JP5167315B2 - 洗浄ユニット、これを有する処理液塗布装置及びこれを利用した洗浄方法 - Google Patents

Description

本発明は、基板上に薬液を塗布するインクジェット方式の処理液塗布装置に係り、より詳細には、処理液が吐出されるノズルを洗浄する洗浄ユニット、これを有する処理液塗布装置及びこれを利用した洗浄方法に関する。

映像を表示する液晶表示装置は、多様な薄膜が蒸着された２枚の基板と、該２枚の基板の間に介在された液晶層とからなる。一般的に、各基板に形成された薄膜は、多様な形状のパターンを有し、パターンの精密度のために蒸着工程及びフォトリソグラフィ工程を通じて形成される。このように、１つの薄膜を形成するためには、高価なマスクが使われるフォトリソグラフィ工程が利用されるので、製造原価が上昇し、製造工程時間が増加する。

最近、このような薄膜形成方法として、インクジェットプリンティング方式が採用されている。インクジェットプリンティング方式は、基板の特定位置に薬液を塗布して薄膜を形成するので別途エッチング工程を要しない。このようなインクジェットプリンティング方式は、液晶表示装置のカラーフィルタまたは配向膜などを形成するのに使われる。一般的に、インクジェットプリント装置は、基板上に薬液を塗布するヘッドと、該ヘッドを洗浄する第１及び第２洗浄ユニットとを具備する。ヘッドは、薬液を吐出する複数のノズルを具備し、基板の特定位置に薬液を塗布する。一般的に、インクジェットプリント装置に使われる薬液は、粘性及び揮発性が高く、凝固され易い。特に、薬液塗布の後、ノズルの吐出口の周辺には薬液が残留する可能性があり、このような残留薬液は、吐出口の周辺に凝固されてノズルの吐出口を塞ぐ、または、以後の薬液塗布の時、基板に塗布されて不均一な膜を形成する原因となる。

これを防止するため、第１及び第２洗浄ユニットは、複数のノズルを洗浄して製品の収率を向上させる。第１洗浄ユニットは、ヘッドの薬液吐出面に残存する薬液を掻き取って１次除去し、第２洗浄ユニットは、薬液吐出面を物理的に拭き取る薬液吐出面上の薬液を除去する。具体的には、第１洗浄ユニットは、ブレードを具備し、ブレードが薬液吐出面上の薬液を掻き取る。第２洗浄ユニットは、ワイパを具備し、ワイパは、薬液吐出面と接触して薬液を拭き取る。

特開２００６−２４８１０２号公報

特に、上記ブレードは、薬液を掻き取る工程でノズルとの衝突する際にノズルの破損を防止するために軟質材料からなる。このような軟質材料は、表面摩擦係数が高くて、表面を平坦に加工し難い。また、第１洗浄ユニットによる１次洗浄の後にも薬液吐出面に多い薬液がついているので、２次洗浄の際、ワイパの使用量が増加する。更に、ブレードの上端部についている薬液がブレードの下端部に流れ難く、加工単価が上昇し、交換が難しい。

本発明は、このような状況を鑑みてなされたものであり、処理液を吐出するノズルの洗浄効率を向上させる洗浄ユニットを提供することを目的とする。また、本発明の目的は、上述の洗浄ユニットを具備する薬液塗布装置を提供することにある。更に、本発明の目的は、上述の洗浄ユニットを利用して薬液塗布装置のノズルを洗浄する方法を提供することにある。

本発明の目的を実現するための第１の態様として、洗浄ユニットは、シーツ形状を有し、処理液を吐出するヘッドの処理液吐出面に残存する処理液を掻き取って除去するブレードと、ブレードの一面と向き合うように配置された第１固定部と、ブレードを挟んで第１固定部と向き合うように設置され、第１固定部と結合してブレードを第１固定部に固定させる第２固定部とを含む固定部材と、第２固定部に形成されている挿入ホールに挿入されてブレードの一面と接し、ブレードを第１固定部に密着固定させる少なくとも１つの結合部材と、を含む。

また、本発明の目的を実現するための第２の態様として、処理液塗布装置は、対象物が載置される基板支持部材と、基板支持部材に載置された対象物に処理液を塗布する少なくとも１つのヘッドと、ヘッドの処理液吐出面に残存する処理液を掻き取って除去する第１洗浄ユニットと、処理液吐出面に残存する処理液を拭き取る第２洗浄ユニットと、を含み、第１洗浄ユニットは、シーツ形状を有し、処理液吐出面に残存する処理液を掻き取るブレードと、ブレードの一面と向き合うように配置された第１固定部と、ブレードを挟んで第１固定部と向き合うように設置され、第１固定部と結合してブレードを第１固定部に固定させる第２固定部とを含む固定部材と、第２固定部に挿入されてブレードの一面と接し、磁性を有し、第１固定部との間に形成された磁力を利用してブレードを第１固定部に密着固定させる少なくとも１つの結合部材と、を含み、第１固定部は、磁性に反応する物質を含み、第２固定部は、結合部材と対応するように形成され、結合部材が挿入される挿入ホールが形成される。

また、本発明の目的を実現するための第３の態様として、処理液塗布装置の洗浄方法は、シーツ形状を有するブレードを、位置固定された固定部材の第１固定部にブレードを配置させた状態で、固定部材の第２固定部がブレードを挟んで第１固定部と脱着可能に結合することで第１固定部に固定させる工程と、ブレードの上部に処理液を吐出するヘッドを配置する工程と、ブレードがヘッドの処理液吐出面に対して垂直に配置された状態で、処理液吐出面に残存する処理液を掻き取って除去する工程と、ブレードには、垂直方向に互いに離隔されて配置される複数の貫通ホールが形成され、第１固定部と第２固定部とのうちの少なくともいずれか１つには、結合ホールが形成され、かつ、第１固定部と第２固定部のうちの残りの１つには、一面から突き出し、貫通ホールと結合ホールとを順に貫通して貫通ホールと結合ホールに挿入され、ブレードと第１及び第２固定部間の結合位置を調節する少なくとも１つのガイド部が形成されており、ブレードが処理液吐出面を洗浄した汚染した部分を切断した後、ブレードの再利用のために、ガイド部が挿入される貫通ホールを変更して、処理液吐出面とブレードと間の適正離隔距離を維持させる工程と、を含む。

本発明によると、ブレードは、シーツ形状からなり、その形状変更が容易であるので、吐出面に残存する処理液との接触面積を最小化することができる。これによって、洗浄ユニットは、洗浄効率を向上させ、かつ、製造原価を節減させることができる。

本発明の一実施形態に係る薄膜形成装置を概略的に示す斜視図である。 図１に示したインクジェットプリント部を示す斜視図である。 図２に示したインクジェットプリント部を示す平面図である。 図２に示した第１洗浄ユニットを示す部分分解斜視図である。 図４に示した第１洗浄ユニットを示す平面図である。 図５に示した固定部材及びブレードを示す部分分解斜視図である。 図６に示したブレードを示す平面図である。 図７の切断線Ｉ−Ｉ´に沿って切断した断面図である。 処理液の除去の際の、図６に示したブレードと第１ヘッドとの位置関係を示す側面図である。 図６に示したブレードの他の一例を示す図である。 処理液の除去の際の、図１０に示したブレードと第１ヘッドとの位置関係を示す側面図である。 図６に示した第１固定部の他の一例を示す図である。 図２に示した第１洗浄ユニットが第１及び第２ヘッドアセンブリを洗浄する工程を示すフローチャートである。 処理液の除去の際の、図６に示したブレードと第１ヘッドとの配置関係を示す図である。

以下、添付の図を参照して、本発明の望ましい実施形態をより詳細に説明する。以下では、処理液塗布装置として、液晶表示装置のカラーフィルタを形成するためのインクジェットプリント装置を一例として説明する。処理液塗布装置は、カラーフィルタ以外にも多様な薄膜を形成することができ、液晶表示装置以外の多様な装置の薄膜形成や、または、特定パターンの形成など、多様に使用可能である。

図１は、本発明の一実施形態に係る薄膜形成装置を概略的に示す斜視図である。図１を参照すると、薄膜形成装置１０００は、インクジェットプリント部１００と、処理液供給部２００と、ローダ部３００と、アンローダ部４００と、インデクサ部５００と、ベーク部６００と、メイン制御部７００とを含む。

インクジェットプリント部１００は、基板上に処理液、例えば、ＲＧＢインクを塗布して基板上にカラーフィルタを形成する。この実施形態において、インクジェットプリント部１００は、ＲＧＢインクを塗布してカラーフィルタを形成する。ただし、インクジェットプリント部１００は、ＲＧＢインク以外に多様な種類の処理液を塗布することができ、これによって、処理液に対応する薄膜、例えば、配向膜など多様な薄膜を基板上に形成することができる。

インクジェットプリント部１００の一方の側に設置されたメイン制御部７００は、インクジェットプリント部１００の各処理工程を制御し、インクジェットプリント部１００は、メイン制御部７００の制御によって塗布工程を進行する。また、インクジェットプリント部１００の一方の側には、処理液供給部２００が設置される。処理液供給部２００は、インクジェットプリント部１００で基板に塗布する処理液を貯蔵し、処理液をインクジェットプリント部１００に供給する。この実施形態において、処理液供給部２００は、ＲＧＢインクが互いに混色されないように個別に貯蔵する。

インクジェットプリント部１００の他方の側には、外部から処理待機中の基板が搬送されて積載されるローダ部３００と、薄膜形成装置１０００で処理工程が完了した基板を積載するアンローダ部４００とが並んで設置される。ローダ部３００及びアンローダ部４００は、インデクサ部５００の一方の側に設置され、ローダ部３００及びアンローダ部４００は、インデクサ部５００を挟んでインクジェットプリント部１００と向き合う。インデクサ部５００は、インクジェットプリント部１００と、ローダ部３００と、アンローダ部４００と、ベーク部６００とに連通され、インクジェットプリント部１００、ローダ部３００、アンローダ部４００、及びベーク部６００の間に基板を搬送する。

具体的には、インデクサ部５００は、基板を搬送する搬送ロボット（図示しない）を具備し、搬送ロボットは、ローダ部３００から基板を取り出してインクジェットプリント部１００に搬送する。インクジェットプリント部１００にて基板のＲＧＢインク塗布が完了した後、移送ロボットは、インクジェットプリント部１００からカラーフィルタが形成された基板を取り出してベーク部６００に搬送する。ベーク部６００は、受け取った基板を加熱して基板に形成された薄膜、すなわち、カラーフィルタを硬化させ、これによって、薄膜形成装置１０００による薄膜形成工程が完了する。搬送ロボットは、ベーク部６００から処理が完了した基板を取り出した後、アンローダ部４００に搬送する。アンローダ部４００に積載した基板は、搬送装置によって外部に搬出される。

以下、図面を参照して、インクジェットプリント部１００について具体的に説明する。図２は、図１に示したインクジェットプリント部を示す斜視図であり、図３は、図２に示したインクジェットプリント部を示す平面図である。図２及び図３を参照すると、インクジェットプリント部１００は、ステージ１１０と、基板支持部１２０と、ガントリ（Ｇａｎｔｒｙ）１３０と、第１及び第２ヘッドアセンブリ１４０ａ、１４０ｂと、第１及び第２ヘッド移動部１５１、１５２と、第１洗浄ユニット１６０と、第２洗浄ユニット１７０とを含む。

ステージ１１０上には、処理液塗布のための設備、すなわち、基板支持部１２０、ガントリ（Ｇａｎｔｒｙ）１３０、第１及び第２ヘッドアセンブリ１４０ａ、１４０ｂ、第１及び第２ヘッド移動部１５１、１５２、第１洗浄ユニット１６０、及び第２洗浄ユニット１７０が設置される。ステージ１１０には、該ステージ１１０の一辺に沿って延長された中央レール１１１が設置され、該中央レール１１１には、基板支持部１２０が結合される。基板支持部１２０は、処理液が塗布される基板を支持し、中央レール１１１に沿って移動可能である。また、基板支持部１２０は、基板が載置される支持台を回転可能に設置し、処理液塗布工程において、基板を支持台に固定させる。

一方、ステージ１１０は、中央レール１１１を挟んで互いに向き合うように設置される第１及び第２ガイドレール１１２ａ、１１２ｂを具備する。第１及び第２ガイドレール１１２ａ、１１２ｂの各々は、中央レール１１１と同一の第１方向Ｄ１に延長されて設置され、第１方向Ｄ１に延長されたステージ１１０の一辺と略同一の長さを有する。第１及び第２ガイドレール１１２ａ、１１２ｂには、ガントリ１３０が結合される。ガントリ１３０は、両端部が第１及び第２ガイドレール１１２ａ、１１２ｂに各々結合され、第１及び第２ガイドレール１１２ａ、１１２ｂに沿って水平移動可能である。ガントリ１３０には、第１及び第２ヘッドアセンブリ１４０ａ、１４０ｂが固定設置される。ガントリ１３０が水平移動すると、ガントリ１３０に設置された第１及び第２ヘッドアセンブリ１４０ａ、１４０ｂが共に移動し、これによって、第１方向Ｄ１に第１及び第２ヘッドアセンブリ１４０ａ、１４０ｂの位置が変更する。
第１及び第２ヘッドアセンブリ１４０ａ、１４０ｂは、処理液供給部２００から処理液が供給され、基板支持台１２０に固定された基板に対して処理液を吐出する。この実施形態において、インクジェットプリント部１００は、２つのヘッドアセンブリ１４０ａ、１４０ｂを具備するが、ヘッドアセンブリ１４０ａ、１４０ｂの個数は、工程効率及びヘッドアセンブリ１４０ａ、１４０ｂの大きさによって増加してもよいし、または、減少してもよい。第１及び第２ヘッドアセンブリ１４０ａ、１４０ｂは、第１方向Ｄ１に並列に配置され、互いに離隔されて位置する。この実施形態において、第１及び第２ヘッドアセンブリ１４０ａ、１４０ｂは、互いに同一の構成を有する。よって、以下、第１ヘッドアセンブリ１４０ａの構成に対して具体的に説明し、第２ヘッドアセンブリ１４０ｂに対する具体的な説明は省略する。

第１ヘッドアセンブリ１４０ａは、第１方向Ｄ１と水平方向とに直交する第２方向Ｄ２に並んで配置された第１、第２、及び第３ヘッド１４１ａ、１４２ａ、１４３ａを具備し、第１乃至第３ヘッド１４１ａ、１４２ａ、１４３ａの各々は、処理液を吐出する多数のノズルを具備する。この実施形態において、第１ヘッドアセンブリ１４０ａは、３つのヘッド１４１ａ、１４２ａ、１４３ａを具備するが、ヘッド１４１ａ、１４２ａ、１４３ａの個数は、工程効率及び処理液の種類によって増加してもよいし、または、減少してもよい。第１乃至第３ヘッド１４１ａ、１４２ａ、１４３ａは、互いに異なる色を有するインクを吐出して基板上にカラーフィルタを形成する。具体的には、第１ヘッド１４１ａは、赤色を有するＲインクを吐出し、第２ヘッド１４２ａは、緑色を有するＧインクを吐出し、更に、第３ヘッド１４３ａは、青色を有するＢインクを吐出する。ここで、第１乃至第３ヘッド１４１ａ、１４２ａ、１４３ａのインク配列は、カラーフィルタの色画素配列によって変更してもよい。各ヘッド１４１ａ、１４２ａ、１４３ａは、各ヘッド１４１ａ、１４２ａ、１４３ａの中心軸を基準として回転可能である。理液塗布工程において、第１乃至第３ヘッド１４１ａ、１４２ａ、１４３ａは、同時にインクを吐出することもでき、一度にいずれか１つのヘッドでのみインクを吐出することもできる。また、第１乃至第３ヘッド１４１ａ、１４２ａ、１４３ａは、それぞれ交互にインクを吐出することもできる。また、処理液塗布工程において、第１及び第２ヘッドアセンブリ１４０ａ、１４０ｂは、同時に駆動されて第１及び第２ヘッドアセンブリ１４０ａ、１４０ｂからインクを同時に吐出することもでき、第１及び第２ヘッドアセンブリ１４０ａ、１４０ｂは、それぞれ交互にインクを吐出することもできる。また、第１及び第２ヘッドアセンブリ１４０ａ、１４０ｂのうちのいずれか１つのヘッドアセンブリを先ず駆動させてインクを塗布した後、該当のヘッドアセンブリに供給されたインクが全部消尽されれば、残りのヘッドアセンブリを駆動させてインクを塗布することもできる。

一方、第１及び第２ヘッドアセンブリ１４０ａ、１４０ｂは、第１ヘッド移動部１５１に固定設置され、第１ヘッド移動部１５１には、第２方向Ｄ２に延長された第１移動レールが具備される。第１及び第２ヘッドアセンブリ１４０ａ、１４０ｂは、互いに異なる第１移動レールに結合され、結合された第１移動レールに沿って第２方向Ｄ２に往復移動が可能である。ここで、第１及び第２ヘッドアセンブリ１４０ａ、１４０ｂの各ヘッドは、結合された第１移動レールに沿って個別に移動が可能である。第１ヘッド移動部１５１は、第２ヘッド移動部１５２に固定設置され、第２ヘッド移動部１５２には、第２移動レール（図示しない）が設置される。第２移動レールは、第１及び第２方向Ｄ１、Ｄ２と垂直となる方向、すなわち、ステージ１１０の上面に対して垂直となる第３方向Ｄ３に延長される。第１ヘッド移動部１５１は、第２移動レールに結合され、第２移動レールに沿って上下方向Ｄ２に往復移動が可能である。第２ヘッド移動部１５２は、ガントリ１３０に固定設置される。ガントリ１３０には、第２方向Ｄ２に延長された第３移動レールが設置される。第２ヘッド移動部１５２は、第３移動レールに結合され、第３移動レールに沿って第２方向Ｄ２に往復移動が可能である。

このように、第１及び第２ヘッドアセンブリ１４０ａ、１４ｂは、ガントリ１３０と第１及び第２ヘッド移動部１５１、１５２によって第１乃至第３方向Ｄ１、Ｄ２、Ｄ３への移動が可能である。すなわち、第１及び第２ヘッドアセンブリ１４０ａ、１４０ｂは、ガントリ１３０の水平移動によって第１方向Ｄ１に移動可能であり、第２ヘッド移動部１５２の移動によって第２方向Ｄ２に移動可能であり、更に、第１ヘッド移動部１５１の移動によって第３方向Ｄ３に移動可能である。また、第１及び第２ヘッドアセンブリ１４０ａ、１４０ｂの各ヘッドは、対応する第１移動レールに沿って第２方向Ｄ２に移動可能である。処理液塗布工程において、第１及び第２ヘッドアセンブリ１４０ａ、１４０ｂは、第１及び第２ヘッド移動部１５１、１５２及びガントリ１３０により移動しながら基板にインクを塗布することができる。また、基板支持台１２０は、中央レール１１１に沿って第１方向Ｄ１に移動し、第１及び第２ヘッドアセンブリ１４０ａ、１４０ｂは、第２及び第３方向Ｄ２、Ｄ３のみに移動してインクを塗布することもできる。

一方、ステージ１１０の中央レール１１１と第２ガイドレール１１２ｂとの間に備えられた維持補修領域には、第１及び第２洗浄ユニット１６０、１７０が設置される。
第１洗浄ユニット１６０は、第１及び第２ヘッドアセンブリ１４０ａ、１４０ｂに残存するインクを掻き取って除去する。第１洗浄ユニット１６０の構成については、後述の図４乃至図１２で具体的に説明する。

第１洗浄ユニット１６０の一方の側には、第２洗浄ユニット１７０が設置される。ガントリ１３０がホーム位置に位置する時、第２洗浄ユニット１７０は、第１洗浄ユニット１６０を挟んでガントリ１３０と向き合う。第２洗浄ユニット１７０は、第１及び第２ヘッドアセンブリ１４０ａ、１４０ｂの各ノズルについたインクを拭き取ることで、製品の収率を向上させる。ここで、第２洗浄ユニット１７０は、第１洗浄ユニット１６０によって１次洗浄されたノズルを２次洗浄することもでき、または、第１洗浄ユニット１６０によって洗浄されないノズルを洗浄することもできる。

第２洗浄ユニット１７０は、供給ローラと、回収ローラと、ワイパ（ｗｉｐｅｒ）とを含む。具体的には、供給ローラと回収ローラとは、ワイパを通じて連結される。ワイパは、テープ形状を有し、第１端部が供給ローラに固定され、第２端部が回収ローラに固定される。第１及び第２ヘッドアセンブリ１４０ａ、１４０ｂの洗浄の際、ワイパは、第１及び第２ヘッドアセンブリ１４０ａ、１４０ｂの各ヘッドからインクが吐出される吐出面に接触して各ヘッドに残留するインクを拭き取る。ワイパは、供給ローラに巻き込まれた状態で供給され、ノズルの洗浄によって汚染した部分は、回収ローラに巻き込まれる。すなわち、供給ローラは、汚染しないワイパを提供し、回収ローラは汚染したワイパを回収する。

以下、図面を参照して第１洗浄ユニット１６０の構成に対して具体的に説明する。図４は、図２に示した第１洗浄ユニット１６０を示す部分分解斜視図であり、図５は、図４に示した第１洗浄ユニット１６０を示す平面図である。図４及び図５を参照すると、第１洗浄ユニット１６０は、メインフレーム１６１と、パージタンク１６２と、上部フレーム１６３と、複数のブレード１６４と、複数の固定部材１６８とを含む。

具体的には、メインフレーム１６１は、四角形状を有し、上面が開口されており、側面が一部分開口されている。メインフレーム１６１の内部には、パージタンク１６２が設置され、該パージタンク１６２は、ブレード１６４により除去されたインクを回収する。メインフレーム１６１とパージタンク１６２の上部には、上部フレーム１６３が設置される。上部フレーム１６３は、メインフレーム１６１の上端部に結合され、メインフレーム１６１のように四角形状を有し、上面と下面とが開口されている。

複数のブレード１６４は、上部フレーム１６３の内部に均等な間隔で離隔されて設置され、各ヘッドの吐出面に残存する処理液、例えば、インクを掻き取って除去する。この実施形態において、第１洗浄ユニット１６０は、６個のブレード１６４を具備するが、ブレード１６４の個数は、第１及び第２ヘッドアセンブリ１４０ａ、１４０ｂ（図２参照）に具備されたヘッドの個数によって増加する。複数のブレード１６４は、第１及び第２ヘッドアセンブリ１４０ａ、１４０ｂのヘッドと１対１で対応するように設置され、その配置も、第１及び第２ヘッドアセンブリ１４０ａ、１４０ｂのヘッド配置と同一である。すなわち、第１及び第２ヘッドアセンブリ１４０ａ、１４０ｂは、互いに向き合うように並列に配置され、各ヘッドアセンブリ１４０ａ、１４０ｂのヘッドは、第１及び第２ヘッドアセンブリ１４０ａ、１４０ｂの配置方向と直交する方向に配置される。同様に、ブレードは、第１及び第２ヘッドアセンブリ１４０ａ、１４０ｂの配置方向に３個ずつ２列に配置される。この実施形態において、同一の列に位置するブレード間の離隔距離は、第１乃至第３ヘッド１４１ａ、１４２ａ、１４３ａ間の離隔距離によって設定され、複数のブレード１６４は、１つのヘッドアセンブリに具備された第１乃至第３ヘッド１４１ａ、１４２ａ、１４３ａを同時に洗浄することができる。複数のブレード１６４は、複数の固定部材１６８によって上部フレーム１６３に固定設置される。複数の固定部材１６８は、複数のブレード１６４と１対１で対応して設置され、対応するブレードと結合する。ブレード１６４及び固定部材１６８の各々の構成と、ブレード１６４と固定部材１６８との間の結合関係は、後述の図６乃至図１２で説明する。

第１洗浄ユニット１６０は、パージタンク１６２を洗浄する洗浄ノズル１６９をさらに含む。洗浄ノズル１６９は、パージタンク１６２の上端内側に並んで配置され、洗浄液供給ポート１６２ａを通じて洗浄液が供給され、パージタンク１６２の内部を洗浄する。すなわち、洗浄ノズル１６９から噴射された洗浄液は、パージタンク１６２の内壁に沿って流れてパージタンク１６２の内壁に残存する異物、例えば、ブレード１６４からパージタンク１６２に流入されたインクが、外部に排出されるようにする。ここで、パージタンク１６２の下端部には、パージタンク１６２の内部に流入された異物を外部に排気する排気ポート１６２ｂを具備し、排気ポートに対して異物を吸入するための排気圧が提供される。

以下、図面を参照して、ブレード１６４と前記固定部材１６８とについて具体的に説明する。図６は、図５に示した固定部材及びブレードを示す部分分解斜視図であり、図７は、図６に示したブレードを示す平面図であり、図８は図７の切断線Ｉ−Ｉ’に沿って切断した断面図である。図６乃至図８を参照すると、ブレード１６４は、シーツ形状を有し、対応するヘッドの吐出面に残存する処理液、例えば、インクを掻き取って除去する。この実施形態において、ブレード１６４は、四角形状を有するが、ブレード１６４の形状は、これに限定されず、多様な形状を有することができる。

ブレード１６４は、ベースシーツ６１と、該ベースシーツ６１の表面にコーティングされてベースシーツ６１を保護するコーティング層６２とを含む。ベースシーツ６１は、形状加工が容易であり、一定の形状を常に維持し、曲がることができる材質、例えば、圧縮紙材質からなる。このように、ブレード１６４は、安価の圧縮紙材質からなるので、原価を節減することができ、対応するヘッドの吐出面と衝突しても、対応するヘッドの損傷を最小化することができる。

コーティング層６２は、化学的に安定し、耐薬液性を有し、表面摩擦係数が圧縮紙より低い合成樹脂材質、例えば、ポリプロピレン（Ｐｏｌｙｐｒｏｐｙｌｅｎｅ）、またはポリエチレン（Ｐｏｌｙｅｔｈｙｌｅｎｅ）等からなる。これによって、ブレード１６４についたインクがブレード１６４に沿って下へ流れ易く、パージタンク１６２（図４参照）への流入が容易であるので、洗浄効率を向上させることができる。本発明の一例として、ブレード１６４は、約０．２乃至約１ｍｍの厚さを有する。この実施形態において、ブレード１６４は、ベースシーツ６１及びコーティング層６２からなるが、ベースシーツ６１のみでもよい。ブレード１６４がベースシーツ６１のみからなる場合、ブレード１６４の厚さを、コーティング層６２を具備する場合より減少させることができる。

図９は、処理液除去の際の、図６に示したブレード１６４と第１ヘッドとの位置関係を示す側面図である。参照として、図９では、第１ヘッドアセンブリ１４０ａ（図２参照）の第１ヘッド１４１ａと、これに対応するブレード１６４との間の位置関係のみを示すが、各ヘッドとこれに対応するブレードとの間の位置関係は、これと同一である。図９を参照すると、各ヘッドの吐出面に残存するインク除去の際、第１ヘッドアセンブリ１４０ａの第１ヘッド１４１ａは、ガントリ１３０（図２参照）の移動により対応するブレード１６４の上部に配置される。

第１ヘッド１４１ａの下面には、インクを吐出する複数のノズル４１が設置され、ブレード１６４は、ノズル４１の吐出面４１ａに対して垂直に配置される。吐出面４１ａのインク２０除去の際、ブレード１６４の第１端部は、ブレード１６４による吐出面４１ａの損傷を防止するために、吐出面４１ａと離隔して位置し、吐出面４１ａに残存するインク２０とは接する。すなわち、ブレード１６４は、吐出面４１ａとは接しない状態でインク２０にのみ接触して吐出面４１ａのインク２０を除去する。この実施形態において、ブレード１６４と吐出面４１ａとの間の離隔距離Ｔ１は、約０．３乃至約０．１ｍｍである。

また、この実施形態において、インク２０と接触するブレード１６４の第１端部は、吐出面４１ａに対して垂直に配置される。ブレード１６４は、第１及び第２ガイド面６４ａ、６４ｂ、及び除去面６４ｃを含む。第１及び第２ガイド面６４ａ、６４ｂは、吐出面４１ａに対して垂直に配置され、互いに向き合う。除去面６４ｃは、第１及び第２ガイド面６４ａ、６４ｂの間に位置し、第１及び第２ガイド面６４ａ、６４ｂに対して略垂直に形成され、平坦な面からなる。除去面６４ｃは、ブレード１６４の第１端部に位置し、インク２０の除去の際、吐出面４１ａのインク２０と接触する。吐出面４１ａのインク２０の除去の際、第１ヘッド１４１ａは、インク２０がブレード１６４の第１端部と接触した状態で水平移動し、表面張力によって吐出面４１ａのインク２０がブレード１６４の第１端部に引っ張られて吐出面４１ａで除去される。この時、第１ヘッド１４１ａの進行方向ＨＤは、第１ガイド面６４ａ側から第２ガイド面６４ｂ側に進行する方向である。ブレード１６４は、シーツ形状を有するので、インク２０との接触面積を最小化することができる。これによって、ブレード１６４は、インク２０の接触面積を最小化するために、除去面６４ｃを傾斜面で加工する必要がなく、洗浄効率を向上することができる。

図１０は、図６に示したブレードの他の一例を示す図であり、図１１は、処理液除去の際の、図１０に示したブレードと第１ヘッドとの位置関係を示す側面図である。図１０及び図１１を参照すると、図１０に示したブレード１８０は、ノズル４１の洗浄の際、吐出面４１ａに残存するインク２０と接触する第１端部１８２の形状を除いては、図６乃至図９に示したブレード１６４と同一の構成及び形状を有する。したがって、以下、ブレード１８０の具体的な説明において、図６に示したブレード１６４と重複する説明は省略する。

ノズル４１の洗浄の際、ブレード１８０は、吐出面４１ａに対して垂直に配置され、第１端部１８２がブレードの一面に向けて折られ、ブレード１８０の一面に対して傾くように設置される。この実施形態において、第１端部１８２及び第１端部１８２の折れ方向に第１端部１８２と接するブレード１８０の一面がなす角度ＣＡは、９０度より大きく、１８０度より小さい。吐出面４１ａのインク２０の除去の際、第１ヘッド１４１ａは、インク２０がブレード１８０の第１端部１８２と接触した状態で水平移動し、表面張力によって吐出面４１ａのインク２０が、ブレード１８０の第１端部１８２に引っ張られて吐出面４１ａから除去される。この時、ブレード１８０は、第１端部１８２の折れ方向が第１ヘッド１４１ａの進行方向ＨＤと反対方向になるように配置される。これによって、ノズル４１の洗浄の際、第１端部１８２についたインク２０が重力によってブレード１８０から分離してパージタンク１６２（図４参照）内に落下する。よって、ブレード１８０は、洗浄効率を向上させることができる。

再び、図５及び図６を参照すると、ブレード１６４は、固定部材１６８に結合され、その位置が固定される。固定部材１６８は、上部フレーム１６３に固定設置され、第１及び第２固定部１６５、１６６を含む。第１固定部１６５は、プレート形状を有し、ブレード１６４と向き合うように配置され、上部フレーム１６３に固定設置される。この実施形態において、第１固定部１６５は、上部フレーム１６３に一体で設置されてもよく、分離可能に設置されてもよい。第２固定部１６６は、第１固定部１６５と向き合うように配置され、ブレード１６４を挟んで第１固定部１６５と結合して、ブレード１６４を第１固定部１６５に固定させる。固定部材１６８とブレード１６４と結合の際、ブレード１６４は、第１端部が第１及び第２固定部１６５、１６６の上端部より上に突き出されるように配置される。第２固定部１６６は、横方向に互いに向き合う両端部に、ガイドバー１６６ａをさらに具備することができる。ガイドバー１６６ａは、第２固定部１６６から突き出し、第１固定部１６５及びブレード１６４との結合位置をガイドする。この実施形態において、第２固定部１６６は、２つのガイドバー１６５ａを具備するが、ガイドバー１６５ａの個数は、固定部材１６８の大きさ及び結合効率によって増加してもよく、または減少してもよい。

ブレード１６４には、ガイドバー１６６ａが挿入される複数の貫通ホール１６４ａが形成される。複数の貫通ホール１６４ａは、垂直方向に互いに離隔されて配置され、ブレード１６４の第１端部と隣接した両端部に各々形成される。この実施形態において、ブレード１６４は、両端部に各々３つの貫通ホール１６４ａが形成されるが、貫通ホール１６４ａの個数は、固定部材１６８の大きさ及び結合効率によって増加してもよく、または減少してもよい。

ガイドバー１６６ａは、ブレード１６４の垂直に配列された貫通ホールのうちのいずれか１つの貫通ホールに挿入され、ガイドバー１６６ａが挿入される貫通ホールの位置に、第１及び第２固定部１６５、１６６に対するブレード１６４の相対的な垂直位置が変更可能である。一方、第１固定部１６５には、ガイドバー１６６ａが挿入される結合ホール１６５ａが形成され、該結合ホール１６５ａは、ガイドバー１６６ａと１対１で対応するように形成される。ガイドバー１６６ａは、複数の貫通ホール１６４ａのうちのいずれか１つ、かつ、対応する結合ホール１６５ａを順に貫通して、該当の貫通ホールと結合ホール１６５ａとに挿入される。

固定部材１６８は、ブレード１６４を第１固定部１６５に密着固定させる複数の結合部材１６７をさらに含む。この実施形態において、固定部材１６８は、２つの結合部材１６７を具備するが、結合部材１６７の個数は、結合効率によって増加してもよく、または減少してもよい。結合部材１６７は、第２固定部１６６に挿入されてブレード１６４の一面と接し、第２固定部１６６は、結合部材１６７と１対１で対応するように形成され、結合部材１６７が挿入される挿入ホール１６６ｂが形成される。

具体的には、結合部材１６７は、支持ヘッド１６７ａと、結合柱１６７ｂと、磁性部１６７ｃとを含む。支持ヘッド１６７ａは、挿入ホール１６６ａより大きいサイズを有し、結合柱１６７ａは、支持ヘッド１６７ａから延長されて挿入ホール１６６ｂに挿入される。磁性部１６７ｃは、結合柱１６７ｂの内部に挿入され、磁性を有し、一面がブレード１６４の一面と接する。磁性部１６７ｃは、第１固定部１６５との間に形成された磁力を利用してブレード１６４を第１固定部１６５に密着固定させる。この実施形態において、第１固定部１６５は、結合部材１６７との間に磁力を形成するために磁性に反応する材質、例えば、ステンレス材質からなる。このように、固定部材１６８は、結合部材１６７の磁性によって第１及び第２固定部１６５、１６６が互いに結合されるので、組み立てが容易である。結合柱１６７ａの外面には、ねじ山が形成され、第２固定部１６６の挿入ホール１６６ｂを定義する面には、結合柱１６７ａのねじ山に対応するねじ山が形成される。これによって、結合柱１６７ａのねじ山と挿入ホール１６６ｂのねじ山とが互いにかみ合って結合する。

図１２は、図６に示した第１固定部の他の一例を示す図である。図６及び図１２を参照すると、第１固定部１９０は、第２固定部１６６と結合する固定胴体１９１と、固定胴体１９１の一面に形成された金属層１９２とを含む。金属層１９２は、ブレード１６４と向き合い、磁性に反応する金属材質、例えば、ステンレス材質からなる。これによって、結合部材１６７の磁性部１６７ｃと金属層１９２との間に磁力が形成される。この実施形態において、金属層１９２は、固定胴体１９１の一面に形成されて外部に露出するが、固定胴体１９１に内蔵することもできる。

以下、図面を参照して、第１洗浄ユニット１６０が第１及び第２ヘッドアセンブリ１４０ａ、１４０ｂの吐出面を洗浄する工程について具体的に説明する。図１３は、図２に示した第１洗浄ユニットが第１及び第２ヘッドアセンブリを洗浄する工程を示すフローチャートであり、図１４は、処理液除去の際の、図６に示したブレードと第１ヘッドとの配置関係を示す図である。

図２、図５、図１３及び図１４を参照すると、先ず、固定部材１６８がブレード１６４を上部フレーム１６３内に固定設置する（ステップＳ１１０）。次に、第１洗浄ユニット１６０の上部に、第１及び第２ヘッドアセンブリ１４０ａ、１４０ｂを配置させる（ステップＳ１２０）。次に、第１及び第２ヘッドアセンブリ１４０ａ、１４０ｂが水平移動し、これと共に、ブレード１６４が対応するヘッドの吐出面に残存する薬液を掻き取って除去する（ステップＳ１３０）。この時、ブレード１６４は、図１４に示すように、対応するヘッドの長さ方向に延長された任意の線に対して０度より大きく、９０度より小さい角度に配置される。第１洗浄ユニット１６０による１次洗浄が完了した後、第２洗浄ユニット１６０にて第１及び第２ヘッドアセンブリ１４０ａ、１４０ｂを洗浄する（ステップＳ１４０）。この実施形態において、第１洗浄ユニット１６０による洗浄は、１枚の基板にインク塗布が完了した後に行うこともでき、工程待機時間が長い場合に、各ノズルの内部に凝固されたインクを除去するために行うこともできる。一方、ブレード１６４は、第１及び第２ヘッドアセンブリ１４０ａ、１４０ｂに対する洗浄が予め設定された回数だけ繰り返されれば、吐出面の洗浄によって汚染した部分を除去した後に再利用する（ステップＳ１５０）。すなわち、ブレード１６４は、その形状変更が容易であり、汚染した部分の切断が容易であるので、このように汚染した部分を切断した後に再使用が可能である。汚染した部分を切断すれば、ブレード１６４の高さが低くなるので、ガイド部１６６ａが挿入される貫通ホールを変更する。

以上、実施形態を参照して説明したが、当該技術分野に精通した当業者は、下記の特許請求の範囲に記載された本発明の思想及び領域から逸脱しない範囲内で、本発明を多様に修正及び変更させることができる。

１００ インクジェットプリント部
１６０ 第１洗浄ユニット
１６４ ブレード
１６５ 第１固定部
１６６ 第２固定部
１６８ 固定部材
１７０ 第２洗浄ユニット
１０００ 薄膜形成装置

Claims (16)

1. シーツ形状を有し、処理液を吐出するヘッドの処理液吐出面に残存する処理液を掻き取って除去するブレードと、
   前記ブレードの一面と向き合うように配置された第１固定部と、前記ブレードを挟んで前記第１固定部と向き合うように設置され、前記第１固定部と結合して前記ブレードを前記第１固定部に固定させる第２固定部とを含む固定部材と、
   前記第２固定部に形成されている挿入ホールに挿入されて前記ブレードの一面と接し、前記ブレードを前記第１固定部に密着固定させる少なくとも１つの結合部材と、
   を含むことを特徴とする洗浄ユニット。
2. 前記結合部材は、前記挿入ホールより大きいサイズを有する支持ヘッドと、該支持ヘッドから延長されて前記挿入ホールに挿入される結合柱を有する胴体と、前記結合柱の内部に挿入され、磁性を有し、一面が前記ブレードの一面と接し、前記第１固定部との間に形成された磁力を利用して前記ブレードを前記第１固定部に密着固定させる磁性部とを含むことを特徴とする請求項１に記載の洗浄ユニット。
3. 前記第１固定部は、前記磁性に反応する材質からなることを特徴とする請求項２に記載の洗浄ユニット。
4. 前記第１固定部は、前記第２固定部と結合する固定胴体と、該固定胴体に結合され、前記ブレードと向き合い、前記磁性に反応する金属材質からなる金属層とを含むことを特徴とする請求項２に記載の洗浄ユニット。
5. 前記結合柱は、ねじ山が形成された外面を有し、
   前記挿入ホールを定義する面には、前記結合柱のねじ山に対応するねじ山が形成されることを特徴とする請求項２に記載の洗浄ユニット。
6. 前記ブレードは、少なくとも１つの貫通ホールを提供し、
   前記第１固定部と前記第２固定部のうちの少なくともいずれか１つは、結合ホールを提供し、かつ、
   前記第１固定部と前記第２固定部のうちの残りの１つは、一面から突き出し、前記貫通ホールと前記結合ホールとを順に貫通し、前記貫通ホールと前記結合ホールに挿入された少なくとも１つのガイド部を含むことを特徴とする請求項１に記載の洗浄ユニット。
7. 前記ブレードは、前記貫通ホールを複数提供し、
   前記複数の貫通ホールは、垂直方向に互いに離隔されて配置されることを特徴とする請求項６に記載の洗浄ユニット。
8. 前記第１固定部が固定設置された上部フレームと、
   前記上部フレームの垂直方向の下に設置され、前記ブレードによって除去された処理液を回収するパージタンクと、
   をさらに含むことを特徴とする請求項１に記載の洗浄ユニット。
9. 前記ブレードは、圧縮紙材質からなるベースシーツを含むことを特徴とする請求項１から８までのいずれか１項に記載の洗浄ユニット。
10. 前記ブレードは、前記ベースシーツの外面にコーティングされ、合成樹脂材質からなるコーティング層をさらに含むことを特徴とする請求項９に記載の洗浄ユニット。
11. 前記合成樹脂材質は、ポリプロピレン、またはポリエチレンであることを特徴とする請求項１０に記載の洗浄ユニット。
12. 対象物が載置される基板支持部材と、
    前記基板支持部材に載置された対象物に処理液を塗布する少なくとも１つのヘッドと、
    前記ヘッドの処理液吐出面に残存する処理液を掻き取って除去する第１洗浄ユニットと、
    前記処理液吐出面に残存する処理液を拭き取る第２洗浄ユニットと、を含み、
    前記第１洗浄ユニットは、シーツ形状を有し、前記処理液吐出面に残存する処理液を掻き取るブレードと、
    前記ブレードの一面と向き合うように配置された第１固定部と、前記ブレードを挟んで前記第１固定部と向き合うように設置され、前記第１固定部と結合して前記ブレードを前記第１固定部に固定させる第２固定部とを含む固定部材と、
    前記第２固定部に挿入されて前記ブレードの一面と接し、磁性を有し、前記第１固定部との間に形成された磁力を利用して前記ブレードを前記第１固定部に密着固定させる少なくとも１つの結合部材と、を含み、
    前記第１固定部は、前記磁性に反応する物質を含み、
    前記第２固定部は、前記結合部材と対応するように形成され、前記結合部材が挿入される挿入ホールが形成される、
    ことを特徴とする処理液塗布装置。
13. 前記ブレードは、圧縮紙材質からなるベースシーツを含むことを特徴とする請求項１２に記載の処理液塗布装置。
14. 前記ブレードは、前記ベースシーツの外面にコーティングされ、合成樹脂材質からなるコーティング層をさらに含むことを特徴とする請求項１３に記載の処理液塗布装置。
15. シーツ形状を有するブレードを、位置固定された固定部材の第１固定部に前記ブレードを配置させた状態で、前記固定部材の第２固定部が前記ブレードを挟んで前記第１固定部と脱着可能に結合することで前記第１固定部に固定させる工程と、
    前記ブレードの上部に処理液を吐出するヘッドを配置する工程と、
    前記ブレードが前記ヘッドの処理液吐出面に対して垂直に配置された状態で、前記処理液吐出面に残存する処理液を掻き取って除去する工程と、
    前記ブレードには、垂直方向に互いに離隔されて配置される複数の貫通ホールが形成され、前記第１固定部と第２固定部とのうちの少なくともいずれか１つには、結合ホールが形成され、かつ、前記第１固定部と第２固定部のうちの残りの１つには、一面から突き出し、前記貫通ホールと前記結合ホールとを順に貫通して前記貫通ホールと前記結合ホールに挿入され、前記ブレードと前記第１及び第２固定部間の結合位置を調節する少なくとも１つのガイド部が形成されており、
    前記ブレードが前記処理液吐出面を洗浄した汚染した部分を切断した後、前記ブレードの再利用のために、前記ガイド部が挿入される前記貫通ホールを変更して、前記処理液吐出面と前記ブレードと間の適正離隔距離を維持させる工程と、
    を含むことを特徴とする処理液塗布装置の洗浄方法。
16. 前記ブレードは、前記処理液吐出面に残存する処理液を掻き取る第１端部が前記ブレードの一面に向けて折られて、前記ブレードの一面に対して傾くように設置されており、
    前記処理液除去の際、前記ヘッドは、前記ブレードの上部で水平移動し、
    前記第１端部の折れ方向は、前記処理液除去の際、前記ヘッドの移動進行方向と反対方向であることを特徴とする請求項１５に記載の処理液塗布装置の洗浄方法。

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