JP5100716B2 - Negative photosensitive resin composition, polyimide resin film using the same, and flexible printed wiring board - Google Patents
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Description
本発明は、フレキシブルプリント配線板の保護膜の形成等に好適に用いられるネガ型感光性樹脂組成物、及びそれを用いたポリイミド樹脂膜、フレキシブルプリント配線板に関する。 The present invention relates to a negative photosensitive resin composition suitably used for forming a protective film of a flexible printed wiring board, a polyimide resin film using the negative photosensitive resin composition, and a flexible printed wiring board.
ポリイミド樹脂は耐熱性に優れ、また良好な電気絶縁性を示すことよりプリント配線板の基材、層間接着剤、カバーレイ(保護膜)等として使用されている。また配線の微細化に伴い、保護膜としてのポリイミド樹脂を微細加工するために感光性を持たせることが検討されている。配線形成した基材上に、ポリイミド樹脂を含む感光性樹脂組成物の塗膜を形成した後、マスクを介して紫外線等を照射して露光部を変質させることで、露光部のみ(ポジ型)又は非露光部のみ(ネガ型)を除去することができ、パターン形成が可能となる。 Polyimide resins are used as a substrate for printed wiring boards, interlayer adhesives, coverlays (protective films) and the like because of their excellent heat resistance and good electrical insulation. Further, with the miniaturization of wiring, it has been studied to provide photosensitivity in order to finely process a polyimide resin as a protective film. After forming a coating film of a photosensitive resin composition containing a polyimide resin on the substrate on which the wiring is formed, the exposed portion is altered by irradiating ultraviolet rays or the like through a mask, so that only the exposed portion (positive type) Alternatively, only the non-exposed portion (negative type) can be removed, and the pattern can be formed.
ポリイミド前駆体に感光性を付与する方法として、光反応性官能基とアミノ基を有する化合物をポリイミド前駆体にイオン結合で導入する方法が用いられている。特許文献1にはポリイミド前駆体(ポリアミド酸)と、化学線により2量化又は重合可能な炭素−炭素二重結合及びアミノ基又はその四級化塩を含む化合物(光重合性モノマー)と、必要に応じて加える増感剤、光開始剤、共重合モノマーとからなるネガ型の感光材料が開示されている。この感光材料にパターンを介して化学線を照射すると、露光部では、光重合性モノマーが重合すると共に、光重合性モノマーのアミノ基とポリイミド前駆体のカルボキシル基がイオン的に結合して、溶剤溶解性が低下する。その後未露光部を現像液で溶解除去してパターン形成し、加熱、硬化してポリイミド膜が得られる。 As a method of imparting photosensitivity to a polyimide precursor, a method of introducing a compound having a photoreactive functional group and an amino group into the polyimide precursor by ionic bonding is used. Patent Document 1 requires a polyimide precursor (polyamic acid), a compound (photopolymerizable monomer) containing a carbon-carbon double bond and an amino group or a quaternized salt thereof that can be dimerized or polymerized by actinic radiation. There is disclosed a negative photosensitive material comprising a sensitizer, a photoinitiator and a copolymerization monomer to be added according to the above. When this photosensitive material is irradiated with actinic radiation through a pattern, the photopolymerizable monomer is polymerized in the exposed area, and the amino group of the photopolymerizable monomer and the carboxyl group of the polyimide precursor are ionically bonded to form a solvent. Solubility decreases. Thereafter, the unexposed portion is dissolved and removed with a developer to form a pattern, and heated and cured to obtain a polyimide film.
ポリイミド前駆体に感光性を付与する別の方法としては、エステル結合によって光反応性官能基をポリイミド前駆体に導入するものがある。特許文献2にはこのような感光性ポリイミド前駆体が開示されている。 Another method for imparting photosensitivity to a polyimide precursor is to introduce a photoreactive functional group into the polyimide precursor by an ester bond. Patent Document 2 discloses such a photosensitive polyimide precursor.
また、特許文献3にはネガ型の感光性ポリイミド樹脂を保護膜として用いた回路基板及び回路付きサスペンション基板が開示されている。回路付きサスペンション基板は、ステンレス等の金属箔基材上に絶縁層を有し、その上に銅などの金属からなる導体層のパターン回路、及びこれを被覆する絶縁層を有する。特許文献2では、金属箔基材上の絶縁層及び導体層を被覆する絶縁層としてネガ型の感光性ポリイミド樹脂を使用している。 Patent Document 3 discloses a circuit board using a negative photosensitive polyimide resin as a protective film and a suspension board with circuit. The suspension board with circuit has an insulating layer on a metal foil base material such as stainless steel, and has a pattern circuit of a conductor layer made of a metal such as copper, and an insulating layer covering the insulating layer. In Patent Document 2, a negative photosensitive polyimide resin is used as an insulating layer covering the insulating layer and the conductor layer on the metal foil base material.
ネガ型感光性樹脂組成物を使用する場合、非露光部のポリイミド前駆体を現像液で溶解して除去する。露光部のポリイミド前駆体はパターン形成されて残り、加熱硬化されてポリイミド膜となる。良好な現像性を得るためには、非露光部は溶け残りなく素早く溶解すると共に、露光部では現像液による膜の劣化が少なく、基材と強固に密着していることが必要である。 When using a negative photosensitive resin composition, the polyimide precursor of a non-exposed part is dissolved and removed with a developing solution. The exposed portion of the polyimide precursor remains patterned, and is cured by heating to form a polyimide film. In order to obtain good developability, it is necessary that the non-exposed part dissolves quickly without remaining undissolved, and the exposed part has little deterioration of the film due to the developing solution, and must be firmly adhered to the substrate.
さらにポリイミド膜の硬化後、露出した基材上に金メッキ等のメッキ処理を行うことがあるが、ポリイミド膜と基材との密着性が充分でない場合にはメッキ液がポリイミド膜と基材との間に染みこみ、ポリイミド膜の劣化や基材からの剥離が起こる可能性があり、耐メッキ性という点でもポリイミド膜と基材との密着性が必要である。 Furthermore, after the polyimide film is cured, a plating process such as gold plating may be performed on the exposed base material. However, if the adhesion between the polyimide film and the base material is not sufficient, the plating solution may be used between the polyimide film and the base material. There is a possibility that it may soak in between, deterioration of the polyimide film or peeling from the base material, and adhesion between the polyimide film and the base material is also necessary in terms of plating resistance.
ポリイミド膜と基材との密着性を向上するための手法として、ポリイミド前駆体を含む樹脂組成物中に密着向上剤を添加することが考えられる。しかし密着向上剤を添加することによって、非露光部のポリイミド前駆体樹脂と基材との密着力も強くなってしまい現像時に非露光部の溶け残り(現像残渣)が発生する可能性がある。 As a technique for improving the adhesion between the polyimide film and the substrate, it is conceivable to add an adhesion improver to the resin composition containing the polyimide precursor. However, by adding an adhesion improver, the adhesion between the polyimide precursor resin in the non-exposed area and the base material becomes strong, and undissolved areas (development residues) in the non-exposed area may occur during development.
上記の問題に鑑み、本発明は非露光部の現像液による溶解性に優れるとともに露光部の現像液による膜の劣化が少なく、基材との密着性に優れるネガ型感光性樹脂組成物、及びそれを用いたポリイミド樹脂膜、プリント配線板を提供することを課題とする。 In view of the above problems, the present invention is a negative photosensitive resin composition that is excellent in solubility in a developer in a non-exposed area, has little film deterioration due to a developer in an exposed area, and has excellent adhesion to a substrate, and An object is to provide a polyimide resin film and a printed wiring board using the polyimide resin film.
本発明は、ビフェニル骨格を持つ芳香族テトラカルボン酸二無水物を含むカルボン酸無水物成分とビフェニル骨格を持つ芳香族ジアミンを含むジアミン成分とを縮合重合したポリイミド前駆体樹脂、光重合性モノマー、光重合開始剤、及び、密着向上剤を含有するネガ型感光性樹脂組成物であって、前記密着向上剤が、チアジアゾール骨格又はトリアゾール骨格とチオール基とを有する化合物であり、前記密着向上剤の含有量が前記ネガ型感光性樹脂組成物の固形分全体に対して0.2重量%〜2.0重量%であるとともに、前記ネガ型感光性樹脂組成物を製膜し、加熱硬化して得られるポリイミド樹脂膜の熱膨張係数が10ppm/℃以上30ppm/℃以下であることを特徴とする、ネガ型感光性樹脂組成物である。 The present invention is a polyimide precursor resin obtained by condensation polymerization of a carboxylic acid anhydride component containing an aromatic tetracarboxylic dianhydride having a biphenyl skeleton and a diamine component containing an aromatic diamine having a biphenyl skeleton, a photopolymerizable monomer, A negative photosensitive resin composition containing a photopolymerization initiator and an adhesion improver, wherein the adhesion improver is a compound having a thiadiazole skeleton or a triazole skeleton and a thiol group, and the adhesion improver The content is 0.2% by weight to 2.0% by weight based on the entire solid content of the negative photosensitive resin composition, and the negative photosensitive resin composition is formed into a film, and is heated and cured. A negative photosensitive resin composition characterized in that a thermal expansion coefficient of the obtained polyimide resin film is 10 ppm / ° C. or more and 30 ppm / ° C. or less .
ポリイミドと基材との密着力を向上させるための添加剤としてメラミンやシランカップリング剤等、種々の添加剤が挙げられるが、ネガ型の感光性ポリイミドにおいて密着向上剤としてチアジアゾール骨格又はトリアゾール骨格とチオール基とを有する化合物を使用することで、現像性(非露光部の現像液による溶解性)を低下させることなく、基材とポリイミド膜との密着力を向上できることを見いだした。 Various additives such as melamine and silane coupling agents can be mentioned as additives for improving the adhesion between the polyimide and the base material, and in the negative photosensitive polyimide, a thiadiazole skeleton or a triazole skeleton can be used as an adhesion improver. It has been found that by using a compound having a thiol group, the adhesion between the substrate and the polyimide film can be improved without degrading the developability (solubility of the developer in the non-exposed area).
前記密着向上剤の含有量は、前記ネガ型感光性樹脂組成物の固形分全体に対して0.2〜2.0重量%とすることが好ましい。含有量が0.2重量%よりも少ない場合には、充分な密着力向上効果が得られない可能性がある。また含有量を2.0重量%よりも多くすると、現像時に非露光部の溶け残りが生じる可能性がある。なおネガ型感光性樹脂組成物の固形分全体とは、ポリイミド前駆体樹脂、光重合性モノマー、光重合開始剤、その他の添加剤を含む全ての材料の固形分の総量である。 The content of the adhesion improver is preferably 0.2 to 2.0% by weight with respect to the entire solid content of the negative photosensitive resin composition . When the content is less than 0.2 % by weight, there is a possibility that a sufficient adhesion improving effect cannot be obtained. On the other hand, if the content is more than 2.0% by weight, there is a possibility that undissolved portions of the non-exposed part may occur during development. The total solid content of the negative photosensitive resin composition is the total solid content of all materials including the polyimide precursor resin, the photopolymerizable monomer, the photopolymerization initiator, and other additives .
前記密着向上剤が、5−アミノ−1,3,4−チアジアゾール−2−チオールであると好ましい(請求項2)。5−アミノ−1,3,4−チアジアゾール−2−チオールは、特に基材がニッケルメッキ層である場合に、ポリイミド膜と基材との密着力向上効果に優れている。 The adhesion improver is preferably 5-amino-1,3,4-thiadiazole-2-thiol (Claim 2). 5-amino-1,3,4-thiadiazole-2-thiol is excellent in the effect of improving the adhesion between the polyimide film and the substrate, particularly when the substrate is a nickel plating layer.
また本発明は、上記いずれかの感光性樹脂組成物を基材上に塗布し、加熱硬化して得られるポリイミド樹脂膜を提供する。感光性樹脂組成物の塗布後、溶剤を乾燥させた後、加熱硬化する前にマスクを通して露光して現像液で現像すれば任意のパターンを形成したポリイミド樹脂膜を得ることができる。この加熱硬化の過程でポリイミド前駆体(ポリアミック酸)樹脂がポリイミド樹脂となる。 Moreover, this invention provides the polyimide resin film obtained by apply | coating one of the said photosensitive resin compositions on a base material, and heat-hardening. After application of the photosensitive resin composition, after drying the solvent, before being heated and cured, if exposed to light through a mask and developed with a developer, a polyimide resin film having an arbitrary pattern can be obtained. In this heat curing process, the polyimide precursor (polyamic acid) resin becomes a polyimide resin.
さらに本発明は、上記製造方法によって得られ、熱膨張係数が10ppm/℃以上30ppm/℃以下であることを特徴とするポリイミド樹脂膜、及び該ポリイミド樹脂膜を保護膜として有するフレキシブルプリント配線板を提供する。 Furthermore, the present invention provides a polyimide resin film obtained by the above production method and having a thermal expansion coefficient of 10 ppm / ° C. or more and 30 ppm / ° C. or less, and a flexible printed wiring board having the polyimide resin film as a protective film. provide.
ポリイミド樹脂膜の熱膨張係数を10ppm/℃以上30ppm/℃以下とすることで、ステンレス、銅などの金属とポリイミド樹脂膜の熱膨張係数を近づけることができ、これらの金属と組み合わせたフレキシブルプリント配線板において、温度変化による反りを少なくすることができる。より好ましい熱膨張係数の範囲は15ppm/℃以上20ppm/℃以下である。このようなフレキシブルプリント配線板は、特にハードディスクドライブに使用されるサスペンション用の基板として用いられると好ましい。なお熱膨張係数は熱機械分析装置(TMA)により測定することができ、50℃から150℃までの平均値とする。 By setting the thermal expansion coefficient of the polyimide resin film to 10 ppm / ° C. or more and 30 ppm / ° C. or less, the thermal expansion coefficient of the polyimide resin film can be made close to metals such as stainless steel and copper, and flexible printed wiring combined with these metals. In the plate, warpage due to temperature change can be reduced. A more preferable range of the thermal expansion coefficient is 15 ppm / ° C. or more and 20 ppm / ° C. or less. Such a flexible printed wiring board is particularly preferably used as a suspension substrate used in a hard disk drive. The thermal expansion coefficient can be measured with a thermomechanical analyzer (TMA), and is an average value from 50 ° C to 150 ° C.
本発明によれば、非露光部の現像液による溶解性に優れるとともに露光部の現像液による膜の劣化が少なく、基材との密着性に優れるネガ型感光性樹脂組成物を得ることができる。またこのネガ型感光性樹脂組成物を用いることで、膜の劣化の少ないポリイミド樹脂膜を得ることができる。 According to the present invention, it is possible to obtain a negative photosensitive resin composition that is excellent in solubility in a developer in a non-exposed portion, has little film deterioration due to a developer in an exposed portion, and has excellent adhesion to a substrate. . Moreover, by using this negative photosensitive resin composition, a polyimide resin film with little film deterioration can be obtained.
本発明のネガ型感光性樹脂組成物を構成するポリイミド前駆体樹脂(ポリアミック酸)は、芳香族テトラカルボン酸二無水物成分と芳香族ジアミンを含むジアミン成分との縮合重合によって得られる。この縮合重合反応は、従来のポリイミドの合成と同様な条件で行うことができる。 The polyimide precursor resin (polyamic acid) constituting the negative photosensitive resin composition of the present invention is obtained by condensation polymerization of an aromatic tetracarboxylic dianhydride component and a diamine component containing an aromatic diamine. This condensation polymerization reaction can be performed under the same conditions as in the conventional synthesis of polyimide.
芳香族テトラカルボン酸二無水物としては、3,4,3’,4’−ビフェニルテトラカルボン酸二無水物(BPDA)、ピロメリット酸二無水物(PMDA)、3,3’,4,4’−ベンゾフェノンテトラカルボン酸二無水物、4,4’−オキシジフタル酸二無水物、3,3’,4,4’−ジフェニルスルホンテトラカルボン酸二無水物、ビシクロ(2,2,2)−オクト−7−エン−2,3,5,6−テトラカルボン酸二無水物、1,2,4,5−シクロヘキサンテトラカルボン酸二無水物、2,2−ビス(3,4−ジカルボンキシフェニル)ヘキサフルオロプロパン二無水物、5−(2,5−ジオキソテトラヒドロフリル)−3−メチル−3−シクロヘキセン−1,2−ジカルボン酸二無水物等が例示される。 Examples of aromatic tetracarboxylic dianhydrides include 3,4,3 ′, 4′-biphenyltetracarboxylic dianhydride (BPDA), pyromellitic dianhydride (PMDA), 3,3 ′, 4,4. '-Benzophenone tetracarboxylic dianhydride, 4,4'-oxydiphthalic dianhydride, 3,3', 4,4'-diphenylsulfone tetracarboxylic dianhydride, bicyclo (2,2,2) -oct -7-ene-2,3,5,6-tetracarboxylic dianhydride, 1,2,4,5-cyclohexanetetracarboxylic dianhydride, 2,2-bis (3,4-dicarboxylicoxyphenyl) Examples include hexafluoropropane dianhydride, 5- (2,5-dioxotetrahydrofuryl) -3-methyl-3-cyclohexene-1,2-dicarboxylic dianhydride, and the like.
中でも、下記式(I)で表される3,4,3’,4’−ビフェニルテトラカルボン酸二無水物(BPDA)はビフェニル骨格を持つ剛直な構造であり、ポリイミド樹脂の熱膨張係数を低くできるため好ましい。BPDAの含有量は芳香族テトラカルボン酸二無水物成分の合計量に対して50モル%以上とすることが好ましい。このようなモノマー構成とすることで剛直な成分であるビフェニル骨格を持つモノマーの含有量を多くすることができ、ポリイミドの熱膨張係数を低くすることができる。 Among them, 3,4,3 ′, 4′-biphenyltetracarboxylic dianhydride (BPDA) represented by the following formula (I) has a rigid structure having a biphenyl skeleton, and has a low thermal expansion coefficient of polyimide resin. This is preferable because it is possible. The content of BPDA is preferably 50 mol% or more based on the total amount of the aromatic tetracarboxylic dianhydride components. By setting it as such a monomer structure, content of the monomer with the biphenyl skeleton which is a rigid component can be increased, and the thermal expansion coefficient of a polyimide can be made low.
ポリイミド前駆体樹脂は、芳香族テトラカルボン酸二無水物と2種類以上のジアミンとを縮合重合したものであり、前記ジアミン又は前記芳香族テトラカルボン酸二無水物として、ビフェニル骨格を持つモノマーを2種類以上含有すると共に、該ビフェニル骨格を持つモノマーの含有量は、芳香族テトラカルボン酸二無水物とジアミンとの合計量に対して50モル%以上であり、前記ジアミンとして、テトラメチルジシロキサン骨格を持つジアミンを、ジアミン合計量に対して0.5モル%以上5モル%以下含有することが好ましい。 The polyimide precursor resin is obtained by condensation polymerization of an aromatic tetracarboxylic dianhydride and two or more diamines. As the diamine or the aromatic tetracarboxylic dianhydride, 2 monomers having a biphenyl skeleton are used. The content of the monomer having at least two types and having the biphenyl skeleton is 50 mol% or more based on the total amount of the aromatic tetracarboxylic dianhydride and the diamine, and the diamine includes a tetramethyldisiloxane skeleton. It is preferable to contain 0.5 mol% or more and 5 mol% or less of diamine with diamine.
剛直な成分であるビフェニル骨格を持つモノマーを2種類以上用い、その含有量を50モル%以上とすることで、熱膨張係数を低くすることができ、かつ良好な現像性を得ることができる。同時に柔軟なテトラメチルジシロキサン骨格を持つジアミンを少量用い、ジシロキサン骨格をポリマー主鎖に導入することによって、基板との密着性を向上できると共に、ポリイミド樹脂の透明性(i線透過性)を向上できる。尚、ビフェニル骨格を持つモノマーは芳香族テトラカルボン酸二無水物、ジアミンのいずれであっても良いが、芳香族テトラカルボン酸二無水物、ジアミンの両方にビフェニル骨格を持つモノマーを使用することが好ましい。 By using two or more monomers having a biphenyl skeleton that is a rigid component and making the content 50 mol% or more, the thermal expansion coefficient can be lowered and good developability can be obtained. At the same time, by using a small amount of a diamine having a flexible tetramethyldisiloxane skeleton and introducing the disiloxane skeleton into the polymer main chain, the adhesion to the substrate can be improved, and the transparency (i-line permeability) of the polyimide resin can be improved. It can be improved. The monomer having a biphenyl skeleton may be either an aromatic tetracarboxylic dianhydride or a diamine, but a monomer having a biphenyl skeleton may be used for both the aromatic tetracarboxylic dianhydride and the diamine. preferable.
ジアミンとしては、2,2’−ジメチル4,4’−ジアミノビフェニル(mTBHG)、2,2’−ビス(トリフルオロメチル)4,4’−ジアミノビフェニル(TFMB)、2,2’−ビス(4−アミノフェニル)ヘキサフルオロプロパン(Bis−A−AF)パラフェニレンジアミン(PPD)、4,4’−ジアミノジフェニルエーテル(ODA)、3,3’−ジヒドロキシ4,4’−ジアミノビフェニル、4、4’−ジヒドロキシ3,3’−ジアミノビフェニル等が例示できる。 Examples of the diamine include 2,2′-dimethyl 4,4′-diaminobiphenyl (mTBHG), 2,2′-bis (trifluoromethyl) 4,4′-diaminobiphenyl (TFMB), 2,2′-bis ( 4-Aminophenyl) hexafluoropropane (Bis-A-AF) paraphenylenediamine (PPD), 4,4′-diaminodiphenyl ether (ODA), 3,3′-dihydroxy 4,4′-diaminobiphenyl, 4, 4 Examples include '-dihydroxy 3,3'-diaminobiphenyl.
この中でも、式(II)で表される2,2’−ジメチル4,4’−ジアミノビフェニル(mTBHG)や式(III)で表される2,2’−ビス(トリフルオロメチル)4,4’−ジアミノビフェニル(TFMB)は、ビフェニル骨格を持つ剛直な構造であり、ポリイミド樹脂の熱膨張係数を低くできる点で好ましい。 Among these, 2,2′-dimethyl 4,4′-diaminobiphenyl (mTBHG) represented by the formula (II) and 2,2′-bis (trifluoromethyl) 4,4 represented by the formula (III) '-Diaminobiphenyl (TFMB) is a rigid structure having a biphenyl skeleton, and is preferable in that the thermal expansion coefficient of the polyimide resin can be lowered.
ビフェニル骨格を持つモノマーは、芳香族テトラカルボン酸二無水物であってもジアミンであっても良く、モノマー成分全体(芳香族テトラカルボン酸とジアミンの合計量)に対して50モル%以上とすると好ましい。さらに好ましいビフェニル骨格を持つモノマーの含有率は、70%以上である。 The monomer having a biphenyl skeleton may be an aromatic tetracarboxylic dianhydride or a diamine, and if it is 50 mol% or more based on the entire monomer component (total amount of aromatic tetracarboxylic acid and diamine). preferable. The content of the monomer having a more preferable biphenyl skeleton is 70% or more.
また、ジアミンとしてテトラメチルジシロキサン骨格を持つジアミンを、ジアミン成分全体に対して0.5モル%以上5モル%以下含有する必要がある。テトラメチルジシロキサン骨格を持つジアミンを少量含有することでポリイミド樹脂の接着性が向上する。テトラメチルジシロキサン骨格を持つジアミンの量が0.5モル%未満では上記の効果を充分に得ることができない。一方、5モル%を超えるとポリイミド樹脂の熱膨張係数が大きくなる。 Moreover, it is necessary to contain 0.5 mol% or more and 5 mol% or less of diamine having a tetramethyldisiloxane skeleton as the diamine with respect to the entire diamine component. By containing a small amount of a diamine having a tetramethyldisiloxane skeleton, the adhesion of the polyimide resin is improved. If the amount of the diamine having a tetramethyldisiloxane skeleton is less than 0.5 mol%, the above effect cannot be obtained sufficiently. On the other hand, when it exceeds 5 mol%, the thermal expansion coefficient of the polyimide resin increases.
テトラメチルジシロキサン骨格を持つジアミンとは、シロキサン骨格を有しその末端に一級アミノ基を2つ有する化合物である。例えば下記式(IV)で表される物が広く採用されている。 A diamine having a tetramethyldisiloxane skeleton is a compound having a siloxane skeleton and two primary amino groups at its ends. For example, a product represented by the following formula (IV) is widely used.
上記の他に、下記構造式で表される物も例示される。 In addition to the above, those represented by the following structural formulas are also exemplified.
さらに、ジアミン又は芳香族テトラカルボン酸二無水物として、フッ素化モノマーをジアミン成分全体に対して20モル%以上70モル%以下含有すると好ましい。フッ素化モノマーを含有することでポリイミド樹脂の透明性(光透過性)を向上することができ、また溶解性が向上するので厚膜での現像性が向上する。 Furthermore, it is preferable to contain a fluorinated monomer as a diamine or aromatic tetracarboxylic dianhydride in an amount of 20 mol% or more and 70 mol% or less with respect to the entire diamine component. By containing the fluorinated monomer, the transparency (light transmittance) of the polyimide resin can be improved, and the solubility is improved, so that the developability with a thick film is improved.
フッ素化モノマーとしては上記の2,2’−ビス(トリフルオロメチル)4,4’−ジアミノビフェニル(TFMB)や、式(VI)で表される2,2’−ビス(4−アミノフェニル)ヘキサフルオロプロパン(BIS−A−AF)等が例示できる。 Examples of the fluorinated monomer include 2,2′-bis (trifluoromethyl) 4,4′-diaminobiphenyl (TFMB) and 2,2′-bis (4-aminophenyl) represented by the formula (VI). Examples include hexafluoropropane (BIS-A-AF).
本発明のネガ型感光性樹脂組成物を構成するポリイミド前駆体樹脂のGPC測定による重量平均分子量は20000〜400000の範囲が好ましい。重量平均分子量がこの範囲を超える場合は組成物の印刷性の低下、現像時の抜け残り等を発生しやすくなる。一方、重量平均分子量がこの範囲未満の場合は現像時に膜劣化が生じる、皮膜の機械強度が不十分になる、等の問題を生じる場合がある。 The weight average molecular weight by GPC measurement of the polyimide precursor resin constituting the negative photosensitive resin composition of the present invention is preferably in the range of 20,000 to 400,000. When the weight average molecular weight exceeds this range, the printability of the composition is liable to be lowered, and the remaining residue during development is likely to occur. On the other hand, if the weight average molecular weight is less than this range, problems such as film deterioration during development and insufficient mechanical strength of the film may occur.
本発明のネガ型感光性樹脂組成物を構成する密着向上剤として、チアジアゾール骨格又はトリアゾール骨格とチオール基とを有する化合物を使用する。チアジアゾール骨格又はトリアゾール骨格とチオール基とを有する化合物としては、式(VII)で表される5−アミノ−1,3,4−チアジアゾール−2−チオール、式(VIII)で表される1,3,4−チアジアゾール−2,5−チオール、式(IX)で表される5―メチル−1,3,4−チアジアゾール−2−チオール、式(X)で表される1H−1,3,4−トリアゾール−3−チオール等が挙げられる。 A compound having a thiadiazole skeleton or a triazole skeleton and a thiol group is used as an adhesion improver constituting the negative photosensitive resin composition of the present invention. As a compound having a thiadiazole skeleton or a triazole skeleton and a thiol group, 5-amino-1,3,4-thiadiazole-2-thiol represented by the formula (VII), 1,3 represented by the formula (VIII) , 4-thiadiazole-2,5-thiol, 5-methyl-1,3,4-thiadiazole-2-thiol represented by formula (IX), 1H-1,3,4 represented by formula (X) -Triazole-3-thiol etc. are mentioned.
これらの密着向上剤は、現像性を損なうことなく基材とポリイミド膜との密着性を向上させる効果に優れている。特に基材がニッケルである場合に密着力向上効果が高い。 These adhesion improvers are excellent in the effect of improving the adhesion between the substrate and the polyimide film without impairing the developability. In particular, when the base material is nickel, the effect of improving the adhesion is high.
本発明のネガ型感光性樹脂組成物を構成する光重合性モノマーは、X線、電子線、紫外線等を照射(露光)することで架橋する光反応性官能基を持つモノマーである。本発明では、光重合性モノマーとして、不飽和二重結合等の光反応性官能基と、アミノ基とを有する化合物を使用することが好ましい。このような化合物として、メタクリル酸N,N−ジメチルアミノエチル、アクリル酸N,N−ジメチルアミノエチル、メタクリル酸N,N−ジエチルアミノエチル、アクリル酸N,N−ジエチルアミノエチル、メタクリル酸N,N−ジメチルアミノメチル、メタクリル酸N,N−ジメチルアミノプロピル、アクリル酸N,N−ジメチルアミノメチル、アクリル酸N,N−ジメチルアミノプロピル、アクリルアミド、メタクリルアミド、N−メチルメタクリルアミド、N−メチルアクリルアミド、N−エチルメタクリルアミド、N−エチルアクリルアミド、N−イソプロピルメタクリルアミド、N−イソプロピルアクリルアミド、N−ブチルメタクリルアミド、N−ブチルアクリルアミド、ジアセトンアクリルアミド、ジアセトンメタクリルアミド、N−シクロヘキシルメタクリルアミド、N−シクロヘキシルアクリルアミド、N−メチロ−ルアクリルアミド、アクリロイルモルホリン、メタクリロイルモルホリン、アクリロイルピペリジン、メタクリロイルピペリジン、クロトンアミド、N−メチルクロトンアミド、N−イソプロピルクロトンアミド、N−ブチルクロトンアミド、酢酸アリルアミド、プロピオン酸アリルアミドなどが例示される。光重合性モノマーはポリイミド前駆体樹脂のカルボキシル基に対して1〜1.5当量の範囲で配合することが好ましい。 The photopolymerizable monomer constituting the negative photosensitive resin composition of the present invention is a monomer having a photoreactive functional group that is crosslinked by irradiation (exposure) with X-rays, electron beams, ultraviolet rays, or the like. In the present invention, it is preferable to use a compound having a photoreactive functional group such as an unsaturated double bond and an amino group as the photopolymerizable monomer. Such compounds include N, N-dimethylaminoethyl methacrylate, N, N-dimethylaminoethyl acrylate, N, N-diethylaminoethyl methacrylate, N, N-diethylaminoethyl acrylate, N, N-methacrylate. Dimethylaminomethyl, N, N-dimethylaminopropyl methacrylate, N, N-dimethylaminomethyl acrylate, N, N-dimethylaminopropyl acrylate, acrylamide, methacrylamide, N-methylmethacrylamide, N-methylacrylamide, N-ethyl methacrylamide, N-ethyl acrylamide, N-isopropyl methacrylamide, N-isopropyl acrylamide, N-butyl methacrylamide, N-butyl acrylamide, diacetone acrylamide, diacetone methacrylamide N-cyclohexylmethacrylamide, N-cyclohexylacrylamide, N-methylacrylamide, acryloylmorpholine, methacryloylmorpholine, acryloylpiperidine, methacryloylpiperidine, crotonamide, N-methylcrotonamide, N-isopropylcrotonamide, N-butyl Examples include crotonamide, acetic acid allylamide, propionic acid allylamide, and the like. The photopolymerizable monomer is preferably blended in the range of 1 to 1.5 equivalents relative to the carboxyl group of the polyimide precursor resin.
さらに本発明では、光重合性モノマーとして光反応性官能基とグリシジル基を有する化合物を少量添加してもよい。光反応性官能基とグリシジル基を有する化合物としてはグリシジルメタクリレート、グリシジルアクリレートなどのグリシジル(メタ)アクリレートを使用することができる。その他には、4−ヒドロキシブチルアクリレートグリシジルエーテルやアリルグリシジルエーテルなどの化合物も使用できる。 Furthermore, in the present invention, a small amount of a compound having a photoreactive functional group and a glycidyl group may be added as a photopolymerizable monomer. As the compound having a photoreactive functional group and a glycidyl group, glycidyl (meth) acrylate such as glycidyl methacrylate and glycidyl acrylate can be used. In addition, compounds such as 4-hydroxybutyl acrylate glycidyl ether and allyl glycidyl ether can also be used.
本発明の感光性樹脂組成物を構成する光重合開始剤としては、i線(波長365nm)吸収タイプとしてはα−アミノケトン型のもの、g線(波長436nm)吸収タイプとしてはチタノセン化合物等のメタロセン系のものがそれぞれ好ましく用いられる。いずれの開始剤も、ポリイミド前駆体樹脂固形分に対して0.1〜10重量%配合することによって良好な現像性が得られる。厚膜を形成する場合には、低CTEポリイミドの前駆体では、長波長側の吸収が存在するため、g線吸収タイプの光重合開始剤を用いることが望ましい。 The photopolymerization initiator constituting the photosensitive resin composition of the present invention includes an α-aminoketone type as the i-line (wavelength 365 nm) absorption type and a metallocene such as a titanocene compound as the g-line (wavelength 436 nm) absorption type. Those of the system are preferably used. When any initiator is blended in an amount of 0.1 to 10% by weight based on the solid content of the polyimide precursor resin, good developability can be obtained. In the case of forming a thick film, it is desirable to use a g-line absorption type photopolymerization initiator because the low CTE polyimide precursor has absorption on the long wavelength side.
本発明のネガ型感光性樹脂組成物は、上記のポリイミド前駆体樹脂と光重合性モノマー、重合開始剤を混合することで得ることができる。また本発明の感光性樹脂組成物には、必要に応じて、種々の添加剤を含有していても良い。添加剤としては、現像時の視認性向上のための染料、顔料としてフェノールフタレイン、フェノールレッド、ニールレッド、ピロガロールレッド、ピロガロールバイレット、ディスパースレッド1、ディスパースレッド13、ディスパースレッド19、ディスパースオレンジ1、ディスパースオレンジ3、ディスパースオレンジ13、ディスパースオレンジ25、ディスパースブルー3、ディスパースブルー14、エオシンB、ロダミンB、キナリザリン、5−(4−ジメチルアミノベンジリデン)ロダニン、アウリントリカルボキシアシド、アルミノン、アリザリン、パラローザニリン、エモジン、チオニン、メチレンバイオレット、ピグメントブルー、ピグメントレッド等が例示できる。また非露光部の溶解促進を向上するための添加剤としてベンゼンスルホンアミド、N−メチルベンゼンスルホンアミド、N−エチルベンゼンスルホンアミド、N,N−ジメチルベンゼンスルホンアミド、N−n−ブチルベンゼンスルホンアミド、N−t−ブチルベンゼンスルホンアミド、N,N−ジ−n−ブチルベンゼンスルホンアミド、ベンゼンスルホンアニリド、N,N−ジフェニルベンゼンスルホンアミド、N−p−トリルベンゼンスルホンアミド、N−o−トリルベンゼンスルホンアミド、N−m−トリルベンゼンスルホンアミド、N,N−ジ−p−トリルベンゼンスルホンアミド、p−トルエンスルホンアミド、N−メチル−p−トルエンスルホンアミド、N−エチル−p−トルエンスルホンアミド、N,N−ジメチル−p−トルエンスルホンアミド、N−n−ブチル−p−トルエンスルホンアミド、N−t−ブチル−p−トルエンスルホンアミド、N,N−ジ−n−ブチル−p−トルエンスルホンアミド、N−フェニル−p−トルエンスルホンアミド、N,N−ジフェニル−p−トルエンスルホンアミド、N−p−トリル−p−トルエンスルホンアミド、N−m−トリル−p−トルエンスルホンアミド、N,N−ジ−p−トリル−p−トルエンスルホンアミド、N,N−ジ−m−トリル−p−トルエンスルホンアミド、o−トルエンスルホンアミド、N−メチル−o−トルエンスルホンアミド、N−エチル−o−トルエンスルホンアミド、N,N−ジメチル−o−トルエンスルホンアミド、N−n−ブチル−o−トルエンスルホンアミド、N−t−ブチル−o−トルエンスルホンアミド、N,N−ジ−n−ブチル−o−トルエンスルホンアミド、N−フェニル−o−トルエンスルホンアミド、N,N−ジフェニル−o−トルエンスルホンアミド、N−p−トリル−o−トルエンスルホンアミド、N−m−トリル−o−トルエンスルホンアミド、N,N−ジ−p−トリル−o−トルエンスルホンアミド、N,N−ジ−m−トリル−o−トルエンスルホンアミド、ナフタレンスルホンアミド、N−メチルナフタレンスルホンアミド、N−エチルナフタレンスルホンアミド、N,N−ジメチルナフタレンスルホンアミド、N−n−ブチルナフタレンスルホンアミド、N−t−ブチルナフタレンスルホンアミド、N,N−ジ−n−ブチルナフタレンスルホンアミド、N−フェニルナフタレンスルホンアミド、N,N−ジフェニルナフタレンスルホンアミド、N−p−トリルナフタレンスルホンアミド、N−o−トリルナフタレンスルホンアミド、N−m−トリルナフタレンスルホンアミド、N,N−ジ−p−トリルナフタレンスルホンアミド、N,N−ジ−m−トリルナフタレンスルホンアミド、2,3−ジメチルベンゼンスルホンアミド、N−メチル−2,3−ジメチルベンゼンスルホンアミド、N−n−ブチル−2,3−ジメチルベンゼンスルホンアミド、p−エチルベンゼンスルホンアミド、N−メチル−p−エチルベンゼンスルホンアミド、N−エチルベンゼンスルホンアミド、N,N−ジメチルベンゼンスルホンアミド、N−n−ブチル−p−エチルベンゼンスルホンアミド等が例示できる。 The negative photosensitive resin composition of this invention can be obtained by mixing said polyimide precursor resin, a photopolymerizable monomer, and a polymerization initiator. Moreover, the photosensitive resin composition of this invention may contain various additives as needed. Additives include dyes for improving visibility during development, and pigments include phenolphthalein, phenol red, neil red, pyrogallol red, pyrogallol billet, disperse thread 1, disper thread 13, disper thread 19, disperse orange 1, disperse orange 3, disperse orange 13, disperse orange 25, disperse blue 3, disperse blue 14, eosin B, rhodamine B, quinalizarin, 5- (4-dimethylaminobenzylidene) rhodanine, aurin tricarboxyacid , Aluminone, alizarin, pararosaniline, emodin, thionine, methylene violet, pigment blue, pigment red and the like. Further, as an additive for improving the dissolution promotion of the non-exposed portion, benzenesulfonamide, N-methylbenzenesulfonamide, N-ethylbenzenesulfonamide, N, N-dimethylbenzenesulfonamide, Nn-butylbenzenesulfonamide, Nt-butylbenzenesulfonamide, N, N-di-n-butylbenzenesulfonamide, benzenesulfonanilide, N, N-diphenylbenzenesulfonamide, Np-tolylbenzenesulfonamide, N-o-tolylbenzene Sulfonamide, Nm-tolylbenzenesulfonamide, N, N-di-p-tolylbenzenesulfonamide, p-toluenesulfonamide, N-methyl-p-toluenesulfonamide, N-ethyl-p-toluenesulfonamide N, N-dimethyl-p-tolu Sulfonamide, Nn-butyl-p-toluenesulfonamide, Nt-butyl-p-toluenesulfonamide, N, N-di-n-butyl-p-toluenesulfonamide, N-phenyl-p- Toluenesulfonamide, N, N-diphenyl-p-toluenesulfonamide, Np-tolyl-p-toluenesulfonamide, Nm-tolyl-p-toluenesulfonamide, N, N-di-p-tolyl- p-toluenesulfonamide, N, N-di-m-tolyl-p-toluenesulfonamide, o-toluenesulfonamide, N-methyl-o-toluenesulfonamide, N-ethyl-o-toluenesulfonamide, N, N-dimethyl-o-toluenesulfonamide, Nn-butyl-o-toluenesulfonamide, Nt-butyl-o-tolue Sulfonamide, N, N-di-n-butyl-o-toluenesulfonamide, N-phenyl-o-toluenesulfonamide, N, N-diphenyl-o-toluenesulfonamide, Np-tolyl-o-toluene Sulfonamide, Nm-tolyl-o-toluenesulfonamide, N, N-di-p-tolyl-o-toluenesulfonamide, N, N-di-m-tolyl-o-toluenesulfonamide, naphthalenesulfonamide N-methylnaphthalenesulfonamide, N-ethylnaphthalenesulfonamide, N, N-dimethylnaphthalenesulfonamide, Nn-butylnaphthalenesulfonamide, Nt-butylnaphthalenesulfonamide, N, N-di-n- Butylnaphthalenesulfonamide, N-phenylnaphthalenesulfonamide, N, N-di Phenylnaphthalenesulfonamide, Np-tolylnaphthalenesulfonamide, No-tolylnaphthalenesulfonamide, Nm-tolylnaphthalenesulfonamide, N, N-di-p-tolylnaphthalenesulfonamide, N, N-di -M-Tolylnaphthalenesulfonamide, 2,3-dimethylbenzenesulfonamide, N-methyl-2,3-dimethylbenzenesulfonamide, Nn-butyl-2,3-dimethylbenzenesulfonamide, p-ethylbenzenesulfonamide N-methyl-p-ethylbenzenesulfonamide, N-ethylbenzenesulfonamide, N, N-dimethylbenzenesulfonamide, Nn-butyl-p-ethylbenzenesulfonamide and the like.
上記のネガ型感光性樹脂組成物を基材上に塗布する工程、得られた膜を加熱して溶媒を除去する工程、溶媒を除去した膜に対して、マスクを通して露光する工程、現像液を用いて現像する工程、現像後の膜を加熱硬化する工程により、ポリイミド樹脂膜が得られる。 A step of applying the negative photosensitive resin composition on a substrate, a step of heating the obtained film to remove the solvent, a step of exposing the film from which the solvent has been removed through a mask, and a developer A polyimide resin film is obtained by the step of developing using and the step of heat-curing the film after development.
感光性樹脂組成物の塗布は、スクリーン印刷やスピンコート等、一般的な方法を用いることができる。またその後の工程についても、従来のネガ型感光性樹脂組成物を使用する場合と同様に行うことができる。 For the application of the photosensitive resin composition, a general method such as screen printing or spin coating can be used. Moreover, it can carry out similarly to the case where the conventional negative photosensitive resin composition is used also about a subsequent process.
このようにして得られたポリイミド樹脂膜は厚膜成形が可能であり、現像時の膜厚を20μm以上にできる。また熱膨張係数を10ppm/℃以上30ppm/℃以下とすることができる。ステンレスの熱膨張係数は約17ppm/℃、銅の熱膨張係数は約19ppm/℃であるため、ポリイミド樹脂膜の熱膨張係数を10ppm/℃以上30ppm/℃以下、さらに好ましくは15ppm/℃以上20ppm/℃以下とすることで、ポリイミド樹脂膜の熱膨張係数を金属の熱膨張係数により近づけることができ、両者を組み合わせた場合に、温度変化による反りの少ない製品を得ることができる。 The polyimide resin film thus obtained can be formed into a thick film, and the film thickness during development can be 20 μm or more. Further, the thermal expansion coefficient can be 10 ppm / ° C. or more and 30 ppm / ° C. or less. Since the thermal expansion coefficient of stainless steel is about 17 ppm / ° C and the thermal expansion coefficient of copper is about 19 ppm / ° C, the thermal expansion coefficient of the polyimide resin film is 10 ppm / ° C to 30 ppm / ° C, more preferably 15 ppm / ° C to 20 ppm. By setting the temperature to / ° C. or less, the thermal expansion coefficient of the polyimide resin film can be made closer to the thermal expansion coefficient of the metal, and when both are combined, a product with less warpage due to temperature change can be obtained.
なお、熱膨張係数は熱機械分析装置(TMA)により測定することができ、ここでは50℃から150℃までの平均値とする。 In addition, a thermal expansion coefficient can be measured with a thermomechanical analyzer (TMA), and is made into the average value from 50 degreeC to 150 degreeC here.
また本発明は、上記のポリイミド樹脂膜を保護膜として有するフレキシブルプリント配線板を提供する。例えばポリイミド基材の片面に銅等の金属からなる導体配線を有し、その導体配線上に上記のポリイミド樹脂膜をカバーレイフィルム(保護膜)として有する片面フレキシブルプリント配線板が例示できる。またステンレス等の金属箔基材上にポリイミド等の絶縁層を有し、その上に銅等の金属からなる導体配線(回路)を有し、その導体配線上に上記のポリイミド樹脂膜を保護膜として有する回路付きサスペンション基板も例示できる。導体配線(回路)はニッケルメッキして使用されることがあり、この場合、特にポリイミド膜と導体配線との密着力が向上して好ましい。また、上記のポリイミド樹脂膜を金属箔基材上の絶縁層として使用することも可能である。この回路付きサスペンション基板は、ハードディスクドライブに使用されるサスペンション用の基板として用いられる。 Moreover, this invention provides the flexible printed wiring board which has said polyimide resin film as a protective film. For example, a single-sided flexible printed wiring board having conductor wiring made of a metal such as copper on one side of a polyimide base material and having the polyimide resin film as a coverlay film (protective film) on the conductor wiring can be exemplified. In addition, an insulating layer such as polyimide is provided on a metal foil base material such as stainless steel, conductor wiring (circuit) made of metal such as copper is provided thereon, and the polyimide resin film is protected on the conductor wiring. Examples of the suspension board with circuit included in FIG. The conductor wiring (circuit) may be used after being nickel-plated, and in this case, the adhesion between the polyimide film and the conductor wiring is particularly improved. Moreover, it is also possible to use said polyimide resin film as an insulating layer on a metal foil base material. This suspension board with circuit is used as a suspension board used in a hard disk drive.
次に発明を実施するための最良の形態を実施例により説明する。実施例は本発明の範囲を限定するものではない。 Next, the best mode for carrying out the invention will be described by way of examples. The examples are not intended to limit the scope of the invention.
(実施例1)
2,2’−ジメチル4,4’−ジアミノビフェニル(mTBHG)35.5g(120mmol)、p−フェニレンジアミン(PPD)19.4g(180mmol)をN−メチルピロリドン700gに溶解させた後、3,4,3’,4’−ビフェニルテトラカルボン酸二無水物(BPDA)44.2g(150mmol)とピロメリット酸二無水物(PMDA)32.7g(150mmol)を加えて窒素雰囲気下室温で1時間撹拌した。その後60℃で20時間撹拌し反応を終えた。合成した共重合ワニスの固形分は16.5%であり、24℃での粘度は20,000cpsであった(B型粘度計で測定)。このワニスに、密着向上剤として5−アミノ−1,3,4−チアジアゾール−2−チオールをワニスの固形分全体に対して0.5重量%混合すると共に、光重合性モノマーであるメタクリル酸N,N−ジメチルアミノエチルをポリアミック酸のカルボン酸に対して1.2当量、重合開始剤として2−ベンジル2−(ジメチルアミノ)−1−[4−(4−モルフォリニル)フェニル]−1−ブタノンとビス(シクロペンタジエニル)−ビス[2,6−ジフルオロ−3−(ピリ−1−イル)フェニル]チタンをワニス固形分全体に対してそれぞれ4%と2%混合し、さらにベンゼンスルホンアニリドをワニスの固形分全体に対して5%混合し、ネガ型感光性樹脂組成物を作製した。
Example 1
2,5′-dimethyl 4,4′-diaminobiphenyl (mTBHG) 35.5 g (120 mmol) and p-phenylenediamine (PPD) 19.4 g (180 mmol) were dissolved in 700 g of N-methylpyrrolidone, Add 44.2 g (150 mmol) of 4,3 ′, 4′-biphenyltetracarboxylic dianhydride (BPDA) and 32.7 g (150 mmol) of pyromellitic dianhydride (PMDA) for 1 hour at room temperature in a nitrogen atmosphere. Stir. Thereafter, the reaction was completed by stirring at 60 ° C. for 20 hours. The synthesized copolymer varnish had a solid content of 16.5% and a viscosity at 24 ° C. of 20,000 cps (measured with a B-type viscometer). The varnish was mixed with 0.5% by weight of 5-amino-1,3,4-thiadiazole-2-thiol as an adhesion improver based on the total solid content of the varnish, and methacrylic acid N, which is a photopolymerizable monomer. , N-dimethylaminoethyl with respect to carboxylic acid of polyamic acid, 1.2 equivalent, 2-benzyl 2- (dimethylamino) -1- [4- (4-morpholinyl) phenyl] -1-butanone as a polymerization initiator And bis (cyclopentadienyl) -bis [2,6-difluoro-3- (py-1-yl) phenyl] titanium are mixed in an amount of 4% and 2%, respectively, based on the total varnish solid content, and further benzenesulfonanilide. Was mixed with 5% of the entire solid content of the varnish to prepare a negative photosensitive resin composition.
厚み40μmの銅箔上に上記ネガ型感光性樹脂組成物をスピンコート法によって塗布した後、90℃で30分間加熱乾燥して厚み20μmの感光性ポリイミド前駆体の被膜を形成した。次いでネガ型のテストパターンを介し露光量500mJ/cm2で紫外光を照射した後、105℃で10分間ポストベークを行った。続いて有機溶剤系現像液を用いて30℃で現像処理を行い、蒸留水で十分洗浄した後、窒素気流で強制風乾燥した。その後、窒素雰囲気下で120℃で30分間、220℃で30分間、340℃で60分間の熱処理を行ってポリイミド前駆体のイミド化を行ったところ、膜減りもほぼなく良好な現像パターンを保ったポリイミド樹脂膜が得られた。得られた硬化後ポリイミド膜の熱膨張係数は17ppm/℃、残膜率は85%であった。なお、熱膨張係数はセイコーインスツルメンツ(株)製熱応力歪測定装置「TMA/SS120C」を用いたTMA測定(引張試験)で行い、温度範囲−50℃→200℃→−50℃の温度上昇、下降の両方で測定して、50℃から150℃までの温度範囲での平均値を求めた。得られたサンプルを5.0mm幅に切断して180°剥離試験を行い、銅とポリイミド膜との接着力を測定したところ、銅に対する接着力は0.9kgf/cmであった。 The negative photosensitive resin composition was applied onto a copper foil having a thickness of 40 μm by a spin coating method, followed by heating and drying at 90 ° C. for 30 minutes to form a film of a photosensitive polyimide precursor having a thickness of 20 μm. Next, ultraviolet light was irradiated through a negative test pattern at an exposure amount of 500 mJ / cm 2 and then post-baked at 105 ° C. for 10 minutes. Subsequently, development processing was performed at 30 ° C. using an organic solvent-based developer, washed thoroughly with distilled water, and then forced-air dried with a nitrogen stream. Then, when the polyimide precursor was imidized by performing heat treatment at 120 ° C. for 30 minutes, 220 ° C. for 30 minutes, and 340 ° C. for 60 minutes in a nitrogen atmosphere, a good development pattern was maintained with almost no film loss. A polyimide resin film was obtained. The obtained cured polyimide film had a thermal expansion coefficient of 17 ppm / ° C. and a residual film ratio of 85%. The thermal expansion coefficient is measured by TMA measurement (tensile test) using a thermal stress strain measuring device “TMA / SS120C” manufactured by Seiko Instruments Inc., and the temperature rise is −50 ° C. → 200 ° C. → −50 ° C. The average value in the temperature range from 50 ° C. to 150 ° C. was determined by measuring both in descending. The obtained sample was cut to a width of 5.0 mm, subjected to a 180 ° peel test, and the adhesion between copper and the polyimide film was measured. The adhesion to copper was 0.9 kgf / cm.
銅箔上に無電解ニッケルメッキを施した基材上に上記ネガ型感光性樹脂組成物をスピンコート法によって塗布した後上記と同様の条件で処理して、ニッケルとポリイミド膜との接着力を測定した。ニッケルに対する接着力は0.7kgf/cmであった。 The negative photosensitive resin composition is applied onto a base material plated with electroless nickel on a copper foil by a spin coating method and then treated under the same conditions as above to increase the adhesion between nickel and the polyimide film. It was measured. The adhesion strength to nickel was 0.7 kgf / cm.
(比較例1)
密着向上剤としての5−アミノ−1,3,4−チアジアゾール−2−チオールを添加しなかったこと以外は実施例1と同様の操作を行って銅箔上及び無電解ニッケルメッキした銅箔上にプリベーク後の厚みが20μmであるポリイミド膜を作成した。膜減りもほぼなく良好な現像パターンを保ったポリイミド樹脂膜が得られたが、銅及びニッケルとの接着力を評価したところ、銅に対する接着力は0.5kgf/cm、ニッケルに対する接着力は0.3kgf/cmであり、実施例1と比較すると接着力が低い。
(Comparative Example 1)
On copper foil and electroless nickel-plated copper foil by performing the same operation as in Example 1 except that 5-amino-1,3,4-thiadiazole-2-thiol as an adhesion improver was not added A polyimide film having a thickness of 20 μm after pre-baking was prepared. A polyimide resin film having a good development pattern with almost no film loss was obtained. However, when the adhesive strength with copper and nickel was evaluated, the adhesive strength with respect to copper was 0.5 kgf / cm, and the adhesive strength with respect to nickel was 0. .3 kgf / cm, which is lower in adhesion than Example 1.
(実施例2)
2,2’−ビス(トリフルオロメチル)4,4’−ジアミノビフェニル(TFMB)43.2g(135mmol)、2,2’−ジメチル4,4’−ジアミノビフェニル(mTBHG)33.8g(159mmol)、1,3−ビス(3−アミノプロピル)テトラメチルジシロキサン(APDS)1.49g(6.0mmol)をN−メチルピロリドン700gに溶解させた後、3,4,3’,4’−ビフェニルテトラカルボン酸二無水物(BPDA)44.2g(150mmol)とピロメリット酸二無水物(PMDA)32.7g(150mmol)を加えて窒素雰囲気下室温で1時間撹拌した。その後60℃で20時間撹拌し反応を終えた。合成した共重合ワニスの固形分は18.2%であり、24℃での粘度は24,000cpsであった(B型粘度計で測定)。このワニスに密着向上剤として5−アミノ−1,3,4−チアジアゾール−2−チオールをワニスの固形分全体に対して0.27重量%混合すると共に、光重合性モノマーであるメタクリル酸N,N−ジメチルアミノエチルをポリアミック酸のカルボン酸に対して1.2当量、重合開始剤として2−ベンジル2−(ジメチルアミノ)−1−[4−(4−モルフォリニル)フェニル]−1−ブタノンとビス(シクロペンタジエニル)−ビス[2,6−ジフルオロ−3−(ピリ−1−イル)フェニル]チタンをワニス固形分全体に対してそれぞれ4%と2%混合し、さらにベンゼンスルホンアニリドをワニスの固形分全体に対して5%混合し、ネガ型感光性樹脂組成物を作製した。
(Example 2)
2,2′-bis (trifluoromethyl) 4,4′-diaminobiphenyl (TFMB) 43.2 g (135 mmol), 2,2′-dimethyl4,4′-diaminobiphenyl (mTBHG) 33.8 g (159 mmol) 1,3-bis (3-aminopropyl) tetramethyldisiloxane (APDS) 1.49 g (6.0 mmol) was dissolved in 700 g of N-methylpyrrolidone, and then 3,4,3 ′, 4′-biphenyl was dissolved. Tetracarboxylic dianhydride (BPDA) 44.2 g (150 mmol) and pyromellitic dianhydride (PMDA) 32.7 g (150 mmol) were added, and the mixture was stirred at room temperature for 1 hour in a nitrogen atmosphere. Thereafter, the reaction was completed by stirring at 60 ° C. for 20 hours. The synthesized copolymer varnish had a solid content of 18.2% and a viscosity at 24 ° C. of 24,000 cps (measured with a B-type viscometer). In this varnish, 5-amino-1,3,4-thiadiazole-2-thiol was mixed as an adhesion improver in an amount of 0.27% by weight based on the entire solid content of the varnish, and a photopolymerizable monomer, methacrylic acid N, 1.2 equivalents of N-dimethylaminoethyl to carboxylic acid of polyamic acid, and 2-benzyl 2- (dimethylamino) -1- [4- (4-morpholinyl) phenyl] -1-butanone as a polymerization initiator Bis (cyclopentadienyl) -bis [2,6-difluoro-3- (py-1-yl) phenyl] titanium is mixed with 4% and 2% of the total varnish solid content, respectively, and benzenesulfonanilide is further added. 5% of the solid content of the varnish was mixed to prepare a negative photosensitive resin composition.
得られたネガ型感光性樹脂組成物を用いて、実施例1と同様の操作を行って銅箔上及び無電解ニッケルメッキした銅箔上にプリベーク後の厚みが20μmであるポリイミド膜を作成した。膜減りもほぼなく良好な現像パターンを保ったポリイミド樹脂膜が得られた。得られた硬化後ポリイミド膜の熱膨張係数は17ppm/℃、残膜率は85%であった。銅及びニッケルとの接着力を評価したところ、銅に対する接着力は1.0kgf/cm、ニッケルに対する接着力は0.7kgf/cmであり、実施例1と同様に基材との密着性は良好である。 Using the obtained negative photosensitive resin composition, the same operation as in Example 1 was performed to create a polyimide film having a thickness after pre-baking of 20 μm on the copper foil and the electroless nickel-plated copper foil. . A polyimide resin film having almost no film reduction and maintaining a good development pattern was obtained. The obtained cured polyimide film had a thermal expansion coefficient of 17 ppm / ° C. and a residual film ratio of 85%. When the adhesive strength with copper and nickel was evaluated, the adhesive strength with respect to copper was 1.0 kgf / cm, the adhesive strength with respect to nickel was 0.7 kgf / cm, and the adhesion to the substrate was good as in Example 1. It is.
(参考例1〜2、実施例5〜6、比較例2)
5−アミノ−1,3,4−チアジアゾール−2−チオールの添加量を表1に示す量にしたこと以外は実施例2と同様の操作を行ってニッケル上にプリベーク後の厚みが20μmであるポリイミド膜を作成してニッケルとの接着力を評価した。結果を表1に示す。
( Reference Examples 1-2 , Examples 5-6 , Comparative Example 2)
Except that the addition amount of 5-amino-1,3,4-thiadiazole-2-thiol was changed to the amount shown in Table 1, the same operation as in Example 2 was performed, and the thickness after pre-baking on nickel was 20 μm. A polyimide film was prepared and evaluated for adhesion with nickel. The results are shown in Table 1.
5−アミノ−1,3,4−チアジアゾール−2−チオールを添加していない比較例2と比べると、5−アミノ−1,3,4−チアジアゾール−2−チオールを0.07重量%添加した参考例1では接着力が0.44kgf/cmとわずかではあるが接着力が向上している。5−アミノ−1,3,4−チアジアゾール−2−チオールの添加量が増えるに従ってニッケルに対する接着力は向上し、添加量が0.2重量%〜1.0重量%の範囲である実施例2、実施例5、実施例6では接着力が0.6kgf/cmとなり、添加量をこの範囲にすることが特に好ましいことがわかる。なお比較例2のワニスでは銅に対する接着力も評価し、結果は0.52kgf/cmであった。
Compared to Comparative Example 2 in which 5-amino-1,3,4-thiadiazole-2-thiol was not added, 0.07% by weight of 5-amino-1,3,4-thiadiazole-2-thiol was added. In Reference Example 1 , the adhesive force is improved although the adhesive force is as small as 0.44 kgf / cm. Example 2 in which the adhesion to nickel is improved as the addition amount of 5-amino-1,3,4-thiadiazole-2-thiol increases, and the addition amount is in the range of 0.2 wt% to 1.0 wt%. In Examples 5 and 6, the adhesive strength is 0.6 kgf / cm, and it can be seen that it is particularly preferable to set the addition amount within this range. In addition, in the varnish of the comparative example 2, the adhesive force with respect to copper was also evaluated, and the result was 0.52 kgf / cm.
(実施例7)
2,2’−ビス(トリフルオロメチル)4,4’−ジアミノビフェニル(TFMB)48.0g(150mmol)、p−フェニレンジアミン(PPD)16.2g(150mmol)をN−メチルピロリドン700gに溶解させた後、3,4,3’,4’−ビフェニルテトラカルボン酸二無水物(BPDA)88.3g(300mmol)を加えて窒素雰囲気下室温で1時間撹拌した。その後60℃で20時間撹拌し反応を終えた。合成した共重合ワニスの固形分は16.2%であり、24℃での粘度は24,000cpsであった(B型粘度計で測定)。このワニスに密着向上剤として5−アミノ−1,3,4−チアジアゾール−2−チオールをワニスの固形分全体に対して0.7重量%混合すると共に、光重合性モノマーであるメタクリル酸N,N−ジメチルアミノエチルをポリアミック酸のカルボン酸に対して1.2当量、また重合開始剤として2−ベンジル2−(ジメチルアミノ)−1−[4−(4−モルフォリニル)フェニル]−1−ブタノンとビス(シクロペンタジエニル)−ビス[2,6−ジフルオロ−3−(ピリ−1−イル)フェニル]チタンをワニス固形分全体に対してそれぞれ1%と3%混合し、さらにベンゼンスルホンアニリドをワニス固形分全体に対して6%混合し、ネガ型感光性樹脂組成物を作製した。
(Example 7)
2,2′-bis (trifluoromethyl) 4,4′-diaminobiphenyl (TFMB) 48.0 g (150 mmol) and p-phenylenediamine (PPD) 16.2 g (150 mmol) were dissolved in N-methylpyrrolidone 700 g. Thereafter, 88.3 g (300 mmol) of 3,4,3 ′, 4′-biphenyltetracarboxylic dianhydride (BPDA) was added and stirred at room temperature for 1 hour under a nitrogen atmosphere. Thereafter, the reaction was completed by stirring at 60 ° C. for 20 hours. The synthesized copolymer varnish had a solid content of 16.2% and a viscosity at 24 ° C. of 24,000 cps (measured with a B-type viscometer). While mixing 0.7 wt% of 5-amino-1,3,4-thiadiazole-2-thiol as an adhesion improver to the varnish with respect to the entire solid content of the varnish, methacrylic acid N, which is a photopolymerizable monomer, 1.2 equivalents of N-dimethylaminoethyl to carboxylic acid of polyamic acid, and 2-benzyl 2- (dimethylamino) -1- [4- (4-morpholinyl) phenyl] -1-butanone as a polymerization initiator And bis (cyclopentadienyl) -bis [2,6-difluoro-3- (py-1-yl) phenyl] titanium are mixed in an amount of 1% and 3%, respectively, with respect to the entire varnish solid content, and further benzenesulfonanilide. Was mixed 6% with respect to the whole varnish solid content, and the negative photosensitive resin composition was produced.
得られたネガ型感光性樹脂組成物を用いて、実施例1と同様の操作を行って銅箔上及び無電解ニッケルメッキした銅箔上にプリベーク後の厚みが20μmであるポリイミド膜を作成した。膜減りもほぼなく良好な現像パターンを保ったポリイミド樹脂膜が得られた。得られた硬化後ポリイミド膜の熱膨張係数は16ppm/℃、残膜率は85%であった。銅及びニッケルとの接着力を評価したところ、銅に対する接着力は0.71kgf/cm、ニッケルに対する接着力は0.73kgf/cmであり、実施例1と同様に基材との密着性は良好である。 Using the obtained negative photosensitive resin composition, the same operation as in Example 1 was performed to create a polyimide film having a thickness after pre-baking of 20 μm on the copper foil and the electroless nickel-plated copper foil. . A polyimide resin film having almost no film reduction and maintaining a good development pattern was obtained. The obtained cured polyimide film had a thermal expansion coefficient of 16 ppm / ° C. and a residual film ratio of 85%. When the adhesive strength with copper and nickel was evaluated, the adhesive strength with respect to copper was 0.71 kgf / cm, the adhesive strength with respect to nickel was 0.73 kgf / cm, and the adhesion to the substrate was good as in Example 1. It is.
(比較例3〜11)
密着向上剤の種類及び添加量を表2に示すものに変更したこと以外は実施例7と同様の操作を行って銅箔上及び無電解ニッケルメッキした銅箔上にプリベーク後の厚みが20μmであるポリイミド膜を作成し、銅及びニッケルに対する接着力を評価した。結果を表2に示す。
(Comparative Examples 3 to 11)
The thickness after pre-baking on the copper foil and the electroless nickel-plated copper foil is 20 μm by performing the same operation as in Example 7 except that the type and amount of adhesion improver are changed to those shown in Table 2. A polyimide film was prepared and evaluated for adhesion to copper and nickel. The results are shown in Table 2.
(*1)(日本サイテックインダストリーズ(株)製、サイメル(登録商標)303:ヘキサメトキシメラミン)
(*2)信越化学工業(株)製、KBM−573
(*3)(シプロ化成(株)製、SEETEC BT−R)
(* 1) (Nippon Cytec Industries, Inc., Cymel (registered trademark) 303: Hexamethoxymelamine)
(* 2) Shin-Etsu Chemical Co., Ltd., KBM-573
(* 3) (Cipro Kasei Co., Ltd., SEETEC BT-R)
評価基準は、銅に対する接着力を0.7kgf/cm以上、ニッケルに対する接着力を0.4kgf/cm以上とする。密着向上剤として5−アミノ−1,3,4−チアジアゾール−2−チオールを用いた実施例1〜3ではどちらも評価基準を満たしている。密着向上剤としてメラミン化合物を用いた比較例4、5では、密着向上剤を添加していない比較例3と比べて銅に対する接着力は少し向上しているがニッケルに対する接着力はほとんど変化が無い。シランカップリング剤を用いて添加量を0.70重量%とした比較例7では、若干ニッケルに対する接着力が向上しているが、逆に銅に対する接着力は低くなり評価基準を満たしていない。ベンゾトリアゾールを用いた比較例8、9では銅、ニッケルともに接着力向上効果が見られない。これらの結果より、チアジアゾール骨格とチオール基とを有する化合物である5−アミノ−1,3,4−チアジアゾール−2−チオールを用いることで顕著な接着力向上効果があることがわかる。 The evaluation criteria are an adhesive strength to copper of 0.7 kgf / cm or higher and an adhesive strength to nickel of 0.4 kgf / cm or higher. In Examples 1 to 3 using 5-amino-1,3,4-thiadiazole-2-thiol as an adhesion improver, both satisfy the evaluation criteria. In Comparative Examples 4 and 5 using a melamine compound as an adhesion improver, the adhesion to copper is slightly improved as compared to Comparative Example 3 in which no adhesion improver is added, but the adhesion to nickel is almost unchanged. . In Comparative Example 7 in which the addition amount was 0.70% by weight using a silane coupling agent, the adhesion strength to nickel was slightly improved, but conversely, the adhesion strength to copper was low and did not satisfy the evaluation criteria. In Comparative Examples 8 and 9 using benzotriazole, no effect of improving the adhesive strength is observed for both copper and nickel. From these results, it can be seen that the use of 5-amino-1,3,4-thiadiazole-2-thiol, which is a compound having a thiadiazole skeleton and a thiol group, has a remarkable effect of improving adhesive strength.
(実施例4)
SUS/低CTEポリイミド/銅微細配線(最小部のL/S20μmピッチ)基材を準備し、銅微細配線を無電解ニッケルメッキした後に、実施例2で使用したネガ型感光性樹脂組成物をスピンコート法によって塗布した後、90℃で30分間加熱乾燥して厚み20μmの感光性ポリイミド前駆体の被膜を形成した。次いでネガ型のテストパターンを介し露光量1000mJ/cm2で紫外光を照射した後、105℃で20分間ポストベークを行った。続いて有機溶剤系現像液を用いて30℃で現像処理を行い、蒸留水で十分洗浄した後、窒素気流で強制風乾燥した。その後、窒素雰囲気下で徐々に加熱しながら温度を上げ、最終的に350℃で2時間の熱処理を行ってポリイミド前駆体のイミド化を行ったところ、膜減りもほぼなく良好な現像パターンを保ったポリイミド樹脂膜が得られた。この後、露出している導体(ニッケルメッキした銅)に対して金メッキ処理を行ったところ、問題なく金メッキが可能であり、ポリイミド膜へのメッキ液の染みこみやポリイミド膜の剥がれ等は観察されなかった。
Example 4
After preparing a SUS / low CTE polyimide / copper fine wiring (minimum L / S 20 μm pitch) base material and electroless nickel-plating the copper fine wiring, spin the negative photosensitive resin composition used in Example 2 After coating by a coating method, it was dried by heating at 90 ° C. for 30 minutes to form a photosensitive polyimide precursor film having a thickness of 20 μm. Next, ultraviolet light was irradiated at an exposure amount of 1000 mJ / cm 2 through a negative test pattern, and then post-baked at 105 ° C. for 20 minutes. Subsequently, development processing was performed at 30 ° C. using an organic solvent-based developer, washed thoroughly with distilled water, and then forced-air dried with a nitrogen stream. Thereafter, the temperature was raised while gradually heating in a nitrogen atmosphere, and finally a heat treatment was performed at 350 ° C. for 2 hours to imidize the polyimide precursor. As a result, a good development pattern was maintained with almost no film loss. A polyimide resin film was obtained. After this, when the exposed conductor (nickel-plated copper) was gold-plated, gold plating was possible without any problem, soaking of the plating solution into the polyimide film or peeling of the polyimide film was observed. There wasn't.
密着向上剤を添加していない比較例2のネガ型感光性樹脂組成物を使用し、実施例4と同様の操作を行った。金メッキ後のサンプルには、ポリイミド膜の一部にメッキ液の染みこみが見られ、耐金メッキ性が悪いことがわかった。 The same operation as in Example 4 was performed using the negative photosensitive resin composition of Comparative Example 2 in which no adhesion improver was added. The sample after gold plating was found to have poor plating resistance due to seeping of a plating solution in a part of the polyimide film.
以上の結果から、密着向上剤としてチアジアゾール骨格又はトリアゾール骨格とチオール基とを有する化合物を用いた実施例1〜3のネガ型感光性樹脂組成物では、銅及びニッケルに対する密着力が高く、更に実施例2の配合では耐金メッキ性も良好であることがわかる。 From the above results, the negative photosensitive resin compositions of Examples 1 to 3 using a thiadiazole skeleton or a compound having a triazole skeleton and a thiol group as an adhesion improver have high adhesion to copper and nickel, and further implemented. It can be seen that the formulation of Example 2 also has good resistance to gold plating.
Claims (5)
前記密着向上剤が、チアジアゾール骨格又はトリアゾール骨格とチオール基とを有する化合物であり、前記密着向上剤の含有量が前記ネガ型感光性樹脂組成物の固形分全体に対して0.2重量%〜1.0重量%であるとともに、前記ネガ型感光性樹脂組成物を製膜し、加熱硬化して得られるポリイミド樹脂膜の熱膨張係数が10ppm/℃以上30ppm/℃以下であることを特徴とする、ネガ型感光性樹脂組成物。 Polyimide precursor resin, photopolymerizable monomer, photopolymerization initiator obtained by condensation polymerization of a carboxylic anhydride component containing an aromatic tetracarboxylic dianhydride having a biphenyl skeleton and a diamine component containing an aromatic diamine having a biphenyl skeleton And a negative photosensitive resin composition containing an adhesion improver,
The adhesion improver is a compound having a thiadiazole skeleton or a triazole skeleton and a thiol group, and the content of the adhesion improver is 0.2% by weight to the total solid content of the negative photosensitive resin composition The thermal expansion coefficient of the polyimide resin film obtained by forming the negative photosensitive resin composition and heat-curing the film is 1.0 wt% to 30 ppm / ° C. A negative photosensitive resin composition.
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