JP5154190B2 - Data processing device - Google Patents
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Description
本発明は、複数の入力データに対して所定のデータ処理を実行可能に構成されたデータ処理装置に関するものである。 The present invention relates to a data processing apparatus configured to execute predetermined data processing on a plurality of input data.
この種のデータ処理装置として、測定波形が基準波形エリア内に含まれているか否かを判定する処理を実行可能に構成された波形表示装置が特開2003−185682号公報に開示されている。この波形表示装置では、アンプによって増幅または減衰された測定波形がA/Dコンバータによって測定波形データに変換され、この測定波形データが第1トリガ発生手段に出力されると共に、書き込み制御手段によってメモリに格納(記憶)される。また、第1トリガ発生手段は、出力された測定波形データが予め設定された条件を満たしたとき(一例として、「トリガレベルに対する立ち上がりを検出したとき」:以下、「トリガレベルを超えたとき」という)に第1トリガ信号を出力する。この際には、トリガ信号の出力に伴って、メモリ内の測定波形データにトリガ情報(第1トリガ信号が出力された時点を特定可能な情報)が付加される。 As this type of data processing apparatus, Japanese Patent Application Laid-Open No. 2003-185682 discloses a waveform display apparatus configured to be able to execute processing for determining whether or not a measurement waveform is included in a reference waveform area. In this waveform display device, the measurement waveform amplified or attenuated by the amplifier is converted into measurement waveform data by the A / D converter, and this measurement waveform data is output to the first trigger generation means and also written to the memory by the write control means. Stored (stored). In addition, the first trigger generation means is configured when the output measurement waveform data satisfies a preset condition (for example, “when rising edge with respect to trigger level is detected”: hereinafter, “when trigger level is exceeded”) The first trigger signal is output. At this time, along with the output of the trigger signal, trigger information (information that can specify the time when the first trigger signal is output) is added to the measurement waveform data in the memory.
次いで、逸脱点検出手段が、メモリに記憶されている基準波形データに基づいて基準波形エリアデータを生成する。この場合、基準波形データは、例えば、所定周期分の正常な測定波形データ(一例として、正常状態において取得した測定波形データのうちのトリガレベルを超えた時点から所定周期分の測定波形データ)に基づいて生成されている。また、逸脱点検出手段は、生成した基準波形エリアデータと測定波形データとに基づいて測定波形データ(測定波形)の合否を判定する波形判定処理を実行する。この際に、逸脱点検出手段は、測定波形データに基づく波形が基準波形エリアデータに基づく基準エリアを逸脱したときに、書き込み制御手段に検出信号を出力する。また、書き込み制御手段は、検出信号が出力された時点を起点とする所定区間分(検出信号が出力された時点から所定時間分)の測定波形データの記憶が完了したときに、測定波形データの記憶処理を休止する。 Next, the departure point detection means generates reference waveform area data based on the reference waveform data stored in the memory. In this case, the reference waveform data is, for example, normal measurement waveform data for a predetermined period (for example, measurement waveform data for a predetermined period from the time when the trigger level is exceeded in measurement waveform data acquired in a normal state). Has been generated based on. Further, the departure point detection means executes a waveform determination process for determining pass / fail of the measurement waveform data (measurement waveform) based on the generated reference waveform area data and measurement waveform data. At this time, the deviation point detection means outputs a detection signal to the write control means when the waveform based on the measured waveform data deviates from the reference area based on the reference waveform area data. In addition, the write control means, when the measurement waveform data storage for a predetermined section starting from the time when the detection signal is output (for a predetermined time from the time when the detection signal is output) is completed, Pause the storage process.
次いで、表示手段が、メモリに記憶されている測定波形データのうちから、上記の検出信号の出力時点(測定波形データに基づく波形が基準エリアを逸脱した時点)以降の所定区間分の測定波形データと、基準波形エリアデータとをメモリから読み出す。続いて、表示手段は、測定波形データに基づく波形と、基準波形エリアデータに基づく基準エリアとを同一画面上に重ね合わせて表示させる。これにより、基準エリアにおいて基準波形データの取得時に測定波形データがトリガレベルを超えた時点に対応する部位と、測定波形データに基づく波形において第1トリガ信号が出力された時点(測定波形データがトリガレベルを超えた時点)に対応する部位とが時間軸において一致した状態で基準エリアと波形とが表示される。 Next, the display means measures the measurement waveform data for a predetermined section after the detection signal output time (the time when the waveform based on the measurement waveform data deviates from the reference area) from the measurement waveform data stored in the memory. And the reference waveform area data are read from the memory. Subsequently, the display unit displays the waveform based on the measured waveform data and the reference area based on the reference waveform area data so as to overlap each other on the same screen. As a result, the portion corresponding to the time when the measured waveform data exceeds the trigger level when the reference waveform data is acquired in the reference area, and the time when the first trigger signal is output in the waveform based on the measured waveform data (the measured waveform data is triggered). The reference area and the waveform are displayed in a state where the part corresponding to the time) exceeds the level) on the time axis.
一方、この種の波形表示装置の利用方法の一例として、物品の製造ラインに設置された製造装置から出力される動作信号を監視する処理(動作信号の合否を波形判定することで製造装置の動作状態を監視する処理)が挙げられる。この場合、例えば、1つの製造ラインにおいて相違する製造工程を並行して実行する2つの製造装置が存在するときには、波形表示装置の導入コストや設置スペースの観点から、2台の波形表示装置を用いることなく、1台の波形表示装置によって、この2つの製造装置の動作状態を監視するのが好ましい。 On the other hand, as an example of a method of using this type of waveform display device, a process for monitoring an operation signal output from a manufacturing device installed in an article manufacturing line (operation of the manufacturing device by determining the waveform of the operation signal) Status monitoring process). In this case, for example, when there are two manufacturing apparatuses that execute different manufacturing processes in parallel on one manufacturing line, two waveform display apparatuses are used from the viewpoint of the introduction cost and installation space of the waveform display apparatus. Instead, it is preferable to monitor the operating states of the two manufacturing apparatuses with a single waveform display device.
具体的には、測定チャンネル1,2(以下、「Ch.1」「Ch.2」ともいう)を備えて、従来の波形表示装置と同様の手順で波形判定処理を実行可能に構成された波形表示装置(以下、この波形表示装置を「従来の波形表示装置」ともいう)を使用して2つの製造装置を監視する際には、図10に示すように、一例として、一方の製造装置から出力された動作信号(同図における入力信号Si1x)を「Ch.1」で監視すると共に、他方の製造装置から出力された動作信号(同図における入力信号Si2x)を「Ch.2」で監視する。この場合、第1トリガ発生手段に対しては、一例として、「Ch.1」のA/Dコンバータから出力された測定波形データ(入力信号Si1xのデータ)が電圧値L1V(トリガレベルの一例)を超えたときに第1トリガ信号を出力するように設定する。したがって、第1トリガ発生手段は、入力信号Si1xが電圧値L1Vを超えた時点t1xにおいて第1トリガ信号を出力する。これにより、メモリ内の測定波形データ(入力信号Si1x,Si2xのデータ)にトリガ情報が付加される。また、書き込み制御手段は、第1トリガ信号が出力された時点t1xから予め規定された所定時間が経過した時点t3xにおいて記憶処理を休止する。
Specifically,
次いで、逸脱点検出手段が、基準波形データに基づいて生成した基準波形エリアデータと測定波形データとに基づいて測定波形データの合否を判定する波形判定処理を実行する。具体的には、逸脱点検出手段は、図11に示すように、まず、両製造装置用に予め生成された基準波形エリアデータ(正常状態において取得した入力信号Si1x,Si2xのデータ)をメモリから読み出して基準エリアA1x,A2xを規定する。次いで、逸脱点検出手段は、一例として、入力信号Si1xが電圧値L1Vを超えた時点t1xよりも時間Ts1xだけ前の時点t0xから時間Ts11x分の測定波形データ(入力信号Si1x,Si2xのデータ)をメモリから読み出して、この測定波形データに基づく信号波形が上記の基準エリアA1x,A2xを逸脱しているか否かを判定する。この際に、逸脱点検出手段は、両信号波形のうちのいずれかが基準エリアA1x,A2xを逸脱しているときに、その信号波形の測定波形データを出力した製造装置の動作が異常であると判定する。また、逸脱点検出手段は、両信号波形が基準エリアA1x,A2xを逸脱していないときに、両製造装置が正常に動作していると判定する。
ところが、従来の波形表示装置には、以下の問題点がある。すなわち、従来の波形表示装置では、例えば、正常状態において取得した測定波形データのうちの測定波形データがトリガレベルを超えた時点よりも時間Ts1xだけ前の時点以降の測定波形データを基準波形データとして用いて基準エリアを規定すると共に、この基準エリアに対して、検出信号が出力された時点(測定波形データがトリガレベルを超えた時点)よりも時間Ts1xだけ前の時点以降の所定区間分の測定波形データに基づく波形を重ねて表示処理や波形判定処理を実行する構成が採用されている。この場合、図10,11では、入力信号Si1xが電圧値L1Vを超えた時点t1xと、入力信号Si2xが電圧値L2Vを超えた時点t2xとが一致している例を図示しているが、両入力信号Si1x,Si2xが電圧値L1V,L2Vをそれぞれ超えるタイミングが一致するとは限らず、例えば、図12に示すように、入力信号Si1xが電圧値L1Vを超えた時点t1xと、入力信号Si2xが電圧値L2Vを超えた時点t2xとが不一致となることがある。このような状態において、従来の測定装置では、入力信号Si2xについての正確な合否判定を実行するのが困難となっている。 However, the conventional waveform display device has the following problems. That is, in the conventional waveform display device, for example, the measurement waveform data after the time Ts1x before the time when the measurement waveform data of the measurement waveform data acquired in the normal state exceeds the trigger level is used as the reference waveform data. In addition to defining a reference area, measurement for a predetermined section after a time Ts1x before the time when the detection signal is output (time when the measured waveform data exceeds the trigger level) is performed for this reference area. A configuration is employed in which waveforms based on waveform data are superimposed to execute display processing and waveform determination processing. In this case, FIGS. 10 and 11 illustrate an example in which the time point t1x when the input signal Si1x exceeds the voltage value L1V and the time point t2x when the input signal Si2x exceeds the voltage value L2V match. The timings at which the input signals Si1x and Si2x exceed the voltage values L1V and L2V do not always match. For example, as shown in FIG. 12, when the input signal Si1x exceeds the voltage value L1V, the input signal Si2x is at the voltage. There is a case where the time t2x exceeding the value L2V does not match. In such a state, it is difficult for the conventional measuring apparatus to execute an accurate pass / fail determination for the input signal Si2x.
具体的には、従来の波形表示装置では、図12に示すように、入力信号Si1xが電圧値L1Vを超えた時点t1xに対して、入力信号Si2xが電圧値L2Vを超えた時点t2xが時間Ts21xだけ遅れている状態においては、時点t1xから時間Ts1xだけ前の時点t0xから時点t3xまでの時間Ts11x分の入力信号Si1x,Si2xと、両製造装置用に予め生成された基準波形エリアデータとに基づいて入力信号Si1x,Si2xの合否が判定される。この場合、入力信号Si1xを出力した製造装置用の基準波形エリアデータは、正常状態において取得した入力信号Si1xにおいて電圧値L1Vを超えた時点t1xよりも時間Ts1xだけ前の時点t0xから時間Ts11x分の入力信号Si1xに基づいて生成されている。また、入力信号Si2xを出力した製造装置用の基準波形エリアデータは、正常状態において取得した入力信号Si2xにおいて電圧値L2Vを超えた時点t2xよりも時間Ts1xだけ前の時点から時間Ts11x分の入力信号Si2xに基づいて生成されている。 Specifically, in the conventional waveform display device, as shown in FIG. 12, the time t2x when the input signal Si2x exceeds the voltage value L2V is the time Ts21x with respect to the time t1x when the input signal Si1x exceeds the voltage value L1V. In the state of being delayed only by the time Ts1x from the time t1x, the input signals Si1x and Si2x for the time Ts11x from the time t0x to the time t3x before the time Ts1x and the reference waveform area data generated in advance for both manufacturing apparatuses are used. The pass / fail of the input signals Si1x and Si2x is determined. In this case, the reference waveform area data for the manufacturing apparatus that has output the input signal Si1x is equal to the time Ts11x from the time t0x that is the time Ts1x before the time t1x when the input signal Si1x acquired in the normal state exceeds the voltage value L1V. It is generated based on the input signal Si1x. The reference waveform area data for the manufacturing apparatus that has output the input signal Si2x is the input signal for the time Ts11x from the time point T2x before the time point t2x when the input signal Si2x acquired in the normal state exceeds the voltage value L2V. It is generated based on Si2x.
したがって、時点t1x,t2xの間に時間Ts21x分のずれが生じている入力信号Si1x,Si2xに基づく各波形と、両製造装置用の基準波形エリアデータに基づく基準エリアA1x,A2xとを比較したときには、図13に示すように、入力信号Si1xについては、正常な合否判定が可能となるものの、入力信号Si2xについては、基準波形エリアデータに基づく基準エリアA2xに対して入力信号Si2xに基づく波形が時間Ts21xだけ遅れた状態となる結果、その製造装置から正常な入力信号Si2xが出力されていたとしても、入力信号Si2xに基づく波形が基準エリアA2xを逸脱していると判定され、これにより、その製造装置の動作に異常が発生していると誤判定されるおそれがある。このように、入力信号Si1x,Si2xが非同期となる可能性があるにも拘わらず、入力信号Si1xが電圧値L1Vを超えた時点t1xを基準として入力信号Si2xに基づく波形と基準波形エリアデータに基づく基準エリアA2xとを比較する構成が採用されていることに起因して、従来の波形表示装置には、入力信号Si2xについての正確な合否判定が困難となるという問題点がある。 Therefore, when the waveforms based on the input signals Si1x and Si2x, which are shifted by the time Ts21x between the time points t1x and t2x, are compared with the reference areas A1x and A2x based on the reference waveform area data for both manufacturing apparatuses. As shown in FIG. 13, for the input signal Si1x, a normal pass / fail judgment is possible, but for the input signal Si2x, the waveform based on the input signal Si2x is timed relative to the reference area A2x based on the reference waveform area data. As a result of being delayed by Ts21x, even if the normal input signal Si2x is output from the manufacturing apparatus, it is determined that the waveform based on the input signal Si2x deviates from the reference area A2x. There is a risk of erroneous determination that an abnormality has occurred in the operation of the apparatus. Thus, although the input signals Si1x and Si2x may be asynchronous, the waveform based on the input signal Si2x and the reference waveform area data are based on the time point t1x when the input signal Si1x exceeds the voltage value L1V. Due to the fact that the configuration for comparing with the reference area A2x is adopted, the conventional waveform display device has a problem that it is difficult to accurately determine whether the input signal Si2x is acceptable.
本発明は、かかる問題点に鑑みてなされたものであり、非同期の複数の入力データについて1台で正確なデータ処理を実行し得るデータ処理装置を提供することを主目的とする。 The present invention has been made in view of such problems, and a main object of the present invention is to provide a data processing apparatus capable of executing accurate data processing with a single unit for a plurality of asynchronous input data.
上記目的を達成すべく、請求項1記載のデータ処理装置は、第1の入力データから第N(Nは、2以上の自然数)の入力データまでの当該各入力データに対して所定のデータ処理を実行するデータ処理部と、前記第1の入力データの電気的パラメータが第1の条件を満たした第1の時点においてトリガ信号を出力するトリガ信号出力部と、前記各入力データを記憶する記憶部とを備え、前記データ処理部は、前記第1の入力データに基づく第1の信号波形から前記第Nの入力データに基づく第Nの信号波形までの当該各信号波形と、当該第1の信号波形に対応する第1の許容エリアから当該第Nの信号波形に対応する第Nの許容エリアまでの当該各許容エリアとに基づいて当該各入力データの合否を判定する判定処理を前記所定のデータ処理として実行可能に構成されると共に、前記トリガ信号が出力されたときに、前記記憶部に記憶されている前記各入力データに基づいて、第M(Mは、2以上N以下の自然数)の入力データの前記電気的パラメータが第Mの条件を満たした第Mの時点を特定し、特定した当該第Mの時点および前記第1の時点の間の時間長を演算すると共に当該第1の時点および当該第Mの時点の前後関係を特定する各処理を「M」が「2」から「N」となるまで繰り返し実行し、前記判定処理時において、前記各時間長および前記各前後関係を用いて、第2の信号波形における前記第Mの時点としての第2の時点に対応する部位から前記第Nの信号波形における前記第Mの時点としての第Nの時点に対応する部位までの当該各部位と、第2の許容エリアにおける前記第2の時点に対応する部位から前記第Nの許容エリアにおける前記第Nの時点に対応する部位までの当該各部位とを時間軸において一致させた状態で前記合否を判定する。
To achieve the above object, a data processing apparatus according to
また、請求項2記載のデータ処理装置は、第1の入力データから第N(Nは、2以上の自然数)の入力データまでの当該各入力データに対して所定のデータ処理を実行するデータ処理部と、前記第1の入力データの電気的パラメータが第1の条件を満たした第1の時点においてトリガ信号を出力するトリガ信号出力部と、前記各入力データを記憶する記憶部とを備え、前記データ処理部は、前記第1の入力データに基づく第1の信号波形から前記第Nの入力データに基づく第Nの信号波形までの当該各信号波形を表示部に表示させる波形表示処理を前記所定のデータ処理として実行可能に構成されると共に、前記トリガ信号が出力されたときに、前記記憶部に記憶されている前記各入力データに基づいて、第M(Mは、2以上N以下の自然数)の入力データの前記電気的パラメータが第Mの条件を満たした第Mの時点を特定し、特定した当該第Mの時点および前記第1の時点の間の時間長を演算すると共に当該第1の時点および当該第Mの時点の前後関係を特定する各処理を「M」が「2」から「N」となるまで繰り返し実行し、前記波形表示処理時において、前記各時間長および前記各前後関係を用いて、前記第1の信号波形における前記第1の時点に対応する部位から前記第Nの信号波形における前記第Mの時点としての第Nの時点に対応する部位までの当該各部位を時間軸において一致させて当該各信号波形を表示する。
The data processing apparatus according to
さらに、請求項3記載のデータ処理装置は、第1の入力データから第N(Nは、2以上の自然数)の入力データまでの当該各入力データに対して所定のデータ処理を実行するデータ処理部と、前記第1の入力データの電気的パラメータが第1の条件を満たした第1の時点においてトリガ信号を出力するトリガ信号出力部と、前記各入力データを記憶する記憶部とを備え、前記データ処理部は、前記第1の入力データに基づく第1の信号波形から前記第Nの入力データに基づく第Nの信号波形までの当該各信号波形と、当該第1の信号波形に対応する第1の許容エリアから当該第Nの信号波形に対応する第Nの許容エリアまでの当該各許容エリアとに基づいて当該各入力データの合否を判定する判定処理、および前記第1の信号波形から前記第Nの信号波形までの当該各信号波形を表示部に表示させる波形表示処理を前記所定のデータ処理として実行可能に構成されると共に、前記トリガ信号が出力されたときに、前記記憶部に記憶されている前記各入力データに基づいて、第M(Mは、2以上N以下の自然数)の入力データの前記電気的パラメータが第Mの条件を満たした第Mの時点を特定し、特定した当該第Mの時点および前記第1の時点の間の時間長を演算すると共に当該第1の時点および当該第Mの時点の前後関係を特定する各処理を「M」が「2」から「N」となるまで繰り返し実行し、前記判定処理時において、前記各時間長および前記各前後関係を用いて、第2の信号波形における前記第Mの時点としての第2の時点に対応する部位から前記第Nの信号波形における前記第Mの時点としての第Nの時点に対応する部位までの当該各部位と、第2の許容エリアにおける前記第2の時点に対応する部位から前記第Nの許容エリアにおける前記第Nの時点に対応する部位までの当該各部位とを時間軸において一致させた状態で前記合否を判定し、前記波形表示処理時において、前記各時間長および前記各前後関係を用いて、前記第1の信号波形における前記第1の時点に対応する部位から前記第Nの信号波形における前記第Nの時点に対応する部位までの当該各部位を前記時間軸において一致させて当該各信号波形を表示する。
Furthermore, the data processing apparatus according to
請求項1から3記載のデータ処理装置では、トリガ信号出力部からトリガ信号が出力されたときに、データ処理部が、記憶部に記憶されている各入力データに基づいて、第Mの入力データの電気的パラメータが第Mの条件を満たした第Mの時点を特定し、特定した第Mの時点および第1の入力データの電気的パラメータが第1の条件を満たした第1の時点(トリガ信号が出力された時点)の間の時間長を演算すると共に第1の時点および第Mの時点の前後関係を特定する各処理をMが2からNとなるまで繰り返し実行し、演算した各時間長および特定した各前後関係を用いて所定のデータ処理を実行する。
The data processing device according to
また、請求項1,3記載のデータ処理装置では、データ処理部が、判定処理時において、演算した各時間長および特定した各前後関係を用いて第2から第Nまでの各信号波形の第2から第Nまでの各時点にそれぞれ対応する部位と第2から第Nまでの各許容エリアの第2から第Nまでの各時点にそれぞれ対応する部位とを時間軸において一致させた状態で各入力データの合否を判定する。したがって、請求項1,3記載のデータ処理装置によれば、複数台のデータ処理装置を使用することなく、非同期のN個の入力データについて、各入力データを同期させてデータ処理を確実かつ正確に実行することができると共に、第2から第Nまでの各信号波形と第2から第Nまでの各許容エリアとの間に時間軸におけるずれが生じて第2から第Nまでの各信号波形が第2から第Nまでの各許容エリアを外れる事態が発生するのを回避することができる。これにより、このデータ処理装置によれば、第2から第Nまでの各入力データが異常であると誤って判定される事態を回避して、その合否を正しく判定することができる。
In the data processing device according to any one of
さらに、請求項2,3記載のデータ処理装置では、データ処理部が、波形表示処理時において、演算した各時間長および特定した各前後関係を用いて第1から第Nまでの各信号波形における第1から第Nまでの各時点にそれぞれ対応する部位を時間軸において一致させて各信号波形を表示する。したがって、請求項2,3記載のデータ処理装置によれば、複数台のデータ処理装置を使用することなく、非同期のN個の入力データについて、各入力データを同期させてデータ処理を確実かつ正確に実行することができると共に、第1から第Nまでの各信号波形を容易に比較することができるため、各信号波形の相違点を直感的に認識させることができる。
Further, in the data processing device according to
以下、本発明に係るデータ処理装置の最良の形態について、添付図面を参照して説明する。 The best mode of a data processing apparatus according to the present invention will be described below with reference to the accompanying drawings.
最初に、波形記録装置1の構成について、図面を参照して説明する。
First, the configuration of the
図1に示す波形記録装置1は、本発明に係るデータ処理装置の一例であって、A/D変換部2a,2b、ストレージコントローラ3、ストレージメモリ4、トリガ信号出力部5、表示部6、ビデオメモリ7、記録部8およびCPU9を備えて構成されている。この波形記録装置1は、後述するようにして、本発明における第1から第Nの各入力データに相当するサンプリングデータDs1,Ds2の2つのデータ(本発明におけるNが2の例)に対するデータ処理を実行可能に構成されている。A/D変換部2aは、図示しないアンプと相俟って測定チャンネル1(以下、「Ch.1」ともいう)を構成し、入力信号Si1をアナログ−ディジタル変換して(入力信号Si1を所定のサンプリング周期でサンプリングして)サンプリングデータDs1(本発明における第1の入力データの一例:入力信号Si1のデジタルデータ)を出力する。また、A/D変換部2bは、図示しないアンプと相俟って測定チャンネル2(以下、「Ch.2」ともいう)を構成し、入力信号Si2をアナログ−ディジタル変換して(入力信号Si2を所定のサンプリング周期でサンプリングして)サンプリングデータDs2(本発明における第N(Nが2の例)の入力データおよび第M(Mが2の例)の入力データの一例:入力信号Si2のデジタルデータ)を出力する。
A
ストレージコントローラ3は、CPU9の制御に従い、ストレージメモリ4に対するサンプリングデータDs1,Ds2の記録処理、およびストレージメモリ4からのサンプリングデータDs1,Ds2の読出し処理を実行する。この場合、ストレージコントローラ3は、上記の記録処理時において、一例として、A/D変換部2a,2bから出力されたサンプリングデータDs1,Ds2をFIFO(先入れ先出し法)でストレージメモリ4に記憶させることにより、所定時間分の(所定サンプリング数分の)最新のサンプリングデータDs1,Ds2をストレージメモリ4に記憶させる。また、ストレージコントローラ3は、後述するようにしてトリガ信号出力部5からトリガ信号Stが出力されたときに読出し処理を開始して、トリガ信号Stの出力時点より前の所定の時点を起点とする所定時間分のサンプリングデータDs1,Ds2をストレージメモリ4から読み出してCPU9に出力する。
The
ストレージメモリ4は、本発明における記憶部に相当し、一例として、SDRAM(Synchronous Dynamic Random Access Memory)で構成されてストレージコントローラ3によって転送されたサンプリングデータDs1,Ds2を一時的に記録する。トリガ信号出力部5は、トリガ検出器や論理処理回路(図示せず)等を備えて構成されている。この場合、トリガ信号出力部5は、一例として、FPGA(Field Programmable Gate Alley )を備えて構成され、このFPGA内に上記の論理処理回路が構築されている。具体的には、この波形記録装置1では、A/D変換部2aから出力されたサンプリングデータDs1の電気的パラメータ(例えば、電圧、周波数、位相など)と、後述するようにして予め設定された比較値または比較範囲との比較結果に基づいてトリガ信号Stを出力する。より具体的には、トリガ信号出力部5は、サンプリングデータDs1が電圧値L1Vを超えたときに(本発明における「第1の条件」が満たされたときに)トリガ信号Stを出力する。
The
表示部6は、例えばLCD(Liquid Crystal Display)で構成されて、CPU9の制御に従い、ビデオメモリ7に記憶された波形データDw1,Dw2に基づく信号波形等(本発明における第1から第Nまでの各信号波形)を表示する。ビデオメモリ7はCPU9によって生成された波形データDw1,Dw2を記憶する。記録部8は、一例として、リムーバブルメモリ(メモリカード等)やHDD(Hard Disc Drive )で構成されて、CPU9から出力された所定時間分のサンプリングデータDs1,Ds2を記録する。また、記録部8は、後述する許容エリアA1,A2(本発明における第1から第Nまでの各許容エリア)についての許容エリアデータDa1,Da2や、CPU9の動作プログラムなどを記憶する。この場合、許容エリアデータDa1,Da2は、一例として、正常状態において取得された所定時間分のサンプリングデータDs1,Ds2に基づいて予め生成されている。CPU9は、波形記録装置1を統括的に制御すると共に、本発明におけるデータ処理部を構成し、A/D変換部2a,2bから出力されたサンプリングデータDs1,Ds2に対して各種のデータ処理を実行する。
The
具体的には、CPU9は、図示しない操作部の操作によって測定開始が指示されたときに、トリガ信号出力部5を制御してサンプリングデータDs1,Ds2の電圧値を監視する処理を開始する。また、CPU9は、ストレージコントローラ3から所定時間分のサンプリングデータDs1,Ds2が出力されたときに、サンプリングデータDs1が電圧値L1Vを超えた時点(本発明における「第1の時点」の一例)と、サンプリングデータDs2が予め規定された電圧値L2Vを超えた時点(本発明における「第Mの条件」が満たされた「第Mの時点」の一例:N=M=2のこの例では、「第2の条件」が満たされた「第2の時点」)とを特定すると共に、特定した両時点の間の時間長と、両時点の前後関係(いずれが先でいずれが後であるか)とを特定する。さらに、CPU9は、特定した時間長および前後関係についての情報を用いて、両サンプリングデータDs1,Ds2に基づく信号波形を表示させるための波形データDw1,Dw2の生成処理(本発明における「波形表示処理」の一例)、および両サンプリングデータDs1,Ds2と許容エリアデータDa1,Da2とに基づく波形判定処理(本発明における「判定処理」の一例)を実行する。
Specifically, the CPU 9 controls the trigger
次に、波形記録装置1を用いてサンプリングデータDs1,Ds2をデータ処理する方法について、図面を参照して説明する。
Next, a method for data processing of the sampling data Ds1 and Ds2 using the
まず、図示しない信号ケーブルを介してCh.1,Ch.2(A/D変換部2a,2b)を監視対象の例えば製造装置に接続し、その状態において、操作部のスタートスイッチ(図示せず)を操作する。これに応じて、CPU9は、A/D変換部2a,2bを制御して入力信号Si1,Si2についてのサンプリング処理(A−D変換処理)を開始させる。この際に、A/D変換部2a,2bは、予め設定されたサンプリングレートで入力信号Si1,Si2をサンプリングしてサンプリングデータDs1,Ds2をそれぞれ生成し、生成したサンプリングデータDs1,Ds2をストレージコントローラ3およびトリガ信号出力部5に出力する。また、ストレージコントローラ3は、CPU9の制御に従い、A/D変換部2a,2bから出力されたサンプリングデータDs1,Ds2を例えば先入れ先出し法でストレージメモリ4内に順次記録する。
First, Ch. 1, Ch. 2 (A /
一方、トリガ信号出力部5は、CPU9の制御に従い、サンプリングデータDs1の電圧値を監視する処理を開始し、サンプリングデータDs1が電圧値L1Vを超えたとき(本発明における「第1の入力データの電気的パラメータが第1の条件を満たした第1の時点」の一例)にトリガ信号Stをストレージコントローラ3に出力する。これに応じて、ストレージコントローラ3は、ストレージメモリ4内に順次記録させている各サンプリングデータDs1,Ds2のうちから、予め規定された所定時間分のサンプリングデータDs1,Ds2を読み出してCPU9に出力する。具体的には、図2に示すように、ストレージコントローラ3は、トリガ信号出力部5からトリガ信号Stが出力された(すなわち、サンプリングデータDs1が電圧値L1Vを超えた)時点t1よりも時間Ts1だけ前の時点t0から時点t3までの時間Ts11分のサンプリングデータDs1,Ds2をストレージメモリ4から読み出してCPU9に出力する。この場合、上記の例における時間Ts1,Ts11については、予め任意の時間長に規定されている。
On the other hand, the trigger
これに応じて、CPU9は、ストレージコントローラ3から出力された(ストレージメモリ4から読み出された)サンプリングデータDs1,Ds2に基づき、サンプリングデータDs1が電圧値L1Vを超えた時点t1(本発明における第1の時点)と、サンプリングデータDs2が電圧値L2Vを超えた時点t2(本発明における第Mの入力データの電気的パラメータが第Mの条件を満たした第Mの時点:この例では、第2の時点)とをそれぞれ特定すると共に、特定した両時点t1,t2の間の時間長と、両時点t1,t2の前後関係とを特定する。この際に、CPU9は、両時点t1,t2の間の時間長が時間Ts21であると演算すると共に、「時点t1が時点t2よりも前の時点である」(または、「時点t2が時点t1よりも後の時点である」)と特定する。なお、N=M=2のこの例では、サンプリングデータDs2が電圧値L2Vを超えた時点t2を特定し、特定した時点t2および上記の時点t1の間の時間長を演算すると共に時点t1および時点t2の前後関係を特定する各処理を繰り返すことなく1回実行するだけで、本発明におけるMがN(この例では、2)となる。 In response to this, the CPU 9 is based on the sampling data Ds1 and Ds2 output from the storage controller 3 (read from the storage memory 4), and when the sampling data Ds1 exceeds the voltage value L1V (the first time in the present invention). 1) and the time t2 when the sampling data Ds2 exceeds the voltage value L2V (the Mth time when the electrical parameter of the Mth input data in the present invention satisfies the Mth condition: in this example, the second time And the time length between the specified time points t1 and t2 and the context of both time points t1 and t2. At this time, the CPU 9 calculates that the time length between the time points t1 and t2 is the time Ts21, and “the time point t1 is a time point before the time point t2” (or “the time point t2 is the time point t1. Later) ”). In this example where N = M = 2, the time point t2 when the sampling data Ds2 exceeds the voltage value L2V is specified, the time length between the specified time point t2 and the time point t1 is calculated, and the time point t1 and the time point M in the present invention becomes N (2 in this example) only by executing each process specifying the context of t2 once without repeating.
次いで、CPU9は、特定した時間長および前後関係と、ストレージメモリ4から読み出されたサンプリングデータDs1,Ds2とに基づき、本発明における波形表示処理および判定処理を並行して実行する。具体的には、CPU9は、まず、サンプリングデータDs1,Ds2(入力信号Si1,Si2)の信号波形(本発明における第1から第Nまでの各信号波形)を表示するための波形データDw1,Dw2を生成する。この際に、CPU9は、「時点t1が時点t2よりも時間Ts21だけ前の時点である」との上記の特定事項に基づき、一例として、サンプリングデータDs2に基づく信号波形を時間Ts21だけ(時間Ts21に相当する位相を)進めるように相対的に移動させて波形データDw1,Dw2を生成する(第2の信号波形を第1の信号波形に対して時間軸方向において相対的に移動させた例)。これにより、図3に示すように、サンプリングデータDs1が電圧値L1Vを超えた時点t1に対応する部位と、サンプリングデータDs2が電圧値L2Vを超えた時点t2に対応する部位とが時間軸において一致した波形データDw1,Dw2、つまり、両入力信号Si1,Si2の信号波形の立ち上がりが一致した波形データDw1,Dw2が生成される。
Next, the CPU 9 executes the waveform display process and the determination process according to the present invention in parallel based on the specified time length and context and the sampling data Ds1 and Ds2 read from the
続いて、CPU9は、記録部8から許容エリアデータDa1,Da2を読み出して許容エリアA1,A2を規定する。この場合、許容エリアデータDa1は、正常状態において取得されたサンプリングデータDs1のうちの電圧値L1Vを超えた時点(上記の例における時点t1)よりも時間Ts1だけ前の時点から所定時間分のサンプリングデータDs1に基づき、そのサンプリングデータDs1に対する上限値および下限値を規定して生成されている。また、許容エリアデータDa2は、正常状態において取得されたサンプリングデータDs2のうちの電圧値L2Vを超えた時点(上記の例における時点t2)よりも時間Ts1だけ前の時点から所定時間分のサンプリングデータDs2に基づき、そのサンプリングデータDs2に対する上限値および下限値を規定して生成されている。
Subsequently, the CPU 9 reads the allowable area data Da1, Da2 from the
次いで、CPU9は、上記の波形データDw1,Dw2(上記の時点t1および時点t2を一致させた状態のサンプリングデータDs1,Ds2)に基づく信号波形と、許容エリアA1,A2とに基づいて、サンプリングデータDs1,Ds2の合否を判定する(本発明における「第2から第Nまでの各信号波形の第2から第Nまでの各時点にそれぞれ対応する部位と第2から第Nまでの各許容エリアの第2から第Nまでの各時点にそれぞれ対応する部位とを時間軸において一致させた状態で合否を判定する」との構成の一例)。具体的には、CPU9は、波形データDw1に基づく信号波形が許容エリアA1内に含まれているときには、波形データDw1(サンプリングデータDs1)が正常であると判定し、波形データDw1がいずれかの部位において許容エリアA1から外れているときには、波形データDw1(サンプリングデータDs1)が異常であると判定する。また、CPU9は、波形データDw2に基づく信号波形が許容エリアA2内に含まれているときには、波形データDw2(サンプリングデータDs2)が正常であると判定し、波形データDw2がいずれかの部位において許容エリアA2から外れているときには、波形データDw2(サンプリングデータDs2)が異常であると判定する。 Next, the CPU 9 performs sampling data based on the signal waveform based on the waveform data Dw1 and Dw2 (the sampling data Ds1 and Ds2 in the state where the time t1 and the time t2 are matched) and the allowable areas A1 and A2. Ds1 and Ds2 pass / fail are determined (in the present invention, “a part corresponding to each of the second to Nth time points of each of the second to Nth signal waveforms and each of the second to Nth allowable areas” An example of a configuration of “determining whether or not to pass / fail in a state where the portions corresponding to the second to Nth time points are matched on the time axis”). Specifically, when the signal waveform based on the waveform data Dw1 is included in the allowable area A1, the CPU 9 determines that the waveform data Dw1 (sampling data Ds1) is normal, and the waveform data Dw1 is any of the waveform data Dw1. When the part is out of the allowable area A1, it is determined that the waveform data Dw1 (sampling data Ds1) is abnormal. Further, when the signal waveform based on the waveform data Dw2 is included in the allowable area A2, the CPU 9 determines that the waveform data Dw2 (sampling data Ds2) is normal, and the waveform data Dw2 is allowed in any part. When outside the area A2, it is determined that the waveform data Dw2 (sampling data Ds2) is abnormal.
この際に、波形データDw1に基づく信号波形、および許容エリアA1では、それぞれ電圧値L1Vを超えた時点に対応する部位が時間軸において一致している。このため、図4に示すように、波形データDw1に基づく信号波形と許容エリアA1との間に時間軸におけるずれが生じて正常な波形データDw1(サンプリングデータDs1)が異常と判定される事態が回避される。また、この波形記録装置1では、前述したように、波形データDw2の生成時において、サンプリングデータDs1が電圧値L1Vを超えた時点t1とサンプリングデータDs2が電圧値L2Vを超えた時点t2との間の時間長(時間Ts21)だけサンプリングデータDs1に対してサンプリングデータDs2を進めるようにして相対的に移動させたことで(第2の信号波形を第2の許容エリアに対して時間軸方向において相対的に移動させた例)、波形データDw1における電圧値L1Vを超えた時点t1と波形データDw2における電圧値L2Vを超えた時点t2とが一致させられている。したがって、波形データDw2に基づく信号波形における電圧値L2Vを超えた時点t2に対応する部位は、許容エリアデータDa2に基づく許容エリアA2における電圧値L2Vを超えた時点に対応する部位と一致することとなる。このため、波形データDw2に基づく信号波形と許容エリアA2との間に時間軸におけるずれが生じて正常な波形データDw2(サンプリングデータDs2)が異常と判定される事態が回避される。
At this time, in the signal waveform based on the waveform data Dw1 and the permissible area A1, the portions corresponding to the time points when the voltage value L1V is exceeded coincide with each other on the time axis. For this reason, as shown in FIG. 4, there is a situation in which a deviation in the time axis occurs between the signal waveform based on the waveform data Dw1 and the allowable area A1, and the normal waveform data Dw1 (sampling data Ds1) is determined to be abnormal. Avoided. Further, in the
次いで、CPU9は、上記の許容エリアA1,A2の画像データを波形データDw1,Dw2と共にビデオメモリ7に記憶させることにより、波形データDw1,Dw2に基づく信号波形と許容エリアA1,A2とを表示部6の同一画面上に重ねて表示させる(本発明における「第1から第Nまでの各信号波形における第1から第Nまでの各時点にそれぞれ対応する部位を時間軸において一致させて各信号波形を表示する」との構成の一例)。この際には、前述したように、波形データDw1に基づく信号波形においてサンプリングデータDs1が電圧値L1Vを超えた時点t1に対応する部位、許容エリアA1において許容エリアデータDa1の取得時にサンプリングデータDs1が電圧値L1Vを超えた時点に対応する部位、波形データDw2に基づく信号波形においてサンプリングデータDs2が電圧値L2Vを超えた時点t2に対応する部位、および許容エリアA2において許容エリアデータDa2の取得時にサンプリングデータDs2が電圧値L2Vを超えた時点に対応する部位のすべてが時間軸において一致している。したがって、表示部6に表示された波形表示画面上では、図4に示すように、両信号波形の基となったサンプリングデータDs1,Ds2(入力信号Si1,Si2)が恰も同期して出力されたかのように両信号波形および許容エリアA1,A2が表示される。これにより、Ch.1,Ch.2を接続した両製造装置の動作状態を直感的に認識させることが可能となる。
Next, the CPU 9 stores the image data of the allowable areas A1 and A2 in the video memory 7 together with the waveform data Dw1 and Dw2, thereby displaying the signal waveform based on the waveform data Dw1 and Dw2 and the allowable areas A1 and A2 on the display unit. 6 are displayed on the same screen in the same manner (in the present invention, “the first to Nth signal waveforms in the respective first to Nth time points corresponding to the first to Nth time points are made to coincide with each other on the time axis. An example of a configuration of “display”. At this time, as described above, in the signal waveform based on the waveform data Dw1, the sampling data Ds1 is obtained when the allowable area data Da1 is acquired in the portion corresponding to the time point t1 when the sampling data Ds1 exceeds the voltage value L1V. A portion corresponding to a time point when the voltage value L1V is exceeded, a portion corresponding to a time point t2 when the sampling data Ds2 exceeds the voltage value L2V in the signal waveform based on the waveform data Dw2, and a sampling at the time of obtaining the allowable area data Da2 in the allowable area A2. All of the parts corresponding to the time point when the data Ds2 exceeds the voltage value L2V coincide with each other on the time axis. Therefore, on the waveform display screen displayed on the
一方、この波形記録装置1では、サンプリングデータDs1を本発明における第1の入力データとし、かつサンプリングデータDs2を本発明における第2から第Nまでの各入力データ(この例では、第2の入力データ)とする上記の波形表示処理および波形判定処理のみならず、サンプリングデータDs2を本発明における第1の入力データとし、かつサンプリングデータDs1を本発明における第2から第Nまでの各入力データ(この例では、第2の入力データ)とする波形表示処理および波形判定処理を実行することもできる。具体的には、このような使用方法を採用する際には、まず、トリガ信号出力部5に対して、サンプリングデータDs2が予め設定された電圧値L2Vを超えたときに(本発明における「第1の条件」が満たされたときに)トリガ信号Stを出力するように設定する。
On the other hand, in the
次いで、操作部のスタートスイッチ(図示せず)を操作すると、A/D変換部2a,2bがサンプリングデータDs1,Ds2を生成してストレージコントローラ3およびトリガ信号出力部5に出力し、ストレージコントローラ3が、出力されたサンプリングデータDs1,Ds2をストレージメモリ4内に順次記録する。また、図5に示すように、サンプリングデータDs2が電圧値L2Vを超えた時点t12(本発明における「第1の入力データの電気的パラメータが第1の条件を満たした第1の時点」の他の一例)において、トリガ信号出力部5がトリガ信号Stを出力し、これに応じて、ストレージコントローラ3が予め規定された所定時間分のサンプリングデータDs1,Ds2をストレージメモリ4から読み出してCPU9に出力する。具体的には、ストレージコントローラ3は、トリガ信号出力部5からトリガ信号Stが出力された(すなわち、サンプリングデータDs2が電圧値L2Vを超えた)時点t12よりも時間Ts2だけ前の時点t10から時点t13までの時間Ts12分のサンプリングデータDs1,Ds2をストレージメモリ4から読み出してCPU9に出力する。この場合、上記の例における時間Ts2,Ts12については、予め任意の時間長に規定されている。
Next, when a start switch (not shown) of the operation unit is operated, the A /
これに応じて、CPU9は、ストレージコントローラ3から出力された(ストレージメモリ4から読み出された)サンプリングデータDs1,Ds2に基づき、サンプリングデータDs1が電圧値L1Vを超えた時点t11(本発明における第Mの入力データの電気的パラメータが第Mの条件を満たした第Mの時点:この例では、第2の時点)と、サンプリングデータDs2が電圧値L2Vを超えた時点t12(本発明における第1の時点)とをそれぞれ特定すると共に、特定した両時点t11,t12の間の時間長と、両時点t11,t12の前後関係とを特定する。この際に、CPU9は、両時点t11,t12の間の時間長が時間Ts22であると演算すると共に、「時点t12が時点t11よりも後の時点である」(または、「時点t11が時点t12よりも前の時点である」)と特定する。なお、N=M=2のこの例では、サンプリングデータDs2が電圧値L2Vを超えた時点t12を特定し、特定した時点t12および上記の時点t11の間の時間長を演算すると共に時点t11および時点t12の前後関係を特定する各処理を繰り返すことなく1回実行するだけで、本発明におけるMがN(この例では、2)となる。 In response to this, based on the sampling data Ds1 and Ds2 output from the storage controller 3 (read from the storage memory 4), the CPU 9 receives the time t11 when the sampling data Ds1 exceeds the voltage value L1V (the first time in the present invention). The Mth time point when the electrical parameter of the input data of M satisfies the Mth condition: in this example, the second time point, and the time point t12 when the sampling data Ds2 exceeds the voltage value L2V (first time in the present invention). And the time length between the specified time points t11 and t12 and the context of both time points t11 and t12 are specified. At this time, the CPU 9 calculates that the time length between the time points t11 and t12 is the time Ts22, and “the time point t12 is a time point after the time point t11” (or “the time point t11 is the time point t12. It ’s an earlier point in time ”). In this example where N = M = 2, the time point t12 when the sampling data Ds2 exceeds the voltage value L2V is specified, the time length between the specified time point t12 and the time point t11 is calculated, and the time point t11 and the time point By simply executing each process for specifying the context of t12 once without repeating, M in the present invention becomes N (2 in this example).
次いで、CPU9は、特定した時間長および前後関係と、ストレージメモリ4から読み出されたサンプリングデータDs1,Ds2とに基づき、本発明における波形表示処理および判定処理を並行して実行する。具体的には、CPU9は、まず、サンプリングデータDs1,Ds2(入力信号Si1,Si2)の信号波形(本発明における第1から第Nまでの各信号波形)を表示するための波形データDw1,Dw2を生成する。この際に、CPU9は、ストレージメモリ4から読み出された上記のサンプリングデータDs1,Ds2に基づき、サンプリングデータDs1における上記の時点t11よりも時間Ts1だけ前の時点10aと、サンプリングデータDs2における上記の時点t12よりも時間Ts1だけ前の時点10bとをそれぞれ特定する。
Next, the CPU 9 executes the waveform display process and the determination process according to the present invention in parallel based on the specified time length and context and the sampling data Ds1 and Ds2 read from the
次いで、CPU9は、サンプリングデータDs1における時点t10aよりも前の情報、およびサンプリングデータDs2における時点t10bよりも前の情報(図6に破線で示す部位)をそれぞれ破棄すると共に、「時点t12が時点t11よりも時間Ts22だけ後の時点である」との上記の特定事項に基づき、図6に示すように、一例として、サンプリングデータDs1に基づく信号波形を時間Ts22だけ(時間Ts22に相当する位相を)遅らせるようにして相対的に移動させて波形データDw1,Dw2を生成する(第2の信号波形を第1の信号波形に対して時間軸方向において相対的に移動させた例)。これにより、サンプリングデータDs1が電圧値L1Vを超えた時点t11に対応する部位と、サンプリングデータDs2が電圧値L2Vを超えた時点t12に対応する部位とが時間軸において一致した状態の波形データDw1,Dw2、つまり、両入力信号Si1,Si2の信号波形の立ち上がりが一致した波形データDw1,Dw2が生成される。 Next, the CPU 9 discards the information before the time point t10a in the sampling data Ds1 and the information before the time point t10b in the sampling data Ds2 (part indicated by a broken line in FIG. 6), and “the time point t12 is the time point t11. As shown in FIG. 6, as an example, the signal waveform based on the sampling data Ds <b> 1 is only the time Ts <b> 22 (the phase corresponding to the time Ts <b> 22). Waveform data Dw1 and Dw2 are generated by being moved relatively so as to be delayed (example in which the second signal waveform is moved relative to the first signal waveform in the time axis direction). As a result, the waveform data Dw1 in a state where the portion corresponding to the time point t11 when the sampling data Ds1 exceeds the voltage value L1V and the portion corresponding to the time point t12 when the sampling data Ds2 exceeds the voltage value L2V are matched on the time axis. Dw2, that is, waveform data Dw1 and Dw2 in which the rising edges of the signal waveforms of both input signals Si1 and Si2 coincide with each other are generated.
続いて、CPU9は、記録部8から許容エリアデータDa1,Da2を読み出して許容エリアA1,A2を規定する。この場合、前述したように、許容エリアデータDa1は、正常状態において取得されたサンプリングデータDs1のうちの電圧値L1Vを超えた時点(上記の例における時点t11)よりも時間Ts1だけ前の時点から所定時間分のサンプリングデータDs1に基づき、そのサンプリングデータDs1に対する上限値および下限値を規定して生成されている。また、許容エリアデータDa2は、正常状態において取得されたサンプリングデータDs2のうちの電圧値L2Vを超えた時点(上記の例における時点t12)よりも時間Ts1だけ前の時点から所定時間分のサンプリングデータDs2に基づき、そのサンプリングデータDs2に対する上限値および下限値を規定して生成されている。
Subsequently, the CPU 9 reads the allowable area data Da1, Da2 from the
次いで、CPU9は、上記の波形データDw1,Dw2(上記の時点t11および時点t12を一致させた状態のサンプリングデータDs1,Ds2)に基づく信号波形と、許容エリアA1,A2とに基づいて、サンプリングデータDs1,Ds2の合否を判定する(本発明における「第2から第Nまでの各信号波形の第2から第Nまでの各時点にそれぞれ対応する部位と第2から第Nまでの各許容エリアの第2から第Nまでの各時点にそれぞれ対応する部位とを時間軸において一致させた状態で合否を判定する」との構成の他の一例)。この際に、図6に実線で示すように、波形データDw2に基づく信号波形、および許容エリアデータDa2に基づく許容エリアA2では、それぞれ電圧値L2Vを超えた時点が時間軸において一致している。このため、波形データDw2に基づく信号波形と許容エリアA2との間に時間軸におけるずれが生じて正常な波形データDw2(サンプリングデータDs2)が異常と判定される事態が回避される。 Next, the CPU 9 performs sampling data based on the signal waveform based on the waveform data Dw1 and Dw2 (the sampling data Ds1 and Ds2 in the state where the time t11 and the time t12 are matched) and the allowable areas A1 and A2. Ds1 and Ds2 pass / fail are determined (in the present invention, “a part corresponding to each of the second to Nth time points of each of the second to Nth signal waveforms and each of the second to Nth allowable areas” Another example of the configuration of “determining pass / fail is determined in a state where the portions corresponding to the second to Nth time points are matched on the time axis”). At this time, as indicated by a solid line in FIG. 6, in the signal waveform based on the waveform data Dw2 and the allowable area A2 based on the allowable area data Da2, the time points when the voltage value L2V is exceeded coincide with each other on the time axis. For this reason, a situation in which a deviation in the time axis between the signal waveform based on the waveform data Dw2 and the allowable area A2 occurs and the normal waveform data Dw2 (sampling data Ds2) is determined to be abnormal is avoided.
また、この波形記録装置1では、前述したように、波形データDw1の生成時において、サンプリングデータDs1が電圧値L1Vを超えた時点t11とサンプリングデータDs2が電圧値L2Vを超えた時点t12との間の時間長(時間Ts22)だけサンプリングデータDs2に対してサンプリングデータDs1を遅らせるようにして相対的に移動させたことで(第2の信号波形を第2の許容エリアに対して時間軸方向において相対的に移動させた例)、波形データDw1における電圧値L1Vを超えた時点t11と波形データDw2における電圧値L2Vを超えた時点t12とが一致させられている。したがって、波形データDw1に基づく信号波形における電圧値L1Vを超えた時点t11に対応する部位は、許容エリアデータDa1に基づく許容エリアA1における電圧値L1Vを超えた時点に対応する部位と一致することとなる。このため、波形データDw1に基づく信号波形と許容エリアA1との間に時間軸におけるずれが生じて正常な波形データDw1(サンプリングデータDs1)が異常と判定される事態が回避される。
Further, in the
次いで、CPU9は、上記の許容エリアA1,A2の画像データを波形データDw1,Dw2と共にビデオメモリ7に記憶させることにより、波形データDw1,Dw2に基づく信号波形と許容エリアA1,A2とを表示部6の同一画面上に重ねて表示させる(本発明における「第1から第Nまでの各信号波形における第1から第Nまでの各時点にそれぞれ対応する部位を時間軸において一致させて各信号波形を表示する」との構成の他の一例)。この際には、前述したように、波形データDw1に基づく信号波形においてサンプリングデータDs1が電圧値L1Vを超えた時点t11に対応する部位、許容エリアA1において許容エリアデータDa1の取得時にサンプリングデータDs1が電圧値L1Vを超えた時点に対応する部位、波形データDw2に基づく信号波形においてサンプリングデータDs2が電圧値L2Vを超えた時点t12に対応する部位、および許容エリアA2において許容エリアデータDa2の取得時にサンプリングデータDs2が電圧値L2Vを超えた時点に対応する部位のすべてが時間軸において一致している。したがって、表示部6に表示された波形表示画面上では、図7に示すように、両信号波形の基となったサンプリングデータDs1,Ds2(入力信号Si1,Si2)が恰も同期して出力されたかのように両信号波形および許容エリアA1,A2が表示される。これにより、Ch.1,Ch.2を接続した両製造装置の動作状態を直感的に認識させることが可能となる。
Next, the CPU 9 stores the image data of the allowable areas A1 and A2 in the video memory 7 together with the waveform data Dw1 and Dw2, thereby displaying the signal waveform based on the waveform data Dw1 and Dw2 and the allowable areas A1 and A2 on the display unit. 6 are displayed on the same screen in the same manner (in the present invention, “the first to Nth signal waveforms in the respective first to Nth time points corresponding to the first to Nth time points are made to coincide with each other on the time axis. Another example of a configuration of “display”. At this time, as described above, in the signal waveform based on the waveform data Dw1, the sampling data Ds1 is obtained at the time of obtaining the allowable area data Da1 in the portion corresponding to the time t11 when the sampling data Ds1 exceeds the voltage value L1V. Sampling at the time of obtaining the allowable area data Da2 in the portion corresponding to the time point when the voltage value L1V is exceeded, the portion corresponding to the time point t12 when the sampling data Ds2 exceeds the voltage value L2V in the signal waveform based on the waveform data Dw2, and the allowable area A2. All of the parts corresponding to the time point when the data Ds2 exceeds the voltage value L2V coincide with each other on the time axis. Therefore, on the waveform display screen displayed on the
このように、この波形記録装置1では、トリガ信号出力部5からトリガ信号Stが出力されたときに、CPU9(データ処理部)が、ストレージメモリ4(記憶部)に記憶されているサンプリングデータDs1,Ds2(本発明における各入力データ)に基づいて、サンプリングデータDs2が電圧値L2Vを超えた時点t2(または、サンプリングデータDs1が電圧値L1Vを超えた時点t11:本発明における第Mの入力データの電気的パラメータが第Mの条件を満たした第Mの時点)を特定し、特定した第Mの時点、およびサンプリングデータDs1が電圧値L1Vを超えた時点t1(または、サンプリングデータDs2が電圧値L2Vを超えた時点t12:トリガ信号Stが出力された時点:本発明における第1の入力データの電気的パラメータが第1の条件を満たした第1の時点)の間の時間長(この例では、時間Ts21、または時間Ts22)を演算すると共に、本発明における第1の時点および第Mの時点の前後関係を特定する各処理を本発明におけるMが2からNとなるまで繰り返し実行し(N=M=2のこの例では、各処理を一回実行し)、演算した時間長および特定した前後関係を用いて所定のデータ処理(この例では、波形表示処理および波形判定処理)を実行する。したがって、この波形記録装置1によれば、複数台の装置を使用することなく、非同期の各サンプリングデータDs1,Ds2(入力信号Si1,Si2)について、両サンプリングデータDs1,Ds2を同期させてデータ処理(波形表示処理および波形判定処理)を確実かつ正確に実行することができる。
Thus, in this
また、この波形記録装置1によれば、CPU9が、波形判定処理(本発明における判定処理)時において、演算した時間長および特定した前後関係を用いてサンプリングデータDs1の信号波形(または、サンプリングデータDs2の信号波形:本発明における第1の信号波形)と、サンプリングデータDs2の信号波形(または、サンプリングデータDs1の信号波形:本発明における第2から第Nまでの各信号波形の一例であって、N=2のこの例では、第2の信号波形)との少なくとも一方を他方に対して時間軸方向に相対的に移動させて、サンプリングデータDs2の信号波形の時点t2(または、サンプリングデータDs1の信号波形の時点t11:本発明における第2から第Nまでの各時点の一例であって、この例では、第2の時点)に対応する部位と、許容エリアA2の時点t2(または、許容エリアA1の時点t11(本発明における第2から第Nまでの各許容エリアの第2から第Nまでの各時点の一例であって、この例では、第2の許容エリアの第2の時点)に対応する部位とを時間軸において一致させた状態で合否を判定することにより、サンプリングデータDs2の信号波形(または、サンプリングデータDs1の信号波形)と許容エリアA2(または、許容エリアA1)との間に時間軸においてずれが生じてサンプリングデータDs2の信号波形(または、サンプリングデータDs1の信号波形)が許容エリアA2(または、許容エリアA1)を外れる事態が発生するのを回避することができる。これにより、この波形記録装置1によれば、サンプリングデータDs2(または、サンプリングデータDs1)が異常であると誤って判定される事態を回避して、その合否を正しく判定することができる。
Further, according to the
さらに、この波形記録装置1によれば、CPU9が、波形表示処理時において、演算した時間長および特定した前後関係を用いてサンプリングデータDs1の信号波形およびサンプリングデータDs2の信号波形(本発明における第1から第Nまでの各信号波形)の時点t1,t2(本発明における第1から第Nまでの各時点)に対応する部位を時間軸において一致させて両信号波形を表示することにより、サンプリングデータDs1の信号波形およびサンプリングデータDs2の信号波形を容易に比較することができるため、両信号波形の相違点を直感的に認識させることができる。
Furthermore, according to the
なお、本発明は、上記の構成に限定されない。例えば、波形判定処理時において、波形データDw2に基づく信号波形を時間Ts21だけ進めた状態において許容エリアA2に含まれているか否かを判定する例(許容エリアA2に対して信号波形を相対的に移動させた例(相対的に進めた例))、および波形データDw1に基づく信号波形を時間Ts22だけ遅らせた状態において許容エリアA1に含まれているか否かを判定する例(許容エリアA1に対して信号波形を相対的に移動させた例(相対的に遅れさせた例))について説明したが、本発明はこれに限定されない。例えば、図8に示すように、サンプリングデータDs1(入力信号Si1)が電圧値L1Vを超えた時点t1よりも、サンプリングデータDs2(入力信号Si2)が電圧値L2Vを超えた時点t2が時間Ts21だけ後の時点である場合において、CPU9が、時点t1および時点t2の間の時間長を時間Ts21と演算し、かつ、時点t1よりも時点t2が後の時点である(本発明における「前後関係」の一例)と特定したときに、許容エリアA2を時間Ts21だけ遅らせるようにして波形データDw2(サンプリングデータDs2)に基づく信号波形に対して相対的に移動させて重ねた状態で、波形データDw2(サンプリングデータDs2)の合否を判定する構成を採用することができる。 In addition, this invention is not limited to said structure. For example, in the waveform determination process, an example of determining whether or not the signal waveform based on the waveform data Dw2 is included in the allowable area A2 in a state where the signal waveform is advanced by the time Ts21 (the signal waveform is relatively set with respect to the allowable area A2). An example of determining whether the signal waveform based on the waveform data Dw1 is included in the allowable area A1 in a state where the signal waveform based on the waveform data Dw1 is delayed by the time Ts22 (for the allowable area A1) In this example, the signal waveform is relatively moved (relatively delayed example)), but the present invention is not limited to this. For example, as shown in FIG. 8, the time point t2 when the sampling data Ds2 (input signal Si2) exceeds the voltage value L2V is the time Ts21 than the time point t1 when the sampling data Ds1 (input signal Si1) exceeds the voltage value L1V. In the case of the later time point, the CPU 9 calculates the time length between the time point t1 and the time point t2 as the time Ts21, and the time point t2 is a time point later than the time point t1 (“context relationship” in the present invention). In this case, the waveform data Dw2 (in the state of being moved relative to the signal waveform based on the waveform data Dw2 (sampling data Ds2) and superimposed so as to delay the allowable area A2 by the time Ts21. A configuration for determining whether the sampling data Ds2) is acceptable or not can be adopted.
また、図9に示すように、サンプリングデータDs2(入力信号Si2)が電圧値L2Vを超えた時点t12よりも、サンプリングデータDs1(入力信号Si1)が電圧値L1Vを超えた時点t11が時間Ts22だけ前の時点である場合において、CPU9が、時点t11および時点t12の間の時間長を時間Ts22と演算し、かつ、時点t12よりも時点t11が前の時点である(本発明における「前後関係」の一例)と特定したときに、許容エリアA1を時間Ts22だけ進めるようにして波形データDw1(サンプリングデータDs1)に基づく信号波形に対して相対的に移動させて重ねた状態で、波形データDw1(サンプリングデータDs1)の合否を判定する構成を採用することができる。このような構成を採用した場合においても、前述した波形記録装置1と同様にして、波形データDw2(または、波形データDw1)に基づく信号波形と許容エリアA2(または、許容エリアA1)との間に時間軸におけるずれが生じて正常な波形データDw2(波形データDw1)が異常と判定される事態を回避することができる。
Further, as shown in FIG. 9, the time t11 when the sampling data Ds1 (input signal Si1) exceeds the voltage value L1V is only the time Ts22 than the time t12 when the sampling data Ds2 (input signal Si2) exceeds the voltage value L2V. In the case of the previous time point, the CPU 9 calculates the time length between the time point t11 and the time point t12 as the time Ts22, and the time point t11 is the time point before the time point t12 (“context relationship” in the present invention). In this case, the waveform data Dw1 (in the state of being moved relative to the signal waveform based on the waveform data Dw1 (sampling data Ds1) so as to advance the allowable area A1 by time Ts22. A configuration for determining whether the sampling data Ds1) is acceptable can be adopted. Even when such a configuration is adopted, the signal waveform based on the waveform data Dw2 (or the waveform data Dw1) and the allowable area A2 (or the allowable area A1) are similar to the
また、本発明についての理解を容易とするために、2つの測定チャンネル(Ch.1,Ch.2)を有する波形記録装置1を例に挙げて説明したが、本発明に係るデータ処理装置は、少なくとも2つの入力データに対して所定のデータ処理を実行可能に構成されていればよい。具体的には、3つ以上の複数の測定チャンネルを備えて、3つ以上の複数の入力データに対して各種のデータ処理を実行可能に構成することができる(本発明におけるNが3つ以上の例)。この場合、例えば3つの測定チャンネル(Ch.1〜Ch.3)を備えて3つの入力データ(第1から第3の入力データ)に対するデータ処理を実行可能に構成したときには、トリガ信号出力部5からトリガ信号Stが出力されたときに、CPU9(データ処理部)が、ストレージメモリ4(記憶部)に記憶されている各入力データに基づいて、本発明における第Mの入力データが第Mの条件を満たした第Mの時点を特定し、特定した第Mの時点と、第1の入力データが第1の条件を満たした第1の時点との間の時間長を演算すると共に第1の時点および第Mの時点の前後関係を特定する各処理を本発明におけるMが2からNとなるまで繰り返し実行し(N=M=3のこの例では、各処理を2回実行し)、演算した各時間長および特定した各前後関係を用いて所定のデータ処理(例えば、波形表示処理や波形判定処理)を実行すればよい。このような構成を採用することにより、2つの入力データに対するデータ処理を可能に構成した上記の波形記録装置1と同様にして、複数台の装置を使用することなく、非同期の各入力データについて、各入力データを同期させてデータ処理(波形表示処理や波形判定処理)を確実かつ正確に実行することができる。
Further, in order to facilitate understanding of the present invention, the
さらに、本発明に係るデータ処理装置を波形記録装置1に適用した例について説明したが、本発明はこれに限定されず、波形表示処理を実行可能な波形表示装置や、波形判定処理を実行可能な波形監視装置などの各種のデータ処理装置に本発明を適用することができる。また、波形表示処理および波形判定処理(判定処理)を本発明における所定のデータ処理として実行する構成の波形記録装置1を例に挙げて説明したが、例えば、上記の例における波形データDw1,Dw2を生成して記録部8に記録する処理(データ記録処理)を所定のデータ処理として実行する構成を採用することもできる。加えて、本発明に係るデータ処理装置は、A/D変換部2a,2b等を備えた処理装置に限定されず、外部装置としての測定装置によって生成されるサンプリングデータDs1,Ds2を本発明における第1から第Nまでの各入力データとしてデータ処理する構成を採用することもできる。
Furthermore, although the example which applied the data processing apparatus which concerns on this invention to the
1 波形記録装置
3 ストレージコントローラ
4 ストレージメモリ
5 トリガ信号出力部
6 表示部
7 ビデオメモリ
9 CPU
A1,A2 許容エリア
Da1,Da2 許容エリアデータ
Ds1,Ds2 サンプリングデータ
Dw1,Dw2 波形データ
L1V,L2V 電圧値
St トリガ信号
Si1,Si2 入力信号
Ts1,Ts2,Ts11,Ts12,Ts21,Ts22 時間
t0〜t3,t10〜t13 時点
DESCRIPTION OF
A1, A2 Allowable area Da1, Da2 Allowable area data Ds1, Ds2 Sampling data Dw1, Dw2 Waveform data L1V, L2V Voltage value St Trigger signal Si1, Si2 Input signal Ts1, Ts2, Ts11, Ts12, Ts21, Ts22 Time t0 to t3 t10 to t13
Claims (3)
前記データ処理部は、前記第1の入力データに基づく第1の信号波形から前記第Nの入力データに基づく第Nの信号波形までの当該各信号波形と、当該第1の信号波形に対応する第1の許容エリアから当該第Nの信号波形に対応する第Nの許容エリアまでの当該各許容エリアとに基づいて当該各入力データの合否を判定する判定処理を前記所定のデータ処理として実行可能に構成されると共に、前記トリガ信号が出力されたときに、前記記憶部に記憶されている前記各入力データに基づいて、第M(Mは、2以上N以下の自然数)の入力データの前記電気的パラメータが第Mの条件を満たした第Mの時点を特定し、特定した当該第Mの時点および前記第1の時点の間の時間長を演算すると共に当該第1の時点および当該第Mの時点の前後関係を特定する各処理を「M」が「2」から「N」となるまで繰り返し実行し、前記判定処理時において、前記各時間長および前記各前後関係を用いて、第2の信号波形における前記第Mの時点としての第2の時点に対応する部位から前記第Nの信号波形における前記第Mの時点としての第Nの時点に対応する部位までの当該各部位と、第2の許容エリアにおける前記第2の時点に対応する部位から前記第Nの許容エリアにおける前記第Nの時点に対応する部位までの当該各部位とを時間軸において一致させた状態で前記合否を判定するデータ処理装置。 (The N, 2 or greater natural number) Nos. 1 through N input data and a data processing unit for executing a predetermined data process on the respective input data to the input data, electrical of the first input data A trigger signal output unit that outputs a trigger signal at a first time point when the parameter satisfies the first condition, and a storage unit that stores the input data,
The data processing unit corresponds to each of the signal waveforms from the first signal waveform based on the first input data to the Nth signal waveform based on the Nth input data, and the first signal waveform. A determination process for determining pass / fail of each input data based on each allowable area from the first allowable area to the Nth allowable area corresponding to the Nth signal waveform can be executed as the predetermined data process. And when the trigger signal is output, based on the input data stored in the storage unit, the M-th input data (M is a natural number of 2 or more and N or less) of the input data The Mth time point when the electrical parameter satisfies the Mth condition is specified, the time length between the specified Mth time point and the first time point is calculated, and the first time point and the Mth time point are calculated. Context at the time of Repeatedly executes the processes of identifying "M" from "2" to the "N" at the time of the determination processing by using the pre-Symbol respective duration and pre SL each context, the second signal Each part from a part corresponding to the second time point as the Mth time point in the waveform to a part corresponding to the Nth time point as the Mth time point in the Nth signal waveform; data to determine the pass or fail in the state of being matched with the respective portions of the portion corresponding to the second point in the permissible area to the site corresponding to the point of the first N in permissive areas of the N-th in the time axis Processing equipment.
前記データ処理部は、前記第1の入力データに基づく第1の信号波形から前記第Nの入力データに基づく第Nの信号波形までの当該各信号波形を表示部に表示させる波形表示処理を前記所定のデータ処理として実行可能に構成されると共に、前記トリガ信号が出力されたときに、前記記憶部に記憶されている前記各入力データに基づいて、第M(Mは、2以上N以下の自然数)の入力データの前記電気的パラメータが第Mの条件を満たした第Mの時点を特定し、特定した当該第Mの時点および前記第1の時点の間の時間長を演算すると共に当該第1の時点および当該第Mの時点の前後関係を特定する各処理を「M」が「2」から「N」となるまで繰り返し実行し、前記波形表示処理時において、前記各時間長および前記各前後関係を用いて、前記第1の信号波形における前記第1の時点に対応する部位から前記第Nの信号波形における前記第Mの時点としての第Nの時点に対応する部位までの当該各部位を時間軸において一致させて当該各信号波形を表示するデータ処理装置。 (The N, 2 or greater natural number) Nos. 1 through N input data and a data processing unit for executing a predetermined data process on the respective input data to the input data, electrical of the first input data A trigger signal output unit that outputs a trigger signal at a first time point when the parameter satisfies the first condition, and a storage unit that stores the input data,
The data processing unit performs a waveform display process for displaying each signal waveform from a first signal waveform based on the first input data to an Nth signal waveform based on the Nth input data on a display unit. It is configured to be executable as predetermined data processing, and when the trigger signal is output, based on each input data stored in the storage unit, Mth (M is 2 or more and N or less) The M-th time point when the electrical parameter of the input data (natural number) satisfies the M-th condition is specified, and the time length between the specified M-th time point and the first time point is calculated and the first time point is calculated. each process of identifying the context of the time of the first time point and the second M repeatedly executes "M" from "2" to the "N", when the waveform display processing, pre-Symbol the duration Oyo by using the beauty before Symbol each context, The respective parts from the part corresponding to the first time point in the first signal waveform to the part corresponding to the Nth time point as the Mth time point in the Nth signal waveform are matched on the time axis. A data processing device for displaying each signal waveform .
前記データ処理部は、前記第1の入力データに基づく第1の信号波形から前記第Nの入力データに基づく第Nの信号波形までの当該各信号波形と、当該第1の信号波形に対応する第1の許容エリアから当該第Nの信号波形に対応する第Nの許容エリアまでの当該各許容エリアとに基づいて当該各入力データの合否を判定する判定処理、および前記第1の信号波形から前記第Nの信号波形までの当該各信号波形を表示部に表示させる波形表示処理を前記所定のデータ処理として実行可能に構成されると共に、前記トリガ信号が出力されたときに、前記記憶部に記憶されている前記各入力データに基づいて、第M(Mは、2以上N以下の自然数)の入力データの前記電気的パラメータが第Mの条件を満たした第Mの時点を特定し、特定した当該第Mの時点および前記第1の時点の間の時間長を演算すると共に当該第1の時点および当該第Mの時点の前後関係を特定する各処理を「M」が「2」から「N」となるまで繰り返し実行し、前記判定処理時において、前記各時間長および前記各前後関係を用いて、第2の信号波形における前記第Mの時点としての第2の時点に対応する部位から前記第Nの信号波形における前記第Mの時点としての第Nの時点に対応する部位までの当該各部位と、第2の許容エリアにおける前記第2の時点に対応する部位から前記第Nの許容エリアにおける前記第Nの時点に対応する部位までの当該各部位とを時間軸において一致させた状態で前記合否を判定し、前記波形表示処理時において、前記各時間長および前記各前後関係を用いて、前記第1の信号波形における前記第1の時点に対応する部位から前記第Nの信号波形における前記第Nの時点に対応する部位までの当該各部位を前記時間軸において一致させて当該各信号波形を表示するデータ処理装置。 (The N, 2 or greater natural number) Nos. 1 through N input data and a data processing unit for executing a predetermined data process on the respective input data to the input data, electrical of the first input data A trigger signal output unit that outputs a trigger signal at a first time point when the parameter satisfies the first condition, and a storage unit that stores the input data,
The data processing unit corresponds to each of the signal waveforms from the first signal waveform based on the first input data to the Nth signal waveform based on the Nth input data, and the first signal waveform. A determination process for determining pass / fail of each input data based on each allowable area from the first allowable area to the Nth allowable area corresponding to the Nth signal waveform, and from the first signal waveform Waveform display processing for displaying each signal waveform up to the Nth signal waveform on the display unit is configured to be executable as the predetermined data processing, and when the trigger signal is output to the storage unit Based on each of the stored input data, the Mth point in time when the electrical parameter of the Mth input data (M is a natural number of 2 to N) satisfies the Mth condition is specified. The second The "N" time and the processing for identifying the context of the time of the first time point and the second M while calculating the duration between the first time point "M" from "2" repeatedly executed until, during the determination process, before SL with the time length and before Symbol each context, a portion corresponding to the second time point as a time point of the first M of the second signal waveform The Nth tolerance from the part corresponding to the Nth time point as the Mth time point in the Nth signal waveform and the part corresponding to the second time point in the second tolerance area. and the respective portions to portions corresponding to the time point of the first N determines the acceptance in the state of being matched in the time axis in the area, at the time of the waveform display processing, pre SL each time period and before Symbol each using context, the first signal waveform Data processing apparatus for displaying a definitive first from the portion corresponding to the time until a portion corresponding to the time point of the first N of the signal waveform of the first N of the individual portions are matched in the time axis by the signal waveforms .
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