JP5001815B2 - Film inspection equipment - Google Patents
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Description
本発明は、表面に細線を有するフィルムを製造するラインにおいて、インライン上で検査をおこなうフィルム検査装置に関するものである。 The present invention relates to a film inspection apparatus for performing an in-line inspection in a line for producing a film having a fine line on the surface.
PET等の透明フィルムの上に金属細線でメッシュを形成したメッシュフィルムがある。メッシュフィルムは、金属細線の線幅が数十μmであり、間隔が数百μmであるため光を透過する。また、メッシュによって電磁波をシールドできる。そのため、プラズマディスプレイやコンピュータ、携帯電話などの各種電子機器の表面に取り付けられる。 There is a mesh film in which a mesh is formed with fine metal wires on a transparent film such as PET. The mesh film transmits light because the fine metal wire has a line width of several tens of μm and an interval of several hundreds of μm. Moreover, electromagnetic waves can be shielded by the mesh. Therefore, it is attached to the surface of various electronic devices such as a plasma display, a computer, and a mobile phone.
金属細線の形成方法の例としては、透明フィルムに張り合わせた金属箔をフォトエッチング加工して、金属細線を作り、さらにその上に接着フィルムを熱圧着させて形成する方法や、金属粒子とバインダー樹脂と溶媒とを含む導電性ペーストをフィルムの表面に印刷し、乾燥させて形成する方法がある。メッシュが所望の形状に形成されているか否かの検査をおこなう必要がある。上記のようにメッシュはミクロンオーダーのものであり、顕微鏡などによってメッシュを拡大して検査する必要がある。拡大像による検査であるので、顕微鏡などの被写界深度が小さくなる。インライン上におけるメッシュフィルムは被写界深度の方向に振動するため、拡大像の焦点が合わずに、ピンボケ状態になり、拡大像によって検査をするのは難しい。現状ではインライン上においてメッシュフィルムの検査が難しい。 Examples of methods for forming fine metal wires include photo-etching a metal foil bonded to a transparent film to form fine metal wires, and then forming an adhesive film thereon by thermocompression bonding, or metal particles and a binder resin. There is a method in which a conductive paste containing a solvent and a solvent is printed on the surface of a film and dried. It is necessary to inspect whether or not the mesh is formed in a desired shape. As described above, the mesh is of the micron order, and it is necessary to inspect the mesh with a microscope or the like. Since the inspection is based on an enlarged image, the depth of field of a microscope or the like is reduced. Since the mesh film on the in-line vibrates in the direction of the depth of field, the enlarged image is out of focus and becomes out of focus, and it is difficult to inspect with the enlarged image. At present, it is difficult to inspect the mesh film in-line.
そこで、現在採用されている検査はインラインの最終工程で、メッシュフィルムのサンプルを抜き取り、机上におかれた顕微鏡などを使ったオフライン検査である。この方法では、サンプルを抜き取るための破壊検査となり、製造上あまり好ましくない。目視の検査であれば個人差があり、余分な作業工程が必要になる。またメッシュフィルムが枚葉ではなくロール状態で生産されているならば、ロールの最初と最後の部分を抜き取ることはできるが、ロールの中間は抜き取れない。製造途中で異常が発生すると、ロールの最後まで不良品を製造し続ける場合がある。 Therefore, the currently employed inspection is an in-line final process, which is an off-line inspection using a microscope placed on a desk after extracting a sample of the mesh film. This method is a destructive inspection for extracting a sample, which is not preferable in manufacturing. If it is a visual inspection, there are individual differences and an extra work process is required. Also, if the mesh film is produced in a roll rather than a single sheet, the first and last portions of the roll can be extracted, but the middle of the roll cannot be extracted. If an abnormality occurs during the manufacturing process, defective products may continue to be manufactured until the end of the roll.
特許文献1にメッシュフィルムの線幅を画像処理によって精度良く検査する方法が開示されている。しかし、メッシュフィルムを製造するインライン上での検査ではなく、机上によるオフラインの検査である。したがって、上記のような課題がある。 Patent Document 1 discloses a method for accurately inspecting the line width of a mesh film by image processing. However, this is not an in-line inspection for producing a mesh film, but an off-line inspection on a desk. Therefore, there are problems as described above.
本発明の目的は、フィルムに形成した細線が所定の形状に形成されているか否かをインライン上でおこなえるフィルム検査装置を提供することにある。 An object of the present invention is to provide a film inspection apparatus capable of performing in-line whether or not fine lines formed on a film are formed in a predetermined shape.
本発明のフィルム検査装置は、フィルムの透明フィルム側と密着し、フィルムの移動速度に同期して回転し、表面に光の無反射処理が施されたローラと、ローラに密着されたフィルムの細線に焦点を合わせ、フィルムの一部分を拡大して撮影する手段と、撮影する手段がフィルムを撮影するときに、細線の影を消す光をフィルムに照射する光源と、撮影する手段が撮影した画像に対して演算処理をおこない、フィルムに形成された細線の異常を検出する手段とを備える。 The film inspection apparatus of the present invention is in close contact with the transparent film side of the film, rotates in synchronization with the moving speed of the film, and has a surface subjected to light non-reflective treatment, and a thin wire of the film in close contact with the roller A means to magnify and shoot a part of the film, a light source that irradiates the film with light that erases the shadow of the fine line when the filming means shoots the film, and an image captured by the means to shoot And a means for performing arithmetic processing on the thin film and detecting an abnormality of the thin line formed on the film.
フィルムがローラに密着されながら移送される。このとき細線が上になっており、細線に焦点を合わせてフィルムの一部を拡大しながら撮影する手段で撮影する。撮影する際、細線の上方で且つ各方向からフィルムに対して光を照射するため、光無反射処理によってローラの暗色を背景に細線に影を作らずに撮影できる。ローラと細線との明暗差が高められ、演算処理を容易におこなえる。 The film is transferred while being in close contact with the roller. At this time, the fine line is on the top, and the photograph is taken by means of photographing while enlarging a part of the film while focusing on the fine line. At the time of shooting, light is irradiated on the film from above and from the thin line, so that it is possible to shoot without making a shadow on the thin line against the background of the dark color of the roller by the light non-reflection process. The brightness difference between the roller and the thin line is increased, and the arithmetic processing can be easily performed.
ローラに施された光無反射処理は、黒色つや消し処理が好ましい。また、撮影する手段に焦点を調節するマイクロメータを取り付ける。さらに、細線は金属細線であり、異常を判定するために、撮影する手段が撮影したフィルムの画像から、メッシュを形成する金属細線を抽出し、抽出された金属細線の幅と間隔を求める手段と、金属細線の幅と間隔の所定値を記憶しておき、抽出された金属細線の幅と間隔が所定値に入らなければ異常と判定する手段としてコンピュータを機能させる。 The light non-reflection treatment applied to the roller is preferably a black matte treatment. Also, a micrometer for adjusting the focus is attached to the photographing means. Further, the fine line is a thin metal line, and in order to determine abnormality, means for extracting the fine metal line forming the mesh from the film image photographed by the photographing means and obtaining the width and interval of the extracted fine metal line; The computer functions as means for storing predetermined values of the width and interval of the fine metal wires and determining that an abnormality occurs if the width and interval of the extracted fine metal wires do not fall within the predetermined values.
本発明によれば、フィルムがローラに密着されることによって、被写界深度が非常に浅い拡大撮影であっても、細線にピントを合わせた画像を撮影できる。細線のバックとなるローラに光無反射処理を施しておくことによって、影を作らずに光を反射した細線を際だたせることができ、細線の異常を判定し易くできる。 According to the present invention, since the film is in close contact with the roller, it is possible to shoot an image in which a fine line is in focus even in the case of enlarged shooting with a very shallow depth of field. By applying a light non-reflective treatment to the roller that forms the back of the thin line, it is possible to make the thin line that reflects the light without creating a shadow stand out, and it is easy to determine the abnormality of the thin line.
本発明の細線が形成されたフィルムの検査装置について図面を用いて説明する。検査されるフィルムは従来技術で説明した透明フィルムの上に金属細線でメッシュが形成されたメッシュフィルムを使用する。メッシュフィルムの一例としては、金属細線の線幅が約5〜30μmであり、間隔が約100〜500μmである。図3(a)に示すように、メッシュフィルム12は、帯状の透明フィルム14において一定間隔ごとに設けられた矩形領域16に金属細線18でメッシュが形成されている。透明フィルム14にメッシュを形成後、メッシュフィルム12をロール状に巻き取る途中で検査をおこなう。
An inspection apparatus for a film on which a thin line of the present invention is formed will be described with reference to the drawings. As the film to be inspected, a mesh film in which a mesh is formed with fine metal wires on the transparent film described in the prior art is used. As an example of the mesh film, the line width of the fine metal wire is about 5 to 30 μm, and the interval is about 100 to 500 μm. As shown in FIG. 3 (a), the
図1、図2に示す本発明の検査装置10は、メッシュフィルム12が密着し、メッシュフィルム12の移動速度に同期して回転する検査ローラ20と、検査ローラ20の上においてメッシュに焦点を合わせ、メッシュフィルム12の一部分を拡大しながら撮影するカメラ22と、カメラ22の周囲からメッシュフィルム12に光を照射する光源24と、撮影された画像を演算処理してメッシュの異常を判定するコンピュータ40とを備える。図1、図2において、金属細線18は省略している。
The
検査ローラ20の表面には光に対する無反射処理が施されている。光の無反射処理の一例として、黒色つや消し処理が挙げられる。これは、金属細線18で形成されたメッシュが光を反射し、透明フィルム14が光を透過するため、暗色を背景にメッシュを際だたせた画像を撮影できるためである。光の無反射処理によって検査ローラ20からの不要な反射光を無くし、撮影する際のノイズを低減させることもできる。
The surface of the
検査ローラ20の直径は約150〜300mmである。直径を小さくすると平面的に撮影できなくなる。拡大撮影をおこなうので被写界深度が浅くなり、撮影範囲が曲面であるとメッシュ全体に焦点が合わない。そのため、検査ローラ20の直径は、ある程度の大きさが必要である。
The diameter of the
検査ローラ20にメッシュフィルム12を密着させるためにガイドローラ26を設ける。ガイドローラ26、検査ローラ20、ガイドローラ26の順番で配置してメッシュフィルム12を図2のように走行させる。検査ローラ20の位置では、透明フィルム14が検査ローラ20に密着され、金属細線18は検査ローラ20と密着されない。各ローラ20,26がメッシュフィルム12の移動速度に同期して回転する。メッシュフィルム12を検査ローラ20に密着させることによって、メッシュフィルム12のばたつきを抑えている。
A
カメラ22は、メッシュフィルム12の一部を拡大するためのレンズ28と、光を受光する2次元センサ30と、レンズ28と2次元センサ30との間を結合する顕微鏡筒32とを含む。レンズ28は、顕微鏡やマイクロスコープなどに用いられる対物レンズを用いる。倍率は、約3〜30倍である。2次元センサ30はCCDやCMOSの2次元イメージセンサである。撮影されるメッシュフィルム12がぶれないように、移動するメッシュフィルム12が写し止められる速度(受光時間)で2次元センサ30が撮影する。2次元センサ30が受光した光量値は画像データに変換してコンピュータ40に送る。レンズ28と2次元センサ30との間には、顕微鏡やマイクロスコープなどに用いられる顕微鏡筒32を用いられ、レンズ28で拡大した像が2次元センサ30に送られる。
The
カメラ22にマイクロメータ34を取り付け、被写界深度方向にカメラ22を動かせるようにする。図2であれば上下方向である。このマイクロメータ34を使用してメッシュに焦点が合うように調節する。図3(b)に示すように、透明フィルム14の上にメッシュ(金属細線18)が形成されており、メッシュの頂点に焦点を合わせる。マイクロメータ34は、オートフォーカスで焦点を合わせる構成であっても良い。
A
マイクロメータ34にリニアモータ36を取り付け、メッシュフィルム12の幅方向にカメラ22が移動できるようにする。カメラ22はマイクロメータ34を介してリニアモータ36に取り付けられている。リニアモータ36はリニアモータガイド38で支えられている。コンピュータ40でリニアモータ36の移動を制御しても良い。さらに、メッシュの異常の位置を求めるために、リニアスケールによってメッシュフィルム12の幅方向でのカメラ22の位置を求め、コンピュータ40にその位置のデータを送るようにしても良い。
A
撮影される画像にメッシュフィルム12の金属細線18の影が写らないようにするために、複数の光源24がカメラ22の周囲に設けられている。これらの複数の光源24は、顕微鏡筒32を中心にして並べられ、角形または円形になっている。2次元センサ30が受光するタイミングに同調して光源24が発光する。メッシュフィルム12の上方からで且つメッシュフィルム12の各方向に対して光が照射されるため、金属細線18に影ができることなくカメラ22で撮影される。また、検査装置10が使用されるのは工場などの室内であるため、光源24によって、2次元センサ30がメッシュフィルム12を撮像できるだけの光量を確保する。
A plurality of
カメラ22は一定時間ごとに撮影をおこなう。図3(a)のメッシュフィルム12の各領域16ごとに1点または複数点を撮影しても良いし、複数の領域16の中から1つの領域16を選択して1点を撮影しても良い。
The
カメラ22が撮影したメッシュフィルム12の画像データは、コンピュータ40に送られる。演算処理によって異常を判定するために、メッシュを形成する金属細線18を抽出し、抽出された金属細線18の幅と間隔を求める手段と、金属細線18の幅と間隔の所定値を記憶しておき、抽出された金属細線18の幅と間隔が所定値に入らなければ異常と判定する手段としてコンピュータ40を動作させる。
The image data of the
上述したように、画像データ44は検査ローラ20の暗色を背景に白色に反射する金属細線18が写っている(図4)。上記のように金属細線18には影がないように写されている。したがって、金属細線18の抽出は、画像データ44の中から白い部分のデータを抜き出せば良い。白い部分のデータを抜き出すための前処理が少なく、画像データ44はディジタルデータであるので非常に容易である。また、抽出した白い部分の幅の平均から、金属細線18の外縁を決定し、この平行に並べられた外縁同士の距離を金属細線18の幅や間隔としても良く、撮影時のノイズなどを除去できる。さらに、白い部分を抽出する前に、ノイズを除去する処理をおこなっても良い。
As described above, the
異常が検出されたら、警告灯に信号を送り、警告灯を点灯させたり、メッシュフィルム12の製造装置を停止させるようにしても良い。コンピュータ40は、異常を検出した画像データをモニタ42に表示しても良い。さらに、メッシュフィルム12の生産速度、センサ30の撮影周期、リニアスケールの位置などから異常の位置を特定し、モニタ42にその位置を表示するようにしても良い。
If an abnormality is detected, a signal may be sent to the warning lamp to turn on the warning lamp or stop the
画像処理をおこなうときにピンボケ画像であれば白と黒の中間色が多くなる。画像データ44から白色を抽出する際、一定量以上の中間色が検出されればカメラ22の焦点が合っていないことを判定する手段を含めても良い。メッシュフィルム12を巻き取る際の何らかの要因でカメラ22の焦点がずれたときに対応することができ、正常な検査に復帰できるように調節し直すことができる。
If the image is out of focus when image processing is performed, intermediate colors of white and black increase. When extracting white color from the
上述した構成によって、一定時間ごとにメッシュフィルム12を撮影して検査することができる。メッシュフィルム12をロール状に巻き取る途中であっても検査が可能であり、ロールの途中でメッシュが切れたりするような異常が検出されればメッシュフィルム12の製造装置を停止させることができる。
With the above-described configuration, the
検査されるメッシュフィルム12は、透明フィルム14において一定間隔ごとの領域16にメッシュを有したが、透明フィルム14の上に連続的にメッシュを有していても本発明の装置が適用可能である。
The
透明フィルム14に金属細線18が形成されていれば、メッシュフィルム12に限定されない。金属細線18はメッシュ形状に限定されることはなく、種々の形状を金属細線18で形成したものであっても良い。コンピュータ40が線幅と間隔を検査したが、検査の内容によってはいずれか一方のみであっても良い。また、金属細線18も種々の細線に変更可能である。この場合、撮影する際の検査ローラ20と細線との明暗差が大きくなることが必要である。
The
検査ローラ20が振動した際、カメラ22も同じように振動するように、検査ローラ20とカメラ22を間接的に任意の部材で接続しても良い。検査ローラ20の振動による焦点のズレを補正することができる。
When the
その他、本発明は、その主旨を逸脱しない範囲で当業者の知識に基づき種々の改良、修正、変更を加えた態様で実施できるものである。 In addition, the present invention can be carried out in a mode in which various improvements, modifications, and changes are added based on the knowledge of those skilled in the art without departing from the gist thereof.
10:フィルムの検査装置
12:メッシュフィルム
14:透明フィルム
16:領域
18:金属細線
20:検査ローラ
22:カメラ
24:光源
26:ガイドローラ
28:レンズ
30:2次元センサ
32:顕微鏡筒
34:マイクロメータ
36:リニアモータ
38:リニアモータガイド
40:コンピュータ
42:モニタ
44:画像
10: Film inspection device 12: Mesh film 14: Transparent film 16: Area 18: Metal thin wire 20: Inspection roller 22: Camera 24: Light source 26: Guide roller 28: Lens 30: Two-dimensional sensor 32: Microscope tube 34: Micro Meter 36: Linear motor 38: Linear motor guide 40: Computer 42: Monitor 44: Image
Claims (4)
前記フィルムの透明フィルム側と密着し、フィルムの移動速度に同期して回転する、表面に光の無反射処理が施されたローラと、
前記ローラに密着されたフィルムの細線に焦点を合わせ、フィルムの一部分を拡大して撮影する手段と、
前記撮影する手段がフィルムを撮影するときに、細線の影を消す光をフィルムに照射する光源と、
前記撮影する手段が撮影した画像に対して演算処理をおこない、フィルムに形成された細線の異常を検出する手段と、
を備えた検査装置。 A film inspection device in which a thin line is formed on one side of a transparent film,
A roller that is in close contact with the transparent film side of the film and rotates in synchronization with the moving speed of the film, and the surface is subjected to a light non-reflective treatment;
A means for focusing on the fine line of the film in close contact with the roller and enlarging a part of the film for photographing;
A light source for irradiating the film with light that erases the shadow of the fine line when the means for photographing shoots the film;
Means for performing an arithmetic process on the image taken by the photographing means and detecting an abnormality of a thin line formed on the film;
Inspection device with
前記異常を検出する手段が、
前記撮影する手段が撮影した画像から、メッシュを形成する金属細線を抽出し、抽出された金属細線の幅と間隔を求める手段と、
前記金属細線の幅と間隔の所定値を記憶しておき、抽出された金属細線の幅と間隔が所定値に入らなければ異常と判定する手段と、
を含む請求項1乃至3のいずれかの検査装置。 The fine wire is a metal fine wire, and a mesh is formed by the metal fine wire,
The means for detecting the abnormality comprises
Means for extracting the fine metal wires forming the mesh from the image taken by the photographing means and obtaining the width and interval of the extracted fine metal wires;
Means for storing a predetermined value of the width and interval of the thin metal wire, and determining that the width and the interval of the extracted thin metal wire are abnormal if they do not fall within the predetermined value;
4. The inspection apparatus according to claim 1, further comprising:
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