JP4936058B2 - Board inspection equipment - Google Patents
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Description
本発明は、基板検査装置に関し、液晶ディスプレイに用いられる液晶基板や有機ＥＬディスブレイに用いられるＴＦＴアレイ基板等の基板検査に適用することができる。 The present invention relates to a substrate inspection apparatus and can be applied to substrate inspection such as a liquid crystal substrate used for a liquid crystal display and a TFT array substrate used for an organic EL display.
液晶基板や薄膜トランジスタアレイ基板（ＴＦＴアレイ基板）は、ガラス基板等の基板上に薄膜トランジスタ（ＴＦＴ）がマトリックス状に配置されてなるＴＦＴアレイと、この薄膜トランジスタに駆動信号を供給する信号電極とを備え、薄膜トランジスタは走査信号電極端子，映像信号電極端子からの信号により駆動される。 A liquid crystal substrate or a thin film transistor array substrate (TFT array substrate) includes a TFT array in which thin film transistors (TFTs) are arranged in a matrix on a substrate such as a glass substrate, and a signal electrode that supplies a drive signal to the thin film transistor, The thin film transistor is driven by signals from the scanning signal electrode terminal and the video signal electrode terminal.
基板に形成されるＴＦＴアレイや液晶基板を検査する装置としてＴＦＴアレイ検査装置や液晶基板検査装置等の基板検査装置が知られている。基板検査装置は、走査信号電極端子，映像信号電極端子と電気的に接続する検査用プローバを備える。検査回路は、所定の電圧を検査用プローバに印加し、印加により流れる電流を検出して、ゲート−ソース間の短絡、点欠陥、断線等を調べる。 As a device for inspecting a TFT array or a liquid crystal substrate formed on a substrate, a substrate inspection device such as a TFT array inspection device or a liquid crystal substrate inspection device is known. The substrate inspection apparatus includes an inspection prober that is electrically connected to the scanning signal electrode terminal and the video signal electrode terminal. The inspection circuit applies a predetermined voltage to the inspection prober, detects a current flowing by the application, and examines a gate-source short circuit, a point defect, a disconnection, and the like.
基板上に形成されるＴＦＴアレイは様々なサイズや仕様があり、それぞれレイアウトが異なり、液晶基板上に形成される端子もレイアウト毎に異なる。そのため、基板を検査する基板検査装置においても、ＴＦＴアレイのレイアウトに応じてプローバの電極位置を設定したものを複数種用意しておき、検査する基板に応じてプローバを交換し、検査を行っている。 The TFT array formed on the substrate has various sizes and specifications, the layouts are different, and the terminals formed on the liquid crystal substrate are also different for each layout. Therefore, in the substrate inspection apparatus for inspecting the substrate, a plurality of types of prober electrode positions set according to the layout of the TFT array are prepared, and the prober is replaced and inspected according to the substrate to be inspected. Yes.
図５は８枚のパネルが形成された基板用に用意されるプローバフレームの一構成例であり、図６は２４枚のパネルが形成された基板用に用意されるプローバフレームの一構成例である。図５に示すプローバフレーム１０１Ａおよび電極ピン１０２Ａは、基板に形成される８枚のパネルおよび端子（基板およびパネルは図示していない）のレイアウトに応じて定められ、また、図６に示すプローバフレーム１０１Ｂおよび電極ピン１０２Ｂについても、基板に形成される２４枚のパネルおよび端子（基板およびパネルは図示していない）のレイアウトに応じて定められる。 FIG. 5 is a configuration example of a prober frame prepared for a substrate on which eight panels are formed, and FIG. 6 is a configuration example of a prober frame prepared for a substrate on which 24 panels are formed. is there. The prober frame 101A and the electrode pins 102A shown in FIG. 5 are determined in accordance with the layout of eight panels and terminals (substrate and panel are not shown) formed on the substrate, and the prober frame shown in FIG. The 101B and the electrode pins 102B are also determined according to the layout of 24 panels and terminals (the substrate and the panel are not shown) formed on the substrate.
基板を検査する際には、基板のレイアウトに合わせたプローバフレームを選択し、選択したプローバフレームを基板の上方あるいは下方から重ねてプローバフレームに設けた電極ピンを液晶基板の端子に接触させ、この電極ピンと端子との接触によって基板とプローバとに間の電気的接続を行っている。 When inspecting the board, select a prober frame that matches the layout of the board, overlap the selected prober frame from above or below the board, and contact the electrode pins provided on the prober frame with the terminals of the liquid crystal board. Electrical connection between the substrate and the prober is made by contact between the electrode pins and the terminals.
従来の基板検査では、検査対象の基板のパネル数、基板内でのパネルの配置、端子の配置等の種々のレイアウトごとに対応するプローバフレームを作成しておき、基板検査装置に導入する検査対象の基板に合わせて対応するプローバフレームを選択し交換を行う必要がある。 In conventional board inspection, prober frames corresponding to various layouts such as the number of panels of the board to be inspected, the arrangement of the panels in the board, the arrangement of the terminals, etc., are created and introduced into the board inspection apparatus It is necessary to select and replace the corresponding prober frame according to the substrate.
そのため、従来の基板検査装置では、複数種類のプローバフレームを用意することによるコスト上昇、基板の種類に合わせてプローバフレームを交換することによる検査工程の増加と検査時間の長時間化等の問題を含んでいる。 Therefore, the conventional board inspection equipment has problems such as cost increase by preparing multiple types of prober frames, increased inspection process and longer inspection time by replacing the prober frame according to the board type. Contains.
そこで、本発明は前記した従来の問題点を解決し、異なる基板の検査におけるプローバフレームの交換を不要とすることを目的とする。 SUMMARY OF THE INVENTION Accordingly, it is an object of the present invention to solve the above-described conventional problems and eliminate the need for replacing a prober frame when inspecting different substrates.
また、複数種類の基板レイアウトに要するプローバフレームの個数を低減させることを目的とする。 It is another object of the present invention to reduce the number of prober frames required for a plurality of types of substrate layouts.
また、プローバフレームの交換に要する工程や検査時間の増加を低減することを目的とする。 It is another object of the present invention to reduce an increase in processes and inspection time required for replacing the prober frame.
本発明の基板検査装置は、一つのプローバにおいて、プローバフレームを複数のプローバユニットで構成し、また、各プローバユニットに複数の基板レイアウトに対応した電極ピンユニットを設ける。プローバユニットを移動させることによって、プローバフレームを交換することなく異なるパネル配置への対応を可能とし、また、駆動する電極ピンユニットを選択することによって、プローバフレームを交換することなく異なる電極配置への対応を可能とする。 In the substrate inspection apparatus of the present invention, in one prober, the prober frame is composed of a plurality of prober units, and each prober unit is provided with an electrode pin unit corresponding to a plurality of substrate layouts. By moving the prober unit, it is possible to cope with different panel arrangements without exchanging the prober frame, and by selecting the electrode pin unit to be driven, it is possible to adapt to different electrode arrangements without exchanging the prober frame. Enable to respond.
本発明の基板検査装置は、基板検査を行う検査室と、この検査室との間で基板の搬出入を行うロードロック室とを備える。検査室は、基板の端子との間で電気的に接続し検査信号を導通するプローバを備える。プローバは、基板の端子と電気的に接続する電極ピンを有するプローバフレームとこのプローバフレームを支持するベーススライダとを有し、プローバフレームは複数のプローバフレームユニットを有する構成とする。各プローバフレームユニットは、ベーススライダ上においてそれぞれ独立してスライド移動自在とし、また、このベーススライダ上の所定位置に位置決め自在とする。 The substrate inspection apparatus according to the present invention includes an inspection chamber for performing substrate inspection, and a load lock chamber for loading and unloading substrates between the inspection chamber. The inspection room includes a prober that is electrically connected to a terminal of the substrate and conducts an inspection signal. The prober includes a prober frame having electrode pins that are electrically connected to the terminals of the substrate and a base slider that supports the prober frame, and the prober frame includes a plurality of prober frame units. Each prober frame unit is slidable independently on the base slider and can be positioned at a predetermined position on the base slider.
本発明の基板検査装置は、プローバフレームに複数のプローバフレームユニットを持たせるとともに、各プローバフレームユニットをベーススライダ上でそれぞれ独立してスライド移動自在とする構成によって、パネルの個数や配置を異にする基板レイアウトに対して、プローバフレームユニットをスライド移動させた後、ベーススライダ上の所定位置に位置決めることで、プローバフレームを交換することなく対応させることができる。 The substrate inspection apparatus according to the present invention has a plurality of prober frame units in the prober frame, and each prober frame unit is slidable independently on the base slider, so that the number and arrangement of the panels are different. The board layout to be performed can be handled without replacing the prober frame by sliding the prober frame unit and then positioning it at a predetermined position on the base slider.
また、本発明のプローバフレームユニットは、プローバフレームユニットの長軸方向の所定位置に配置された複数の電極ピンユニットを備える構成とする。複数の電極ピンユニットの中から基板の端子に対応する電極ピンユニットを選択することで、基板の端子との間で電気的に接続し検査信号を導通することができる。 In addition, the prober frame unit of the present invention includes a plurality of electrode pin units arranged at predetermined positions in the long axis direction of the prober frame unit. By selecting the electrode pin unit corresponding to the terminal of the substrate from among the plurality of electrode pin units, it is possible to electrically connect to the terminal of the substrate and conduct the inspection signal.
プローバフレームユニットにおいて、電極ピンユニットを配置する所定位置は、基板検査装置が検査対象とする複数種の基板が備える各端子の位置を含むように設定することによって、検査対象の基板であればいずれの基板であっても、基板の端子は何れかの電極ピンユニットと電気的に接続させることができる。 In the prober frame unit, the predetermined position where the electrode pin unit is arranged is set so as to include the position of each terminal included in a plurality of types of substrates to be inspected by the substrate inspection apparatus. Even with this substrate, the terminal of the substrate can be electrically connected to any of the electrode pin units.
さらに、電極ピンユニットは複数本の電極ピンを備える構成とし、一つのプローバフレームユニットは、各電極ピンユニットを単位として電極ピンの導通非導通を選択自在とする。これによって、選択したパネルに対して検査信号を導通させることができる。 Furthermore, the electrode pin unit is configured to include a plurality of electrode pins, and one prober frame unit can freely select conduction / non-conduction of the electrode pins in units of each electrode pin unit. As a result, the inspection signal can be conducted to the selected panel.
本発明によれば、異なる基板の検査におけるプローバフレームの交換を不要とすることができる。 According to the present invention, it is not necessary to replace the prober frame in the inspection of different substrates.
また、複数種類の基板レイアウトに要するプローバフレームの個数を低減させることができる。 In addition, the number of prober frames required for a plurality of types of substrate layouts can be reduced.
また、プローバフレームの交換に要する工程や検査時間の増加を低減することができる。 Further, it is possible to reduce an increase in processes and inspection time required for replacing the prober frame.
以下、本発明の実施の形態について、図を参照しながら詳細に説明する。 Hereinafter, embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the drawings.
図１は本発明の基板検査の概略を説明するため概略図である。なお、ここでは、基板検査装置が備える構成の一部のみを示している。 FIG. 1 is a schematic view for explaining the outline of the substrate inspection of the present invention. Here, only a part of the configuration of the substrate inspection apparatus is shown.
基板検査装置１は、導入された基板２０を検査する検査室（ＭＣ）３と、この検査室３に対して基板２０を搬出入するロードロック室（ＬＬ）２と、検査室３とロードロック室２との間を密閉自在に開閉するゲートバルブ４を備える。 The substrate inspection apparatus 1 includes an inspection chamber (MC) 3 that inspects the introduced substrate 20, a load lock chamber (LL) 2 that carries the substrate 20 into and out of the inspection chamber 3, and the inspection chamber 3 and the load lock. A gate valve 4 that opens and closes between the chamber 2 is provided.
検査室３は、液晶基板等の半導体基板を検査するチャンバーであり、検査対象の基板はパレット上に載置された状態でゲートバルブ４を通して搬送ローラ（図示していない）によってロードロック室２から検査室３内に搬入され、検査室３内で検査が行われた後、検査後済みの基板はパレット上に載置された状態で搬出送ローラ（図示していない）によってゲートバルブ４を通して検査室３からロードロック室２に搬送される。 The inspection chamber 3 is a chamber for inspecting a semiconductor substrate such as a liquid crystal substrate, and the substrate to be inspected is placed on the pallet from the load lock chamber 2 by a transfer roller (not shown) through a gate valve 4. After being carried into the inspection room 3 and inspected in the inspection room 3, the inspected substrate is inspected through the gate valve 4 by a carry-out roller (not shown) while being placed on the pallet. It is transferred from the chamber 3 to the load lock chamber 2.
基板検査装置の一構成例では、検査対象である液晶基板等の基板に荷電粒子ビームを照射する荷電粒子源、この荷電粒子の照射によって液晶基板から放出される二次電子を検出する検出器、検査対象の液晶基板を支持すると共に二次元的に走査させるステージ等の各部分を備え、検出器で得られる走査画像に基づいて基板検査を行う。 In one configuration example of the substrate inspection apparatus, a charged particle source that irradiates a charged particle beam to a substrate such as a liquid crystal substrate to be inspected, a detector that detects secondary electrons emitted from the liquid crystal substrate by irradiation of the charged particles, Each part such as a stage for supporting a liquid crystal substrate to be inspected and two-dimensionally scanning is provided, and substrate inspection is performed based on a scanning image obtained by a detector.
液晶基板は、例えばガラス基板上にＴＦＴアレイが形成されている。この液晶基板に形成されるＴＦＴアレイのレイアウト、電極、配線パターン等は液晶パネルのサイズや仕様に応じて種々に設定される。液晶基板上のＴＦＴアレイには薄膜トランジスタがマトリックス状に形成され、各薄膜トランジスタを駆動する信号電極端子（例えば、走査信号電極端子，映像信号電極端子）が形成されている。また、液晶基板のアレイの外側には、液晶基板の外部と電気的に接続するための電極が形成される。 In the liquid crystal substrate, for example, a TFT array is formed on a glass substrate. The layout, electrodes, wiring patterns, etc. of the TFT array formed on the liquid crystal substrate are variously set according to the size and specifications of the liquid crystal panel. Thin film transistors are formed in a matrix on the TFT array on the liquid crystal substrate, and signal electrode terminals (for example, scanning signal electrode terminals and video signal electrode terminals) for driving the thin film transistors are formed. In addition, an electrode for electrically connecting to the outside of the liquid crystal substrate is formed outside the array of the liquid crystal substrate.
また、基板検査装置は、基板に検査信号を供給するプローバを備える。プローバは、基板の電極と電気的に接続し検査を行うためにプローバフレームを備え、液晶基板の電極と電気的に接続する電極ピンを備える。 The board inspection apparatus includes a prober that supplies an inspection signal to the board. The prober includes a prober frame to be electrically connected to the electrodes of the substrate and perform inspection, and electrode pins to be electrically connected to the electrodes of the liquid crystal substrate.
基板の検査を行うには、パレット上に載置した液晶基板にプローバフレームを配置し、基板とプローバフレームとの間において接続端子と電極ピンとの接触によって電気的な接続を行い、電極ピンと接続端子との接続を通してＴＦＴアレイに検査信号を供給する。また、プローバフレームとパレットあるいはステージとの間の接続は、プローバフレーム及びパレットに設けたコネクタにより行うことができる。 To inspect the board, place the prober frame on the liquid crystal board placed on the pallet, make electrical connection between the board and the prober frame by contact between the connection terminal and the electrode pin, and the electrode pin and the connection terminal. The inspection signal is supplied to the TFT array through connection to the TFT array. Further, the connection between the prober frame and the pallet or stage can be made by a connector provided on the prober frame and the pallet.
図１において、検査室３内にプローバ１０を設ける。プローバ１０は、基板２０と接触して基板の外部に設けた信号処理装置との導通を行うプローバフレーム１１を備える。 In FIG. 1, a prober 10 is provided in the examination room 3. The prober 10 includes a prober frame 11 that contacts the substrate 20 and conducts with a signal processing device provided outside the substrate.
本発明のプローバフレーム１１は、複数のプローバフレームユニット１２を備え、これらのプローバフレームユニット１２は、ベーススライダ１４上でスライド移動自在であり、また、所定位置に位置決め自在とする機構を備える。 The prober frame 11 of the present invention includes a plurality of prober frame units 12, and these prober frame units 12 are slidably movable on a base slider 14 and have a mechanism that can be positioned at a predetermined position.
このスライド移動を行う機構は、プローバフレームユニット１２を支持しながらベーススライダ１４に沿って移動させる機能を有するものであれば任意の構成とすることができ、例えば、ベアリング機構、リンク機構、モータ駆動機構等を利用することができる。 The mechanism for performing the sliding movement can be of any configuration as long as it has a function of moving along the base slider 14 while supporting the prober frame unit 12, for example, a bearing mechanism, a link mechanism, and a motor drive. A mechanism or the like can be used.
また、位置決めを行う機構についても、ベーススライダ１４上で定められた位置に停止させる構成であれば任意の構成とすることができ、例えば、リニアスケールによる位置検出をスライド移動機構にフィードバックする機構、あるいは、スライド移動機構において初期位置からの移動量を計数する機構等を利用することができる。 The positioning mechanism can be any configuration as long as it is configured to stop at a position determined on the base slider 14, for example, a mechanism that feeds back position detection by a linear scale to a slide moving mechanism, Alternatively, a mechanism that counts the amount of movement from the initial position in the slide moving mechanism can be used.
この位置決め機構は、検査対象の基板２０に形成されるパネル２１の大きさやレイアウトに応じて定められる。図１では、基板２０には６枚のパネルが形成される例を示している。 This positioning mechanism is determined according to the size and layout of the panel 21 formed on the substrate 20 to be inspected. FIG. 1 shows an example in which six panels are formed on the substrate 20.
図１において、プローバフレームユニット１２はｘ方向にスライド移動し、基板２０において各パネル２１に設けられた接続端子２２のｘ方向の位置に合わせて位置決めされる。したがって、検査対象の基板のレイアウトが定まれば、そのレイアウトに対応して定まるｘ方向の位置にプローバフレームユニット１２をスライド移動させて停止させることで位置決めすることができ、この位置決めによって、プローバフレームユニット１２と接続端子２２のｘ方向の位置合わせを行うことができる。 In FIG. 1, the prober frame unit 12 slides in the x direction, and is positioned in accordance with the position in the x direction of the connection terminals 22 provided on each panel 21 on the substrate 20. Therefore, once the layout of the board to be inspected is determined, the prober frame unit 12 can be positioned by sliding and stopping at a position in the x direction determined in accordance with the layout. The unit 12 and the connection terminal 22 can be aligned in the x direction.
図１では、基板２０にｘ方向に３列、ｙ方向に２列の６枚のパネルが設けられたレイアウト例が示されている。この場合には、３本のプローバフレームユニット１２が選択されて、ベーススライダ１４上をスライド移動し、各接続端子２２が設けられたｘ方向位置に移動して位置決めされる。これによって、各プローバフレームユニット１２は接続端子２２上に位置合わせされる。 FIG. 1 shows a layout example in which six panels are provided on the substrate 20 in three rows in the x direction and two rows in the y direction. In this case, the three prober frame units 12 are selected and slid on the base slider 14 and moved to the x-direction positions where the connection terminals 22 are provided and positioned. Thus, each prober frame unit 12 is aligned on the connection terminal 22.
なお、このスライド移動を位置決めは、例えば、基板のレイアウト種類とｘ方向の位置データとの対応関係をメモリ等に格納しておき、検査対象の基板とレイアウト種類に基づいてメモリからｘ方向の位置データを読み出し、この位置データに基づいてスライド移動機構を駆動することで行うことができる。 In this positioning, for example, the correspondence between the layout type of the board and the position data in the x direction is stored in a memory or the like, and the position in the x direction is read from the memory based on the board to be inspected and the layout type. This can be done by reading the data and driving the slide movement mechanism based on this position data.
また、各プローバフレームユニット１２には、プローバフレームユニット１２の長軸方向（図１ではｙ方向で示す）に沿って複数の電極ピンユニット１３が設けられる。この電極ピンユニット１３のプローバフレームユニット１２のｙ方向の位置は、各パネル２１の接続端子２２の基板２０上のｙ方向の位置に合わせて定められる。これによって、電極ピンユニット１３は、基板２０上の接続端子と対向させることができる。ここで、各電極ピンユニット１３は複数の電極ピンを備えており、この電極ピンユニット１３が備える電極ピンの個数と電極ピンユニット１３内での設置位置のレイアウトは、基板２０上の接続端子２２が備える各端子の個数と設置位置のレイアウトに一致させて設けられている。 Each prober frame unit 12 is provided with a plurality of electrode pin units 13 along the long axis direction of the prober frame unit 12 (shown in the y direction in FIG. 1). The position of the electrode pin unit 13 in the y direction of the prober frame unit 12 is determined according to the position of the connection terminal 22 of each panel 21 in the y direction on the substrate 20. Accordingly, the electrode pin unit 13 can be opposed to the connection terminal on the substrate 20. Each electrode pin unit 13 includes a plurality of electrode pins. The number of electrode pins included in the electrode pin unit 13 and the layout of the installation positions in the electrode pin unit 13 are as follows. Are provided in accordance with the number of terminals and the layout of installation positions.
これにより、ｘ方向のスライド移動による位置合わせと、ｙ方向の電極ピンユニット１３の設置によって、電極ピンユニット１３の各電極ピンと接続端子２２の各端子とは一致することになる。 Thereby, the electrode pins of the electrode pin unit 13 and the terminals of the connection terminal 22 coincide with each other by the alignment by the slide movement in the x direction and the installation of the electrode pin unit 13 in the y direction.
ここで、検査対象となる基板２０の接続端子２２のレイアウトは、パネル数やパネルのレイアウト等によって異なり、図中のｘ方向，ｙ方向の位置もそれぞれ設定された位置となる。そこで、各プローバフレームユニット１２には、検査対象となる基板２０の接続端子２２の各レイアウトに合わせた複数の位置に電極ピンユニット１３を配置し、いずれのレイアウトにも対応することができるように配置する。 Here, the layout of the connection terminals 22 of the board 20 to be inspected varies depending on the number of panels, the layout of the panels, and the like, and the positions in the x direction and the y direction in the figure are also set positions. Therefore, in each prober frame unit 12, the electrode pin units 13 are arranged at a plurality of positions corresponding to the layouts of the connection terminals 22 of the board 20 to be inspected so that any layout can be supported. Deploy.
さらに、プローバフレームユニット１２に設置された複数の電極ピンユニット１２の内で選択した電極ピンユニット１２のみをアクティブな状態として、選択しない電極ピンユニット１２については非アクティブな状態とし、アクティブな状態の電極ピンユニット１２にのみ検査用の信号を導通させる。 Furthermore, only the electrode pin unit 12 selected from among the plurality of electrode pin units 12 installed in the prober frame unit 12 is set in an active state, and the electrode pin units 12 that are not selected are set in an inactive state. An inspection signal is conducted only to the electrode pin unit 12.
この複数の電極ピンユニット１２からアクティブな状態とすることによって、電極ピンユニット１２が不要な接続端子と接触したとしても、必要な接続端子とのみの間で検査信号の導通を行い、不要な接続端子との間での検査信号の導通を避けることができる。 By making the plurality of electrode pin units 12 active, even if the electrode pin unit 12 comes into contact with an unnecessary connection terminal, the inspection signal is conducted only between the necessary connection terminals and unnecessary connection is made. Conduction of the inspection signal between the terminals can be avoided.
次に、図２，図３を用いて、プローバフレームユニット１２のベーススライダ１４に沿ったスライド移動について説明する。 Next, the sliding movement along the base slider 14 of the prober frame unit 12 will be described with reference to FIGS.
図２（ａ）はプローバフレームユニット１２を示し、図２（ｂ）は複数のプローバフレームユニット１２ａ〜１２ｅをベーススライダ１４の片側に待機させた状態を示している。この状態において、ロードロック室（図示していない）から検査対象の基板２０を導入する。ここでは、ｘ方向に３列、ｙ方向に２列の全６枚のパネル２１Ａ〜２１Ｆが形成された基板２０の例を示している。 FIG. 2A shows the prober frame unit 12, and FIG. 2B shows a state in which a plurality of prober frame units 12 a to 12 e are placed on one side of the base slider 14. In this state, the substrate 20 to be inspected is introduced from a load lock chamber (not shown). Here, an example of the substrate 20 on which all six panels 21A to 21F in three rows in the x direction and two rows in the y direction are formed is shown.
この基板２０の例では、ｘ方向に３列のパネルが形成されるため、３列のパネルと対応させるために、複数のプローバフレームユニット１２ａ〜１２ｅの中から３本のプローバフレームユニット１２ａ〜１２ｃを選択し、ベーススライダ１４に沿ってスライド移動させる。 In the example of the substrate 20, three rows of panels are formed in the x direction, so that three prober frame units 12 a to 12 c are selected from among the plurality of prober frame units 12 a to 12 e in order to correspond to the three rows of panels. Is selected and slid along the base slider 14.
図３において、プローバフレームユニット１２ａをｘ方向にスライド移動させ、パネル２１Ｅ，２１Ｆの接続端子２２Ｅ，２２Ｆと対応する位置に位置決めする。また、プローバフレームユニット１２ｂをｘ方向にスライド移動させて、パネル２１Ｃ，２１Ｄの接続端子２２Ｃ，２２Ｄと対応する位置に位置決めし、プローバフレームユニット１２ｃをｘ方向にスライド移動させて、パネル２１Ａ，２１Ｂの接続端子２２Ａ，２２Ｂと対応する位置に位置決めする。 In FIG. 3, the prober frame unit 12a is slid in the x direction and positioned at positions corresponding to the connection terminals 22E and 22F of the panels 21E and 21F. Further, the prober frame unit 12b is slid in the x direction to be positioned at positions corresponding to the connection terminals 22C and 22D of the panels 21C and 21D, and the prober frame unit 12c is slid in the x direction and the panels 21A and 21B. Are positioned at positions corresponding to the connection terminals 22A and 22B.
図４は、ｘ方向に５列、ｙ方向に４列の全２０パネルが形成された基板２０の例を示している。この基板例では、ｘ方向に５列のパネルが形成されるため、５列のパネルと対応させるために、複数のプローバフレームユニット１２ａ〜１２ｅを全て選択し、ベーススライダ１４に沿ってスライド移動させる。 FIG. 4 shows an example of the substrate 20 on which all 20 panels of 5 rows in the x direction and 4 rows in the y direction are formed. In this substrate example, five rows of panels are formed in the x direction, so that all the prober frame units 12a to 12e are selected and slid along the base slider 14 in order to correspond to the five rows of panels. .
例えば、プローバフレームユニット１２ａをｘ方向にスライド移動させて、第１列３１のパネルの接続端子と対応する位置に位置決めし、また、プローバフレームユニット１２ｂをｘ方向にスライド移動させて、第２列３２のパネルの接続端子と対応する位置に位置決めする。同様に、プローバフレームユニット１２ｃ〜１２ｅについてもｘ方向にそれぞれスライド移動させて、第３列３３〜第５列３５のパネルの各接続端子と対応する位置に位置決めする。 For example, the prober frame unit 12a is slid in the x direction and positioned at a position corresponding to the connection terminal of the panel in the first row 31, and the prober frame unit 12b is slid in the x direction to move to the second row. It positions in the position corresponding to the connection terminal of 32 panels. Similarly, the prober frame units 12c to 12e are also slid in the x direction and positioned at positions corresponding to the connection terminals of the panels in the third row 33 to the fifth row 35.
このｘ方向の位置決めにおいて、各プローバフレームユニット１２が備える電極ピンユニット１３は、各列３１〜３５のパネルの各接続端子と電気的に接触し、それぞれをアクティブ状態として検査信号を導通させる。 In the positioning in the x direction, the electrode pin unit 13 provided in each prober frame unit 12 is in electrical contact with each connection terminal of the panels in each row 31 to 35, and each is in an active state to conduct an inspection signal.
本発明の基板検査装置は、液晶基板の検査に限らず半導体基板の検査に適用することができる。 The substrate inspection apparatus of the present invention can be applied not only to inspection of a liquid crystal substrate but also to inspection of a semiconductor substrate.
１…基板検査装置、２…ロードロック室、３…検査室、４…ゲートバルブ、１０…プローバ、１１…プローバフレーム、１２，１２ａ〜１２ｅ…プローバフレームユニット、１３…電極ピンユニット、１４…ベーススライダ、２０…基板、２１…パネル、２２…接続端子、１０１Ａ，１０１Ｂ…プローバフレーム、１０２Ａ，１０２Ｂ…電極ピン。
DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 ... Board | substrate inspection apparatus, 2 ... Load lock chamber, 3 ... Inspection chamber, 4 ... Gate valve, 10 ... Prober, 11 ... Prober frame, 12, 12a-12e ... Prober frame unit, 13 ... Electrode pin unit, 14 ... Base Slider, 20 ... substrate, 21 ... panel, 22 ... connection terminal, 101A, 101B ... prober frame, 102A, 102B ... electrode pin.
Claims (4)
前記検査室との間で基板の搬出入を行うロードロック室とを備える基板検査装置であって、
前記検査室は、基板の端子との間で電気的に接続し検査信号を導通するプローバを備え、
前記プローバは、基板の端子と電気的に接続する電極ピンを有するプローバフレームと当該プローバフレームを支持するベーススライダとを有し、
前記プローバフレームは複数のプローバフレームユニットを有し、
前記各プローバフレームユニットは、前記ベーススライダ上においてそれぞれ独立してスライド移動自在であるとともに、ベーススライダの片側に待機させた状態、および前記ベーススライダ上の所定位置に位置決め自在であり、
前記複数のプローバフレームユニットから選択したプローバフレームユニットを待機状態からベーススライダ上にスライド移動させて基板の端子に対応する位置に位置決めすることを特徴とする、基板検査装置。
An inspection room for substrate inspection;
A substrate inspection apparatus comprising a load lock chamber that carries a substrate in and out of the inspection chamber,
The inspection chamber includes a prober that is electrically connected to a terminal of the substrate and conducts an inspection signal.
The prober has a prober frame having electrode pins that are electrically connected to terminals of the substrate, and a base slider that supports the prober frame,
The prober frame has a plurality of prober frame units;
Each prober frame unit is slidable independently on the base slider, and can be positioned at a predetermined position on the base slider , in a state where it is standby on one side of the base slider,
A substrate inspection apparatus, wherein a prober frame unit selected from the plurality of prober frame units is slid from a standby state onto a base slider and positioned at a position corresponding to a terminal of the substrate.
一つのプローバフレームユニットは、各電極ピンユニットを単位として電極ピンの導通非導通を選択自在とすることを特徴とする、請求項２又は３に記載の基板検査装置。 The electrode pin unit includes a plurality of electrode pins,
4. The substrate inspection apparatus according to claim 2, wherein one prober frame unit is capable of freely selecting conduction / non-conduction of electrode pins in units of each electrode pin unit.
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