JP5089463B2 - Driving characteristic adjustment method for scanner driver of galvano scanner - Google Patents
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Description
本発明はガルバノ型スキャナのスキャナドライバの駆動特性調整方法に関する。さらに詳しくは、ガルバノ型スキャナの様々な駆動形態(負荷、駆動パターン、応答特性などが相違する駆動形態)に応じて、スキャナドライバのドライバ動作特性を最適化するための調整作業を簡単に行うことのできるガルバノ型スキャナのスキャナドライバの駆動特性調整方法に関する。 The present invention relates to a driving characteristic adjustment method for a scanner driver of a galvano scanner. More specifically, the adjustment operation for optimizing the driver operation characteristics of the scanner driver is easily performed according to various drive forms of the galvano scanner (drive forms having different loads, drive patterns, response characteristics, etc.). The present invention relates to a method for adjusting the drive characteristics of a scanner driver of a galvano-type scanner capable of performing the same.
ガルバノ型スキャナシステムにおいては、様々な駆動形態(負荷、駆動パターン、応答特性などが相違する駆動形態)に応じて、アナログドライバであるスキャナドライバのドライバ回路定数を可変抵抗器等を用いて調整して、その動作特性の最適化を図っている。 In the galvano scanner system, the driver circuit constant of the scanner driver, which is an analog driver, is adjusted using a variable resistor, etc., according to various drive modes (drive modes with different loads, drive patterns, response characteristics, etc.). Therefore, the operating characteristics are optimized.
例えば、光走査用のガルバノ型スキャナシステムは、光走査用のミラーを所定の角度範囲で回転させるためのガルバノ型スキャナと、これを駆動するための専用のスキャナドライバとを有している。スキャナドライバに対して、ファンクション・ジェネレータ、または、パーソナルコンピュータとDA変換器からなる外部の指令発生機から、リアルタイムの駆動指令を与えて、所定の駆動制御仕様でガルバノ型スキャナを駆動するようになっている。 For example, a galvano scanner system for optical scanning has a galvano scanner for rotating a mirror for optical scanning within a predetermined angle range and a dedicated scanner driver for driving the galvano scanner. A real-time drive command is given to the scanner driver from a function generator or an external command generator consisting of a personal computer and a DA converter, and the galvano scanner is driven with a predetermined drive control specification. ing.
スキャナドライバには、その動作特性を調整するための複数の可変抵抗器などが取り付けられている。動作特性の調整時には、ガルバノ型スキャナに調整器を接続して、駆動形態に最も適した動作特性が得られるように、調整器によって各可変抵抗器などを調整して、ドライバ回路定数の最適化を図っている。 The scanner driver is provided with a plurality of variable resistors and the like for adjusting the operating characteristics. When adjusting the operating characteristics, connect a regulator to the galvano scanner, and adjust each variable resistor etc. with the regulator to optimize the driver circuit constants so that the operating characteristics best suited to the drive mode can be obtained. I am trying.
例えば、ガルバノ型スキャナを、高速で広い範囲に亘って移動させる場合(粗動)と、高い位置決め精度で微小移動させる場合(微動)とでは、スキャナドライバの最適な動作特性が相違している。ガルバノ型スキャナを或る位置Aから目標位置Bまで駆動させるためには、印加される指令電圧を、位置Aに相当する指令電圧aから位置Bに相当する指令電圧bまで変化させる必要がある。外部の指令発生機から出力される指令電圧aからbへの変化は、スキャナドライバにとっては、最終的な目標位置Bのみを表す指令である。したがって、位置Aから位置Bに到る経路および到達時間は、アナログ式のスキャナドライバの回路定数を調整することにより設定される。例えば、指令電圧aから指令電圧bへの変化量が大きい駆動パターンの場合には、オーバーシュート量が大きくなること無くガルバノ型スキャナを駆動できるように、スキャナドライバの回路定数を調整して動作特性の最適化を図る必要がある。 For example, the optimum operating characteristics of the scanner driver differ between when the galvano scanner is moved over a wide range at high speed (coarse movement) and when it is finely moved with high positioning accuracy (fine movement). In order to drive a galvano scanner from a certain position A to a target position B, it is necessary to change the applied command voltage from a command voltage a corresponding to position A to a command voltage b corresponding to position B. The change from the command voltage a to b output from the external command generator is a command representing only the final target position B for the scanner driver. Therefore, the path from the position A to the position B and the arrival time are set by adjusting the circuit constants of the analog scanner driver. For example, in the case of a driving pattern in which the amount of change from the command voltage a to the command voltage b is large, the operation characteristics are adjusted by adjusting the circuit constants of the scanner driver so that the galvano scanner can be driven without increasing the overshoot amount. It is necessary to optimize the system.
特許文献1には、アナログ入出力型のガルバノ型スキャナシステムが開示されている。当該文献では、スキャナドライバに各種の駆動パターンを記憶保持することにより、ガルバノ型スキャナの最適駆動を行うようにしている。また、特許文献2には、ミラー走査用のガルバノ型スキャナとして用いることのできる検出器付き電磁式有限回転型電動機が開示されている。
上記のように、ガルバノ型スキャナシステムにおいては、様々な駆動形態に対して、スキャナドライバの動作特性を最適化するめに、複数の可変抵抗器などを操作してドライバ回路定数を調整している。 As described above, in the galvano scanner system, the driver circuit constants are adjusted by operating a plurality of variable resistors and the like in order to optimize the operating characteristics of the scanner driver for various drive modes.
しかしながら、スキャナドライバの動作特性の最適化を図るためには、多数のパラメータを調整する必要がある。例えば、スキャナドライバの制御ゲイン、ダンピング特性、積分定数、フィルタ特性(共振特性)、ローバスト性などを調整するために、多数の可変抵抗器、可変コンデンサなどを操作する必要がある。したがって、調整作業が簡単でなく、また、時間を要する。 However, in order to optimize the operating characteristics of the scanner driver, it is necessary to adjust a number of parameters. For example, in order to adjust the control gain, damping characteristic, integration constant, filter characteristic (resonance characteristic), robustness, etc. of the scanner driver, it is necessary to operate a large number of variable resistors, variable capacitors, and the like. Therefore, the adjustment work is not easy and takes time.
また、このような調整方法では、スキャナドライバの調整状態が固定されてしまうので、調整後にガルバノ型スキャナの駆動形態を変更すると、最適な動作状態を実現できない。この場合には、再び、設定器をスキャナドライバに接続して、可変抵抗値などを変更してドライバ動作特性(回路定数)の最適化のための調整作業を行う必要がある。このような調整作業には時間が掛かり、また、ユーザの側で行うことが困難である。 Further, in such an adjustment method, the adjustment state of the scanner driver is fixed, and therefore, if the drive mode of the galvano scanner is changed after adjustment, the optimum operation state cannot be realized. In this case, it is necessary to connect the setting device to the scanner driver again and change the variable resistance value and the like to perform adjustment work for optimizing the driver operating characteristics (circuit constants). Such adjustment work takes time and is difficult to perform on the user side.
本発明の課題は、これらの点に鑑みて、ガルバノ型スキャナの駆動形態を設定あるいは変更した場合に、それに応じてスキャナドライバの動作特性の最適化を簡単かつ短時間に行うことができるようにしたガルバノ型スキャナのスキャナドライバの駆動特性調整方法を提案することにある。 In view of these points, an object of the present invention is to make it possible to easily and quickly optimize the operating characteristics of a scanner driver when the driving mode of a galvano scanner is set or changed. Another object of the present invention is to propose a method for adjusting the drive characteristics of the scanner driver of the galvano scanner.
上記の課題を解決するために、本発明のガルバノ型スキャナのスキャナドライバの駆動特性調整方法は、
ガルバノ型スキャナの複数の駆動形態のそれぞれに応じて、当該ガルバノ型スキャナを駆動するスキャナドライバの各回路定数の最適値の組み合わせからなる最適化データを求め、
前記ガルバノ型スキャナの側のスキャナ側記憶部、あるいは、前記スキャナドライバの側のドライバ側記憶部に、前記最適化データのそれぞれを前記駆動形態に対応させた形態で記憶保持し、
前記スキャナドライバに対して前記駆動形態の一つを指定する外部信号を与えることにより、指定された前記駆動形態に対応付けされている前記最適化データを、前記スキャナ側記憶部、あるいは、前記ドライバ側記憶部から出力させ、
前記スキャナドライバにおいて、出力された前記最適化データに従って、前記スキャナドライバの各回路定数を設定し、あるいは、設定されている各回路定数を変更させることを特徴としている。
In order to solve the above-described problem, a driving characteristic adjustment method for a scanner driver of a galvano scanner according to the present invention includes:
In accordance with each of a plurality of driving modes of the galvano scanner, obtain optimization data composed of a combination of optimum values of each circuit constant of the scanner driver that drives the galvano scanner,
Each of the optimization data is stored and held in a form corresponding to the drive form in the scanner side storage part on the galvano scanner side or the driver side storage part on the scanner driver side,
By supplying an external signal designating one of the drive modes to the scanner driver, the optimization data associated with the designated drive mode is sent to the scanner-side storage unit or the driver Output from the side storage unit,
In the scanner driver, each circuit constant of the scanner driver is set according to the outputted optimization data, or each set circuit constant is changed.
ここで、複数の前記駆動形態には、少なくとも、負荷、駆動パターンおよび応答特性が異なる駆動形態が含まれている。 Here, the plurality of driving modes include at least driving modes having different loads, driving patterns, and response characteristics.
次に、本発明のガルバノ型スキャナシステムは、
ガルバノ型スキャナと、
前記ガルバノ型スキャナを駆動制御するスキャナドライバと、
前記ガルバノ型スキャナの複数の駆動形態のそれぞれに対応して、前記スキャナドライバの各回路定数の最適値の組み合わせからなる最適化データを記憶保持している最適化データ記憶部とを有し、
前記スキャナドライバは、
当該スキャナドライバの各回路定数を変更するための電子トリマと、
外部入力に応じて、前記記憶部に記憶保持されている前記最適化データの一つを選択し、選択した最適化データとなるように、前記電子トリマのパラメータを設定あるいは更新する制御部とを備えている
ことを特徴としている。
Next, the galvano scanner system of the present invention is
A galvo scanner,
A scanner driver for driving and controlling the galvano scanner;
Corresponding to each of a plurality of driving modes of the galvanometer scanner, an optimization data storage unit that stores and holds optimization data composed of combinations of optimum values of the circuit constants of the scanner driver,
The scanner driver is
An electronic trimmer for changing each circuit constant of the scanner driver;
A control unit that selects one of the optimization data stored and held in the storage unit according to an external input, and sets or updates the parameters of the electronic trimmer so that the selected optimization data is obtained. It is characterized by having.
ここで、前記最適化データ記憶部の場所を、前記スキャナドライバの内部メモリおよび外付けメモリのうちのいずれか一方とすることができる。 Here, the location of the optimized data storage unit may be one of the internal memory and the external memory of the scanner driver.
この代わりに、前記最適化データ記憶部の場所を、前記ガルバノ型スキャナの内部メモリおよび外付けメモリのうちのいずれか一方とすることができる。 Alternatively, the location of the optimized data storage unit can be any one of the internal memory and the external memory of the galvano scanner.
次に、本発明のスキャナドライバによって駆動されるガルバノ型スキャナは、
当該ガルバノ型スキャナの複数の駆動形態のそれぞれに対応する最適化データを記憶保持している記憶部と、
前記スキャナドライバからの要求に応じて前記最適化データを前記スキャナドライバに出力する制御部とを有し、
前記最適化データは、前記ガルバノ型スキャナを前記スキャナドライバによって前記駆動形態で駆動することによって得られた前記スキャナドライバの各回路定数の最適値の組み合わせからなることを特徴としている。
Next, the galvano scanner driven by the scanner driver of the present invention is:
A storage unit that stores and holds optimization data corresponding to each of a plurality of drive modes of the galvano scanner;
A controller that outputs the optimization data to the scanner driver in response to a request from the scanner driver;
The optimization data includes a combination of optimum values of circuit constants of the scanner driver obtained by driving the galvano scanner in the drive mode by the scanner driver.
また、本発明のガルバノ型スキャナを駆動するスキャナドライバは、
当該スキャナドライバの各回路定数を変更するための電子トリマと、
前記ガルバノ型スキャナの複数の駆動形態に応じて予め設定した各回路定数の最適値の組み合わせからなる最適化データを記憶保持している記憶部と、
外部入力に応じて、前記記憶部に記憶保持されている最適化データの一つを選択し、選択した最適化データとなるように、電子トリマのパラメータを設定あるいは更新する制御部とを有していることを特徴としている。
The scanner driver for driving the galvano scanner of the present invention is:
An electronic trimmer for changing each circuit constant of the scanner driver;
A storage unit that stores and holds optimization data composed of combinations of optimum values of circuit constants set in advance according to a plurality of driving modes of the galvano scanner;
A control unit that selects one of the optimization data stored in the storage unit according to an external input, and sets or updates the parameters of the electronic trimmer so that the selected optimization data is obtained. It is characterized by having.
本発明では、スキャナドライバによって、ユーザが要求する各種の駆動形態でガルバノ型スキャナを実際に駆動し、各駆動形態において最適なスキャナドライバの各回路定数を求め、最適化データ記憶部に、駆動形態毎に求めた最適化データをそれぞれ記憶保持させておく。 In the present invention, the galvano scanner is actually driven by the scanner driver in various drive modes requested by the user, the circuit constants of the optimum scanner driver are obtained in each drive mode, and the drive mode is stored in the optimized data storage unit. The optimization data obtained every time is stored and held.
ガルバノ型スキャナシステムの実際の使用に先立って、上位機器からスキャナドライバに対して、必要とする駆動形態を選択する指令を与える。スキャナドライバの制御部は、かかる外部指令を受け取ると、その駆動形態に対応する最適化データを、最適化データ記憶部から読み出し、電子トリマのパラメータを最適化データに従って設定する。 Prior to the actual use of the galvano-type scanner system, a command for selecting a required drive form is given from the host device to the scanner driver. When receiving the external command, the control unit of the scanner driver reads the optimization data corresponding to the driving form from the optimization data storage unit, and sets the parameters of the electronic trimmer according to the optimization data.
また、駆動形態を別の仕様に変更する場合にも、上位機器からスキャナドライバに対して、変更後の駆動形態を選択する指令を与える。スキャナドライバの制御部は、かかる外部指令を受け取ると、その駆動形態に対応する最適化データを、最適化データ記憶部から読み出し、電子トリマに設定されているパラメータを最適化データに従って更新する。 Even when the drive mode is changed to another specification, a command for selecting the changed drive mode is given from the host device to the scanner driver. When receiving the external command, the control unit of the scanner driver reads the optimization data corresponding to the driving form from the optimization data storage unit, and updates the parameters set in the electronic trimmer according to the optimization data.
したがって、本発明によれば、ガルバノ型スキャナの駆動形態を変更する場合に、そのスキャナドライバの回路定数の最適化を上位機器からの指令に基づき、自動的に行うことができる。従来のように可変抵抗器などを手動操作する調整作業が不要となり、駆動形態の変更時のスキャナドライバの各回路定数の最適化のための調整作業を簡単かつ短時間で、しかも正確に行うことが可能になる。 Therefore, according to the present invention, when the driving mode of the galvano scanner is changed, the circuit constant of the scanner driver can be automatically optimized based on a command from the host device. There is no need for manual adjustment of variable resistors as in the past, and adjustment work for optimizing each circuit constant of the scanner driver when changing the drive mode is performed easily, quickly and accurately. Is possible.
また、本発明のガルバノ型スキャナでは、複数の駆動形態に最適化した各回路定数データを、組立要因などによる個々のバラツキ要因の多いガルバノ型スキャナの記憶部、例えば、その内部メモリ、あるいは当該スキャナに付属する回路基板に搭載された外付けメモリに格納してある。そして、スキャナドライバから要求されると、記憶部に記憶保持されている最適化データを出力する。スキャナドライバの側では、ガルバノ型スキャナの側から供給された最適化データによって、スキャナドライバ内部の調整パラメータを書き換える。 Further, in the galvano scanner of the present invention, each circuit constant data optimized for a plurality of driving forms is stored in a storage unit of the galvano scanner having a large variation factor due to assembly factors, for example, its internal memory or the scanner. Is stored in an external memory mounted on a circuit board attached to the circuit board. When requested by the scanner driver, the optimization data stored in the storage unit is output. On the scanner driver side, the adjustment parameters in the scanner driver are rewritten by the optimization data supplied from the galvano scanner side.
したがって、ガルバノ型スキャナとスキャナドライバを接続して実際にガルバノ型スキャナを駆動して調整を行わないと達成できないような厳しい調整仕様であっても、駆動形態に対応した最適化データを選択するという簡単な操作によって実現できる。 Therefore, even if it is a strict adjustment specification that cannot be achieved unless the galvano scanner and the scanner driver are connected and the galvano scanner is actually driven for adjustment, optimization data corresponding to the drive mode is selected. It can be realized by simple operation.
また、ガルバノ型スキャナとスキャナドライバの各種の組み合わせについて、ガルバノ型スキャナの各駆動形態に対するスキャナドライバの最適化データを求めて、記憶保持しておけば、スキャナとスキャナドライバの組み合わせを変更した場合であっても、ガルバノ型スキャナの動作特性のバラツキに影響されることなく、簡単な操作によってスキャナドライバの駆動特性を調整できる。よって、ガルバノ型スキャナの生産性、メンテナンス性が大幅に向上する。 In addition, for various combinations of galvano scanners and scanner drivers, optimization data of the scanner driver for each drive mode of the galvano scanner is obtained and stored, so that the combination of the scanner and scanner driver can be changed. Even in such a case, the driving characteristics of the scanner driver can be adjusted by a simple operation without being affected by variations in the operating characteristics of the galvano scanner. Therefore, the productivity and maintainability of the galvano scanner are greatly improved.
以下に、図面を参照して、本発明を適用したガルバノ型スキャナシステムの実施の形態を説明する。 Embodiments of a galvano scanner system to which the present invention is applied will be described below with reference to the drawings.
図1は、本例のガルバノ型スキャナシステムの概略ブロック図である。ガルバノ型スキャナシステム1は、ガルバノ型スキャナ2と、これを駆動するためのスキャナドライバ3と、スキャナドライバ3を制御するためのコントローラ4およびパーソナルコンピュータ5などから構成される指令発生機6とを有している。
FIG. 1 is a schematic block diagram of the galvano scanner system of this example. The galvano scanner system 1 includes a
指令発生機6のパーソナルコンピュータ5には専用の指令発生用プログラムがインストールされており、ガルバノ型スキャナ2のデジタル位置指令をコントローラ4に供給する。コントローラ4はデジタル位置指令をアナログ位置指令である指令電圧にD/A変換し、指令電圧をスキャナドライバ3のアナログ駆動回路30に供給する。スキャナドライバ3のアナログ駆動回路30は指令電圧に基づきスキャナ駆動電圧を生成してガルバノ型スキャナ2に印加して、ガルバノ型スキャナ2を指定された位置に駆動する。
A dedicated command generation program is installed in the
ガルバノ型スキャナ2は、例えば、有限回転型モータ11と、このモータ回転軸12に取り付けた走査用ミラー13とを備えている。ガルバノ型スキャナ2には、モータ回転軸12の回転角度位置を検出するための位置センサ14が配置されている。位置センサ14のアナログ位置検出出力は、スキャナドライバ3を介してコントローラ4に供給される。コントローラ4は、アナログ位置検出出力をデジタル位置情報にA/D変換する。デジタル位置情報はパーソナルコンピュータ5に供給される。検出されたガルバノ型スキャナ2の位置に基づき、予め設定した駆動形態(駆動パターン、駆動速度など)でガルバノ型スキャナ2がフィードバック制御される。
The
例えば、ガルバノ型スキャナ2を位置Aから目標位置Bまで駆動させるためには、印加される指令電圧を、位置Aに相当する指令電圧から目標位置Bに相当する指令電圧まで変化させる必要がある。指令発生機6から出力される指令電圧の変化は、最終的な目標位置への指令のみである。したがって、位置Aから位置Bに至る経路および到達時間などの動作特性はスキャナドライバ3のアナログ駆動回路30の回路定数を調整することにより設定する必要がある。同様に、各種の駆動形態(負荷、駆動パターン、応答特性など)に応じて、それらに合った特性となるようにスキャナドライバ3のアナログ駆動回路30の回路定数を調整する必要がある。
For example, in order to drive the
各駆動形態に応じてスキャナドライバ3の回路定数の最適化を図るために、本例では、スキャナドライバ3には回路定数の設定・変更機能が備わっている。
In order to optimize the circuit constants of the
図2を参照して説明すると、スキャナドライバ3は、アナログ駆動回路30と、マイクロコンピュータからなる制御部31と、電子トリマ32が備わっている。制御部31は、CPU、ROM、RAMを備えており、ROMには最適化データ記憶領域が用意されており、ここには、周期性のある複数の指令入力波形(駆動形態)に対応させて、ドライバ回路定数の最適値の組み合わせからなる最適化データP1、P2、P3・・・がそれぞれ記憶保持されている。これらのデジタルデータを、フラッシュメモリなどに、書き換え可能な状態で記憶保持しておいてもよい。
Referring to FIG. 2, the
制御部31は、上位の指令発生機6の側から、一つの指令入力波形を指定する指令を受け取ると、当該指令によって指定されている指令入力波形に対応する最適化データをROMから読み出す。そして、最適化データの内容に従って制御信号を電子トリマ32に出力する。電子トリマ32は、複数の抵抗トリマ33、複数のコンデンサトリマ34などを備えており、スキャナドライバ3のアナログ駆動回路30の各回路定数を最適化データに基づき設定する。
When the
この構成のガルバノ型スキャナシステム1では、最初に、ユーザが要求する各種の駆動形態に従ってガルバノ型スキャナ2を実際に駆動する。実際の駆動状態に基づき、各駆動形態における最適なスキャナドライバ3のアナログ駆動回路30の各回路定数を求める。求まった各パラメータを各駆動形態の最適化データとしてROMに書き込む。
In the galvano scanner system 1 having this configuration, first, the
実際の使用に先立って、指令発生機6からスキャナドライバ3に対して、必要とする駆動形態を選択する指令を与える。スキャナドライバ3の制御部31は、この外部指令を受け取ると、その駆動形態に対応する最適化データをROMから読み出し、電子トリマ32の抵抗トリマ33、コンデンサトリマ34等によって、スキャナドライバ3のアナログ駆動回路30の回路定数調整用の抵抗値、容量値等を最適化データに従って設定する。これにより、スキャナドライバ3の回路定数が、選択した駆動形態に応じて最適化された状態になる。
Prior to actual use, the
また、駆動形態を別の駆動形態に変更する場合にも、指令発生機6からスキャナドライバ3に対して、変更後の駆動形態を選択する指令を与える。スキャナドライバ3の制御部31は、かかる外部指令を受け取ると、その駆動形態に対応する最適化データをROMから読み出し、電子トリマ32に設定されているパラメータを最適化データに従って更新する。これにより、スキャナドライバ3のアナログ駆動回路30が変更後の駆動形態に応じて最適化された動作特性になる。
In addition, when the drive mode is changed to another drive mode, the
以上説明したように、ガルバノ型スキャナ2の駆動形態を変更する場合に、そのドライバ回路定数の最適化を、上位側の機器からの指令に基づき自動的に行うことができる。よって、従来のように可変抵抗器などを手動操作する調整作業が不要となり、駆動形態の変更時のドライバ回路定数の最適化のための調整作業を簡単かつ短時間で、しかも正確に行うことが可能になる。
As described above, when the driving mode of the
次に、上記の例では、最適化データをスキャナドライバ3に記憶保持している。この代わりに、ガルバノ型スキャナ2の側に記憶保持してもよい。すなわち、図3に示すように、ガルバノ型スキャナ2の制御部20の内部メモリ21(最適化データ記憶部)に最適化データ(調整パラメータA、B・・・)を記憶保持しておく。制御部20を、スキャナドライバ3のアナログ駆動回路30からの要求に応じて、指定された最適化データを出力してスキャナドライバ3に供給するように設定しておく。内部メモリ21の代わりに、図3において想像線で示すように、ガルバノ型スキャナに付属する回路基板22に搭載された外部メモリ23に最適化データを記憶保持しておいてもよい。
Next, in the above example, the optimization data is stored and held in the
スキャナドライバ3の側では、アナログ駆動回路30の内部メモリに記憶領域35を備えている、外部指令によって指定された駆動形態に対応する最適化データを、ガルバノ型スキャナ2の側に要求し、要求に応じて供給された最適化データを記憶領域35に設定する。あるいは、供給された最適化データによって、記憶領域35に設定されている最適化データ(調整パラメータ)を書き換える。
On the
1 ガルバノ型スキャナシステム
2 ガルバノ型スキャナ
3 スキャナドライバ
4 コントローラ
5 パーソナルコンピュータ
6 指令発生機
11 有限回転型モータ
12 モータ回転軸
13 走査用ミラー
14 位置センサ
30 アナログ駆動回路
31 制御部
32 電子トリマ
33 抵抗トリマ
34 コンデンサトリマ
DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Galvano
Claims (7)
前記ガルバノ型スキャナの側のスキャナ側記憶部、あるいは、前記スキャナドライバの側のドライバ側記憶部に、前記最適化データのそれぞれを前記駆動形態に対応させた形態で記憶保持し、
前記スキャナドライバに対して前記駆動形態の一つを指定する外部信号を与えることにより、指定された前記駆動形態に対応付けされている前記最適化データを、前記スキャナ側記憶部、あるいは、前記ドライバ側記憶部から出力させ、
前記スキャナドライバにおいて、出力された前記最適化データに従って、前記スキャナドライバの各回路定数を設定し、あるいは、設定されている各回路定数を変更させることを特徴とするガルバノ型スキャナのスキャナドライバの駆動特性調整方法。 In accordance with each of a plurality of driving modes of the galvano scanner, obtain optimization data composed of a combination of optimum values of each circuit constant of the scanner driver that drives the galvano scanner,
Each of the optimization data is stored and held in a form corresponding to the drive form in the scanner side storage part on the galvano scanner side or the driver side storage part on the scanner driver side,
By supplying an external signal designating one of the drive modes to the scanner driver, the optimization data associated with the designated drive mode is sent to the scanner-side storage unit or the driver Output from the side storage unit,
In the scanner driver, according to the output optimization data, each circuit constant of the scanner driver is set or each set circuit constant is changed, and the scanner driver of the galvano scanner is driven Characteristics adjustment method.
前記ガルバノ型スキャナの複数の前記駆動形態は、少なくとも、負荷、駆動パターンおよび応答特性が異なる駆動形態であることを特徴とするガルバノ型スキャナのスキャナドライバの駆動特性調整方法。 In the driving characteristic adjustment method of the scanner driver of the galvano scanner according to claim 1,
A driving characteristic adjustment method for a scanner driver of a galvano scanner, wherein the plurality of driving forms of the galvano scanner are at least loads having different loads, drive patterns, and response characteristics.
前記ガルバノ型スキャナを駆動制御するスキャナドライバと、
前記ガルバノ型スキャナの複数の駆動形態のそれぞれに対応して、前記スキャナドライバの各回路定数の最適値の組み合わせからなる最適化データを記憶保持している最適化データ記憶部とを有し、
前記スキャナドライバは、
当該スキャナドライバの各回路定数を変更するための電子トリマと、
外部入力に応じて、前記記憶部に記憶保持されている前記最適化データの一つを選択し、選択した最適化データとなるように、前記電子トリマのパラメータを設定あるいは更新する制御部とを備えている
ことを特徴とするガルバノ型スキャナシステム。 A galvo scanner,
A scanner driver for driving and controlling the galvano scanner;
Corresponding to each of a plurality of driving modes of the galvanometer scanner, an optimization data storage unit that stores and holds optimization data composed of combinations of optimum values of the circuit constants of the scanner driver,
The scanner driver is
An electronic trimmer for changing each circuit constant of the scanner driver;
A control unit that selects one of the optimization data stored and held in the storage unit according to an external input, and sets or updates the parameters of the electronic trimmer so that the selected optimization data is obtained. A galvano-type scanner system characterized by comprising:
前記最適化データ記憶部の場所は、前記スキャナドライバの内部メモリおよび外付けメモリのうちのいずれか一方であることを特徴とするガルバノ型スキャナシステム。 The galvano scanner system according to claim 3,
The galvano scanner system, wherein the location of the optimized data storage unit is one of an internal memory and an external memory of the scanner driver.
前記最適化データ記憶部の場所は、前記ガルバノ型スキャナの内部メモリおよび外付けメモリのうちのいずれか一方であることを特徴とするガルバノ型スキャナシステム。 The galvano scanner system according to claim 4,
The galvano scanner system is characterized in that the location of the optimized data storage unit is one of an internal memory and an external memory of the galvano scanner.
当該ガルバノ型スキャナの複数の駆動形態のそれぞれに対応する最適化データを記憶保持している記憶部と、
前記スキャナドライバからの要求に応じて前記最適化データを前記スキャナドライバに出力する制御部とを有し、
前記最適化データは、前記ガルバノ型スキャナを前記スキャナドライバによって前記駆動形態で駆動することによって得られた前記スキャナドライバの各回路定数の最適値の組み合わせからなることを特徴とするガルバノ型スキャナ。 A galvano scanner driven by a scanner driver,
A storage unit that stores and holds optimization data corresponding to each of a plurality of drive modes of the galvano scanner;
A controller that outputs the optimization data to the scanner driver in response to a request from the scanner driver;
The galvano scanner characterized in that the optimization data includes a combination of optimum values of circuit constants of the scanner driver obtained by driving the galvano scanner in the drive mode by the scanner driver.
当該スキャナドライバの各回路定数を変更するための電子トリマと、
前記ガルバノ型スキャナの複数の駆動形態に応じて予め設定した各回路定数の最適値の組み合わせからなる最適化データを記憶保持している記憶部と、
外部入力に応じて、前記記憶部に記憶保持されている最適化データの一つを選択し、選択した最適化データとなるように、電子トリマのパラメータを設定あるいは更新する制御部とを有していることを特徴とするガルバノ型スキャナのスキャナドライバ。 A scanner driver for driving a galvano scanner,
An electronic trimmer for changing each circuit constant of the scanner driver;
A storage unit that stores and holds optimization data composed of combinations of optimum values of circuit constants set in advance according to a plurality of driving modes of the galvano scanner;
A control unit that selects one of the optimization data stored in the storage unit according to an external input, and sets or updates the parameters of the electronic trimmer so that the selected optimization data is obtained. A scanner driver for a galvano-type scanner.
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