JP4964582B2 - 重水素ランプ光源 - Google Patents

Description

本発明は、重水素ランプ光源に関し、特に、真空又は低圧雰囲気中で使用される重水素ランプ光源に関する。

従来、真空又は低圧雰囲気中での除電用光源や半導体分野の検査用光源として、重水素ランプ光源が用いられている。この重水素ランプ光源には、下記の特許文献１及び特許文献２に記載されたものがある。これらの重水素ランプ光源では、真空室内（真空又は低圧雰囲気中）へ光を出射することができるように重水素ランプの光出射窓が配置されると共に、真空室内の真空状態を維持するように重水素ランプが真空室外壁等に固定されている。

例えば、特許文献１に記載された重水素ランプ光源では、放電を発生させる放電部と、この放電部の軸線方向に直交する方向に連通され光の光軸方向に延在する突出部と、を有する密封容器を備え、突出部の前端には光出射窓が設けられている。この突出部は、その外表面の環状の凹溝にＯリングが装着され、真空室における光線入射口に嵌合されている。また、特許文献２に記載された重水素ランプ光源では、放電部を収容する筒状の密封容器を備え、密封容器の一端側に光出射窓が形成されている。この重水素ランプ光源は、一端側に口金を有し、この口金によって真空室の壁に固定されている。
実開昭５４−１５６９７６号公報 特開平６−２１５７３４号公報

しかしながら、上述した重水素ランプ光源では、以下の問題がある。すなわち、一般的に、重水素ランプはガラス等の非常に脆い材料を含むことから、例えば重水素ランプを交換する際に、その取扱いが困難となる。また、真空室の外部（大気側）に重水素ランプを接地して動作させる必要があるため、真空室中に接地される試料に重水素ランプを近接させて光を照射することができないおそれがある。

そこで、本発明は、重水素ランプを容易に取り扱うことができ、且つ真空又は低圧雰囲気中に接地される試料に重水素ランプを十分に近接させて光を照射することが可能となる重水素ランプ光源を提供することを課題とする。

上記課題を解決するために、本発明に係る重水素ランプ光源は、真空又は低圧雰囲気中で使用される重水素ランプ光源であって、ガスが封入された密封容器を具備し、密封容器は、放電を発生させる放電部、及び放電部に連通し放電による光の出射方向に突出する突出部を含み、当該突出部の先端部に設けられた光出射窓から出射光を出射する重水素ランプと、第１端と第２端との間に貫通孔を有し、当該貫通孔に重水素ランプを収納する収納部材と、収納部材を保持する保持部材と、収納部材の第１端側に保持部材を着脱自在に連結する連結手段と、を備え、収納部材の貫通孔の内面と重水素ランプの外面との間には、収納部材の貫通孔を第１端側の第１領域と第２端側の第２領域とに気密に画成するように、当該貫通孔に重水素ランプを固定する気密固定部が設けられており、連結手段には、収納部材の第１端側と保持部材との間を気密に封止する封止手段が設けられていることを特徴とする。

この重水素ランプ光源では、重水素ランプが収納部材における第１端と第２端との間の貫通孔に収納されると共に、この重水素ランプが気密固定部で貫通孔に固定されている。そして、連結手段により保持部材が収納部材の第１端側に着脱自在に連結されている。これらにより、収納部材を交換することで重水素ランプを交換することができ、よって、重水素ランプの交換に際して、当該重水素ランプに直接に触れる必要が無くなる。従って、重水素ランプを容易に取り扱うことが可能となる。加えて、気密固定部により収納部材の貫通孔が第１端側の第１領域と第２端側の第２領域とに気密に画成されると共に、連結手段の封止手段により収納部材の第１端側と保持部材との間が気密に封止されている。そのため、重水素ランプを冷却する際、例えば第１領域内にて冷却風により冷却することにより、この冷却風が外部に漏洩するのが抑止される。従って、真空又は低圧雰囲気において真空気密を保つように重水素ランプを収納部材に固定してこの収納部材を保持部材で保持することができ、真空又は低圧雰囲気中に接地される試料に重水素ランプを十分に近接させて光を照射することが可能となる。

ここで、収納部材は、収納された重水素ランプの放電部と電気的に接続する第１コネクタ部を備え、連結手段は、第１コネクタ部に保持部材が有する第２コネクタ部を電気的に連結することが好ましい。この場合、連結手段により、重水素ランプが保持部材と好適に電気的に接続される。

また、連結手段は、収納部材の他端側に保持部材を螺合して連結することが好ましい。この場合、連結手段により、収納部材の第１端側に保持部材を好適に着脱自在に連結することができる。

また、封止手段は、Ｏリングを含む場合があり、ガスケットを含む場合がある。また、保持部材は、具体的には、ベローズ形伸縮管を含む場合が挙げられる。この場合、収納部材の位置を可変にして保持部材で保持することができる。この保持部材は、以下の発明における保持部材も同様である。

また、本発明に係る重水素ランプ光源は、真空又は低圧雰囲気中で使用される重水素ランプ光源であって、ガスが封入された密封容器を具備し、密封容器は、放電を発生させる放電部、及び放電部に連通し放電による光の出射方向に突出する突出部を含み、当該突出部の先端部に設けられた光出射窓から出射光を出射する重水素ランプと、第１端と第２端との間に貫通孔を有し、当該貫通孔に重水素ランプを収納する収納部材と、を備え、収納部材の第１端側には、当該収納部材を保持する保持部材と着脱自在に連結される連結部が設けられ、収納部材の貫通孔の内面と重水素ランプの外面との間には、収納部材の貫通孔を第１端側の第１領域と第２端側の第２領域とに気密に画成するように、当該貫通孔に重水素ランプを固定する気密固定部が設けられ、連結部には、収納部材の第１端側と保持部材との間を気密に封止する封止部が設けられていることを特徴とする。

この重水素ランプ光源では、重水素ランプが収納部材に収納されると共に、当該重水素ランプが気密固定部で収納部材の内部に固定されている。よって、収納部材の第１端側に設けられた連結部に保持部材を着脱自在に連結して重水素ランプ光源を使用する場合、収納部材を交換することで重水素ランプを交換することができ、重水素ランプの交換に際して当該重水素ランプに直接に触れる必要が無くなる。従って、重水素ランプを容易に取り扱うことが可能となる。加えて、気密固定部により収納部材の貫通孔が第１端側の第１領域と第２端側の第２領域とに気密に画成されると共に、連結手段の封止部により収納部材の第１端側と保持部材との間が気密に封止されている。そのため、重水素ランプを冷却する際、例えば第１領域内にて冷却風により冷却することにより、この冷却風が外部に漏洩するのが抑止される。従って、真空又は低圧雰囲気において真空気密を保つように重水素ランプを収納部材に固定することができる。よって、この収納部材を保持部材で保持して使用すると、真空又は低圧雰囲気中に接地される試料に重水素ランプを十分に近接させて光を照射することが可能となる。

ここで、収納部材は、収納された重水素ランプの放電部と電気的に接続する第１コネクタ部を備え、連結部では、第１コネクタ部が保持部材の第２コネクタ部と電気的に連結されることが好ましい。この場合、連結手段により、重水素ランプが連結部で連結される保持部材と好適に電気的に接続される。

また、連結部には、保持部材が螺合されて連結されることが好ましい。この場合、連結部に保持部材を好適に着脱自在に連結することができる。

また、封止部は、Ｏリングを含む場合があり、ガスケットを含む場合がある。

また、気密固定部は、接着剤又はＯリングからなることが好ましい。気密固定部が接着剤からなる場合、収納部材を交換して重水素ランプを交換した前と後との間で、出射光の光軸の位置を精度良く一致させることができる。また、気密固定部がＯリングからなる場合、収納部材に収納された重水素ランプを容易に交換することができ、例えば交換された使用済みの収納部材であっても、重水素ランプを交換することにより繰り返し使用することができる。

本発明によれば、重水素ランプを容易に取り扱うことができ、且つ真空又は低圧雰囲気中に接地される試料に重水素ランプを十分に近接させて光を照射することが可能となる。

以下、図面を参照しながら、本発明の好適な実施形態について詳細に説明する。なお、図面の説明において、同一又は相当要素には同一符号を付し、重複する説明は省略する。

［第１実施形態］
図１は、本発明の第１実施形態に係る重水素ランプ光源を示す一部断面図であり、図２は図１の重水素ランプ光源の要部を示す断面図である。図１に示すように、重水素ランプ光源１は、真空又は低圧雰囲気中で使用され、例えば、除電用光源や半導体分野の検査用光源として用いられるものである。この重水素ランプ光源１は、重水素ランプ２と、重水素ランプ２を収納する収納部材３と、収納部材３に着脱自在に連結されるフレキシブル管（保持部材）４と、を備えている。

重水素ランプ２は、いわゆるヘッドオン型の重水素ランプ（Ｄ２ランプ）であり、そのヘッドから所定波長の紫外光を出射する。この重水素ランプ２は、重水素ガスが数百Ｐａ程度封入されたガラス製の密封容器５を具備している。

密封容器５は、放電部組立体６を収納する円筒状の放電部７と備えている。放電部７の軸線方向における一端はステム８により封止され、他端には突出部９が連結されている。突出部９は、放電部７に連通し光の出射方向（重水素ランプ２の光軸方向；図中の左方）に突出する円筒状を呈している。ステム８には、所定の円周上に沿って複数の開口が形成され、各開口に導電性のステムピン２０が各々通されて固定されている。

図２に示すように、放電部組立体６は、アーク放電により紫外光を発生するものある。この放電部組立体６は、放電に寄与する熱電子を発生させる陰極部１０、この陰極部１０からの熱電子を受容する陽極部１１、陰極部１０と陽極部１１との間の放電路を制限する放電路制限部１２、この放電路制限部１２を支持する放電路制限部支持部材１３、これらの突出部９側を覆うと共に紫外光が通過する光通過口が形成されたフロントカバー１５を備えている。

放電路制限部支持部材１３は、電気絶縁性を有するセラミックス等から形成され、ステムピン２０により支持され、中央の開口部内に放電路制限部１２を支持している。放電路制限部１２は、例えば、モリブデン、タングステン、あるいはこれらからなる合金等の高融点金属から形成されて導電性を有し、ステムピン２０に電気的に接続されている。放電路制限部１２のステム８側には陽極部１１が配置され、この陽極部１１は、ステムピン２０によって支持されると共に電気的に接続されている。

陰極部１０はタングステン製のコイルから成り、その表面には熱電子を発生させるべく電子放出物質が塗布されている。この陰極部１０は、ステムピン２０に電気的に接続されている。また、陰極部１０はその突出部９側がフロントカバー１５によって覆われている。そして、ステムピン２０には、コネクタ（第１コネクタ部）１６が取り付けられている。つまり、コネクタ１６は、ステムピン２０を介して陽極部１１及び陰極部１０と電気的に接続されている。

突出部９は、その前半部９ａがフッ化マグネシウムから成り、放電部に連結された後半部９ｂが例えば硼珪酸ガラスによって構成されている。これらのフッ化マグネシウムと硼珪酸ガラスとは互いの熱膨張率が大きく異なり、フッ化マグネシウムと硼珪酸ガラスとを直接融着させると、この融着部に割れやクラックが生じる虞があるため、前半部９ａと後半部９ｂとの間の中間部には、段シール部１７が設けられている。この段シール部１７は、複数種類の中間ガラスを用いて、熱膨張率が徐々に変化するようにシールする構成とされている。そして、突出部９の先端側は、紫外光を出射する光出射窓１８によって封止され、この光出射窓１８は、例えば、フッ化マグネシウム（ＭｇＦ２）から構成されている。

収納部材３は、ステンレス製の管からなり（円筒形状を呈し）、その長手方向の一端である第１端３ａから他端である第２端３ｂとの間に貫通孔１９を有している。この収納部材３は、貫通孔１９に重水素ランプ２を略同軸に内挿して収納する。具体的には、収納部材３は、第２端３ｂ側に重水素ランプ２の光出射窓１８が位置するようにして、重水素ランプ２の放電部７及び突出部９の後半部９ｂを貫通孔１９に収納する。貫通孔１９の内面１９ａと突出部９の外周面９ｃ（重水素ランプ２の外面）との間には、接着層（気密固定部）２１が形成されている。この接着層２１は、収納部材３の貫通孔１９が第１端３ａ側の第１領域Ｒ１と第２端３ｂ側の第２領域Ｒ２とに画成されるように、重水素ランプ２を貫通孔１９に気密に固定する。

収納部材３の第１端３ａ側には、フレキシブル管４と着脱自在に連結する収納部材連結部（連結部）２２が設けられている。収納部材連結部２２は、貫通孔１９の内面１９ａに雌螺子が形成されてなる螺子部２３と、収納部材３の第１端３ａ側及びフレキシブル管４の間を気密に封止する封止部（封止手段）２４とを有し、これらがこの順で第１端３ａから設けられている。一方、収納部材３の第２端３ｂ側には、図１に示すように、カバー２５が例えば螺子により取り付けられており、収納された重水素ランプ２の突出部９が保護されている。カバー２５は、カップ状を呈し、底壁２５ａ及び側壁２５ｂにより構成されている。この底壁２５ａには、重水素ランプ２からの出射光が通るための開口２６が形成されている。

フレキシブル管４は、収納部材３を保持するものであり、軸線方向や曲がりなどの変位をベローズ（蛇腹）の伸縮及び屈曲により吸収する。つまり、フレキシブル管４は、収納部材３の位置を可変にして当該収納部材３を保持する。このフレキシブル管４の長手方向における一端部には、フランジ２７が設けられている。フランジ２７は、例えば真空又は低圧雰囲気の真空室（不図示）に固定される。一方、フレキシブル管４の他端部には、収納部材３の第１端３ａ側と連結する保持部材連結部２８が設けられている。保持部材連結部２８は、収納部材３に差し込まれる差込部２９、外周面に雄螺子が形成されてなる螺子部３０、及び収納部材３の第１端３ａ側の端面３１と当接する当接部３２を有し、これらがこの順でフレキシブル管４の他端から設けられている。

このフレキシブル管４は、その内部に重水素ランプ２へ電力を供給するための配線３３を収納すると共に、重水素ランプ２を冷却するための冷却風を収納部材３の第１領域Ｒ１へ供給する。具体的には、フレキシブル管４の一端には、例えば電源装置や冷却風供給装置に接続するための接続部３４が設けられている。一方、フレキシブル管４の他端は、第１領域Ｒ１に連通しており、配線３３の他端側には、上記コネクタ１６と連結されるコネクタ（第２コネクタ部）３５が取り付けられている。つまり、フレキシブル管４を収納部材３の第１端３ａ側に連結した際、コネクタ１６，３５を電気的に互いに連結することで、重水素ランプ２とフレキシブル管４とが電気的に互いに接続される。

ここで、重水素ランプ光源１は、上述のように、螺子部２３と封止部２４とを有する収納部材連結部２２、及び差込部２９と螺子部３０と当接部３２とを有する保持部材連結部２８を備えている。螺子部２３，３０は、互いに螺合するように構成されており、連結部２２，２８を互いに着脱自在に固定して、収納部材３の第１端３ａ側とフレキシブル管４とを着脱自在に固定する。封止部２４は、図２に示すように、径方向内側に突出する凸部３６と、凸部３６において第１端３ａ側の面３６ａ及び貫通孔１９の内面１９ａに当接するように配置されたＯリング３７と、からなっている。

凸部３６は、その径方向内側の面３６ｂにより差込孔３８を形成し、この差込孔３８には、保持部材連結部２８の差込部２９が遊挿又は嵌挿される（図１参照）。Ｏリング３７は、収納部材３の第１端３ａ側にフレキシブル管４を連結した状態（以下、単に「連結状態という」）において連結部２２，２８の間を気密に封止する。当接部３２は、図１に示すように、リング状の板形状を呈し、連結状態において、収納部材３の第１端３ａ側の端面３１と当接することにより、連結部２２，２８の間を一層気密に封止する。なお、収納部材連結部２２及び保持部材連結部２８が本発明における連結手段に相当する。

また、上述したように、接着層２１にあっては、図２に示すように、貫通孔１９の内面１９ａと突出部９の外周面９ｃとの間に形成され、収納部材３の貫通孔１９が第１領域Ｒ１と第２領域Ｒ２とに画成されるように重水素ランプ２を貫通孔１９に気密に固定する。この接着層２１は、気密性が高い封止用の接着剤からなり、例えばエポキシ系の真空接着剤で真空中において脱ガスが少ないものが用いられている。ここでは、好ましいとして、
真空システムのリークシール剤として用いられ長時間の使用に充分な信頼性を有するトールシール（バリアン社製、商品名）を用いている。この接着層２１は、突出部９の後半部９ｂにおいて放電部７側に周方向の全周にわたり形成されている。つまり、接着層２１は、段シール部１７より後方に位置しており、段シール部１７は、接着層２１に覆われていない状態となっている。或いは、図３に示すように、接着層を、突出部９の後半部９ｂにおいて段シール部１７側に形成された接着層４１とする場合もある。

このように構成された重水素ランプ光源１では、重水素ランプ２に電力が供給され、陽極部１１と陰極部１０との間で放電が発生し、放電路制限部１２によって放電が収束し、光出射窓１８から紫外光が出射されることとなる。

以上、重水素ランプ光源１では、重水素ランプ２が収納部材３の貫通孔１９に収納されると共に、この重水素ランプ２が接着層２１で貫通孔１９に固定されている。そして、螺子部２３，３０によりフレキシブル管４が収納部材３の第１端３ａ側に着脱自在に連結されている。これにより、収納部材３を交換することで重水素ランプ２を交換することができ、重水素ランプ２の交換に際して、重水素ランプ２に直接に触れる必要が無くなる。従って、従来、重水素ランプのガラス部分は非常に脆いことからその取り扱いには細心の注意が必要であるため、重水素ランプ光源において重水素ランプの交換は熟練者のみが可能な作業とされていたが、本実施形態の重水素ランプ光源１によれば、重水素ランプ２の交換を手軽に且つより安全に行なうことができ、重水素ランプ２を容易に取り扱うことができる。

加えて、上述したように、接着層２１により収納部材３の貫通孔１９が第１領域Ｒ１と第２領域Ｒ２とに気密に画成されると共に、Ｏリング３７により収納部材３の第１端３ａ側とフレキシブル管４との間が気密に封止されている。そのため、重水素ランプ２を冷却する際、例えば第１領域Ｒ１内にて冷却風により冷却することにより、この冷却風が外部に漏洩するのが抑止される。従って、真空又は低圧雰囲気において真空気密を保つように重水素ランプ２を収納部材３に固定し、この収納部材３をフレキシブル管４で保持することができ、真空又は低圧雰囲気中に接地される試料（被照射物）に重水素ランプ２を十分に近接させて光を照射することが可能となる。すなわち、本実施形態の重水素ランプ光源１は、その重水素ランプ２を真空又は低圧雰囲気下に設置し使用可能とし、試料への真空紫外光を近接照射可能とした光源であるといえる。

また、上述したように、重水素ランプ２が接着層２１で貫通孔１９に固定されていることにより、収納部材３を交換して重水素ランプ２を交換した前と後との間で、出射光の光軸の位置を精度良く一致させることができる。その結果、例えば、重水素ランプ２を交換した後であっても試料に対して精度良くピンポイントで光を照射することが可能となる。

なお、従来の重水素ランプ光源においては、多数部品を組み合わせて真空気密を保つものが一般的であるが、重水素ランプ光源１では、上述したように、接着層２１及びＯリング３７で真空気密が可能としている。すなわち、重水素ランプ光源１は、少ない部品でより一層簡易に真空気密を可能とするものである。

ちなみに、上述したように、重水素ランプ２を収納した収納部材３がフレキシブル管４と着脱自在に構成されていることにより、保持部材としては、フレキシブル管４に限定されずに多種多様なものへの対応が可能となっている。

［第２実施形態］
図４は、本発明の第２実施形態に係る重水素ランプ光源の要部を示す断面図である。図４に示すように、この第２実施形態の重水素ランプ光源５０が上記第１実施形態の重水素ランプ光源１と異なる点は、重水素ランプ２（図２参照）に代えて重水素ランプ５４を備え、収納部材３（図２参照）に代えて収納部材５１を備え、接着層２１（図２参照）に代えて接着層５２を備えた点である。

重水素ランプ５４は、段シール部５５が上記段シール部１７よりも放電部７側に位置している。収納部材５１は、その長手方向の長さが上記収納部材３よりも長くなっており、貫通孔５３に重水素ランプ５４全体を略同軸に内挿して収納する。具体的には、重水素ランプ５４の放電部７及び突出部９を貫通孔５３に収納する。接着層５２は、突出部９の前半部９ａに周方向の全周にわたり形成されている。

このような重水素ランプ光源５０においても、上記実施形態と同様の効果、すなわち、重水素ランプ２を容易に取り扱うことができ、且つ真空又は低圧雰囲気中に接地される試料に重水素ランプ２を十分に近接させて光を照射することができるという効果を奏する。

［第３実施形態］
図５は、本発明の第３実施形態に係る重水素ランプ光源を示す一部断面図である。図５に示すように、この第３実施形態の重水素ランプ光源６０が上記第１実施形態の重水素ランプ光源１と異なる点は、収納部材連結部２２を有する収納部材３（図１参照）に代えて収納部材連結部６１を有する収納部材６２を備え、保持部材連結部２８を有するフレキシブル管４（図１参照）に代えて保持部材連結部６３を有するフレキシブル管６４を備えた点である。

連結部６１，６３は、ボルト６５により着脱自在に互いに固定され、これらの連結部６１，６３には、互いに連通する開口部６６，６７がそれぞれ設けられている。そして、連結状態において連結部６１，６３の間には、これらの間を気密に封止する金属ガスケット６８が設けられている。

このような重水素ランプ光源６０においても、ボルト６５によりフレキシブル管６４を収納部材６２の第１端６２ａ側に着脱自在に連結することができると共に、金属ガスケット６８により収納部材６２の第１端６２ａ側とフレキシブル管６４との間を気密に封止することができる。従って、上記実施形態と同様の効果、すなわち、重水素ランプ２を容易に取り扱うことができ、且つ真空又は低圧雰囲気中に接地される試料に重水素ランプ２を十分に近接させて光を照射することができるという効果を奏する。

［第４実施形態］
図６（ａ），（ｂ）は、本発明の第４実施形態に係る重水素ランプ光源を示す図である。同図に示すように、この第４実施形態の重水素ランプ光源７０が上記第３実施形態の重水素ランプ光源６０と異なる点は、収納部材連結部６１を有する収納部材６２（図５参照）に代えて、収納部材連結部７１を有する収納部材７２を備え、保持部材連結部６３を有するフレキシブル管６４（図５参照）に代えて保持部材連結部７３を有するフレキシブル管７４を備えた点である。

連結部７１，７３は、クランプ７５（図６（ｂ）参照）により着脱自在に互いに固定され、連結状態において連結部７１，７３の間には、これらの間を気密に封止するＯリング７６（図６（ａ）参照）が設けられている。

このような重水素ランプ光源７０においても、クランプ７５によりフレキシブル管７４を収納部材７２の第１端７２ａ側に着脱自在に連結すると共に、Ｏリング７６により収納部材７２の第１端７２ａ側とフレキシブル管７４との間を気密に封止することができる。従って、上記実施形態と同様の効果、すなわち、重水素ランプ２を容易に取り扱うことができ、且つ真空又は低圧雰囲気中に接地される試料に重水素ランプ２を十分に近接させて光を照射することができるという効果を奏する。

［第５実施形態］
図７は、本発明の第５実施形態に係る重水素ランプ光源を示す図である。図７に示すように、この第５実施形態の重水素ランプ光源８０が上記第１実施形態の重水素ランプ光源１と異なる点は、収納部材連結部２２を有する収納部材３（図１参照）に代えて収納部材連結部８１を有する収納部材８２を備え、保持部材連結部２８を有するフレキシブル管４（図１参照）に代えて保持部材連結部８３を有するフレキシブル管８４を備えた点である。

連結部８１，８３は、いわゆるワンタッチロックにより互いに着脱自在に連結される。具体的には、保持部材連結部８３には、径方向外側に突出するロックピン８９が設けられており、収納部材連結部８１には、このロックピン８９と着脱自在に係合されるロック孔８５が設けられている。ロック孔８５は、ロックピン８９を挿入するための挿入部８６、及びロックピン８９と係合するための係合部８７を含んで構成されている。挿入部８６は、収納部材８２の第１端８２ａ側の端面８８に開口し、長手方向に延在している。係合部８７は、挿入部８６に連続し、且つ周方向に向けて曲がるように延在している。

このような重水素ランプ光源８０においても、ロックピン８９をロック孔８５に挿入し、収納部材８２をフレキシブル管８４に対して相対的に周方向に回転することにより、ロックピン８９がロック孔８５に係合され、フレキシブル管８４が収納部材８２の第１端８２ａ側に着脱自在に連結される。従って、上記実施形態と同様の効果、すなわち、重水素ランプ２を容易に取り扱うことができ、且つ真空又は低圧雰囲気中に接地される試料に重水素ランプ２を十分に近接させて光を照射することができるという効果を奏する。

以上、本発明の好適な実施形態について説明したが、本発明は上記実施形態に限定されるものではない。

例えば、上記実施形態では、接着層により重水素ランプを貫通孔に気密に固定したが、Ｏリングにより重水素ランプを貫通孔に気密に固定してもよい。この場合、収納部材に収納された重水素ランプを容易に交換することができ、例えば交換された使用済みの収納部材であっても、重水素ランプを交換することにより繰り返し使用することができる。

また、上記実施形態では、円筒の収納部材を備えているが、収納部材は、その長手方向断面の外形形状が矩形等の多角形形状を呈するものであってもよい。

また、上記実施形態では、螺子部、ボルト、又はクランプにより、フレキシブル管を収納部材の第１端側に連結したが、種々の連結構造を採用してもよい。

また、上記第１，２及び第４，５実施形態では連結部の間にＯリングを設け、上記第３実施形態では連結部の間に金属ガスケットを設けたが、Ｏリング及び金属ガスケットの双方を連結部の間に設けてもよい。

また、上記実施形態において、重水素ランプをヘッドオン型の重水素ランプとしたが、サイドオン型の重水素ランプであってもよい。

本発明の第１実施形態に係る重水素ランプ光源を示す一部断面図である。 図１の重水素ランプ光源の要部を示す断面図である。 図１の重水素ランプ光源の接着層の変形例を示す図２に対応する断面図である。 本発明の第２実施形態に係る重水素ランプ光源の要部を示す断面図である。 本発明の第３実施形態に係る重水素ランプ光源を示す一部断面図である。 本発明の第４実施形態に係る重水素ランプ光源を示す図である。 本発明の第５実施形態に係る重水素ランプ光源を示す図である。

符号の説明

１，５０，６０，７０，８０…重水素ランプ光源、２，５４…重水素ランプ、３，５１，６１，７１，８１…収納部材、３ａ，６１ａ，７１ａ，８１ａ…第１端、３ｂ…第２端、４，６４，７４，８４…フレキシブル管（保持部材）、５…密封容器、７…放電部、９…突出部、９ｃ…外周面（重水素ランプの外面）、１６…コネクタ（第１コネクタ部）、１８…光出射窓、１８，５３…貫通孔、１９ａ…貫通孔の内面、２１，４１，５２…接着層（気密固定部）、２２，６１，７１，８１…収納部材連結部（連結部）、２３，３０…螺子部、２４…封止部（封止手段）、２８，６３，７３，８３…保持部材連結部、３５…コネクタ（第２コネクタ部）、３７，７６…Ｏリング、６８…金属ガスケット、Ｒ１…第１領域、Ｒ２…第２領域。

Claims (11)

1. 真空又は低圧雰囲気中で使用される重水素ランプ光源であって、
   ガスが封入された密封容器を具備し、前記密封容器は、放電を発生させる放電部、及び前記放電部に連通し放電による光の出射方向に突出する突出部を含み、当該突出部の先端部に設けられた光出射窓から出射光を出射する重水素ランプと、
   第１端と第２端との間に貫通孔を有し、当該貫通孔に前記重水素ランプを収納する収納部材と、
   前記収納部材を保持する保持部材と、
   前記収納部材の前記第１端側に前記保持部材を着脱自在に連結する連結手段と、を備え、
   前記収納部材の前記貫通孔の内面と前記重水素ランプの外面との間には、前記収納部材の前記貫通孔を前記第１端側の第１領域と前記第２端側の第２領域とに気密に画成するように、当該貫通孔に前記重水素ランプを固定する気密固定部が設けられており、
   前記連結手段には、前記収納部材の前記第１端側と前記保持部材との間を気密に封止する封止手段が設けられていることを特徴とする重水素ランプ光源。
2. 収納された前記重水素ランプの前記放電部と電気的に接続する第１コネクタ部を備え、
   前記連結手段は、前記第１コネクタ部に前記保持部材が有する第２コネクタ部を電気的に連結することを特徴とする請求項１記載の重水素ランプ光源。
3. 前記連結手段は、前記収納部材の前記第１端側に前記保持部材を螺合して連結することを特徴とする請求項１又は２記載の重水素ランプ光源。
4. 前記封止手段は、Ｏリング又はガスケットの少なくとも一方を含むことを特徴とする請求項１〜３の何れか一項記載の重水素ランプ光源。
5. 前記保持部材は、ベローズ形伸縮管を含むことを特徴とする請求項１〜４の何れか一項記載の重水素ランプ光源。
6. 真空又は低圧雰囲気中で使用される重水素ランプ光源であって、
   ガスが封入された密封容器を具備し、前記密封容器は、放電を発生させる放電部、及び前記放電部に連通し放電による光の出射方向に突出する突出部を含み、当該突出部の先端部に設けられた光出射窓から出射光を出射する重水素ランプと、
   第１端と第２端との間に貫通孔を有し、当該貫通孔に前記重水素ランプを収納する収納部材と、を備え、
   前記収納部材の前記第１端側には、当該収納部材を保持する保持部材と着脱自在に連結される連結部が設けられ、
   前記収納部材の前記貫通孔の内面と前記重水素ランプの外面との間には、前記収納部材の前記貫通孔を前記第１端側の第１領域と前記第２端側の第２領域とに気密に画成するように、当該貫通孔に前記重水素ランプを固定する気密固定部が設けられ、
   前記連結部には、前記収納部材の前記第１端側と前記保持部材との間を気密に封止する封止部が設けられていることを特徴とする重水素ランプ光源。
7. 収納された前記重水素ランプの前記放電部と電気的に接続する第１コネクタ部を備え、
   前記連結部では、前記第１コネクタ部が前記保持部材の第２コネクタ部と電気的に連結されることを特徴とする請求項６記載の重水素ランプ光源。
8. 前記連結部には、前記保持部材が螺合されて連結されることを特徴とする請求項６又は７記載の重水素ランプ光源。
9. 前記封止部は、Ｏリング又はガスケットの少なくとも一方を含むことを特徴とする請求項６〜８の何れか一項記載の重水素ランプ光源。
10. 前記保持部材は、ベローズ形伸縮管を含むことを特徴とする請求項６〜９の何れか一項記載の重水素ランプ光源。
11. 前記気密固定部は、接着剤又はＯリングからなることを特徴とする請求項１〜１０の何れか一項記載の重水素ランプ光源。

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