JP4983482B2 - 振動型の物理量センサの検査装置 - Google Patents

Description

本発明は、振動型の物理量センサの検査装置に関するものである。

従来、振動型の物理量センサの一例としては、特許文献１に記載されるような振動型の角速度センサがあった。
特開平７−２６０４９５号公報

ところで、振動型の角速度センサの特性を検査する場合、回転可能な検査用基板に複数の角速度センサを並べて、角速度センサに電源供給を行い駆動振動させつつ、検査用基板を回転させることによって行うことがある。また、このように検査する場合、角速度センサ同士の干渉を抑制するために、検査用基板に並べられた複数の角速度センサに対して順番に電源供給を行い駆動振動させて検査を行うことが考えられる。

しかしながら、角速度センサは、電源が供給されることによって自己発熱する。そして、図７、図８に示すように、特性を調整する前の角速度センサは、自己発熱によって検出特性が変動すると共に、検出特性が安定するまでに時間がかかる。なお、図７は、角速度センサにおける調整前のセンサ出力温度特性例を示すグラフである。図８は、角速度センサにおける電源供給後のセンサ出力特性例を示すグラフである。

したがって、上述のような方法では、複数の角速度センサの夫々において、電源供給の開始から検出特性が安定するまでの待ち時間が必要となり効率よく検査ができないという問題があった。

本発明は、上記問題点に鑑みなされたものであり、効率よく正確に検査ができる振動型の物理量センサの検査装置を提供することを目的とする。

上記目的を達成するために請求項１に記載の振動型の物理量センサの検査装置は、振動部を駆動振動させながら振動部に作用する外力に基づいた検出信号を出力する振動型の物理量センサの検査装置であって、複数の物理量センサが搭載された検査用部材を駆動することによって、複数の物理量センサにおける振動部に外力を与える外力付加手段と、検査用部材に搭載された複数の物理量センサに対して電源を供給する電源供給手段と、動作中の検査用部材に搭載され電源が供給されている状態の複数の物理量センサに対して、順番に振動部を駆動振動させて検出信号を出力させ、その検出信号に基づいて検査を行う検査手段とを備えることを特徴とするものである。

このように、電源が供給されている状態の複数の物理量センサに対して、順番に振動部を振動させて検査することによって、振動部を振動させていない物理量センサにおける自己発熱を維持することができる。したがって、複数の物理量センサを検査する際に、自己発熱による検出特性が安定するまでの待ち時間を短縮でき、効率よく検査することができる。また、複数の物理量センサの振動部を順番に振動させて検査を行うので、他の物理量センサの振動による影響を抑制でき正確に検査することができる。

また、請求項２に示すように、外力付加手段は、検査用部材を回転駆動することによって、複数の物理量センサにおける振動部に回転力を与える回転駆動機構を有するようにしてもよい。このようにすることによって、振動型のジャイロセンサの検査を行うことができる。

また、物理量センサとしては、請求項３に示すように、振動部として、駆動信号に基づいて一定振幅で駆動振動されると共に、駆動振動に応じた駆動振動検知信号を出力する駆動用のセンサエレメント、及び駆動用のセンサエレメントが駆動振動されている際に加わったヨーに応じたヨー検知信号を出力するヨー検出用のセンサエレメントを含み、駆動振動検知信号を信号処理して、駆動信号を出力する駆動部と、ヨー検知信号を信号処理して、ヨーに応じた検出信号を発生させるヨー検知部とを備え、駆動部は、通電状態において、駆動信号の出力と停止を切り替える切替部を備えるようにしてもよい。

また、請求項４に示すように、物量センサは、駆動部とヨー検知部での信号処理に用いられるデータを記憶する記憶部を備えるものであり、駆動部は、記憶部に駆動信号の出力と停止を切り替える切替信号を入力することで、切替部に切り替え状態を保持し続ける制御信号を出力するようにしてもよい。

また、請求項５に示すように、切替部に電気的に接続される切り替え用のパッドを備え、切替部は、パッドから電圧を印加している間、切り替え状態を保持するようにしてもよい。

また、請求項６に示すように、物理量センサは、切替部が停止状態のとき、外部から駆動信号を入力することが可能な外部入力手段を備えるようにしてもよい。このようにしても、振動部を駆動振動させて検査を行うことができる。

また、請求項７に示すように、各物理量センサは、一本の信号配線に対してスイッチを介して接続されており、検査手段は、スイッチを選択することによって、順番に物理量センサの振動部を駆動振動させるようにしてもよい。このようにすることによって、信号配線を各物理量センサに一本の信号配線を用意する必要がないので好ましい。

また、請求項８に示すように、複数の物理量センサに電源が供給された状態で、各物理量センサの駆動信号の周波数を測定する周波数測定手段と、駆動信号の周波数をもとに駆動振動させる物理量センサを選択する選択手段とを備えるようにしてもよい。このようにすることによって、他の物理量センサの振動による影響を確実に抑制でき正確に検査することができるので好ましい。

また、請求項９に示すように、検査手段は、複数の物理量センサを１台ずつ順番に駆動振動させるようにしてもよい。このようにしても、他の物理量センサの振動による影響を確実に抑制でき正確に検査することができるので好ましい。

以下、本発明の実施の形態を図に基づいて説明する。図１は、本発明の実施の形態におけるジャイロセンサの概略構成を示すブロック図である。図２は、本発明の実施の形態における駆動回路の部分的な回路図である。図３は、本発明の実施の形態における検査ボード（検査用部材）の概略構成を示すイメージ図である。図４は、本発明の実施の形態における検査用部材の概略構成を示す回路図である。図５は、本発明の実施の形態における検査装置の概略構成を示すイメージ図である。図６は、本発明の実施の形態における検査工程を示すフロー図である。なお、本実施の形態においては、振動型の物理量センサとして振動型の角速度センサを適用した例を用いて説明する。

まず、図１及び図２に基づいて振動型のジャイロセンサに関して説明する。ジャイロセンサは、振動子１と回路部１０とを備える。回路部１０は、ＣＶ変換回路２、増幅回路３、調整回路４、駆動回路５を含む駆動部Ａと、ＣＶ変換回路６、増幅回路７、同期検波回路８、ＬＰＦ調整回路９を含む出力部Ｂ（ヨー検知部）と、記憶部Ｃとを備える。

振動子１は、駆動用および検知用のセンサエレメント（図示せず）を備えており、駆動用のセンサエレメントが駆動振動を行っている際に外力（ヨー）が発生すると、コリオリ力によって一対で構成された検知用のセンサエレメントが振動するようになっている。この振動子１は、一対の検知用のセンサエレメントそれぞれでの振動に応じた出力を発生させると共に、駆動用のセンサエレメントが的確に駆動振動しているかを検出するために駆動振動に応じた出力を発生させるようになっている。

駆動部は、センサ駆動電源、昇圧回路、オペアンプを含む駆動回路５、ＣＶ変換回路２、増幅回路３、調整回路４が含まれている。そして、駆動部は、振動子１における駆動用のセンサエレメントを振動させるためのものであり、駆動用のセンサエレメントからの駆動振動検知信号を信号処理することで駆動信号を出力させる。なお、センサ駆動電源のかわりに外部から電源供給するようにしてもよい。

駆動回路５は、振動子１における駆動用のセンサエレメントに対して駆動用の電圧（駆動信号）を印加するものである。この駆動回路５は、昇圧回路にて、例えば外部から供給される電源電圧を昇圧することで振動子１における駆動用のセンサエレメントを振動させるための電圧を形成する。そして、駆動用のセンサエレメントを所定振幅かつ所定周波数で駆動するために、所定の周波数の電圧を駆動信号として駆動用のセンサエレメントに対して出力する。

ＣＶ変換回路２は、振動子１から、振動子１における駆動用のセンサエレメントの駆動振動に応じた容量値を示す検知信号（以下、駆動振動検知信号という）を受け取り、それを電圧変換するものである。このＣＶ変換回路２での電圧変換後の駆動振動検知信号が増幅回路３に入力されるようになっている。

増幅回路３は、ＣＶ変換回路２によって電圧変換された駆動振動検知信号を所定の電圧値まで増幅するものである。調整回路４は、駆動信号の位相を調整すると共に、振動子１の駆動振動が一定振幅となるように調整するものである。

上記したように駆動回路５により駆動振動検知信号に基づいて駆動信号が形成されることになるため、駆動振動検知信号の位相が実際に駆動用のセンサエレメントに出力したい駆動信号の位相とずれている。この位相のズレを修復するために、駆動振動検知信号の位相を調整し、駆動信号の位相に合わせなければならない。このため、調整回路４によって、駆動振動検知信号の位相が補正され、その結果、それに基づいて形成される駆動信号の位相が調整されるようになっている。これにより、駆動信号の周波数が所定の周波数とされる。

また、調整回路４は、駆動振動検知信号から現在の駆動用のセンサエレメントの振幅を検知すると共に、その振幅が一定となるように駆動信号を補正するようになっている。この調整回路４からの信号に基づいて、駆動回路５が出力させる駆動信号が調整され、その結果、振動子１における駆動用のセンサエレメントが一定の振幅かつ所定の周波数で駆動振動させられることになる。

また、駆動回路５は、図２に示すように、オペアンプ５１の出力段にアンプ動作停止スイッチ（切替部）５２を備える。アンプ動作停止スイッチ５２は、後ほど説明するモード切替信号に基づいて、オフ又はオンすることによって駆動信号の出力と停止を切り換えるものである。駆動回路５は、アンプ動作停止スイッチ５２がオフである場合はオペアンプ５１が動作して駆動信号を出力し（振動モード）、オンである場合はオペアンプ５１が停止して駆動信号の出力を停止する（停止モード）。つまり、ジャイロセンサに電源が供給されている場合、アンプ動作停止スイッチ５２がオフになるとＣＶ変換回路２、増幅回路３、調整回路４、駆動回路５、ＣＶ変換回路６、増幅回路７、同期検波回路８、ＬＰＦ調整回路９が動作状態となり、アンプ動作停止スイッチ５２がオンになるとＣＶ変換回路２、増幅回路３、調整回路４、ＣＶ変換回路６、増幅回路７、同期検波回路８、ＬＰＦ調整回路９は動作状態となり、駆動回路５は動作しない状態となる。

また、駆動回路５は、外部入力用スイッチ１２を設けるようにしてもよい。この場合、外部入力用スイッチ１２がオンの時だけ外部入力を許可するものである。

また、回路部１０には、切り替え用パッド４０が設けられており、この切り替え用パッド４０から電圧を印加して、アンプ動作停止スイッチ（切替部）５２に切替信号を出力するようにしてもよい。そして、アンプ動作停止スイッチ（切替部）５２は、切り替え用パッド４０から電圧が印加されている間、切り替え状態を保持するようにする。このようにすることによって、切り替え用パッド４０を用いて、強制的にアンプ動作停止スイッチ（切替部）５２を動作させることも可能となる。

また、駆動回路５は、記憶部Ｃに駆動信号の出力と停止を切り替える切替信号を入力することで、アンプ動作停止スイッチ（切替部）５２に切り替え状態を保持し続ける制御信号を出力するようにしてもよい。つまり、アンプ動作停止スイッチ（切替部）５２の切り替え方法として、記憶部Ｃにテストモードを用意しておいて、テストモードの一つを切り替えるように設定するものである。

なお、アンプ動作停止スイッチ（切替部）５２が停止状態のとき、外部から駆動信号を入力することが可能な外部入力部を設けるようにしてもよい。このようにすることによって、駆動信号を自由に入力することができるので好ましい。

出力部は、振動子１における検知用のセンサエレメントからの検知信号を信号処理することでセンサ出力を得るものである。この出力部には、ＣＶ変換回路６、増幅回路７、同期検波回路８およびＬＰＦ調整回路９が含まれている。

ＣＶ変換回路６は、検知用のセンサエレメントに対して外力（ヨー）が加わったときに発生する振動に応じた容量値で示される検知信号（以下、検知信号という）を電圧変換するものである。このＣＶ変換回路６は、検知用のセンサエレメントが一対の左右対称構造として設けられた場合には、２つのチャージアンプによって構成され、それぞれのチャージアンプによってヨー検知信号に応じた電圧が出力されるようになっている。このＣＶ変換回路６の出力した電圧が増幅回路７に入力されるようになっている。

増幅回路７は、電圧変換されたヨー検知信号を所定ゲインで増幅するものである。この増幅回路７は、上記したＣＶ変換回路６が２つのチャージアンプで構成される場合には、それらの出力の差動を増幅する差動増幅回路として構成される。この増幅回路７の出力が同期検波回路８に入力されるようになっている。

同期検波回路８は、増幅回路７で増幅された検知信号の中から駆動周波数以外のノイズ成分を除去するものである。例えば、同期検波回路８は、調整回路４によって調整された位相に基づいて、増幅回路７の出力から駆動信号の周波数と同期する成分を通過させるようになっている。この同期検波回路８の出力がＬＰＦ調整回路９に出力するようになっている。

ＬＰＦ調整回路９は、同期検波回路８を通過後の信号のうち、所定周波数以下の成分のみを抽出するものである。このＬＰＦ調整回路９がセンサ出力として用いられることになるが、このＬＰＦ調整回路９を通過した後の信号（検出信号）にも、出力オフセットや感度の温度特性が含まれていることから、それを調整するために、０点・感度温特調整回路を設けることもできる。

また、記憶部Ｃは、ＥＥＰＲＯＭなどからなり、駆動部Ａと出力部Ｂ（ヨー検知部）での信号処理に用いられるデータが記憶されている。

次に、図３及び図４に基づいて、上述のようなジャイロセンサを検査する際に用いる検査ボード２０に関して説明する。この検査ボード２０は、本発明における検査用部材に相当するものであり、ジャイロセンサが搭載される複数のソケット２１（本実施の形態においては４つ）、ジャイロセンサへの電源供給及び信号の入出力のためのコネクタ２２、ジャイロセンサへの電源供給状態を切り換える電源用スイッチ２３、ジャイロセンサへの信号の入力及びジャイロセンサからの信号の出力を切り換える信号用スイッチ２４などを備える。つまり、この検査ボード２０には、複数のジャイロセンサが搭載可能となっている。そして、この検査ボード２０の複数のソケット２１にジャイロセンサを搭載すると、図４に示すような回路構成となる。つまり、各ジャイロセンサは、電源用スイッチ２３を介して電源及びＧＮＤ（グランド）と接続される。さらに、各ジャイロセンサは、信号用スイッチ２４を介して検出信号が出力（センサ出力）されたり、一本の信号配線を介してモード切替信号が入力されたりする。なお、図４に示すように、ジャイロセンサ（センサＡ〜Ｄ）は、一本の信号配線に対して信号用スイッチ２４（スイッチ）を介して接続されている。そして、後ほど説明するように、制御装置３０は、信号用スイッチ２４を選択することによって、順番にジャイロセンサ（センサＡ〜Ｄ）の振動部を駆動振動させるものである。このようにすることによって、信号配線を各ジャイロセンサ（センサＡ〜Ｄ）に一本の信号配線を用意する必要がないので好ましい。

次に、図５に基づいて、ジャイロセンサの検査装置に関して説明する。図５に示すように、検査装置は、検査ボード２０が配置される回転テーブル３２と、この回転テーブル３２の回転中心軸上に配設されるスリップリング（図示省略）、回転装置などが設けられる台座３１と、電源部、制御部、検査部などを含む制御装置３０などを備える。

回転テーブル３２上には、検査対象である複数のジャイロセンサが搭載された検査ボード２０が配置される。複数のジャイロセンサは、検査ボード２０のコネクタ２２、配線材、スリップリングなどを介して制御装置３０に接続される。

制御装置３０の電源部は、各ジャイロセンサの回路部１０に電源（駆動電圧Ｖｃｃ）を供給する構成を有している。制御装置３０の制御部は、電源用スイッチ２３を切り替えて各ジャイロセンサの電源状態を切り替えたり、信号用スイッチ２４を切り替えて各ジャイロセンサの駆動回路５にモード切替信号を出力したり、回転装置に回転を指示する指示信号を出力ことによって回転テーブル３２を回転させたりする構成を有している。制御装置３０の検査部は、各ジャイロセンサの出力部（ＬＰＦ調整回路９）からのセンサ出力（検出信号）を検査する構成を有している。

なお、回転テーブル３２は、回転装置からの駆動力によってＺ軸（地面に対して垂直方法）を中心軸として回転するものである。スリップリングは、回転装置からの駆動力によって回転テーブル３２が回転する際に、配線材等が絡まるのを防止するものである。

上述のような検査装置にてジャイロセンサを検査する場合、まず、検査ボード２０のソケット２１に複数のジャイロセンサを配置する。そして、複数のジャイロセンサが配置された検査ボード２０を回転テーブル３２に配置すると共に、検査ボード２０のコネクタ２２と制御装置３０とを配線材にて接続する。このようにして、複数のジャイロセンサなどと制御装置３０とが電気的に接続される。

次に、制御装置３０の制御部は、電源用スイッチ２３をオンにして、電源部から回転テーブル３２上に検査ボード２０介して配置された各ジャイロセンサの回路部１０に電源を供給する。なお、検査中は、電源用スイッチ２３は常にオン状態とされ、ジャイロセンサの回路部１０には常に電源が供給される。そして、制御装置３０の制御部は、回転装置に回転を指示する指示信号を出力ことによって回転テーブル３２を回転させる。これによって、回転テーブル３２上に配置された検査ボード２０が回転（駆動）され、複数のジャイロセンサにおける振動子１に外力を与える（外力付加手段）。

そして、制御装置３０の制御部は、動作中の検査ボード２０に搭載され、電源が供給されている状態の複数のジャイロセンサに対して、順番に振動子１を振動させて、回転テーブル３２の回転によって振動子１に与えられた外力に基づいた検出信号を出力させる（検査手段）。そして、制御装置３０の検査部は、その検出信号に基づいて検査を行う（検査手段）。

つまり、制御装置３０は、図６に示すように、センサＡの振動子１を振動させて検査を行っている場合は、全てのジャイロセンサに電源供給を行いつつ、他のセンサ（センサＢ〜センサＤ）の振動子１は停止させておく。同様に、センサＢの振動子１を振動させて検査を行っている場合は、全てのジャイロセンサに電源供給を行いつつ、他のセンサ（センサＡ、センサＣ、センサＤ）の振動子１は停止させておく。同様に、センサＣの振動子１を振動させて検査を行っている場合は、全てのジャイロセンサに電源供給を行いつつ、他のセンサ（センサＡ、センサＢ、センサＤ）の振動子１は停止させておく。同様に、センサＤの振動子１を振動させて検査を行っている場合は、全てのジャイロセンサに電源供給を行いつつ、他のセンサ（センサＡ、センサＢ、センサＣ）の振動子１は停止させておく。

より具体的には、制御装置３０の制御部は、信号用スイッチ２４における一つのジャイロセンサ（例えば、センサＡであり、検査対象のジャイロセンサとも称する）に接続される信号用スイッチ２４のみをオンとして、この検査対象のジャイロセンサに対してアンプ動作停止スイッチ５２がオフとなるように制御信号を出力する。これによって、この検査対象のジャイロセンサ（センサＡ）は、振動子１が駆動振動して、回転テーブル３２の回転によって振動子１に与えられた外力に基づいた検出信号を出力する。一方、検査対象でないジャイロセンサ（センサＢ〜センサＤ）は、制御装置３０の電源部から電源供給はされるものの、振動子１は停止しており、信号用スイッチ２４もオフとなっているため、検出信号を制御装置３０に出力しない。このような処理を複数のジャイロセンサに対して、一つずつ順番に行っていく。

このように、電源が供給されている状態の複数のジャイロセンサに対して、一つずつ順番に振動子１を振動させて検査することによって、振動子１を振動させていないジャイロセンサにおける自己発熱を維持することができる。したがって、複数のジャイロセンサを検査する際に、自己発熱による検出特性が安定するまでの待ち時間を短縮でき、効率よく検査することができる。また、複数のジャイロセンサの振動子を一つずつ順番に振動させて検査を行うので、他のジャイロセンサの振動による影響を抑制でき正確に検査することができる。

なお、上述の実施の形態においては、複数のジャイロセンサにおいて、一つずつ検査を行う例を用いて説明したが本発明はこれに限定されるものではない。複数のジャイロセンサにおいて、駆動振動の向きが揃ったジャイロセンサを選択して止めるようにしてもよい。

また、検査装置に、複数のジャイロセンサに電源が供給された状態で、各ジャイロセンサの駆動信号の周波数を測定する周波数測定部と、駆動信号の周波数をもとに駆動振動させるジャイロセンサを選択する選択部とを備えるようにしてもよい。このようにすることによって、他の物理量センサの振動による影響を確実に抑制でき正確に検査することができるので好ましい。

また、上述の実施の形態においては、振動型の物理量センサとしてジャイロセンサを例として説明したが本発明はこれに限定されるものではない。振動を検出原理に持つセンサであれば本発明の目的は達成できるものである。

本発明の実施の形態におけるジャイロセンサの概略構成を示すブロック図である。 本発明の実施の形態における駆動回路の部分的な回路図である。 本発明の実施の形態における検査ボード（検査用部材）の概略構成を示すイメージ図である。 本発明の実施の形態における検査用部材の概略構成を示す回路図である。 本発明の実施の形態における検査装置の概略構成を示すイメージ図である。 本発明の実施の形態における検査工程を示すフロー図である。 角速度センサにおける調整前のセンサ出力温度特性例を示すグラフである。 角速度センサにおける電源供給後のセンサ出力特性例を示すグラフである。

符号の説明

１ 振動子（振動部）、２ ＣＶ変換回路、３ 増幅回路、４ 調整回路、５ 駆動回路、５１ オペアンプ、５２ アンプ動作停止スイッチ（切替部）、６ ＣＶ変換回路、７ 増幅回路、８ 同期検波回路、９ ＬＰＦ調整回路、１０ 回路部１２ 外部入力用スイッチ、２０ 検査ボード（検査用部材）、２１ ソケット、２２ コネクタ、２３ 電源用スイッチ、２４ 信号用スイッチ、３０ 制御装置、３１ 台座、３２ 回転テーブル、４０ 切り替え用パッド

Claims (9)

1. 振動部を駆動振動させながら当該振動部に作用する外力に基づいた検出信号を出力する振動型の物理量センサの検査装置であって、
   複数の前記物理量センサが搭載された検査用部材を駆動することによって、複数の前記物理量センサにおける前記振動部に外力を与える外力付加手段と、
   前記検査用部材に搭載された複数の前記物理量センサに対して電源を供給する電源供給手段と、
   動作中の前記検査用部材に搭載され、電源が供給されている状態の複数の前記物理量センサに対して、順番に前記振動部を駆動振動させて前記検出信号を出力させ、当該検出信号に基づいて検査を行う検査手段と、
   を備えることを特徴とする振動型の物理量センサの検査装置。
2. 前記外力付加手段は、前記検査用部材を回転駆動することによって、複数の前記物理量センサにおける前記振動部に回転力を与える回転駆動機構を有することを特徴とする請求項１に記載の振動型の物理量センサの検査装置。
3. 前記物理量センサは、
   前記振動部として、駆動信号に基づいて一定振幅で駆動振動されると共に、当該駆動振動に応じた駆動振動検知信号を出力する駆動用のセンサエレメント、及び当該駆動用のセンサエレメントが駆動振動されている際に加わったヨーに応じたヨー検知信号を出力するヨー検出用のセンサエレメントを含み、
   前記駆動振動検知信号を信号処理して、前記駆動信号を出力する駆動部と、
   前記ヨー検知信号を信号処理して、前記ヨーに応じた検出信号を発生させるヨー検知部とを備え、
   前記駆動部は、通電状態において、前記駆動信号の出力と停止を切り替える切替部を備えることを特徴とする請求項１又は２に記載の振動型の物理量センサの検査装置。
4. 前記物理量センサは、前記駆動部と前記ヨー検知部での信号処理に用いられるデータを記憶する記憶部を備えるものであり、前記駆動部は、前記記憶部に駆動信号の出力と停止を切り替える切替信号を入力することで、前記切替部に切り替え状態を保持し続ける制御信号を出力することを特徴とする請求項３に記載の振動型の物理量センサの検査装置。
5. 前記切替部に電気的に接続される切り替え用のパッドを備え、前記切替部は、当該パッドから電圧を印加している間、切り替え状態を保持することを特徴とする請求項３に記載の振動型の物理量センサの検査装置。
6. 前記物理量センサは、前記切替部が停止状態のとき、外部から駆動信号を入力することが可能な外部入力手段を備えることを特徴とする請求項３乃至５のいずれか一項に記載の振動型の物理量センサの検査装置。
7. 各物理量センサは、一本の信号配線に対してスイッチを介して接続されており、前記検査手段は、前記スイッチを選択することによって、順番に前記物理量センサの前記振動部を駆動振動させることを特徴とする請求項１乃至６のいずれか一項に記載の振動型の物理量センサの検査装置。
8. 複数の前記物理量センサに電源が供給された状態で、各物理量センサの駆動信号の周波数を測定する周波数測定手段と、駆動信号の周波数をもとに駆動振動させる物理量センサを選択する選択手段とを備えることを特徴とする請求項１乃至７のいずれか一項に記載の振動型の物理量センサの検査装置。
9. 前記検査手段は、複数の前記物理量センサを１台ずつ順番に駆動振動させることを特徴とする請求項１乃至請求項７のいずれか一項に記載の振動型の物理量センサの検査装置。

Images