JP5129185B2

JP5129185B2 - Linear actuator with slide table

Info

Publication number: JP5129185B2
Application number: JP2009070213A
Authority: JP
Inventors: 哲也深町; 公哉佐藤
Original assignee: CKD Corp
Current assignee: CKD Corp
Priority date: 2009-03-23
Filing date: 2009-03-23
Publication date: 2013-01-23
Anticipated expiration: 2029-03-23
Also published as: JP2010223305A

Description

本発明は、スライドテーブル付きのリニアアクチュエータに関する。 The present invention relates to a linear actuator with a slide table.

ワークを搬送するためのスライドテーブルを備えたリニアアクチュエータは、例えば特許文献１に開示されている。特許文献１に開示のリニアアクチュエータでは、ガイドブロックがシリンダ本体（シリンダブロック）上に載置されており、スライドテーブルがガイドブロック上にスライド可能に載置されている。シリンダ本体にスライド可能に収容されたロッドとスライドテーブルとは、エンドプレート及びフローティングブッシュ（フローティング部材）を介して連結されており、フローティングブッシュは、エンドプレートとピストンロッドとを連結している。ピストンロッドが往復動されると、スライドテーブルがピストンロッドの移動方向に往復動される。 A linear actuator including a slide table for transporting a workpiece is disclosed in, for example, Patent Document 1. In the linear actuator disclosed in Patent Document 1, a guide block is placed on a cylinder body (cylinder block), and a slide table is slidably placed on the guide block. The rod slidably accommodated in the cylinder body and the slide table are connected via an end plate and a floating bush (floating member), and the floating bush connects the end plate and the piston rod. When the piston rod is reciprocated, the slide table is reciprocated in the moving direction of the piston rod.

ピストンロッドの移動方向に見た場合のピストンの形状は、円形状であってシリンブロック内で回転可能であり、ピストンロッドの移動方向に見た場合のフローティングブッシュの形状も円形状である。 The shape of the piston when viewed in the moving direction of the piston rod is circular and can be rotated in the cylinder block, and the shape of the floating bush when viewed in the moving direction of the piston rod is also circular.

特開平１０−６１６１１号公報JP-A-10-61611

スライドテーブルの高さを低く抑えるには、エンドプレートとピストンロッドとを連結するフローティングブッシュの最大径を小さくすればよいが、円筒形状のフローティングブッシュは、フローティングブッシュの筒内に通した雄ネジを用いてピストンロッドの先端にねじ止めされるため、フローティングブッシュの最大径を小さくすることが困難である。つまり、エンドプレートとピストンロッドとを連結するフローティングブッシュの円形状は、スライドテーブルの高さを低く抑える際の妨げになる。 In order to keep the height of the slide table low, the maximum diameter of the floating bush that connects the end plate and the piston rod can be reduced, but the cylindrical floating bush has a male screw that passes through the cylinder of the floating bush. Since it is used and screwed to the tip of the piston rod, it is difficult to reduce the maximum diameter of the floating bush. In other words, the circular shape of the floating bush that connects the end plate and the piston rod is an obstacle when the height of the slide table is kept low.

本発明は、スライドテーブルの高さを抑制できるスライドテーブル付きのリニアアクチュエータを提供することを目的とする。 An object of this invention is to provide the linear actuator with a slide table which can suppress the height of a slide table.

本発明は、スライドテーブルがガイドブロックに対して流体圧シリンダのピストンロッドの移動方向と垂直な方向に載置されており、前記ピストンロッドと前記スライドテーブルとがエンドプレート及びフローティング部材を介して連結されており、前記フローティング部材は、前記エンドプレートと前記ピストンロッドとを連結しており、前記スライドテーブルが前記ピストンロッドの移動方向に往復動されるスライドテーブル付きリニアアクチュエータを対象とし、請求項１の発明では、前記移動方向に見た場合の前記フローティング部材の形状は、前記ガイドブロックに対する前記スライドテーブルの載置方向の最大幅が前記載置方向と垂直な方向の最大幅よりも小さくなるように形成されるとともに、前記ピストンロッドを中心とする前記フローティング部材の回り止めを行なう回り止め手段が設けられており、前記回り止め手段は、前記流体圧シリンダのピストンと、前記ピストンを収容するシリンダブロックとを備え、前記移動方向に見た場合の前記ピストンの形状は、前記シリンダブロック内で回動不能な形状である。
いる。 In the present invention, the slide table is placed in a direction perpendicular to the moving direction of the piston rod of the fluid pressure cylinder with respect to the guide block, and the piston rod and the slide table are connected via an end plate and a floating member. The floating member is intended for a linear actuator with a slide table in which the end plate and the piston rod are connected, and the slide table is reciprocated in the moving direction of the piston rod. In this invention, the shape of the floating member when viewed in the moving direction is such that the maximum width in the mounting direction of the slide table relative to the guide block is smaller than the maximum width in the direction perpendicular to the mounting direction. It is formed to the center Rutotomoni, the piston rod Wherein and detent means are provided to perform the detent of the floating member, said detent means includes a piston of the fluid pressure cylinder, and a cylinder block which accommodates the piston, when viewed in the moving direction The shape of the piston is a shape that cannot be rotated in the cylinder block.
Yes.

回り止め手段によって回り止めを阻止されているフローティング部材の載置方向の最大幅が前記載置方向と垂直な方向の最大幅よりも小さいため、スライドテーブルの高さ（前記載置方向の高さ）を抑制することができる。 Since the maximum width in the mounting direction of the floating member that is prevented from being locked by the rotation preventing means is smaller than the maximum width in the direction perpendicular to the mounting direction, the height of the slide table (the height in the mounting direction described above) ) Can be suppressed.

また、前記移動方向に見た場合のピストンの形状を前記載置方向に偏平な形状としたことで、シリンダブロックの高さも抑制することができる。
一方、本発明は、スライドテーブルがガイドブロックに対して流体圧シリンダのピストンロッドの移動方向と垂直な方向に載置されており、前記ピストンロッドと前記スライドテーブルとがエンドプレート及びフローティング部材を介して連結されており、前記フローティング部材は、前記エンドプレートと前記ピストンロッドとを連結しており、前記スライドテーブルが前記ピストンロッドの移動方向に往復動されるスライドテーブル付きリニアアクチュエータを対象とし、請求項１の発明では、前記移動方向に見た場合の前記フローティング部材の形状は、前記ガイドブロックに対する前記スライドテーブルの載置方向の最大幅が前記載置方向と垂直な方向の最大幅よりも小さくなるように形成されるとともに、前記ピストンロッドを中心とする前記フローティング部材の回り止めを行なう回り止め手段が設けられており、前記回り止め手段は、前記エンドプレートに形成された嵌め込み凹部と、前記嵌め込み凹部に嵌め込まれた前記フローティング部材とを備え、前記移動方向に見た場合の前記嵌め込み凹部の形状は、前記移動方向に見た場合の前記フローティング部材の形状と同形である。 Moreover, the height of a cylinder block can also be suppressed by making the shape of the piston at the time of seeing in the said moving direction flat shape in the above-mentioned installation direction.
On the other hand, in the present invention, the slide table is placed in a direction perpendicular to the moving direction of the piston rod of the fluid pressure cylinder with respect to the guide block, and the piston rod and the slide table are interposed via the end plate and the floating member. The floating member is connected to the end plate and the piston rod, and the slide table is a linear actuator with a slide table that is reciprocated in the moving direction of the piston rod. In the invention of Item 1, the shape of the floating member when viewed in the moving direction is such that the maximum width in the mounting direction of the slide table relative to the guide block is smaller than the maximum width in the direction perpendicular to the mounting direction. And the piston rod is Said and detent means are provided to perform the detent of the floating member, said detent means comprises a fitting recess formed in the end plate, and said floating member fitted into the fitting recess, The shape of the fitting recess when viewed in the moving direction is the same as the shape of the floating member when viewed in the moving direction.

嵌め込み凹部の形状とフローティング部材の形状とを同形とした構成は、回り止め手段として簡便である。
好適な例では、前記流体圧シリンダと前記ガイドブロックとは、直列に連結されている。
また、本発明は、スライドテーブルがガイドブロックに対して流体圧シリンダのピストンロッドの移動方向と垂直な方向に載置されており、前記ピストンロッドと前記スライドテーブルとがエンドプレート及びフローティング部材を介して連結されており、前記フローティング部材は、前記エンドプレートと前記ピストンロッドとを連結しており、前記スライドテーブルが前記ピストンロッドの移動方向に往復動されるスライドテーブル付きリニアアクチュエータを対象とし、請求項１の発明では、前記移動方向に見た場合の前記フローティング部材の形状は、前記ガイドブロックに対する前記スライドテーブルの載置方向の最大幅が前記載置方向と垂直な方向の最大幅よりも小さくなるように形成されるとともに、前記ピストンロッドを中心とする前記フローティング部材の回り止めを行なう回り止め手段が設けられており、前記流体圧シリンダと前記ガイドブロックとは、直列に連結されている。 A configuration in which the shape of the fitting recess and the shape of the floating member are the same shape is simple as a detent means.
In a preferred example, the fluid pressure cylinder and the guide block are connected in series.
In the present invention, the slide table is placed in a direction perpendicular to the moving direction of the piston rod of the fluid pressure cylinder with respect to the guide block, and the piston rod and the slide table are interposed via the end plate and the floating member. The floating member is connected to the end plate and the piston rod, and the slide table is a linear actuator with a slide table that is reciprocated in the moving direction of the piston rod. In the invention of Item 1, the shape of the floating member when viewed in the moving direction is such that the maximum width in the mounting direction of the slide table relative to the guide block is smaller than the maximum width in the direction perpendicular to the mounting direction. And the piston rod is It said detent means for detent of the floating member is provided with, and the fluid pressure cylinder and the guide block is connected in series to.

このような直列連結構造は、前記載置方向におけるリニアアクチュエータ全体の薄型化に有利である。
また、本発明は、スライドテーブルがガイドブロックに対して流体圧シリンダのピストンロッドの移動方向と垂直な方向に載置されており、前記ピストンロッドと前記スライドテーブルとがエンドプレート及びフローティング部材を介して連結されており、前記フローティング部材は、前記エンドプレートと前記ピストンロッドとを連結しており、前記スライドテーブルが前記ピストンロッドの移動方向に往復動されるスライドテーブル付きリニアアクチュエータを対象とし、前記移動方向に見た場合の前記フローティング部材の形状は、前記ガイドブロックに対する前記スライドテーブルの載置方向の最大幅が前記載置方向と垂直な方向の最大幅よりも小さくなるように形成されるとともに、前記ピストンロッドを中心とする前記フローティング部材の回り止めを行なう回り止め手段が設けられており、前記回り止め手段は、前記ピストンロッドと、前記流体圧シリンダのピストンを収容するシリンダブロックの端部に連結されるガイドプレートに形成されて前記ピストンロッドを前記シリンダブロックの外側に突出させる通し孔とを備え、前記移動方向に見た場合の前記ピストンロッドの形状は四角又は楕円形状であり、前記通し孔の形状は、前記移動方向に見た場合の前記ピストンロッドの形状と同形である。 Such a series connection structure is advantageous for reducing the thickness of the entire linear actuator in the mounting direction.
In the present invention, the slide table is placed in a direction perpendicular to the moving direction of the piston rod of the fluid pressure cylinder with respect to the guide block, and the piston rod and the slide table are interposed via the end plate and the floating member. The floating member connects the end plate and the piston rod, and the slide table is a linear actuator with a slide table that is reciprocated in the moving direction of the piston rod. The shape of the floating member when viewed in the moving direction is formed such that the maximum width in the mounting direction of the slide table relative to the guide block is smaller than the maximum width in the direction perpendicular to the mounting direction. The float that is centered on the piston rod. An anti-rotation means for preventing the rotation of the ring member is provided, and the anti-rotation means is formed on the piston rod and a guide plate connected to an end of a cylinder block that accommodates a piston of the fluid pressure cylinder. And the shape of the piston rod when viewed in the movement direction is a square or an ellipse, and the shape of the through hole is the movement direction. The shape is the same as the shape of the piston rod as seen in FIG.

本発明のスライドテーブル付きのリニアアクチュエータは、スライドテーブルの高さを抑制できるという優れた効果を奏する。 The linear actuator with a slide table of the present invention has an excellent effect that the height of the slide table can be suppressed.

第１の実施形態を示す斜視図。The perspective view which shows 1st Embodiment. 平断面図。FIG. （ａ）は、図２のＡ−Ａ線断面図。（ｂ）は、図２のＢ−Ｂ線断面図。（ｃ）は、図２のＣ−Ｃ線断面図。（ｄ）は、図２のＤ−Ｄ線断面図。(A) is the sectional view on the AA line of FIG. (B) is the BB sectional drawing of FIG. (C) is CC sectional view taken on the line of FIG. (D) is the DD sectional view taken on the line of FIG. 第２の実施形態を示し、（ａ），（ｂ）は、断面図。A 2nd embodiment is shown and (a) and (b) are sectional views.

以下、本発明を具体化した第１の実施形態を図１〜図３に基づいて説明する。
図１に示すように、偏平な四角柱形状のシリンダブロック１１にはガイドブロック１２が連結されている。ガイドブロック１２には四角板形状のスライドテーブル１３が載置されており、スライドテーブル１３の端面にはエンドプレート１４がネジ１５によって締め付け固定されている。 Hereinafter, a first embodiment of the present invention will be described with reference to FIGS.
As shown in FIG. 1, a guide block 12 is connected to a flat quadrangular cylinder block 11. A square plate-shaped slide table 13 is placed on the guide block 12, and an end plate 14 is fastened and fixed to the end surface of the slide table 13 with screws 15.

図３（ｄ）に示すように、ガイドブロック１２の上面には一対のレール１２１，１２２が平行に一体形成されており、スライドテーブル１３の下面には一対の被ガイドレール１３１，１３２が平行に一体形成されている。レール１２１，１２２と被ガイドレール１３１，１３２とは、複数の転動ボール２１を介して連結されており、被ガイドレール１３１，１３２は、転動ボール２１を介してレール１２１，１２２の長さ方向への移動を案内される。 As shown in FIG. 3D, a pair of rails 121 and 122 are integrally formed in parallel on the upper surface of the guide block 12, and a pair of guided rails 131 and 132 are parallel to the lower surface of the slide table 13. It is integrally formed. The rails 121 and 122 and the guided rails 131 and 132 are connected via a plurality of rolling balls 21, and the guided rails 131 and 132 are the lengths of the rails 121 and 122 via the rolling balls 21. Guided to move in the direction.

図２に示すように、シリンダブロック１１内にはピストン１６がスライド可能に収容されており、ピストン１６にはピストンロッド１７が連結して固定されている。ピストンロッド１７は、シリンダブロック１１の端部に連結されたガイドプレート１８の通し孔１８１を通ってスライドテーブル１３側へ突出している。ピストンロッド１７の移動方向（矢印Ｐの方向）は、被ガイドレール１３１，１３２の移動方向と同じ方向である。 As shown in FIG. 2, a piston 16 is slidably accommodated in the cylinder block 11, and a piston rod 17 is connected and fixed to the piston 16. The piston rod 17 protrudes toward the slide table 13 through the through hole 181 of the guide plate 18 connected to the end of the cylinder block 11. The moving direction of the piston rod 17 (the direction of the arrow P) is the same as the moving direction of the guided rails 131 and 132.

シリンダブロック１１及びピストンロッド１７と共に流体圧シリンダを構成するピストン１６は、シリンダブロック１１に連結された蓋２２とピストン１６との間に第１圧力室１１１を区画すると共に、ガイドプレート１８とピストン１６との間に第２圧力室１１２を区画する。第１圧力室１１１は、図示しない３方弁を介して圧力エア供給源に接続されており、第２圧力室１１２は、図示しない３方弁を介して圧力エア供給源に接続されている。 The piston 16 constituting the fluid pressure cylinder together with the cylinder block 11 and the piston rod 17 defines the first pressure chamber 111 between the lid 22 and the piston 16 connected to the cylinder block 11, and the guide plate 18 and the piston 16. The second pressure chamber 112 is partitioned between the two. The first pressure chamber 111 is connected to a pressure air supply source via a three-way valve (not shown), and the second pressure chamber 112 is connected to a pressure air supply source via a three-way valve (not shown).

図３（ａ）に示すように、ピストン１６は、ピストンロッド１７の移動方向Ｐに見て偏平な形状に形成されている。つまり、ガイドブロック１２に対するスライドテーブル１３の載置方向（矢印Ｒの方向）におけるピストン１６の幅は、載置方向Ｒと垂直な方向かつピストンロッド１７の移動方向Ｐと垂直な方向（矢印Ｑの方向）の幅よりも小さくしてある。シリンダブロック１１及びピストン１６は、シリンダブロック１１内でピストンロッド１７を中心とする回転を阻止する回り止め手段を構成する。 As shown in FIG. 3A, the piston 16 is formed in a flat shape when viewed in the moving direction P of the piston rod 17. That is, the width of the piston 16 in the mounting direction of the slide table 13 relative to the guide block 12 (the direction of the arrow R) is the direction perpendicular to the mounting direction R and the direction perpendicular to the moving direction P of the piston rod 17 (indicated by the arrow Q). Direction). The cylinder block 11 and the piston 16 constitute a detent means for preventing rotation around the piston rod 17 in the cylinder block 11.

スライドテーブル１３側へ突出するピストンロッド１７の突出端面には筒形状のフローティング部材１９が雄ネジ２０によって締め付け固定されている。フローティング部材１９は、円筒形状の小径部１９１と、第１大径部１９２と、第２大径部１９３とを備えている。 A cylindrical floating member 19 is fastened and fixed to the projecting end surface of the piston rod 17 projecting toward the slide table 13 by a male screw 20. The floating member 19 includes a cylindrical small-diameter portion 191, a first large-diameter portion 192, and a second large-diameter portion 193.

図３（ｃ）に示すように、第１大径部１９２の周縁は、ピストン１６の移動方向Ｐに見て、ガイドブロック１２に対するスライドテーブル１３の載置方向（矢印Ｒの方向）と垂直な方向に平坦な平坦縁１９４，１９５を有する。平坦縁１９４，１９５は、互いに平行である。つまり、第１大径部１９２は、ピストン１６の移動方向Ｐに見て、ガイドブロック１２に対するスライドテーブル１３の載置方向（矢印Ｒの方向）の最大幅Ｔ（平坦縁１９４，１９５間の距離）が該載置方向Ｒと垂直な方向の最大幅Ｙよりも小さくなる形状に形成されている。 As shown in FIG. 3C, the periphery of the first large-diameter portion 192 is perpendicular to the mounting direction of the slide table 13 relative to the guide block 12 (the direction of the arrow R) when viewed in the moving direction P of the piston 16. It has flat edges 194, 195 that are flat in the direction. The flat edges 194, 195 are parallel to each other. That is, the first large diameter portion 192 has a maximum width T (distance between the flat edges 194 and 195) in the mounting direction of the slide table 13 with respect to the guide block 12 (direction of arrow R) when viewed in the moving direction P of the piston 16. ) Is smaller than the maximum width Y in the direction perpendicular to the mounting direction R.

図３（ｂ）に示すように、ピストン１６の移動方向Ｐに見た第２大径部１９３は、第１大径部１９２の形状と同形同大であって一対の平坦縁１９４，１９５を備えている。
図２に示すように、エンドプレート１４には嵌め込み凹部２３が形成されている。嵌め込み凹部２３は、小径部１９１を嵌め込む幅狭部２３１と、第１大径部１９２を嵌め込む幅広部２３２とからなる。小径部１９１は、幅狭部２３１に嵌め込まれており、第１大径部１９２は、幅広部２３２に嵌め込まれている。第２大径部１９３は、ガイドプレート１８に対向するエンドプレート１４の対向面１４１に接合可能に、エンドプレート１４とガイドプレート１８との間に配置される。 As shown in FIG. 3B, the second large-diameter portion 193 viewed in the moving direction P of the piston 16 has the same shape and size as the first large-diameter portion 192, and a pair of flat edges 194, 195. It has.
As shown in FIG. 2 , a fitting recess 23 is formed in the end plate 14. The fitting recess 23 includes a narrow portion 231 into which the small diameter portion 191 is fitted and a wide portion 232 into which the first large diameter portion 192 is fitted. The small diameter portion 191 is fitted into the narrow portion 231, and the first large diameter portion 192 is fitted into the wide portion 232. The second large diameter portion 193 is disposed between the end plate 14 and the guide plate 18 so as to be connectable to the facing surface 141 of the end plate 14 facing the guide plate 18.

第１圧力室１１１に圧力エアが供給されると共に、第２圧力室１１２から圧力エアが排気されると、ピストン１６が突出方向へ移動する。この移動運動は、第２大径部１９３及びエンドプレート１４を介してスライドテーブル１３に伝えられ、スライドテーブル１３がシリンダブロック１１から遠ざかる方向へ移動する。 When pressure air is supplied to the first pressure chamber 111 and pressure air is exhausted from the second pressure chamber 112, the piston 16 moves in the protruding direction. This movement is transmitted to the slide table 13 via the second large diameter portion 193 and the end plate 14, and the slide table 13 moves in a direction away from the cylinder block 11.

第２圧力室１１２に圧力エアが供給されると共に、第１圧力室１１１から圧力エアが排気されると、ピストン１６がシリンダブロック１１内に没入する方向へ移動する。この移動運動は、第１大径部１９２及びエンドプレート１４を介してスライドテーブル１３に伝えられ、スライドテーブル１３がシリンダブロック１１に近付く方向へ移動する。 When the pressure air is supplied to the second pressure chamber 112 and the pressure air is exhausted from the first pressure chamber 111, the piston 16 moves in the direction of immersing in the cylinder block 11. This movement is transmitted to the slide table 13 via the first large diameter portion 192 and the end plate 14, and the slide table 13 moves in a direction approaching the cylinder block 11.

第１の実施形態では以下の効果が得られる。
（１）シリンダブロック１１内で回動不能なピストン１６によって回転を阻止されているフローティング部材１９の載置方向Ｒの最大幅Ｔが載置方向Ｒと垂直な方向の最大幅Ｙよりも小さいため、円形状のフローティング部材に比べてスライドテーブル１３の高さ（載置方向Ｒの高さ）を抑制することができる。 In the first embodiment, the following effects can be obtained.
(1) Since the maximum width T in the mounting direction R of the floating member 19 that is prevented from rotating by the piston 16 that cannot rotate in the cylinder block 11 is smaller than the maximum width Y in the direction perpendicular to the mounting direction R. Compared with a circular floating member, the height of the slide table 13 (the height in the mounting direction R) can be suppressed.

（２）ピストン１６の移動方向Ｐに見た場合のピストン１６の形状が載置方向Ｒに偏平な形状であるため、シリンダブロック１１の高さも抑制することができる。
（３）シリンダブロック１１とガイドブロック１２とを直列に連結した構造は、シリンダブロック１１とガイドブロック１２とを載置方向Ｒに重ね合わせた場合に比べて、載置方向Ｒにおけるリニアアクチュエータ全体の薄型化に有利である。 (2) Since the shape of the piston 16 when viewed in the moving direction P of the piston 16 is flat in the mounting direction R, the height of the cylinder block 11 can also be suppressed.
(3) The structure in which the cylinder block 11 and the guide block 12 are connected in series is compared with the case where the cylinder block 11 and the guide block 12 are overlapped in the mounting direction R. It is advantageous for thinning.

（４）四角板形状のスライドテーブル１３に対してその板厚方向へ大きな荷重が掛かった場合、スライドテーブル１３が板厚方向に撓み変形しようとする。このような撓み変形を生じさせるような荷重は、エンドプレート１４を傾かせる。このように傾いたエンドプレート１４とフローティング部材１９の大径部１９２，１９３の周縁との間でこじりが生じると、エンドプレート１４やフローティング部材１９が摩耗し、摩耗粉が発生する。 (4) When a large load is applied to the square plate-shaped slide table 13 in the thickness direction, the slide table 13 tends to bend and deform in the thickness direction. A load that causes such bending deformation causes the end plate 14 to tilt. When the end plate 14 tilted in this way and the periphery of the large-diameter portions 192 and 193 of the floating member 19 are twisted, the end plate 14 and the floating member 19 are worn and wear powder is generated.

フローティング部材１９の載置方向Ｒの最大幅Ｔが載置方向Ｒと垂直な方向の最大幅Ｙよりも小さいフローティング部材１９では、スライドテーブル１３に対してその板厚方向へ大きな荷重が掛かった場合にエンドプレート１４とフローティング部材１９との間でこじりが生じる場合には、平坦縁１９４，１９５とエンドプレート１４との間でこじりが生じる。しかし、最大幅Ｙを直径とする円形のフローティング部材に比べて、平坦縁１９４，１９５間の距離が小さいフローティング部材１９では、平坦縁１９４，１９５とエンドプレート１４との間でのこじりが低減する。従って、摩耗粉の発生が抑制される。 In the floating member 19 in which the maximum width T in the mounting direction R of the floating member 19 is smaller than the maximum width Y in the direction perpendicular to the mounting direction R, a large load is applied to the slide table 13 in the plate thickness direction. When the end plate 14 and the floating member 19 are distorted, the rim is generated between the flat edges 194 and 195 and the end plate 14. However, the floating member 19 having a smaller distance between the flat edges 194 and 195 than the circular floating member having the maximum width Y as a diameter reduces the twisting between the flat edges 194 and 195 and the end plate 14. . Therefore, the generation of wear powder is suppressed.

本発明では以下のような実施形態も可能である。
○図４（ｂ）に示すように、嵌め込み凹部２３の幅広部２３２を形成する平坦部２３３と、第１大径部１９２の平坦縁１９４とが互いに面接触状態にあり、平坦部２３３を備えた第１大径部１９２及び平坦縁１９４嵌め込み凹部２３が回り止め手段を構成するようにしてもよい。この場合、図４（ａ）に示すように、ピストン１６Ａの移動方向に見た場合のピストン１６Ａの形状が円形であってもよい。 In the present invention, the following embodiments are also possible.
As shown in FIG. 4B, the flat portion 233 that forms the wide portion 232 of the fitting recess 23 and the flat edge 194 of the first large diameter portion 192 are in surface contact with each other, and the flat portion 233 is provided. Further, the first large diameter portion 192 and the flat edge 194 fitting recess 23 may constitute a detent means. In this case, as shown in FIG. 4A, the shape of the piston 16A when viewed in the moving direction of the piston 16A may be circular.

○フローティング部材１９を固定するピストンロッド１７の形状がピストンロッド１７の移動方向に見た場合に非円形（例えば四角あるいは楕円）であってもよい。ガイドプレート１８の通し孔１８１が非円形（例えば四角あるいは楕円）であれば、ピストンロッド１７が回動することはない。この場合、非円形の通し孔１８１及び非円形のピストンロッド１７が回り止め手段を構成する。 The shape of the piston rod 17 that fixes the floating member 19 may be non-circular (for example, a square or an ellipse) when viewed in the moving direction of the piston rod 17. If the through hole 181 of the guide plate 18 is non-circular (for example, square or oval), the piston rod 17 does not rotate. In this case, the non-circular through hole 181 and the non-circular piston rod 17 constitute a detent means.

○シリンダブロック１１上にガイドブロック１２を載置し、ガイドブロック１２上にスライドテーブル１３を載置したリニアアクチュエータに本発明を適用してもよい。
前記した実施形態から把握できる技術思想について以下に記載する。 The present invention may be applied to a linear actuator in which the guide block 12 is placed on the cylinder block 11 and the slide table 13 is placed on the guide block 12.
The technical idea that can be grasped from the embodiment described above will be described below.

〔１〕前記回り止め手段は、前記ピストンロッドを通す通し孔と前記ピストンロッドとを備え、前記移動方向に見た場合の前記通し孔及び前記ピストンロッドの形状は、非円形である請求項１に記載のスライドテーブル付きリニアアクチュエータ。 [1] The detent means includes a through hole through which the piston rod passes and the piston rod, and the shapes of the through hole and the piston rod when viewed in the moving direction are non-circular. Linear actuator with slide table as described in 2.

１１…流体圧シリンダ及び回り止め手段を構成するシリンダブロック。１２…ガイドブロック。１３…スライドテーブル。１４…エンドプレート。１６…流体圧シリンダ及び回り止め手段を構成するピストン。１７…流体圧シリンダを構成するピストンロッド。１９…フローティング部材。１９２…回り止め手段を構成する第１大径部。２３…回り止め手段を構成する嵌め込み凹部。Ｒ…載置方向。Ｐ…移動方向。Ｔ，Ｙ…最大幅。 11 ... Cylinder block constituting the fluid pressure cylinder and the rotation preventing means. 12 ... Guide block. 13 ... Slide table. 14: End plate. 16: Piston constituting the fluid pressure cylinder and the rotation preventing means. 17: A piston rod constituting a fluid pressure cylinder. 19: Floating member. 192: A first large-diameter portion that constitutes the rotation preventing means. 23: A fitting recess that constitutes a detent means. R: Placement direction. P: Movement direction. T, Y: Maximum width.

Claims

The slide table is placed in a direction perpendicular to the moving direction of the piston rod of the fluid pressure cylinder with respect to the guide block, and the piston rod and the slide table are connected via an end plate and a floating member, In the linear actuator with a slide table, the floating member connects the end plate and the piston rod, and the slide table is reciprocated in the moving direction of the piston rod.
The shape of the floating member when viewed in the moving direction is formed such that the maximum width in the mounting direction of the slide table relative to the guide block is smaller than the maximum width in the direction perpendicular to the mounting direction. With
Anti-rotation means for preventing the floating member from rotating around the piston rod is provided,
The anti-rotation means includes a piston of the fluid pressure cylinder and a cylinder block that accommodates the piston, and the shape of the piston when viewed in the moving direction is a shape that cannot rotate within the cylinder block. Oh Angeles linear actuator with a ride table.

The slide table is placed in a direction perpendicular to the moving direction of the piston rod of the fluid pressure cylinder with respect to the guide block, and the piston rod and the slide table are connected via an end plate and a floating member, In the linear actuator with a slide table, the floating member connects the end plate and the piston rod, and the slide table is reciprocated in the moving direction of the piston rod.
The shape of the floating member when viewed in the moving direction is formed such that the maximum width in the mounting direction of the slide table relative to the guide block is smaller than the maximum width in the direction perpendicular to the mounting direction. With
Anti-rotation means for preventing the floating member from rotating around the piston rod is provided,
The detent means includes a fitting recess formed in the end plate and the floating member fitted in the fitting recess, and the shape of the fitting recess when viewed in the moving direction is the moving direction. wherein the shape same shape der Luz linear actuator with a slide table of the floating member when viewed.

The linear actuator with a slide table according to claim 1 or 2 , wherein the fluid pressure cylinder and the guide block are connected in series.

  The slide table is placed in a direction perpendicular to the moving direction of the piston rod of the fluid pressure cylinder with respect to the guide block, and the piston rod and the slide table are connected via an end plate and a floating member, In the linear actuator with a slide table, the floating member connects the end plate and the piston rod, and the slide table is reciprocated in the moving direction of the piston rod.
  The shape of the floating member when viewed in the moving direction is formed such that the maximum width in the mounting direction of the slide table relative to the guide block is smaller than the maximum width in the direction perpendicular to the mounting direction. With
  Anti-rotation means for preventing the floating member from rotating around the piston rod is provided,
  The fluid pressure cylinder and the guide block are linear actuators with a slide table connected in series.

  The slide table is placed in a direction perpendicular to the moving direction of the piston rod of the fluid pressure cylinder with respect to the guide block, and the piston rod and the slide table are connected via an end plate and a floating member, In the linear actuator with a slide table, the floating member connects the end plate and the piston rod, and the slide table is reciprocated in the moving direction of the piston rod.
  The shape of the floating member when viewed in the moving direction is formed such that the maximum width in the mounting direction of the slide table relative to the guide block is smaller than the maximum width in the direction perpendicular to the mounting direction. With
  Anti-rotation means for preventing the floating member from rotating around the piston rod is provided,
  The anti-rotation means is formed in a guide plate connected to an end of a cylinder block that houses the piston of the fluid pressure cylinder, and a through hole that projects the piston rod to the outside of the cylinder block. The shape of the piston rod when viewed in the moving direction is a square or ellipse, and the shape of the through hole is the same shape as the shape of the piston rod when viewed in the moving direction With linear actuator.