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JP5134496B2 - Work bonding machine - Google Patents
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JP5134496B2 - Work bonding machine - Google Patents

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    • B29C66/70General aspects of processes or apparatus for joining preformed parts characterised by the composition, physical properties or the structure of the material of the parts to be joined; Joining with non-plastics material
    • B29C66/71General aspects of processes or apparatus for joining preformed parts characterised by the composition, physical properties or the structure of the material of the parts to be joined; Joining with non-plastics material characterised by the composition of the plastics material of the parts to be joined

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  • Liquid Crystal (AREA)
  • Lining Or Joining Of Plastics Or The Like (AREA)

Description

本発明は、周囲が額縁状の枠体で囲まれている貼合対象に、偏光フィルムや保護フィルムあるいは板ガラスなどの貼合体を貼合するためのワーク貼合装置に関する。本発明のワーク貼合装置は、例えば液晶ディスプレイ、プラズマディスプレイ、タッチパネルなどを製造する過程で使用する。   The present invention relates to a workpiece laminating apparatus for laminating a bonded body such as a polarizing film, a protective film, or a plate glass to a bonding target surrounded by a frame having a frame shape. The workpiece bonding apparatus of the present invention is used in the process of manufacturing a liquid crystal display, a plasma display, a touch panel, etc., for example.

本発明のワーク貼合装置では、真空チャンバーの上開口面に通気可能なシルクスクリーンを張設しておき、シルクスクリーンを介して間接支持した貼合体をローラーで上向きに押圧して貼合対象に貼り付けるが、この種の貼合装置の基本構造は特許文献1に公知である。そこでは、シルクスクリーンの上面に載置した反射防止フィルムを真空圧で吸着保持し、真空チャンバーの左右両側に設けた載置ベースでブラウン管を反射防止フィルムと上下に対向する状態で支持し、シルクスクリーンの内面に配置したローラーで反射防止フィルムをブラウン管の表示面に押し付けて貼合を行なう。   In the workpiece bonding apparatus of the present invention, a silk screen that can be ventilated is stretched on the upper opening surface of the vacuum chamber, and the bonded body indirectly supported via the silk screen is pressed upward with a roller to be bonded. Although it sticks, the basic structure of this kind of bonding apparatus is well-known in patent document 1. FIG. There, the antireflection film placed on the upper surface of the silk screen is sucked and held with vacuum pressure, and the cathode ray tube is supported on the left and right sides of the vacuum chamber with the antireflection film facing up and down, The anti-reflection film is pressed against the display surface of the cathode ray tube with a roller arranged on the inner surface of the screen to perform bonding.

本発明に係るワーク貼合装置は、貼付け面の周囲が額縁状の枠体で囲まれ、さらに枠体の表面と貼付け面とに段差がある貼合対象に対してフィルムを好適に貼合できるが、この種の貼合対象は例えば特許文献2にみることができる。そこでは、プラズマディスプレイの前面に配置した光学フィルターを額縁状の前枠で支持している。光学フィルターの外面には、必要に応じて保護フィルムや機能性シートが貼合される。   The work bonding apparatus according to the present invention can suitably bond a film to a bonding target in which the periphery of the bonding surface is surrounded by a frame-like frame body and there is a step between the surface of the frame body and the bonding surface. However, this kind of pasting object can be found in Patent Document 2, for example. There, an optical filter arranged in front of the plasma display is supported by a frame-shaped front frame. A protective film and a functional sheet are bonded to the outer surface of the optical filter as necessary.

特開平10−334807号公報(段落番号0039、図7)JP-A-10-334807 (paragraph number 0039, FIG. 7) 特開2007−206468号公報(段落番号0018、図2)Japanese Patent Laying-Open No. 2007-206468 (paragraph number 0018, FIG. 2)

上記のように、貼合対象の貼付け面の周囲が額縁状の枠体で囲まれている場合には、枠体が貼付け面より出っ張って邪魔になるため、フィルムを貼付け面に対して適正に貼合するのが困難となる。このような貼合作業を自動的に行なうために、本発明者は図5に示す貼合装置を試作した。そこでは、シルクスクリーン40の上面に通気自在な弾性発泡体41を固定しておき、その上面に載置したフィルム42を貼合対象43の貼付け面44に貼合する。弾性発泡体41の厚み寸法は、枠体45と貼付け面44との段差寸法より大きく設定してあり、シルクスクリーン40の内面に配置したローラー46で、弾性発泡41を介してフィルム42を貼付け面44に押し付けて接着する。   As described above, when the periphery of the pasting surface to be pasted is surrounded by a frame-like frame, the frame protrudes from the pasting surface and becomes an obstacle, so the film is properly attached to the pasting surface. It becomes difficult to paste. In order to automatically perform such bonding work, the present inventor made a prototype of a bonding apparatus shown in FIG. There, the elastic foam 41 which can be ventilated is fixed to the upper surface of the silk screen 40, and the film 42 placed on the upper surface is bonded to the bonding surface 44 of the bonding object 43. The thickness dimension of the elastic foam 41 is set to be larger than the step dimension between the frame body 45 and the pasting surface 44, and the film 42 is pasted on the inner surface of the silk screen 40 via the elastic foam 41 with the roller 46. Press to 44 and bond.

上記の貼合装置によれば、枠体が貼合の邪魔になるのを解消でき、ローラーで弾性発泡体を貼付け面に押し付けることにより、その上面に吸着したフィルムを貼付け面に好適に接着できるはずである。しかし、フィルムを適正に接着するのが難しく、例えば、フィルムが位置ずれしたり、貼合面にしわを生じたり、局部的に気泡を生じるなどの貼合不良が生じるのを避けられなかった。   According to said bonding apparatus, it can eliminate that a frame interferes with bonding, and the film adsorbed on the upper surface can be suitably bonded to the bonding surface by pressing the elastic foam to the bonding surface with a roller. It should be. However, it is difficult to properly bond the film, and for example, it is inevitable that bonding failure occurs such as the film being displaced, wrinkling on the bonding surface, or local bubbles.

弾性発泡体の弾性や厚み、あるいはローラーの押し付け力などを種々に変更して、貼合不良の解消を図ったが、好ましい結果は得られなかった。その原因を検討した結果、弾性発泡体を貼付け面に押し付ける状態において、弾性発泡体がローラーの進行方向へも押し潰され、そのときフィルムがローラーの進行方向へ斜めに押圧されて褶曲するのが原因であるとの確信を得た。因みに、貼合に失敗したフィルムは剥離して廃棄する以外になく、廃棄に伴なうコストは貼合対象のコストを削減するうえで大きな障害となる。とくに、価格が高い偏光フィルムや反射防止フィルムなどの機能性フィルムは、貼合不良に伴なうコストが高く付く。   Various changes were made to the elasticity and thickness of the elastic foam, the pressing force of the roller, etc. to eliminate the bonding failure, but a favorable result was not obtained. As a result of examining the cause, in a state where the elastic foam is pressed against the affixing surface, the elastic foam is also crushed in the traveling direction of the roller, and at that time, the film is obliquely pressed in the traveling direction of the roller and bent. I got the conviction that it was the cause. Incidentally, the film that failed to be bonded is not only peeled and discarded, but the cost associated with the disposal is a major obstacle to reducing the cost of the object to be bonded. In particular, functional films such as polarizing films and antireflection films, which are expensive, have high costs associated with poor bonding.

本発明は、上記の知見に基づき提案されたものであって、その目的は、貼付け面の周囲が額縁状の枠体で囲まれている貼合対象に対して、フィルム等を好適に貼合して貼合対象の歩留まりを向上し、その分だけ貼合対象の製造コストを削減できるワーク貼合装置を提供することにある。   This invention is proposed based on said knowledge, Comprising: The objective is the bonding of a film etc. suitably with respect to the bonding target in which the circumference | surroundings of the bonding surface are surrounded by the frame-like frame Then, it is providing the workpiece | work bonding apparatus which improves the yield of bonding object and can reduce the manufacturing cost of bonding object by that much.

本発明のワーク貼合装置は、板状ないしフィルム状の貼合体W1を支持する第1貼合台1と、貼合対象W2を貼合体W1と所定隙間Eを介して正対する状態で支持する第2貼合台2とを備えている。貼合対象W2は、貼合体W1が貼り付けられる貼付け面5と、貼付け面5の周囲を囲む額縁状の枠体6を備えていて、枠体6の表面と貼付け面5との間に段差T2が形成してある。第1貼合台1は、真空チャンバー8と、真空チャンバー8の開口面に張設される通気可能なシルクスクリーン9とを有する。シルクスクリーン9の外面には貼合体W1を支持する載置ベース10を配置する。真空チャンバー8の内部には、シルクスクリーン9および載置ベース10を介して貼合体W1を貼付け面5に押し付けるローラー11を配置する。載置ベース10は、通気可能な一群の硬質シート14を積層し、積層された硬質シート14の押圧始端側の端面を分離不能に固定して構成する。以て載置ベース10を、ローラー11に追随して局部的に湾曲変形させながら貼合体W1を貼付け面5に貼合することを特徴とする。   The workpiece | work bonding apparatus of this invention supports the 1st bonding stand 1 which supports the plate-shaped or film-shaped bonding body W1, and the bonding object W2 in the state which opposes through the bonding body W1 and the predetermined clearance E. FIG. The 2nd bonding stand 2 is provided. The bonding target W2 includes a bonding surface 5 to which the bonding body W1 is bonded and a frame-shaped frame body 6 surrounding the bonding surface 5, and a step between the surface of the frame 6 and the bonding surface 5 is provided. T2 is formed. The first bonding table 1 has a vacuum chamber 8 and a breathable silk screen 9 stretched on the opening surface of the vacuum chamber 8. On the outer surface of the silk screen 9, the mounting base 10 that supports the bonded body W1 is disposed. Inside the vacuum chamber 8, the roller 11 which presses the bonding body W1 to the bonding surface 5 through the silk screen 9 and the mounting base 10 is arrange | positioned. The mounting base 10 is configured by laminating a group of hard sheets 14 that can be ventilated and fixing the end surfaces of the laminated hard sheets 14 on the pressing start end side so as not to be separated. Thus, the bonding base W1 is bonded to the bonding surface 5 while following the roller 11 and locally bending and deforming the mounting base 10.

載置ベース10は弾性シート15を含んで構成することができ、弾性シート15の外面に押圧面16を構成する1枚の硬質シート14を積層して構成する。   The mounting base 10 can be configured to include an elastic sheet 15, and is configured by laminating one hard sheet 14 constituting the pressing surface 16 on the outer surface of the elastic sheet 15.

硬質シート14は、金属シートおよび/またはプラスチックシートで形成する。弾性シート15は、ウレタンシートとシリコンゴムシートのいずれかで形成する。   The hard sheet 14 is formed of a metal sheet and / or a plastic sheet. The elastic sheet 15 is formed of either a urethane sheet or a silicon rubber sheet.

載置ベース10を支持する複数の支持台12をシルクスクリーン9の内部に配置する。支持台12は、載置ベース10を支持する支持位置と、ローラー11の移動軌跡の下方の退避位置との間で変位できるように支持する。以て、ローラー11の貼合移動に連動して、複数の支持台12を順次退避位置へ退避移動させて、貼合体W1を貼付け面5に貼合する。   A plurality of support bases 12 that support the mounting base 10 are arranged inside the silk screen 9. The support base 12 supports the support base 10 so that it can be displaced between a support position for supporting the mounting base 10 and a retracted position below the movement trajectory of the roller 11. Therefore, interlocking with the bonding movement of the roller 11, the plurality of support bases 12 are sequentially retreated to the retreat position, and the bonding body W <b> 1 is bonded to the bonding surface 5.

本発明では、真空チャンバー8の開口面を覆うシルクスクリーン9の外面に通気自在な載置ベース10を配置し、その上面に真空圧を作用させて貼合体W1をで吸着保持した。また、貼合対象W2を第2貼合台2で支持して、その貼付け面5を貼合体W1に対して所定の隙間Eを介して正対させ、この状態のシルクスクリーン9および載置ベース10を、ローラー11で貼合対象W2へ向かって押し付けて、貼合体W1を貼合対象W2の貼付け面5に貼合するようにした。このように、載置ベース10をローラー11で押し付けながら、載置ベース10の上面にの貼合体W1を貼付け面5に貼合すると、貼付け面5の周囲が額縁状の枠体6で囲まれている場合であっても、枠体6に邪魔されることもなく貼合体W1を貼付け面5に対して確実に貼合できる。   In the present invention, the air-permeable mounting base 10 is disposed on the outer surface of the silk screen 9 covering the opening surface of the vacuum chamber 8, and the bonded body W1 is adsorbed and held by applying a vacuum pressure to the upper surface. Moreover, the bonding object W2 is supported by the 2nd bonding stand 2, the bonding surface 5 is made to oppose via the predetermined clearance gap E with respect to the bonding body W1, and the silk screen 9 and mounting base of this state 10 was pressed toward the bonding target W2 with the roller 11, and the bonding body W1 was bonded to the bonding surface 5 of the bonding target W2. Thus, when the bonding body W1 on the upper surface of the mounting base 10 is bonded to the bonding surface 5 while pressing the mounting base 10 with the roller 11, the periphery of the bonding surface 5 is surrounded by the frame 6 having a frame shape. Even if it is a case, the bonding body W1 can be reliably bonded with respect to the bonding surface 5 without being obstructed by the frame body 6.

通気可能な一群の硬質シート14を積層し、積層された硬質シート14の押圧始端側の端面を分離不能に固定して載置ベース10を構成するので、積層された硬質シート14が分離するのを防ぎながら、個々の硬質シート14の動きやすさを確保できる。これにより、載置ベース10がローラー11に追随して局部的に湾曲変形するときの、個々の硬質シート14の湾曲形状の違いを各硬質シート14がずれ動くことで円滑に吸収できる。   A group of hard sheets 14 that can be ventilated are stacked, and the end surface on the pressing start end side of the stacked hard sheets 14 is fixed so as not to be separated, so that the mounting base 10 is configured, so that the stacked hard sheets 14 are separated. The ease of movement of each hard sheet 14 can be ensured while preventing the above. Thereby, the difference of the curved shape of each hard sheet 14 when the mounting base 10 follows the roller 11 and locally curves and deforms can be smoothly absorbed by each hard sheet 14 being displaced.

したがって、本発明のワーク貼合装置によれば、載置ベース10をローラー11に追随して円滑に湾曲変形させながら、額縁状の枠体6を備えた貼合対象W2の貼付け面5に貼合体W1を適正に貼合でき、貼合体W1が位置ずれしたり、貼合面にしわを生じたり、局部的に気泡を生じるなどの貼合不良を一掃して、貼合対象W2を製造するときのの歩留まりを向上し、その分だけ貼合対象W2の製造コストを削減できる。   Therefore, according to the workpiece | work bonding apparatus of this invention, it pastes on the bonding surface 5 of the bonding target W2 provided with the frame-shaped frame body 6, following the roller 11 and making it bend and deform | transform smoothly smoothly. Bonding W1 can be properly bonded, and bonding object W2 is manufactured by cleaning out bonding defects such as bonding W1 being misaligned, wrinkling on the bonding surface, or locally producing bubbles. Time yield can be improved, and the manufacturing cost of the bonding object W2 can be reduced accordingly.

一群の硬質シート14に加えて弾性シート15を含む載置ベース10においては、弾性シート15の外面に押圧面16を構成する1枚の硬質シート14を積層して構成すること、換言すると、押圧面16より内側に弾性シート16を設けておくことによって、貼合体W1に作用する押圧力のばらつきを弾性シート16が弾性変形することで吸収できる。その結果、貼合体W1を接着むらのない状態で、貼付け面5に対して均一に接着して、貼合対象W2の歩留まりを向上できる。因みに、載置ベース10がローラー11に追随変形するときの湾曲形状は、ローラー11が載置ベース10のどの部分を押圧しているかで僅かずつ異なっており、この湾曲形状の変化によって、押圧面16から貼合体W1に加えられる押圧力にばらつきが生じてしまう。   In the mounting base 10 including the elastic sheet 15 in addition to the group of hard sheets 14, the hard sheet 14 constituting the pressing surface 16 is laminated on the outer surface of the elastic sheet 15. By providing the elastic sheet 16 on the inner side of the surface 16, the variation in the pressing force acting on the bonded body W1 can be absorbed by the elastic sheet 16 being elastically deformed. As a result, it is possible to improve the yield of the bonding object W2 by uniformly bonding the bonding body W1 to the bonding surface 5 in a state without bonding unevenness. Incidentally, the curved shape when the mounting base 10 follows the roller 11 is slightly different depending on which part of the mounting base 10 the roller 11 presses. Variations occur in the pressing force applied from 16 to the bonded body W1.

硬質シート14は、金属シートやプラスチックシートで形成することができる。金属シートとしては、ステンレスシート、鋼合金シート、銅合金シートなどが好適であり、これらの金属シートによれば、長期使用時の耐久性を向上でき、さらに隣接する硬質シート14どうしの動きやすさを確保できる。また、硬質シート14は、例えばフッ素樹脂や、PET樹脂、超高分子ポリエチレンなどの滑性に優れたプラスチックシートで形成することができ、その場合には、隣接する硬質シート14どうしの滑りやすさを向上して、載置ベース10がローラー11に追随して局部的に湾曲変形するときの変形動作をさらに円滑化できる。ウレタンシート、あるいはシリコンゴムシートで形成した弾性シート15によれば、他の弾性材に比べて、長期にわたって安定した弾性を発揮でき劣化しにくい。また、入手しやすくコストも少なくて済む。   The hard sheet 14 can be formed of a metal sheet or a plastic sheet. As the metal sheet, a stainless steel sheet, a steel alloy sheet, a copper alloy sheet or the like is suitable. According to these metal sheets, durability during long-term use can be improved, and the mobility of adjacent hard sheets 14 can be easily moved. Can be secured. Further, the hard sheet 14 can be formed of a plastic sheet having excellent lubricity, such as a fluororesin, a PET resin, or an ultra high molecular weight polyethylene. In that case, the hard sheets 14 are easily slipped between adjacent hard sheets 14. Thus, the deformation operation when the mounting base 10 follows the roller 11 and is locally bent and deformed can be further smoothed. According to the elastic sheet 15 formed of a urethane sheet or a silicon rubber sheet, it is possible to exhibit a stable elasticity over a long period of time and hardly deteriorate compared to other elastic materials. In addition, it is easy to obtain and costs less.

載置ベース10をシルクスクリーン9の内部に設けた複数の支持台12で支持すると、載置ベース10の重みと負圧によってシルクスクリーン9が撓み変形するのを規制して、貼合体W1と貼付け面5との隙間Eを常に一定にできる。したがって、ローラー11による載置ベース10の押圧操作を常に一定にして、貼合体W1を貼付け面5にむらのない状態で適正に貼合できる。また、複数の支持台12を順次退避位置へ退避移動させながらローラー11を貼合移動することにより、貼合される直前まで載置ベース10を支持台12で支持して、先の隙間Eを適正な状態に維持し、貼合体W1を一端から他端まで均一に貼合できる。   When the mounting base 10 is supported by a plurality of support bases 12 provided inside the silk screen 9, the silk screen 9 is restricted from being bent and deformed by the weight and negative pressure of the mounting base 10, and bonded to the bonded body W1. The gap E with the surface 5 can always be constant. Therefore, the pressing operation of the mounting base 10 by the roller 11 can be made constant at all times, and the bonding body W1 can be appropriately bonded to the bonding surface 5 with no unevenness. Further, by moving the rollers 11 while retreating the plurality of support bases 12 sequentially to the retreat position, the mounting base 10 is supported by the support base 12 until just before being pasted, and the previous gap E is formed. It maintains in a proper state and can paste the bonding body W1 uniformly from one end to the other end.

(実施例) 図1ないし図4は本発明に係るワーク貼合装置の実施例を示す。図2においてワーク貼合装置は、貼合体W1を支持する第1貼合台1と、貼合対象W2を貼合体W1と所定隙間Eを介して正対する状態で支持する第2貼合台2とを備えている。第2貼合台2は第1貼合台1に対して揺動開閉自在に連結してあり、図示していないエアーシリンダーおよびモーターで開閉操作される。 (Example) FIG. 1 thru | or FIG. 4 shows the Example of the workpiece | work bonding apparatus which concerns on this invention. In FIG. 2, the workpiece bonding apparatus includes a first bonding table 1 that supports the bonding body W1 and a second bonding table 2 that supports the bonding object W2 in a state of facing the bonding body W1 and the predetermined gap E. And. The 2nd bonding stand 2 is connected with the 1st bonding stand 1 so that rocking | fluctuation opening / closing is possible, and is opened and closed by the air cylinder and motor which are not shown in figure.

貼合体W1は、静電防止フィルムや反射防止フィルムなどの機能性フィルム、あるいは透明な板ガラスまたはプラスチック板材からなり、その上面には透明な接着剤層が全面にわたって形成してある。貼合対象W2は、貼合体W1が貼り付けられる貼付け面5と、貼付け面5の周囲を囲む額縁状の枠体6を備えていて、枠体6の表面と貼付け面5との間に段差T2が形成してある。先の貼合体W1の外形形状は、貼付け面5と同じ四角形に形成してある。貼合対象W2の具体例としては、プラズマディスプレイ、液晶ディスプレイ、タッチパネルなどがあり、これらの表示面が貼付け面5となる。もちろん、前記ディスプレイ以外の機器類が貼合対象W2であってもよい。   The bonded body W1 is made of a functional film such as an antistatic film or an antireflection film, or a transparent plate glass or plastic plate, and a transparent adhesive layer is formed on the entire surface thereof. The bonding target W2 includes a bonding surface 5 to which the bonding body W1 is bonded and a frame-shaped frame body 6 surrounding the bonding surface 5, and a step between the surface of the frame 6 and the bonding surface 5 is provided. T2 is formed. The outer shape of the past bonded body W1 is formed in the same square as the pasting surface 5. Specific examples of the bonding target W2 include a plasma display, a liquid crystal display, a touch panel, and the like, and these display surfaces serve as the bonding surface 5. Of course, devices other than the display may be the bonding target W2.

第1貼合台1は、上向きに開口する箱構造の真空チャンバー8と、真空チャンバー8の開口面に張設される通気可能なシルクスクリーン9とを備えている。シルクスクリーン9の外面には、貼合体W1を支持する載置ベース10が配置してある。また、真空チャンバー8の内部には、シルクスクリーン9および載置ベース10を介して貼合体W1を貼付け面5に押し付けるローラー11と、載置ベース10を支持する左右一対の支持台12が配置してある。図2において符号13は真空チャンバー8内の空気を排気する真空ポンプ(真空源)である。載置ベース10の載置部分を除くシルクスクリーン9のスクリーン面は、図示していない遮蔽シートで通気不能に封止してある。   The first bonding table 1 includes a box-shaped vacuum chamber 8 that opens upward, and a breathable silk screen 9 that is stretched over the opening surface of the vacuum chamber 8. On the outer surface of the silk screen 9, the mounting base 10 that supports the bonded body W1 is disposed. Further, inside the vacuum chamber 8, a roller 11 that presses the bonding body W <b> 1 against the bonding surface 5 through the silk screen 9 and the mounting base 10, and a pair of left and right support bases 12 that support the mounting base 10 are arranged. It is. In FIG. 2, reference numeral 13 denotes a vacuum pump (vacuum source) that exhausts air in the vacuum chamber 8. The screen surface of the silk screen 9 excluding the placement portion of the placement base 10 is sealed with a shielding sheet (not shown) so as not to allow ventilation.

第2貼合台2には取付治具(図示していない)が設けてあり、ごく簡単な操作で貼合対象W2を所定の姿勢で固定することができる。   An attachment jig (not shown) is provided on the second bonding table 2, and the bonding object W2 can be fixed in a predetermined posture by a very simple operation.

載置ベース10は、通気可能な一群の硬質シート14、および弾性シート15を積層要素にして構成する。図2および図3に示すように、6枚の硬質シート14のうち、5枚の硬質シート14でベース層を形成し、その外面に弾性シート15を積層する。さらに、弾性シート15の外面に残る1枚の硬質シート14を積層して押圧面16を構成し、これら積層体の押圧始端側の端面を固定して載置ベース10を構成する。   The mounting base 10 includes a group of hard sheets 14 that can be ventilated and an elastic sheet 15 as laminated elements. As shown in FIGS. 2 and 3, a base layer is formed of five hard sheets 14 out of six hard sheets 14, and an elastic sheet 15 is laminated on the outer surface thereof. Furthermore, the pressing surface 16 is configured by laminating one hard sheet 14 remaining on the outer surface of the elastic sheet 15, and the mounting base 10 is configured by fixing the end surfaces on the pressing start end side of these stacked bodies.

硬質シート14は、厚みが0.05〜0.2mmのステンレスシートからなり、弾性シート15は、厚みが0.3〜1.0mmのウレタンシート、あるいはシリコンゴムシートで形成する。各硬質シート14のシート面、および弾性シート15のシート面には、それぞれ一群の通気穴17・18が、同じ配置パターンで、厚み方向に貫通する状態で形成してある。通気穴17の直径寸法は、0.3〜1.0mmの範囲内から選定するのが好ましく、より好ましくは0.5〜0.8mmの範囲内から選定する。直径寸法が0.3mm未満であると、通気穴17の形状および寸法がばらつきやすく、さらに塵埃などの異物の侵入によって穴が塞がれるおそれがある。また、直径寸法が1.0mmを越えると、貼合体W1のフィルム厚みが小さい場合に、真空圧によってフィルム面が最上面の硬質シート14の通気穴17に吸い込まれて変形するおそれがある。   The hard sheet 14 is made of a stainless steel sheet having a thickness of 0.05 to 0.2 mm, and the elastic sheet 15 is formed of a urethane sheet or a silicon rubber sheet having a thickness of 0.3 to 1.0 mm. A group of ventilation holes 17 and 18 are formed in the sheet surface of each hard sheet 14 and the sheet surface of the elastic sheet 15 in the same arrangement pattern, penetrating in the thickness direction. The diameter of the vent hole 17 is preferably selected from the range of 0.3 to 1.0 mm, more preferably from the range of 0.5 to 0.8 mm. If the diameter is less than 0.3 mm, the shape and size of the vent hole 17 are likely to vary, and the hole may be blocked by the entry of foreign matter such as dust. On the other hand, if the diameter exceeds 1.0 mm, the film surface may be sucked into the vent hole 17 of the uppermost hard sheet 14 by vacuum pressure and deformed when the film thickness of the bonded body W1 is small.

硬質シート14の通気穴17は、ステンレスシートにエッチング処理を施して、あるいはレーザー加工機で穿孔加工を施して、直径および配置パターンが一定になる状態で正確に形成してある。また、弾性シート15の通気穴18は、レーザー加工機で穿孔加工を施して、直径および配置パターンが一定になる状態で正確に形成してある。したがって、全ての硬質シート14と弾性シート15を積層した状態では、全ての通気穴17・18を上下方向に連通させて、押圧面16に載置した貼合体W1に真空チャンバー8内の真空圧を作用させることができる。積層した状態の硬質シート14と弾性シート15とは、載置ベース10がローラー11で押圧されるときの、載置ベース10の押圧始端側に臨むシート端をレーザー溶接して分離不能に一体化してあり、この固定部分を符号19で示している。   The air holes 17 of the hard sheet 14 are accurately formed in a state where the diameter and the arrangement pattern are constant by etching the stainless steel sheet or drilling with a laser processing machine. Further, the vent hole 18 of the elastic sheet 15 is precisely formed in a state where the diameter and the arrangement pattern are constant by drilling with a laser processing machine. Therefore, in a state where all the hard sheets 14 and the elastic sheets 15 are laminated, all the vent holes 17 and 18 are communicated in the vertical direction, and the vacuum pressure in the vacuum chamber 8 is applied to the bonded body W1 placed on the pressing surface 16. Can act. The hard sheet 14 and the elastic sheet 15 in a laminated state are integrated so as not to be separated by laser welding the sheet end facing the pressing start end side of the mounting base 10 when the mounting base 10 is pressed by the roller 11. This fixed portion is denoted by reference numeral 19.

得られた載置ベース10の外形形状は貼合体W1と同じ四角形で、枠体6に対して出入りできる大きさになっている。また、載置ベース10の全厚寸法T1は、先に説明した段差T2より僅かに大きく設定してあり、この実施例では段差T2が4〜4.5mmであるとき、載置ベース10の全厚寸法T1を5mmとした。   The outer shape of the obtained mounting base 10 is the same quadrangle as the bonded body W <b> 1 and is large enough to enter and exit the frame body 6. Further, the total thickness T1 of the mounting base 10 is set slightly larger than the step T2 described above. In this embodiment, when the step T2 is 4 to 4.5 mm, the entire thickness of the mounting base 10 is set. The thickness dimension T1 was 5 mm.

載置ベース10を前後および左右に位置決めするために、シルクスクリーン9の上面に位置決め枠32を設ける。位置決め枠32は、載置ベース10の左右側面および前後側面を受け止めて位置決めしており、ローラー11で押し上げ操作される載置ベース10に同行して上方移動できる。そのために、位置決め枠32の前後端を、真空チャンバー8の周囲壁の上端で昇降移動のみ自在に案内支持している。   A positioning frame 32 is provided on the upper surface of the silk screen 9 in order to position the mounting base 10 in the front-rear and left-right directions. The positioning frame 32 receives and positions the left and right side surfaces and the front and rear side surfaces of the mounting base 10, and can move upward along with the mounting base 10 pushed up by the roller 11. For this purpose, the front and rear ends of the positioning frame 32 are guided and supported only at the upper end of the peripheral wall of the vacuum chamber 8 so as to move up and down.

ローラー11は、真空チャンバー8の内部に設けたローラー軸受21で回転自在に支持してある。また、ローラー軸受21とローラー支持台20との間に設けたエアーシリンダー22で、シルクスクリーン9の下方の待機位置と、載置ベース10を貼合対象W2に押し付ける上方の押圧位置とに昇降操作できるように構成してある。   The roller 11 is rotatably supported by a roller bearing 21 provided inside the vacuum chamber 8. In addition, the air cylinder 22 provided between the roller bearing 21 and the roller support 20 is operated to move up and down to a standby position below the silk screen 9 and an upper pressing position that presses the mounting base 10 against the bonding target W2. It is configured so that it can.

ローラー支持台20は、駆動構造で往復駆動されて真空チャンバー8の左端と右端との間を往復移動できる。図2に示すように、ローラー支持台20をガイドレール23でスライド自在に案内支持し、ガイドレール23と平行に配置したタイミングベルト24の直線移行部分にローラー支持台20を固定して、ローラー11を左右に往復駆動できるようにしている。タイミングベルト24は左右一対のタイミングプーリ25に巻き掛けてあり、一方のタイミングプーリ25をステップモーター26で正逆双方向へ回転駆動することにより、ローラー支持台20をタイミングプーリ25を介して往復操作できる。   The roller support 20 is reciprocally driven by the drive structure and can reciprocate between the left end and the right end of the vacuum chamber 8. As shown in FIG. 2, the roller support base 20 is slidably guided and supported by the guide rail 23, and the roller support base 20 is fixed to the linear transition portion of the timing belt 24 arranged in parallel with the guide rail 23. Can be reciprocated left and right. The timing belt 24 is wound around a pair of left and right timing pulleys 25. One of the timing pulleys 25 is driven to rotate in both forward and reverse directions by a step motor 26, whereby the roller support 20 is reciprocated via the timing pulley 25. it can.

支持台12はパンチングメタルや金属網体などの通気自在な板状体からなり、シルクスクリーン9の下面側に水平に配置されて、エアーシリンダー29で支持してある。支持台12はエアーシリンダー29で昇降操作されて、その上面がシルクスクリーン9の下面に接当する上側の支持位置と、支持台12がローラー11の移動軌跡の下方へ下降する退避位置との間を変位できる。   The support 12 is made of a plate that can be ventilated, such as punching metal or a metal net, and is horizontally disposed on the lower surface side of the silk screen 9 and supported by an air cylinder 29. The support table 12 is moved up and down by an air cylinder 29, and the upper support position where the upper surface contacts the lower surface of the silk screen 9 and the retreat position where the support table 12 descends below the trajectory of the roller 11 are supported. Can be displaced.

左右の支持台12でシルクスクリーン9を介して載置ベース10を支持することにより、載置ベース10の重みと負圧によってシルクスクリーン9が下向きに撓むのを防止できる。これにより、載置ベース10の上面に載置した貼合体W1を、貼合対象W2の貼付け面5に対して、適正な隙間Eを介して正対させることができる。なお、左右の支持台12は、ローラー11が矢印Mの方向へ移動するとき、ローラー11に近い側から順に退避位置へ下降される。   By supporting the mounting base 10 via the silk screen 9 with the left and right support bases 12, it is possible to prevent the silk screen 9 from being bent downward due to the weight and negative pressure of the mounting base 10. Thereby, the bonding body W1 mounted on the upper surface of the mounting base 10 can be directly opposed to the bonding surface 5 of the bonding target W2 via the appropriate gap E. In addition, when the roller 11 moves in the direction of the arrow M, the left and right support bases 12 are lowered to the retracted position in order from the side closer to the roller 11.

以上のように構成した貼合装置は、次のようにして貼合体W1を貼合対象W2に貼合する。まず、第2貼合台2を開放操作して、その貼合面側に設けた取付治具に貼合対象W2を装着する。上面が開放された載置ベース10の上面にフィルム状の貼合体W1を載置して位置決めし、真空チャンバー8に真空圧を作用させて貼合体W1を載置ベース10で吸着固定する。次に、第2貼合台2を反転して、図2に示すように貼合対象W2の貼付け面5を貼合体W1と所定の隙間Eを間にして正対させる。隙間Eの値は0.1〜3mmが好適である。この状態の第2貼合台2は、図示していない位置決め台に受け止められて分離不能にロック固定してある。また、載置ベース10は左右一対の支持台12で支持されている。   The bonding apparatus comprised as mentioned above bonds the bonding body W1 to the bonding object W2 as follows. First, the 2nd bonding stand 2 is open-operated, and the bonding object W2 is mounted on the mounting jig provided on the bonding surface side. The film-like bonding body W1 is placed and positioned on the upper surface of the mounting base 10 whose upper surface is opened, and vacuum pressure is applied to the vacuum chamber 8 so that the bonding body W1 is adsorbed and fixed by the mounting base 10. Next, the 2nd bonding stand 2 is reversed, and as shown in FIG. 2, the bonding surface 5 of the bonding object W2 is made to oppose with the bonding body W1 and the predetermined gap E in between. The value of the gap E is preferably 0.1 to 3 mm. The second bonding table 2 in this state is received by a positioning table (not shown) and is locked and fixed so as not to be separated. The mounting base 10 is supported by a pair of left and right support bases 12.

上記のように貼合準備が終了したのち、ローラー11を載置ベース10の押圧始端の下方位置まで移動させ、さらにローラー11をエアーシリンダー22で上方の押圧位置へ上方移動させて、載置ベース10をシルクスクリーン9ごと貼合対象W2の貼付け面5へ向かって押し付ける。これにより載置ベース10の上面に真空吸着されていた貼合体W1を、貼付け面5に押圧して接着固定できる。   After the preparation for bonding is completed as described above, the roller 11 is moved to a position below the pressing start end of the mounting base 10, and the roller 11 is further moved upward to the pressing position by the air cylinder 22. 10 is pressed together with the silk screen 9 toward the bonding surface 5 of the bonding object W2. Thereby, the bonding body W1 vacuum-adsorbed on the upper surface of the mounting base 10 can be pressed and bonded to the bonding surface 5.

ローラー11で押し上げ操作されるときの載置ベース10は、図1に示すように局部的に湾曲変形して、貼合体W1を部分的に貼付け面5に押圧する。このように、ローラー11で押された載置ベース10を、ローラー11に追随して円滑に湾曲させるために、積層した6枚の硬質シート14と弾性シート15の押圧始端のみを溶接層で固定して、各シートが自由に相対移動できるようにしている。つまり、各シートが湾曲するときの形状変化を、各シートがずれ動くことで円滑に吸収できるようにしている。因みに、載置ベース10の押圧始端と押圧終端、あるいは四周辺部が固定してあるような場合には、各シートが固定部分に拘束されて相対移動できないので、載置ベース10をローラー11に追随して円滑に湾曲させることはできない。   As shown in FIG. 1, the mounting base 10 when being pushed up by the roller 11 is locally curved and deformed to partially press the bonding body W <b> 1 against the bonding surface 5. Thus, in order to follow the roller 11 and smoothly bend the mounting base 10 pressed by the roller 11, only the pressing start ends of the six laminated hard sheets 14 and the elastic sheet 15 are fixed by the weld layer. Thus, each sheet can be freely moved relative to each other. In other words, the shape change when each sheet is curved can be smoothly absorbed by each sheet being displaced. Incidentally, in the case where the pressing start end and the pressing end of the mounting base 10 or the four peripheral portions are fixed, each sheet is restrained by the fixed portion and cannot be moved relatively. It cannot follow and bend smoothly.

載置ベース10には、ベース層と最上面の硬質シート14との間に弾性シート15を設けるが、それは以下の理由による。載置ベース10がローラー11に追随変形するときの湾曲形状は、ローラー11が載置ベース10のどの部分を押圧しているかで僅かずつ異なる。例えば、左右両端と中央部とで載置ベース10の湾曲形状は異なっており、この形状変化によって貼合体W1が押圧面16で押圧されるときの押圧力にばらつきが生じる。しかし、押圧面16の下面側に弾性シート16を設けておくと、貼合体W1に作用する押圧力のばらつきを弾性シート16が弾性変形することで吸収でき、これにより貼合体W1を接着むらのない状態で均一に接着できる。   The mounting base 10 is provided with an elastic sheet 15 between the base layer and the uppermost hard sheet 14 for the following reason. The curved shape when the mounting base 10 is deformed following the roller 11 slightly differs depending on which part of the mounting base 10 the roller 11 is pressing. For example, the curved shape of the mounting base 10 is different between the left and right ends and the central portion, and variation occurs in the pressing force when the bonded body W1 is pressed by the pressing surface 16 due to this shape change. However, if the elastic sheet 16 is provided on the lower surface side of the pressing surface 16, the variation in the pressing force acting on the bonded body W1 can be absorbed by the elastic sheet 16 being elastically deformed, and thus the bonded body W1 is unevenly bonded. Can be bonded evenly in the absence.

ローラー11は、図4において貼合体W1の左端から右端へ向かって一定速度で移動操作されるが、ローラー11の移動に伴なって左右の支持台12を順次下降操作する。まず、ローラー11が載置ベース10の押圧始端を押し上げ操作した時点で、ローラー11に近い左側の支持台12をエアーシリンダー29で下降操作して、ローラー11の移動空間から退避位置へと移動させる。また、ローラー11が載置ベース10の中央部に到達するのに先行して、右側の支持台12をエアーシリンダー29で下降操作して、ローラー11の移動空間から退避位置へと移動させる。接着が完了したのち、ローラー11は図2に示すホーム位置へ復帰移動し、さらに左右の支持台12は支持位置へ復帰して載置ベース10を支持する。最後に、第2貼合台2を開放揺動して貼合対象W2を取り出す。   The roller 11 is operated to move at a constant speed from the left end to the right end of the bonded body W <b> 1 in FIG. 4, and the left and right support bases 12 are sequentially lowered as the roller 11 moves. First, when the roller 11 pushes up the pressing start end of the mounting base 10, the left support base 12 close to the roller 11 is moved down by the air cylinder 29 and moved from the movement space of the roller 11 to the retracted position. . Prior to the roller 11 reaching the center of the mounting base 10, the right support 12 is moved down by the air cylinder 29 and moved from the movement space of the roller 11 to the retracted position. After the bonding is completed, the roller 11 returns to the home position shown in FIG. 2, and the left and right support bases 12 return to the support position to support the mounting base 10. Finally, the 2nd bonding stand 2 is opened and rocked, and the bonding object W2 is taken out.

上記の実施例では、貼合体W1がフィルムである場合について説明したが、貼合体W1がガラス基板やプラスチック基板である場合にも、同様にして貼合体W1を貼合対象W2に対して適正にしかも迅速に貼合することができる。第2貼合台2は、垂直の揺動軸の周りに揺動開閉して、貼合体W1と正対することができる。   In said Example, although the case where the bonding body W1 was a film was demonstrated, also when the bonding body W1 is a glass substrate or a plastic substrate, the bonding body W1 is appropriately appropriate with respect to the bonding object W2. Moreover, it can be quickly bonded. The 2nd bonding stand 2 can be rock | fluctuated and opened around the vertical rocking | fluctuation axis | shaft, and can face the bonding body W1.

硬質シート14はプラスチックシート、例えばフッ素樹脂、PET樹脂、超高分子ポリエチレンなどの滑性に優れたプラスチックシートで形成することができる。その場合には、載置ベース10の押圧始端側に臨むシート端面に接着剤を塗布して固定部分19を形成することができ、通気穴17はNC加工機で形成するとよい。また、ステンレスシート以外に、鋼合金シート、銅合金シートなどの金属シートで硬質シート14を形成することができ、とくに滑性に優れた金属シートであれば好適に使用できる。なお、ベース層を構成する硬質シート14の構成枚数は段差T2の寸法に応じて適宜変更すべきであるので、その数は実施例で説明した枚数には限定しない。   The hard sheet 14 can be formed of a plastic sheet, for example, a plastic sheet excellent in lubricity, such as a fluororesin, a PET resin, or an ultra high molecular polyethylene. In that case, the fixing part 19 can be formed by applying an adhesive to the sheet end face facing the pressing start end side of the mounting base 10, and the vent hole 17 may be formed by an NC processing machine. In addition to the stainless steel sheet, the hard sheet 14 can be formed of a metal sheet such as a steel alloy sheet or a copper alloy sheet, and any metal sheet having particularly excellent lubricity can be suitably used. Note that the number of the hard sheets 14 constituting the base layer should be appropriately changed according to the dimension of the step T2, and the number is not limited to the number described in the embodiment.

貼合対象W2の貼付け面5を貼合体W1と所定の隙間Eを間にして正対させた状態において、第1貼合台1あるいは貼合体W1を位置基準にして、第2貼合台2をアライメント装置で調整操作して位置決めすることができる。載置ベース10は弾性シート15を含んで構成するのが好ましいが、貼合体W1の素材によっては弾性シート15を省略することができる。支持台12は、必要に応じて2個以上設けることができる。また、載置ベース10の重量を真空チャンバー8の周囲壁3で支持する場合には、支持台12を省略することができる。   In a state where the bonding surface 5 of the bonding object W2 is directly facing the bonding body W1 with the predetermined gap E in between, the first bonding table 1 or the bonding body W1 is used as a position reference, and the second bonding table 2 is used. Can be positioned by adjusting with an alignment device. Although it is preferable that the mounting base 10 includes the elastic sheet 15, the elastic sheet 15 can be omitted depending on the material of the bonded body W1. Two or more support bases 12 can be provided as necessary. Further, when the weight of the mounting base 10 is supported by the peripheral wall 3 of the vacuum chamber 8, the support base 12 can be omitted.

貼合構造の詳細を示す要部のみの縦断正面図である。It is a vertical front view of only the principal part which shows the detail of the bonding structure. ワーク貼合装置の縦断正面図である。It is a vertical front view of a workpiece bonding apparatus. 載置ベースの斜視図である。It is a perspective view of a mounting base. 貼合途中状態のワーク貼合装置の縦断正面図である。It is a vertical front view of the workpiece | work bonding apparatus of the state in the middle of bonding. 比較例を示すワーク貼合構造の縦断正面図である。It is a vertical front view of the workpiece bonding structure which shows a comparative example.

符号の説明Explanation of symbols

1 第1貼合台
2 第2貼合台
5 貼付け面
6 枠体
8 真空チャンバー
9 シルクスクリーン
10 載置ベース
11 ローラー
14 硬質シート
15 弾性シート
W1 貼合体
W2 貼合対象
T2 段差
DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 1st bonding stand 2 2nd bonding stand 5 Pasting surface 6 Frame 8 Vacuum chamber 9 Silk screen 10 Mounting base 11 Roller 14 Hard sheet 15 Elastic sheet W1 Pasting body W2 Pasting object T2 Level difference

Claims (4)

板状ないしフィルム状の貼合体(W1)を支持する第1貼合台(1)と、貼合対象(W2)を貼合体(W1)と所定隙間(E)を介して正対する状態で支持する第2貼合台(2)とを備えており、
貼合対象(W2)は、貼合体(W1)が貼り付けられる貼付け面(5)と、貼付け面(5)の周囲を囲む額縁状の枠体(6)を備えていて、枠体(6)の表面と貼付け面(5)との間に段差(T2)が形成されており、
第1貼合台(1)は、真空チャンバー(8)と、真空チャンバー(8)の開口面に張設される通気可能なシルクスクリーン(9)とを有し、
シルクスクリーン(9)の外面には貼合体(W1)を支持する載置ベース(10)が配置されており、
真空チャンバー(8)の内部には、シルクスクリーン(9)および載置ベース(10)を介して貼合体(W1)を貼付け面(5)に押し付けるローラー(11)が配置されており、
載置ベース(10)は、通気可能な一群の硬質シート(14)を積層し、積層された硬質シート(14)の押圧始端側の端面を分離不能に固定して構成してあり、
載置ベース(10)が、ローラー(11)に追随して局部的に湾曲変形しながら貼合体(W1)を貼付け面(5)に貼合することを特徴とするワーク貼合装置。
The first bonding stand (1) that supports the plate-like or film-like bonding body (W1) and the bonding target (W2) are supported in a state of facing the bonding body (W1) via the predetermined gap (E). A second bonding table (2)
The pasting object (W2) includes a pasting surface (5) to which the pasting body (W1) is pasted and a frame-like frame body (6) surrounding the pasting surface (5). ) Is formed between the surface and the pasting surface (5),
The first bonding stand (1) has a vacuum chamber (8) and a breathable silk screen (9) stretched on the opening surface of the vacuum chamber (8),
On the outer surface of the silk screen (9), a mounting base (10) for supporting the bonded body (W1) is disposed,
Inside the vacuum chamber (8), a roller (11) for pressing the bonding body (W1) against the bonding surface (5) via the silk screen (9) and the mounting base (10) is disposed.
The mounting base (10) is configured by laminating a group of hard sheets (14) that can be ventilated, and fixing the end face on the pressing start end side of the laminated hard sheets (14) in an inseparable manner,
The workpiece bonding apparatus, wherein the mounting base (10) follows the roller (11) and bonds the bonding body (W1) to the bonding surface (5) while locally bending and deforming.
載置ベース(10)が弾性シート(15)を含んで構成されており、
弾性シート(15)の外面に押圧面(16)を構成する1枚の硬質シート(14)が積層してある請求項1記載のワーク貼合装置。
The mounting base (10) includes an elastic sheet (15),
The work bonding apparatus according to claim 1, wherein one hard sheet (14) constituting the pressing surface (16) is laminated on the outer surface of the elastic sheet (15).
硬質シート(14)が、金属シートおよび/またはプラスチックシートで形成されており、弾性シート(15)が、ウレタンシートとシリコンゴムシートのいずれかで形成してある請求項2に記載のワーク貼合装置。   The workpiece bonding according to claim 2, wherein the hard sheet (14) is formed of a metal sheet and / or a plastic sheet, and the elastic sheet (15) is formed of either a urethane sheet or a silicon rubber sheet. apparatus. 載置ベース(10)を支持する複数の支持台(12)がシルクスクリーン(9)の内部に配置されており、
支持台(12)は、載置ベース(10)を支持する支持位置と、ローラー(11)の移動軌跡の下方の退避位置との間で変位できるように支持されており、
ローラー(11)の貼合移動に連動して、複数の支持台(12)を順次退避位置へ退避移動させて、貼合体(W1)を貼付け面(5)に貼合する請求項1、2または3に記載のワーク貼合装置。
A plurality of support bases (12) for supporting the mounting base (10) are arranged inside the silk screen (9),
The support base (12) is supported so as to be displaceable between a support position for supporting the mounting base (10) and a retracted position below the movement locus of the roller (11).
In conjunction with the movement of the roller (11), the plurality of support tables (12) are sequentially moved to the retracted position, and the bonded body (W1) is bonded to the bonding surface (5). Or the workpiece bonding apparatus of 3.
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