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JP5024968B2 - X-ray and thermal analyzer - Google Patents
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本発明は、X線分析のための測定と熱分析のための測定とを同時に行うX線及び熱分析装置に関する。特に、複数の試料に関して自動的に連続して測定を行うX線及び熱分析装置に関する。   The present invention relates to an X-ray and thermal analysis apparatus that simultaneously performs measurement for X-ray analysis and measurement for thermal analysis. In particular, the present invention relates to an X-ray and thermal analyzer that automatically and continuously measures a plurality of samples.

従来、X線分析のための測定と熱分析のための測定とを同時に行うX線及び熱分析装置が特許文献1に開示されている。この種の装置では、一般に、試料が炉体に収容され、さらにその炉体が隔壁に収容される。そして、複数の試料を順次に測定する際には、1つの試料についての測定が終わるたびに測定者の手動によって隔壁が取り外され、試料が交換される。   Conventionally, Patent Document 1 discloses an X-ray and thermal analysis apparatus that simultaneously performs measurement for X-ray analysis and measurement for thermal analysis. In this type of apparatus, generally, a sample is accommodated in a furnace body, and the furnace body is further accommodated in a partition wall. When measuring a plurality of samples sequentially, the partition is removed manually by the measurer and the sample is exchanged each time measurement for one sample is completed.

従来、熱分析装置に好適に用いられる試料搬送装置が特許文献2に開示されている。この熱分析装置では、炉体であるヒートシンク13が断熱容器、すなわち隔壁9内に収容され、ヒートシンク13の上部開口及び隔壁9の上部開口がカバー7によって覆われる。この試料搬送装置によれば、複数の試料容器52が試料搬送部4によって隔壁9内の試料載置部18aとターンテーブル36との間で1つずつ順次に搬送される。この試料搬送の際には、カバー7が隔壁9及びヒートシンク13のそれぞれの上部開口から取り外される。   Conventionally, Patent Document 2 discloses a sample transport device suitably used for a thermal analysis device. In this thermal analyzer, the heat sink 13 as a furnace body is accommodated in a heat insulating container, that is, the partition wall 9, and the upper opening of the heat sink 13 and the upper opening of the partition wall 9 are covered with the cover 7. According to this sample transport device, a plurality of sample containers 52 are sequentially transported one by one between the sample placement unit 18 a in the partition wall 9 and the turntable 36 by the sample transport unit 4. When the sample is transported, the cover 7 is removed from the upper openings of the partition wall 9 and the heat sink 13.

特開平11−295244号公報(第2〜4頁、図1)Japanese Patent Laid-Open No. 11-295244 (pages 2 to 4, FIG. 1) 特開2004−264096号公報(第4〜8頁、図4,5,6)JP 2004-264096 A (pages 4-8, FIGS. 4, 5, 6)

X線測定と熱分析測定とを同時に行う際には、隔壁及び炉体にX線を通過させるための部分が設けられていなければならない。場合によっては、炉体の上部開口を覆うカバーにもX線を通過させるための部分が必要である。また、測定の自動化を実現するためには、隔壁及び炉体への試料及びカバーの出し入れを自動的に行うことを考慮しなければならない。   When performing X-ray measurement and thermal analysis measurement simultaneously, the partition and the furnace body must be provided with portions for allowing X-rays to pass. In some cases, a cover for covering the upper opening of the furnace body also requires a portion for allowing X-rays to pass therethrough. In addition, in order to realize the automation of measurement, it is necessary to consider automatically taking in and out the sample and the cover to and from the partition wall and the furnace body.

このような試料やカバーの出し入れの際には、測定を受けるための所定位置に試料容器やカバーが配置されたときに、それらがX線通路を遮ってはならない。このような問題があるため、従来は、X線測定と熱分析測定とを同時に行うこと(以下、X線及び熱分析の同時測定ということがある)を複数の試料に関して自動的に順次に繰り返して行うことは非常に困難であると考えられていた。実際、X線測定単独や熱分析測定の単独の場合には自動測定を行う提案がなされているものの、X線測定と熱分析測定とを同時に行う装置に関しては、複数の試料に対しての自動測定を行うということは行われていなかった。   When such a sample or cover is taken in or out, when the sample container or cover is placed at a predetermined position for receiving measurement, they should not block the X-ray path. Because of these problems, conventionally, the X-ray measurement and the thermal analysis measurement are simultaneously and sequentially repeated for a plurality of samples (hereinafter sometimes referred to as the simultaneous measurement of the X-ray and the thermal analysis). It was considered very difficult to do. In fact, although proposals have been made to perform automatic measurement in the case of X-ray measurement alone or thermal analysis measurement alone, with regard to an apparatus that performs X-ray measurement and thermal analysis measurement at the same time, automatic measurement for a plurality of samples is possible. No measurements were made.

本発明は、上記の問題点を解消するために成されたものであって、炉体、カバー、及び隔壁によって包囲された状態でX線及び熱分析の同時測定を受けようとしている試料が複数ある場合に、それらの試料を順次に自動的に交換して測定することができるX線及び熱分析装置を提供することを目的とする。   The present invention has been made in order to solve the above-described problems, and a plurality of samples to be subjected to simultaneous measurement of X-rays and thermal analysis in a state surrounded by a furnace body, a cover, and a partition wall. In some cases, an object of the present invention is to provide an X-ray and thermal analyzer capable of automatically exchanging and measuring those samples sequentially.

本発明に係る第1のX線及び熱分析装置は、(1)試料を収容した試料容器が置かれる内部側容器載置部と、(2)該内部側容器載置部を収容し開口を備えた炉体と、(3)該炉体を収容し開口を備えた隔壁と、(4)前記隔壁の開口を開閉する開閉蓋と、(5)前記内部側容器載置部に置かれた試料容器に収容された試料に対して熱分析のための測定を行う熱分析測定装置と、(6)前記内部側容器載置部に置かれた前記試料容器に収容された試料にX線を照射したときに該試料から出た2次X線をX線検出器によって検出するX線測定装置と、(7)前記隔壁内の内部側要素載置部に置かれることができ、且つ該内部側要素載置部から取り外されることができる内部要素と、(8)前記隔壁の外側に設けられており前記試料容器を置くための外部側容器載置部と、(9)前記隔壁の外側に設けられており前記内部要素を置くための外部側要素載置部と、(10)前記内部側容器載置部と前記外部側容器載置部との間で前記試料容器を搬送し、さらに前記内部側要素載置部と前記外部側要素載置部との間で前記内部要素を搬送する搬送手段と、(11)前記開閉蓋、前記熱分析測定装置、前記X線測定装置、及び前記搬送手段の動作を制御する制御手段とを有し、(12)前記試料容器はX線を通過できる部分を一部に有しており、(13)前記制御手段は、(ア)前記内部要素が前記内部側要素載置部に置かれ、且つ前記開閉蓋が前記隔壁の開口を閉じた状態において、前記熱分析測定装置及び/又は前記X線測定装置を用いて測定を行わせ、さらに(イ)前記開閉蓋が前記隔壁の開口を開いており且つ前記内部要素が前記外部側要素載置部上に置かれた状態で、前記外部側容器載置部と前記内部側容器載置部との間で前記試料容器を前記搬送手段によって前記隔壁の開口及び前記炉体の開口を通して搬送させることを、(ウ)前記外部側容器載置部上に配置された複数の試料容器に対して順次に繰り返して行い、(14)前記搬送手段は、前記試料容器を前記内部側容器載置部上に配置するとき、前記試料容器のX線を通過できる部分を前記X線測定装置におけるX線通路に位置的に合わせることを特徴とする。   The first X-ray and thermal analysis apparatus according to the present invention includes (1) an inner side container placing part on which a sample container containing a sample is placed, and (2) an opening that accommodates the inner side container placing part. A furnace body provided; (3) a partition wall containing the furnace body and provided with an opening; (4) an opening / closing lid for opening and closing the opening of the partition wall; and (5) placed on the inner side container placing portion. A thermal analysis measuring device for performing measurement for thermal analysis on the sample contained in the sample container; and (6) X-rays are applied to the sample contained in the sample container placed on the inner side container placement unit. An X-ray measurement device for detecting secondary X-rays emitted from the sample when irradiated by an X-ray detector; and (7) can be placed on an inner element mounting portion in the partition wall; An internal element that can be removed from the side element mounting portion, and (8) the sample container provided on the outside of the partition wall (9) an external element mounting portion provided outside the partition wall for placing the internal element; and (10) the internal container mounting portion and the external side. (11) the opening and closing; and a transport means for transporting the sample container to and from the container mounting section, and further transporting the internal element between the inner element mounting section and the outer element mounting section. A lid, the thermal analysis measurement device, the X-ray measurement device, and a control means for controlling the operation of the transfer means, (12) the sample container has a portion through which X-rays can pass. (13) The control means (a) in the state where the internal element is placed on the internal element mounting portion and the opening / closing lid closes the opening of the partition wall, and / or Alternatively, the measurement is performed using the X-ray measurement apparatus, and (a) the opening / closing lid is The sample container is placed between the outer container placing portion and the inner container placing portion in a state where the opening is opened and the inner element is placed on the outer element placing portion. (C) sequentially transferring the plurality of sample containers arranged on the outer-side container mounting portion by the transfer means through the opening of the partition wall and the opening of the furnace body; When the sample container is disposed on the inner side container placement section, the transport means aligns a portion of the sample container that can pass X-rays with an X-ray passage in the X-ray measurement apparatus. And

本発明に係るX線及び熱分析装置によれば、炉体の開口及び隔壁の開口を通して搬送手段によって試料容器を炉体の内部と炉体の外部とで搬送でき、それ故、複数の試料を搬送手段によって交換しながら自動的に繰り返して測定を行うことができる。
また、試料容器はX線を通過できる部分を一部に有しているので、当該部分をX線測定装置のX線通路に合わせることにより、X線測定を支障無く行うことができる。もちろん、熱分析測定も支障無く行うことができる。
また、搬送手段は、試料容器を炉内に配置させる際、試料容器のX線を通過できる部分をX線測定装置のX線通路に自動的に合わせるので、複数の試料に対して自動的に繰り返して行われるX線測定を一定の条件で安定して行うことができる。
According to the X-ray and thermal analysis apparatus according to the present invention, the sample container can be transported between the inside of the furnace body and the outside of the furnace body by the transporting means through the opening of the furnace body and the opening of the partition wall. Measurements can be automatically and repeatedly performed while being exchanged by the conveying means.
Moreover, since the sample container has a part that can pass X-rays, X-ray measurement can be performed without any trouble by matching the part with the X-ray path of the X-ray measuring apparatus. Of course, thermal analysis measurement can be performed without any problem.
In addition, when the sample container is placed in the furnace, the transfer means automatically aligns the portion of the sample container that can pass X-rays with the X-ray passage of the X-ray measurement apparatus, so that a plurality of samples are automatically detected. Repeated X-ray measurements can be performed stably under certain conditions.

上記構成において、「内部要素」は、隔壁の内部に設けられる要素のことであり、例えば、炉体の上方に配置される蓋等が考えられる。本発明では熱分析測定とX線測定とが同時に行われるので、蓋等といった「内部要素」はX線測定におけるX線通路を遮らないような位置に配置されたり、X線通路を遮らない構造(すなわちX線を通過できる部分)を有していることが望ましい。   In the above configuration, the “internal element” is an element provided inside the partition wall, and for example, a lid or the like disposed above the furnace body can be considered. In the present invention, since thermal analysis measurement and X-ray measurement are performed simultaneously, an “internal element” such as a lid is arranged at a position that does not block the X-ray path in X-ray measurement, or a structure that does not block the X-ray path. It is desirable to have (that is, a portion that can pass X-ray).

内部要素をどうしてもX線通路を遮る位置に配置せざるを得ない場合には、内部要素を所定の位置にどのような角度状態で配置した場合でも、その内部要素をX線が通過できる構造にその内部要素が構成されていることが望ましい。
なお、内部要素がX線通路を遮る位置に配置せざるを得ない場合であって、X線を通過させることができる部分がその内部要素の一部分だけにしか備えられていない場合は、その内部要素の配置の仕方によっては、X線の進行が妨げられてしまって、X線測定に支障が出るおそれがある。そのような場合には、下記の第2発明を用いることが望ましい。
If the internal elements are inevitably arranged at positions that block the X-ray path, the X-rays can pass through the internal elements regardless of the angle at which the internal elements are arranged at predetermined positions. It is desirable that the internal element is configured.
In addition, when the internal element must be disposed at a position that blocks the X-ray path, and only a part of the internal element is provided with a portion through which the X-ray can pass, the internal element Depending on how the elements are arranged, the progress of X-rays may be hindered, which may hinder X-ray measurement. In such a case, it is desirable to use the following second invention.

本発明に係る第2のX線及び熱分析装置は、(1)試料を収容した試料容器が置かれる内部側容器載置部と、(2)該内部容器載置部を収容し開口を備えた炉体と、(3)該炉体を収容し開口を備えた隔壁と、(4)前記隔壁の開口を開閉する開閉蓋と、(5)前記内部側容器載置部に置かれた試料容器に収容された試料に対して熱分析のための測定を行う熱分析測定装置と、(6)前記内部側容器載置部に置かれた前記試料容器に収容された試料にX線を照射したときに該試料から出た2次X線をX線検出器によって検出するX線測定装置と、(7)前記内部側要素載置部に置かれることができ、且つ該内部側要素載置部から取り外されることができ、さらに前記X線測定装置におけるX線通路を遮る位置に配置されるが該X線通路を遮らない構造を有した内部要素と、(8)前記隔壁の外側に設けられており前記試料容器を置くための外部側容器載置部と、(9)前記隔壁の外側に設けられており前記内部要素を置くための外部側要素載置部と、(10)前記内部側容器載置部と前記外部側容器載置部との間で前記試料容器を搬送し、さらに前記内部側要素載置部と前記外部側要素載置部との間で前記内部要素を搬送する搬送手段と、(11)前記開閉蓋、前記熱分析測定装置、前記X線測定装置、及び前記搬送手段の動作を制御する制御手段とを有し、(12)前記試料容器はX線を通過できる部分を一部に有しており、(13)前記制御手段は、(ア)前記内部要素が前記内部側要素載置部に置かれ、且つ前記開閉蓋が前記隔壁の開口を閉じた状態において、前記熱分析測定装置及び/又は前記X線測定装置を用いて測定を行わせ、さらに(イ)前記開閉蓋が前記隔壁の開口を開いており且つ前記内部要素が前記外部側要素載置部上に置かれた状態で、前記外部側容器載置部と前記内部側容器載置部との間で前記試料容器を前記搬送手段によって前記隔壁の開口及び前記炉体の開口を通して搬送させることを、(ウ)前記外部側容器載置部上に配置された複数の試料容器に対して順次に繰り返して行い、(14)前記搬送手段は、(ア)前記内部要素を前記内部側要素載置部に配置するとき、前記内部要素のX線通路を遮らない構造を前記X線測定装置におけるX線通路に位置的に合わせ、さらに、(イ)前記試料容器を前記内部側容器載置部上に配置するとき、前記試料容器のX線を通過できる部分を前記X線測定装置におけるX線通路に位置的に合わせることを特徴とする。   The second X-ray and thermal analysis apparatus according to the present invention includes (1) an inner side container placing part on which a sample container containing a sample is placed, and (2) an opening containing the inner container placing part. A furnace body, (3) a partition wall containing the furnace body and provided with an opening, (4) an opening / closing lid for opening and closing the opening of the partition wall, and (5) a sample placed on the inner side container placing portion A thermal analysis measurement device that performs measurement for thermal analysis on the sample contained in the container; and (6) irradiating the sample contained in the sample container placed on the inner container placement unit with X-rays. An X-ray measuring device that detects secondary X-rays emitted from the sample by an X-ray detector, and (7) can be placed on the inner element mounting portion, and the inner element mounting The X-ray measuring apparatus can be removed from the X-ray measuring apparatus and is disposed at a position that blocks the X-ray path. (8) an outer side container mounting portion provided outside the partition wall for placing the sample container, and (9) an internal element provided outside the partition wall. An external element placement section for placing an element; (10) the sample container is transported between the internal container placement section and the external container placement section; and the internal element placement section (11) Controlling the operation of the opening / closing lid, the thermal analysis measuring device, the X-ray measuring device, and the transporting means. And (12) the sample container has a part capable of passing X-rays. (13) The control means includes (a) the internal element is placed on the internal element. In the state where the opening / closing lid closes the opening of the partition wall. And (b) the opening / closing lid opens the opening of the partition wall, and the internal element is placed on the external element mounting portion. (C) transporting the sample container between the outer container placing part and the inner container placing part through the opening of the partition wall and the opening of the furnace body between the outer container placing part and the inner container placing part. (14) When the transfer means (a) arranges the internal element on the internal element placement unit, the plurality of sample containers arranged on the external vessel placement unit are sequentially repeated. , A structure that does not block the X-ray passage of the internal element is aligned with the X-ray passage in the X-ray measurement apparatus, and (a) when the sample container is disposed on the inner-side container placement portion, The portion of the sample container through which X-rays can pass is the X-ray measurement. It is characterized by being aligned with the X-ray path in the fixed device.

第1のX線及び熱分析装置においては、蓋等といった内部要素がX線測定装置におけるX線通路を遮るかどうかについては考慮しなかった。X線通路を遮る場合でも遮らない場合でも請求項1の発明の技術的範囲に含まれるものである。上記第2のX線及び熱分析装置においては、内部要素が位置的にはX線測定装置のX線通路を遮る位置に配置されるが、その部分の内部要素がX線を遮らない構造(すなわちX線を通過させることができる部分)を備えている。   In the first X-ray and thermal analysis apparatus, it was not considered whether an internal element such as a lid obstructed the X-ray passage in the X-ray measurement apparatus. Whether or not the X-ray passage is blocked is included in the technical scope of the invention of claim 1. In the second X-ray and thermal analysis apparatus, the internal element is disposed at a position where the X-ray passage of the X-ray measurement apparatus is blocked in position, but the internal element of that portion does not block the X-ray ( That is, a portion through which X-rays can pass is provided.

第2のX線及び熱分析装置において、搬送手段が試料容器を炉内に配置させる際、試料容器のX線を通過できる部分をX線測定装置のX線通路に自動的に合わせることに関しては、第1X線及び熱分析装置と同じである。第2のX線及び熱分析装置においては、そのことに加えて、搬送手段が内部要素を隔壁内の内部側要素載置部に配置するとき、内部要素のX線通過を遮らない構造部分を搬送手段が自動的にX線測定装置のX線通路に合わせるようになっている。従って、内部要素を炉内から取り外したり、炉内の所定位置に装着したりする作業を繰り返して行ったとしても、常に、X線測定を正常な条件で安定して行うことができる。   In the second X-ray and thermal analysis apparatus, when the conveying means places the sample container in the furnace, the part of the sample container that can pass the X-ray is automatically aligned with the X-ray passage of the X-ray measuring apparatus. This is the same as the first X-ray and thermal analyzer. In the second X-ray and thermal analysis apparatus, in addition to this, when the conveying means arranges the internal element on the internal element mounting portion in the partition wall, a structural portion that does not block the X-ray passage of the internal element is provided. The conveying means is automatically adapted to the X-ray path of the X-ray measuring device. Therefore, X-ray measurement can always be stably performed under normal conditions even when the operation of removing the internal element from the furnace or mounting it at a predetermined position in the furnace is repeated.

上記第2のX線及び熱分析装置において、前記搬送手段が、前記内部要素を前記内部側要素載置部に配置させるとき、前記内部要素のX線通路を遮らない構造を前記X線測定装置におけるX線通路に位置的に合わせることは、前記外部側要素載置部に前記内部要素のための位置決め部材を設けることと、前記搬送手段が前記内部要素を搬送中に回転させないこと、とによって達成できる。この構成は、簡単な構成でありながら、非常に安定した位置決め効果を得ることができる。   In the second X-ray and thermal analyzer, the X-ray measuring apparatus has a structure in which the transport means does not block the X-ray path of the internal element when the internal element is arranged on the internal element mounting portion. The positional alignment with the X-ray path in FIG. 4 is because the positioning member for the internal element is provided in the external element mounting portion, and the transfer means does not rotate the internal element during transfer. Can be achieved. Although this configuration is a simple configuration, a very stable positioning effect can be obtained.

上記第2のX線及び熱分析装置において、前記外部側要素載置部に設けられた位置決め部材は、位置決め用の平面を有するブロック部材とすることができ、前記内部要素は前記ブロック部材の位置決め用平面に嵌合する形状を有することができる。例えば、外部側要素載置部の側に突出部分を設けておき、内部要素の側にその突出部分に嵌り合う形状部分を設けておくことができる。   In the second X-ray and thermal analyzer, the positioning member provided on the external element mounting portion may be a block member having a positioning plane, and the internal element is positioned by the block member. It can have a shape that fits in the plane. For example, a protruding portion can be provided on the outer element mounting portion side, and a shape portion that fits the protruding portion can be provided on the inner element side.

上記第2のX線及び熱分析装置において、前記内部要素は前記炉体の開口を覆う炉体カバーとすることができる。そしてこの場合、前記X線測定装置のX線通路を遮らないような炉体カバーの構造は、X線を通過可能な部材によって形成された箔部材を該炉体カバーに部分的に設けた構造とすることができる。炉体カバーは熱分析測定装置において高い頻度で使用される機器である。   In the second X-ray and thermal analysis apparatus, the internal element may be a furnace body cover that covers an opening of the furnace body. In this case, the structure of the furnace body cover that does not block the X-ray passage of the X-ray measurement apparatus is a structure in which a foil member formed by a member that can pass X-rays is partially provided on the furnace body cover. It can be. The furnace cover is a device that is frequently used in a thermal analysis measurement apparatus.

上記第1及び第2のX線及び熱分析装置において、前記搬送手段が、前記試料容器を前記内部側容器載置部上に配置するとき、前記試料容器のX線を通過できる部分を前記X線測定装置におけるX線通路に位置的に合わせることは、前記外部側容器載置部に前記試料容器のための位置決め部材を設けることと、前記搬送手段が前記試料容器を搬送中に回転させないこと、とによって達成できる。この構成は、簡単な構成でありながら、非常に安定した位置決め効果を得ることができる。   In the first and second X-ray and thermal analysis apparatuses, when the transporting unit places the sample container on the inner-side container mounting portion, a portion through which the X-ray of the sample container can pass is the X Positioning to the X-ray path in the X-ray measuring apparatus means that a positioning member for the sample container is provided on the outer container mounting portion, and the transport means does not rotate the sample container during transport. , And can be achieved by. Although this configuration is a simple configuration, a very stable positioning effect can be obtained.

上記第1及び第2のX線及び熱分析装置において、前記外部側容器載置部に設けられた位置決め部材は、前記試料容器と平面視で相似形の凹部とすることができる。この構成によれば、測定の開始に先立って測定者が試料容器を外部側容器載置部へセットする作業を非常に簡単に行うことが可能となる。試料容器及び凹部の平面形状は、例えば正方形状、長方形状等といた矩形状とすることができる。   In the first and second X-ray and thermal analyzers, the positioning member provided in the outer container mounting portion may be a concave portion similar to the sample container in plan view. According to this configuration, it becomes possible for the measurer to very easily perform the work of setting the sample container on the external container placing part prior to the start of the measurement. The planar shape of the sample container and the concave portion can be a rectangular shape such as a square shape or a rectangular shape.

上記第1及び第2のX線及び熱分析装置において、前記試料容器におけるX線を通過させることができる部分は、該試料容器の側壁の一部の高さが他部よりも低い部分であるとすることができる。この構成は、試料容器の構造を複雑にすることが無い構成であり、しかも、把持部材によって試料容器を把持する際には、高さの高い方の側壁を把持できるので、非常に好都合である。     In the first and second X-ray and thermal analyzers, the portion of the sample container through which X-rays can pass is a portion where the height of a part of the side wall of the sample container is lower than the other part. It can be. This configuration is a configuration that does not complicate the structure of the sample container. Further, when the sample container is gripped by the gripping member, the higher side wall can be gripped, which is very convenient. .

上記第1及び第2のX線及び熱分析装置において、前記開閉蓋は板状の部材とすることができ、さらに該開閉蓋は前記隔壁の開口を塞ぐ位置と該開口を開く位置との間で平行移動できる構成とすることができる。この構成は、非常に小型に形成でき、隔壁が小型である場合でもその内部に容易に設置することができる。開閉蓋のうち隔壁の開口を覆う部分には金属よりも柔らかい材料によってパッドを設けておくことが望ましい。さらには、パッドと接触する部分にOリング等といった封止部材を設けておくことが望ましい。   In the first and second X-ray and thermal analysis apparatuses, the opening / closing lid may be a plate-like member, and the opening / closing lid is further between a position where the opening of the partition wall is closed and a position where the opening is opened. It can be set as the structure which can be translated by. This configuration can be formed very small, and can be easily installed inside the partition even when the partition is small. It is desirable to provide a pad made of a material softer than metal on a portion of the opening / closing lid that covers the opening of the partition wall. Furthermore, it is desirable to provide a sealing member such as an O-ring at a portion that contacts the pad.

上記第1及び第2のX線及び熱分析装置において、前記搬送手段は棒状の把持部材を有することができ、該把持部材は前記隔壁の開口及び前記炉体の開口を通過できることが望ましい。この構成により、隔壁の開口及び炉体の開口を徒に広く形成する必要がなくなり、また、搬送手段の移動領域もできるだけ狭い範囲に限定できる。   In the first and second X-ray and thermal analysis apparatuses, it is desirable that the transport means can have a rod-shaped gripping member, and the gripping member can pass through the opening of the partition wall and the opening of the furnace body. With this configuration, it is not necessary to form the opening of the partition wall and the opening of the furnace body in a wide range, and the moving area of the conveying means can be limited to the narrowest possible range.

上記第1及び第2のX線及び熱分析装置において、前記搬送手段は、互いに直交する3軸方向のそれぞれで往復直進移動する移動部を備えた3軸直進移動機構によって構成することができる。3軸直進移動機構は動きが直線的であるので、試料容器や内部要素の角度位置を一定に保持し易い。従って、把持部材の角度位置を正確に維持することが望まれる本発明に関しては好都合である。   In the first and second X-ray and thermal analyzers, the transport means can be configured by a three-axis rectilinear movement mechanism including a moving unit that reciprocates linearly in each of three axial directions orthogonal to each other. Since the three-axis linear movement mechanism moves linearly, it is easy to keep the angular positions of the sample container and the internal element constant. Thus, it is advantageous with respect to the present invention where it is desired to accurately maintain the angular position of the gripping member.

本発明に係るX線及び熱分析装置によれば、炉体の開口及び隔壁の開口を通して搬送手段によって試料容器を炉体の内部と炉体の外部とで搬送でき、それ故、複数の試料を搬送手段によって交換しながら自動的に繰り返して測定を行うことができる。
また、試料容器はX線を通過できる部分を一部に有しているので、当該部分をX線測定装置のX線通路に合わせることにより、X線測定を支障無く行うことができる。もちろん、熱分析測定も支障無く行うことができる。
また、搬送手段は、試料容器を炉内に配置させる際、試料容器のX線を通過できる部分をX線測定装置のX線通路に自動的に合わせるので、複数の試料に対して自動的に繰り返して行われるX線測定を一定の条件で安定して行うことができる。
According to the X-ray and thermal analysis apparatus according to the present invention, the sample container can be transported between the inside of the furnace body and the outside of the furnace body by the transporting means through the opening of the furnace body and the opening of the partition wall. Measurements can be automatically and repeatedly performed while being exchanged by the conveying means.
Moreover, since the sample container has a part that can pass X-rays, X-ray measurement can be performed without any trouble by matching the part with the X-ray path of the X-ray measuring apparatus. Of course, thermal analysis measurement can be performed without any problem.
In addition, when the sample container is placed in the furnace, the transfer means automatically aligns the portion of the sample container that can pass X-rays with the X-ray passage of the X-ray measurement apparatus, so that a plurality of samples are automatically detected. Repeated X-ray measurements can be performed stably under certain conditions.

本発明に係るX線及び熱分析装置の一実施形態を示す斜視図である。1 is a perspective view showing an embodiment of an X-ray and thermal analysis apparatus according to the present invention. 図1の装置の主要部である試料支持ユニットを示す分解斜視図である。It is a disassembled perspective view which shows the sample support unit which is the principal part of the apparatus of FIG. 図2のD−D線に従った断面図である。It is sectional drawing according to the DD line | wire of FIG. 図2に示す構造の内部構造であるDSCユニットを示す斜視図である。It is a perspective view which shows the DSC unit which is an internal structure of the structure shown in FIG. 図4に示すDSCユニットの断面図である。It is sectional drawing of the DSC unit shown in FIG. 炉体カバーの一実施形態を示す分解斜視図である。It is a disassembled perspective view which shows one Embodiment of a furnace body cover. 把持部材の一実施形態を示す図である。It is a figure which shows one Embodiment of a holding member. 試料容器の一実施形態を示す斜視図である。It is a perspective view which shows one Embodiment of a sample container. 外部容器載置部、外部カバー載置部、外部蓋載置部のそれぞれの一実施形態を示す斜視図である。It is a perspective view which shows one embodiment of each of an external container mounting part, an external cover mounting part, and an external lid mounting part. 本発明に係るX線及び熱分析装置における制御系の一実施形態を示すブロック図である。It is a block diagram which shows one Embodiment of the control system in the X-ray and thermal analyzer which concerns on this invention. 図10の制御系によって実現される制御のフローチャートである。It is a flowchart of the control implement | achieved by the control system of FIG.

以下、本発明に係るX線及び熱分析装置を実施形態に基づいて説明する。なお、本発明がこの実施形態に限定されないことはもちろんである。   Hereinafter, an X-ray and thermal analysis apparatus according to the present invention will be described based on embodiments. Of course, the present invention is not limited to this embodiment.

図1は、本発明に係るX線及び熱分析装置の一実施形態を示している。本実施形態では、X線分析のための測定を行う装置(以下、X線測定装置という)としてX線回折装置を例示し、熱分析のための測定を行う装置(以下、熱分析測定装置という)としてDSC(Differential Scanning Calorimetry:示差走査熱量分析)測定装置を例示するが、必要に応じてその他の装置を用いることができる。   FIG. 1 shows an embodiment of an X-ray and thermal analysis apparatus according to the present invention. In the present embodiment, an X-ray diffractometer is exemplified as an apparatus for performing measurement for X-ray analysis (hereinafter referred to as an X-ray measurement apparatus), and an apparatus for performing measurement for thermal analysis (hereinafter referred to as a thermal analysis measurement apparatus). DSC (Differential Scanning Calorimetry) measuring device is illustrated as an example, but other devices can be used as necessary.

例えば、X線測定装置はX線を用いて測定を行う任意の装置であり、X線回折装置以外に例えばX線散乱装置、蛍光X線装置、その他がある。また、熱分析測定装置は、試料の温度を変化させながら測定を行う任意の装置であり、DSC測定装置以外にDTA(Differential Thermal Analysis:示差熱分析)測定装置も考えられる。   For example, the X-ray measurement apparatus is an arbitrary apparatus that performs measurement using X-rays, and includes, for example, an X-ray scattering apparatus, a fluorescent X-ray apparatus, and the like in addition to the X-ray diffraction apparatus. The thermal analysis measurement apparatus is an arbitrary apparatus that performs measurement while changing the temperature of the sample. In addition to the DSC measurement apparatus, a DTA (Differential Thermal Analysis) measurement apparatus is also conceivable.

図1に示すX線及び熱分析装置1は、X線測定装置としてのX線回折装置2と、熱分析測定装置としてのDSC測定装置3と、試料搬送装置4と、試料支持ユニット5とを有している。試料支持ユニット5は着脱可能な外装ケース16を有している。   An X-ray and thermal analysis apparatus 1 shown in FIG. 1 includes an X-ray diffraction apparatus 2 as an X-ray measurement apparatus, a DSC measurement apparatus 3 as a thermal analysis measurement apparatus, a sample transport apparatus 4, and a sample support unit 5. Have. The sample support unit 5 has a removable outer case 16.

(X線回折装置)
X線回折装置2は、ゴニオメータ6と、X線発生部7と、X線検出器8とを有している。ゴニオメータ6は、中心部から前方へ延びている支持軸13と、中心部から左方向へ延びている第1アーム11と、中心部から第1アーム11の反対側へ延びている第2アーム12とを有している。
(X-ray diffractometer)
The X-ray diffraction apparatus 2 includes a goniometer 6, an X-ray generation unit 7, and an X-ray detector 8. The goniometer 6 includes a support shaft 13 that extends forward from the center, a first arm 11 that extends leftward from the center, and a second arm 12 that extends from the center to the opposite side of the first arm 11. And have.

X線発生部7は第1アーム11によって支持されている。X線発生部7の中には、X線を発生するX線源9が設けられている。X線源9は、例えばCu(銅)の特性X線を含むX線を発生する。   The X-ray generator 7 is supported by the first arm 11. An X-ray source 9 for generating X-rays is provided in the X-ray generator 7. The X-ray source 9 generates X-rays including, for example, Cu (copper) characteristic X-rays.

X線検出器8は、第2アーム12によって支持されている。X線検出器8は、例えばSC(Scintillation Counter)等のような位置分解能を持たない0次元カウンタや、X線受光素子をX線検出器8の回転移動方向(すなわち矢印B−B’方向)に沿って直線的に並べて成る半導体センサ等によって構成されている。   The X-ray detector 8 is supported by the second arm 12. The X-ray detector 8 is, for example, a zero-dimensional counter having no position resolution such as SC (Scintillation Counter), or the rotational movement direction of the X-ray detector 8 (that is, the arrow BB ′ direction). It is comprised by the semiconductor sensor etc. which are arranged in a line along.

ゴニオメータ6の支持軸13は回転しないように固定されている。詳しくは後述するが、この支持軸13によって試料支持ユニット5が回転しないように固定支持されている。なお、試料支持ユニット5をゴニオメータ6によって支持することに代えて、別途備えられたテーブル(図示せず)の上に固定しても良い。試料支持ユニット5をゴニオメータ6によって支持した場合、その試料支持ユニット5の重量が重くなると、ゴニオメータ6に歪みが生じるおそれがある。試料支持ユニット5をゴニオメータ6から外してテーブル上に置くことにすれば、そのようなゴニオメータ6の歪みの心配がなくなる。試料支持ユニット5は着脱可能な外装ケース16を有している。外装ケース16の内部には隔壁17が設けられている。隔壁17の内部に標準物質19及び測定対象である試料18が配置される。   The support shaft 13 of the goniometer 6 is fixed so as not to rotate. Although described in detail later, the sample support unit 5 is fixedly supported by the support shaft 13 so as not to rotate. Instead of supporting the sample support unit 5 with the goniometer 6, it may be fixed on a separately provided table (not shown). When the sample support unit 5 is supported by the goniometer 6, the goniometer 6 may be distorted when the weight of the sample support unit 5 increases. If the sample support unit 5 is removed from the goniometer 6 and placed on the table, there is no need to worry about such distortion of the goniometer 6. The sample support unit 5 has a removable outer case 16. A partition wall 17 is provided inside the outer case 16. A standard substance 19 and a sample 18 to be measured are arranged inside the partition wall 17.

第1アーム11は支持軸13の中心線(後述する試料軸線と一致している)を中心として矢印A−A’で示すように回転できる。従って、X線発生部7は支持軸13の中心線を中心として同様に回転できる。第2アーム12は支持軸13の中心線を中心として矢印B−B’で示すように回転できる。従って、X線検出器8は支持軸13の中心線を中心として同様に回転できる。   The first arm 11 can rotate as indicated by an arrow A-A ′ about a center line of the support shaft 13 (which coincides with a sample axis to be described later). Therefore, the X-ray generator 7 can rotate in the same manner around the center line of the support shaft 13. The second arm 12 can rotate around the center line of the support shaft 13 as indicated by an arrow B-B ′. Therefore, the X-ray detector 8 can be similarly rotated about the center line of the support shaft 13.

本実施形態のゴニオメータ6は、試料18を固定支持し、X線源9とX線検出器8とを試料18を中心として同じ角速度で反対方向へ回転させる方式の、いわゆるθ−θ型のゴニオメータである。具体的には、図5において試料18のX線照射面を通り水平方向(図5の紙面を貫通する方向)へ延びる線を試料軸線ωと呼ぶとき、X線源9から試料18へ入射するX線の入射角度θを試料軸線ωを中心として一定方向へ所定の角速度で変化させながら、同時に、X線検出器8のX線取込口の中心が試料18の中心を見込む線と試料18の表面との成す角度θを入射角度θと同じ角速度で試料軸線ωを中心として反対方向へ回転させる。   The goniometer 6 according to the present embodiment is a so-called θ-θ type goniometer in which the sample 18 is fixedly supported and the X-ray source 9 and the X-ray detector 8 are rotated in the opposite direction around the sample 18 at the same angular velocity. It is. Specifically, in FIG. 5, when a line extending through the X-ray irradiation surface of the sample 18 in the horizontal direction (direction passing through the paper surface of FIG. 5) is referred to as a sample axis ω, the line enters the sample 18 from the X-ray source 9. While changing the incident angle θ of the X-ray in a predetermined direction at a predetermined angular velocity about the sample axis ω, at the same time, the line at which the center of the X-ray inlet of the X-ray detector 8 looks at the center of the sample 18 and the sample 18 Is rotated in the opposite direction about the sample axis ω at the same angular velocity as the incident angle θ.

なお、X線検出器8はX線源9のθ回転と同じ角速度の回転であるが、このX線検出器8の回転はX線入射角度がθであるときに、試料18において回折角度2θ(θの2倍の角度)で発生した回折線を取り込むための回転であり、従って、X線検出器8のこの回転は、通常、2θ回転と呼ばれている。   The X-ray detector 8 rotates at the same angular velocity as the θ rotation of the X-ray source 9. However, the rotation of the X-ray detector 8 causes a diffraction angle 2θ in the sample 18 when the X-ray incident angle is θ. This is a rotation for capturing a diffraction line generated at (an angle twice as large as θ). Therefore, this rotation of the X-ray detector 8 is usually called a 2θ rotation.

図1において、X線源9から放射されたX線は試料18に入射する。X線源9と試料18との間には、必要に応じてスリット、モノクロメータ、X線フィルタ、その他のX線光学要素が設けられる。これらのX線光学要素とX線源9とによって入射側X線光学系が構成されている。一方、試料18から2次X線、本実施形態では回折線が発生した場合、その回折線はX線検出器8によって検出される。X線検出器8は、取り込んだX線の強度に対応した電気信号を出力する。試料18とX線検出器8との間には、必要に応じてスリット、アッテネータ、その他のX線光学要素が設けられる。これらのX線光学要素とX線検出器8とによって受光側X線光学系が構成されている。   In FIG. 1, X-rays emitted from the X-ray source 9 enter a sample 18. Between the X-ray source 9 and the sample 18, a slit, a monochromator, an X-ray filter, and other X-ray optical elements are provided as necessary. These X-ray optical elements and the X-ray source 9 constitute an incident side X-ray optical system. On the other hand, when secondary X-rays, that is, diffraction lines in this embodiment, are generated from the sample 18, the diffraction lines are detected by the X-ray detector 8. The X-ray detector 8 outputs an electric signal corresponding to the intensity of the acquired X-ray. A slit, an attenuator and other X-ray optical elements are provided between the sample 18 and the X-ray detector 8 as necessary. These X-ray optical elements and the X-ray detector 8 constitute a light-receiving side X-ray optical system.

X線源9から出て試料18に入射する入射X線の中心線が入射側X線光軸である。X線検出器8のX線取込口の中心が試料18の中心を見込む線が受光側X線光軸である。本実施形態では、入射側X線光軸とそれに連続する受光側X線光軸とをX線光軸X1と呼ぶことにする。また、X線光軸をX線通路と呼ぶこともある。   The center line of the incident X-ray that exits from the X-ray source 9 and enters the sample 18 is the incident-side X-ray optical axis. The line where the center of the X-ray inlet of the X-ray detector 8 looks into the center of the sample 18 is the light receiving side X-ray optical axis. In the present embodiment, the incident side X-ray optical axis and the light receiving side X-ray optical axis continuous thereto are referred to as an X-ray optical axis X1. In addition, the X-ray optical axis may be referred to as an X-ray path.

(試料支持ユニット)
図2は、図1の外装ケース16の中に収納された機器を外装ケース16を外した状態で示している。図3は図2のD−D線に従って隔壁17の内部構造を示している。これらの図において、隔壁17は、円筒形状の伝熱材14と、その伝熱材14を覆っている同じく円筒形状の断熱材15とによって構成されている。伝熱材14は、熱を伝え易い材料、例えばアルミニウム等といった金属によって形成されている。伝熱材14の壁内には通液路20が設けられている。断熱材15は、できるだけ熱を通し難い材料によって形成されている。伝熱材14と断熱材15とは一体となって隔壁17を形成しているので、これ以降の説明では伝熱体14及び断熱材15のそれぞれを隔壁17と呼ぶことがある。図2の支持軸13から延びている棚部材27に、後で詳しく説明するDSCユニット30が固定されている。そのDSCユニット30の上に隔壁17が取外し可能に取付けられている。
(Sample support unit)
FIG. 2 shows the device housed in the outer case 16 of FIG. 1 with the outer case 16 removed. FIG. 3 shows the internal structure of the partition wall 17 according to the line DD in FIG. In these drawings, the partition wall 17 is constituted by a cylindrical heat transfer material 14 and a similarly cylindrical heat insulation material 15 covering the heat transfer material 14. The heat transfer material 14 is formed of a material that easily transfers heat, for example, a metal such as aluminum. A liquid passage 20 is provided in the wall of the heat transfer material 14. The heat insulating material 15 is formed of a material that is difficult to transmit heat as much as possible. Since the heat transfer material 14 and the heat insulating material 15 integrally form the partition wall 17, the heat transfer body 14 and the heat insulating material 15 may be referred to as the partition wall 17 in the following description. A DSC unit 30 which will be described in detail later is fixed to a shelf member 27 extending from the support shaft 13 of FIG. A partition wall 17 is detachably mounted on the DSC unit 30.

隔壁17を構成している伝熱材14の側壁の入射側X線光学系側の部分に、入射X線通過部であるX線通過用窓22が設けられている。このX線通過用窓22と反対側の伝熱材14の側壁に出射X線通過部であるX線通過用窓23が設けられている。これらの窓は、X線を通過させることができ、しかも機械強度が強い材料、例えばポリイミドフィルムによって形成されている。隔壁17を構成している伝熱材14の上壁には内部空間に通じる開口24が設けられている。この開口24は図1の外装ケース16の開口21と位置的に合っている。開口24の周囲に密閉用の封止部材であるO(オー)リング25が設けられている。   An X-ray passing window 22 that is an incident X-ray passing portion is provided in a portion on the incident side X-ray optical system side of the side wall of the heat transfer material 14 constituting the partition wall 17. An X-ray passing window 23 which is an outgoing X-ray passing portion is provided on the side wall of the heat transfer material 14 opposite to the X-ray passing window 22. These windows are made of a material capable of transmitting X-rays and having high mechanical strength, for example, a polyimide film. An opening 24 leading to the internal space is provided on the upper wall of the heat transfer material 14 constituting the partition wall 17. The opening 24 is aligned with the opening 21 of the outer case 16 of FIG. Around the opening 24, an O (O) ring 25 which is a sealing member for sealing is provided.

図2において隔壁17の側壁の手前部分に上下2つの通液ポート26a,26bが設けられている。下部通液ポート26aは隔壁17の伝熱材14の壁内部へ冷却液、例えば冷却水を供給するためのポートである。上部通液ポート26bは隔壁17の壁内部から冷却液を回収するためのポートである。必要に応じて下部通液ポート26aから供給された冷却液は、図3の通液路20を流れて隔壁17の内部を冷却し、その後、図2の上部通液ポート26bから回収される。   In FIG. 2, two upper and lower liquid passing ports 26 a and 26 b are provided in front of the side wall of the partition wall 17. The lower liquid passing port 26 a is a port for supplying a cooling liquid, for example, cooling water, to the inside of the wall of the heat transfer material 14 of the partition wall 17. The upper liquid passing port 26 b is a port for recovering the coolant from the inside of the partition wall 17. The cooling liquid supplied from the lower liquid passing port 26a as needed flows through the liquid flowing path 20 in FIG. 3 to cool the inside of the partition wall 17, and then is recovered from the upper liquid flowing port 26b in FIG.

隔壁17に隣接して棚部材27上に門型形状の部材であるスタンド28が設けられており、このスタンド28の上板29の下部に電動モータ31が固定されている。このモータ31の出力軸が上板29を貫通し、その出力軸上に回転板32が取付けられている。回転板32はモータ31によって駆動されて1つの方向へ回転する。そして、さらに、その回転板32の適所にピン33が設けられている。ピン33にはローラ34が回転自在に設けられている。   A stand 28, which is a gate-shaped member, is provided on the shelf member 27 adjacent to the partition wall 17, and an electric motor 31 is fixed to the lower portion of the upper plate 29 of the stand 28. An output shaft of the motor 31 passes through the upper plate 29, and a rotating plate 32 is mounted on the output shaft. The rotating plate 32 is driven by a motor 31 and rotates in one direction. Further, a pin 33 is provided at an appropriate position of the rotating plate 32. A roller 34 is rotatably provided on the pin 33.

隔壁17の上壁に、平面視で長方形状である案内用ケース36がボルト、その他の締結手段によって固定されている。案内用ケース36は隔壁17の上壁との間に適宜の高さの扁平の空間を形成している。そして、その扁平の空間内に開閉蓋39が設けられている。開閉蓋39は長方形状の板状部材である。案内用ケース36の上板に円形状の貫通孔44が開けられている。この貫通孔44は隔壁17の上壁の開口24と位置的に合っている。   A guide case 36 that is rectangular in plan view is fixed to the upper wall of the partition wall 17 by bolts or other fastening means. The guide case 36 forms a flat space of an appropriate height between the upper wall of the partition wall 17. An open / close lid 39 is provided in the flat space. The open / close lid 39 is a rectangular plate member. A circular through hole 44 is formed in the upper plate of the guide case 36. The through hole 44 is aligned with the opening 24 in the upper wall of the partition wall 17.

開閉蓋39の支持軸13側(すなわち奥側)の端面に近い部分には、X線通路X1を含む面に対して平行の方向に延びる長孔41が設けられている。開閉蓋39の支持軸13から離れた側(すなわち手前側)の端面に近い部分には円形状の密閉用のパッド42が設けられている。パッド42は、比較的硬質であるが金属よりも柔らかい合成樹脂によって形成されている。パッド42の直径はOリング25の直径よりも大きくなっている。パッド42の厚さは開閉蓋39の厚さよりも厚くなっている。長孔41とパッド42との間の部分の開閉蓋39に円形状の貫通孔43が開けられている。   A long hole 41 extending in a direction parallel to the surface including the X-ray passage X1 is provided in a portion near the end surface of the opening / closing lid 39 on the support shaft 13 side (that is, the back side). A circular sealing pad 42 is provided in a portion near the end surface of the opening / closing lid 39 on the side away from the support shaft 13 (that is, the front side). The pad 42 is made of a synthetic resin that is relatively hard but softer than metal. The diameter of the pad 42 is larger than the diameter of the O-ring 25. The thickness of the pad 42 is larger than the thickness of the opening / closing lid 39. A circular through hole 43 is formed in the opening / closing lid 39 between the long hole 41 and the pad 42.

回転板32に設けられたピン33のローラ34は、開閉蓋39の長孔41に嵌合している。回転板32がモータ31によって駆動されて回転すると、ピン33がモータ出力軸を中心として回転する。すると、ピン33によって押されて開閉蓋39が案内用ケース36にガイドされて矢印C−C’で示すようにX線通路X1を含む面と直角方向にスライド移動、すなわち往復直線移動する。   The roller 34 of the pin 33 provided on the rotating plate 32 is fitted in the long hole 41 of the opening / closing lid 39. When the rotating plate 32 is driven and rotated by the motor 31, the pin 33 rotates about the motor output shaft. Then, the opening / closing lid 39 is pushed by the pin 33 and guided by the guide case 36, and slides in a direction perpendicular to the plane including the X-ray passage X1, as shown by an arrow C-C ', that is, reciprocates linearly.

回転板32は、ピン33を最もX線通路に近い位置に置く角度位置と、ピン33をX線通路から最も離す位置に置く角度位置と、の間で180°の回転角度ごとに一定方向へ回転するように制御される。ピン33がX線通路X1から最も離れた位置に在るとき、開閉蓋39のパッド42が隔壁17の上壁開口24を覆う。このとき、パッド42は、案内用ケース36内で図3に示すようにOリング25の上に乗り上げ、さらに、案内用ケース36の上板に設けた2つの押圧ピン46によってOリング25へ押し付けられる。これにより、開口24はパッド42によって密閉される。   The rotating plate 32 moves in a fixed direction at every rotation angle of 180 ° between an angular position where the pin 33 is positioned closest to the X-ray path and an angular position where the pin 33 is positioned farthest from the X-ray path. Controlled to rotate. When the pin 33 is at a position farthest from the X-ray passage X1, the pad 42 of the opening / closing lid 39 covers the upper wall opening 24 of the partition wall 17. At this time, the pad 42 rides on the O-ring 25 in the guide case 36 as shown in FIG. 3 and is further pressed against the O-ring 25 by two pressing pins 46 provided on the upper plate of the guide case 36. It is done. Thereby, the opening 24 is sealed by the pad 42.

押圧ピン46の外周面にはネジが設けられており、従って押圧ピン46を測定者が指で回せば、押圧ピン46を案内用ケース36に対して移動させることができ、その結果、押圧ピン46の先端の案内用ケース36の内部空間内への突出量を調節できる。この突出量の調節により、パッド42のOリング25への押圧力を調節できる。   A screw is provided on the outer peripheral surface of the pressing pin 46. Therefore, if the operator turns the pressing pin 46 with a finger, the pressing pin 46 can be moved with respect to the guide case 36. As a result, the pressing pin 46 is moved. The amount of protrusion of the leading end 46 into the internal space of the guide case 36 can be adjusted. By adjusting the protruding amount, the pressing force of the pad 42 to the O-ring 25 can be adjusted.

図2の回転板32のピン33がX線通路X1へ最も近づく位置まで回転して停止すると、開閉蓋39が最も前方へ移動する。このとき、開閉蓋39の貫通孔43が隔壁17の上壁開口24と位置的に一致する。このとき、図1の外装ケース16の開口21を通して図2の開閉蓋39の開口43及び隔壁17の上壁開口24を通して、隔壁17の内部を見ることができる。   When the pin 33 of the rotating plate 32 in FIG. 2 rotates and stops to the position closest to the X-ray path X1, the opening / closing lid 39 moves most forward. At this time, the through-hole 43 of the opening / closing lid 39 coincides with the upper wall opening 24 of the partition wall 17 in position. At this time, the inside of the partition wall 17 can be seen through the opening 43 of the opening / closing lid 39 and the upper wall opening 24 of the partition wall 17 through the opening 21 of the outer case 16 of FIG.

図4は図2の構造から隔壁17を取り外してDSCユニット30を示している。図5はそのDSCユニット30の断面構造を示している。図2の隔壁17の内部には、図4及び図5に示すようなDSCユニット30が収容されている。このDSCユニット30は、棚部材27に固定された円筒形状の第1支持部材47と、その第1支持部材47にネジその他の締結手段によって固定された第2支持部材48と、第2支持部材48の上端湾曲縁部の下面にネジその他の締結手段によって固定されて垂下している炉体49とを有している。   FIG. 4 shows the DSC unit 30 with the partition wall 17 removed from the structure of FIG. FIG. 5 shows a cross-sectional structure of the DSC unit 30. A DSC unit 30 as shown in FIGS. 4 and 5 is accommodated in the partition wall 17 of FIG. The DSC unit 30 includes a cylindrical first support member 47 fixed to the shelf member 27, a second support member 48 fixed to the first support member 47 by screws or other fastening means, and a second support member. A furnace body 49 is fixed to the lower surface of the upper curved edge of 48 by screws or other fastening means and hangs down.

第2支持部材48は内部円筒部分と外部円筒部分とを有する二重円筒構造となっている。第1支持部材47、第2支持部材48、及び炉体49の材料及び機能は特開2001−050913に詳しく説明されている。炉体49は概ね円筒形状であり、その外周には加熱手段としてのヒータ線51が巻き付けられている。ヒータ線51は通電によって発熱する。ヒータ線51への通電は温度制御装置55によって制御される。   The second support member 48 has a double cylindrical structure having an inner cylindrical portion and an outer cylindrical portion. The materials and functions of the first support member 47, the second support member 48, and the furnace body 49 are described in detail in Japanese Patent Application Laid-Open No. 2001-050913. The furnace body 49 has a substantially cylindrical shape, and a heater wire 51 as a heating means is wound around the outer periphery thereof. The heater wire 51 generates heat when energized. Energization of the heater wire 51 is controlled by the temperature control device 55.

炉体49の上部の内部は空間52となっており、その空間52は外部へ通じる開口53を有している。空間52を形成している炉体49のX線入射側の一部は切欠かれていて横孔54aが形成されている。また、横孔54aに対向する部分の炉体49の一部も切欠かれていて横孔54bが形成されている。横孔54aは炉体の内部へ入射するX線を通過させる入射X線通過部として機能し、他方の横孔54bは炉体から外部へ出るX線と通過させる出射X線通過部として機能する。   The interior of the upper portion of the furnace body 49 is a space 52, and the space 52 has an opening 53 that leads to the outside. A part of the furnace body 49 forming the space 52 on the X-ray incident side is cut out to form a lateral hole 54a. Further, a part of the furnace body 49 at a portion facing the horizontal hole 54a is also cut away to form a horizontal hole 54b. The horizontal hole 54a functions as an incident X-ray passing part for allowing X-rays incident on the inside of the furnace body, and the other lateral hole 54b functions as an X-ray exiting from the furnace body and an outgoing X-ray passing part for allowing the X-rays to pass through. .

空間52には、内部容器載置部としての感熱板56が設けられている。そして、この感熱板56の片側は、上面の一部が試料18を収容した試料容器57を載せるための内部容器載置部として機能し、感熱板56のもう1つの片側は、標準物質19を収容した試料容器57を載せるための内部容器載置部として機能する。感熱板56のこれらの領域は、試料容器57を安定な状態で載せる事ができるように、平面板の形状や、皿状の形状であっても良い。これらの感熱板56の試料容器を載せる感熱点に当る部分のそれぞれの下面には熱電対58の測温点が溶接その他の固着手法によって固着されている。図1のDSC測定装置3がこの熱電対58に接続されている。   The space 52 is provided with a heat sensitive plate 56 as an inner container placement portion. Then, one side of the heat sensitive plate 56 functions as an inner container placing portion for placing a sample container 57 in which a part of the upper surface accommodates the sample 18, and the other side of the heat sensitive plate 56 contains the standard material 19. It functions as an internal container placement portion for placing the accommodated sample container 57. These regions of the heat sensitive plate 56 may have a flat plate shape or a dish shape so that the sample container 57 can be placed in a stable state. The temperature measuring points of the thermocouples 58 are fixed to the lower surfaces of the portions of the heat sensitive plates 56 corresponding to the heat sensitive points on which the sample containers are placed by welding or other fixing methods. The DSC measuring apparatus 3 in FIG. 1 is connected to the thermocouple 58.

第2支持部材48の上面に案内用リング部材59が容易には取り外せないように固定されている。案内用リング部材59の上部には段部61が形成されている。炉体49の上部の周囲が炉体カバー62によって覆われている。炉体カバー62は案内用リング部材59によって案内されながら、炉体49に対して着脱される。炉体カバー62は、主に、炉体49内の空間52内の温度分布を均一化するため、いわゆる均熱化するために用いられている。   A guide ring member 59 is fixed to the upper surface of the second support member 48 so that it cannot be easily removed. A step portion 61 is formed on the guide ring member 59. The upper periphery of the furnace body 49 is covered with a furnace body cover 62. The furnace body cover 62 is attached to and detached from the furnace body 49 while being guided by the guide ring member 59. The furnace body cover 62 is mainly used for so-called soaking so as to make the temperature distribution in the space 52 in the furnace body 49 uniform.

炉体カバー62は図6に示すように、内カバー63、箔部材64、外カバー65及びツマミ66を有している。内カバー63及び外カバー65は、例えばステンレス等の金属によって形成されている。箔部材64は、X線を通過させることができる材料、例えばポリイミドフィルムによって形成されている。   As shown in FIG. 6, the furnace body cover 62 includes an inner cover 63, a foil member 64, an outer cover 65, and a knob 66. The inner cover 63 and the outer cover 65 are made of metal such as stainless steel, for example. The foil member 64 is made of a material that can pass X-rays, for example, a polyimide film.

内カバー63の直径上の2カ所は切り欠かれて開口72が形成されている。開口72は、内カバー63の上面から側面にかけて形成されている。箔部材64は、内カバー63の開口72の幅よりも広い幅の略長方形状に形成されている。箔部材64は、折り曲げられることにより、内カバー63の両方の開口72を覆っている。外カバー65にも、内カバー63の開口72と略同じ形状の開口73が形成されている。   Two locations on the diameter of the inner cover 63 are cut out to form openings 72. The opening 72 is formed from the upper surface to the side surface of the inner cover 63. The foil member 64 is formed in a substantially rectangular shape having a width wider than the width of the opening 72 of the inner cover 63. The foil member 64 covers both openings 72 of the inner cover 63 by being bent. The outer cover 65 is also formed with an opening 73 having substantially the same shape as the opening 72 of the inner cover 63.

外カバー65の内径は内カバー63の外径よりも、少なくとも箔部材64の厚さ以上に大きくなっている。これにより、箔部材64を間に挟んで内カバー63の外側に外カバー65を密着して嵌め込んで箔部材64を挟持できる。この場合には、内カバー63の開口72と外カバー65の開口73とが位置的に合致するように、外カバー65が内カバー63の外側に嵌め込まれる。   The inner diameter of the outer cover 65 is at least larger than the thickness of the foil member 64 than the outer diameter of the inner cover 63. Thus, the foil member 64 can be sandwiched by closely fitting the outer cover 65 to the outside of the inner cover 63 with the foil member 64 interposed therebetween. In this case, the outer cover 65 is fitted to the outside of the inner cover 63 so that the opening 72 of the inner cover 63 and the opening 73 of the outer cover 65 coincide with each other in position.

内カバー63の中央部には雌ネジ68が切られている。箔部材64、外カバー65及びツマミ66の中央部には、それぞれ、貫通孔69、70、71が設けられている。ネジ74をツマミ66、外カバー65、そして箔部材64のそれぞれの貫通孔71、70、69に通し、そして内カバー63の雌ネジ68に締め付けることにより、図4に示すような単体としての炉体カバー62が組み立てられる。   A female screw 68 is cut at the center of the inner cover 63. Through holes 69, 70, and 71 are provided in the central portions of the foil member 64, the outer cover 65, and the knob 66, respectively. The screw 74 is passed through the through holes 71, 70, 69 of the knob 66, the outer cover 65, and the foil member 64, and is fastened to the female screw 68 of the inner cover 63, whereby a furnace as a single unit as shown in FIG. The body cover 62 is assembled.

この炉体カバー62において、外カバー65の2カ所の開口73から外部へ臨み出ている2カ所の箔部材64の部分が、それぞれ、入射X線通過部又は出射X線通過部として機能する。炉体カバー62は図5に示すように、炉体49内の空間52の開口53を含んだ炉体49の上部に被される。このとき、炉体カバー62の2つの箔部材64の部分が、それぞれ、炉体49の入射側横孔54a及び出射側横孔54bに位置的に一致するように(互いに対向するように)、炉体カバー62が炉体49に被される。   In the furnace body cover 62, the two portions of the foil members 64 that are exposed to the outside from the two openings 73 of the outer cover 65 function as an incident X-ray passage portion or an emission X-ray passage portion, respectively. As shown in FIG. 5, the furnace body cover 62 is placed on the top of the furnace body 49 including the opening 53 of the space 52 in the furnace body 49. At this time, the portions of the two foil members 64 of the furnace body cover 62 are positioned to coincide with the incident side lateral hole 54a and the emission side lateral hole 54b of the furnace body 49 (so as to face each other). A furnace body cover 62 is put on the furnace body 49.

これにより、図5において、入射X線が炉体カバー62の入射側箔部材64及び炉体49の入射側横孔54aを通って入射角度θで試料18へ照射される。入射角度θは、通常、所定の角速度で連続的又はステップ的に変化させられる。そして、試料18から回折角度2θで回折線が発生したときには、その回折線が炉体49の出射側横孔54b及び炉体カバー62の出射側箔部材64を通ってX線検出器8に取り込まれる。   As a result, in FIG. 5, incident X-rays are irradiated to the sample 18 at an incident angle θ through the incident-side foil member 64 of the furnace body cover 62 and the incident-side lateral hole 54 a of the furnace body 49. The incident angle θ is normally changed continuously or stepwise at a predetermined angular velocity. When diffraction lines are generated from the sample 18 at a diffraction angle 2θ, the diffraction lines are taken into the X-ray detector 8 through the emission side lateral hole 54b of the furnace body 49 and the emission side foil member 64 of the furnace body cover 62. It is.

図6において、ツマミ66は、炉体カバー62の全体を後述する把持部材によって持ち上げる際に把持される部分である。ツマミ66は、被把持部76と、当該被把持部76の径方向へ張り出しているフランジ77とによって形成されている。被把持部76の平面断面形状は矩形状(すなわち、正方形状又は長方形状)に形成されている。すなわち、被把持部76は立方体形状又は直方体形状等といった角柱形状に形成されている。被把持部材76は後述するように把持部材に把持されるのであるが、被把持部材76を上記のように角柱形状に形成し、把持部材によってこの方形状の被把持部材76を把持することにより、把持部材に把持された炉体カバー62が自身の中心軸線X2を中心として回転することを防止できる。   In FIG. 6, a knob 66 is a portion that is gripped when the entire furnace body cover 62 is lifted by a gripping member to be described later. The knob 66 is formed by a gripped portion 76 and a flange 77 protruding in the radial direction of the gripped portion 76. The planar cross-sectional shape of the gripped portion 76 is formed in a rectangular shape (that is, a square shape or a rectangular shape). That is, the gripped portion 76 is formed in a prismatic shape such as a cubic shape or a rectangular parallelepiped shape. The gripped member 76 is gripped by the gripping member as will be described later, but by forming the gripped member 76 into a prismatic shape as described above and gripping the square-shaped gripped member 76 by the gripping member, It is possible to prevent the furnace body cover 62 held by the holding member from rotating about its own central axis X2.

図5において、案内用リング部材59の段部61に蓋78が載せられている。蓋78は図4に示すように円板形状となっている。蓋78の中央部にはツマミ79が設けられている。このツマミ79は、炉体カバー62のツマミ66と同様に、被把持部79aとフランジ79bとによって形成されている。炉体カバー62はX線通路X1に対する向き(角度位置)を考慮しなければならないので、その被把持部76を角柱形状に形成した。これに対し、蓋78は単なる円板であるので、X線通路X1に対する向きを考慮する必要が無い。そのため、蓋78の被把持部79aは、炉体カバー62の被把持部76とは違って、円筒形状に形成されている。しかしながら、蓋78の被把持部79aは角柱形状に形成しても差し支えは無い。蓋78は、炉体カバー62と同様に、炉体49内の空間52の均熱化のために用いられる。なお、場合によっては、蓋78は用いなくても良い。   In FIG. 5, a lid 78 is placed on the step portion 61 of the guide ring member 59. The lid 78 has a disk shape as shown in FIG. A knob 79 is provided at the center of the lid 78. Similar to the knob 66 of the furnace body cover 62, the knob 79 is formed by a gripped portion 79a and a flange 79b. Since the furnace body cover 62 has to consider the direction (angular position) with respect to the X-ray passage X1, the gripped portion 76 is formed in a prismatic shape. On the other hand, since the lid 78 is a simple disk, it is not necessary to consider the direction with respect to the X-ray path X1. Therefore, unlike the gripped portion 76 of the furnace body cover 62, the gripped portion 79 a of the lid 78 is formed in a cylindrical shape. However, the gripped portion 79a of the lid 78 may be formed in a prismatic shape. Similarly to the furnace body cover 62, the lid 78 is used to equalize the space 52 in the furnace body 49. In some cases, the lid 78 may not be used.

(DSC測定装置)
図5において、DSC測定装置3は、熱電対58によって伝送される試料18の温度情報及び標準物質19の温度情報に基づいて、試料18と標準物質19とに流入する熱量の差を演算する。標準物質19は温度変化によって特性が変化しない物質であり、試料18はそれ自身の特性に従って温度変化に応じて特性が変化する。例えば、温度が所定温度まで上昇すると、試料18は相変態して流入熱量が変化する。DSC測定装置3は標準物質に対するそのような試料18の熱量変化を経時的に測定する。
(DSC measuring device)
In FIG. 5, the DSC measurement device 3 calculates the difference in the amount of heat flowing into the sample 18 and the standard material 19 based on the temperature information of the sample 18 and the temperature information of the standard material 19 transmitted by the thermocouple 58. The standard material 19 is a material whose characteristics do not change with temperature change, and the sample 18 changes its characteristics according to the temperature change according to its own characteristics. For example, when the temperature rises to a predetermined temperature, the sample 18 undergoes phase transformation and the inflow heat quantity changes. The DSC measuring device 3 measures the change in the calorific value of the sample 18 with respect to the standard substance over time.

(試料搬送装置)
図1において、試料搬送装置4は、試料支持ユニット5の前方位置に設けられている。試料搬送装置4は図示しない適宜の支持装置によって固定状態で支持されている。試料搬送装置4は、これから測定を受ける試料や測定を終わった試料等が置かれるテーブル83と、把持部材81を支持している前後移動ユニット82Xと、左右移動ユニット82Yと、上下移動ユニット82Zとを有している。把持部材81は棒状の部材によって形成されている。各ユニットはそれぞれにパルスモータ、サーボモータ等といった動作量を制御可能な駆動源を有している。
(Sample transport device)
In FIG. 1, the sample transport device 4 is provided at a position in front of the sample support unit 5. The sample transport device 4 is supported in a fixed state by an appropriate support device (not shown). The sample transport device 4 includes a table 83 on which a sample to be measured or a sample that has been measured is placed, a back-and-forth moving unit 82X that supports the gripping member 81, a left-right moving unit 82Y, and a vertical moving unit 82Z. have. The holding member 81 is formed of a rod-shaped member. Each unit has a drive source capable of controlling an operation amount such as a pulse motor and a servo motor.

前後移動ユニット82Xは、動力源によって駆動されて前後方向Xへ往復直進移動できる。左右移動ユニット82Yは、動力源によって駆動されてX方向と直角な左右方向Yへ往復直進移動できる。上下移動ユニット82Zは、動力源によって駆動されて前後方向X及び左右方向Yの両方向に対して直角なZ方向へ往復直進移動できる。以上により、把持部材81は、XYZの3次元方向へ適宜量、移動することにより、テーブル83上と外装ケース16の開口21との間を自由に移動できる。   The front-rear moving unit 82X is driven by a power source and can move back and forth in the front-rear direction X. The left and right moving unit 82Y is driven by a power source and can move back and forth in the left and right direction Y perpendicular to the X direction. The vertical movement unit 82Z is driven by a power source and can move back and forth in the Z direction perpendicular to both the front-rear direction X and the left-right direction Y. As described above, the gripping member 81 can freely move between the table 83 and the opening 21 of the outer case 16 by appropriately moving the gripping member 81 in the three-dimensional directions of XYZ.

把持部材81が外装ケース16の開口21まで移動した場合に、図3において隔壁17の開口24が開状態となっており、蓋78及び炉体カバー62が取り外されていて炉体49の開口53が開状態となっていれば、把持部材81を図1のZ方向の下方向へ移動させることにより、当該把持部材81を、外装ケース16の開口21と、隔壁17の開口24と、炉体49の開口53とを通って、炉体49の内部空間52内へ挿入することができる。また、逆の経路で把持部材81を外部へ搬送することができる。   When the gripping member 81 moves to the opening 21 of the outer case 16, the opening 24 of the partition wall 17 is open in FIG. 3, the lid 78 and the furnace body cover 62 are removed, and the opening 53 of the furnace body 49 is removed. If the gripping member 81 is in the open state, the gripping member 81 is moved downward in the Z direction in FIG. 1, so that the gripping member 81 is moved to the opening 21 of the exterior case 16, the opening 24 of the partition wall 17, and the furnace body. It can be inserted into the internal space 52 of the furnace body 49 through the opening 53 of 49. Further, the gripping member 81 can be conveyed to the outside through the reverse path.

把持部材81の先端には、図7(a)に示すように、把持用チップ84がネジ86によって固定されている。把持用チップ84は概ね角柱形状であり、その先端部には角形状の溝87が水平方向に形成されている。これらの溝87の上下方向の幅hは、図5に示された炉体カバー62のツマミ66のフランジ77の厚さ及び蓋78のツマミ79のフランジ79bの厚さの両方よりも広く設定されている。これにより、フランジ77及び79bは把持部材81の溝87の中に入ることができる。   As shown in FIG. 7A, a gripping tip 84 is fixed to the tip of the gripping member 81 with a screw 86. The gripping tip 84 has a generally prismatic shape, and a square groove 87 is formed in the horizontal direction at the tip. The width h in the vertical direction of these grooves 87 is set wider than both the thickness of the flange 77 of the knob 66 of the furnace body cover 62 and the thickness of the flange 79b of the knob 79 of the lid 78 shown in FIG. ing. Thereby, the flanges 77 and 79 b can enter the groove 87 of the gripping member 81.

互いに対向している一対の把持部材81の上端部は、図1の前後移動ユニット82Xの内部において、図7(b)に示すように、軸88によって回転可能に支持されている。そして、一対の把持部材81は、図示しない弾性部材、例えばバネの弾性力によって矢印Eで示すように互いにすぼまる方向へ回転移動するように付勢されている。これらの把持部材81の間には楔状部材89が設けられている。楔状部材89をパルスモータ、サーボモータ等90によって駆動して一対の把持部材81の間に割り込む方向へ移動すれば、把持部材81を開くことができる。他方、楔部材89を把持部材81から離れる方向へ移動させれば、一対の把持部材81をバネの弾性力によって閉じることができる。   The upper ends of the pair of gripping members 81 facing each other are rotatably supported by a shaft 88 as shown in FIG. 7B inside the front / rear moving unit 82X of FIG. The pair of gripping members 81 are urged so as to rotate and move in the direction of contraction as shown by an arrow E by an elastic force of an elastic member (not shown), for example, a spring. A wedge-shaped member 89 is provided between the gripping members 81. If the wedge-shaped member 89 is driven by a pulse motor, servo motor, or the like 90 and moved in a direction to interrupt between the pair of gripping members 81, the gripping member 81 can be opened. On the other hand, if the wedge member 89 is moved away from the gripping member 81, the pair of gripping members 81 can be closed by the elastic force of the spring.

図5において炉体49内の感熱板56に載せられた試料容器57は、図8に示すように、平面視で矩形状(正方形状又は長方形状)であり、該試料容器57の一対の対辺93,93の壁の高さは、隣接する対辺94,94の壁の高さよりも高くなっている。測定対象である試料(図5の符号18)又は標準物質(図5の符号19)は底壁95の上に載せられる。試料は固形状、粉末状、液状等、種々の形態である。   In FIG. 5, the sample container 57 placed on the heat sensitive plate 56 in the furnace body 49 has a rectangular shape (square shape or rectangular shape) in plan view as shown in FIG. 8, and a pair of opposite sides of the sample container 57. The wall heights 93 and 93 are higher than the wall heights of the adjacent opposite sides 94 and 94. A sample to be measured (reference numeral 18 in FIG. 5) or a standard substance (reference numeral 19 in FIG. 5) is placed on the bottom wall 95. Samples are in various forms such as solid, powder, and liquid.

試料容器57の低い方の壁94は、図5においてX線通路X1に沿って試料18に入射するX線及び試料18から出射するX線の邪魔にならない高さに設定されている。特に、入射X線の試料18への入射角度θ及び試料18から出た回折線の回折角度2θが小さい場合でも壁94がX線の進行を邪魔しないように設定する。試料容器57の高い方の壁93は、図7(a)の把持用チップ84が把持し易いように高く形成されている。   The lower wall 94 of the sample container 57 is set to a height that does not interfere with the X-rays incident on the sample 18 and the X-rays emitted from the sample 18 along the X-ray path X1 in FIG. In particular, even when the incident angle θ of incident X-rays to the sample 18 and the diffraction angle 2θ of diffraction lines emitted from the sample 18 are small, the wall 94 is set so as not to obstruct the progress of X-rays. The higher wall 93 of the sample container 57 is formed high so that the gripping tip 84 of FIG.

図1において、テーブル83には、図4の炉体カバー62を置くための場所である外部側要素載置部としての外部カバー載置部91と、図4の蓋78を置くための場所である外部側要素載置部としての外部蓋載置部92と、図8の試料容器57を置くための場所である2つのパレット96が設けられている。パレット96は1つであっても良い。パレット96は、図9に示すように、1枚の平板状の部材であり、ガイド97によって案内されながら、矢印Fで示すように、平行移動によって出し入れできるようになっている。図示の位置が所定の位置へ収納された状態であり、図示しないストッパの作用により、パレット96はこれ以上の前方には挿入できないようになっている。   In FIG. 1, the table 83 is a place for placing the external cover placement portion 91 as an external element placement portion, which is a place for placing the furnace body cover 62 of FIG. 4, and a lid 78 of FIG. 4. An external lid placing portion 92 as a certain external element placing portion and two pallets 96 as places for placing the sample container 57 in FIG. 8 are provided. There may be one pallet 96. As shown in FIG. 9, the pallet 96 is a single plate-like member, and can be moved in and out by parallel movement as indicated by an arrow F while being guided by a guide 97. The illustrated position is stored in a predetermined position, and the pallet 96 cannot be inserted further forward by the action of a stopper (not illustrated).

各パレット96には、平面視で四角形状の外部側容器載置部としての凹部98が複数、形成されている。1つのパレット96には2列の凹部98群が設けられている。1列の凹部98群には6個の凹部98が含まれている。各凹部98の平面形状は、図8の試料容器57の平面形状と相似形状であり、試料容器57よりも、わずかに大きい形状となっている。従って、試料容器57は凹部98の中にその全体が入れられることができ、そのように入れられたとき、試料容器57は凹部98の側壁部によって、位置移動できないように位置決めされる。つまり、凹部98の側壁が試料容器57の側壁93,94の移動を規制するための位置決め構造として機能する。   Each pallet 96 is formed with a plurality of concave portions 98 as a rectangular outer side container placement portion in plan view. One pallet 96 is provided with two rows of concave portions 98. The group of recesses 98 in one row includes six recesses 98. The planar shape of each recess 98 is similar to the planar shape of the sample container 57 in FIG. 8 and is slightly larger than the sample container 57. Accordingly, the entire sample container 57 can be placed in the recess 98, and when so placed, the sample container 57 is positioned so that it cannot be moved by the side wall of the recess 98. That is, the side wall of the recess 98 functions as a positioning structure for restricting the movement of the side walls 93 and 94 of the sample container 57.

凹部98は全部で6個×4列=24個、形成されている。そして、それらの凹部98には番地が付されている。本実施形態では、1〜24の数字が付されている。なお、複数の凹部98の識別が容易である場合には、必ずしも数字は付さなくても良い。本実施形態では、1番と2番の凹部98に標準物質19を収容した試料容器57を入れ、3番〜24番の凹部98に試料18を収容した試料容器57を入れる、という取り決めになっている。   The recesses 98 are formed in a total of 6 × 4 rows = 24. And the address is attached | subjected to those recessed parts 98. FIG. In the present embodiment, numerals 1 to 24 are given. In the case where the plurality of recesses 98 can be easily identified, it is not always necessary to add numbers. In this embodiment, the arrangement is such that the sample container 57 containing the reference material 19 is placed in the first and second recesses 98 and the sample container 57 containing the sample 18 is placed in the third to 24th recesses 98. ing.

また、一対の把持部材81はパレット96の長手方向に並べて設けられている。従って、凹部98に入れられる試料容器57は、高い壁93(図8参照)がパレット96の長手方向に対して直角となるように配列される。この配列は、測定者が試料容器57をパレット96へ置くときに達成される。なお、測定者が試料容器57をパレット96へ置く作業を行う際には、パレット96をガイド97から取り外して、作業のやり易い所へ持っていてその作業を行うことが好都合である。   Further, the pair of gripping members 81 are provided side by side in the longitudinal direction of the pallet 96. Accordingly, the sample container 57 placed in the recess 98 is arranged such that the high wall 93 (see FIG. 8) is perpendicular to the longitudinal direction of the pallet 96. This arrangement is achieved when the measurer places the sample container 57 on the pallet 96. When the measurer performs the work of placing the sample container 57 on the pallet 96, it is convenient to remove the pallet 96 from the guide 97 and bring it to a place where the work can be easily performed.

外部カバー載置部91には、位置決め用のブロック部材99が容易には取り外されないように固定されている。例えば、ボルト止め、接着等によって固定されている。このブロック部材99は、間隔をおいて設けられた2つの凸部101を有している。これらの凸部101は、図6に示すように、炉体カバー62の内カバー63の開口72を形成している縁壁が嵌り合う形状となっている。従って、炉体カバー62を図9の外部カバー載置部91まで持ち運び、ブロック部材99の上にその炉体カバー62を置けば、凸部101が開口72に自動的に嵌り込み、炉体カバー62の角度位置が自動的に位置決めされる。   The positioning block member 99 is fixed to the outer cover mounting portion 91 so as not to be easily removed. For example, it is fixed by bolting, adhesion or the like. This block member 99 has two convex portions 101 provided at intervals. As shown in FIG. 6, these convex portions 101 have a shape in which an edge wall forming the opening 72 of the inner cover 63 of the furnace body cover 62 fits. Therefore, if the furnace body cover 62 is carried to the outer cover mounting portion 91 of FIG. 9 and the furnace body cover 62 is placed on the block member 99, the convex portion 101 automatically fits into the opening 72, and the furnace body cover 62 angular positions are automatically positioned.

(測定動作)
図10は、図1のX線及び熱分析装置1の制御系のブロック図を示している。図11は、制御の流れを示すフローチャートを示している。以下、これらの図を用いて本実施形態の測定動作を説明する。図10において、X線回折装置2、DSC測定装置3及び試料搬送装置4は図1で同じ符号で示した機器と同じである。
(Measurement operation)
FIG. 10 shows a block diagram of the control system of the X-ray and thermal analysis apparatus 1 of FIG. FIG. 11 shows a flowchart showing the flow of control. Hereinafter, the measurement operation of this embodiment will be described with reference to these drawings. 10, the X-ray diffraction apparatus 2, the DSC measurement apparatus 3, and the sample transport apparatus 4 are the same as the devices indicated by the same reference numerals in FIG.

ディスプレイ102は、例えば液晶表示装置等のフラットパネルディスプレイによって構成されている。入力装置103はキーボード、マウス等によって構成されている。制御装置104は、CPU(Central Processing Unit/中央処理装置)105、ROM(Read Only Memory)106、RAM(Random Access Memory)107、メモリ108を備えたコンピュータによって構成されている。各機器はバスライン109によって互いに接続されている。   The display 102 is configured by a flat panel display such as a liquid crystal display device. The input device 103 includes a keyboard, a mouse, and the like. The control device 104 includes a computer having a CPU (Central Processing Unit) 105, a ROM (Read Only Memory) 106, a RAM (Random Access Memory) 107, and a memory 108. Each device is connected to each other by a bus line 109.

メモリ108は、機械式メモリや半導体メモリ等といった任意の構成の記憶媒体によって構成されている。また、メモリ108は、1つの記憶媒体によって形成するだけでなく、いくつかの記憶媒体によって形成しても良い。メモリ108内には、X線回折装置2によってX線回折測定を行わせるためのX線測定プログラム111と、DSC測定装置3によってDSC測定を行わせるためのDSC測定プログラム112と、試料搬送装置4によって試料の交換処理を行わせるための試料交換プログラム113とが記憶されている。   The memory 108 is configured by a storage medium having an arbitrary configuration such as a mechanical memory or a semiconductor memory. Further, the memory 108 may be formed not only by one storage medium but also by several storage media. In the memory 108, an X-ray measurement program 111 for causing the X-ray diffraction device 2 to perform X-ray diffraction measurement, a DSC measurement program 112 for causing the DSC measurement device 3 to perform DSC measurement, and the sample transport device 4. And a sample exchange program 113 for performing a sample exchange process.

また、メモリ108には、X線回折装置2による測定及びDSC測定装置3による測定によって得られたデータ(生データと呼ばれることがある)を記憶する領域である測定データファイル114と、生データに解析を加えて得られた解析データを記憶する領域である解析データファイル115とが設けられている。解析データは、例えばピークサーチ処理や、バックグラウンド処理等である。   Further, the memory 108 includes a measurement data file 114 that is an area for storing data (sometimes referred to as raw data) obtained by the measurement by the X-ray diffraction apparatus 2 and the measurement by the DSC measurement apparatus 3, and the raw data An analysis data file 115, which is an area for storing analysis data obtained by applying analysis, is provided. The analysis data is, for example, peak search processing or background processing.

制御系が起動されると、まず、図11のステップS1で装置の初期化が行われる。具体的には、図2の開閉蓋39が矢印C’方向へ移動させられて隔壁17の上部開口24がパッド42によって閉じられる。また、図1の把持部材81が所定の待機位置に置かれる。なお、図3において、炉体カバー62及び蓋78が炉体49を覆う位置に測定者によってセットされる。前回の測定後に炉体カバー62等が炉体49を覆う位置に置かれたならば、測定者は炉体カバー62等を改めてセットする必要はない。   When the control system is activated, the device is first initialized in step S1 of FIG. Specifically, the opening / closing lid 39 of FIG. 2 is moved in the direction of the arrow C ′, and the upper opening 24 of the partition wall 17 is closed by the pad 42. 1 is placed at a predetermined standby position. In FIG. 3, the furnace body cover 62 and the lid 78 are set by the measurer at a position covering the furnace body 49. If the furnace cover 62 or the like is placed at a position covering the furnace body 49 after the previous measurement, the measurer does not need to set the furnace cover 62 or the like again.

測定者は、標準物質を試料容器57に入れたもの、及び測定を希望する1つ又は複数の試料を個々に試料容器57に入れたものを準備する。そして、測定者は、標準物質を収容した試料容器57を図9の1番及び2番の凹部98のいずれか又は両方に入れる。さらに、測定者は、試料を入れた試料容器57を3番から24番の凹部のいずれかにセットする。そして、測定者は、図10の入力装置103を操作して、標準物質を入れた試料容器57を入れた凹部98の番地を指示し、さらに、試料を入れた試料容器57を入れた凹部98の番地を指示する。   The measurer prepares a standard material in the sample container 57 and one or more samples to be measured individually in the sample container 57. Then, the measurer puts the sample container 57 containing the standard substance into one or both of the first and second recesses 98 in FIG. Further, the measurer sets the sample container 57 containing the sample in any of the 3rd to 24th recesses. Then, the measurer operates the input device 103 of FIG. 10 to indicate the address of the concave portion 98 in which the sample container 57 containing the standard substance is placed, and further, the concave portion 98 in which the sample container 57 containing the sample is placed. Specify the street address.

CPUは、測定者によって入力された試料に関する上記のデータを、ステップS2において読み込む。そして、測定者によって測定開始の指示があると(ステップS3でYES)、ステップS4において図2の開閉蓋39が移動して隔壁17の開口24が開状態に開かれる。   In step S2, the CPU reads the above-described data regarding the sample input by the measurer. If the measurement person gives an instruction to start measurement (YES in step S3), the opening / closing lid 39 in FIG. 2 is moved in step S4, and the opening 24 of the partition wall 17 is opened.

次に、ステップS5において蓋の取出し処理が実行される。すなわち、図1の把持部材81が移動ユニット82X、82Y、82Zによって搬送されて、テーブル83上の初期の待機位置から試料支持ユニット5の外装ケース16の上部開口21の上方位置まで運ばれる。さらに、把持部材81は図3の蓋78のツマミ79まで降ろされ、さらに開移動及び閉移動を行ってツマミ79を把持する。このとき、図7(a)の把持用チップ84の横溝87がツマミ79のフランジ79b(図5)に嵌り込む。   Next, a lid removal process is executed in step S5. That is, the gripping member 81 of FIG. 1 is transported by the moving units 82X, 82Y, and 82Z and is transported from the initial standby position on the table 83 to a position above the upper opening 21 of the outer case 16 of the sample support unit 5. Further, the gripping member 81 is lowered to the knob 79 of the lid 78 shown in FIG. 3, and further opens and closes to grip the knob 79. At this time, the lateral groove 87 of the gripping tip 84 in FIG. 7A is fitted into the flange 79b (FIG. 5) of the knob 79.

次に、把持部材81が上方へ持ち上げられて図1の外装ケース16の開口21の外部へ持ち出される。把持部材81は、さらに、テーブル83の外部蓋載置部92まで移動し、さらに開移動して蓋78を外部蓋載置部92へ入れる。これにより、ステップS5の蓋取出し処理が終了する。   Next, the gripping member 81 is lifted upward and taken out of the opening 21 of the outer case 16 of FIG. The gripping member 81 further moves to the external lid placement portion 92 of the table 83 and further moves to open to put the lid 78 into the external lid placement portion 92. Thereby, the lid removing process in step S5 is completed.

次に、ステップS6において炉体カバーの取出し処理が実行される。すなわち、図1において、把持部材81が再び外装ケース16の開口21まで運ばれ、さらに図3において炉体カバー49のツマミ66まで降ろされる。さらに、把持部材81は開移動及び閉移動を行ってツマミ77(図5)を把持する。このとき、図7(a)の把持用チップ84の横溝87がツマミ66のフランジ77に嵌り込む。   Next, a furnace cover removal process is executed in step S6. That is, in FIG. 1, the gripping member 81 is again conveyed to the opening 21 of the outer case 16, and further lowered to the knob 66 of the furnace body cover 49 in FIG. 3. Further, the gripping member 81 opens and closes and grips the knob 77 (FIG. 5). At this time, the lateral groove 87 of the gripping tip 84 in FIG. 7A is fitted into the flange 77 of the knob 66.

次に、把持部材81が上方へ持ち上げられて図1の外装ケース16の開口21の外部へ持ち出される。把持部材81は、さらに、テーブル83の外部カバー載置部91まで移動し、さらに開移動して炉体カバー62を外部カバー載置部91へ入れる。このとき、炉体カバー62は図9のブロック部材99によって常に一定の状態に位置決めされる。以上により、ステップS6の炉体カバー取出し処理が終了する。   Next, the gripping member 81 is lifted upward and taken out of the opening 21 of the outer case 16 of FIG. The gripping member 81 further moves to the outer cover placement portion 91 of the table 83, and further moves to open to put the furnace body cover 62 into the outer cover placement portion 91. At this time, the furnace body cover 62 is always positioned in a fixed state by the block member 99 of FIG. Thus, the furnace cover removal process in step S6 is completed.

次に、ステップS7において標準物質の配置処理が行われる。具体的には、図9において標準物質19が入れられた1番又は2番凹部98の所まで把持部材81が持ち運ばれ、把持部材81が開移動及び閉移動を行って、標準物質19を収容した試料容器57が高い壁93(図8)の所で把持される。壁93は高いので把持は失敗することなく行われる。 Next, a standard substance arrangement process is performed in step S7. Specifically, in FIG. 9, the gripping member 81 is carried to the first or second recess 98 where the standard substance 19 is placed, and the gripping member 81 is opened and closed to move the standard substance 19. The accommodated sample container 57 is gripped at the high wall 93 (FIG. 8). Since the wall 93 is high, the gripping is performed without failure.

次に、把持部材81は図1においてテーブル83上から外装ケース16の開口21の上方位置まで運ばれ、さらに、図5において炉体49の内部の感熱板56の標準物質の載置位置まで降ろされ、その位置に標準物質入りの試料容器57を置く。これにより、ステップS7の標準物質の配置処理が終了する。   Next, the gripping member 81 is transported from above the table 83 to a position above the opening 21 of the outer case 16 in FIG. 1, and further lowered to the placement position of the standard material on the heat sensitive plate 56 inside the furnace body 49 in FIG. The sample container 57 containing the standard substance is placed at that position. Thereby, the arrangement process of the standard substance in step S7 ends.

上記の試料容器57の搬送処理の際、試料容器57は図9の凹部98によって位置決めされて常に一定の向きに置かれているので、把持部材81によって感熱板56上に載せられた試料容器57は常に一定の向きとなっている。具体的には、試料容器57は、常に、低い壁94がX線通路X1に対応して置かれる向きにセットされる。   When the sample container 57 is transported, the sample container 57 is positioned by the recess 98 in FIG. 9 and is always placed in a certain direction. Therefore, the sample container 57 placed on the heat sensitive plate 56 by the gripping member 81. Is always in a certain direction. Specifically, the sample container 57 is always set in the direction in which the low wall 94 is placed corresponding to the X-ray path X1.

次に、ステップS8において試料の配置処理が行われる。具体的には、図9において試料18が入れられた番地の凹部98の所まで把持部材81が持ち運ばれ、把持部材81が開移動及び閉移動を行って、試料18を収容した試料容器57が高い壁93(図8)の所で確実に把持される。   Next, sample placement processing is performed in step S8. Specifically, in FIG. 9, the gripping member 81 is carried to the concave portion 98 of the address where the sample 18 is put, and the gripping member 81 is opened and closed to move the sample container 57 containing the sample 18. Is securely gripped at the high wall 93 (FIG. 8).

次に、把持部材81は図1においてテーブル83上から外装ケース16の開口21の上方位置まで運ばれ、さらに、図5において炉体49の内部の感熱板56の試料の載置位置まで降ろされ、その位置に試料入りの試料容器57を置く。これにより、ステップS8の試料の配置処理が終了する。   Next, the holding member 81 is carried from the table 83 to a position above the opening 21 of the outer case 16 in FIG. 1, and further lowered to the sample placement position of the heat sensitive plate 56 inside the furnace body 49 in FIG. The sample container 57 containing the sample is placed at that position. Thereby, the sample arrangement process in step S8 ends.

この試料容器57の搬送処理の際、試料容器57は図9の凹部98によって位置決めされて常に一定の向きに置かれているので、把持部材81によって感熱板56上に載せられた試料容器57は常に一定の向きとなっている。具体的には、試料容器57は、常に、低い壁94がX線通路X1に対応して置かれる向きにセットされる。このため、図5においてX線測定が行われるとき、試料容器57の壁がX線の進行を邪魔することがなくなる。   When the sample container 57 is transported, the sample container 57 is positioned by the concave portion 98 of FIG. 9 and is always placed in a certain direction. Therefore, the sample container 57 placed on the heat sensitive plate 56 by the gripping member 81 is Always in a certain direction. Specifically, the sample container 57 is always set in the direction in which the low wall 94 is placed corresponding to the X-ray path X1. Therefore, when X-ray measurement is performed in FIG. 5, the wall of the sample container 57 does not obstruct the progress of the X-ray.

次に、ステップS6において図9の外部カバー載置部91に取出されていた炉体カバー62が、ステップS9において、把持部材81によって再び図5の炉体49を覆う位置にセットされる。このとき、図9の外部カバー載置部91に置かれていた炉体カバー62はブロック部材99によって常に一定の向きに位置決めされていた。そして、把持部材81の把持用チップ84(図7(a))の溝87が炉体カバー62(図6)のツマミ66のフランジ77に嵌り込み、さらにチップ84の先端面がツマミ66の角柱形状の被把持部76を挟むので、炉体カバー62は把持部材81によって搬送される間、回転することがない。   Next, in step S6, the furnace body cover 62 taken out to the outer cover mounting portion 91 in FIG. 9 is set to a position that again covers the furnace body 49 in FIG. At this time, the furnace body cover 62 placed on the outer cover mounting portion 91 of FIG. 9 was always positioned in a fixed direction by the block member 99. Then, the groove 87 of the gripping tip 84 of the gripping member 81 (FIG. 7A) fits into the flange 77 of the knob 66 of the furnace body cover 62 (FIG. 6), and the tip surface of the tip 84 is the prism of the knob 66. Since the gripped portion 76 having the shape is sandwiched, the furnace body cover 62 does not rotate while being conveyed by the gripping member 81.

以上により、図5の炉体49を覆う位置に置かれた炉体カバー62は、X線通路X1に対して常に一定の向き、具体的には、X線通過用部材である箔部材64が常にX線通路X1上に存在する向きにセットされる。次に、ステップS5において図9の外部蓋載置部92に取出されていた蓋78が、ステップS10において、把持部材81によって再び図5の案内用リング部材59の段部61にセットされる。その後、ステップS11においてX線回折測定及びDSC測定を行う指示を行う。   As described above, the furnace body cover 62 placed at a position covering the furnace body 49 in FIG. 5 always has a fixed orientation with respect to the X-ray passage X1, specifically, the foil member 64 which is an X-ray passage member is provided. The orientation is always set on the X-ray path X1. Next, the lid 78 taken out to the external lid placing portion 92 in FIG. 9 in step S5 is set again on the step portion 61 of the guide ring member 59 in FIG. 5 by the gripping member 81 in step S10. Thereafter, an instruction to perform X-ray diffraction measurement and DSC measurement is given in step S11.

この指示を受けて、図1及び図10のX線回折装置2によって所定のX線回折測定が行われ、同時にDSC測定装置3によって所定のDSC測定が行われて、それぞれ、X線強度データ及びDSCデータが得られる。これらのデータは、ステップS12において、図10のメモリ108の測定データファイル114に記憶される。そして、必要な解析が行われた場合には、結果の解析データが解析データファイル115に記憶される。   In response to this instruction, a predetermined X-ray diffraction measurement is performed by the X-ray diffractometer 2 of FIGS. 1 and 10, and at the same time, a predetermined DSC measurement is performed by the DSC measurement apparatus 3, respectively. DSC data is obtained. In step S12, these data are stored in the measurement data file 114 of the memory 108 in FIG. When the necessary analysis is performed, the analysis data obtained as a result is stored in the analysis data file 115.

測定者によって図10のディスプレイ102の画面に測定結果を画像表示することの指示が行われた場合には(ステップS13でYES)、ステップS14において、例えばメモリ108に格納してある画像生成プログラムによって、測定データに基づいて画像表示データを生成し、さらに、その画像表示データをディスプレイ102に内蔵又は外部に配備した画像表示ドライバにその画像表示データを供給して、測定データを画面上に画像表示する。   When the measurer gives an instruction to display the measurement result on the screen of the display 102 in FIG. 10 (YES in step S13), in step S14, for example, by an image generation program stored in the memory 108 The image display data is generated based on the measurement data, and the image display data is supplied to an image display driver built in the display 102 or provided externally, and the measurement data is displayed on the screen. To do.

1つの試料に対して所定の測定が終了した場合には(ステップS15でYES)、ステップS16において図2の開閉蓋39を作動して隔壁17の上部開口24を開状態に開き、次にステップS17において図5の蓋78を図1の試料搬送装置4によってテーブル83上の外部蓋載置部92へ取出す。さらに、ステップS18において図5の炉体カバー62を図1の試料搬送装置4によってテーブル83上の外部カバー載置部91へ取出す。次に、測定を終了した試料が入っている試料容器57を、ステップS19において、図5の感熱板56上の位置から取出し、図9のパレット96内の元の番地の凹部98まで搬送する。   When the predetermined measurement is completed for one sample (YES in step S15), the opening / closing lid 39 of FIG. 2 is operated to open the upper opening 24 of the partition wall 17 in step S16, and then the step In S17, the lid 78 of FIG. 5 is taken out to the external lid mounting portion 92 on the table 83 by the sample transport device 4 of FIG. Further, in step S18, the furnace cover 62 shown in FIG. 5 is taken out to the external cover mounting portion 91 on the table 83 by the sample transport device 4 shown in FIG. Next, in step S19, the sample container 57 containing the sample for which the measurement has been completed is taken out from the position on the heat sensitive plate 56 in FIG. 5 and transported to the concave portion 98 at the original address in the pallet 96 in FIG.

以上の処理は図9のパレット96上に供された全ての試料に関して終了するまで繰り返される(ステップS20でNO、ステップS21)。全ての試料に関しての測定が終了したら(スタップS20でYES)、ステップS19において試料入りの試料容器が取出された後の図5の感熱板56から、ステップS22において標準物質19入りの試料容器57を外部へ取出して図9のパレット96内の元の凹部98へ戻す。   The above processing is repeated until all the samples provided on the pallet 96 in FIG. 9 are finished (NO in step S20, step S21). When the measurement for all the samples is completed (YES in step S20), the sample container 57 containing the reference material 19 is removed in step S22 from the heat sensitive plate 56 in FIG. 5 after the sample container containing the sample is taken out in step S19. It takes out outside and returns to the original recessed part 98 in the pallet 96 of FIG.

次に、ステップS18において図9の外部カバー載置部91に取出しておいた炉体カバー62をステップS23において図5の炉体49内へ戻す。さらに、ステップS17において図9の外部蓋載置部92に取出しておいた蓋78をステップS24において図5の炉体49の内部へ戻す。さらに、ステップS25において図2の隔壁17の上部開口24を開閉蓋39のパッド42によって閉じる。そしてさらに、ステップS26において、図1の把持部材81をテーブル83上の所定の待機位置へセットして、制御を終了する。   Next, the furnace body cover 62 taken out to the outer cover mounting portion 91 of FIG. 9 in step S18 is returned into the furnace body 49 of FIG. 5 in step S23. Further, in step S17, the lid 78 taken out in the external lid placing portion 92 in FIG. 9 is returned to the inside of the furnace body 49 in FIG. 5 in step S24. Further, in step S25, the upper opening 24 of the partition wall 17 in FIG. In step S26, the gripping member 81 shown in FIG. 1 is set at a predetermined standby position on the table 83, and the control is terminated.

以上説明したように、本実施形態によれば、図6に示した箔部材64をX線通過部として有している炉体カバー62を炉体49に対して出し入れしながら、複数の試料に対してX線測定及びDSC測定を繰り返して行う場合でも、図9の外部カバー載置部91と炉体カバー62とに、それぞれ、ブロック部材99(図9)及びそれに嵌り合う開口72(図6)を設けて、炉体カバー62のX線通路X1に対する位置を常に一定位置に位置決めすることにしたので、複数の試料に関して正確なX線回折測定及びDSC測定を安定して繰り返して自動的に行うことが可能となった。   As described above, according to the present embodiment, the furnace body cover 62 having the foil member 64 shown in FIG. Even when X-ray measurement and DSC measurement are repeated, the block member 99 (FIG. 9) and the opening 72 (FIG. 6) fitted to the outer cover mounting portion 91 and the furnace body cover 62 of FIG. ) And the position of the furnace cover 62 with respect to the X-ray passage X1 is always positioned at a fixed position. Therefore, accurate X-ray diffraction measurement and DSC measurement for a plurality of samples are repeatedly and automatically repeated. It became possible to do.

創薬の分野においては、非常に多数の試料に対してX線回折測定による分子又は原子の構造解析を行うと共に、DSC測定による熱的特性の分析を行うことが要求される。従来は、箔部材等といったX線通過部を部分的に有している炉体カバーの出し入れ又は着脱をX線通路との関係で常に一定の位置関係を維持しながら行うことが非常に難しく、実際には、自動測定ができなかった。これに対し、本実施形態によれば、測定者の手を煩わせることなく、多数の試料を自動的に連続して測定することが可能となり、創薬の開発を飛躍的に進展させることが可能となった。   In the field of drug discovery, it is required to analyze the molecular properties of a very large number of samples by X-ray diffraction measurement and to analyze the thermal characteristics by DSC measurement. Conventionally, it is very difficult to carry out removal / removal of a furnace cover partially having an X-ray passage part such as a foil member while maintaining a constant positional relationship with respect to the X-ray passage, Actually, automatic measurement was not possible. On the other hand, according to the present embodiment, it becomes possible to automatically and continuously measure a large number of samples without bothering the measurer, and the development of drug discovery can be greatly advanced. It has become possible.

(その他の実施形態)
以上、好ましい実施形態を挙げて本発明を説明したが、本発明はその実施形態に限定されるものでなく、請求の範囲に記載した発明の範囲内で種々に改変できる。
(Other embodiments)
The present invention has been described with reference to the preferred embodiments. However, the present invention is not limited to the embodiments, and various modifications can be made within the scope of the invention described in the claims.

例えば、上記実施形態ではθ−θ方式のゴニオメータを例示したが、本発明はθ−2θ方式のゴニオメータに適用することもできる。θ−2θ方式のゴニオメータは、X線発生部を固定配置し、試料を所定方向へθ回転させ、X線検出器をθ回転と同じ方向へ2倍の角速度で回転させる方式である。   For example, the θ-θ type goniometer is exemplified in the above embodiment, but the present invention can also be applied to a θ-2θ type goniometer. The [theta] -2 [theta] goniometer is a method in which an X-ray generator is fixedly arranged, the sample is rotated by [theta] in a predetermined direction, and the X-ray detector is rotated in the same direction as [theta] rotation at twice the angular velocity.

上記実施形態では、測定開始にあたって、図3において、炉体カバー62及び蓋78が炉体49を覆う位置に測定者によってセットされるとした。これに代えて、測定開始にあたって、図1において、炉体カバー62を外部カバー載置部91に置き、蓋78を外部蓋載置部92に置くことからプログラムをスタートさせることもできる。この場合には、図11のステップS5(蓋取出し工程)及びステップS6(炉体カバー取出し工程)が不要であり、さらにステップS23(炉体カバーセット工程)及びステップS24(蓋セット工程)が不要である。   In the above embodiment, when the measurement is started, the furnace body cover 62 and the lid 78 are set by the measurer at a position covering the furnace body 49 in FIG. Instead, at the start of the measurement, the program can be started by placing the furnace body cover 62 on the outer cover placing portion 91 and placing the lid 78 on the outer lid placing portion 92 in FIG. In this case, step S5 (cover removal process) and step S6 (furnace cover removal process) in FIG. 11 are unnecessary, and step S23 (furnace cover setting process) and step S24 (lid setting process) are unnecessary. It is.

上記実施形態では、伝熱材14と断熱材15の2重円筒構造によって隔壁17を形成した。しかしながら、隔壁17はDSCユニット30を外部から隔絶させるための部材であり、必ずしも2重構造である必要はない。単一の筒構造であっても良いし、3重以上の筒構造であっても良い。また、実施形態では、通液路20を用いたが、通液路を用いない場合もある。   In the above embodiment, the partition wall 17 is formed by the double cylindrical structure of the heat transfer material 14 and the heat insulating material 15. However, the partition wall 17 is a member for isolating the DSC unit 30 from the outside, and does not necessarily have a double structure. A single cylinder structure or a triple or more cylinder structure may be used. In the embodiment, the liquid passage 20 is used, but the liquid passage may not be used.

1.X線及び熱分析装置、 2.X線回折装置(X線測定装置)、 3.DSC測定装置(熱分析測定装置)、 4.試料搬送装置、 5.試料支持ユニット、 6.ゴニオメータ、 7.X線発生部、 8.X線検出器、 9.X線源 11.第1アーム、 12.第2アーム、 13.支持軸、 14.伝熱材、 15.断熱材、 16.外装ケース、 17.隔壁、 18.試料、 19.標準物質 20.通液路、 21.開口、 22.X線通過用窓(入射X線通過部)、 23.X線通過用窓(出射X線通過部)、 24.開口、 25.Oリング、 26a,26b.通液ポート、 27.棚部材、 28.スタンド、 29.上板、 30.DSCユニット、 31.電動モータ、 32.回転板、 33.ピン、 34.ローラ、 36.案内用ケース、 39.開閉蓋、 41.長孔、 42.パッド、 43.貫通孔、 44.貫通孔、 46.押圧ピン、 47.第1支持部材、 48.第2支持部材、 49.炉体、 51.ヒータ線、 52.空間、 53.開口、 54a.入射側横孔(入射X線通過部)、 54b.出射側横孔(出射X線通過部)、 55.温度制御装置、 56.感熱板(内部側容器載置部)、 57.試料容器、 58.熱電対、 59.案内用リング部材、 61.段部、 62.炉体カバー(内部容器)、 63.内カバー、 64.箔部材、 65.外カバー、 66.ツマミ、 68.雌ネジ、 69,70,71.貫通孔、 72,73.開口、 74.ネジ、 76.被把持部、 77.フランジ、 78.蓋(内部要素)、 79.ツマミ、 79a.被把持部、 79b.フランジ、 81.把持部材、 82X.前後移動ユニット、 82Y.左右移動ユニット、 82Z.上下移動ユニット、 83.テーブル、 84.把持用チップ、 86.ネジ、 87.溝、 88.軸、 89.楔状部材、 90.パルスモータ、サーボモータ等、 91.外部カバー載置部(外部側要素載置部)、 92.外部蓋載置部(外部側要素載置部)、 93.対辺(高い)、 94.対辺(低い)、 95.底壁、 96.パレット、 97.ガイド、 98.凹部(外部側容器載置部)、 99.ブロック部材、 101.凸部、 104.制御装置、 108.メモリ、 109.バスライン 1. 1. X-ray and thermal analyzer, 2. X-ray diffractometer (X-ray measuring device) 3. DSC measurement device (thermal analysis measurement device) 4. Sample transport device; 5. Sample support unit 6. Goniometer, X-ray generation unit, 8. X-ray detector, 9. X-ray source 11. First arm, 12. Second arm, 13. Support shaft, 14. 15. heat transfer material; Insulation, 16. Outer case, 17. Partition, 18. Sample, 19. Reference material 20. Fluid passage, 21. Opening, 22. X-ray passing window (incident X-ray passing part), 23. X-ray passing window (outgoing X-ray passing part), 24. Opening, 25. O-ring, 26a, 26b. Fluid flow port, 27. Shelf member, 28. Stand, 29. Upper plate, 30. DSC unit 31. Electric motor, 32. Rotating plate, 33. Pin, 34. Laura, 36. Guide case, 39. Opening and closing lid, 41. Long hole, 42. Pad, 43. Through hole, 44. Through hole, 46. Pressing pin, 47. First support member, 48. The second support member, 49. Furnace body, 51. Heater wire, 52. Space, 53. Opening, 54a. Incident side lateral hole (incident X-ray passage part), 54b. Exit side lateral hole (exit X-ray passage part), 55. Temperature controller, 56. 56. Thermal plate (inner side container mounting part) Sample container, 58. Thermocouple, 59. Guide ring member 61. Step, 62. Furnace cover (inner vessel), 63. Inner cover, 64. Foil member, 65. Outer cover, 66. Knob, 68. Female thread, 69, 70, 71. Through-holes, 72, 73. Opening, 74. Screws, 76. The gripped portion, 77. Flange, 78. Lid (inner element), 79. Knob, 79a. Gripped portion, 79b. Flange, 81. Gripping member, 82X. Forward / backward moving unit, 82Y. Left and right moving unit, 82Z. Vertical movement unit, 83. Table, 84. Chip for gripping, 86. Screws, 87. Groove, 88. Shaft, 89. Wedge-shaped member, 90. 91. Pulse motor, servo motor, etc. 92. External cover placement part (external element placement part) 93. External lid placement part (external element placement part) Opposite side (high), 94. Opposite side (low), 95. Bottom wall, 96. Palette, 97. Guide, 98. Recessed part (outer side container mounting part), 99. Block member, 101. Convex part, 104. Control device, 108. Memory 109. Bus line

Claims (11)

試料を収容した試料容器が置かれる内部側容器載置部と、
該内部側容器載置部を収容し開口を備えた炉体と、
該炉体を収容し開口を備えた隔壁と、
前記隔壁の開口を開閉する開閉蓋と、
前記内部側容器載置部に置かれた試料容器に収容された試料に対して熱分析のための測定を行う熱分析測定装置と、
前記内部側容器載置部に置かれた前記試料容器に収容された試料にX線を照射したときに該試料から出た2次X線をX線検出器によって検出するX線測定装置と、
前記隔壁内の内部側要素載置部に置かれることができ、且つ該内部側要素載置部から取り外されることができる内部要素と、
前記隔壁の外側に設けられており前記試料容器を置くための外部側容器載置部と、
前記隔壁の外側に設けられており前記内部要素を置くための外部側要素載置部と、
前記内部側容器載置部と前記外部側容器載置部との間で前記試料容器を搬送し、さらに前記内部側要素載置部と前記外部側要素載置部との間で前記内部要素を搬送する搬送手段と、
前記開閉蓋、前記熱分析測定装置、前記X線測定装置、及び前記搬送手段の動作を制御する制御手段と、を有し、
前記試料容器はX線を通過できる部分を一部に有しており、
前記制御手段は、
前記内部要素が前記内部側要素載置部に置かれ、且つ前記開閉蓋が前記隔壁の開口を閉じた状態において、前記熱分析測定装置及び/又は前記X線測定装置を用いて測定を行わせ、さらに
前記開閉蓋が前記隔壁の開口を開いており且つ前記内部要素が前記外部側要素載置部上に置かれた状態で、前記外部側容器載置部と前記内部側容器載置部との間で前記試料容器を前記搬送手段によって前記隔壁の開口及び前記炉体の開口を通して搬送させることを、
前記外部側容器載置部上に配置された複数の試料容器に対して順次に繰り返して行い、
前記搬送手段は、
前記試料容器を前記内部側容器載置部上に配置するとき、前記試料容器のX線を通過できる部分を前記X線測定装置におけるX線通路に位置的に合わせる
ことを特徴とするX線及び熱分析装置。
An inner side container placing part in which a sample container containing a sample is placed;
A furnace body that accommodates the inner side container placement section and has an opening;
A partition wall containing the furnace body and provided with an opening;
An opening and closing lid for opening and closing the opening of the partition;
A thermal analysis measurement device that performs measurement for thermal analysis on a sample contained in a sample container placed on the inner side container placement unit;
An X-ray measurement device that detects secondary X-rays emitted from the sample when the sample contained in the sample container placed on the inner side container placement unit is irradiated with X-rays by an X-ray detector;
An inner element that can be placed on and removed from the inner element mounting portion in the partition; and
An outer side container placing part for placing the sample container provided outside the partition;
An outer side element placing portion for placing the inner element provided outside the partition;
The sample container is transported between the inner side container placing part and the outer side container placing part, and further, the inner element is placed between the inner side element placing part and the outer side element placing part. Conveying means for conveying;
Control means for controlling the operation of the opening / closing lid, the thermal analysis measurement device, the X-ray measurement device, and the transport means,
The sample container has in part a portion that can pass X-rays,
The control means includes
In the state where the internal element is placed on the internal element mounting portion and the opening / closing lid closes the opening of the partition wall, measurement is performed using the thermal analysis measurement device and / or the X-ray measurement device. Further, in the state where the opening / closing lid opens the opening of the partition wall and the internal element is placed on the external element mounting portion, the external container mounting portion and the internal container mounting portion The sample container is conveyed through the opening of the partition wall and the opening of the furnace body by the conveying means,
Repeatedly sequentially for a plurality of sample containers arranged on the outer container mounting part,
The conveying means is
When the sample container is disposed on the inner container mounting portion, the X-ray and the X-ray passage in the X-ray measurement apparatus are positioned in alignment with a portion through which the X-ray of the sample container can pass Thermal analyzer.
試料を収容した試料容器が置かれる内部側容器載置部と、
該内部容器載置部を収容し開口を備えた炉体と、
該炉体を収容し開口を備えた隔壁と、
前記隔壁の開口を開閉する開閉蓋と、
前記内部側容器載置部に置かれた試料容器に収容された試料に対して熱分析のための測定を行う熱分析測定装置と、
前記内部側容器載置部に置かれた前記試料容器に収容された試料にX線を照射したときに該試料から出た2次X線をX線検出器によって検出するX線測定装置と、
前記内部側要素載置部に置かれることができ、且つ該内部側要素載置部から取り外されることができ、さらに前記X線測定装置におけるX線通路を遮る位置に配置されるが該X線通路を遮らない構造を有した内部要素と、
前記隔壁の外側に設けられており前記試料容器を置くための外部側容器載置部と、
前記隔壁の外側に設けられており前記内部要素を置くための外部側要素載置部と、
前記内部側容器載置部と前記外部側容器載置部との間で前記試料容器を搬送し、さらに前記内部側要素載置部と前記外部側要素載置部との間で前記内部要素を搬送する搬送手段と、
前記開閉蓋、前記熱分析測定装置、前記X線測定装置、及び前記搬送手段の動作を制御する制御手段と、を有し、
前記試料容器はX線を通過できる部分を一部に有しており、
前記制御手段は、
前記内部要素が前記内部側要素載置部に置かれ、且つ前記開閉蓋が前記隔壁の開口を閉じた状態において、前記熱分析測定装置及び/又は前記X線測定装置を用いて測定を行わせ、さらに
前記開閉蓋が前記隔壁の開口を開いており且つ前記内部要素が前記外部側要素載置部上に置かれた状態で、前記外部側容器載置部と前記内部側容器載置部との間で前記試料容器を前記搬送手段によって前記隔壁の開口及び前記炉体の開口を通して搬送させることを、
前記外部側容器載置部上に配置された複数の試料容器に対して順次に繰り返して行い、
前記搬送手段は、
前記内部要素を前記内部側要素載置部に配置するとき、前記内部要素のX線通路を遮らない構造を前記X線測定装置におけるX線通路に位置的に合わせ、さらに、
前記試料容器を前記内部側容器載置部上に配置するとき、前記試料容器のX線を通過できる部分を前記X線測定装置におけるX線通路に位置的に合わせる
ことを特徴とするX線及び熱分析装置。
An inner side container placing part in which a sample container containing a sample is placed;
A furnace body that accommodates the inner vessel mounting portion and has an opening;
A partition wall containing the furnace body and provided with an opening;
An opening and closing lid for opening and closing the opening of the partition;
A thermal analysis measurement device that performs measurement for thermal analysis on a sample contained in a sample container placed on the inner side container placement unit;
An X-ray measurement device that detects secondary X-rays emitted from the sample when the sample contained in the sample container placed on the inner side container placement unit is irradiated with X-rays by an X-ray detector;
The X-ray can be placed on the inner element mounting portion, can be removed from the inner element mounting portion, and is disposed at a position that blocks an X-ray path in the X-ray measuring apparatus. An internal element having a structure that does not block the passageway;
An outer side container placing part for placing the sample container provided outside the partition;
An outer side element placing portion for placing the inner element provided outside the partition;
The sample container is transported between the inner side container placing part and the outer side container placing part, and further, the inner element is placed between the inner side element placing part and the outer side element placing part. Conveying means for conveying;
Control means for controlling the operation of the opening / closing lid, the thermal analysis measurement device, the X-ray measurement device, and the transport means,
The sample container has in part a portion that can pass X-rays,
The control means includes
In the state where the internal element is placed on the internal element mounting portion and the opening / closing lid closes the opening of the partition wall, measurement is performed using the thermal analysis measurement device and / or the X-ray measurement device. Further, in the state where the opening / closing lid opens the opening of the partition wall and the internal element is placed on the external element mounting portion, the external container mounting portion and the internal container mounting portion The sample container is conveyed through the opening of the partition wall and the opening of the furnace body by the conveying means,
Repeatedly sequentially for a plurality of sample containers arranged on the outer container mounting part,
The conveying means is
When arranging the internal element on the internal element mounting portion, a structure that does not block the X-ray path of the internal element is aligned with the X-ray path in the X-ray measurement device, and
When the sample container is disposed on the inner container mounting portion, the X-ray and the X-ray passage in the X-ray measurement apparatus are positioned in alignment with a portion through which the X-ray of the sample container can pass Thermal analyzer.
前記搬送手段が、前記内部要素を前記内部側要素載置部に配置させるとき、前記内部要素のX線通路を遮らない構造を前記X線測定装置におけるX線通路に位置的に合わせることは、
前記外部側要素載置部に前記内部要素のための位置決め部材を設けることと、前記搬送手段が前記内部要素を搬送中に回転させないこと、とによって成される
ことを特徴とする請求項2記載のX線及び熱分析装置。
When the conveying means arranges the internal element on the internal element mounting portion, the structure that does not obstruct the X-ray path of the internal element is aligned with the X-ray path in the X-ray measurement apparatus,
3. The outer element mounting portion is provided with a positioning member for the inner element, and the transfer means does not rotate the inner element during transfer. X-ray and thermal analysis equipment.
前記外部側要素載置部に設けられた位置決め部材は、位置決め用の平面を有するブロック部材であり、
前記内部要素は前記ブロック部材の位置決め用平面に嵌合する形状を有する
ことを特徴とする請求項2又は請求項3記載のX線及び熱分析装置。
The positioning member provided in the external element mounting portion is a block member having a positioning plane,
4. The X-ray and thermal analysis apparatus according to claim 2, wherein the internal element has a shape that fits into a positioning plane of the block member.
前記内部要素は前記炉体の開口を覆う炉体カバーであり、
該炉体カバーにおける前記X線測定装置におけるX線通路を遮らない前記構造は、X線を通過可能な部材によって形成された箔部材を該炉体カバーに部分的に設けた構造であることを特徴とする請求項2から請求項4のいずれか1つに記載のX線及び熱分析装置。
The internal element is a furnace cover that covers an opening of the furnace body,
The structure that does not block the X-ray passage in the X-ray measurement apparatus in the furnace body cover is a structure in which a foil member formed by a member that can pass X-rays is partially provided in the furnace body cover. The X-ray and thermal analysis apparatus according to any one of claims 2 to 4, wherein the X-ray and thermal analysis apparatus is characterized.
前記搬送手段が、前記試料容器を前記内部側容器載置部上に配置するとき、前記試料容器のX線を通過できる部分を前記X線測定装置におけるX線通路に位置的に合わせることは、
前記外部側容器載置部に前記試料容器のための位置決め部材を設けることと、前記搬送手段が前記試料容器を搬送中に回転させないこと、とによって成される
ことを特徴とする請求項1から請求項5記載のいずれか1つに記載のX線及び熱分析装置。
When the transporting means arranges the sample container on the inner side container placing portion, the part of the sample container that can pass X-rays is aligned with the X-ray passage in the X-ray measurement apparatus,
2. The method according to claim 1, wherein a positioning member for the sample container is provided on the outer container mounting portion, and the transport means does not rotate the sample container during transport. The X-ray and thermal analysis apparatus according to claim 5.
前記外部側容器載置部に設けられた位置決め部材は、前記試料容器と平面視で相似形の凹部であることを特徴とする請求項6記載のX線及び熱分析装置。   The X-ray and thermal analysis apparatus according to claim 6, wherein the positioning member provided in the external container mounting portion is a concave portion similar to the sample container in plan view. 前記試料容器におけるX線を通過させることができる部分は、該試料容器の側壁の一部の高さが他部よりも低い部分であることを特徴とする請求項1から請求項7のいずれか1つに記載のX線及び熱分析装置。   8. The part of the sample container through which X-rays can pass is a part where the height of a part of the side wall of the sample container is lower than the other part. The X-ray and thermal analyzer according to one. 前記開閉蓋は板状の部材であり、該開閉蓋は前記隔壁の開口を塞ぐ位置と該開口を開く位置との間で平行移動できることを特徴とする請求項1から請求項8のいずれか1つに記載のX線及び熱分析装置。
9. The opening / closing lid is a plate-like member, and the opening / closing lid is movable in parallel between a position where the opening of the partition wall is closed and a position where the opening is opened. serial mounting X-ray and thermal analysis apparatus to One.
前記搬送手段は棒状の把持部材を有し、該把持部材は前記隔壁の開口及び前記炉体の開口を通過できることを特徴とする請求項1から請求項9のいずれか1つに記載のX線及び熱分析装置。
It said conveying means has a gripping member of the rod-like gripping member X of the mounting serial to any one of claims 1 to 9, characterized in that can pass through the aperture of the aperture and the furnace body of the partition wall Wire and thermal analysis equipment.
前記搬送手段は、互いに直交する3軸方向のそれぞれで往復直進移動する移動部を備えた3軸直進移動機構であることを特徴とする請求項1から請求項10のいずれか1つに記載のX線及び熱分析装置。 It said conveying means, placing serial to any one of claims 1 to 10, characterized in that a three-axis linear movement mechanism having a moving portion which reciprocates linearly moves each of the three axes directions perpendicular to each other X-ray and thermal analysis equipment.
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