JP4956619B2 - 半導体集積回路の製造システム、製造装置、製造方法、集積回路及び通信システム - Google Patents
半導体集積回路の製造システム、製造装置、製造方法、集積回路及び通信システム Download PDFInfo
- Publication number
- JP4956619B2 JP4956619B2 JP2009542469A JP2009542469A JP4956619B2 JP 4956619 B2 JP4956619 B2 JP 4956619B2 JP 2009542469 A JP2009542469 A JP 2009542469A JP 2009542469 A JP2009542469 A JP 2009542469A JP 4956619 B2 JP4956619 B2 JP 4956619B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- circuit
- voltage
- information
- integrated circuit
- unit
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
Images
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10D—INORGANIC ELECTRIC SEMICONDUCTOR DEVICES
- H10D89/00—Aspects of integrated devices not covered by groups H10D84/00 - H10D88/00
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10D—INORGANIC ELECTRIC SEMICONDUCTOR DEVICES
- H10D84/00—Integrated devices formed in or on semiconductor substrates that comprise only semiconducting layers, e.g. on Si wafers or on GaAs-on-Si wafers
- H10D84/90—Masterslice integrated circuits
Landscapes
- Semiconductor Integrated Circuits (AREA)
- Design And Manufacture Of Integrated Circuits (AREA)
Description
特許文献1では、動作時間が設計目標値より増大した場合であっても正常に動作するようにマージンを設定して、半導体集積回路の設計を行う技術が開示されている。
例えば、動作時間が最も長い場合を想定して、設計マージンを決める。このようにして設計マージンを決定すると、設計目標値以上に速く動作できる(つまり、動作時間の短い)半導体集積回路には、過剰なマージンを設定することになり、回路面積等に無駄が生じる。
そこで、本発明は、上記の問題に鑑み、過剰な設計マージンを抑制しつつ、製造過程などによって個々の製品の製造特性にばらつきが生じても、設計どおりに動作する半導体集積回路を製造することができる製造システム、製造方法、製造装置、半導体集積回路及び通信システムを提供することを目的とする。
つまり、個々の固定回路の特性が異なっていても、複数の候補回路の中から、その特性に適合する候補回路をプログラマブル回路上に構築する。そのため過剰な設計マージンを抑制しつつ、個々の固定回路の特性がそれぞれ異なっていても正常に動作する半導体集積回路を製造できるという優れた効果を奏する。
この構成によると、前記生成手段は、取得した複数の電圧値の間を補完して前記第2電圧情報を生成する。つまり、第2電圧情報は、電圧値の集合であるので、前記算出手段は、減算という簡易な演算により前記第3電圧情報を取得し、さらに、第3電圧情報を構成する複数の電圧降下値を比較することで、容易に最大電圧降下値を算出することができる。
この構成によると、前記生成手段は、取得した複数の電圧降下値の間を補完して前記第2電圧情報を生成する。つまり、前記第2電圧情報は、多数の電圧降下値の集合であって、第3電圧情報と実質的に同一である。
また、前記製造装置は、さらに、1個の前記候補回路について、当該候補回路が第1の動作時間で動作する場合にプログラマブル回路内で発生すると予測される電圧の時間変化を示す第1予測情報を記憶している予測情報記憶手段と、前記第1の動作時間を用いて、前記第1予測情報を時間軸方向及び電圧変化に係る軸方向に伸縮させることにより、前記候補回路が第2の動作時間で動作する場合の第2予測情報を生成する予測情報生成手段と、取得した前記実測値を用いて、前記第1予測情報と第2予測情報との間を補完して、前記第1電圧情報を生成する電圧情報生成手段と、生成した第1電圧情報を前記記憶手段に記録する記録手段とを含むことを特徴とする。
ここで、上記の「予測情報生成手段」は、下記の実施の形態におけるシミュレーション部が対応する。「第1及び第2予測情報」のうち、「第1予測情報」は、実施の形態1において、例えば、図6に示す電圧降下波形4008である。「第2予測情報」は、電圧降下波形4002及び電圧降下波形4004のうち何れかである。電圧降下波形1021及び電圧降下波形1023のうち何れを他方の予測情報として用いるかは、「実測値(実施の形態では出来栄えデータ)」を基に決定される。
また、検出した最大電圧降下値が閾値以下となる組合せが複数存在する場合、前記選択手段は、前記候補構成情報の中から、最小の最大電圧降下値と対応する前記出力構成情報を取得するとしてもよい。
本発明は、情報端末装置及びサーバ装置から構成される通信システムであって、前記情報端末装置は、第1通信手段と、プログラマブル回路及び固定回路からなる半導体集積回路と、第1通信手段を介して、構成情報を受信し、受信した構成情報を前記プログラマブル回路に書き込む書込手段とを備え、前記サーバ装置は、第2通信手段と、プログラマブル回路上に構成された場合に同一機能を有し、構成の異なる複数の候補回路、それぞれの構成を定める複数の候補構成情報と、複数の候補回路それぞれが動作した場合にプログラマブル回路内で発生すると予測される電圧変化を示す複数の第1電圧情報とを記憶している記憶手段と、少なくとも一部が動作中の前記情報端末装置において、動作中の前記半導体集積回路から、第2通信手段を介して、当該半導体集積回路において計測され、電圧変化に関する1個以上の実測値を取得する取得手段と、取得した前記実測値に基づいて、固定回路の動作により固定回路内で発生する電圧変化を示す第2電圧情報を生成する生成手段と、複数の第1電圧情報の各々と第2電圧情報とを組み合わせて、複数の候補回路のそれぞれについて、固定回路とプログラマブル回路の両者が動作した場合に、前記半導体集積回路内で発生する電圧と、設計において定められた一定の基準電圧との差である電圧降下値の変化を示す第3電圧情報を取得し、取得した第3電圧情報から最大電圧降下値を算出する算出手段と、最大電圧降下値が閾値以下となる組合せを1以上選択し、選択した組合せに対応する候補回路の構成を定める前記候補構成情報の中から出力構成情報を取得する選択手段と、第2通信手段を介して、取得した前記出力構成情報を前記情報端末装置へ出力する出力手段とを備えることを特徴とする。
以下に、本発明の1実施態様である製造システム1について説明する。
1.1 概要
図1は、本発明の実施の形態1における製造システム1の構成図である。製造システム1は、集積回路3000内の再構成回路に構築する回路の構成を決定し、決定した回路を再構成可能回路に出力し、構成情報を受け取った集積回路は、再構成可能部に、構成情報に従って回路を構築するシステムである。
上述したように、動作時間は、回路を構成する各素子における伝播遅延によって生じる。また、動作時間が長い場合、回路の動作が遅い又は動作速度が遅い、動作時間が短い場合、回路の動作が速い又は動作速度が速いと表現する場合もある。
構成決定サーバ3007は、取得した動作時間から、固定回路部の出来栄えを数値化した出来栄えデータを算出し、算出した出来栄えデータをもとに、上記の複数の構成情報の中から、最適な構成情報を選択する。
また、最適な構成情報とは、その構成情報に従って回路を構築した状態で、集積回路3000を動作させた際、最大電圧降下値が小さくなるような構成情報である。
構成決定サーバ3007は、選択した構成情報を回路基板の入力端子へ入力する。入力端子を介して集積回路に入力された構成情報に従って、再構成可能回路部には回路が構築される。
1.2 集積回路3000
図1に示すように、集積回路3000は、検出部3001、演算部3002、固定回路部3003、再構成可能部3004、構成制御部3005及び構成情報記憶部3006から形成される。
固定回路部3003と、再構成可能部3004に構築される回路とは、相互に接続され、両者が相互に連携して動作することによって、集積回路3000は、設計者の所望する機能を発揮する。
固定回路部3003は、構成を変更することのできない回路である。
再構成可能部3004は、スイッチ部3008とロジック部3009とを含む。ロジック部3009は、実際に演算を行う回路を構築する領域である。スイッチ部3008は、ロジック部3009上に構築された回路の入出力端と固定回路部3003とを接続するスイッチ回路が構築される領域である。
検出部3001は、製造過程において、固定回路部3003の特性を示す信号を演算部3002へ出力する。
実施の形態1では、具体的に、固定回路部3003の近傍に実装されたリングオシレータ3051により構成される。
具体的には、演算部3002は、カウンタ3052と遅延抽出部3053とを含んでおり、これらは、リングオシレータ3051の動作時間を算出する。なお、動作時間は、特性を示すデータの一例であって、他のデータを算出しても良いのは言うまでもない。
図2に示すように、リングオシレータ3051は、NAND回路3058と、複数のNOT回路3059を環状に接続して構成される。NAND回路3058の入力の一方は、環状に接続された信号線であり、もう一方は、遅延抽出部3053から出力される発信制御線で3056ある。また、リングオシレータ3051は、カウンタ3052の入力端とも接続されている。
遅延抽出部3053へは、クロックと、カウンタ3052により計測されたカウンタ値とが入力される。また遅延抽出部3053は、カウント制御線3061により、カウンタ3052の入力端と接続されている。
先ず、遅延抽出部3053は発信制御線3056をイネーブルにして、リングオシレータ3051に発信を開始させる。リングオシレータ3051の動作が安定すると、カウンタ3052をリセットする。
遅延抽出部3053は、カウンタ3053のリセット解除の後、発信制御線3056を一定時間(クロックの分周から定まる時間)、イネーブルのまま維持する。
前記一定期間、カウンタ3052は、リングオシレータ3051から出力される信号の発振回数をカウントアップし、カウンタ値を遅延抽出部3053へ出力する。
一定期間経過後、遅延抽出部3053は、一定時間/カウンタ値を、算出する。ここで、算出される値は、信号がリングオシレータ3051を1周するのに要する時間(1周期遅延値)である。
ここで、1つの集積回路上の構成要素は、同一の製造工程を経ているため、特性が類似する傾向があると推定される。特に、集積回路3000内の位置が近いほど、各要素の特性は近くなる。そこで、本実施の形態では、固定回路部3003の特性を、固定回路部3003の近傍に実装されたリングシオレータ3051の特性により代替する。
(3)構成情報記憶部3006
構成情報記憶部3006は、不揮発性又は揮発性の記憶媒体から構成される。
構成情報記憶部3006は、構成決定サーバ3007から出力された構成情報を記憶する。
構成制御部3005は、構成情報記憶部3006から構成情報を読み出し、解読し、解読後の構成情報を再構成可能部3004へ出力することで、再構成可能部3004に回路を構築させる。
1.3 構成決定サーバ3007
図3は、構成決定サーバ3007の機能的構成を示すブロック図である。図3に示すように、構成決定サーバ3007は、実測値記憶部1010、固定回路波形記憶部1011、再構成回路波形記憶部1012、出来栄えデータ算出部3011、固定回路波形推定部3013、再構成回路波形推定部3017、合成波形生成部3018、最大電圧降下値検出部3019、比較部3021及び判定部3023から構成される。また、図示していないが、構成決定サーバ3007は、操作者による、指示やデータの入力を受け付ける入力部、判定部2023による判定結果を表示するモニタ、製造対象となる回路基板2010を装着するインタフェースなどを備える。
なお、この構成は一例であって、構成決定サーバ3007は、その一部又は全部を、構成決定機能実現するための専用ハードウェアにより、構成されているとしても良い。
(1)実測値記憶部1010
実測値記憶部1010は、揮発性又は不揮発性の記憶媒体により構成される。実測値記憶部1010は、リングオシレータの動作時間tmを受け取り一時的に記憶する。複数の集積回路に対する動作時間を記憶する場合は、各集積回路を一意に示すシリアル番号等と対応付けて記憶する。
以下、各パラメータの設計目標値を単に設計値と記載する。
出来栄えデータ算出部3011は、リングオシレータ3051の動作時間の設計値tpを記憶している。設計値tpは、設計段階で、想定した材料の品質、製造工程、使用状態、リングオシレータの物理的構造などから、推算されるリングオシレータの1周期動作時間である。
出来栄えデータ算出部3011は、実測値記憶部1010から動作時間tmを読み出し、読み出した動作時間tmと設定値tpとの比率tm/tpを算出する。算出したtm/tpを出来栄えデータとして、固定回路波形推定部3013及び再構成回路波形推定部3017へ出力する。
なお、出来栄えデータ算出部3011は、出来栄えデータとして、実際の動作時間と設計値との比を算出したが、これは一例であって、他の演算により出来栄えデータを決定しても良い。例えば、設計値と実測値との差を算出しても良い。
固定回路波形記憶部1011は、不揮発性の記録媒体により構成される。
固定回路波形記憶部1011は、固定回路部3003の1サイクルの動作における電圧降下波形を複数記憶している。これらは、いずれも、製造条件や動作時の条件を示すパラメータを変えてシミュレーションにより、生成された理論上の電圧降下値波形である。
電圧降下波形1022は、設計時において、想定した通りの製造条件及び動作条件で動作するようにパラメータを設定した場合の、固定回路部3003の電圧降下値波形であって、動作時間tyは、設計値と一致する。
電圧降下波形1023は、設計値よりも動作時間が短くなるようにパラメータを設定してシミュレーションしたものである。
ただし、ここでは、それぞれの電圧降下波形において、動作時間tx、ty、tzは、クロックの1周期の時間(tcl)以下になるようにシミュレーションされる。つまり、tz<ty<tx≦tcl を満たす。なお、本実施の形態は、一例であって、上記の大小関係は、必ずしも満たされるわけではない。
電圧降下波形は、トランジスタの速度的な出来栄えに応じて補間的に作成することができる。例えば、トランジスタが設計値より速く動作するという仮定の下、シミュレーション部は、固定回路部3003内のクリティカルパスの動作時間を算出する。クリティカルパスの動作時間に応じて、時間軸方向の広がり具合(動作時間tz)を決める。ここで決定した動作時間tzとなるように、電圧降下波形1022を時間軸方向に縮小する。ここで、
・動作時間=各素子の動作時間の総和
・各素子の遅延時間=トランジスタのON抵抗×配線付加容量
であると近似する。また、製造状態や動作条件に依存して各のトランジスタの駆動能力(飽和電流量)が異なっても、回路の負荷容量(配線、ゲートの容量)は変わらないと仮定する。また、電流量を時間で積分した値は製造状態や動作条件によらず一定であると仮定する。さらに、電圧降下値は、電流量に比例すると仮定すると、電圧降下値の時間積分も一定になる。
電圧降下波形1021の場合は、トランジスタの動作速度が設計値よりも遅いと仮定して、同様の演算をすることで求められる。
図4に記載されている情報は、あくまでも一例であって、固定回路波形記憶部1011が、どのような条件下における電圧降下波形を記憶しておくかは任意である。本実施の形態では、固定回路波形推定部3013(後述)が、誤差成分を補間すれば、より精度の高い推定をすることができるように、固定回路波形記憶部1011は、設計値どおりの動作時間の場合と、設計値よりも短い動作時間の場合と、設計値よりも長い動作時間の場合の電圧降下波形を記憶している。
(4)固定回路波形推定部3013
固定回路波形推定部3013は、出来栄えデータtm/tpを受け取る。これを受け取ると、固定回路波形記憶部1011から電圧降下波形1021、1022及び1023を読み出し、読み出した電圧降下波形の間を補完して固定回路部3003の電圧降下波形を推定する。図5は、電圧降下波形1021、1022及び1023の一部を拡大した物である。以下に、図4及び図5を用いて推定方法の一例について説明する。
先ず、第1区間との境界上の3点1031、1028、1026と対応する点を推定する。説明の便宜上、推定する点のt座標及びΔV座標を(X,Y)と表記する。また、設計値通りに動作する場合の電圧降下波形1022上の点1028のt座標をtm1とする。また、tm/tpは、上述した出来栄えデータである。
X=tm1×(tm/tp) ・・・(式1)
続いて、tm/tp≦1であれば、固定回路波形推定部3013は、点1028と点1031とを結ぶ線分上で、t座標が算出したXとなる点1038のΔV座標をYとする。
tm/tp>1の場合、固定回路波形推定部3013は、点1028と点1026とを結ぶ線分上で、t座標が算出したXとなる点1042のΔV座標をYとする。
続いて、固定回路波形推定部3013は、2番目と3番目の区間の境界に位置する3点1032、1029、1027についても同様の演算により、tm/tp≦1の場合には、点1039の座標(X,Y)を、tm/tp>1の場合には、点1043の座標(X,Y)を求める。
出来栄えデータtm/tp≦1であれば、図5に示す推定波形2001aが推定され、出来栄えデータtm/tp>1であれば、推定波形2001bが推定される。
(5)再構成回路波形記憶部1012
再構成回路波形記憶部1012は、不揮発性の記録媒体により構成される。
再構成回路波形記憶部1012は、複数の構成情報及び構成情報毎に、その構成情報を基に再構成可能部3004に構築された回路内において生じると予測される電圧降下波形を記憶している。これらは、シミュレーションによって求められたものである。
各構成情報には、自身を一意に示す構成情報ID「A」、「B」・・・が含まれる。以下、説明の便宜上、構成情報ID:Aを含む構成情報を、構成情報Aと呼び、構成情報Aにより構築される回路の構成を構成Aと呼ぶ。
3つの電圧降下波形の関係は、図4に示す3つの電圧降下波形の関係と同様であって、1つは、想定したした通りの製造条件、動作条件を満たすようにパラメータを設定してシミュレーションした波形であって、動作時間は、設計値と一致する。1つは、動作時間が設計値より長くなるようにパラメータを設定した場合の波形であり、1つは、動作時間が設計値より短くなるようにパラメータを設定した場合の波形である。
これらの電圧降下波形は、図示していないシミュレーション部により生成され、再構成回路波形記憶部1012に記録される。
再構成可能部波形推定部3017は、各構成情報に対応する3種類の電圧降下波形を読み出し、出来栄えデータtm/tpと、読み出した3種類の電圧降下波形により、各構成情報により構築された回路の電圧降下値の変動を示す推定波形を生成する。
推定の具体的な手順は、固定回路波形推定部3013による推定と同様であるので、ここでは説明を省略する。
(7)合成波形生成部3018
合成波形生成部3018は、内部メモリ(図示せず)を備えており、固定回路波形推定部3013から、固定回路部3003の推定波形と、再構成可能部3004の推定波形を複数受け取り、受け取った推定波形を内部メモリに一時的に記憶する。
具体的には、図7に示すように、合成波形生成部3018は、固定回路部3003の推定波形2001と再構成可能部3004に構成Aの回路を構築した場合の推定波形2002とを足し合わせ、合成波形2003を生成する。続いて、合成波形生成部3018は、生成した合成波形2003を最大電圧降下値検出部3019へ出力する。
なお、各電圧降下波形は、図のような曲線を示す関数ではなく、曲線上の複数の点の座標であってもよい。この場合、固定回路の推定波形上の各点のt座標と、再構成可能回路の推定波形上の点のt座標とが一致しないことが起こりうる。この場合、何れか一方の電圧降下波形について、隣り合う2点間を補完して、他方電圧降下波形上の点のt座標と同じt座標の点の電圧降下値を算出し、算出した値を足し合わせる。
最大電圧降下値検出部3019は、合成波形生成部3018から、順次、構成A、構成B・・・が、再構成可能部3004に構築された場合の、集積回路3000全体の合成波形2003、2006・・・を受け取る。
これらを受け取ると、最大電圧降下値検出部3019は、受け取った合成波形から、最大電圧降下値を検出する。
他の合成波形2006・・・についても、同様に最大電圧降下値ΔVB・・・を算出し、比較部3021へ出力する。
比較部3021は、内部にメモリを備えており、前記メモリに、設計段階において設定された電圧降下値の閾値ΔVthを記憶している。閾値ΔVthは、集積回路3000内で断線や短絡などの故障がない状態で正常に動作できる範囲の電圧降下値の最大値である。
(10)判定部3023
判定部3023は、比較部3021から、各構成に対応する最大電圧降下値ΔVA、ΔVB・・・と閾値ΔVthとの比較結果を受け取る。受け取った比較結果により、ΔVn≧ΔVth(n=A、B・・・)であれば、判定部3023は、ΔVnを削除する。受け取ったΔVn<ΔVthであれば、構成情報ID:nの構成情報を、再構成回路波形記憶部1012から読み出し、集積回路3000へ出力する。なお、ΔVn<ΔVthを満たすΔVnが複数検出された場合、判定部3023は、その中で、最も値の小さいΔVnと対応する構成情報を出力する。
1.4 動作
以下に、構成決定サーバ3007による構成情報の選択処理における動作について、図8及び図9のフローチャートを用いて説明する。なお、このとき、実測値記憶部1010、固定回路波形記憶部1011、再構成回路波形記憶部1012には、それぞれ、上述したデータが既に格納されているとして、説明を始める。
次に、出来栄えデータ算出部3011は、実測値(tm)と設計値(tp)の比率tm/tpを出来栄えデータとして算出し、算出した出来栄えデータtm/tpを、固定回路波形推定部3013及び再構成回路波形推定部3017へ出力する(ステップS1002)。
続いて、再構成回路波形推定部3017は、出来栄えデータtm/tpを基に、短い動作時間の波形と設計通りの波形、又は、長い動作時間の波形と設計通りの波形との間を補完し、前記1の構成情報により再構成可能部3004に構築された回路の推定波形を生成する(ステップS1007)。再構成回路波形推定部3017は、生成した推定波形を合成波形生成部3018へ出力する。
最大電圧降下値検出部3019は、生成された推定波形から最大電圧降下値を検出する(ステップS1011)。
全ての構成情報について、電圧降下波形の読み出しが終了していなければ(ステップS1012のNO)、ステップS1006へ戻り、全ての構成情報について、ステップS1006〜ステップS1011の処理を繰り返す。
受け取った比較結果により、ΔVn<ΔVthを満たすn(n=A,B・・・)が1つも存在しないと判断した場合(ステップS1016のNO)、判定部3023は、製造対象となっている集積回路が不良品である旨をモニタに表示する(ステップS1018)。
なお、ΔVn<ΔVthを満たすnが複数存在する場合、判定部3023は、最も小さいΔVnと対応する構成情報を出力する。
1.5 まとめ・効果
この構成を用いて構成情報を決定することにより、構成決定サーバは、最大電圧降下値ができるだけ小さくなるような構成情報を選択する。つまり、設計通りに動作するための電流密度も小さい。従って、配線の幅を狭くできる。つまり、配線に幅に関するマージンを抑制することができる。
2.実施の形態2
以下に、本発明の1実施態様である製造システムについて説明する。
2.1 概要
実施の形態2において、集積回路6000は、固定回路部3003の電圧降下波形を計測する。
一方、固定回路部3003に関しては、実測した電圧降下波形を取得しているので、実測した電圧降下波形と、推定した再構成可能部の波形とを足し合わせて、集積回路全体の電圧降下値の変動を示す合成波形を生成する。
2.2 集積回路6000
集積回路6000は、図10に示すように、検出部6001、演算部6002、固定回路部3003、再構成可能部3004、構成制御部3005及び構成情報記憶部3006から構成される。
本実施の形態において、検出部6001及び演算部6002以外の各構成は、実施の形態1と同様であるので、同一の参照符号を付しており、これらについての説明は割愛する。
検出部6001は、図10に示すように、2つの抵抗、ADコンバータ6006及びBGR(Bandgap Reference)6007を含んで構成される。
ADコンバータ6006は、図10に示すように、電源及び固定回路部3003に接続されており、この信号線からの入力信号を基に電圧値を算出する。
(2)演算部6002
演算部6002は、検出部6001から電圧値を受け取る。電圧値を受け取ると演算部6002は、抵抗R1及びR2を考慮して、電圧値を補正し、所定の電圧(例えば電源電圧、設計上の基準電圧など)から補正後の電圧を減じて、電圧降下値を算出する。
2.3 構成決定サーバ7007
図11に示すように、構成決定サーバ7007は、出来栄えデータ算出部7011、実測値記憶部7010、再構成回路波形記憶部1012、再構成回路波形推定部3017、合成波形生成部7018、最大電圧降下値検出部3019、比較部3021及び判定部3023から構成される。
(1)実測値記憶部7010
実測値記憶部7010は、集積回路6000から出力される、固定回路部3003の電圧降下波形を記憶する。なお、実測値記憶部7010が、一定の時間間隔で複数の電圧降下値(実測値)を取得し、取得した電圧降下値間を補完して、電圧降下波形を形成して、記憶するとしてもよい。
出来栄えデータ算出部7011は、実測された固定回路部3003の電圧降下波形に対する出来栄えデータを算出する機能部である。
ここで、本実施の形態における出来栄えデータを算出するに当たって、電圧降下波形の特徴量という概念を導入する。
つまり、特徴時間taは、下記の式2を満たす。
特徴量X=ta/tcl
とする。
本実施の形態では、実測された電圧降下波形f1(t)の特徴量X1と、設計値通りに動作する場合を想定してシミュレーションされた電圧降下波形f2(t)の特徴量X2との比「X1/X2」を出来栄えデータとする。
電圧降下は、1クロックサイクル期間、継続して生じているが、期間の終端近くでは、電圧降下値が非常に小さくなる場合が多い。どの程度の時間で、電圧降下値が低下するかは、その回路の特性により異なる。そこで、電圧降下値の積分値が全体の9割を超える時間、経過した後の時間帯は、電圧降下値は非常に低いと仮定し、9割を超える時間により特徴量を求めている。
さて、ここから、出来栄えデータ算出部7011について詳細に説明する。
図12(b)に示すように、出来栄えデータ算出部7011は、メモリ7015及び演算部7016を備えている。メモリ7015には、1クロックサイクル時間「tcl」が記憶されている。
演算部7016は、先ず、電圧降下波形f1(t)について、上記の式2を満たす特徴時間ta1を算出する(ステップS1022)。続いて、演算部7016は、算出したta1とtclとの比率ta1/tclをf1(t)に対する特徴量X1(=ta1/tcl)として算出する(ステップS1023)。
演算部7016は、ステップS1021と同様の手順で、電圧降下波形f2(t)に対する特徴量X2(=ta2/tcl)を算出する(ステップS1027)。
出来栄えデータ算出部7011は、以上のように算出した出来栄えデータ(X1/X2)を、再構成回路波形推定部3017へ出力する。
(3)合成波形生成部7018
合成波形生成部7018は、実施の形態1の合成波形生成部3018とほぼ同様であるが、固定回路波形推定部3013により推定された推定波形2001に代えて、実測値記憶部7010に記憶されている実測された電圧降下波形を用いる。
2.4 効果
この場合、実施の形態1に対して、固定回路部の波形推定が不要となるだけでなく、実際のデバイスの波形に基づいて、合成波形を生成することができるので、推定に伴う不確実性を減少し、精度の高い合成波形を生成することができる。よって、より厳密に最大電圧降下値を推定することができる。この結果、より小さい最大電圧降下値の構成情報を選択することができる。
2.5 変形例
以下に、実施の形態2に係る変形例について説明する。
図13は、この変形例を示すブロック図である。集積回路7051は、実施の形態2の集積回路の構成要素に加えて、実施の形態1において説明した検出部3001及び演算部3002を含んで構成される。
演算部6002は、電圧降下波形を出力し、演算部3002は、リングオシレータの動作時間を出力する。
この構成によると、出来栄えデータ算出部3011は、比率を算出するという単純な演算により出来栄えデータを算出することができる。従って、実施の形態2のような積分計算をする必要はなく、構成決定サーバ7021の処理負荷を軽減できる。
(2)電圧降下波形に代えて電圧波形
実施の形態2では、構成決定サーバは、集積回路から電圧降下波形を取得し、実測値記憶部へ記憶していたが、これに代えて、電圧波形を取得する構成であっても良い。
演算部6009は、検出部6001から電圧値を受け取る毎に、抵抗R1、R2を考慮した補正をして、一定時間毎(例えば1クロックサイクルごとに)に補正後の複数の電圧値を電圧波形として出力する。
構成決定サーバ7007は、実測値記憶部7010と入力端子との間に、図示していない減算部を備えている。
集積回路7052から出力された電圧波形は、先ず、減算部に入力される。減算部は、所定の電圧(例えば、電源電圧、設計に決められる回路への印加電圧)から、受け取った電圧波形を形成する各電圧値を減じて、電圧降下値波形を生成し、生成した電圧降下値波形を実測値記憶部7010に書き込む。
なお、実測値記憶部7010が、一定の時間間隔で複数の電圧値(実測値)を取得し、取得した電圧値間を補完して、電圧波形を形成して、記憶するとしてもよい。
3.実施の形態3
以下に、本発明の1実施態様である通信システム3について説明する。
3.1 概要
本実施の形態の通信システム3は、図15に示すように、実施の形態1において説明した集積回路3000を搭載した携帯情報装置7001と、構成決定サーバ7002から構成される。
3.2 構成及び動作
図15に示すように、携帯情報装置7001は、実施の形態1において説明した集積回路3000と通信モジュール部7031と入力部と7033と表示部7034を含んで構成される。
なお、利用者の所定のキー操作により、検出部3001へ計測開始を示す制御信号が出力される構成であっても良い。この構成であれば、タイマーによる計測開始指示が、利用者による携帯情報装置7001の利用を妨げない。
演算部3002は、計測した動作時間を、通信モジュール部7031を介して構成決定サーバ7002へ送信する。
通信モジュール部7032は、携帯情報装置7001からリングオシレータの動作時間を受け取ると、受け取った動作時間を実測値記憶部1010へ書き込む。
判定部3023は、再構成回路波形記憶部1012から、決定した構成情報を読み出し(データフローを示す矢印は省略)、読み出した構成情報を、通信モジュール部7032を介し、携帯情報装置7001へ送信する。
なお、判定部3023は、適切な構成情報がないと判断した場合、通信モジュール部7032を介して、エラー通知を送信する。エラー通知には、例えば「この装置は、回路の一部が劣化していますので、買い替えをお勧めします」といった文字列が含まれており、エラー通知を受信すると、集積回路3000は、エラー通知に含まれる文字列を、表示部7013へ表示する。
3.3 まとめ・効果
この通信システム3によると、出荷後において、集積回路は、個々製品の特性と経年劣化による特性変化を反映した実測値(動作時間)を、構成決定サーバに伝達し、構成決定サーバは、現在の集積回路の動作状態に最も適した構成情報を集積回路に送り返す。
3.4 実施の形態3に関する補足
(1)上記の実施の形態3では、構成決定サーバ7002から構成情報が送信される構成であったが、携帯情報装置7001内に、再構成回路波形記憶部1012が有する構成情報と同一の構成情報を複数記憶する記憶機構が存在し、構成決定サーバ7002は、決定した構成情報を示す構成情報IDのみを送信しても良い。携帯情報装置7001側では、前記記憶機構が、受信した構成情報IDの示す構成情報を構成情報記憶部3006に書き込む。
(2)また、携帯情報装置7001と構成決定サーバ7002とは、有線接続されていても良い。
(3)また、携帯情報装置は集積回路3000に代えて、実施の形態2及び変形例において説明した集積回路6000、7051、7052を搭載していてもよいことは言うまでもない。この場合、構成情報サーバも各集積回路に対応した構成の構成情報サーバ7007、7031などに通信モジュール部を搭載したものである。
例えば、通信システム、映像処理システム、セキュリティー処理システムの多くは、複数の規格に対応するため、プログラマブル回路において複数の構成をとるので、説明を行った移動通信装置だけでなく、TV・DVDプレイヤー・カーナビなどの映像表示装置、DVDレコーダ・ビデオカメラ・DSC・セキュリティーカメラ・などの映像記録装置、オーディオプレイヤーなどの装置、通信装置内の、通信システム、セキュリティー処理システムにも適用することで、同様に効果を得ることができる。
4.実施の形態4
本発明の各種の実施態様他についての実施の形態としての製造システム8000について説明する。
半導体集積回路8100は、プログラマブル回路8102及び固定回路8101を備えている。
記憶部8201は、複数の候補構成情報と、複数の第1電圧情報とを記憶している。複数の候補構成情報は、プログラマブル回路上に構成され、同一機能を有し構成の異なる複数の候補回路の構成を定めるものである。また、複数の第1電圧情報は、複数の候補回路それぞれが動作した場合にプログラマブル回路内で発生すると予測される電圧変化を示す。
生成部8203は、取得した前記実測値に基づいて、固定回路の動作により固定回路内で発生する電圧変化を示す第2電圧情報を生成する。
算出部8204は、複数の第1電圧情報の各々と第2電圧情報とを組み合わせて、複数の候補回路のそれぞれについて、固定回路とプログラマブル回路の両者が動作した場合の最大電圧降下量を算出する。
出力部8206は、取得した前記候補構成情報を前記半導体集積回路に書き込む。
6.その他の変形例
なお、本発明を上記の実施の形態に基づいて説明してきたが、本発明は、上記の実施の形態に限定されないのはもちろんである。以下のような場合も本発明に含まれる。
(例1)集積回路は、再構成可能部の物理的構成の特徴を示すデータを計測する計測部を備え、構成決定サーバは、上記の出来栄えデータ演算部に加えて、計測部の計測したデータから、第2出来栄えデータを算出する構成を備え、再構成可能回路波形推定部は、第2の出来栄えデータを用いて電圧降下波形の推定を行う。
合成波形生成部は、固定回路部について、推定又は実測された電圧降下波形と、各候補回路について計測又は算出された電圧降下波形とを、それぞれたしあわせて、各候補回路が構築された場合の、集積回路全体の電圧降下波形を算出する。
(2)上記の実施の形態では、集積回路内に検出部及び演算部が存在しているが、演算部は、構成決定サーバ内に備えられても良い。逆に、構成決定サーバ内の出来栄えデータ算出部は、集積回路上に形成されても良い。
(4)固定回路波形記憶部及び再構成回路波形記憶部の記憶しているデータは、構成決定サーバ内のシミュレーション部(図示なし)により生成されると説明したが、構成決定サーバとは別のシミュレーション装置により生成され、各記憶部に書き込まれるとしてもよい。
(6)上記の各実施の形態では、集積回路上に固定回路部と再構成回路部が1つずつ実装されているが、複数であっても良い。
例えば、基板上に各回路がほぼ均一に形成されている場合、基板の中央付近に形成されている固定回路を代表回路とし、全ての回路が共用する信号線が存在する場合、代表回路について、上記の実施の形態1又は2において説明したような手順で、出来栄えデータを算出する。各回路について、代表回路の出来栄えデータを下に、電圧降下波形を推定する。
(7)電圧降下波形の推定方法の1例について、図5を用いて説明したが、他の方法でも良い。その一例を以下に説明する。ここでは、実施の形態1の固定回路波形推定部3013による推定処理について説明するが、実施の形態1及び2の再構成回路推定部による推定についても、同様である。
読み出した電圧降下波形1022から、固定回路部の動作時間の設計値tyを抽出し、tyと出来栄えデータとから、固定回路部の推定動作時間tkを算出する。
tk=ty×(出来栄えデータ:) ・・・(式3)
既に述べたように、動作条件や製造工程に揺らぎがあっても、電圧降下波形の時間積分値は変わらないと仮定し、固定回路波形推定部3013は、次に、動作時間がtkであって、時間積分値が、電圧効果波形1022と等しくなるように、電圧効果波形1022を、時間軸方向及び電圧降下軸方向に伸縮する。このようにして形成された波形を、固定回路部の推定波形とする。
(9)上記の実施の形態及び変形例では、構成情報の選択を集積回路の外部(構成決定サーバ)で行ったが、半導体集積回路内部に構成決定サーバと同様の構成を備えており、これらの構成により出来栄えデータの算出、電圧降下波形の推定、構成情報の選択を行ってもよい。
(10)また、上記の実施の形態では、最大電圧降下値の大きさで良品不良品の判断をおこなっているが、半導体集積回路の各部の最大電流密度を計算して、それぞれの部分が電流密度のルールを満たしているかを確認して、良品不良品の判断に用いてもよい。
(12)上記の各装置は、具体的には、マイクロプロセッサ、ROM、RAM、ハードディスクユニット、ディスプレィユニット、キーボード、マウスなどから構成されるコンピュータシステムである。前記RAM、ROM、前記ハードディスクユニットには、コンピュータプログラムが記憶されている。前記マイクロプロセッサが、前記コンピュータプログラムに従って動作することにより、各装置は、その機能を達成する。ここで、コンピュータプログラムは、所定の機能を達成するために、コンピュータに対する指令を示す命令コードが複数個組み合わされて構成されたものである。
また、LSI製造後に、プログラムすることが可能なFPGA(FieldProgrammable Gate Array)やLSI内部の回路セルの接続や設定を再構成可能なリコンフィギュラブル・プロセッサを利用しても良い。
更には、半導体技術の進歩又は派生する別技術によりLSIに置き換わる集積回路化の技術が登場すれば、当然その技術を用いて機能ブロックの集積化を行ってもよい。バイオ技術の適応などが可能性として有り得る。
(14)上記の各装置を構成する構成要素の一部又は全部は、各装置に脱着可能なICカード又は単体のモジュールから構成されているとしてもよい。前記ICカード又は前記モジュールは、マイクロプロセッサ、ROM、RAM、などから構成されるコンピュータシステムである。前記ICカード又は前記モジュールは、上記の超多機能LSIを含むとしてもよい。マイクロプロセッサが、コンピュータプログラムに従って動作することにより、前記ICカード又は前記モジュールは、その機能を達成する。このICカード又はこのモジュールは、耐タンパ性を有するとしてもよい。
また、本発明は、前記コンピュータプログラム又は前記デジタル信号をコンピュータ読み取り可能な記録媒体、例えば、フレキシブルディスク、ハードディスク、CD―ROM、MO、DVD、DVD−ROM、DVD−RAM、BD(Blu−ray Disc)、半導体メモリなど、に記録したものとしてもよい。また、これらの記録媒体に記録されている前記コンピュータプログラム又は前記デジタル信号であるとしてもよい。
また、本発明は、マイクロプロセッサとメモリとを備えたコンピュータシステムであって、前記メモリは、上記コンピュータプログラムを記憶しており、前記マイクロプロセッサは、前記コンピュータプログラムに従って動作するとしてもよい。
(16)本発明の1実施態様は、プログラマブル論理回路部と、固定論理回路部を含む半導体集積回路の設計方法であって、対象チップの出来栄え情報を取得する第1の工程と、前記対象チップの出来栄え情報と、同一の回路動作を行う複数種類のプログラマブル論理回路部の構成情報を含む構成情報データベースとに基づき、前記プログラマブル論理回路部の構成情報それぞれについて、固定論理部とプログラマブル論理部の両者が動作した場合の最大電圧降下量を取得する第2の工程と、前記固定論理部と前記プログラマブル論理部の両者が動作した場合の最大電圧降下量が、固定論理部の設計時に定められた値以下となる前記プログラマブル論理回路部の構成情報を選び出す第3の工程と、を有する、半導体集積回路の設計方法であるとしてもよい。
(18)前記設計方法は、前記対象チップの出来栄え情報が、固定ロジック部の電圧降下値を含むことを特徴とする。
(19)前記対象チップの出来栄え情報が、モニタ用回路の遅延値を含むとしてもよい。
(21)前記第3の工程が、前記固定論理部と前記プログラマブル論理部の両者が動作した場合の最大電圧降下量が固定論理部の設計時に定められた値以下となる構成のうち、最大電圧降下値がもっとも小さいものを選び出す工程であってもよい。
(23)また、本発明の1実施態様は、前記半導体集積回路を用いた無線情報装置であるとしてもよい。
(24)上記実施の形態及び上記変形例をそれぞれ組み合わせるとしてもよい。
3 通信システム
1010 実測値記憶部
1011 固定回路波形記憶部
1012 再構成回路波形記憶部
2010 回路基板
3023 判定部
3000 集積回路
3001 検出部
3002 演算部
3003 固定回路部
3004 再構成可能部
3005 構成制御部
3006 構成情報記憶部
3007 構成決定サーバ
3011 出来栄えデータ算出部
3013 固定回路波形推定部
3017 再構成回路波形推定部
3018 合成波形推定部
3019 最大電圧降下値検出部
3021 比較部
3051 リングオシレータ
3052 カウンタ
3053 遅延抽出部
7001 携帯情報装置
7002 構成決定サーバ
7010 実測値記憶部
7011 出来栄えデータ算出部
7018 合成波形生成部
8000 製造システム
8100 半導体集積回路
8101 固定回路
8102 プログラマブル回路
8200 製造装置
8201 記憶部
8202 取得部
8203 生成部
8204 算出部
8205 選択部
8206 出力部
Claims (11)
- 半製品の半導体集積回路及び当該半導体集積回路に適切な構成情報を出力して完成品を製造する製造装置から構成される製造システムであって、
前記半導体集積回路は、プログラマブル回路及び固定回路を備え、
前記製造装置は、
プログラマブル回路上に構成された場合に同一機能を有し、構成の異なる複数の候補回路、それぞれの構成を定める複数の候補構成情報と、複数の候補回路それぞれが動作した場合にプログラマブル回路内で発生すると予測される電圧変化を示す複数の第1電圧情報とを記憶している記憶手段と、
少なくとも一部が動作中の前記半導体集積回路から、当該半導体集積回路において計測
され、電圧変化に関する1個以上の実測値を取得する取得手段と、
取得した前記実測値に基づいて、固定回路の動作により固定回路内で発生する電圧変化を示す第2電圧情報を生成する生成手段と、
複数の第1電圧情報の各々と第2電圧情報とを組み合わせて、複数の候補回路のそれぞれについて、固定回路とプログラマブル回路の両者が動作した場合に、前記半導体集積回路内で発生する電圧と、設計において定められた一定の基準電圧との差である電圧降下値の変化を示す第3電圧情報を取得し、取得した第3電圧情報から最大電圧降下値を算出する算出手段と、
最大電圧降下値が閾値未満となる組合せを1以上選択し、選択した組合せに対応する候補回路の構成を定める前記候補構成情報の中から、1の出力構成情報を取得する選択手段と、
取得した前記出力構成情報を前記半導体集積回路に出力する出力手段と
を備えることを特徴とする製造システム。 - 前記取得手段は、前記1個以上の実測値として、動作中の前記半導体集積回路において所定の時間間隔で計測された複数の電圧値を取得し、
前記生成手段は、取得した複数の電圧値の間を補完して前記第2電圧情報を生成する
ことを特徴とする請求項1に記載の製造システム。 - 前記取得手段は、前記実測値として、動作中の前記半導体集積回路において計測された動作時間を取得し、
前記生成手段は、
第1の動作時間により動作する場合において前記固定回路内で発生すると予測される電圧変化を示す第1予測情報と、第2の動作時間により動作する場合において前記固定回路内で発生すると予測される電圧変化を示す第2予測情報とを記憶する記憶部と、
取得した前記動作時間を用いて、第1予測情報及び第2予測情報の間を補完して前記第2電圧情報を生成する情報生成部を含む
ことを特徴とする請求項1に記載の製造システム。 - 前記取得手段は、前記1以上の実測値として、動作中の前記半導体集積回路において所定の時間間隔で計測され、前記基準電圧値からの複数の電圧降下値を取得し、
前記生成手段は、取得した複数の電圧降下値の間を補完して前記第2電圧情報を生成する
ことを特徴とする請求項1に記載の製造システム。 - 前記製造装置は、さらに、
1個の前記候補回路について、当該候補回路が第1の動作時間で動作する場合にプログラマブル回路内で発生すると予測される電圧の時間変化を示す第1予測情報を記憶している予測情報記憶手段と、
前記第1の動作時間を用いて、前記第1予測情報を時間軸方向及び電圧変化に係る軸方向に伸縮させることにより、前記候補回路が第2の動作時間で動作する場合の第2予測情報を生成する予測情報生成手段と、
取得した前記実測値を用いて、前記第1予測情報と第2予測情報との間を補完して、前記第1電圧情報を生成する電圧情報生成手段と、
生成した第1電圧情報を前記記憶手段に記録する記録手段と
を含むことを特徴とする請求項1に記載の製造システム。 - 前記予測情報生成手段は、前記第1予測情報の全予測区間における積分値と、前記第2予測情報の全予測区間における積分値とが一致するように、前記第2予測情報を生成する
ことを特徴とする請求項5に記載の製造システム。 - 検出した最大電圧降下値が閾値以下となる組合せが複数存在する場合、前記選択手段は、前記候補構成情報の中から、最小の最大電圧降下値と対応する前記出力構成情報を取得する
ことを特徴とする請求項1に記載の製造システム。 - プログラマブル回路及び固定回路を備える半製品の半導体集積回路に適切な構成情報を出力して完成品を製造する製造装置であって、
プログラマブル回路上に構成された場合に同一機能を有し、構成の異なる複数の候補回路、それぞれの構成を定める複数の候補構成情報と、複数の候補回路それぞれが動作した場合にプログラマブル回路内で発生すると予測される電圧変化を示す複数の第1電圧情報とを記憶している記憶手段と、
少なくとも一部が動作中の前記半導体集積回路から、当該半導体集積回路において計測され、電圧変化に関する1個以上の実測値を取得する取得手段と、
取得した前記実測値に基づいて、固定回路の動作により固定回路内で発生する電圧変化を示す第2電圧情報を生成する生成手段と、
複数の第1電圧情報の各々と第2電圧情報とを組み合わせて、複数の候補回路のそれぞれについて、固定回路とプログラマブル回路の両者が動作した場合に、前記半導体集積回路内で発生する電圧と、設計において定められた一定の基準電圧との差である電圧降下値の変化を示す第3電圧情報を取得し、取得した第3電圧情報から最大電圧降下値を算出する算出手段と、
最大電圧降下値が閾値未満となる組合せを1以上選択し、選択した組合せに対応する候補回路の構成を定める前記候補構成情報の中から、1の出力構成情報を取得する選択手段と、
取得した前記出力構成情報を前記半導体集積回路に出力する出力手段と
を備えることを特徴とする製造装置。 - プログラマブル回路及び固定回路を備える半製品の半導体集積回路に適切な構成情報を出力して完成品を製造する製造装置において用いられる製造方法であって、
プログラマブル回路上に構成された場合に同一機能を有し、構成の異なる複数の候補回路、それぞれの構成を定める複数の候補構成情報と、複数の候補回路それぞれが動作した場合にプログラマブル回路内で発生すると予測される電圧変化を示す複数の第1電圧情報とを取得する第1取得ステップと、
少なくとも一部が動作中の前記半導体集積回路から、当該半導体集積回路において計測され、電圧変化に関する1個以上の実測値を取得する第2取得ステップと、
取得した前記実測値に基づいて、固定回路の動作により固定回路内で発生する電圧変化を示す第2電圧情報を生成する生成ステップと、
複数の第1電圧情報の各々と第2電圧情報とを組み合わせて、複数の候補回路のそれぞれについて、固定回路とプログラマブル回路の両者が動作した場合に、前記半導体集積回路内で発生する電圧と、設計において定められた一定の基準電圧との差である電圧降下値の変化を示す第3電圧情報を取得し、取得した第3電圧情報から最大電圧降下値を算出する算出ステップと、
最大電圧降下値が閾値未満となる組合せを1以上選択し、選択した組合せに対応する候補回路の構成を定める前記候補構成情報の中から、1の出力構成情報を取得する選択ステップと、
取得した前記出力構成情報を前記半導体集積回路に出力する出力ステップと
を含むことを特徴とする製造方法。 - プログラマブル回路及び固定回路を備える半導体集積回路であって、
プログラマブル回路上に構成された場合に同一機能を有し、構成の異なる複数の候補回
路、それぞれの構成を定める複数の候補構成情報と、複数の候補回路それぞれが動作した場合にプログラマブル回路内で発生すると予測される電圧変化を示す複数の第1電圧情報とを取得する第1取得工程と、
少なくとも一部が動作中の前記半導体集積回路から、当該半導体集積回路において計測され、電圧変化に関する1個以上の実測値を取得する第2取得工程と、
取得した前記実測値に基づいて、前記固定回路の動作により前記固定回路内で発生する電圧変化を示す第2電圧情報を生成する生成工程と、
複数の第1電圧情報の各々と第2電圧情報とを組み合わせて、複数の候補回路のそれぞれについて、固定回路とプログラマブル回路の両者が動作した場合に、前記半導体集積回路内で発生する電圧と、設計において定められた一定の基準電圧との差である電圧降下値の変化を示す第3電圧情報を取得し、取得した第3電圧情報から最大電圧降下値を算出する算出工程と、
最大電圧降下値が閾値未満となる組合せを1以上選択し、選択した組合せに対応する候補回路の構成を定める前記候補構成情報の中から、1の出力構成情報を取得する選択工程と、
取得した前記出力構成情報を前記半導体集積回路に出力する出力工程と
を経て製造されることを特徴とする半導体集積回路。 - 情報端末装置及びサーバ装置から構成される通信システムであって、
前記情報端末装置は、
第1通信手段と、
プログラマブル回路及び固定回路からなる半導体集積回路と、
第1通信手段を介して、構成情報を受信し、受信した構成情報を前記プログラマブル回路に書き込む書込手段とを備え、
前記サーバ装置は、
第2通信手段と、
プログラマブル回路上に構成された場合に同一機能を有し、構成の異なる複数の候補回路、それぞれの構成を定める複数の候補構成情報と、複数の候補回路それぞれが動作した場合にプログラマブル回路内で発生すると予測される電圧変化を示す複数の第1電圧情報とを記憶している記憶手段と、
少なくとも一部が動作中の前記情報端末装置において、動作中の前記半導体集積回路から、第2通信手段を介して、当該半導体集積回路において計測され、電圧変化に関する1個以上の実測値を取得する取得手段と、
取得した前記実測値に基づいて、固定回路の動作により固定回路内で発生する電圧変化を示す第2電圧情報を生成する生成手段と、
複数の第1電圧情報の各々と第2電圧情報とを組み合わせて、複数の候補回路のそれぞれについて、固定回路とプログラマブル回路の両者が動作した場合に、前記半導体集積回路内で発生する電圧と、設計において定められた一定の基準電圧との差である電圧降下値の変化を示す第3電圧情報を取得し、取得した第3電圧情報から最大電圧降下値を算出する算出手段と、
最大電圧降下値が閾値以下となる組合せを1以上選択し、選択した組合せに対応する候補回路の構成を定める前記候補構成情報の中から出力構成情報を取得する選択手段と、
第2通信手段を介して、取得した前記出力構成情報を前記情報端末装置へ出力する出力手段と
を備えることを特徴とする通信システム。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2009542469A JP4956619B2 (ja) | 2007-11-22 | 2008-11-14 | 半導体集積回路の製造システム、製造装置、製造方法、集積回路及び通信システム |
Applications Claiming Priority (4)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2007302668 | 2007-11-22 | ||
| JP2007302668 | 2007-11-22 | ||
| JP2009542469A JP4956619B2 (ja) | 2007-11-22 | 2008-11-14 | 半導体集積回路の製造システム、製造装置、製造方法、集積回路及び通信システム |
| PCT/JP2008/003329 WO2009066431A1 (ja) | 2007-11-22 | 2008-11-14 | 半導体集積回路の製造システム、製造装置、製造方法、集積回路及び通信システム |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPWO2009066431A1 JPWO2009066431A1 (ja) | 2011-03-31 |
| JP4956619B2 true JP4956619B2 (ja) | 2012-06-20 |
Family
ID=40667266
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2009542469A Expired - Fee Related JP4956619B2 (ja) | 2007-11-22 | 2008-11-14 | 半導体集積回路の製造システム、製造装置、製造方法、集積回路及び通信システム |
Country Status (3)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US8271117B2 (ja) |
| JP (1) | JP4956619B2 (ja) |
| WO (1) | WO2009066431A1 (ja) |
Families Citing this family (8)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2011216620A (ja) * | 2010-03-31 | 2011-10-27 | Renesas Electronics Corp | 半導体集積回路装置 |
| US8472278B2 (en) * | 2010-04-09 | 2013-06-25 | Qualcomm Incorporated | Circuits, systems and methods for adjusting clock signals based on measured performance characteristics |
| JP5507332B2 (ja) * | 2010-05-10 | 2014-05-28 | ルネサスエレクトロニクス株式会社 | 半導体集積回路及びそれを備えた電圧制御装置 |
| JP2013088394A (ja) * | 2011-10-21 | 2013-05-13 | Renesas Electronics Corp | 半導体装置 |
| DE102012208460A1 (de) * | 2012-05-21 | 2013-11-21 | Robert Bosch Gmbh | Umrichter für eine elektrische Maschine |
| JPWO2017138506A1 (ja) * | 2016-02-08 | 2018-12-13 | 日本電気株式会社 | 変更手順生成システム、変更手順生成方法およびプログラム |
| CN114722747B (zh) * | 2022-04-18 | 2025-05-13 | Oppo广东移动通信有限公司 | 芯片设计方法及装置、设备、存储介质 |
| CN116090388B (zh) * | 2022-12-21 | 2024-05-17 | 海光信息技术股份有限公司 | 芯片内部电压预测模型生成方法、预测方法及相关装置 |
Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS54125376A (en) * | 1978-03-22 | 1979-09-28 | Nec Corp | Processing system for manufacturing process |
| JPS61284936A (ja) * | 1985-06-06 | 1986-12-15 | アルテラ・コ−ポレ−シヨン | 集積回路装置に使用するプログラマブル・マクロセル |
| JP2004246538A (ja) * | 2003-02-13 | 2004-09-02 | Renesas Technology Corp | 半導体メモリ製品の生産管理方法 |
Family Cites Families (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US4774421A (en) | 1984-05-03 | 1988-09-27 | Altera Corporation | Programmable logic array device using EPROM technology |
| US6661724B1 (en) * | 2002-06-13 | 2003-12-09 | Cypress Semiconductor Corporation | Method and system for programming a memory device |
| JP4361838B2 (ja) * | 2004-06-11 | 2009-11-11 | 富士通マイクロエレクトロニクス株式会社 | Lsi設計方法 |
-
2008
- 2008-11-14 JP JP2009542469A patent/JP4956619B2/ja not_active Expired - Fee Related
- 2008-11-14 WO PCT/JP2008/003329 patent/WO2009066431A1/ja not_active Ceased
- 2008-11-14 US US12/523,834 patent/US8271117B2/en not_active Expired - Fee Related
Patent Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS54125376A (en) * | 1978-03-22 | 1979-09-28 | Nec Corp | Processing system for manufacturing process |
| JPS61284936A (ja) * | 1985-06-06 | 1986-12-15 | アルテラ・コ−ポレ−シヨン | 集積回路装置に使用するプログラマブル・マクロセル |
| JP2004246538A (ja) * | 2003-02-13 | 2004-09-02 | Renesas Technology Corp | 半導体メモリ製品の生産管理方法 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPWO2009066431A1 (ja) | 2011-03-31 |
| US20100100219A1 (en) | 2010-04-22 |
| WO2009066431A1 (ja) | 2009-05-28 |
| US8271117B2 (en) | 2012-09-18 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JP4956619B2 (ja) | 半導体集積回路の製造システム、製造装置、製造方法、集積回路及び通信システム | |
| EP3400453B1 (en) | Reference circuit for metrology system | |
| KR101999076B1 (ko) | 온칩 파라미터 측정 | |
| JP4908281B2 (ja) | 消費電力解析プログラム、消費電力解析方法及び消費電力解析装置 | |
| JP5910499B2 (ja) | 拡張性評価装置、拡張性評価方法および拡張性評価プログラム | |
| US20120072881A1 (en) | Design apparatus, method for having computer design semiconductor integrated circuit, and non-transitory computer-readable medium | |
| US20110295536A1 (en) | Clock jitter analyzing method and apparatus | |
| US7295938B2 (en) | Clock jitter calculation device, clock jitter calculation method, and clock jitter calculation program | |
| US9116751B2 (en) | Reconfigurable device, processing assignment method, processing arrangement method, information processing apparatus, and control method therefor | |
| JP5561274B2 (ja) | 電源設計システム、電源設計方法、及び電源設計用プログラム | |
| US20150149103A1 (en) | Magnetic body analyzing device and magnetic body analyzing method | |
| JP6362637B2 (ja) | 寸法公差解析システム、寸法公差解析方法、3次元モデル生成プログラム及び記録媒体 | |
| JP2008118098A (ja) | 半導体集積回路の動作解析方法 | |
| JP2009086848A (ja) | 半導体装置、半導体装置の制御方法および半導体装置の制御情報の作成方法 | |
| US7865860B2 (en) | Layout design device and layout method | |
| JP2007199951A (ja) | 半導体集積回路の設計支援装置、設計支援方法および設計支援プログラム | |
| JP5056650B2 (ja) | 電圧変動量見積方法、装置、半導体装置動作検証装置、半導体装置設計方法、プリント板設計方法、及びプログラム | |
| US8095338B2 (en) | Data processing apparatus and method | |
| JP2011257845A (ja) | ディレイライブラリ生成装置,ディレイライブラリ生成プログラムおよびディレイライブラリ生成方法 | |
| JP5338919B2 (ja) | 集積回路の消費電力算出方法、消費電力算出プログラム及び消費電力算出装置 | |
| JP2011014028A (ja) | デカップリング容量決定方法、デカップリング容量決定装置およびプログラム | |
| US20240027279A1 (en) | Systems And Methods For Thermal Monitoring In Integrated Circuits | |
| JP4731990B2 (ja) | 半導体装置の評価方法 | |
| JPWO2011114416A1 (ja) | 半導体集積回路の電源電圧決定方法及び半導体集積回路の電源電圧制御システム | |
| US20130055189A1 (en) | Method for implementing circuit design for integrated circuit and computer readable medium |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20110808 |
|
| A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20120110 |
|
| A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20120126 |
|
| TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
| A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20120221 |
|
| A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 |
|
| A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20120316 |
|
| R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20150323 Year of fee payment: 3 |
|
| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |