JP4985564B2

JP4985564B2 - Branch levitation conveyor and substrate levitation transport system

Info

Publication number: JP4985564B2
Application number: JP2008167793A
Authority: JP
Inventors: 賢輔平田
Original assignee: IHI Corp
Current assignee: IHI Corp
Priority date: 2008-06-26
Filing date: 2008-06-26
Publication date: 2012-07-25
Anticipated expiration: 2028-06-26
Also published as: JP2010006545A

Description

本発明は、基板の搬送ラインを分岐可能であって、基板を鉛直方向に対して傾斜させた状態で搬送方向へ浮上搬送する分岐浮上コンベア等に関する。 The present invention relates to a branching and floating conveyor that can branch a substrate transfer line and float and transfer a substrate in the transfer direction in a state where the substrate is inclined with respect to the vertical direction.

近年、クリーン搬送の分野では、ガラス基板等の基板（薄板基板）を搬送方向へ浮上搬送する基板浮上搬送システムについて種々の研究開発がなされており、従来の基板浮上搬送システムの中には、基板の搬送ラインを第１搬送ラインから第２搬送ラインに分岐させる分岐機能を有したものもある。そして、分岐機能を有した基板浮上搬送システムの構成等は、次のようになる。 In recent years, in the field of clean conveyance, various research and development have been conducted on a substrate levitation conveyance system that floats and conveys a substrate (thin plate substrate) such as a glass substrate in the conveyance direction. Some have a branching function that branches the first transport line from the first transport line to the second transport line. And the structure etc. of the board | substrate floating conveyance system with a branch function are as follows.

即ち、第１搬送ライン上には、基板を搬送方向へ浮上搬送する上流浮上コンベアが配設されており、第１搬送ライン上における上流浮上コンベアの下流側には、基板を搬送方向へ浮上搬送する第１下流浮上コンベアが配設されている。また、第２搬送ライン上には、基板を搬送方向へ浮上搬送する第２下流浮上コンベアが第１下流浮上コンベアと搬送幅方向に隣接するように配設されている。更に、上流浮上コンベアと下流浮上コンベアとの間には、基板を搬送方向へ浮上搬送する分岐浮上コンベアが配設されており、この分岐浮上コンベアは、基板の搬送ラインを第１搬送ラインから第２搬送ラインに分岐可能である。そして、基板浮上搬送システムにおける分岐浮上コンベアの具体的な構成は、次のようになる。 That is, an upstream levitation conveyor that floats and conveys the substrate in the conveyance direction is disposed on the first conveyance line, and the substrate is floated and conveyed in the conveyance direction on the downstream side of the upstream levitation conveyor on the first conveyance line. A first downstream levitation conveyor is disposed. In addition, a second downstream levitation conveyor for levitating and conveying the substrate in the conveyance direction is disposed on the second conveyance line so as to be adjacent to the first downstream levitation conveyor in the conveyance width direction. Further, a branch levitation conveyor is provided between the upstream levitation conveyor and the downstream levitation conveyor. The branch levitation conveyor moves the substrate transfer line from the first transfer line to the first transfer line. It is possible to branch into two transport lines. And the concrete structure of the branch levitation conveyor in a substrate levitation conveyance system is as follows.

上流浮上コンベアと下流浮上コンベアの間には、分岐コンベア本体（分岐コンベアフレーム）が配設されており、この分岐コンベア本体は、第１下流浮上コンベアと搬送方向に隣接する第１本体位置と、第２下流浮上コンベアと搬送方向に隣接する第２本体位置との間で搬送幅方向へ移動可能である。また、分岐コンベア本体の近傍には、分岐コンベア本体を搬送幅方向へ移動させるコンベア本体移動用モータが設けられている。 A branch conveyor body (branch conveyor frame) is disposed between the upstream levitation conveyor and the downstream levitation conveyor. The branch conveyor body has a first body position adjacent to the first downstream levitation conveyor in the transport direction; It can move in the conveyance width direction between the second downstream levitation conveyor and the second main body position adjacent in the conveyance direction. Further, a conveyor body moving motor for moving the branch conveyor body in the transport width direction is provided in the vicinity of the branch conveyor body.

分岐コンベア本体の適宜位置には、基板を搬送方向へ搬送する搬送ユニットが設けられている。また、分岐コンベア本体の上部には、圧縮空気（エア）の圧力によって基板を浮上させる複数の浮上ユニットが設けられており、各浮上ユニットの頂面には、圧縮空気を噴出するノズルがそれぞれ形成されている。更に、分岐コンベア本体の適宜位置又は分岐コンベア本体の近傍には、複数の浮上ユニットの内部へ圧縮空気を供給するブロワが設けられている。 A transport unit for transporting the substrate in the transport direction is provided at an appropriate position of the branch conveyor body. The upper part of the branch conveyor body is provided with a plurality of floating units that float the substrate by the pressure of compressed air (air), and nozzles that eject compressed air are formed on the top surface of each floating unit. Has been. Furthermore, a blower for supplying compressed air to the inside of the plurality of floating units is provided at an appropriate position of the branch conveyor body or in the vicinity of the branch conveyor body.

従って、基板の搬送ラインを分岐させないで、基板を第１搬送ラインに沿って搬送方向へ浮上搬送する場合には、次のように基板浮上搬送システム（主に、分岐浮上コンベア）を稼動させる。 Therefore, when the substrate is floated and transported in the transport direction along the first transport line without branching the substrate transport line, the substrate floating transport system (mainly, the branching and floating conveyor) is operated as follows.

即ち、上流浮上コンベアによる基板の浮上搬送中に、ブロワによって複数の浮上ユニットの内部へ圧縮空気を供給して、複数の浮上ユニットのノズルから圧縮空気を噴出させておく。これにより、基板を上流浮上コンベア側から分岐浮上コンベア側（分岐コンベア本体側）へ送り出すことができる。なお、このとき、分岐コンベア本体は、第１本体位置に位置している。 That is, during the floating transportation of the substrate by the upstream floating conveyor, the compressed air is supplied into the plurality of floating units by the blower, and the compressed air is ejected from the nozzles of the plurality of floating units. Thereby, a board | substrate can be sent out from the upstream levitation conveyor side to the branch levitation conveyor side (branch conveyor main body side). At this time, the branch conveyor main body is located at the first main body position.

基板を分岐浮上コンベア側へ送り出した後に、複数の浮上ユニットのノズルから圧縮空気を噴出させつつ、搬送ユニットを適宜に動作させる。これにより、基板を第１搬送ラインに沿って搬送方向へ浮上搬送することができる。 After the substrate is sent out to the branching and floating conveyor side, the transport unit is appropriately operated while the compressed air is ejected from the nozzles of the plurality of floating units. Thereby, the substrate can be levitated and conveyed in the conveyance direction along the first conveyance line.

基板の搬送ラインを第１搬送ラインから第２搬送ラインに分岐させて、基板を搬送方向へ浮上搬送する場合には、次のように基板浮上搬送システムを稼動させる。 When the substrate transfer line is branched from the first transfer line to the second transfer line and the substrate is lifted and transferred in the transfer direction, the substrate floating transfer system is operated as follows.

基板を分岐浮上コンベア側へ送り出した後に、複数の浮上ユニットのノズルから圧縮空気を噴出させつつ、本体移動用アクチュエータの駆動によって分岐コンベア本体を第１本体位置から第２本体位置まで移動させる。これにより、基板の浮上搬送の途中に、基板の搬送ラインを第１搬送ラインから第２搬送ラインに分岐させることができる。 After the substrate is sent to the branching and floating conveyor side, the branching conveyor main body is moved from the first main body position to the second main body position by driving the main body moving actuator while jetting compressed air from the nozzles of the plurality of floating units. Thus, the substrate transfer line can be branched from the first transfer line to the second transfer line during the floating transfer of the substrate.

基板の搬送ラインを分岐させた後に、複数の第２浮上ユニットのノズルから圧縮空気を噴出させつつ、搬送ユニットを適宜に動作させる。これにより、基板を第２搬送ラインに沿って搬送方向へ浮上搬送することができる。 After branching the substrate transport line, the transport unit is appropriately operated while jetting compressed air from the nozzles of the plurality of second levitation units. Thereby, the substrate can be levitated and conveyed in the conveyance direction along the second conveyance line.

なお、本発明に関連する先行技術として特許文献１に示すものがある。
特開２００５−７５４９６号公報 In addition, there exists a thing shown to patent document 1 as a prior art relevant to this invention.
JP-A-2005-75496

ところで、基板の搬送ラインを分岐させるには、前述のように、分岐コンベア本体を第１本体位置から第２本体位置へ移動させる必要がある。そのため、基板の搬送ラインの分岐に要する時間が長くなって、多数の基板を浮上搬送する際における基板の搬送効率を十分に高めることが困難であるという問題がある。 By the way, in order to branch the substrate transfer line, it is necessary to move the branch conveyor body from the first body position to the second body position as described above. For this reason, there is a problem that the time required for branching the substrate transfer line becomes long, and it is difficult to sufficiently increase the substrate transfer efficiency when a large number of substrates are floated and transferred.

そこで、本発明は、前述の問題を解決することができる、新規な構成の分岐浮上コンベア及び基板浮上搬送システムを提供すること目的とする。 Accordingly, an object of the present invention is to provide a branch levitation conveyor and a substrate levitation conveyance system having a novel configuration that can solve the above-described problems.

第１発明の第１の特徴は、基板の搬送ラインを分岐可能であって、基板を鉛直方向に対して傾斜させた状態で搬送方向へ浮上搬送する分岐浮上コンベアにおいて、鉛直方向に対して一方側に傾斜した第１傾斜部を有し、搬送方向へ延びた第１分岐コンベア本体と、前記第１分岐コンベア本体と搬送幅方向に隣接するように配設され、鉛直方向に対して他方側に傾斜しかつ前記第１分岐コンベア本体の前記第１傾斜部に対向する第２傾斜部を有し、搬送方向へ延びた第２分岐コンベア本体と、前記第１分岐コンベア本体と前記第２分岐コンベア本体の少なくともいずれかに設けられ、鉛直方向に対して傾斜させた状態で基板を搬送方向へ搬送する搬送ユニットと、前記第１分岐コンベア本体の前記第１傾斜部に設けられ、頂面（上面）に浮上ガスを噴出する第１ノズルがそれぞれ形成され、浮上ガスの圧力によって基板を浮上させる複数の第１浮上ユニットと、複数の第１浮上ユニットの内部へ浮上ガスを供給する第１ガス供給源と、前記第２分岐コンベア本体の前記第２傾斜部に設けられ、頂面に浮上ガスを噴出する第２ノズルがそれぞれ形成され、浮上ガスの圧力によって基板を浮上させる複数の第２浮上ユニットと、複数の第２浮上ユニットの内部へ浮上ガスを供給する第２ガス供給源と、前記第１ガス供給源から複数の前記第１浮上ユニットの内部へ供給される浮上ガスの圧力（換言すれば、複数の前記第１浮上ユニットの内部における浮上ガスの圧力）を、基板を浮上搬送する際の基準圧力と、この基準圧力よりも大きくかつ基板を前記第１分岐コンベア本体の前記第１傾斜部側（換言すれば、複数の前記第１浮上ユニット側）から前記第２分岐コンベア本体の前記第２傾斜部側（換言すれば、複数の前記第２浮上ユニット側）へ受け渡し可能な受渡圧力に切替える圧力切替手段と、を具備したことを要旨とする。 A first feature of the first aspect of the invention is a branched levitation conveyor that can divide a substrate conveyance line and float and convey the substrate in the conveyance direction with the substrate inclined with respect to the vertical direction. A first branching conveyor main body having a first inclined portion inclined to the side and extending in the conveying direction; and disposed adjacent to the first branching conveyor main body in the conveying width direction, the other side with respect to the vertical direction The second branch conveyor main body extending in the transport direction, the first branch conveyor main body, and the second branch. A conveyor unit that is provided in at least one of the conveyor bodies and that is inclined with respect to the vertical direction, and is provided in the first inclined portion of the first branch conveyor body; Levitation gas on top surface) A plurality of first levitation units that levitate the substrate by the pressure of the levitation gas, a first gas supply source that supplies the levitation gas to the inside of the plurality of first levitation units, A plurality of second levitation units provided on the second inclined portion of the second branch conveyor body, each having a second nozzle for ejecting levitation gas on the top surface, and levitation of the substrate by the pressure of the levitation gas; A second gas supply source for supplying a levitation gas to the inside of the second levitation unit, and a pressure of the levitation gas supplied from the first gas supply source to the inside of the plurality of first levitation units (in other words, a plurality of The pressure of the floating gas in the first floating unit) is larger than the reference pressure when the substrate is floated and conveyed, and the first inclination of the first branch conveyor body is larger than the reference pressure. Delivery pressure that can be delivered from the section side (in other words, the plurality of first floating unit sides) to the second inclined section side (in other words, the plurality of second floating unit sides) of the second branch conveyor body And a pressure switching means for switching to the gist.

ここで、本発明の特徴は、複数の前記第１浮上ユニットの内部における浮上ガスの圧力を前記基準圧力から徐々に高くして、浮上ガスの圧力が所定の圧力に達したときに、複数の前記第１浮上ユニット側から複数の前記第２浮上ユニット側へ基板を受け渡すことができるという、新規な知見に基づくものであり、この新規な知見は、本願の発明者が種々の試験等を行って得られたものである。 Here, a feature of the present invention is that when the pressure of the levitation gas in the plurality of first levitation units is gradually increased from the reference pressure and the pressure of the levitation gas reaches a predetermined pressure, This new knowledge is based on the novel knowledge that the substrate can be transferred from the first levitation unit side to the plurality of second levitation unit sides. It was obtained by going.

なお、本願の特許請求の範囲及び明細書において、「設けられ」とは、直接的に設けられたことの他に、ブラケット等の別部材を介して間接的に設けられたことを含む意であって、「浮上ガス」とは、圧縮空気（エア）、アルゴンガス、窒素ガス等を含む意であって、搬送幅方向とは、搬送方向に直交する水平方向のことである。 In the claims and specification of the present application, “provided” means not only directly provided but also indirectly provided via another member such as a bracket. The “floating gas” means compressed air (air), argon gas, nitrogen gas, and the like, and the conveyance width direction is a horizontal direction orthogonal to the conveyance direction.

本発明の特徴により、基板の搬送ラインを分岐させないで、基板を鉛直方向に対して傾斜させた状態で搬送方向へ浮上搬送する場合には、次のように前記分岐浮上コンベアを稼動させる。 According to the features of the present invention, when the substrate is levitated and conveyed in the conveying direction in a state where the substrate is inclined with respect to the vertical direction without branching the substrate conveying line, the branching and floating conveyor is operated as follows.

即ち、前記第１分岐コンベア本体の上流側に隣接するように配設した上流浮上コンベアによる基板の浮上搬送中に、前記第１ガス供給源によって複数の前記第１浮上ユニットの内部へ浮上ガスを供給して、複数の前記第１浮上ユニットの前記第１ノズルから浮上ガスを噴出させておく。これにより、基板を前記上流浮上コンベア側から前記第１分岐コンベア本体の前記第１傾斜部側へ送り出すことができる。 That is, during the floating transportation of the substrate by the upstream floating conveyor disposed so as to be adjacent to the upstream side of the first branch conveyor main body, the floating gas is caused to flow into the plurality of first floating units by the first gas supply source. The levitation gas is ejected from the first nozzles of the plurality of first levitation units. Thereby, a board | substrate can be sent out to the said 1st inclination part side of a said 1st branch conveyor main body from the said upstream floating conveyor side.

基板を前記第１分岐コンベア本体の前記第１傾斜部側へ送り出した後に、複数の前記第１浮上ユニットの前記第１ノズルから浮上ガスを噴出させつつ、前記搬送ユニットを適宜に動作させる。これにより、基板を鉛直方向に対して一方側に傾斜させた状態で搬送方向へ浮上搬送して、前記第１分岐コンベア本体の前記第１傾斜部側から前記第１分岐コンベア本体の下流側に隣接するように配設した第１下流浮上コンベア側へ送り出すことができる。 After the substrate is sent to the first inclined portion side of the first branch conveyor main body, the transport unit is appropriately operated while jetting the floating gas from the first nozzles of the plurality of first floating units. As a result, the substrate is levitated and conveyed in the conveying direction while being inclined to one side with respect to the vertical direction, from the first inclined portion side of the first branch conveyor body to the downstream side of the first branch conveyor body. It can send out to the 1st downstream floating conveyor side arrange | positioned so that it may adjoin.

基板の搬送ラインを分岐させて、基板を搬送方向へ浮上搬送する場合には、次のように前記分岐浮上コンベアを稼動させる。 When the substrate transfer line is branched and the substrate is lifted and transferred in the transfer direction, the branching and floating conveyor is operated as follows.

即ち、基板を前記第１分岐コンベア本体の前記第１傾斜部側へ基板を送り出した後に、前記圧力切替手段によって複数の前記第１浮上ユニットの内部における浮上ガスの圧力を前記基準圧力から前記受渡圧力に切替えて、基板を前記第１分岐コンベア本体の前記第１傾斜部側から前記第２分岐コンベア本体の前記第２傾斜部側へ受け渡す。これにより、基板の浮上搬送の途中に、基板の搬送ラインを分岐させることができる。なお、基板の搬送ラインを分岐させる前に、前記第２ガス供給源によって複数の前記第２浮上ユニットの内部へ浮上ガスを供給して、複数の前記第２ユニットの前記第２ノズルから浮上ガスを噴出させておくと共に、基板の搬送ラインの分岐させた後に、前記圧力切替手段によって複数の前記第１浮上ユニットの内部における浮上ガスの圧力を前記受渡圧力から前記基準圧力に切替える。 That is, after the substrate is sent out to the first inclined portion side of the first branch conveyor main body, the pressure switching means causes the pressure of the levitation gas in the plurality of first levitation units from the reference pressure to the delivery. The pressure is switched to transfer the substrate from the first inclined portion side of the first branch conveyor body to the second inclined portion side of the second branch conveyor body. Thus, the substrate transfer line can be branched during the floating transfer of the substrate. Before branching the substrate transfer line, the floating gas is supplied from the second nozzles of the plurality of second units by supplying the floating gas to the inside of the plurality of second floating units by the second gas supply source. , And after the substrate transfer line is branched, the pressure switching means switches the pressure of the levitation gas in the plurality of first levitation units from the delivery pressure to the reference pressure.

基板の搬送ラインの分岐させた後に、複数の前記第２浮上ユニットの前記第２ノズルから浮上ガスを噴出させつつ、前記搬送ユニットを適宜に動作させる。これにより、基板を鉛直方向に対して他方側に傾斜させた状態で搬送方向へ浮上搬送して、前記第２分岐コンベア本体の前記第２傾斜部側から前記第２分岐コンベア本体の下流側に隣接するように配設した第２下流浮上コンベア側へ送り出すことができる。 After the substrate transfer line is branched, the transfer unit is appropriately operated while ejecting the floating gas from the second nozzles of the plurality of second floating units. As a result, the substrate is levitated and conveyed in the conveying direction while being inclined to the other side with respect to the vertical direction, and from the second inclined portion side of the second branch conveyor body to the downstream side of the second branch conveyor body. It can send out to the 2nd downstream floating conveyor side arrange | positioned so that it may adjoin.

本発明の第２の特徴は、基板の搬送ラインを第１搬送ラインから第２搬送ラインに分岐させる分岐機能を有し、基板を鉛直方向に対して傾斜させた状態で搬送方向へ浮上搬送する基板浮上搬送システムにおいて、前記第１搬送ライン上に配設され、基板を鉛直方向に対して一方側へ傾斜させた状態で搬送方向へ浮上搬送する上流浮上コンベアと、前記第１搬送ライン上における上流浮上コンベアの下流側に配設され、基板を鉛直方向に対して一方側へ傾斜させた状態で搬送方向へ浮上搬送する第１下流浮上コンベアと、前記第２搬送ライン上に前記第１下流浮上コンベアと搬送幅方向に隣接するように配設され、基板を鉛直方向に対して他方側へ傾斜させた状態で搬送方向へ浮上搬送する第２下流浮上コンベアと、前記第１分岐コンベア本体が前記第１搬送ライン上における前記上流浮上コンベアと前記第１下流浮上コンベアの間に配設され、前記第２分岐コンベア本体が前記第２搬送ライン上における前記第２下流浮上コンベアの上流側に配設され、第１の特徴からなる分岐浮上コンベアと、を具備したことを要旨とする。 The second feature of the present invention has a branching function for branching the substrate transfer line from the first transfer line to the second transfer line, and floats and transfers the substrate in the transfer direction while being inclined with respect to the vertical direction. In the substrate levitation transport system, an upstream levitation conveyor that is disposed on the first transport line and floats and transports the substrate in the transport direction in a state where the substrate is inclined to one side with respect to the vertical direction, and on the first transport line. A first downstream levitation conveyor disposed on the downstream side of the upstream levitation conveyor and levitating and conveying the substrate in the conveyance direction in a state inclined to one side with respect to the vertical direction; and the first downstream on the second conveyance line A second downstream levitation conveyor disposed adjacent to the levitation conveyor in the conveyance width direction and levitates and conveys the substrate in the conveyance direction with the substrate inclined to the other side with respect to the vertical direction; and the first branch conveyor body It is arranged between the upstream levitation conveyor and the first downstream levitation conveyor on the first conveyance line, and the second branch conveyor body is arranged on the upstream side of the second downstream levitation conveyor on the second conveyance line. The gist of the present invention is that it is provided with a branching and floating conveyor having the first characteristic.

なお、第２の特徴によると、第１の特徴による作用と同様の作用を奏する。 In addition, according to the 2nd characteristic, there exists an effect | action similar to the effect | action by a 1st characteristic.

本発明によれば、前記圧力切替手段によって複数の前記第１浮上ユニットの内部における浮上ガスの圧力を前記基準圧力から前記受渡圧力に切替えることにより、基板の搬送ラインを分岐させることができるため、基板の搬送ラインの分岐に要する時間を短縮化して、多数の基板の浮上搬送する際における基板の搬送効率を十分に向上させることができる。 According to the present invention, the substrate transfer line can be branched by switching the pressure of the levitation gas inside the plurality of first levitation units from the reference pressure to the delivery pressure by the pressure switching means. The time required for branching the substrate transfer line can be shortened, and the substrate transfer efficiency when a large number of substrates are floated and transferred can be sufficiently improved.

本発明の実施形態について図１から図５を参照して説明する。 An embodiment of the present invention will be described with reference to FIGS.

ここで、図１は、図２におけるI-I線に沿った拡大図、図２は、本発明の実施形態に係る基板浮上搬送システムの模式的な平面図、図３は、図２におけるIII-III線に沿った拡大図、図４は、図３における矢視部IVを示す拡大図、図５は、図２におけるV-V線に沿った拡大図である。なお、図面中、「ＦＦ」は、前方向、「ＦＲ」は、後方向、「Ｌ」は、左方向、「Ｒ」は、右方向を指してある。 Here, FIG. 1 is an enlarged view taken along line II in FIG. 2, FIG. 2 is a schematic plan view of the substrate floating transfer system according to the embodiment of the present invention, and FIG. 3 is III-III in FIG. 4 is an enlarged view showing the arrow IV in FIG. 3, and FIG. 5 is an enlarged view along the VV line in FIG. In the drawings, “FF” indicates the forward direction, “FR” indicates the backward direction, “L” indicates the left direction, and “R” indicates the right direction.

図２に示すように、本発明の実施形態に係る基板浮上搬送システム１は、ガラス基板等の基板（薄板基板）Ｗを鉛直方向に対して傾斜させた状態で搬送方向（本発明の実施形態にあっては、後方向）へ浮上搬送するシステムであって、基板Ｗの搬送ラインを第１搬送ラインＬ１から第２搬送ラインＬ２に分岐させる分岐機能を有している。そして、基板浮上搬送システム１の概略的な構成は、次のようになる。 As shown in FIG. 2, the substrate levitation transfer system 1 according to the embodiment of the present invention is configured such that a substrate (thin plate substrate) W such as a glass substrate is inclined with respect to the vertical direction (the embodiment of the present invention). In this case, it is a system that floats and conveys in the rearward direction, and has a branching function that branches the transfer line of the substrate W from the first transfer line L1 to the second transfer line L2. The schematic configuration of the substrate floating transfer system 1 is as follows.

第１搬送ラインＬ１上には、基板Ｗを鉛直方向に対して一方側（右方側）へ傾斜させた状態で搬送方向へ浮上搬送する上流浮上コンベア３が配設されており、第１搬送ラインＬ１上における上流浮上コンベア３の下流側には、基板Ｗを鉛直方向に対して一方側へ傾斜させた状態で搬送方向へ浮上搬送する第１下流浮上コンベア５が配設されている。また、第２搬送ラインＬ２上には、基板Ｗを鉛直方向に対して他方側（左方側）へ傾斜させた状態で搬送方向へ浮上搬送する第２下流浮上コンベア７が第１下流浮上コンベア５と搬送幅方向（本発明の実施形態にあっては、左右方向）に隣接するように配設されている。そして、上流浮上コンベア３と下流浮上コンベア５，７との間には、基板Ｗを搬送方向へ浮上搬送する分岐浮上コンベア（中流浮上コンベア）９が配設されており、この分岐浮上コンベア９は、基板Ｗの搬送ラインを第１搬送ラインＬ１から第２搬送ラインＬ２に分岐可能である。なお、搬送中における鉛直方向に対する基板の傾斜角は、１０度である。 An upstream levitation conveyor 3 that floats and conveys the substrate W in the conveyance direction with the substrate W inclined to one side (right side) with respect to the vertical direction is disposed on the first conveyance line L1. On the downstream side of the upstream levitation conveyor 3 on the line L1, a first downstream levitation conveyor 5 that floats and conveys the substrate W in the conveyance direction in a state where the substrate W is inclined to one side with respect to the vertical direction is disposed. In addition, on the second transport line L2, a second downstream levitation conveyor 7 that floats and transports the substrate W in the transport direction in a state where the substrate W is inclined to the other side (left side) with respect to the vertical direction. 5 and the conveyance width direction (in the embodiment of the present invention, the horizontal direction). Between the upstream levitation conveyor 3 and the downstream levitation conveyors 5 and 7, a branch levitation conveyor (middle levitation conveyor) 9 for levitation conveyance of the substrate W in the conveyance direction is disposed. The transfer line of the substrate W can be branched from the first transfer line L1 to the second transfer line L2. Note that the inclination angle of the substrate with respect to the vertical direction during conveyance is 10 degrees.

基板浮上搬送システム１における上流浮上コンベア３の構成は、次のようになる。 The configuration of the upstream levitation conveyor 3 in the substrate levitation conveyance system 1 is as follows.

図３、図４、及び図２に示すように、第１搬送ラインＬ１上には、上流コンベア本体（上流コンベアフレーム）１１が配設されており、この上流コンベア本体１１は、前後方向へ延びてあって、鉛直方向に対して一方側に傾斜（本発明の実施形態にあっては、傾斜角１０度）した傾斜部１１ｓを有している。 As shown in FIGS. 3, 4, and 2, an upstream conveyor body (upstream conveyor frame) 11 is disposed on the first transport line L <b> 1, and the upstream conveyor body 11 extends in the front-rear direction. Therefore, it has an inclined portion 11s inclined to one side with respect to the vertical direction (in the embodiment of the present invention, the inclination angle is 10 degrees).

上流コンベア本体１１には、基板Ｗを鉛直方向に対して一方側に傾斜させた状態で搬送方向へ搬送する上流搬送ユニット１３が設けられている。具体的には、上流コンベア本体１１における傾斜部１１ｓの他方側には、基板Ｗの下縁部を支持する複数の上流搬送ローラ１５がブラケット１７を介して搬送方向に沿って間隔を置いて設けられており、各上流搬送ローラ１５は、搬送幅方向に平行な軸心周りにそれぞれ回転可能である。また、上流コンベア本体１１の適宜位置には、複数の上流搬送ローラ１５を同期して回転させる上流ローラ回転用モータ（上流ローラ回転用アクチュエータの一例）１９が設けられており、この上流ローラ回転用モータ１９の出力軸（図示省略）は、複数の上流搬送ローラ１５の回転軸（図示省略）にウォームホイール及びウォーム等からなる動力伝達機構（図示省略）介して連動連結してある。 The upstream conveyor body 11 is provided with an upstream transport unit 13 that transports the substrate W in the transport direction in a state where the substrate W is inclined to one side with respect to the vertical direction. Specifically, on the other side of the inclined portion 11 s in the upstream conveyor body 11, a plurality of upstream transport rollers 15 that support the lower edge of the substrate W are provided at intervals along the transport direction via the bracket 17. Each upstream transport roller 15 is rotatable around an axis parallel to the transport width direction. In addition, an upstream roller rotating motor (an example of an upstream roller rotating actuator) 19 that rotates a plurality of upstream conveying rollers 15 in synchronization is provided at an appropriate position of the upstream conveyor body 11. An output shaft (not shown) of the motor 19 is connected to a rotating shaft (not shown) of the plurality of upstream conveying rollers 15 via a power transmission mechanism (not shown) including a worm wheel and a worm.

上流コンベア本体１１の傾斜部１１ｓには、圧縮空気（エア）を収容する１つ又は複数の上流チャンバー２１が設けられており、上流チャンバー２１は、前後方向へ延びている。そして、上流チャンバー２１には、圧縮空気の圧力によって基板Ｗを浮上させる複数の上流浮上ユニット２３が設けられており、換言すれば、上流コンベア本体１１の傾斜部１１ｓには、複数の上流浮上ユニット２３が上流チャンバー２１を介して設けられている。また、各上流浮上ユニット２３の内部は、上流チャンバー２１の内部にそれぞれ連通してあって、各上流浮上ユニット２３の頂面（上面）には、圧縮空気を噴出する枠状のノズル２３ｎがそれぞれ形成されている。そして、各ノズル２３ｎは、上流浮上ユニット２３の内部にそれぞれ連通してあって、特開２００６−１８２５６３号公報に示すように、上流浮上ユニット２３の頂面に垂直な方向に対してユニット中心側（上流浮上ユニット２３の中心側）へ傾斜するようにそれぞれ構成されている。なお、各上流浮上ユニット２３の頂面に枠状のノズル２３ｎがそれぞれ形成されるの代わりに、穴状の複数のノズルがそれぞれ形成されるようにしても構わない。 The inclined portion 11s of the upstream conveyor body 11 is provided with one or more upstream chambers 21 for storing compressed air (air), and the upstream chambers 21 extend in the front-rear direction. The upstream chamber 21 is provided with a plurality of upstream levitation units 23 that levitate the substrate W by the pressure of compressed air. In other words, the inclined portion 11s of the upstream conveyor body 11 has a plurality of upstream levitation units. 23 is provided via the upstream chamber 21. Further, the interior of each upstream levitation unit 23 communicates with the interior of the upstream chamber 21, and a frame-like nozzle 23 n that ejects compressed air is provided on the top surface (upper surface) of each upstream levitation unit 23. Is formed. Each nozzle 23n communicates with the inside of the upstream levitation unit 23, and as shown in Japanese Patent Application Laid-Open No. 2006-182563, the nozzle 23n is located on the unit center side with respect to the direction perpendicular to the top surface of the upstream levitation unit 23. Each is configured to be inclined toward the center side of the upstream levitation unit 23. Instead of forming the frame-shaped nozzles 23n on the top surface of each upstream levitation unit 23, a plurality of hole-shaped nozzles may be formed.

上流コンベア本体１１の適宜位置には、上流チャンバー２１の内部を経由して複数の上流浮上ユニット２３の内部へ圧縮空気を供給する上流ブロワ（圧縮空気供給源の一例）２５が設けられており、この上流ブロワ２５は、適宜のエア配管２７を介して上流チャンバー２１に接続されている。 An upstream blower (an example of a compressed air supply source) 25 that supplies compressed air to the inside of the plurality of upstream levitation units 23 via the inside of the upstream chamber 21 is provided at an appropriate position of the upstream conveyor body 11. The upstream blower 25 is connected to the upstream chamber 21 through an appropriate air pipe 27.

基板浮上搬送システム１における第１下流浮上コンベア５の構成は、次のようになる。 The configuration of the first downstream levitation conveyor 5 in the substrate levitation conveyance system 1 is as follows.

図５及び図２に示すように、第１搬送ラインＬ１上における上流浮上コンベア３の下流側は、第１下流コンベア本体（第１下流コンベアフレーム）２９が配設されており、この第１下流コンベア本体２９は、前後方向へ延びてあって、鉛直方向に対して一方側に傾斜（本発明の実施形態にあっては、傾斜角１０度）した傾斜部２９ｓを有している。 As shown in FIGS. 5 and 2, a first downstream conveyor body (first downstream conveyor frame) 29 is disposed on the downstream side of the upstream levitation conveyor 3 on the first conveyance line L <b> 1, and this first downstream side. The conveyor main body 29 extends in the front-rear direction, and has an inclined portion 29 s inclined on one side with respect to the vertical direction (in the embodiment of the present invention, the inclination angle is 10 degrees).

第１下流コンベア本体２９には、基板Ｗを鉛直方向に対して一方側に傾斜させた状態で搬送方向へ搬送する第１下流搬送ユニット３１が設けられている。具体的には、第１下流コンベア本体２９における傾斜部２９ｓの他方側には、基板Ｗの下縁部を支持する複数の第１下流搬送ローラ３３がブラケット３５を介して搬送方向に沿って間隔を置いて設けられており、各第１下流搬送ローラ３３は、搬送幅方向に平行な軸心周りにそれぞれ回転可能である。また、第１下流コンベア本体２９の適宜位置には、複数の第１下流搬送ローラ３３を同期して回転させる第１下流ローラ回転用モータ（第１下流ローラ回転用アクチュエータの一例）３７が設けられており、この第１下流ローラ回転用モータ３７の出力軸（図示省略）は、複数の第１下流搬送ローラ３３の回転軸（図示省略）にウォームホイール及びウォーム等からなる動力伝達機構（図示省略）介して連動連結してある。 The first downstream conveyor body 29 is provided with a first downstream transport unit 31 that transports the substrate W in the transport direction in a state where the substrate W is inclined to one side with respect to the vertical direction. Specifically, on the other side of the inclined portion 29 s in the first downstream conveyor body 29, a plurality of first downstream transport rollers 33 that support the lower edge portion of the substrate W are spaced along the transport direction via the bracket 35. The first downstream transport rollers 33 are rotatable around an axis parallel to the transport width direction. Further, a first downstream roller rotation motor (an example of a first downstream roller rotation actuator) 37 that rotates the plurality of first downstream conveyance rollers 33 in synchronization is provided at an appropriate position of the first downstream conveyor body 29. The output shaft (not shown) of the first downstream roller rotating motor 37 is a power transmission mechanism (not shown) composed of a worm wheel, a worm and the like on the rotating shafts (not shown) of the plurality of first downstream conveying rollers 33. ).

第１下流コンベア本体２９の傾斜部２９ｓには、圧縮空気を収容する１つ又は複数の第１下流チャンバー３９が設けられており、第１下流チャンバー３９は、前後方向へ延びている。そして、第１下流チャンバー３９には、圧縮空気の圧力によって基板Ｗを浮上させる複数の第１下流浮上ユニット４１が設けられており、換言すれば、第１下流コンベア本体２９の傾斜部２９ｓには、複数の第１下流浮上ユニット４１が第１下流チャンバー３９を介して設けられている。また、各第１下流浮上ユニット４１の内部は、第１下流チャンバー３９の内部にそれぞれ連通してあって、各第１下流浮上ユニット４１の頂面には、圧縮空気を噴出する枠状のノズル４１ｎがそれぞれ形成されており、各ノズル４１ｎは、上流浮上ユニット２３のノズル２３ｎと同様の構成をそれぞれ有している。更に、第１下流コンベア本体２９の適宜位置には、第１下流チャンバー３９の内部を経由して複数の第１下流浮上ユニット４１の内部へ圧縮空気を供給する第１下流ブロワ４３が設けられており、この第１下流ブロワ４３は、適宜のエア配管４５を介して第１下流チャンバー３９に接続されている。 The inclined portion 29s of the first downstream conveyor body 29 is provided with one or a plurality of first downstream chambers 39 for containing compressed air, and the first downstream chambers 39 extend in the front-rear direction. The first downstream chamber 39 is provided with a plurality of first downstream levitation units 41 that float the substrate W by the pressure of the compressed air. In other words, the inclined portion 29s of the first downstream conveyor body 29 is provided in the inclined portion 29s. A plurality of first downstream levitation units 41 are provided via a first downstream chamber 39. The interior of each first downstream levitation unit 41 communicates with the interior of the first downstream chamber 39, and a frame-like nozzle that ejects compressed air on the top surface of each first downstream levitation unit 41. 41n is formed, and each nozzle 41n has the same configuration as the nozzle 23n of the upstream levitation unit 23. Furthermore, a first downstream blower 43 that supplies compressed air to the inside of the plurality of first downstream levitation units 41 via the inside of the first downstream chamber 39 is provided at an appropriate position of the first downstream conveyor body 29. The first downstream blower 43 is connected to the first downstream chamber 39 via an appropriate air pipe 45.

基板浮上搬送システム１における第２下流浮上コンベア７の構成は、次のようになる。 The configuration of the second downstream levitation conveyor 7 in the substrate levitation conveyance system 1 is as follows.

図５及び図２に示すように、第２搬送ラインＬ２上には、第２下流コンベア本体（第２下流コンベアフレーム）４７が第１下流コンベア本体２９と搬送幅方向に隣接するように配設されており、この第２下流コンベア本体４７は、前後方向へ延びてあって、鉛直方向に対して他方側に傾斜（本発明の実施形態にあっては、傾斜角１０度）した傾斜部４７ｓを有している。 As shown in FIGS. 5 and 2, a second downstream conveyor body (second downstream conveyor frame) 47 is disposed on the second transport line L2 so as to be adjacent to the first downstream conveyor body 29 in the transport width direction. The second downstream conveyor main body 47 extends in the front-rear direction and is inclined to the other side with respect to the vertical direction (in the embodiment of the present invention, an inclined portion 47 s). have.

第２下流コンベア本体４７には、基板Ｗを鉛直方向に対して他方側に傾斜させた状態で搬送方向へ搬送する第２下流搬送ユニット４９が設けられている。具体的には、第２下流コンベア本体４７における傾斜部４７ｓの一方側には、基板Ｗの下縁部を支持する複数の第２下流搬送ローラ５１がブラケット５３を介して搬送方向に沿って間隔を置いて設けられており、各第２下流搬送ローラ５１は、搬送幅方向に平行な軸心周りにそれぞれ回転可能である。また、第２下流コンベア本体４７の適宜位置には、複数の第２下流搬送ローラ５１を同期して回転させる第２下流ローラ回転用モータ（第２下流ローラ回転用アクチュエータの一例）５５が設けられており、この第２下流ローラ回転用モータ５５の出力軸（図示省略）は、複数の第２下流搬送ローラ５１の回転軸（図示省略）にウォームホイール及びウォーム等からなる動力伝達機構（図示省略）介して連動連結してある。 The second downstream conveyor main body 47 is provided with a second downstream transport unit 49 that transports the substrate W in the transport direction in a state where the substrate W is inclined to the other side with respect to the vertical direction. Specifically, on one side of the inclined portion 47 s in the second downstream conveyor body 47, a plurality of second downstream conveyance rollers 51 that support the lower edge portion of the substrate W are spaced along the conveyance direction via the bracket 53. Each of the second downstream transport rollers 51 is rotatable around an axis parallel to the transport width direction. A second downstream roller rotation motor (an example of a second downstream roller rotation actuator) 55 that rotates the plurality of second downstream transport rollers 51 in synchronization is provided at an appropriate position of the second downstream conveyor body 47. An output shaft (not shown) of the second downstream roller rotating motor 55 is a power transmission mechanism (not shown) including a worm wheel, a worm, and the like on the rotating shafts (not shown) of the plurality of second downstream conveying rollers 51. ).

第２下流コンベア本体４７の傾斜部４７ｓには、圧縮空気を収容する１つ又は複数の第２下流チャンバー５７が設けられており、第２下流チャンバー５７は、前後方向へ延びている。そして、第２下流チャンバー５７には、圧縮空気の圧力によって基板Ｗを浮上させる複数の第２下流浮上ユニット５９が設けられており、換言すれば、第２下流コンベア本体４７の傾斜部４７ｓには、複数の第２下流浮上ユニット５９が第２下流チャンバー５７を介して設けられている。また、各第２下流浮上ユニット５９の内部は、第２下流チャンバー５７の内部にそれぞれ連通してあって、各第２下流浮上ユニット５９の頂面には、圧縮空気を噴出する枠状のノズル５９ｎがそれぞれ形成されており、各ノズル５９ｎは、上流浮上ユニット２３のノズル２３ｎと同様の構成をそれぞれ有している。更に、第２下流コンベア本体４７の適宜位置には、第２下流チャンバー５７の内部を経由して複数の第２下流浮上ユニット５９の内部へ圧縮空気を供給する第２下流ブロワ６１が設けられており、この第２下流ブロワ６１は、適宜のエア配管６３を介して第２下流チャンバー５７に接続されている。 The inclined portion 47s of the second downstream conveyor main body 47 is provided with one or a plurality of second downstream chambers 57 for accommodating compressed air, and the second downstream chambers 57 extend in the front-rear direction. The second downstream chamber 57 is provided with a plurality of second downstream levitation units 59 that levitate the substrate W by the pressure of the compressed air. In other words, the inclined portion 47s of the second downstream conveyor main body 47 includes A plurality of second downstream levitation units 59 are provided via the second downstream chamber 57. Further, the inside of each second downstream levitation unit 59 communicates with the inside of the second downstream chamber 57, and a frame-like nozzle that ejects compressed air on the top surface of each second downstream levitation unit 59 59n is formed, and each nozzle 59n has the same configuration as the nozzle 23n of the upstream levitation unit 23. Furthermore, a second downstream blower 61 that supplies compressed air to the inside of the plurality of second downstream levitation units 59 via the inside of the second downstream chamber 57 is provided at an appropriate position of the second downstream conveyor body 47. The second downstream blower 61 is connected to the second downstream chamber 57 via an appropriate air pipe 63.

基板浮上搬送システム１における分岐浮上コンベア９の構成は、次のようになる。 The structure of the branch levitation conveyor 9 in the substrate levitation conveyance system 1 is as follows.

図１及び図２に示すように、第１搬送ラインＬ１上における上流浮上コンベア３と第１下流浮上コンベア５の間には、第１分岐コンベア本体（第１分岐コンベアフレーム）６５が配設されており、この第１分岐コンベア本体６５は、前後方向へ延びてあって、鉛直方向に対して一方側に傾斜（本発明の実施形態にあっては、傾斜角１０度）した第１傾斜部６５ｓを有している。 As shown in FIGS. 1 and 2, a first branch conveyor body (first branch conveyor frame) 65 is disposed between the upstream floating conveyor 3 and the first downstream floating conveyor 5 on the first transport line L1. The first branch conveyor main body 65 extends in the front-rear direction, and is inclined to one side with respect to the vertical direction (in the embodiment of the present invention, an inclination angle of 10 degrees). 65s.

第２搬送ラインＬ２上における第２下流浮上コンベア７の上流側には、第２分岐コンベア本体（第２分岐コンベアフレーム）６７が配設されており、この第２分岐コンベア本体６７は、一対のガイドレール６９を介して左右方向へ移動可能である。また、第２分岐コンベア本体６７は、前後方向へ延びてあって、鉛直方向に対して他方側に傾斜（本発明の実施形態にあっては、傾斜角１０度）しかつ第１分岐コンベア本体６５の第１傾斜部６５ｓに対向する第２傾斜部６７ｓを有している。そして、第２分岐コンベア本体６７の近傍には、第２分岐コンベア本体６７を左右方向へ移動させるコンベア本体移動用モータ（コンベア本体移動用アクチュエータの一例）６９が設けられている。 A second branch conveyor body (second branch conveyor frame) 67 is disposed upstream of the second downstream levitation conveyor 7 on the second transport line L2, and the second branch conveyor body 67 includes a pair of It can move in the left-right direction via the guide rail 69. The second branch conveyor body 67 extends in the front-rear direction, is inclined to the other side with respect to the vertical direction (in the embodiment of the present invention, the inclination angle is 10 degrees), and the first branch conveyor body It has the 2nd inclination part 67s which opposes 65 1st inclination part 65s. In the vicinity of the second branch conveyor body 67, a conveyor body moving motor (an example of an actuator for moving the conveyor body) 69 that moves the second branch conveyor body 67 in the left-right direction is provided.

第２分岐コンベア本体６７には、基板Ｗを鉛直方向に対して傾斜させた状態で搬送方向へ搬送する中流搬送ユニット７３が設けられている。具体的には、第２分岐コンベア本体６７における第２傾斜部６７ｓの一方側（換言すれば、第１分岐コンベア本体６５の第１傾斜部６５ｓと第２分岐コンベア本体６７の第２傾斜部６７ｓの間）には、基板Ｗの下縁部を支持する複数の中流搬送ローラ７５がブラケット７７を介して搬送方向に沿って間隔を置いて設けられており、各中流搬送ローラ７５は、搬送幅方向に平行な軸心周りにそれぞれ回転可能である。また、第２分岐コンベア本体６７の適宜位置には、複数の中流搬送ローラ７５を同期して回転させる中流ローラ回転用モータ（中流ローラ回転用アクチュエータの一例）７９が設けられており、この中流ローラ回転用モータ７９の出力軸（図示省略）は、複数の中流搬送ローラ７５の回転軸（図示省略）にウォームホイール及びウォーム等からなる動力伝達機構（図示省略）介して連動連結してある。 The second branch conveyor body 67 is provided with a midstream transport unit 73 that transports the substrate W in the transport direction while being inclined with respect to the vertical direction. Specifically, one side of the second inclined portion 67s in the second branch conveyor body 67 (in other words, the first inclined portion 65s of the first branch conveyor body 65 and the second inclined portion 67s of the second branch conveyor body 67). A plurality of middle-stream transport rollers 75 that support the lower edge of the substrate W are provided at intervals along the transport direction via the bracket 77, and each middle-stream transport roller 75 has a transport width. Each can rotate around an axis parallel to the direction. Further, a middle-stream roller rotation motor (an example of an intermediate-stream roller rotation actuator) 79 that rotates a plurality of middle-stream transport rollers 75 in synchronization is provided at an appropriate position of the second branch conveyor body 67. An output shaft (not shown) of the rotation motor 79 is linked and connected to a rotation shaft (not shown) of a plurality of midstream conveying rollers 75 via a power transmission mechanism (not shown) including a worm wheel and a worm.

第１分岐コンベア本体６５の第１傾斜部６５ｓには、圧縮空気を収容する１つ又は複数の第１中流チャンバー８１が設けられており、第１中流チャンバー８１は、前後方向へ延びている。そして、第１中流チャンバー８１には、圧縮空気の圧力によって基板Ｗを浮上させる複数の第１中流浮上ユニット８３が設けられており、換言すれば、第１分岐コンベア本体６５の第１傾斜部６５ｓには、複数の第１中流浮上ユニット８３が第１中流チャンバー８１を介して設けられている。また、各第１中流浮上ユニット８３の内部は、第１中流チャンバー８１の内部にそれぞれ連通してあって、各第１中流浮上ユニット８３の頂面には、圧縮空気を噴出する枠状の第１ノズル８３ｎがそれぞれ形成されており、各第１ノズル８３ｎは、前記ノズル２３ｎと同様の構成をそれぞれ有している。 The first inclined portion 65s of the first branch conveyor main body 65 is provided with one or a plurality of first middle flow chambers 81 for accommodating compressed air, and the first middle flow chamber 81 extends in the front-rear direction. The first intermediate flow chamber 81 is provided with a plurality of first intermediate flow levitation units 83 that float the substrate W by the pressure of compressed air. In other words, the first inclined portion 65s of the first branch conveyor body 65 is provided. A plurality of first midstream levitation units 83 are provided via a first midstream chamber 81. In addition, the inside of each first middle flow levitation unit 83 communicates with the inside of the first middle flow chamber 81, and the top surface of each first middle flow levitation unit 83 has a frame-like second shape for ejecting compressed air. One nozzle 83n is formed, and each first nozzle 83n has the same configuration as the nozzle 23n.

第１分岐コンベア本体６５の適宜位置には、第１中流チャンバー８１の内部を経由して複数の第１中流浮上ユニット８３の内部へ圧縮空気を供給する第１中流ブロワ８５が設けられており、この第１中流ブロワ８５は、適宜のエア配管８７を介して第１中流チャンバー８１に接続されている。また、第１中流ブロワ８５は、送風動作させる（具体的には、第１中流ブロワ８５の羽根を回転させる）第１ブロワモータ８９を備えてあって、この第１ブロワモータ８９は、第１インバータ電源９１に電気的に接続されている。 A first middle flow blower 85 that supplies compressed air to the inside of the plurality of first middle flow levitation units 83 via the inside of the first middle flow chamber 81 is provided at an appropriate position of the first branch conveyor main body 65. The first intermediate flow blower 85 is connected to the first intermediate flow chamber 81 via an appropriate air pipe 87. The first middle-stream blower 85 includes a first blower motor 89 that performs a blowing operation (specifically, rotates the blades of the first middle-stream blower 85). The first blower motor 89 is a first inverter power source. 91 is electrically connected.

第２分岐コンベア本体６７の第２傾斜部６７ｓには、圧縮空気を収容する１つ又は複数の第２中流チャンバー９３が設けられており、第２中流チャンバー９３は、前後方向へ延びている。そして、第２中流チャンバー９３には、圧縮空気の圧力によって基板Ｗを浮上させる複数の第２中流浮上ユニット９５が設けられており、換言すれば、第２分岐コンベア本体６７の第２傾斜部６７ｓには、複数の第２中流浮上ユニット９５が第２中流チャンバー９３を介して設けられている。また、各第２中流浮上ユニット９５の内部は、第２中流チャンバー９３の内部にそれぞれ連通してあって、各第２中流浮上ユニット９５の頂面には、圧縮空気を噴出する枠状の第２ノズル９５ｎがそれぞれ形成されており、各第２ノズル９５ｎは、前記ノズル２３ｎと同様の構成をそれぞれ有している。 The second inclined portion 67s of the second branch conveyor main body 67 is provided with one or a plurality of second intermediate flow chambers 93 that accommodate compressed air, and the second intermediate flow chambers 93 extend in the front-rear direction. The second middle flow chamber 93 is provided with a plurality of second middle flow levitation units 95 that float the substrate W by the pressure of compressed air. In other words, the second inclined portion 67s of the second branch conveyor body 67 is provided. A plurality of second midstream levitation units 95 are provided via a second midstream chamber 93. Further, the inside of each second midstream levitation unit 95 communicates with the inside of the second midstream levitation unit 93, and the top surface of each second midstream levitation unit 95 is a frame-like second that ejects compressed air. Two nozzles 95n are respectively formed, and each second nozzle 95n has the same configuration as the nozzle 23n.

第２分岐コンベア本体６７の適宜位置には、第２中流チャンバー９３の内部を経由して複数の第２中流浮上ユニット９５の内部へ圧縮空気を供給する第２中流ブロワ９７が設けられており、この第２中流ブロワ９７は、適宜のエア配管９９を介してチャンバー９３に接続されている。また、第２中流ブロワ９７は、送風動作させる（具体的には、第２中流ブロワ９７の羽根を回転させる）第２ブロワモータ１０１を備えてあって、この第２ブロワモータ１０１は、第２インバータ電源１０３に電気的に接続されている。 A second middle flow blower 97 for supplying compressed air to the inside of the plurality of second middle flow levitation units 95 via the inside of the second middle flow chamber 93 is provided at an appropriate position of the second branch conveyor body 67, The second midstream blower 97 is connected to the chamber 93 via an appropriate air pipe 99. The second middle-stream blower 97 includes a second blower motor 101 that performs a blowing operation (specifically, rotates the blades of the second middle-stream blower 97). The second blower motor 101 is a second inverter power source. 103 is electrically connected.

第１中流ブロワ８５の近傍には、第１中流ブロワ８５及び第２中流ブロワ９７の駆動を制御するコントローラ１０５が設けられおり、このコントローラ１０５は、第１中流ブロワ８５及び第２中流ブロワ９７の制御プログラム等を記憶するメモリと、第１中流ブロワ８５及び第２中流ブロワ９７の制御プログラムを実行するＣＰＵとを備えてあって、第１インバータ電源９１及び第２インバータ電源１０３に電気的に接続されている。 In the vicinity of the first middle-stream blower 85, a controller 105 that controls driving of the first middle-stream blower 85 and the second middle-stream blower 97 is provided. The controller 105 includes the first middle-stream blower 85 and the second middle-stream blower 97. A memory for storing a control program and the like, and a CPU for executing control programs for the first middle-stream blower 85 and the second middle-stream blower 97, are electrically connected to the first inverter power supply 91 and the second inverter power supply 103. Has been.

そして、コントローラ１０５のＣＰＵは、第１中流ブロワ８５の駆動（具体的には、第１インバータ電源９１の電源周波数）を制御して、第１中流ブロワ８５から複数の第１中流浮上ユニット８３の内部へ供給される圧縮空気の圧力（複数の第１中流浮上ユニット８３の内部における圧縮空気の圧力）を基準圧力と受渡圧力に切替える機能（圧力切替手段としての機能）を有している。なお、基準圧力とは、基板Ｗを浮上搬送する際のゲージ圧力（本発明の実施形態にあっては、数１００Ｐａ）のことであって、受渡圧力とは、基準圧力よりも大きくかつ基板Ｗを第１分岐コンベア本体６５の第１傾斜部６５ｓ側（換言すれば、複数の第１中流浮上ユニット８３側）から第２分岐コンベア本体６７の第２傾斜部６７ｓ側（換言すれば、複数の第２中流浮上ユニット９５側）へ受け渡し可能なゲージ圧力（本発明の実施形態にあっては、数ｋＰａ）のことである。 Then, the CPU of the controller 105 controls the driving of the first midstream blower 85 (specifically, the power frequency of the first inverter power supply 91), and the plurality of first midstream levitation units 83 are controlled from the first midstream blower 85. It has a function (function as pressure switching means) for switching the pressure of compressed air supplied to the inside (pressure of compressed air inside the plurality of first intermediate flow levitation units 83) to a reference pressure and a delivery pressure. The reference pressure is a gauge pressure (several hundred Pa in the embodiment of the present invention) when the substrate W is floated and conveyed, and the delivery pressure is larger than the reference pressure and the substrate W From the first inclined portion 65s side of the first branch conveyor main body 65 (in other words, the plurality of first intermediate flow levitation units 83 side) to the second inclined portion 67s side of the second branch conveyor main body 67 (in other words, a plurality of It is a gauge pressure (several kPa in the embodiment of the present invention) that can be transferred to the second midstream levitation unit 95 side.

また、コントローラ１０５のＣＰＵは、第２中流ブロワ９７の駆動（具体的には、第２インバータ電源１０３の電源周波数）を制御して、第２中流ブロワ９７から複数の第２中流浮上ユニット９５の内部へ供給される圧縮空気の圧力（複数の第２中流浮上ユニット９５の内部における圧縮空気の圧力）を基準圧力と高圧力に切替える機能を有している。つまり、コントローラ１０５のＣＰＵは、複数の第２中流浮上ユニット９５の内部における圧縮空気の圧力を、複数の第１中流浮上ユニット８３の内部における圧縮空気の圧力を基準圧力から受渡圧力に切替えると同時又は切替えた直後に、基準圧力から高圧力に一旦切替え、かつ基板Ｗを第２分岐コンベア本体６７の第２傾斜部６７ｓ側へ受け渡す直前に、高圧力から基準圧力に戻す機能（圧力切替手段としての機能）を有している。なお、高圧力とは、基準圧力よりも大きくかつ受渡圧力以下のゲージ圧力（本発明の実施形態にあっては、受渡圧力と同じ圧力であって、数ｋＰａ）のことである。 Further, the CPU of the controller 105 controls the driving of the second midstream blower 97 (specifically, the power supply frequency of the second inverter power supply 103), and the plurality of second midstream levitation units 95 are controlled from the second midstream blower 97. It has a function of switching the pressure of compressed air supplied to the inside (the pressure of compressed air inside the plurality of second intermediate flow levitation units 95) between a reference pressure and a high pressure. That is, the CPU of the controller 105 simultaneously switches the pressure of the compressed air inside the plurality of second middle flow levitation units 95 and the pressure of the compressed air inside the plurality of first middle flow levitation units 83 from the reference pressure to the delivery pressure. Alternatively, immediately after switching, the function of temporarily switching from the reference pressure to the high pressure and returning from the high pressure to the reference pressure immediately before transferring the substrate W to the second inclined portion 67s side of the second branch conveyor body 67 (pressure switching means) As a function). The high pressure is a gauge pressure that is larger than the reference pressure and equal to or lower than the delivery pressure (in the embodiment of the present invention, the same pressure as the delivery pressure and several kPa).

続いて、本発明の実施形態の作用及び効果について説明する。 Then, the effect | action and effect of embodiment of this invention are demonstrated.

基板Ｗの搬送ラインを分岐させないで、基板Ｗを鉛直方向に対して傾斜させた状態で搬送方向へ浮上搬送する場合には、次のように基板浮上搬送システム１を稼動させる。 When the substrate W is floated and transported in the transport direction while being inclined with respect to the vertical direction without branching the transport line of the substrate W, the substrate floating transport system 1 is operated as follows.

上流ブロワ２５によって複数の上流浮上ユニット２３の内部へ圧縮空気を供給して、複数の上流浮上ユニット２３のノズル２３ｎから圧縮空気を噴出させつつ、上流ローラ回転用モータ１９も駆動によって複数の上流搬送ローラ１５を同期して回転させる。これにより、上流浮上コンベア３によって基板Ｗを鉛直方向に対して一方側に傾斜した状態で第１搬送ラインＬ１に沿って搬送方向へ浮上搬送することができる。 The upstream blower 25 supplies compressed air to the inside of the plurality of upstream levitation units 23 and ejects the compressed air from the nozzles 23n of the plurality of upstream levitation units 23. The roller 15 is rotated synchronously. Accordingly, the upstream levitation conveyor 3 can float and transport the substrate W in the transport direction along the first transport line L1 in a state where the substrate W is inclined to one side with respect to the vertical direction.

上流浮上コンベア３による第１搬送ラインＬ１に沿った基板Ｗの浮上搬送中に、第１中流ブロワ８５によって複数の第１中流浮上ユニット８３の内部へ圧縮空気を供給して、複数の第１中流浮上ユニット８３の第１ノズル８３ｎから圧縮空気を噴出させつつ、中流ローラ回転用モータ７９も駆動によって複数の中流搬送ローラ７５を同期して回転させておく。これにより、基板Ｗを上流浮上コンベア３側（上流コンベア本体１１側）から第１分岐コンベア本体６５の第１傾斜部６５ｓ側へ送り出して、分岐浮上コンベア９によって基板Ｗを鉛直方向に対して一方側に傾斜した状態で第１搬送ラインＬ１に沿って搬送方向へ浮上搬送することができる。 During the levitation conveyance of the substrate W along the first conveyance line L1 by the upstream levitation conveyor 3, compressed air is supplied into the plurality of first middle flow levitation units 83 by the first middle flow blower 85, and a plurality of first middle flows While the compressed air is ejected from the first nozzle 83n of the levitation unit 83, the midstream roller rotating motor 79 is also driven to rotate the plurality of midstream transport rollers 75 in synchronization. Thus, the substrate W is sent from the upstream floating conveyor 3 side (upstream conveyor main body 11 side) to the first inclined portion 65s side of the first branch conveyor main body 65, and the substrate W is moved by the branch floating conveyor 9 in one direction with respect to the vertical direction. In the state inclined to the side, it can be levitated and conveyed in the conveying direction along the first conveying line L1.

分岐浮上コンベア９による第１搬送ラインＬ１に沿った基板Ｗの浮上搬送中に、第１下流ブロワ４３によって複数の第１下流浮上ユニット４１の内部へ圧縮空気を供給して、複数の第１下流浮上ユニット４１のノズル４１ｎから圧縮空気を噴出させつつ、第１下流ローラ回転用モータ３７も駆動によって複数の第１下流搬送ローラ３３を同期して回転させておく。これにより、基板Ｗを第１分岐コンベア本体６５の第１傾斜部６５ｓ側から第１下流浮上コンベア５側（第１下流コンベア本体２９側）へ送り出して、第１下流浮上コンベア５によって基板Ｗを鉛直方向に対して一方側に傾斜した状態で第１搬送ラインＬ１に沿って搬送方向へ浮上搬送することができる。 During the floating conveyance of the substrate W along the first conveyance line L1 by the branching and floating conveyor 9, compressed air is supplied into the plurality of first downstream floating units 41 by the first downstream blower 43, and the plurality of first downstreams While the compressed air is ejected from the nozzle 41n of the levitation unit 41, the first downstream roller rotating motor 37 is also driven to rotate the plurality of first downstream conveying rollers 33 in synchronization. As a result, the substrate W is sent from the first inclined portion 65 s side of the first branch conveyor main body 65 to the first downstream floating conveyor 5 side (first downstream conveyor main body 29 side), and the substrate W is transferred by the first downstream floating conveyor 5. It can be levitated and conveyed in the conveyance direction along the first conveyance line L1 in a state inclined to one side with respect to the vertical direction.

基板Ｗの搬送ラインを第１搬送ラインＬ１から第２搬送ラインＬ２分岐させて、基板Ｗを搬送方向へ浮上搬送する場合には、次のように基板浮上搬送システム１を稼動させる。 When the substrate W transport line is branched from the first transport line L1 to the second transport line L2, and the substrate W is floated and transported in the transport direction, the substrate floating transport system 1 is operated as follows.

即ち、基板Ｗを第１分岐コンベア本体６５の第１傾斜部６５ｓ側へ基板Ｗを送り出した後に、中流ローラ回転用モータ７９の駆動を停止する。そして、コントローラ１０５のＣＰＵによって第１中流ブロワ８５の駆動を制御して複数の第１中流浮上ユニット８３の内部における圧縮空気の圧力を基準圧力から受渡圧力に切替えて、基板Ｗを第１分岐コンベア本体６５の第１傾斜部６５ｓ側から第２分岐コンベア本体６７の第２傾斜部６７ｓ側へ受け渡す。これにより、基板Ｗの浮上搬送の途中に、基板Ｗの搬送ラインを第１搬送ラインＬ１から第２搬送ラインＬ２分岐させることができる。 That is, after the substrate W is sent out to the first inclined portion 65s side of the first branch conveyor main body 65, the driving of the midstream roller rotating motor 79 is stopped. Then, the CPU of the controller 105 controls the driving of the first intermediate flow blower 85 to switch the pressure of the compressed air in the plurality of first intermediate flow levitation units 83 from the reference pressure to the delivery pressure, and the substrate W is transferred to the first branch conveyor. Transfer is performed from the first inclined portion 65 s side of the main body 65 to the second inclined portion 67 s side of the second branch conveyor main body 67. Accordingly, the transfer line of the substrate W can be branched from the first transfer line L1 to the second transfer line L2 during the floating transfer of the substrate W.

ここで、コントローラ１０５のＣＰＵによって第２中流ブロワ９７の駆動を制御して複数の第２中流浮上ユニット９５の内部における圧縮空気の圧力を、複数の第１中流浮上ユニット８３の内部における圧縮空気の圧力を受渡圧力に切替えると同時又は切替えた直後に、基準圧力から高圧力に一旦切替え、かつ基板Ｗを第２分岐コンベア本体６７の第２傾斜部６７ｓ側へ受け渡たす直前に、高圧力から基準圧力に戻す。これにより、基板Ｗを第２分岐コンベア本体６７の第２傾斜部６７ｓ側へスムーズに受け渡すことができる。 Here, the CPU of the controller 105 controls the driving of the second middle flow blower 97 to change the pressure of the compressed air inside the plurality of second middle flow levitation units 95 to the pressure of the compressed air inside the plurality of first middle flow levitation units 83. At the same time or immediately after switching the pressure to the delivery pressure, the pressure is temporarily switched from the reference pressure to the high pressure and immediately before the substrate W is delivered to the second inclined portion 67s side of the second branch conveyor body 67. To the reference pressure. Thereby, the board | substrate W can be smoothly delivered to the 2nd inclination part 67s side of the 2nd branch conveyor main body 67. FIG.

基板Ｗの搬送ラインの分岐させた後に、コントローラのＣＰＵによって第１中流ブロワ８５の駆動を制御して複数の第１中流浮上ユニット８３の内部における圧縮空気の圧力を受渡圧力から基準圧力に切替える。また、コンベア本体移動用モータ７１の駆動によって第２分岐コンベア本体６７を左方向へ移動させて、中流搬送ユニット７３の搬送位置を第２下流搬送ユニット４９の搬送位置に合わせる。そして、第２中流ブロワ９７によって複数の第２中流浮上ユニット９５の内部へ圧縮空気を供給して、複数の第２中流浮上ユニット９５の第２ノズル９５ｎから圧縮空気を噴出させつつ、中流ローラ回転用モータ７９も駆動によって複数の中流搬送ローラ７５を同期して回転させる。これにより、基板Ｗを鉛直方向に対して他方側に傾斜させた状態で第２搬送ラインＬ２に沿って搬送方向へ浮上搬送することができる。 After branching the transfer line of the substrate W, the CPU of the controller controls the drive of the first intermediate flow blower 85 to switch the pressure of the compressed air in the plurality of first intermediate flow levitation units 83 from the delivery pressure to the reference pressure. Further, the second branch conveyor main body 67 is moved to the left by driving the conveyor main body moving motor 71, and the transfer position of the midstream transfer unit 73 is adjusted to the transfer position of the second downstream transfer unit 49. Then, the compressed air is supplied into the plurality of second intermediate flow levitation units 95 by the second intermediate flow blower 97, and the intermediate flow roller is rotated while the compressed air is ejected from the second nozzles 95n of the plurality of second intermediate flow levitation units 95. The motor 79 also rotates the plurality of midstream conveying rollers 75 synchronously by driving. Thereby, the substrate W can be levitated and conveyed in the conveyance direction along the second conveyance line L2 in a state where the substrate W is inclined to the other side with respect to the vertical direction.

分岐浮上コンベア９による第２搬送ラインＬ２に沿った基板Ｗの浮上搬送中に、第２下流ブロワ６１によって複数の第２下流浮上ユニット５９の内部へ圧縮空気を供給して、複数の第２下流浮上ユニット５９のノズル５９ｎから圧縮空気を噴出させつつ、第２下流ローラ回転用モータ５５も駆動によって複数の第２下流搬送ローラ５１を同期して回転させておく。これにより、基板Ｗを第２分岐コンベア本体６７の第２傾斜部６７ｓ側から第２下流浮上コンベア７側（第２下流コンベア本体４７側）へ送り出して、第２下流浮上コンベア７によって基板Ｗを鉛直方向に対して他方側に傾斜した状態で第２搬送ラインＬ２に沿って搬送方向へ浮上搬送することができる。なお、基板Ｗを第２下流浮上コンベア７側へ送り出した後に、コンベア本体移動用モータ７１の駆動によって第２分岐コンベア本体６７を右方向へ復帰移動させて、中流搬送ユニット７３の搬送位置を第１下流搬送ユニット３１の搬送位置（換言すれば、上流搬送ユニット１３の搬送位置）に合わせておく。 During the floating conveyance of the substrate W along the second conveyance line L2 by the branching and floating conveyor 9, the second downstream blower 61 supplies compressed air to the inside of the plurality of second downstream floating units 59, thereby the plurality of second downstreams. While the compressed air is ejected from the nozzles 59n of the levitation unit 59, the second downstream roller rotating motor 55 is also driven to rotate the plurality of second downstream conveying rollers 51 in synchronization. Accordingly, the substrate W is sent from the second inclined portion 67s side of the second branch conveyor body 67 to the second downstream levitation conveyor 7 side (second downstream conveyor body 47 side), and the substrate W is transferred by the second downstream levitation conveyor 7. It can be levitated and conveyed in the conveyance direction along the second conveyance line L2 while being inclined to the other side with respect to the vertical direction. After the substrate W is sent to the second downstream levitation conveyor 7 side, the second branch conveyor body 67 is moved back to the right by the drive of the conveyor body moving motor 71, and the transfer position of the midstream transfer unit 73 is changed to the first position. 1 Alignment with the transport position of the downstream transport unit 31 (in other words, the transport position of the upstream transport unit 13).

従って、本発明の実施形態によれば、コントローラ１０５のＣＰＵによって複数の第１中流浮上ユニット８３の内部における圧縮空気の圧力を基準圧力から受渡圧力に切替えることにより、基板Ｗの搬送ラインを第１搬送ラインＬ１から第２搬送ラインＬ２に分岐させることができるため、基板Ｗの搬送ラインの分岐に要する時間を短縮化して、多数の基板Ｗの浮上搬送する際における基板Ｗの搬送効率を十分に向上させることができる。 Therefore, according to the embodiment of the present invention, the CPU of the controller 105 switches the pressure of the compressed air in the plurality of first intermediate flow levitation units 83 from the reference pressure to the delivery pressure, thereby setting the transport line of the substrate W to the first. Since the transfer can be branched from the transfer line L1 to the second transfer line L2, the time required for branching the transfer line of the substrate W can be shortened, and the transfer efficiency of the substrate W can be sufficiently increased when many substrates W are floated and transferred. Can be improved.

なお、本発明は、前述の実施形態の説明に限られるものではなく、その他、種々の態様で実施可能である。また、本発明に包含される権利範囲は、これらの実施形態に限定されないものである。 In addition, this invention is not restricted to description of the above-mentioned embodiment, In addition, it can implement in a various aspect. Further, the scope of rights encompassed by the present invention is not limited to these embodiments.

図２におけるI-I線に沿った拡大図である。It is an enlarged view along the II line in FIG. 本発明の実施形態に係る基板浮上搬送システムの模式的な平面図である。It is a typical top view of the substrate levitation conveyance system concerning an embodiment of the present invention. 図２におけるIII-III線に沿った拡大図である。FIG. 3 is an enlarged view taken along line III-III in FIG. 2. 図３における矢視部IVを示す拡大図である。FIG. 4 is an enlarged view showing an arrow IV in FIG. 3. 図２におけるV-V線に沿った拡大図である。It is an enlarged view along the VV line in FIG.

Explanation of symbols

Ｗ基板
Ｌ１第１搬送ライン
Ｌ２第２搬送ライン
１基板浮上搬送システム
３上流浮上コンベア
５第１下流浮上コンベア
７第２下流浮上コンベア
９分岐浮上コンベア
６５第１分岐コンベア本体
６５ｓ第１傾斜部
６７第２分岐コンベア本体
６７ｓ第２傾斜部
７１コンベア本体移動用モータ
７３中流搬送ユニット
７５中流搬送ローラ
７９中流ローラ回転用モータ
８１第１中流チャンバー
８３第１中流浮上ユニット
８３ｎ第１ノズル
８５第１中流ブロワ
８９第１ブロワモータ
９１第１インバータ電源
９３第２中流チャンバー
９５第２中流浮上ユニット
９５ｎ第２ノズル
９７第２中流ブロワ
１０１第２ブロワモータ
１０３第２インバータ電源
１０５コントローラ W substrate L1 1st conveyance line L2 2nd conveyance line 1 Substrate floating conveyance system 3 Upstream floating conveyor 5 First downstream floating conveyor 7 Second downstream floating conveyor 9 Branch floating conveyor 65 First branch conveyor main body 65s First inclined portion 67 First Two-branch conveyor body 67s Second inclined portion 71 Conveyor body moving motor 73 Middle-stream conveyance unit 75 Middle-stream conveyance roller 79 Middle-stream roller rotation motor 81 First middle-stream chamber 83 First middle-stream levitation unit 83n First nozzle 85 First middle-stream blower 89 1st blower motor 91 1st inverter power supply 93 2nd middle stream chamber 95 2nd middle stream floating unit 95n 2nd nozzle 97 2nd middle stream blower 101 2nd blower motor 103 2nd inverter power supply 105 controller

Claims

In the branch levitation conveyor that can branch the substrate transfer line and float and transfer the substrate in the transfer direction with the substrate inclined with respect to the vertical direction,
A first branching conveyor main body having a first inclined portion inclined to one side with respect to the vertical direction and extending in the conveying direction;
A second inclined portion disposed adjacent to the first branch conveyor body in the conveyance width direction, inclined to the other side with respect to the vertical direction and opposed to the first inclined portion of the first branch conveyor body; A second branch conveyor main body extending in the transport direction;
A transport unit that is provided in at least one of the first branch conveyor main body and the second branch conveyor main body, and transports the substrate in the transport direction in an inclined state with respect to the vertical direction;
A plurality of first levitation units provided on the first inclined portion of the first branch conveyor body, each having a first nozzle for ejecting a levitation gas on the top surface, and levitation of the substrate by the pressure of the levitation gas;
A first gas supply source for supplying floating gas into the plurality of first floating units;
A plurality of second levitation units provided on the second inclined portion of the second branch conveyor body, each having a second nozzle for ejecting levitation gas on the top surface thereof, and levitation of the substrate by the pressure of the levitation gas;
A second gas supply source for supplying floating gas into the plurality of second floating units;
The pressure of the levitation gas supplied from the first gas supply source to the inside of the plurality of first levitation units is higher than the reference pressure when the substrate is floated and conveyed, and the substrate is divided into the first branch. A branch levitation conveyor comprising pressure switching means for switching to a delivery pressure that can be delivered from the first inclined portion side of the conveyor body to the second inclined portion side of the second branch conveyor body.

In addition to switching the pressure of the levitation gas supplied from the first gas supply source to the inside of the plurality of first levitation units to the reference pressure and the delivery pressure, the pressure control means is supplied from the second gas supply source. The pressure of the levitation gas supplied into the plurality of second levitation units is switched between the reference pressure and a high pressure that is larger than the reference pressure and lower than the delivery pressure. The branch levitation conveyor according to claim 1.

The transport unit is
Between the first inclined portion of the first branch conveyor main body and the second inclined portion of the second branch conveyor main body, an interval is provided along the transport direction, and around an axis parallel to the transport width direction. A plurality of transport rollers that are each rotatable and support the lower edge of the substrate;
The branch floating conveyor according to claim 1, further comprising a roller rotating actuator that rotates the plurality of transport rollers.

The second branch conveyor body is movable in the conveyance width direction,
A conveyor body moving actuator for moving the second branch conveyor body in the conveyance width direction;
The branch floating conveyor according to claim 3, wherein the plurality of transport rollers are provided on one side of the second inclined portion of the second branch conveyor body.

Each first nozzle is configured to be inclined toward the center of the unit with respect to a direction perpendicular to the top surface of the first levitation unit, and each second nozzle is in a direction perpendicular to the top surface of the second levitation unit. The branching and floating conveyor according to any one of claims 1 to 4, wherein the branching and floating conveyor is configured so as to be inclined toward the center of the unit.

In the substrate levitation transport system that has a branch function for branching the substrate transport line from the first transport line to the second transport line and floats and transports the substrate in the transport direction in a state where the substrate is inclined with respect to the vertical direction,
An upstream levitating conveyor disposed on the first conveying line and levitating and conveying the substrate in the conveying direction with the substrate inclined to one side with respect to the vertical direction;
A first downstream levitation conveyor disposed on the downstream side of the upstream levitation conveyor on the first conveyance line and levitating and conveying the substrate in the conveyance direction in a state where the substrate is inclined to one side with respect to the vertical direction;
A second downstream that is disposed on the second transport line so as to be adjacent to the first downstream levitation conveyor in the transport width direction and floats and transports the substrate in the transport direction with the substrate inclined to the other side with respect to the vertical direction. A floating conveyor,
The first branch conveyor body is disposed between the upstream levitation conveyor and the first downstream levitation conveyor on the first transport line, and the second branch conveyor body is the second downstream on the second transport line. A substrate levitating and conveying system comprising: a branch levitating conveyor according to any one of claims 1 to 5 disposed upstream of the levitating conveyor.