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JP4973324B2 - Cold spray method, cold spray device - Google Patents
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Description

本発明は、コールドスプレー方法、コールドスプレー装置に関する。   The present invention relates to a cold spray method and a cold spray apparatus.

近年、新しいコーティング方法として、コールドスプレー方法が注目されている。このコールドスプレーは、材料粉末を作動ガスと共にノズルから高速で噴射し、固相状態のまま基材に衝突させて被膜を形成する技術である。
材料粉末としては、金属、合金、金属間化合物、セラミックスなどが用いられる。また、作動ガスとしては、空気、窒素、ヘリウムなどが用いられ、材料粉末の融点よりも低い温度に設定される。
In recent years, a cold spray method has attracted attention as a new coating method. This cold spray is a technique in which a material powder is jetted from a nozzle at a high speed together with a working gas, and is allowed to collide with a substrate in a solid state to form a coating.
As the material powder, metals, alloys, intermetallic compounds, ceramics, and the like are used. Moreover, air, nitrogen, helium etc. are used as working gas, and it sets to temperature lower than melting | fusing point of material powder.

このコールドスプレーでは、従来のプラズマ溶射法、フレーム溶射法、高速フレーム溶射法などに比べて、材料粉末を高温に加熱する必要がない。このため、加熱による材質変化(酸化や熱変質)が殆どなく、意図した性質を有する被膜を形成することができる。つまり、緻密で密度が高く、密着性が良好な被膜が得られる。   In this cold spray, it is not necessary to heat the material powder to a high temperature as compared with the conventional plasma spraying method, flame spraying method, high-speed flame spraying method and the like. For this reason, there is almost no material change (oxidation and thermal alteration) by heating, and the coating film which has the intended property can be formed. That is, a dense film with high density and good adhesion can be obtained.

また、コールドスプレーでは、材料粉末の付着効率、すなわち噴射した材料粉末が基材に付着する割合を向上させるために、材料粉末の粒径を微細化したり、材料粉末の噴射速度を上げたり、作動ガスを温度制御(例えば600〜700℃)して材料粉末を材質変化が発生しない程度に加熱したりする技術が提案されている(特許文献1参照)。
米国特許第7,178,744号明細書
In cold spray, in order to improve the adhesion efficiency of the material powder, that is, the ratio of the sprayed material powder adhering to the base material, the particle size of the material powder is reduced, the injection speed of the material powder is increased, and the operation is performed. A technique has been proposed in which the temperature of a gas is controlled (for example, 600 to 700 ° C.) and the material powder is heated to such an extent that no material change occurs (see Patent Document 1).
US Pat. No. 7,178,744

しかしながら、従来の技術では、以下のような問題がある。
まず、材料粉末の粒径を微細化すると却って粉砕処理に時間がかかってコスト上昇を招いてしまう。同様に、材料粉末の噴射速度を上げると、作動ガスの使用量が増加してコスト上昇を招いてしまう。
更に、作動ガスを一定温度に制御するのは実際には困難な場合が少なくなく、作動ガスの温度のばらついた場合には、形成される皮膜の品質が不均一になってしまう等の問題がある。
However, the conventional techniques have the following problems.
First, if the particle size of the material powder is reduced, the pulverization process takes time and the cost increases. Similarly, when the injection speed of the material powder is increased, the amount of working gas used is increased, leading to an increase in cost.
Furthermore, it is often difficult to control the working gas to a constant temperature. When the working gas temperature varies, there is a problem that the quality of the formed film becomes non-uniform. is there.

本発明は、上述した事情に鑑みてなされたもので、材料粉末の付着効率を確実に向上させることができ、また、均一な品質の皮膜を形成することができるコールドスプレー方法、コールドスプレー装置を提案することを目的とする。   The present invention has been made in view of the above-described circumstances, and can provide a cold spray method and a cold spray apparatus that can reliably improve the adhesion efficiency of material powder and can form a uniform quality film. The purpose is to propose.

本発明に係るコールドスプレー方法、コールドスプレー装置では、上記課題を解決するために以下の手段を採用した。
第一の発明は、材料粉末をノズルから高速で噴射して基材上に堆積させるコールドスプレー方法において、前記基材を第一所定温度に温度制御する第一工程と、前記基材に向けて前記材料粉末を噴射する第二工程と、を有することを特徴とする。
これにより、ノズルから高速で噴射された材料粉末が基材に衝突した際に、基材から熱を吸収して変形しやすくなる。
In the cold spray method and the cold spray apparatus according to the present invention, the following means are employed in order to solve the above problems.
A first invention is a cold spray method in which material powder is sprayed from a nozzle at a high speed to be deposited on a base material, and a first step of controlling the temperature of the base material to a first predetermined temperature; A second step of injecting the material powder.
Thereby, when the material powder sprayed from the nozzle at high speed collides with the base material, the base material is easily deformed by absorbing heat from the base material.

また、前記第一所定温度は、前記材料粉末の融点以下の温度であることを特徴とする。
また、前記第一所定温度(絶対温度)は、前記材料粉末の融点(絶対温度)の約半分の温度であることを特徴とする。
これにより、材料粉末に熱変質等が発生することを回避できる。
The first predetermined temperature is a temperature not higher than a melting point of the material powder.
The first predetermined temperature (absolute temperature) is about half the melting point (absolute temperature) of the material powder.
Thereby, generation | occurrence | production of heat alteration etc. to material powder can be avoided.

また、前記第一所定温度は、前記基材の融点以下の温度であることを特徴とする。
また、前記第一所定温度(絶対温度)は、前記基材の融点(絶対温度)の約半分の温度であることを特徴とする。
これにより、材料粉末及び基材に熱変質等が発生することを回避できる。
Further, the first predetermined temperature is a temperature not higher than a melting point of the base material.
The first predetermined temperature (absolute temperature) is approximately half the melting point (absolute temperature) of the substrate.
Thereby, generation | occurrence | production of thermal alteration etc. can be avoided in material powder and a base material.

また、第二工程は、前記ノズルから前記材料粉末と共に噴射する作動ガスにより前記材料粉末を前記第一所定温度以下の第二所定温度に予加熱する工程を含むことを特徴とする。
これにより、材料粉末が更に変形しやすくなる。
Further, the second step includes a step of preheating the material powder to a second predetermined temperature equal to or lower than the first predetermined temperature by a working gas injected from the nozzle together with the material powder.
As a result, the material powder is more easily deformed.

第二の発明は、材料粉末をノズルから高速で噴射して基材上に堆積させるコールドスプレー装置において、前記基材を前記材料粉末の融点以下の第一所定温度に加熱する基材加熱部と、前記基材に向けて前記材料粉末を噴射するコールドスプレー部と、を備えることを特徴とする。
これにより、ノズルから高速で噴射された材料粉末が基材に衝突した際に、基材から熱を吸収して変形しやすくなる。
A second invention is a cold spray device that sprays material powder from a nozzle at a high speed and deposits the material powder on a substrate, and a substrate heating unit that heats the substrate to a first predetermined temperature below the melting point of the material powder; And a cold spray unit for injecting the material powder toward the base material.
Thereby, when the material powder sprayed from the nozzle at high speed collides with the base material, the base material is easily deformed by absorbing heat from the base material.

また、前記コールドスプレー部は、前記ノズルから前記材料粉末と共に噴射する作動ガスを前記第一所定温度以下の第二所定温度に加熱するガス加熱部を備えることを特徴とする。
これにより、材料粉末が更に変形しやすくなる。
In addition, the cold spray unit includes a gas heating unit that heats the working gas sprayed together with the material powder from the nozzle to a second predetermined temperature that is equal to or lower than the first predetermined temperature.
As a result, the material powder is more easily deformed.

本発明によれば以下の効果を得ることができる。
材料粉末をノズルから高速で噴射して基材上に堆積させる際に、基材を第一所定温度に温度制御して、材料粉末が変形しやすくしているので、噴射された材料粉末の殆どが基材に付着するようになり、材料粉末の付着効率向上を達成することができる。
また、ノズルから噴射される材料粉末を予め加熱しておくことで、更に材料粉末が変形しやすくなり、材料粉末の付着効率の向上を図ることができる。
According to the present invention, the following effects can be obtained.
When the material powder is sprayed from the nozzle at a high speed and deposited on the substrate, the temperature of the substrate is controlled to the first predetermined temperature so that the material powder is easily deformed. Is attached to the base material, and improvement in the adhesion efficiency of the material powder can be achieved.
In addition, by preheating the material powder ejected from the nozzle, the material powder is more easily deformed, and the adhesion efficiency of the material powder can be improved.

以下、本発明に係るコールドスプレー方法の実施形態について、図面を参照して説明する。
図1は、本実施形態に係るコールドスプレー装置1の概略構成を示す模式図である。
図2は、本実施形態に係るコールドスプレー部10の概略構成を示す模式図である。
コールドスプレーシステム1は、コールドスプレー部10と、基材Bを載置すると共に基材Bを一定温度に温度制御する基材温度調整部50等から構成される。
Hereinafter, an embodiment of a cold spray method according to the present invention will be described with reference to the drawings.
FIG. 1 is a schematic diagram illustrating a schematic configuration of a cold spray apparatus 1 according to the present embodiment.
FIG. 2 is a schematic diagram illustrating a schematic configuration of the cold spray unit 10 according to the present embodiment.
The cold spray system 1 includes a cold spray unit 10 and a base material temperature adjusting unit 50 for placing the base material B and controlling the temperature of the base material B to a constant temperature.

コールドスプレー部10は、材料粉末Aを音速〜超音速で基材Bの表面に固体状態で衝突させて皮膜Rを成膜するための装置であって、材料粉末Aを高圧の作動ガスGと共に噴射するスプレーガン11、所望量の材料粉末Aを作動ガスGと共にスプレーガン11に供給する粉末供給部12、作動ガスGを加熱してスプレーガン11に供給するガス加熱器13、粉末供給部12及びガス加熱器13に対して作動ガスGを供給する不図示のガス供給部等を備えている。   The cold spray unit 10 is an apparatus for forming a film R by causing the material powder A to collide with the surface of the base material B in a solid state at a sonic speed to a supersonic speed. Spray gun 11 for spraying, powder supply unit 12 for supplying a desired amount of material powder A to the spray gun 11 together with the working gas G, gas heater 13 for heating and supplying the working gas G to the spray gun 11, powder supply unit 12 And a gas supply unit (not shown) for supplying the working gas G to the gas heater 13.

ガス供給部から供給される高圧の作動ガスGは2つの経路に分岐され、一方の作動ガスG1はガス加熱器13を経て、室温以上に加熱された後、スプレーガン11に供給される。他方の作動ガスG2は、粉末供給部12へ送気され、キャリアガスとして材料粉末Aと共にスプレーガン11に供給される。   The high-pressure working gas G supplied from the gas supply unit is branched into two paths, and one working gas G1 is heated to room temperature or higher via the gas heater 13 and then supplied to the spray gun 11. The other working gas G2 is supplied to the powder supply unit 12 and supplied to the spray gun 11 together with the material powder A as a carrier gas.

そして、スプレーガン11に供給された作動ガスG(G1,G2)と材料粉末Aは、スプレーガン11の先端のノズル11Nを経て音速〜超音速流となり、ノズル11Nの出口から噴出される。材料粉末Aの吹き付け速度(噴射速度)は、300〜800m/s程度である。
なお、作動ガスGとしては、空気、窒素、ヘリウムなどが用いられる。特に、不活性ガス(ヘリウム)が好適である。ガス圧力は、0.27〜0.69MPa程度であるが、特に、0.59〜0.69MPa程度が好適である。
Then, the working gas G (G1, G2) and the material powder A supplied to the spray gun 11 become a sonic to supersonic flow through the nozzle 11N at the tip of the spray gun 11, and are ejected from the outlet of the nozzle 11N. The spraying speed (injection speed) of the material powder A is about 300 to 800 m / s.
As the working gas G, air, nitrogen, helium or the like is used. In particular, an inert gas (helium) is suitable. The gas pressure is about 0.27 to 0.69 MPa, but about 0.59 to 0.69 MPa is particularly suitable.

ノズル11Nの出口から噴出した材料粉末Aは、固体のまま基材Bに衝突する。そして、高速で基材Bに衝突した材料粉末Aは、塑性変形して基材Bに付着(皮膜Rを形成)する。また、材料粉末Aが基材Bに衝突した際に運動エネルギーが熱エネルギーに変わり、材料によっては材料表面が融点を超え結合し強固な密着力を得ることができる。   The material powder A ejected from the outlet of the nozzle 11N collides with the base material B while remaining solid. The material powder A colliding with the base material B at high speed is plastically deformed and adheres to the base material B (forms a coating R). Further, when the material powder A collides with the base material B, the kinetic energy changes to thermal energy, and depending on the material, the material surface exceeds the melting point and can be bonded to obtain a strong adhesion.

このように、コールドスプレー部10は、材料粉末Aを溶融またはガス化させること無く、作動ガスGと共に音速〜超音速流で固相状態のまま基材Bに衝突させて皮膜Rを形成することができる。
従来のプラズマ溶射法、フレーム溶射法、高速フレーム溶射法などに比べ、材料粉末をあまり加熱せずに固相状態のまま基材Bに付着させることができる。
これによって得た皮膜Rは、緻密で密度、熱伝導率・導電性が高い、密着性も良好である等の優れた性質を有する。特に、材料粉末Aを加熱して溶融させないので、酸化や熱変質が殆どないという優れた性質を有する。
In this way, the cold spray unit 10 forms the coating R by colliding with the base material B in the solid phase in the sonic to supersonic flow together with the working gas G without melting or gasifying the material powder A. Can do.
Compared with the conventional plasma spraying method, flame spraying method, high-speed flame spraying method and the like, the material powder can be adhered to the base material B in a solid state without being heated so much.
The film R thus obtained has excellent properties such as denseness, high density, high thermal conductivity / conductivity, and good adhesion. In particular, since the material powder A is not heated and melted, it has an excellent property that there is almost no oxidation or thermal alteration.

基材温度調整部50は、基材Bを載置すると共に基材Bを加熱可能な加熱プレート52と、加熱プレート52内に埋め込まれて加熱ヒータ54と、加熱プレート52の温度を検出する温度センサ56と、温度センサ56の検出結果に基づいて加熱ヒータ54を作動させる温度制御部58等から構成されている。   The base material temperature adjusting unit 50 places the base material B and can heat the base material B. The base plate temperature adjusting unit 50 is embedded in the heating plate 52 and detects the temperature of the heater 54 and the heating plate 52. The sensor 56 includes a temperature control unit 58 that operates the heater 54 based on the detection result of the temperature sensor 56, and the like.

加熱プレート52としては、熱伝導率が高い材料、例えば、銅やアルミニウム等が好適に用いられる。
加熱ヒータ54としては、高周波コイル(高周波誘導加熱装置)が好適に用いられる。交流電源に接続された加熱ヒータ54(高周波コイル)を作動させると、加熱プレート52の表面付近に高密度のうず電流が発生し、そのジュール熱で加熱プレート52が誘導加熱するようになっている。
これにより、基材Bが例えばセラミックスのように非導電性物質の場合であっても、加熱プレート52上に基材Bを載置することで、加熱プレート52からの熱伝導により加熱される。
As the heating plate 52, a material having high thermal conductivity, such as copper or aluminum, is preferably used.
As the heater 54, a high frequency coil (high frequency induction heating device) is preferably used. When the heater 54 (high frequency coil) connected to the AC power source is operated, a high-density eddy current is generated near the surface of the heating plate 52, and the heating plate 52 is induction-heated by the Joule heat. .
Thereby, even if the base material B is a non-conductive substance such as ceramics, the base material B is placed on the heating plate 52 and is heated by heat conduction from the heating plate 52.

温度センサ56としては、熱電対が好適に用いられる。加熱プレート52に埋め込んだ温度センサ56(熱電対)により加熱プレート52の温度を検出する。加熱プレート52の温度は、基材Bの加熱温度とほぼ等しいので、この温度を基材Bの加熱温度とみなすことができる。
したがって、温度制御部58は、温度センサ56の検出結果に基づいて加熱ヒータ54を制御することで、基材Bを所望の温度に加熱・維持することが可能となっている。
A thermocouple is preferably used as the temperature sensor 56. The temperature of the heating plate 52 is detected by a temperature sensor 56 (thermocouple) embedded in the heating plate 52. Since the temperature of the heating plate 52 is substantially equal to the heating temperature of the base material B, this temperature can be regarded as the heating temperature of the base material B.
Therefore, the temperature control unit 58 can heat and maintain the base material B at a desired temperature by controlling the heater 54 based on the detection result of the temperature sensor 56.

基材Bの加熱温度K1(第一所定温度)としては、材料粉末Aの融点よりも低い温度に設定される。
基材Bが加熱されていると、基材Bに材料粉末Aが衝突した際に、基材Bから材料粉末Aに熱が伝導し、これにより材料粉末Aが塑性変形しやすくなる。この際、基材Bが材料粉末Aの融点よりも低い温度に設定されているので、材料粉末Aが溶解したり、材質変化(酸化や熱変質)が発生したりすることはない。更に、噴射された材料粉末Aの殆どが基材Bに付着するようになり、材料粉末Aの付着効率向上を達成することができる。
The heating temperature K1 (first predetermined temperature) of the base material B is set to a temperature lower than the melting point of the material powder A.
When the base material B is heated, when the material powder A collides with the base material B, heat is conducted from the base material B to the material powder A, and thus the material powder A is easily plastically deformed. At this time, since the base material B is set at a temperature lower than the melting point of the material powder A, the material powder A is not dissolved and no material change (oxidation or thermal alteration) occurs. Furthermore, most of the sprayed material powder A adheres to the base material B, and the adhesion efficiency of the material powder A can be improved.

特に、基材Bの加熱温度K1として、材料粉末Aの融点(絶対温度)の約半分程度の温度(絶対温度)とすることが好ましい。材質変化の発生を確実に回避するためである。
具体的には、材料粉末Aがアルミニウムの場合には、アルミニウムの融点が993Kなので、基材Bの加熱温度を466.5K以下に設定する。材料粉末Aがニッケル(融点1726K)の場合には、基材Bの加熱温度を863K以下に設定する。
同様に、金(融点1337K)の場合は加熱温度668.5K以下、銀(融点1234K)の場合は加熱温度617K以下、銅(融点1356K)の場合は加熱温度678K以下、鉄(融点1808K)の場合は加熱温度904K以下に、それぞれ設定する。
In particular, the heating temperature K1 of the base material B is preferably set to a temperature (absolute temperature) of about half the melting point (absolute temperature) of the material powder A. This is to reliably avoid the occurrence of material change.
Specifically, when the material powder A is aluminum, since the melting point of aluminum is 993K, the heating temperature of the base material B is set to 466.5K or less. When the material powder A is nickel (melting point 1726K), the heating temperature of the base material B is set to 863K or less.
Similarly, in the case of gold (melting point 1337K), the heating temperature is 668.5K or lower, in the case of silver (melting point 1234K), the heating temperature 617K or lower, in the case of copper (melting point 1356K), the heating temperature 678K or lower, iron (melting point 1808K). In this case, the heating temperature is set to 904K or less.

例えば、基材Bの表面の耐摩耗性を向上させるために、タングステンカーバーイド(WC)を付着させることが考えられる。WCの融点は3020Kであるため、基材Bの温度を1510K以下にすることが望ましい。
しかし、一般に基材Bの融点はWCのそれより大幅に低く、たとえばNi基合金を基材Bとして用いるのであれば、その融点は1600〜1900K程ほどであるから、その半分以下の800〜950K以下が望ましい。
For example, in order to improve the wear resistance of the surface of the base material B, it is conceivable to attach tungsten carbide (WC). Since the melting point of WC is 3020K, the temperature of the base material B is desirably 1510K or less.
However, the melting point of the base material B is generally much lower than that of WC. For example, if a Ni-based alloy is used as the base material B, the melting point is about 1600 to 1900K. The following is desirable.

また、基材Bの加熱温度K1として、基材Bの融点よりも低い温度に設定される。基材B自体に材質変化が発生しないようにするためである。
特に、基材Bの加熱温度K1として、基材Bの融点(絶対温度)の約半分程度の温度(絶対温度)とすることが好ましい。材質変化の発生を確実に回避するためである。
具体的には、基材Bがアルミニウムの場合には、アルミニウムの融点が993Kなので、基材Bの加熱温度を466.5K以下に設定する。基材Bがニッケル(融点1726K)の場合には、基材Bの加熱温度を863K以下に設定する。
同様に、金(融点1337K)の場合は加熱温度668.5K以下、銀(融点1234K)の場合は加熱温度617K以下、銅(融点1356K)の場合は加熱温度678K以下、鉄(融点1808K)の場合は加熱温度904K以下に、それぞれ設定する。
Further, the heating temperature K1 of the base material B is set to a temperature lower than the melting point of the base material B. This is to prevent a material change from occurring in the base material B itself.
In particular, the heating temperature K1 of the base material B is preferably set to a temperature (absolute temperature) that is about half the melting point (absolute temperature) of the base material B. This is to reliably avoid the occurrence of material change.
Specifically, when the base material B is aluminum, since the melting point of aluminum is 993K, the heating temperature of the base material B is set to 466.5K or less. When the base material B is nickel (melting point 1726K), the heating temperature of the base material B is set to 863K or less.
Similarly, in the case of gold (melting point 1337K), the heating temperature is 668.5K or lower, in the case of silver (melting point 1234K), the heating temperature 617K or lower, in the case of copper (melting point 1356K), the heating temperature 678K or lower, iron (melting point 1808K). In this case, the heating temperature is set to 904K or less.

例えば、基材BとしてAl系合金を使用する際には、たとえばAl−4wt%Cuの融点は920Kであるので、その半分以下、すなわち460K以下が望ましい。より具体的に言えば、Al−Cu系の鋳物のAC1A−Fでは、T6熱処理(788Kで36ks溶体化後、433Kで21.6ks焼き戻し)が行われる。したがって、コールドスプレーをする際にも、基材Bの温度は焼き戻し温度より低い温度(433K以下)とすることが望ましい。   For example, when an Al-based alloy is used as the base material B, for example, the melting point of Al-4 wt% Cu is 920K, so that it is preferably less than half thereof, ie, 460K or less. More specifically, in AC1A-F of an Al—Cu casting, a T6 heat treatment (36 ks solution at 788 K, followed by tempering at 2433 ks at 433 K) is performed. Therefore, it is desirable that the temperature of the base material B is lower than the tempering temperature (433 K or less) even when cold spraying is performed.

また、コールドスプレー部10から材料粉末Aを噴射する際に、材料粉末Aを作動ガスGにより、上述した基材Bの加熱温度K1よりも低い温度K2(第二所定温度)に加熱する。すなわち、作動ガスGを、上述した基材Bの加熱温度K1(第一所定温度)よりも低い温度K2に加熱して、材料粉末Aを予め加熱する。
これにより、材料粉末Aと基材Bとの温度差が小さくなるので、材料粉末Aが基材Bに衝突した際に、瞬間的に確実に熱伝導が行われて、材料粉末Aが塑性変形しやすくなる。つまり、基材Bから材料粉末Aへの熱伝導量を少なくすることができ、基材Bから材料粉末Aへの熱伝導が確実となる。
また、作動ガスGによる材料粉末Aの加熱温度K2は、基材Bの加熱温度K1よりも低く設定されているので、材料粉末Aの熱が基材Bに吸収されてしまうことを防止できる。
Moreover, when injecting material powder A from the cold spray part 10, the material powder A is heated by the working gas G to the temperature K2 (second predetermined temperature) lower than the heating temperature K1 of the base material B described above. That is, the working gas G is heated to a temperature K2 that is lower than the heating temperature K1 (first predetermined temperature) of the base material B described above to preheat the material powder A.
Thereby, since the temperature difference between the material powder A and the base material B becomes small, when the material powder A collides with the base material B, heat conduction is performed instantaneously and reliably, and the material powder A is plastically deformed. It becomes easy to do. That is, the amount of heat conduction from the base material B to the material powder A can be reduced, and the heat conduction from the base material B to the material powder A is ensured.
Moreover, since the heating temperature K2 of the material powder A by the working gas G is set lower than the heating temperature K1 of the base material B, the heat of the material powder A can be prevented from being absorbed by the base material B.

作動ガスGの加熱温度K2としては、材料粉末Aの材質毎にそれぞれ設定することが望ましい。
例えば、材料粉末AがAlの場合は、作動ガスG温度K2は466.5K以下、Niの場合(融点1728K)には864K以下、Tiの場合(融点1940K)には970K以下に設定する。
The heating temperature K2 of the working gas G is desirably set for each material of the material powder A.
For example, when the material powder A is Al, the working gas G temperature K2 is set to 466.5K or less, when Ni (melting point 1728K), 864K or less, and when Ti (melting point 1940K), 970K or less.

その他に、例えば、材料粉末Aが軟質材料の場合と、硬質材料の場合で別々に設定してもよい。
具体的には、材料粉末Aが軟質材料であるアルミニウムの場合には、作動ガスGの加熱温度K2を437K(200℃)程度に設定する。この際、基材Bの加熱温度K1は、最高466K程度である。これにより、材料粉末Aと基材Bとの温度差が小さくなり、材料粉末Aが基材Bに衝突した際に、瞬間的に確実に熱伝導が行われて、材料粉末Aが塑性変形し、良好な皮膜Rが形成できる。
In addition, for example, the material powder A may be set separately for a soft material and a hard material.
Specifically, when the material powder A is aluminum which is a soft material, the heating temperature K2 of the working gas G is set to about 437 K (200 ° C.). At this time, the heating temperature K1 of the base material B is about 466K at the maximum. Thereby, the temperature difference between the material powder A and the base material B becomes small, and when the material powder A collides with the base material B, heat conduction is performed instantaneously and reliably, and the material powder A is plastically deformed. Good film R can be formed.

また、材料粉末Aが軟質材料である銅の場合には、作動ガスGの加熱温度K2を437K(200℃)程度に設定する。この際、基材Bの加熱温度K1は、最高678K程度である。
同様に、材料粉末Aが金,銀の場合も、作動ガスGの加熱温度K2を437K(200℃)程度に設定する。この際、基材Bの加熱温度K1は、最高668K,617K程度である。
Moreover, when the material powder A is copper which is a soft material, the heating temperature K2 of the working gas G is set to about 437 K (200 ° C.). At this time, the heating temperature K1 of the base material B is about 678K at the maximum.
Similarly, when the material powder A is gold or silver, the heating temperature K2 of the working gas G is set to about 437 K (200 ° C.). At this time, the heating temperature K1 of the base material B is about 668K and 617K at the maximum.

材料粉末Aが硬質材料であるニッケルの場合には、作動ガスGの加熱温度K2を637K(400℃)程度に設定する。この際、基材Bの加熱温度K1は、最高863K程度である。
材料粉末Aが硬質材料である鉄の場合には、作動ガスGの加熱温度K2を637K(400℃)程度に設定する。この際、基材Bの加熱温度K1は、最高904K程度である。
When the material powder A is nickel which is a hard material, the heating temperature K2 of the working gas G is set to about 637K (400 ° C.). At this time, the heating temperature K1 of the base material B is about 863K at the maximum.
When the material powder A is iron which is a hard material, the heating temperature K2 of the working gas G is set to about 637K (400 ° C.). At this time, the heating temperature K1 of the base material B is about 904K at the maximum.

上述した実施の形態において示した動作手順、あるいは各構成部材の諸形状や組み合わせ等は一例であって、本発明の主旨から逸脱しない範囲において各種条件や設計要求等に基づき種々変更可能である。   The operation procedures shown in the above-described embodiment, or the shapes and combinations of the constituent members are examples, and can be variously changed based on various conditions, design requirements, and the like without departing from the gist of the present invention.

例えば、上述した実施形態では、基材温度調整部50の加熱プレート52を誘導加熱して、加熱プレート52上に載置された基材Bを熱伝導により加熱する場合について説明したが、これに限らない。
例えば、基材Bが導電体の場合には、加熱プレート52を用いなくてもよい。すなわち、加熱ヒータ54(高周波コイル)を作動させると、基材Bにうず電流が発生して、非接触かつ直接に基材Bを誘導加熱される。
For example, in the above-described embodiment, the case where the heating plate 52 of the substrate temperature adjusting unit 50 is induction-heated to heat the substrate B placed on the heating plate 52 by heat conduction has been described. Not exclusively.
For example, when the base material B is a conductor, the heating plate 52 may not be used. That is, when the heater 54 (high-frequency coil) is operated, an eddy current is generated in the base material B, and the base material B is induction-heated directly without contact.

また、高周波コイルに代えて、レーザ加熱装置を用いてもよい。レーザ加熱装置の場合には、基材Bの表面のうち、材料粉末Aを噴き付ける領域のみを局所的に加熱することができるので、装置のコンパクト化を図ることができる。   Further, a laser heating device may be used instead of the high frequency coil. In the case of the laser heating device, only the region of the surface of the base material B where the material powder A is sprayed can be locally heated, so that the device can be made compact.

温度センサ56としては、赤外線検出型温度センサを用いて、基材Bの表面温度を非接触かつ直接に検出してもよい。特に、加熱プレート52を用いずに、基材Bにうず電流を発生させて誘導加熱する場合には、赤外線検出型温度センサが好適である。   As the temperature sensor 56, an infrared detection type temperature sensor may be used to detect the surface temperature of the substrate B in a non-contact and direct manner. In particular, an infrared detection type temperature sensor is suitable when an eddy current is generated in the base material B and induction heating is performed without using the heating plate 52.

本発明の実施形態に係るコールドスプレー装置の概略構成を示す模式図である。It is a mimetic diagram showing a schematic structure of a cold spray device concerning an embodiment of the present invention. 本実施形態に係るコールドスプレー部の概略構成を示す模式図である。It is a schematic diagram which shows schematic structure of the cold spray part which concerns on this embodiment.

符号の説明Explanation of symbols

1…コールドスプレー装置
10…コールドスプレー部
11N…ノズル
13…ガス加熱器(ガス加熱部)
50…基材温度調整部(基材加熱部)
B…基材
A…材料粉体
G…作動ガス
R…皮膜
K1…基材の加熱温度(第一所定温度)
K2…作動ガスの加熱温度(第二所定温度)
DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 ... Cold spray apparatus 10 ... Cold spray part 11N ... Nozzle 13 ... Gas heater (gas heating part)
50. Base material temperature adjustment part (base material heating part)
B ... Substrate A ... Material powder G ... Working gas R ... Coating K1 ... Substrate heating temperature (first predetermined temperature)
K2 ... Working gas heating temperature (second predetermined temperature)

Claims (8)

材料粉末をノズルから高速で噴射して基材上に堆積させるコールドスプレー方法において、
レーザ加熱装置によって前記基材の前記材料粉末を吹き付ける領域のみを第一所定温度に温度制御する第一工程と、
前記基材に向けて前記材料粉末を噴射する第二工程と、
を有することを特徴とするコールドスプレー方法。
In a cold spray method in which material powder is sprayed at high speed from a nozzle and deposited on a substrate,
A first step of controlling the temperature of only the region of the substrate on which the material powder is sprayed by a laser heating device to a first predetermined temperature;
A second step of injecting the material powder toward the substrate;
A cold spray method characterized by comprising:
前記第一所定温度は、前記材料粉末の融点以下の温度であることを特徴とする請求項1に記載のコールドスプレー方法。   The cold spray method according to claim 1, wherein the first predetermined temperature is a temperature not higher than a melting point of the material powder. 前記第一所定温度(絶対温度)は、前記材料粉末の融点(絶対温度)の約半分の温度であることを特徴とする請求項2に記載のコールドスプレー方法。   3. The cold spray method according to claim 2, wherein the first predetermined temperature (absolute temperature) is about half the melting point (absolute temperature) of the material powder. 前記第一所定温度は、前記基材の融点以下の温度であることを特徴とする請求項1から請求項3のうちいずれか一項に記載のコールドスプレー方法。   The cold spray method according to any one of claims 1 to 3, wherein the first predetermined temperature is a temperature equal to or lower than a melting point of the base material. 前記第一所定温度(絶対温度)は、前記基材の融点(絶対温度)の約半分の温度であることを特徴とする請求項4に記載のコールドスプレー方法。   5. The cold spray method according to claim 4, wherein the first predetermined temperature (absolute temperature) is about half the melting point (absolute temperature) of the substrate. 第二工程は、前記ノズルから前記材料粉末と共に噴射する作動ガスにより前記材料粉末を前記第一所定温度以下の第二所定温度に予加熱する工程を含むことを特徴とする請求項1から請求項5のうちいずれか一項に記載のコールドスプレー方法。   The second step includes a step of preheating the material powder to a second predetermined temperature that is equal to or lower than the first predetermined temperature by a working gas injected together with the material powder from the nozzle. The cold spray method according to any one of 5. 材料粉末をノズルから高速で噴射して基材上に堆積させるコールドスプレー装置において、
レーザ加熱装置によって前記基材の前記材料粉末を吹き付ける領域のみを前記材料粉末の融点以下の第一所定温度に加熱する基材加熱部と、
前記基材に向けて前記材料粉末を噴射するコールドスプレー部と、
を備えることを特徴とするコールドスプレー装置。
In a cold spray device in which material powder is sprayed at high speed from a nozzle and deposited on a substrate,
A base material heating section that heats only the region of the base material to which the material powder is sprayed by a laser heating device to a first predetermined temperature below the melting point of the material powder;
A cold spray unit for injecting the material powder toward the substrate;
A cold spray device comprising:
前記コールドスプレー部は、前記ノズルから前記材料粉末と共に噴射する作動ガスを前記第一所定温度以下の第二所定温度に加熱するガス加熱部を備えることを特徴とする請求項7に記載のコールドスプレー装置。   The cold spray unit according to claim 7, wherein the cold spray unit includes a gas heating unit that heats a working gas sprayed together with the material powder from the nozzle to a second predetermined temperature that is equal to or lower than the first predetermined temperature. apparatus.
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