JP5012076B2

JP5012076B2 - Fan filter unit

Info

Publication number: JP5012076B2
Application number: JP2007034814A
Authority: JP
Inventors: 雅史松井
Original assignee: Panasonic Corp; Matsushita Electric Industrial Co Ltd
Current assignee: Panasonic Corp; Panasonic Holdings Corp
Priority date: 2007-02-15
Filing date: 2007-02-15
Publication date: 2012-08-29
Anticipated expiration: 2027-02-15
Also published as: JP2008196822A

Description

本発明は、半導体やフラットパネルディスプレイ等を製造する製造装置あるいはそれらの検査装置等において、清浄な空気を必要とする環境下で使用されるエアフィルタに関する。 The present invention relates to an air filter used in an environment that requires clean air in a manufacturing apparatus for manufacturing a semiconductor, a flat panel display, or the like, or an inspection apparatus thereof.

従来、清浄空気を必要とされる空間であるクリーンルーム等の天井面に配設されるエアフィルタは、上流側の状況を下流側から容易に確認できることが求められている。図１２に示すように、クリーンルームの天井面設備の運転状況を確認することができるクリーンユニット本体１０１のフィルター支持装置として、エアフィルタ１を保持したクリーンユニット支持枠１０２に運転表示ユニット１０３（ＬＥＤランプなど）を組み込んだものが知られている（例えば特許文献１参照）。 Conventionally, an air filter disposed on a ceiling surface of a clean room or the like, which is a space where clean air is required, is required to be able to easily confirm the upstream state from the downstream side. As shown in FIG. 12, as a filter support device for a clean unit main body 101 capable of confirming the operation status of a clean room ceiling surface facility, an operation display unit 103 (LED lamp) is mounted on a clean unit support frame 102 holding an air filter 1. Etc.) are known (see, for example, Patent Document 1).

特開平６−１９３９２９号公報JP-A-6-193929

このような従来のフィルター支持装置として上流にあるクリーンユニットの運転表示が組み込める支持枠が必要となり、施工面において特殊な支持枠を用いなければならない。また支持枠は表示可能な枠幅が必要であり、その枠幅に必要なコストがかかってしまうという課題があり、容易にフィルター下流側から上流側の状況が確認できることが要求されている。 As such a conventional filter support device, a support frame into which the operation display of the upstream clean unit can be incorporated is required, and a special support frame must be used in terms of construction. Further, the support frame needs to have a displayable frame width, and there is a problem that a necessary cost is required for the frame width, and it is required that the situation on the upstream side can be easily confirmed from the downstream side of the filter.

本発明は、このような従来の課題を解決するものであり、下流側から上流側が視認できる透明度のある枠体にて構成されたことを特徴とするエアフィルタを提供することを目的としている。 The present invention solves such a conventional problem, and an object of the present invention is to provide an air filter characterized in that the air filter is configured by a transparent frame that can be visually recognized from the downstream side to the upstream side.

本発明のファンフィルタユニットは、上記の目的を達成するために、ファンとモータとそれらを内部に有したファンモータユニットと、その下流側にフィルタを有し、前記フィルタは、波形状に折曲して形成された濾材と、前記濾材を枠体の内周壁面に密に接合固定し所定形状で保持した枠体とを備え、この枠体は、前記モータの直下部分を透明度を有する部材で構成し、前記モータの下流側に前記ファンフィルタユニットの運転状態などの表示を行う表示手段を備えたものである。 In order to achieve the above object, a fan filter unit of the present invention has a fan, a motor, a fan motor unit having them therein, and a filter on the downstream side thereof, and the filter is bent into a wave shape. member having a filter medium which is formed by, e Bei a frame held by closely bonding a fixed predetermined shape the filter material on the inner peripheral wall surface of the frame body, the frame, the transparency of the portion immediately below the motor And is provided with display means for displaying the operation state of the fan filter unit on the downstream side of the motor .

この手段により、エアフィルタの下流側から上流側の状況が視認することができるエアフィルタを得られる。 By this means, an air filter can be obtained in which the situation from the downstream side to the upstream side of the air filter can be visually recognized.

また、ファンフィルタユニットの下流側、すなわち、清浄空間側においてファンフィルタユニットの運転表示の確認が可能となる。 Further, the operation display of the fan filter unit can be confirmed on the downstream side of the fan filter unit, that is, on the clean space side.

本発明によれば、下流側から上流側が視認できる透明度のある枠体にて構成されたことを特徴とするエアフィルタを提供できる。 ADVANTAGE OF THE INVENTION According to this invention, the air filter characterized by comprised with the transparent frame body which can visually recognize an upstream from the downstream can be provided.

また、枠体に上流側の状態を下流側から確認できる表示手段を備えたことを特徴とするエアフィルタを提供できる。 In addition, an air filter characterized in that the frame body is provided with display means for confirming the upstream state from the downstream side can be provided.

同実施の形態１のエアフィルタの斜視図The perspective view of the air filter of Embodiment 1 同実施の形態１のエアフィルタの断面図Sectional drawing of the air filter of Embodiment 1 同実施の形態１のエアフィルタの斜視図The perspective view of the air filter of Embodiment 1 同実施の形態１のエアフィルタの断面図Sectional drawing of the air filter of Embodiment 1 同実施の形態１のエアフィルタの斜視図The perspective view of the air filter of Embodiment 1 同実施の形態１のエアフィルタの断面図Sectional drawing of the air filter of Embodiment 1 同実施の形態２のエアフィルタの斜視図The perspective view of the air filter of Embodiment 2 同実施の形態２のエアフィルタの断面図Sectional drawing of the air filter of Embodiment 2 同実施の形態３のエアフィルタの斜視図The perspective view of the air filter of Embodiment 3 同実施の形態３のエアフィルタの断面図Sectional drawing of the air filter of Embodiment 3 同実施の形態４のファンフィルタユニットを示す構成図The block diagram which shows the fan filter unit of the same Embodiment 4. 従来のクリーンユニットのフィルター支持装置を示す断面図Sectional view showing a filter support device of a conventional clean unit

本発明の請求項１記載の発明は、ファンとモータとそれらを内部に有したファンモータユニットと、その下流側にフィルタを有し、前記フィルタは、波形状に折曲して形成された濾材と、前記濾材を枠体の内周壁面に密に接合固定し所定形状で保持した枠体とを備え、この枠体は、前記モータの直下部分を透明度を有する部材で構成し、前記モータの下流側に前記ファンフィルタユニットの運転状態などの表示を行う表示手段を備えたものファンフィルタユニットであり、エアフィルタの上流側の状態を下流側から視認できるといる作用を有する。 The invention according to claim 1 of the present invention includes a fan, a motor, a fan motor unit having them therein, and a filter downstream thereof, wherein the filter is formed by bending into a wave shape. If, e Bei a frame held by closely bonding a fixed predetermined shape the filter material on the inner peripheral wall surface of the frame body, the frame body is constituted by a member having transparency directly under part of the motor, the motor This is a fan filter unit provided with display means for displaying the operation state of the fan filter unit on the downstream side of the air filter, and has an effect that the upstream state of the air filter can be visually recognized from the downstream side.

また、エアフィルタ通過前の汚染された空気環境内に表示手段を設け、その表示内容をファンフィルタユニットの下流側、すなわち、清浄空間側において確認が可能となる。 In addition, display means is provided in the contaminated air environment before passing through the air filter, and the display content can be confirmed on the downstream side of the fan filter unit, that is, on the clean space side.

（実施の形態１）
図１、図２に示すように、本発明のエアフィルタ１は、波形状に折曲して形成された濾材２と、濾材２を枠体３の内周壁面に密に接合固定し所定形状で保持した枠体３とを備えたエアフィルタ１において、透明度のある枠体４にて構成している。 (Embodiment 1)
As shown in FIGS. 1 and 2, the air filter 1 of the present invention has a filter medium 2 formed by bending into a wave shape, and the filter medium 2 is tightly joined and fixed to the inner peripheral wall surface of the frame 3. In the air filter 1 provided with the frame body 3 held in the above, the frame body 4 having transparency is used.

上記構成において、透明度のある枠体４を通して、エアフィルタ１の上流側の状態を上流側へ移動することなく下流側から容易に視認することができる。 In the above configuration, the state on the upstream side of the air filter 1 can be easily visually recognized from the downstream side through the transparent frame body 4 without moving to the upstream side.

また、図３、図４において、透明度のある枠体４はエアフィルタ１を構成するものとしたが、透明度のある枠体４はエアフィルタ１の中央部に設けられても良い。 3 and 4, the transparent frame 4 constitutes the air filter 1, but the transparent frame 4 may be provided at the center of the air filter 1.

また、図５、図６において、エアフィルタ１を構成する枠体３に透明な板５を貫設しても良い。 In FIGS. 5 and 6, a transparent plate 5 may be provided through the frame 3 constituting the air filter 1.

なお、本実施の形態では、エアフィルタ１の枠一部を透明度のある部材で構成して透明度のある枠体４としたが、枠の全部を透明度のある部材で構成してもよい。 In the present embodiment, a part of the frame of the air filter 1 is configured with a transparent member to form the transparent frame 4. However, the entire frame may be configured with a transparent member.

また、透明度のある部材としては、透明度を有したアクリル、ガラスなど、透明度を有し、枠体に使用できる強度を有したものであればよい。 Moreover, as a member with transparency, what has a transparency and the intensity | strength which can be used for a frame body, such as acrylic and glass with transparency, should just be used.

（実施の形態２）
図７、図８に示すように、エアフィルタ１を構成する枠体３に広角レンズ６を備えた構成となっている。 (Embodiment 2)
As shown in FIG. 7 and FIG. 8, the frame 3 constituting the air filter 1 is provided with a wide-angle lens 6.

上記構成において、エアフィルタ１の上流側の状態を上流側へ移動することなく下流側から容易に広範囲に視認することができるエアフィルタ１を得られる。 In the above configuration, the air filter 1 can be obtained that can be easily visually recognized from a downstream side without moving the upstream state of the air filter 1 to the upstream side.

（実施の形態３）
図９、図１０に示すように、エアフィルタ１を構成する枠体３に表示手段７を備えた構成となっている。 (Embodiment 3)
As shown in FIGS. 9 and 10, the frame 3 constituting the air filter 1 is provided with display means 7.

上記構成において、エアフィルタ１の上流側の状態を上流側へ移動することなく下流側から上流側にあるファンフィルターユニットなどの設備の状態を確認することができるエアフィルタ１を得られる。 In the above configuration, the air filter 1 can be obtained in which the state of the equipment such as the fan filter unit on the upstream side from the downstream side can be confirmed without moving the upstream side state of the air filter 1 to the upstream side.

（実施の形態４）
図１１は、図１〜１０に示したようなエアフィルタを搭載したファンフィルタユニットの構成図である。 (Embodiment 4)
FIG. 11 is a configuration diagram of a fan filter unit equipped with an air filter as shown in FIGS.

図に示すように、本実施の形態のファンフィルタユニット８は、ファンモータユニット１３と、その下流側に配したエアフィルタ１で構成される。ファンモータユニット１３は、ターボファン１１とモータ１０とこれらを収納する箱型状のチャンバー１２とで構成され、その天面に吸込口９が設けられている。エアフィルタ１は、箱型状のチャンバー１２の下流側に設けられている。ここでは、エアフィルタ１として、図３（あるいは図４）に示した中央部に透明度のある枠体４を配したエアフィルタを例にして説明する。ファンモータユニット１３とエアフィルタ１の間には、ファンフィルタユニット８の運転状態などを表示する表示手段１５を設けている。表示手段１５に表示するファンフィルタユニット８の運転状態などの情報は、上流側のファンモータユニット１３を制御する制御装置１４から出力されることになる。表示手段１５とは、運転表示ランプ、異常表示ランプなどであるが、液晶パネルなどを用いてデータ表示を行っても良い。 As shown in the figure, the fan filter unit 8 of the present embodiment includes a fan motor unit 13 and an air filter 1 disposed on the downstream side thereof. The fan motor unit 13 includes a turbo fan 11, a motor 10, and a box-shaped chamber 12 that houses these, and a suction port 9 is provided on the top surface thereof. The air filter 1 is provided on the downstream side of the box-shaped chamber 12. Here, the air filter 1 will be described by taking as an example an air filter in which a transparent frame 4 is arranged at the center shown in FIG. 3 (or FIG. 4). Between the fan motor unit 13 and the air filter 1, display means 15 for displaying the operation state of the fan filter unit 8 and the like is provided. Information such as the operating state of the fan filter unit 8 displayed on the display means 15 is output from the control device 14 that controls the fan motor unit 13 on the upstream side. The display means 15 is an operation display lamp, an abnormality display lamp, or the like, but data display may be performed using a liquid crystal panel or the like.

上記構成において、表示手段１５による運転表示などは、ランプの点灯により示される。この表示内容は、透明度のある枠体４を通して、下流側から視認できることになる。ファンフィルタユニット８は吸込口９から吸入された粉塵などを含んだ汚染空気を、ファンモータユニット１３の動作によってエアフィルタ１によって浄化して下流側に供給するものである。本発明のようなエアフィルタ１を用いることによって上流側に情報源があっても、汚染空気を下流側に漏らすことなく下流側から上流側の情報を確認が可能することが可能になる。 In the above configuration, the operation display by the display means 15 is indicated by lighting of the lamp. This display content can be viewed from the downstream side through the transparent frame 4. The fan filter unit 8 purifies contaminated air containing dust sucked from the suction port 9 by the air filter 1 by the operation of the fan motor unit 13 and supplies it to the downstream side. By using the air filter 1 as in the present invention, even if there is an information source on the upstream side, it is possible to check information on the upstream side from the downstream side without leaking contaminated air to the downstream side.

本発明にかかるエアフィルタは、上流側にある設備の運転状態など確認することができる。そのためエアフィルタと一体となったファンフィルターユニットなど空気清浄装置に利用可能である。 The air filter according to the present invention can confirm the operating state of the equipment on the upstream side. Therefore, it can be used for an air cleaning device such as a fan filter unit integrated with an air filter.

１エアフィルタ
２濾材
３枠体
４透明度のある枠体
５透明な板
６広角レンズ
７表示手段
８ファンフィルタユニット
９吸込口
１０モータ
１１ターボファン
１２チャンバー
１３ファンモータユニット
１４制御装置
１５表示手段 DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Air filter 2 Filter medium 3 Frame body 4 Frame with transparency 5 Transparent board 6 Wide angle lens 7 Display means 8 Fan filter unit 9 Suction port 10 Motor 11 Turbo fan 12 Chamber 13 Fan motor unit 14 Controller 15 Display means

Claims

In a fan filter unit having a fan, a motor, a fan motor unit having them inside, and a filter on the downstream side thereof,
The filter, e Bei a filter medium which is formed by bending a corrugated and a frame body held by closely bonding a fixed predetermined shape the filter material on the inner peripheral wall surface of the frame,
This frame is configured by a member having transparency at a portion directly below the motor,
A fan filter unit comprising display means for displaying an operational status of the fan filter unit on the downstream side of the motor.