JP5164500B2

JP5164500B2 - Plasma generator, plasma generator, ozone generator, exhaust gas treatment device

Info

Publication number: JP5164500B2
Application number: JP2007254581A
Authority: JP
Inventors: 智義池田; 雄一古本; 憲次郎福田
Original assignee: Kyocera Corp
Current assignee: Kyocera Corp
Priority date: 2007-03-05
Filing date: 2007-09-28
Publication date: 2013-03-21
Anticipated expiration: 2027-09-28
Also published as: JP5046803B2; JP2008251521A; JP2008251516A

Description

本発明は、空間を挟む一対の電極間にプラズマを発生させるためのプラズマ発生体およびこれをもちいた各種装置に関するものである。 The present invention relates to a plasma generator for generating plasma between a pair of electrodes sandwiching a space, and various apparatuses using the plasma generator.

一般家庭で使用されている湯沸かし器の不完全燃焼時に排出されるＣＯガスやディーゼルエンジン、ガソリンエンジンからの排ガス、或いは焼却炉から出される排ガス等の流体中には、ＣＯ、カーボン等のＰＭ、ＮＯｘ等が含まれている。このようなＣＯやＰＭ等の排出を抑制する方法として、プラズマ反応を利用してＣＯやＰＭ等を浄化する技術が提案されている。 In the fluid such as CO gas exhausted from incomplete combustion of water heaters used in general households, exhaust gas from diesel engines, gasoline engines, or exhaust gas discharged from incinerators, PM such as CO and carbon, NOx Etc. are included. As a method for suppressing such emission of CO, PM, etc., a technique for purifying CO, PM, etc. using a plasma reaction has been proposed.

このようなプラズマ反応により流体を浄化するための装置は、一対の電極を一定の距離だけ離間して対向させた構造を有している。そして、プラズマ反応による浄化は、対向する一対の電極間に高電圧を印加させてプラズマ場を発生させ、このプラズマ場内に上述した流体を通過させることにより、流体中の上記物質を浄化するものである。なお、一対の電極は、それぞれ誘電体により覆われており、この誘電体の両側を一対の支持部が支持している。また、一対の電極のそれぞれに電力を供給するために、それぞれの電極の一方側端部には配線導体が接続されている。
特開２００４−０９２５８９号公報特開２００５−０９３１０７号公報特開２００３−２８６８２９号公報ＷＯ２００４／０７２４４５号公報ＷＯ２００５／０００４５０号公報ＷＯ２００５／００１２５０号公報特開２００５−１２９２４７号公報特開２００５−１２３０３４号公報 An apparatus for purifying a fluid by such a plasma reaction has a structure in which a pair of electrodes are opposed to each other by a certain distance. The purification by the plasma reaction is to purify the substance in the fluid by applying a high voltage between a pair of opposed electrodes to generate a plasma field and passing the fluid described above through the plasma field. is there. Note that each of the pair of electrodes is covered with a dielectric, and a pair of support portions support both sides of the dielectric. Moreover, in order to supply electric power to each of a pair of electrode, the wiring conductor is connected to the one side edge part of each electrode.
JP 2004-092589 A Japanese Patent Laid-Open No. 2005-093107 JP 2003-286829 A WO2004 / 072445 WO2005 / 000450 publication WO2005 / 001250 publication JP 2005-129247 A JP 2005-123034 A

しかしながら、処理される流体が高温である場合には、装置は、流体の通過に伴って、作動直後に高温の状態へと急激に昇温される。或いは、装置を稼動した際、電極から発生した熱により、電極や支持部に大きな熱応力がかかってしまう。そして、このような熱応力が印加された電極は、極端な場合、電極の中央部や端部或いは配線導体との接続部で断線が生じることがありえる。そして、この場合、断線した電極がプラズマの発生に寄与しなくなる。 However, if the fluid to be treated is hot, the device is rapidly heated to a hot state immediately after operation as the fluid passes. Alternatively, when the apparatus is operated, a large thermal stress is applied to the electrode and the support portion due to the heat generated from the electrode. In an extreme case, an electrode to which such a thermal stress is applied may cause a disconnection at the center portion or end portion of the electrode or a connection portion with the wiring conductor. In this case, the disconnected electrode does not contribute to the generation of plasma.

本発明は、上記課題に鑑み案出されたもので、その目的は、長期間にわたってプラズマを良好に発生させて使用することができるプラズマ発生体および及びプラズマ発生体を用いた各種装置を提供することにある。 The present invention has been devised in view of the above problems, and an object of the present invention is to provide a plasma generator that can generate and use plasma over a long period of time and various apparatuses using the plasma generator. There is.

本発明のプラズマ発生体は、互いの主面が、間に空間を介して対向する第１電極及び第２電極と、該第１電極の両側に接続される複数の第１配線導体と、前記第２電極に接続される第２配線導体と、前記複数の第１配線導体及び第２配線導体のそれぞれに一つずつ接続される複数の外部端子とを備え、前記第１電極と前記第１配線導体とで、ループ状の回路が形成されている。
The plasma generator of the present invention includes a first electrode and a second electrode whose main surfaces face each other with a space therebetween, a plurality of first wiring conductors connected to both sides of the first electrode, a second wiring conductor connected to the second electrode, wherein one by one connected to each of the plurality of first wiring conductors and the second wiring conductor and a plurality of external terminals, the said first electrode first A loop-like circuit is formed with the wiring conductor .

また、好ましくは、前記第１電極及び前記第２電極は、それぞれの両側を、誘電体からなる一対の支持部により支持されており、前記第１配線導体は、前記支持部内に埋設されている。 Preferably, both sides of each of the first electrode and the second electrode are supported by a pair of support portions made of a dielectric, and the first wiring conductor is embedded in the support portion. .

また、好ましくは、前記第１電極はセラミックス部材により被覆されており、前記セラミックス部材は前記支持部に、その両側が接合されている。 Preferably, the first electrode is covered with a ceramic member, and both sides of the ceramic member are joined to the support portion.

本発明のプラズマ発生体は、互いの主面が対向するように配置される少なくとも２つの第１電極と、該第１電極間に配置され、該第１電極のそれぞれの主面に、間に空間を介して対向する第２電極と、２つの前記第１電極の一方の側部同士を接続する複数の第３配線導体と、２つの前記第１電極の他方の側部同士を接続する第４配線導体と、前記第２電極に接続される第５配線導体と、前記複数の第３配線導体及び第５配線導体のそれぞれに一つずつ接続される複数の外部端子とを備えている。
The plasma generator of the present invention is arranged between at least two first electrodes arranged so that their principal surfaces face each other, and between the first electrodes, and between the principal surfaces of the first electrodes, A second electrode facing through the space, a plurality of third wiring conductors connecting one sides of the two first electrodes, and a second connecting the other sides of the two first electrodes. and fourth wiring conductor comprises a fifth wiring conductor connected to the second electrode, and a plurality of external terminals one by one connected to each of the plurality of third wiring conductors and the fifth wiring conductor.

また、好ましくは、２つの前記第１電極、及び前記第３配線導体、並びに前記第４配線導体により、ループ状の回路が形成されている。 Preferably, a loop circuit is formed by the two first electrodes, the third wiring conductor, and the fourth wiring conductor.

また、好ましくは、２つの前記第１電極及び前記第２電極は、それぞれの両側を、誘電体からなる一対の支持部により支持されており、前記第３配線導体及び前記第４配線導体は、前記支持部内に埋設されている。 Preferably, the two first electrodes and the second electrode are supported on both sides by a pair of support portions made of a dielectric, and the third wiring conductor and the fourth wiring conductor are It is embedded in the support part.

また、好ましくは、前記第４配線導体は、貫通導体を備えている。 Preferably, the fourth wiring conductor includes a through conductor.

また、好ましくは、前記第３配線導体が、貫通導体を備えているともに、２つの前記第１電極の一方の側部同士が、前記第３配線導体の貫通導体により電気的に接続されている。 Preferably, the third wiring conductor includes a through conductor, and one side portions of the two first electrodes are electrically connected by the through conductor of the third wiring conductor. .

また、好ましくは、前記貫通導体は、前記支持部内に複数形成されている。 Preferably, a plurality of the through conductors are formed in the support portion.

また、好ましくは、前記第１電極はセラミックス部材により被覆されており、該セラミックス部材は、前記支持部に、その両側部が接合されている。 Preferably, the first electrode is covered with a ceramic member, and the ceramic member is bonded to both sides of the support portion.

本発明のプラズマ発生装置は、本発明のプラズマ発生体と、前記プラズマ発生体の前記第１電極と前記第２電極とに交流電圧或いは直流電圧もしくは直流パルス電圧を印加することにより、前記第１電極と前記第２電極との間の空間にプラズマを発生させる電圧印加手段と、を備え、前記第１電極には、その両側から電圧が印加されるものである。 The plasma generator of the present invention applies an AC voltage, a DC voltage, or a DC pulse voltage to the plasma generator of the present invention and the first electrode and the second electrode of the plasma generator, thereby the first generator. Voltage applying means for generating plasma in a space between the electrode and the second electrode, and a voltage is applied to the first electrode from both sides thereof.

本発明のオゾン発生装置は、本発明のプラズマ発生体の前記第１電極と前記第２電極との間の空間内に、酸素を流入させる第１の流路と、前記プラズマ発生体の前記第１電極と、前記第２電極とに接続され、これら電極間に交流電圧或いは直流電圧もしくは直流パルス電圧を印加するための外部端子に接続される電圧印加手段と、前記プラズマ発生体の前記空間から排出されるオゾンを、前記空間内から流出させる第２の流路とを備え、前記第１電極には、その両側から電圧が印加されるものである。 The ozone generator of the present invention includes a first flow path for allowing oxygen to flow into the space between the first electrode and the second electrode of the plasma generator of the present invention, and the first of the plasma generator. A voltage applying means connected to one electrode and the second electrode and connected to an external terminal for applying an AC voltage, a DC voltage or a DC pulse voltage between these electrodes; and from the space of the plasma generator A second flow path for causing the discharged ozone to flow out of the space, and a voltage is applied to the first electrode from both sides thereof.

本発明の排ガス処理装置は、本発明のプラズマ発生体の前記第１電極と前記第２電極との間の空間内に、排ガスを流入させる第１の流路と、前記プラズマ発生体の前記第１電極と、前記第２電極とに接続され、これら電極間に交流電圧或いは直流電圧もしくは直流パルス電圧を印加するための外部端子に接続される電圧印加手段と、前記プラズマ発生体の前記空間から排出される被処理ガスを、前記空間内から流出させる第２の流路とを備え、前記第１電極には、その両側から電圧が印加されるものである。 The exhaust gas treatment apparatus of the present invention includes a first flow path for allowing exhaust gas to flow into a space between the first electrode and the second electrode of the plasma generator of the present invention, and the first of the plasma generator. A voltage applying means connected to one electrode and the second electrode and connected to an external terminal for applying an AC voltage, a DC voltage or a DC pulse voltage between these electrodes; and from the space of the plasma generator A second flow path for allowing the gas to be discharged to flow out of the space, and a voltage is applied to the first electrode from both sides thereof.

本発明によれば、第１電極は、複数の配線導体を介して第１電極の両側から外部端子に電気的に接続される。このため、第１電極の途中あるいはいずれかの配線導体が断線したとしても、第１電極の一部あるいは全体は、他の配線導体を介して外部端子に電気的に接続され、第１電極と第２電極とに電圧を良好に印加することができる。従って、プラズマ発生体をより長期間にわたって安定的に使用することができる。 According to the present invention, the first electrode is electrically connected to the external terminal from both sides of the first electrode via the plurality of wiring conductors. For this reason, even if one of the wiring conductors is disconnected in the middle of the first electrode, a part or the whole of the first electrode is electrically connected to the external terminal through the other wiring conductor, A voltage can be favorably applied to the second electrode. Therefore, the plasma generator can be used stably over a longer period.

本発明のプラズマ発生装置は、本発明のプラズマ発生体と、プラズマ発生体の第１電極と第２電極とに交流電圧或いは直流電圧もしくは直流パルス電圧を印加することにより、第１電極と前記第２電極との間の空間にプラズマを発生させる電圧印加手段と、を備えている。そして第１電極には、その両側から電圧が印加されるものである。これにより、プラズマ発生装置は、第１電極と第２電極との間にプラズマ場を発生させることができる。 The plasma generator of the present invention applies an AC voltage, a DC voltage, or a DC pulse voltage to the plasma generator of the present invention, and the first electrode and the second electrode of the plasma generator, whereby the first electrode and the first electrode are applied. Voltage applying means for generating plasma in a space between the two electrodes. A voltage is applied to the first electrode from both sides. Thereby, the plasma generator can generate a plasma field between the first electrode and the second electrode.

また、第１電極は、その両側が配線導体に接続されている。従って、第１電極の一方側のみから電圧が印加される場合に比べて、特に直流電圧もしくは直流パルス電圧を印加する場合、第1電極の内部抵抗の影響を低減することができる。すなわち、第１電極の一方側と他方側との電圧のバラツキが低減される。 Moreover, the both sides of the 1st electrode are connected to the wiring conductor. Therefore, compared with the case where a voltage is applied only from one side of the first electrode, the influence of the internal resistance of the first electrode can be reduced particularly when a DC voltage or a DC pulse voltage is applied. That is, variation in voltage between the one side and the other side of the first electrode is reduced.

本発明のオゾン発生装置は、本発明のプラズマ発生体の第１電極と第２電極との間の空間内に、酸素を流入させる第１の流路と、プラズマ発生体記第１電極と、第２電極とに接続され、これら電極間に交流電圧或いは直流電圧もしくは直流パルス電圧を印加するための外部端子に接続される電圧印加手段と、プラズマ発生体の空間から排出されるオゾンを、空間内から流出させる第２の流路とを備えている。そして第１電極には、その両側から電圧が印加される。これにより、オゾン発生装置は、第１の流路より流入させた酸素をプラズマ反応によりオゾンへと変化させ、このオゾンを第２の流路より排出させることができる。 The ozone generator of the present invention includes a first flow path for allowing oxygen to flow into the space between the first electrode and the second electrode of the plasma generator of the present invention, the first electrode of the plasma generator, A voltage applying means connected to the second electrode and connected to an external terminal for applying an AC voltage, a DC voltage or a DC pulse voltage between these electrodes; and ozone discharged from the space of the plasma generator. And a second flow path that flows out from the inside. A voltage is applied to the first electrode from both sides. Thereby, the ozone generator can change the oxygen introduced from the first flow path into ozone by the plasma reaction, and discharge the ozone from the second flow path.

本発明の排ガス処理装置は、本発明のプラズマ発生体の第１電極と第２電極との間の空間内に、排ガスを流入させる第１の流路と、プラズマ発生体の第１電極と、第２電極とに接続され、これら電極間に交流電圧或いは直流電圧もしくは直流パルス電圧を印加するための外部端子に接続される電圧印加手段と、プラズマ発生体の空間から排出される被処理ガスを、空間内から流出させる第２の流路とを備えている。そして第１電極には、その両側から電圧が印加される。これにより、排ガス処理装置は、第１の流路より流入させた排ガスをプラズマ反応により浄化させ、この浄化した被処理ガスを第２の流路より排出させることができる。 The exhaust gas treatment apparatus of the present invention includes a first flow path for allowing exhaust gas to flow into a space between the first electrode and the second electrode of the plasma generator of the present invention, a first electrode of the plasma generator, A voltage application means connected to the second electrode and connected to an external terminal for applying an AC voltage or a DC voltage or a DC pulse voltage between these electrodes; and a gas to be treated discharged from the space of the plasma generator. And a second flow path that flows out of the space. A voltage is applied to the first electrode from both sides. Thereby, the exhaust gas treatment apparatus can purify the exhaust gas flowing in from the first flow path by the plasma reaction, and discharge the purified gas to be treated from the second flow path.

以下、本発明のプラズマ発生体の一例について説明する。図１（ａ）は、本発明のプラズマ発生体の実施の形態の一例を示す平面図である。図１（ｂ）は、図１（ａ）のＡ方向から見た側面図である。図２（ａ）は、図１（ａ）のＢ−Ｂ’線における断面図である。図２（ｂ）は、図１（ｂ）のＣ−Ｃ’線における断面図である。図２（ｃ）は、図１（ｂ）のＤ−Ｄ’線における断面図である。また、図３は、プラズマ発生体に電圧印加手段を接続したことを示す模式図である。これらの図において、３は第１電極、４は第２電極、５は第１絶縁部、６は第２絶縁部、７は支持部、８は第１配線導体、９は第２配線導体、１０は外部端子、１５は電圧印加手段、Ｓは空間である。 Hereinafter, an example of the plasma generator of the present invention will be described. Fig.1 (a) is a top view which shows an example of embodiment of the plasma generator of this invention. FIG.1 (b) is the side view seen from the A direction of Fig.1 (a). FIG. 2A is a cross-sectional view taken along line B-B ′ of FIG. FIG. 2B is a cross-sectional view taken along line C-C ′ of FIG. FIG. 2C is a cross-sectional view taken along line D-D ′ of FIG. FIG. 3 is a schematic diagram showing that a voltage applying means is connected to the plasma generator. In these drawings, 3 is a first electrode, 4 is a second electrode, 5 is a first insulating portion, 6 is a second insulating portion, 7 is a support portion, 8 is a first wiring conductor, 9 is a second wiring conductor, 10 is an external terminal, 15 is a voltage applying means, and S is a space.

本発明のプラズマ発生体は、互いの主面が、間に空間Ｓを介して対向する第１電極３及び第２電極４と、第１電極３の両側に接続される複数の第１配線導体８と、第２電極４に接続される第２配線導体９と、複数の第１配線導体８及び第２配線導体９のそれぞれに一つずつ接続される複数の外部端子１０とを備えている。
The plasma generator of the present invention has a first electrode 3 and a second electrode 4 whose main surfaces face each other with a space S therebetween, and a plurality of first wiring conductors connected to both sides of the first electrode 3. 8, and a second wiring conductor 9 connected to the second electrode 4, and a plurality of external terminals 10 are one by one connected to each of the plurality of first wiring conductor 8 and the second wiring conductor 9 .

更に、プラズマ発生体は、第１電極３および第１電極３を支持する第１絶縁部５を備えた第１電極部１と、第２電極４および第２電極４を支持する第２絶縁部６を備えた第２電極部２とを備えている。また、第１電極部１と第２電極部２との両端部に、これらの電極部１，２を支持する一対の支持部７を備えている。これにより、第１電極３と第２電極４との間に一定の間隔が形成される。そして、第１電極部１と第２電極部２と支持部７とにより、流体が流れる領域となる空間Ｓが形成される。 Further, the plasma generator includes a first electrode portion 1 having a first insulating portion 5 that supports the first electrode 3 and the first electrode 3, and a second insulating portion that supports the second electrode 4 and the second electrode 4. And a second electrode portion 2 having 6. In addition, a pair of support portions 7 that support the electrode portions 1 and 2 are provided at both ends of the first electrode portion 1 and the second electrode portion 2. Thereby, a constant interval is formed between the first electrode 3 and the second electrode 4. The first electrode portion 1, the second electrode portion 2, and the support portion 7 form a space S that is a region where a fluid flows.

第１絶縁部５、第２絶縁部６、支持部７は、例えば、セラミックスから成る場合、酸化アルミニウム質焼結体、ムライト質焼結体、窒化アルミニウム質焼結体、炭化珪素質焼結体、コーディエライト等の電気絶縁材料から成る。第１絶縁部５、第２絶縁部６、支持部７が、酸化アルミニウム質焼結体から成る場合には、まず、アルミナ（Ａｌ_２Ｏ_３）、シリカ（ＳｉＯ_２）、カルシア（ＣａＯ）、マグネシア（ＭｇＯ）等の原料粉末に適当な有機溶剤、溶媒を添加混合して泥漿状物を作製する。次に、この泥漿状物が、従来周知のドクターブレード法やカレンダーロール法、粉体加圧成形法、射出成形法等により、例えばシート状やブロック状に成形されて、プラズマ発生体用のセラミック生成形体が得られる。次に、これらのセラミック生成形体に適当な打ち抜き加工が施される。その際、これらのセラミック生成形体を複数枚積層する。なお、打ち抜き加工は、積層後に行ってもよいし、打ち抜きを行った後に、打ち抜いたもの同士を積層してもよい。最後に、高温（約１５００〜１８００℃）で焼成することによって、第１絶縁部５と、第２絶縁部６と、支持部７とが製作される。この場合、これらのセラミック生成形体はともに一体焼成されることから、第１絶縁部５、第２絶縁部６、支持部７は一体化することとなる。 For example, when the first insulating portion 5, the second insulating portion 6, and the support portion 7 are made of ceramics, an aluminum oxide sintered body, a mullite sintered body, an aluminum nitride sintered body, and a silicon carbide sintered body are used. It is made of an electrically insulating material such as cordierite. When the first insulating part 5, the second insulating part 6, and the support part 7 are made of an aluminum oxide sintered body, first, alumina (Al ₂ O ₃ ), silica (SiO ₂ ), calcia (CaO), An appropriate organic solvent and a solvent are added to and mixed with a raw material powder such as magnesia (MgO) to produce a slurry. Next, the slurry is formed into a sheet shape or a block shape by a conventionally known doctor blade method, calender roll method, powder pressure molding method, injection molding method, etc. A generated form is obtained. These ceramic shaped bodies are then subjected to a suitable stamping process. At that time, a plurality of these ceramic production forms are laminated. The punching process may be performed after the stacking, or the punched parts may be stacked after the punching. Finally, the 1st insulating part 5, the 2nd insulating part 6, and the support part 7 are manufactured by baking at high temperature (about 1500-1800 degreeC). In this case, since these ceramic production | generation forms are integrally baked together, the 1st insulating part 5, the 2nd insulating part 6, and the support part 7 will be integrated.

第１電極３および第２電極４は、これらの電極３，４同士の対向領域に位置する空間Ｓ内にプラズマ場を発生させるための一対の電極である。第１電極３および第２電極４は、プラズマ発生体の表面または内部、具体的には、第１絶縁部５や第２絶縁部６の表面または内部に配置されている。そして、第１電極３および第２電極４は、互いに一定の距離だけ離間して対向して配設されている。なお、第１電極３および第２電極４は、プラズマ発生体の外表面、例えば支持部７の外表面に形成された後述する一対の外部端子１０に電気的に接続される。第１電極３および第２電極４は、メタライズ金属層からなる場合、以下のように作製される。まず、タングステンやモリブデン、銅、銀等の金属粉末を含む従来周知のメタライズペーストを準備する。そして、スクリーン印刷法等の印刷手段を用いて、プラズマ発生体用のセラミック生成形体の第１絶縁部５或いは第２絶縁部６となる所定の位置に、第１電極３および第２電極４用のメタライズペーストを塗布する。ここで所定の位置とは、例えば、第１絶縁部５或いは第２絶縁部６となるセラミック生成形体の内部や表面である。その後、これらのセラミック生成形体と同時に焼成することによって、第１電極３および第２電極４をプラズマ発生体の所定の位置、所定のパターンに形成することができる。 The first electrode 3 and the second electrode 4 are a pair of electrodes for generating a plasma field in a space S located in a facing region between these electrodes 3 and 4. The first electrode 3 and the second electrode 4 are arranged on the surface or inside of the plasma generator, specifically, on the surface or inside of the first insulating portion 5 or the second insulating portion 6. The first electrode 3 and the second electrode 4 are disposed to face each other with a certain distance therebetween. The first electrode 3 and the second electrode 4 are electrically connected to a pair of external terminals 10 to be described later formed on the outer surface of the plasma generator, for example, the outer surface of the support portion 7. When the first electrode 3 and the second electrode 4 are made of a metallized metal layer, they are produced as follows. First, a conventionally known metallized paste containing a metal powder such as tungsten, molybdenum, copper, or silver is prepared. Then, using a printing means such as a screen printing method, the first electrode 3 and the second electrode 4 are provided at predetermined positions to be the first insulating portion 5 or the second insulating portion 6 of the ceramic generating shape for the plasma generator. Apply the metallized paste. Here, the predetermined position is, for example, the inside or the surface of the ceramic generating shape that becomes the first insulating portion 5 or the second insulating portion 6. Thereafter, the first electrode 3 and the second electrode 4 can be formed in a predetermined position and in a predetermined pattern of the plasma generator by firing simultaneously with these ceramic generating shapes.

なお、図２に示すように、第１電極３および第２電極４は、第１絶縁部５および第２絶縁部６の内部に形成しているとよい。これにより、第１電極３および第２電極４が空間Ｓ内を通過する、例えば、酸化性の流体に直接接触しにくくなる。従って、第１電極３および第２電極４がこの流体により腐食されにくくなる。従って、プラズマ場の強度の低下を抑制することができるため好ましい。そして、第１絶縁部５、第２絶縁部６が、例えばコージェライトからなる場合は、それぞれの絶縁部５，６の表面から第１電極３或いは第２電極４までの最短距離が１００μｍ以上となる位置に形成しておくことが好ましい。 As shown in FIG. 2, the first electrode 3 and the second electrode 4 are preferably formed inside the first insulating portion 5 and the second insulating portion 6. This makes it difficult for the first electrode 3 and the second electrode 4 to directly contact, for example, an oxidizing fluid passing through the space S. Therefore, the first electrode 3 and the second electrode 4 are not easily corroded by this fluid. Therefore, it is preferable because a decrease in the intensity of the plasma field can be suppressed. And when the 1st insulating part 5 and the 2nd insulating part 6 consist of cordierite, for example, the shortest distance from the surface of each insulating part 5 and 6 to the 1st electrode 3 or the 2nd electrode 4 is 100 micrometers or more. It is preferable to form in the position.

また、第１電極３や第２電極４が第１絶縁部５および第２絶縁部６の表面に露出して形成される場合には、これらの電極３，４の露出する表面には、ニッケルや金等の耐蝕性に優れる金属を被着しておくことが好ましい。特に第１電極３および第２電極４が、酸化性の流体等に直接曝される場合は特に好ましい。 Further, when the first electrode 3 and the second electrode 4 are formed to be exposed on the surfaces of the first insulating portion 5 and the second insulating portion 6, nickel is not formed on the exposed surfaces of these electrodes 3 and 4. It is preferable to deposit a metal having excellent corrosion resistance such as metal. It is particularly preferable when the first electrode 3 and the second electrode 4 are directly exposed to an oxidizing fluid or the like.

また、ニッケルや金等の耐蝕性に優れる金属を単層で被着しておいても構わない。例えば、ニッケル層を形成せずに金層だけを被着している場合には、熱によりニッケルが金層内部の粒界に沿って、金層の表面まで拡散してしまうことがない。従って、領域ごとのニッケルの拡散のバラツキが生じにくいため、各領域における導電特性にばらつきが生じてにくくできる。このため、プラズマ発生体を高温下の環境にて使用する場合は、第１電極３および第２電極４の露出する表面に金層のみを０．１〜１０μｍ程度、例えばめっき法等により被着させておくとよい。 Further, a metal having excellent corrosion resistance such as nickel or gold may be deposited in a single layer. For example, when only a gold layer is deposited without forming a nickel layer, nickel does not diffuse to the surface of the gold layer along the grain boundary inside the gold layer due to heat. Therefore, variation in nickel diffusion from region to region is unlikely to occur, and variations in conductive characteristics in each region can be prevented. Therefore, when the plasma generator is used in a high temperature environment, only the gold layer is deposited on the exposed surfaces of the first electrode 3 and the second electrode 4 by about 0.1 to 10 μm, for example, by plating. It is good to leave it.

また、本発明のプラズマ発生体をオゾン発生装置に用いる場合は、第１電極３と第２電極４との間隔は、０．７ｍｍ〜３．０ｍｍが好ましい。また、本発明のプラズマ発生体を、ディーゼルエンジン等の排ガス処理装置に用いて、排ガス中のＰＭや酸化成分等の流体を反応させて分解する場合には、０．５ｍｍ〜２．０ｍｍ程度が好ましい。但し、必要とするプラズマ場の強度や第１電極３および第２電極４に印加する電圧等によって適宜変更してもよい。 Moreover, when using the plasma generator of this invention for an ozone generator, as for the space | interval of the 1st electrode 3 and the 2nd electrode 4, 0.7 mm-3.0 mm are preferable. In addition, when the plasma generator of the present invention is used in an exhaust gas treatment apparatus such as a diesel engine and is decomposed by reacting a fluid such as PM or an oxidizing component in the exhaust gas, the thickness is about 0.5 mm to 2.0 mm. preferable. However, you may change suitably according to the intensity | strength of the required plasma field, the voltage applied to the 1st electrode 3 and the 2nd electrode 4, etc.

第１配線導体８および第２配線導体９は、第１電極３と第２電極４とにそれぞれ接続される。そして、例えば、支持部７の内部に形成されているとよい。また、一対の外部端子１０のそれぞれは、第１配線導体８および第２配線導体９にそれぞれ接続される。一対の外部端子１０のそれぞれは、プラズマ発生体の外表面、例えば、一対の支持部７の外表面のそれぞれに配置されている。これらの配線導体８，９および一対の外部端子１０は、第１電極３および第２電極４にそれぞれ電気的に接続されている。そして、これらの配線導体８，９および外部端子１０は、外部電源から第１電極３および第２電極４に電圧を印加するための導電路として機能する。これらの配線導体８，９および外部端子１０は、第１電極３および第２電極４と同様の手法により作製できる。すなわち、これらの電極３，４が、メタライズ金属層からなる場合、上述と同様に、メタライズペーストを支持部７となるセラミック生成形体の所定の位置に塗布し、その後、支持部７とともに焼成することにより得られる。 The first wiring conductor 8 and the second wiring conductor 9 are connected to the first electrode 3 and the second electrode 4, respectively. For example, it may be formed inside the support portion 7. Each of the pair of external terminals 10 is connected to the first wiring conductor 8 and the second wiring conductor 9, respectively. Each of the pair of external terminals 10 is disposed on the outer surface of the plasma generator, for example, each of the outer surfaces of the pair of support portions 7. The wiring conductors 8 and 9 and the pair of external terminals 10 are electrically connected to the first electrode 3 and the second electrode 4, respectively. The wiring conductors 8 and 9 and the external terminal 10 function as conductive paths for applying a voltage from the external power source to the first electrode 3 and the second electrode 4. The wiring conductors 8 and 9 and the external terminal 10 can be produced by the same method as the first electrode 3 and the second electrode 4. That is, when these electrodes 3 and 4 are made of a metallized metal layer, the metallized paste is applied to a predetermined position of the ceramic forming body to be the support part 7 and then fired together with the support part 7 as described above. Is obtained.

また、これらの配線導体８，９および外部端子１０の露出する表面には、第１電極３および第２電極４の場合と同様に、ニッケルや金等の耐蝕性に優れる金属を被着しておくことが好ましい。 In addition, similar to the case of the first electrode 3 and the second electrode 4, a metal having excellent corrosion resistance such as nickel or gold is applied to the exposed surfaces of the wiring conductors 8 and 9 and the external terminal 10. It is preferable to keep it.

そして、外部電源の電源配線を外部端子１０に接触させたり或いは接合させたりすることにより外部端子１０に電気的に接続される。そして、電圧が、第１配線導体８、第２配線導体９、外部端子１０を通して第１電極３―第２電極４間に印加される。これにより第１電極３と第２電極４との対向領域（平面視で第１電極３と第２電極４とが重畳する領域）にプラズマ場を発生させることができる。 Then, the power supply wiring of the external power source is electrically connected to the external terminal 10 by contacting or joining the external terminal 10. A voltage is applied between the first electrode 3 and the second electrode 4 through the first wiring conductor 8, the second wiring conductor 9, and the external terminal 10. As a result, a plasma field can be generated in a region where the first electrode 3 and the second electrode 4 are opposed to each other (a region where the first electrode 3 and the second electrode 4 overlap in plan view).

そして、プラズマ発生体の空間Ｓ内を通過する流体は、第１電極３と第２電極４との間の対向領域内のプラズマ場を通過することにより分解される。例えば、流体が排ガスである場合、ＮＯ_Ｘ（窒素酸化物）は、下記の反応（１）および（２）により分解して、Ｎ_２およびＯ_２が生成されて浄化される。 The fluid passing through the space S of the plasma generator is decomposed by passing through the plasma field in the facing region between the first electrode 3 and the second electrode 4. For example, when the fluid is exhaust gas, NO _X (nitrogen oxide) is decomposed by the following reactions (1) and (2), and N ₂ and O ₂ are generated and purified.

２ＮＯ_２ → ２ＮＯ＋Ｏ_２・・・・・・・・・・（１）
２ＮＯ＋Ｏ_２ → Ｎ_２＋２Ｏ_２・・・・・・・・・（２）
なお、第１電極３と第２電極４との間にプラズマ場を発生させるための電圧としては、例えば、周波数の高い交流電圧が採用される。印加される交流電圧は、必要とされるプラズマ場の強度等によって適宜選択される。例えば、ディーゼルエンジンの排ガス中のＰＭ等の酸化成分等の流体を反応させて分解するプラズマ発生体において、印加される交流電圧およびその周波数は、例えば、１ｋＶ〜１００ｋＶ、１０ＭＨｚ〜１００ＭＨｚが好ましい。 2NO ₂ → 2NO + O ₂ (1)
2NO + O ₂ → N ₂ + 2O ₂ (2)
In addition, as a voltage for generating a plasma field between the 1st electrode 3 and the 2nd electrode 4, an alternating voltage with a high frequency is employ | adopted, for example. The AC voltage to be applied is appropriately selected according to the required intensity of the plasma field. For example, in a plasma generator that decomposes by reacting a fluid such as an oxidizing component such as PM in exhaust gas of a diesel engine, the applied AC voltage and its frequency are preferably 1 kV to 100 kV, 10 MHz to 100 MHz, for example.

そして、本発明においては、第１配線導体８は、第１電極３の両側にそれぞれ接続されている。この第１配線導体８は、それぞれ同一の外部端子１０に接続されている。この構成により、第１電極３は、それぞれの第１配線導体８を介して第１電極３の両側から外部端子１０に電気的に接続される。このため、第１電極３の途中あるいは一方側の第１配線導体８が断線したとしても、第１電極３の一部あるいは全体は、他方側の第１配線導体８を介して外部端子１０に電気的に接続されている状態が維持できる。従って、第１電極３と第２電極４とに電圧を良好に印加することができる。例えば、第１電極３の途中で断線した場合は、第１電極３の一部は、一方側の第１配線導体８に電気的に接続された状態が維持できる。そして第１電極３の残部は、他方側の第１配線導体８に電気的に接続された状態が維持できる。従って、一方側の第１配線導体８と他方側の第１配線導体８とをそれぞれ介して第１電極３と第２電極４とに電圧を印加することができる。また、一方側の第１配線導体８が断線した場合であっても、第１電極３は、他方側の第１配線導体８に電気的に接続された状態が維持できる。従って、他方側の第１配線導体８を介して第１電極３と第２電極４とに電圧を印加することができる。従って、プラズマ発生体をより長期間にわたって安定的に使用することができる。 In the present invention, the first wiring conductor 8 is connected to both sides of the first electrode 3. Each first wiring conductor 8 is connected to the same external terminal 10. With this configuration, the first electrode 3 is electrically connected to the external terminal 10 from both sides of the first electrode 3 via the respective first wiring conductors 8. For this reason, even if the first wiring conductor 8 on the one side or the middle of the first electrode 3 is disconnected, a part or the whole of the first electrode 3 is connected to the external terminal 10 via the first wiring conductor 8 on the other side. An electrically connected state can be maintained. Accordingly, it is possible to satisfactorily apply a voltage to the first electrode 3 and the second electrode 4. For example, when a break occurs in the middle of the first electrode 3, a part of the first electrode 3 can be kept electrically connected to the first wiring conductor 8 on one side. And the remaining part of the 1st electrode 3 can maintain the state electrically connected to the 1st wiring conductor 8 of the other side. Therefore, a voltage can be applied to the first electrode 3 and the second electrode 4 via the first wiring conductor 8 on one side and the first wiring conductor 8 on the other side, respectively. Further, even when the first wiring conductor 8 on one side is disconnected, the first electrode 3 can be kept electrically connected to the first wiring conductor 8 on the other side. Therefore, a voltage can be applied to the first electrode 3 and the second electrode 4 via the first wiring conductor 8 on the other side. Therefore, the plasma generator can be used stably over a longer period.

このようなプラズマ発生体は、具体的な一例としては、第１電極３と、第１電極３の両側に接続された第１配線導体８とで、ループ状の回路が形成される。例えば、図３に示すように、電圧印加手段１５に第１配線導体８を接続した際、並列回路が形成され、第１電極３と第２電極４とに電圧が印加される。 As a specific example of such a plasma generator, a loop-like circuit is formed by the first electrode 3 and the first wiring conductor 8 connected to both sides of the first electrode 3. For example, as shown in FIG. 3, when the first wiring conductor 8 is connected to the voltage applying means 15, a parallel circuit is formed, and a voltage is applied to the first electrode 3 and the second electrode 4.

なお、逆極性の電極である第２電極４においても、上述の第１電極３と第１配線導体８の場合と同様に、第２電極４の両側に第２配線導体９を設けておいてもよい。そして第２配線導体９を第２電極４の両側に接続して構わない。この場合、上述と同様な理由により、プラズマ発生体をより長期間にわたって安定的に使用することができる。なお、第１電極３側および第２電極４側の双方において、上述の構成を用いることで、プラズマ発生体の安定性をより高めることができる。 Note that, in the second electrode 4 which is an electrode having a reverse polarity, the second wiring conductor 9 is provided on both sides of the second electrode 4 as in the case of the first electrode 3 and the first wiring conductor 8 described above. Also good. The second wiring conductor 9 may be connected to both sides of the second electrode 4. In this case, for the same reason as described above, the plasma generator can be used stably over a longer period of time. In addition, stability of a plasma generator can be improved more by using the above-mentioned structure in both the 1st electrode 3 side and the 2nd electrode 4 side.

なお、第１電極３に電気的に接続される一方の外部端子１０と第２電極４に電気的に接続される他方の外部端子１０とを、支持部の同一側面に形成する場合、以下のようにすることが好ましい。すなわち、電圧印加手段により第１電極３と第２電極４とに電圧を印加した際に、一方の外部端子１０と他方の外部端子１０とが短絡することがないようにする必要があるため、例えば、外部端子１０間に絶縁体からなる遮蔽体７ａを形成してもよい。このような遮蔽体７ａは、例えば、支持部７の一部が一対の外部端子１０間に介在するように、支持部７の一部を突出して形成してもよいし、支持部７とは異なる遮蔽体７ａを貼り付けて形成してもよい。 When one external terminal 10 electrically connected to the first electrode 3 and the other external terminal 10 electrically connected to the second electrode 4 are formed on the same side surface of the support portion, the following It is preferable to do so. That is, when a voltage is applied to the first electrode 3 and the second electrode 4 by the voltage application means, it is necessary to prevent one external terminal 10 and the other external terminal 10 from being short-circuited. For example, a shield 7 a made of an insulator may be formed between the external terminals 10. Such a shield 7 a may be formed by protruding a part of the support part 7 so that a part of the support part 7 is interposed between the pair of external terminals 10. Different shields 7a may be attached to form.

また、第１電極３と第２電極４との間に電圧を印加した際に、一対の外部端子１０同士間が短絡しない程度の距離に離間させてもよい。この距離は、第１電極３と第２電極４との間の距離等により適宜設定されるが、例えば、図４〜６に示すように、一対の外部端子１０同士が平面視および側面視で重畳しないように配置し、外部端子１０間の距離が長くなるような方法を用いることができる。 Further, when a voltage is applied between the first electrode 3 and the second electrode 4, the pair of external terminals 10 may be separated by a distance that does not cause a short circuit. This distance is appropriately set depending on the distance between the first electrode 3 and the second electrode 4. For example, as shown in FIGS. 4 to 6, the pair of external terminals 10 are viewed in a plan view and a side view. It is possible to use a method in which they are arranged so as not to overlap and the distance between the external terminals 10 is increased.

また、支持部７の側面に凹部を形成しておき、この凹部内に外部端子１０を形成しても構わないし、外部端子１０間の位置が平面視でずれるように、一方の外部端子１０が形成された支持部７の側面を他方の外部端子１０が形成された支持部の側面よりも突出させてずらしておいても構わない。また、上述のいずれかを組み合わせたものであっても構わない。 Further, a concave portion may be formed on the side surface of the support portion 7, and the external terminal 10 may be formed in the concave portion, and one of the external terminals 10 is arranged so that the position between the external terminals 10 is shifted in plan view. The side surface of the formed support portion 7 may be shifted so as to protrude from the side surface of the support portion on which the other external terminal 10 is formed. Further, any combination of the above may be used.

なお、図４（ａ）は、本発明のプラズマ発生体の実施の形態の一例を示す平面図である。図４（ｂ）は、図５（ａ）のＥ方向から見た側面図である。図５（ａ）は、図４（ａ）のＦ−Ｆ’線における断面図である。図５（ｂ）は、図４（ｂ）のＧ−Ｇ’線における断面図である。図５（ｃ）は、図４（ｂ）のＨ−Ｈ’線における断面図である。図５（ｄ）は、図４（ｂ）のＩ−Ｉ’線における断面図である。図６は、図４および図５のプラズマ発生体に電圧印加手段を接続したことを示す模式図である。 FIG. 4A is a plan view showing an example of the embodiment of the plasma generator of the present invention. FIG. 4B is a side view seen from the direction E in FIG. FIG. 5A is a cross-sectional view taken along line F-F ′ of FIG. FIG. 5B is a cross-sectional view taken along line G-G ′ in FIG. FIG. 5C is a cross-sectional view taken along the line H-H ′ of FIG. FIG. 5D is a cross-sectional view taken along the line I-I ′ of FIG. FIG. 6 is a schematic view showing that a voltage applying means is connected to the plasma generator of FIGS.

また、図７に示すように、多くの空間Ｓが積層されたものであっても構わない。このように多数の空間Ｓを積層することにより、各空間Ｓに流体を通過させるとともに、流体をプラズマ反応させることができる。なお、このようなプラズマ発生体においては、第１電極３と第２電極４とは、交互に対向するように配置される。 Moreover, as shown in FIG. 7, many spaces S may be laminated. Thus, by laminating | stacking many space S, while letting a fluid pass to each space S, a fluid can be made to plasma-react. In such a plasma generator, the first electrodes 3 and the second electrodes 4 are arranged so as to alternately face each other.

また、本発明のプラズマ発生体の別の例について説明する。図８（ａ）は、本発明のプラズマ発生体の実施の形態の一例を示す平面図である。図８（ｂ）は、図８（ａ）のＪ方向から見た側面図である。図９（ａ）は、図８（ａ）のＫ−Ｋ’線における断面図である。図９（ｂ）は、図８（ｂ）のＬ−Ｌ’線における断面図である。図９（ｃ）は、図８（ｂ）のＭ−Ｍ’線における断面図である。図１０は、プラズマ発生体に電圧印加手段を接続したことを示す模式図である。これらの図において、１１は第３配線導体、１２は第４配線導体、１３は第５配線導体である。なお、上述の例のプラズマ発生体と同一の構成のものについては同じ参照符号を付すこととする。 Another example of the plasma generator of the present invention will be described. FIG. 8A is a plan view showing an example of the embodiment of the plasma generator of the present invention. FIG.8 (b) is the side view seen from the J direction of Fig.8 (a). FIG. 9A is a cross-sectional view taken along line K-K ′ in FIG. FIG. 9B is a cross-sectional view taken along line L-L ′ in FIG. FIG. 9C is a cross-sectional view taken along line M-M ′ of FIG. FIG. 10 is a schematic diagram showing that a voltage applying means is connected to the plasma generator. In these drawings, 11 is a third wiring conductor, 12 is a fourth wiring conductor, and 13 is a fifth wiring conductor. The same reference numerals are assigned to the same components as those of the plasma generator in the above example.

このようなプラズマ発生体は、互いの主面が対向するように配置される少なくとも２つの第１電極３と、第１電極３間に配置され、第１電極３のそれぞれの主面に、間に空間Ｓを介して対向する第２電極４と、２つの第１電極３の一方の側部に接続する複数の第３配線導体１１と、２つの第１電極３の他方の側部同士を接続する第４配線導体１２と、第２電極に接続される第５配線導体１３と、複数の第３配線導体１１及び第５配線導体１３のそれぞれに一つずつ接続される複数の外部端子１０とを備える。 Such a plasma generator is disposed between at least two first electrodes 3 disposed so that their principal surfaces face each other, and the first electrode 3. The second electrode 4 facing each other through the space S, the plurality of third wiring conductors 11 connected to one side of the two first electrodes 3, and the other side of the two first electrodes 3 a fourth wiring conductor 12 to be connected, the fifth wiring conductor 13 which is connected to the second electrode, a plurality of external terminals 10 are one by one connected to each of the plurality of third interconnection conductors 11 and the fifth wiring conductor 13 With.

更に、プラズマ発生体は、上述と同様に、第１電極３および第１電極３を支持する第１絶縁部５を備えた第１電極部１と、第２電極４および第２電極４を支持する第２絶縁部６を備えた第２電極部２とを備えている。また、第１電極部１と第２電極部２との外周部に、これら電極部１，２を支持する一対の支持部７を備えている。これにより、第１電極３と第２電極４とが、一定の間隔を設けて対向することとなる。そして、第１電極部１と第２電極部２と支持部７とにより、流体が流れる領域となる少なくとも２つの空間Ｓが形成される。 Further, the plasma generator supports the first electrode part 1 including the first electrode 3 and the first insulating part 5 that supports the first electrode 3, and the second electrode 4 and the second electrode 4, as described above. And the second electrode part 2 provided with the second insulating part 6. A pair of support portions 7 that support the electrode portions 1 and 2 are provided on the outer peripheral portions of the first electrode portion 1 and the second electrode portion 2. As a result, the first electrode 3 and the second electrode 4 are opposed to each other with a certain interval. The first electrode portion 1, the second electrode portion 2, and the support portion 7 form at least two spaces S that are regions in which fluid flows.

第３配線導体１１および第４配線導体１２は、第１電極３の側部にそれぞれ接続される。そして、第３配線導体１１および第４配線導体１２は、例えば、支持部７の内部に形成される。また、第５配線導体１３は、第２電極４に接続される。そして第５配線導体１３は、例えば、支持部７の内部に形成される。第３配線導体１１および第５配線導体１３は、一対の外部端子１０にそれぞれ接続される。そして外部電源から一対の外部端子１０のそれぞれを介して第１電極３―第２電極４間に電圧を印加するための導電路として機能する。なお、これらの配線導体１１，１２，１３は、上述の第１配線導体８および第２配線導体９と同様な方法により製作することができる。また、これらの配線導体１１，１２，１３の露出する表面には、第１電極３および第２電極４の場合と同様に、ニッケルや金等の耐蝕性に優れる金属を被着しておくことが好ましい。 The third wiring conductor 11 and the fourth wiring conductor 12 are respectively connected to the side portions of the first electrode 3. And the 3rd wiring conductor 11 and the 4th wiring conductor 12 are formed in the inside of the support part 7, for example. The fifth wiring conductor 13 is connected to the second electrode 4. And the 5th wiring conductor 13 is formed in the inside of the support part 7, for example. The third wiring conductor 11 and the fifth wiring conductor 13 are connected to the pair of external terminals 10 respectively. And it functions as a conductive path for applying a voltage between the first electrode 3 and the second electrode 4 from each of the pair of external terminals 10 from an external power source. Note that these wiring conductors 11, 12, and 13 can be manufactured by the same method as the first wiring conductor 8 and the second wiring conductor 9 described above. In addition, as in the case of the first electrode 3 and the second electrode 4, a metal having excellent corrosion resistance such as nickel or gold is applied to the exposed surfaces of the wiring conductors 11, 12, 13. Is preferred.

そして、本発明においては、第４配線導体１２は、間に第２電極４を挟んで対向する複数の第１電極３の他方側端部同士を接続している。この構成により、第１電極３は、第３配線導体１１および第４配線導体１２により第１電極３の両側から外部端子１０に電気的に接続されることとなる。従って第１電極３自体や第１電極３に接続される配線導体のいずれかが一箇所断線したとしても、第１電極３の一部あるいは全体は、他の配線導体等を介して外部端子１０に電気的に接続された状態を維持できる。従って第１電極３と第２電極４とに電圧を良好に印加することができる。例えば、図９（ａ）に示す上側に配置された第１電極３の途中で断線した場合であっても、断線箇所よりも一方側の外部端子１０に近い第１電極３の手前側は、第３配線導体１１に電気的に接続されており、一方、断線箇所よりも一方側の外部端子１０から遠い第１電極３の向こう側は、第４配線導体１２に電気的に接続された状態を維持できるので、下側の第３配線導体１１と第４配線導体１２とをそれぞれ介して第１電極３と第２電極４とに電圧を印加することができる。また、上側の第３配線導体１１が断線した場合であっても、第１電極３は、下側の第１電極３を介して上下の第４配線導体１２に電気的に接続された状態を維持できる。これにより、上側の第１電極３と第２電極４に電圧を印加することができる。従って、プラズマ発生体をより長期間にわたって安定的に使用することができる。 In the present invention, the fourth wiring conductor 12 connects the other end portions of the plurality of first electrodes 3 facing each other with the second electrode 4 interposed therebetween. With this configuration, the first electrode 3 is electrically connected to the external terminal 10 from both sides of the first electrode 3 by the third wiring conductor 11 and the fourth wiring conductor 12. Accordingly, even if one of the first electrode 3 itself and the wiring conductor connected to the first electrode 3 is disconnected at one place, a part or the whole of the first electrode 3 is connected to the external terminal 10 via another wiring conductor or the like. It is possible to maintain a state of being electrically connected to. Accordingly, it is possible to satisfactorily apply a voltage to the first electrode 3 and the second electrode 4. For example, even when the first electrode 3 arranged on the upper side shown in FIG. 9A is disconnected in the middle, the near side of the first electrode 3 closer to the external terminal 10 on one side than the disconnection point is A state in which the other side of the first electrode 3 that is electrically connected to the third wiring conductor 11 and farther from the external terminal 10 on one side than the disconnection point is electrically connected to the fourth wiring conductor 12 Therefore, it is possible to apply a voltage to the first electrode 3 and the second electrode 4 through the lower third wiring conductor 11 and the fourth wiring conductor 12, respectively. Even when the upper third wiring conductor 11 is disconnected, the first electrode 3 is electrically connected to the upper and lower fourth wiring conductors 12 via the lower first electrode 3. Can be maintained. Thereby, a voltage can be applied to the upper first electrode 3 and the second electrode 4. Therefore, the plasma generator can be used stably over a longer period.

このようなプラズマ発生体は、例えば、支持部７に埋設された第３配線導体の一部、或いは第４配線導体１２の一部となる貫通導体１４を備えている。この貫通導体１４により、第１電極３同士が電気的に接続される。これにより、複数の第１電極３と、第３配線導体１１（貫通導体１４を含む）と、第４配線導体１２（貫通導体１４を含む）とによりループ状の回路が形成される。なお、一対の外部端子のうちの一方側の外部端子１０は、間に第２電極４を挟んで対向する複数の第１電極３の一方端部同士を接続することとなる。 Such a plasma generator includes, for example, a through conductor 14 that becomes a part of the third wiring conductor embedded in the support portion 7 or a part of the fourth wiring conductor 12. The first electrodes 3 are electrically connected to each other by the through conductor 14. Thus, a loop-shaped circuit is formed by the plurality of first electrodes 3, the third wiring conductor 11 (including the through conductor 14), and the fourth wiring conductor 12 (including the through conductor 14). Note that one end of the pair of external terminals 10 connects one end portions of the plurality of first electrodes 3 facing each other with the second electrode 4 interposed therebetween.

そしてこのような貫通導体１４は、以下のようにして作製される。プラズマ発生体用のセラミック生成形体の支持部７となる領域に打ち抜き金型による打ち抜き手段等により貫通穴を形成しておく。次に、この貫通穴内にスクリーン印刷法等の印刷手段により貫通導体１４用のメタライズペーストを充填する。次にプラズマ発生体用のセラミック生成形体と同時に焼成することによってプラズマ発生体の一対の支持部７となる所定の位置に、貫通導体１４を形成することができる。なお、貫通導体１４用のメタライズペーストは、上述の第１電極３および第２電極４と同様にして製作されるが、有機バインダーや有機溶剤の量により貫通穴への充填に適した粘度に調製される。なお、この場合、第５配線導体１３は、第４配線導体１２の一部である貫通導体１４が通過する領域の周囲には、形成されず、貫通導体１４は、第５配線導体１３の非形成部を通過することとなる。非形成部は、例えば平面視形状が円形でもよいし、或いは他の形状でもよい。 Such a through conductor 14 is manufactured as follows. A through hole is formed in a region to be the support portion 7 of the ceramic generating shape for the plasma generator by a punching means using a punching die. Next, the metallized paste for the through conductor 14 is filled into the through hole by a printing means such as a screen printing method. Next, the through conductor 14 can be formed at a predetermined position to be a pair of support portions 7 of the plasma generator by firing simultaneously with the ceramic generating shape for the plasma generator. The metallized paste for the through conductor 14 is manufactured in the same manner as the first electrode 3 and the second electrode 4 described above, but is prepared to have a viscosity suitable for filling the through hole depending on the amount of organic binder or organic solvent. Is done. In this case, the fifth wiring conductor 13 is not formed around a region through which the through conductor 14 which is a part of the fourth wiring conductor 12 passes, and the through conductor 14 is not formed on the fifth wiring conductor 13. It will pass through the forming part. For example, the non-forming portion may have a circular shape in plan view, or may have another shape.

また、図１１に示すように、更に多くの空間Ｓが積層されたものであっても構わない。このように多数の空間Ｓを積層することにより、各空間Ｓに流体を通過させるとともに、流体をプラズマ反応させることができる。なお、このようなプラズマ発生体においては、第１電極３と第２電極４とは、交互に対向するように配置される。 Moreover, as shown in FIG. 11, more spaces S may be stacked. Thus, by laminating | stacking many space S, while letting a fluid pass to each space S, a fluid can be made to plasma-react. In such a plasma generator, the first electrodes 3 and the second electrodes 4 are arranged so as to alternately face each other.

なお、第１電極３とは逆極性の電極である第２電極４が複数形成される場合、上述の複数の第１電極３と第３配線導体１１および第４配線導体１２の場合と同様の構成を備えていても構わない。例えば、少なくとも第２電極４の一方の側部に接続する第５配線導体１３と、少なくとも２つの第２電極４の他方の側部同士を接続する第４配線導体１２と、第５配線導体１３に接続される外部端子１０とを備えているものであっても構わない。この場合、上述と同様の理由により、プラズマ発生体をより長期間にわたって安定的に使用することができる。なお、第１電極３側および第２電極４側の双方において、上述の構成を用いることで、プラズマ発生体の安定性をより高めることができる。 In addition, when a plurality of second electrodes 4 that are opposite in polarity to the first electrode 3 are formed, the same as the case of the plurality of first electrodes 3, the third wiring conductor 11, and the fourth wiring conductor 12 described above. You may have the structure. For example, a fifth wiring conductor 13 connected to at least one side of the second electrode 4, a fourth wiring conductor 12 connecting the other side of at least two second electrodes 4, and a fifth wiring conductor 13. The external terminal 10 connected to the terminal may be provided. In this case, the plasma generator can be used stably over a longer period for the same reason as described above. In addition, stability of a plasma generator can be improved more by using the above-mentioned structure in both the 1st electrode 3 side and the 2nd electrode 4 side.

また、貫通導体１４は、支持部７内に複数形成しておいて、貫通導体１４同士が並列回路を構成するようにしても構わない。これにより、複数の貫通導体１４の１つ１つにおいて発生する内部抵抗による熱量の増加が抑制される。 Further, a plurality of through conductors 14 may be formed in the support portion 7 so that the through conductors 14 constitute a parallel circuit. Thereby, an increase in the amount of heat due to the internal resistance generated in each of the plurality of through conductors 14 is suppressed.

また、複数の貫通導体１４を介して電圧を印加するので、貫通導体１４のいずれか１つに断線が発生したとしても、残りの貫通導体１４を介して第１電極３と第２電極４とに電圧を印加することができる。従って、プラズマ発生体をより長期間にわたって安定的に使用することができる。 In addition, since a voltage is applied through the plurality of through conductors 14, even if a disconnection occurs in any one of the through conductors 14, the first electrode 3 and the second electrode 4 through the remaining through conductors 14 Can be applied with a voltage. Therefore, the plasma generator can be used stably over a longer period.

また、図１２に示すように、複数の貫通導体１４は、互いに分散して配設されることが好ましい。これにより、貫通導体１４から内部抵抗により発生する熱を支持部７内で分散させることができる。これにより、貫通導体１４を一本しか設けない場合と比較して、支持部７が局所的に熱くなることが抑制できる。 In addition, as shown in FIG. 12, the plurality of through conductors 14 are preferably arranged so as to be dispersed from each other. Thereby, the heat generated by the internal resistance from the through conductor 14 can be dispersed in the support portion 7. Thereby, it can suppress that the support part 7 becomes locally hot compared with the case where only one penetration conductor 14 is provided.

また、図１３に示すように、第３配線導体１１側においても、第３配線導体１１の一部となる貫通導体１４を形成して、この貫通導体１４で上下に位置する第１電極３同士を電気的に接続しておいても構わない。そして、外部端子１０に共通に接続してもよい。この場合、第１電極３と、第３配線導体１１と、第４配線導体１２と、貫通導体１４とにより、ループ状の回路が形成される。 Further, as shown in FIG. 13, on the third wiring conductor 11 side, a through conductor 14 that is a part of the third wiring conductor 11 is formed, and the first electrodes 3 positioned above and below by the through conductor 14 are arranged. May be electrically connected. Then, it may be connected to the external terminal 10 in common. In this case, a loop-shaped circuit is formed by the first electrode 3, the third wiring conductor 11, the fourth wiring conductor 12, and the through conductor 14.

また、図１４に示すように、更に多くの空間Ｓが積層され、第２電極４が複数形成される場合、第５配線導体１３を接続する貫通導体１４を設けても良い。この場合、上述と同様な理由により、プラズマ発生体をより長期間にわたって安定的に使用することができる。なお、第１電極３側および第２電極４側の双方において、上述の構成を用いることで、プラズマ発生体の安定性をより高めることができる。 As shown in FIG. 14, when more spaces S are stacked and a plurality of second electrodes 4 are formed, a through conductor 14 that connects the fifth wiring conductor 13 may be provided. In this case, for the same reason as described above, the plasma generator can be used stably over a longer period of time. In addition, stability of a plasma generator can be improved more by using the above-mentioned structure in both the 1st electrode 3 side and the 2nd electrode 4 side.

また、上述の第３〜第５配線導体１１，１２，１３を備えたプラズマ発生体において、上述の第１配線導体８と第２配線導体９とを備えたプラズマ発生体と同様な構成、例えば、第３配線導体１１と第４配線導体１２との両方を外部端子１０にそれぞれ接続した構成を備えても構わない。 Moreover, in the plasma generator provided with the above-mentioned third to fifth wiring conductors 11, 12, 13, the same configuration as the plasma generator provided with the above-described first wiring conductor 8 and second wiring conductor 9, for example, A configuration in which both the third wiring conductor 11 and the fourth wiring conductor 12 are connected to the external terminal 10 may be provided.

また、第１電極３と第２電極とに直流電圧を印加する場合は、該直流電圧が直流パルス電圧でもよい。例えば、パルス周期が、２００Hzから１KHzであればよい。これにより連続的に電界の力を受けて帯電粒子が、常に一方側の電極に衝突することが抑制できる。 Further, when a DC voltage is applied to the first electrode 3 and the second electrode, the DC voltage may be a DC pulse voltage. For example, the pulse period may be 200 Hz to 1 KHz. As a result, it is possible to suppress the charged particles from constantly colliding with the electrode on one side by receiving the force of the electric field continuously.

次に本発明のプラズマ発生装置について説明する。本発明のプラズマ発生装置は、上述のプラズマ発生体のいずれかを用いている。さらにプラズマ発生体の第１電極３と第２電極４とに接続され、第１電極３と第２電極４との間に交流電圧あるいは直流電圧もしくは直流パルス電圧を印加するための電圧印加手段を備えている。これにより、第１電極３と第２電極４との間の対向領域にプラズマ場を発生させることができる。 Next, the plasma generator of the present invention will be described. The plasma generator of the present invention uses any of the plasma generators described above. Further, voltage application means connected to the first electrode 3 and the second electrode 4 of the plasma generator and for applying an AC voltage, a DC voltage or a DC pulse voltage between the first electrode 3 and the second electrode 4 is provided. I have. As a result, a plasma field can be generated in the facing region between the first electrode 3 and the second electrode 4.

電圧印加手段は、少なくとも外部電源１５と外部端子１０に接続される電源配線１８とを備えている。外部電源１５は、交流電源、直流電源、直流パルス電源等が採用可能である。また、電源配線１８は、一対の外部端子１０に対してそれぞれ接触或いは接合される。 The voltage applying means includes at least an external power supply 15 and a power supply wiring 18 connected to the external terminal 10. As the external power source 15, an AC power source, a DC power source, a DC pulse power source, or the like can be adopted. The power supply wiring 18 is in contact with or bonded to the pair of external terminals 10.

このようなプラズマ発生装置は、具体的には、例えば、流体が酸素であり、プラズマ反応により、この酸素をオゾンに良好に変化させることができるオゾン発生装置に使用することができる。このようなオゾン発生装置は、例えば、図１５に示すように、上述のプラズマ発生体の対向領域である空間Ｓ内に、酸素を流入させる第1の流路１６と、プラズマ発生体の第１電極３と、第２電極４とに接続され、これら電極３，４間に交流電圧或いは直流電圧もしくは直流パルス電圧を印加するための外部端子１０に接続される電源配線１８と、電源配線１８に接続される外部電源１５とを備えた電圧印加手段と、プラズマ発生体の対向領域に位置する反応流路Ｓから排出されるオゾンを、対向領域に位置する反応流路Ｓ内から流出させる第２の流路１７とを備えているものが挙げられる。 Specifically, such a plasma generator can be used in, for example, an ozone generator that can satisfactorily change oxygen to ozone by a plasma reaction when the fluid is oxygen. For example, as shown in FIG. 15, such an ozone generator has a first flow path 16 that allows oxygen to flow into a space S that is an opposed region of the above-described plasma generator, and a first plasma generator. A power line 18 connected to the electrode 3 and the second electrode 4 and connected to an external terminal 10 for applying an AC voltage, a DC voltage or a DC pulse voltage between the electrodes 3 and 4, A voltage applying means having an external power source 15 connected to the second, and ozone discharged from the reaction channel S located in the opposed region of the plasma generator to flow out of the reaction channel S located in the opposed region. Provided with the flow path 17.

或いは、このようなプラズマ発生装置は、例えば、流体が自動車、船舶、発電機等に使用されるエンジン等の内燃機関から排出される排ガスや焼却炉等から排出される排ガスであり、プラズマ反応によりこの排ガスを良好に浄化することができる排ガス処理装置に使用することができる。このような排ガス処理装置は、例えば、上述のプラズマ発生体の対向領域に位置する空間Ｓ内に、例えば内燃機関もしくは焼却炉からの排ガスを流入させる第1の流路１６、プラズマ発生体の第１電極３と、第２電極４とに接続され、これら電極３，４間に交流電圧或いは直流電圧もしくは直流パルス電圧を印加するための外部端子に接続される電圧印加手段と、プラズマ発生体の対向領域に位置する空間Ｓから排出される被処理ガスを、対向領域に位置する空間Ｓ内から流出させる第２の流路１７とを備えているものが挙げられる。 Alternatively, such a plasma generator is, for example, exhaust gas discharged from an internal combustion engine such as an engine used in automobiles, ships, generators, etc., or exhaust gas discharged from an incinerator, etc. This exhaust gas can be used in an exhaust gas treatment apparatus that can purify the exhaust gas well. Such an exhaust gas treatment apparatus includes, for example, a first flow path 16 for allowing exhaust gas from, for example, an internal combustion engine or an incinerator to flow into the space S located in the opposed region of the above-described plasma generator, and the first plasma generator. A voltage applying means connected to one electrode 3 and the second electrode 4 and connected to an external terminal for applying an AC voltage or a DC voltage or a DC pulse voltage between the electrodes 3 and 4; What has the 2nd flow path 17 which flows out the to-be-processed gas discharged | emitted from the space S located in an opposing area | region from the space S located in an opposing area | region is mentioned.

また、上述のような排ガス処理装置としては、例えば、図１６に示すように、排ガスの発生源であるディーゼルエンジン等の内燃機関２０から延びる排気管（第１の流路１６、第２の流路１７）中に上述のようなプラズマ発生体１９が取り付けられるものが挙げられる。そして、内燃機関２０からの排ガスが第１の流路１６を介してプラズマ発生体１９に流入される。またプラズマ発生体１９から排出された浄化ガスが第２の流路１７を介して、マフラー２１に流入される。これにより、ディーゼルエンジン等の内燃機関２０から排出される排ガスは、マフラー２１から排出されるまでに、プラズマ発生体１９を通過して浄化される。 Further, as the above-described exhaust gas treatment apparatus, for example, as shown in FIG. 16, an exhaust pipe (first flow path 16, second flow) extending from an internal combustion engine 20 such as a diesel engine that is a generation source of exhaust gas. Examples include those in which the plasma generator 19 as described above is attached in the path 17). Then, the exhaust gas from the internal combustion engine 20 flows into the plasma generator 19 through the first flow path 16. Further, the purified gas discharged from the plasma generator 19 flows into the muffler 21 via the second flow path 17. Thereby, the exhaust gas discharged from the internal combustion engine 20 such as a diesel engine is purified by passing through the plasma generator 19 before being discharged from the muffler 21.

なお、上述の排ガス処理装置には、プラズマ発生体以外の排ガスの浄化機構を併設しておいて良い。例えば、プラズマ発生体１９の前後にフィルター２２や触媒を付着しても良く、これにより排ガス中のＰＭや酸化成分等の流体の排出をさらに低減させることができる。このようなフィルター２２として、セラミック製のＤＰＦ（ＤｉｅｓｅｌＰａｒｔｉｃｕｌａｔｅＦｉｌｔｅｒ）等があり、触媒として白金等を用いることができる。 Note that the above-described exhaust gas treatment apparatus may be provided with an exhaust gas purification mechanism other than the plasma generator. For example, the filter 22 and the catalyst may be attached before and after the plasma generator 19, thereby further reducing the discharge of fluid such as PM and oxidizing components in the exhaust gas. Examples of such a filter 22 include a ceramic DPF (Diesel Particulate Filter) and the like, and platinum or the like can be used as a catalyst.

また、本発明のプラズマ発生装置は、流体がタバコの煙やカビ、埃等を含んだ空気であり、プラズマ反応により良好に空気を浄化することができる空気洗浄機として使用することもできる。このような空気洗浄機は、例えば、上述と同様に、少なくとも電圧印加手段、任意的に第１の流路１６、第２の流路１７等を備えたものが挙げられる。 In the plasma generator of the present invention, the fluid is air containing tobacco smoke, mold, dust, and the like, and can be used as an air cleaner that can purify air well by a plasma reaction. Examples of such an air cleaner include at least a voltage applying means, optionally a first flow path 16, a second flow path 17 and the like, as described above.

なお、本発明は、本発明の要旨を逸脱しない範囲であれば種々の変更は可能である。例えば、上述の実施例以外の用途に使用されプラズマ発生体やプラズマ発生装置、またこれらを用いた装置に適用しても良い。 The present invention can be variously modified without departing from the gist of the present invention. For example, it may be used for applications other than the above-described embodiments and applied to a plasma generator, a plasma generator, and an apparatus using these.

なお、本発明は、本発明の要旨を逸脱しない範囲であれば種々の変更は可能である。例えば、上述においては、自動車、船舶、発電機等に使用されるディーゼルエンジン等の排ガスの浄化について説明を行っているが、その他の用途に使用されるプラズマ発生体およびその反応装置に適用しても良い。例えば、消臭、ダイオキシンの分解、花粉の分解等に使用される空気洗浄機器やプラズマエッチング、薄膜装置等に搭載されるプラズマ発生体および反応装置等に適用することができる。また、プラズマ反応により空間Ｓ内を通過する流体を反応または分解させるためのプラズマ発生体およびその反応装置に適用することが可能である。 The present invention can be variously modified without departing from the gist of the present invention. For example, in the above description, purification of exhaust gas such as diesel engines used in automobiles, ships, generators, etc. has been described, but the present invention is applied to plasma generators and reaction devices used for other purposes. Also good. For example, the present invention can be applied to an air cleaning device used for deodorization, decomposition of dioxin, decomposition of pollen, plasma etching, a plasma generator and a reaction device mounted on a thin film device or the like. Further, the present invention can be applied to a plasma generator and its reaction apparatus for reacting or decomposing a fluid passing through the space S by a plasma reaction.

（ａ）は、本発明のプラズマ発生体の実施の形態の一例を示す平面図であり、（ｂ）は、（ａ）のＡ方向から見た側面図である。(A) is a top view which shows an example of embodiment of the plasma generator of this invention, (b) is the side view seen from the A direction of (a). （ａ）は、図１（ａ）のプラズマ発生体のＢ−Ｂ’線における断面図、（ｂ）は、図１（ｂ）のＣ−Ｃ’線における断面図、（ｃ）は、図１（ｂ）のＤ−Ｄ’線における断面図である。1A is a cross-sectional view taken along line BB ′ of the plasma generator of FIG. 1A, FIG. 1B is a cross-sectional view taken along line CC ′ of FIG. 1B, and FIG. It is sectional drawing in the DD 'line of 1 (b). 本発明のプラズマ発生体の実施の形態の一例を示す模式図である。It is a schematic diagram which shows an example of embodiment of the plasma generator of this invention. （ａ）は、本発明のプラズマ発生体の実施の形態の一例を示す平面図であり、（ｂ）は、（ａ）のＥ方向から見た側面図である。(A) is a top view which shows an example of embodiment of the plasma generator of this invention, (b) is the side view seen from E direction of (a). （ａ）は、図４（ａ）のプラズマ発生体のＦ−Ｆ’線における断面図、（ｂ）は、図４（ｂ）のＧ−Ｇ’線における断面図、（ｃ）は、図４（ｂ）のＨ−Ｈ’線における断面図、（ｄ）は、図４（ｂ）のＩ−Ｉ’線における断面図である。4A is a cross-sectional view taken along line FF ′ of the plasma generator in FIG. 4A, FIG. 4B is a cross-sectional view taken along line GG ′ in FIG. 4B, and FIG. 4B is a cross-sectional view taken along the line HH ′ in FIG. 4B, and FIG. 4D is a cross-sectional view taken along the line II ′ in FIG. 本発明のプラズマ発生体の実施の形態の一例を示す模式図である。It is a schematic diagram which shows an example of embodiment of the plasma generator of this invention. 本発明のプラズマ発生体の実施の形態の一例を示す断面図である。It is sectional drawing which shows an example of embodiment of the plasma generator of this invention. （ａ）は、本発明のプラズマ発生体の実施の形態の一例を示す平面図であり、（ｂ）は、（ａ）のＪ方向から見た側面図である。(A) is a top view which shows an example of embodiment of the plasma generator of this invention, (b) is the side view seen from the J direction of (a). （ａ）は、図８（ａ）のプラズマ発生体のＫ−Ｋ’線における断面図、（ｂ）は、図８（ｂ）のＬ−Ｌ’線における断面図、（ｃ）は、図８（ｂ）のＭ−Ｍ’線における断面図である。8A is a cross-sectional view taken along the line KK ′ of the plasma generator of FIG. 8A, FIG. 8B is a cross-sectional view taken along the line LL ′ of FIG. 8B, and FIG. It is sectional drawing in the MM 'line of 8 (b). 本発明のプラズマ発生体の実施の形態の一例を示す模式図である。It is a schematic diagram which shows an example of embodiment of the plasma generator of this invention. 本発明のプラズマ発生体の実施の形態の一例を示す断面図である。It is sectional drawing which shows an example of embodiment of the plasma generator of this invention. 本発明のプラズマ発生体の実施の形態の一例を示す断面図である。It is sectional drawing which shows an example of embodiment of the plasma generator of this invention. （ａ）は、本発明のプラズマ発生体の実施の形態の一例を示す断面図であり、（ｂ）は、第２の電極が形成された面における断面図であり、（ｃ）は、空間Ｓが形成された面における断面図である。(A) is sectional drawing which shows an example of embodiment of the plasma generator of this invention, (b) is sectional drawing in the surface in which the 2nd electrode was formed, (c) is space It is sectional drawing in the surface in which S was formed. 本発明のプラズマ発生体の実施の形態の一例を示す断面図である。It is sectional drawing which shows an example of embodiment of the plasma generator of this invention. 本発明の装置の一例を示す斜視図である。It is a perspective view which shows an example of the apparatus of this invention. 本発明の排ガス処理装置の概念図である。It is a conceptual diagram of the exhaust gas processing apparatus of this invention.

Explanation of symbols

１・・・第１電極部
２・・・第２電極部
３・・・第１電極
４・・・第２電極
５・・・第１絶縁部
６・・・第２絶縁部
７・・・支持部
８・・・第１配線導体
９・・・第２配線導体
１０・・・外部端子
１１・・・第３配線導体
１２・・・第４配線導体
１３・・・第５配線導体
１４・・・貫通導体
１５・・・外部電源
１６・・・第１の流路
１７・・・第２の流路
１８・・・電源配線
１９・・・排ガス処理装置
２０・・・内燃機関
２１・・・マフラー
２２・・・フィルター DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 ... 1st electrode part 2 ... 2nd electrode part 3 ... 1st electrode 4 ... 2nd electrode 5 ... 1st insulation part 6 ... 2nd insulation part 7 ... Support portion 8 ... first wiring conductor 9 ... second wiring conductor 10 ... external terminal 11 ... third wiring conductor 12 ... fourth wiring conductor 13 ... fifth wiring conductor 14 ··· Penetration conductor 15 ··· External power supply 16 ··· First flow passage 17 ··· Second flow passage 18 ··· Power supply wiring 19 ··· Exhaust gas treatment device 20 ··· Internal combustion engine 21 ··・ Muffler 22 ... Filter

Claims

A first electrode and a second electrode whose main surfaces are opposed to each other via a space;
A plurality of first wiring conductors connected to both sides of the first electrode;
A second wiring conductor connected to the second electrode;
A plurality of external terminals connected to each of the plurality of first wiring conductors and second wiring conductors,
A plasma generator in which a loop-like circuit is formed by the first electrode and the first wiring conductor.

The first electrode and the second electrode are supported on both sides by a pair of support portions made of a dielectric,
The plasma generator according to claim 1, wherein the first wiring conductor is embedded in the support portion.

The first electrode is coated with a ceramic member;
The plasma generator according to claim 1 or 2 , wherein the ceramic member is bonded to the support portion on both sides.

At least two first electrodes arranged such that their principal surfaces face each other;
A second electrode disposed between the first electrodes and facing each main surface of the first electrode with a space therebetween;
A plurality of third wiring conductors connected to one side of the two first electrodes;
A fourth wiring conductor connecting the other sides of the two first electrodes;
A fifth wiring conductor connected to the second electrode;
A plasma generator comprising a plurality of external terminals connected to each of the plurality of third wiring conductors and the fifth wiring conductor.

Two of the first electrode, and the third wiring conductor, and by the fourth wiring conductor, the plasma generator according to claim 4, loop circuit is formed.

The two first electrodes and the second electrode are supported on both sides by a pair of support portions made of a dielectric,
The plasma generator according to claim 5, wherein the third wiring conductor and the fourth wiring conductor are embedded in the support portion.

The plasma generator according to claim 6 , wherein the fourth wiring conductor includes a through conductor.

The third wiring conductor has a through conductor,
The plasma generator according to claim 6 or 7 , wherein one side portions of the two first electrodes are electrically connected by a through conductor of the third wiring conductor.

The through conductor, the plasma generator according to claim 7 or claim 8 formed with a plurality on said support portion.

The first electrode is coated with a ceramic member;
The plasma generator according to any one of claims 5 to 9 , wherein both sides of the ceramic member are joined to the support portion.

A plasma generator according to any one of claims 1 to 1 0,
Plasma is generated in a space between the first electrode and the second electrode by applying an AC voltage, a DC voltage, or a DC pulse voltage to the first electrode and the second electrode of the plasma generator. Voltage application means,
A plasma generator in which a voltage is applied to both sides of the first electrode.

A first flow path for allowing oxygen to flow into the space between the first electrode and the second electrode of the plasma generator according to any one of claims 1 to 11,
Voltage applying means connected to the first electrode and the second electrode of the plasma generator, and connected to an external terminal for applying an AC voltage, a DC voltage or a DC pulse voltage between these electrodes;
A second flow path for causing ozone discharged from the space of the plasma generator to flow out of the space;
An ozone generator in which a voltage is applied to both sides of the first electrode.

A first flow path for flowing exhaust gas into a space between the first electrode and the second electrode of the plasma generator according to any one of claims 1 to 11,
Voltage applying means connected to the first electrode and the second electrode of the plasma generator, and connected to an external terminal for applying an AC voltage, a DC voltage or a DC pulse voltage between these electrodes;
A second flow path for allowing the gas to be processed discharged from the space of the plasma generator to flow out of the space;
An exhaust gas treatment apparatus in which a voltage is applied to both sides of the first electrode.