JP5144956B2 - Imaging device and imaging apparatus - Google Patents
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Description
本発明は、撮像素子及びそれを備えた撮像装置に関する。 The present invention relates to an imaging element and an imaging apparatus including the imaging element.
テレビカメラ等の撮像装置に利用される光電変換膜の材料として、シリコンや非晶質セレン等がよく知られている。これらの材料を光電変換膜として用いた撮像装置としては、入射光を赤・緑・青の3原色光等に分解する色分解プリズムと、このプリズムの後段に配置され、各色光を受光する3枚の光電変換膜(撮像素子)とを備えた3板式のものが一般的である。 Silicon, amorphous selenium, and the like are well known as materials for photoelectric conversion films used in imaging devices such as television cameras. As an image pickup apparatus using these materials as a photoelectric conversion film, a color separation prism that separates incident light into three primary color lights of red, green, and blue, and a color separation prism that is disposed in the subsequent stage of this prism and receives each color light 3 A three-plate type including a single photoelectric conversion film (imaging device) is generally used.
ところで、このような3板式の撮像装置は、一般に、上述したような色分解プリズムや3枚の撮像素子が搭載されているためサイズが大型化し、重量も大きなものとなってしまうという問題がある。したがって、撮像装置の小型軽量化を実現するためには、色分解プリズムを省略すること及び撮像素子を1枚とした単板式のものとすることが望まれる。このような要望に応じた撮像装置として、光電変換膜平面内の各画素上に赤・緑・青の色フィルタをベイヤー配列で配設することにより色画素を形成したものが知られている(例えば、非特許文献1参照)。 By the way, such a three-plate type imaging device generally has a problem that the size is increased and the weight is increased because the above-described color separation prism and the three imaging elements are mounted. . Therefore, in order to realize a reduction in size and weight of the image pickup apparatus, it is desired to omit the color separation prism and to use a single plate type having one image pickup element. As an image pickup apparatus that meets such demands, an image pickup apparatus in which color pixels are formed by arranging red, green, and blue color filters in a Bayer arrangement on each pixel in a photoelectric conversion film plane is known ( For example, refer nonpatent literature 1).
しかしながら、上述した従来技術においては、赤・緑・青のいずれか1色を1画素に割り当てて色画素を形成しているために解像度が低下してしまい、さらに、色画素において、入射光のうち、その色フィルタの色成分以外の色成分は、その色フィルタを通過する際に吸収されてしまうため、光の利用効率も低下してしまう。 However, in the above-described prior art, since one of red, green, and blue is assigned to one pixel to form a color pixel, the resolution is lowered. Among them, the color components other than the color components of the color filter are absorbed when passing through the color filter, so that the light use efficiency is also lowered.
上述した、ベイヤー配列を用いた従来技術で問題となる解像度や光の利用効率の低下は、不純物濃度が制御された3層のフォトダイオードを光の入射方向に積層してなる光電変換部を設けること(例えば、特許文献1参照)、又は波長選択機能を有する光電変換膜を光の入射方向に積層すること(例えば、特許文献2参照)により改善できることが知られている。 The above-described reduction in resolution and light utilization efficiency, which is a problem in the prior art using the Bayer array, is provided with a photoelectric conversion unit in which three layers of photodiodes with controlled impurity concentration are stacked in the light incident direction. It is known that this can be improved by stacking a photoelectric conversion film having a wavelength selection function in the light incident direction (for example, see Patent Document 2).
しかしながら、特許文献1に示されたものは、不可避的に信号読み出し部が受光面と同一平面上に形成されるため、入射光に対する開口率を100%とすることに本質的な困難性があり、受光率をより高くすることが困難であるという課題があった。 However, the device disclosed in Patent Document 1 inevitably has a signal readout portion formed on the same plane as the light receiving surface, and thus has an inherent difficulty in setting the aperture ratio for incident light to 100%. There is a problem that it is difficult to increase the light receiving rate.
一方、特許文献2に示されたものは、光の3原色である赤・緑・青のみにそれぞれ光感度を有する光電変換膜を積層作製することで、光の利用効率及び解像度に優れた単板式の撮像装置を構築するものである。ここで、上記光電変換膜としては、例えば、有機系材料が用いられる。有機系材料は特定の波長域のみに吸収帯を有するものが多く、赤・緑・青の3原色のそれぞれに応じた吸収領域を有するような組成となるように分子設計を行うことで、上記各色光に光感度を有する光電変換膜が形成される。 On the other hand, the one disclosed in Patent Document 2 is a single layer having excellent light utilization efficiency and resolution by laminating and producing photoelectric conversion films each having photosensitivity only for the three primary colors of light, red, green, and blue. A plate-type imaging device is constructed. Here, as the photoelectric conversion film, for example, an organic material is used. Many organic materials have an absorption band only in a specific wavelength range, and the molecular design is performed so that the composition has an absorption region corresponding to each of the three primary colors of red, green, and blue. A photoelectric conversion film having photosensitivity for each color light is formed.
しかしながら、このような光電変換膜を積層する構成では、各層(膜)間に電気信号読み出し用の透明電極を配設する必要があるため構造が煩雑になることに加えて、開口率を低下させることなく各層から信号を読み出すことが困難であるという課題があった。 However, in such a configuration in which the photoelectric conversion films are laminated, it is necessary to dispose a transparent electrode for reading an electric signal between each layer (film), so that the structure is complicated and the aperture ratio is reduced. There was a problem that it was difficult to read out signals from each layer without any problems.
そこで、このような課題を解決するため、膜の電気容量の周波数特性が材料によって異なることを利用して各層からの信号を分離して読み出す手法が提案されている(例えば、特許文献3参照)。 Therefore, in order to solve such a problem, a method has been proposed in which signals from each layer are separated and read using the fact that the frequency characteristics of the capacitance of the film differ depending on the material (see, for example, Patent Document 3). .
特許文献3に示されたものは、受光部を形成する感光膜が、赤色領域の光にのみ反応して電気容量が変化する赤色光感光材料と、緑色領域の光にのみ反応して電気容量が変化する緑色光感光材料と、青色領域の光にのみ反応して電気容量が変化する青色光感光材料とを含むよう構成され、各材料に交流電圧を印加したとき、膜中の電子が電界の変化に追従できなくなり、電気容量が減少し始める周波数が互いに異なるよう各材料が選定されている。このとき、感光膜全体の電気容量の交流電圧に対する周波数特性は次のようになる。
まず、低周波領域においては、上記すべての材料(3種類の材料)の電気容量が周波数に追従できるため、測定される電気容量値はすべての材料の電気容量の和となる。次に、印加電圧の周波数を高くして中周波数領域に設定すると、3種類の材料のうち1種類の材料の電気容量が印加電庄周波数に追従できなくなり、膜全体の電気容量は低下し始め、ついには2種類の材料の電気容量の和に相当する電気容量値が測定されることになる。さらに周波数を高くして高周波数領域に設定すると、残りの2種類の材料のうち1種類の材料の電気容量に相当する電気容量値が測定されることになる。光が照射されていない場合(光未照射時)における膜の電気容量値Cdは、既知の所定の値とすることができるので、低、中、高の各周波数領域について、光照射時における膜の電気容量値Cpと、光未照射時における膜の電気容量値Cdとの差であるΔCを測定することにより、光の3原色それぞれについての受光量を求めることができることになる。
しかしながら、特許文献3に示された従来の撮像装置では、3種類の材料の電気容量が加算できるということが前提になっており、これは、3種類の材料の電気容量が並列に接続されていることを意味する。このようなモデルが仮定できる受光部の膜構造は、図9に示すようなものである。すなわち、図9に示した受光部1は、表面電極2と背面電極6との間に、赤色領域の光にのみ反応して電気容量が変化する赤色光感光材料3と、緑色領域の光にのみ反応して電気容量が変化する緑色光感光材料4と、青色領域の光にのみ反応して電気容量が変化する青色光感光材料5とを、入射光の進行方向と垂直な方向に順次配列した構成となっている。このような構成とすることは、製法上非常に難しく、また、各色において開口率100%を得ることは原理的に不可能である。
However, in the conventional imaging device disclosed in
本発明は、前述のような課題を解決するためになされたもので、従来のものよりも開口率を高めて感度を向上させることができ、しかも小型軽量化及び構造の簡易化を図ることができる撮像素子及び撮像装置を提供することを目的とする。 The present invention has been made to solve the above-described problems, and can improve the sensitivity by increasing the aperture ratio as compared with the conventional ones. Further, it is possible to reduce the size and weight and simplify the structure. An object of the present invention is to provide an image pickup device and an image pickup apparatus that can be used.
本発明の撮像素子は、少なくとも一方が透光性を有する一対の電極と、前記一対の電極に挟持され、互いに異なる第1、第2及び第3の波長域の光をそれぞれ吸収する第1、第2及び第3の材料を含む感光膜とを備え、前記第1、前記第2及び前記第3の材料は、前記一対の電極間において入射光の進行方向に沿って順次積層され、前記第1の材料は、第1の遮断周波数を有し、前記第2の材料は、前記第1の遮断周波数よりも高い第2の遮断周波数を有し、前記第3の材料は、前記第2の遮断周波数よりも高い第3の遮断周波数を有し、ゼロヘルツから前記第1の遮断周波数までの間に予め設定された周波数をf 1 、前記第1の遮断周波数から前記第2の遮断周波数までの間に予め設定された2つの周波数をf' 2 及びf 2 (f' 2 <f 2 )、前記第2の遮断周波数から前記第3の遮断周波数までの間に予め設定された2つの周波数をf' 3 及びf 3 (f' 3 <f 3 )と表し、前記第1、前記第2及び前記第3の材料の光未照射時におけるインピーダンスをそれぞれZ1、Z2及びZ3と表すとき、前記周波数f 1 においてZ1>Z2>Z3であり、前記周波数f' 2 及びf 2 においてZ2>Z3>Z1であり、前記周波数f' 3 及びf 3 においてZ3>Z2>Z1であり、前記第1、前記第2及び前記第3の材料のうち、1つが赤色領域の光にのみ反応してインピーダンス値が変化する赤色光感光材料であり、1つが緑色領域の光にのみ反応してインピーダンス値が変化する緑色光感光材料であり、残りの1つが青色領域の光にのみ反応してインピーダンス値が変化する青色光感光材料であり、前記第1、前記第2及び前記第3の材料は、それぞれ、前記周波数f 1 、f' 2 、f 2 、f' 3 、f 3 の電圧が前記一対の電極に印加されると、前記周波数ごとに、光未照射時と光照射時とで互いに異なる電流を出力するものである構成を有している。
The image pickup device of the present invention includes a pair of electrodes, at least one of which has translucency, and first, second, and third wavelength bands that are sandwiched between the pair of electrodes and absorb light in the first, second, and third wavelength ranges different from each other . A photosensitive film including a second and a third material, and the first, the second, and the third material are sequentially stacked between the pair of electrodes along a traveling direction of incident light, and 1 material has a first cut-off frequency, the second material has a second cut-off frequency higher than the first cut-off frequency, and the third material is the second cut-off frequency. A third cut-off frequency higher than the cut-off frequency, and a preset frequency between zero hertz and the first cut-off frequency is f 1 , and the first cut-off frequency to the second cut-off frequency Two frequencies set in advance between f ′ 2 and f 2 (f ′ 2 <f 2 ), two frequencies set in advance between the second cutoff frequency and the third cutoff frequency are represented as f ′ 3 and f 3 (f ′ 3 <f 3 ), and the first, when representing the impedance at the time of not irradiated with light of the second and the third material, respectively Z1, Z2 and Z3, the a at the frequency f 1 Z1>Z2> Z3, said frequency f '2 and f 2 in the Z2>Z3> Z1 , Z3>Z2> Z1 at the frequencies f ′ 3 and f 3 , and one of the first, second and third materials reacts only to light in the red region. A red photosensitive material whose impedance value changes, one is a green photosensitive material whose impedance value changes only by reacting to light in the green region, and the other one is an impedance value which reacts only to light in the blue region Change A color light-sensitive material, said first, said second and said third material, respectively, the applied voltage of the frequency f 1, f '2, f 2, f' 3,
この構成により、本発明の撮像素子は、各色光をそれぞれ吸収する複数の材料のインピーダンス周波数特性を利用して、感光膜から各色光の信号を取り出すので、従来のものよりも開口率を高めて感度を向上させることができ、しかも小型軽量化及び構造の簡易化を図ることができる。 With this configuration, the image pickup device of the present invention takes out the signal of each color light from the photosensitive film using the impedance frequency characteristics of a plurality of materials that absorb each color light, so the aperture ratio is higher than the conventional one. The sensitivity can be improved, and the size and weight can be reduced and the structure can be simplified.
また、この構成により、本発明の撮像素子は、従来のものとは異なり、複数の材料が入射光の進行方向に順次積層された積層構造を有し、この積層構造の感光膜から各色光の信号を取り出すことができる。
また、この構成により、本発明の撮像素子は、光の3原色光をそれぞれ吸収する複数の材料のインピーダンス周波数特性を利用して、感光膜から光の3原色光の信号を取り出すことができる。
In addition, due to this configuration, the imaging element of the present invention has a laminated structure in which a plurality of materials are sequentially laminated in the traveling direction of incident light, unlike conventional ones. The signal can be extracted.
Also, with this configuration, the image pickup device of the present invention can take out signals of light of three primary colors from the photosensitive film by using impedance frequency characteristics of a plurality of materials that respectively absorb light of the three primary colors.
さらに、本発明の撮像素子は、少なくとも一方が透光性を有する一対の電極と、前記一対の電極に挟持され、互いに異なる第1、第2及び第3の波長域の光をそれぞれ吸収する第1、第2及び第3の材料を含む感光膜とを備え、前記第1、前記第2及び前記第3の材料は、前記一対の電極間において略均一に分布されて形成されており、前記第1の材料は、第1の遮断周波数を有し、前記第2の材料は、前記第1の遮断周波数よりも高い第2の遮断周波数を有し、前記第3の材料は、前記第2の遮断周波数よりも高い第3の遮断周波数を有し、ゼロヘルツから前記第1の遮断周波数までの間に予め設定された周波数をf 1 、前記第1の遮断周波数から前記第2の遮断周波数までの間に予め設定された2つの周波数をf' 2 及びf 2 (f' 2 <f 2 )、前記第2の遮断周波数から前記第3の遮断周波数までの間に予め設定された2つの周波数をf' 3 及びf 3 (f' 3 <f 3 )と表し、前記第1、前記第2及び前記第3の材料の光未照射時におけるインピーダンスをそれぞれZ1、Z2及びZ3と表すとき、前記周波数f 1 においてZ1>Z2>Z3であり、前記周波数f' 2 及びf 2 においてZ2>Z3>Z1であり、前記周波数f' 3 及びf 3 においてZ3>Z2>Z1であり、前記第1、前記第2及び前記第3の材料のうち、1つが赤色領域の光にのみ反応してインピーダンス値が変化する赤色光感光材料であり、1つが緑色領域の光にのみ反応してインピーダンス値が変化する緑色光感光材料であり、残りの1つが青色領域の光にのみ反応してインピーダンス値が変化する青色光感光材料であり、前記第1、前記第2及び前記第3の材料は、それぞれ、前記周波数f 1 、f' 2 、f 2 、f' 3 、f 3 の電圧が前記一対の電極に印加されると、前記周波数ごとに、光未照射時と光照射時とで互いに異なる電流を出力するものである構成を有している。 Furthermore, the imaging device of the present invention includes a pair of electrodes , at least one of which has translucency, and a pair of electrodes that are sandwiched between the pair of electrodes and absorb light in the first, second, and third wavelength ranges different from each other. A photosensitive film including a first material, a second material, and a third material, wherein the first material, the second material, and the third material are substantially uniformly distributed between the pair of electrodes , The first material has a first cutoff frequency, the second material has a second cutoff frequency higher than the first cutoff frequency, and the third material is the second cutoff frequency. Having a third cut-off frequency higher than the cut-off frequency of the first cut-off frequency, and a preset frequency between zero hertz and the first cut-off frequency is f 1 , and the first cut-off frequency to the second cut-off frequency f preset two frequencies were between '2 and f 2 (f' 2 f 2), wherein represents a preset two frequencies were between the second cut-off frequency to said third cut-off frequency f '3 and f 3 (f' and 3 <f 3), the first, when referring impedance respectively Z1, Z2 and Z3 at the time of not irradiated with light of the second and the third material, in the frequency f 1 Z1>Z2> is Z3, in said frequency f '2 and f 2 Z2 >Z3> Z1 , Z3>Z2> Z1 at the frequencies f ′ 3 and f 3 , and one of the first, second and third materials reacts only to light in the red region. Red light-sensitive material whose impedance value changes, one is a green light-sensitive material whose impedance value changes only by reacting to light in the green region, and the other one is impedance which reacts only to light in the blue region Value changes That a blue light-sensitive material, said first, said second and said third material, respectively, said frequency f 1, f '2, f 2, f' 3, the voltage of f 3 is the pair of electrodes Is applied to each of the frequencies, outputs different currents when light is not irradiated and when light is irradiated .
この構成により、本発明の撮像素子は、従来のものとは異なり、複数の材料が略均一に分布されて形成された単層構造を有し、この単層構造の感光膜から各色光の信号を取り出すことができる。 Due to this configuration, the imaging device of the present invention has a single layer structure in which a plurality of materials are distributed substantially uniformly, unlike conventional ones, and a signal of each color light from the photosensitive film of this single layer structure. Can be taken out.
また、この構成により、本発明の撮像素子は、光の3原色光をそれぞれ吸収する複数の材料のインピーダンス周波数特性を利用して、感光膜から光の3原色光の信号を取り出すことができる。 Also, with this configuration, the image pickup device of the present invention can take out signals of light of three primary colors from the photosensitive film by using impedance frequency characteristics of a plurality of materials that respectively absorb light of the three primary colors.
本発明の撮像素子は、前記第1の遮断周波数と前記第2の遮断周波数との間と、前記第2の遮断周波数と前記第3の遮断周波数との間とが、それぞれ、予め定められた周波数間隔だけ離間していることを条件に、前記第1、前記第2及び前記第3の材料は、それぞれ、前記周波数f 1 、f' 2 、f 2 、f' 3 、f 3 の電圧に代えて前記周波数f 1 、f 2 、f 3 の電圧が前記一対の電極に印加されると、前記周波数f 1 、f 2 、f 3 ごとに、光未照射時と光照射時とで互いに異なる電流を出力するものである構成を有している。
本発明の撮像装置は、撮像素子と、前記一対の電極に所定周波数の交流電圧を印加する交流電圧印加手段と、前記第1、前記第2及び前記第3の材料における各電流値を測定する電流値測定手段と、前記各電流値に基づいて色画像信号を生成する色画像信号生成手段とを備えた構成を有している。
In the image pickup device of the present invention, the interval between the first cutoff frequency and the second cutoff frequency and the interval between the second cutoff frequency and the third cutoff frequency are respectively determined in advance. The first material, the second material, and the third material are set to voltages having the frequencies f 1 , f ′ 2 , f 2 , f ′ 3 , and f 3 , respectively, provided that they are separated by a frequency interval. Instead , when voltages having the frequencies f 1 , f 2 , and f 3 are applied to the pair of electrodes, the frequencies f 1 , f 2 , and f 3 are different from each other when light is not irradiated and when light is irradiated. It has a configuration for outputting current.
The imaging apparatus of the present invention measures each current value in the imaging element, AC voltage applying means for applying an AC voltage of a predetermined frequency to the pair of electrodes, and the first, second, and third materials. The apparatus includes a current value measuring unit and a color image signal generating unit that generates a color image signal based on each current value.
この構成により、本発明の撮像装置は、周波数を走査して交流電圧を撮像素子の感光膜に印加することにより、各色光をそれぞれ吸収する複数の材料のインピーダンス周波数特性を利用して、感光膜から各色光の信号を取り出すので、従来のものよりも開口率を高めて感度を向上させることができ、しかも小型軽量化及び構造の簡易化を図ることができる。 With this configuration, the imaging apparatus of the present invention scans the frequency and applies an AC voltage to the photosensitive film of the imaging element, thereby utilizing the impedance frequency characteristics of a plurality of materials that absorb each color light, and the photosensitive film Since each color light signal is taken out, the aperture ratio can be increased and the sensitivity can be improved as compared with the conventional one, and the size and weight can be reduced and the structure can be simplified.
本発明は、従来のものよりも開口率を高めて感度を向上させることができ、しかも小型軽量化及び構造の簡易化を図ることができるという効果を有する撮像装置を提供することができるものである。 The present invention can provide an imaging apparatus that can improve the sensitivity by increasing the aperture ratio as compared with the conventional one, and that can achieve a reduction in size and weight and simplification of the structure. is there.
以下、本発明に係る撮像装置の一実施の形態について説明する。最初に、本実施の形態における撮像装置が備えた撮像素子の受光部の構成及び撮像装置の信号読み出しアルゴリズムについて説明する。 Hereinafter, an embodiment of an imaging apparatus according to the present invention will be described. First, the configuration of the light receiving unit of the image sensor provided in the imaging apparatus according to the present embodiment and the signal readout algorithm of the imaging apparatus will be described.
まず、撮像素子の受光部が、1層の材料層からなる感光膜を有する場合について説明する。この場合の受光部は、構成分子の分極に起因した電気容量C及び抵抗Rをもつので、これらが並列接続された等価回路でモデル化できる。ここで、C及びRが一定値をとるような周波数範囲で考えると、そのインピーダンス(絶対値)は式(1)で表され、周波数特性は、図1の概念図に示すように、インピーダンスが一定の平坦部と、傾き−6dB/オクターブの直線部とで表される。なお、f0は遮断周波数を表す。また、平坦部のインピーダンスは、抵抗値Rで近似できる。
この材料層に光を照射すると、電気容量は増加し、抵抗は減少するが、ここで抵抗の減少分が電気容量の増加分よりも大きいと仮定すると、遮断周波数は光未照射時より大きくなるので、インピーダンスの周波数特性は、図2の概念図に示すように、X(光未照射時)からY(光照射時)に変化する。 When this material layer is irradiated with light, the capacitance increases and the resistance decreases. However, assuming that the decrease in resistance is greater than the increase in capacitance, the cutoff frequency is greater than when no light is irradiated. Therefore, as shown in the conceptual diagram of FIG. 2, the frequency characteristic of the impedance changes from X (when no light is irradiated) to Y (when the light is irradiated).
次に、撮像素子の受光部が、複数色に感度を有するものであって、積層構造の感光膜を有する場合と、単層構造の感光膜を有する場合とについて例を挙げて説明する。 Next, the case where the light receiving portion of the image sensor has sensitivity to a plurality of colors and has a laminated structure and a case where it has a single layer structure will be described by way of example.
まず、感光膜が積層構造の受光部は図3に示すように構成される。図3に示した受光部10は、表面電極11と、背面電極15とを備え、表面電極11と背面電極15との間に、赤色光のみに感度を有する感光材料からなる材料層12と、緑色光のみに感度を有する感光材料からなる材料層13と、青色光のみに感度を有する感光材料からなる材料層14とが感光膜として、入射光の進行方向に積層形成された構成を有している。ここで、材料層12〜14は、所定周波数において互いに異なるインピーダンス値をそれぞれ有するものである。なお、各材料層の積層順序は任意であり、図に示した例に限らない。
First, the light receiving portion having a laminated structure of the photosensitive film is configured as shown in FIG. The
表面電極11は、光入射側にあるので透光性を高めたものが好ましく、例えばインジウムスズ酸化物(ITO)、インジウム酸化物、酸化スズ等により形成される。
Since the
背面電極15は、表面電極11と同じ材料の他、例えば、アルミニウム、バナジウム、金、銀、白金、鉄、コバルト、炭素、ニッケル、タングステン、パラジウム、マグネシウム、カルシウム、スズ、鉛、チタン、イットリウム、リチウム、ルテニウム、マンガン等の金属又はこれらの合金により形成される。
In addition to the same material as the
なお、表面電極11の膜厚としては、例えば100〜200nm程度が好ましく、透光性をさらに高めたい場合には、例えば50〜100nmとするのが好ましい。
In addition, as a film thickness of the
感光膜として積層形成される材料層12、13及び14は、例えば有機材料で構成され、光の3原色のうち、一つの色光(その色光に略対応する波長帯域)のみに感度を有するものであればいずれも使用できる。例えば、アクリジン系色素、クマリン系色素、シアニン系色素、スクエアリリウム、オキサジン系色素、キサンテン系色素、アゾ系色素、フタロシアニン類、ペリレン誘導体、アルミニウムキノリン類等が用いられる。 The material layers 12, 13, and 14 formed as a photosensitive film are made of, for example, an organic material, and have sensitivity only to one color light (wavelength band substantially corresponding to the color light) among the three primary colors of light. Any can be used. For example, acridine dyes, coumarin dyes, cyanine dyes, squarylium, oxazine dyes, xanthene dyes, azo dyes, phthalocyanines, perylene derivatives, aluminum quinolines and the like are used.
また、材料層12、13及び14の形成材料として、フォトリフラクティブ材料を用いると、光照射により材料の屈折率が変化することから誘電率も大きく変化するのでより好ましい。 In addition, it is more preferable to use a photorefractive material as a material for forming the material layers 12, 13 and 14, since the refractive index of the material changes due to light irradiation and the dielectric constant also changes greatly.
無機系のフォトリフラクティブ材料としては、例えば、LiNbO3、BaTiO3、BGO、BSO(Bi12SiO20)、KTN(K(TaNb)O3)、KNSBN(カリウム・ナトリウム・ストロンチウム・バリウム・ニオベート)、SBN((SrBa)Nb2O6)、GaAs、InP、CdTe等が用いられる。 Examples of inorganic photorefractive materials include LiNbO 3 , BaTiO 3 , BGO, BSO (Bi 12 SiO 20 ), KTN (K (TaNb) O 3 ), KNSBN (potassium / sodium / strontium / barium / niobate), SBN ((SrBa) Nb 2 O 6 ), GaAs, InP, CdTe, or the like is used.
また、フォトリフラクティブ材料は、光導電性と電気光学効果の共存する材料とする必要があり、有機系のフォトリフラクティブ材料の場合には、通常は個々の特性を有する材料(光導電性材料及び電気光学効果を有する材料)を混合して用いる。なお、光導電性材料としては、例えばポリパラフェニレンビニレン類、ポリフルオレン類、ポリビニルカルバゾール類、ポリチオール類、ポリチオフェン類、ポリシラン類、ポリゲルマン類やフラーレン等の増感剤を付加した液晶系高分子一般材料等が用いられ、電気光学効果を有する材料としては、例えばアゾベンゼン系色素等が用いられる。 In addition, the photorefractive material needs to be a material in which photoconductivity and electro-optic effect coexist. In the case of an organic photorefractive material, usually a material having individual characteristics (photoconductive material and electroreflective material). A material having an optical effect) is mixed and used. As the photoconductive material, for example, polyparaphenylene vinylenes, polyfluorenes, polyvinyl carbazoles, polythiols, polythiophenes, polysilanes, liquid crystal polymers added with sensitizers such as polygermanes and fullerenes General materials are used, and examples of the material having an electro-optic effect include azobenzene dyes.
次に、感光膜が単層構造の受光部は図4に示すように構成される。図4に示した受光部20は、表面電極21と、背面電極23とを備え、表面電極21と背面電極23との間に材料層22を備えている。ここで、材料層22は、赤色光のみに感度を有する材料部位22aと、緑色光のみに感度を有する材料部位22bと、青色光のみに感度を有する材料部位22cとが、例えば分子レベルで略均一に分布されることにより単層形成された構成となっている。ここで、材料部位22a〜22cは、所定周波数において互いに異なるインピーダンス値をそれぞれ有するものである。
Next, the light receiving portion having a single-layered photosensitive film is configured as shown in FIG. The
材料層22の形成材料としては、上述した積層構造の感光膜の場合と同様であり、各材料部位22a、22b、22cの大きさは、例えば数nm(1分子の大きさに相当する)程度で形成される。
The material for forming the material layer 22 is the same as that in the case of the photosensitive film having the laminated structure described above, and the size of each
なお、材料層12〜14(図3参照)及び22(図4参照)の成膜は、真空蒸着法(共蒸着法)、スパッタ法、イオンプレーティング法等に代表される乾式法、又はスピンコート法、バーコート法、キャスト法、ディップ法等に代表される湿式法を用いることができる。 The film formation of the material layers 12 to 14 (see FIG. 3) and 22 (see FIG. 4) is performed by a dry method represented by a vacuum evaporation method (co-evaporation method), a sputtering method, an ion plating method, or the like, or a spin method. A wet method typified by a coating method, a bar coating method, a casting method, a dipping method or the like can be used.
さらに、上記感光材料からなる材料層12〜14及び22の膜厚は、電圧が過大とならない程度であって、電極間の短絡を起こさず、膜強度を確保できる程度に設定されるべきであり、例えば50nm〜5μm、好ましくは100nm〜1μmとする。 Furthermore, the film thicknesses of the material layers 12 to 14 and 22 made of the photosensitive material should be set to such an extent that the voltage is not excessive and the film strength can be secured without causing a short circuit between the electrodes. For example, 50 nm to 5 μm, preferably 100 nm to 1 μm.
次に、各材料層のインピーダンスの周波数応答の違いを利用して各色光の受光量に対応する電流値を得る演算方法について説明する。 Next, a calculation method for obtaining a current value corresponding to the amount of received light of each color light using the difference in the frequency response of the impedance of each material layer will be described.
表面電極11と背面電極15との間(又は表面電極21と背面電極23との間)に、交流電圧V=V0ej2πftを印加したときに流れる電流値をiとすると、受光部10(又は受光部20)の等価回路は図5に示すように表される。図5において、CB、CG、CRは、それぞれ、青色領域の光のみに感度を有する材料層、緑色領域の光のみに感度を有する材料層、赤色領域のみに感度を有する材料層の電気容量を表す。また、RB、RG、RRは、それぞれ、青色領域の光のみに感度を有する材料層、緑色領域の光のみに感度を有する材料層、赤色領域のみに感度を有する材料層の抵抗を表す。
If the current value that flows when an alternating voltage V = V 0 e j2πft is applied between the
各材料層の電気容量CB、CG、CR、抵抗RB、RG、RRは、それぞれ異なる値をとるよう構成されている。また、各材料層のインピーダンスは、光未照射時と光照射時とで変化するため(図2参照)、青色領域の光のみに感度を有する第1の材料層のインピーダンス(絶対値)をZB、緑色領域の光のみに感度を有する第2の材料層のインピーダンス(絶対値)をZG、赤色領域のみに感度を有する第3の材料層のインピーダンス(絶対値)をZRとすると、各材料層のインピーダンスの周波数特性は、光未照射時の場合を実線、光照射時の場合を破線でそれぞれ表すと図6に示すようになる。 Capacitance C B of each material layer, C G, C R, the resistance R B, R G, R R is configured to take different values. Further, since the impedance of each material layer changes between when light is not irradiated and when light is irradiated (see FIG. 2), the impedance (absolute value) of the first material layer having sensitivity only to light in the blue region is expressed as Z. B , where Z G is the impedance (absolute value) of the second material layer sensitive only to light in the green region, and Z R is the impedance (absolute value) of the third material layer sensitive only to the red region, The frequency characteristics of the impedance of each material layer are as shown in FIG. 6 when the light non-irradiation is represented by a solid line and the light irradiation is represented by a broken line.
ここで、下記条件式(2)を満足する周波数f1、f2、f'2、f3、f'3を選択し、それぞれの周波数における各材料層の光未照射時、光照射時のインピーダンスを下記条件式(3)〜(12)のようにおく。
[光未照射時]
[光照射時]
以上の条件下で、図5に示した回路にキルヒホッフの法則を適用すると、下式(13)〜(22)が得られる。なお、光未照射時の周波数f1における電流iをi1D、周波数f2における電流iをi2D、周波数f'2における電流iをi'2D、周波数f3における電流iをi3D、周波数f'3における電流iをi'3Dで表している。また、光照射時の周波数f1における電流iをi1L、周波数f2におけるiをi2L、周波数f'2における電流iをi'2L、周波数f3における電流iをi3L、周波数f'3における電流iをi'3Lで表している。
ここで、式(14)〜(17)及び(19)〜(22)に含まれるZに関する項は複素数である。光未照射時における緑、青に感度を有する材料層の電気容量を、光未照射時ではそれぞれCGD、CBDとし、光照射時ではそれぞれCGL、CBLとすると、Zに関する項は以下のように表される。
ただし、
これらの式から、ある1つの材料層のみに周波数0の交流電圧V、すなわち直流電圧V0を印加したときの光未照射時及び光照射時の電流値をそれぞれ算出できれば、両者の差がそれぞれの材料層における信号電流値に対応することになる。すなわち、青色領域の光にのみ感度を有する第1の材料層、緑色領域の光にのみ感度を有する第2の材料層、赤色領域のみに感度を有する第3の材料層のそれぞれにおける信号電流値を、iB_sig、iG_sig、iR_sigとすると、下式が得られる。
ここで、周波数f'2、f2、f'3、f3が、それぞれf'2>>f0_BD、f'2>>f0_BL、f2>>f0_BD、f2>>f0_BL、f'3>>f0_GD、f'3>>f0_GL、f3>>f0_GD、f3>>f0_GLとなるように選ぶと、各材料層における信号電流値は次のように求まる。
ただし、
以上説明した信号読み出しアルゴリズムを実現する撮像装置を図7に示す。図7に示した撮像装置30は、被写体光を受光する受光部10(図3参照)と、受光部10に交流電圧を印加する交流電圧印加回路31と、受光部10の電流値を測定する電流値測定回路32と、電流値測定回路32が測定した電流値に基づいて信号電流を演算する信号電流演算回路33と、青、緑、赤の色画像信号を生成するプロセスアンプ34とを備えている。
An imaging apparatus that implements the signal readout algorithm described above is shown in FIG. The
なお、交流電圧印加回路31は、受光部10に印加する交流電圧の周波数を走査することができるものであり、本発明の交流電圧印加手段に対応する。ここで「周波数を走査する」とは、周波数を連続的に変化させる場合のみならず、複数の周波数を切り換えて変化させる場合も含む。また、電流値測定回路32は、本発明の電流値測定手段に対応する。また、信号電流演算回路33及びプロセスアンプ34は、本発明の色画像信号生成手段に対応する。また、受光部10に替えて、図4に示す受光部20を用いてもよい。
The AC
以上の構成により、撮像装置30は被写体像を次のように再生することができる。まず、受光部10に対して印加する交流電圧の周波数を、交流電圧印加回路31においてf1、f'2、f2、f'3、f3、と変化させたときの、光未照射時の電流値i1D、i'2D、i2D、i'3D、i3Dと、光照射時の電流値i1L、i'2L、i2L、i'3L、i3Lとを電流値測定回路32で測定し、青色領域の光のみに感度を有する第1の材料層、緑色領域の光のみに感度を有する第2の材料層、赤色領域のみに感度を有する第3の材料層のそれぞれにおける信号電流値を、上式(35)〜(37)に基づいて信号電流演算回路33で演算する。その後、信号電流演算回路33の出力信号からプロセスアンプ34において青、緑、赤の色画像信号を生成して出力することにより、フルカラー画像を再生することが可能となる。
With the above configuration, the
なお、信号電流値の演算方法としては、例えば、電流値測定回路32が測定した電流値を電圧値に変換した後、A/D変換を施してデジタルデータとしてから、デジタル信号処理により演算することが考えられる。したがって、上記の信号電流演算回路33としては、I_V変換回路、A/D変換回路、デジタル信号処理回路による構成が考えられる。
As a method for calculating the signal current value, for example, the current value measured by the current
ここで、上記の手法が成り立つ理想的なケースとして、各材料層の遮断周波数が十分離れており、周波数f'2、f2における光未照時、光照射時の青色領域の光のみに感度を有する材料層のインピーダンスZ'BD2、Z'BL2、ZBD2、ZBL2と、周波数f'3、f3における光未照射時、光照射時の緑色領域の光のみに感度を有する材料層のインピーダンスZ'GD3、Z'GL3、ZGD3、ZGL3とが非常に小さく、すべて0とおける場合を考えてみる。この場合、交流電圧印加回路31において変化させる周波数は、図8に示すように、f1、f2、f3の3点でよい。したがって、各材料層における信号電流値iB_sig、iG_sig、iR_sigは、上記の式(35)〜(37)においてf'2=0、f'3=0とおけばよく、式(39)〜(41)に示すように簡略化される。
したがって、3点の周波数f1、f2、f3における光未照射時、光照射時それぞれの電流測定値のみから、各材料層における信号電流値を分離して検出することが可能となる。 Therefore, the signal current values in the respective material layers can be detected separately only from the current measurement values at the three frequencies f 1 , f 2 , and f 3 when the light is not irradiated and when the light is irradiated.
なお、本実施の形態における撮像装置は、前述の構成のものに限られるわけではなく、その他の種々の態様の変更が可能である。例えば、本実施の形態においては、受光した像情報を青、緑、赤の3原色画像情報に分解する態様について説明しているが、その他の複数の色画像情報に分解する構成とすることも可能である。 Note that the imaging device in the present embodiment is not limited to the one having the above-described configuration, and various other aspects can be changed. For example, in the present embodiment, the aspect in which the received image information is decomposed into the three primary color image information of blue, green, and red has been described. However, it may be configured to be decomposed into other plural color image information. Is possible.
また、本実施の形態においては、遮断周波数の大きさを、(第1の材料)<(第2の材料)<(第3の材料)とし、また、抵抗成分の大きさを、(第1の材料)>(第2の材料)>(第3の材料)としているが、これらの大小関係は上記の関係に限られるものではない。 Further, in the present embodiment, the magnitude of the cutoff frequency is (first material) <(second material) <(third material), and the magnitude of the resistance component is (first material). Material >> (Second material)> (Third material), but the magnitude relationship is not limited to the above relationship.
また、第1の材料は青色光感光材料、第2の材料は緑色光感光材料、第3の材料は赤色光感光材料としているが、これらの対応関係もこれに限られるものではない。 The first material is a blue light-sensitive material, the second material is a green light-sensitive material, and the third material is a red light-sensitive material. However, the correspondence between them is not limited to this.
以上のように、本実施の形態における撮像素子の受光部10又は20によれば、赤色領域の光にのみ感度を有する赤色光感光材料と、緑色領域の光にのみ感度を有する緑色光感光材料と、青色領域の光にのみ感度を有する青色光感光材料とを含む感光膜を備え、赤色光感光材料、緑色光感光材料及び青色光感光材料は、交流電圧を印加したときのインピーダンスの周波数応答特性が互いに異なるよう構成し、受光部10又は20から比較的容易に、青、緑、赤の各色強度に対応した画像電気信号を算出し、所望のカラー画像信号を得ることができるので、入射光に対する開口率を略100%とすることができ、しかも小型軽量化及び構造の簡易化を図ることができる。
As described above, according to the
また、本実施の形態における撮像装置30によれば、交流電圧印加回路31は、周波数を走査して交流電圧を撮像素子の受光部10に印加し、電流値測定回路32は、受光部10の電流値を測定し、信号電流演算回路33は、電流値測定回路32が測定した電流値に基づいて信号電流を演算し、プロセスアンプ34は、光の3原色の色画像信号を生成する構成としたので、青、緑、赤の各色光をそれぞれ吸収する複数の材料のインピーダンス周波数特性を利用して、受光部10から光の3原色光の信号を取り出すことができる。したがって、本実施の形態における撮像装置30は、従来のものよりも開口率を高めて感度を向上させることができ、しかも小型軽量化及び構造の簡易化を図ることができる。
Moreover, according to the
以上のように、本発明に係る撮像素子及び撮像装置は、従来のものよりも開口率を高めて感度を向上させることができ、しかも小型軽量化及び構造の簡易化を図ることができるという効果を有し、テレビカメラやビデオカメラ等の撮像素子及びそれを備えた撮像装置等として有用である。 As described above, the image pickup device and the image pickup apparatus according to the present invention can improve the sensitivity by increasing the aperture ratio as compared with the conventional one, and can be reduced in size and weight and simplified in structure. And is useful as an imaging device such as a TV camera or a video camera, and an imaging device including the imaging device.
10 受光部
11 表面電極
12 赤色光のみに感度を有する感光材料からなる材料層
13 緑色光のみに感度を有する感光材料からなる材料層
14 青色光のみに感度を有する感光材料からなる材料層
15 背面電極
20 受光部
21 表面電極
22 材料層
22a 赤色光のみに感度を有する材料部位
22b 緑色光のみに感度を有する材料部位
22c 青色光のみに感度を有する材料部位
23 背面電極
30 撮像装置
31 交流電圧印加回路(交流電圧印加手段)
32 電流値測定回路(電流値測定手段)
33 信号電流演算回路(色画像信号生成手段)
34 プロセスアンプ(色画像信号生成手段)
DESCRIPTION OF
32 Current value measuring circuit (current value measuring means)
33 Signal current calculation circuit (color image signal generation means)
34 process amplifier (color image signal generating means)
Claims (4)
前記一対の電極に挟持され、互いに異なる第1、第2及び第3の波長域の光をそれぞれ吸収する第1、第2及び第3の材料を含む感光膜とを備え、
前記第1、前記第2及び前記第3の材料は、前記一対の電極間において入射光の進行方向に沿って順次積層され、
前記第1の材料は、第1の遮断周波数を有し、
前記第2の材料は、前記第1の遮断周波数よりも高い第2の遮断周波数を有し、
前記第3の材料は、前記第2の遮断周波数よりも高い第3の遮断周波数を有し、
ゼロヘルツから前記第1の遮断周波数までの間に予め設定された周波数をf 1 、前記第1の遮断周波数から前記第2の遮断周波数までの間に予め設定された2つの周波数をf' 2 及びf 2 (f' 2 <f 2 )、前記第2の遮断周波数から前記第3の遮断周波数までの間に予め設定された2つの周波数をf' 3 及びf 3 (f' 3 <f 3 )と表し、前記第1、前記第2及び前記第3の材料の光未照射時におけるインピーダンスをそれぞれZ1、Z2及びZ3と表すとき、
前記周波数f 1 においてZ1>Z2>Z3であり、
前記周波数f' 2 及びf 2 においてZ2>Z3>Z1であり、
前記周波数f' 3 及びf 3 においてZ3>Z2>Z1であり、
前記第1、前記第2及び前記第3の材料のうち、1つが赤色領域の光にのみ反応してインピーダンス値が変化する赤色光感光材料であり、1つが緑色領域の光にのみ反応してインピーダンス値が変化する緑色光感光材料であり、残りの1つが青色領域の光にのみ反応してインピーダンス値が変化する青色光感光材料であり、
前記第1、前記第2及び前記第3の材料は、それぞれ、前記周波数f 1 、f' 2 、f 2 、f' 3 、f 3 の電圧が前記一対の電極に印加されると、前記周波数ごとに、光未照射時と光照射時とで互いに異なる電流を出力するものであることを特徴とする撮像素子。 A pair of electrodes, at least one of which is translucent,
A photosensitive film including first, second, and third materials sandwiched between the pair of electrodes and absorbing light in first, second, and third wavelength ranges different from each other;
The first, second, and third materials are sequentially stacked along the traveling direction of incident light between the pair of electrodes,
The first material has a first cutoff frequency;
The second material has a second cutoff frequency higher than the first cutoff frequency;
The third material has a third cutoff frequency higher than the second cutoff frequency;
A preset frequency between zero hertz and the first cutoff frequency is f 1 , two preset frequencies between the first cutoff frequency and the second cutoff frequency are f ′ 2 and f 2 (f ′ 2 <f 2 ), two frequencies set in advance between the second cutoff frequency and the third cutoff frequency are f ′ 3 and f 3 (f ′ 3 <f 3 ). And when the impedance of the first, second and third materials when not irradiated with light is expressed as Z1, Z2 and Z3, respectively,
Wherein a at the frequency f 1 Z1>Z2> Z3,
Z2>Z3> Z1 at the frequencies f ′ 2 and f 2 ,
Z3>Z2> Z1 at the frequencies f ′ 3 and f 3 ,
Of the first, second, and third materials, one is a red photosensitive material whose impedance value changes only in response to light in the red region, and one in response only to light in the green region. A green photosensitive material whose impedance value changes, and the remaining one is a blue photosensitive material whose impedance value changes only in response to light in the blue region,
The first material, the second material, and the third material are configured so that the frequencies f 1 , f ′ 2 , f 2 , f ′ 3 , and f 3 are applied to the pair of electrodes, respectively. Each of the imaging elements outputs different currents when light is not irradiated and when light is irradiated .
前記一対の電極に挟持され、互いに異なる第1、第2及び第3の波長域の光をそれぞれ吸収する第1、第2及び第3の材料を含む感光膜とを備え、
前記第1、前記第2及び前記第3の材料は、前記一対の電極間において略均一に分布されて形成されており、
前記第1の材料は、第1の遮断周波数を有し、
前記第2の材料は、前記第1の遮断周波数よりも高い第2の遮断周波数を有し、
前記第3の材料は、前記第2の遮断周波数よりも高い第3の遮断周波数を有し、
ゼロヘルツから前記第1の遮断周波数までの間に予め設定された周波数をf 1 、前記第1の遮断周波数から前記第2の遮断周波数までの間に予め設定された2つの周波数をf' 2 及びf 2 (f' 2 <f 2 )、前記第2の遮断周波数から前記第3の遮断周波数までの間に予め設定された2つの周波数をf' 3 及びf 3 (f' 3 <f 3 )と表し、前記第1、前記第2及び前記第3の材料の光未照射時におけるインピーダンスをそれぞれZ1、Z2及びZ3と表すとき、
前記周波数f 1 においてZ1>Z2>Z3であり、
前記周波数f' 2 及びf 2 においてZ2>Z3>Z1であり、
前記周波数f' 3 及びf 3 においてZ3>Z2>Z1であり、
前記第1、前記第2及び前記第3の材料のうち、1つが赤色領域の光にのみ反応してインピーダンス値が変化する赤色光感光材料であり、1つが緑色領域の光にのみ反応してインピーダンス値が変化する緑色光感光材料であり、残りの1つが青色領域の光にのみ反応してインピーダンス値が変化する青色光感光材料であり、
前記第1、前記第2及び前記第3の材料は、それぞれ、前記周波数f 1 、f' 2 、f 2 、f' 3 、f 3 の電圧が前記一対の電極に印加されると、前記周波数ごとに、光未照射時と光照射時とで互いに異なる電流を出力するものであることを特徴とする撮像素子。 A pair of electrodes, at least one of which is translucent,
A photosensitive film including first, second, and third materials sandwiched between the pair of electrodes and absorbing light in first, second, and third wavelength ranges different from each other;
The first material, the second material, and the third material are substantially uniformly distributed between the pair of electrodes,
The first material has a first cutoff frequency;
The second material has a second cutoff frequency higher than the first cutoff frequency;
The third material has a third cutoff frequency higher than the second cutoff frequency;
A preset frequency between zero hertz and the first cutoff frequency is f 1 , two preset frequencies between the first cutoff frequency and the second cutoff frequency are f ′ 2 and f 2 (f ′ 2 <f 2 ), two frequencies set in advance between the second cutoff frequency and the third cutoff frequency are f ′ 3 and f 3 (f ′ 3 <f 3 ). And when the impedance of the first, second and third materials when not irradiated with light is expressed as Z1, Z2 and Z3, respectively,
Wherein a at the frequency f 1 Z1>Z2> Z3,
Z2>Z3> Z1 at the frequencies f ′ 2 and f 2 ,
Z3>Z2> Z1 at the frequencies f ′ 3 and f 3 ,
Of the first, second, and third materials, one is a red photosensitive material whose impedance value changes only in response to light in the red region, and one in response only to light in the green region. A green photosensitive material whose impedance value changes, and the remaining one is a blue photosensitive material whose impedance value changes only in response to light in the blue region,
The first material, the second material, and the third material are configured so that the frequencies f 1 , f ′ 2 , f 2 , f ′ 3 , and f 3 are applied to the pair of electrodes, respectively. Each of the imaging elements outputs different currents when light is not irradiated and when light is irradiated .
前記第1、前記第2及び前記第3の材料は、それぞれ、前記周波数f 1 、f' 2 、f 2 、f' 3 、f 3 の電圧に代えて前記周波数f 1 、f 2 、f 3 の電圧が前記一対の電極に印加されると、前記周波数f 1 、f 2 、f 3 ごとに、光未照射時と光照射時とで互いに異なる電流を出力するものであることを特徴とする請求項1又は請求項2に記載の撮像素子。 The first cutoff frequency and the second cutoff frequency, and the second cutoff frequency and the third cutoff frequency are respectively separated by a predetermined frequency interval. On condition that
Said first, said second and said third material, respectively, said frequency f 1, f '2, f 2, f' 3, wherein the frequency f 1 in place of the voltage of the f 3, f 2, f 3 Is applied to the pair of electrodes, different currents are output for each of the frequencies f 1 , f 2 , and f 3 when light is not irradiated and when light is irradiated. The imaging device according to claim 1 or 2 .
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