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JP5154836B2 - Electronic chip mounting base, manufacturing method thereof, and electronic apparatus - Google Patents
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Electronic chip mounting base, manufacturing method thereof, and electronic apparatus Download PDF

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Description

本発明は、電子チップ搭載用ベースとその製造方法、および電子装置に関し、特に、ベースにおけるリードの挿通孔の構造に関する。   The present invention relates to an electronic chip mounting base, a manufacturing method thereof, and an electronic device, and more particularly to a structure of a lead insertion hole in the base.

発光ダイオードなどの電子チップは、ステムやリードなどから構成される電子チップ搭載用ベースに搭載された状態で用いられる(例えば、特許文献1を参照)。
図7に示すように、電子チップ搭載用ベースには、その構成要素として、銅(Cu)合金などからなるステム931とリード932などを有する。リード932は、ステム931に開設された透孔9311に挿通されており、間にガラスなどからなる充填層933が介挿された状態で固定されている。そして、特許文献1で提案の電子チップ搭載用ベースでは、透孔9311の内壁に複数の凹凸を設けることにより、充填層933とステム931との接合面積を大きくし、これによって互いの間の接合強度の向上が図られている。
特開昭56−112773号公報
An electronic chip such as a light emitting diode is used in a state of being mounted on an electronic chip mounting base including a stem, a lead, and the like (see, for example, Patent Document 1).
As shown in FIG. 7, the electronic chip mounting base has a stem 931 and leads 932 made of a copper (Cu) alloy or the like as its constituent elements. The lead 932 is inserted into a through hole 9311 formed in the stem 931, and is fixed with a filling layer 933 made of glass or the like interposed therebetween. In the electronic chip mounting base proposed in Patent Document 1, a plurality of projections and depressions are provided on the inner wall of the through-hole 9311 to increase the bonding area between the filling layer 933 and the stem 931, thereby bonding between each other. The strength is improved.
JP-A-56-112773

しかしながら、上記特許文献1で提案のベースでは、透孔9311内において、充填層933とステム931との間、特に図7に示す矢印Dで示す部分に気泡が残ることが考えられる。即ち、充填層933は、透孔9311を囲む内壁とリード932の外周との間に筒状のガラスを介挿し、これに熱を付加して溶融させて充填層933とするのであるが、透孔9311を囲む内壁に複数の凹凸を形成しているがために気泡が残るという問題を生じる。   However, in the base proposed in Patent Document 1, it is conceivable that bubbles remain in the through-hole 9311 between the filling layer 933 and the stem 931, particularly in the portion indicated by the arrow D shown in FIG. That is, the filling layer 933 is formed by inserting cylindrical glass between the inner wall surrounding the through-hole 9311 and the outer periphery of the lead 932, and applying heat to the melt to form the filling layer 933. Although a plurality of irregularities are formed on the inner wall surrounding the hole 9311, there arises a problem that bubbles remain.

このようにステム931と充填層933との間に気泡が残った場合には、強度の低下や気密性の低下といった問題を生じる。
本発明は、このような問題を解決しようとなされたものであって、リードの挿通箇所において、高い接合強度と高い気密性とを確保可能な電子チップ搭載用ベースとその製造方法、および電子装置を提供することを目的とする。
Thus, when bubbles remain between the stem 931 and the filling layer 933, problems such as a decrease in strength and a decrease in hermeticity occur.
The present invention has been made to solve such problems, and an electronic chip mounting base capable of ensuring high bonding strength and high airtightness at a lead insertion point, a manufacturing method thereof, and an electronic device The purpose is to provide.

上記目的を達成するために、本発明は、次の構成を採用する。
本発明に係る電子チップ搭載用ベースは、一方の主面に電子チップの搭載領域を有するとともに、当該搭載領域の近傍に透孔が設けられてなるステムと、透孔を挿通するリードと、リードが挿通された状態の透孔に充填配置されてなる充填層とを有する電子チップ搭載用ベースであって、透孔は、その断面積が、ステムの厚み方向中央部の1ヶ所で最も小さく、当該箇所からステムの両主面に向けて漸次大きくなる形状とされ、孔断面が最も狭いネック部は、ステムの厚み方向に長さを有し形成され、ステムの厚み方向におけるネック部の長さは、ステムの厚みに対して、20%以下であることを特徴とする。
In order to achieve the above object, the present invention adopts the following configuration.
An electronic chip mounting base according to the present invention has an electronic chip mounting area on one main surface, a stem provided with a through hole in the vicinity of the mounting area, a lead inserted through the through hole, a lead An electronic chip mounting base having a filling layer filled and arranged in a through hole in a state where the through hole is inserted, and the through hole has the smallest cross-sectional area at one central portion in the thickness direction of the stem, The neck portion, which has a shape that gradually increases from the portion toward both main surfaces of the stem and has the narrowest hole cross section, is formed to have a length in the thickness direction of the stem, and the length of the neck portion in the thickness direction of the stem Is 20% or less with respect to the thickness of the stem.

また、本発明に係る電子チップ搭載用ベースの製造方法は(S1)〜(S4)の各ステップを実行する。
(S1)一方の主面に電子チップの搭載領域を有するとともに、当該搭載領域の近傍に透孔が設けられてなるステムを準備するステップ。
(S2)ステムに設けられた透孔に対しリードを挿通するステップ。
In addition, the electronic chip mounting base manufacturing method according to the present invention executes the steps (S1) to (S4).
(S1) A step of preparing a stem having an electronic chip mounting area on one main surface and provided with a through hole in the vicinity of the mounting area.
(S2) A step of inserting the lead into the through hole provided in the stem.

(S3)ステムの透孔の内壁とリードの外面との間に、絶縁材料を介挿させるステップ。
(S4)上記介挿させた絶縁材料に対して、溶融熱を付加するステップ。
本発明に係る製造方法では、上記(S1)のステップで準備するステムにおいて、その透孔の断面積が、ステムの厚み方向中央部の1ヶ所で最も小さく、当該箇所からステムの両主面に向けて漸次大きくなる形状に設けられていることを特徴とする。
(S3) A step of inserting an insulating material between the inner wall of the through hole of the stem and the outer surface of the lead.
(S4) A step of adding heat of fusion to the interposed insulating material.
In the manufacturing method according to the present invention, in the stem prepared in the step (S1), the cross-sectional area of the through-hole is the smallest at one place in the central portion in the thickness direction of the stem, and from that place to both main surfaces of the stem. It is provided in the shape which becomes gradually large toward it.

上記のように、本発明に係る電子チップ搭載用ベースでは、ステムに設けられた透孔が、均一な断面形状の孔ではなく、その内壁に凹凸を有するので、ステムの透孔が均一断面である場合に比べて、アンカー効果を得ることができ、高い接合強度を得ることができる。
また、本発明に係る電子チップ搭載用ベースでは、透孔における断面積が最も小さい箇所を、ステムの厚み方向で1ヶ所としており、且つ、当該箇所からは両主面に向けた方向に漸次大きくなる形状としているので、上記特許文献1で提案のベースに比べて透孔内への気泡の残留が抑制される。即ち、本発明に係る電子チップ搭載用ベースでは、充填層の形成工程で透孔中に気泡が残り難い形状を採用するものである。
As described above, in the electronic chip mounting base according to the present invention, the through hole provided in the stem is not a hole having a uniform cross-sectional shape, but has an unevenness on the inner wall thereof. Compared with a certain case, an anchor effect can be obtained and a high bonding strength can be obtained.
Further, in the electronic chip mounting base according to the present invention, the portion having the smallest cross-sectional area in the through hole is one portion in the thickness direction of the stem, and gradually increases from the portion toward the two main surfaces. Therefore, the remaining of bubbles in the through-hole is suppressed as compared with the base proposed in Patent Document 1. In other words, the electronic chip mounting base according to the present invention adopts a shape in which bubbles do not easily remain in the through holes in the filling layer forming step.

以上より、本発明に係る電子チップ搭載用ベースでは、リードの挿通箇所において、高い接合強度と高い気密性とを確保できる。なお、本発明に係る電子装置は、上記本発明に係る電子チップ搭載用ベースを備えるので、上記同様の効果を奏することができる。
また、本発明に係る電子チップ搭載用ベースの製造方法では、上記(S1)〜(S4)の各ステップの実行において、ステムにおける透孔の形状を上記本発明に係る電子チップ搭載用ベースと同一構成としているので、製造後の電子チップ搭載用ベースにおいて、リードの挿通箇所において、高い接合強度と高い気密性とを確保できる。
As described above, in the electronic chip mounting base according to the present invention, high joint strength and high airtightness can be secured at the lead insertion locations. Since the electronic device according to the present invention includes the electronic chip mounting base according to the present invention, the same effects as described above can be obtained.
In the method for manufacturing an electronic chip mounting base according to the present invention, the shape of the through hole in the stem is the same as that of the electronic chip mounting base according to the present invention in the execution of the steps (S1) to (S4). Since it is configured, in the electronic chip mounting base after manufacture, it is possible to ensure high bonding strength and high airtightness at the lead insertion location.

以下では、本発明を実施するための最良の形態について、一例を用い説明する。なお、以下の説明で採用する実施の形態は、本発明の構成および作用・効果を分かりやすく説明するために用いる一例であって、その本質的な技術的特徴以外、何ら本発明を限定するものではない。
(実施の形態)
1.電子装置1の構成
本実施の形態に係る電子装置1の構成について、図1を用い説明する。
Hereinafter, the best mode for carrying out the present invention will be described using an example. The embodiment adopted in the following description is an example used to explain the configuration, operation, and effect of the present invention in an easy-to-understand manner, and limits the present invention in any way other than the essential technical features. is not.
(Embodiment)
1. Configuration of Electronic Device 1 The configuration of the electronic device 1 according to the present embodiment will be described with reference to FIG.

図1に示すように、本実施の形態に係る電子装置1は、電子チップ10がサブマウント基板20を介して搭載ベース30の一方の主面上に搭載されている。
搭載ベース30は、板状のステム31と、当該ステム31に設けられた透孔を挿通する2本のリード32a、32bとを主要な要素として構成されている。電子チップ10の端子は、ボンディングワイヤ40a、40bを介して、搭載ベース30におけるリード32a、32bのそれぞれに接合されている。
As shown in FIG. 1, in the electronic device 1 according to the present embodiment, the electronic chip 10 is mounted on one main surface of the mounting base 30 via the submount substrate 20.
The mounting base 30 includes a plate-like stem 31 and two leads 32a and 32b that pass through through holes provided in the stem 31 as main elements. The terminals of the electronic chip 10 are joined to the leads 32a and 32b on the mounting base 30 via bonding wires 40a and 40b.

2.搭載ベース30の構成
電子装置1の構成の内、最も特徴を有する搭載ベース30の構成について、図2および図3を用い説明する。
図2に示すように、本実施の形態に係る搭載ベース30は、2本のリード32a、32bが、ステム31に設けられた透孔に挿通され、その間に充填層33a、33bが形成された構成を有する。この内、ステム31は、銅(Cu)もしくはCu合金、または、CuもしくはCu合金を含むクラッド材から構成されている。
2. Configuration of Mounting Base 30 The configuration of the mounting base 30 having the most characteristics among the configurations of the electronic apparatus 1 will be described with reference to FIGS. 2 and 3.
As shown in FIG. 2, in the mounting base 30 according to the present embodiment, two leads 32 a and 32 b are inserted through a through hole provided in the stem 31, and filling layers 33 a and 33 b are formed therebetween. It has a configuration. Among these, the stem 31 is made of copper (Cu) or a Cu alloy, or a clad material containing Cu or a Cu alloy.

リード32a、32bは、KovarあるいはFeNiからなり、充填層33a、33bは、ソーダガラスまたは硼珪酸ガラスからなる。
図3に示すように、ステム31における透孔311は、ステム31の厚み方向(Z軸方向)において、一様な断面積を有し設けられているのではなく、Z軸方向における中央部分で最も断面積が小さい部分を有し(当該部分を「A1部分」と記載する。)、当該部分A1からZ軸方向両側に向けて(ステム31の両主面側に向けて)断面積が漸次大きくなる形状となっている。なお、以下では、断面積が漸次大きくなる部分を、「A2部分」および「A3部分」と記載する。
The leads 32a and 32b are made of Kovar or FeNi, and the filling layers 33a and 33b are made of soda glass or borosilicate glass.
As shown in FIG. 3, the through hole 311 in the stem 31 is not provided with a uniform cross-sectional area in the thickness direction (Z-axis direction) of the stem 31, but at the central portion in the Z-axis direction. It has a portion with the smallest cross-sectional area (the portion is described as “A 1 portion”), and the cross-sectional area from the portion A 1 toward both sides in the Z-axis direction (to both main surface sides of the stem 31). The shape gradually increases. Hereinafter, portions where the cross-sectional area gradually increases are referred to as “A 2 portion” and “A 3 portion”.

2部分およびA3部分では、Z軸に沿う仮想直線に対し角度θを有するように内壁面311fがテーパー状になっている。ここで、角度θは、0.5[°]以上7[°]以下の範囲であり、望ましくは、1[°]以上5[°]以下の範囲である。なお、図1〜図3においては、A2部分およびA3部分の断面積が漸次大きくなる状態を分かりやすくするために、角度を誇張して描いている。 In the A 2 portion and the A 3 portion, the inner wall surface 311f is tapered so as to have an angle θ with respect to a virtual straight line along the Z axis. Here, the angle θ is in the range of 0.5 [°] to 7 [°], and preferably in the range of 1 [°] to 5 [°]. In FIG. 1 to FIG. 3, the angles are exaggerated for easy understanding of the state in which the cross-sectional areas of the A 2 part and the A 3 part gradually increase.

本実施の形態に係る搭載ベース30においては、ステム31の透孔311において、A1部分がZ軸方向に長さt1を有し形成されている。長さt1については、例えば、次式に従うように設定されている。
[数式1]
t1/(t1+t2+t3)=10[%]
3.搭載ベース30の製造方法
以下では、搭載ベース30の製造方法の内、ステム31の透孔311へのリード32a、32bの固定について、図4を用い説明する。なお、図4では、一方のリード32aおよびこれを挿通する透孔311だけを示しているが、他方のリード32bおよびこれを挿通する透孔についても同様である。
In mounting base 30 according to the present embodiment, the through hole 311 of the stem 31, A 1 moiety is formed has a length t1 in Z-axis direction. About length t1, it is set up to follow a following formula, for example.
[Formula 1]
t1 / (t1 + t2 + t3) = 10 [%]
3. Manufacturing Method of Mounting Base 30 Hereinafter, fixing of leads 32a and 32b to the through hole 311 of the stem 31 in the manufacturing method of the mounting base 30 will be described with reference to FIG. In FIG. 4, only one lead 32a and the through hole 311 through which the lead 32a is inserted are shown.

図4(a)に示すように、上記構成の透孔311を有するステム31を準備する。ステム31における透孔311の形成方法は、例えば、ステム31の一方の主面からパンチング加工で孔をあけ、そのとき、あるいはその後にプレスにより、A2部分(図3を参照。)に相当する箇所にテーパー加工を施す。そして、反対側の主面からもプレスによりA3部分に相当する箇所にもテーパー加工を施す。このようにして透孔311を有するステム31が準備できる。 As shown in FIG. 4A, a stem 31 having a through hole 311 having the above configuration is prepared. The method for forming the through hole 311 in the stem 31 corresponds to the A 2 portion (see FIG. 3), for example, by punching a hole from one main surface of the stem 31 by punching and at that time or thereafter. Taper the part. Then, applying also tapered at positions corresponding to A 3 portion also by press from the main surface of the opposite side. In this way, the stem 31 having the through hole 311 can be prepared.

ステム31の透孔311に対してリード32aを挿入し、充填層33aの構成材料からなるガラス筒体330aを被せる。
図4(b)に示すように、ガラス筒体330aに対し、これを溶融する熱を付加する。なお、図示を省略しているが、熱を付加する際には、各材料を治工具で覆い位置規制を行う。
The lead 32a is inserted into the through hole 311 of the stem 31, and the glass cylinder 330a made of the constituent material of the filling layer 33a is covered.
As shown in FIG.4 (b), the heat | fever which fuses this is added with respect to the glass cylinder 330a. In addition, although illustration is abbreviate | omitted, when adding heat, each material is covered with a jig and a position control is performed.

熱の付加を受けたガラス筒体330aは、外周面が球状に近づこうとする。そして、ガラス筒体330aは、図4(b)に示すような形状に変形し(溶融中間体331a)、透孔311における最も断面積が小さいA1部分に対し、先ず最初に当接する。
図4(c)に示すように、溶融中間体331aは、さらに流動して透孔311を囲む内壁とリード32aとの間を充填する状態となり、充填層33aが形成されるに至る。
The glass cylinder 330a that has received heat tends to have a spherical outer peripheral surface. The glass cylinder 330a is deformed into a shape as shown in FIG. 4B (melting intermediate 331a), and first comes into contact with the A 1 portion having the smallest cross-sectional area in the through hole 311.
As shown in FIG. 4C, the molten intermediate 331a further flows to fill the space between the inner wall surrounding the through hole 311 and the lead 32a, and the filled layer 33a is formed.

以上により、搭載ベース30におけるリード32a、32bの固定ができる。
4.優位性
上述の構成を採用する搭載ベース30およびこれを備える電子装置1の優位性について説明する。
図3に示すように、本実施の形態に係る搭載ベース30では、ステム31に設けられた透孔311の断面形状が、ストレート孔ではなく、A1部分で最も断面積が小さく、A2部分およびA3部分でステム31の主面側に向けて拡がるテーパー状としているので、ストレート孔に比べてA1部分によるアンカー効果を得ることができる。また、ステム31と充填層33a、33bとの接合面積の増大を図ることが併せてできるので、ステム31とリード32a、32bとの間の高い接合強度を得ることができる。
As described above, the leads 32a and 32b in the mounting base 30 can be fixed.
4). Advantages Advantages of the mounting base 30 adopting the above-described configuration and the electronic apparatus 1 including the same will be described.
As shown in FIG. 3, in the mounting base 30 according to the present embodiment, the cross-sectional shape of the through hole 311 provided in the stem 31 is not a straight hole, but the cross-sectional area is the smallest in the A 1 portion, and the A 2 portion In addition, since the taper shape that extends toward the main surface side of the stem 31 at the A 3 portion, the anchor effect by the A 1 portion can be obtained as compared with the straight hole. In addition, since the joint area between the stem 31 and the filling layers 33a and 33b can be increased, a high joint strength between the stem 31 and the leads 32a and 32b can be obtained.

また、本実施の形態に係る搭載ベース30では、ステム31の透孔311において、A部分だけで縮径された状態となっており、図7に示す特許文献1に係る搭載ベースのように複数の凹凸を設けないので、透孔311内におけるステム31と充填層33a、33bとの間の気泡の残留を抑制することができる。このため、本実施の形態に係る搭載ベース30では、ステム31とリード32a、32bとの間の確実な固定、および確実な気密性を確保することができる。 Further, the mounting base 30 according to this embodiment, the through hole 311 of the stem 31, and a state of a reduced diameter only A 1 moiety, as the mounting base according to Patent Document 1 shown in FIG. 7 Since a plurality of irregularities are not provided, it is possible to suppress residual bubbles between the stem 31 and the filling layers 33a and 33b in the through hole 311. For this reason, in the mounting base 30 according to the present embodiment, reliable fixing between the stem 31 and the leads 32a and 32b and reliable airtightness can be ensured.

さらに、本実施の形態に係る搭載ベース30では、上記構造の透孔311を採用するので、透孔311を設ける際の煩雑な作業も必要がない、即ち、特許文献1に係る搭載ベースのように複数の凹凸を透孔内壁に設けようとすると、その加工作業が煩雑なものとなるのに対して、本実施の形態では、上述のような簡易なプレス加工だけで透孔311を設けることができる。   Furthermore, since the mounting base 30 according to the present embodiment employs the through hole 311 having the above-described structure, there is no need for complicated work when the through hole 311 is provided, that is, like the mounting base according to Patent Document 1. However, in this embodiment, the through-hole 311 is provided only by the simple press work as described above. Can do.

なお、透孔311におけるA2部分およびA3部分のテーパー角を上記数値範囲とすることが望ましいのは、アンカー効果を得ることができ、且つ、A1部分との境界部分への応力の集中を緩和することができる、という2つの要因から導かれるものである。
また、本実施の形態では、ステム31の材料として、銅(Cu)もしくはCu合金、または、CuもしくはCu合金を含むクラッド材を採用するが、これは、Feやその合金材料に比べて熱伝導性が高く、電子チップ10の冷却という観点から望ましいためである。
(変形例1)
変形例1に係る搭載ベースについて、図5を用い説明する。なお、本変形例に係る搭載ベースは、ステム51の透孔511の形状以外に上記実施の形態と相違する点はないので、透孔511の形状についてだけ説明する。
In addition, it is desirable that the taper angles of the A 2 part and the A 3 part in the through hole 311 are in the above numerical range, so that an anchor effect can be obtained and stress is concentrated on the boundary part with the A 1 part. This is derived from two factors that can be relaxed.
In the present embodiment, the material of the stem 31 is copper (Cu) or a Cu alloy, or a clad material containing Cu or a Cu alloy, which is more thermally conductive than Fe or its alloy material. This is because it is desirable from the viewpoint of cooling the electronic chip 10.
(Modification 1)
A mounting base according to Modification 1 will be described with reference to FIG. Since the mounting base according to this modification has no difference from the above embodiment except for the shape of the through hole 511 of the stem 51, only the shape of the through hole 511 will be described.

図5に示すように、ステム51における透孔511は、ステム51の厚み方向中央部で、断面積が最も小さいB1部分を有する。この部分の形態については、上記透孔311と同様である。本変形例においては、B2部分およびB3部分における内壁面511fが、断面において直線ではなく、曲線となっている。ただし、B1部分よりも縮径となる部分は存在しない。 As shown in FIG. 5, the through hole 511 in the stem 51 has a B 1 portion having the smallest cross-sectional area at the center in the thickness direction of the stem 51. The form of this part is the same as that of the through hole 311. In this modification, the inner wall surface 511f of the B 2 moiety and B 3 moiety is not a straight line in cross section, has a curve. However, there is no portion that is smaller in diameter than the B 1 portion.

このような形状の透孔511を有するステム51を採用する本変形例に係る搭載ベースについても、上記実施の形態に係る搭載ベース30と同様の優位性を有する。
(変形例2)
変形例2に係る搭載ベースについて、図6を用い説明する。なお、本変形例に係る搭載ベースも、ステム61の透孔611の形状以外に上記実施の形態および変形例1と相違する点はないので、透孔611の形状についてだけ説明する。
The mounting base according to this modification that employs the stem 51 having the through hole 511 having such a shape also has the same advantage as the mounting base 30 according to the above-described embodiment.
(Modification 2)
A mounting base according to Modification 2 will be described with reference to FIG. Since the mounting base according to this modification is not different from the above embodiment and modification 1 except for the shape of the through hole 611 of the stem 61, only the shape of the through hole 611 will be described.

図6に示すように、本変形例に係るステム61の透孔は、断面積が最も小さい部分が、ステム61の厚み方向に長さを有さず、テーパー状のC2部分およびC3部分だけから構成されている。このように、上記実施の形態に係る透孔311のA1部分、あるいは上記変形例1に係る透孔511のB1部分を有さない構成の本変形例においても、同様の効果を沿うすることが可能である。また、このように断面積が均一な部分を形成しないので、透孔611の形成に係る作業をより簡易なものとすることができる。
(その他の事項)
上記変形例1と変形例2との組み合わせや、A2部分およびA3部分に相当する部分の種々のバリエーションを採用することも可能である。
As shown in FIG. 6, in the through hole of the stem 61 according to this modification, the portion with the smallest cross-sectional area does not have a length in the thickness direction of the stem 61, and the tapered C 2 portion and C 3 portion It consists only of. As described above, the same effect is achieved also in the present modified example having the configuration in which the A 1 part of the through hole 311 according to the above embodiment or the B 1 part of the through hole 511 according to the modified example 1 is not provided. It is possible. In addition, since the portion having a uniform cross-sectional area is not formed in this way, the work related to the formation of the through hole 611 can be simplified.
(Other matters)
It is also possible to employ a combination of the first modification and the second modification, and various variations of the parts corresponding to the A 2 part and the A 3 part.

また、本発明は、上記実施の形態などで一例として示した数値、材料などに限定されるものではなく、その本質的な特徴を有する構成とすれば、上記同様の効果を奏する。
また、上記実施の形態1では、ステム31の厚み方向におけるA1部分の長さt1を、上記(数式1)で示す数値としているが、20[%]以下の範囲とすれば、上記と同一の効果を得ることができる。
Further, the present invention is not limited to the numerical values, materials, and the like shown as examples in the above-described embodiment and the like, and the same effects as described above can be obtained if the configuration has essential characteristics.
In the first embodiment, the length t1 of the A 1 portion in the thickness direction of the stem 31 is the numerical value shown in the above (Equation 1), but the same as the above if the range is 20 [%] or less. The effect of can be obtained.

本発明は、リードの接合強度と気密性などが求められる電子装置を実現するのに有効な技術である。   The present invention is a technique effective for realizing an electronic device that requires bonding strength and airtightness of leads.

実施の形態に係る電子装置1の構成を示す断面図である。It is sectional drawing which shows the structure of the electronic device 1 which concerns on embodiment. 電子装置1の構成の内、搭載ベース30の構成を示す断面図である。FIG. 3 is a cross-sectional view showing the configuration of the mounting base 30 in the configuration of the electronic device 1. 搭載ベース30のステム31における透孔311の形状を示す断面図である。5 is a cross-sectional view showing the shape of a through hole 311 in the stem 31 of the mounting base 30. FIG. 搭載ベース30の製造過程の内、透孔311へのリード32aの固定に係る過程を示す工程図である。FIG. 10 is a process diagram showing a process related to fixing of the lead 32 a to the through hole 311 in the manufacturing process of the mounting base 30. 変形例1に係る搭載ベースの構成の内、ステム51に開孔された透孔511の形状を示す断面図である。FIG. 10 is a cross-sectional view showing the shape of a through hole 511 opened in a stem 51 in the configuration of a mounting base according to Modification 1; 変形例2に係る搭載ベースの構成の内、ステム61に開孔された透孔611の形状を示す断面図である。FIG. 10 is a cross-sectional view showing the shape of a through hole 611 opened in a stem 61 in the configuration of a mounting base according to Modification 2. 従来例に係る搭載ベースの構成の内、ステム931に開孔された透孔9311の形状を示す断面図である。It is sectional drawing which shows the shape of the through-hole 9311 opened by the stem 931 among the structures of the mounting base which concerns on a prior art example.

符号の説明Explanation of symbols

1.電子装置
10.電子チップ
20.サブマウント基板
30.搭載ベース
31、51、61.ステム
32a、32b.リード
33a、33b.充填層
40a、40b.ボンディングワイヤ
311、511、611.透孔
1. Electronic device 10. Electronic chip 20. Submount substrate 30. Mounting base 31, 51, 61. Stem 32a, 32b. Lead 33a, 33b. Packed bed 40a, 40b. Bonding wires 311, 511, 611. Through hole

Claims (5)

一方の主面に電子チップの搭載領域を有するとともに、当該搭載領域の近傍に透孔が設けられてなるステムと、
前記透孔を挿通するリードと、
前記リードが挿通された状態の前記透孔に充填配置されてなる充填層とを有する電子チップ搭載用ベースであって、
前記透孔は、その断面積が、前記ステムの厚み方向中央部の1ヶ所で最も小さく、当該箇所から前記ステムの両主面に向けて漸次大きくなる形状とされ、
前記孔断面が最も狭いネック部は、前記ステムの厚み方向に長さを有し形成され、
前記ステムの厚み方向における前記ネック部の長さは、前記ステムの厚みに対して、20%以下である
ことを特徴とする電子チップ搭載用ベース。
A stem having an electronic chip mounting area on one main surface, and a through hole provided in the vicinity of the mounting area;
A lead inserted through the through hole;
An electronic chip mounting base having a filling layer filled and disposed in the through hole in a state where the lead is inserted;
The through-hole has a cross-sectional area that is the smallest at one place in the central portion in the thickness direction of the stem, and has a shape that gradually increases from the place toward both main surfaces of the stem ,
The neck portion having the narrowest hole cross-section is formed having a length in the thickness direction of the stem,
The length of the neck part in the thickness direction of the stem is 20% or less with respect to the thickness of the stem .
前記透孔における前記漸次大きくなる漸拡部では、内壁が、前記ステムにおける前記一方の主面に対して直交する仮想直線に対し、0.5°以上7°以下の角度でのテーパー状に形成されている
ことを特徴とする請求項1に記載の電子チップ搭載用ベース。
In the gradually enlarged portion of the through hole, the inner wall is formed in a tapered shape with an angle of 0.5 ° or more and 7 ° or less with respect to a virtual straight line orthogonal to the one main surface of the stem. The electronic chip mounting base according to claim 1, wherein the electronic chip mounting base is provided.
前記漸拡部では、内壁が、前記ステムにおける前記一方の主面に対して直交する仮想直線に対し、1°以上5°以下の角度でのテーパー状に形成されている
ことを特徴とする請求項1に記載の電子チップ搭載用ベース。
In the gradually expanding portion, an inner wall is formed in a tapered shape at an angle of 1 ° or more and 5 ° or less with respect to a virtual straight line orthogonal to the one main surface of the stem. Item 9. The electronic chip mounting base according to Item 1.
前記ステムは、銅合金または銅合金を含むクラッド材からなる板体である
ことを特徴とする請求項1からの何れかに記載の電子チップ搭載用ベース。
The base for mounting an electronic chip according to any one of claims 1 to 3 , wherein the stem is a plate made of a copper alloy or a clad material containing a copper alloy.
ベースに搭載されてなる電子チップを有する電子装置であって、
前記ベースとして、請求項1からの何れかに記載の電子チップ搭載用ベースが用いられている
ことを特徴とする電子装置。
An electronic device having an electronic chip mounted on a base,
5. An electronic device according to claim 1, wherein the base for mounting an electronic chip according to any one of claims 1 to 4 is used as the base.
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