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JP5012178B2 - Position dimension measuring device - Google Patents
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Description

本発明は、位置寸法測定装置に関し、特に、投光器と受光器とを備える位置寸法測定装置において、光学的な位置合わせを容易かつ確実に行なうことが可能な技術に関する。   The present invention relates to a position dimension measuring apparatus, and more particularly, to a technique capable of easily and reliably performing optical alignment in a position dimension measuring apparatus including a projector and a light receiver.

従来から、測定対象物に平行光を照射し、その平行光を測定対象物が遮ることにより生じた測定対象物の影の長さを測定することにより測定対象物の寸法あるいは位置を測定する測定装置が知られている。測定精度の観点から、このような測定装置においては平行光の光軸の方向が適切に調整されている必要がある。このため、平行光を発する投光器とその平行光を受ける受光器との相対的な位置を調整する必要がある。   Conventionally, a measurement that measures the size or position of a measurement object by irradiating the measurement object with parallel light and measuring the length of the shadow of the measurement object caused by the measurement object blocking the parallel light. The device is known. From the viewpoint of measurement accuracy, in such a measurement apparatus, the direction of the optical axis of the parallel light needs to be adjusted appropriately. For this reason, it is necessary to adjust the relative positions of the projector that emits parallel light and the light receiver that receives the parallel light.

たとえば、特開平4−240506号公報(特許文献1)は、光学調整器を用いた寸法測定装置の光軸調整方法を開示する。この光学調整器は、投光部から出射される投光ビームを遮断するマスク部を備える。そのマスク部には2つの開口部が形成される。この2つの開口が受光部のスリットと一致するように、かつ、両開口の位置がスリットの中心を通るスリット幅方向の線に関して線対称となるように、マスク部が受光部に取り付けられる。そして、一方の開口だけを塞いだときの受光部の出力と、他方の開口だけを塞いだときの受光部の出力とが等しくなる状態を保ちながら、受光部の出力が最大となるように投光部あるいは受光部の位置が調整される。   For example, Japanese Patent Laid-Open No. 4-240506 (Patent Document 1) discloses an optical axis adjustment method for a dimension measuring apparatus using an optical adjuster. The optical adjuster includes a mask unit that blocks a projection beam emitted from the projection unit. Two openings are formed in the mask portion. The mask portion is attached to the light receiving portion so that the two openings coincide with the slits of the light receiving portion, and the positions of both openings are axisymmetric with respect to a line in the slit width direction passing through the center of the slit. Then, while maintaining the state where the output of the light receiving unit when only one opening is closed and the output of the light receiving unit when only the other opening is closed, the output of the light receiving unit is maximized. The position of the light part or the light receiving part is adjusted.

また、このような光学調整器を用いずに光軸調整を行なう方法として、たとえば受光器の出力波形をオシロスコープに表示させ、かつ、その波形に基づいてユーザが平行光の光軸を調整する方法も存在する。
特開平4−240506号公報
Further, as a method of adjusting the optical axis without using such an optical adjuster, for example, a method in which an output waveform of a light receiver is displayed on an oscilloscope, and a user adjusts the optical axis of parallel light based on the waveform. Is also present.
JP-A-4-240506

特開平4−240506号公報(特許文献1)に開示される光軸調整方法を用いて光軸を調整する場合には、実稼動時に不要となる光学調整器が必要になる。要するに、この方法を用いた場合には、ユーザが光軸の調整を容易に行なうことができないために光軸調整時の作業工数が大きくなる。   In the case of adjusting the optical axis using the optical axis adjustment method disclosed in Japanese Patent Laid-Open No. 4-240506 (Patent Document 1), an optical adjuster that becomes unnecessary during actual operation is required. In short, when this method is used, since the user cannot easily adjust the optical axis, the number of work steps for adjusting the optical axis increases.

また、ユーザが上述の光学調整器を用いずに光軸の調整を行なう場合には、光軸の方向が適切に調整されたかどうかを確認する手段が存在しない。このため、光軸の調整に慣れていないユーザが光軸を調整した場合には、調整に時間を要するだけでなく、調整が行なわれるたびに光軸の方向が少しずつ変化したりする可能性が生じる。光軸の方向が変化した場合には、測定対象物の影の長さや方向が変化することによる測定精度への影響が生じることが考えられる。   Further, when the user adjusts the optical axis without using the above-described optical adjuster, there is no means for confirming whether or not the direction of the optical axis has been appropriately adjusted. For this reason, when a user who is not accustomed to adjusting the optical axis adjusts the optical axis, not only does the adjustment take time, but the direction of the optical axis may change little by little every time adjustment is performed. Occurs. When the direction of the optical axis changes, it can be considered that the measurement accuracy is affected by the change in the shadow length and direction of the measurement object.

このような問題が生じるのを防ぐために、たとえば投光部と受光部とを連結器具を用いて連結する方法が考えられる。しかしながらこの方法を用いた場合には投光部と受光部との距離が固定されるため、測定対象物の大きさが制限される。言い換えると、測定装置が測定できる測定対象物が限定されるために測定装置の用途が狭まる可能性がある。   In order to prevent such a problem from occurring, for example, a method of connecting the light projecting unit and the light receiving unit using a connecting tool is conceivable. However, when this method is used, since the distance between the light projecting unit and the light receiving unit is fixed, the size of the measurement object is limited. In other words, since the measurement objects that can be measured by the measurement device are limited, the use of the measurement device may be narrowed.

本発明はこのような問題点を解決するためになされたものであって、本発明の目的は容易、かつ、確実に光軸を調整することが可能な位置形状測定装置を提供することである。   The present invention has been made to solve such problems, and an object of the present invention is to provide a position shape measuring apparatus capable of easily and reliably adjusting the optical axis. .

本発明は要約すれば、位置寸法測定装置であって、投光部と、受光素子と、処理部とを備える。投光部は、光ビームを投射する。受光素子は、少なくとも第1の方向に配列されることにより受光領域を形成する複数の受光画素を含み、複数の受光画素の各々が光ビームを受けて複数の受光画素の各々の受光量を示す受光信号を出力する。処理部は、受光素子から受光信号を受けることにより受光領域における光ビームの受光量分布を算出する。処理部は、受光領域の中心を通り、かつ第1の方向と垂直な第2の方向に沿った中心線に対して中心線対称な第1および第2の領域について、第1の領域での受光量と第2の領域での受光量とのバランスに関する受光量バランス情報を生成して出力する。   In summary, the present invention is a position dimension measuring apparatus including a light projecting unit, a light receiving element, and a processing unit. The light projecting unit projects a light beam. The light receiving element includes a plurality of light receiving pixels that are arranged in at least a first direction to form a light receiving region, and each of the plurality of light receiving pixels receives a light beam and indicates the amount of light received by each of the plurality of light receiving pixels. Output light reception signal. The processing unit calculates the received light amount distribution of the light beam in the light receiving region by receiving the light reception signal from the light receiving element. The processing unit passes through the center of the light receiving region and the first and second regions that are symmetric about the center line with respect to the center line along the second direction perpendicular to the first direction. Light reception amount balance information relating to the balance between the light reception amount and the light reception amount in the second region is generated and output.

好ましくは、処理部は、受光量バランス情報として、第1の領域での受光量と第2の領域での受光量とのバランスが取れているか否かを示す情報を生成する。   Preferably, the processing unit generates, as the received light amount balance information, information indicating whether or not the received light amount in the first region and the received light amount in the second region are balanced.

より好ましくは、位置寸法測定装置は、処理部から受光量バランス情報を受けることにより点灯および消灯を行なう点灯装置をさらに備える。点灯装置は、受光量バランス情報が、第1の領域での受光量と第2の領域での受光量とのバランスが取れていることを示す場合には、点灯および消灯の一方を行なう。点灯装置は、受光量バランス情報が、第1の領域での受光量と第2の領域での受光量とのバランスが取れていないことを示す場合には、点灯および消灯の他方を行なう。   More preferably, the position dimension measuring device further includes a lighting device that turns on and off by receiving light reception amount balance information from the processing unit. When the received light amount balance information indicates that the received light amount in the first region and the received light amount in the second region are balanced, the lighting device performs one of lighting and extinguishing. When the received light amount balance information indicates that the received light amount in the first region and the received light amount in the second region are not balanced, the lighting device performs the other of turning on and off.

さらに好ましくは、受光素子および処理部は、共通の筐体に格納される。点灯装置は、筐体の外表面に取り付けられる。   More preferably, the light receiving element and the processing unit are stored in a common housing. The lighting device is attached to the outer surface of the housing.

好ましくは、処理部は、受光量バランス情報として、第1の領域での受光量と第2の領域での受光量とのバランスを取るために要求される光軸の移動の向きを示す情報を生成する。光軸の移動の向きは、受光領域の中心から第1の方向に沿って受光領域の一方の端部に至る向きと、受光領域の中心から第1の方向に沿って受光領域の他方の端部に至る向きとのいずれかである。   Preferably, the processing unit includes, as the received light amount balance information, information indicating a moving direction of the optical axis required for balancing the received light amount in the first region and the received light amount in the second region. Generate. The direction of movement of the optical axis is the direction from the center of the light receiving region to one end of the light receiving region along the first direction, and the other end of the light receiving region along the first direction from the center of the light receiving region. One of the directions to the part.

より好ましくは、処理部は、第1の領域での受光量のピーク値である第1のピーク値と、第2の領域での受光量のピーク値である第2のピーク値とに基づいて、受光量バランス情報を生成する。   More preferably, the processing unit is based on a first peak value that is a peak value of the received light amount in the first region and a second peak value that is the peak value of the received light amount in the second region. The received light amount balance information is generated.

さらに好ましくは、処理部は、第1および第2のピーク値の少なくとも一方が所定値よりも大きい場合には、受光量バランス情報を生成する。処理部は、第1および第2のピーク値がともに所定値以下の場合には、受光量バランス情報に代えて、光軸を第2の方向に沿って移動させる必要があることを示す情報を生成する。   More preferably, the processing unit generates received light amount balance information when at least one of the first and second peak values is larger than a predetermined value. When both the first and second peak values are equal to or less than the predetermined value, the processing unit replaces the received light amount balance information with information indicating that the optical axis needs to be moved along the second direction. Generate.

好ましくは、光ビームは平行光である。
本発明の他の局面に従うと、位置寸法測定装置であって、投光部と、受光素子と、処理部とを備える。投光部は、第1の方向について中心線対称な強度分布を有する有効領域を含む光ビームを投射する。受光素子は、少なくとも第1の方向に配列されることにより受光領域を形成する複数の受光画素を含み、複数の受光画素の各々が有効領域内の光ビームを受けて複数の受光画素の各々の受光量を示す受光信号を出力する。処理部は、受光素子から受光信号を受けることにより受光領域における前記光ビームの受光量分布を算出する。処理部は、受光量分布から、光ビームの有効領域に含まれる中心対称な強度分布の中心線に対応する、第1の方向に関する位置を算出する。処理部は、算出した位置と受光領域の中心位置との位置ずれに関する情報を生成する。
Preferably, the light beam is parallel light.
According to another aspect of the present invention, the position dimension measuring apparatus includes a light projecting unit, a light receiving element, and a processing unit. The light projecting unit projects a light beam including an effective region having an intensity distribution symmetric with respect to the center line in the first direction. The light receiving element includes a plurality of light receiving pixels arranged in at least a first direction to form a light receiving region, and each of the plurality of light receiving pixels receives a light beam in the effective region and receives each of the plurality of light receiving pixels. A light reception signal indicating the amount of light received is output. The processing unit calculates a received light amount distribution of the light beam in the light receiving region by receiving a light receiving signal from the light receiving element. The processing unit calculates, from the received light amount distribution, a position in the first direction corresponding to the center line of the centrally symmetric intensity distribution included in the effective region of the light beam. The processing unit generates information regarding a positional deviation between the calculated position and the center position of the light receiving region.

好ましくは、光ビームは、光ビームの中心において強度がピークとなる強度分布を有する。処理部は、第1の方向に関する位置として、受光量分布の強度のピークの位置を算出する。   Preferably, the light beam has an intensity distribution with a peak intensity at the center of the light beam. The processing unit calculates the position of the intensity peak of the received light amount distribution as the position in the first direction.

本発明によれば、容易、かつ、確実に光軸を調整することが可能な透過型位置/形状測定装置が実現可能になる。   According to the present invention, it is possible to realize a transmission type position / shape measuring apparatus capable of easily and reliably adjusting the optical axis.

以下において、本発明の実施の形態について図面を参照して詳細に説明する。なお、以下において図中の同一または相当部分には同一符号を付してその説明は繰返さないものとする。   Hereinafter, embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the drawings. In the following, the same or corresponding parts in the drawings are denoted by the same reference numerals, and the description thereof will not be repeated.

図1は、本実施の形態に従う位置寸法測定装置の構成および配置例を示す斜視図である。図1を参照して、測定対象物体300の位置および/または寸法を測定するための位置寸法測定装置10は、搬送されてきた測定対象物体300が存在することとなる領域の両側に配置される、投光器100および受光器200を備える。   FIG. 1 is a perspective view showing a configuration and an arrangement example of a position dimension measuring apparatus according to the present embodiment. Referring to FIG. 1, a position / dimension measurement apparatus 10 for measuring the position and / or dimension of a measurement target object 300 is arranged on both sides of a region where the measurement target object 300 that has been conveyed is present. The projector 100 and the light receiver 200 are provided.

投光器100は、電源ケーブル105を介して図示しない電源に接続されている。また受光器200は、ケーブル205により図示しないコントローラと接続されている。   The projector 100 is connected to a power source (not shown) via a power cable 105. The light receiver 200 is connected to a controller (not shown) via a cable 205.

図2に示すように、投光器100の筐体120には、出射光を測定対象物体300へ向けて投射するための開口部110が設けられる。開口部110には、透明部材170が設けられる。   As shown in FIG. 2, the housing 120 of the projector 100 is provided with an opening 110 for projecting emitted light toward the measurement target object 300. A transparent member 170 is provided in the opening 110.

投光器100から投射された平行光は、図1に示した、受光器200に設けられた開口部210へ入射される。なお平行光の光軸は開口部110の中心点111を通る。   The parallel light projected from the projector 100 enters the opening 210 provided in the light receiver 200 shown in FIG. The optical axis of the parallel light passes through the center point 111 of the opening 110.

後ほど詳細に説明するように、受光器200の開口部210には受光素子として複数の画素を備える撮像素子が備えられている。位置寸法測定装置10は、投光器100からの投射光が測定対象物体300によって遮光される際の光量の変化を受光器200によって検知することにより、測定対象物体300の存在を検出できる。すなわち開口部210に、複数の画素を1次元に配列することによって、測定対象物体300の位置および/または寸法を測定することが可能となる。   As will be described in detail later, the opening 210 of the light receiver 200 is provided with an image sensor including a plurality of pixels as a light receiving element. The position dimension measuring apparatus 10 can detect the presence of the measurement target object 300 by detecting a change in the amount of light when the projection light from the projector 100 is blocked by the measurement target object 300. That is, by arranging a plurality of pixels in the opening 210 in a one-dimensional manner, the position and / or dimension of the measurement target object 300 can be measured.

図3は、本発明の実施の形態による位置寸法測定装置10の構成を示す概略ブロック図である。図3を参照して、投光器100は、筐体120内に格納された、半導体レーザ130と、APC(Auto Power Control)回路150と、コリメートレンズ160と、開口部110に設けられた透明部材170とを含む。投光器100は、電源ケーブル105によって電源400と接続されて、動作電力を供給される。   FIG. 3 is a schematic block diagram showing a configuration of the position dimension measuring apparatus 10 according to the embodiment of the present invention. Referring to FIG. 3, projector 100 includes a semiconductor laser 130, an APC (Auto Power Control) circuit 150, a collimator lens 160, and a transparent member 170 provided in opening 110, which are housed in housing 120. Including. The projector 100 is connected to a power source 400 by a power cable 105 and supplied with operating power.

半導体レーザ130は、レーザチップ135およびモニタ用フォトダイオード140を含む。半導体レーザ130としては、レーザチップ135と、フォトダイオード140とが一体的に内蔵された一般的な構成を適用することができる。レーザチップ135から出力されたレーザ光は、ガラスウインドウ137を通して半導体レーザ130の外部に出射されるとともに、フォトダイオード140へも入射される。すなわち、フォトダイオード140は、レーザチップ135から出力されるレーザ光の光出力を検出するために配置されている。   The semiconductor laser 130 includes a laser chip 135 and a monitoring photodiode 140. As the semiconductor laser 130, a general configuration in which the laser chip 135 and the photodiode 140 are integrally incorporated can be applied. Laser light output from the laser chip 135 is emitted outside the semiconductor laser 130 through the glass window 137 and also incident on the photodiode 140. That is, the photodiode 140 is arranged to detect the light output of the laser light output from the laser chip 135.

APC回路150は、フォトダイオード140によって検出された光出力に基づいて、レーザチップ135への供給電力(代表的には、供給電流)を制御する。一般的にはレーザチップ135が出射するレーザ光のパワーは供給電流に応じて変化する特性を有する。   The APC circuit 150 controls the supply power (typically, supply current) to the laser chip 135 based on the light output detected by the photodiode 140. In general, the power of the laser beam emitted from the laser chip 135 has a characteristic that changes according to the supply current.

APC回路150は、フォトダイオード140により検出された光出力が光出力目標値より低い場合には、レーザチップ135へ供給する電流を増加させ、フォトダイオード140により検出された光出力が光出力目標値より高い場合には、レーザチップ135へ供給する電流を減少させる。この結果、APC回路150によって、レーザチップ135から出力されるレーザ光の光出力を、光出力目標値に合致した一定値に維持するフィードバック制御が実現される。たとえば、このようなフィードバック制御により、温度変動に対してレーザ光を一定に維持することが可能となる。   When the light output detected by the photodiode 140 is lower than the light output target value, the APC circuit 150 increases the current supplied to the laser chip 135, and the light output detected by the photodiode 140 becomes the light output target value. If it is higher, the current supplied to the laser chip 135 is decreased. As a result, the APC circuit 150 implements feedback control that maintains the optical output of the laser light output from the laser chip 135 at a constant value that matches the optical output target value. For example, such feedback control makes it possible to keep the laser beam constant with respect to temperature fluctuations.

APC回路150は、さらに、レーザ光を出射中であることを示すLED(Light Emitting Diode)122および、半導体レーザ130の劣化を示すLED124の点灯を制御する。たとえば、APC回路150は、フォトダイオード140によって検知される光出力が所定値以上となったときに、LED122を点灯させる。一方、APC回路150は、所定量の電流をレーザチップ135に供給しても、フォトダイオード140によって検知される光出力が劣化判定用の基準値に達しないときに、LED124を点灯させる。   The APC circuit 150 further controls lighting of an LED (Light Emitting Diode) 122 indicating that laser light is being emitted and an LED 124 indicating deterioration of the semiconductor laser 130. For example, the APC circuit 150 turns on the LED 122 when the light output detected by the photodiode 140 exceeds a predetermined value. On the other hand, even when a predetermined amount of current is supplied to the laser chip 135, the APC circuit 150 turns on the LED 124 when the light output detected by the photodiode 140 does not reach the reference value for deterioration determination.

半導体レーザ130から出射されたレーザ光500は、コリメートレンズ160によって平行光ビームに変換されて、開口部110から出射される。開口部110には開口部110を覆うように透明部材170が設けられる。透明部材170を設けることによって埃などが投光器100の内部に入ることを防ぐことができる。   Laser light 500 emitted from the semiconductor laser 130 is converted into a parallel light beam by the collimator lens 160 and emitted from the opening 110. A transparent member 170 is provided in the opening 110 so as to cover the opening 110. Providing the transparent member 170 can prevent dust and the like from entering the projector 100.

投光器100から出射されたレーザ光500は受光器200に入射される。受光器200は、撮像素子250と、処理回路260と、LED280とを含む。撮像素子250および処理回路260は筐体220内に格納され、LED280は筐体220の外表面に取り付けられる。   The laser beam 500 emitted from the projector 100 enters the light receiver 200. The light receiver 200 includes an image sensor 250, a processing circuit 260, and an LED 280. The image sensor 250 and the processing circuit 260 are stored in the housing 220, and the LED 280 is attached to the outer surface of the housing 220.

撮像素子250は投光器側の開口部110と対向するように設けられた筐体220の開口部210に対応して配置される。撮像素子250は一次元に配列された複数の画素PXを有する。各画素PXは、受光量を示す電気信号(以下、画素信号という)を出力する。   The image sensor 250 is disposed corresponding to the opening 210 of the housing 220 provided to face the opening 110 on the projector side. The image sensor 250 has a plurality of pixels PX arranged one-dimensionally. Each pixel PX outputs an electrical signal indicating the amount of received light (hereinafter referred to as a pixel signal).

撮像素子250としては、代表的にはCCDイメージセンサが適用される。ただし撮像素子250としてはCCDイメージセンサに代えてCMOS(Complementary Metal Oxide Semiconductor)イメージセンサを用いることも可能である。CMOSイメージセンサを用いた場合には、消費電力を低減できるとともに画素信号の読出を高速化することができる。   As the image sensor 250, a CCD image sensor is typically applied. However, a CMOS (Complementary Metal Oxide Semiconductor) image sensor may be used as the image sensor 250 instead of the CCD image sensor. When a CMOS image sensor is used, power consumption can be reduced and pixel signal readout can be speeded up.

処理回路260は、撮像素子250から出力された各画素の受光量を示す信号を処理することにより、複数の画素PXにより形成される受光領域の受光量分布を作成する。   The processing circuit 260 processes a signal indicating the light reception amount of each pixel output from the image sensor 250, thereby creating a light reception amount distribution of a light reception region formed by the plurality of pixels PX.

図3において、投光器100から出力されるレーザ光500(平行光ビーム)の光軸A1は開口部110の中心点111を通る直線として示され、撮像素子250の光軸A2は受光領域の中心点271を通る直線として示される。位置寸法測定装置10において高い測定精度を得るためには光軸A1と光軸A2とが一致するように投光器100と受光器200との相対的位置を調整する必要がある。   In FIG. 3, the optical axis A1 of the laser beam 500 (parallel light beam) output from the projector 100 is shown as a straight line passing through the center point 111 of the opening 110, and the optical axis A2 of the image sensor 250 is the center point of the light receiving region. Shown as a straight line through 271. In order to obtain high measurement accuracy in the position dimension measuring apparatus 10, it is necessary to adjust the relative positions of the projector 100 and the light receiver 200 so that the optical axis A1 and the optical axis A2 coincide.

ユーザは、投光器100と受光器200との相対的位置を調整するとき、すなわち光軸調整時には、まず、コントローラ450を操作することにより位置寸法測定装置10の動作モードを光軸調整モードに設定する。このとき処理回路260はコントローラ450からの指令に応じて光軸調整処理を行なう。   When the user adjusts the relative position between the projector 100 and the light receiver 200, that is, when adjusting the optical axis, first, the operation mode of the position dimension measuring apparatus 10 is set to the optical axis adjustment mode by operating the controller 450. . At this time, the processing circuit 260 performs an optical axis adjustment process in response to a command from the controller 450.

光軸調整処理時には、処理回路260は複数の画素PXにより形成される受光領域について、その中心線に対して中心対称な2つの領域の一方(第1の領域)での受光量と他方(第2の領域)での受光量とを算出する。   At the time of the optical axis adjustment processing, the processing circuit 260 for the light receiving region formed by the plurality of pixels PX, the received light amount in one of the two regions (first region) symmetric with respect to the center line and the other (first) 2) and the amount of received light.

なお、中心対称な第1および第2の領域とは、中心線によって分けられる2つの領域にわたる場合を含んでもよいが、同一の領域を除く。その理由は、第1および第2の領域の受光量のバランスが分かればよいからである。   The centrally symmetric first and second regions may include a case where two regions separated by a center line are included, but exclude the same region. The reason is that it is only necessary to know the balance between the received light amounts of the first and second regions.

光軸A1と光軸A2とが一致した場合には、第1の領域の受光量と第2の領域の受光量とのバランスが取れた状態になる。一方、光軸A2に対して光軸A1がずれた場合には、第1の領域の受光量と第2の領域の受光量とがアンバランスになる。   When the optical axis A1 and the optical axis A2 coincide, the amount of light received in the first region and the amount of light received in the second region are balanced. On the other hand, when the optical axis A1 is deviated from the optical axis A2, the amount of light received in the first region and the amount of light received in the second region are unbalanced.

処理回路260は算出した受光領域の受光量分布に基づいて、第1の領域での受光量と第2の領域での受光量とのバランスに関する受光量バランス情報を生成して出力する。具体的には、処理回路260は、第1の領域の受光量と第2の領域の受光量とのバランスが取れている(光軸A1と光軸A2とが一致している)場合にはたとえば論理値「1」を有する信号をLED280に送信してLED280を点灯させる。処理回路260は、第1の領域の受光量と第2の領域の受光量とのバランスが取れていない(光軸A1と光軸A2とがずれている)場合にはたとえば論理値「0」を有する信号をLED280に送信してLED280を消灯させる。論理値「1」,「0」は上述の「受光バランス情報」に対応する。   The processing circuit 260 generates and outputs received light amount balance information related to the balance between the received light amount in the first region and the received light amount in the second region based on the calculated received light amount distribution in the received light region. Specifically, the processing circuit 260 is in the case where the amount of light received in the first region and the amount of light received in the second region are balanced (the optical axis A1 and the optical axis A2 match). For example, a signal having a logical value “1” is transmitted to the LED 280 to light the LED 280. The processing circuit 260, for example, has a logical value “0” when the amount of light received in the first region and the amount of light received in the second region are not balanced (the optical axis A1 and the optical axis A2 are shifted). Is transmitted to the LED 280 to turn off the LED 280. The logical values “1” and “0” correspond to the “light reception balance information” described above.

なお、第1の領域の受光量と第2の領域の受光量とのバランスが取れていない場合にLEDが点灯し、かつ、第1の領域の受光量と第2の領域の受光量とのバランスが取れた場合にLEDが点灯してもよい。また、第1の領域の受光量と第2の領域の受光量とのバランスが取れているときに論理値「0」に応じてLED280が点灯してもよい。   It should be noted that the LED is turned on when the amount of light received in the first region and the amount of light received in the second region are not balanced, and the amount of light received in the first region and the amount of light received in the second region The LED may light up when the balance is achieved. Further, the LED 280 may be turned on according to the logical value “0” when the amount of light received in the first region and the amount of light received in the second region are balanced.

この受光バランス情報に基づいて、LED280が点灯あるいは消灯を行なうことによりユーザは受光器200の出力を確認する装置(オシロスコープ等)を用意しなくても光軸調整結果を容易に確認することができる。またLED280は撮像素子250および処理回路260が格納される筐体220に取り付けられているので、光軸調整時においてユーザの視線の動きをできるだけ少なくすることができる。   Based on this light reception balance information, the LED 280 is turned on or off, so that the user can easily confirm the optical axis adjustment result without preparing a device (such as an oscilloscope) for confirming the output of the light receiver 200. . Further, since the LED 280 is attached to the housing 220 in which the image sensor 250 and the processing circuit 260 are housed, the movement of the user's line of sight can be reduced as much as possible when adjusting the optical axis.

また処理回路260により光軸A1と光軸A2とが一致したかどうか(第1の領域と第2の領域とで受光量のバランスが取れているかどうか)が判定されるので、ユーザが自身の経験に基づいてオシロスコープに表示された出力波形から光軸が調整されたかどうかを判断するよりも確実に光軸A1と光軸A2とを一致させることができる。よって本実施の形態によれば、容易、かつ、確実に光軸を調整することが可能な透過型位置/形状測定装置が実現することができる。   Further, since the processing circuit 260 determines whether or not the optical axis A1 and the optical axis A2 coincide with each other (whether the received light amount is balanced between the first area and the second area), the user can change his / her own The optical axis A1 and the optical axis A2 can be made to coincide with each other more reliably than judging whether the optical axis is adjusted from the output waveform displayed on the oscilloscope based on experience. Therefore, according to the present embodiment, it is possible to realize a transmission type position / shape measuring apparatus capable of easily and reliably adjusting the optical axis.

さらに、本実施の形態によれば、投光器100と受光器200との相対的な位置合わせ(光軸調整)が容易になるので投光器100と受光器200との間の距離を広げることができる。これにより測定対象物の大きさに関する制限が緩やかになるため、位置寸法測定装置の汎用性を高めることができる。また、ユーザが光軸調整を容易に行なうことができるので投光器100と受光器200との距離を広げても所定の測定精度を確保することが可能になる。   Furthermore, according to the present embodiment, since the relative positioning (optical axis adjustment) between the projector 100 and the light receiver 200 is facilitated, the distance between the projector 100 and the light receiver 200 can be increased. Thereby, since the restriction | limiting regarding the magnitude | size of a measuring object becomes loose | gentle, the versatility of a position dimension measuring apparatus can be improved. In addition, since the user can easily adjust the optical axis, it is possible to ensure a predetermined measurement accuracy even if the distance between the projector 100 and the light receiver 200 is increased.

処理回路260は、作成した受光量バランスの情報、および、各画素の受光量の情報をケーブル205によって接続されたコントローラ450へ対して送出する。   The processing circuit 260 sends the generated received light amount balance information and the received light amount information of each pixel to the controller 450 connected by the cable 205.

たとえば、コントローラ450は、図4に示されるように構成され、受光器200の位置微調整や測定条件設定に関する指示を入力するための操作部452と、処理回路260によって処理されたCCDイメージセンサからの出力結果に対応する情報を示す表示部454とが示される。たとえば、表示部454には、測定対象物体300のエッジ位置を示す情報が数値化されて表示される。   For example, the controller 450 is configured as shown in FIG. 4, and includes an operation unit 452 for inputting instructions on fine adjustment of the position of the light receiver 200 and measurement condition setting, and a CCD image sensor processed by the processing circuit 260. A display unit 454 showing information corresponding to the output result is displayed. For example, information indicating the edge position of the measurement target object 300 is digitized and displayed on the display unit 454.

表示部454は、7セグメント表示装置である表示装置456,458を含む。光軸調整時には、表示装置456に受光量のバランスに関する情報が表示され、表示装置458に受光量の情報が表示される。   Display unit 454 includes display devices 456 and 458 which are 7-segment display devices. At the time of optical axis adjustment, information on the balance of received light amounts is displayed on the display device 456, and information on the received light amount is displayed on the display device 458.

また、コントローラ450の内部には、処理回路260からの情報を処理して処理結果を表示部454に表示させたり、ユーザによる操作部452の操作結果に応じて所定の処理を行なったりする処理回路が格納される。   Further, inside the controller 450, a processing circuit that processes information from the processing circuit 260 and displays a processing result on the display unit 454, or performs a predetermined process according to an operation result of the operation unit 452 by the user. Is stored.

図3に戻り、受光器200は、コントローラ450を介して電源410と接続される。また、コントローラ450にさらにコンピュータ端末460を接続することにより処理回路260によって処理された測定結果を、コンピュータ端末460の画面に表示させてもよい。   Returning to FIG. 3, the light receiver 200 is connected to the power source 410 via the controller 450. Further, by connecting the computer terminal 460 to the controller 450, the measurement result processed by the processing circuit 260 may be displayed on the screen of the computer terminal 460.

図5は、本実施の形態に係る位置寸法測定装置10の光軸調整をより詳しく説明する図である。図6は、撮像素子250の受光領域における受光量分布を示す図である。   FIG. 5 is a diagram for explaining the optical axis adjustment of the position dimension measuring apparatus 10 according to the present embodiment in more detail. FIG. 6 is a diagram showing the received light amount distribution in the light receiving region of the image sensor 250.

図5および図6を参照して、本実施の形態では撮像素子250に含まれる複数の画素(図3に示す画素PX)が並べられた第1の方向を「左右方向」と定義する。   With reference to FIGS. 5 and 6, in the present embodiment, a first direction in which a plurality of pixels (pixel PX shown in FIG. 3) included in image sensor 250 is arranged is defined as a “left-right direction”.

複数の画素は受光領域290を形成する。受光領域290の中心点から第1の方向に沿って受光領域290の一方の端部に至る向きが左向きであり、受光領域290の中心点から第2の方向に沿って受光領域290の他方の端部に至る向きが右向きである。   The plurality of pixels form a light receiving region 290. The direction from the center point of the light receiving region 290 to one end of the light receiving region 290 along the first direction is leftward, and the other direction of the light receiving region 290 along the second direction from the center point of the light receiving region 290 is The direction to the end is rightward.

また、左右方向に垂直な第2の方向を「上下方向」と定義する。
図5は、平行光ビームの光軸と、撮像素子250の光軸とが一致している状態を示す。2つの光軸は1つに重なるので、図5では重なった状態の2つの光軸を1つの光軸X1として示す。光軸X1は受光領域290の中心点271を通るとともに撮像素子250の光軸が投光器100に設けられた開口部110の中心点111を通る。この状態において受光器200側のLED280が点灯する。
The second direction perpendicular to the left-right direction is defined as the “up-down direction”.
FIG. 5 shows a state in which the optical axis of the parallel light beam coincides with the optical axis of the image sensor 250. Since the two optical axes overlap each other, in FIG. 5, the two optical axes in the overlapped state are shown as one optical axis X1. The optical axis X1 passes through the center point 271 of the light receiving region 290, and the optical axis of the image sensor 250 passes through the center point 111 of the opening 110 provided in the projector 100. In this state, the LED 280 on the light receiver 200 side is turned on.

図3に示す処理回路260は光軸調整時に、中心点271を通り、かつ、複数の画素の配置方向に垂直な中心線により受光領域290を領域291,292に仮想的に分割する。以後は領域291,292をそれぞれ「左領域」および「右領域」とも称するものとする。なお「右領域」および「左領域」は上述の第1および第2の領域にそれぞれ相当する。   When adjusting the optical axis, the processing circuit 260 shown in FIG. 3 virtually divides the light receiving area 290 into areas 291 and 292 by a center line passing through the center point 271 and perpendicular to the arrangement direction of the plurality of pixels. Hereinafter, the regions 291 and 292 are also referred to as “left region” and “right region”, respectively. The “right region” and “left region” correspond to the first and second regions described above, respectively.

図5に示す投光器100および受光器200の配置状態において、受光量は図6(A)に示すように右領域と左領域とで均等となる。これに対し、投光器100が図5の右方向にずれた場合には、図6(B)に示すように右領域における受光量のピーク値PRが左領域における受光量のピーク値PLよりも大きくなる。なお投光器100が図5の左方向にずれた場合には、ピーク値PLがピーク値PRよりも大きくなる。   In the arrangement state of the projector 100 and the light receiver 200 shown in FIG. 5, the amount of received light is equal in the right region and the left region as shown in FIG. 6 (A). On the other hand, when the projector 100 is shifted in the right direction in FIG. 5, the peak value PR of the received light amount in the right region is larger than the peak value PL of the received light amount in the left region as shown in FIG. Become. When the projector 100 is shifted in the left direction in FIG. 5, the peak value PL is larger than the peak value PR.

処理回路260は、ピーク値PL,PRの各々と受光量レベルしきい値TLVLとを比較して、ピーク値PL,PRの少なくとも一方が受光量レベルしきい値TLVLよりも大きい場合に上述の受光量バランス情報を生成する。受光量レベルしきい値TLVLは、たとえば設計や実験などにより適切に定めることができる。   The processing circuit 260 compares each of the peak values PL and PR with the received light amount level threshold value TLVL, and when at least one of the peak values PL and PR is larger than the received light amount level threshold value TLVL, the received light amount described above. Generate quantity balance information. The received light amount level threshold value TLVL can be appropriately determined by design or experiment, for example.

平行光ビームの光軸が上下方向にずれている場合には、受光領域290に入射される平行光ビームの光量が小さいため、受光領域290の受光量が低下する(あるいは受光量がほぼ0となる)。すなわち、ピーク値PL,PRの少なくとも一方が受光量レベルしきい値TLVLよりも大きくなるように平行光ビームの光軸を上下方向に移動させることで、平行光ビームの光軸の上下方向のずれをなくすことができる。このような状態で、処理回路260はピーク値PR,PLの差分(=PR−PL)に基づいて受光量バランス情報を生成する。これにより、ユーザが平行光ビームの光軸の左右方向のずれをなくすよう平行光ビームの光軸を左右方向に移動させれば、平行光ビームの光軸が上下左右のいずれの方向にも調整された状態、すなわち、撮像素子250の光軸と一致した状態を得ることができる。   When the optical axis of the parallel light beam is shifted in the vertical direction, the amount of light of the parallel light beam incident on the light receiving region 290 is small, so that the amount of light received by the light receiving region 290 is reduced (or the amount of received light is almost zero). Become). That is, by moving the optical axis of the parallel light beam in the vertical direction so that at least one of the peak values PL and PR is larger than the received light amount level threshold value TLVL, the optical axis of the parallel light beam is shifted in the vertical direction. Can be eliminated. In such a state, the processing circuit 260 generates the received light amount balance information based on the difference between the peak values PR and PL (= PR−PL). As a result, if the user moves the optical axis of the parallel light beam in the horizontal direction so as to eliminate the deviation of the optical axis of the parallel light beam in the horizontal direction, the optical axis of the parallel light beam is adjusted in any of the vertical, horizontal, and horizontal directions. In other words, it is possible to obtain a state in which the optical axis of the image sensor 250 coincides.

図7は、光軸調整時のコントローラ450の表示を示す図である。この表示はコントローラ450内部の処理回路が処理回路260から受光量ピーク値および受光量の情報を受けて受光量分布を算出し、かつ受光量分布に基づいて受光量バランス情報を生成して出力することにより実現される。なおこの表示処理を行なうときのコントローラ450内部の処理回路は本発明の「処理部」を実現する。   FIG. 7 is a diagram showing a display of the controller 450 at the time of optical axis adjustment. In this display, the processing circuit inside the controller 450 receives the information of the received light amount peak value and the received light amount from the processing circuit 260 to calculate the received light amount distribution, and generates and outputs the received light amount balance information based on the received light amount distribution. Is realized. The processing circuit inside the controller 450 when performing this display processing implements the “processing unit” of the present invention.

図7を参照して、表示装置456には受光バランスが複数の縦棒(バー)により表示され、表示装置458には受光量を示す数値が表示される。なお、具体的には、複数のバーの各々は7セグメント表示の一部のみ表示されることにより実現される。   Referring to FIG. 7, the light receiving balance is displayed by a plurality of vertical bars (bars) on display device 456, and a numerical value indicating the amount of received light is displayed on display device 458. Specifically, each of the plurality of bars is realized by displaying only a part of the 7-segment display.

図8は、コントローラ450の表示装置456に表示される受光量バランス情報の例を示す図である。図8を参照して、投光器100が左右方向にずれた場合には、コントローラ450内部の処理回路は、受光量バランス情報として、右領域での受光量と左領域での受光量とのバランスを取るために平行光ビームの光軸を左向きおよび右向きのいずれに移動させることが必要であるかを示す情報を生成し、その情報を出力する。表示装置456は、その情報をバーにより表示する。具体的には、(A)に示すように投光器100を左方向に動かす必要がある場合には、左端のバーの表示が欠けた状態になる。投光器100を右方向に動かす必要がある場合には右端のバーの表示が欠けた状態になる。   FIG. 8 is a diagram illustrating an example of the received light amount balance information displayed on the display device 456 of the controller 450. Referring to FIG. 8, when the projector 100 is shifted in the left-right direction, the processing circuit inside the controller 450 calculates the balance between the received light amount in the right region and the received light amount in the left region as the received light amount balance information. For this purpose, information indicating whether it is necessary to move the optical axis of the parallel light beam leftward or rightward is generated, and the information is output. Display device 456 displays the information using a bar. Specifically, as shown in (A), when it is necessary to move the projector 100 in the left direction, the left end bar is not displayed. When it is necessary to move the projector 100 in the right direction, the right end bar is not displayed.

投光器100が上下方向にずれることにより、右領域での受光量のピーク値PRおよび左領域での受光量のピーク値PLのいずれも受光量レベルしきい値TLVLより低くなった場合、コントローラ450内部の処理回路は、受光量バランス情報に代えて光軸を上下方向に沿って移動させる必要があることを示す情報を生成し、その情報を出力する。具体的には、(B)に示すように、両端のバーの表示が欠けた状態になる。   If both the peak value PR of the received light amount in the right region and the peak value PL of the received light amount in the left region become lower than the received light amount level threshold value TLVL by shifting the projector 100 in the vertical direction, the inside of the controller 450 The processing circuit generates information indicating that it is necessary to move the optical axis along the vertical direction instead of the received light amount balance information, and outputs the information. Specifically, as shown in (B), the display of the bars at both ends is missing.

また、投光器100および受光器200の間に遮光物が存在したり投光面(あるいは受光面)が汚れていたりする場合には、受光量レベルしきい値TLVLよりも受光量が小さい画素の数が所定数以上となることがある。この場合にはコントローラ450内部の処理回路は、上記の(A),(B)のいずれとも異なる表示を表示装置456に行なわせるための情報を生成して出力する。具体的には(C)に示すように、複数のバーのうち中央のバーが欠けた状態となる。   In addition, when there is a light blocking object between the projector 100 and the light receiver 200 or the light projecting surface (or the light receiving surface) is dirty, the number of pixels having a light reception amount smaller than the light reception amount level threshold value TLVL. May exceed a predetermined number. In this case, the processing circuit inside the controller 450 generates and outputs information for causing the display device 456 to perform a display different from both of the above (A) and (B). Specifically, as shown in (C), the central bar is missing from the plurality of bars.

このようにコントローラ450内部の処理回路は平行光ビームの光軸を上下左右のいずれの向きに動かすかを示す情報を生成して出力する。さらに表示装置456はこの情報を表示する。これによりユーザは平行光ビームの光軸をどの向きに移動させればよいかを容易に把握することができる。よって光軸を容易、かつ確実に調整できる。   In this way, the processing circuit inside the controller 450 generates and outputs information indicating whether the optical axis of the parallel light beam is moved in the vertical and horizontal directions. Further, the display device 456 displays this information. Thereby, the user can easily grasp in which direction the optical axis of the parallel light beam should be moved. Therefore, the optical axis can be adjusted easily and reliably.

図9は、図3の処理回路260およびコントローラ450が実行する処理を説明するフローチャートである。なお、この処理はユーザがコントローラ450を操作することによりコントローラ450の動作モードが光軸調整モードに設定されたときに開始される。   FIG. 9 is a flowchart illustrating processing executed by the processing circuit 260 and the controller 450 in FIG. This process is started when the user operates the controller 450 to set the operation mode of the controller 450 to the optical axis adjustment mode.

図9および図3を参照して、処理が開始されると、処理回路260は、撮像素子250から各画素の受光量を示す画素信号を受けることにより受光量分布である受光波形を取得する(ステップS1)。処理回路260は、この受光量分布に基づいて右領域における受光量のピーク値を算出し、その値をピーク値PRに設定する(ステップS2)。同様に処理回路260は、受光量分布に基づいて左領域における受光量のピーク値を算出し、その値をピーク値PLに設定する(ステップS3)。なお、処理回路260は画像信号が示す各画素の受光量、およびピーク値PR,PLの値をコントローラ450に送信する。   With reference to FIGS. 9 and 3, when the processing is started, the processing circuit 260 receives a pixel signal indicating the light reception amount of each pixel from the image sensor 250 and acquires a light reception waveform that is a light reception amount distribution ( Step S1). The processing circuit 260 calculates the peak value of the received light amount in the right region based on this received light amount distribution, and sets the value to the peak value PR (step S2). Similarly, the processing circuit 260 calculates the peak value of the received light amount in the left region based on the received light amount distribution, and sets the value to the peak value PL (step S3). The processing circuit 260 transmits the received light amount of each pixel indicated by the image signal and the peak values PR and PL to the controller 450.

続いて、処理回路260は、ピーク値PRが受光量レベルしきい値TLVLよりも大きいか、あるいは、ピーク値PLが受光量レベルしきい値TLVLよりも大きいかを判定する(ステップS4)。ピーク値PR,PLがともに受光量レベルしきい値TLVL以下である場合(ステップS4においてNO)、処理回路260は、受光器200のLED280を消灯させる(ステップS7)。ピーク値PR,PLの少なくとも一方が受光量レベルしきい値TLVLよりも大きい場合(ステップS4においてYES)、処理回路260はステップS5の処理を実行する。   Subsequently, the processing circuit 260 determines whether the peak value PR is larger than the received light amount level threshold value TLVL or whether the peak value PL is larger than the received light amount level threshold value TLVL (step S4). When peak values PR and PL are both equal to or smaller than received light amount level threshold value TLVL (NO in step S4), processing circuit 260 turns off LED 280 of light receiver 200 (step S7). When at least one of peak values PR and PL is larger than the received light amount level threshold value TLVL (YES in step S4), processing circuit 260 executes the process of step S5.

ステップS5において、処理回路260はピーク値PRとピーク値PLとの差の絶対値(|PR−PL|)が受光量バランスしきい値Tdifよりも小さいか否かを判定する。この受光量バランスしきい値Tdifは、たとえば実験に基づいて適切な値(好ましくは0)に定められる。   In step S5, the processing circuit 260 determines whether or not the absolute value (| PR-PL |) of the difference between the peak value PR and the peak value PL is smaller than the received light amount balance threshold value Tdif. This received light amount balance threshold value Tdif is set to an appropriate value (preferably 0) based on, for example, experiments.

処理回路260は、上述した絶対値が受光量バランスしきい値Tdifよりも小さい場合(ステップS5においてYES)、受光器200のLED280を点灯させ(ステップS6)、そうでない場合はLED280を消灯させる(ステップS7)。   The processing circuit 260 turns on the LED 280 of the light receiver 200 (step S6) when the absolute value is smaller than the received light amount balance threshold value Tdif (YES in step S5), and turns off the LED 280 otherwise (step S6). Step S7).

続いてコントローラ450(より特定的にはコントローラ450の内部の処理回路であるが、以下では単に「コントローラ」と呼ぶ)は、ステップS10〜S13,SEの処理を実行する。コントローラ450は、ピーク値PRがピーク値PLよりも大きいか否かを判定する(ステップS10)。   Subsequently, the controller 450 (more specifically, a processing circuit inside the controller 450, but hereinafter simply referred to as “controller”) executes the processes of steps S10 to S13 and SE. The controller 450 determines whether or not the peak value PR is larger than the peak value PL (step S10).

ピーク値PRがピーク値PLよりも大きい場合(ステップS10においてYES)、コントローラ450はピーク値PRを表示装置458による受光量の表示に反映させる(ステップS11)。この場合、ピーク値PRの値が受光量として表示される。一方、ピーク値PLがピーク値PR以上の場合(ステップS10においてNO)、コントローラ450はピーク値PLを表示装置458による受光量の表示に反映させる(ステップS12)。この場合、ピーク値PLの値が受光量として表示される。   When the peak value PR is larger than the peak value PL (YES in step S10), the controller 450 reflects the peak value PR on the display of the received light amount by the display device 458 (step S11). In this case, the peak value PR is displayed as the amount of received light. On the other hand, when peak value PL is equal to or higher than peak value PR (NO in step S10), controller 450 reflects peak value PL in the display of received light amount by display device 458 (step S12). In this case, the peak value PL is displayed as the amount of received light.

ステップS11またはS12の処理が終了すると、コントローラ450は、ピーク値PRとピーク値PLとの差分を算出し、その差分に基づいて図8の(A)〜(C)のいずれかに示すバー表示を表示装置456に表示させる(ステップS13)。   When the process of step S11 or S12 ends, the controller 450 calculates the difference between the peak value PR and the peak value PL, and displays the bar display shown in any of (A) to (C) of FIG. 8 based on the difference. Is displayed on the display device 456 (step S13).

コントローラ450は、ピーク値PRとピーク値PLとの差の絶対値が受光量バランスしきい値Tdifより大きい場合には、ピーク値PRとピーク値PLとの差が負の値および正の値のいずれであるかを判定する。コントローラ450は、ピーク値PRとピーク値PLとの差が負の値であるときには、左端のバーの表示が欠けた状態となるように表示装置456にバー表示を行なわせ、ピーク値PRとピーク値PLとの差が正の値であるときには右端のバーの表示が欠けた状態となるように表示装置456にバー表示を行なわせる。このようにしてコントローラ450は図8の(A)に示すバー表示を実行する。   When the absolute value of the difference between the peak value PR and the peak value PL is greater than the received light amount balance threshold value Tdif, the controller 450 determines that the difference between the peak value PR and the peak value PL is a negative value or a positive value. It is determined which one. When the difference between the peak value PR and the peak value PL is a negative value, the controller 450 causes the display device 456 to display the bar so that the leftmost bar is not displayed, and the peak value PR and the peak value are displayed. When the difference from the value PL is a positive value, the display device 456 displays a bar so that the rightmost bar is not displayed. In this way, the controller 450 executes the bar display shown in FIG.

なおコントローラ450は、ピーク値PR,PLがともに受光量レベルしきい値TLVLよりも低い場合には、図8(B)に示すように、複数のバーのうち両端のバーを除いた残りを表示させる。また、コントローラ450は、画像信号に基づいて受光量レベルしきい値TLVLよりも受光量が小さい画素の数を求める。その数が所定数以上である場合には、コントローラは、図8(C)に示すように、複数のバーのうち中央のバーを除いた残りを表示させる。   When the peak values PR and PL are both lower than the received light amount level threshold value TLVL, the controller 450 displays the rest of the plurality of bars excluding the bars at both ends, as shown in FIG. 8B. Let Further, the controller 450 obtains the number of pixels having a light reception amount smaller than the light reception amount level threshold value TLVL based on the image signal. If the number is equal to or greater than the predetermined number, the controller displays the rest of the plurality of bars excluding the central bar, as shown in FIG. 8C.

コントローラ450は、ステップS13の処理が終了すると、ユーザによる光軸調整終了操作が行なわれたか否かを判定する(ステップSE)。ユーザが光軸調整終了操作を行なった場合(ステップSEにおいてYES)、コントローラ450は光軸調整処理を終了する。ユーザが光軸調整終了操作を行なっていない場合(ステップSEにおいてNO)、全体の処理はステップS1に戻される。   When the process of step S13 ends, the controller 450 determines whether or not the user has performed an optical axis adjustment end operation (step SE). When the user performs an optical axis adjustment end operation (YES in step SE), controller 450 ends the optical axis adjustment process. If the user has not performed the optical axis adjustment end operation (NO in step SE), the entire process is returned to step S1.

さらに、本実施の形態によれば、コンピュータ端末460は、コントローラ450を介して、処理回路260からピーク値PR,PLおよび各画素の受光量の情報を受ける。そしてコンピュータ端末460は、これらの情報に基づいて、平行光ビームの光軸の調整方向をユーザに案内するための表示を行なう。   Furthermore, according to the present embodiment, the computer terminal 460 receives information on the peak values PR and PL and the received light amount of each pixel from the processing circuit 260 via the controller 450. Based on these pieces of information, the computer terminal 460 performs display for guiding the adjustment direction of the optical axis of the parallel light beam to the user.

コンピュータ端末460は、ソフトウェアによる情報処理を実行することにより上述の処理を行なう。この場合のコンピュータ端末460は本発明の「処理部」の機能を実現する。   The computer terminal 460 performs the above-described processing by executing information processing using software. In this case, the computer terminal 460 realizes the function of the “processing unit” of the present invention.

図10は、コンピュータ端末460による表示の第1の例を説明する図である。図10を参照して、コンピュータ端末460は、各画素の受光量の受光量に基づいて、受光領域の受光量分布を表わす波形をモニタ画面に表示する。画面に表示される受光量分布の情報が受光量バランス情報に相当する。   FIG. 10 is a diagram for explaining a first example of display by the computer terminal 460. Referring to FIG. 10, computer terminal 460 displays a waveform representing the received light amount distribution in the light receiving region on the monitor screen based on the received light amount of each pixel. The information on the received light amount distribution displayed on the screen corresponds to the received light amount balance information.

なお、ユーザの操作によって、画面に表示された受光波形をコンピュータ端末460に記憶させたり、コンピュータ端末460に記憶された受光波形を画面に表示させたりすることも可能である。   Note that the light reception waveform displayed on the screen can be stored in the computer terminal 460 or the light reception waveform stored in the computer terminal 460 can be displayed on the screen by a user operation.

さらに、ユーザの操作によってコンピュータ端末460に記憶された受光波形と、現在の受光波形とを重ねて表示することも可能である。たとえばコンピュータ端末460に過去の光軸調整時の受光波形を記憶させておけば、ユーザは光軸を調整する時に、現在の受光波形とコンピュータ端末460に記憶された受光波形とがほぼ一致するように投光器100を動かしながら光軸を調整することが可能になる。   Furthermore, the received light waveform stored in the computer terminal 460 by the user's operation and the current received light waveform can be displayed in an overlapping manner. For example, if the light reception waveform at the past optical axis adjustment is stored in the computer terminal 460, when the user adjusts the optical axis, the current light reception waveform and the light reception waveform stored in the computer terminal 460 substantially coincide with each other. It is possible to adjust the optical axis while moving the projector 100.

図11は、コンピュータ端末460による表示の第2の例を説明する図である。図11を参照して、コンピュータ端末460の画面には投光器100、受光器200および、投光器100を上下左右のいずれの方向に動かせばよいかを案内するための矢印が表示される。この矢印の情報が受光量バランス情報に相当する。   FIG. 11 is a diagram for explaining a second example of display by the computer terminal 460. Referring to FIG. 11, projector 100, light receiver 200, and an arrow for guiding in which direction to move projector 100 up, down, left and right are displayed on the screen of computer terminal 460. Information of this arrow corresponds to received light amount balance information.

図12は、光軸調整方向と図11に示す矢印の表示との対応関係を説明する図である。図12を参照して、投光器100を上下方向に動かす必要がある場合には、(A)に示すように上下方向の矢印が表示される。なおユーザの注意を引くことが可能なように矢印の色はたとえば赤色に設定される。   12 is a diagram for explaining the correspondence between the optical axis adjustment direction and the display of the arrows shown in FIG. Referring to FIG. 12, when it is necessary to move projector 100 in the vertical direction, an arrow in the vertical direction is displayed as shown in FIG. Note that the color of the arrow is set to, for example, red so that the user's attention can be drawn.

投光器100を左(あるいは右)方向に動かす必要がある場合には、(B)に示されるように、上下方向の矢印と左(あるいは右)方向の矢印が表示される。ただしこの場合には投光器100を上下方向に動かす必要がない。このため、投光器100を上下方向に動かす必要がないことをユーザが把握しやすいよう上下方向の矢印は緑色に表示される。一方、左(あるいは右)方向の矢印の色は(A)と同様に赤色に表示される。   When it is necessary to move the projector 100 in the left (or right) direction, as shown in (B), a vertical arrow and a left (or right) arrow are displayed. However, in this case, it is not necessary to move the projector 100 in the vertical direction. For this reason, the up and down arrows are displayed in green so that the user can easily understand that there is no need to move the projector 100 in the up and down direction. On the other hand, the color of the arrow in the left (or right) direction is displayed in red as in (A).

平行光ビームの光軸が撮像素子の光軸と一致した場合には(C)に示すように、上下左右の各方向の矢印が表示される。この場合も矢印の色はたとえば緑色に設定される。図11および図12に示すように投光器100を動かす方向を案内することによりユーザは光軸を容易に調整することができる。   When the optical axis of the parallel light beam coincides with the optical axis of the image sensor, arrows in the upper, lower, left and right directions are displayed as shown in FIG. Also in this case, the color of the arrow is set to green, for example. As shown in FIGS. 11 and 12, the user can easily adjust the optical axis by guiding the direction in which the projector 100 is moved.

なお、本実施の形態では、受光量バランス情報を生成するために右領域での受光量のピーク値および左領域での受光量のピーク値を用いている。しかしながら右領域での受光量の積分値と左領域での受光量の積分値とを用いて受光量バランス情報を生成してもよい。ただし、本実施の形態のように、受光量のピーク値を用いることによって、処理回路260の演算負荷を低減することが可能となる。   In this embodiment, the peak value of the received light amount in the right region and the peak value of the received light amount in the left region are used to generate the received light amount balance information. However, the received light amount balance information may be generated using the integrated value of the received light amount in the right region and the integrated value of the received light amount in the left region. However, the calculation load of the processing circuit 260 can be reduced by using the peak value of the amount of received light as in the present embodiment.

さらに本実施の形態では撮像素子における画素の配置方向は1次元方向とした。ただし2次元方向(行列状)に画素が配置された撮像素子を用い、上述した左右方向における光軸調整方法と同様の方法を用いて上下方向の光軸調整を行なってもよい。   Furthermore, in the present embodiment, the pixel arrangement direction in the image sensor is a one-dimensional direction. However, the optical axis adjustment in the vertical direction may be performed using an image sensor in which pixels are arranged in a two-dimensional direction (matrix) and using the same method as the optical axis adjustment method in the horizontal direction described above.

さらに、本発明では光ビームのピーク位置に基づいて、光ビームの光軸と、受光領域の中心位置との位置ずれに関する情報を生成することも可能である。本実施の形態に示されるように投光部から発せられる光ビームは、画素の配置方向(第1の方向)について中心線対称な強度分布を持つ有効領域を含む。また、受光素子は、その有効領域内の光ビームを受ける。処理部は、受光素子からの受光信号に基づいて受光領域の受光量分布を生成する。この際、処理部は、受光量分布から光ビームの有効領域に含まれる中心線対称な強度分布のその中心線について、第1の方向に関連する位置を算出する。すなわち処理部は、中心線に対応する第1の方向に関連する位置を算出する。そして、処理部はその算出位置と受光領域の中心位置との位置ずれに関する情報を生成する。   Furthermore, in the present invention, it is also possible to generate information relating to the positional deviation between the optical axis of the light beam and the center position of the light receiving region based on the peak position of the light beam. As shown in the present embodiment, the light beam emitted from the light projecting unit includes an effective region having an intensity distribution symmetric with respect to the center line with respect to the pixel arrangement direction (first direction). The light receiving element receives a light beam within the effective area. The processing unit generates a received light amount distribution in the light receiving region based on the light receiving signal from the light receiving element. At this time, the processing unit calculates a position related to the first direction for the center line of the intensity distribution symmetrical to the center line included in the effective region of the light beam from the received light amount distribution. That is, the processing unit calculates a position related to the first direction corresponding to the center line. Then, the processing unit generates information relating to the positional deviation between the calculated position and the center position of the light receiving area.

なお好ましくは、光ビームは、その中心にピークを持つ強度分布を有する。そして処理部はピーク位置を算出する。これにより処理部は光ビームの光軸と、受光領域の中心位置との位置ずれに関する情報を生成することができる。   Preferably, the light beam has an intensity distribution having a peak at the center thereof. Then, the processing unit calculates the peak position. As a result, the processing unit can generate information regarding the positional deviation between the optical axis of the light beam and the center position of the light receiving region.

今回開示された実施の形態はすべての点で例示であって制限的なものではないと考えられるべきである。本発明の範囲は、上記した説明ではなく、特許請求の範囲によって示され、特許請求の範囲と均等の意味および範囲内でのすべての変更が含まれることが意図される。   The embodiment disclosed this time should be considered as illustrative in all points and not restrictive. The scope of the present invention is defined by the terms of the claims, rather than the description above, and is intended to include any modifications within the scope and meaning equivalent to the terms of the claims.

本実施の形態に従う位置寸法測定装置の構成および配置例を示す斜視図である。It is a perspective view which shows the structure and the example of arrangement | positioning of the position dimension measuring apparatus according to this Embodiment. 図1に示した投光器を正面(光出射側)から見た図である。It is the figure which looked at the light projector shown in FIG. 1 from the front (light emission side). 本発明の実施の形態による位置寸法測定装置10の構成を示す概略ブロック図である。It is a schematic block diagram which shows the structure of the position dimension measuring apparatus 10 by embodiment of this invention. 図3に示したコントローラの外観図である。It is an external view of the controller shown in FIG. 本実施の形態に係る位置寸法測定装置10の光軸調整をより詳しく説明する図である。It is a figure explaining the optical axis adjustment of the position dimension measuring apparatus 10 which concerns on this Embodiment in detail. 撮像素子250の受光領域における受光量分布を示す図である。FIG. 10 is a diagram showing a received light amount distribution in a light receiving region of the image sensor 250. 光軸調整時のコントローラ450の表示を示す図である。It is a figure which shows the display of the controller 450 at the time of an optical axis adjustment. コントローラ450の表示装置456に表示される受光量バランス情報の例を示す図である。It is a figure which shows the example of the light reception amount balance information displayed on the display apparatus 456 of the controller 450. FIG. 図3の処理回路260およびコントローラ450が実行する処理を説明するフローチャートである。4 is a flowchart illustrating processing executed by a processing circuit 260 and a controller 450 in FIG. 3. コンピュータ端末460による表示の第1の例を説明する図である。FIG. 10 is a diagram illustrating a first example of display by a computer terminal 460. コンピュータ端末460による表示の第2の例を説明する図である。FIG. 13 is a diagram for explaining a second example of display by the computer terminal 460. 光軸調整方向と図11に示す矢印の表示との対応関係を説明する図である。It is a figure explaining the correspondence of an optical axis adjustment direction and the display of the arrow shown in FIG.

符号の説明Explanation of symbols

10 位置寸法測定装置、100 投光器、105 電源ケーブル、110 開口部、111 中心点、120 筐体、130 半導体レーザ、135 レーザチップ、137 ガラスウインドウ、140 フォトダイオード、150 APC回路、160 コリメートレンズ、170 透明部材、200 受光器、205 ケーブル、210 開口部、220 筐体、250 撮像素子、260 処理回路、271 中心点、290 受光領域、291,292 領域、300 測定対象物体、400,410 電源、450 コントローラ、452 操作部、454 表示部、456,458 表示装置、460 コンピュータ端末、500 レーザ光、A1,A2,X1 光軸、PX 画素。   DESCRIPTION OF SYMBOLS 10 Position dimension measuring apparatus, 100 projector, 105 power cable, 110 opening part, 111 center point, 120 housing | casing, 130 semiconductor laser, 135 laser chip, 137 glass window, 140 photodiode, 150 APC circuit, 160 collimating lens, 170 Transparent member, 200 light receiver, 205 cable, 210 opening, 220 housing, 250 image sensor, 260 processing circuit, 271 center point, 290 light receiving area, 291, 292 area, 300 measurement object, 400, 410 power supply, 450 Controller, 452 operation unit, 454 display unit, 456, 458 display device, 460 computer terminal, 500 laser beam, A1, A2, X1 optical axis, PX pixel.

Claims (7)

光ビームを投射する投光部と、
少なくとも第1の方向に配列されることにより受光領域を形成する複数の受光画素を含み、前記複数の受光画素の各々が前記光ビームを受けて前記複数の受光画素の各々の受光量を示す受光信号を出力する受光素子と、
前記受光素子から前記受光信号を受けることにより前記受光領域における前記光ビームの受光量分布を算出する処理部とを備え、
前記処理部は、前記受光領域の中心を通り、かつ前記第1の方向と垂直な第2の方向に沿った中心線に対して中心対称な第1および第2の領域について、前記第1の領域内の複数の受光素子の各々の受光量のうちのピーク値である第1のピーク値と、前記第2の領域内の複数の受光素子の各々の受光量のうちのピーク値である第2のピーク値とに基づいて、前記第1の領域での受光量と前記第2の領域での受光量とのバランスに関する受光量バランス情報を生成して出力し、
前記処理部は、複数の受光画素の各々から出力された受光信号から前記受光領域における受光量分布を生成して、当該受光量分布に基づいて前記第1および第2のピーク値を算出する、位置寸法測定装置。
A light projecting unit that projects a light beam;
A plurality of light receiving pixels arranged in at least a first direction to form a light receiving region, and each of the plurality of light receiving pixels receives the light beam and indicates the amount of light received by each of the plurality of light receiving pixels. A light receiving element for outputting a signal;
A processing unit that calculates a received light amount distribution of the light beam in the light receiving region by receiving the light reception signal from the light receiving element;
The processing unit passes through the center of the light receiving region, and the first and second regions are symmetric about a center line along a second direction perpendicular to the first direction . The first peak value, which is the peak value of the received light amount of each of the plurality of light receiving elements in the region, and the peak value of the received light amount of each of the plurality of light receiving elements in the second region. Based on the peak value of 2, the light reception amount balance information relating to the balance between the light reception amount in the first region and the light reception amount in the second region is generated and output ,
The processing unit generates a light receiving amount distribution in the light receiving region from a light receiving signal output from each of a plurality of light receiving pixels, and calculates the first and second peak values based on the light receiving amount distribution. Position dimension measuring device.
前記処理部は、前記受光量バランス情報として、前記第1の領域での受光量と前記第2の領域での受光量とのバランスが取れているか否かを示す情報を生成する、請求項1に記載の位置寸法測定装置。   The processing unit generates information indicating whether or not the received light amount in the first region and the received light amount in the second region are balanced as the received light amount balance information. The position dimension measuring device described in 1. 前記位置寸法測定装置は、
前記処理部から前記受光量バランス情報を受けることにより点灯および消灯を行なう点灯装置をさらに備え、
前記点灯装置は、前記受光量バランス情報が、前記第1の領域での受光量と前記第2の領域での受光量とのバランスが取れていることを示す場合には、点灯および消灯の一方を行ない、前記受光量バランス情報が、前記第1の領域での受光量と前記第2の領域での受光量とのバランスが取れていないことを示す場合には、点灯および消灯の他方を行なう、請求項2に記載の位置寸法測定装置。
The position dimension measuring device includes:
A lighting device for turning on and off by receiving the received light amount balance information from the processing unit;
When the received light amount balance information indicates that the received light amount in the first region and the received light amount in the second region are balanced, the lighting device is turned on or off. If the received light amount balance information indicates that the received light amount in the first region and the received light amount in the second region are not balanced, the other of turning on and off is performed. The position dimension measuring apparatus according to claim 2.
前記受光素子および前記処理部は、共通の筐体に格納され、
前記点灯装置は、前記筐体の外表面に取り付けられる、請求項3に記載の位置寸法測定装置。
The light receiving element and the processing unit are stored in a common housing,
The position measurement device according to claim 3, wherein the lighting device is attached to an outer surface of the housing.
前記処理部は、前記受光量バランス情報として、前記第1の領域での受光量と前記第2の領域での受光量とのバランスを取るために要求される前記光軸の移動の向きを示す情報を生成し、
前記光軸の移動の向きは、前記受光領域の中心から前記第1の方向に沿って前記受光領域の一方の端部に至る向きと、前記受光領域の中心から前記第1の方向に沿って前記受光領域の他方の端部に至る向きとのいずれかである、請求項1に記載の位置寸法測定装置。
The processing unit indicates, as the received light amount balance information, a direction of movement of the optical axis required for balancing the received light amount in the first region and the received light amount in the second region. Generate information,
The direction of movement of the optical axis is the direction from the center of the light receiving area to the one end of the light receiving area along the first direction, and the direction from the center of the light receiving area to the first direction. The position dimension measuring apparatus according to claim 1, wherein the position dimension measuring apparatus is in one of directions extending to the other end of the light receiving region.
前記処理部は、前記第1および第2のピーク値の少なくとも一方が所定値よりも大きい場合には、前記受光量バランス情報を生成し、前記第1および第2のピーク値がともに前記所定値以下の場合には、前記受光量バランス情報に代えて、前記光軸を前記第2の方向に沿って移動させる必要があることを示す情報を生成する、請求項に記載の位置寸法測定装置。 The processing unit generates the received light amount balance information when at least one of the first and second peak values is larger than a predetermined value, and both the first and second peak values are the predetermined value. the following cases, instead of the amount of light received balance information, the generating the information indicating that the optical axis must be moved along the second direction, the position dimension measuring apparatus according to claim 1 . 前記光ビームは、平行光である、請求項1に記載の位置寸法測定装置。   The position dimension measuring apparatus according to claim 1, wherein the light beam is parallel light.
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