JP4953315B2

JP4953315B2 - Power supply housing, pulse power supply

Info

Publication number: JP4953315B2
Application number: JP2007317104A
Authority: JP
Inventors: 積新竹
Original assignee: RIKEN
Current assignee: RIKEN
Priority date: 2007-12-07
Filing date: 2007-12-07
Publication date: 2012-06-13
Anticipated expiration: 2027-12-07
Also published as: JP2009141196A

Description

本発明は、電源用筐体と、これを用いたパルス電源（例：電子加速器向けのパルスクライストロン電源、癌治療器の電子線加速器向けのパルス電源、レーダー用のパルス電源、パルスレーザーのパルス電源）に関する。 The present invention relates to a power source casing and a pulse power source using the same (eg, a pulse klystron power source for an electron accelerator, a pulse power source for an electron beam accelerator of a cancer treatment device, a pulse power source for a radar, a pulse power source for a pulse laser )

クライストロン用のパルス電源としては、従来、非特許文献１や非特許文献２に記載のものが知られている。 Conventionally known pulse power sources for klystrons are those described in Non-Patent Document 1 and Non-Patent Document 2.

非特許文献１には、キャビネット型のパルス電源が記載されている。このタイプのパルス電源では、フレーム構造にパネルをネジ止めして製作されたキャビネット内にパルス電源回路が収められている。また、このタイプのキャビネットでは、電源回路のメンテナンスのために前面と背面に開閉可能な扉を設ける場合が多い。 Non-Patent Document 1 describes a cabinet-type pulse power supply. In this type of pulse power supply, a pulse power supply circuit is housed in a cabinet manufactured by screwing a panel to a frame structure. Also, in this type of cabinet, doors that can be opened and closed are often provided on the front and back for maintenance of the power supply circuit.

また、非特許文献２には、浴槽型の筐体を用いたパルス電源が記載されている。このタイプのパルス電源では、フレーム構造にパネルを溶接して形成された浴槽型の筐体に絶縁油を満たし、この中に天板から吊るされた台座上に配置されたパルス電源回路を挿入し、天板をタンクにボルトで固定している。絶縁油は、空気よりも優れた絶縁特性を有しているので、浴槽型の筐体を用いたパルス電源は、比較的高い絶縁性を有している。
H. Baba et al., "Pulsed Modulator for C-band Klystron", APAC98, The First Asian Particle Accelerator Conference, KEK, Tsukuba, Japan, March 23-27, 1998 稲垣隆宏、他、「C-band クライストロン用コンパクト密閉型変調器電源の大電力試験」、第２８回、線形加速器研究会、東海村、茨城県、７月３０日〜８月１日、２００３年 Non-Patent Document 2 describes a pulse power source using a bathtub-type housing. In this type of pulse power supply, a bathtub-shaped casing formed by welding panels to the frame structure is filled with insulating oil, and a pulse power supply circuit placed on a pedestal suspended from the top plate is inserted therein. The top plate is bolted to the tank. Since the insulating oil has an insulating property superior to that of air, the pulse power source using the bathtub-type housing has a relatively high insulating property.
H. Baba et al., "Pulsed Modulator for C-band Klystron", APAC98, The First Asian Particle Accelerator Conference, KEK, Tsukuba, Japan, March 23-27, 1998 Takahiro Inagaki, et al., "High power test of compact hermetic modulator power supply for C-band klystron", 28th, Linear Accelerator Study Group, Tokaimura, Ibaraki, July 30-August 1, 2003

キャビネット型のパルス電源は、以下の問題点を有している。
（１）フレーム構造と扉パネルとの電気的な接続が完全でなく、パルス電源回路が発生するノイズが外部にリークする。
（２）回路の発熱を空気により除去する方式が一般的であり、高電圧部が静電集塵機として機能し、回路の端子に集められたホコリがコロナ放電により炭化し、この炭化層を伝ってリーク電流が流れたり表面のフラッシュオーバー放電が引き起こされたりする。
（３）外気の取り入れ口のフィルターがホコリにより目詰まりするため、これを定期的に掃除する必要がある。
（４）大型の排気ファンを必要とするため、ファンに無駄な電力を供給する必要があり且つファンの寿命管理を行う必要がある。
（５）十分な絶縁距離を確保するため、キャビネットが大型化し、製造コストが高くなる。また、トラック輸送のコストが大きくなる。また、トラックの輸送中にフレームが変形しやすく、内部のネジの緩み等の問題が生じる。 The cabinet-type pulse power supply has the following problems.
(1) The electrical connection between the frame structure and the door panel is not perfect, and noise generated by the pulse power supply circuit leaks to the outside.
(2) The method of removing the heat of the circuit with air is common, the high voltage part functions as an electrostatic precipitator, dust collected at the terminals of the circuit is carbonized by corona discharge, and this carbonized layer is transmitted Leakage current flows or surface flashover discharge is caused.
(3) Since the filter of the outside air intake is clogged with dust, it must be periodically cleaned.
(4) Since a large exhaust fan is required, it is necessary to supply useless power to the fan and to manage the life of the fan.
(5) Ensuring sufficient insulation distance increases the size of the cabinet and increases the manufacturing cost. In addition, the cost of trucking increases. In addition, the frame is easily deformed during transportation of the truck, causing problems such as loosening of internal screws.

また、浴槽型の筐体を用いたパルス電源は、以下の問題点を有している。
（１）回路をいったん台座上に組み上げ、この台座を天板から吊り下げるため、筐体内部の構造物が多くなり、吊り下げ荷重が大きくなる。
（２）吊り下げ構造は、その基本的な構造上、機械強度が弱くなりやすく、自重によって台座が歪む等により内部の回路部品に対して不要なストレスを与える。
（３）トラック輸送時に天板より吊り下げられた構造体が、振り子振動をするために、輸送用の補強が必要となり、現地到着後にいったん開封して補強を取り除く等の作業が必要である
（４）筐体の中に吊り下げられた回路は、内部の回路のグラウンドが天板でしか確保されず、パルス電源の動作時に不要な共振モードを示し、パルス波形を歪める。
（５）吊り下げられた回路全体を筐体の上面から出し入れする必要から、筐体の上面には大きな開口部が必要となり、筋交などの補強を入れることができず、開口部が菱形に変形しやすく、フレームのボルト用タップ穴と天板のボルト穴が合わない場合がある。
（６）台座を吊るすために用いられる支柱や浴槽を形成するために用いられるフレームが筐体内に存在しているので、その分だけ、筐体内のスペースの有効活用が妨げられ、その結果、筐体が大型化する。 Moreover, the pulse power supply using a bathtub-type housing has the following problems.
(1) Since the circuit is once assembled on the pedestal and this pedestal is suspended from the top plate, the number of structures inside the housing increases, and the suspension load increases.
(2) Due to its basic structure, the suspension structure tends to be weak in mechanical strength and gives unnecessary stress to internal circuit components due to distortion of the pedestal due to its own weight.
(3) Since the structure suspended from the top board during truck transportation has pendulum vibrations, reinforcement for transportation is required, and after the arrival at the site, work such as opening and removing the reinforcement is necessary ( 4) In the circuit suspended in the casing, the ground of the internal circuit is secured only by the top plate, and exhibits an unnecessary resonance mode when the pulse power supply is operated, and distorts the pulse waveform.
(5) Since the entire suspended circuit needs to be taken in and out of the upper surface of the housing, a large opening is required on the upper surface of the housing, and reinforcement such as bracing cannot be made, and the opening is diamond-shaped. It is easy to deform, and the tap hole for the bolt on the frame may not match the bolt hole on the top plate.
(6) Since the frame used to form the column and the bathtub used to suspend the pedestal is present in the housing, the effective use of the space in the housing is hindered by that amount, and as a result, the housing The body becomes larger.

このように、従来のパルス電源は、多くの問題を有している。これらの問題の多くは、電源回路を収容する筐体の構造に起因しているため、これらの問題を解決する電源用筐体が望まれている。 Thus, the conventional pulse power supply has many problems. Many of these problems are attributed to the structure of the housing that houses the power supply circuit. Therefore, a power supply housing that solves these problems is desired.

本発明は、このような事情に鑑みてなされたものであり、従来の種々の問題を解決する電源用筐体を提供するものである。 The present invention has been made in view of such circumstances, and provides a power supply housing that solves various conventional problems.

Means for Solving the Problems and Effects of the Invention

本発明の電源用筐体は、電源回路を設置する底板と、前記底板の周縁に前記底板に垂直に設けられた側面板と、前記底板と前記側面板で囲まれた空間を覆うように設けられた天板とを備え、前記底板と前記側面板と前記天板とが互いに溶接又はロウ付けされて構成されるモノコック構造の箱状であり、前記側面板は、鉄板からなり且つ前記窓部を取り囲むようにフライス加工がなされていること特徴とする。 The power supply housing according to the present invention is provided so as to cover a bottom plate on which a power supply circuit is installed, a side plate provided perpendicularly to the bottom plate at the periphery of the bottom plate, and a space surrounded by the bottom plate and the side plate. and a top plate which is, Ri box-shaped der monocoque structure formed between the bottom plate and the side plate and the top plate is mutually welded or brazed, the side plate, and the window consists of an iron plate milling so as to surround the part is to Rukoto characterized been made.

本発明の筐体は、前記底板と前記側面板と前記天板とが互いに溶接又はロウ付けされて構成されるモノコック構造であるので、筐体内部にフレームや柱が存在せず、内部のスペースを有効に広く使用できる。従って、本発明の筐体を使用すれば、電源の小型化が可能になる。また、本発明の筐体は、モノコック構造であるので、外力を全体に逃がして受けるため、外力による歪みが小さく、構造強度が高い。このため、内部にパルス電源回路等の重量の大きい回路を配置したまま、トラック輸送を行うことができる。また、本発明の筐体は、内部のスペースを完全に密閉することができるので、電磁ノイズリークを極めて小さくすることができる。 Since the case of the present invention has a monocoque structure in which the bottom plate, the side plate, and the top plate are welded or brazed to each other, there is no frame or pillar inside the case, and the internal space Can be effectively used widely. Therefore, if the housing of the present invention is used, the power supply can be reduced in size. Moreover, since the housing | casing of this invention is a monocoque structure, since it escapes and receives external force to the whole, the distortion by external force is small and structural strength is high. For this reason, truck transportation can be performed while a heavy circuit such as a pulse power supply circuit is arranged inside. Moreover, since the housing | casing of this invention can seal an internal space completely, electromagnetic noise leak can be made extremely small.

また、本発明の筐体では、電源回路は、底板に取り付けられるので、浴槽型のパルス電源において電源回路を吊り下げることに起因して生じていた種々の問題が解決される。また、本発明の筐体では、絶縁油を内部に満たすことができるので、キャビネット型のパルス電源において空冷であることに起因して生じていた種々の問題が解決される。
また、前記側面板は、鉄板からなり且つ前記窓部を取り囲むようにフライス加工がなされているため、加工面が非常に平坦になり、オイル漏れがさらに生じにくい。また、この場合、平板状のゴムガスケットからなるオイルシール部材でオイル漏れを防ぐことが容易である。 In the case of the present invention, since the power supply circuit is attached to the bottom plate, various problems caused by suspending the power supply circuit in the bathtub-type pulse power supply are solved. Further, since the casing of the present invention can be filled with insulating oil, various problems caused by air cooling in the cabinet type pulse power source are solved.
Further, since the side plate is made of an iron plate and milled so as to surround the window portion, the processed surface becomes very flat and oil leakage is less likely to occur. In this case, it is easy to prevent oil leakage with an oil seal member made of a flat rubber gasket.

以上より、本発明によれば、従来の種々の問題を解決する新発想の電源用筐体が提供される。
以下、本発明の種々の実施形態を例示する。 As described above, according to the present invention, there is provided a power supply housing of a new idea that solves various conventional problems.
Hereinafter, various embodiments of the present invention will be exemplified.

前記側面板は、窓部を備え、前記窓部を塞ぎかつ前記側面板に着脱可能に取り付けられた窓パネルをさらに備え、前記側面板と前記窓パネルの間に前記窓部を取り囲むオイルシール部材が設けられていてもよい。この場合、筐体の側面から筐体内部にアクセスが可能になり、メンテナンス性が向上する。また、筐体が歪むと内部のオイルが漏れる場合があるが、本発明の筐体は、モノコック構造であるため外力による歪みが小さくオイル漏れが生じにくい。 The side plate includes a window, further includes a window panel that closes the window and is detachably attached to the side plate, and surrounds the window between the side plate and the window panel. May be provided. In this case, the inside of the housing can be accessed from the side surface of the housing, and the maintainability is improved. Further, when the casing is distorted, internal oil may leak. However, since the casing of the present invention has a monocoque structure, distortion due to external force is small and oil leakage is unlikely to occur.

前記窓パネルは、前記窓パネルの周縁に均等間隔に配置されたボルトで前記側面板に取り付けられてもよい。この方法で窓パネルを取り付けると、窓パネルと側面板が確実に密着し、オイル漏れがさらに生じにくい。 The window panel may be attached to the side plate with bolts arranged at equal intervals around the periphery of the window panel. When the window panel is attached by this method, the window panel and the side plate are securely adhered to each other, and oil leakage is less likely to occur.

前記側面板は、前記窓部を取り囲むように設けられたＯ−リング用の溝を有し、
前記オイルシール部材は、前記溝に設置されたＯ−リングからなってもよい。この場合、オイル漏れがさらに生じにくい。 The side plate has an O-ring groove provided so as to surround the window portion,
The oil seal member may be an O-ring installed in the groove. In this case, oil leakage is less likely to occur.

前記オイルシール部材は、平板状のゴムガスケットからなってもよい。この場合、前記窓部に溝加工を行う必要がないという利点がる。 The oil seal member may be a flat rubber gasket. In this case, there is an advantage that it is not necessary to perform groove processing on the window portion.

前記窓パネルの内側面に取り付けられた冷却部をさらに備えてもよい。この場合、窓パネルを外すと冷却部も一緒に外れるので、内部の電源回路へのアクセス性が向上する。また、窓パネルは面積が大きいので、ここに冷却部を設置することによって効率的な冷却が可能になる。 You may further provide the cooling part attached to the inner surface of the said window panel. In this case, when the window panel is removed, the cooling unit is also removed, so that the accessibility to the internal power supply circuit is improved. In addition, since the window panel has a large area, efficient cooling can be achieved by installing a cooling unit here.

本発明は、上記記載の電源用筐体と、パルス電力を出力するパルス電源回路と、前記パルス電力を昇圧するパルストランスとを備え、前記パルス電源回路及び前記パルストランスは、それぞれ前記筐体内に配置されているパルス電源も提供する。パルス電源回路とパルストランスは、何れも大きなノイズを発生させるが、本発明のパルス電源では、これら２つが１つの筐体内に配置され且つこの筐体が電磁ノイズリークを極めて小さくできるモノコック構造の筐体であるので、電磁ノイズリークを極めて小さくすることができる。 The present invention includes the above-described power supply casing, a pulse power supply circuit that outputs pulse power, and a pulse transformer that boosts the pulse power, and each of the pulse power supply circuit and the pulse transformer is provided in the casing. A pulsed power supply is also provided. Both the pulse power supply circuit and the pulse transformer generate large noises. However, in the pulse power supply of the present invention, these two are arranged in one casing, and the casing has a monocoque structure that can extremely reduce electromagnetic noise leakage. Since it is a body, electromagnetic noise leakage can be made extremely small.

前記電源用筐体は、前記パルス電源回路を収容するパルス電源回路収容部と、前記パルストランスを収容するパルストランス収容部とを備え、前記パルス電源回路収容部と前記パルストランス収容部は、開口を有する隔壁で仕切られており、前記パルス電源回路及び前記パルストランスは、前記開口を通じて電気的に接続されていてもよい。この隔壁は、パルストランスから発生する超音波の衝撃波をパルス電源回路に伝えないためのものである。パルス電源回路にはサイラトロン管など衝撃に弱い部品があるからである。また、隔壁は、筐体の強度を増し、窓部のフライス加工に伴う応力に耐え、筐体の変形を最小限としている。さらに、重量物であるクライストロンを支持する骨格の役割を担っている。 The power supply housing includes a pulse power supply circuit accommodating portion that accommodates the pulse power supply circuit and a pulse transformer accommodating portion that accommodates the pulse transformer, and the pulse power supply circuit accommodating portion and the pulse transformer accommodating portion are opened. The pulse power supply circuit and the pulse transformer may be electrically connected through the opening. This partition is to prevent the ultrasonic shock wave generated from the pulse transformer from being transmitted to the pulse power supply circuit. This is because the pulse power supply circuit has components that are vulnerable to impact, such as a thyratron tube. Further, the partition wall increases the strength of the housing, withstands the stress associated with the milling of the window, and minimizes the deformation of the housing. Furthermore, it plays the role of the skeleton that supports the heavy klystron.

前記パルストランスによって昇圧されたパルス電力が供給されるクライストロンをさらに備え、前記クライストロンは、前記筐体上に設置されてもよい。クライストロンは重量が大きいので，非特許文献１や２に記載の筐体の上には載せることができなかったが、本発明の筐体は、モノコック構造であって強度が強いのでクライストロンを筐体上に配置することができる。 The apparatus may further include a klystron to which the pulse power boosted by the pulse transformer is supplied, and the klystron may be installed on the casing. Since the klystron is heavy, it could not be placed on the case described in Non-Patent Documents 1 and 2, but the case of the present invention has a monocoque structure and is strong, so the klystron is a case. Can be placed on top.

ここで示した種々の実施形態等は、互いに組み合わせることができる。 The various embodiments and the like shown here can be combined with each other.

以下，本発明の一実施形態を図面を用いて説明する。図面や以下の記述中で示す内容は，例示であって，本発明の範囲は，図面や以下の記述中で示すものに限定されない。 Hereinafter, an embodiment of the present invention will be described with reference to the drawings. The contents shown in the drawings and the following description are examples, and the scope of the present invention is not limited to those shown in the drawings and the following description.

本発明の電源用筐体は、電源回路を収容するために利用されるものである。収容される電源回路の種類は、特に限定されず、例えば、交流電源やパルス電源等の何れであってもよい。また、パルス電源の種類も特に限定されず、例えば、電子加速器向けのパルスクライストロン電源、癌治療器の電子線加速器向けのパルス電源、レーダー用のパルス電源、パルスレーザーのパルス電源等の何れであってもよい。 The power supply casing of the present invention is used to accommodate a power supply circuit. The type of the power supply circuit accommodated is not particularly limited, and may be any one of an AC power supply, a pulse power supply, and the like. The type of pulse power supply is not particularly limited, and may be any one of a pulse klystron power supply for an electron accelerator, a pulse power supply for an electron beam accelerator for a cancer treatment device, a pulse power supply for a radar, a pulse power supply for a pulse laser, etc. May be.

以下の実施形態では、パルス電力を出力するパルス電源回路と、パルス電力を昇圧するパルストランスとが筐体内部に設置され且つクライストロンが筐体上に設置されるパルス電源用の筐体を例に挙げて説明を進める。 In the following embodiments, a pulse power supply casing that outputs pulse power and a pulse transformer that boosts pulse power are installed inside the casing and a klystron is installed on the casing. I will give you an explanation.

１．電源用筐体の構成
図１〜図５を用いて本発明の一実施形態の電源用筐体の構成について説明する。図１（ａ），（ｂ）は、本実施形態の電源用筐体の構造を示し、図１（ａ）は、斜視図であり、図１（ｂ）は、断面図である。図２（ａ），（ｂ）は、それぞれ、図１（ａ），（ｂ）から窓パネルを外した状態を示す斜視図及び断面図である。図３（ａ），（ｂ）は、それぞれ、窓パネル周辺を拡大した斜視図及び断面図である。図４（ａ）及び（ｂ）は、それぞれ、窓パネルの外側面及び内側面を示す。図５（ａ）及び（ｂ）は、それぞれ、パルス電源回路、パルストランス及びクライストロンの取り付け状態を示す斜視図及び断面図である。 1. Configuration of Power Supply Housing A configuration of a power supply housing according to an embodiment of the present invention will be described with reference to FIGS. 1A and 1B show the structure of the power supply housing of the present embodiment, FIG. 1A is a perspective view, and FIG. 1B is a cross-sectional view. FIGS. 2A and 2B are a perspective view and a cross-sectional view, respectively, showing a state in which the window panel is removed from FIGS. 1A and 1B. FIGS. 3A and 3B are an enlarged perspective view and a cross-sectional view of the periphery of the window panel, respectively. 4 (a) and 4 (b) show the outer surface and the inner surface of the window panel, respectively. FIGS. 5A and 5B are a perspective view and a cross-sectional view showing a mounting state of the pulse power supply circuit, the pulse transformer, and the klystron, respectively.

本実施形態の電源用筐体１０は、電源回路を設置する底板１と、底板１の周縁に底板１に垂直に設けられた側面板３と、底板１と側面板３で囲まれた空間を覆うように設けられた天板５とを備え、底板１と側面板３と天板５とが互いに溶接又はロウ付けされて構成されるモノコック構造の箱状である。 The power supply housing 10 of the present embodiment includes a bottom plate 1 on which a power supply circuit is installed, a side plate 3 provided perpendicularly to the bottom plate 1 at the periphery of the bottom plate 1, and a space surrounded by the bottom plate 1 and the side plate 3. The box 5 has a monocoque structure including a top plate 5 provided so as to cover the base plate 1, the side plate 3, and the top plate 5 that are welded or brazed together.

筐体１０は、底板１と側面板３と天板５とが互いに溶接又はロウ付けされて構成されるモノコック構造であるので、筐体１０の内部にフレームや柱が存在せず、内部のスペースを有効に広く使用できる。従って、筐体１０を使用すれば、電源の小型化が可能になる。また、筐体１０は、モノコック構造であるので、外力を全体に逃がして受けるため、外力による歪みが小さく、構造強度が高い。このため、内部にパルス電源回路等の重量の大きい回路を配置したまま、トラック輸送を行うことができる。また、筐体１０は、内部のスペースを完全に密閉することができるので、電磁ノイズリークを極めて小さくすることができる。 Since the housing 10 has a monocoque structure in which the bottom plate 1, the side plate 3, and the top plate 5 are welded or brazed to each other, there are no frames or pillars inside the housing 10, and the internal space Can be effectively used widely. Therefore, if the housing 10 is used, the power supply can be reduced in size. Moreover, since the housing | casing 10 is a monocoque structure, in order to escape and receive external force to the whole, the distortion by external force is small and structural strength is high. For this reason, truck transportation can be performed while a heavy circuit such as a pulse power supply circuit is arranged inside. Moreover, since the housing | casing 10 can completely seal an internal space, electromagnetic noise leak can be made extremely small.

また、筐体１０では、電源回路は、底板に取り付けられるので、浴槽型のパルス電源において電源回路を吊り下げることに起因して生じていた種々の問題が解決される。また、筐体１０では、絶縁油を内部に満たすことができるので、キャビネット型のパルス電源において空冷であることに起因して生じていた種々の問題が解決される。 Moreover, in the housing | casing 10, since a power supply circuit is attached to a baseplate, the various problems which arose due to suspending a power supply circuit in a bathtub type pulse power supply are solved. In addition, since the casing 10 can be filled with insulating oil, various problems caused by air cooling in the cabinet-type pulse power supply are solved.

本実施形態では、底板１及び天板５は、長方形の板状であり、側面板３は、長方形の各辺に一枚ずつ全部で４枚設けられている。４枚の側面板３をそれぞれ第１〜第４側面板３ａ〜３ｄと呼ぶ。底板１、側面板３及び天板５の材質は、特に限定されず、例えば、鉄やステンレスなどの金属からなる。但し、側面板３の材質は、後述するように絶縁油の漏れを防止する観点から鉄が好ましい。また、同様の理由により、天板５の材質も鉄からなることが好ましい。また、さびを防止するために、底板１、側面板３及び天板５は、メッキ（例：ニッケルメッキ）がなされていることが好ましい。底板１、側面板３及び天板５の厚さは、特に限定されず、また、好ましい厚さは、筐体１０のサイズによって異なるが、後で述べるように加工歪を小さくするために大きい肉厚が好ましく、例えば、５〜５０ｍｍであり、具体的には例えば５，１０，１５，２０，２５，３０，３５，４０，４５，５０ｍｍである。底板１、側面板３及び天板５の厚さは、ここで例示した数値の何れか２つの間の範囲内であってもよい。また、底板１、側面板３及び天板５の厚さは、互いに同じであっても異なっていてもよい。底板１、側面板３及び天板５の各辺の長さは、特に限定されないが、一例では、０．１〜５ｍであり、具体的には例えば０．１，０．２，０．５，１，２，３，４，５ｍである。各辺の長さは、ここで例示した数値の何れか２つの間の範囲内であってもよい。各辺の長さは、互いに同じであっても異なっていてもよい。底板１、側面板３及び天板５の面積は、特に限定されないが、一例では、０．０１〜２５ｍ²であり、具体的には例えば０．０１，０．０４，０．２５，１，５，１０，２０，２５ｍ²である。底板１、側面板３及び天板５の面積は、ここで例示した数値の何れか２つの間の範囲内であってもよい。底板１、側面板３及び天板５の面積は、互いに同じであっても異なっていてもよい。 In this embodiment, the bottom plate 1 and the top plate 5 are rectangular plates, and four side plates 3 are provided in total, one on each side of the rectangle. The four side plates 3 are referred to as first to fourth side plates 3a to 3d, respectively. The material of the bottom plate 1, the side plate 3, and the top plate 5 is not particularly limited, and is made of a metal such as iron or stainless steel, for example. However, the material of the side plate 3 is preferably iron from the viewpoint of preventing leakage of insulating oil, as will be described later. For the same reason, the top plate 5 is preferably made of iron. In order to prevent rust, the bottom plate 1, the side plate 3 and the top plate 5 are preferably plated (for example, nickel plating). The thicknesses of the bottom plate 1, the side plate 3 and the top plate 5 are not particularly limited, and the preferred thickness varies depending on the size of the housing 10, but as described later, a large meat is used to reduce the processing strain. The thickness is preferable, for example, 5 to 50 mm, specifically, for example, 5, 10, 15, 20, 25, 30, 35, 40, 45, 50 mm. The thicknesses of the bottom plate 1, the side plate 3, and the top plate 5 may be within a range between any two of the numerical values exemplified here. Further, the thicknesses of the bottom plate 1, the side plate 3, and the top plate 5 may be the same as or different from each other. The length of each side of the bottom plate 1, the side plate 3, and the top plate 5 is not particularly limited, but in one example, is 0.1 to 5 m, specifically 0.1, 0.2, 0.5, for example. 1, 2, 3, 4, 5 m. The length of each side may be within a range between any two of the numerical values exemplified here. The length of each side may be the same or different. Although the area of the baseplate 1, the side plate 3, and the top plate 5 is not particularly limited, in one example, it is 0.01 to 25 m ² , specifically, for example, 0.01, 0.04, 0.25, 1, 5, 10, 20, 25 m ² . The areas of the bottom plate 1, the side plate 3, and the top plate 5 may be within a range between any two of the numerical values exemplified here. The areas of the bottom plate 1, the side plate 3, and the top plate 5 may be the same or different.

側面板３は、窓部７を備えている。窓部７は、側面板３に着脱可能に取り付けられた窓パネル９によって塞がれている。従って、窓パネル９を取り外すことによって筐体１０の側面から筐体１０内部へアクセスして電源回路のメンテナンスを行うことが容易である。窓パネル９の材質は、特に限定されないが、例えば、鉄やステンレスなどの金属からなる。 The side plate 3 includes a window portion 7. The window portion 7 is closed by a window panel 9 that is detachably attached to the side plate 3. Therefore, it is easy to perform maintenance of the power supply circuit by removing the window panel 9 and accessing the inside of the housing 10 from the side surface of the housing 10. Although the material of the window panel 9 is not specifically limited, For example, it consists of metals, such as iron and stainless steel.

側面板３と窓パネル９の間には、窓部７を取り囲むオイルシール部材が設けられている。本実施形態では、図３（ａ），（ｂ）に示すように、オイルシール部材は、Ｏ−リング１１であり、側面板３には、窓部７を取り囲むようにＯ−リング用の溝１３が設けられており、Ｏ−リング１１は、溝１３に配置されている。オイルシール部材としては、ガスケット（例：平板形状のゴムガスケット）を用いてもよく、この場合、溝１３は不要である。窓パネル９は、窓パネル９の周縁に均等間隔に配置されたボルト１５で側面板３に取り付けられている。側面板３は、窓部７を取り囲むように複数のタップ穴４を有しており、窓パネル９は、タップ穴４に対応する位置にボルト穴８を有しており、ボルト１５は、ボルト穴８を通ってタップ穴４に挿入される。これによって、窓パネル９が側面板３に取り付けられる。 An oil seal member that surrounds the window portion 7 is provided between the side plate 3 and the window panel 9. In this embodiment, as shown in FIGS. 3A and 3B, the oil seal member is an O-ring 11, and the side plate 3 has an O-ring groove so as to surround the window portion 7. 13 is provided, and the O-ring 11 is disposed in the groove 13. As the oil seal member, a gasket (eg, a flat rubber gasket) may be used. In this case, the groove 13 is unnecessary. The window panel 9 is attached to the side plate 3 with bolts 15 arranged at equal intervals on the periphery of the window panel 9. The side plate 3 has a plurality of tap holes 4 so as to surround the window portion 7, the window panel 9 has bolt holes 8 at positions corresponding to the tap holes 4, and the bolts 15 are bolts It is inserted into the tapped hole 4 through the hole 8. Thus, the window panel 9 is attached to the side plate 3.

筐体１０を製作するに際して側面板３と窓パネル９の間の隙間から筐体１０内部に充填される絶縁油が漏れることが懸念された。側面板３と窓パネル９の間にオイルシール部材を設けてもそれだけでは絶縁油の漏れを防ぐことが難しいと考えられていたからである。このような状況において、本発明者は、側面板３と窓パネル９とをぴったりと合わせれば絶縁油の漏れを防ぐことができると考えた。そして、窓部７を取り囲むように側面板３のフライス加工を行うことによって、側面板３が最初から有する歪みや溶接又はロウ付けの際に生じる歪みを除去して側面板３の表面を平坦にすることを考えた。
電源用筐体の材質としてステンレス板が一般的に用いられるので、本発明者は、側面板３としてステンレス板を用いることを最初に考えた。しかし、ステンレス板にフライス加工を施すと加工時に発生する摩擦熱によってステンレス板に歪みが生じて、結局、ステンレス板の表面を平坦にできないことが分かった。このような状況において、本発明者は、電源用筐体の材質としては通常は用いられない肉厚の鉄板を用いることを思い付いた（電源用筐体を肉厚の鉄板で製作することは、電源分野の当業者の常識外のことである。）。そして、鉄板にフライス加工を施したときに発生する摩擦熱は、ステンレス板の場合よりもかなり少なく、また肉厚が大きいため、摩擦熱による鉄板の歪みが極めて小さくなることが分かった。このような経緯により、鉄板からなる側面板３に対してフライス加工を施すことによって、側面板３と窓パネル９をぴったりと合わせることに成功し、絶縁油の漏れを防ぐことが可能になった。なお、側面板３の材質は鉄が好ましいが、鉄板にフライス加工を施した場合と同程度の表面精度が確保できるのであれば、鉄以外であってもよい（表面精度が確保できるのであればステンレスであってもよい。）。また、筐体１０は、内部に絶縁油１０を充填しない用途に利用可能であり、その場合、側面板３の材質は特に限定されない。なお、フライス加工は、少なくとも窓部５の周囲の領域に対して行えばよく、窓部５の周囲の領域のみに行ってもよく、側面板３の全面に対して行ってもよい。 When manufacturing the housing 10, there is a concern that the insulating oil filled in the housing 10 leaks from the gap between the side plate 3 and the window panel 9. This is because even if an oil seal member is provided between the side plate 3 and the window panel 9, it is considered that it is difficult to prevent leakage of insulating oil. In such a situation, the present inventor has thought that leakage of insulating oil can be prevented if the side plate 3 and the window panel 9 are closely aligned. Then, the side plate 3 is milled so as to surround the window 7, thereby removing the distortion of the side plate 3 from the beginning and the distortion generated during welding or brazing so that the surface of the side plate 3 is flattened. Thought to do.
Since a stainless steel plate is generally used as the material for the power supply housing, the inventor first considered using a stainless steel plate as the side plate 3. However, it was found that when the stainless steel plate was milled, the stainless steel plate was distorted by frictional heat generated during the processing, and the surface of the stainless steel plate could not be flattened. In such a situation, the present inventor has come up with the idea of using a thick iron plate that is not normally used as the material of the power supply housing (making a power supply housing with a thick iron plate This is beyond the common knowledge of those skilled in the power supply field.) Further, it was found that the frictional heat generated when the iron plate was milled was much smaller than that of the stainless steel plate and the thickness thereof was large, so that the distortion of the iron plate due to the frictional heat became extremely small. Due to such circumstances, by performing milling on the side plate 3 made of iron plate, the side plate 3 and the window panel 9 were successfully matched, and it became possible to prevent leakage of insulating oil. . In addition, although the material of the side plate 3 is preferably iron, it may be other than iron as long as the surface accuracy equivalent to that obtained when the iron plate is milled can be secured (if the surface accuracy can be ensured). Stainless steel may be used.) Moreover, the housing | casing 10 can be utilized for the use which is not filled with the insulating oil 10 inside, In that case, the material of the side plate 3 is not specifically limited. The milling may be performed on at least the area around the window 5, may be performed only on the area around the window 5, or may be performed on the entire side plate 3.

窓パネル９の内側面には、冷却部１７が取り付けられている。この場合、窓パネル９を外すと冷却部１７も一緒に外れるので、内部の電源回路へのアクセス性が向上する。また、窓パネル９は面積が大きいので、ここに冷却部１７を設置することによって効率的な冷却が可能になる。冷却部１７は、後述する隔壁２７にも取り付けられている。 A cooling unit 17 is attached to the inner surface of the window panel 9. In this case, when the window panel 9 is removed, the cooling unit 17 is also removed, so that the accessibility to the internal power supply circuit is improved. Further, since the window panel 9 has a large area, efficient cooling is possible by installing the cooling unit 17 here. The cooling unit 17 is also attached to a partition wall 27 described later.

冷却部１７の構成は、筐体１０内の絶縁油を冷却可能なものであれば特に限定されない。冷却部１７は、一例では、図４（ａ），（ｂ）に示すように、金属（例：銅）板１７ａにロウ付けされた金属（例：銅）パイプ１７ｂで構成される。金属板１７ａは、省略可能である。金属パイプ１７ｂの両端は、それぞれ、窓パネル９の外側面に溶接されたスウェージロック１７ｃに接続されており、スウェージロック１７ｃを通じて金属パイプ１７ｂ内に冷却水が導入される。 The configuration of the cooling unit 17 is not particularly limited as long as the insulating oil in the housing 10 can be cooled. As shown in FIGS. 4A and 4B, the cooling unit 17 includes, for example, a metal (example: copper) pipe 17b brazed to a metal (example: copper) plate 17a. The metal plate 17a can be omitted. Both ends of the metal pipe 17b are connected to a swage lock 17c welded to the outer surface of the window panel 9, and cooling water is introduced into the metal pipe 17b through the swage lock 17c.

天板５には、窓部７と、クライストロン設置部１９が設けられている。窓部７には窓パネル９が設置される。図５（ａ），（ｂ）に示すように、クライストロン設置部１９には、クライストロン２０が設置される。クライストロン設置部１９は、本実施形態では、開口部１９ａと、開口部１９ａの周囲のタップ穴１９ｂとで構成される。クライストロン２０は、一例では、ボルト穴２０ａを有するフランジ部２０ｂを間に挟んで電力入力部２０ｃを備えている。クライストロン２０は、開口部１９ａを通じて電力入力部２０ｃを筐体１０内に挿入した状態で、ボルト穴２０ａを通ってタップ穴１９ｂに挿入されるボルト１５で天板５に固定される。従来の電源用筐体は、構造強度が低いので重量物であるクライストロン２０を筐体上に配置することができなかったが、筐体１０は、モノコック構造であるので構造強度が高く、筐体１０上にクライストロン２０を配置することが可能になった。 The top plate 5 is provided with a window portion 7 and a klystron installation portion 19. A window panel 9 is installed in the window portion 7. As shown in FIGS. 5A and 5B, a klystron 20 is installed in the klystron installation unit 19. In the present embodiment, the klystron installation portion 19 includes an opening 19a and a tap hole 19b around the opening 19a. In one example, the klystron 20 includes a power input portion 20c with a flange portion 20b having a bolt hole 20a interposed therebetween. The klystron 20 is fixed to the top plate 5 with bolts 15 inserted into the tapped holes 19b through the bolt holes 20a in a state where the power input unit 20c is inserted into the housing 10 through the opening 19a. Since the conventional power supply casing has a low structural strength, the heavy klystron 20 cannot be disposed on the casing. However, the casing 10 has a monocoque structure and thus has a high structural strength. It became possible to arrange the klystron 20 on 10.

筐体１０内部には、図５（ａ），（ｂ）に示すように、パルス電源回路２２を収容するパルス電源回路収容部２１と、パルストランス２４を収容するパルストランス収容部２３が設けられる。パルストランス収容部２３は、クライストロン設置部１９直下に設けられる。パルス電源回路２２とパルストランス２４は、何れも大きなノイズを発生させるが、これら２つを同じ筐体１０内に配置することによって、電磁ノイズリークを極めて小さくすることができる。 As shown in FIGS. 5A and 5B, a pulse power supply circuit storage unit 21 that stores a pulse power supply circuit 22 and a pulse transformer storage unit 23 that stores a pulse transformer 24 are provided inside the housing 10. . The pulse transformer accommodating portion 23 is provided immediately below the klystron installation portion 19. The pulse power supply circuit 22 and the pulse transformer 24 both generate large noise, but electromagnetic noise leakage can be extremely reduced by arranging these two in the same housing 10.

パルス電源回路２２は、図示しない外部端子を通じて電力の供給を受け、パルス電力を出力する機能を有する。パルス電源回路２２の構成は、特に限定されないが、一例では、電力を蓄積する蓄電部（例：キャパシタとコイルで構成されるＰＦＮ回路）と、蓄積した電力を放出するスイッチ部（例：サイラトロン）とで構成される。パルストランス２４は、パルス電源回路２２からのパルス電力を昇圧してケーブル２６を通じてクライストロン２０に供給する。パルス電源回路２２とパルストランス２４は、筐体１０に接地される。 The pulse power supply circuit 22 has a function of receiving power supplied through an external terminal (not shown) and outputting pulse power. The configuration of the pulse power supply circuit 22 is not particularly limited, but in one example, a power storage unit that stores power (eg, a PFN circuit including a capacitor and a coil) and a switch unit that discharges the stored power (eg, thyratron). It consists of. The pulse transformer 24 boosts the pulse power from the pulse power supply circuit 22 and supplies it to the klystron 20 through the cable 26. The pulse power supply circuit 22 and the pulse transformer 24 are grounded to the housing 10.

パルス電源回路２２とパルストランス２４は、それぞれ、底板１に固定される。固定方法は、特に限定されず、ボルトで固定してもよく、接着剤等で固定してもよい。底板１にはタップ穴を設けておいたりボルト立てをしておくことによってパルス電源回路２２とパルストランス２４の固定を容易にしておくことが好ましい。 The pulse power supply circuit 22 and the pulse transformer 24 are each fixed to the bottom plate 1. The fixing method is not particularly limited, and may be fixed with a bolt or may be fixed with an adhesive or the like. The bottom plate 1 is preferably provided with tapped holes or bolts so that the pulse power supply circuit 22 and the pulse transformer 24 can be easily fixed.

パルス電源回路収容部２１とパルストランス収容部２３との間には、開口２５を有する隔壁２７が設けられている。隔壁２７は、パルストランス２４から発生する超音波の衝撃波をパルス電源回路２２に伝えないためのものである。パルス電源回路２２にはサイラトロン管など衝撃に弱い部品があるからである。また、隔壁２７は、筐体１０の強度を増し、窓部７のフライス加工に伴う応力に耐え、筐体１０の変形を最小限としている。さらに、重量物であるクライストロン２０を支持する骨格の役割を担っている。隔壁２７の開口２５には、パルス電源回路２２とパルストランス２４とを電気的に接続するケーブル２９が通される。 A partition wall 27 having an opening 25 is provided between the pulse power circuit housing unit 21 and the pulse transformer housing unit 23. The partition wall 27 prevents the ultrasonic shock wave generated from the pulse transformer 24 from being transmitted to the pulse power supply circuit 22. This is because the pulse power supply circuit 22 includes components that are vulnerable to impact, such as a thyratron tube. Further, the partition wall 27 increases the strength of the housing 10, withstands the stress associated with the milling of the window portion 7, and minimizes deformation of the housing 10. Furthermore, it plays a role of a skeleton that supports the klystron 20 which is a heavy object. A cable 29 that electrically connects the pulse power supply circuit 22 and the pulse transformer 24 is passed through the opening 25 of the partition wall 27.

筐体１０内部は絶縁性と放熱性の向上のために絶縁油で満たされる。隔壁２７には、オイルチャネル３１が設けられており、パルス電源回路収容部２１とパルストランス収容部２３の間での絶縁油の移動が確保されている。 The interior of the housing 10 is filled with insulating oil to improve insulation and heat dissipation. The partition wall 27 is provided with an oil channel 31 to ensure the movement of the insulating oil between the pulse power circuit housing portion 21 and the pulse transformer housing portion 23.

２．電源用筐体の製造方法
次に、図６〜図８を用いてを用いて上記実施形態の筐体１０の製造方法の一例について説明する。図６は、溶接又はロウ付け前の底板１、側面板３及び隔壁２５を示す斜視図である。図７は、溶接又はロウ付け後の底板１、側面板３及び隔壁２５と、溶接又はロウ付け前の天板５を示す斜視図である。図８は、溶接又はロウ付け後の底板１、側面板３、天板５及び隔壁２５を示す斜視図である。 2. Next, an example of a method for manufacturing the casing 10 according to the embodiment will be described with reference to FIGS. FIG. 6 is a perspective view showing the bottom plate 1, the side plate 3, and the partition wall 25 before welding or brazing. FIG. 7 is a perspective view showing the bottom plate 1, the side plate 3 and the partition wall 25 after welding or brazing, and the top plate 5 before welding or brazing. FIG. 8 is a perspective view showing the bottom plate 1, the side plate 3, the top plate 5 and the partition wall 25 after welding or brazing.

まず、図６に示す形状に加工された底板１、側面板３及び隔壁２５を準備する。加工の方法は、特に限定されないが、例えば、プラズマ溶断又はレーザー溶断である。
次に、図６の矢印の方向に従って、底板１、側面板３及び隔壁２５を組み合わせて溶接又はロウ付けして図７に示すような上側が開いた箱型にする。
次に、底板１と側面板３で囲まれた空間を覆うように天板５を設置して溶接して図８に示す構造を得る。
溶接又はロウ付けの際に熱によって板材が歪むので、この歪みを除去するために、側面板３及び天板５の表面（少なくとも窓部７の周辺）をフライス加工する。上述したように、電源用筐体に通常用いられるステンレス板ではフライス加工時の発熱によって歪みの除去が難しいが、電源分野の技術常識に反して、側面板３及び天板５を鉄板にすることによって発熱を抑え、表面の歪みの除去に成功した。
次に、タップ穴４及び１９ｂと、Ｏリング１１用の溝１３を形成し、図２（ａ），（ｂ）に示す構造を得る。
次に、メッキを行う。メッキは、さび防止を防止して、内部に収める電源回路と筐体１０との電気的接触を確保するために行う。
次に、窓パネル９を取り付け、図１（ａ），（ｂ）に示す構造を得て、筐体１０が完成する。 First, the bottom plate 1, the side plate 3, and the partition wall 25 processed into the shape shown in FIG. 6 are prepared. Although the processing method is not particularly limited, for example, plasma fusing or laser fusing.
Next, according to the direction of the arrow in FIG. 6, the bottom plate 1, the side plate 3 and the partition wall 25 are combined and welded or brazed to form a box shape with the upper side open as shown in FIG.
Next, the top plate 5 is installed so as to cover the space surrounded by the bottom plate 1 and the side plate 3 and welded to obtain the structure shown in FIG.
Since the plate material is distorted by heat during welding or brazing, the surfaces of the side plate 3 and the top plate 5 (at least around the window portion 7) are milled to remove this distortion. As described above, it is difficult to remove distortion due to heat generated during milling with a stainless steel plate normally used for a power supply housing. However, contrary to the technical common sense in the power supply field, the side plate 3 and the top plate 5 are made of iron plates. The heat generation was suppressed by this, and the surface distortion was successfully removed.
Next, the tap holes 4 and 19b and the groove 13 for the O-ring 11 are formed, and the structure shown in FIGS. 2A and 2B is obtained.
Next, plating is performed. Plating is performed in order to prevent rust prevention and to ensure electrical contact between the power supply circuit housed inside and the housing 10.
Next, the window panel 9 is attached, the structure shown in FIGS. 1A and 1B is obtained, and the housing 10 is completed.

以上の実施形態で示した種々の特徴は，互いに組み合わせることができる。１つの実施形態中に複数の特徴が含まれている場合，そのうちの１又は複数個の特徴を適宜抜き出して，単独で又は組み合わせて，本発明に採用することができる。 Various features shown in the above embodiments can be combined with each other. When a plurality of features are included in one embodiment, one or a plurality of features can be appropriately extracted and used in the present invention alone or in combination.

図１（ａ），（ｂ）は、本発明の一実施形態の電源用筐体の構造を示し、図１（ａ）は、斜視図であり、図１（ｂ）は、断面図である。1A and 1B show the structure of a power supply housing according to an embodiment of the present invention, FIG. 1A is a perspective view, and FIG. 1B is a cross-sectional view. . 図２（ａ），（ｂ）は、それぞれ、図１（ａ），（ｂ）から窓パネルを外した状態を示す斜視図及び断面図である。FIGS. 2A and 2B are a perspective view and a cross-sectional view, respectively, showing a state in which the window panel is removed from FIGS. 1A and 1B. 図３（ａ），（ｂ）は、それぞれ、窓パネル周辺を拡大した斜視図及び断面図である。FIGS. 3A and 3B are an enlarged perspective view and a cross-sectional view of the periphery of the window panel, respectively. 図４（ａ）及び（ｂ）は、それぞれ、窓パネルの外側面及び内側面を示す。4 (a) and 4 (b) show the outer surface and the inner surface of the window panel, respectively. 図５（ａ）及び（ｂ）は、それぞれ、パルス電源回路、パルストランス及びクライストロンの取り付け状態を示す斜視図及び断面図である。FIGS. 5A and 5B are a perspective view and a cross-sectional view showing a mounting state of the pulse power supply circuit, the pulse transformer, and the klystron, respectively. 図６は、溶接又はロウ付け前の底板、側面板及び隔壁を示す斜視図である。FIG. 6 is a perspective view showing a bottom plate, a side plate and a partition wall before welding or brazing. 図７は、溶接又はロウ付け後の底板、側面板及び隔壁と、溶接又はロウ付け前の天板を示す斜視図である。FIG. 7 is a perspective view showing a bottom plate, side plates and partition walls after welding or brazing and a top plate before welding or brazing. 図８は、溶接又はロウ付け後の底板、側面板、天板及び隔壁を示す斜視図である。FIG. 8 is a perspective view showing a bottom plate, a side plate, a top plate, and a partition wall after welding or brazing.

Explanation of symbols

１：底板３：側面板３ａ〜３ｄ：第１〜第４側面板４：タップ穴５：天板７：窓部８：ボルト穴９：窓パネル１０：電源用筐体１１：Ｏ−リング１３：溝１５：ボルト１７：冷却部１７ａ：金属板１７ｂ：金属パイプ１７ｃ：スウェージロック１９：クライストロン設置部１９ａ：開口部１９ｂ：タップ穴２０：クライストロン２０ａ：ボルト穴２０ｂ：フランジ部２０ｃ：電力入力部２１：パルス電源回路収容部２２：パルス電源回路２３：パルストランス収容部２４：パルストランス２５：開口２６：ケーブル２７：隔壁２９：ケーブル３１：オイルチャネル 1: bottom plate 3: side plates 3a to 3d: first to fourth side plates 4: tapped holes 5: top plate 7: window portion 8: bolt hole 9: window panel 10: power supply casing 11: O-ring 13 : Groove 15: Bolt 17: Cooling part 17a: Metal plate 17b: Swage lock 19c: Kleistron installation part 19a: Opening part 19b: Tap hole 20: Klystron 20a: Bolt hole 20b: Flange part 20c: Electric power input part 21 : Pulse power supply circuit accommodating part 22: Pulse power supply circuit 23: Pulse transformer accommodating part 24: Pulse transformer 25: Opening 26: Cable 27: Bulkhead 29: Cable 31: Oil channel

Claims

A bottom plate for installing a power supply circuit, a side plate provided perpendicularly to the bottom plate at the periphery of the bottom plate, and a top plate provided to cover a space surrounded by the bottom plate and the side plate, box-like der monocoque constructed bottom plate and said side plate and the top plate is mutually welding or brazing is,
The side plate, the power supply housing to Rukoto characterized been milled is adapted and made iron surrounding the window portion.

The side plate includes a window portion,
A window panel that closes the window and is detachably attached to the side plate;
The housing according to claim 1, wherein an oil seal member is provided between the side plate and the window panel to surround the window portion.

The said window panel is a housing | casing of Claim 2 attached to the said side plate with the volt | bolt arrange | positioned at the periphery of the said window panel at equal intervals.

The side plate has an O-ring groove provided so as to surround the window portion,
The casing according to claim 2 or 3, wherein the oil seal member is an O-ring installed in the groove.

The casing according to claim 2, wherein the oil seal member is made of a flat rubber gasket.

Housing according to any one of claims 2-5, further comprising a cooling unit attached to the inner surface of the window panel.

A power supply casing according to any one of claims 1 to 6 , a pulse power supply circuit that outputs pulse power, and a pulse transformer that boosts the pulse power, wherein the pulse power supply circuit and the pulse transformer include: , Pulse power sources respectively disposed in the housing.

The power supply housing includes a pulse power supply circuit accommodating portion that accommodates the pulse power supply circuit and a pulse transformer accommodating portion that accommodates the pulse transformer, and the pulse power supply circuit accommodating portion and the pulse transformer accommodating portion are opened. The pulse power supply according to claim 7 , wherein the pulse power supply circuit and the pulse transformer are electrically connected through the opening.

The pulse power supply according to claim 7 or 8 , further comprising a klystron to which pulse power boosted by the pulse transformer is supplied, wherein the klystron is installed on the casing.