を得る。あるいはフォトダイオード23の大きさに対応する厚さのシンチレータ板とチャンネル分離材を交互に貼り合わせた後、所定の厚さに切り出し、シンチレータアレイを作製する。これのシンチレータアレイを、フォトダイオード23が形成されたフォトダイオードアレイ基板24に接着し、シンチレータアレイ全体を光反射層22用材料で覆い放射線検出器を得る。   Although the manufacturing method of the radiation detector of this invention is not specifically limited, For example, scintillator material (bulk) is processed and the scintillator board of predetermined thickness is created. After this scintillator plate is bonded to the photodiode array substrate 24 on which a plurality of photodiodes 23 are formed, the scintillator plate is grooved corresponding to the photodiode array. A metal separator plate or a resinous channel separator is inserted into the created groove as necessary. Finally, the entire grooved scintillator 21 is covered with the material constituting the light reflecting layer 22 to obtain a radiation detector. Alternatively, a scintillator plate having a thickness corresponding to the size of the photodiode 23 and a channel separating material are alternately bonded, and then cut into a predetermined thickness to produce a scintillator array. The scintillator array is adhered to a photodiode array substrate 24 on which the photodiodes 23 are formed, and the entire scintillator array is covered with a material for the light reflecting layer 22 to obtain a radiation detector.

このような放射線検出器の製造工程において、シンチレータとして加工性に優れた本発明のセラミックシンチレータを用いることにより、容易に高い加工精度のシンチレータ素子を作製することができる。そのため、高精度に組み立てられた放射線検出器を、容易かつ安価に製造することができる。   In the manufacturing process of such a radiation detector, by using the ceramic scintillator of the present invention having excellent processability as a scintillator, a scintillator element with high processing accuracy can be easily produced. Therefore, the radiation detector assembled with high accuracy can be easily and inexpensively manufactured.

次に本発明の撮像装置の実施の形態を説明する。図3は、本発明の撮像装置の一実施の形態としてX線CT装置の概略を示す図である。   Next, an embodiment of the imaging apparatus of the present invention will be described. FIG. 3 is a diagram showing an outline of an X-ray CT apparatus as an embodiment of the imaging apparatus of the present invention.

この装置はスキャンガントリ部310と画像再構成部320とを備え、スキャンガントリ部310には、被検体が搬入される開口部314を備えた回転円板311と、この回転円板311に搭載されたX線管312と、X線管312に取り付けられ、X線束の放射方向を制御するコリメータ313と、X線管312と対向して回転円板311に搭載されたX線検出器315と、X線検出器315で検出されたX線を所定の信号に変換する検出器回路316と、回転円板311の回転及びX線束の幅を制御するスキャン制御回路317とが備えられている。   This apparatus includes a scan gantry unit 310 and an image reconstruction unit 320. The scan gantry unit 310 is mounted on a rotating disk 311 having an opening 314 into which a subject is carried, and the rotating disk 311. An X-ray tube 312, a collimator 313 which is attached to the X-ray tube 312 and controls the radiation direction of the X-ray bundle, an X-ray detector 315 mounted on the rotating disk 311 facing the X-ray tube 312, A detector circuit 316 that converts the X-rays detected by the X-ray detector 315 into a predetermined signal, and a scan control circuit 317 that controls the rotation of the rotating disk 311 and the width of the X-ray bundle are provided.

画像再構成部320は、被検者氏名、検査日時、検査条件などを入力する入力装置321、検出器回路316から送出される計測データS1を演算処理してCT画像再構成を行う画像演算回路322、画像演算回路322で作成されたCT画像に、入力装置321から入力された被検者氏名、検査日時、検査条件などの情報を付加する画像情報付加部323と、画像情報を付加されたCT画像信号S2の表示ゲインを調整してディスプレイモニタ330へ出力するディスプレイ回路324とを備えている。   The image reconstruction unit 320 includes an input device 321 for inputting a subject's name, examination date and time, examination conditions, and the like, and an image computation circuit that performs CT image reconstruction by computing the measurement data S1 sent from the detector circuit 316 322, an image information adding unit 323 for adding information such as a subject name, examination date and time, and examination conditions input from the input device 321 to the CT image created by the image arithmetic circuit 322, and image information added And a display circuit 324 that adjusts the display gain of the CT image signal S2 and outputs it to the display monitor 330.

このX線CT装置では、スキャンガントリ部310の開口部314に、設置された寝台(図示せず)に被検者を寝かせた状態で、X線管312からX線が照射される。このX線はコリメータ313により指向性を得、X線検出器315により検出されるが、この際、回転円板311を被検者の周りに回転させることにより、X線を照射する方向を変えながら、被検者を透過したX線を検出する。この計測データをもとに画像再構成部320で作成された断層像は、ディスプレイモニタ330に表示される。   In this X-ray CT apparatus, X-rays are irradiated from an X-ray tube 312 in a state where a subject is placed on a bed (not shown) installed in an opening 314 of a scan gantry unit 310. The X-ray is obtained by the collimator 313 and is detected by the X-ray detector 315. At this time, the direction of X-ray irradiation is changed by rotating the rotating disk 311 around the subject. The X-ray transmitted through the subject is detected. A tomographic image created by the image reconstruction unit 320 based on the measurement data is displayed on the display monitor 330.

ここでX線検出器315は、散乱線除去コリメータと、シンチレータとフォトダイオードとを組み合わせた検出器素子を多数(例えば960個)円弧状に配列したもので、本発明の放射線検出器を用いている。このため、本発明のX線CT装置は、高精度に組み立てられた放射線検出器を有し、高画質なCT断層像を提供することができる。   Here, the X-ray detector 315 includes a large number (eg, 960) of detector elements in which a scattered radiation removing collimator, a scintillator, and a photodiode are combined, arranged in an arc shape, and the radiation detector of the present invention is used. Yes. For this reason, the X-ray CT apparatus of the present invention has a radiation detector assembled with high precision, and can provide a high-quality CT tomogram.

以下、本発明の実施例を説明する。
[実施例1]
出発原料粉末として、純度99.99%で、粒径が0.1〜5μm程度のGd2O3、Al2O3、Ga2O3、CeO2粉末を用い、Gd2.982Ce0.018Al2.8Ga2.2O12の組成になるように、各々秤量した。これをポリエチレン容器にアルミナボール、イオン交換水と共に入れ、約16時間ボールミルで混合した。混合後、蒸発皿に移して混合粉末を乾燥し、ナイロンふるいを通して整粒した。整粒粉末をアルミナるつぼに入れ、1500℃の酸素中にて4時間仮焼きした。このシンチレータ仮焼き粉末に、シンチレータ粉末1モルに対して0.0005〜0.01モルのNa2B4O7を添加し、ボールミルで約16時間湿式混合し、乾燥させた。この添加剤混合粉末を、500kgf/cm2の圧力で金型成形した後、真空中で1500℃、500kgf/cm2にてホットプレス焼結した。焼結体を、30mm×24mm×2mmの試験片に加工し、1300℃の酸素中にて4時間アニール処理し、セラミックシンチレータ板として完成させた。
Examples of the present invention will be described below.
[Example 1]
As the starting material powder, Gd 2 O 3 , Al 2 O 3 , Ga 2 O 3 , CeO 2 powder having a purity of 99.99% and a particle size of about 0.1 to 5 μm was used, and Gd 2.982 Ce 0.018 Al 2.8 Ga 2.2 O 12 Each was weighed to have a composition. This was put into a polyethylene container together with alumina balls and ion-exchanged water, and mixed with a ball mill for about 16 hours. After mixing, the mixture was transferred to an evaporating dish and the mixed powder was dried and sized through a nylon sieve. The sized powder was placed in an alumina crucible and calcined in oxygen at 1500 ° C. for 4 hours. To this scintillator calcined powder, 0.0005 to 0.01 mol of Na 2 B 4 O 7 was added to 1 mol of the scintillator powder, and wet-mixed with a ball mill for about 16 hours and dried. The additive powder mixture, after molding at a pressure of 500kgf / cm 2, 1500 ℃ in vacuum and hot-press sintering at 500 kgf / cm 2. The sintered body was processed into a 30 mm × 24 mm × 2 mm test piece and annealed in oxygen at 1300 ° C. for 4 hours to complete a ceramic scintillator plate.

得られたシンチレータ板のNa残留量、結晶粒径および発光特性を測定した。結果を表1に示す。なおNa残留量はICP発光分析により測定した。結晶粒径は走査型電子顕微鏡にて試験片表面を観察し、計測した。発光強度は、管電圧120kV、管電流100mAのX線を照射した時の発光強度を測定した。表1では、発光強度をCdWO4シンチレータの発光強度に対する割合で表してある。また残光は、X線照射後300msにおける出力の、照射中出力に対する割合で表した。
さらに加工性を評価するために、各試験片を荷重100gでラップ研磨し、試験片の重量の減少速度を測定した。結果を表1に示す。加工速度が速いほど、材料の加工性が良いことを表している。Na2B4O7添加量を変えた時の結晶粒径および加工速度の変化を図1に示す。
The obtained scintillator plate was measured for the residual amount of Na, the crystal grain size, and the light emission characteristics. The results are shown in Table 1. The residual amount of Na was measured by ICP emission analysis. The crystal grain size was measured by observing the surface of the test piece with a scanning electron microscope. The emission intensity was measured by irradiating X-rays with a tube voltage of 120 kV and a tube current of 100 mA. In Table 1, the emission intensity is expressed as a ratio to the emission intensity of the CdWO 4 scintillator. The afterglow was expressed as the ratio of the output at 300 ms after X-ray irradiation to the output during irradiation.
Furthermore, in order to evaluate workability, each test piece was lapped with a load of 100 g, and the rate of decrease in the weight of the test piece was measured. The results are shown in Table 1. The higher the processing speed, the better the workability of the material. FIG. 1 shows changes in crystal grain size and processing speed when the amount of Na 2 B 4 O 7 added is changed.

Figure 0004906322
Figure 0004906322

表1および図1より、Na2B4O7添加量の増加と共に、結晶粒径が成長し、それに伴って加工性も向上しているのが分かる。また、助剤添加量を増やしていくと、残光が小さくなっている。しかし、助剤添加量の増加と共に、発光強度もやや低下している。試料番号1の助剤を添加しない試料と比較して、添加量0.002モルまでは、発光強度の低下が10%程度に収まっており、本発明の効果が十分に得られる範囲である。この時のNa残留量は、500wtppmである。これ以上Na2B4O7を添加すると、発光強度はさらに低下していき、残光は殆ど低下しなくなる。従って本発明のシンチレータにおいてNa含有量は500wtppm以下が望ましいと言える。 From Table 1 and FIG. 1, it can be seen that as the amount of Na 2 B 4 O 7 added increases, the crystal grain size grows and the workability also increases accordingly. Moreover, the afterglow is reduced as the amount of the auxiliary agent added is increased. However, as the amount of auxiliary added increases, the emission intensity also decreases slightly. Compared with the sample to which the auxiliary of Sample No. 1 is not added, up to the added amount of 0.002 mol, the decrease in the emission intensity is within about 10%, which is a range where the effect of the present invention can be sufficiently obtained. At this time, the residual amount of Na is 500 wtppm. When Na 2 B 4 O 7 is further added, the emission intensity further decreases and the afterglow hardly decreases. Therefore, it can be said that the Na content in the scintillator of the present invention is preferably 500 wtppm or less.

[実施例2]
実施例1と同様にシンチレータ仮焼き粉末を作製し、このシンチレータ仮焼き粉末に実施例1と種類の異なるNa化合物(NaCl、NaBr、Na2CO3、Na3PO4・12H2O、Na2SO4)を添加し、それ以外は実施例1と同様にシンチレータ板を作製した。Na化合物の添加量は、それぞれシンチレータ粉末1モルに対して、Naイオンが0.001モルとなる量とした。得られたシンチレータ板について実施例1と同様に、Na残留量、結晶粒径、発光特性および加工速度を測定した。その結果を表2に示す。表2には、参考のため、実施例1の試料番号1、2の結果を併せて示してある。
[Example 2]
A scintillator calcined powder was prepared in the same manner as in Example 1, and different types of Na compounds (NaCl, NaBr, Na 2 CO 3 , Na 3 PO 4 .12H 2 O, Na 2) were used in this scintillator calcined powder. A scintillator plate was prepared in the same manner as in Example 1 except that SO 4 ) was added. The amount of Na compound added was such that Na ion was 0.001 mol per 1 mol of scintillator powder. The obtained scintillator plate was measured for the residual amount of Na, the crystal grain size, the light emission characteristics, and the processing speed in the same manner as in Example 1. The results are shown in Table 2. Table 2 also shows the results of sample numbers 1 and 2 of Example 1 for reference.

[比較例1]
実施例1と同様にシンチレータ仮焼き粉末を作製し、このシンチレータ仮焼き粉末に表2に示すLi化合物を添加し、実施例1と同様の工程にてシンチレータ試料を作製した。Li化合物の添加量は、シンチレータ粉末1モルに対して、Liイオンが0.001モルとなる量とした。得られたシンチレータ試料について実施例1と同様に、Li残留量、結晶粒径、発光特性および加工速度を測定した。その結果を表2に併せて示す。
[Comparative Example 1]
A scintillator calcined powder was produced in the same manner as in Example 1, and the Li compound shown in Table 2 was added to the scintillator calcined powder, and a scintillator sample was produced in the same steps as in Example 1. The amount of Li compound added was such that the amount of Li ions was 0.001 mol per mol of scintillator powder. For the obtained scintillator sample, the residual amount of Li, the crystal grain size, the light emission characteristics, and the processing speed were measured in the same manner as in Example 1. The results are also shown in Table 2.

Figure 0004906322
Figure 0004906322

表2の結果からわかるように、Na化合物としてNaCl、NaBr、Na2CO3を用いた場合(試料番号6〜8)にも、試料番号2と同様に、結晶粒成長、加工性向上、残光低減の効果があり、発光強度の低下は10%以下に収まっている。一方、Na3PO4・12H2O、Na2SO4を用いた場合(試料番号9、10)には、加工性は向上しているが、Na化合物を添加しなかった試料番号1よりも残光が大きくなっているか、または発光強度が低下した。またLi化合物を用いた場合(試料番号11、12)にも、試料番号1よりも残光が大きく、LiClの場合には粒径が大きくなっておらず、加工性が向上しなかった。 As can be seen from the results in Table 2, when NaCl, NaBr, Na 2 CO 3 is used as the Na compound (sample numbers 6 to 8), as in sample number 2, crystal grain growth, workability improvement, and remaining There is an effect of reducing light, and the decrease in emission intensity is less than 10%. On the other hand, when Na 3 PO 4 .12H 2 O and Na 2 SO 4 are used (sample numbers 9 and 10), the processability is improved, but compared to sample number 1 where no Na compound was added. The afterglow has increased or the emission intensity has decreased. Further, when Li compound was used (Sample Nos. 11 and 12), the afterglow was larger than that of Sample No. 1, and in the case of LiCl, the particle size was not increased and the workability was not improved.

Na含有量と結晶粒径および加工速度の関係を示す図Diagram showing the relationship between Na content, crystal grain size and processing speed 本発明の放射線検出器の断面を示す図The figure which shows the cross section of the radiation detector of this invention 本発明のX線CT装置の構成を示す図The figure which shows the structure of the X-ray CT apparatus of this invention

符号の説明Explanation of symbols

21 シンチレータ素子、22 反射層、23 フォトダイオード、24 フォトダイオードアレイ基板、310 スキャンガントリ部、311 回転円板、312 X線管、313 コリメータ、314 開口部、315 X線検出器、316 検出器回路、317 スキャン制御回路、320 画像再構成部、321 入力装置、322 画像演算回路、323 画像情報付加部、324 ディスプレイ回路、330 ディスプレイモニタ 21 scintillator element, 22 reflective layer, 23 photodiode, 24 photodiode array substrate, 310 scan gantry, 311 rotating disk, 312 X-ray tube, 313 collimator, 314 aperture, 315 X-ray detector, 316 detector circuit , 317 scan control circuit, 320 image reconstruction unit, 321 input device, 322 image calculation circuit, 323 image information addition unit, 324 display circuit, 330 display monitor

Claims (4)

Ceを発光元素とし、少なくともGd、Al、Ga、Oを含んだ、主にガーネット構造の母体結晶からなり、Na 2 B 4 O 7 、NaCl、NaBr及びNa 2 CO 3 からなる群から選ばれる1種又は2種以上のNa化合物添加することによって製造された放射線検出器用酸化物蛍光体であって、
Naを40wtppm以上50wtppm以下含有することを特徴とする酸化物蛍光体。
It consists of a base crystal of garnet structure, which contains Ce as a light emitting element and contains at least Gd, Al, Ga, O , and is selected from the group consisting of Na 2 B 4 O 7 , NaCl, NaBr and Na 2 CO 3 An oxide phosphor for a radiation detector produced by adding a seed or two or more kinds of Na compounds ,
An oxide phosphor containing Na in a range of 40 wtppm to 50 wtppm .
Ceを発光元素とし、少なくともGd、Al、Ga、Oを含んだ、主にガーネット構造の母体結晶からなる酸化物蛍光体を製造する方法であって、原料粉末を混合し、仮焼きする工程と、仮焼き粉末を焼結工程とを含み、前記原料粉末または仮焼き粉末にNa 2 B 4 O 7 、NaCl、NaBr及びNa 2 CO 3 からなる群から選ばれる1種又は2種以上のNa化合物を添加し、Naを40wtppm以上50wtppm以下含有する放射線検出器用酸化物蛍光体を製造することを特徴とする酸化物蛍光体の製造方法。 A method for producing an oxide phosphor mainly composed of a base crystal having a garnet structure containing Ce as a light emitting element and containing at least Gd, Al, Ga, and O, mixing raw material powders, and calcining; 1 or 2 or more types of Na compounds selected from the group consisting of Na 2 B 4 O 7 , NaCl, NaBr and Na 2 CO 3 . And an oxide phosphor for a radiation detector containing Na in an amount of 40 wtppm to 50 wtppm . 放射線により発光する蛍光体素子と、前記蛍光体素子による発光を検出する光電変換素子とを備えた放射線検出器において、前記蛍光体素子として、請求項1記載の酸化物蛍光体を用いたことを特徴とする放射線検出器。   A radiation detector comprising a phosphor element that emits light by radiation and a photoelectric conversion element that detects light emitted by the phosphor element, wherein the oxide phosphor according to claim 1 is used as the phosphor element. Characteristic radiation detector. 放射線源と、この放射線源に対向して配置された放射線検出器と、これら放射線源及び放射線検出器を保持し、被検体の周りで回転駆動される回転円板と、前記放射線検出器で検出された放射線の強度に基づき前記被検体の断層像を画像再構成する画像再構成手段とを備えたX線CT装置において、前記放射線検出器として請求項3に記載の放射線検出器を用いたことを特徴とするX線CT装置。   A radiation source, a radiation detector arranged opposite to the radiation source, a rotating disk that holds the radiation source and the radiation detector and is driven to rotate around the subject, and is detected by the radiation detector An X-ray CT apparatus comprising image reconstruction means for reconstructing a tomographic image of the subject based on the intensity of the emitted radiation, wherein the radiation detector according to claim 3 is used as the radiation detector. X-ray CT apparatus characterized by this.
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