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JP4978284B2 - Method for producing graphite sheet - Google Patents
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Description

本発明は、放熱部品等に用いられる柔軟性を有するグラファイトシートの製造方法に関するものである。   The present invention relates to a method for producing a flexible graphite sheet used for a heat dissipation component or the like.

小型、高性能化が進展する電子機器において、LSIやパワーアンプなどから発する熱を効率よく拡散、放熱するために種々の放熱部品が提案され、用いられている。   In electronic devices that are becoming smaller and have higher performance, various heat dissipating parts have been proposed and used for efficiently diffusing and dissipating heat generated from LSIs and power amplifiers.

特に携帯電話機などのような小型・薄型の電子機器においては、面方向の熱伝導率が100〜1000W/(m・K)と大きく、熱の拡散や放熱に最適な、黒鉛を主成分とするグラファイトシートが用いられている。   Especially in small and thin electronic devices such as cellular phones, the thermal conductivity in the surface direction is as large as 100 to 1000 W / (m · K), and it is mainly composed of graphite, which is optimal for heat diffusion and heat dissipation. A graphite sheet is used.

グラファイトシートの中でも、特に有機フィルムを高温で熱分解して得られる熱分解グラファイトシートは、熱伝導率が高く、広く用いられるに至っている。   Among graphite sheets, pyrolytic graphite sheets obtained by thermally decomposing organic films at high temperatures have high thermal conductivity and have been widely used.

この熱分解グラファイトシートでは、ポリイミドフィルムを2500℃以上で高温熱処理したままのグラファイトシートはやや硬くて柔軟性が乏しいため、圧延ローラー装置を使用して圧延処理し、柔軟化することが提案されている。   In this pyrolytic graphite sheet, it is suggested that a graphite sheet that has been heat-treated at 2500 ° C. or higher at a high temperature is somewhat hard and lacks flexibility. Yes.

なお、本出願の発明に関する先行技術文献情報としては、例えば、特許文献1が知られている。
特開2000−16808号公報
For example, Patent Document 1 is known as prior art document information relating to the invention of the present application.
JP 2000-16808 A

上記の熱分解グラファイトシートでは、有機フィルムが熱分解するときに収縮するが、この収縮が有機フィルムの幅方向と長さ方向でやや異なるため、熱分解後のグラファイトシートの両端部分に収縮歪が発生し、シートの両端部分が波打った状態となることがある。   In the above pyrolytic graphite sheet, the organic film shrinks when thermally decomposing, but since this shrinkage is slightly different in the width direction and the length direction of the organic film, shrinkage strain is generated at both ends of the pyrolytic graphite sheet. It may occur, and the both end portions of the sheet may be wavy.

このため上記の特許文献1に記載された方法を用いて圧延ローラーに挟み込んで圧延処理を行った場合に、比較的平坦な部分と波打った部分とが同時に圧延ローラーの狭い間隙を強制的に通過させられるため、平坦な部分と波打った部分との境界でグラファイトシートの一部が破れたり、波打った両端部分が圧延ローラーの回転についていけずに、圧延ローラーにより押し潰されて皺が発生したりして、歩留まりが低下するという課題があった。   For this reason, when the rolling process is performed by sandwiching between the rolling rollers using the method described in Patent Document 1, a relatively flat portion and a wavy portion simultaneously force a narrow gap between the rolling rollers. Because it is allowed to pass through, a part of the graphite sheet is torn at the boundary between the flat part and the undulated part, or the undulated both ends cannot follow the rotation of the rolling roller and are crushed by the rolling roller to cause wrinkles. Or a problem that the yield decreases.

そこで本発明のグラファイトシートの製造方法は、熱分解後のグラファイトシートの柔軟化工程において、グラファイトシートの破れや皺の発生を低減して歩留まりを向上することを目的とする。   Accordingly, the method for producing a graphite sheet of the present invention aims to improve the yield by reducing the tearing of the graphite sheet and the generation of wrinkles in the step of softening the graphite sheet after pyrolysis.

そしてこの目的を達成するために、本発明のグラファイトシートの製造方法は、有機フィルムを熱分解してグラファイトシートを作製する工程と、この熱分解後のグラファイトシートを柔軟化する柔軟化工程とを有するものであって、この柔軟化工程は、熱分解後のグラファイトシートを互いに平行な一対の平板で挟み、この一対の平板の少なくとも一方をグラファイトシートに対して略平行方向に摺動させることによりグラファイトシートを柔軟化することを特徴とするグラファイトシートの製造方法である。   In order to achieve this object, the method for producing a graphite sheet of the present invention comprises a step of thermally decomposing an organic film to produce a graphite sheet, and a softening step of softening the graphite sheet after the pyrolysis. In this softening step, the pyrolytic graphite sheet is sandwiched between a pair of parallel flat plates, and at least one of the pair of flat plates is slid in a direction substantially parallel to the graphite sheet. A graphite sheet manufacturing method characterized by softening a graphite sheet.

本発明によれば、グラファイトシートを平板で挟んでこの平板の少なくとも一方を摺動させることにより、熱分解後のグラファイトシート両端の歪を延ばしつつ柔軟化を行うことができるため、柔軟化後のグラファイトシートの破れや、皺の発生を抑制でき、歩留まりを向上することができる。   According to the present invention, since the graphite sheet is sandwiched between flat plates and at least one of the flat plates is slid, the softening can be performed while extending the strain at both ends of the pyrolytic graphite sheet. It is possible to suppress the breakage of the graphite sheet and the generation of wrinkles and improve the yield.

以下、本発明のグラファイトシートの製造方法について一実施の形態および図面を用いて説明する。   Hereinafter, a method for producing a graphite sheet of the present invention will be described with reference to an embodiment and drawings.

(実施の形態1)
図1は本実施の形態1のグラファイトシートの柔軟化工程を模式的に示す断面図であり、熱分解後のグラファイトシート1が一対の互いに平行なステンレス製の平板2、3間に挟まれ、この一対の平板2、3がグラファイトシート1と接する面にポリプロピレン(以降PPと称する)よりなるカバー層4、5が設けられている。
(Embodiment 1)
FIG. 1 is a cross-sectional view schematically showing a process of softening a graphite sheet according to the first embodiment, in which a graphite sheet 1 after pyrolysis is sandwiched between a pair of mutually parallel stainless steel plates 2 and 3. Cover layers 4 and 5 made of polypropylene (hereinafter referred to as PP) are provided on the surfaces where the pair of flat plates 2 and 3 are in contact with the graphite sheet 1.

カバー層4、5は、硬い平板とグラファイトシートが直接接触した場合に平板の状態の影響でグラファイトシートに傷や欠陥が発生するのを防止するという役割を有している。   The cover layers 4 and 5 have a role of preventing the graphite sheet from being damaged or defective due to the influence of the state of the flat plate when the hard flat plate and the graphite sheet are in direct contact.

図中6、7の符号を付与した部分は、平板2、3を摺動させるための駆動軸であり、図中の矢印は、駆動軸6、7の回転方向を示す。   In the figure, the portions denoted by reference numerals 6 and 7 are drive shafts for sliding the flat plates 2 and 3, and the arrows in the figure indicate the rotation directions of the drive shafts 6 and 7.

本実施の形態1のグラファイトシートの製造方法のうち、まずグラファイトシートの作製について、以下に説明する。   Of the method for producing a graphite sheet according to the first embodiment, first, the production of the graphite sheet will be described below.

本実施の形態1のグラファイトシートは有機フィルムを高温で熱分解することにより得られ、この熱分解に用いられる有機フィルムとしては、グラファイト化反応が可能である縮合系芳香族高分子フィルム、例えば芳香族系ポリイミドフィルムが用いられる。   The graphite sheet of the first embodiment is obtained by thermally decomposing an organic film at a high temperature. As the organic film used for the pyrolysis, a condensed aromatic polymer film capable of performing a graphitization reaction, for example, aromatic A group polyimide film is used.

この有機フィルムを、まず窒素やアルゴンなどの不活性ガス雰囲気中で最高温度1000℃から1200℃まで予備熱処理を行う。   This organic film is first preliminarily heat-treated from a maximum temperature of 1000 ° C. to 1200 ° C. in an inert gas atmosphere such as nitrogen or argon.

その後、さらに同じく不活性ガス雰囲気中で、最高温度2500℃以上で高温熱処理を行って、熱分解グラファイトシートを作製する。   Thereafter, similarly, a high-temperature heat treatment is performed at a maximum temperature of 2500 ° C. or higher in an inert gas atmosphere to produce a pyrolytic graphite sheet.

このようにして作製した熱分解後のグラファイトシートは、硬くてもろく、繰り返し曲げ試験などを行うと数回から数十回で破断するなど柔軟性が十分ではない。   The pyrolytic graphite sheet produced in this way is hard and brittle, and is not flexible enough to be broken several times to several tens of times when subjected to repeated bending tests.

なお、この場合の繰り返し曲げ試験としては、繰り返し曲げ試験機(例えば株式会社東洋精機製のMIT耐揉疲労試験機)を用いて、曲げ半径Rが5mmで、静止状態から左右に90度(合計180度)の曲げ角度で試験を行ったものである。   In this case, as a repeated bending test, using a repeated bending tester (for example, an MIT fatigue resistance tester manufactured by Toyo Seiki Co., Ltd.), the bending radius R is 5 mm, and the left and right are 90 degrees (total) The test was conducted at a bending angle of 180 degrees.

そこで、この熱処理後のグラファイトシートに十分な柔軟性を付与するために柔軟化工程を行う。   Therefore, a softening step is performed in order to give sufficient flexibility to the graphite sheet after the heat treatment.

柔軟化工程は、図1に示したように、PPよりなるカバー層4、5を設けた平板2、3間に上記の熱処理後のグラファイトシート1を挟み、平板2、3間に2kg/cm2〜20kg/cm2程度の圧力をかけた状態で駆動軸6、7を1分間に5〜20回転の速度で回転させる。 As shown in FIG. 1, the softening process is performed by sandwiching the above-mentioned heat-treated graphite sheet 1 between the flat plates 2 and 3 provided with the cover layers 4 and 5 made of PP, and between the flat plates 2 and 3 at 2 kg / cm. The drive shafts 6 and 7 are rotated at a speed of 5 to 20 revolutions per minute while a pressure of about 2 to 20 kg / cm 2 is applied.

そしてこの駆動軸6、7の回転により、平板2、3が互いに平行なまま、互いの平板の回転方向が逆方向となる回転摺動を行わせ、柔軟化処理を行う。   Then, the rotation of the drive shafts 6 and 7 causes the flat plates 2 and 3 to be in parallel with each other, and the sliding movement is performed in which the rotation directions of the flat plates are opposite to each other, thereby performing the softening process.

逆方向となる回転摺動とは、例えば平板2が駆動軸6の上から見て平板の面内方向で時計回りの摺動を行うとき、平板3は反時計回りの摺動を行うことを意味する。平板2、3は、柔軟化処理を行うグラファイトシート1がはみ出すことのないように、十分広いものを用いる。   For example, when the flat plate 2 slides clockwise in the in-plane direction of the flat plate as viewed from the top of the drive shaft 6, the flat plate 3 slides counterclockwise. means. The flat plates 2 and 3 are sufficiently wide so that the graphite sheet 1 to be softened does not protrude.

このようにして柔軟化処理を行った後のグラファイトシート1には破れた部分や皺はなく、均一なグラファイトシートが得られた。   Thus, the graphite sheet 1 after the softening treatment did not have a torn part or wrinkles, and a uniform graphite sheet was obtained.

このグラファイトシート1について、上記に示した条件で繰り返し曲げ試験を行った結果、50000回の曲げ試験でも破断はみられず、柔軟性が著しく向上したことが確認できた。   The graphite sheet 1 was repeatedly subjected to a bending test under the conditions described above. As a result, it was confirmed that the flexibility was remarkably improved without being broken even in the bending test of 50000 times.

本実施の形態1では平板2と平板3の両方を互いに平行に対向させたまま、互いに逆方向に回転摺動をさせたが、必ずしも両方の平板2、3を摺動させる必要はなく、平板2か平板3のいずれか一方を固定して、他方を摺動させても均一な柔軟化処理を行うことができる。   In the first embodiment, both the flat plate 2 and the flat plate 3 are rotated and slid in opposite directions with both the flat plate 2 and the flat plate 3 facing each other in parallel. However, it is not always necessary to slide both the flat plates 2 and 3. Even if one of the plate 2 and the flat plate 3 is fixed and the other is slid, the uniform softening treatment can be performed.

また、本実施の形態1では駆動軸6、7の位置は固定して駆動軸の回りで回転させる自転的な摺動を行ったが、駆動軸6、7の位置が円または楕円を描くように移動する公転的な摺動を行っても良く、この自転摺動と公転摺動を組み合わせて柔軟化処理を行っても良い。   In the first embodiment, the positions of the drive shafts 6 and 7 are fixed and rotated around the drive shaft to rotate. However, the positions of the drive shafts 6 and 7 draw a circle or an ellipse. The revolving sliding which moves to (3) may be performed, and the softening treatment may be performed by combining this rotational sliding and the revolving sliding.

(実施の形態2)
図2は、本実施の形態2における柔軟化工程の断面図であり、図2において図1と同じ構成要素には同じ符号を付して説明は簡略化する。
(Embodiment 2)
FIG. 2 is a cross-sectional view of the softening process in the second embodiment. In FIG. 2, the same components as those in FIG.

本実施の形態2が実施の形態1と異なる点は、グラファイトシート1を挟む一対の平板2、3の摺動として、平板2、3の面方向で直線状に往復摺動をさせて柔軟化処理を行う点である。   The difference between the second embodiment and the first embodiment is that the pair of flat plates 2 and 3 sandwiching the graphite sheet 1 slides linearly in the plane direction of the flat plates 2 and 3 to be flexible. It is a point to process.

実施の形態1で得られたものと同じ熱処理後のグラファイトシート1を図2に示すように、カバー層4、5で表面を覆った平板2、3の間に挟み、2kg/cm2〜20kg/cm2の圧力をかけた状態で、駆動軸6、7を直線状に逆方向に相対速度として10〜30cm/秒の速度で小刻みに摺動させつつ、平板2と平板3を逆方向に直線状に数十回往復摺動させた。 As shown in FIG. 2, the graphite sheet 1 after the same heat treatment as that obtained in the first embodiment is sandwiched between flat plates 2 and 3 whose surfaces are covered with cover layers 4 and 5, and 2 kg / cm 2 to 20 kg. while applying a pressure of / cm 2, while little by little slide at a speed of 10 to 30 cm / sec in the reverse direction to drive shaft 6, 7 linearly as the relative speed, the flat plate 2 and the flat plate 3 in the opposite direction It was slid back and forth several times in a straight line.

往復摺動としては、例えば平板2が図2でグラファイトシート1に平行な方向で右方向に動くとき、平板3は左方向へ動き、逆に平板2が左方向へ動くときには平板3は右方向に動くというように、平板2と平板3が逆の摺動方向で往復摺動を繰り返すものである。   For example, when the flat plate 2 moves to the right in the direction parallel to the graphite sheet 1 in FIG. 2, the flat plate 3 moves to the left, and conversely when the flat plate 2 moves to the left, the flat plate 3 moves to the right. The flat plate 2 and the flat plate 3 repeat reciprocating sliding in opposite sliding directions.

このようにして得られた柔軟化処理後のグラファイトシート1についても実施の形態1と同様の方向で繰り返し曲げ試験を行った。   The graphite sheet 1 after the softening treatment thus obtained was repeatedly subjected to a bending test in the same direction as in the first embodiment.

その結果は実施の形態1と同様に、50000回の曲げ試験でもグラファイトシート1の破断は見られず、十分柔軟化されていることが確認できた。   As a result, as in the first embodiment, the graphite sheet 1 was not broken even in a bending test of 50000 times, and it was confirmed that the graphite sheet 1 was sufficiently softened.

本実施の形態2では平板2と平板3の両方を往復摺動させたが、摺動させるのは平板2か平板3のいずれか一方とし、他方の平板は固定した状態で平板による摺動を加えてもよい。   In the second embodiment, both the flat plate 2 and the flat plate 3 are slid back and forth. However, either the flat plate 2 or the flat plate 3 is slid, and the other flat plate is slid by the flat plate while being fixed. May be added.

また、図2の平板2、3に平行な左右方向の摺動に加えて、紙面に対して垂直方向で平板に平行な前後方向の摺動を行ってもよい。ただし、この場合、まず平板2が左右方向に動くときは平板3が逆の左右方向に動いて柔軟化処理を行い、その後平板2が前後方向に動くときは平板3が逆の前後方向に動くというように、平板2、3の摺動方向が直交しないように摺動させることが好ましい。   In addition to the sliding in the left-right direction parallel to the flat plates 2 and 3 in FIG. 2, the sliding in the front-rear direction parallel to the flat plate in the direction perpendicular to the paper surface may be performed. However, in this case, first, when the flat plate 2 moves in the left-right direction, the flat plate 3 moves in the opposite left-right direction to perform the softening process, and then when the flat plate 2 moves in the front-back direction, the flat plate 3 moves in the reverse front-back direction. Thus, it is preferable to slide the flat plates 2 and 3 so that the sliding directions are not orthogonal.

実施の形態1、2ではグラファイトシート1と対向する平板2、3にPPよりなるカバー層4、5を設けて柔軟化処理を行ったが、一対の平板2、3として例えばプラスティック板などを用いた場合にはPPなどのカバー層は必ずしも必要ではない。   In the first and second embodiments, the cover layers 4 and 5 made of PP are provided on the flat plates 2 and 3 opposed to the graphite sheet 1 to perform the softening treatment. In such a case, a cover layer such as PP is not always necessary.

また、カバー層4、5の材質としてはPP(ポリプロピレン)に限定されるものではなく、例えばポリイミドやポリエチレンテレフタレート、PPS(ポリフェニレンサルファイド)などの有機フィルムを用いることもできる。   The material of the cover layers 4 and 5 is not limited to PP (polypropylene), and organic films such as polyimide, polyethylene terephthalate, and PPS (polyphenylene sulfide) can also be used.

また、グラファイトシート1は滑りやすいため、グラファイトシート1と平板2、3間に適度の摩擦を生じさせて柔軟化処理を行うことも効果があり、この場合は平板2、3がグラファイトシートと対向する面の表面粗さを適当な値にするか、この表面に細かい溝状の凹凸を形成すればよい。   In addition, since the graphite sheet 1 is slippery, it is also effective to perform a softening treatment by generating appropriate friction between the graphite sheet 1 and the flat plates 2 and 3. In this case, the flat plates 2 and 3 face the graphite sheet. The surface roughness of the surface to be processed may be set to an appropriate value, or fine groove-shaped irregularities may be formed on this surface.

また、一対の平板2、3のグラファイトシートと対向する面に設けたカバー層と平板との間に、柔軟な緩衝体を挟んで柔軟化処理を行うようにすることも好ましい。   Moreover, it is also preferable to perform the softening process by sandwiching a flexible buffer between the flat plate and the cover layer provided on the surface facing the graphite sheet of the pair of flat plates 2 and 3.

緩衝体を挟んで柔軟化を行うことにより、柔軟化されるグラファイトシートに厚みが不均一な部分や凹凸を有する部分があっても、緩衝体の作用によりグラファイトシートにかかる局部的な応力を緩和できるため、より均一で欠陥発生のないグラファイトシートを製造することができるものである。   By softening with a buffer, even if the graphite sheet to be softened has uneven thickness or uneven parts, local stress on the graphite sheet is relieved by the action of the buffer. Therefore, it is possible to produce a more uniform graphite sheet with no defects.

この緩衝体としては、特に限定されるものではないが、例えば発泡ウレタンや、セルローススポンジなどのスポンジのようなクッション性を有する材料などの他、例えば不織布などを用いることができ、またこれらを組み合わせて用いてもよい。   The buffer is not particularly limited. For example, a cushioning material such as urethane foam or a sponge such as cellulose sponge may be used, for example, a nonwoven fabric, or a combination thereof. May be used.

グラファイトシートを平板に挟んで柔軟化を行うことにより、グラファイトシートの、特に両端部の破れや皺の発生を低減しつつ柔軟化を行うことができ、グラファイトシートの歩留まりを向上することができるため、熱分解グラファイトシートの製造方法等に有用である。   By softening the graphite sheet between flat plates, it is possible to soften the graphite sheet while reducing the occurrence of tears and wrinkles at both ends, and to improve the yield of the graphite sheet. It is useful in a method for producing a pyrolytic graphite sheet.

本発明の実施の形態1における柔軟化工程を模式的に示す断面図Sectional drawing which shows typically the softening process in Embodiment 1 of this invention. 本発明の実施の形態2における柔軟化工程を模式的に示す断面図Sectional drawing which shows typically the softening process in Embodiment 2 of this invention

符号の説明Explanation of symbols

1 グラファイトシート
2、3 平板
4、5 カバー層
6、7 駆動軸
1 Graphite sheet 2, 3 Flat plate 4, 5 Cover layer 6, 7 Drive shaft

Claims (5)

有機フィルムを熱分解してグラファイトシートを作製する工程と、前記グラファイトシートを柔軟化する柔軟化工程とを有するグラファイトシートの製造方法であって、前記柔軟化工程は、前記熱分解後のグラファイトシートを互いに平行な一対の平板で挟み、前記一対の平板の少なくとも一方を前記グラファイトシートに対して略平行方向に摺動させることにより柔軟化することを特徴とするグラファイトシートの製造方法。 A method for producing a graphite sheet, comprising: pyrolyzing an organic film to produce a graphite sheet; and a softening step for softening the graphite sheet, wherein the softening step is performed after the pyrolysis. A method for producing a graphite sheet, comprising: sandwiching a pair of flat plates between each other and sliding at least one of the pair of flat plates in a direction substantially parallel to the graphite sheet. 前記平板を、面方向に回転摺動させる請求項1に記載のグラファイトシートの製造方法。 The method for producing a graphite sheet according to claim 1, wherein the flat plate is rotated and slid in a plane direction. 前記平板を、面方向に直線状に往復摺動させる請求項1に記載のグラファイトシートの製造方法。 The method for producing a graphite sheet according to claim 1, wherein the flat plate is slid back and forth linearly in a plane direction. 前記一対の平板の、グラファイトシートと対向する面にカバー層を設けたことを特徴とする請求項1から3のいずれか一つに記載のグラファイトシートの製造方法。 The method for producing a graphite sheet according to any one of claims 1 to 3, wherein a cover layer is provided on a surface of the pair of flat plates facing the graphite sheet. 前記平板と前記カバー層との間に緩衝体を設けたことを特徴とする請求項4に記載のグラファイトシートの製造方法。 The method for producing a graphite sheet according to claim 4, wherein a buffer is provided between the flat plate and the cover layer.
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