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JP4958271B2 - Discharge electrode unit of ionizer - Google Patents
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Description

この発明は、空気中の静電気制御またはワークの除電に関し、より詳しくは、前記静電気制御若しくはワークの除電に用いるイオン化装置の放電電極ユニットに関する。   The present invention relates to static electricity control in the air or static elimination of a work, and more particularly to a discharge electrode unit of an ionization apparatus used for static electricity control or static elimination of a work.

放電電極に高電圧を印加してイオンを発生させるイオン化装置は、従来から雰囲気ガス中に含有する塵埃が放電電極の先端部に付着して除電速度が低下するという問題を有している。この問題に関連して、特許文献1はイオン化装置の放電電極ユニットを開示している。この放電電極ユニットは、中心孔から放電電極の先端部を突出させると共にクリーンガスを噴出させて、このクリーンガスで雰囲気ガスを取り込みながらイオンを被除電体に搬送するようになっている。   Conventionally, ionizers that generate ions by applying a high voltage to the discharge electrode have a problem that the dust contained in the atmospheric gas adheres to the tip of the discharge electrode and the static elimination speed decreases. In relation to this problem, Patent Document 1 discloses a discharge electrode unit of an ionization apparatus. In the discharge electrode unit, the tip of the discharge electrode protrudes from the center hole and a clean gas is ejected, and the ions are transported to the object to be discharged while the ambient gas is taken in by the clean gas.

この放電電極ユニットによれば、放電電極の先端部がクリーンガスで包囲されるため放電電極の経時的な汚れを低減できるので、イオン発生量の経時的な低下を抑制できると共に、クリーンガスが雰囲気ガスを巻き込んで、この合体した十分な流量のガス流でイオンをワーク(被除電体)に向けて搬送でき、これにより高い除電速度を達成できるという利点を有している。   According to this discharge electrode unit, since the tip of the discharge electrode is surrounded by the clean gas, it is possible to reduce the contamination of the discharge electrode over time. The gas can be entrained and the ions can be conveyed toward the work (electric charge removal object) with the combined gas flow having a sufficient flow rate, thereby achieving an advantage that a high charge removal speed can be achieved.

特開2006−40860号公報JP 2006-40860 A

しかし、特許文献1に開示の放電電極ユニットであっても、高電圧が印加される放電電極の先端部に塵埃が堆積することを完全に防止できないことは言うまでもない。逆に、雰囲気ガスを巻き込んでイオン搬送流を生成することから、雰囲気ガスに含まれる塵埃が放電電極の先端部に付着し易くなってしまうという可能性がある。このことから、特許文献1にも開示のように、放電電極の尖った先端部の一部を欠落させる工夫が必要となっていた。   However, it goes without saying that even with the discharge electrode unit disclosed in Patent Document 1, it is not possible to completely prevent dust from accumulating at the tip of the discharge electrode to which a high voltage is applied. On the other hand, since the atmospheric gas is involved to generate the ion transport flow, there is a possibility that the dust contained in the atmospheric gas is likely to adhere to the tip of the discharge electrode. For this reason, as disclosed in Patent Document 1, it is necessary to devise a method for removing a part of the sharp tip of the discharge electrode.

この発明の目的は、雰囲気ガスを巻き込んでイオン搬送流のガス量を増量した場合に問題となる放電電極の先端部の汚れを抑制することのできる放電電極ユニットを提供することにある。   An object of the present invention is to provide a discharge electrode unit that can suppress contamination of the tip of the discharge electrode, which becomes a problem when the amount of gas in the ion carrier flow is increased by entraining atmospheric gas.

かかる技術的課題は、本発明によれば、
隆起したヘッド部と、該ヘッド部の回りに配置されたフィンガーガードとを有し、
該フィンガーガードが、前記ヘッド部の側面領域に雰囲気ガスが前記フィンガーガード内に流入可能な周囲窓と、前記隆起したヘッド部の前方に開放した開口とを有し、
前記隆起したヘッド部の中心孔に、高電圧を印加する放電電極の先端部が外部に突出した状態で配設されると共に該放電電極の回りにクリーンガスが吐出されて、該クリーンガスによって前記周囲窓を通じて流入した雰囲気ガスを取り込みながら前記放電電極によって生成されるイオンを前記開口を通じて被除電体に向けて搬送するイオン化装置の放電電極ユニットであって、
前記隆起したヘッド部がファイバを含む樹脂で構成されて、該ファイバの一部が前記隆起したヘッド部のテーパ面から露出していることを特徴とする放電電極ユニットを提供することにより達成される。
According to the present invention, such a technical problem is
Having a raised head portion and a finger guard disposed around the head portion;
The finger guard has a peripheral window through which atmospheric gas can flow into the finger guard in a side region of the head part, and an opening opened forward of the raised head part,
In the center hole of the raised head portion, a tip of the discharge electrode for applying a high voltage is disposed in a state of protruding to the outside, and a clean gas is discharged around the discharge electrode. A discharge electrode unit of an ionization apparatus that conveys ions generated by the discharge electrode to the object to be discharged through the opening while taking in atmospheric gas flowing through the surrounding window,
This is achieved by providing a discharge electrode unit in which the raised head portion is made of a resin containing a fiber, and a part of the fiber is exposed from the tapered surface of the raised head portion. .

すなわち、本発明の放電電極ユニットによれば、放電電極の先端部を包囲するクリーンガスに巻き込まれる雰囲気ガスを案内する隆起したヘッド部のテーパ面にファイバの一部が露出して、微視的にはファイバの一部がテーパ面からひげ状に突出しているため、このファイバによって雰囲気ガス中の塵埃を捕捉することが出来る。更に、本発明によれば、テーパ面に突起又は溝が形成されているため、これによりテーパ面に沿って流れ込む雰囲気ガスに乱れを生成して雰囲気ガスがテーパ面と接する頻度を高めることができるため、上述した雰囲気ガス中の塵埃を捕捉する効率を高めることができる。この結果、放電電極の先端部の汚れを抑制して、経時的なイオン発生量の低下を抑制することができる。また、ファイバを含有した樹脂でヘッド部を構成することで、ヘッド部の剛性を高めることができると共に、ファイバをグラスファイバのような難燃性のファイバで構成したときには、難燃性と絶縁性に優れたヘッド部を提供することができる。このことは、高電圧が印加される放電電極を包囲するヘッド部として好ましい物性となることを意味している。   That is, according to the discharge electrode unit of the present invention, a part of the fiber is exposed on the taper surface of the raised head portion that guides the atmospheric gas entrained in the clean gas surrounding the tip portion of the discharge electrode, and is microscopic. Since a part of the fiber protrudes in a whisker shape from the tapered surface, dust in the atmospheric gas can be captured by this fiber. Furthermore, according to the present invention, since the protrusion or groove is formed on the taper surface, this can generate disturbance in the atmosphere gas flowing along the taper surface, thereby increasing the frequency with which the atmosphere gas contacts the taper surface. Therefore, the efficiency of capturing the dust in the atmospheric gas described above can be increased. As a result, it is possible to suppress the contamination of the tip of the discharge electrode and to suppress the decrease in the amount of ion generation over time. In addition, the rigidity of the head part can be increased by configuring the head part with a resin containing a fiber, and when the fiber is composed of a flame-retardant fiber such as a glass fiber, the flame retardancy and insulation properties are increased. It is possible to provide an excellent head part. This means that it becomes a preferable physical property as a head portion surrounding a discharge electrode to which a high voltage is applied.

以下に、添付の図面に基づいて実施例の放電電極ユニットを詳しく説明する。   Hereinafter, discharge electrode units according to embodiments will be described in detail with reference to the accompanying drawings.

図1は、実施例の放電電極ユニットが適用されるイオン化装置(除電装置)の内部構造を説明するための図であり、図2は具体例としてイオン化装置の外形を示す斜視図である。イオン化装置100は、上端を閉じた逆U字断面形状のケース10を有し、ケース10内部の下側領域には複数のガス通路ユニット11を含むガス通路12が配設され、各ガス通路ユニット11に関連して、複数の放電電極13が互いに間隔を隔てて配置されている。   FIG. 1 is a diagram for explaining an internal structure of an ionization device (static elimination device) to which the discharge electrode unit of the embodiment is applied, and FIG. 2 is a perspective view showing an outer shape of the ionization device as a specific example. The ionization apparatus 100 has a case 10 having an inverted U-shaped cross section with the upper end closed, and a gas passage 12 including a plurality of gas passage units 11 is disposed in a lower region inside the case 10. 11, a plurality of discharge electrodes 13 are spaced apart from each other.

ケース10の上側領域には、高電圧ユニットを収容した高圧ボックス14と、電源回路や例えば表示装置やCPUを含む制御ユニット15とが配置されている。ケース10の長手方向の両側端部には、クリーンガス用ポート16が設けられ、このクリーンガス用ポート16を通して、図外のガス源からクリーンガスがガス通路12に供給される。   In the upper region of the case 10, a high voltage box 14 containing a high voltage unit and a control unit 15 including a power supply circuit, for example, a display device and a CPU are arranged. Clean gas ports 16 are provided at both ends in the longitudinal direction of the case 10, and clean gas is supplied to the gas passage 12 from a gas source not shown through the clean gas ports 16.

クリーンガス用ポート16を通じてガス通路ユニット11に導入されるクリーンガスは、例えば窒素ガスなどの不活性ガスや、大気中のゴミを濾過し、水分を除去した濾過エアからなるクリーンガス、好ましくは更に有機化合物を除去したクリーンガスを挙げることができる。   The clean gas introduced into the gas passage unit 11 through the clean gas port 16 is, for example, an inert gas such as nitrogen gas, or a clean gas made of filtered air from which moisture is removed by filtering dust in the atmosphere, preferably further A clean gas from which organic compounds have been removed can be mentioned.

放電電極13は、後に説明するように放電電極ユニット200に組み込まれており、放電電極ユニット200をケース10に装着することにより、放電電極13がイオン化装置100に組み込まれる。なお、図1,図2において、参照符号17は、ケース10の内部を上下に仕切る隔壁を示し、18は隣接するイオン化装置100同士を連結するモジュラコネクタ用の接続端子を示す。また、符号19は接地した対向電極プレートを示し、対向電極プレート19は実質的にケース10の一部を構成して、この対向電極プレート19によってケース10の下側開口が閉じられている。   The discharge electrode 13 is incorporated in the discharge electrode unit 200 as will be described later, and the discharge electrode 13 is incorporated into the ionization apparatus 100 by mounting the discharge electrode unit 200 on the case 10. 1 and 2, reference numeral 17 denotes a partition wall that partitions the inside of the case 10 up and down, and 18 denotes a connection terminal for a modular connector that connects adjacent ionizers 100 together. Reference numeral 19 denotes a grounded counter electrode plate. The counter electrode plate 19 substantially constitutes a part of the case 10, and the lower opening of the case 10 is closed by the counter electrode plate 19.

図3は、イオン化装置100の制御回路の概要を示す図である。イオン化装置100は、同一の放電電極13からプラスイオンとマイナスイオンとが交互に発生するように、パルスAC式イオン発生方式が採用されている。イオン化装置100の制御回路は、プラス側高電圧発生回路30とマイナス側高電圧発生回路31とを有し、これらの高電圧発生回路30、31で高圧ボックス14(図1)に内蔵された高電圧ユニットが構成されている。   FIG. 3 is a diagram showing an outline of a control circuit of the ionization apparatus 100. The ionization apparatus 100 employs a pulsed AC ion generation system so that positive ions and negative ions are alternately generated from the same discharge electrode 13. The control circuit of the ionization apparatus 100 includes a plus-side high voltage generation circuit 30 and a minus-side high voltage generation circuit 31, and the high voltage generation circuits 30 and 31 incorporate a high voltage box 14 (FIG. 1). A voltage unit is configured.

プラス側高電圧発生回路30とマイナス側高電圧発生回路31は、共に、トランス32、33の一次側コイルに接続された自励発振回路34、35と、二次側コイルに接続された例えば倍整流回路からなる昇圧回路36、37とを含む。高電圧発生回路30、31と放電電極13との間には保護抵抗つまり第1抵抗R1が設けられている。   Both the positive side high voltage generation circuit 30 and the negative side high voltage generation circuit 31 are self-excited oscillation circuits 34 and 35 connected to the primary side coils of the transformers 32 and 33, and, for example, doubled connected to the secondary side coil. And booster circuits 36 and 37 each including a rectifier circuit. A protective resistor, that is, a first resistor R <b> 1 is provided between the high voltage generation circuits 30 and 31 and the discharge electrode 13.

トランス32、33の二次コイルの接地端GNDと、フレームグランドFGとの間には、第2抵抗R2と第3抵抗R3とが直列に接続され、また、対向電極プレート19とフレームグラウンドFGとの間には第4抵抗R4と上述した第3抵抗R3とが直列に接続されている。   A second resistor R2 and a third resistor R3 are connected in series between the ground terminal GND of the secondary coil of the transformers 32 and 33 and the frame ground FG. Further, the counter electrode plate 19 and the frame ground FG The fourth resistor R4 and the third resistor R3 described above are connected in series.

第4抵抗R4を流れる電流をイオン電流検知回路38で検出することにより、放電電極13の近傍のイオンバランスを知ることができる。第3抵抗R3を流れる電流をイオン電流検知回路38で検出することにより、ワークまたは帯電物の近傍のイオンバランスを知ることが出来る。第2抵抗R2を流れる電流を異常放電電流検知回路39で検出することで、放電電極13と対向電極プレート19またはフレームグラウンドFGとの間の異常放電を検出することが出来、CPU14で異常放電と判断したときには、アラーム手段である表示LED40を点灯するなどして操作者に異常を知らせることができる。   By detecting the current flowing through the fourth resistor R4 by the ion current detection circuit 38, the ion balance in the vicinity of the discharge electrode 13 can be known. By detecting the current flowing through the third resistor R3 by the ion current detection circuit 38, the ion balance in the vicinity of the workpiece or the charged object can be known. By detecting the current flowing through the second resistor R2 by the abnormal discharge current detection circuit 39, the abnormal discharge between the discharge electrode 13 and the counter electrode plate 19 or the frame ground FG can be detected. When the determination is made, the operator can be informed of the abnormality by turning on the display LED 40 as an alarm means.

以上、パルスAC式イオン発生方式を採用したイオン化装置100の制御回路を説明したが、商用電流周波数でプラスイオンとマイナスイオンとが交互に発生するAC方式や、プラスイオンとマイナスイオンが同時に発生するSSDC方式を採用してもよく、プラスイオンとマイナスイオンが交互に発生するパルスDC方式を採用してもよい。   The control circuit of the ionization apparatus 100 employing the pulsed AC type ion generation method has been described above. However, the AC method in which positive ions and negative ions are alternately generated at a commercial current frequency, or positive ions and negative ions are generated simultaneously. The SSDC method may be adopted, or the pulse DC method in which positive ions and negative ions are alternately generated may be adopted.

図4以降の図面は放電電極ユニット200に関する図である。図4は放電電極ユニット200の側面図であり、図5は、放電電極ユニット200の平面図であり、図6は、図5のVI-VI線に沿った縦断面図であり、図7は、図5のVII-VII線に沿った縦断面図である。これら図4〜図7を参照して、放電電極ユニット200は、中空の軸部202と、この軸部の先端に設けられたヘッド部204とを有し、軸部202には、放電電極13が挿入されると共に、放電電極13の回りにガス通路が形成される。放電電極ユニット200の基本構造及び放電電極13への電源供給経路は、特開2006−40860号公報(特願2004−337216号)に開示の放電電極ユニットと実質的に共通であることから、その詳しい説明は省略すると共に、当該特願2004−337216号の開示をここに援用する。   4 and subsequent drawings are diagrams relating to the discharge electrode unit 200. FIG. 4 is a side view of the discharge electrode unit 200, FIG. 5 is a plan view of the discharge electrode unit 200, FIG. 6 is a longitudinal sectional view taken along line VI-VI in FIG. 5, and FIG. FIG. 7 is a longitudinal sectional view taken along line VII-VII in FIG. 5. 4 to 7, the discharge electrode unit 200 includes a hollow shaft portion 202 and a head portion 204 provided at the tip of the shaft portion. The shaft portion 202 includes the discharge electrode 13. Is inserted and a gas passage is formed around the discharge electrode 13. Since the basic structure of the discharge electrode unit 200 and the power supply path to the discharge electrode 13 are substantially the same as the discharge electrode unit disclosed in JP-A-2006-40860 (Japanese Patent Application No. 2004-337216), While detailed description is omitted, the disclosure of Japanese Patent Application No. 2004-337216 is incorporated herein.

放電電極ユニット200は、軸部202とヘッド部204との間に、図4などに仮想線で示すように、ゴムなどの弾性材料からなるシール部材206が嵌装される。   In the discharge electrode unit 200, a seal member 206 made of an elastic material such as rubber is fitted between the shaft portion 202 and the head portion 204, as indicated by a virtual line in FIG.

ヘッド部204は、図4、図6、図7から理解できるように中心の頂部に向けて隆起した外形輪郭を有し、そのテーパ面208の頂部に、放電電極13の先端部が挿通される円形中心孔210が形成されている。図示の例では、略円錐状に隆起した外形輪郭を有しているが、これに代えて略角錐状であってもよい。すなわち、ヘッド部204の隆起した外形輪郭は略錐体形状である。   As can be understood from FIGS. 4, 6, and 7, the head portion 204 has an outer contour that protrudes toward the top of the center, and the tip of the discharge electrode 13 is inserted into the top of the tapered surface 208. A circular center hole 210 is formed. In the example shown in the figure, the outer shape has a substantially conical bulge, but a substantially pyramid shape may be used instead. That is, the raised outline of the head portion 204 has a substantially cone shape.

ヘッド部204は、放電電極13の先端を包囲して位置するフィンガーガード212を有する。フィンガーガード212は、テーパ面208の前方に離間して位置する円周方向に連続するリング214と、リング214とテーパ面208の外周縁部との間を連結する複数の脚部216とを有し、この複数の脚部216は、リング214の周方向に互いに離間して配設されて、隣接する脚部216、216の間に外部エア導入用の周囲窓218が形成されている。フィンガーガード212は、例えば放電電極ユニット200を交換するときに指が放電電極13の先端13aに触れるのを阻止するためのガード部材であることから、例えばリング214は、これによって形成される開口214aを有している限り、円周方向に不連続であってもよい。   The head unit 204 includes a finger guard 212 that surrounds the tip of the discharge electrode 13. The finger guard 212 has a circumferentially continuous ring 214 that is spaced apart in front of the tapered surface 208 and a plurality of legs 216 that connect between the ring 214 and the outer peripheral edge of the tapered surface 208. The plurality of leg portions 216 are spaced apart from each other in the circumferential direction of the ring 214, and a peripheral window 218 for introducing external air is formed between the adjacent leg portions 216 and 216. Since the finger guard 212 is a guard member for preventing the finger from touching the tip 13a of the discharge electrode 13 when the discharge electrode unit 200 is replaced, for example, the ring 214 has an opening 214a formed thereby. As long as it has, it may be discontinuous in the circumferential direction.

イオン化装置100の内部のクリーンガス通路12(図1)を通じて放電電極ユニット200内に供給されるクリーンガスは、中空軸部202に導入され、この中空軸部202の先端の円形中心孔210を通じて中空軸部202の軸線方向に吐出される。この中心孔210には前述したように放電電極13の先端部が貫通して外部に露出しており、したがって、中心孔210は、放電電極13の回りに円周方向に連続するクリーンガス噴出口を形成する。中空軸部202の中心孔210から吐出されたクリーンガスによって中心孔210の近傍に負圧が発生するため、雰囲気ガスは、上述した周囲窓218を通じてフィンガーガード212内に流入し、そしてテーパ面208で案内されてクリーンガスと合流して、イオンを搬送するための搬送流としてフィンガーガード212の開口214aを通じて外部に吐出される。   The clean gas supplied into the discharge electrode unit 200 through the clean gas passage 12 (FIG. 1) inside the ionizer 100 is introduced into the hollow shaft portion 202 and hollowed through the circular central hole 210 at the tip of the hollow shaft portion 202. It is discharged in the axial direction of the shaft portion 202. As described above, the distal end portion of the discharge electrode 13 passes through the central hole 210 and is exposed to the outside. Therefore, the central hole 210 is a clean gas jet port that is circumferentially continuous around the discharge electrode 13. Form. Since the negative pressure is generated in the vicinity of the center hole 210 by the clean gas discharged from the center hole 210 of the hollow shaft portion 202, the atmospheric gas flows into the finger guard 212 through the peripheral window 218 described above, and the tapered surface 208. In this way, it is combined with the clean gas and discharged to the outside through the opening 214a of the finger guard 212 as a transport flow for transporting ions.

放電電極ユニット200はプラスチック成型品であり、少なくともヘッド部204がファイバを含む樹脂で構成されている。好ましくは、短繊維のファイバを含むのがよく、ファイバの種類は、一般的にはグラスファイバである。これによりヘッド部204の剛性及び難燃性と絶縁性を高めることができる他、このような短繊維のファイバを含む樹脂で放電電極ユニット200を成形したときには、ヘッド部204のテーパ面208の表面から直径が10μm以下のファイバの一部が露出した状態となり、この露出したファイバによってフィンガーガード212内に流入した雰囲気ガス中の塵埃を捕捉することができる。ヘッド部204を射出成形することを前提としたときには、成形性を確保するために、ファイバの含有率を重量比で30〜40%であるのが好ましい。   The discharge electrode unit 200 is a plastic molded product, and at least the head portion 204 is made of a resin containing a fiber. Preferably, short fiber is included, and the type of fiber is generally glass fiber. As a result, the rigidity, flame retardancy, and insulation of the head portion 204 can be improved, and when the discharge electrode unit 200 is molded from a resin containing such short fiber fibers, the surface of the tapered surface 208 of the head portion 204 is obtained. Thus, a part of the fiber having a diameter of 10 μm or less is exposed, and dust in the atmospheric gas flowing into the finger guard 212 can be captured by the exposed fiber. When it is assumed that the head portion 204 is injection-molded, the fiber content is preferably 30 to 40% by weight in order to ensure moldability.

樹脂としては、絶縁性に優れた樹脂を選択するのがよく、また、好ましくは難燃性に優れた樹脂を選択するのがよい。例えば熱硬化性樹脂(例えばフェノール樹脂、エポキシ樹脂)は一般的に剛性や難燃性に関しては優れている。他方、熱可塑性樹脂(例えばポリエチレン、ポリスチレン)は、難燃性、成型性に関しては優れている。しかし、熱硬化性樹脂は、熱可塑性樹脂に比べて一般的に成形性に劣る。このように樹脂は様々な特性を有していることから、ヘッド部204に関して好ましいと思われる樹脂を任意に選択すればよい。成形性、難燃性に優れている例えばポリスチレンを選択した場合、上述したグラスファイバを混入させることで必要とされる剛性を確保するのが容易となるだけでなく、難燃性及び絶縁性も更に好ましいものにすることができる。勿論、グラスファイバの代わりにカーボンファイバであってもよいことは言うまでもない。ただし、カーボンファイバを採用するときには、絶縁性を確保するために、グラスファイバに比べて、その含有割合を低下させるのが好ましい。   As the resin, it is preferable to select a resin excellent in insulating properties, and it is preferable to select a resin excellent in flame retardancy. For example, thermosetting resins (for example, phenol resins and epoxy resins) are generally excellent in rigidity and flame retardancy. On the other hand, thermoplastic resins (for example, polyethylene and polystyrene) are excellent in terms of flame retardancy and moldability. However, thermosetting resins are generally inferior in moldability compared to thermoplastic resins. As described above, since the resin has various characteristics, a resin considered to be preferable for the head portion 204 may be arbitrarily selected. When, for example, polystyrene is selected, which is excellent in moldability and flame retardancy, it is not only easy to ensure the required rigidity by mixing the glass fiber described above, but also flame retardancy and insulation properties. Furthermore, it can be made preferable. Of course, it goes without saying that a carbon fiber may be used instead of the glass fiber. However, when a carbon fiber is employed, it is preferable to reduce the content ratio compared to glass fiber in order to ensure insulation.

図5などに示すように、ヘッド部204のテーパ面208には、径の異なる複数の円周溝220が中心孔210を中心に形成されている。この円周溝220は、放電電極ユニット200を成型した後に切削加工により形成してもよいが、一般的には、放電電極ユニット200を成型するときに円周溝220が一緒に成形されるのがよい。図示の例では周方向に連続して延びる突起又は溝220は円形であるが、波形にウネウネと延びる形状であってもよい。突起又は溝220の断面形状は、矩形であってもよいし、半円形状であってもよいし、三角形状であってもよい。また、突起又は溝220の高さ又は深さは一般的に数μm乃至数100μmであるのがよい。   As shown in FIG. 5 and the like, a plurality of circumferential grooves 220 having different diameters are formed around the center hole 210 on the tapered surface 208 of the head portion 204. The circumferential groove 220 may be formed by cutting after the discharge electrode unit 200 is molded. In general, however, the circumferential groove 220 is molded together when the discharge electrode unit 200 is molded. Is good. In the example shown in the figure, the protrusions or grooves 220 extending continuously in the circumferential direction are circular, but they may have a shape extending in a corrugated manner. The cross-sectional shape of the protrusions or grooves 220 may be rectangular, semicircular, or triangular. In addition, the height or depth of the protrusions or grooves 220 is generally several μm to several hundred μm.

テーパ面208は、図示の例では、外周部分208aの傾斜角よりも内周部208bの傾斜角が大きくなっている。これにより、雰囲気ガスがテーパ面208に沿って流動する距離を拡大することができると共に、雰囲気ガスの流動方向をワーク(被除電体)に向けて案内することができると共に雰囲気ガスが放電電極13の先端部13aと接してしまうのを抑制することができる。また、この内周部208bに沿った上下方向に延びる接線の交点CPに関連して放電電極13の先端13a(一般的には尖った先端)の突出位置が設定されている(図8)。具体的には、良好なイオン発生効率を確保するには、放電電極13の先端13aは中心孔210の開口端から上記交点CPの間に位置決めされるのがよい。   In the illustrated example, the tapered surface 208 has an inclination angle of the inner peripheral portion 208b larger than that of the outer peripheral portion 208a. Accordingly, the distance in which the atmospheric gas flows along the tapered surface 208 can be increased, the flow direction of the atmospheric gas can be guided toward the work (electric charge removal body), and the atmospheric gas can be discharged to the discharge electrode 13. It can suppress contacting with the front-end | tip part 13a. Further, the protruding position of the tip 13a (generally a sharp tip) of the discharge electrode 13 is set in relation to the intersection CP of the tangent line extending in the vertical direction along the inner peripheral portion 208b (FIG. 8). Specifically, in order to ensure good ion generation efficiency, the tip 13a of the discharge electrode 13 is preferably positioned between the opening end of the center hole 210 and the intersection CP.

ヘッド部204の中心孔210からクリーンガスを噴出させながら放電電極13に高電圧を印加することで、フィンガーガード212の周囲窓218を通じてフィンガーガード212の内部に流入する雰囲気ガスを巻き込んで放電電極13の回りからクリーンガスが吐出され、これによりイオンがワーク(被除電体)に向けて供給される。   By applying a high voltage to the discharge electrode 13 while ejecting a clean gas from the center hole 210 of the head portion 204, the atmospheric gas flowing into the finger guard 212 through the peripheral window 218 of the finger guard 212 is entrained and discharged to the discharge electrode 13. A clean gas is discharged from around the area, whereby ions are supplied toward the workpiece (electric charge removal body).

周囲窓218、つまり隣接する2つの脚部216、216間の周囲窓218を通じてフィンガーガード212の内部に流入する雰囲気ガスは、ヘッド部204の中心孔210に向けてテーパ面208に沿って流れ込んで、中心孔210から吐出されるクリーンガスと合流することになる。ヘッド部204は、前述したように、少なくともヘッド部204の表面から外部に露出したファイバを含む樹脂で構成されている。ヘッド部204を射出成形する場合には、ベースの樹脂材料である例えばポリスチレンに対してファイバを上述した重量含有率(30〜40%)となるように無作為に含有させたときに、微視的にヘッド部204のテーパ面208にファイバの一部をひげ状に突出させた状態を形成することができる。そして、これにより雰囲気ガス中に含まれる塵埃を捕捉することができる。ファイバの直径は10μm以下であるのが好ましい。   The ambient gas flowing into the finger guard 212 through the peripheral window 218, that is, the peripheral window 218 between the two adjacent legs 216 and 216, flows along the tapered surface 208 toward the center hole 210 of the head portion 204. Then, it will merge with the clean gas discharged from the center hole 210. As described above, the head portion 204 is made of a resin including at least a fiber exposed to the outside from the surface of the head portion 204. When the head portion 204 is injection-molded, a microscopic effect is obtained when the fiber is randomly included so as to have the above-described weight content (30 to 40%) with respect to the base resin material such as polystyrene. In particular, it is possible to form a state in which a part of the fiber protrudes like a whisker on the tapered surface 208 of the head portion 204. As a result, dust contained in the atmospheric gas can be captured. The diameter of the fiber is preferably 10 μm or less.

テーパ面208には、図8から最も良く分かるように、雰囲気ガスの流れ方向と交差する方向に延びる円周溝220を横断することになる。この円周溝220は円周突起であってもよいが、この円周溝(円周突起)220の存在によってテーパ面208に沿って流動する雰囲気ガスの流れに乱れが発生し、これにより雰囲気ガスがテーパ面208と接する頻度が高くなる。   As best seen in FIG. 8, the tapered surface 208 crosses the circumferential groove 220 extending in the direction intersecting with the flow direction of the atmospheric gas. The circumferential groove 220 may be a circumferential protrusion, but the presence of the circumferential groove (circumferential protrusion) 220 causes a disturbance in the flow of the atmospheric gas flowing along the tapered surface 208, thereby The frequency with which the gas contacts the tapered surface 208 increases.

ヘッド部204は、前述したように、短繊維のファイバを含む樹脂で構成されており、微視的には、テーパ面208はその表面にファイバの一部が露出しひげ状に突出した状態となっていることから、このファイバによって雰囲気ガスに含まれる塵埃を捕捉することができ、特に、雰囲気ガスの流れと交差する方向に延びる円周溝(又は円周突起)220によって捕捉効率を高めることができ、これにより放電電極13の外部に露出した先端部への塵埃等の付着及び堆積を抑制することができ、イオン発生効率の経時的な低下を抑えることができる。言うまでもないが、このことは放電電極13の交換時期を延長できることを意味する。   As described above, the head portion 204 is made of a resin including a short fiber, and microscopically, the tapered surface 208 is in a state in which a part of the fiber is exposed on the surface and protrudes like a beard. Therefore, dust contained in the ambient gas can be captured by this fiber, and in particular, the capture efficiency is enhanced by the circumferential groove (or circumferential projection) 220 extending in the direction intersecting the flow of the ambient gas. As a result, it is possible to suppress the adhesion and accumulation of dust and the like on the tip exposed to the outside of the discharge electrode 13, and to suppress a decrease in ion generation efficiency over time. Needless to say, this means that the replacement time of the discharge electrode 13 can be extended.

上述した例では、ヘッド部204のテーパ面208に円周溝(又は円周突起)220を形成した例を説明したが、ヘッド部204に円周溝(又は円周突起)220によって塵埃の捕捉効果の高める必要が無ければ、ヘッド部204のテーパ面208から円周溝(又は円周突起)220を省いてもよい。   In the above-described example, an example in which the circumferential groove (or circumferential projection) 220 is formed on the tapered surface 208 of the head portion 204 has been described. However, dust is captured by the circumferential groove (or circumferential projection) 220 in the head portion 204. If there is no need to increase the effect, the circumferential groove (or circumferential projection) 220 may be omitted from the tapered surface 208 of the head portion 204.

図9以降の図面は、上述した円周溝(円周突起)220に代わる凹所又は突起の形状又は配置に関する変形例を例示するものである。図9は、円周方向に不連続な溝又は突起222を設けた例を示す。図示の例では、直径の異なる3列の円周上に不連続な円弧状又は略長方形の溝又は突起222を設けてあるが、列の数は任意であり、溝又は突起222を千鳥状に配設してもよく、また、テーパ面208の内周部又は外周部だけに設けるようにしてもよい。   The drawings after FIG. 9 exemplify a modification regarding the shape or arrangement of a recess or a protrusion in place of the above-described circumferential groove (circumferential protrusion) 220. FIG. 9 shows an example in which discontinuous grooves or protrusions 222 are provided in the circumferential direction. In the illustrated example, discontinuous arc-shaped or substantially rectangular grooves or projections 222 are provided on the circumference of three rows having different diameters, but the number of rows is arbitrary, and the grooves or projections 222 are staggered. It may be disposed, or may be provided only on the inner peripheral portion or the outer peripheral portion of the tapered surface 208.

図10は、円形の溝又は突起224を直径の異なる3列の円周状に配置してあるが、列の数は任意であり、円形の溝又は突起224を千鳥状に配設してもよく、また、テーパ面208の内周部又は外周部だけに設けるようにしてもよい。また、図9に例示の円弧状又は略長方形の溝又は突起222を混在させるようにしてもよい。また、円形の溝又は突起224は、その形状として長円又は楕円形であってもよい。   In FIG. 10, the circular grooves or protrusions 224 are arranged in a circumferential shape of three rows having different diameters, but the number of rows is arbitrary, and the circular grooves or protrusions 224 may be arranged in a staggered manner. Alternatively, it may be provided only on the inner peripheral portion or the outer peripheral portion of the tapered surface 208. Further, the arc-shaped or substantially rectangular groove or protrusion 222 illustrated in FIG. 9 may be mixed. In addition, the circular groove or protrusion 224 may be oval or elliptical in shape.

図11は、螺旋状に断続的に突起又は溝226を配置した例を示す。この螺旋状に複数の突起又は溝226を配置するのに、図11の例では長さを異ならせた長方形の形状の突起又は溝226を図示してあるが、同じ長さ寸法であってもよく、また、円形、長円、楕円であってもよい。また、図12に示すように、螺旋状に連続する突起又は溝228であってもよい。なお、図12では、螺旋状に連続する突起又は溝228は湾曲して延びているが、波形にウネウネと延びる形状であってもよい。   FIG. 11 shows an example in which protrusions or grooves 226 are intermittently arranged in a spiral shape. In order to arrange the plurality of protrusions or grooves 226 in a spiral shape, in the example of FIG. 11, the protrusions or grooves 226 having a rectangular shape with different lengths are illustrated. It may be a circle, an ellipse, or an ellipse. Moreover, as shown in FIG. 12, the protrusion or groove | channel 228 which continues in a spiral shape may be sufficient. In FIG. 12, the spirally continuous protrusions or grooves 228 extend in a curved shape, but may have a waveform extending in a wave shape.

如上の説明において、隣接する脚部216、216間の周囲窓218に関して、図示のように何も存在しない開放周囲窓であってもよいし、雰囲気ガスの自由な通過を許容可能な、例えば比較的大きな編み目のネット状の構成であってもよく、また、柵状の構造を有していてもよい。フィンガーガード212の設計においては、各脚部216が占有する投影面積を抑えて、周囲窓218の総面積を大きく設定することが望ましい。   In the above description, the surrounding window 218 between the adjacent legs 216, 216 may be an open surrounding window where nothing exists as shown, or the ambient gas can be freely passed, eg, comparison It may have a net-like configuration with a large stitch, and may have a fence-like structure. In the design of the finger guard 212, it is desirable to suppress the projected area occupied by each leg 216 and set the total area of the surrounding window 218 large.

如上のように、短繊維のファイバを含む樹脂からなるヘッド部204は、その中心孔210から突出する放電電極13の先端部が同じ中心孔210から噴出するクリーンガスで覆われるため放電電極13の先端部の汚れを抑制できだけでなく、雰囲気ガスの流れを案内するテーパ面208に突起又は溝228、220などを設けることで雰囲気ガスに含まれる塵埃を積極的に捕捉することができ、これにより放電電極13の先端部の汚れを一層抑制することができることから、イオン化効率の経時的な低下を防止しつつ放電電極13の交換時期を延長することができる。   As described above, the head portion 204 made of resin including a short fiber is covered with the clean gas ejected from the same central hole 210 so that the tip of the discharge electrode 13 protruding from the central hole 210 is covered with the discharge electrode 13. Not only can the contamination of the tip be suppressed, but also by providing protrusions or grooves 228, 220, etc. on the tapered surface 208 that guides the flow of the atmospheric gas, dust contained in the atmospheric gas can be actively captured. As a result, the contamination of the tip of the discharge electrode 13 can be further suppressed, so that the replacement time of the discharge electrode 13 can be extended while preventing the ionization efficiency from decreasing with time.

なお、上述の実施例では放電電極13が外部に突出する同じ中心孔210からクリーンガスを噴射するようにしたが、勿論、放電電極13が突出する孔とは別の孔からクリーンガスを噴射してもよいことは言うまでもない。   In the above-described embodiment, the clean gas is injected from the same central hole 210 from which the discharge electrode 13 protrudes to the outside. Of course, the clean gas is injected from a hole different from the hole from which the discharge electrode 13 protrudes. Needless to say.

前述の実施例では、ヘッド部204とフィンガーガード212とが射出成形により一体成形されているが、ヘッド部204とフィンガーガード212とを別々に射出成形して、これを後工程で接合するようにしてもよい。射出成形では、ヘッド部204とフィンガーガード部212を一体成形又は別体成形する場合、一般的には樹脂の溶融温度は280°C〜290°Cに設定されるが、ファイバ含有樹脂の場合には、更に10°C上昇させた溶融温度に設定するのが好ましい。   In the above-described embodiment, the head portion 204 and the finger guard 212 are integrally formed by injection molding. However, the head portion 204 and the finger guard 212 are separately injection-molded and joined in a later process. May be. In the injection molding, when the head part 204 and the finger guard part 212 are formed integrally or separately, the resin melting temperature is generally set to 280 ° C to 290 ° C. Is preferably set to a melting temperature further increased by 10 ° C.

ヘッド部204とフィンガーガード212を別々に成形し、後工程でこれを結合する手法としては、(1)凹凸嵌合、(2)超音波溶着、(3)ねじ止め、(4)接着剤による接合などを採用することができるだけでなく、個々に成形したヘッド部204とフィンガーガード212を一体化するための金型に装填して、これらの接合部に樹脂を流し込んで結合する手法を採用してもよい。   The method of forming the head portion 204 and the finger guard 212 separately and combining them in the subsequent process includes (1) concavo-convex fitting, (2) ultrasonic welding, (3) screwing, and (4) adhesive. Not only can bonding be used, but also a method in which the individually molded head portion 204 and finger guard 212 are loaded into a mold and resin is poured into these bonding portions for bonding. May be.

本発明の実施例のイオン化装置の構造を説明するための図である。It is a figure for demonstrating the structure of the ionization apparatus of the Example of this invention. 実施例のイオン化装置の外形を示す斜視図である。It is a perspective view which shows the external shape of the ionization apparatus of an Example. 実施例のイオン化装置の回路図である。It is a circuit diagram of the ionization apparatus of an Example. イオン化装置に交換可能に設けられる放電電極ユニットの側面図である。It is a side view of the discharge electrode unit provided in the ionization apparatus so that replacement | exchange is possible. 放電電極ユニットの正面図である。It is a front view of a discharge electrode unit. 図5のVI−VI線に沿った縦断面図である。It is a longitudinal cross-sectional view along the VI-VI line of FIG. 図5のVII−VII線に沿った縦断面図である。It is a longitudinal cross-sectional view along the VII-VII line of FIG. 放電電極ユニットの放電電極の先端の好ましい突出量を説明するための図である。It is a figure for demonstrating the preferable protrusion amount of the front-end | tip of the discharge electrode of a discharge electrode unit. 放電電極ユニットの隆起したテーパ面に形成される突起又は溝の第1変形例を説明するための図であり、テーパ面を平面視した状態で示す図である。It is a figure for demonstrating the 1st modification of the processus | protrusion or groove | channel formed in the protruding taper surface of a discharge electrode unit, and is a figure shown in the state which planarly viewed the taper surface. 放電電極ユニットの隆起したテーパ面に形成される突起又は溝の第2変形例を説明するための図であり、テーパ面を平面視した状態で示す図である。It is a figure for demonstrating the 2nd modification of the processus | protrusion or groove | channel formed in the protruding taper surface of a discharge electrode unit, and is a figure shown in the state which planarly viewed the taper surface. 放電電極ユニットの隆起したテーパ面に形成される突起又は溝の第3変形例を説明するための図であり、テーパ面を平面視した状態で示す図である。It is a figure for demonstrating the 3rd modification of the processus | protrusion or groove | channel formed in the taper surface which the discharge electrode unit protruded, and is a figure shown in the state which planarly viewed the taper surface. 放電電極ユニットの隆起したテーパ面に形成される突起又は溝の第4変形例を説明するための図であり、テーパ面を平面視した状態で示す図である。It is a figure for demonstrating the 4th modification of the processus | protrusion or groove | channel formed in the taper surface which the discharge electrode unit protruded, and is a figure shown in the state which planarly viewed the taper surface.

符号の説明Explanation of symbols

100 イオン化装置
200 放電電極ユニット
202 中空軸部
204 ヘッド部
208 略円錐状に隆起した外形輪郭のテーパ面
210 円形中心孔
212 フィンガーガード
218 周囲窓(雰囲気ガス導入用)
220 円周溝
DESCRIPTION OF SYMBOLS 100 Ionizer 200 Discharge electrode unit 202 Hollow shaft part 204 Head part 208 The taper surface of the outline outline which protruded in the substantially conical shape 210 Circular center hole 212 Finger guard 218 Surrounding window (for atmospheric gas introduction)
220 Circumferential groove

Claims (6)

隆起したヘッド部と、該ヘッド部の回りに配置されたフィンガーガードとを有し、
該フィンガーガードが、前記ヘッド部の側面領域に雰囲気ガスが前記フィンガーガード内に流入可能な周囲窓と、前記隆起したヘッド部の前方に開放した開口とを有し、
前記隆起したヘッド部の中心孔に、高電圧を印加する放電電極の先端部が外部に突出した状態で配設されると共に該放電電極の回りにクリーンガスが吐出されて、該クリーンガスによって前記周囲窓を通じて流入した雰囲気ガスを取り込みながら前記放電電極によって生成されるイオンを前記開口を通じて被除電体に向けて搬送するイオン化装置の放電電極ユニットであって、
前記隆起したヘッド部がファイバを含む樹脂で構成されて、該ファイバの一部が前記隆起したヘッド部のテーパ面から露出していることを特徴とする放電電極ユニット。
Having a raised head portion and a finger guard disposed around the head portion;
The finger guard has a peripheral window through which atmospheric gas can flow into the finger guard in a side region of the head part, and an opening opened forward of the raised head part,
In the center hole of the raised head portion, a tip of the discharge electrode for applying a high voltage is disposed in a state of protruding to the outside, and a clean gas is discharged around the discharge electrode. A discharge electrode unit of an ionization apparatus that conveys ions generated by the discharge electrode to the object to be discharged through the opening while taking in atmospheric gas flowing through the surrounding window,
The discharge electrode unit, wherein the raised head part is made of a resin containing a fiber, and a part of the fiber is exposed from a tapered surface of the raised head part.
前記隆起したヘッド部のテーパ面には、該テーパ面に沿って流れる雰囲気ガスの流れを乱す溝又は突起が形成されている、請求項1に記載の放電電極ユニット The discharge electrode unit according to claim 1 , wherein a groove or a protrusion that disturbs the flow of the atmospheric gas flowing along the tapered surface is formed on the tapered surface of the raised head portion. 前記溝又は突起が、前記テーパ面の傾斜方向に沿って流れる雰囲気ガスの流れと交差する方向に延びる形状を有する、請求項2に記載の放電電極ユニット。   The discharge electrode unit according to claim 2, wherein the groove or the protrusion has a shape extending in a direction intersecting with the flow of the atmospheric gas flowing along the inclined direction of the tapered surface. 前記テーパ面の上下方向に延びる接線の交点と前記中心孔との間に前記放電電極の先端が位置決めされている、請求項1〜3のいずれか一項に記載の放電電極ユニット。   The discharge electrode unit according to any one of claims 1 to 3, wherein a tip of the discharge electrode is positioned between an intersection of tangents extending in the vertical direction of the tapered surface and the center hole. 前記中心孔から前記クリーンガスが噴射される、請求項1〜4のいずれか一項に記載の放電電極ユニット。   The discharge electrode unit according to any one of claims 1 to 4, wherein the clean gas is injected from the center hole. 頂部にクリーンガスを吐出する中心孔を備えた略錐体形状のヘッド部と、
前記中心孔から外部に突出する放電電極と、
該放電電極の先端部の回りに設けられ且つ前記放電電極の前方に開口を備えたフィンガーガードとを有するイオン化装置であって、
該フィンガーガードが、前記ヘッド部から離れる方向に延び且つ前記先端部の周囲方向に互いに間隔を隔てて配置された複数の脚と、隣接する2つの脚間に雰囲気ガスが前記フィンガーガードの内部に流入可能な周囲窓とを有し、
前記略錐体形状のヘッド部の傾斜面に、前記周囲窓を通じて前記フィンガーガード内に流入した雰囲気ガスのガス流と交差する方向に延びる溝又は突起が形成され、
前記略錐体形状のヘッド部がファイバを含む樹脂で構成されて、該ファイバの一部が前記略錐体形状のヘッド部の傾斜面から露出していることを特徴とする放電電極ユニット。
A substantially cone-shaped head portion having a central hole for discharging clean gas at the top;
A discharge electrode protruding outward from the central hole;
An ionization device having a finger guard provided around a tip of the discharge electrode and having an opening in front of the discharge electrode;
The finger guard extends in a direction away from the head portion and is spaced apart from each other in the circumferential direction of the tip portion, and atmospheric gas is introduced into the finger guard between two adjacent legs. A surrounding window that can flow in,
Grooves or protrusions extending in a direction intersecting the gas flow of the atmospheric gas flowing into the finger guard through the peripheral window are formed on the inclined surface of the substantially cone-shaped head portion ,
The discharge electrode unit, wherein the substantially cone-shaped head portion is made of a resin containing a fiber, and a part of the fiber is exposed from an inclined surface of the substantially cone-shaped head portion .
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